WO2019021814A1 - フィルム - Google Patents

Abstract

【課題】機能性材料を塗布して機能性材料層の薄膜（機能性膜）を得るための工程基材として使用した際に、塗布性、加工後の剥離性、機能性膜の特性、品位を良好とすることが可能なフィルムを提供することを目的とする。 【解決手段】ポリマーＡ層を少なくとも片面に有するフィルムであって、ＡＦＭにて求めたポリマーＡ層の最大高さをＲｍ１（ｎｍ）、１８０℃５分間加熱処理後における、ＡＦＭにて求めたポリマーＡ層の最大高さをＲｍ２（ｎｍ）とした際に、下記式（I）を満足することを特徴とする、フィルム。 Ｒｍ２－Ｒｍ１＞０ｎｍ・・・（I）

Description

フィルム

　本発明は、製造工程用フィルムに関するものである。

　熱可塑性樹脂フィルムは、各種特性に応じて、光学用途、包装用途、工業材料用途などで幅広く使用されている。また、工業材料用途においては、半導体の薄膜や回路部材を製造するための工程基材として熱可塑性樹脂フィルムが使用されており、例えば、半導体を製造する際に使用される半導体裏面用フィルム（例えば、特許文献１）や、回路部材形成の際に使用される離型フィルム（例えば、特許文献２）が提案されている。

　特許文献１に見られるようなフィルムの場合、熱膨張性微小球が加熱により膨張してフィルム表面形状を変化させることで、半導体のピックアップ性を向上させているが、表面形状の変化が大きいため、半導体よりも柔軟な塗布材料の工程基材として使用する場合は当該塗布材料に表面形状変化が転写してしまい、得られる塗布材料の平滑性が不十分になったり、アンカー効果により所望の剥離性を得ることが困難な場合があった。また、粘着剤層がフィルムの最表面に配置されることから、フィルム自身が傷つきやすい場合や、異物が付着しやすい場合があった。

　特許文献２に見られるようなフィルムの場合、マット状の表面設計となっており、工程基材として使用する際に、得られる塗布材料の平滑性が不十分になったり、塗布材料によっては所望の剥離性を得ることが困難な場合があった。

特開２０１２－０３３６３６号公報 特開２０１６－０４３５９４号公報

　本発明では上記の欠点を解消し、機能性材料を塗布して機能性材料層の薄膜（機能性膜）を得るための工程基材として使用した際に、塗布性、加工後の剥離性、機能性膜の特性、品位を良好とすることが可能なフィルムを提供することを目的とする。

　上記課題を解決するための本発明の第１のフィルムは、以下の構成を有する。
（１）　ポリマーＡ層を少なくとも片面に有するフィルムであって、ＡＦＭにて求めたポリマーＡ層の最大高さをＲｍ１（ｎｍ）、１８０℃５分間加熱処理後における、ＡＦＭにて求めたポリマーＡ層の最大高さをＲｍ２（ｎｍ）とした際に、下記式（I）を満足することを特徴とする、フィルム。
Ｒｍ２－Ｒｍ１＞０ｎｍ・・・（I）
（２）　下記式（I I）を満足する、（１）に記載のフィルム。
１ｎｍ≦（Ｒｍ２－Ｒｍ１）≦２．０×１０^４ｎｍ・・・（I I）
（３）　１８０℃５分間加熱処理後における、ＡＦＭで求めたポリマーＡ層の算術平均粗さをＲａ２（ｎｍ）とした際に、下記式（III）を満足する、（１）または（２）に記載のフィルム。
６≦（Ｒｍ２／Ｒａ２）≦１５・・・（III）
（４）下記式（IV）を満足する、（１）から（３）のいずれかに記載のフィルム。
（Ｒｍ２／Ｒａ２）－（Ｒｍ１／Ｒａ１）＞０・・・（IV）
（５）　ポリマーＡ層の主成分がポリエステル系樹脂である、（１）から（４）のいずれかに記載のフィルム。
（６）　１８０℃５分間加熱処理後のポリマーＡ層の光沢度（６０°）が３０以上である、（１）から（５）のいずれかに記載のフィルム。
（７）　ポリマーＡ層の押し込み弾性率が８００Ｎ／ｍｍ^２以上６，０００Ｎ／ｍｍ^２以下である、（１）から（６）のいずれかに記載のフィルム。
（８）　主配向軸方向、および主配向軸と直交する方向において引裂き伝播抵抗が４．０Ｎ／ｍｍ以上１２．０Ｎ／ｍｍ以下である、（１）から（７）のいずれかに記載のフィルム。
（９）　製造工程用途に用いられる、（１）から（８）のいずれかに記載のフィルム。

　上記課題を解決するための本発明の第２のフィルムは、以下の構成を有する。すなわち、ポリマーＡ層を少なくとも片面に有するフィルムであって、ポリマーＡ層の表面自由エネルギーをＳＥ１（ｍＮ／ｍ）、１８０℃５分間加熱処理後における、ポリマーＡ層の表面自由エネルギーをＳＥ２（ｍＮ／ｍ）とした際に、下記式（I）を満足することを特徴とする、フィルムである　
ＳＥ１－ＳＥ２＞０ｍＮ／ｍ・・・（ａ）

　本発明の第１、第２のフィルムは、加熱前の密着性、加熱後の剥離性を良好にできることから、機能性材料を塗布して機能性材料の薄膜（機能性膜）を得るための工程基材として使用した際に、機能性膜の特性、品位を向上させる効果を奏する。

以下、本発明のフィルムについて詳細に説明する。
[第１のフィルム]
　本発明の第１のフィルムは、ポリマーＡ層を少なくとも片面に有するフィルムであって、ＡＦＭにて求めたポリマーＡ層の最大高さをＲｍ１（ｎｍ）、１８０℃５分間加熱処理後における、ＡＦＭにて求めたポリマーＡ層の最大高さをＲｍ２（ｎｍ）とした際に、下記式（I）を満足することが重要である。
Ｒｍ２－Ｒｍ１＞０ｎｍ・・・（I）
　ここで、Ｒｍ１（ｎｍ）は、以下の通り求めた値とする。ＢｒｕｋｅｒＡＸＳ製「ＮａｎｏＳｃｏｐｅＶ Ｄｉｍｅｎｓｉｏｎ　Ｉｃｏｎ」などのＡＦＭ（原子間力顕微鏡）において、シリコンカンチレバーを探針として適用し、タッピングモードにて、フィルムの表面形状を計測した後、ＡＦＭに付属のソフトウェア（例えば、ＮａｎｏＳｃｏｐｅ　Ａｎａｌｙｓｉｓなど）を用いて、カットオフ３ｎｍの条件にて最大高さを算出した。このような測定を５回繰り返し、５回の測定の平均値を求める。なお、測定方向（探針の走査方向）は、任意の一方向、および任意の一方向と直交する方向の計２方向にて測定を行い、各方向での最大高さの平均値（すなわち、任意の一方向の５回の測定値と、任意の一方向と直交する方向の５回の測定値の合計１０回の測定値の平均値）をＲｍ１（ｎｍ）として採用する。

　また、Ｒｍ２（ｎｍ）は、１８０℃５分間加熱処理を行ったフィルムについて、Ｒｍ１（ｎｍ）と同様にして最大高さを５回算出し、５回の測定の平均値を求める。なお、測定方向（探針の走査方向）は、任意の一方向、および任意の一方向と直交する方向の計２方向にて測定を行い、各方向での最大高さの平均値（すなわち、任意の一方向の５回の測定値と、任意の一方向と直交する方向の５回の測定値の合計１０回の測定値の平均値）をそれぞれＲｍ２（ｎｍ）として採用する。

