AT352493B - Zerstaeubungsvorrichtung zum zerstaeuben von material - Google Patents

Zerstaeubungsvorrichtung zum zerstaeuben von material

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AT352493B AT482777A AT482777A AT352493B AT 352493 B AT352493 B AT 352493B AT 482777 A AT482777 A AT 482777A AT 482777 A AT482777 A AT 482777A AT 352493 B AT352493 B AT 352493B
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    • H01J37/00Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/32Gas-filled discharge tubes
    • H01J37/34Gas-filled discharge tubes operating with cathodic sputtering
    • H01J37/3402Gas-filled discharge tubes operating with cathodic sputtering using supplementary magnetic fields
    • H01J37/3405Magnetron sputtering

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