WO2020054778A1 - 長尺体の製造方法 - Google Patents

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WO2020054778A1
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layer
coating
fep
intermediate layer
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渡辺　洋明
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株式会社 潤工社
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    • H01B7/18—Protection against damage caused by wear, mechanical force or pressure; Sheaths; Armouring
    • H01B7/1875—Multi-layer sheaths

Definitions

  • the present invention relates to a long body composed of an electric wire, a tube, and the like, and a method of manufacturing the same.
  • a flat cable in which a plurality of wires, tubes, and the like are arranged in a flat shape or a twisted round cable is used.
  • This flat cable or round cable is provided with a coating layer on the outer periphery of the cable in order to protect the cable from friction or corrosion due to external stress.
  • a coating layer on the outer periphery of the cable in order to protect the cable from friction or corrosion due to external stress.
  • such a cable often requires flexibility, and polyvinyl chloride (PVC), urethane, or an olefin-based resin is used as a material of the coating layer.
  • PVC polyvinyl chloride
  • urethane urethane
  • an olefin-based resin is used as a material of the coating layer.
  • these resins contain additives such as flame retardants, plasticizers, and antioxidants, and when used in clean rooms in semiconductor and organic EL manufacturing equipment, bleed-out of additives etc. Contamination is a problem.
  • Fluororesin such as polytetrafluoroethylene (PTFE) because of its excellent electrical properties such as cleanliness, slipperiness, heat resistance, nonflammability, chemical resistance, and low dielectric constant without plasticizers Is used as a material for the coating layer.
  • Patent Document 1 Japanese Patent Application Laid-Open No. 2006-19125 discloses that, while having excellent environmental resistance properties such as heat resistance and chemical resistance, it has excellent flexibility, flexibility, or flexibility, and good sliding.
  • a flat cable having a property a flat cable using a PTFE sheet or a porous PTFE sheet for a coating layer is disclosed.
  • the present invention has been made in view of the above points, and an object of the present invention is to provide a method for producing a long body having good slipperiness, flexibility, and flexibility, and having less contamination to the surroundings. is there.
  • a long body manufactured by the manufacturing method of the present invention That is, a method for producing a long body covered with a coating layer, wherein the long body is at least composed of a plurality of wires and / or tubes, and the coating layer has at least an intermediate layer and an outermost layer. Consisting of As the intermediate layer, a resin film having a density ⁇ 1 of 0.2 g / cm 3 or more and 1.8 g / cm 3 or less and a peak-to-valley value PV1 of 5 ⁇ m or more is used.
  • a resin film having a density ⁇ 2 of 1.2 g / cm 3 or more and 2.5 g / cm 3 or less is used, and at least a step of coating the elongated body with the coating layer; And / or fixing the position of the tube, and when PV2 which is the Peak-to-Valley value of the surface of the outermost layer is 5 ⁇ m or less, the following formulas (1) and (3) are satisfied, and PV2 is 5 ⁇ m
  • the intermediate layer has a porous structure.
  • a porous structure when the long body is bent, the pores in the intermediate layer are deformed, thereby reducing the load and providing high flexibility.
  • the intermediate layer referred to in the present invention refers to a coating layer having the largest thickness among the coating layers.
  • the coating layer further includes a functional layer.
  • a functional layer When at least one of the outermost layer and the intermediate layer is made of a fluororesin or the like, the adhesiveness to the mating material is often low, and providing an adhesive layer is useful because the durability of the coating layer is improved.
  • a resin film constituting the outermost layer or a heat-meltable resin having a lower melting point than the resin film constituting the intermediate layer can be used.
  • the present invention it is possible to provide a long body having good slipperiness, flexibility, and flexibility, and having less contamination to the surroundings, and a method for manufacturing the same.
  • FIG. 1 is a schematic view of an example of a long body produced by the manufacturing method of the present invention, and is a cross-sectional view of the long body.
  • FIG. 2 is an enlarged cross-sectional view of a portion A of the elongated body covering layer in FIG.
  • FIG. 3 is an enlarged cross-sectional view of the covering layer portion of the long body.
  • FIG. 4 is a schematic view of another example of the elongated body produced by the manufacturing method of the present invention, and is a cross-sectional view of the elongated body.
  • FIG. 5 is a diagram for explaining the Peak-to-Valley value in the present invention.
  • FIG. 1 is an example of a long body produced by the manufacturing method of the present invention, and is a schematic diagram of a cross section of a flat long body 100.
  • the elongated body 100 is prepared by preparing a plurality of electric wires, tubes, or both as objects to be coated, and juxtaposed or arranged in parallel with each other.
  • the number of cores of the object to be coated is five, but is not limited to this number.
  • the coating layer 110 is arranged so as to sandwich both sides (in the vertical direction in FIG. 1) of the object to be coated, and the portion where the coating layer 110 is bonded via the object to be coated, that is, the web portion 111 is formed of Are bonded by sintering or fusion.
  • the electric wires and / or tubes of the individual objects to be coated of the elongated body 100 are held and fixed at predetermined positions.
  • an object to be covered is one in which a plurality of electric wires, tubes, or both are arranged in parallel.
  • the coating target 120 is one FEP electric wire here.
  • 130 is one PFA electric wire here.
  • Reference numeral 140 denotes a two-core parallel cable in which two FEP electric wires are arranged in parallel.
  • Reference numeral 150 denotes a cable in which four PFA electric wires are twisted.
  • 160 is one FEP tube here.
  • the number of objects to be covered is five, but the number of objects to be covered is not limited to this, and the objects to be covered are a single-wire covered conductor, a two-core parallel cable, and a plurality of cables. It can be selected according to the required function, such as a twisted cable, a coaxial cable, and a tube.
  • FIG. 1 As another example of the elongated body produced by the manufacturing method of the present invention shown in FIG. 1, there is also a configuration of one electric wire and one tube as an object to be covered.
  • FIG. 2 is an enlarged cross-sectional view of the portion A of the elongated covering layer 110 of FIG.
  • the coating layer 110 includes at least an intermediate layer 112 and an outermost layer 113.
  • the intermediate layer 112 a resin film having a density ⁇ 1 of 0.2 g / cm 3 or more and 1.8 g / cm 3 or less is used. PV1 on the surface of the resin film constituting the intermediate layer 112 is 5 ⁇ m or more.
  • the resin constituting the intermediate layer 112 is polytetrafluoroethylene (PTFE), tetrafluoroethylene-perfluoroalkylvinylether copolymer (PFA), tetrafluoroethylene-hexafluoropropylene copolymer (FEP), polyvinylidene fluoride ( It is preferable to use a fluororesin such as PVDF) or a polyolefin resin such as polyethylene (PE).
  • a resin film having a density ⁇ 1 of 0.2 g / cm 3 or more and 1.8 g / cm 3 or less for the intermediate layer 112, and 0.3 g / cm 3 or more and 1.3 g / cm 3. It is more preferably at most 0.4 g / cm 3 and at most 1.0 g / cm 3 .
  • the density of polytetrafluoroethylene (PTFE) or polyethylene (PE) resin can be controlled by the processing conditions. Since these resins can be formed into a porous structure by stretching, in order to reduce the density, after forming into a sheet, by stretching while heating, a plurality of fibrils and pores between the fibrils are formed.
  • the density is reduced by increasing the stretching ratio.
  • a resin film having a plurality of continuous nodes and having high physical strength can be obtained.
  • a biaxial stretching method that is stretching from two directions a resin film having a lower density can be obtained, and flexibility is further increased.
  • the density can also be controlled by adjusting the firing temperature and firing time for firing the formed sheet, and adjusting the firing state to be completely fired, semi-fired, or not fired.