　本発明における、１８０℃５分間熱処理とは、機能性膜の工程基材としてフィルムを使用した際に、機能性膜の乾燥、機能性向上のために生じるフィルムへの加熱を模した処理であり、たとえば、１８０℃に設定した熱風循環方式のコンベアオーブンにフィルムを５分間かけて搬送する処理を指す。また、フィルムを搬送する際には、２枚の金属枠でフィルムを挟み込んだ後、金属枠を金属クリップで固定することで、フィルムが直接コンベアに接触しないようにして行うものとする。

　本発明において、式（I）は、ＡＦＭにて求めたポリマーＡ層の最大高さが１８０℃５分間の熱処理後に大きくなることを示している。なお、Ｒｍ１（ｎｍ）、Ｒｍ２（ｎｍ）など、本条件にて求めた最大高さは、一般的な接触式三次元粗さ計での測定と異なり測定範囲が非常に狭いため、例えば公知のサンドマット加工フィルム、エンボス加工フィルム、練り込み粒子によるマットフィルムの凹凸の影響は受けづらい値となっている。ＡＦＭで求められる微小範囲での最大高さを加熱後に大きくすることで、例えば、本発明のフィルムが機能性膜と積層された構成であった場合に、機能性膜の平滑性を大きく変化させずにフィルムと機能性膜との界面に微小な空間を形成し、機能性膜との密着性を低下させることが可能となる。すなわち、本発明のフィルムは、ＡＦＭで求められる微小範囲での最大高さを加熱後に大きくすることで、加熱前の機能性膜との密着性、および、加熱後の機能性膜との剥離性を両立できることを見出したものである。

　Ｒｍ１（ｎｍ）、Ｒｍ２（ｎｍ）を式（I）の範囲にするための方法としては、ポリマーＡ層を２種類以上のポリマーを組み合わせた構成とし、ポリマーＡ層を延伸させた後、ポリマーＡ層に含まれるポリマーの中で低融点のポリマーのみを１８０℃５分間の加熱により変形させてポリマーＡ層表面に歪みを形成させる方法、ポリマーＡ層に結晶性ポリマーを含む構成とし、ＵＶ処理やプラズマ処理などによりポリマーＡ層に微結晶を形成させ、１８０℃５分間の加熱によって、微結晶周辺の非晶部分のみを熱運動させてＡ層表面に歪みを形成させる方法、ポリマーＡ層に微小な空隙を形成しておき、１８０℃５分間の加熱によって空隙周辺のポリマーを軟化させて空隙の形状を変化させ、ポリマーＡ層表面に歪みを形成させる方法などが挙げられる。なお、ポリマーＡ層を延伸させた後、ポリマーＡ層に含まれるポリマーの中で低融点のポリマーのみを１８０℃５分間の加熱により変形させてポリマーＡ層表面に歪みを形成させる方法を用いる場合は、低融点のポリマーの融点より２０℃以上１００℃以下高い温度で延伸することが、低融点のポリマーのドメインの運動性と運動のための歪み蓄積を両立させる点から好ましく用いられる。

　本発明の第１のフィルムは、機能性膜を製造するための工程基材として使用した場合に、機能性膜の平滑性、加熱後の剥離性を良好とする観点から、下記式（I I）を満足することが好ましい。
１ｎｍ≦（Ｒｍ２－Ｒｍ１）≦２．０×１０^４ｎｍ・・・（I I）
　本発明の第１のフィルムは、（Ｒｍ２－Ｒｍ１）を１ｎｍ以上とすることで、加熱後の剥離性が良好となる。（Ｒｍ２－Ｒｍ１）は、加熱後の剥離性をより良好とする観点から、３ｎｍ以上がより好ましい。また、（Ｒｍ２－Ｒｍ１）を２．０×１０^４ｎｍ以下とすることで、機能性膜の平滑性や、平滑性に伴う機能が良好となる。（Ｒｍ２－Ｒｍ１）は、機能性膜の平滑性や、平滑性に伴う機能をより良好とする観点から、１．０×１０^３ｎｍ以下がより好ましく、１００ｎｍ以下がさらに好ましく、５０ｎｍ以下が特に好ましく、２０ｎｍ以下が最も好ましい。

　（Ｒｍ２－Ｒｍ１）を式（I I）の範囲にするための方法としては、ポリマーＡ層を２種類以上のポリマーを組み合わせた構成とし、ポリマーＡ層を延伸させた後、ポリマーＡ層に含まれるポリマーの中で低融点のポリマーのみを１８０℃５分間の加熱により変形させてポリマーＡ層表面に歪みを形成させる方法において、ポリマーＡ層に含まれるポリマーの中で低融点のポリマーをサイドフィード方式により押出機に投入する方法が挙げられる。低融点のポリマーのみをサイドフィード方式にて投入することで、低融点のポリマーが融点よりはるかに高い温度（たとえば、ポリマーＡ層に含まれる、主成分の融点が高いポリマーに適した押出温度）で押し出され、溶融粘度が低くなってポリマーＡ層の主成分のポリマーとの分散性低下を抑制することが可能となる。その他の方法としては、ポリマーＡ層に結晶性ポリマーを含む構成とし、ＵＶ処理やプラズマ処理などによりポリマーＡ層に微結晶を形成させ、１８０℃５分間の加熱によって微結晶周辺の非晶部分のみを熱運動させてポリマーＡ層表面に歪みを形成させる方法において、ＵＶ処理やプラズマ処理などの表面処理条件とポリマーＡ層中の結晶性ポリマーの濃度を調整する方法、ポリマーＡ層に、微小な空隙を形成しておき、１８０℃５分間の加熱によって空隙周辺のポリマーを軟化させて空隙の形状を変化させ、ポリマーＡ層表面に歪みを形成させる方法において、空隙の大きさを特定範囲にする方法などが挙げられる。

　本発明の第１のフィルムは、１８０℃５分間加熱処理後における、ＡＦＭで求めたポリマーＡ層の算術平均粗さをＲａ２（ｎｍ）とした際に、機能性膜を製造するための工程基材として使用した場合に機能性膜の平滑性、加熱後の剥離性を良好とする観点から下記式（III）を満足することが好ましい。
６≦（Ｒｍ２／Ｒａ２）≦１５・・・（III）
　ここで、Ｒａ２（ｎｍ）は、以下の通り求めた値とする。ＢｒｕｋｅｒＡＸＳ製「ＮａｎｏＳｃｏｐｅＶ Ｄｉｍｅｎｓｉｏｎ　Ｉｃｏｎ」などのＡＦＭ（原子間力顕微鏡）において、シリコンカンチレバーを探針として適用し、タッピングモードにて、１８０℃５分間加熱処理を行ったフィルムの表面形状を計測した後、ＡＦＭに付属のソフトウェア（例えば、ＮａｎｏＳｃｏｐｅ　Ａｎａｌｙｓｉｓなど）を用いて、カットオフ３ｎｍの条件にて算術平均粗さを算出した。このような測定を５回繰り返し、５回の測定値の平均値を求める。なお、測定方向（探針の走査方向）は、任意の一方向、および任意の一方向と直交する方向の計２方向について測定を行い、各方向での算術平均粗さの平均値（すなわち、任意の一方向の５回の測定値と、任意の一方向と直交する方向の５回の測定値の合計１０回の測定値の平均値）をＲａ２（ｎｍ）として採用する。（Ｒｍ２／Ｒａ２）は、ポリマーＡ層における、１８０℃５分間加熱処理後のＡＦＭでの最大高さを１８０℃５分間加熱処理後のＡＦＭでの算術平均粗さで除した値であり、（Ｒｍ２／Ｒａ２）が小さいほどＡＦＭにおける算術平均粗さに対する最大高さが小さい、すなわち、ＡＦＭにて求めた凹凸の最大高さの山とその他の山の高さの差が小さい傾向を示す。また、（Ｒｍ２／Ｒａ２）が大きいほどＡＦＭにおける算術平均粗さに対する最大高さが大きい、すなわち、ＡＦＭにて求めた凹凸の最大高さの山とその他の山の高さの差が大きい傾向を示す。機能性膜を製造するための工程基材としてフィルムを適用する場合において、（Ｒｍ２／Ｒａ２）が小さすぎると、最大高さの山以外の山が全体的に低くなり、機能性膜との加熱後の剥離性が不十分な場合があり、（Ｒｍ２／Ｒａ２）が大きすぎると、最大高さの山以外の山も全体的に高くなり、機能性膜の平滑性が不十分となる場合がある。そのため、本発明のフィルムは、（Ｒｍ２／Ｒａ２）を式（III）の範囲とすることで、機能性膜の平滑性、加熱後の剥離性を高い範囲で両立することが可能となる。さらには、（Ｒｍ２／Ｒａ２）は、機能性膜の表面形状と相関が見られる値であり、機能性膜同士を積層して使用する用途（たとえば、チップ積層セラミックコンデンサやチップインダクタなどの回路部材用途）においては、Ｒｍ２（ｎｍ）やＲａ２（ｎｍ）ではなく、（Ｒｍ２／Ｒａ２）を式（III）の範囲とすることで、機能性膜同士を積層した際の積層部分の空隙を適切な範囲とすることができ、機能性膜を積層体とした際のの各種特性（例えば、積層時の小型化、低背化など）を良好とすることもできる。本発明のフィルムの（Ｒｍ２／Ｒａ２）は、機能性フィルムの剥離性と平滑性を両立させる観点から、７以上１４以下がより好ましく、８以上１２以下が特に好ましい。

