AT515575B1 - Verfahren zur Behandlung von Kunststoffsubstraten und Vorrichtung zur Regeneration einer Behandlungslösung - Google Patents

Abstract

Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zur Behandlung von Kunststoffteilen mit einer Permanganat enthaltenden Behandlungslösung, wobei die Konzentration an Karbonatverbindungen in der Behandlungslösung durch Entfernung von Karbonatverbindungen mittel Ausfrieren und einer nachfolgenden Filtration auf einen Wert von weniger als 200 g/l, wobei die Behandlungslösung Natriumpermanganat enthält. Die Erfindung betrifft weiterhin eine Vorrichtung zur zumindest anteiligen Regeneration einer Permanganat enthaltenden Behandlungslösung, die der Behandlung und/oder dem Ätzen von Kunststoffteilen dient, durch Reduzierung einer Konzentration von in der Behandlungslösung enthaltenden Karbonatverbindungen zur Durchführung eines Verfahrens, wobei die Vorrichtung zumindest einen mit zu regenerierender Behandlungslösung zu beaufschlagendem Kühlbehälter aufweist, dem eine Filtereinrichtung zur Abtrennung der aus der Behandlungslösung abzutrennenden Karbonatverbindungen aus der Behandlungslösung nachgeschaltet ist; und außerdem die Verwendung der Erfindung zur Durchführung eines solchen Verfahrens. .

Description

Beschreibung

VERFAHREN ZUR BEHANDLUNG VON KUNSTSTOFFSUBSTRATEN UND VORRICHTUNGZUR REGENERATION EINER BEHANDLUNGSLÖSUNG

[0001] Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zur Behandlung, insbesondere zumÄtzen von Kunststoffsubstraten, insbesondere Leiterplatten und Leiterfolien mit einer Perman¬ganat enthaltenden Behandlungslösung mit den Merkmalen des unabhängigen Verfahrensan¬spruchs 1. Die Erfindung betrifft weiterhin eine Vorrichtung zur zumindest anteiligen Regenera¬tion einer Permanganat enthaltenden Behandlungslösung, die der Behandlung und/oder demÄtzen von Kunststoffteilen, insbesondere Leiterplatten und Leiterfolien dient, mit den Merkma¬len des unabhängigen Vorrichtungsanspruchs 8.

[0002] Das Behandeln bzw. Ätzen von Kunststoffsubstraten wie z.B. Kunststoffformteilen oderinsbesondere Leiterplatten oder Leiterfolien mit permanganathaltiger Lösung erfolgt oft alsvorbereitender Schritt zum Metallisieren der Oberflächen oder auch Bohrungen des Substrates.Dazu werden die Substrate in einem Behandlungsbehälter einer Tauchanlage oder einer Durch¬laufanlage mit horizontaler Transportrichtung mit einer geeigneten Behandlungslösung in Kon¬takt gebracht, wobei die Lösung eine Temperatur von 50 °C bis fast 100 °C haben kann.

[0003] Aus der EP 1 657 324 B1 ist ein Verfahren zur Metallisierung von isolierenden odernichtleitenden Substraten durch Ätzen mittels einer Ätzlösung bekannt, bei dem die Konzentra¬tion, die Temperatur und die Zeit für ein Aufrauen und zum Metallisieren der Oberfläche derSubstrate gesteuert wird.

[0004] Da eine derartige Behandlungslösung bei länger andauerndem Einsatz ihre Behand¬lungseigenschaften verschlechtert, muss sie regelmäßig ergänzt werden oder ganz oder teil¬weise ausgetauscht werden, was mit hohen Kosten verbunden ist.

[0005] Ein erstes Ziel der vorliegenden Erfindung besteht darin, ein Verfahren zur Behandlung,insbesondere zum Ätzen von Kunststoffsubstraten, insbesondere Leiterplatten und -folien, miteiner Behandlungslösung, z.B. einer Permanganat enthaltenden Lösung, zur Verfügung zustellen, das eine verlängerte Einsatzdauer der Behandlungslösung ermöglicht. Ein zweites Zielbesteht darin, eine Vorrichtung zur effektiven und kostensparenden Regeneration der Behand¬lungslösung zur Verfügung zu stellen, um das Verfahrensziel zu erreichen.

