JP5672582B2 - 可動部配線用ケーブル及び可動部配線用フラットケーブル - Google Patents

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Description

本発明は、半導体や液晶画面(LCD)等の製造ラインで用いられる可動部配線用ケー
ブル及び可動部配線用フラットケーブルに関する。
半導体や液晶画面等の製造ラインで用いられるケーブルのうち、繰り返しU字屈曲を受
けるような可動部に配線される可動部配線用ケーブルは、断線や捩れ対策のためにケーブ
ルベアの中に纏められている。
図3に示すように、このような可動部配線用ケーブル30としては、撚り合わされた複
数の電線31と、複数の電線31の隙間を埋めるように設けられた介在32と、複数の電
線31の周囲に巻き付けられたテープ33と、テープ33の周囲に設けられた編組シール
ド34と、編組シールド34の周囲に設けられたシース35と、を備えたものが知られて
いる。
この可動部配線用ケーブル30には、繰り返しU字屈曲を受けても断線しないように優
れた可撓性が要求されることから、シース35の材質として、優れた柔軟性を有する、ポ
リ塩化ビニル(PVC)樹脂、ポリウレタン(PU)樹脂、又はポリオレフィン(PO)
樹脂等が用いられている。
また、半導体等の製造ラインでは、発塵(粉塵の発生)は部品不良を誘発する原因とな
るので、シース35を構成するポリ塩化ビニル樹脂等の配合として、シース35とケーブ
ルベアとの接触による発塵を抑制することが可能なIPAクリーンクラス証明を取得した
ものを採用している。
特開平3−245417号公報 特開昭63−29412号公報 国際公開第00/56825号
ところで、近年はスマートフォンやタブレット端末の爆発的な普及により、半導体等の
製造ラインの稼働率が年々増加してきており、製造ラインにおける搬送機械等の高速化が
求められている。そして、搬送機械等の高速化に伴い、可動部に配線される可動部配線用
ケーブル30もより速く、激しく、長距離に亘ってU字屈曲を受けることになる。
しかしながら、前述したように、シース35を構成するポリ塩化ビニル樹脂等は優れた
柔軟性を有するため、U字屈曲時に可動部配線用ケーブル30が直進性を保つことができ
ずに垂れて屈曲しまうことがある。
可動部配線用ケーブル30が垂れて屈曲してしまうと、可動部配線用ケーブル30とケ
ーブルベアとが接触し易くなり、たとえIPAクリーンクラス証明を取得した配合を採用
した場合であっても、可動部配線用ケーブル30の摩耗とこれに伴う発塵が増加し、製造
ラインにおいて部品不良の問題を引き起こす原因となる。
この問題を解決するために、シース35の材質として、優れた耐摩耗性を有するフッ素
樹脂を用いることも考えられるが、フッ素樹脂は柔軟性に乏しく、シース35の材質とし
てフッ素樹脂を採用した場合には、従来通りの曲げ半径での耐U字屈曲性が著しく低下し
、可動部配線用ケーブル30の使用寿命が減少してしまう。
また、フッ素樹脂は、硬く割れやすいため、シース35の割れにより、編組シールド3
4等が露出して電気的な問題を生じる虞もある。
更に、可動部配線用ケーブル30の可撓性が低下することにより、U字屈曲時の可動部
配線用ケーブル30の反発力が高くなり、可動部配線用ケーブル30からケーブルベアに
対して圧力が掛かるため、ケーブルベアの寿命を早めてしまう問題も生じる。
これに対して、絶縁電線の耐摩耗性を向上させるために、導体又は絶縁層の周囲にフッ
素樹脂を含む絶縁塗料を塗布焼付し、最大で35μm程度の厚さを有する被覆層を形成す
る技術が知られている(例えば、特許文献1又は2)。
ところが、前述した技術を可動部配線用ケーブル30のシース35に応用した場合には
、被覆層の厚さが35μm程度と薄いため、可動部配線用ケーブル30とケーブルベアと