　（Ｒｍ２／Ｒａ２）を所望の範囲にするための方法としては、ポリマーＡ層を２種類以上のポリマーを組み合わせた構成とし、ポリマーＡ層を延伸させた後、ポリマーＡ層に含まれるポリマーの中で低融点のポリマーのみを１８０℃５分間の加熱により変形させてポリマーＡ層表面に歪みを形成させる方法において、ポリマーＡ層全体に対する低融点のポリマーの濃度、ポリマーＡ層の厚みを特定範囲に調整する方法、ポリマーＡ層に結晶性ポリマーを含む構成とし、ＵＶ処理やプラズマ処理などによりポリマーＡ層に微結晶を形成させ、１８０℃５分間の加熱によって、微結晶周辺の非晶部分のみを熱運動させてポリマーＡ層表面に歪みを形成させる方法において、ＵＶ処理やプラズマ処理などの表面処理条件とポリマーＡ層中の結晶性ポリマーの濃度を調整する方法、ポリマーＡ層に、微小な空隙を形成しておき、１８０℃５分間の加熱によって空隙周辺のポリマーを軟化させて空隙の形状を変化させ、ポリマーＡ層表面に歪みを形成させる方法において、空隙の大きさを特定範囲にする方法などが挙げられる。

　本発明の第１のフィルムは、ＡＦＭで求めたポリマーＡ層の算術平均粗さをＲａ１（ｎｍ）とした際に、機能性膜を製造するための工程基材として使用した場合に、加熱後の剥離性を良好とする観点から、下記式（IV）を満たすことが好ましい。
（Ｒｍ２／Ｒａ２）－（Ｒｍ１／Ｒａ１）＞０・・・（IV）
　ここで、Ｒａ１（ｎｍ）は、以下の通り求めた値とする。ＢｒｕｋｅｒＡＸＳ製「ＮａｎｏＳｃｏｐｅＶ Ｄｉｍｅｎｓｉｏｎ　Ｉｃｏｎ」などのＡＦＭ（原子間力顕微鏡）において、シリコンカンチレバーを探針として適用し、タッピングモードにて、フィルムの表面形状を計測した後、ＡＦＭに付属のソフトウェア（例えば、Ｎａｎｏ　Ｓｃｏｐｅ　Ａｎａｌｙｓｉｓなど）を用いて、カットオフ３ｎｍの条件にて算術平均粗さを算出した。このような測定を５回繰り返し、５回の測定値の平均値を求める。なお、測定方向（探針の走査方向）は、任意の一方向、および任意の一方向と直交する方向の計２方向について測定を行い、各方向での算術平均粗さの平均値を、Ｒａ１（ｎｍ）として採用する。フィルムを加熱する前の値である（Ｒｍ１／Ｒａ１）と比較して、１８０℃５分間処理後の値である（Ｒｍ２／Ｒａ２）を大きくすることで、加熱後の最大高さ以外の山の高さが大きくなったり、もしくは加熱後の最大高さの山が低くなるため、ポリマーＡ層と機能性膜の層間歪みを形成しやすくでき、加熱後の剥離性を良好とすることができる。

　（Ｒｍ１／Ｒａ１）、（Ｒｍ２／Ｒａ２）について、（IV）式の関係を満たすための方法としては、ポリマーＡ層を２種類以上のポリマーを組み合わせた構成とし、ポリマーＡ層を延伸させた後、ポリマーＡ層に含まれるポリマーの中で低融点のポリマーのみを１８０℃５分間の加熱により変形させてＡ層表面に歪みを形成させる方法において、低融点のポリマーの種類や濃度を特定成分とする方法、ポリマーＡ層に結晶性ポリマーを含む構成とし、ＵＶ処理やプラズマ処理などによりポリマーＡ層に微結晶を形成させ、１８０℃５分間の加熱によって、微結晶周辺の非晶部分のみを熱運動させてポリマーＡ層表面に歪みを形成させる方法において、ＵＶ処理やプラズマ処理などの表面処理条件とポリマーＡ層中の結晶性ポリマーの濃度を調整する方法、ポリマーＡ層に、微小な空隙を形成しておき、１８０℃５分間の加熱によって空隙周辺のポリマーを軟化させて空隙の形状を変化させ、ポリマーＡ層表面に歪みを形成させる方法において、空隙の大きさを特定範囲にする方法などが挙げられる。

　[第２のフィルム]
　本発明の第２のフィルムは、ポリマーＡ層を少なくとも片面に有するフィルムであって、ポリマーＡ層の表面自由エネルギーをＳＥ１（ｍＮ／ｍ）、１８０℃５分間加熱処理後における、ポリマーＡ層の表面自由エネルギーをＳＥ２（ｍＮ／ｍ）とした際に、下記式（ａ）を満足することが重要である。
ＳＥ１－ＳＥ２＞０ｍＮ／ｍ・・・（ａ）
　ここで、ＳＥ１（ｍＮ／ｍ）、ＳＥ２（ｍＮ／ｍ）は、以下の通り求めた値とする。２３℃、６５％ＲＨの条件下で２４時間調湿したフィルムについて、接触角計（協和界面化学製ＣＡ－Ｄ型）を使用して、水、エチレングリコ－ル、ホルムアミド、及びヨウ化メチレンの４種類の測定液を用い、協和界面化学（株）製接触角計ＣＡ－Ｄ型を用いて、フィルム表面に対する静的接触角を求めた。それぞれの液体について得られた接触角と測定液の表面張力の各成分を下式にそれぞれ代入し、４つの式からなる連立方程式をγ^L 、γ⁺ 、γ^- について解いた。