  • a resin film having a porous structure by foaming at the time of extrusion molding or a resin film having a porous structure formed by mixing a resin and a solvent at a high temperature and then lowering the temperature to separate into two layers may be used.
  • a resin film having a density ⁇ 2 of 1.2 g / cm 3 or more and 2.5 g / cm 3 or less is used.
  • the resin used for the outermost layer 113 is PTFE, tetrafluoroethylene-perfluoroalkylvinylether copolymer (PFA), tetrafluoroethylene-hexafluoropropylene copolymer (FEP), or tetrafluoroethylene-ethylene copolymer ( It is preferably a resin containing no plasticizer, such as a fluororesin such as ETFE) or polychlorotrifluoroethylene (PCTFE), or a polyetheretherketone (PEEK) or polyimide (PI).
  • a resin film having a thickness of 5 ⁇ m to 100 ⁇ m is used for the outermost layer.
  • PV1 on the surface of the resin film forming the intermediate layer 112 and PV2 on the surface of the resin film forming the outermost layer 113 are PV1 ⁇ PV2 ⁇ 2 ⁇ m.
  • the outermost layer 113 has PV1 and PV2 satisfying the relationship of PV2 ⁇ PV1> 0 ⁇ m, and at the same time, the resin film constituting the outermost layer.
  • the density ⁇ 2 of the intermediate layer 112 and the density ⁇ 1 of the resin film constituting the intermediate layer 112 satisfy a relationship of ⁇ 2 ⁇ 1 ⁇ 0.1 g / cm 3 .
  • the relationship between PV1 and PV2 suitable for the present invention is switched when PV2 on the surface of the elongated body made by the manufacturing method of the present invention is exactly 5 ⁇ m.
  • the case where ⁇ 2- ⁇ 1 ⁇ 0.3 g / cm 3 or more is preferable, and the case where ⁇ 2- ⁇ 1 ⁇ 1.0 g / cm 3 or more is more preferable.
  • the long object manufactured by the manufacturing method of the present invention can solve the problem of the present invention by the above-described configuration. While having high flexibility, it is possible to reduce the adhesion of foreign substances remaining on the surface of the coating layer, and it is possible to handle a small amount of oil and surroundings during cable handling, assembly and installation processes, equipment operation, etc. Foreign substances such as particles, chemicals, and moisture in the surrounding air are difficult to adhere to and are easily removed. Therefore, when placed in a clean environment, there is little contamination to surroundings, and there is little generation of dust and the like due to outgassing and wear of the long body itself, so that a long body that does not pollute the surroundings can be obtained.
  • FIG. 3 shows another example of the elongated body coating layer formed by the manufacturing method of the present invention.
  • the covering layer may be provided with a functional layer in addition to the intermediate layer and the outermost layer.
  • the covering layer 110a has an adhesive layer 114 # a disposed between the intermediate layer 112a and the outermost layer 113a, and increases the adhesive force between the intermediate layer 112a and the outermost layer 113a to slide the elongated body. The durability of the coating layer 110a is increased. Further, another adhesive layer 114a is disposed on the surface of the intermediate layer 112a opposite to the outermost layer 113a side, and when joining the covering layers 110a, a resin film or an outermost layer constituting the intermediate layer 112a is formed.
  • the bonding and integration can be performed at a temperature lower than the melting point of the resin film constituting the layer 113a. Since the resin film constituting the intermediate layer 112a and the resin film constituting the outermost layer 113a can be joined at a temperature at which the influence is small, the high function of the covering layer 110a can be maintained and high durability can be obtained. .
  • the adhesive layer it is possible to use a heat-meltable fluororesin or an olefin resin such as polyethylene.
  • a functional layer can be provided in accordance with the function required by the elongated body, such as a solvent barrier property.
  • FIG. 4 is a cross-sectional view of a round elongated body according to an example of the embodiment of the present invention.
  • the covering layer 210 of the elongated body 200 includes an outermost layer 211, an intermediate layer 212, and an adhesive layer 213.
  • an electric wire, a tube, or both of them are twisted and used.
  • 220 is one FEP electric wire here.
  • Reference numeral 230 denotes a cable in which seven PFA electric wires are twisted.
  • 240 is a cable in which two FEP electric wires are twisted in this case.
  • Reference numeral 250 denotes one PFA electric wire here.
  • 260 and 270 are a single nylon tube
  • 280 is a tinned annealed copper wire (drain wire).
  • These 220 to 280 are twisted, and the coating layer 210 is wound around the outer periphery thereof. After winding, the overlapping portions of the tape are joined by heating.
  • the electric wires and / or tubes of the individual objects to be coated of the elongated body 200 are held and fixed at predetermined positions.
  • the configuration and number of electric wires and tubes to be coated are not limited to the examples shown here, and one or a plurality of electric wires may be twisted or may be arranged in parallel. Further, a part of the twisted electric wire may be constituted by a tube.
  • a white interference microscope New view 6300 manufactured by Zygo was used.
  • a white LED was used as a light source, and a Gaussian filter was applied for surface filtering.
  • the measurement resolution in the height direction is 0.1 nm.
  • the observation magnification was set to 50 times, the cutoff frequency on the high frequency side (Filter High Wavelength) was set to 0.00250 mm, and the cutoff frequency on the low frequency side (Filter Low Wavelength) was set to 0.80000 mm.
  • the shape of the surface was measured, and a Peak-to-Valley value (PV) was calculated.
  • Analysis software MetroPro was used for the analysis of the measurement data.
  • PV refers to the distance in the height direction between the highest point and the lowest point on the measurement surface.
  • the ink was applied to the surface, the adhesion was checked, and the amount of the ink component remaining when the ink was wiped off with a cotton cloth was checked.
  • the adhesion state of the ink components and the remaining amount of the ink were evaluated on a five-point scale.
  • the ink component did not adhere to 5, the ink component adhered slightly, and the ink component was completely removed by wiping, and the ink component was completely removed.
  • the sample was identified as 3, the ink was attached, and the trace of the ink was confirmed even after wiping, and 2 was the sample where the ink was attached and the ink was hardly removed even after wiping.
  • Example 1 A PTFE resin film was used as the outermost layer, and another PTFE resin film was used as an intermediate layer inside the PTFE resin film.
  • the resin film was prepared by cutting to a required width. The thickness, PV, and density of each of the resin films of the outermost layer and the intermediate layer were measured. The results are shown in Table 1.
  • two resin films were laminated and heated to form a coating layer. In preparation for the object to be covered, one FEP electric wire, one FEP electric wire, one cable in which four PFA electric wires are twisted, one cable in which two PFA electric wires are twisted, and one FEP tube in a horizontal direction. Arranged.
  • a coating layer was arranged above and below the arranged coating objects, and the web portion was heated to fix the position of each coating object, thereby producing a long body.
  • the evaluation results of the cleanness are shown in Table 1.
  • Example 2 A PTFE resin film as an outermost layer, a 0.02 ⁇ m-thick FEP resin film as an inner adhesive layer, another PTFE resin film as an intermediate layer further inside, and a further PTFE resin film as an inner adhesive layer.
  • An FEP resin film having a thickness of 0.02 ⁇ m was used. The resin film was prepared by cutting to a required width. The thickness, PV, and density of each of the resin films of the outermost layer and the intermediate layer were measured. The results are shown in Table 1.
  • the four resin films were laminated and heated to form a coating layer.
  • a coating layer was arranged above and below the arranged coating objects, and the web portion was heated to fix the position of each coating object, thereby producing a long body.
  • the evaluation results of the cleanness are shown in Table 1.
  • Example 3 A PTFE resin film as an outermost layer, a 0.02 ⁇ m-thick FEP resin film as an inner adhesive layer, another PTFE resin film as an intermediate layer further inside, and a further PTFE resin film as an inner adhesive layer.
