KR20210057112A - 장척체의 제조 방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명의 장척체의 제조 방법은, 양호한 슬라이딩성, 굴곡성, 유연성을 갖고, 주위로의 오염이 적은 장척체를 제조하기 위해 발명되고, 복수개의, 전선 및/또는 튜브로 구성되고, 피복층은, 적어도 중간층과 최외층으로 이루어지고, 당해 중간층에는, 밀도 ρ1이 0.2g/㎤ 이상 1.8g/㎤ 이하, 또한, 표면의 PV값인 PV1이 5㎛ 이상의 수지막이 사용되고, 당해 최외층에는, 밀도 ρ2가 1.2g/㎤ 이상 2.5g/㎤ 이하의 수지막이 사용되고, 적어도, 당해 장척체를 당해 피복층으로 피복하는 공정 및, 당해 복수개의, 전선 및/또는 튜브의 위치를 고정하는 공정을 포함하고, 당해 최외층의 표면의 PV값인 PV2가 5㎛ 이하일 때 이하의 식 (1) 및 식 (3)을 충족하고, PV2가 5㎛보다 클 때 이하의 식 (2) 및 식 (3)을 충족하는 것을 특징으로 한다. PV1－PV2≥2㎛　(1) PV2－PV1＞0㎛　(2) ρ2－ρ1≥0.1g/㎤　(3)

Description

장척체의 제조 방법
본 발명은, 전선, 튜브 등으로 구성되는 장척체(長尺體)와 그의 제조 방법에 관한 것이다.
공작 기계 등의 가동부와 고정부를 전기적으로 접속하기 위해, 복수개의 전선, 튜브 등을 평탄 형상으로 병렬한 플랫 케이블이나 꼬아 합친 라운드 케이블이 이용된다. 이 플랫 케이블이나 라운드 케이블은, 외부로부터의 응력에 의한 마찰 혹은 부식 등으로부터 보호하기 위해, 케이블의 외주에 피복층이 형성된다. 일반적으로, 이러한 케이블에는 유연성이 요구되는 경우가 많아, 피복층의 재료로서 폴리염화비닐(PVC)이나 우레탄, 올레핀계 수지가 사용된다. 그러나, 이들 수지에는 난연제나 가소제, 산화 방지제 등의 첨가제가 배합되어 있고, 반도체나 유기 EL의 제조 장치에 있어서의 클린 룸 등에서 사용되는 경우에는, 첨가제의 브리드 아웃 등에 의한 오염이 문제가 된다.
가소제 등을 포함하지 않는 클린성, 슬라이딩성, 내열성, 불연성, 내약품성, 또는 저유전율인 등의 전기적 특성이 우수한 특성으로부터, 폴리테트라플루오로에틸렌(PTFE) 등의 불소 수지가 피복층의 재료로서 이용된다. 특허문헌 1(일본공개특허공보 2006-19125호)에는, 내열성, 내약품성 등의 내환경 특성이 우수함과 함께, 우수한 굴곡 자유성, 가요성, 혹은 유연성을 가짐과 함께, 양호한 슬라이딩성을 갖는 평탄 형상 케이블로서, 피복층에 PTFE 시트 혹은 다공질 PTFE 시트를 이용한 평탄 형상 케이블이 개시되어 있다.
일본공개특허공보 2006-19125호
본 발명은, 상기의 점을 감안하여 이루어진 것으로, 그 목적은, 양호한 슬라이딩성, 굴곡성, 유연성을 가짐과 함께, 주위로의 오염이 적은 장척체의 제조 방법을 제공하는 것이다.
상기의 과제는, 본 발명의 제조 방법에 의해 제조된 장척체에 의해 해결된다. 즉, 피복층으로 피복된 장척체의 제조 방법으로서, 당해 장척체는, 복수개의, 전선 및/또는 튜브로 적어도 구성되고, 당해 피복층은, 적어도 중간층과 최외층으로 이루어지고,
당해 중간층에는, 밀도 ρ1이 0.2g/㎤ 이상 1.8g/㎤ 이하, 또한, 표면의 Peak-to-Valley값인 PV1이 5㎛ 이상의 수지막이 사용되고, 당해 최외층에는, 밀도 ρ2가 1.2g/㎤ 이상 2.5g/㎤ 이하의 수지막이 사용되고, 적어도, 당해 장척체를 당해 피복층으로 피복하는 공정 및, 당해 복수개의, 전선 및/또는 튜브의 위치를 고정하는 공정을 포함하고, 당해 최외층의 표면의 Peak-to-Valley값인 PV2가 5㎛ 이하일 때 이하의 식 (1) 및 식 (3)을 충족하고, PV2가 5㎛보다 클 때 이하의 식 (2) 및 식 (3)을 충족하는 것을 특징으로 하는, 피복층으로 피복된 장척체의 제조 방법에 의해 제조된 장척체이다.