[0006] Diese Ziele werden mit den Gegenständen der unabhängigen Patentansprüche erreicht.Merkmale vorteilhafter Weiterbildungen der Erfindung ergeben sich aus den abhängigen An¬sprüchen. So schlägt die vorliegende Erfindung zur Erreichung des erstgenannten Ziels einVerfahren zur Behandlung, insbesondere zum Ätzen, von Kunststoffsubstraten wie Kunststoff¬formteilen und insbesondere Leiterplatten und Leiterfolien mit einer Behandlungslösung vor,welche Permanganat enthält. Bei diesem Verfahren ist es vorgesehen, dass die Karbonatkon¬zentration, bezogen auf Natriumkarbonat Na2C03, an in gelöster Form vorliegenden Karbonat¬verbindungen in der Behandlungslösung auf einen Sollwert durch Entfernung von Karbonatver¬bindungen aus der Behandlungslösung eingestellt wird. Die gelösten Karbonatverbindungenwerden hierbei mittels Ausfrieren in eine feste Form überführt und durch eine nachfolgendeFiltration aus der Behandlungslösung entfernt. Unter Filtration ist ein Vorgang zu verstehen, beiwelchem feste Partikel aus einer Lösung entfernt werden.

[0007] Der Sollwert wird bei dem erfindungsgemäßen Verfahren auf einen Wert von weniger als200 g/l eingestellt. Vorzugsweise wird bei dem Verfahren die Konzentration an Karbonatverbin¬dungen in der Behandlungslösung auf einen Wert von 30 bis 150 g/l eingestellt. Besondersbevorzugt wird bei dem Verfahren die Konzentration an Karbonatverbindungen in der Behand¬lungslösung auf einen Wert von 50 bis 100 g/l eingestellt. Karbonat ist ein Reaktionsprodukt ausder Reaktion der Behandlungslösung mit dem Kunststoffsubstrat.

[0008] Das Ausfrieren der Karbonatverbindungen kann durch komplettes oder teilweises Über¬führen der Behandlungslösung in einen Kühlbehälter und anschließendes Abkühlen der Be¬ handlungslösung in dem Kühlbehälter erfolgen. Durch nachfolgendes Überführen von im Kühl¬behälter gekühlter und ausgefrorenes Karbonat enthaltender Behandlungslösung in eine nach¬geschaltete Filtereinrichtung kann dann das Karbonat durch Filtration aus der Lösung entferntwerden.

[0009] Damit aus der Behandlungslösung Karbonatverbindungen durch Ausfrieren und an¬schließende Filtration entfernt werden können, enthält sie Natriumpermanganat. Bevorzugtbesteht ihr Permanganatanteil zu mehr als 50% aus Natriumpermanganat (Na2Mn04).

[0010] Bei dem erfindungsgemäßen Verfahren kann das Ausfrieren der Karbonatverbindungeninsbesondere durch Kühlen der Behandlungslösung auf eine Temperatur von -12 bis +12 °C,insbesondere von -9 bis +10 °C, vorzugsweise von - 7 bis +5 °C erfolgen.

[0011] Das Verfahren zur Entfernung des Karbonates kann derart ablaufen, dass die zu rege¬nerierende Permanganatlösung, welche sich auf Behandlungstemperatur von z.B. 50 °C bis 98°C befindet, aus dem Behandlungsbehälter in einen Kühlbehälter gefördert wird. Dabei kann dieLösung eine oder zwei Vorkühler durchlaufen. In dem Kühlbehälter wird die Lösung auf dieAusfriertemperatur abgekühlt, bspw. auf eine Temperatur von 0 °C oder weniger, so dass infol¬ge der niedrigen Temperatur feste Karbonatkristalle in der Lösung gebildet werden. Nach demErreichen der Ausfriertemperatur, evtl, auch nach einer Wartezeit ab dem Erreichen der Aus¬friertemperatur, wird die Lösung mit den Karbonatkristallen, komplett oder bevorzugt nur zueinem Teil, aus dem Kühlbehälter auf die Filtereinrichtung gefördert. Dort werden die Kristalleabfiltriert, evtl, dabei unterstützt durch einen am Filter anliegenden Unterdrück. Das Filtrat kannin den Behandlungsbehälter zurückgefördert werden, wobei es einen der Vorkühler durchlaufenkann und dabei selber wieder erwärmt wird. Der aus den Karbonatkristallen gebildete Filterku¬chen kann vom Filter abgespült werden und zum Abwasser gefördert werden.