　(γ^L γ_j ^L )^1/2 ＋２(γ⁺ γ_j ^-)^1/2 ＋２(γ_j ⁺γ^-)^1/2 ＝(１＋cosθ)[γ_j ^L ＋２(γ_j ⁺ γ_j ^- )^1/2]／２
ただし、γ＝γ^L ＋２(γ⁺ γ_- )^1/2γ_j ＝γ_j ^L ＋２(γ_j ⁺γ_j ^- )^1/2ここで、γ、γ^L 、γ⁺ 、γ^- は、それぞれ、フィルム表面の表面自由エネルギー、長距離間力項、ルイス酸パラメーター、ルイス塩基パラメーターを、また、γ_j 、γ_j ^L 、γ_j ⁺ 、γ_j ^- は、それぞれ、用いた測定液の表面自由エネルギー、長距離間力項、ルイス酸パラメーター、ルイス塩基パラメーターをあらわすものとする。

　ここで用いた各液体の表面張力は、Ｏｓｓ（"Fundamentals ofAdhesion", L.H.Lee(Ed.), p153, Plenum ess, New York(1991)）によって提案された表７の値を用いた。

　本発明における、１８０℃５分間熱処理とは、機能性膜の工程基材としてフィルムを使
用した際に、機能性膜の乾燥、機能性向上のために生じるフィルムへの加熱を模した処理であり、たとえば、１８０℃に設定した熱風循環方式のコンベアオーブンにフィルムを５分間かけて搬送する処理を指す。また、フィルムを搬送する際には、２枚の金属枠でフィルムを挟み込んだ後、金属枠を金属クリップで固定することで、フィルムが直接コンベアに接触しないようにして行うものとする。

　本発明において、式（ａ）は、ポリマーＡ層の表面自由エネルギーが１８０℃５分間の熱処理後に小さくなることを示している。ポリマーＡ層の表面自由エネルギーを加熱後に小さくすることで、例えば、本発明のフィルムが機能性膜と積層された構成であった場合に、機能性膜を製造する際の密着性と、乾燥等による加熱後での機能性膜の剥離性を両立できることを見出した。

　ＳＥ１－ＳＥ２を式（ａ）の範囲にするための方法としては、ポリマーＡ層に、疎水性部分を含むポリマーを少量含有させ、疎水性部分を含むポリマーをポリマーＡ層の島側に配置し、加熱後に疎水性部分をフィルム表面に配列させる方法などが挙げられる。なお、ポリマーＡ層の海島構造は、公知の方法にてフィルムの染色を行った後、断面ＴＥＭ観察などによって確認することが可能である。

　本発明の第２のフィルムは、機能性膜を製造するための工程基材として使用した場合に、機能性膜の平滑性、加熱後の剥離性を良好とする観点から、下記式（ｂ）を満足することが好ましい。
０．５ｍＮ／ｍ≦（ＳＥ１－ＳＥ２）≦４０ｍＮ／ｍ・・・（ｂ）
　本発明のフィルムは、（ＳＥ１－ＳＥ２）を０．５ｍＮ／ｍ以上とすることで、加熱後の剥離性が良好となる。（ＳＥ１－ＳＥ２）は、加熱後の剥離性をより良好とする観点から、２ｍＮ／ｍがより好ましく、５ｍＮ／ｍ以上が特に好ましい。また、（ＳＥ１－ＳＥ２）を４０ｍＮ／ｍ以下とすることで、加熱後に剥離性が必要以上に高くなり、加工中に機能性膜との剥がれ、浮きの発生を防止することができる。（ＳＥ１－ＳＥ２）は、機能性膜の剥離性や加工中の剥がれ、浮きの発生抑制をより良好とする観点から、３０ｍＮ／ｍ以下がより好ましい。

　（ＳＥ１－ＳＥ２）を式（ｂ）の範囲にするための方法としては、ポリマーＡ層に、疎水性部分を含むポリマーを少量含有させ、疎水性部分を含むポリマーをポリマーＡ層の海島構造の島側に配置し、加熱後に疎水性部分をフィルム表面に配列させる方法において、疎水性部分を含むポリマーのポリマーＡ層に対する重量比率、疎水性部分を含むポリマーの疎水性部分の比率の調整を行う方法などが挙げられる。さらには、加熱前にコロナ処理などの各種表面処理を行っておくと、疎水性部分が表面に引き出されるため、加熱後に表面自由エネルギーが低下しやすくなる。そのため、本来はフィルムの親水化で用いられるような各種表面処理（コロナ処理、プラズマ処理、ＵＶ処理など）も、加熱後にポリマーＡ層を疎水化させて、式（ｂ）の範囲にするための方法としては有効である。

　本発明のフィルムは、下記式（ｃ）を満たすことが、機能性膜の塗布性、機能性膜の加熱後の密着性の観点から好ましい。
２５ｍＮ／ｍ≦ＳＥ１≦７０ｍＮ／ｍ・・・（ｃ）
　ＳＥ１は加熱前のポリマーＡ層の表面自由エネルギーであり、２５ｍＮ／ｍ以上であると、機能性膜のポリマーＡ層に対する塗布性が良好となることから好ましく、より好ましくは３５ｍＮ／ｍ以上、特に好ましくは４２ｍＮ／ｍ以上である。また、加熱後のポリマーＡ層と機能性膜の剥離性を考慮すると、加熱前においてもＳＥ１は７０ｍＮ／ｍ以下であることが好ましく、４８ｍＮ／ｍ以下がより好ましい。　

　ＳＥ１を所望の範囲にする方法としては、ポリマーＡ層の組成、各種表面処理により調整を行う方法などが挙げられる。本発明の第２のフィルムは、１８０℃５分間加熱処理後における、ポリマーＡ層の分散力をＳｄ２、極性力をＳｐ２とした際に、下記式（ｄ）の関係を満たすことが、機能性膜の均質性の観点から好ましい。

　２３ｍＮ／ｍ≦（Ｓｄ２－Ｓｐ２）≦３６ｍＮ／ｍ・・・（ｄ）
ここで、（Ｓｄ２－Ｓｐ２）は、表面自由エネルギーの極性に関わる値であり、（Ｓｄ２－Ｓｐ２）が小さいほど、ポリマーＡ層の極性が高く、（Ｓｄ２－Ｓｐ２）が大きいほど、ポリマーＡ層の極性が低くなることを示す。本発明の第２のフィルムは、加熱後にポリマーＡ層の極性を低くすることで、機能性材料を塗布する際に、機能性材料の極性部分がポリマーＡ層の極性部分と近づこうとして機能性膜の分散性が不均一になることを抑制することができ、機能性膜の各種機能を良好とすることができる。なお、（Ｓｄ２－Ｓｐ２）は、後述する実施例の方法にてＳｄ２（ｍＮ／ｍ）、Ｓｐ２（ｍＮ／ｍ）をそれぞれ算出し、これらの差から求めることができる。（Ｓｄ２－Ｓｐ２）は、機能性膜の機能をより良好とする観点から、１７ｍＮ／ｍ以上２７ｍＮ／ｍ以下がより好ましい。（Ｓｄ２－Ｓｐ２）を式（ｄ）の範囲とする方法としては、ポリマーＡ層の組成、各種表面処理の調整を行う方法などが挙げられる。具体的には、ポリマーＡ層に含有される疎水性部分を含むポリマーの固有粘度を、ポリマーＡ層の主成分のポリマーの固有粘度よりも０．５以上低くして、加熱後に疎水性成分がフィルム表面に顕在化しやすいように疎水性部分を含むポリマーの運動性を相対的に高くしておき、かつ、フィルム製膜時の延伸後の熱処理温度を、ポリマーＡ層の融点を超えない範囲でできるだけ高温に設定し、さらに、コロナ処理、ＵＶ処理などの各種表面処理を、従来フィルムの濡れ性を向上させるような条件と比較して非常に弱い条件にて実施し、疎水性部分を含むポリマーに各種機能性膜との密着性を損なわない範囲で運動エネルギーを与える方法などが挙げられる。