が接触することにより、可動部配線用ケーブル30の長期に亘る使用期間(例えば、5年
程度)内に被覆層が削れてシース35が表出する虞がある。
そうすると、たとえシース35の材質としてIPAクリーンクラス証明を取得した配合
を採用した樹脂を使用していたとしても、U字屈曲時に可動部配線用ケーブル30が直進
性を保つことができなくなり、可動部配線用ケーブル30の摩耗とこれに伴う発塵が増加
してしまう。
また、シース35の表出を防止するために、被覆層の厚さを厚くしてしまうと、ケーブ
ルベアに加えられる圧力が増加する問題や可動部配線用ケーブル30の耐U字屈曲性が低下する問題が生じることとなる。
そこで、本発明の目的は、従来と同等の耐U字屈曲性を保ちながら、U字屈曲時の直進
性、耐摩耗性、及び低発塵性を向上させた可動部配線用ケーブル及び可動部配線用フラッ
トケーブルを提供することにある。
この目的を達成するために創案された本発明は、撚り合わされた複数の電線と、前記複
数の電線の隙間を埋めるように設けられた介在と、前記複数の電線の周囲に巻き付けられ
たテープと、前記テープの周囲に設けられたシールドと、前記シールドの周囲に設けられ
たシースと、を備え、前記シースは、内層と外層とからなり、前記外層は、フッ素ゴムと
フッ素樹脂とを含有する絶縁材料からなる可動部配線用ケーブルである。
前記絶縁材料は、95:5〜20:80の質量比で前記フッ素ゴムと前記フッ素樹脂と
を含有すると良い。
前記フッ素樹脂は、99.5:0.5〜75:25の質量比でポリテトラフルオロエチ
レンと溶融性フッ素樹脂とを含有すると良い。
前記外層は、厚さが0.2mm以上0.4mm以下であると良い。
前記外層は、厚さが前記内層の厚さの1/5〜1/2であると良い。
前記内層は、ポリ塩化ビニル樹脂、ポリウレタン樹脂、又はポリオレフィン樹脂の何れ
か一つからなると良い。
本発明によれば、従来と同等の耐U字屈曲性を保ちながら、U字屈曲時の直進性、耐摩
耗性、及び低発塵性を向上させた可動部配線用ケーブル及び可動部配線用フラットケーブ
ルを提供することができる。
本発明に係る可動部配線用ケーブルを示す断面図である。 本発明に係る可動部配線用フラットケーブルを示す断面図である。 従来技術に係る可動部配線用ケーブルを示す断面図である。 本発明に係る可動部配線用ケーブルの変形例を示す断面図である。 本発明に係る可動部配線用フラットケーブルの変形例を示す断面図である。
以下、本発明の好適な実施の形態を添付図面にしたがって説明する。
図1に示すように、本実施の形態に係る可動部配線用ケーブル10は、撚り合わされた
複数の電線11と、複数の電線11の隙間を埋めるように設けられた介在12と、複数の
電線11の周囲に巻き付けられたテープ13と、テープ13の周囲に設けられたシールド
14と、シールド14の周囲に設けられたシース15と、を備え、シース15は、内層1
6と外層17とからなり、外層17は、フッ素ゴムとフッ素樹脂とを含有する絶縁材料か
らなることを特徴とする。
電線11は、例えば、導体と導体の周囲に設けられた絶縁層とを備えた絶縁電線や内部
導体と外部導体とを備えた同軸ケーブル等からなる。
介在12は、電線11の配置を固定することで、ケーブル長手方向に亘ってケーブル断
面における電線11の対称性を維持し、インピーダンスの変化を抑制する。
テープ13は、例えば、滑り性の良い紙テープやポリテトラフルオロエチレン(PTF
E)、ナイロン樹脂、ポリエチレンテレフタレート(PET)樹脂等の樹脂からなるテー
プであり、巻き付けたときに隣接するテープ13同士が一部で重ね合わされるようにラッ
プ巻きされている。
このテープ13は、電線11の解れを防止し、介在12と同様に、電線11の配置を固
定することで、ケーブル長手方向に亘ってケーブル断面における電線11の対称性を維持
し、インピーダンスの変化を抑制する。
