DE69703487D1 - Verfahren und Vorrichtung zur automatischen Prüfung bewegter Oberflächen - Google Patents

Verfahren und Vorrichtung zur automatischen Prüfung bewegter Oberflächen

Info

Publication number
DE69703487D1
DE69703487D1 DE69703487T DE69703487T DE69703487D1 DE 69703487 D1 DE69703487 D1 DE 69703487D1 DE 69703487 T DE69703487 T DE 69703487T DE 69703487 T DE69703487 T DE 69703487T DE 69703487 D1 DE69703487 D1 DE 69703487D1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
automatic inspection
moving surfaces
signal
observation
illumination
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
DE69703487T
Other languages
English (en)
Other versions
DE69703487T2 (de
Inventor
Dr Paul
Ari Haerkoenen
Timo Piironen
Pertti Kontio
Martti Karppinen
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fraunhofer Gesellschaft zur Forderung der Angewandten Forschung eV
Original Assignee
VTT ELECTRONICS OULU
Fraunhofer Gesellschaft zur Forderung der Angewandten Forschung eV
VTT ELECTRONICS OULU
Spectra Physics Visiontech Oy
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by VTT ELECTRONICS OULU, Fraunhofer Gesellschaft zur Forderung der Angewandten Forschung eV, VTT ELECTRONICS OULU, Spectra Physics Visiontech Oy filed Critical VTT ELECTRONICS OULU
Publication of DE69703487D1 publication Critical patent/DE69703487D1/de
Application granted granted Critical
Publication of DE69703487T2 publication Critical patent/DE69703487T2/de
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/89—Investigating the presence of flaws or contamination in moving material, e.g. running paper or textiles
    • G01N21/8901—Optical details; Scanning details
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23G—CLEANING OR DE-GREASING OF METALLIC MATERIAL BY CHEMICAL METHODS OTHER THAN ELECTROLYSIS
    • C23G3/00—Apparatus for cleaning or pickling metallic material
    • C23G3/02—Apparatus for cleaning or pickling metallic material for cleaning wires, strips, filaments continuously
    • C23G3/027—Associated apparatus, e.g. for pretreating or after-treating
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/8806—Specially adapted optical and illumination features
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/8806—Specially adapted optical and illumination features
    • G01N2021/8822—Dark field detection
    • G01N2021/8825—Separate detection of dark field and bright field

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Textile Engineering (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
  • Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
DE69703487T 1997-08-22 1997-08-22 Verfahren und Vorrichtung zur automatischen Prüfung bewegter Oberflächen Expired - Lifetime DE69703487T2 (de)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
EP97114590A EP0898163B1 (de) 1997-08-22 1997-08-22 Verfahren und Vorrichtung zur automatischen Prüfung bewegter Oberflächen

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE69703487D1 true DE69703487D1 (de) 2000-12-14
DE69703487T2 DE69703487T2 (de) 2001-06-13

Family

ID=8227260

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE69703487T Expired - Lifetime DE69703487T2 (de) 1997-08-22 1997-08-22 Verfahren und Vorrichtung zur automatischen Prüfung bewegter Oberflächen

Country Status (7)

Country Link
US (1) US6166393A (de)
EP (1) EP0898163B1 (de)
JP (1) JP3423688B2 (de)
AT (1) ATE197503T1 (de)
DE (1) DE69703487T2 (de)
ES (1) ES2153150T3 (de)
WO (1) WO1999010730A1 (de)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN107003115A (zh) * 2015-06-05 2017-08-01 新日铁住金株式会社 金属体的形状检查装置和金属体的形状检查方法