  • An FEP resin film having a thickness of 0.02 ⁇ m was used.
  • the resin film was prepared by cutting to a required width.
  • the thickness, PV, and density of each of the resin films of the outermost layer and the intermediate layer were measured. The results are shown in Table 1. Next, the four resin films were laminated and heated to form a coating layer.
  • a coating layer was arranged above and below the arranged coating objects, and the web portion was heated to fix the position of each coating object, thereby producing a long body.
  • the evaluation results of the cleanness are shown in Table 1.
  • An FEP resin film was used as the outermost layer, a PTFE resin film was used as an intermediate layer inside the FEP resin film, and a 0.02 ⁇ m-thick FEP resin film was used as an adhesive layer inside the FEP resin film.
  • the resin film was prepared by cutting to a required width. The thickness, PV, and density of each of the resin films of the outermost layer and the intermediate layer were measured. The results are shown in Table 1.
  • three resin films were laminated and heated to form a coating layer.
  • As an object to be coated a cable in which four PFA electric wires were twisted together and one in which four FEP electric wires were twisted were prepared.
  • the coating layer was wound around the outer periphery so as to overlap doubly, and heated to fix the position of each object to be coated, thereby producing a long body.
  • the evaluation results of the cleanness are shown in Table 1.
  • Example 5 A PEEK resin film was used as an outermost layer, a PTFE resin film was used as an intermediate layer inside the PEEK resin film, and a 0.02 ⁇ m-thick FEP resin film was used as an adhesive layer inside the PEEK resin film.
  • the resin film was prepared by cutting to a required width. The thickness, PV, and density of each of the resin films of the outermost layer and the intermediate layer were measured. The results are shown in Table 1. Next, three resin films were laminated and heated to form a coating layer. In preparation for the object to be covered, one FEP electric wire, one FEP electric wire, one cable in which four PFA electric wires are twisted, one cable in which two PFA electric wires are twisted, and one FEP tube in a horizontal direction.
  • a coating layer was arranged above and below the arranged coating objects, and the web portion was heated to fix the position of each coating object, thereby producing a long body.
  • the evaluation results of the cleanness are shown in Table 1.
  • a PTFE resin film was used as an outermost layer, and a PE resin film was used as an intermediate layer inside the PTFE resin film.
  • the resin film was prepared by cutting to a required width.
  • the thickness, PV, and density of each of the resin films of the outermost layer and the intermediate layer were measured. The results are shown in Table 1.
  • two resin films were laminated and heated to form a coating layer.
  • one FEP electric wire In preparation for the object to be covered, one FEP electric wire, one FEP electric wire, one cable in which four PFA electric wires are twisted, one cable in which two PFA electric wires are twisted, and one FEP tube in a horizontal direction. Arranged. A coating layer was arranged above and below the arranged coating objects, and the web portion was heated to fix the position of each coating object, thereby producing a long body. The evaluation results of the cleanness are shown in Table 1. [Example 7] A PTFE resin film was used as the outermost layer, and another PTFE resin film was used as an intermediate layer inside the PTFE resin film. The resin film was prepared by cutting to a required width.
  • the thickness, PV, and density of each of the resin films of the outermost layer and the intermediate layer were measured. The results are shown in Table 2.
  • two resin films were laminated and heated to form a coating layer.
  • a coating layer was arranged above and below the arranged coating objects, and the web portion was heated to fix the position of each coating object, thereby producing a long body.
  • Table 2 shows the evaluation results of the cleanliness.
  • Example 8 An FEP resin film was used as the outermost layer, a PTFE resin film was used as an intermediate layer inside the FEP resin film, and a 0.02 ⁇ m-thick FEP resin film was used as an adhesive layer inside the FEP resin film.
  • the resin film was prepared by cutting to a required width. The thickness, PV, and density of each of the resin films of the outermost layer and the intermediate layer were measured. The results are shown in Table 2. Next, three resin films were laminated and heated to form a coating layer. In preparation for the object to be covered, one FEP electric wire, one FEP electric wire, one cable in which four PFA electric wires are twisted, one cable in which two PFA electric wires are twisted, and one FEP tube in a horizontal direction. Arranged.
  • a coating layer was arranged above and below the arranged coating objects, and the web portion was heated to fix the position of each coating object, thereby producing a long body.
  • Table 2 shows the evaluation results of the cleanliness.
  • a PTFE resin film was used as an outermost layer, another PTFE resin film was used as an intermediate layer inside the PTFE resin film, and a 0.02 ⁇ m-thick FEP resin film was used as an adhesive layer inside the PTFE resin film.
  • the resin film was prepared by cutting to a required width. The thickness, PV, and density of each of the resin films of the outermost layer and the intermediate layer were measured. The results are shown in Table 2. Next, three resin films were laminated and heated to form a coating layer.
  • a cable in which four PFA electric wires were twisted together and one in which four FEP electric wires were twisted were prepared.
  • the outer periphery was wound and coated so that the coating layer overlapped twice, and heated to fix the position of each object to be coated, thereby producing a long body.
  • Table 2 shows the evaluation results of the cleanliness.
  • a 0.02 mm FEP resin film was used.
  • the resin film was prepared by cutting to a required width.
  • the thickness, PV, and density of each of the resin films of the outermost layer and the intermediate layer were measured. The results are shown in Table 2.
  • the four resin films were laminated and heated to form a coating layer.
  • a coating layer was arranged above and below the arranged coating objects, and the web portion was heated to fix the position of each coating object, thereby producing a long body.
  • Table 2 shows the evaluation results of the cleanliness.
  • Example 11 A PEEK resin film was used as the outermost layer, a PTFE resin film was used as an intermediate layer inside the PEEK resin film, and a 0.02 mm thick FEP resin film was used as an adhesive layer inside the PEEK resin film.
  • the resin film was prepared by cutting to a required width. The thickness, PV, and density of each of the resin films of the outermost layer and the intermediate layer were measured. The results are shown in Table 2. Next, three resin films were laminated and heated to form a coating layer. In preparation for the object to be covered, one FEP wire, one FEP wire, one cable in which four PFA wires are twisted, one cable in which two PFA wires are twisted, and one FEP tube are placed horizontally. Arranged.
  • a coating layer was arranged above and below the arranged coating objects, and the web portion was heated to fix the position of each coating object, thereby producing a long body.
  • Table 2 shows the evaluation results of the cleanliness.
  • a PTFE resin film was used as an outermost layer, and a PE resin film was used as an intermediate layer inside the PTFE resin film. The resin film was prepared by cutting to a required width. The thickness, PV, and density of each of the resin films of the outermost layer and the intermediate layer were measured. The results are shown in Table 2. Next, two resin films were laminated and heated to form a coating layer.
  • one FEP wire, one FEP wire, one cable in which four PFA wires are twisted, one cable in which two PFA wires are twisted, and one FEP tube are placed horizontally. Arranged. Coating layers were arranged above and below the arranged coating objects, and the web portion was heated to fix the position of each coating object, thereby producing a long body. Table 2 shows the evaluation results of the cleanliness.
  • the elongated body of the present invention has good slipperiness, flexibility, and flexibility, and has little contamination to the surroundings, so that it can be used for semiconductor manufacturing equipment or measuring equipment requiring cleanliness. is there.