PV1－PV2≥2㎛　　(1)
PV2－PV1＞0㎛　　(2)
ρ2－ρ1≥0.1g/㎤　　(3)
또한, 바람직하게는, 상기 중간층이, 다공 구조를 갖는 것이다. 다공 구조를 갖고 있음으로써, 장척체가 굴곡될 때에 중간층의 공공(空孔)이 변형함으로써 부하를 완화하여, 높은 유연성을 부여한다. 본 발명에서 말하는 중간층이란, 피복층 중에서 최대의 두께를 갖는 것을 가리킨다.
또한, 바람직하게는, 상기 피복층이, 추가로 기능층을 구비하고 있다. 최외층과 중간층의 적어도 한쪽을 불소 수지 등으로 구성한 경우에는 상대 재료와의 접착성이 작은 경우가 많고, 접착층을 형성하면 피복층의 내구성이 향상하여 유용하다. 접착층에는 최외층을 구성하는 수지막 또는 중간층을 구성하는 수지막보다도 융점이 낮은 열 용융성 수지 등을 이용할 수 있다.
본 발명에 의하면, 양호한 슬라이딩성, 굴곡성, 유연성을 가짐과 함께, 주위로의 오염이 적은 장척체와 그의 제조 방법을 제공하는 것이 가능하다.
도 1은, 본 발명의 제조 방법으로 작성한 장척체의 일 예의 개략도로서, 장척체의 단면도이다.
도 2는, 도 1의 장척체의 피복층의 A 부분의 확대 단면도이다.
도 3은, 장척체의 피복층 부분의 확대 단면도이다.
도 4는, 본 발명의 제조 방법으로 작성한 장척체의 다른 일 예의 개략도로서, 장척체의 단면도이다.
도 5는, 본 발명에 있어서의 Peak-to-Valley값을 설명하는 도면이다.
(발명을 실시하기 위한 형태)
이하, 본 발명의 바람직한 실시 형태에 대해서 도면을 참조하여 설명한다. 이하에 설명하는 실시 형태는 특허청구의 범위에 따른 발명을 한정하는 것은 아니고, 또한 실시 형태 중에서 설명되어 있는 특징의 조합의 전체가 본 발명의 성립에 필수라고는 한정되지 않는다.
도 1은, 본 발명의 제조 방법에 의해 작성되는 장척체의 일 예로서, 플랫 형상의 장척체(100)의 단면의 개략도이다. 장척체(100)는, 피복 대상물로서, 복수개의, 전선, 튜브, 또는 그 양쪽을 준비하고, 병렬 배치 혹은 서로 평행하게 배열하여 구성한다. 도 1에 나타낸 장척체의 일 예에서는 피복 대상물의 심수(芯數)는 5개이지만, 이 심수에 한정되는 것은 아니다. 피복 대상물의 양측(도 1에서는 상하 방향)을 사이에 끼우도록 피복층(110)이 배치되어 있음과 함께, 피복층(110)이 피복 대상물을 통하여 접합하는 부분, 즉 웹 부분(111)은, 피복층(110)끼리가 소결 또는 융착하여 결합하고 있다. 피복층(110)의 결합에 의해, 장척체(100)의 개개의 피복 대상물의 전선 및/또는 튜브는, 소정 위치에 유지, 고정된다.
도 1에 나타낸 본 발명의 제조 방법에 의해 작성되는 장척체의 일 예에서는, 피복 대상물로서, 전선, 튜브, 또는 그 양쪽을 복수개 병렬한 것을 이용한다. 피복 대상물(120)은, 여기에서는 1개의 FEP 전선이다. 130은, 여기에서는 1개의 PFA 전선이다. 140은, 여기에서는 2개의 FEP 전선을 평행하게 배열한 2심 평행 케이블이다. 150은, 여기에서는 4개의 PFA 전선을 꼬아 합친 케이블이다. 160은, 여기에서는 1개의 FEP 튜브이다. 이들 120으로부터 160의 피복 대상물은, 병렬로 배치되고, 그 상하에, 피복층(110)이 배치되어 있다. 도 1에 나타낸 실시 형태에서는 피복 대상물이 5개이지만, 이 개수에 한정되는 것은 아니고, 또한, 피복 대상물로서 이용되는 것은, 단선의 피복 도체, 2심 병행 케이블, 복수개의 케이블을 꼬아 합친 것, 동축 케이블, 튜브 등, 필요시되는 기능에 맞추어 선택하는 것이 가능하다.
