ATE197503T1 - Verfahren und vorrichtung zur automatischen prüfung bewegter oberflächen - Google Patents

Verfahren und vorrichtung zur automatischen prüfung bewegter oberflächen

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Ari Haerkoenen
Timo Piironen
Pertti Kontio
Martti Karppinen
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Families Citing this family (123)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2781570B1 (fr) * 1998-07-21 2000-08-25 Lorraine Laminage Dispositif de detection des defauts superficiels de bandes metalliques en defilement
KR100345001B1 (ko) * 1998-08-27 2002-07-19 삼성전자 주식회사 기판 납땜 검사용 조명 및 광학 장치
JP4110653B2 (ja) 1999-01-13 2008-07-02 株式会社ニコン 表面検査方法及び装置
SE514859C2 (sv) * 1999-01-18 2001-05-07 Mydata Automation Ab Förfarande och anordning för undersökning av objekt på ett substrat genom att ta bilder av substratet och analysera dessa
US7154527B1 (en) * 1999-02-25 2006-12-26 Visionsense Ltd. Optical device
DE19909534B4 (de) * 1999-03-04 2011-07-07 BYK-Gardner GmbH, 82538 Vorrichtung und Verfahren zur Bestimmung der Qualität strukturierter Oberflächen
FI111757B (fi) 1999-05-10 2003-09-15 Metso Automation Oy Menetelmä ja mittausjärjestely mitata paperin pintaa
DE19944216B4 (de) * 1999-09-15 2010-02-04 Armin Steuer Prägedruckverfahren und Prägedruckvorrichtung
JP4514007B2 (ja) 1999-12-28 2010-07-28 株式会社ブリヂストン 被検体の外観形状検査方法及び装置
FI20000032A0 (fi) * 2000-01-07 2000-01-07 Spectra Physics Visiontech Oy Järjestely ja menetelmä pinnan tarkistamiseksi
DE10019486A1 (de) * 2000-04-19 2001-10-31 Siemens Ag Anordnung zur Inspektion von Objektoberflächen
AU2001295198A1 (en) 2000-04-28 2001-11-12 Electro Scientific Industries, Inc. Directional lighting and method to distinguish three dimensional information
DE10051009A1 (de) 2000-10-14 2002-05-02 Nat Rejectors Gmbh Verfahren zur Erkennung eines Prägebilds einer Münze in einem Münzautomaten
DE10063293A1 (de) * 2000-12-19 2002-07-04 Fraunhofer Ges Forschung Verfahren und Vorrichtung zur mehrkanaligen Inspektion von Oberflächen im Durchlauf
EP1220596A1 (de) 2000-12-29 2002-07-03 Icos Vision Systems N.V. Verfahren und Einrichtung zur Lageerfassung der Anschlusskontakte elektronischer Bauelemente
US6950547B2 (en) * 2001-02-12 2005-09-27 3M Innovative Properties Company Web inspection method and device
GB0107900D0 (en) * 2001-03-29 2001-05-23 Post Office Improvements in monitoring systems
DE10117048C1 (de) * 2001-04-05 2002-08-22 Fraunhofer Ges Forschung Verfahren und Vorrichtung zur Detektion von Oberflächendefekten auf Messobjekten
DE10122313A1 (de) * 2001-05-08 2002-11-21 Wolfgang P Weinhold Verfahren und Vorrichtung zur berührungsfreien Untersuchung eines Gegenstandes, insbesondere hinsichtlich dessen Oberflächengestalt
DE10122917A1 (de) * 2001-05-11 2002-11-14 Byk Gardner Gmbh Vorrichtung und Verfahren zur Bestimmung der Eigenschaften von reflektierenden Körpern
DE10128476C2 (de) * 2001-06-12 2003-06-12 Siemens Dematic Ag Optische Sensorvorrichtung zur visuellen Erfassung von Substraten
GB2379818A (en) * 2001-07-25 2003-03-19 Univ Bristol Automatic surface inspection using plural different radiation sources.