Landscapes

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Abstract

本発明の長尺体の製造方法は、良好な滑り性、屈曲性、柔軟性を有し、周囲への汚染が少ない長尺体を製造するために発明され、複数本の、電線及び／又はチューブから構成され、被覆層は、少なくとも中間層と最外層とからなり、該中間層には、密度ρ１が０．２ｇ／ｃｍ３以上１．８ｇ／ｃｍ３以下、かつ、表面のＰＶ値であるＰＶ１が５μｍ以上の樹脂膜が使用され、該最外層には、密度ρ２が１．２ｇ／ｃｍ３以上２．５ｇ／ｃｍ３以下の樹脂膜が使用され、少なくとも、該長尺体を該被覆層で被覆する工程、及び、該複数本の、電線及び／又はチューブの位置を固定する工程を含み、該最外層の表面のＰＶ値であるＰＶ２が５μｍ以下のとき以下の式（１）および式（３）を満たし、ＰＶ２が５μｍより大きいとき以下の式（２）および式（３）を満たすことを特徴とする。 ＰＶ１－ＰＶ２≧２　μｍ　（１） ＰＶ２－ＰＶ１＞０　μｍ　（２） ρ２－ρ１≧０.１　ｇ／ｃｍ３　（３）

Description

長尺体の製造方法
  本発明は、電線、チューブなどで構成される長尺体とその製造方法に関する。
  工作機械などの可動部と固定部とを電気的に接続するために、複数本の電線、チューブなどを平坦状に並列したフラットケーブルや撚り合せたラウンドケーブルが用いられる。このフラットケーブルやラウンドケーブルは、外部からの応力による摩擦あるいは腐食などから保護するために、ケーブルの外周に被覆層が設けられる。一般に、このようなケーブルには柔軟性が求められることが多く、被覆層の材料としてポリ塩化ビニル（ＰＶＣ）やウレタン、オレフィン系樹脂が使用される。しかし、これらの樹脂には難燃剤や可塑剤、酸化防止剤などの添加剤が配合されており、半導体や有機ELの製造装置におけるクリーンルームなどで使用される場合には、添加剤のブリードアウトなどによる汚染が問題となる。
可塑剤などを含まないクリーン性、滑り性、耐熱性、不燃性、耐薬品性、または低誘電率であるなどの電気的特性のすぐれた特性から、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）などのフッ素樹脂が被覆層の材料として用いられる。特許文献１（特開２００６－１９１２５号公報）には、耐熱性、耐薬品性などの耐環境特性に優れるとともに、優れた屈曲自在性、可とう性、あるいは柔軟性を有すると共に、良好な滑り性を有する平坦状ケーブルとして、被覆層にＰＴＦＥシートあるいは多孔質ＰＴＦＥシートを用いた平坦状ケーブルが開示されている。
  本発明は、上記の点に鑑みてなされたもので、その目的は、良好な滑り性、屈曲性、柔軟性を有するとともに、周囲への汚染が少ない長尺体の製造方法を提供することである。
  上記の課題は、本発明の製造方法によって製造された長尺体によって解決される。すなわち、被覆層で被覆された長尺体の製造方法であって、該長尺体は、複数本の、電線及び／又はチューブから少なくとも構成され、該被覆層は、少なくとも中間層と最外層とからなり、
該中間層には、密度ρ１が０．２ｇ／ｃｍ３以上１．８ｇ／ｃｍ３以下、かつ、表面のＰｅａｋ－ｔｏ－Ｖａｌｌｅｙ値であるＰＶ１が５μｍ以上の樹脂膜が使用され、該最外層には、密度ρ２が１．２ｇ／ｃｍ３以上２．５ｇ／ｃｍ３以下の樹脂膜が使用され、少なくとも、該長尺体を該被覆層で被覆する工程、及び、該複数本の、電線及び／又はチューブの位置を固定する工程を含み、該最外層の表面のＰｅａｋ－ｔｏ－Ｖａｌｌｅｙ値であるＰＶ２が５μｍ以下のとき以下の式（１）および式（３）を満たし、ＰＶ２が５μｍより大きいとき以下の式（２）および式（３）を満たすことを特徴とする、被覆層で被覆された長尺体の製造方法によって製造された長尺体である。
ＰＶ１－ＰＶ２≧２　μｍ　　（１）
ＰＶ２－ＰＶ１＞０　μｍ　　（２）
ρ２－ρ１≧０.１　ｇ／ｃｍ３　　（３）
また、好ましくは、上記中間層が、多孔構造を有するものである。多孔構造を有していることで、長尺体が屈曲するときに中間層の空孔が変形することで負荷を緩和し、高い柔軟性を与える。本発明でいう中間層とは、被覆層の中で最大の厚さを有するものを指す。
また、好ましくは、上記被覆層が、さらに機能層を備えている。最外層と中間層の少なくとも一方をフッ素樹脂などで構成した場合には相手材料との接着性が小さい場合が多く、接着層を設けると被覆層の耐久性が向上し有用である。接着層には最外層を構成する樹脂膜または中間層を構成する樹脂膜よりも融点が低い熱溶融性樹脂などを用いることができる。
  本発明によれば、良好な滑り性、屈曲性、柔軟性を有するとともに、周囲への汚染が少ない長尺体とその製造方法を提供することが可能である。
図１は、本発明の製造方法で作成した長尺体の一例の模式図であり、長尺体の断面図である。 図２は、図１の長尺体の被覆層のＡ部分の拡大断面図である。 図３は、長尺体の被覆層部分の拡大断面図である。 図４は、本発明の製造方法で作成した長尺体の別の一例の模式図であり、長尺体の断面図である。 図５は、本発明におけるＰｅａｋ－ｔｏ－Ｖａｌｌｅｙ値を説明する図である。
　以下、本発明の好ましい実施の形態について図面を参照して説明する。以下に説明する実施形態は特許請求の範囲に係る発明を限定するものではなく、また実施形態の中で説明されている特徴の組み合わせの全てが本発明の成立に必須であるとは限らない。
　図１は、本発明の製造方法によって作成される長尺体の一例であり、フラット形状の長尺体１００の断面の模式図である。長尺体１００は、被覆対象物として、複数本の、電線、チューブ、またはその両方を準備し、並置あるいは互いに平行に配列して構成する。図１に示した長尺体の一例では被覆対象物の芯数は５本だが、この芯数に限るものではない。被覆対象物の両側（図１では上下方向）を挟むように被覆層１１０が配置されているとともに、被覆層１１０が被覆対象物を介して接合する部分、すなわちウェブ部分１１１は、被覆層１１０同士が焼結または融着して結合している。被覆層１１０の結合により、長尺体１００の個々の被覆対象物の電線及び／又はチューブは、所定位置に保持、固定される。