도 1에 나타낸 본 발명의 제조 방법에 의해 작성되는 장척체의 다른 일 예로서, 피복 대상물로서, 1개의 전선과 1개의 튜브의 구성도 있다.
도 2는, 도 1의 장척체의 피복층(110)의 부분 A의 확대 단면도이다. 피복층(110)은, 적어도 중간층(112)과 최외층(113)으로 구성된다.
중간층(112)에는 밀도 ρ1이 0.2g/㎤ 이상 1.8g/㎤ 이하의 수지막을 사용한다. 중간층(112)을 구성하는 수지막의 표면의 PV1은 5㎛ 이상이다. 중간층(112)을 구성하는 수지는, 폴리테트라플루오로에틸렌(PTFE), 테트라플루오로에틸렌-퍼플루오로알킬비닐에테르 공중합체(PFA), 테트라플루오로에틸렌-헥사플루오로프로필렌 공중합체(FEP), 폴리불화 비닐리덴(PVDF) 등의 불소 수지, 폴리에틸렌(PE) 등의 폴리올레핀 수지 등을 사용하는 것이 바람직하다.
전술과 같이, 중간층(112)에는 밀도 ρ1이 0.2g/㎤ 이상 1.8g/㎤ 이하의 수지막을 사용하는 것이 바람직하고, 0.3g/㎤ 이상 1.3g/㎤ 이하인 것이 보다 바람직하고, 0.4g/㎤ 이상 1.0g/㎤ 이하인 것이 특히 바람직하다. 예를 들면 폴리테트라플루오로에틸렌(PTFE)이나 폴리에틸렌(PE) 수지는, 그의 가공 조건에 따라, 밀도를 제어하는 것이 가능하다. 이들 수지는, 연신함으로써 다공 구조로 할 수 있기 때문에, 밀도를 작게 하기 위해서는 시트 형상으로 성형 후, 가열하면서 연신함으로써, 복수의 피브릴과 피브릴 간의 공공으로 구성되는 다공 구조로 할 수 있다. 기본적으로는 연신율을 높게 함으로써 밀도는 작아진다. 1방향으로부터의 연신인 1축 연신법으로 연신하는 경우, 복수의 연속한 노드가 존재하여, 물리적 강도가 높은 수지막으로 할 수 있다. 2방향으로부터의 연신인 2축 연신법으로 연신하는 경우, 보다 저밀도의 수지막으로 하는 것이 가능하고, 유연성이 더욱 높아진다. 또한, 성형 후의 시트를 소성하는 소성 온도, 소성 시간을 조정하여, 완전 소성, 반소성, 또는 미소성으로서 소성의 상태를 조정하는 것으로도 밀도를 제어하는 것이 가능하다. 또한, 수지막의 압출 성형 시에 발포시켜 다공 구조로 한 것, 수지와 용제를 고온으로 혼합한 후에 강온하여 2층으로 분리시켜 다공 구조로 한 것 등을 이용할 수도 있다.
최외층(113)에는, 밀도 ρ2가 1.2g/㎤ 이상 2.5g/㎤ 이하의 수지막을 사용한다.
최외층(113)에 사용하는 수지는, PTFE나, 테트라플루오로에틸렌-퍼플루오로알킬비닐에테르 공중합체(PFA), 테트라플루오로에틸렌-헥사플루오로프로필렌 공중합체(FEP), 테트라플루오로에틸렌-에틸렌 공중합체(ETFE), 폴리클로로트리플루오로에틸렌(PCTFE) 등과 같은 불소 수지, 폴리에테르에테르케톤(PEEK), 폴리이미드(PI) 등과 같은 가소제를 포함하지 않는 수지인 것이 바람직하다. 일반적으로는 최외층은 두께가 5㎛∼100㎛의 수지막이 이용된다.