US6885451B2 (en) 2002-03-09 2005-04-26 Kimberly-Clark Worldwide, Inc. Infrared detection of composite article components
US6927857B2 (en) * 2002-03-09 2005-08-09 Kimberly-Clark Worldwide, Inc. Process for the detection of marked components of a composite article using infrared blockers
US6900450B2 (en) 2002-03-09 2005-05-31 Kimberly-Clark Worldwide, Inc. Method and apparatus for inferring item position based on multiple data
US6888143B2 (en) * 2002-03-09 2005-05-03 Kimberly-Clark Worldwide, Inc. Apparatus and method for inspecting pre-fastened articles
US6919965B2 (en) 2002-03-09 2005-07-19 Kimberly-Clark Worldwide, Inc. Apparatus and method for making and inspecting pre-fastened articles
US7105848B2 (en) * 2002-04-15 2006-09-12 Wintriss Engineering Corporation Dual level out-of-focus light source for amplification of defects on a surface
US6934029B1 (en) * 2002-04-22 2005-08-23 Eugene Matzan Dual laser web defect scanner
US7123765B2 (en) * 2002-07-31 2006-10-17 Kimberly-Clark Worldwide, Inc. Apparatus and method for inspecting articles
DE10300608B4 (de) * 2003-01-10 2004-09-30 National Rejectors, Inc. Gmbh Verfahren zur Erkennung eines Prägebildes einer Münze in einem Münzautomaten
US20040150815A1 (en) * 2003-02-05 2004-08-05 Applied Vision Company, Llc Flaw detection in objects and surfaces
SE525502C2 (sv) * 2003-07-08 2005-03-01 Stora Enso Ab Metod och anordning för analysering av ytstrukturen hos en bana av papper eller kartong
US7236625B2 (en) * 2003-07-28 2007-06-26 The Boeing Company Systems and method for identifying foreign objects and debris (FOD) and defects during fabrication of a composite structure
JP4367085B2 (ja) * 2003-10-22 2009-11-18 富士ゼロックス株式会社 フォトセンサ装置
JP2005172814A (ja) * 2003-11-19 2005-06-30 Kansai Paint Co Ltd 反射紫外線測定装置
DE20320094U1 (de) * 2003-12-23 2004-03-11 Veka Ag Glanzmessungsvorrichtung
JP2007523810A (ja) 2003-12-31 2007-08-23 スリーエム イノベイティブ プロパティズ カンパニー ウェブに基づく物品の在庫管理
US7187995B2 (en) 2003-12-31 2007-03-06 3M Innovative Properties Company Maximization of yield for web-based articles
JP4045248B2 (ja) * 2004-03-01 2008-02-13 ジヤトコ株式会社 無段変速機用ベルトの検査方法
JP2005283309A (ja) * 2004-03-29 2005-10-13 Jatco Ltd 金属表面の検査装置
JP2005283310A (ja) * 2004-03-29 2005-10-13 Jatco Ltd リング端面欠陥検査装置
US7623699B2 (en) 2004-04-19 2009-11-24 3M Innovative Properties Company Apparatus and method for the automated marking of defects on webs of material
DE102004023739A1 (de) * 2004-05-12 2005-12-15 Leica Microsystems Semiconductor Gmbh Messgerät und Verfahren zum Betreiben eines Messgeräts zur optischen Inspektion eines Objekts
DE102004037040B4 (de) * 2004-07-30 2013-11-21 Byk Gardner Gmbh Vorrichtung zur quantifizierten Bewertung von Oberflächeneigenschaften
CA2478757A1 (fr) * 2004-08-06 2006-02-06 Mario Talbot Detection du bois bleui et de la pourriture sur le bois d'oeuvre
US7471382B2 (en) * 2004-10-04 2008-12-30 Kla-Tencor Technologies Corporation Surface inspection system with improved capabilities
DE102004058408B4 (de) * 2004-12-03 2013-10-31 Byk Gardner Gmbh Vorrichtung zur Bestimmung von Oberflächeneigenschaften
US20060145100A1 (en) * 2005-01-03 2006-07-06 Kimberly-Clark Worldwide, Inc. System and method for detecting an object on a moving web
JP4797593B2 (ja) * 2005-03-10 2011-10-19 富士ゼロックス株式会社 光沢測定装置及びプログラム
JP4826750B2 (ja) * 2005-04-08 2011-11-30 オムロン株式会社 欠陥検査方法およびその方法を用いた欠陥検査装置
US7755749B2 (en) 2005-04-21 2010-07-13 Sumitomo Electric Industries, Ltd. Superconducting wire inspection apparatus and method