　図１に示した本発明の製造方法によって作成される長尺体の一例では、被覆対象物として、電線、チューブ、またはその両方を複数本並列したものを用いる。被覆対象物１２０は、ここでは１本のＦＥＰ電線である。１３０は、ここでは１本のＰＦＡ電線である。１４０は、ここでは２本のＦＥＰ電線を平行に並べた２芯平行ケーブルである。１５０は、ここでは４本のＰＦＡ電線を撚り合わせたケーブルである。１６０は、ここでは１本のＦＥＰチューブである。これら１２０から１６０の被覆対象物は、並列に配置され、その上下に、被覆層１１０が配置されている。図１に示した実施形態では被覆対象物が５本だが、この本数に限るものではなく、また、被覆対象物として用いられるのは、単線の被覆導体、２心並行ケーブル、複数本のケーブルを撚り合せたもの、同軸ケーブル、チューブなど、必要とされる機能に合わせて選択することが可能である。
図１に示した本発明の製造方法によって作成される長尺体の別の一例として、被覆対象物として、１本の電線と１本のチューブの構成もある。
　図２は、図１の長尺体の被覆層１１０の部分Ａの拡大断面図である。被覆層１１０は、少なくとも中間層１１２と最外層１１３とから構成される。
中間層１１２には密度ρ１が０．２ｇ／ｃｍ３以上１．８ｇ／ｃｍ３以下の樹脂膜を使用する。中間層１１２を構成する樹脂膜の表面のＰＶ１は５μｍ以上である。中間層１１２を構成する樹脂は、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）、テトラフルオロエチレン‐パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体（ＰＦＡ）、テトラフルオロエチレン‐ヘキサフルオロプロピレン共重合体（ＦＥＰ）、ポリフッ化ビニリデン（ＰＶＤＦ）などのフッ素樹脂、ポリエチレン（ＰＥ）などのポリオレフィン樹脂などを使用することが好ましい。
先述のように、中間層１１２には密度ρ１が０．２ｇ／ｃｍ３以上１．８ｇ／ｃｍ３以下の樹脂膜を使用することが好ましく、０．３ｇ／ｃｍ３以上１．３ｇ／ｃｍ３以下であることがより好ましく、０．４ｇ／ｃｍ３以上１．０ｇ／ｃｍ３以下であることが特に好ましい。例えばポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）やポリエチレン（ＰＥ）樹脂は、その加工条件により、密度を制御することが可能である。これらの樹脂は、延伸することにより多孔構造とすることができるため、密度を小さくするためにはシート状に成形後、加熱しながら延伸することで、複数のフィブリルとフィブリル間の空孔とで構成される多孔構造とすることができる。基本的には延伸率を高くすることで密度は小さくなる。１方向からの延伸である１軸延伸法で延伸する場合、複数の連続したノードが存在し、物理的強度が高い樹脂膜とすることができる。２方向からの延伸である２軸延伸法で延伸する場合、より低密度の樹脂膜とすることが可能であり、柔軟性がさらに高くなる。また、成形後のシートを焼成する焼成温度、焼成時間を調整し、完全焼成、半焼成、または未焼成として焼成の状態を調整することでも密度を制御することが可能である。また、樹脂膜の押出成形時に発泡させて多孔構造としたもの、樹脂と溶剤を高温で混合した後に降温して２層に分離させて多孔構造としたものなどを用いることもできる。
最外層１１３には、密度ρ２が１．２ｇ／ｃｍ３以上２．５ｇ／ｃｍ３以下の樹脂膜を使用する。
最外層１１３に使用する樹脂は、ＰＴＦＥや、テトラフルオロエチレン‐パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体（ＰＦＡ）、テトラフルオロエチレン‐ヘキサフルオロプロピレン共重合体（ＦＥＰ）、テトラフルオロエチレン‐エチレン共重合体（ＥＴＦＥ）、ポリクロロトリフルオロエチレン（ＰＣＴＦＥ）などのようなフッ素樹脂、ポリエーテルエーテルケトン（ＰＥＥＫ）、ポリイミド（ＰＩ）などのような可塑剤を含まない樹脂であることが好ましい。　一般的には最外層は厚さが５μｍ～１００μｍの樹脂膜が用いられる。
最外層１１３を構成する樹脂膜の表面のＰＶ２が５μｍ以下のとき、中間層１１２を構成する樹脂膜の表面のＰＶ１と最外層１１３を構成する樹脂膜の表面のＰＶ２とがＰＶ１－ＰＶ２≧２μｍの関係を満たすと同時に、最外層を構成する樹脂膜の密度ρ２と中間層１１２を構成する樹脂膜の密度ρ１とがρ２－ρ１≧０.１ｇ／ｃｍ３の関係を満たす樹脂膜を使用する。また、最外層１１３を構成する樹脂膜の表面のＰＶ２が５μｍより大きいとき、最外層１１３には、ＰＶ１とＰＶ２とがＰＶ２－ＰＶ１＞０μｍの関係を満たすと同時に、最外層を構成する樹脂膜の密度ρ２と中間層１１２を構成する樹脂膜の密度ρ１とがρ２－ρ１≧０.１　ｇ／ｃｍ３の関係を満たす樹脂膜を使用する。本発明の製造方法で作られる長尺体の表面のＰＶ２がちょうど５μｍのところで、本発明に適したＰＶ１とＰＶ２の関係が切り替わる。ここで、ρ２－ρ１≧０.３ｇ／ｃｍ３以上のときが好ましく、ρ２－ρ１≧１．０ｇ／ｃｍ３以上のときが更に好ましい。
本発明の製造方法で作られる長尺体は、前述の構成により、本発明の課題を解決することが可能である。高い柔軟性を持ちながら、被覆層表面に付着残留する異物の付着を低減することが可能であり、ケーブルのハンドリング、アセンブリや装置への取り付け工程、装置稼働時などに付着する微量の油分、周囲のパーティクル、薬品の付着、周囲の空気中の水分などの異物が付着しにくく、また、除去しやすい。そのため、クリーン環境に置かれたときに、周囲のものへの汚染が少なく、アウトガスや長尺体自身の摩耗による粉塵などの発生が少なく、周囲を汚染しない長尺体とすることができる。
　図３は、本発明の製造方法によって作成される長尺体の被覆層の別の一例を示している。被覆層には、中間層と最外層に加えて機能層を設けることができる。被覆層１１０ａは、中間層１１２ａと最外層１１３ａの間に接着層１１４ ａを配置しており、中間層１１２ａと最外層１１３ａとの接着力を高めて、長尺体を摺動させたときの被覆層１１０ａの耐久性を高めている。また、中間層１１２ａの最外層１１３ａ側と反対側の面にもう１層の接着層１１４ａを配置しており、被覆層１１０ａ同士を接合させるときに、中間層１１２ａを構成する樹脂膜または最外層１１３ａを構成する樹脂膜の融点よりも低い温度で接合、一体化させることができる。　中間層１１２ａを構成する樹脂膜と最外層１１３ａを構成する樹脂膜への影響が少ない温度で接合させることができるので、被覆層１１０ａの高い機能を保持することができ、高い耐久性が得られる。接着層には、熱溶融性のフッ素樹脂、ポリエチレンなどのオレフィン樹脂などを使用することが可能である。また、接着層以外にも、溶剤バリア性など、長尺体が必要とする機能に合わせて機能層を設けることができる。
