WO2020196791A1 - 銅合金条材およびその製造方法、それを用いた抵抗器用抵抗材料ならびに抵抗器 - Google Patents

銅合金条材およびその製造方法、それを用いた抵抗器用抵抗材料ならびに抵抗器 Download PDF

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WO2020196791A1
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less
copper alloy
oxide film
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紳悟 川田
俊太 秋谷
樋口　優
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古河電気工業株式会社
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    • C22F1/08—Changing the physical structure of non-ferrous metals or alloys by heat treatment or by hot or cold working of copper or alloys based thereon
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Definitions

  • the present invention relates to a copper alloy strip, a method for producing the same, a resistor material for a resistor using the same, and a resistor, and particularly to a copper alloy strip having a stable resistance even when the environmental temperature changes.
  • the metal material of the resistor used for the resistor is required to have a small temperature coefficient of resistance (TCR), which is an index thereof, so that the resistance of the resistor is stable even if the ambient temperature changes.
  • TCR temperature coefficient of resistance
  • the temperature coefficient of resistance represents the magnitude of change in resistance value with temperature as a fraction (ppm) per 1 ° C.
  • TCR ( ⁇ 10-6 / K) (RR 0 ). / that R 0 ⁇ 1 / (T- T 0) ⁇ 10 6 is represented by the formula.
  • T in the equation indicates the test temperature (° C.)
  • T 0 indicates the reference temperature (° C.)
  • R indicates the resistance value ( ⁇ ) at the test temperature T
  • R 0 indicates the resistance value ( ⁇ ) at the test temperature T 0 . ..
  • Cu-Mn-Ni alloys and Cu-Mn-Sn alloys have been proposed as metal materials constituting the resistance material (see, for example, Patent Document 1). These metallic materials have very low TCR.
  • a copper-based alloy material containing a predetermined amount of manganese as shown in Patent Document 1 has a stable temperature coefficient of resistance, but in such a copper alloy, the surface is easily oxidized to form an oxide film. Due to the oxide of manganese formed in this manner, the solder wettability is lowered and the adhesion to the solder is low.
  • Patent Document 2 In order to prevent oxidation of the surface of the copper alloy material used as the resistance material and suppress the change in the resistance value of the copper alloy material, for example, in Patent Document 2, the surface of the copper alloy material to which aluminum and tin are added is heat-treated. A material obtained by oxidizing the material has been proposed.
  • the present invention has been made in view of the above circumstances, and an object of the present invention is to provide a copper alloy material having stable resistance even when the ambient temperature changes and having good solder mountability. ..
  • the present inventors have a composition in which the copper alloy strip contains 3% by mass or more and 20% by mass or less of manganese, and the balance is composed of copper and unavoidable impurities, by Auger electron spectroscopy.
  • the ratio of the Mn content to the Cu content (surface layer [Mn / Cu] ratio) measured in the surface layer region partitioned between the surface and the surface layer region at a position of 0.05 ⁇ m in the depth direction from the surface is the mass ratio.
  • the gist structure of the present invention is as follows.
  • the ratio of the Mn content to the Cu content (surface layer [Mn / Cu] ratio) measured in the surface layer region partitioned from the surface at a position of 0.05 ⁇ m in the depth direction is converted into a mass ratio.
  • a method for producing a copper alloy strip which comprises removing the above with an aqueous sulfuric acid solution.
  • the method for producing a copper alloy strip according to (5) above which further comprises the second cold rolling step [step 8] after the first oxide film removing step [step 7]. .. (7)
  • the second oxide film forming step includes the second oxide film forming step.
  • the second cold-rolled sheet obtained in the second cold rolling step is heated at 200 ° C. or higher and 800 ° C.
  • a second oxide film is formed, and in the second oxide film removing step, the second oxide film of the second cold-rolled plate formed in the second oxide film forming step is removed with a sulfuric acid aqueous solution.
  • the copper alloy strip contains 3% by mass or more and 20% by mass or less of manganese, and the balance is composed of copper and unavoidable impurities. From the surface and the surface by Auger electron spectroscopy. The ratio of the Mn content to the Cu content (surface layer [Mn / Cu] ratio) measured in the surface layer region partitioned by the 0.05 ⁇ m position in the depth direction is 0.03 in terms of mass ratio. By less than, the copper alloy strip has stable resistance even when the ambient temperature changes, and has good solder mountability.
  • the copper alloy strip according to the present invention is a copper alloy strip containing 3% by mass or more and 20% by mass or less of manganese, and the balance is composed of copper and unavoidable impurities, and the surface is subjected to Auger electron spectroscopy.
  • the ratio of the Mn content to the Cu content (surface layer [Mn / Cu] ratio) measured in the surface layer region partitioned from the surface at a position of 0.05 ⁇ m in the depth direction is converted into a mass ratio. , Less than 0.030.
  • the surface has a small amount of Mn and has a high adhesion to the solder.
  • Mn is abundantly present in the copper alloy strip as a whole in an amount of 3% by mass or more, the alloy strip having electrical characteristics as a whole has a lower resistance temperature coefficient. .. Therefore, such a copper alloy strip has stable resistance even when the ambient temperature changes, and has good solder mountability.
  • the copper alloy strip of the present invention contains manganese (Mn) of 3% by mass or more and 20% by mass or less.
  • Mn manganese
  • the temperature coefficient of resistance can be lowered without lowering the solder wettability of the surface of the copper alloy material.
  • the manganese content is less than 3% by mass, the effect of lowering the temperature coefficient of resistance cannot be sufficiently obtained.
  • the manganese content is more than 20% by mass, the surface characteristics may be significantly deteriorated.
  • the manganese content is preferably 5% by mass or more.
  • the ratio of the Mn content to the Cu content measured by Auger electron spectroscopy in the surface layer region divided by the surface and the position 0.05 ⁇ m in the depth direction from the surface. is less than 0.030 in terms of mass ratio.
  • the surface layer [Mn / Cu] ratio is, for example, preferably 0.028 or less, more preferably 0.025 or less, and even more preferably 0.022 or less.
  • the alloy strip of the present invention was measured in the surface layer region with respect to the Mn content measured in the internal region divided into the 5 ⁇ m position and the 10 ⁇ m position in the depth direction from the surface by Auger electron spectroscopy.
  • the Mn content ratio (surface Mn content / internal Mn content ratio) is preferably 0.50 or less, more preferably 0.45 or less, and more preferably 0.45 or less in terms of mass ratio. The following is more preferable.
  • the concentration of manganese increases from the surface layer of the alloy strip material toward the inside, but the concentration gradient becomes steeper.
  • manganese is present in the surface layer, its oxidation causes the wettability of the copper alloy strip to decrease.
  • Mn is contained in the material as a whole.
  • the resistance temperature coefficient can be lowered by containing a large amount. That is, the smaller the ratio of surface Mn content / internal Mn content, the larger the concentration gradient of manganese, and the manganese is sparsely distributed on the surface layer and densely distributed on the inside, resulting in more. It has a lower temperature coefficient of resistance while having good solder wettability.
  • alloy strip material of the present invention as optional additive components, nickel of 0.01% by mass or more and 5% by mass or less, tin of 0.01% by mass or more and 5% by mass or less, 0.01% by mass or more and 5% by mass.
  • Nickel 0.01% by mass or more and 5% by mass or less
  • the content of nickel (Ni) is not particularly limited, but is preferably 0.01% by mass or more and 5% by mass or less with respect to 100% by mass of the copper alloy strip. If the nickel content is less than 0.01%, the effects of improving the temperature coefficient of resistance and adjusting the resistivity may not be sufficiently obtained. On the other hand, if the nickel content exceeds 5% by mass, the solder wettability may decrease.
  • the nickel content may be, for example, 0% by mass or more (including the case where it is not contained), 0.001% by mass or more, and 0.005% by mass or more.