[0012] E ine weitere vorteilhafte Variante des Verfahrens sieht vor, dass zusätzlich zu vorbe¬schriebenem Verfahren eine elektrolytische Permanganatregeneration der Behandlungslösung,beschrieben z.B. in WO 01 90 442 A1, durchgeführt wird. Dabei wird das durch die Reaktiondes Permanganates der Behandlungslösung in dem Behandlungsbehälter mit dem Substratentstandene Manganat durch Inkontaktbringen der Behandlungslösung mit einer geeignetenelektrolytischen Zelle durch anodische Oxidation zu Permanganat zurückverwandelt. Geradedurch die Kombination zumindest eines der erfindungsgemäßen Verfahren zur Einstellung einerbestimmten Karbonatkonzentration in der Behandlungslösung mit der elektrolytischen Perman¬ganatregeneration kann die Effizienz der Permanganatregeneration gesteigert und eine beson¬ders lange Standzeit der Behandlungslösung erreicht werden.

[0013] Das zweite Ziel der vorliegenden Erfindung wird mit einer Vorrichtung zur Regenerationder Permanganat enthaltenden Behandlungslösung durch Reduzierung einer Konzentration vonin der Behandlungslösung enthaltenen Karbonatverbindungen zur Durchführung eines Verfah¬rens gemäß den Ansprüchen erreicht. Dabei weist die Vorrichtung zumindest einen mit zuregenerierender Behandlungslösung zu beaufschlagenden Kühlbehälter auf, der eine demBehälter zugeordnete Kühleinrichtung besitzt, und dem eine Filtereinrichtung zur Abtrennungder aus der Behandlungslösung abzutrennenden Karbonatverbindungen nachgeschaltet ist.

[0014] Die Filtereinrichtung kann wenigstens einen Filterbehälter und einen Filter, z.B. einFiltersieb umfassen. Der Filterbehälter kann mit einer Unterdruckeinrichtung zur Erhöhung deran dem Filter für die Filtration wirkenden Druckdifferenz verbunden sein, um so eine schnellereFiltration zu erreichen.

[0015] In dem Filterbehälter kann der Filter bewegbar, z.B. kippbar oder drehbar angeordnetsein, um die Reinigung des Filters zu erleichtern.

[0016] Die erfindungsgemäße Vorrichtung gemäß einer der zuvor beschriebenen Ausführungs¬varianten eignet sich zur Durchführung eines Verfahrens gemäß einer der oben genanntenVerfahrensvarianten oder -alternativen.

[0017] Im Folgenden sollen Ausführungsbeispiele die Erfindung und ihre Vorteile anhand derbeigefügten Figuren näher erläutern. Die Größenverhältnisse der einzelnen Elemente zueinan¬der in den Figuren entsprechen nicht den realen Größenverhältnissen, da einige Formen ver¬einfacht und andere Formen zur besseren Veranschaulichung vergrößert im Verhältnis zuanderen Elementen dargestellt sind.

[0018] Fig. 1 zeigt eine Ausführungsvariante einer Vorrichtung zur Regeneration der Behand¬ lungsflüssigkeit, die dem Behandeln, z.B. Ätzen von Kunststoffteilen wie bspw.Leiterplatten o. dgl. dient.

[0019] Fig. 2 zeigt eine Reinigungseinheit der Vorrichtung gemäß Fig. 1 in schematischer

Darstellung.

[0020] Fig. 3 zeigt eine schematische Ansicht einer Filtereinheit, die Teil einer Filtereinrich¬ tung gemäß Fig. 1 und Fig. 2 ist.

[0021] Für gleiche oder gleich wirkende Elemente der Erfindung werden identische Bezugszei¬chen verwendet. Die dargestellten Ausführungsformen stellen lediglich Beispiele dar, wie dieerfindungsgemäße Vorrichtung oder das erfindungsgemäße Verfahren ausgestaltet sein kön¬nen und stellen keine abschließende Begrenzung dar.