DE102005029901B4 (de) 2005-06-25 2022-10-06 Modi Modular Digits Gmbh Vorrichtung und Verfahren zum visuellen Erfassen von flächigen oder räumlichen Objekten
EP1752291A1 (de) * 2005-08-11 2007-02-14 DeCoSystem S.r.l. Verbesserte Verfahren und Vorrichtung zur Qualitätskontrolle von Druckerzeugnissen
DE102006009593B4 (de) * 2005-10-01 2008-12-18 Vistec Semiconductor Systems Gmbh Vorrichtung zur Aufnahme von mehreren Bildern von scheibenförmigen Objekten
US7372556B2 (en) * 2005-10-31 2008-05-13 The Boeing Company Apparatus and methods for inspecting a composite structure for inconsistencies
US8125563B2 (en) 2005-11-10 2012-02-28 OBE OHNMACHT & BAUMGäRTNER GMBH & CO. KG Camera chip, camera and method for image recording
JP4621170B2 (ja) * 2006-06-05 2011-01-26 新日本製鐵株式会社 金属組織画像観察装置
US7834991B2 (en) * 2006-07-13 2010-11-16 Byk Gardner Gmbh Determining surface properties with angle offset correction
US7369240B1 (en) 2006-07-20 2008-05-06 Litesentry Corporation Apparatus and methods for real-time adaptive inspection for glass production
DE102006038615A1 (de) * 2006-08-17 2008-02-21 Massen Machine Vision Systems Gmbh Überwachung der Qualität von gemusterten, insbesondere räumlich gekrümmten Oberflächen
US8175739B2 (en) 2007-07-26 2012-05-08 3M Innovative Properties Company Multi-unit process spatial synchronization
US7542821B2 (en) 2007-07-26 2009-06-02 3M Innovative Properties Company Multi-unit process spatial synchronization of image inspection systems
JP5086734B2 (ja) * 2007-08-11 2012-11-28 花王株式会社 パレット検査装置
FI121151B (fi) 2007-11-22 2010-07-30 Valtion Teknillinen Menetelmä ja laitteisto liikkuvan pinnan topografian ja optisten ominaisuuksien määrittämiseksi
DE102008000774A1 (de) * 2008-03-19 2009-09-24 Voith Patent Gmbh Optisches Verfahren und Messvorrichtung für eine Fasern beinhaltende Bahn
EP2144052A1 (de) * 2008-07-11 2010-01-13 Dr. Schenk GmbH Industriemesstechnik Verfahren und Vorrichtung zum Detektieren und Klassifizieren von Defekten
WO2010006895A1 (de) * 2008-07-16 2010-01-21 Siemens Aktiengesellschaft Betriebsverfahren für eine ein metallband bearbeitende bearbeitungseinrichtung und anlage zum bearbeiten eines metallbandes
DE102008044991B4 (de) * 2008-08-29 2011-11-10 In-Situ Gmbh Verfahren und Vorrichtung zur dreidimensionalen Erfassung von Objektoberflächen
US7797133B2 (en) 2008-09-10 2010-09-14 3M Innovative Properties Company Multi-roller registered repeat defect detection of a web process line
US8502180B2 (en) * 2009-01-26 2013-08-06 Centre De Recherche Industrielle Du Quebec Apparatus and method having dual sensor unit with first and second sensing fields crossed one another for scanning the surface of a moving article
US9109330B2 (en) * 2009-03-09 2015-08-18 Honeywell International Inc. Apparatus and method for measuring properties of unstabilized moving sheets
NO336577B1 (no) * 2009-07-08 2015-09-28 Sapa As Fremgangsmåte og apparatur for inspeksjon av overflater
US20110035041A1 (en) * 2009-08-06 2011-02-10 Habakus Stephen J Systems and methods for feed control of rolled stock raw materials
BR112012031828B1 (pt) 2010-06-16 2020-05-12 Ultra Electronics Forensic Technology Inc. Método para determinar uma topografia 3d z (x, y) de uma superfície especular de um objeto, sistema para determinar uma topografia 3d z (x, y) de uma superfície especular de um objeto, e meio legível por computador não transitório
DE102010060852B4 (de) 2010-11-29 2013-11-21 Breitmeier Messtechnik Gmbh Vorrichtung und Verfahren zur Erfassung einer Oberflächenstruktur einer Oberfläche eines Werkstücks