  • tin 0.01% by mass or more and 5% by mass or less
  • the content of tin (Sn) is not particularly limited, but is preferably 0.01% by mass or more and 5% by mass or less with respect to 100% by mass of the copper alloy strip. If the tin content is less than 0.01%, the effects of improving the temperature coefficient of resistance and adjusting the resistivity may not be sufficiently obtained. On the other hand, if the tin content exceeds 5% by mass, the manufacturability of the copper alloy strip may be significantly reduced.
  • the tin content may be, for example, 0% by mass or more (including the case where it is not contained), 0.001% by mass or more, and 0.005% by mass or more.
  • the content of iron (Fe) is not particularly limited, but is preferably 0.01% by mass or more and 0.5% by mass or less with respect to 100% by mass of the copper alloy strip. If the iron content is less than 0.01%, the effects of improving the temperature coefficient of resistance and adjusting the resistivity may not be sufficiently obtained. On the other hand, if the iron content is more than 0.5% by mass, the solder wettability may decrease.
  • the iron content may be, for example, 0% by mass or more (including the case where it is not contained), 0.001% by mass or more, and 0.005% by mass or more.
  • the content of zinc (Zn) is not particularly limited, but is preferably 0.01% by mass or more and 5% by mass or less with respect to 100% by mass of the copper alloy strip. If the zinc content is less than 0.01%, the effects of improving the temperature coefficient of resistance and adjusting the resistivity may not be sufficiently obtained. On the other hand, if the zinc content is more than 5% by mass, dezincination may cause a change in performance with time.
  • the zinc content may be, for example, 0% by mass or more (including the case where it is not contained), 0.001% by mass or more, and 0.005% by mass or more.
  • the content of silicon (Si) is not particularly limited, but is preferably 0.01% by mass or more and 0.5% by mass or less with respect to 100% by mass of the copper alloy strip. If the silicon content is less than 0.01% by mass, the effects of improving the temperature coefficient of resistance and adjusting the resistivity may not be sufficiently obtained. On the other hand, if the silicon content exceeds 0.5% by mass, the solder wettability may decrease.
  • the silicon content may be, for example, 0% by mass or more (including the case where it is not contained), 0.001% by mass or more, and 0.005% by mass or more.
  • the content of chromium (Cr) is not particularly limited, but is preferably 0.01% by mass or more and 0.5% by mass or less with respect to 100% by mass of the copper alloy strip. If the chromium content is less than 0.01% by mass, the effects of improving the temperature coefficient of resistance and adjusting the resistivity may not be sufficiently obtained. On the other hand, if the chromium content exceeds 0.5% by mass, the solder wettability may decrease.
  • the chromium content may be, for example, 0% by mass or more (including the case where it is not contained), 0.001% by mass or more, and 0.005% by mass or more.
  • zirconium 0.01% by mass or more and 0.5% by mass or less
  • the content of zirconium (Zr) is not particularly limited, but is preferably 0.01% by mass or more and 0.5% by mass or less with respect to 100% by mass of the copper alloy strip. If the zirconium content is less than 0.01% by mass, the effects of improving the temperature coefficient of resistance and adjusting the resistivity may not be sufficiently obtained. On the other hand, if the zirconium content exceeds 0.5% by mass, the solder wettability may decrease.
  • the zirconium content may be, for example, 0% by mass or more (including the case where it is not contained), 0.001% by mass or more, and 0.005% by mass or more.
  • titanium 0.01% by mass or more and 0.5% by mass or less
  • the content of titanium (Ti) is not particularly limited, but is preferably 0.01% by mass or more and 0.5% by mass or less with respect to 100% by mass of the copper alloy strip. If the titanium content is less than 0.01% by mass, the effects of improving the temperature coefficient of resistance and adjusting the resistivity may not be sufficiently obtained. On the other hand, if the titanium content exceeds 0.5% by mass, the solder wettability may decrease.
  • the titanium content may be, for example, 0% by mass or more (including the case where it is not contained), 0.001% by mass or more, and 0.005% by mass or more.
  • the content of silver (Ag) is not particularly limited, but is preferably 0.01% by mass or more and 0.5% by mass or less with respect to 100% by mass of the copper alloy strip. If the silver content is less than 0.01%, the effects of improving the temperature coefficient of resistance and adjusting the resistivity may not be sufficiently obtained. On the other hand, if the silver content is more than 0.5% by mass, the raw material cost is high, but the effect commensurate with it cannot be obtained.
  • the silver content may be, for example, 0% by mass or more (including the case where it is not contained), 0.001% by mass or more, and 0.005% by mass or more.
  • the content of magnesium (Mg) is not particularly limited, but is preferably 0.01% by mass or more and 0.5% by mass or less with respect to 100% by mass of the copper alloy strip. If the magnesium content is less than 0.01% by mass, the effects of improving the temperature coefficient of resistance and adjusting the resistivity may not be sufficiently obtained. On the other hand, if the magnesium content exceeds 0.5% by mass, the solder wettability may decrease.
  • the magnesium content may be, for example, 0% by mass or more (including the case where it is not contained), 0.001% by mass or more, and 0.005% by mass or more.
  • cobalt 0.01% by mass or more and 0.5% by mass or less
  • the content of cobalt (Co) is not particularly limited, but is preferably 0.01% by mass or more and 0.5% by mass or less with respect to 100% by mass of the copper alloy strip. If the cobalt content is less than 0.01% by mass, the effects of improving the temperature coefficient of resistance and adjusting the resistivity may not be sufficiently obtained. On the other hand, if the cobalt content exceeds 0.5% by mass, the solder wettability may decrease.
  • the cobalt content may be, for example, 0% by mass or more (including the case where it is not contained), 0.001% by mass or more, and 0.005% by mass or more.
  • the content of phosphorus (P) is not particularly limited, but is preferably 0.01% by mass or more and 5% by mass or less with respect to 100% by mass of the copper alloy strip. If the phosphorus content is less than 0.01%, the effects of improving the temperature coefficient of resistance and adjusting the resistivity may not be sufficiently obtained. On the other hand, if the phosphorus content exceeds 0.5% by mass, the manufacturability of the copper alloy strip may be significantly reduced.
  • the phosphorus content may be, for example, 0% by mass or more (including the case where it is not contained), 0.001% by mass or more, and 0.005% by mass or more.
  • the balance consists of Cu (copper) and unavoidable impurities.
  • the "unavoidable impurities” referred to here are generally those that are present in the raw materials of copper-based products and those that are unavoidably mixed in the manufacturing process, which are originally unnecessary, but are in trace amounts. It is an acceptable impurity because it does not affect the characteristics of copper-based products.
  • Examples of the components listed as unavoidable impurities include non-metal elements such as sulfur (S) and oxygen (O) and metal elements such as aluminum (Al) and antimony (Sb).
  • the upper limit of the content of these components may be 0.05% by mass for each of the above components and 0.20% by mass for the total amount of the above components.
  • the copper alloy strip of the present invention is extremely useful as a resistance material for resistors such as shunt resistors and chip resistors.
  • This manufacturing method includes a casting step [step 1], a homogenization treatment step [step 2], a hot rolling step [step 3], a surface milling step [step 4], a first cold rolling step [step 5], and a first.
  • a casting step [step 1] a homogenization treatment step [step 2]
  • a hot rolling step [step 3] a hot rolling step [step 3]
  • a surface milling step [step 4] a first cold rolling step [step 5]
  • a first Each of the steps of 1 oxide film forming step [step 6] and 1st oxide film removing step [step 7] is provided in this order, and in the 1st oxide film forming step, the first obtained in the first cold rolling step.
  • the cold-rolled sheet is heated at 200 ° C. or higher and 800 ° C.
  • the removing step is characterized in that the first oxide film of the first cold-rolled plate formed in the first oxide film forming step is removed with a sulfuric acid aqueous solution.