최외층(113)을 구성하는 수지막의 표면의 PV2가 5㎛ 이하일 때, 중간층(112)을 구성하는 수지막의 표면의 PV1과 최외층(113)을 구성하는 수지막의 표면의 PV2가 PV1－PV2≥2㎛의 관계를 충족함과 동시에, 최외층을 구성하는 수지막의 밀도 ρ2와 중간층(112)을 구성하는 수지막의 밀도 ρ1이 ρ2－ρ1≥0.1g/㎤의 관계를 충족하는 수지막을 사용한다. 또한, 최외층(113)을 구성하는 수지막의 표면의 PV2가 5㎛보다 클 때, 최외층(113)에는, PV1과 PV2가 PV2－PV1＞0㎛의 관계를 충족함과 동시에, 최외층을 구성하는 수지막의 밀도 ρ2와 중간층(112)을 구성하는 수지막의 밀도 ρ1이 ρ2－ρ1≥0.1g/㎤의 관계를 충족하는 수지막을 사용한다. 본 발명의 제조 방법으로 만들어지는 장척체의 표면의 PV2가 정확히 5㎛인 곳에서, 본 발명에 적합한 PV1과 PV2의 관계가 바뀐다. 여기에서, ρ2－ρ1≥0.3g/㎤ 이상일 때가 바람직하고, ρ2－ρ1≥1.0g/㎤ 이상일 때가 더욱 바람직하다.
본 발명의 제조 방법으로 만들어지는 장척체는, 전술의 구성에 의해, 본 발명의 과제를 해결하는 것이 가능하다. 높은 유연성을 가지면서, 피복층 표면에 부착 잔류하는 이물의 부착을 저감하는 것이 가능하고, 케이블의 핸들링, 어셈블리나 장치로의 부착 공정, 장치 가동 시 등에 부착하는 미량의 유분, 주위의 파티클, 약품의 부착, 주위의 공기 중의 수분 등의 이물이 부착하기 어렵고, 또한, 제거하기 쉽다. 그 때문에, 클린 환경에 놓여졌을 때에, 주위의 것으로의 오염이 적고, 아웃 가스나 장척체 자신의 마모에 의한 분진 등의 발생이 적어, 주위를 오염하지 않는 장척체로 할 수 있다.
도 3은, 본 발명의 제조 방법에 의해 작성되는 장척체의 피복층의 다른 일 예를 나타내고 있다. 피복층에는, 중간층과 최외층에 더하여 기능층을 형성할 수 있다. 피복층(110a)은, 중간층(112a)과 최외층(113a)의 사이에 접착층(114a)을 배치하고 있어, 중간층(112a)과 최외층(113a)의 접착력을 높이고, 장척체를 슬라이딩시켰을 때의 피복층(110a)의 내구성을 높이고 있다. 또한, 중간층(112a)의 최외층(113a)측과 반대측의 면에 다른 1층의 접착층(114a)을 배치하고 있고, 피복층(110a)끼리를 접합시킬 때에, 중간층(112a)을 구성하는 수지막 또는 최외층(113a)을 구성하는 수지막의 융점보다도 낮은 온도로 접합, 일체화시킬 수 있다. 중간층(112a)을 구성하는 수지막과 최외층(113a)을 구성하는 수지막으로의 영향이 적은 온도로 접합시킬 수 있기 때문에, 피복층(110a)의 높은 기능을 유지할 수 있고, 높은 내구성이 얻어진다. 접착층에는, 열 용융성의 불소 수지, 폴리에틸렌 등의 올레핀 수지 등을 사용하는 것이 가능하다. 또한, 접착층 이외에도, 용제 배리어성 등, 장척체가 필요로 하는 기능에 맞추어 기능층을 형성할 수 있다.
도 4는, 본 발명의 실시 형태의 일 예의 라운드 형상의 장척체의 단면도이다. 장척체(200)의 피복층(210)은, 최외층(211)과 중간층(212) 및 접착층(213)으로 구성되어 있다. 피복 대상물로서, 전선, 튜브, 또는 그 양쪽을, 1개 또는 복수개를 꼬아 합치는 등으로 한 것을, 추가로 꼬아 합쳐 이용한다. 220은, 여기에서는 1개의 FEP 전선이다. 230은, 여기에서는 7개의 PFA 전선을 꼬아 합친 케이블이다. 240은, 여기에서는 2개의 FEP 전선을 꼬아 합친 케이블이다. 250은, 여기에서는 1개의 PFA 전선이다. 260과 270은, 여기에서는 1개의 나일론 튜브, 280은, 여기에서는 주석 도금 연구리선(드레인선)이다. 이들 220으로부터 280이 꼬아 합쳐져, 그의 외주에 피복층(210)이 권회되어 배치된다. 권회 후, 가열함으로써 테이프의 겹침 부분을 결합한다. 피복층(210)의 결합에 의해, 장척체(200)의 개개의 피복 대상물의 전선 및/또는 튜브는, 소정 위치에 유지, 고정된다. 피복 대상물로 하는 전선, 튜브의 구성과 갯수는 여기에서 나타낸 예에 한정되는 것은 아니고, 1개, 또는 복수개의 전선을 꼬아 합친 것, 평행하게 정렬한 것이라도 좋다. 또한, 꼬아 합친 전선의 일부를 튜브로 구성해도 좋다.