DE102010061559A1 (de) * 2010-12-27 2012-06-28 Dr. Schneider Kunststoffwerke Gmbh Vorrichtung zum Erkennen von Folienverarbeitungsfehlern
FR2977939B1 (fr) 2011-07-11 2013-08-09 Edixia Procede d'acquisition de plusieurs images d'un meme objet a l'aide d'une seule camera lineaire
JP5882730B2 (ja) 2011-12-28 2016-03-09 株式会社ブリヂストン 外観検査装置及び外観検査方法
CA2780202C (en) 2012-06-19 2014-11-18 Centre De Recherche Industrielle Du Quebec Method and system for detecting the quality of debarking at the surface of a wooden log
AT513126B1 (de) * 2012-08-01 2014-02-15 Ait Austrian Inst Technology Co-Occurrence Matrix
DE102012015579A1 (de) * 2012-08-08 2014-02-13 Premium Aerotec Gmbh Oberflächenschutzverfahren für Bauteile aus Aluminium bzw. Aluminiumlegierungen mit einem Nachweis einer unzulässigen Überhitzung
KR101480906B1 (ko) * 2012-11-15 2015-01-12 주식회사 포스코 잔류 스케일 측정 장치 및 방법
EP2929329B1 (de) * 2012-12-10 2020-05-06 Uster Technologies AG Vorrichtung zur optischen prüfung eines bewegten textilmaterials
US9581554B2 (en) * 2013-05-30 2017-02-28 Seagate Technology Llc Photon emitter array
JP5949690B2 (ja) * 2013-07-25 2016-07-13 Ｊｆｅスチール株式会社 評価方法及び評価装置
WO2015027014A1 (en) * 2013-08-21 2015-02-26 Severstal Dearborn, Llc Method for measuring surface characteristics of hot dipped galvanneal steel sheet
DE102013221334A1 (de) 2013-10-21 2015-04-23 Volkswagen Aktiengesellschaft Verfahren und Messvorrichtung zum Bewerten von Strukturunterschieden einer reflektierenden Oberfläche
KR101832081B1 (ko) 2013-12-27 2018-02-23 제이에프이 스틸 가부시키가이샤 표면 결함 검출 방법 및 표면 결함 검출 장치
CN104897679A (zh) * 2014-03-05 2015-09-09 鞍钢股份有限公司 一种钢板表面缺陷的检查方法
GB2526866A (en) * 2014-06-05 2015-12-09 Univ Bristol Apparatus for and method of inspecting surface topography of a moving object
JP6290720B2 (ja) * 2014-06-09 2018-03-07 株式会社キーエンス 検査装置、検査方法およびプログラム
EP2966593A1 (de) * 2014-07-09 2016-01-13 Sick Ag Bilderfassungssystem zum Detektieren eines Objektes
AT516824A1 (de) * 2015-01-23 2016-08-15 Ait Austrian Inst Technology Verfahren und Vorrichtung zur Prüfung von OVI-Merkmalen
CN107076549B (zh) * 2015-05-29 2019-05-10 新日铁住金株式会社 金属体的形状检查装置和金属体的形状检查方法
US9903710B2 (en) * 2015-06-05 2018-02-27 Nippon Steel & Sumitomo Metal Corporation Shape inspection apparatus for metallic body and shape inspection method for metallic body
JP6646339B2 (ja) * 2015-06-25 2020-02-14 Ｊｆｅスチール株式会社 表面欠陥検出方法、表面欠陥検出装置、及び鋼材の製造方法
JP6447637B2 (ja) * 2015-06-25 2019-01-09 Ｊｆｅスチール株式会社 表面欠陥検出装置、表面欠陥検出方法、及び鋼材の製造方法
WO2016208622A1 (ja) * 2015-06-25 2016-12-29 Ｊｆｅスチール株式会社 表面欠陥検出装置および表面欠陥検出方法
JP6394514B2 (ja) * 2015-06-25 2018-09-26 Ｊｆｅスチール株式会社 表面欠陥検出方法、表面欠陥検出装置、及び鋼材の製造方法
US11493454B2 (en) 2015-11-13 2022-11-08 Cognex Corporation System and method for detecting defects on a specular surface with a vision system
EP3401672B1 (de) * 2016-01-08 2023-08-30 SCREEN Holdings Co., Ltd. Schwachstellenerkennungsvorrichtung und schwachstellenerkennungsverfahren
WO2017175367A1 (ja) * 2016-04-08 2017-10-12 新日鐵住金株式会社 金属体の表面状態監視装置及び金属体の表面状態監視方法
CN109196337B (zh) * 2016-05-30 2021-12-07 鲍勃斯脱梅克斯股份有限公司 一种图像捕获系统和一种用于确定片材元件上压花结构的位置的方法
ES2894869T3 (es) 2016-05-30 2022-02-16 Bobst Mex Sa Sistema de inspección de superficies y método de inspección de superficies
US11169095B2 (en) * 2016-05-30 2021-11-09 Bobst Mex Sa Surface inspection system and method using multiple light sources and a camera offset therefrom
JP6769182B2 (ja) * 2016-09-01 2020-10-14 日本製鉄株式会社 鋼材の表面検査装置及び表面検査方法
DE102016012371B4 (de) 2016-10-15 2024-08-08 Volkswagen Aktiengesellschaft Verfahren und Anlage zum Ermitteln der Defektfläche mindestens einer Fehlstelle auf mindestens einer Funktionsoberfläche eines Bauteils oder Prüfkörpers