  • a second cold rolling step [step 8], or a second oxide film forming step [step 9] and a second oxide film removing step [step 10] may be added.
  • each step will be described.
  • the raw material (copper alloy material) of the copper alloy plate material such as Cu and Si is melted and cast in a carbon, for example, a graphite crucible, which is preferably made of carbon inside the casting machine (inner wall).
  • the atmosphere inside the casting machine at the time of melting is preferably a vacuum or an atmosphere of an inert gas such as nitrogen or argon in order to prevent the formation of oxides.
  • the casting method is not particularly limited, and for example, a horizontal continuous casting machine or an upcast method can be used.
  • ⁇ Homogenization process [Step 2]> Since the solidification segregation and crystallization generated at the time of ingot in the casting [step 1] are coarse, in the homogenization treatment step [step 2], they are dissolved in the matrix as much as possible to make them as small as possible and eliminated as much as possible. Specifically, for example, the homogenization treatment is carried out for 1 to 24 hours by heating to 800 to 1000 ° C. in an inert gas or the like.
  • ⁇ Hot rolling process for example, the homogenized ingot is rolled at a treatment temperature of about 800 ° C. to 1000 ° C. to a desired plate thickness.
  • the hot working is not particularly limited to either rolling or extrusion.
  • ⁇ Surface cutting process [Process 4]>
  • the oxide film and the altered layer of the skin of the copper alloy plate material are removed. It can be carried out by a commonly known method, for example, by mechanical polishing.
  • the surface cutting thickness may be, for example, about 0.1 to 3 mm.
  • the first cold-rolled sheet obtained in the above-mentioned first cold rolling step is subjected to a neutral gas atmosphere containing 0.01 to 2.00% by volume of oxygen. Then, it is heated at 200 ° C. or higher and 800 ° C. or lower to form a first oxide film.
  • the heating time is preferably, for example, 10 seconds to 10 hours.
  • the reason for positively forming the first oxide film is to form an oxide film containing Mn oxide as a main component.
  • the term "first” such as “first oxide film forming step” is used to distinguish it from the "second oxide film forming step” described later. However, the "second oxide film forming step” and the like are not essential steps, and only the “first oxide film forming step” may be performed.
  • the first oxide film removing step [step 7] is a step of removing the first oxide film of the first cold-rolled plate formed in the oxide film forming step with an aqueous sulfuric acid solution.
  • concentration of the aqueous sulfuric acid solution is, for example, preferably 1 to 50%, more preferably 5 to 30%.
  • a second cold rolling step [step 8] may be further provided after the first oxide film removing step [step 7].
  • this second cold rolling step [step 8] for example, cold rolling with a workability of 0 to 75% is performed to make the plate thickness uniform.
  • the plate thickness after the second cold rolling depends on the application and the like, but can be, for example, 0.01 to 10 mm. Thereby, the above-mentioned copper alloy strip of the present invention can be obtained.
  • a second oxide film forming step [step 9] may be further provided.
  • the second cold-rolled plate obtained in the second cold rolling step is subjected to 200 ° C. or higher in a neutral gas atmosphere containing 0.01 to 2.00% by volume of oxygen.
  • This is a step of forming a second oxide film by heating at 800 ° C. or lower. The specific operation is the same as that of the first oxide film forming step.
  • the second oxide film forming step is a step of removing the second oxide film of the second cold-rolled plate formed in the second oxide film forming step with an aqueous sulfuric acid solution.
  • the specific operation is the same as that of the first oxide film removing step.
  • Mn is preferentially oxidized in a neutral gas atmosphere in which the oxygen concentration is controlled, and then a wet step is performed. It is necessary to remove the oxide film formed in the previous step. At that time, in order to reduce the surface layer [Mn / Cu] ratio, it is necessary to increase the preferential oxidation amount of Mn, and it is necessary to appropriately adjust the heat treatment temperature, time, and oxygen concentration to obtain a desired oxidation amount. Then, by removing the oxide film with a sulfuric acid solution, a surface layer having a small surface layer [Mn / Cu] ratio can be formed.
  • the electrical characteristics particularly the temperature coefficient of resistance (TCR)
  • TCR temperature coefficient of resistance
  • Invention Examples 1 to 22, Comparative Examples 1 and 3 Ingots having the alloy composition described in the "Alloy composition" column of Table 1 below were produced by casting. Next, the ingot was heat-treated under the conditions of a heating temperature of 800 ° C. or higher and 1000 ° C. or lower and a heating time of 10 minutes or longer and 10 hours or lower to homogenize the alloy components, and then formed into a plate shape by hot rolling and cooled with water. , A plate-like product was obtained.
  • the plate-like material obtained by hot rolling is face-cut to remove the oxide film on the surface by 1 mm on each side, and then the plate-like material is cold-rolled at a predetermined processing rate of 90% or more.
  • the plate thickness after the first cold rolling was adjusted to 0.15 mm, 0.23 mm, and 0.50 mm, respectively.
  • the surface was oxidized under predetermined conditions (heating temperature and heating time) in a furnace composed of a mixed gas of nitrogen gas and air and controlled at an oxygen concentration of 0.01 to 2.00% by volume. After the oxidation treatment, the oxide film on the surface was removed with a 20% aqueous sulfuric acid solution.
  • Examples 5, 6, 8, 9, 12, 14, 15, 17, 18, 20 and 21 of the present invention were subjected to the oxidation treatment (second oxide film forming step) again after the second cold rolling. Then, the oxide film on the surface was removed with a 20% aqueous sulfuric acid solution to obtain a copper alloy strip.
  • composition of copper alloy strip The chemical composition of the copper alloy strip was measured by ICP analysis and is shown in Table 1 below.
  • the average [Mn / Cu] ratio in the region) is shown in Table 1 below.
  • the Mn content was measured and averaged at 0.25 minute intervals, and further, the value measured and averaged at 5 points on the front and back sides was "Mn content measured in the surface layer region" (surface layer). Mn content). Further, in the internal region partitioned by the position of 5 ⁇ m in the depth direction from the surface and the position of 10 ⁇ m in the depth direction from the surface, the sputter rate at the time of measurement is set to 4 kV (SiO 2 equivalent value of 100 nm / min) from 50 minutes.
  • the average value of the Mn content measured at intervals of 0.25 minutes for a time up to 100 minutes was further measured at 5 points on the front and back, and the average value was the "Mn content measured in the internal region" (internal Mn). Content). Based on the values of the surface Mn content and the internal Mn content obtained as described above, the ratio of the surface Mn content / internal Mn content is shown in Table 1.
  • solder wettability A test piece cut to a width of 10 mm by a solder checker was immersed in a Sn-3Ag-0.5Cu alloy heated to 245 ° C. for 10 mm at an immersion rate of 25 mm / sec, and the maximum wet load (mN) was read.
  • the RMA type RM615
  • the wetting load is 5 mN or more
  • the solder wettability is regarded as excellent, and when the wettability is 4 mN or more and less than 5 mN, the solder wettability is good.
  • the wettability is less than 4 mN, it is evaluated as “ ⁇ ” as the solder wettability is inferior, and is shown in Table 1.
  • TCR Temperature coefficient of resistance
  • the copper alloy strip of Comparative Example 1 having a manganese content of 2% by mass which is less than the appropriate range of the present invention, has good solder wetting, but has a high TCR and inferior electrical characteristics. It was.
  • the copper alloy strip of Comparative Example 2 having a surface layer [Mn / Cu] ratio of 0.111 had a low TCR, but was inferior in solder wetting.
  • the copper alloy strip of Comparative Example 3 having a manganese content of 25% by mass which is larger than the appropriate range of the present invention, had a low TCR, but was inferior in solder wetting.