Families Citing this family (122)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2781570B1 (fr) * 1998-07-21 2000-08-25 Lorraine Laminage Dispositif de detection des defauts superficiels de bandes metalliques en defilement
KR100345001B1 (ko) * 1998-08-27 2002-07-19 삼성전자 주식회사 기판 납땜 검사용 조명 및 광학 장치
JP4110653B2 (ja) 1999-01-13 2008-07-02 株式会社ニコン 表面検査方法及び装置
SE514859C2 (sv) * 1999-01-18 2001-05-07 Mydata Automation Ab Förfarande och anordning för undersökning av objekt på ett substrat genom att ta bilder av substratet och analysera dessa
US7154527B1 (en) * 1999-02-25 2006-12-26 Visionsense Ltd. Optical device
DE19909534B4 (de) * 1999-03-04 2011-07-07 BYK-Gardner GmbH, 82538 Vorrichtung und Verfahren zur Bestimmung der Qualität strukturierter Oberflächen
FI111757B (fi) 1999-05-10 2003-09-15 Metso Automation Oy Menetelmä ja mittausjärjestely mitata paperin pintaa
DE19944216B4 (de) * 1999-09-15 2010-02-04 Armin Steuer Prägedruckverfahren und Prägedruckvorrichtung
JP4514007B2 (ja) 1999-12-28 2010-07-28 株式会社ブリヂストン 被検体の外観形状検査方法及び装置
FI20000032A0 (fi) * 2000-01-07 2000-01-07 Spectra Physics Visiontech Oy Järjestely ja menetelmä pinnan tarkistamiseksi
DE10019486A1 (de) * 2000-04-19 2001-10-31 Siemens Ag Anordnung zur Inspektion von Objektoberflächen
ATE504825T1 (de) * 2000-04-28 2011-04-15 Electro Scient Ind Inc Gerichtete beleuchtung und verfahren zur erkennung dreidimensionaler information
DE10051009A1 (de) * 2000-10-14 2002-05-02 Nat Rejectors Gmbh Verfahren zur Erkennung eines Prägebilds einer Münze in einem Münzautomaten
DE10063293A1 (de) * 2000-12-19 2002-07-04 Fraunhofer Ges Forschung Verfahren und Vorrichtung zur mehrkanaligen Inspektion von Oberflächen im Durchlauf
EP1220596A1 (de) 2000-12-29 2002-07-03 Icos Vision Systems N.V. Verfahren und Einrichtung zur Lageerfassung der Anschlusskontakte elektronischer Bauelemente
US6950547B2 (en) 2001-02-12 2005-09-27 3M Innovative Properties Company Web inspection method and device
GB0107900D0 (en) * 2001-03-29 2001-05-23 Post Office Improvements in monitoring systems
DE10117048C1 (de) * 2001-04-05 2002-08-22 Fraunhofer Ges Forschung Verfahren und Vorrichtung zur Detektion von Oberflächendefekten auf Messobjekten
DE10122313A1 (de) * 2001-05-08 2002-11-21 Wolfgang P Weinhold Verfahren und Vorrichtung zur berührungsfreien Untersuchung eines Gegenstandes, insbesondere hinsichtlich dessen Oberflächengestalt
DE10122917A1 (de) * 2001-05-11 2002-11-14 Byk Gardner Gmbh Vorrichtung und Verfahren zur Bestimmung der Eigenschaften von reflektierenden Körpern
DE10128476C2 (de) * 2001-06-12 2003-06-12 Siemens Dematic Ag Optische Sensorvorrichtung zur visuellen Erfassung von Substraten
GB2379818A (en) * 2001-07-25 2003-03-19 Univ Bristol Automatic surface inspection using plural different radiation sources.
US6919965B2 (en) 2002-03-09 2005-07-19 Kimberly-Clark Worldwide, Inc. Apparatus and method for making and inspecting pre-fastened articles
US6885451B2 (en) 2002-03-09 2005-04-26 Kimberly-Clark Worldwide, Inc. Infrared detection of composite article components
US6888143B2 (en) * 2002-03-09 2005-05-03 Kimberly-Clark Worldwide, Inc. Apparatus and method for inspecting pre-fastened articles
US6900450B2 (en) 2002-03-09 2005-05-31 Kimberly-Clark Worldwide, Inc. Method and apparatus for inferring item position based on multiple data
US6927857B2 (en) * 2002-03-09 2005-08-09 Kimberly-Clark Worldwide, Inc. Process for the detection of marked components of a composite article using infrared blockers
US7105848B2 (en) * 2002-04-15 2006-09-12 Wintriss Engineering Corporation Dual level out-of-focus light source for amplification of defects on a surface
US6934029B1 (en) * 2002-04-22 2005-08-23 Eugene Matzan Dual laser web defect scanner
