FR2358020A1 - Dispositif pour la pulverisation cathodique et procede pour la pulverisation a l'aide d'un tel dispositif - Google Patents

Dispositif pour la pulverisation cathodique et procede pour la pulverisation a l'aide d'un tel dispositif

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    • H01J37/34—Gas-filled discharge tubes operating with cathodic sputtering
    • H01J37/3402—Gas-filled discharge tubes operating with cathodic sputtering using supplementary magnetic fields
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Abstract

Le dispositif pulvérisateur est muni d'une enveloppe contenant une cathode, dont la surface est en matériau à pulvériser, un dispositif magnétique servant à engendrer au moins un champ magnétique et déterminant au moins un piège d'électrons pour la surface de la cathode et d'une anode. Ces pièges d'électrons peuvent être déplacés suivant la surface cathodique, ce qui permet de pulvériser la cathode de façon très régulière par déplacement continu ou périodique desdits pièges d'électrons et assure ainsi la consommation très efficace du matériau cathodique. Application : pulvérisation cathodique.
FR7720561A 1976-07-07 1977-07-05 Dispositif pour la pulverisation cathodique et procede pour la pulverisation a l'aide d'un tel dispositif Granted FR2358020A1 (fr)

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