　[第１および第２のフィルム]
　本発明の第１および第２のフィルムにおいて、ポリマーＡ層を構成する樹脂は、本発明の各種要件を満たす範囲において特に限定はされないが、たとえば、ポリプロピレン系樹脂、ポリエチレン系樹脂、環状オレフィン系樹脂などのポリオレフィン系樹脂、ポリオレフィン系樹脂にカルボン酸や無水マレイン酸などの側鎖（金属イオンに置換された構造を含む）を有する変性ポリオレフィン系樹脂、ポリエチレンテレフタレート、ポリテトラメチレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレート、およびこれらにエチレングリコール、テトラメチレングリコール、ブタンジオール以外のグリコール成分や、テレフタル酸以外のカルボン酸成分を共重合させたポリエステル系樹脂、アクリル系樹脂、ポリフッ化ビニリデン、ポリテトラフルオロエチレン、テトラフルオロエチレン・パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体、テトラフルオロエチレン・ヘキサフルオロプロピレン共重合体、テトラフルオロエチレン・エチレン共重合体、ポリクロロトリフルオロエチレン、クロロトリフルオエチレン・エチレン共重合体といったフッ素系樹脂、ポリカーボネート系樹脂、ポリウレタン系樹脂、ポリ塩化ビニル系樹脂、ポリスチレン系樹脂、ＡＢＳ（アクリロニトリル・ブタジエン・スチレン共重合体）系樹脂、ＡＳ（アクリロニトリル・スチレン共重合体）系樹脂などが挙げられる。

　これらの中でも、１８０℃の加熱において大きな変形が起こらない観点やコストの観点から、ポリマーＡ層の主成分は、ポリエステル系樹脂であることが好ましい。

　本発明におけるポリエステル系樹脂とは、ジカルボン酸由来の構造単位（ジカルボン酸成分）とジオール由来の構造単位（ジオール成分）のエステル結合により結合されるポリマーを指す。

　ジカルボン酸成分としては、例えば、テレフタル酸、イソフタル酸、フタル酸、１，４－ナフタレンジカルボン酸、１，５－ナフタレンジカルボン酸、２，６－ナフタレンジカルボン酸、４，４’－ジフェニルジカルボン酸、４，４’－ジフェニルエーテルジカルボン酸、４，４’－ジフェニルスルホンジカルボン酸などの芳香族ジカルボン酸、アジピン酸、スベリン酸、セバシン酸、ダイマー酸、ドデカンジオン酸、シクロヘキサンジカルボン酸などの脂肪族ジカルボン酸、および、各種芳香族ジカルボン酸、脂肪族ジカルボン酸とのエステル誘導体が挙げられる。これらのジオール成分はエチレングリコール以外に１種類のみでもよく、２種類以上を併用してもよい。

　また、ジオール成分としては、エチレングリコール、１，２－プロパンジオール、１，３－プロパンジオール、ネオペンチルグリコール、１，３－ブタンジオール、１，４－ブタンジオール、１，５－ペンタンジオール、１，６－ヘキサンジオール、１，２－シクロヘキサンジメタノール、１，３－シクロヘキサンジメタノール、１，４－シクロヘキサンジメタノール、ジエチレングリコール、トリエチレングリコール、ポリアルキレングリコール、２，２－ビス（４－ヒドロキシエトキシフェニル）プロパン、イソソルビド、スピログリコールなどを挙げることができる。これらのジカルボン酸成分はエチレングリコール以外に１種類のみでもよく、２種類以上を併用してもよい。
これらのジカルボン酸成分、ジオール成分の中でも、耐溶剤性、耐熱性の観点から、ジカルボン酸成分としては、テレフタル酸、イソフタル酸、２，６－ナフタレンジカルボン酸が好ましく、ジオール成分としては、エチレングリコール、１，４－ブタンジオール、１，４－シクロヘキサンジメタノール、イソソルビド、スピログリコールが好ましく用いられる。

　[第１のフィルム]
　本発明の第１のフィルムのポリマーＡ層は、ＡＦＭにて求めたポリマーＡ層の最大高さを加熱後に大きくする観点から、主成分のポリマーと異なるポリマーを１種類以上含有している構成が好ましい。主成分のポリマーと異なるポリマーとしては、相溶性の低い部分を加熱で運動させてポリマーＡ層と機能性膜の界面に歪みを形成させる観点からは、主成分のポリマーと相溶性が高い部分と相溶性が低い部分の両方の構成を有するポリマーが好ましく選定される。また、主成分のポリマーと異なるポリマーは、加熱時にポリマーＡ層の主成分のポリマーとの配向緩和の差をより大きくしてポリマーＡ層と機能性膜の界面に歪みを形成させやすくするため、主成分のポリマーより融点が低いことが好ましい。主成分のポリマーと異なるポリマーは、主成分のポリマーよりも融点が１５℃以上低いことが好ましく、３０℃以上低いことがより好ましい。また、主成分のポリマーは、融点を有しない非晶性のポリマーでも構わないが、非晶性ポリマーの場合は、１８０℃での加熱でもフィルムの変形が起きないよう、ポリマーＡ層１００質量％に対して２０質量％以下の濃度であることが好ましい。また、主成分のポリマーと異なるポリマーとして、ポリマーＡ層に微小な空隙を形成しておき、加熱後に空隙の形状を変化させてポリマーＡ層と機能性膜の界面に歪みを形成させる観点からは、ポリマーＡ層の主成分のポリマーと相溶性が低いポリマーであり、かつ溶融粘度が近いポリマーが好ましく選定される。　

　本発明の第１のフィルムのポリマーＡ層の一例として、主成分がポリエステル系樹脂であり、ポリエステル系樹脂の中でもポリエチレンテレフタレートである場合、主成分のポリマーと相溶性が高い部分と相溶性が低い部分の両方の構成を有するポリマーとしては、例えば、ポリブチレンテレフタレートとポリオキシアルキレングリコールのブロック共重合体（ポリブチレンテレフタレートがポリエチレンテレフタレートと相溶性が高い部分であり、ポリオキシアルキレングリコールがポリエチレンテレフタレートと相溶性が低い部分）、各種変性ポリオレフィン系樹脂（変性させた官能基がポリエチレンテレフタレートと相溶性が高い部分であり、ポリオレフィン部分がポリエチレンテレフタレートと相溶性が低い部分）などが挙げられる。また、主成分のポリマーと相溶性が低いポリマーとしては、各種ポリオレフィン系樹脂で、主成分のポリマーの溶融押出温度にて主成分のポリマー（今回の例ではポリエチレンテレフタレート）と近い溶融粘度特性を有するポリマーなどが挙げられる。

　[第２のフィルム]
本発明の第２のフィルムのポリマーＡ層は、加熱後の表面自由エネルギーを低下させる観点から、主成分のポリマーと異なるポリマーを１種類以上含有している構成が好ましい。主成分のポリマーと異なるポリマーとしては、表面自由エネルギーを加熱後に低くする観点とフィルム品位を両立させる観点からは、主成分のポリマーと相溶性が高い部分と相溶性が低い部分の両方の構成を有し、相溶性が低い部分が相溶性が高い部分に対して疎水性であるポリマーが好ましく選定される。

　本発明の第２のフィルムのポリマーＡ層の一例として、主成分がポリエステル系樹脂であり、ポリエステル系樹脂の中でもポリエチレンテレフタレートである場合、主成分のポリマーと相溶性が高い部分と相溶性が低い部分の両方の構成を有するポリマーとしては、例えば、ポリブチレンテレフタレートとポリオキシアルキレングリコールのブロック共重合体（ポリブチレンテレフタレートがポリエチレンテレフタレートとの相溶性が高い部分であり、ポリオキシアルキレングリコールがポリエチレンテレフタレートと相溶性が低い部分）、各種変性ポリオレフィン系樹脂（変性させた官能基がポリエチレンテレフタレートとの相溶部分）などが挙げられる。一方で、加熱前の各種表面処理と組み合わせる場合においては、ポリエチレンテレフタレートに、ポリオキシアルキレングリコールなど、ポリエチレンテレフタレートと相溶性が低い構造を直接共重合させる方法も、加熱後の表面自由エネルギーをより低下させる観点からは好ましい。