US7123765B2 (en) * 2002-07-31 2006-10-17 Kimberly-Clark Worldwide, Inc. Apparatus and method for inspecting articles
DE10300608B4 (de) * 2003-01-10 2004-09-30 National Rejectors, Inc. Gmbh Verfahren zur Erkennung eines Prägebildes einer Münze in einem Münzautomaten
US20040150815A1 (en) * 2003-02-05 2004-08-05 Applied Vision Company, Llc Flaw detection in objects and surfaces
SE525502C2 (sv) * 2003-07-08 2005-03-01 Stora Enso Ab Metod och anordning för analysering av ytstrukturen hos en bana av papper eller kartong
US7236625B2 (en) * 2003-07-28 2007-06-26 The Boeing Company Systems and method for identifying foreign objects and debris (FOD) and defects during fabrication of a composite structure
JP4367085B2 (ja) * 2003-10-22 2009-11-18 富士ゼロックス株式会社 フォトセンサ装置
JP2005172814A (ja) * 2003-11-19 2005-06-30 Kansai Paint Co Ltd 反射紫外線測定装置
DE20320094U1 (de) * 2003-12-23 2004-03-11 Veka Ag Glanzmessungsvorrichtung
WO2005065367A2 (en) 2003-12-31 2005-07-21 3M Innovative Properties Company Maximation of yield for web-based articles
KR101203325B1 (ko) 2003-12-31 2012-11-20 쓰리엠 이노베이티브 프로퍼티즈 컴파니 시트-기반 물품에 대한 재고품 제어
JP4045248B2 (ja) * 2004-03-01 2008-02-13 ジヤトコ株式会社 無段変速機用ベルトの検査方法
JP2005283310A (ja) * 2004-03-29 2005-10-13 Jatco Ltd リング端面欠陥検査装置
JP2005283309A (ja) * 2004-03-29 2005-10-13 Jatco Ltd 金属表面の検査装置
US7623699B2 (en) 2004-04-19 2009-11-24 3M Innovative Properties Company Apparatus and method for the automated marking of defects on webs of material
DE102004023739A1 (de) * 2004-05-12 2005-12-15 Leica Microsystems Semiconductor Gmbh Messgerät und Verfahren zum Betreiben eines Messgeräts zur optischen Inspektion eines Objekts
DE102004037040B4 (de) * 2004-07-30 2013-11-21 Byk Gardner Gmbh Vorrichtung zur quantifizierten Bewertung von Oberflächeneigenschaften
CA2478757A1 (fr) * 2004-08-06 2006-02-06 Mario Talbot Detection du bois bleui et de la pourriture sur le bois d'oeuvre
US7471382B2 (en) * 2004-10-04 2008-12-30 Kla-Tencor Technologies Corporation Surface inspection system with improved capabilities
DE102004058408B4 (de) * 2004-12-03 2013-10-31 Byk Gardner Gmbh Vorrichtung zur Bestimmung von Oberflächeneigenschaften
US20060145100A1 (en) * 2005-01-03 2006-07-06 Kimberly-Clark Worldwide, Inc. System and method for detecting an object on a moving web
JP4797593B2 (ja) * 2005-03-10 2011-10-19 富士ゼロックス株式会社 光沢測定装置及びプログラム
JP4826750B2 (ja) * 2005-04-08 2011-11-30 オムロン株式会社 欠陥検査方法およびその方法を用いた欠陥検査装置
EP1879019B1 (de) * 2005-04-21 2015-02-25 Sumitomo Electric Industries, Ltd. Vorrichtung zur inspektion supraleitender leitungen
DE102005029901B4 (de) 2005-06-25 2022-10-06 Modi Modular Digits Gmbh Vorrichtung und Verfahren zum visuellen Erfassen von flächigen oder räumlichen Objekten
EP1752291A1 (de) * 2005-08-11 2007-02-14 DeCoSystem S.r.l. Verbesserte Verfahren und Vorrichtung zur Qualitätskontrolle von Druckerzeugnissen
DE102006009593B4 (de) * 2005-10-01 2008-12-18 Vistec Semiconductor Systems Gmbh Vorrichtung zur Aufnahme von mehreren Bildern von scheibenförmigen Objekten
US7372556B2 (en) * 2005-10-31 2008-05-13 The Boeing Company Apparatus and methods for inspecting a composite structure for inconsistencies
EP1949673B1 (de) 2005-11-10 2015-08-26 SAC Sirius Advanced Cybernetics GmbH Verfahren zur bildaufnahme
JP4621170B2 (ja) * 2006-06-05 2011-01-26 新日本製鐵株式会社 金属組織画像観察装置
US7834991B2 (en) * 2006-07-13 2010-11-16 Byk Gardner Gmbh Determining surface properties with angle offset correction
US7369240B1 (en) 2006-07-20 2008-05-06 Litesentry Corporation Apparatus and methods for real-time adaptive inspection for glass production
DE102006038615A1 (de) * 2006-08-17 2008-02-21 Massen Machine Vision Systems Gmbh Überwachung der Qualität von gemusterten, insbesondere räumlich gekrümmten Oberflächen