본 발명을, 하기의 실시예에서 보다 상세하게 설명한다. 이하에 설명하는 실시예는 특허청구의 범위에 따른 발명을 한정하는 것은 아니다.
실시예
＜Peak-to-Valley값(PV)의 측정＞
측정에는, Zygo사 제조 백색 간섭 현미경　New view 6300을 사용했다. 광원은 백색 LED가 사용되고, 표면 필터 처리에는 가우시안 필터를 적용했다. 높이 방향의 측정 분해능은 0.1㎚이다. 관찰 배율을 50배로 하고, 고주파측의 컷 오프 주파수(Filter High Wavelength)는, 0.00250㎜, 저주파측의 컷 오프 주파수(Filter Low Wavelength)는, 0.80000㎜로 설정했다. 표면의 형상을 측정하여, Peak-to-Valley값(PV)을 산출했다. 측정 데이터의 해석에는 해석 소프트 MetroPro를 사용했다. 도 5는 본 발명에 있어서의 PV를 설명하는 도면으로, 측정으로 얻어지는 surface profile의 데이터의 일 예를 이용하여 나타낸 것이다. 도 5에 나타내는 바와 같이, PV란, 측정면 중에서 가장 높은 포인트와 가장 낮은 포인트의 높이 방향의 거리를 말한다.
＜밀도 ρ의 측정＞
JIS K 6301의 수(水) 중 치환법에 준하여, 도요세이키세이사쿠쇼 제조 DENSIMETER H에 의해 실온에서 측정된 비중을, 밀도로서 채용했다.
＜클린성의 평가＞
장척체의 이물의 부착에 대해서, 이물의 난(難)부착성과, 이(易)제거성을 평가했다. 난부착성과 이제거성은, 잉크를 표면에 도포하여 부착 상황을 확인하고, 면포로 닦아냈을 때에 잔류하는 잉크 성분의 양을 확인했다. 잉크 성분의 부착 상황과 잉크 잔류량을 5단계로 평가했다. 잉크 성분이 부착되지 않은 것을 5, 잉크 성분이 조금 부착되기는 했지만 닦아내어 잉크 성분을 완전하게 제거할 수 있는 것을 4, 잉크 성분이 조금 부착되어, 닦아낸 후에도 잉크의 자국을 약간 확인할 수 있는 것을 3, 잉크가 부착되어, 닦아낸 후에도 잉크의 자국을 확인할 수 있는 것을 2, 잉크가 부착되어, 닦아낸 후에도 잉크를 거의 제거할 수 없는 것을 1로 했다.
[실시예 1]
최외층으로서 PTFE 수지막을, 그의 내측에 오는 중간층으로서 별도의 PTFE 수지막을 사용했다. 수지막은 소요의 폭으로 컷하여 준비했다. 최외층 및 중간층의 각각의 수지막의 두께, PV 및 밀도를 측정했다. 그 결과를 표 1에 기재했다.
다음으로, 2개의 수지막을 적층하고 가열하여, 피복층을 작성했다. 피복 대상물의 준비로서 FEP 전선 1개, FEP 전선 1개, 4개의 PFA 전선을 꼬아 합친 케이블을 1개, 2개의 PFA 전선을 꼬아 합친 케이블을 1개 및 FEP 튜브 1개를 가로로 배열했다. 배열한 피복 대상물의 상하에, 피복층을 배치하고, 웹 부분을 가열하여 개개의 피복 대상물의 위치를 고정하여, 장척체를 작성했다.
클린성의 평가 결과를 표 1에 기재했다.
[실시예 2]
최외층으로서 PTFE 수지막을, 그의 내측에 오는 접착층으로서 두께 0.02㎛의 FEP 수지막을, 또한 그의 내측에 오는 중간층으로서 다른 PTFE 수지막을, 또한 그의 내측에 오는 접착층으로서 두께 0.02㎛의 FEP 수지막을 사용했다. 수지막은 소요의 폭으로 컷하여 준비했다. 최외층 및 중간층의 각각의 수지막의 두께, PV 및 밀도를 측정했다. 그의 결과를 표 1에 기재했다.
