JP6827994B2

JP6827994B2 - 長尺体の製造方法

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Publication number: JP6827994B2
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Inventors: 渡辺　洋明; 洋明渡辺
Original assignee: Junkosha Co Ltd
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Filing date: 2018-10-18
Publication date: 2021-02-10
Anticipated expiration: 2038-10-18
Also published as: JP2020043045A

Description

本発明は、電線、チューブなどで構成される長尺体とその製造方法に関する。

工作機械などの可動部と固定部とを電気的に接続するために、複数本の電線、チューブなどを平坦状に並列したフラットケーブルや撚り合せたラウンドケーブルが用いられる。このフラットケーブルやラウンドケーブルは、外部からの応力による摩擦あるいは腐食などから保護するために、ケーブルの外周に被覆層が設けられる。一般に、このようなケーブルには柔軟性が求められることが多く、被覆層の材料としてポリ塩化ビニル（ＰＶＣ）やウレタン、オレフィン系樹脂が使用される。しかし、これらの樹脂には難燃剤や可塑剤、酸化防止剤などの添加剤が配合されており、半導体や有機ELの製造装置におけるクリーンルームなどで使用される場合には、添加剤のブリードアウトなどによる汚染が問題となる。

可塑剤などを含まないクリーン性、滑り性、耐熱性、不燃性、耐薬品性、または低誘電率であるなどの電気的特性のすぐれた特性から、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）などのフッ素樹脂が被覆層の材料として用いられる。特許文献１には、耐熱性、耐薬品性などの耐環境特性に優れるとともに、優れた屈曲自在性、可とう性、あるいは柔軟性を有すると共に、良好な滑り性を有する平坦状ケーブルとして、被覆層にＰＴＦＥシートあるいは多孔質ＰＴＦＥシートを用いた平坦状ケーブルが開示されている。

特開２００６−１９１２５号公報

本発明は、上記の点に鑑みてなされたもので、その目的は、良好な滑り性、屈曲性、柔軟性を有するとともに、周囲への汚染が少ない長尺体の製造方法を提供することである。

上記の課題は、本発明の製造方法によって製造された長尺体によって解決される。すなわち、被覆層で被覆された長尺体の製造方法であって、該長尺体は、複数本の、電線及び／又はチューブから少なくとも構成され、該被覆層は、少なくとも中間層と最外層とからなり、
該中間層には、密度ρ１が０．２ｇ／ｃｍ^３以上１．８ｇ／ｃｍ^３以下、かつ、表面のＰｅａｋ−ｔｏ−Ｖａｌｌｅｙ値であるＰＶ１が５μｍ以上の樹脂膜が使用され、該最外層には、密度ρ２が１．２ｇ／ｃｍ^３以上２．５ｇ／ｃｍ^３以下の樹脂膜が使用され、少なくとも、該長尺体を該被覆層で被覆する工程、及び、該複数本の、電線及び／又はチューブの位置を固定する工程を含み、該最外層の表面のＰｅａｋ−ｔｏ−Ｖａｌｌｅｙ値であるＰＶ２が５μｍ以下のとき以下の式（１）および式（３）を満たし、ＰＶ２が５μｍより大きいとき以下の式（２）および式（３）を満たすことを特徴とする、被覆層で被覆された長尺体の製造方法によって製造された長尺体である。
ＰＶ１−ＰＶ２≧２ μｍ（１）
ＰＶ２−ＰＶ１＞０ μｍ（２）
ρ２−ρ１≧０.１ｇ／ｃｍ^３（３）

また、好ましくは、上記中間層が、多孔構造を有するものである。多孔構造を有していることで、長尺体が屈曲するときに中間層の空孔が変形することで負荷を緩和し、高い柔軟性を与える。本発明でいう中間層とは、被覆層の中で最大の厚さを有するものを指す。

また、好ましくは、上記被覆層が、さらに機能層を備えている。最外層と中間層の少なくとも一方をフッ素樹脂などで構成した場合には相手材料との接着性が小さい場合が多く、接着層を設けると被覆層の耐久性が向上し有用である。接着層には最外層を構成する樹脂膜または中間層を構成する樹脂膜よりも融点が低い熱溶融性樹脂などを用いることができる。