US8175739B2 (en) 2007-07-26 2012-05-08 3M Innovative Properties Company Multi-unit process spatial synchronization
US7542821B2 (en) 2007-07-26 2009-06-02 3M Innovative Properties Company Multi-unit process spatial synchronization of image inspection systems
JP5086734B2 (ja) * 2007-08-11 2012-11-28 花王株式会社 パレット検査装置
FI121151B (fi) 2007-11-22 2010-07-30 Valtion Teknillinen Menetelmä ja laitteisto liikkuvan pinnan topografian ja optisten ominaisuuksien määrittämiseksi
DE102008000774A1 (de) * 2008-03-19 2009-09-24 Voith Patent Gmbh Optisches Verfahren und Messvorrichtung für eine Fasern beinhaltende Bahn
EP2144052A1 (de) * 2008-07-11 2010-01-13 Dr. Schenk GmbH Industriemesstechnik Verfahren und Vorrichtung zum Detektieren und Klassifizieren von Defekten
WO2010006895A1 (de) * 2008-07-16 2010-01-21 Siemens Aktiengesellschaft Betriebsverfahren für eine ein metallband bearbeitende bearbeitungseinrichtung und anlage zum bearbeiten eines metallbandes
DE102008044991B4 (de) * 2008-08-29 2011-11-10 In-Situ Gmbh Verfahren und Vorrichtung zur dreidimensionalen Erfassung von Objektoberflächen
US7797133B2 (en) 2008-09-10 2010-09-14 3M Innovative Properties Company Multi-roller registered repeat defect detection of a web process line
US8502180B2 (en) * 2009-01-26 2013-08-06 Centre De Recherche Industrielle Du Quebec Apparatus and method having dual sensor unit with first and second sensing fields crossed one another for scanning the surface of a moving article
US9109330B2 (en) * 2009-03-09 2015-08-18 Honeywell International Inc. Apparatus and method for measuring properties of unstabilized moving sheets
NO336577B1 (no) * 2009-07-08 2015-09-28 Sapa As Fremgangsmåte og apparatur for inspeksjon av overflater
US20110035041A1 (en) * 2009-08-06 2011-02-10 Habakus Stephen J Systems and methods for feed control of rolled stock raw materials
CA2801097C (en) 2010-06-16 2015-08-04 Forensic Technology Wai, Inc. Acquisition of 3d topographic images of tool marks using non-linear photometric stereo method
DE102010060852B4 (de) 2010-11-29 2013-11-21 Breitmeier Messtechnik Gmbh Vorrichtung und Verfahren zur Erfassung einer Oberflächenstruktur einer Oberfläche eines Werkstücks
DE102010061559A1 (de) * 2010-12-27 2012-06-28 Dr. Schneider Kunststoffwerke Gmbh Vorrichtung zum Erkennen von Folienverarbeitungsfehlern
FR2977939B1 (fr) 2011-07-11 2013-08-09 Edixia Procede d'acquisition de plusieurs images d'un meme objet a l'aide d'une seule camera lineaire
JP5882730B2 (ja) 2011-12-28 2016-03-09 株式会社ブリヂストン 外観検査装置及び外観検査方法
CA2780202C (en) 2012-06-19 2014-11-18 Centre De Recherche Industrielle Du Quebec Method and system for detecting the quality of debarking at the surface of a wooden log
AT513126B1 (de) * 2012-08-01 2014-02-15 Ait Austrian Inst Technology Co-Occurrence Matrix
DE102012015579A1 (de) * 2012-08-08 2014-02-13 Premium Aerotec Gmbh Oberflächenschutzverfahren für Bauteile aus Aluminium bzw. Aluminiumlegierungen mit einem Nachweis einer unzulässigen Überhitzung
KR101480906B1 (ko) * 2012-11-15 2015-01-12 주식회사 포스코 잔류 스케일 측정 장치 및 방법
EP2929329B1 (de) * 2012-12-10 2020-05-06 Uster Technologies AG Vorrichtung zur optischen prüfung eines bewegten textilmaterials
US9581554B2 (en) * 2013-05-30 2017-02-28 Seagate Technology Llc Photon emitter array
JP5949690B2 (ja) * 2013-07-25 2016-07-13 Ｊｆｅスチール株式会社 評価方法及び評価装置
WO2015027014A1 (en) * 2013-08-21 2015-02-26 Severstal Dearborn, Llc Method for measuring surface characteristics of hot dipped galvanneal steel sheet
DE102013221334A1 (de) 2013-10-21 2015-04-23 Volkswagen Aktiengesellschaft Verfahren und Messvorrichtung zum Bewerten von Strukturunterschieden einer reflektierenden Oberfläche
WO2015098929A1 (ja) * 2013-12-27 2015-07-02 Ｊｆｅスチール株式会社 表面欠陥検出方法及び表面欠陥検出装置