[0022] Die schematische Darstellung der Fig. 1 zeigt eine Variante einer erfindungsgemäßenVorrichtung 10 zur zumindest anteiligen Regeneration einer Permanganat enthaltenden Be¬handlungslösung 12 in einem Behandlungsbehälter 14. Der Behandlungsbehälter 14 dient derBehandlung wie z.B. dem Ätzen von Kunststoffsubstraten. Mit Hilfe der Vorrichtung 10 soll dieKonzentration von in der Behandlungslösung 12 enthaltenen Karbonatverbindungen reduziertwerden. Die Vorrichtung 10 besitzt als wesentliche Bestandteile einen Kühlbehälter 16 und einenachgeschaltete Filtereinrichtung 20. Die zu regenerierende Behandlungslösung 12 wird ausdem Behandlungsbehälter 14 in den Kühlbehälter 16 gefördert, dem eine Kühleinrichtung 18zugeordnet ist. Die Kühleinrichtung 18 gibt die Kälte über einen von dem Kühlmittel durchström¬ten Wärmetauscher, vorzugsweise einen Kühlmantel 19 um den Kühlbehälter 16, an die imKühlbehälter 16 befindliche Behandlungslösung ab. Der Ablauf 35 des Kühlbehälters 16 ist miteiner Filtereinrichtung 20 zur Abtrennung der aus der Behandlungslösung abzutrennendenfesten Karbonatverbindungen verbunden.

[0023] Zwischen dem Behandlungsbehälter 14 und dem Kühlbehälter 16 kann ein Vorkühler 22angeordnet sein, der bspw. als Wärmetauscher ausgebildet ist, so dass gekühlte und regene¬rierte Behandlungslösung 12, also das Filtrat oder Spülwasser aus der Filtereinrichtung 20 zurVorkühlung der zum Kühlbehälter 16 geleiteten zu regenerierenden Behandlungslösung 12genutzt werden kann.

[0024] Die Filtereinrichtung 20 kann mit einer Unterdruckeinheit 24 gekoppelt sein, die dasAbtrennen von festen Bestandteilen aus der Behandlungslösung erleichtert.

[0025] Es hat sich gezeigt, dass bei einem raschen Filtrationsvorgang eine deutlich größereMenge an Karbonatkristallen ausfiltriert werden kann. Durch die Unterdruckeinrichtung 24 stehtan dem Filter eine deutlich höhere Druckdifferenz für die Filtration zur Verfügung, was einedeutlich schnellere Filtration ermöglicht. Der Filterkuchen aus abfiltrierten Karbonatkristallenkann über eine Spüleinrichtung 28 gespült werden, um anhaftendes Permanganat zu entfernen.Die daraus entstehende Spülwasserlösung kann in den Behandlungsbehälter 14 gefördertwerden. Der Filterkuchen wird über die Spüleinrichtung 28 von dem Filter abgespült und dieentstehende Lösung bzw. der Schlamm über die Ablaufleitung 26 z.B. einer Entsorgung zuge¬führt. In der Filtereinrichtung 20 anfallendes Filtrat, also regenerierte Behandlungslösung, wirdvorzugsweise wieder zurück in den Behandlungsbehälter 14 gefördert. Dazu kann sie denVorkühler 22 durchlaufen und dabei selber wieder erwärmt werden, wobei die Behandlungslö¬sung, welche aus dem Behandlungsbehälter 14 in den Kühlbehälter gefördert wird, abgekühltwird.

[0026] Der Kühlbehälter 16 ist vorzugsweise mit einer, z.B. motorbetriebenen, Rühreinrichtung32 ausgestattet, die bspw. durch rotierende Rührflügel mit vertikal verlaufenden Leisten gebildetist, welche typischerweise dicht an der Behälterinnenwand entlang bewegt werden, um dieKarbonatkeime, die sich an der Behälterinnenwand bilden, von der Wand abzulösen und in derLösung zu verteilen. Vorzugsweise sind die Rührflügel in einen trichterförmigen Boden 34 desKühlbehälters 16 verlängert (hier nicht dargestellt) und reichen in diesen hinein, um weitgehendalle sich an den Wänden absetzenden festen Bestandteile der Behandlungslösung 12 erfassenzu können. Die Abstände der Leisten zur Wand können bspw. kleiner als 20 mm, insbesonderekleiner als 5 mm, vorzugsweise ca. 1 mm betragen. Die Rühreinrichtung kann bis in den Ablauf35 des Kühlbehälters hineinreichen, um auch an dessen Wand Karbonatkristalle entfernen zukönnen.