本発明によれば、良好な滑り性、屈曲性、柔軟性を有するとともに、周囲への汚染が少ない長尺体とその製造方法を提供することが可能である。

図１は、本発明の製造方法で作成した長尺体の一例の模式図であり、長尺体の断面図である。図２は、図１の長尺体の被覆層のＡ部分の拡大断面図である。図３は、長尺体の被覆層部分の拡大断面図である。図４は、本発明の製造方法で作成した長尺体の別の一例の模式図であり、長尺体の断面図である。図５は、本発明におけるＰｅａｋ−ｔｏ−Ｖａｌｌｅｙ値を説明する図である。

以下、本発明の好ましい実施の形態について図面を参照して説明する。以下に説明する実施形態は特許請求の範囲に係る発明を限定するものではなく、また実施形態の中で説明されている特徴の組み合わせの全てが本発明の成立に必須であるとは限らない。

図１は、本発明の製造方法によって作成される長尺体の一例であり、フラット形状の長尺体１００の断面の模式図である。長尺体１００は、被覆対象物として、複数本の、電線、チューブ、またはその両方を準備し、並置あるいは互いに平行に配列して構成する。図１に示した長尺体の一例では被覆対象物の芯数は５本だが、この芯数に限るものではない。被覆対象物の両側（図１では上下方向）を挟むように被覆層１１０が配置されているとともに、被覆層１１０が被覆対象物を介して接合する部分、すなわちウェブ部分１１１は、被覆層１１０同士が焼結または融着して結合している。被覆層１１０の結合により、長尺体１００の個々の被覆対象物の電線及び／又はチューブは、所定位置に保持、固定される。

図１に示した本発明の製造方法によって作成される長尺体の一例では、被覆対象物として、電線、チューブ、またはその両方を複数本並列したものを用いる。被覆対象物１２０は、ここでは１本のＦＥＰ電線である。１３０は、ここでは１本のＰＦＡ電線である。１４０は、ここでは２本のＦＥＰ電線を平行に並べた２芯平行ケーブルである。１５０は、ここでは４本のＰＦＡ電線を撚り合わせたケーブルである。１６０は、ここでは１本のＦＥＰチューブである。これら１２０から１６０の被覆対象物は、並列に配置され、その上下に、被覆層１１０が配置されている。図１に示した実施形態では被覆対象物が５本だが、この本数に限るものではなく、また、被覆対象物として用いられるのは、単線の被覆導体、２心並行ケーブル、複数本のケーブルを撚り合せたもの、同軸ケーブル、チューブなど、必要とされる機能に合わせて選択することが可能である。

図１に示した本発明の製造方法によって作成される長尺体の別の一例として、被覆対象物として、１本の電線と１本のチューブの構成もある。

図２は、図１の長尺体の被覆層１１０の部分Ａの拡大断面図である。被覆層１１０は、少なくとも中間層１１２と最外層１１３とから構成される。

中間層１１２には密度ρ１が０．２ｇ／ｃｍ^３以上１．８ｇ／ｃｍ^３以下の樹脂膜を使用する。中間層１１２を構成する樹脂膜の表面のＰＶ１は５μｍ以上である。中間層１１２を構成する樹脂は、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）、テトラフルオロエチレン‐パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体（ＰＦＡ）、テトラフルオロエチレン‐ヘキサフルオロプロピレン共重合体（ＦＥＰ）、ポリフッ化ビニリデン（ＰＶＤＦ）などのフッ素樹脂、ポリエチレン（ＰＥ）などのポリオレフィン樹脂などを使用することが好ましい。

先述のように、中間層１１２には密度ρ１が０．２ｇ／ｃｍ^３以上１．８ｇ／ｃｍ^３以下の樹脂膜を使用することが好ましく、０．３ｇ／ｃｍ^３以上１．３ｇ／ｃｍ^３以下であることがより好ましく、０．４ｇ／ｃｍ^３以上１．０ｇ／ｃｍ^３以下であることが特に好ましい。例えばポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）やポリエチレン（ＰＥ）樹脂は、その加工条件により、密度を制御することが可能である。これらの樹脂は、延伸することにより多孔構造とすることができるため、密度を小さくするためにはシート状に成形後、加熱しながら延伸することで、複数のフィブリルとフィブリル間の空孔とで構成される多孔構造とすることができる。基本的には延伸率を高くすることで密度は小さくなる。１方向からの延伸である１軸延伸法で延伸する場合、複数の連続したノードが存在し、物理的強度が高い樹脂膜とすることができる。２方向からの延伸である２軸延伸法で延伸する場合、より低密度の樹脂膜とすることが可能であり、柔軟性がさらに高くなる。また、成形後のシートを焼成する焼成温度、焼成時間を調整し、完全焼成、半焼成、または未焼成として焼成の状態を調整することでも密度を制御することが可能である。また、樹脂膜の押出成形時に発泡させて多孔構造としたもの、樹脂と溶剤を高温で混合した後に降温して２層に分離させて多孔構造としたものなどを用いることもできる。