CN104897679A (zh) * 2014-03-05 2015-09-09 鞍钢股份有限公司 一种钢板表面缺陷的检查方法
GB2526866A (en) * 2014-06-05 2015-12-09 Univ Bristol Apparatus for and method of inspecting surface topography of a moving object
JP6290720B2 (ja) * 2014-06-09 2018-03-07 株式会社キーエンス 検査装置、検査方法およびプログラム
EP2966593A1 (de) 2014-07-09 2016-01-13 Sick Ag Bilderfassungssystem zum Detektieren eines Objektes
AT516824A1 (de) * 2015-01-23 2016-08-15 Ait Austrian Inst Technology Verfahren und Vorrichtung zur Prüfung von OVI-Merkmalen
CN107076549B (zh) * 2015-05-29 2019-05-10 新日铁住金株式会社 金属体的形状检查装置和金属体的形状检查方法
JP6394514B2 (ja) * 2015-06-25 2018-09-26 Ｊｆｅスチール株式会社 表面欠陥検出方法、表面欠陥検出装置、及び鋼材の製造方法
EP3315951A4 (de) * 2015-06-25 2018-12-26 JFE Steel Corporation Vorrichtung zur erkennung von oberflächendefekten und verfahren zur erkennung von oberflächendefekten
WO2016208626A1 (ja) * 2015-06-25 2016-12-29 Ｊｆｅスチール株式会社 表面欠陥検出方法、表面欠陥検出装置、及び鋼材の製造方法
JP6447637B2 (ja) * 2015-06-25 2019-01-09 Ｊｆｅスチール株式会社 表面欠陥検出装置、表面欠陥検出方法、及び鋼材の製造方法
US11493454B2 (en) 2015-11-13 2022-11-08 Cognex Corporation System and method for detecting defects on a specular surface with a vision system
US10495581B2 (en) 2016-01-08 2019-12-03 SCREEN Holdings Co., Ltd. Defect detection device and defect detection method
JP6179680B1 (ja) * 2016-04-08 2017-08-16 新日鐵住金株式会社 表面状態監視装置及び表面状態監視方法
KR20200126025A (ko) * 2016-05-30 2020-11-05 봅스트 맥스 에스에이 표면 검사 시스템 및 표면 검사 방법
CA3021480C (en) * 2016-05-30 2022-08-16 Bobst Mex Sa An image capturing system and a method for determining the position of an embossed structure on a sheet element
WO2017207115A1 (en) * 2016-05-30 2017-12-07 Bobst Mex Sa Surface inspection system and inspection method
JP6769182B2 (ja) * 2016-09-01 2020-10-14 日本製鉄株式会社 鋼材の表面検査装置及び表面検査方法
DE102016012371B4 (de) 2016-10-15 2024-08-08 Volkswagen Aktiengesellschaft Verfahren und Anlage zum Ermitteln der Defektfläche mindestens einer Fehlstelle auf mindestens einer Funktionsoberfläche eines Bauteils oder Prüfkörpers
DE102017206058A1 (de) * 2017-04-10 2018-10-11 BSH Hausgeräte GmbH Bestimmen eines Verschmutzungsgrads in einem Garraum
JP6863206B2 (ja) * 2017-09-28 2021-04-21 日本製鉄株式会社 鋳片分析装置、鋳片分析方法及びプログラム
US11199504B2 (en) * 2017-12-08 2021-12-14 Nippon Steel Corporation Shape inspection apparatus and shape inspection method
JP7077635B2 (ja) * 2018-01-26 2022-05-31 王子ホールディングス株式会社 シート状物の欠陥検査装置及び製造方法
JP7087687B2 (ja) 2018-06-01 2022-06-21 株式会社サタケ 穀物の光沢測定装置
DE102018006760A1 (de) * 2018-08-27 2020-02-27 Mühlbauer Gmbh & Co. Kg Inspektion beim Übertragen elektronischer Bauteile von einem ersten zu einem zweiten Träger
WO2020150749A1 (en) * 2019-01-18 2020-07-23 Essenlix Corporation Multi-mode illumination system
JP7138194B2 (ja) * 2019-01-25 2022-09-15 タカノ株式会社 画像検査装置
JPWO2020158340A1 (ja) * 2019-02-01 2021-11-18 パナソニックＩｐマネジメント株式会社 検査装置、及び、検査方法
WO2020216959A1 (de) * 2019-04-25 2020-10-29 Hydro Aluminium Rolled Products Gmbh Oberflächenbehandlung von flachprodukten aus aluminiumlegierungen umfassend farbmessungen
EP3754324B1 (de) * 2019-06-19 2023-11-29 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Verfahren und vorrichtung zum klassifizieren einer partikelartigen verunreinigung auf einer oberfläche
EP3761017A1 (de) 2019-07-05 2021-01-06 Aleris Rolled Products Germany GmbH Verfahren und vorrichtung zur thermografischen inspektion der oberfläche eines sich bewegenden, warmgewalzten metallstreifenartikels
US11282187B2 (en) * 2019-08-19 2022-03-22 Ricoh Company, Ltd. Inspection system, inspection apparatus, and method using multiple angle illumination
KR20220123304A (ko) * 2020-01-20 2022-09-06 제이에프이 스틸 가부시키가이샤 표면 검사 장치, 표면 검사 방법, 강재의 제조 방법, 강재의 품질 관리 방법, 및 강재의 제조 설비
CN114689604A (zh) * 2020-12-29 2022-07-01 致茂电子(苏州)有限公司 具有光滑表面的待测物于光学检测上的影像处理方法及其检测系统

