IT1076083B - Dispositivo epr proiezione molecolare e metodo di proiezione molecolare condotto con l'impiego di tale dispositivo - Google Patents

Dispositivo epr proiezione molecolare e metodo di proiezione molecolare condotto con l'impiego di tale dispositivo

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IT1076083B
IT1076083B IT25372/77A IT2537277A IT1076083B IT 1076083 B IT1076083 B IT 1076083B IT 25372/77 A IT25372/77 A IT 25372/77A IT 2537277 A IT2537277 A IT 2537277A IT 1076083 B IT1076083 B IT 1076083B
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    • H01J37/00Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
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    • H01J37/34Gas-filled discharge tubes operating with cathodic sputtering
    • H01J37/3402Gas-filled discharge tubes operating with cathodic sputtering using supplementary magnetic fields
    • H01J37/3405Magnetron sputtering

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