DE102017206058A1 (de) * 2017-04-10 2018-10-11 BSH Hausgeräte GmbH Bestimmen eines Verschmutzungsgrads in einem Garraum
JP6863206B2 (ja) * 2017-09-28 2021-04-21 日本製鉄株式会社 鋳片分析装置、鋳片分析方法及びプログラム
JP6741173B2 (ja) * 2017-12-08 2020-08-19 日本製鉄株式会社 形状検査装置及び形状検査方法
JP7077635B2 (ja) * 2018-01-26 2022-05-31 王子ホールディングス株式会社 シート状物の欠陥検査装置及び製造方法
JP7087687B2 (ja) * 2018-06-01 2022-06-21 株式会社サタケ 穀物の光沢測定装置
DE102018006760A1 (de) * 2018-08-27 2020-02-27 Mühlbauer Gmbh & Co. Kg Inspektion beim Übertragen elektronischer Bauteile von einem ersten zu einem zweiten Träger
US11543353B2 (en) * 2019-01-18 2023-01-03 Essenlix Corporation Multi-mode illumination system
JP7138194B2 (ja) * 2019-01-25 2022-09-15 タカノ株式会社 画像検査装置
WO2020158340A1 (ja) * 2019-02-01 2020-08-06 パナソニックＩｐマネジメント株式会社 検査装置、及び、検査方法
WO2020216959A1 (de) * 2019-04-25 2020-10-29 Hydro Aluminium Rolled Products Gmbh Oberflächenbehandlung von flachprodukten aus aluminiumlegierungen umfassend farbmessungen
EP3754324B1 (de) * 2019-06-19 2023-11-29 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Verfahren und vorrichtung zum klassifizieren einer partikelartigen verunreinigung auf einer oberfläche
EP3761017A1 (de) 2019-07-05 2021-01-06 Aleris Rolled Products Germany GmbH Verfahren und vorrichtung zur thermografischen inspektion der oberfläche eines sich bewegenden, warmgewalzten metallstreifenartikels
US11282187B2 (en) * 2019-08-19 2022-03-22 Ricoh Company, Ltd. Inspection system, inspection apparatus, and method using multiple angle illumination
EP4095518A4 (de) * 2020-01-20 2023-02-08 JFE Steel Corporation Oberflächeninspektionsvorrichtung, verfahren zur oberflächeninspektion, verfahren zur herstellung von stahlmaterial, verfahren zur qualitätsverwaltung von stahlmaterial und anlage zur herstellung von stahlmaterial
CN114689604A (zh) * 2020-12-29 2022-07-01 致茂电子(苏州)有限公司 具有光滑表面的待测物于光学检测上的影像处理方法及其检测系统

Family Cites Families (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4806776A (en) * 1980-03-10 1989-02-21 Kley Victor B Electrical illumination and detecting apparatus
JPS5952735A (ja) * 1982-09-20 1984-03-27 Kawasaki Steel Corp 熱間鋼片の表面欠陥検出方法
DE3242447C2 (de) * 1982-11-16 1986-01-23 Sophokles 8062 Markt Indersdorf Papaioannou Photoelektrische Kontrollvorrichtung zur Qualitätskontrolle einer bewegten Materialbahn
US4595289A (en) * 1984-01-25 1986-06-17 At&T Bell Laboratories Inspection system utilizing dark-field illumination
JPS61176825A (ja) * 1985-01-31 1986-08-08 Dainippon Printing Co Ltd 光センサヘツド
US5039868A (en) * 1988-11-24 1991-08-13 Omron Corporation Method of and apparatus for inspecting printed circuit boards and the like
WO1992000517A1 (en) * 1990-06-22 1992-01-09 Alcan International Limited Illumination system for high speed surface inspection of rolled aluminum sheet
US5248876A (en) * 1992-04-21 1993-09-28 International Business Machines Corporation Tandem linear scanning confocal imaging system with focal volumes at different heights
JPH0658731A (ja) * 1992-06-11 1994-03-04 Fujitsu Ltd パターン検査装置
WO1994018643A1 (en) * 1993-02-02 1994-08-18 Golden Aluminum Company Method and apparatus for imaging surfaces
DE19511534C2 (de) * 1995-03-29 1998-01-22 Fraunhofer Ges Forschung Verfahren und Vorrichtung zur Erfassung von 3D-Fehlstellen bei der automatischen Inspektion von Oberflächen mit Hilfe farbtüchtiger Bildauswertungssysteme
US5982493A (en) * 1998-06-02 1999-11-09 Motorola, Inc. Apparatus and method for acquiring multiple images

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