다음으로, 4개의 수지막을 적층하고 가열하여, 피복층을 작성했다. 피복 대상물의 준비로서 FEP 전선 1개, FEP 전선 1개, 4개의 PFA 전선을 꼬아 합친 케이블을 1개, 2개의 PFA 전선을 꼬아 합친 케이블을 1개 및 FEP 튜브 1개를 가로로 배열했다. 배열한 피복 대상물의 상하에, 피복층을 배치하고, 웹 부분을 가열하여 개개의 피복 대상물의 위치를 고정하여, 장척체를 작성했다.
클린성의 평가 결과를 표 1에 기재했다.
[실시예 3]
최외층으로서 PTFE 수지막을, 그의 내측에 오는 접착층으로서 두께 0.02㎛의 FEP 수지막을, 또한 그의 내측에 오는 중간층으로서 다른 PTFE 수지막을, 또한 그의 내측에 오는 접착층으로서 두께 0.02㎛의 FEP 수지막을 사용했다. 수지막은 소요의 폭으로 컷하여 준비했다. 최외층 및 중간층의 각각의 수지막의 두께, PV 및 밀도를 측정했다. 그의 결과를 표 1에 기재했다.
다음으로, 4개의 수지막을 적층하고 가열하여, 피복층을 작성했다. 피복 대상물의 준비로서 FEP 전선 1개, FEP 전선 1개, 4개의 PFA 전선을 꼬아 합친 케이블을 1개, 2개의 PFA 전선을 꼬아 합친 케이블을 1개 및 FEP 튜브 1개를 가로로 배열했다. 배열한 피복 대상물의 상하에, 피복층을 배치하고, 웹 부분을 가열하여 개개의 피복 대상물의 위치를 고정하여, 장척체를 작성했다.
클린성의 평가 결과를 표 1에 기재했다.
[실시예 4]
최외층으로서 FEP 수지막을, 그의 내측에 오는 중간층으로서 PTFE 수지막을, 또한 그의 내측에 오는 접착층으로서 두께 0.02㎛의 FEP 수지막을 사용했다. 수지막은 소요의 폭으로 컷하여 준비했다. 최외층 및 중간층의 각각의 수지막의 두께, PV 및 밀도를 측정했다. 그의 결과를 표 1에 기재했다.
다음으로, 3개의 수지막을 적층하고 가열하여, 피복층을 작성했다. 피복 대상물로서 4개의 PFA 전선을 꼬아 합친 케이블을 1개 및 4개의 FEP 전선을 꼬아 합친 것을 준비했다. 그의 외주에, 피복층이 2중으로 겹치도록 권회하여 배치하고, 가열하여 개개의 피복 대상물의 위치를 고정하여, 장척체를 작성했다.
클린성의 평가 결과를 표 1에 기재했다.
[실시예 5]
최외층으로서 PEEK 수지막을, 그의 내측에 오는 중간층으로서 PTFE 수지막을, 또한 그의 내측에 오는 접착층으로서 두께 0.02㎛의 FEP 수지막을 사용했다. 수지막은 소요의 폭으로 컷하여 준비했다. 최외층 및 중간층의 각각의 수지막의 두께, PV 및 밀도를 측정했다. 그의 결과를 표 1에 기재했다.
다음으로, 3개의 수지막을 적층하고 가열하여, 피복층을 작성했다. 피복 대상물의 준비로서 FEP 전선 1개, FEP 전선 1개, 4개의 PFA 전선을 꼬아 합친 케이블을 1개, 2개의 PFA 전선을 꼬아 합친 케이블을 1개 및 FEP 튜브 1개를 가로로 배열했다. 배열한 피복 대상물의 상하에, 피복층을 배치하고, 웹 부분을 가열하여 개개의 피복 대상물의 위치를 고정하여, 장척체를 작성했다.
클린성의 평가 결과를 표 1에 기재했다.
[실시예 6]
최외층으로서 PTFE 수지막을, 그의 내측에 오는 중간층으로서 PE 수지막을 사용했다. 수지막은 소요의 폭으로 컷하여 준비했다. 최외층 및 중간층의 각각의 수지막의 두께, PV 및 밀도를 측정했다. 그의 결과를 표 1에 기재했다.
다음으로, 2개의 수지막을 적층하고 가열하여, 피복층을 작성했다. 피복 대상물의 준비로서 FEP 전선 1개, FEP 전선 1개, 4개의 PFA 전선을 꼬아 합친 케이블을 1개, 2개의 PFA 전선을 꼬아 합친 케이블을 1개 및 FEP 튜브 1개를 가로로 배열했다. 배열한 피복 대상물의 상하에, 피복층을 배치하고, 웹 부분을 가열하여 개개의 피복 대상물의 위치를 고정하여, 장척체를 작성했다.