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Abstract

本発明の銅合金条材は、３質量％以上２０質量％以下のマンガン（Ｍｎ）を含有し、残部が銅（Ｃｕ）および不可避不純物からなる組成を有する銅合金条材であって、オージェ電子分光法により、表面と、該表面から深さ方向に０．０５μｍ位置とで区画される表層領域にて測定した、Ｍｎ含有量のＣｕ含有量に対する比（表層［Ｍｎ／Ｃｕ］比）が、質量比に換算して、０．０３０未満であることを特徴とし、環境温度が変化しても安定した抵抗を有し、かつ良好なはんだの実装性を有する。

Description

銅合金条材およびその製造方法、それを用いた抵抗器用抵抗材料ならびに抵抗器
　本発明は、銅合金条材およびその製造方法、それを用いた抵抗器用抵抗材料ならびに抵抗器に関し、特に、環境温度が変化しても安定した抵抗を有する銅合金条材に関する。
　抵抗器に使用される抵抗材の金属材料には、環境温度が変化しても抵抗器の抵抗が安定するように、その指標である抵抗温度係数（ＴＣＲ）が小さいことが要求される。抵抗温度係数とは、温度による抵抗値の変化の大きさを１℃当たりの百万分率（ｐｐｍ）で表したものであり、ＴＣＲ（×１０－６／Ｋ）＝（Ｒ－Ｒ０）／Ｒ０×１／（Ｔ－Ｔ０）×１０６という式で表される。ここで、式中のＴは試験温度（℃）、Ｔ０は基準温度（℃）、Ｒは試験温度Ｔにおける抵抗値（Ω）、Ｒ０は試験温度Ｔ０における抵抗値（Ω）を示す。
　抵抗材を構成する金属材料として、Ｃｕ－Ｍｎ－Ｎｉ合金やＣｕ－Ｍｎ－Ｓｎ合金が提案されている（例えば、特許文献１参照）。これらの金属材料はＴＣＲが非常に小さい。
　しかしながら、特許文献１に示されるようなマンガンを所定量含む銅系合金材料は、安定した抵抗温度係数を有するが、このような銅合金では、表面が酸化されて酸化膜が形成しやすく、このようにして形成されたマンガンの酸化物により、はんだ濡れ性の低下が生じ、はんだに対する密着性が低い。
　抵抗材に用いる銅合金材料の表面の酸化を防止して、銅合金材料の抵抗値の変化を抑制するため、例えば特許文献２には、アルミニウムと錫を添加した銅合金材料を熱処理して表面を酸化した材料が提案されている。
特開２０１６－６９７２４号公報 特開２００６－２７００７８号公報
　しかしながら、特許文献２の銅合金材料では、添加するアルミニウムがはんだ等の実装に悪影響を及ぼすため、実装性になお改良の余地があった。
　本発明は、以上の実情に鑑みてなされたものであり、環境温度が変化しても安定した抵抗を有し、かつ良好なはんだの実装性を有する銅合金材料を提供することを目的とする。
　本発明者らは、鋭意検討を重ねた結果、銅合金条材が３質量％以上２０質量％以下のマンガンを含有し、残部が銅および不可避不純物からなる組成を有し、オージェ電子分光法により、表面と、該表面から深さ方向に０．０５μｍ位置とで区画される表層領域にて測定した、Ｍｎ含有量のＣｕ含有量に対する比（表層［Ｍｎ／Ｃｕ］比）が、質量比に換算して、０．０３未満であることによって、その銅合金条材は、環境温度が変化しても安定した抵抗を有し、かつ良好なはんだの実装性を有することを見出し、かかる知見に基づき、本発明を完成させるに至った。
　すなわち、本発明の要旨構成は以下のとおりである。
（１）３質量％以上２０質量％以下のマンガン（Ｍｎ）を含有し、残部が銅（Ｃｕ）および不可避不純物からなる組成を有する銅合金条材であって、オージェ電子分光法により、表面と、該表面から深さ方向に０．０５μｍ位置とで区画される表層領域にて測定した、Ｍｎ含有量のＣｕ含有量に対する比（表層［Ｍｎ／Ｃｕ］比）が、質量比に換算して、０．０３０未満であることを特徴とする、銅合金条材。
（２）オージェ電子分光法により、表面から深さ方向に５μｍ位置と１０μｍ位置とで区画される内部領域にて測定したＭｎ含有量に対する、前記表層領域にて測定したＭｎ含有量の比（表層Ｍｎ含有量／内部Ｍｎ含有量比）が、質量比に換算して、０．５０以下であることを特徴とする、上記（１）に記載の銅合金条材。
（３）マンガンを５質量％以上２０質量％以下含有することを特徴とする、上記（１）または（２）に記載の銅合金条材。
（４）０．０１質量％以上５質量％以下のニッケル、０．０１質量％以上５質量％以下の錫、０．０１質量％以上５質量％以下の鉄、０．０１質量％以上５質量％以下の亜鉛、０．０１質量％以上０．５質量％以下のケイ素、０．０１質量％以上０．５質量％以下のクロム、０．０１質量％以上０．５質量％以下のジルコニウム、０．０１質量％以上０．５質量％以下のチタン、０．０１質量％以上０．５質量％以下の銀、０．０１質量％以上０．５質量％以下のマグネシウム、０．０１質量％以上０．５質量％以下のコバルト、および、０．０１質量％以上０．５質量％以下のリンからなる群より選択される１種以上の元素を含有することを特徴とする、上記（１）～（３）のいずれかに記載の銅合金条材。
（５）上記（１）～（４）のいずれかに記載の銅合金条材の製造方法であって、鋳造工程［工程１］、均質化処理工程［工程２］、熱間圧延工程［工程３］、面削工程［工程４］、第１冷間圧延工程［工程５］、第１酸化被膜形成工程［工程６］および第１酸化被膜除去工程［工程７］の各工程をこの順に有し、前記第１酸化被膜形成工程では、第１冷間圧延工程で得られた第１冷延板を、０．０１～２．００体積％の酸素を含んだ中性ガス雰囲気下で、２００℃以上８００℃以下で加熱して、第１酸化被膜を形成し、前記第１酸化被膜除去工程では、前記第１酸化被膜形成工程で形成された前記第１冷延板の前記第１酸化被膜を、硫酸水溶液で除去することを特徴とする、銅合金条材の製造方法。
（６）前記第１酸化被膜除去工程［工程７］後に、前記第２冷間圧延工程［工程８］をさらに有することを特徴とする、上記（５）に記載の銅合金条材の製造方法。
（７）前記第２冷間圧延工程［工程８］後に、第２酸化被膜形成工程［工程９］および第２酸化被膜除去工程［工程１０］をさらに有し、前記第２酸化被膜形成工程では、第２冷間圧延工程で得られた第２冷延板を、０．０１～２．００体積％の酸素を含んだ中性ガス雰囲気下で、２００℃以上８００℃以下で加熱して、第２酸化被膜を形成し、前記第２酸化被膜除去工程では、前記第２酸化被膜形成工程で形成された前記第２冷延板の前記第２酸化被膜を、硫酸水溶液で除去することを特徴とする、上記（６）に記載の銅合金条材の製造方法。
（８）上記（１）～（４）のいずれかに記載の銅合金条材を用いた抵抗器用抵抗材料。
（９）上記（８）に記載の抵抗材料を有する抵抗器。
　本発明によれば、銅合金条材が３質量％以上２０質量％以下のマンガンを含有し、残部が銅および不可避不純物からなる組成を有し、オージェ電子分光法により、表面と、該表面から深さ方向に０．０５μｍ位置とで区画される表層領域にて測定した、Ｍｎ含有量のＣｕ含有量に対する比（表層［Ｍｎ／Ｃｕ］比）が、質量比に換算して、０．０３未満であることによって、その銅合金条材は、環境温度が変化しても安定した抵抗を有し、かつ良好なはんだの実装性を有する。
（１）銅合金条材