最外層１１３には、密度ρ２が１．２ｇ／ｃｍ^３以上２．５ｇ／ｃｍ^３以下の樹脂膜を使用する。
最外層１１３に使用する樹脂は、ＰＴＦＥや、テトラフルオロエチレン‐パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体（ＰＦＡ）、テトラフルオロエチレン‐ヘキサフルオロプロピレン共重合体（ＦＥＰ）、テトラフルオロエチレン‐エチレン共重合体（ＥＴＦＥ）、ポリクロロトリフルオロエチレン（ＰＣＴＦＥ）などのようなフッ素樹脂、ポリエーテルエーテルケトン（ＰＥＥＫ）、ポリイミド（ＰＩ）などのような可塑剤を含まない樹脂であることが好ましい。一般的には最外層は厚さが５μｍ〜１００μｍの樹脂膜が用いられる。

最外層１１３を構成する樹脂膜の表面のＰＶ２が５μｍ以下のとき、中間層１１２を構成する樹脂膜の表面のＰＶ１と最外層１１３を構成する樹脂膜の表面のＰＶ２とがＰＶ１−ＰＶ２≧２μｍの関係を満たすと同時に、最外層を構成する樹脂膜の密度ρ２と中間層１１２を構成する樹脂膜の密度ρ１とがρ２−ρ１≧０.１ｇ／ｃｍ^３の関係を満たす樹脂膜を使用する。また、最外層１１３を構成する樹脂膜の表面のＰＶ２が５μｍより大きいとき、最外層１１３には、ＰＶ１とＰＶ２とがＰＶ２−ＰＶ１＞０μｍの関係を満たすと同時に、最外層を構成する樹脂膜の密度ρ２と中間層１１２を構成する樹脂膜の密度ρ１とがρ２−ρ１≧０.１ｇ／ｃｍ^３の関係を満たす樹脂膜を使用する。本発明の製造方法で作られる長尺体の表面のＰＶ２がちょうど５μｍのところで、本発明に適したＰＶ１とＰＶ２の関係が切り替わる。ここで、ρ２−ρ１≧０.３ｇ／ｃｍ^３以上のときが好ましく、ρ２−ρ１≧１．０ｇ／ｃｍ^３以上のときが更に好ましい。

本発明の製造方法で作られる長尺体は、前述の構成により、本発明の課題を解決することが可能である。高い柔軟性を持ちながら、被覆層表面に付着残留する異物の付着を低減することが可能であり、ケーブルのハンドリング、アセンブリや装置への取り付け工程、装置稼働時などに付着する微量の油分、周囲のパーティクル、薬品の付着、周囲の空気中の水分などの異物が付着しにくく、また、除去しやすい。そのため、クリーン環境に置かれたときに、周囲のものへの汚染が少なく、アウトガスや長尺体自身の摩耗による粉塵などの発生が少なく、周囲を汚染しない長尺体とすることができる。

図３は、本発明の製造方法によって作成される長尺体の被覆層の別の一例を示している。被覆層には、中間層と最外層に加えて機能層を設けることができる。被覆層１１０ａは、中間層１１２ａと最外層１１３ａの間に接着層１１４ａを配置しており、中間層１１２ａと最外層１１３ａとの接着力を高めて、長尺体を摺動させたときの被覆層１１０ａの耐久性を高めている。また、中間層１１２ａの最外層１１３ａ側と反対側の面にもう１層の接着層１１４ａを配置しており、被覆層１１０ａ同士を接合させるときに、中間層１１２ａを構成する樹脂膜または最外層１１３ａを構成する樹脂膜の融点よりも低い温度で接合、一体化させることができる。中間層１１２ａを構成する樹脂膜と最外層１１３ａを構成する樹脂膜への影響が少ない温度で接合させることができるので、被覆層１１０ａの高い機能を保持することができ、高い耐久性が得られる。接着層には、熱溶融性のフッ素樹脂、ポリエチレンなどのオレフィン樹脂などを使用することが可能である。また、接着層以外にも、溶剤バリア性など、長尺体が必要とする機能に合わせて機能層を設けることができる。