클린성의 평가 결과를 표 1에 기재했다.
[실시예 7]
최외층으로서 PTFE 수지막을, 그의 내측에 오는 중간층으로서 다른 PTFE 수지막을 사용했다. 수지막은 소요의 폭으로 컷하여 준비했다. 최외층 및 중간층의 각각의 수지막의 두께, PV 및 밀도를 측정했다. 그의 결과를 표 2에 기재했다.
다음으로, 2개의 수지막을 적층하고 가열하여, 피복층을 작성했다. 피복 대상물의 준비로서 FEP 전선 1개, FEP 전선 1개, 4개의 PFA 전선을 꼬아 합친 케이블을 1개, 2개의 PFA 전선을 꼬아 합친 케이블을 1개 및 FEP 튜브 1개를 가로로 배열했다. 배열한 피복 대상물의 상하에, 피복층을 배치하고, 웹 부분을 가열하여 개개의 피복 대상물의 위치를 고정하여, 장척체를 작성했다.
클린성의 평가 결과를 표 2에 기재했다.
[실시예 8]
최외층으로서 FEP 수지막을, 그의 내측에 오는 중간층으로서 PTFE 수지막을, 또한 그의 내측에 오는 접착층으로서 두께 0.02㎛의 FEP 수지막을 사용했다. 수지막은 소요의 폭으로 컷하여 준비했다. 최외층 및 중간층의 각각의 수지막의 두께, PV 및 밀도를 측정했다. 그의 결과를 표 2에 기재했다.
다음으로, 3개의 수지막을 적층하고 가열하여, 피복층을 작성했다. 피복 대상물의 준비로서 FEP 전선 1개, FEP 전선 1개, 4개의 PFA 전선을 꼬아 합친 케이블을 1개, 2개의 PFA 전선을 꼬아 합친 케이블을 1개 및 FEP 튜브 1개를 가로로 배열했다. 배열한 피복 대상물의 상하에, 피복층을 배치하고, 웹 부분을 가열하여 개개의 피복 대상물의 위치를 고정하여, 장척체를 작성했다.
클린성의 평가 결과를 표 2에 기재했다.
[실시예 9］
최외층으로서 PTFE 수지막을, 그의 내측에 오는 중간층으로서 다른 PTFE 수지막을, 그의 내측에 오는 접착층으로서 두께 0.02㎛의 FEP 수지막을 사용했다. 수지막은 소요의 폭으로 컷하여 준비했다. 최외층 및 중간층의 각각의 수지막의 두께, PV 및 밀도를 측정했다. 그의 결과를 표 2에 기재했다.
다음으로, 3개의 수지막을 적층하고 가열하여, 피복층을 작성했다. 피복 대상물로서 4개의 PFA 전선을 꼬아 합친 케이블을 1개 및 4개의 FEP 전선을 꼬아 합친 것을 준비했다. 그의 외주에, 피복층이 2중으로 겹치도록 권회하여 피복하고, 가열하여 개개의 피복 대상물의 위치를 고정하여, 장척체를 작성했다.
클린성의 평가 결과를 표 2에 기재했다.
[실시예 10]
최외층으로서 PTFE 수지막을, 그의 내측에 오는 접착층으로서 두께 0.02㎜의 FEP 수지막을, 또한 그의 내측에 오는 중간층으로서 다른 PTFE 수지막을, 또한 내측에 오는 접착층으로서 두께 0.02㎜의 FEP 수지막을 사용했다. 수지막은 소요의 폭으로 컷하여 준비했다. 최외층 및 중간층의 각각의 수지막의 두께, PV 및 밀도를 측정했다. 그의 결과를 표 2에 기재했다.
다음으로, 4개의 수지막을 적층하고 가열하여, 피복층을 작성했다. 피복 대상물의 준비로서 FEP 전선 1개, FEP 전선 1개, 4개의 PFA 전선을 꼬아 합친 케이블을 1개, 2개의 PFA 전선을 꼬아 합친 케이블을 1개 및 FEP 튜브 1개를 가로로 배열했다. 배열한 피복 대상물의 상하에, 피복층을 배치하고, 웹 부분을 가열하여 개개의 피복 대상물의 위치를 고정하여, 장척체를 작성했다.
클린성의 평가 결과를 표 2에 기재했다.