　以下、本発明の銅合金条材の好ましい実施形態について、詳細に説明する。本発明に従う銅合金条材は、３質量％以上２０質量％以下のマンガンを含有し、残部が銅および不可避不純物からなる組成を有する銅合金条材であって、オージェ電子分光法により、表面と、該表面から深さ方向に０．０５μｍ位置とで区画される表層領域にて測定した、Ｍｎ含有量のＣｕ含有量に対する比（表層［Ｍｎ／Ｃｕ］比）が、質量比に換算して、０．０３０未満であることを特徴とするものである。
　このような銅合金条材において、その表面はＭｎが少なく、はんだに対し高い密着力を有するものとなる。一方、当該銅合金条材の内部では、Ｍｎが全体で３質量％以上も潤沢に存在しているので、電気的特性を担う合金条材全体としては、より低い抵抗温度係数を有するものとなる。したがって、このような銅合金条材は、環境温度が変化しても安定した抵抗を有し、かつ良好なはんだの実装性を有する。
＜銅合金条材の組成＞
　〔マンガン：３質量％以上２０質量％以下〕
　本発明の銅合金条材は、３質量％以上２０質量％以下のマンガン（Ｍｎ）を含有するものである。マンガンの含有量がこのような範囲にあることにより、当該銅合金材料の表面のはんだ濡れ性を低下させることなく、抵抗温度係数を低下させることができる。これに対し、マンガンの含有量が３質量％未満であると、抵抗温度係数の低下効果が十分に得られない。また、マンガンの含有量が２０質量％より多い場合、表面特性を著しく低下させるおそれがある。抵抗温度係数の観点から、マンガンの含有量は、５質量％以上であることが好ましい。
＜銅合金条材の組成分布＞
　本発明の銅合金条材は、オージェ電子分光法により、表面と、該表面から深さ方向に０．０５μｍ位置とで区画される表層領域にて測定した、Ｍｎ含有量のＣｕ含有量に対する比（表層［Ｍｎ／Ｃｕ］比）が、質量比に換算して、０．０３０未満である。このように、表層［Ｍｎ／Ｃｕ］比が０．０３０未満であることにより、その表面においてＭｎが少なくなるため、その表面は高いはんだ濡れ性を有し良好なはんだ実装性を有するものとなる。表層［Ｍｎ／Ｃｕ］比は、例えば０．０２８以下であることが好ましく、０．０２５以下であることがより好ましく、０．０２２以下であることがより好ましい。
　また、本発明の合金条材は、オージェ電子分光法により、表面から深さ方向に５μｍ位置と１０μｍ位置とで区画される内部領域にて測定したＭｎ含有量に対する、前記表層領域にて測定したＭｎ含有量の比（表層Ｍｎ含有量／内部Ｍｎ含有量比）が、質量比に換算して、０．５０以下であることが好ましく、０．４５以下であることがより好ましく、０．４以下であることがさらに好ましい。表層Ｍｎ含有量／内部Ｍｎ含有量比が０．５０以下であることにより、当該合金条材の表層から内部に向けてマンガンの濃度が上昇するが、その濃度勾配がより急激になる。マンガンは表層に存在すると、その酸化によって銅合金条材の濡れ性を低下させる原因となることから、表層におけるマンガンの濃度を極力低減させる必要があるが、その一方で、材料全体としてはＭｎが多く含まれることで抵抗温度係数を低下させることができる。すなわち、表層Ｍｎ含有量／内部Ｍｎ含有量の比が小さいほど、マンガンの濃度勾配は大きくなり、表層ではマンガンが疎に分布し、内部ではマンガンが密に分布することになり、その結果、より良好なはんだ濡れ性を有しながらも、より低い抵抗温度係数を有するものとなる。
＜任意成分＞
　また、本発明の合金条材は、任意添加成分として、０．０１質量％以上５質量％以下のニッケル、０．０１質量％以上５質量％以下の錫、０．０１質量％以上５質量％以下の亜鉛、０．０１質量％以上０．５質量％以下の鉄、０．０１質量％以上０．５質量％以下のケイ素、０．０１質量％以上０．５質量％以下のクロム、０．０１質量％以上０．５質量％以下のジルコニウム、０．０１質量％以上０．５質量％以下のチタン、０．０１質量％以上０．５質量％以下の銀、０．０１質量％以上０．５質量％以下のマグネシウム、０．０１質量％以上０．５質量％以下のコバルト、および、０．０１質量％以上０．５質量％以下のリンからなる群より選択される１種以上の元素を含有することができる。これらの元素は、いずれも抵抗温度係数の改善、体積抵抗率の調整等を目的として添加するものであるが、それぞれの所定の範囲を超えて添加すると、はんだ濡れ性の低下や、原料コストの増加等が生じるおそれがある。以下、各金属元素についてそれぞれ説明する。
　〔ニッケル：０．０１質量％以上５質量％以下〕
　ニッケル（Ｎｉ）の含有量は、特に限定されないが、銅合金条材１００質量％に対して０．０１質量％以上５質量％以下であることが好ましい。ニッケルの含有量が０．０１％未満であると、抵抗温度係数の改善および体積抵抗率の調整の効果が十分に得られない可能性がある。一方で、ニッケルの含有量が５質量％超であると、はんだ濡れ性が低下するおそれがある。なお、ニッケルの含有量は、例えば０質量％以上（非含有の場合を含む）、０．００１質量％以上、０．００５質量％以上であってもよい。
　〔錫：０．０１質量％以上５質量％以下〕
　錫（Ｓｎ）の含有量は、特に限定されないが、銅合金条材１００質量％に対して０．０１質量％以上５質量％以下であることが好ましい。錫の含有量が０．０１％未満であると、抵抗温度係数の改善および体積抵抗率の調整の効果が十分に得られない可能性がある。一方で、錫の含有量が５質量％超であると、銅合金条材の製造性を著しく低下させるおそれがある。なお、錫の含有量は、例えば０質量％以上（非含有の場合を含む）、０．００１質量％以上、０．００５質量％以上であってもよい。
　〔鉄：０．０１質量％以上０．５質量％以下〕
　鉄（Ｆｅ）の含有量は、特に限定されないが、銅合金条材１００質量％に対して０．０１質量％以上０．５質量％以下であることが好ましい。鉄の含有量が０．０１％未満であると、抵抗温度係数の改善および体積抵抗率の調整の効果が十分に得られない可能性がある。一方で、鉄の含有量が０．５質量％超であると、はんだ濡れ性が低下するおそれがある。なお、鉄の含有量は、例えば０質量％以上（非含有の場合を含む）、０．００１質量％以上、０．００５質量％以上であってもよい。
　〔亜鉛：０．０１質量％以上５質量％以下〕
　亜鉛（Ｚｎ）の含有量は、特に限定されないが、銅合金条材１００質量％に対して０．０１質量％以上５質量％以下であることが好ましい。亜鉛の含有量が０．０１％未満であると、抵抗温度係数の改善および体積抵抗率の調整の効果が十分に得られない可能性がある。一方で、亜鉛の含有量が５質量％超であると、脱亜鉛により性能の経時変化が生じるおそれがある。なお、亜鉛の含有量は、例えば０質量％以上（非含有の場合を含む）、０．００１質量％以上、０．００５質量％以上であってもよい。
　〔ケイ素：０．０１質量％以上０．５質量％以下〕
　ケイ素（Ｓｉ）の含有量は、特に限定されないが、銅合金条材１００質量％に対して０．０１質量％以上０．５質量％以下であることが好ましい。ケイ素の含有量が０．０１質量％未満であると、抵抗温度係数の改善および体積抵抗率の調整の効果が十分に得られない可能性がある。一方で、ケイ素の含有量が０．５質量％超であると、はんだ濡れ性が低下するおそれがある。なお、ケイ素の含有量は、例えば０質量％以上（非含有の場合を含む）、０．００１質量％以上、０．００５質量％以上であってもよい。