図４は、本発明の実施形態の一例のラウンド形状の長尺体の断面図である。長尺体２００の被覆層２１０は、最外層２１１と中間層２１２及び接着層２１３とで構成している。被覆対象物として、電線、チューブ、またはその両方を、１本または複数本を撚り合わせるなどしたものを、さらに撚り合わせて用いる。２２０は、ここでは1本のＦＥＰ電線である。２３０は、ここでは７本のＰＦＡ電線を撚り合わせたケーブルである。２４０は、ここでは２本のＦＥＰ電線を撚り合わせたケーブルである。２５０は、ここでは1本のＰＦＡ電線である。２６０と２７０は、ここでは１本のナイロンチューブ、２８０は、ここではすずメッキ軟銅線（ドレイン線）である。これら２２０から２８０が撚り合わされ、その外周に被覆層２１０が巻回されて配置される。巻回後、加熱することでテープの重なり部分を結合する。被覆層２１０の結合により、長尺体２００の個々の被覆対象物の電線及び／又はチューブは、所定位置に保持、固定される。被覆対象物とする電線、チューブの構成と本数はここで示した例に限定されるものではなく、１本、または複数本の電線を撚り合せたもの、平行に引きそろえたものでもよい。また、撚り合わせた電線の一部をチューブで構成してもよい。

本発明を、下記の実施例でより詳細に説明する。以下に説明する実施例は特許請求の範囲に係る発明を限定するものではない。

＜Ｐｅａｋ−ｔｏ−Ｖａｌｌｅｙ値（ＰＶ）の測定＞
測定には、Ｚｙｇｏ社製白色干渉顕微鏡Ｎｅｗｖｉｅｗ６３００を使用した。光源は白色ＬＥＤが使用され、表面フィルター処理にはガウシアンフィルタを適用した。高さ方向の測定分解能は０．１ｎｍである。観察倍率を５０倍とし、高周波側のカットオフ周波数（ＦｉｌｔｅｒＨｉｇｈＷａｖｅｌｅｎｇｔｈ）は、０．００２５０ｍｍ、低周波側のカットオフ周波数（ＦｉｌｔｅｒＬｏｗＷａｖｅｌｅｎｇｔｈ）は、０．８００００ｍｍに設定した。表面の形状を測定し、Ｐｅａｋ−ｔｏ−Ｖａｌｌｅｙ値（ＰＶ）を算出した。測定データの解析には解析ソフトＭｅｔｒｏＰｒｏを使用した。図５は本発明におけるＰＶを説明する図であり、測定で得られるｓｕｒｆａｃｅｐｒｏｆｉｌｅのデータの一例を用いて表したものである。図５に示すように、ＰＶとは、測定面の中で最も高いポイントと最も低いポイントの高さ方向の距離のことをいう。
＜密度ρの測定＞
ＪＩＳＫ６３０１の水中置換法に準じて、東洋精機製作所製ＤＥＮＳＩＭＥＴＥＲＨによって室温で測定された比重を、密度として採用した。
＜クリーン性の評価＞
長尺体の異物の付着について、異物の難付着性と、易除去性を評価した。難付着性と、易除去性は、インクを表面に塗布し付着状況を確認し、綿布でふき取ったときに残留するインク成分の量を確認した。インク成分の付着状況とインク残留量を５段階で評価した。インク成分が付着しなかったものを５、インク成分がわずかに付着したもののふき取ってインク成分を完全に除去できたものを４、インク成分がわずかに付着し、ふき取った後にもインクの跡がわずかに確認できるものを３、インクが付着し、ふき取った後にもインクの跡が確認できるものを２、インクが付着し、ふき取った後にもインクがほとんど除去できないものを１とした。