[0027] Die Regeneration der Behandlungslösung 12 dient der Verlängerung ihrer Einsatzdauer,da die übliche Standzeit der Behandlungslösung 12 meist relativ kurz ist. Dies hängt ganz we¬sentlich mit der Bildung von Karbonatverbindungen in der Lösung zusammen, die das Ätzver¬halten negativ beeinflussen können. Aus diesem Grund dient die erfindungsgemäße Regenera¬tionsvorrichtung 10 zur Reduzierung der Karbonatkonzentrationen auf einen Wert von vorzugs¬weise weniger als 200 g/l, insbesondere auf Werte zwischen 30 und 150 g/l, wobei zur Erzie¬lung optimaler Ergebnisse Konzentrationswerte zwischen 50 und 100 g/l (gemessen als GrammNatriumkarbonat je Liter der Behandlungslösung) angestrebt werden. Um den gewünschtenKonzentrationsbereich der Behandlungslösung 12 einzustellen, wird Karbonat, welches durchden Ätzprozess gebildet wird, mittels der Vorrichtung 10 aus der Lösung 12 entfernt. Dies er¬folgt durch Ausfrieren des Karbonates aus der Behandlungslösung 12 im Kühlbehälter 16,indem es aus einem gelösten Zustand in eine nicht gelöste Form überführt wird. Dabei soll auswirtschaftlichen Gründen möglichst wenig Permanganat in eine nicht gelöste Form überführtwerden. Durch die Verwendung von Natriumpermanganat kann eine geeignete Ausfriertempe¬ratur ausgewählt werden, die dazu geeignet ist Karbonat auszufrieren, ohne dabei zu großeAnteile an Permanganat auszufrieren.

[0028] Mittels der Filtereinrichtung 20 erfolgt ein schnelles Abtrennen des ausgefrorenen Kar¬bonates unter möglichst geringer Auflösung des ausgefrorenen Karbonates.

[0029] Die Temperatur im Kühlbehälter 16 ist so einzustellen, dass sich die Karbonatkristalle inder Behandlungslösung oder der Innenwand bilden. Zum Ausfrieren des Karbonats wird eineTemperatur der Lösung von -12 bis +12 °C, insbesondere von -9 bis +10 °C, vorzugsweise vonca. -7 bis +5 °C eingestellt. Die Temperatur der Kühlflüssigkeit liegt entsprechend niedriger.

[0030] Die Menge der in den Kühlbehälter 16 überführten Behandlungslösung ist so zu bemes¬sen, dass die für das Ausfrieren des Karbonats notwendigen Temperaturen nicht überschrittenwerden, um eine Rücklösung von schon gebildeten Karbonatkeimen zu vermeiden, was an¬sonsten die Bildungsrate von ausgefrorenem Karbonat deutlich reduzieren würde. Das Überfüh¬ren von Teilen der Behandlungslösung in den Kühlbehälter 16 und das Überführen von imKühlbehälter gekühlter und ausgefrorenes Karbonat enthaltender Behandlungslösung aus demKühlbehälter 16 in die nachgeschaltete Filtereinrichtung 20 kann derart erfolgen, dass die Tem¬peratur der Behandlungslösung in dem Kühlbehälter nicht die Ausfriertemperatur überschreitet.Vorzugsweise erfolgt eine Zu- und Abführung der Behandlungslösung in den Kühlbehälter 16 inTeilvolumina, z.B. kleiner als 10 I, bezogen auf das Betriebsvolumen des Kühlbehälters 16, z.B.größer als 50 I. Die entsprechenden Teilvolumina können über die Zulaufpumpe 21 und dieTransferpumpe 37 eingestellt und gefördert werden. Die Rücklaufpumpe 23 sorgt für die Rück¬führung von dekarbonierter, also regenerierter Behandlungslösung und der Spüllösung aus demSpülen des Filterkuchens zurück zum Behandlungsbehälter 14, wobei diese Lösungen dieVorkühleinrichtung 22 durchströmen können.

[0031] Das schematische Blockschaltbild der Fig. 2 verdeutlicht gegenüber Fig. 1 weitere kon¬struktive Details der Reinigungseinheit 36, die im Wesentlichen die Filtereinrichtung 20 umfasst.Die Filtereinrichtung 20 kann im Wesentlichen aus einem Filterbehälter 42 und einem Filter wiez.B. einem Filtersieb 56 bestehen.