　図４は、本発明の実施形態の一例のラウンド形状の長尺体の断面図である。長尺体２００の被覆層２１０は、最外層２１１と中間層２１２及び接着層２１３とで構成している。被覆対象物として、電線、チューブ、またはその両方を、１本または複数本を撚り合わせるなどしたものを、さらに撚り合わせて用いる。２２０は、ここでは1本のＦＥＰ電線である。２３０は、ここでは７本のＰＦＡ電線を撚り合わせたケーブルである。２４０は、ここでは２本のＦＥＰ電線を撚り合わせたケーブルである。２５０は、ここでは1本のＰＦＡ電線である。２６０と２７０は、ここでは１本のナイロンチューブ、２８０は、ここではすずメッキ軟銅線（ドレイン線）である。これら２２０から２８０が撚り合わされ、その外周に被覆層２１０が巻回されて配置される。巻回後、加熱することでテープの重なり部分を結合する。被覆層２１０の結合により、長尺体２００の個々の被覆対象物の電線及び／又はチューブは、所定位置に保持、固定される。被覆対象物とする電線、チューブの構成と本数はここで示した例に限定されるものではなく、１本、または複数本の電線を撚り合せたもの、平行に引きそろえたものでもよい。また、撚り合わせた電線の一部をチューブで構成してもよい。
本発明を、下記の実施例でより詳細に説明する。以下に説明する実施例は特許請求の範囲に係る発明を限定するものではない。
＜Ｐｅａｋ－ｔｏ－Ｖａｌｌｅｙ値（ＰＶ）の測定＞
　測定には、Ｚｙｇｏ社製　白色干渉顕微鏡　Ｎｅｗ 　ｖｉｅｗ　６３００を使用した。　光源は白色ＬＥＤが使用され、表面フィルター処理にはガウシアンフィルタを適用した。高さ方向の測定分解能は０．１ｎｍである。観察倍率を５０倍とし、高周波側のカットオフ周波数（Ｆｉｌｔｅｒ　Ｈｉｇｈ　Ｗａｖｅｌｅｎｇｔｈ）　は、０．００２５０ｍｍ、低周波側のカットオフ周波数（Ｆｉｌｔｅｒ　Ｌｏｗ　Ｗａｖｅｌｅｎｇｔｈ）は、０．８００００ｍｍに設定した。表面の形状を測定し、Ｐｅａｋ－ｔｏ－Ｖａｌｌｅｙ値（ＰＶ）を算出した。測定データの解析には解析ソフトＭｅｔｒｏＰｒｏを使用した。図５は本発明におけるＰＶを説明する図であり、測定で得られるｓｕｒｆａｃｅ　ｐｒｏｆｉｌｅのデータの一例を用いて表したものである。図５に示すように、ＰＶとは、測定面の中で最も高いポイントと最も低いポイントの高さ方向の距離のことをいう。
＜密度ρの測定＞
ＪＩＳ　Ｋ　６３０１の水中置換法に準じて、東洋精機製作所製　ＤＥＮＳＩＭＥＴＥＲ 　Ｈによって室温で測定された比重を、密度として採用した。
＜クリーン性の評価＞
長尺体の異物の付着について、異物の難付着性と、易除去性を評価した。難付着性と、易除去性は、インクを表面に塗布し付着状況を確認し、綿布でふき取ったときに残留するインク成分の量を確認した。インク成分の付着状況とインク残留量を５段階で評価した。インク成分が付着しなかったものを５、インク成分がわずかに付着したもののふき取ってインク成分を完全に除去できたものを４、インク成分がわずかに付着し、ふき取った後にもインクの跡がわずかに確認できるものを３、インクが付着し、ふき取った後にもインクの跡が確認できるものを２、インクが付着し、ふき取った後にもインクがほとんど除去できないものを１とした。
［実施例１］
最外層としてＰＴＦＥ樹脂膜を、その内側にくる中間層として別のＰＴＦＥ 樹脂膜を使用した。樹脂膜は所要の幅にカットして準備した。最外層および中間層のそれぞれの樹脂膜の厚さ、ＰＶおよび密度を測定した。その結果を表１に記載した。
次に、２つの樹脂膜を積層して加熱し、被覆層を作成した。被覆対象物の準備としてＦＥＰ電線１本、ＦＥＰ電線１本、４本のＰＦＡ電線を撚り合せたケーブルを１本、２本のＰＦＡ電線を撚り合せたケーブルを１本およびＦＥＰチューブ１本を横に並べた。並べた被覆対象物の上下に、被覆層を配置し、ウェブ部分を加熱して個々の被覆対象物の位置を固定し、長尺体を作成した。
　クリーン性の評価結果を表１に記載した。
［実施例２］
最外層としてＰＴＦＥ樹脂膜を、その内側にくる接着層として厚さ０．０２μｍのＦＥＰ樹脂膜を、さらにその内側にくる中間層として別のＰＴＦＥ樹脂膜を、さらにその内側にくる接着層として厚さ０．０２μｍのＦＥＰ樹脂膜を使用した。樹脂膜は所要の幅にカットして準備した。最外層および中間層のそれぞれの樹脂膜の厚さ、ＰＶおよび密度を測定した。その結果を表１に記載した。
次に、４つの樹脂膜を積層して加熱し、被覆層を作成した。被覆対象物の準備としてＦＥＰ電線１本、ＦＥＰ電線１本、４本のＰＦＡ電線を撚り合せたケーブルを１本、２本のＰＦＡ電線を撚り合せたケーブルを１本およびＦＥＰチューブ１本を横に並べた。並べた被覆対象物の上下に、被覆層を配置し、ウェブ部分を加熱して個々の被覆対象物の位置を固定し、長尺体を作成した。
　クリーン性の評価結果を表１に記載した。
［実施例３］
最外層としてＰＴＦＥ樹脂膜を、その内側にくる接着層として厚さ０．０２μｍのＦＥＰ樹脂膜を、さらにその内側にくる中間層として別のＰＴＦＥ樹脂膜を、さらにその内側にくる接着層として厚さ０．０２μｍのＦＥＰ樹脂膜を使用した。樹脂膜は所要の幅にカットして準備した。最外層および中間層のそれぞれの樹脂膜の厚さ、ＰＶおよび密度を測定した。その結果を表１に記載した。
次に、４つの樹脂膜を積層して加熱し、被覆層を作成した。被覆対象物の準備としてＦＥＰ電線１本、ＦＥＰ電線１本、４本のＰＦＡ電線を撚り合せたケーブルを１本、２本のＰＦＡ電線を撚り合せたケーブルを１本およびＦＥＰチューブ１本を横に並べた。並べた被覆対象物の上下に、被覆層を配置し、ウェブ部分を加熱して個々の被覆対象物の位置を固定し、長尺体を作成した。
　クリーン性の評価結果を表１に記載した。
［実施例４］
最外層としてＦＥＰ樹脂膜を、その内側にくる中間層としてＰＴＦＥ樹脂膜を、さらにその内側にくる接着層として厚さ０．０２μｍのＦＥＰ樹脂膜を使用した。樹脂膜は所要の幅にカットして準備した。最外層および中間層のそれぞれの樹脂膜の厚さ、ＰＶおよび密度を測定した。その結果を表１に記載した。
次に、３つの樹脂膜を積層して加熱し、被覆層を作成した。被覆対象物として４本のＰＦＡ電線を撚り合せたケーブルを１本および４本のＦＥＰ電線を撚り合せたものを準備した。その外周に、被覆層が２重に重なるように巻回して配置し、加熱して個々の被覆対象物の位置を固定し、長尺体を作成した。