［実施例１］
最外層としてＰＴＦＥ樹脂膜を、その内側にくる中間層として別のＰＴＦＥ樹脂膜を使用した。樹脂膜は所要の幅にカットして準備した。最外層および中間層のそれぞれの樹脂膜の厚さ、ＰＶおよび密度を測定した。その結果を表１に記載した。
次に、２つの樹脂膜を積層して加熱し、被覆層を作成した。被覆対象物の準備としてＦＥＰ電線１本、ＦＥＰ電線１本、４本のＰＦＡ電線を撚り合せたケーブルを１本、２本のＰＦＡ電線を撚り合せたケーブルを１本およびＦＥＰチューブ１本を横に並べた。並べた被覆対象物の上下に、被覆層を配置し、ウェブ部分を加熱して個々の被覆対象物の位置を固定し、長尺体を作成した。
クリーン性の評価結果を表１に記載した。
［実施例２］
最外層としてＰＴＦＥ樹脂膜を、その内側にくる接着層として厚さ０．０２μｍのＦＥＰ樹脂膜を、さらにその内側にくる中間層として別のＰＴＦＥ樹脂膜を、さらにその内側にくる接着層として厚さ０．０２μｍのＦＥＰ樹脂膜を使用した。樹脂膜は所要の幅にカットして準備した。最外層および中間層のそれぞれの樹脂膜の厚さ、ＰＶおよび密度を測定した。その結果を表１に記載した。
次に、４つの樹脂膜を積層して加熱し、被覆層を作成した。被覆対象物の準備としてＦＥＰ電線１本、ＦＥＰ電線１本、４本のＰＦＡ電線を撚り合せたケーブルを１本、２本のＰＦＡ電線を撚り合せたケーブルを１本およびＦＥＰチューブ１本を横に並べた。並べた被覆対象物の上下に、被覆層を配置し、ウェブ部分を加熱して個々の被覆対象物の位置を固定し、長尺体を作成した。
クリーン性の評価結果を表１に記載した。
［実施例３］
最外層としてＰＴＦＥ樹脂膜を、その内側にくる接着層として厚さ０．０２μｍのＦＥＰ樹脂膜を、さらにその内側にくる中間層として別のＰＴＦＥ樹脂膜を、さらにその内側にくる接着層として厚さ０．０２μｍのＦＥＰ樹脂膜を使用した。樹脂膜は所要の幅にカットして準備した。最外層および中間層のそれぞれの樹脂膜の厚さ、ＰＶおよび密度を測定した。その結果を表１に記載した。
次に、４つの樹脂膜を積層して加熱し、被覆層を作成した。被覆対象物の準備としてＦＥＰ電線１本、ＦＥＰ電線１本、４本のＰＦＡ電線を撚り合せたケーブルを１本、２本のＰＦＡ電線を撚り合せたケーブルを１本およびＦＥＰチューブ１本を横に並べた。並べた被覆対象物の上下に、被覆層を配置し、ウェブ部分を加熱して個々の被覆対象物の位置を固定し、長尺体を作成した。
クリーン性の評価結果を表１に記載した。
［実施例４］
最外層としてＦＥＰ樹脂膜を、その内側にくる中間層としてＰＴＦＥ樹脂膜を、さらにその内側にくる接着層として厚さ０．０２μｍのＦＥＰ樹脂膜を使用した。樹脂膜は所要の幅にカットして準備した。最外層および中間層のそれぞれの樹脂膜の厚さ、ＰＶおよび密度を測定した。その結果を表１に記載した。
次に、３つの樹脂膜を積層して加熱し、被覆層を作成した。被覆対象物として４本のＰＦＡ電線を撚り合せたケーブルを１本および４本のＦＥＰ電線を撚り合せたものを準備した。その外周に、被覆層が２重に重なるように巻回して配置し、加熱して個々の被覆対象物の位置を固定し、長尺体を作成した。
クリーン性の評価結果を表１に記載した。
［実施例５］
最外層としてＰＥＥＫ樹脂膜を、その内側にくる中間層としてＰＴＦＥ樹脂膜を、さらにその内側にくる接着層として厚さ０．０２μｍのＦＥＰ樹脂膜を使用した。樹脂膜は所要の幅にカットして準備した。最外層および中間層のそれぞれの樹脂膜の厚さ、ＰＶおよび密度を測定した。その結果を表１に記載した。
次に、３つの樹脂膜を積層して加熱し、被覆層を作成した。被覆対象物の準備としてＦＥＰ電線１本、ＦＥＰ電線１本、４本のＰＦＡ電線を撚り合せたケーブルを１本、２本のＰＦＡ電線を撚り合せたケーブルを１本およびＦＥＰチューブ１本を横に並べた。並べた被覆対象物の上下に、被覆層を配置し、ウェブ部分を加熱して個々の被覆対象物の位置を固定し、長尺体を作成した。
クリーン性の評価結果を表１に記載した。
［実施例６］
最外層としてＰＴＦＥ樹脂膜を、その内側にくる中間層としてＰＥ樹脂膜を使用した。樹脂膜は所要の幅にカットして準備した。最外層および中間層のそれぞれの樹脂膜の厚さ、ＰＶおよび密度を測定した。その結果を表１に記載した。
次に、２つの樹脂膜を積層して加熱し、被覆層を作成した。被覆対象物の準備としてＦＥＰ電線１本、ＦＥＰ電線１本、４本のＰＦＡ電線を撚り合せたケーブルを１本、２本のＰＦＡ電線を撚り合せたケーブルを１本およびＦＥＰチューブ１本を横に並べた。並べた被覆対象物の上下に、被覆層を配置し、ウェブ部分を加熱して個々の被覆対象物の位置を固定し、長尺体を作成した。