　[第１および第２のフィルム]
　本発明の第１、第２のフィルムは、機能性膜の外観や、平滑性に伴う特性を向上させる観点から、１８０℃５分間加熱後のポリマーＡ層の光沢度（６０°）が３０以上であることが好ましい。ここで、光沢度（６０°）とは、入射角が６０°の条件における光沢度を指す。機能性膜は、電磁波を反射させる特性や、機能性膜同士を複数枚積層させて回路部材とする際の各種電気特性を良好とする場合は平滑であることが好ましく、機能性膜の巨視的な視点での平滑性の指標として、機能性膜を転写させるポリマーＡ層の光沢度を好ましく用いることができる。１８０℃５分間加熱後のポリマーＡ層の光沢度（６０°）は、５０以上がより好ましく、７０以上がさらに好ましく、８０以上が特に好ましい。また、ポリマーＡ層側の光沢度（６０°）は、機能性膜の取扱い性の観点から、２００以下が好ましく、１５５以下がより好ましい。

　１８０℃５分間加熱後のポリマーＡ層の光沢度（６０°）を所望の範囲とするための方法としては、ポリマーＡ層に巻取り性付与のために含有させている各種粒子の種類、大きさを調整する方法が挙げられる。

　本発明の第１、第２のフィルムは、フィルムの打痕や異物巻き込み時の痕を抑制し、機能性膜の品位を良好とする観点から、ポリマーＡ層の押し込み弾性率が８００Ｎ／ｍｍ^２以上６，０００Ｎ／ｍｍ^２以下であることが好ましい。ここで、押し込み弾性率は、ナノインデンテーション法と呼ばれる、微小領域や薄膜の硬さ、弾性率が測定可能な評価手法であり、押し込み弾性率が高いと厚み方向の微小変形に対する回復がしやすくなり、フィルムが衝撃を受けたり異物を巻き込んだ状態で重ねられたりしても打痕や異物巻き込み時の痕が生じにくくなることから、フィルムの表面品位を良好とし、転写される機能性膜の表面品位を良好とすることができる。

　本発明の第１、第２のフィルムにおいて、ポリマーＡ層の押し込み弾性率を８００Ｎ／ｍｍ^２以上６，０００Ｎ／ｍｍ^２以下にするための方法としては、フィルムの組成（融点、２種類以上の原料のアロイ）、製造条件（二軸延伸処理、および当該処理における延伸温度や延伸倍率など）による調整を行う方法などが挙げられる。

　本発明の第１、第２のフィルムは、機能性材料を塗布して機能性材料層の薄膜（機能性膜）を得るための工程基材として使用した際に、取扱い性を良好とする観点から、主配向軸方向、および主配向軸と直交する方向において引裂き伝播抵抗が４．０Ｎ／ｍｍ以上１２．０Ｎ／ｍｍ以下であることが好ましい。ここで、引裂き伝播抵抗とは、ＪＩＳ Ｋ－７１２８－２－１９９８に沿って測定した値を指し、数値が大きいほど引き裂けにくいことを示す。また、本発明における主配向軸は、マイクロ波分子配向計を用いて求めた方向であり、主配向軸と直交する方向は、マイクロ波分子配向計を用いた主配向軸方向を元にして求めた方向とする。なお、フィルムの主配向軸とは、フィルムを構成するポリマーの分子鎖が最も強く配向している面内の方位であり、マイクロ波分子配向計以外の一般的な測定方法としては、自動複屈折計（王子計測機器製「ＫＯＢＲＡ」シリーズなど）、アッベ屈折計（アタゴ製「ＤＲ－Ａ１」シリーズ、「ＮＡＲ」シリーズなど）等で求めることが可能である。また、二軸配向フィルムは一般的に主配向軸と直交する方向が最も分子鎖の配向が弱い面内の方位となることから、フィルム面内で最も分子鎖の配向が強い方向と弱い方向の二方向の引裂き伝播抵抗を求めることで、引裂き伝播抵抗のフィルム面内の最も高い値と最も低い値を確認できる。すなわち、フィルムの引裂き抵抗の上限と下限がわかることから、いずれの方向にも取り扱い性が良好なことが確認可能となる。

　引裂き伝播抵抗は、工程基材として使用した際の取扱い性を良好とする観点から、４．５Ｎ／ｍｍ以上がより好ましく、５．５Ｎ／ｍｍ以上が特に好ましく、６．０Ｎ／ｍｍ以上が最も好ましい。また、本発明のフィルムは加工後の機能膜の剥離性を良好とする観点から、引裂き強度が９．８Ｎ／ｍｍ以下であることがより好ましい。フィルムの引裂き強度を４．０Ｎ／ｍｍ以上１２．０Ｎ／ｍｍ以下の範囲とする方法としては、フィルムを構成する主成分のポリマーより低融点のポリマーを少量しか含まない層、あるいは低融点のポリマーを含まない層をフィルム中に有する積層構成とし、当該層がフィルム全体厚み１００％として、５０％以上９５％以下の厚みを有する構成とし、フィルム総厚みを特定範囲とする方法が挙げられる。　

　本発明の第１、第２のフィルムは、工程基材として使用した際に、塗布性、加工後の剥離性、傷付き性を良好とすることができるため、導電性、磁性を有する各種材料やセラミック部材等の回路部材、光学部材など各種機能性膜の製造工程用途として好ましく使用できる。

　本発明における、機能性膜を構成する機能性材料とは、材料の持つ様々な物理的特性、化学的特性に基づき機能を発現させることを目的として各種製品に用いられる材料を指し、感光性や感熱性などの特徴を有する高分子材料、接着剤、粘着材、光学材料、セラミック、金属材料、磁性材料などが例として挙げられる。

　感光性や感熱性などの特徴を有する高分子材料としては、紫外線やレーザーなどの光、あるいは熱で硬化するアクリル系樹脂などが挙げられ、各種レジスト材料や印刷インク、プラスチック材料の表面保護用途などで好ましく用いられる。

　接着剤、粘着材としては、アクリル系樹脂、シリコーン系樹脂、ポリビニルアルコール系樹脂、エポキシ系樹脂などの材料が挙げられ、半導体チップの封止材や導電性接着剤、ディスプレイなどの電子部材のシール材、半導体チップ製造時のダイシングテープ、メッキのマスキングテープなどの加工用途などで好ましく用いられる。

　光学材料としては、アクリル系樹脂、ポリカーボネート系樹脂、環状オレフィン系樹脂など透明性、位相差特性などに特徴のある材料が挙げられ、光ディスク、フラットパネルディスプレイなど情報の記録、表示、伝送を担う光学材料向け用途などで好ましく用いられる。

　セラミックとしては、チタン酸バリウムやアルミナ、ジルコニア、炭化ケイ素、ゼオライトなど、誘電特性や耐熱性に特徴のある材料が挙げられ、スマートフォンなど各種デジタル電子機器で使用される、コンデンサやインダクタ、回路基板材料用途などで好ましく用いられる。

　金属材料としては、銀、胴、鉄など、導電性、放熱性、電磁波遮蔽性、バリア性に特徴のある材料が挙げられ、金属転写箔用途などで好ましく用いられる。

　磁性材料としては、フェライトやパーマロイなど、磁界中で磁力が発生したり変形したり、あるいは電気抵抗が変化する特徴を有する材料が挙げられ、インダクタやノイズ抑制、無線通信、無線給電用途などで好ましく用いられる。