　〔クロム：０．０１質量％以上０．５質量％以下〕
　クロム（Ｃｒ）の含有量は、特に限定されないが、銅合金条材１００質量％に対して０．０１質量％以上０．５質量％以下であることが好ましい。クロムの含有量が０．０１質量％未満であると、抵抗温度係数の改善および体積抵抗率の調整の効果が十分に得られない可能性がある。一方で、クロムの含有量が０．５質量％超であると、はんだ濡れ性が低下するおそれがある。なお、クロムの含有量は、例えば０質量％以上（非含有の場合を含む）、０．００１質量％以上、０．００５質量％以上であってもよい。
　〔ジルコニウム：０．０１質量％以上０．５質量％以下〕
　ジルコニウム（Ｚｒ）の含有量は、特に限定されないが、銅合金条材１００質量％に対して０．０１質量％以上０．５質量％以下であることが好ましい。ジルコニウムの含有量が０．０１質量％未満であると、抵抗温度係数の改善および体積抵抗率の調整の効果が十分に得られない可能性がある。一方で、ジルコニウムの含有量が０．５質量％超であると、はんだ濡れ性が低下するおそれがある。なお、ジルコニウムの含有量は、例えば０質量％以上（非含有の場合を含む）、０．００１質量％以上、０．００５質量％以上であってもよい。
　〔チタン：０．０１質量％以上０．５質量％以下〕
　チタン（Ｔｉ）の含有量は、特に限定されないが、銅合金条材１００質量％に対して０．０１質量％以上０．５質量％以下であることが好ましい。チタンの含有量が０．０１質量％未満であると、抵抗温度係数の改善および体積抵抗率の調整の効果が十分に得られない可能性がある。一方で、チタンの含有量が０．５質量％超であると、はんだ濡れ性が低下するおそれがある。なお、チタンの含有量は、例えば０質量％以上（非含有の場合を含む）、０．００１質量％以上、０．００５質量％以上であってもよい。
　〔銀：０．０１質量％以上０．５質量％以下〕
　銀（Ａｇ）の含有量は、特に限定されないが、銅合金条材１００質量％に対して０．０１質量％以上０．５質量％以下であることが好ましい。銀の含有量が０．０１％未満であると、抵抗温度係数の改善および体積抵抗率の調整の効果が十分に得られない可能性がある。一方で、銀の含有量が０．５質量％超であると、原料コストが高くなるが、それに見合った効果は得られない。なお、銀の含有量は、例えば０質量％以上（非含有の場合を含む）、０．００１質量％以上、０．００５質量％以上であってもよい。
　〔マグネシウム：０．０１質量％以上０．５質量％以下〕
　マグネシウム（Ｍｇ）の含有量は、特に限定されないが、銅合金条材１００質量％に対して０．０１質量％以上０．５質量％以下であることが好ましい。マグネシウムの含有量が０．０１質量％未満であると、抵抗温度係数の改善および体積抵抗率の調整の効果が十分に得られない可能性がある。一方で、マグネシウムの含有量が０．５質量％超であると、はんだ濡れ性が低下するおそれがある。なお、マグネシウムの含有量は、例えば０質量％以上（非含有の場合を含む）、０．００１質量％以上、０．００５質量％以上であってもよい。
　〔コバルト：０．０１質量％以上０．５質量％以下〕
　コバルト（Ｃｏ）の含有量は、特に限定されないが、銅合金条材１００質量％に対して０．０１質量％以上０．５質量％以下であることが好ましい。コバルトの含有量が０．０１質量％未満であると、抵抗温度係数の改善および体積抵抗率の調整の効果が十分に得られない可能性がある。一方で、コバルトの含有量が０．５質量％超であると、はんだ濡れ性が低下するおそれがある。なお、コバルトの含有量は、例えば０質量％以上（非含有の場合を含む）、０．００１質量％以上、０．００５質量％以上であってもよい。
　〔リン：０．０１質量％以上０．５質量％以下〕
　リン（Ｐ）の含有量は、特に限定されないが、銅合金条材１００質量％に対して０．０１質量％以上５質量％以下であることが好ましい。リンの含有量が０．０１％未満であると、抵抗温度係数の改善および体積抵抗率の調整の効果が十分に得られない可能性がある。一方で、リンの含有量が０．５質量％超であると、銅合金条材の製造性を著しく低下させるおそれがある。なお、リンの含有量は、例えば０質量％以上（非含有の場合を含む）、０．００１質量％以上、０．００５質量％以上であってもよい。
　〔残部：銅および不可避不純物〕
　上述した必須含有成分および任意添加成分以外は、残部がＣｕ（銅）および不可避不純物からなる。なお、ここでいう「不可避不純物」とは、おおむね銅系製品において、原料中に存在するものや、製造工程において不可避的に混入するもので、本来は不要なものであるが、微量であり、銅系製品の特性に影響を及ぼさないため許容されている不純物である。不可避不純物として挙げられる成分としては、例えば、硫黄（Ｓ）、酸素（Ｏ）等の非金属元素やアルミニウム（Ａｌ）やアンチモン（Ｓｂ）等の金属元素が挙げられる。なお、これらの成分含有量の上限は、上記成分毎に０．０５質量％、上記成分の総量で０．２０質量％とすればよい。
　本発明の銅合金条材は、抵抗器、例えばシャント抵抗器やチップ抵抗器用の抵抗材料として極めて有用である。
（２）銅合金条材の製造方法
　以上のような本発明の一実施形態による銅合金条材の製造方法を詳しく説明する。この製造方法は、鋳造工程［工程１］、均質化処理工程［工程２］、熱間圧延工程［工程３］、面削工程［工程４］、第１冷間圧延工程［工程５］、第１酸化被膜形成工程［工程６］および第１酸化被膜除去工程［工程７］の各工程をこの順に有し、前記第１酸化被膜形成工程では、第１冷間圧延工程で得られた第１冷延板を、０．０１～２．００体積％の酸素を含んだ中性ガス雰囲気下で、２００℃以上８００℃以下で加熱して、第１酸化被膜を形成し、前記第１酸化被膜除去工程では、前記第１酸化被膜形成工程で形成された前記第１冷延板の前記第１酸化被膜を、硫酸水溶液で除去することを特徴としている。また、必要に応じて、第２冷間圧延工程［工程８］、または、第２酸化被膜形成工程［工程９］および第２酸化被膜除去工程［工程１０］を追加してもよい。以下、各工程について説明する。
＜鋳造工程［工程１］＞
　鋳造工程［工程１］では、Ｃｕ、Ｓｉ等の銅合金板材の原料（銅合金素材）を、鋳造機内部（内壁）が好ましくは炭素製の、例えば黒鉛坩堝にて、溶解し鋳造する。溶解するときの鋳造機内部の雰囲気は、酸化物の生成を防止するために、真空もしくは窒素やアルゴンなどの不活性ガス雰囲気とすることが好ましい。鋳造方法には特に制限はなく、例えば横型連続鋳造機やアップキャスト法などを用いることができる。
＜均質化処理工程［工程２］＞
　鋳造［工程１］において鋳塊時に生じた凝固偏析や晶出物は、粗大なので、均質化処理工程［工程２］において、できるだけ母相に固溶させて小さくし、可能な限り無くす。具体的には、例えば、不活性ガス中等で、８００～１０００℃に加熱して１～２４時間の均質化処理を行う。
＜熱間圧延工程［工程３］＞