　クリーン性の評価結果を表１に記載した。
［実施例５］
最外層としてＰＥＥＫ樹脂膜を、その内側にくる中間層としてＰＴＦＥ樹脂膜を、さらにその内側にくる接着層として厚さ０．０２μｍのＦＥＰ樹脂膜を使用した。樹脂膜は所要の幅にカットして準備した。最外層および中間層のそれぞれの樹脂膜の厚さ、ＰＶおよび密度を測定した。その結果を表１に記載した。
次に、３つの樹脂膜を積層して加熱し、被覆層を作成した。被覆対象物の準備としてＦＥＰ電線１本、ＦＥＰ電線１本、４本のＰＦＡ電線を撚り合せたケーブルを１本、２本のＰＦＡ電線を撚り合せたケーブルを１本およびＦＥＰチューブ１本を横に並べた。並べた被覆対象物の上下に、被覆層を配置し、ウェブ部分を加熱して個々の被覆対象物の位置を固定し、長尺体を作成した。
　クリーン性の評価結果を表１に記載した。
［実施例６］
最外層としてＰＴＦＥ樹脂膜を、その内側にくる中間層としてＰＥ樹脂膜を使用した。樹脂膜は所要の幅にカットして準備した。最外層および中間層のそれぞれの樹脂膜の厚さ、ＰＶおよび密度を測定した。その結果を表１に記載した。
次に、２つの樹脂膜を積層して加熱し、被覆層を作成した。被覆対象物の準備としてＦＥＰ電線１本、ＦＥＰ電線１本、４本のＰＦＡ電線を撚り合せたケーブルを１本、２本のＰＦＡ電線を撚り合せたケーブルを１本およびＦＥＰチューブ１本を横に並べた。並べた被覆対象物の上下に、被覆層を配置し、ウェブ部分を加熱して個々の被覆対象物の位置を固定し、長尺体を作成した。
　クリーン性の評価結果を表１に記載した。
［実施例７］
最外層としてＰＴＦＥ樹脂膜を、その内側にくる中間層として別のＰＴＦＥ樹脂膜を使用した。樹脂膜は所要の幅にカットして準備した。最外層および中間層のそれぞれの樹脂膜の厚さ、ＰＶおよび密度を測定した。その結果を表２に記載した。
次に、２つの樹脂膜を積層して加熱し、被覆層を作成した。被覆対象物の準備としてＦＥＰ電線１本、ＦＥＰ電線１本、４本のＰＦＡ電線を撚り合せたケーブルを１本、２本のＰＦＡ電線を撚り合せたケーブルを１本およびＦＥＰチューブ１本を横に並べた。並べた被覆対象物の上下に、被覆層を配置し、ウェブ部分を加熱して個々の被覆対象物の位置を固定し、長尺体を作成した。
　クリーン性の評価結果を表２に記載した。
［実施例８］
最外層としてＦＥＰ樹脂膜を、その内側にくる中間層としてＰＴＦＥ樹脂膜を、さらにその内側にくる接着層として厚さ０．０２μｍのＦＥＰ樹脂膜を使用した。樹脂膜は所要の幅にカットして準備した。最外層および中間層のそれぞれの樹脂膜の厚さ、ＰＶおよび密度を測定した。その結果を表２に記載した。
次に、３つの樹脂膜を積層して加熱し、被覆層を作成した。被覆対象物の準備としてＦＥＰ電線１本、ＦＥＰ電線１本、４本のＰＦＡ電線を撚り合せたケーブルを１本、２本のＰＦＡ電線を撚り合せたケーブルを１本およびＦＥＰチューブ１本を横に並べた。並べた被覆対象物の上下に、被覆層を配置し、ウェブ部分を加熱して個々の被覆対象物の位置を固定し、長尺体を作成した。
　クリーン性の評価結果を表２に記載した。
［実施例９］
最外層としてＰＴＦＥ樹脂膜を、その内側にくる中間層として別のＰＴＦＥ樹脂膜を、その内側にくる接着層として厚さ０．０２μｍのＦＥＰ樹脂膜を使用した。樹脂膜は所要の幅にカットして準備した。最外層および中間層のそれぞれの樹脂膜の厚さ、ＰＶおよび密度を測定した。その結果を表２に記載した。
次に、３つの樹脂膜を積層して加熱し、被覆層を作成した。被覆対象物として４本のＰＦＡ電線を撚り合せたケーブルを１本および４本のＦＥＰ電線を撚り合せたものを準備した。その外周に、被覆層が２重に重なるように巻回して被覆し、加熱して個々の被覆対象物の位置を固定し、長尺体を作成した。
　クリーン性の評価結果を表２に記載した。
［実施例１０］
最外層としてＰＴＦＥ樹脂膜を、その内側にくる接着層として厚さ０．０２ｍｍのＦＥＰ樹脂膜を、さらにその内側にくる中間層として別のＰＴＦＥ樹脂膜を、さらに内側にくる接着層として厚さ０．０２ｍｍのＦＥＰ樹脂膜を使用した。樹脂膜は所要の幅にカットして準備した。最外層および中間層のそれぞれの樹脂膜の厚さ、ＰＶおよび密度を測定した。その結果を表２に記載した。
次に、４つの樹脂膜を積層して加熱し、被覆層を作成した。被覆対象物の準備としてＦＥＰ電線１本、ＦＥＰ電線１本、４本のＰＦＡ電線を撚り合せたケーブルを１本、２本のＰＦＡ電線を撚り合せたケーブルを１本およびＦＥＰチューブ１本を横に並べた。並べた被覆対象物の上下に、被覆層を配置し、ウェブ部分を加熱して個々の被覆対象物の位置を固定し、長尺体を作成した。
　クリーン性の評価結果を表２に記載した。
［実施例１１］
最外層としてＰＥＥＫ樹脂膜を、その内側にくる中間層としてＰＴＦＥ樹脂膜を、さらにその内側にくる接着層として厚さ０．０２ｍｍのＦＥＰ樹脂膜を使用した。樹脂膜は所要の幅にカットして準備した。最外層および中間層のそれぞれの樹脂膜の厚さ、ＰＶおよび密度を測定した。その結果を表２に記載した。
次に、３つの樹脂膜を積層して加熱し、被覆層を作成した。被覆対象物の準備としてＦＥＰ電線１本、ＦＥＰ電線１本、４本のＰＦＡ電線を撚り合せたケーブルを１本、２本のＰＦＡ電線を撚り合せたケーブルを１本およびＦＥＰチューブ１本を横に並べた。並べた被覆対象物の上下に、被覆層を配置し、ウェブ部分を加熱して個々の被覆対象物の位置を固定し、長尺体を作成した。
　クリーン性の評価結果を表２に記載した。
［実施例１２］
最外層としてＰＴＦＥ樹脂膜を、その内側にくる中間層としてＰＥ樹脂膜を使用した。樹脂膜は所要の幅にカットして準備した。最外層および中間層のそれぞれの樹脂膜の厚さ、ＰＶおよび密度を測定した。その結果を表２に記載した。
次に、２つの樹脂膜を積層して加熱し、被覆層を作成した。被覆対象物の準備としてＦＥＰ電線１本、ＦＥＰ電線１本、４本のＰＦＡ電線を撚り合せたケーブルを１本、２本のＰＦＡ電線を撚り合せたケーブルを１本およびＦＥＰチューブ１本を横に並べた。並べた被覆対象物の上下に、被覆層を配置し、ウェブ部分を加熱して個々の被覆対象物の位置を固定し、長尺体を作成した。
　クリーン性の評価結果を表２に記載した。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000001
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000002
  