クリーン性の評価結果を表１に記載した。
［実施例７］
最外層としてＰＴＦＥ樹脂膜を、その内側にくる中間層として別のＰＴＦＥ樹脂膜を使用した。樹脂膜は所要の幅にカットして準備した。最外層および中間層のそれぞれの樹脂膜の厚さ、ＰＶおよび密度を測定した。その結果を表２に記載した。
次に、２つの樹脂膜を積層して加熱し、被覆層を作成した。被覆対象物の準備としてＦＥＰ電線１本、ＦＥＰ電線１本、４本のＰＦＡ電線を撚り合せたケーブルを１本、２本のＰＦＡ電線を撚り合せたケーブルを１本およびＦＥＰチューブ１本を横に並べた。並べた被覆対象物の上下に、被覆層を配置し、ウェブ部分を加熱して個々の被覆対象物の位置を固定し、長尺体を作成した。
クリーン性の評価結果を表２に記載した。
［実施例８］
最外層としてＦＥＰ樹脂膜を、その内側にくる中間層としてＰＴＦＥ樹脂膜を、さらにその内側にくる接着層として厚さ０．０２μｍのＦＥＰ樹脂膜を使用した。樹脂膜は所要の幅にカットして準備した。最外層および中間層のそれぞれの樹脂膜の厚さ、ＰＶおよび密度を測定した。その結果を表２に記載した。
次に、３つの樹脂膜を積層して加熱し、被覆層を作成した。被覆対象物の準備としてＦＥＰ電線１本、ＦＥＰ電線１本、４本のＰＦＡ電線を撚り合せたケーブルを１本、２本のＰＦＡ電線を撚り合せたケーブルを１本およびＦＥＰチューブ１本を横に並べた。並べた被覆対象物の上下に、被覆層を配置し、ウェブ部分を加熱して個々の被覆対象物の位置を固定し、長尺体を作成した。
クリーン性の評価結果を表２に記載した。
［実施例９］
最外層としてＰＴＦＥ樹脂膜を、その内側にくる中間層として別のＰＴＦＥ樹脂膜を、その内側にくる接着層として厚さ０．０２μｍのＦＥＰ樹脂膜を使用した。樹脂膜は所要の幅にカットして準備した。最外層および中間層のそれぞれの樹脂膜の厚さ、ＰＶおよび密度を測定した。その結果を表２に記載した。
次に、３つの樹脂膜を積層して加熱し、被覆層を作成した。被覆対象物として４本のＰＦＡ電線を撚り合せたケーブルを１本および４本のＦＥＰ電線を撚り合せたものを準備した。その外周に、被覆層が２重に重なるように巻回して被覆し、加熱して個々の被覆対象物の位置を固定し、長尺体を作成した。
クリーン性の評価結果を表２に記載した。
［実施例１０］
最外層としてＰＴＦＥ樹脂膜を、その内側にくる接着層として厚さ０．０２ｍｍのＦＥＰ樹脂膜を、さらにその内側にくる中間層として別のＰＴＦＥ樹脂膜を、さらに内側にくる接着層として厚さ０．０２ｍｍのＦＥＰ樹脂膜を使用した。樹脂膜は所要の幅にカットして準備した。最外層および中間層のそれぞれの樹脂膜の厚さ、ＰＶおよび密度を測定した。その結果を表２に記載した。
次に、４つの樹脂膜を積層して加熱し、被覆層を作成した。被覆対象物の準備としてＦＥＰ電線１本、ＦＥＰ電線１本、４本のＰＦＡ電線を撚り合せたケーブルを１本、２本のＰＦＡ電線を撚り合せたケーブルを１本およびＦＥＰチューブ１本を横に並べた。並べた被覆対象物の上下に、被覆層を配置し、ウェブ部分を加熱して個々の被覆対象物の位置を固定し、長尺体を作成した。
クリーン性の評価結果を表２に記載した。
［実施例１１］
最外層としてＰＥＥＫ樹脂膜を、その内側にくる中間層としてＰＴＦＥ樹脂膜を、さらにその内側にくる接着層として厚さ０．０２ｍｍのＦＥＰ樹脂膜を使用した。樹脂膜は所要の幅にカットして準備した。最外層および中間層のそれぞれの樹脂膜の厚さ、ＰＶおよび密度を測定した。その結果を表２に記載した。
次に、３つの樹脂膜を積層して加熱し、被覆層を作成した。被覆対象物の準備としてＦＥＰ電線１本、ＦＥＰ電線１本、４本のＰＦＡ電線を撚り合せたケーブルを１本、２本のＰＦＡ電線を撚り合せたケーブルを１本およびＦＥＰチューブ１本を横に並べた。並べた被覆対象物の上下に、被覆層を配置し、ウェブ部分を加熱して個々の被覆対象物の位置を固定し、長尺体を作成した。
クリーン性の評価結果を表２に記載した。
［実施例１２］
最外層としてＰＴＦＥ樹脂膜を、その内側にくる中間層としてＰＥ樹脂膜を使用した。樹脂膜は所要の幅にカットして準備した。最外層および中間層のそれぞれの樹脂膜の厚さ、ＰＶおよび密度を測定した。その結果を表２に記載した。
次に、２つの樹脂膜を積層して加熱し、被覆層を作成した。被覆対象物の準備としてＦＥＰ電線１本、ＦＥＰ電線１本、４本のＰＦＡ電線を撚り合せたケーブルを１本、２本のＰＦＡ電線を撚り合せたケーブルを１本およびＦＥＰチューブ１本を横に並べた。並べた被覆対象物の上下に、被覆層を配置し、ウェブ部分を加熱して個々の被覆対象物の位置を固定し、長尺体を作成した。
クリーン性の評価結果を表２に記載した。