　熱間圧延［工程３］では、例えば、均質化処理を施された鋳塊を処理温度８００℃～１０００℃程度で、所望の板厚になるように圧延する。熱間加工については、圧延加工、もしくは押出加工のどちらでも特に制限は無い。
＜面削工程［工程４］＞
　面削工程［工程４］では、銅合金板材の表皮の酸化皮膜や変質層を除去する。通常公知の方法により行うことができ、例えば、機械研磨により行うことができる。面削の厚さとしては、例えば０．１～３ｍｍ程度であってよい。
＜第１冷間圧延工程［工程５］＞
　第１冷間圧延工程［工程５］では、例えば加工度９０％の冷間圧延を行う。
＜第１酸化被膜形成工程［工程６］＞
　第１酸化被膜形成工程［工程６］では、上述の第１冷間圧延工程で得られた第１冷延板を、０．０１～２．００体積％の酸素を含んだ中性ガス雰囲気下で、２００℃以上８００℃以下で加熱して、第１酸化被膜を形成する。加熱時間は、例えば１０秒～１０時間であることが好ましい。第１酸化被膜を積極的に形成する理由は、Ｍｎ酸化物を主成分とする酸化被膜を形成させるためである。なお、「第１酸化被膜形成工程」等、「第１」と標記するのは、後述する「第２酸化被膜形成工程」等との区別のためである。ただし、「第２酸化被膜形成工程」等は必須の工程ではなく、「第１酸化被膜形成工程」のみを行ってもよい。
＜第１酸化被膜除去工程［工程７］＞
　第１酸化被膜除去工程［工程７］では、前記酸化被膜形成工程で形成された前記第１冷延板の前記第１酸化被膜を、硫酸水溶液で除去する工程である。硫酸水溶液の濃度は、例えば１～５０％であることが好ましく、５～３０％であることがより好ましい。このような第１酸化被膜除去工程により、表層のＭｎ酸化物を化学的に溶解除去することができ、これにより表層においてマンガン濃度の少ない銅合金条材を得ることができる。
＜第２冷間圧延工程［工程８］＞
　第１酸化被膜除去工程［工程７］の後に、第２冷間圧延工程［工程８］をさらに設けてもよい。この第２冷間圧延工程［工程８］では、例えば加工度０～７５％の冷間圧延を行い、板厚を均一にする。第２冷間圧延後の板厚は用途等にもよるが、例えば０．０１～１０ｍｍとすることができる。これにより、上述した本発明の銅合金条材を得ることができる。
＜第２酸化被膜形成工程［工程９］＞
　第１酸化被膜除去工程［工程７］または第２冷間圧延工程［工程８］の後に、第２酸化被膜形成工程［工程９］をさらに設けてもよい。この第２酸化被膜形成工程は、第２冷間圧延工程で得られた第２冷延板を、０．０１～２．００体積％の酸素を含んだ中性ガス雰囲気下で、２００℃以上８００℃以下で加熱して、第２酸化被膜を形成する工程である。第１酸化被膜形成工程と具体的な操作は同様である。
＜第２酸化被膜除去工程［工程１０］＞
　第２酸化被膜形成工程は、前記第２酸化被膜形成工程で形成された前記第２冷延板の前記第２酸化被膜を、硫酸水溶液で除去する工程である。第１酸化被膜除去工程と具体的な操作は同様である。
　Ｍｎ含有量のＣｕ含有量に対する比（表層［Ｍｎ／Ｃｕ］比）を０．０３０未満にするには、酸素濃度が制御された中性ガス雰囲気下でＭｎを優先酸化させた後、湿式工程にて、前工程で形成された酸化被膜を除去することが必要である。その際、表層［Ｍｎ／Ｃｕ］比を小さくするには、Ｍｎの優先酸化量を増やす必要があり、熱処理温度、時間、酸素濃度を適宜調整し、所望の酸化量を得る必要がある。その後、硫酸溶液で酸化膜を除去することで、表層［Ｍｎ／Ｃｕ］比の小さい表層を形成することができる。また、電気的特性、特に抵抗温度係数（ＴＣＲ）については、Ｍｎ濃度が高い方が良く、これははんだ濡れ性と相反するものである。特に、電気的特性とはんだ濡れ性をより高いレベルで両立させるには、内部のＭｎ濃度が高く、表層のＭｎ濃度が低いことが求められる。これを得るには、内部の濃度を狙って、溶解鋳造した後、最終工程で上記の比の小さい表層を形成すること必要がある。冷間加工ままでも表層［Ｍｎ／Ｃｕ］比の小さい表層を得ることは可能だが、冷延加工により表層［Ｍｎ／Ｃｕ］比が小さい表層が薄くなってしまう恐れがあり、最後に酸化処理、除去処理をすることが好ましい。
　以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の概念および特許請求の範囲に含まれるあらゆる態様を含み、本発明の範囲内で種々に改変することができる。
　次に、本発明の効果をさらに明確にするために、本発明例および比較例について説明するが、本発明はこれらの実施例に限定されるものではない。
　（発明例１～２２、比較例１および３）
　下記表１の「合金組成」欄に記載した合金組成を有する鋳塊を鋳造により製造した。次いでこの鋳塊に対し、加熱温度８００℃以上１０００℃以下、加熱時間１０分以上１０時間以下の条件で熱処理を施して合金成分を均質化した後に、熱間圧延により板状に成形し水冷し、板状物を得た。
　次に、熱間圧延により得た板状物に面削を施して表面の酸化皮膜を片面１ｍｍずつ除去した後に、板状物を加工率９０％以上の所定の加工率で冷間圧延をして、第１冷間圧延後の板厚を０．１５ｍｍ、０．２３ｍｍ、０．５０ｍｍにそれぞれ調整した。
　続けて、窒素ガスと空気の混合ガスからなる、酸素濃度０．０１～２．００体積％で制御された炉内で所定の条件（加熱温度および加熱時間）で表面の酸化処理を施した。酸化処理後、２０％硫酸水溶液により表面の酸化被膜を除去した。
　その後、第１冷間圧延後の板厚が０．１５ｍｍである発明例１、４、７、１０、１３、１６、１９、２２以外の発明例については、３５％（第１冷間圧延後の板厚０．２３ｍｍの場合）又は７０％（第１冷間圧延後の板厚０．５０ｍｍの場合）にて第２冷間圧延を施し、いずれの場合においても、板厚０．１５ｍｍの圧延板（銅合金条材）を得た。なお、本発明例１、４、７、１０、１３、１６、１９、２２および比較例１～３については、第２冷間圧延を施さなかったため、下記表１の「第２冷間圧延工程」の欄に「－」と示した。
　なお、本発明例５、６、８、９、１２、１４、１５、１７、１８、２０および２１については、第２冷間圧延後、再度酸化処理（第２酸化被膜形成工程）を施した後、２０％硫酸水溶液により表面の酸化被膜を除去して銅合金条材を得た。なお、本発明例１～４、７、１０、１１、１３、１６、１９、２２および比較例１～３については、第２酸化被膜形成工程および第２酸化被膜除去工程を行わなかったため、下記表１の「第２酸化被膜形成工程」の欄に「－」と示した。
　（比較例２）
　第１冷間圧延後の板厚を０．３５ｍｍに変更し、酸化処理後に試料の表面を片面０．１ｍｍずつ湿式研磨によって除去することで０．１５ｍｍ厚の銅合金条材試料を得た。
［銅合金条材の組成］