　各実施例は、屈曲性、柔軟性が良好でありクリーン性が高く、長尺体の被覆層自身から発生する汚染物質も少なく、周囲への汚染が少ない良好な結果が得られた。
 
　本発明の長尺体は、良好な滑り性、屈曲性、柔軟性を有するとともに、周囲への汚染が少ないため、クリーン性が要求される半導体製造装置や測定機器などに使用することが可能である。
１００　長尺体（フラット形状）、　１１０　被覆層、　１１２　中間層、　１１３　最外層、２００　長尺体（ラウンド形状）、　２１０　被覆層　
特開２００６－１９１２５号公報

Claims (3)

  1. 　被覆層で被覆された長尺体の製造方法であって、該長尺体は、複数本の、電線及び／又はチューブから少なくとも構成され、該被覆層は、少なくとも中間層と最外層とからなり、
    該中間層には、密度ρ１が０．２ｇ／ｃｍ３以上１．８ｇ／ｃｍ３以下、かつ、表面のＰｅａｋ－ｔｏ－Ｖａｌｌｅｙ値であるＰＶ１が５μｍ以上の樹脂膜が使用され、該最外層には、密度ρ２が１．２ｇ／ｃｍ３以上２．５ｇ／ｃｍ３以下の樹脂膜が使用され、少なくとも、該長尺体を該被覆層で被覆する工程、及び、該複数本の、電線及び／又はチューブの位置を固定する工程を含み、該最外層の表面のＰｅａｋ－ｔｏ－Ｖａｌｌｅｙ値であるＰＶ２が５μｍ以下のとき以下の式（１）および式（３）を満たし、ＰＶ２が５μｍより大きいとき以下の式（２）および式（３）を満たすことを特徴とする、被覆層で被覆された長尺体の製造方法。
    ＰＶ１－ＰＶ２≧２　μｍ　　（１）
    ＰＶ２－ＰＶ１＞０　μｍ　　（２）
    ρ２－ρ１≧０.１　ｇ／ｃｍ３　　（３）
  2. 　　前記中間層は、複数の空孔を含む多孔構造を有することを特徴とする請求項１に記載の被覆層で被覆された長尺体の製造方法。
  3. 前記被覆層が、さらに機能層を備えていることを特徴とする請求項１または２に記載の被覆層で被覆された長尺体の製造方法。
     

     
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2023161744A1 (en) 2022-02-25 2023-08-31 3M Innovative Properties Company Systems and methods for visualization of oral care treatment timeline

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006019125A (ja) 2004-07-01 2006-01-19 Junkosha Co Ltd 平坦状ケーブル
JP2015127142A (ja) * 2013-11-26 2015-07-09 ダイキン工業株式会社 積層体
JP2016534516A (ja) * 2014-02-06 2016-11-04 レオニ カーベル ホールディング ゲーエムベーハー データケーブル

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6841735B1 (en) * 1996-04-03 2005-01-11 Methode Electronics, Inc. Flat cable and modular rotary anvil to make same
JP3960542B2 (ja) * 2002-09-13 2007-08-15 シャープ株式会社 電子写真感光体およびその製造方法
JP5046703B2 (ja) * 2007-03-28 2012-10-10 東レ・デュポン株式会社 ポリイミドフィルム及びその製造方法
JP2010113835A (ja) * 2008-11-04 2010-05-20 Furukawa Electric Co Ltd:The 発泡シース被覆ケーブル及びその製造方法
JP5578443B2 (ja) * 2011-04-21 2014-08-27 日立金属株式会社 多心シールドフラットケーブル及び多心シールドフラットケーブルの製造方法
JP5896626B2 (ja) * 2011-06-08 2016-03-30 リケンテクノス株式会社 シラン架橋性難燃ポリオレフィンとシラノール触媒樹脂組成物からなる電線成形体の製造方法
CN102982866A (zh) * 2012-11-26 2013-03-20 东莞瀚宇电子有限公司 一种环保线缆及其制作方法
CN107004474B (zh) * 2014-11-27 2019-11-29 株式会社钟化 耐磨耗性优越的绝缘包覆材料
FR3033929B1 (fr) * 2015-03-17 2017-03-31 Labinal Power Systems Cable electrique pour l'alimentation d'equipements electriques
JP2017010717A (ja) * 2015-06-19 2017-01-12 日立金属株式会社 可動部配線用フラットケーブル
JP6720495B2 (ja) * 2015-10-07 2020-07-08 日立金属株式会社 モールド加工電線及びモールド加工ケーブル並びにモールド加工電線用電線及びモールド加工ケーブル用ケーブル

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006019125A (ja) 2004-07-01 2006-01-19 Junkosha Co Ltd 平坦状ケーブル
JP2015127142A (ja) * 2013-11-26 2015-07-09 ダイキン工業株式会社 積層体
JP2016534516A (ja) * 2014-02-06 2016-11-04 レオニ カーベル ホールディング ゲーエムベーハー データケーブル

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
See also references of EP3852122A4

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2023161744A1 (en) 2022-02-25 2023-08-31 3M Innovative Properties Company Systems and methods for visualization of oral care treatment timeline

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