[0032] Um eine hohe Ausbeute an ausfiltriertem Karbonat zu erreichen, hat es sich als vorteil¬haft herausgestellt, den Filtrationsvorgang, gemessen ab der Zugabe der gekühlten Behand¬lungsflüssigkeit, vorzugsweise einer Teilmenge der Behandlungsflüssigkeit in dem Kühlbehälter16, auf die Filtereinrichtung 20 bis zum Ende der Bildung des Filterkuchens in möglichst kurzerZeit durchzuführen. Daher wird die Filtration in weniger als 10 Minuten, bevorzugt in weniger als200 Sekunden durchgeführt. Alternativ kann die Filtereinrichtung 20 auch gekühlt werden, z.B.über einen Kühlmantel. Dann sind auch längere Filtrationszeiten möglich.

[0033] Der Kühlbehälter 16, die Transferleitung 38 zwischen dem Kühlbehälter 16 und derFiltereinrichtung 20 sowie auch deren Behälter 42 können thermisch isoliert sein.

[0034] Eine verbesserte Filterwirkung und Abtrennwirkung kann dadurch erreicht werden, dassmit einer Druckdifferenz gearbeitet wird. Mittels der Unterdruckleitung 46 kann der Behälter 42mit Unterdrück von der Unterdruckeinheit 24 beaufschlagt werden.

[0035] Nach der Filtration kann der Filterkuchen mit Wasser, bevorzugt mit gekühltem Wasservon weniger als 10 °C, gespült werden, das aus der Spülwasserleitung 40 über die Düsen 52(vgl. Fig. 3) eingeleitet wird. Dadurch kann anhaftende Permanganatlösung ausgewaschen undzum Behandlungsbehälter 14 zurückgeführt werden. Dabei kann das Spülwasser mit Unter¬drück bzw. Vakuum durch den Filter 56 gesaugt werden. Der Filter 56 wird nach dem Filtrati¬onsvorgang von dem Filterkuchen, bestehend aus den Karbonatkristallen, unter Verwendungvon Wasser, bevorzugt ungekühltem oder erwärmtem Wasser, über die Düsen 52 gereinigt unddie karbonathaltige Lösung bzw. der Schlamm über die Ablaufleitung 26 entsorgt.

[0036] Die schematische Darstellung der Fig. 3 verdeutlicht eine mögliche Ausführungsvarianteder Filtereinrichtung 20. An einem oberen Bereich innerhalb des Filterbehälters 42 weist derFilterbehälter 42 Düsen 52 auf Höhe des Filters bzw. Filtersiebes 56 auf. Sie dienen zur Spü¬lung des Filterkuchens oder der Reinigung des Filters vom Filterkuchen mit Wasser aus derSpülwasserleitung 40. Das Filtrat wird über die Rücklaufleitung 44 abgezogen.

[0037] Der Filter 56 kann kippbar, z.B. um eine horizontale Achse drehbar ausgeführt sein. Erbefindet sich dann im Betriebsmodus in horizontaler Lage und kann zu Reinigungszwecken ineine schräge oder vertikale Lage gebracht werden. Er kann auch um 180° gekippt oder gedrehtwerden. Um das Filtersieb 56 gut reinigen zu können, befinden sich die Düsen 52 jeweils ineiner Höhe ober- und unterhalb der Ebene des horizontal liegenden Siebs 56. Zum Reinigenwird das Filtersieb 56 gekippt oder gedreht und mit Spülwasser auf der Oberseite und der Un¬terseite angesprüht.

[0038] Die Belüftung 30 und die Unterdruckleitung 46 der Unterdruckeinrichtung 24 münden ineinem oberen Bereich, aber unterhalb des Filters, in den Behälter 42. Die Unterdruckeinrichtung24 kann zu wesentlichen Teilen aus einer Unterdruckpumpe 59, einem Unterdruckbehälter 58und einem Absperrventil 57 bestehen.