　銅合金条材の化学組成は、ＩＣＰ分析により測定し、下記表１に示した。また、表層［Ｍｎ／Ｃｕ］比および表層Ｍｎ含有量／内部Ｍｎ含有量の比は、オージェ電子分光装置ＰＩＨ　６８０（アルバック・ファイ株式会社）によって測定を行った。具体的には、得られたＣｕとＭｎのスペクトルから、原子％を得た後、Ｃｕの原子量を６３．５４６、Ｍｎの原子量を５４．９３８として計算し、ＭｎとＣｕの質量％換算でそれらの含有量を算出した。なお、測定時のスパッタ速度を２ｋＶ（ＳｉＯ２換算値で１０ｎｍ／ｍｉｎ）として、０分から５分までの時間、０．２５分間隔で測定した（Ｍｎ含有量）／（Ｃｕ含有量）の比を、質量比換算で平均した値をさらに、表裏５点ずつ測定して平均した値を表層［Ｍｎ／Ｃｕ］比（表面と、表面から深さ方向に０．０５μｍ位置とで区画される表層領域における平均［Ｍｎ／Ｃｕ］比）として下記表１に示した。このとき、この表層領域において、０．２５分間隔でＭｎ含有量を測定して平均し、さらに、表裏５点ずつ測定して平均した値を「表層領域にて測定したＭｎ含有量」（表層Ｍｎ含有量）として求めた。また、表面から深さ方向に５μｍ位置と、表面から深さ方向に１０μｍ位置とで区画される内部領域において、測定時のスパッタ速度を４ｋＶ（ＳｉＯ２換算値で１００ｎｍ／ｍｉｎ）として、５０分から１００分までの時間、０．２５分間隔で測定したＭｎの含有量を平均した値をさらに、表裏５点ずつ測定して平均した値を「内部領域にて測定したＭｎ含有量」（内部Ｍｎ含有量）として求めた。以上のようにして求めた表層Ｍｎ含有量と、内部Ｍｎ含有量の値より、表層Ｍｎ含有量／内部Ｍｎ含有量の比を表１に示した。
　　測定装置　　：ＰＩＨ　６８０（アルバック・ファイ株式会社）
　　分析面積　　：１０×１０μｍ
　　スパッタ速度：２．４ｋＶ（ＳｉＯ２換算値で１０又は１００ｎｍ／ｍｉｎ）
［はんだ濡れ性］
　ソルダーチェッカーによって、幅１０ｍｍに切断した試験片を、２４５℃に熱したＳｎ－３Ａｇ－０．５Ｃｕ合金に浸漬速度２５ｍｍ／ｓｅｃで１０ｍｍ浸漬させ、最大濡れ荷重（ｍＮ）を読み取った。なお、フラックスにＲＭＡタイプ（ＲＭ６１５）を用い、濡れ荷重が５ｍＮ以上である場合を、はんだ濡れ性が優れているとして「◎」、４ｍＮ以上５ｍＮ未満である場合を、はんだ濡れ性が良好であるとして「○」、濡れ荷重が４ｍＮ未満である場合を、半田濡れ性が劣るとして「×」と評価し、表１に示した。
［抵抗温度係数（ＴＣＲ）］
　ＪＩＳ　Ｃ２５２６（１９９４）に規定の方法に準拠して、板材の２０℃以上５０℃以下の範囲の平均抵抗温度係数（ＴＣＲ）を測定した。２０℃以上５０℃以下の範囲の平均抵抗温度係数の絶対値が２００ｐｐｍ／Ｋ以下である場合を、電気的特性が優れているとして「◎」、２００ｐｐｍ／Ｋ超え４００ｐｐｍ／Ｋ以下である場合を、電気的特性が良好として「○」、４００ｐｐｍ／Ｋ超えの場合を電気的特性が劣るとして「×」と評価し、表１に示した。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000001
　上記表１から分かるように、３質量％以上２０質量％以下のマンガンを含有し、残部が銅および不可避不純物からなる組成を有し、オージェ電子分光法により、表面と、該表面から深さ方向に０．０５μｍ位置とで区画される表層領域にて測定した、Ｍｎ含有量のＣｕ含有量に対する比（表層［Ｍｎ／Ｃｕ］比）が、質量比に換算して、０．０３０未満である本発明例１～２２の銅合金条材は、低いＴＣＲおよび良好なはんだ濡れを兼ね備えることが分かった。
　これに対し、マンガン含有量が２質量％と本発明の適正範囲よりも少ない比較例１の銅合金条材は、良好なはんだ濡れを備えるものの、ＴＣＲが高く、電気的特性が劣るものとなった。
　また、表層［Ｍｎ／Ｃｕ］比が０．１１１である比較例２の銅合金条材は、低いＴＣＲを備えるものの、はんだ濡れが劣っていた。
　さらに、マンガン含有量が２５質量％と本発明の適正範囲よりも多い比較例３の銅合金条材は、低いＴＣＲを備えるものの、はんだ濡れが劣っていた。

Claims (9)

  1. 　３質量％以上２０質量％以下のマンガン（Ｍｎ）を含有し、残部が銅（Ｃｕ）および不可避不純物からなる組成を有する銅合金条材であって、
    　オージェ電子分光法により、表面と、該表面から深さ方向に０．０５μｍ位置とで区画される表層領域にて測定した、Ｍｎ含有量のＣｕ含有量に対する比（表層［Ｍｎ／Ｃｕ］比）が、質量比に換算して、０．０３０未満であることを特徴とする、銅合金条材。
  2. 　オージェ電子分光法により、表面から深さ方向に５μｍ位置と１０μｍ位置とで区画される内部領域にて測定したＭｎ含有量に対する、前記表層領域にて測定したＭｎ含有量の比（表層Ｍｎ含有量／内部Ｍｎ含有量比）が、質量比に換算して、０．５０以下であることを特徴とする、請求項１に記載の銅合金条材。
  3. 　マンガンを５質量％以上２０質量％以下含有することを特徴とする、請求項１または２に記載の銅合金条材。
  4. 　０．０１質量％以上５質量％以下のニッケル、
    　０．０１質量％以上５質量％以下の錫、
    　０．０１質量％以上５質量％以下の亜鉛、
    　０．０１質量％以上０．５質量％以下の鉄、
    　０．０１質量％以上０．５質量％以下のケイ素、
    　０．０１質量％以上０．５質量％以下のクロム、
    　０．０１質量％以上０．５質量％以下のジルコニウム、
    　０．０１質量％以上０．５質量％以下のチタン、
    　０．０１質量％以上０．５質量％以下の銀、
    　０．０１質量％以上０．５質量％以下のマグネシウム、
    　０．０１質量％以上０．５質量％以下のコバルト、および、
    　０．０１質量％以上０．５質量％以下のリンからなる群より選択される１種以上の元素を含有することを特徴とする、請求項１～３のいずれか１項に記載の銅合金条材。
  5. 　請求項１～４のいずれか１項に記載の銅合金条材の製造方法であって、
    　鋳造工程［工程１］、均質化処理工程［工程２］、熱間圧延工程［工程３］、面削工程［工程４］、第１冷間圧延工程［工程５］、第１酸化被膜形成工程［工程６］および第１酸化被膜除去工程［工程７］をこの順に有し、
    　前記第１酸化被膜形成工程では、第１冷間圧延工程で得られた第１冷延板を、０．０１～２．００体積％の酸素を含んだ中性ガス雰囲気下で、２００℃以上８００℃以下で加熱して、第１酸化被膜を形成し、
    　前記第１酸化被膜除去工程では、前記第１酸化被膜形成工程で形成された前記第１冷延板の前記第１酸化被膜を、硫酸水溶液で除去することを特徴とする、銅合金条材の製造方法。
  6. 　前記第１酸化被膜除去工程［工程７］後に、前記第２冷間圧延工程［工程８］をさらに有することを特徴とする、請求項５に記載の銅合金条材の製造方法。
  7. 　前記第２冷間圧延工程［工程８］後に、第２酸化被膜形成工程［工程９］および第２酸化被膜除去工程［工程１０］をさらに有し、
    　前記第２酸化被膜形成工程では、第２冷間圧延工程で得られた第２冷延板を、０．０１～２．００体積％の酸素を含んだ中性ガス雰囲気下で、２００℃以上８００℃以下で加熱して、第２酸化被膜を形成し、
    　前記第２酸化被膜除去工程では、前記第２酸化被膜形成工程で形成された前記第２冷延板の前記第２酸化被膜を、硫酸水溶液で除去することを特徴とする、請求項６に記載の銅合金条材の製造方法。
  8. 　請求項１～４のいずれか１項に記載の銅合金条材を用いた抵抗器用抵抗材料。
  9. 　請求項８に記載の抵抗材料を有する抵抗器。
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