　[第１および第２のフィルム]
次に、本発明の第１、第２のフィルムの好ましい製造方法を、ポリマーＡ層としてポリエステル系樹脂を選定した場合の例として以下に説明する。本発明はかかる例に限定して解釈されるものではない。

　はじめに、ポリマーＡ層を構成する原料をベント式二軸押出機に供給して溶融押出する。ポリマーＡ層とポリマーＡ層以外の層を積層させる場合は、ポリマーＡ層に用いるポリエステルＡと、ポリマーＡ層以外の層に用いるポリエステル原料とをそれぞれ別々のベント式二軸押出機に供給し溶融押出する。また、異なる組成のポリマーＡ層同士を積層させる場合は、各ポリマーＡ層に用いるポリエステルＡを、それぞれ別々のベント式二軸押出機に供給し溶融押出するが、以下においては、ポリマーＡ層と、ポリマーＡ層以外の層（ポリマーＢ層とする）を積層した構成として説明する。溶融押出を行う際は、押出機内を流通窒素雰囲気下で、酸素濃度を０．７体積％以下とし、樹脂の押出温度は、各層のうち最も融点が高い樹脂の融点より５℃～４０℃高く設定することが好ましく、融点が観測されない非晶性樹脂のみの場合は、溶融粘度や溶融状態を見ながら例えば１８０℃～２７０℃の範囲内で調整することが好ましい。ついで、フィルターやギヤポンプを通じて、異物の除去、押出量の均整化を各々行い、ポリマーＡ層とポリマーＢ層を合流させた後、Ｔダイより冷却ドラム上にシート状に吐出する。その際、高電圧を掛けた電極を使用して静電気で冷却ドラムと樹脂を密着させる静電印加法、キャスティングドラムと押出したポリマーシート間に水膜を設けるキャスト法、キャスティングドラム温度をポリマーＡのガラス転移点～（ガラス転移点－２０℃）にして押出したポリマーを粘着させる方法、もしくは、これらの方法を複数組み合わせた方法により、シート状ポリマーをキャスティングドラムに密着させ、冷却固化し、未延伸フィルムを得る。これらのキャスト法の中でも、ポリエステル系樹脂を使用する場合は、生産性や平面性の観点から、静電印加する方法が好ましく使用される。

　また、本発明の第１のフィルムにおいて、ポリマーＡ層を２種類以上のポリマーを組み合わせた構成とする場合は、押出機の溶融ゾーンからも原料投入が可能となる、いわゆるサイドフィード方式の押出機がポリマーＡ層の押出機として好ましく用いられる。また、低融点のポリマーが過度に加熱され溶融粘度が低くなってしまい、ポリマーＡ層を不均一な構成となることを防止する観点から、ポリマーＡ層に含まれるポリマーの中で低融点のポリマーをサイドフィード側から投入する方法が好ましく用いられる。

　本発明の第１、第２のフィルムは、耐熱性、寸法安定性の観点から二軸配向させることが好ましく、未延伸フィルムを長手方向に延伸した後、幅方向に延伸する、あるいは、幅方向に延伸した後、長手方向に延伸する逐次二軸延伸方法により、または、フィルムの長手方向、幅方向をほぼ同時に延伸していく同時二軸延伸方法などにより延伸を行うことが好ましい。フィルムの二軸配向状態は、たとえばポリエチレンテレフタレート系樹脂などのポリエステル系樹脂を主成分とする構成のフィルムの場合、アッベ屈折計などでフィルム面内の主配向軸方向、フィルム面内の主配向軸と直交する方向、およびフィルムの厚み方向それぞれの屈折率を測定し、フィルムの厚み方向の屈折率が最も小さくなっていることから確認することができる。

　かかる延伸方法における延伸倍率としては、長手方向に、好ましくは、２．７倍以上４倍以下、さらに好ましくは３倍以上３．５倍以下が採用される。また、延伸速度は１，０００％／分以上２００，０００％／分以下であることが望ましい。また長手方向の延伸温度は、８０℃以上１３０℃以下が好ましい。また、幅方向の延伸倍率としては、好ましくは２．８倍以上４倍以下、より好ましくは、３倍以上３．８倍以下が好ましい。幅方向の延伸速度は１，０００％／分以上２００，０００％／分以下であることが好ましい。

　さらに、二軸延伸の後にフィルムの熱処理を行ってもよい。熱処理はオーブン中、加熱したロール上など従来公知の任意の方法により行うことができる。この熱処理は、二軸配向後の配向結晶を成長させて熱寸法性を向上させることが目的であるため、最も融点の高いポリマーＡ層の融点以下の範囲内で、なるべく高い熱処理温度に設定する場合が一般的である。

　また、本発明の第１のフィルムのポリマーＡ層において、ポリマーＡ層の主成分より融点の低いポリマーを少量含有させる構成とすることで、ポリマーＡ層の中で低配向のドメインを形成し、加熱後のポリマーＡ層の表面歪みを形成しやすい設計とすることができる。ポリマーＡ層が２種類以上のポリマーを組み合わせた構成とする場合は、ポリマーＡ層の主成分のポリマーと、ポリマーＡ層に含有される、主成分より融点の低いポリマーの配向差をつけておき、機能性膜の加工時に配向緩和の差によりポリマーＡ層と機能性膜の界面に歪みを形成させやすくする観点からは、二軸延伸の後のフィルムの熱処理温度は、融点の低いポリマーの融点より１５℃以上３０℃以下の温度であることが好ましい。

　また、本発明の第２のフィルムのポリマーＡ層において、ポリマーＡ層の主成分と異なるポリマー（主成分のポリマーと相溶性が高い部分と相溶性が低い部分の両方の構成を有し、相溶性が低い部分が相溶性が高い部分に対して疎水性であるポリマー）を少量含有させる構成とすることで、加熱後に主成分と異なるポリマーの相溶性が低い部分（疎水性部分）が表面に配列し、Ａ層の表面自由エネルギーを低下させやすい設計とすることができる。

　また、本発明の第１、第２のフィルムは、機能性膜との加熱前の密着性、加熱後の剥離性をより良好とするために、ポリマーＡ層の表面に、コロナ処理やプラズマ処理、ＵＶ処理をはじめとした表面処理を行ったり、易接着層、離型層をフィルムの製造工程中にコーティングさせたりしてもよい。

　特に、本発明の第２のフィルムのポリマーＡ層に疎水部分を含むポリマーを含有している場合は、従来、フィルムの濡れ性を向上させるような条件と比較して非常に弱い条件にて実施し、疎水性部分を含むポリマーに、各種機能性膜との密着性を損なわない範囲で運動エネルギーを与える方法を用いることで、ポリマーＡ層の極性を特定範囲に制御して機能性膜の特性、品位を良好とすることができる。

本発明における特性の測定方法、および効果の評価方法は次の通りである。

　（１）ポリマーの組成
公知のポリマー組成分析手法（ＦＴ－ＩＲ（フーリエ変換赤外分光光度計）、ＮＭＲ（核磁気共鳴）など）によりポリマーＡ層の組成を求めた。ポリマーＡ層のうちポリエステルが含まれている場合においては、ポリマーＡ層をフィルムから削り取った後、ヘキサフルオロイソプロパノール（ＨＦＩＰ）に溶解し、^１Ｈ－ＮＭＲおよび^１３Ｃ－ＮＭＲを用いて各モノマー残基成分や副生ジエチレングリコールについて含有量を定量した。なお、本発明のフィルムについては、フィルム製造時の混合比率から計算により、組成を算出した。