シールド14は、例えば、編組シールドや横巻シールドからなり、可動部配線用ケーブ
ル10の電磁波障害(ElectroMagnetic Interference;EMI)特性等のシールド特性を
担保する。
内層16は、ポリ塩化ビニル樹脂、ポリウレタン樹脂、又はポリオレフィン樹脂の何れ
か一つからなることが好ましい。これらの樹脂は、柔軟性に優れていることから、可動部
配線用ケーブル10に優れた可撓性と耐U字屈曲性を付与することができるからである。
外層17は、前述した通り、フッ素ゴムとフッ素樹脂とを含有する絶縁材料からなるが
、この絶縁材料は、95:5〜20:80の質量比でフッ素ゴムとフッ素樹脂とを含有す
ることが好ましい。また、フッ素樹脂は、99.5:0.5〜75:25の質量比でポリ
テトラフルオロエチレンと溶融性フッ素樹脂とを含有することが好ましい。これらの質量
比を満足する絶縁材料としては、ダイキン工業株式会社製のダイエル(登録商標)フルオ
ロTPVが挙げられる。
この絶縁材料を用いることで、フッ素樹脂の耐摩耗性及び低発塵性とフッ素ゴムの柔軟
性及び弾力性(弾力性はU字屈曲時の直進性を向上させる)とを兼ね備えた外層17を形
成することができる。
つまり、外層17を設けることにより可動部配線用ケーブル10の可撓性や耐U字屈曲
性を損なうことなくU字屈曲時の直進性を向上させることが可能となる。また、外層17
は、フッ素樹脂の特長である耐油、耐化学薬品性、及び耐候性を備えており、油、酸性、
及びアルカリ性環境下においても使用可能であり、また紫外線や酸性雨等に暴露される屋
外使用にも適している。
外層17は、厚さが0.2mm以上0.4mm以下であることが好ましい。外層17の厚さが0.2mm未満であると、可動部配線用ケーブル10を繰り返しU字屈曲させたときに外層17に皺ができ、この皺が亀裂に進展して内層16を表出させる虞があるからである。また、0.4mmを超過すると、U字屈曲時の可動部配線用ケーブル10の反発力が高くなり、可動部配線用ケーブル10からケーブルベアに対して圧力が掛かるため、ケーブルベアの寿命を早めてしまうからである。
更に、外層17は、厚さが内層16の厚さの1/5〜1/2であることが好ましい。外
層17の厚さが内層16の厚さの1/5未満であると、可動部配線用ケーブル10とケー
ブルベアとが接触することにより、可動部配線用ケーブル10の長期に亘る使用期間(例
えば、5年程度)内に外層17が削れて内層16が表出する虞があるからである。また、
外層17の厚さが内層16の厚さの1/2以上であると、可動部配線用ケーブル10の可
撓性が損なわれることにより、従来と同等の耐U字屈曲性を保つことが困難になるからで
ある。更に、前述した絶縁材料は他の樹脂に比べてコストが高いことから、あまり大量に
使用すると、製品コストが著しく増加するからである。
これまで説明してきたように、本実施の形態に係る可動部配線用ケーブル10によれば
、外層17がフッ素ゴムとフッ素樹脂との複合材料たる絶縁材料からなるため、U字屈曲
時の直進性、耐摩耗性、及び低発塵性を向上させることができる。また、外層17を可動
部配線用ケーブル10の使用期間内に内層16が表出しない程度の厚さに形成したとして
も、ケーブルベアに対する圧力が増加することはなく、更に従来と同等の耐U字屈曲性を
保つことができる。
更に、可動部配線用ケーブル10では、内層16が柔軟性に優れたポリ塩化ビニル樹脂
等からなるため、可動部配線用ケーブル10の可撓性や耐U字屈曲性は従来と殆ど変わら
ず、可動部配線用ケーブル10の寿命も従来と比べて変わらない。
また、可動部配線用ケーブル10は、U字屈曲時の直進性に優れており、従来の可動部
配線用ケーブル30のように長距離に配線される場合であっても垂れ下がり難いため、可
動部配線用ケーブル10を用いることでケーブルベアを無くし、搬送機械等の小型化に貢
献することが可能である。