[실시예 11]
최외층으로서 PEEK 수지막을, 그의 내측에 오는 중간층으로서 PTFE 수지막을, 또한 그의 내측에 오는 접착층으로서 두께 0.02㎜의 FEP 수지막을 사용했다. 수지막은 소요의 폭으로 컷하여 준비했다. 최외층 및 중간층의 각각의 수지막의 두께, PV 및 밀도를 측정했다. 그의 결과를 표 2에 기재했다.
다음으로, 3개의 수지막을 적층하고 가열하여, 피복층을 작성했다. 피복 대상물의 준비로서 FEP 전선 1개, FEP 전선 1개, 4개의 PFA 전선을 꼬아 합친 케이블을 1개, 2개의 PFA 전선을 꼬아 합친 케이블을 1개 및 FEP 튜브 1개를 가로로 배열했다. 배열한 피복 대상물의 상하에, 피복층을 배치하고, 웹 부분을 가열하여 개개의 피복 대상물의 위치를 고정하여, 장척체를 작성했다.
클린성의 평가 결과를 표 2에 기재했다.
[실시예 12]
최외층으로서 PTFE 수지막을, 그의 내측에 오는 중간층으로서 PE 수지막을 사용했다. 수지막은 소요의 폭으로 컷하여 준비했다. 최외층 및 중간층의 각각의 수지막의 두께, PV 및 밀도를 측정했다. 그의 결과를 표 2에 기재했다.
다음으로, 2개의 수지막을 적층하고 가열하여, 피복층을 작성했다. 피복 대상물의 준비로서 FEP 전선 1개, FEP 전선 1개, 4개의 PFA 전선을 꼬아 합친 케이블을 1개, 2개의 PFA 전선을 꼬아 합친 케이블을 1개 및 FEP 튜브 1개를 가로로 배열했다. 배열된 피복 대상물의 상하에, 피복층을 배치하고, 웹 부분을 가열하여 개개의 피복 대상물의 위치를 고정하여, 장척체를 작성했다.
클린성의 평가 결과를 표 2에 기재했다.
Figure pct00001
Figure pct00002
각 실시예는, 굴곡성, 유연성이 양호하고 클린성이 높고, 장척체의 피복층 자신으로부터 발생하는 오염 물질도 적고, 주위로의 오염이 적은 양호한 결과가 얻어졌다.
(산업상의 이용 가능성)
본 발명의 장척체는, 양호한 슬라이딩성, 굴곡성, 유연성을 가짐과 함께, 주위로의 오염이 적기 때문에, 클린성이 요구되는 반도체 제조 장치나 측정 기기 등에 사용하는 것이 가능하다.
100 : 장척체(플랫 형상) 　
110 : 피복층
112 : 중간층
113 : 최외층
200 : 장척체(라운드 형상)
210 : 피복층
　

Claims (3)

  1. 피복층으로 피복된 장척체(長尺體)의 제조 방법으로서, 당해 장척체는, 복수개의, 전선 및/또는 튜브로 적어도 구성되고, 당해 피복층은, 적어도 중간층과 최외층으로 이루어지고,
    당해 중간층에는, 밀도 ρ1이 0.2g/㎤ 이상 1.8g/㎤ 이하, 또한, 표면의 Peak-to-Valley값인 PV1이 5㎛ 이상의 수지막이 사용되고, 당해 최외층에는, 밀도 ρ2가 1.2g/㎤ 이상 2.5g/㎤ 이하의 수지막이 사용되고, 적어도, 당해 장척체를 당해 피복층으로 피복하는 공정 및, 당해 복수개의, 전선 및/또는 튜브의 위치를 고정하는 공정을 포함하고, 당해 최외층의 표면의 Peak-to-Valley값인 PV2가 5㎛ 이하일 때 이하의 식 (1) 및 식 (3)을 충족하고, PV2가 5㎛보다 클 때 이하의 식 (2) 및 식 (3)을 충족하는 것을 특징으로 하는, 피복층으로 피복된 장척체의 제조 방법.
    PV1－PV2≥2㎛　　(1)
    PV2－PV1＞0㎛　　(2)
    ρ2－ρ1≥0.1g/㎤　　(3)
  2. 제1항에 있어서,
    상기 중간층은, 복수의 공공(空孔)을 포함하는 다공 구조를 갖는 것을 특징으로 하는 피복층으로 피복된 장척체의 제조 방법.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 피복층이, 추가로 기능층을 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 피복층으로 피복된 장척체의 제조 방법.
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