JP5781408B2 - マグネトロンスパッタカソード - Google Patents
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Description
Claims (4)
- 直方体形状の輪郭を有し、その長手方向にのびる貫通孔を備えるターゲットと、トンネル状の磁場を形成する磁石ユニットとを備え、
ターゲットの互いに対向する一対の面をスパッタリングにより侵食されると共に処理基板が対向配置されるスパッタ面とし、互いに対向する他対の面の周囲に所定の間隔を存してシールド部材が夫々配置されてこれら他対の面をスパッタリングされない面とすると共にこの面にバッキングプレートが接合され、
前記磁場の垂直成分がゼロとなる位置を通る線が長手方向と直交する方向で両スパッタ面を夫々跨いでターゲットの周囲を周回するように磁石ユニットが構成されることを特徴とするマグネトロンスパッタカソード。 - 前記磁石ユニットは、ターゲットの内周面側の磁性をかえて貫通孔内に挿設された少なくとも一対のリング磁石を有し、ターゲットの外表面をスパッタ面とすることを特徴とする請求項1記載のマグネトロンスパッタカソード。
- 前記磁石ユニットは、長手方向に直交する方向でターゲットの外周を囲い、かつ、ターゲットの外周面側の磁性をかえて長手方向に隣接配置される少なくとも一対のリング磁石を有し、ターゲットの内表面をスパッタ面としたことを特徴とする請求項1記載のマグネトロンスパッタカソード。
- 前記磁石ユニットをターゲットの長手方向全長に亘って移動自在な駆動手段を更に備えることを特徴とする請求項2または請求項3記載のマグネトロンスパッタカソード。
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