また、図2に示すように、この可動部配線用ケーブル10を並列させると共に外層17同士を熱風融着させることで、従来と同等の耐U字屈曲性を保ちながら、U字屈曲時の直進性、耐摩耗性、及び低発塵性を向上させた可動部配線用フラットケーブル20が得られる。
また、図4に示すように、エアチューブ18の周囲に本願発明のシース15を設けてエアチューブホース40としてもよく、例えば、図5に示すように可動部配線用ケーブル10の両端にエアチューブホース40を並列させて外層17同士を熱風融着させ、エアチューブホース40を含む可動部配線用フラットケーブル20を作成することができる。
エアチューブ18は、例えばナイロンからなり、図4では単層であるが、複数層を設けてもよい。
次に、本発明の実施例を説明する。
実施例1として図1に示した構造の可動部配線用ケーブル10(内層16:厚さ0.8
mmのポリ塩化ビニル樹脂、外層17:厚さ0.4mmのダイエル(登録商標)フルオロ
TPV)を作製し、比較例1として図3に示した構造の可動部配線用ケーブル30(シー
ス35:厚さ1.0mmのポリ塩化ビニル樹脂)を作製し、これらの耐U字屈曲性を調査
した。
耐U字屈曲性については、可動部配線用ケーブル10、30をU字屈曲させた状態で、
ストローク長を300mm、曲げ半径をケーブル外径の6倍(45mm)、8倍(60m
m)、又は10倍(76mm)の3通りとして、可動部配線用ケーブル10、30の両端
が常に平行を保つようにストロークさせ、何回のストロークに耐えられるか試験を行った
。その結果を表1に示す。
表1から分かるように、実施例1と比較例1では耐U字屈曲性に差は無かった。
次に、摩耗特性及び発塵性については、ポリ塩化ビニル樹脂、ポリウレタン樹脂、又は
ダイエル(登録商標)フルオロTPVの3通りのシースに対して、荷重が1kgとなるよ
うにして3枚の刃を当てた状態で、これらの刃がケーブル長手方向にストローク長300
mmの距離を一往復するのを1回として30回/分の速度でシースの表面を前後に擦り、
その削れ屑の量を調査した。
その結果、ダイエル(登録商標)フルオロTPVのシースでは500回でも殆ど削れ屑
が発生せず摩耗特性及び発塵性に優れることが確認できたが、それ以外のシースでは30
0回後には削れ屑が大量に発生し、摩耗特性及び発塵性が非常に悪かった。
10 可動部配線用ケーブル
11 電線
12 介在
13 テープ
14 シールド
15 シース
16 内層
17 外層

Claims (5)

  1. 撚り合わされた複数の電線と、
    前記複数の電線の隙間を埋めるように設けられた介在と、
    前記複数の電線の周囲に巻き付けられたテープと、
    前記テープの周囲に設けられたシールドと、
    前記シールドの周囲に設けられたシースと、
    を備え、
    前記シースは、内層と外層とからなり、
    前記外層は、95:5〜20:80の質量比でフッ素ゴムとフッ素樹脂とを含有する絶縁材料であって、
    前記フッ素樹脂は、99.5:0.5〜75:25の質量比でポリテトラフルオロエチレンと溶融性フッ素樹脂とを含有する可動部配線用ケーブル。
  2. 前記外層は、厚さが0.2mm以上0.4mm以下である請求項1記載の可動部配線用ケーブル
  3. 前記外層は、厚さが前記内層の厚さの1/5〜1/2である請求項1又は2に記載の可動部配線用ケーブル。
  4. 前記内層は、ポリ塩化ビニル樹脂、ポリウレタン樹脂、又はポリオレフィン樹脂の何れか一つからなる請求項1からの何れか一項に記載の可動部配線用ケーブル。
  5. 請求項1からの何れか一項に記載の可動部配線用ケーブルを並列させると共に外層同士を熱風融着させたことを特徴とする可動部配線用フラットケーブル。

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