Family Cites Families (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4806776A (en) * 1980-03-10 1989-02-21 Kley Victor B Electrical illumination and detecting apparatus
JPS5952735A (ja) * 1982-09-20 1984-03-27 Kawasaki Steel Corp 熱間鋼片の表面欠陥検出方法
DE3242447C2 (de) * 1982-11-16 1986-01-23 Sophokles 8062 Markt Indersdorf Papaioannou Photoelektrische Kontrollvorrichtung zur Qualitätskontrolle einer bewegten Materialbahn
US4595289A (en) * 1984-01-25 1986-06-17 At&T Bell Laboratories Inspection system utilizing dark-field illumination
JPS61176825A (ja) * 1985-01-31 1986-08-08 Dainippon Printing Co Ltd 光センサヘツド
US5039868A (en) * 1988-11-24 1991-08-13 Omron Corporation Method of and apparatus for inspecting printed circuit boards and the like
AU8071791A (en) * 1990-06-22 1992-01-23 Alcan International Limited Illumination system for high speed surface inspection of rolled aluminum sheet
US5248876A (en) * 1992-04-21 1993-09-28 International Business Machines Corporation Tandem linear scanning confocal imaging system with focal volumes at different heights
JPH0658731A (ja) * 1992-06-11 1994-03-04 Fujitsu Ltd パターン検査装置
AU6014594A (en) * 1993-02-02 1994-08-29 Golden Aluminum Company Method and apparatus for imaging surfaces
DE19511534C2 (de) * 1995-03-29 1998-01-22 Fraunhofer Ges Forschung Verfahren und Vorrichtung zur Erfassung von 3D-Fehlstellen bei der automatischen Inspektion von Oberflächen mit Hilfe farbtüchtiger Bildauswertungssysteme
US5982493A (en) * 1998-06-02 1999-11-09 Motorola, Inc. Apparatus and method for acquiring multiple images