各実施例は、屈曲性、柔軟性が良好でありクリーン性が高く、長尺体の被覆層自身から発生する汚染物質も少なく、周囲への汚染が少ない良好な結果が得られた。

本発明の長尺体は、良好な滑り性、屈曲性、柔軟性を有するとともに、周囲への汚染が少ないため、クリーン性が要求される半導体製造装置や測定機器などに使用することが可能である。

１００長尺体（フラット形状）、１１０被覆層、１１２中間層、１１３最外層、２００長尺体（ラウンド形状）、２１０被覆層

Claims

被覆層で被覆された長尺体の製造方法であって、該長尺体は、複数本の、電線及び／又はチューブから少なくとも構成され、該被覆層は、少なくとも中間層と最外層とからなり、
該中間層には、密度ρ１が０．２ｇ／ｃｍ^３以上１．８ｇ／ｃｍ^３以下、かつ、表面のＰｅａｋ−ｔｏ−Ｖａｌｌｅｙ値であるＰＶ１が５μｍ以上の樹脂膜が使用され、該最外層には、密度ρ２が１．２ｇ／ｃｍ^３以上２．５ｇ／ｃｍ^３以下の樹脂膜が使用され、少なくとも、該長尺体を該被覆層で被覆する工程、及び、該複数本の、電線及び／又はチューブの位置を固定する工程を含み、該最外層の表面のＰｅａｋ−ｔｏ−Ｖａｌｌｅｙ値であるＰＶ２が５μｍ以下のとき以下の式（１）および式（３）を満たし、ＰＶ２が５μｍより大きいとき以下の式（２）および式（３）を満たすことを特徴とする、被覆層で被覆された長尺体の製造方法。
ＰＶ１−ＰＶ２≧２ μｍ（１）
ＰＶ２−ＰＶ１＞０ μｍ（２）
ρ２−ρ１≧０.１ｇ／ｃｍ^３（３）
前記中間層は、複数の空孔を含む多孔構造を有することを特徴とする請求項１に記載の被覆層で被覆された長尺体の製造方法。
前記被覆層が、さらに機能層を備えていることを特徴とする請求項１または２に記載の被覆層で被覆された長尺体の製造方法。