[0039] Wie Fig. 1 zeigt, kann die vorstehende Vorrichtung 10 zur Einstellung einer Karbonat¬konzentration in der Behandlungslösung auch mit einer elektrolytischen Regeneriereinrichtung11 zur Oxidation des bei der Ätzreaktion entstehenden Manganates in Permanganat kombiniertwerden. Beide Regeneriereinrichtungen können dann über ihre Zu- und Rückführleitungen 25,44, 64, 65 mit dem Behandlungsbehälter 14 verbunden sein. BEZUGSZEICHENLISTE: 10 Vorrichtung 11 elektrolytische Regeneriereinrichtung 12 Behandlungslösung14 Behandlungsbad16 Kühlbehälter 18 Kühleinrichtung 19 Kühlmantel 20 Filtereinrichtung 21 Zulaufpumpe 22 Vorkühler 23 Rücklaufpumpe 24 Unterdruckeinheit 25 Zulaufleitung 26 Ablaufleitung, Entsorgung28 Spüleinrichtung 30 Belüftung32 Rühreinrichtung 34 Boden, trichterförmiger Boden 35 Ablauf 36 Reinigungseinheit 37 T ransferpumpe 38 Transferleitung40 Spülwasserleitung 42 Behälter, Filterbehälter44 Rücklaufleitung46 Unterdruckleitung52 Düsen 56 Filtersieb 57 Absperrventil 58 Unterdruckbehälter 59 Unterdruckpumpe 64 Rücklaufleitung 65 Zulaufleitung

Claims (7)

1. Patentansprüche 1. Verfahren zur Behandlung, insbesondere zum Ätzen, von Kunststoffteilen, insbesondereLeiterplatten und Leiterfolien, mit einer Permanganat enthaltenden Behandlungslösung,dadurch gekennzeichnet, dass die Konzentration an Karbonatverbindungen in der Be¬handlungslösung durch Entfernung von Karbonatverbindungen aus der Behandlungslö¬sung mittels Ausfrieren und einer nachfolgenden Filtration auf einen Wert von weniger als200 g/l, insbesondere zwischen 30 bis 150 g/l, ganz besonders zwischen 50 bis 100 g/l,eingestellt wird, wobei die Behandlungslösung Natriumpermanganat enthält.
2. 2. Verfahren nach Anspruch 1, wobei der Permanganatanteil in der Behandlungslösung zumehr als fünfzig Prozent aus Natriumpermanganat besteht.
3. 3. Verfahren nach einem der vorherigen Ansprüche, bei dem das Ausfrieren der Karbonat¬verbindungen durch Kühlen der Behandlungslösung auf eine Ausfriertemperatur von -12bis +12 °C, insbesondere von -9 bis +10 °C, vorzugsweise von -7 und +5 °C, erfolgt.
4. 4. Verfahren nach einem der vorherigen Ansprüche, wobei das Überführen von Teilen derBehandlungslösung in einen Kühlbehälter und das Überführen von im Kühlbehälter gekühl¬ter und ausgefrorenenes Karbonat enthaltender Behandlungslösung aus dem Kühlbehälterin eine nachgeschaltete Filtereinrichtung derart erfolgt, dass die Temperatur der Behand¬lungslösung in dem Kühlbehälter nicht die Ausfriertemperatur überschreitet.
5. 5. Verfahren nach einem der vorherigen Ansprüche, gekennzeichnet dadurch, dass zusätz¬lich das durch die Reaktion des Permanganates der Behandlungslösung in dem Behand¬lungsbehälter mit dem Kunststoffsubstrat entstehende Manganat durch Inkontaktbringender Behandlungslösung mit einer elektrolytischen Zelle zu Permanganat umgewandeltwird.
6. 6. Vorrichtung zur Reduzierung der Konzentration an Karbonatverbindungen in einer Per¬manganat enthaltenden Behandlungslösung, die der Behandlung und/oder dem Ätzen vonKunststoffteilen, insbesondere Leiterplatten und Leiterfolien, in einem Verfahren gemäß ei¬nem der Ansprüche 1 bis 5 dient, wobei die Vorrichtung zumindest einen mit Behandlungs¬lösung zu beaufschlagenden Kühlbehälter aufweist, dem eine Filtereinrichtung zur Abtren¬nung der aus der Behandlungslösung abzutrennenden Karbonatverbindungen aus der Be¬handlungslösung nachgeschaltet ist.
7. 7. Vorrichtung nach Anspruch 6, bei der die Filtereinrichtung zumindest einen Filterbehälterund einen Filter umfasst, wobei der Filterbehälter mit einer Unterdruckeinrichtung gekop¬pelt ist. Hierzu 3 Blatt Zeichnungen