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN107003115A (zh) * 2015-06-05 2017-08-01 新日铁住金株式会社 金属体的形状检查装置和金属体的形状检查方法
CN107003115B (zh) * 2015-06-05 2019-08-09 日本制铁株式会社 金属体的形状检查装置和金属体的形状检查方法

Also Published As

Publication number Publication date
DE69703487T2 (de) 2001-06-13
WO1999010730A1 (en) 1999-03-04
JP2001514386A (ja) 2001-09-11
ES2153150T3 (es) 2001-02-16
EP0898163B1 (de) 2000-11-08
JP3423688B2 (ja) 2003-07-07
ATE197503T1 (de) 2000-11-11
EP0898163A1 (de) 1999-02-24
US6166393A (en) 2000-12-26

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE69703487D1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur automatischen Prüfung bewegter Oberflächen
DE69835243D1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur optischen Verstärkung und System mit dieser Vorrichtung
DE69724711D1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur optischen Inspektion
DE69637562D1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur optischen Signalverarbeitung
DE69912577D1 (de) Vorrichtung und verfahren zur optischen inspektion
DE69124469D1 (de) Vorrichtung und Verfahren zur Aufzeichnung eines Bildsignals
ATE98773T1 (de) Verfahren zur optischen analyse.
DE59107249D1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Prüfung von optischen Bauteilen, insbesondere augenoptischen Bauteilen und Einrichtung zum Beleuchten von klar-transparenten Prüfobjekten
DE69528647D1 (de) Apparat zur topometrischen erfassung eines optischen elementes
DE69019865D1 (de) Verfahren und Vorrichtung zum Identifizieren eines optischen Übertragungsmediums.
DE69025796D1 (de) Vorrichtung und Verfahren zur Bildabtastung
DE69117942D1 (de) Verfahren und vorrichtung zur optischen messung der konzentration eines analyten
DE19713964B8 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Erzeugung beidseitiger Bilder
DE69009109D1 (de) Vorrichtung und Verfahren zur Lichtmessung.
DE3850651D1 (de) Vorrichtung und verfahren zur schnellen detektion von bildfehlehrn.
DE69722876D1 (de) Vorrichtung und Verfahren zur optischen Profilmessung
ATE195812T1 (de) Verfahren und vorrichtung zur abstandsmessung
DE69719427D1 (de) Optische Vorrichtung zur schnellen Defektanalyse
ATE372256T1 (de) Verfahren und vorrichtung zur besichtigung unter wasser
DE69017029D1 (de) Verfahren und vorrichtung zur nichtzerstörenden prüfung.
DE59007108D1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Lagebestimmung eines Objektes.
DE69820523D1 (de) Apparat zur Messung eines optischen Transmissionsmerkmals und zugehörgies Kalibrierverfahren
DE69114256D1 (de) Verfahren und Apparat zur optischen Messung.
DE69912579D1 (de) Vorrichtung und verfahren zur aufzeichnung eines objektbildes
DE69941882D1 (de) Vorrichtung zur Überwachung der Qualität eines optischen Signals

Legal Events

Date Code Title Description
8364 No opposition during term of opposition
8327 Change in the person/name/address of the patent owner

Owner name: FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FOERDERUNG DER ANGEWAN

8320 Willingness to grant licences declared (paragraph 23)