　（２）固有粘度
公知のポリマー組成分析手法（ＦＴ－ＩＲ、ＮＭＲなど）によりポリマーＡ層がポリエステルである傾向が確認された場合においては、ポリマーＡ層をオルトクロロフェノールに溶解し、オストワルド粘度計を用いて２５℃にて測定した。積層フィルムの場合は、積層厚みに応じて、フィルムの各層を削り取ることで、各層単体の固有粘度を評価した。

　（３）フィルム厚み、層厚み
フィルム厚みを測定する際は、ダイヤルゲージを用いて、フィルムから切り出した試料の任意の場所５ヵ所の厚みを測定し、平均値を求めた。層厚みを測定する際は、フィルムをエポキシ樹脂に包埋し、フィルム断面をミクロトームで切り出した。該断面を透過型電子顕微鏡（日立製作所製ＴＥＭ　Ｈ７１００）で５０００倍の倍率で観察し、各層の厚みを求めた。

　（４）融点
示差走査熱量計（ＳＩＩナノテクノロジー（旧セイコー電子工業）製、ＥＸＴＲＡ　ＤＳＣ６２２０）を用い、ＪＩＳ　Ｋ－７１２１－１９８７、ＪＩＳ　Ｋ－７１２２－１９８７に準拠して測定および、解析を行った。フィルムを５ｍｇ、サンプルに用い、２５℃から２０℃／分で３００℃まで昇温した際のＤＳＣ曲線より得られた吸熱ピークの頂点の温度を融点とした。なお、積層フィルムの場合は、フィルムの各層を削り取ることで、各層単体の融点を測定し、複数の融点が観測された場合は、最も面積が大きな吸熱ピークを層の融点として採用した。

　（５）Ｒｍ１、Ｒａ１
ＢｒｕｋｅｒＡＸＳ製「ＮａｎｏＳｃｏｐｅＶ Ｄｉｍｅｎｓｉｏｎ　Ｉｃｏｎ」などのＡＦＭ（原子間力顕微鏡）において、シリコンカンチレバーを探針として適用し、タッピングモードにて、フィルム、もしくは１８０℃５分間加熱処理を行ったフィルムの表面形状を計測した。なお、走査範囲は３μｍ角とし、走査速度は０．４Ｈｚ、測定は室温（２５℃）、大気中にて実施した。なお、測定の前処理として、フィルムを１ｃｍ角程度に切り出し、エポキシ樹脂でシリコンウェハに固定した後に測定を行った。その後、ＡＦＭに付属のソフトウェア（例えば、Ｎａｎｏ　Ｓｃｏｐｅ　Ａｎａｌｙｓｉｓなど）を用いて、カットオフ３ｎｍの条件にて最大高さ、算術平均粗さを算出し、それぞれにおいて５回の測定の平均値を計算した。測定方向（探針の走査方向）は、任意の一方向、および任意の一方向と直交する方向の計２方向にて測定を行い、各方向での最大高さ、算術平均粗さの各平均値（すなわち、任意の一方向の５回の測定値と、任意の一方向と直交する方向の５回の測定値の合計１０回の測定値の平均値）をそれぞれＲｍ１（ｎｍ）、Ｒａ１（ｎｍ）として採用した。

　（６）Ｒｍ２、Ｒａ２
Ａ４サイズのフィルムを、Ａ４サイズで四辺１ｃｍ幅以外がくり抜かれた厚み２ｍｍのアルミニウム枠２枚で挟み込んだ後、アルミニウム枠を金属クリップで固定したサンプルを準備した。その後、１８０℃に設定したコンベア式オーブン（フジマック製ＦＧＪＯＡ９Ｈ）にて、オーブン通過時間が５分になるように設定し、フィルムの熱処理を行った。上記方法によって得られた１８０℃５分間加熱後のフィルムについて、（５）と同様の方法にてＡＦＭでの最大高さ、算術平均粗さを算出し、それぞれにおいて５回の測定の平均値を計算した。測定方向（探針の走査方向）は、任意の一方向、および任意の一方向と直交する方向の計２方向にて測定を行い、各方向での最大高さ、算術平均粗さの各平均値（すなわち、任意の一方向の５回の測定値と、任意の一方向と直交する方向の５回の測定値の合計１０回の測定値の平均値）をそれぞれＲｍ２（ｎｍ）、Ｒａ２（ｎｍ）として採用した。

　（７）押し込み弾性率
ナノインデンター（エリオニクス製、ＥＮＴ－２１００）を用い、フィルムの一方に「アロンアルファ プロ用耐衝撃」（東亜合成製、接着剤）を１滴塗布し、サンプル固定台に固定して、残りの面を測定面として測定を行った。測定には稜間角１１５°の三角錐ダイヤモンド圧子（Ｂｅｒｋｏｖｉｃｈ圧子）を用いた。測定データは「ＥＮＴ－２１００」の専用解析ソフト（ｖｅｒｓｉｏｎ　６．１８）によりデータ処理を行い、押し込み弾性率を求めた。その後、測定面を逆にして同様の測定を実施し、両面の押し込み弾性率を求めた。

　（８）耐痕性
鉄板の上に置いた、５ｍｍ角のポリエステルフィルム片（東レ製、“ルミラー”Ｓ１０（５０μｍ））の上に、評価に用いるフィルムを１０枚重ねの状態で被せた。その後、５００ｇの錘（直径２０ｍｍ、高さ２８ｍｍの円柱状）を、ポリエステルフィルム片が被さった位置に１時間放置した。その後、錘を取り除き、非接触表面・層断面形状計測システム（菱化システム製、ＶｅｒｔＳｃａｎ２．０  ＲＧ３００ＧＬ－Ｌｉｔｅ－ＡＣ）にてフィルムを１枚ずつ撮影し、付属の解析ソフトにより撮影画面を多項式４次近似にて面補正して表面形状の計測を実施した。合計１０枚のうち、５μｍ以上の段差が確認されたフィルムの枚数について、下記基準にて評価を実施した。
なお、撮影に用いたカメラはＳＯＮＹ製ＨＲ－５７（１／２インチ）を用い、波長フィルタは５３０ｎｍ ｗｈｉｔｅ、測定ソフトウェアはＶＳ－Ｍｅａｓｕｒｅ Ｖｅｒｓｉｏｎ５．５．１、解析ソフトウェアはＶＳ－Ｖｉｅｗｅｒ Ｖｅｒｓｉｏｎ５．５．１をそれぞれ用いた。
Ａ：　２枚以下
Ｂ：　３枚以上４枚以下
Ｃ：　５枚以上。

　（９）機能性膜との密着性（方法１）
フィルムのポリマーＡ層側に、機能性膜として、フェライト系スラリーを乾燥後の厚みが２０μｍとなるように塗布した。なお、フェライト系スラリーとしては、軟磁性フェライト粉末（数平均粒子径０．７μｍ）１００部、ポリビニルブチラール樹脂（積水化学工業（株）社製「エスレック ＢＭ－Ｓ」）３０部、可塑剤（フタール酸ジオクチル）５部、トルエン／エタノール混合溶媒（混合比率：６：４）２００部よりなるスラリーを使用し、乾燥条件は１００℃５分間とした。得られたフィルム／機能性膜（フェライト系スラリーを乾燥させて得られた層）の、機能性膜側に、日東電工製ＯＰＰ粘着テープ（ダンプロンエースＮｏ．３７５）を貼り合わせ、幅１０ｍｍ、長さ１５０ｍｍの矩形に切り出しサンプルとした。該サンプルの一部をフィルム／機能性膜層間で剥離し、引張試験機（オリエンテック製テンシロンＵＣＴ－１００）を用いて、初期引張チャック間距離１００ｍｍ、引張速度を２０ｍｍ／分として、１８０°剥離試験を行った。剥離長さ１３０ｍｍ（チャック間距離２３０ｍｍ）になるまで測定を行い、剥離長さ２５ｍｍ～１２５ｍｍの荷重の平均値を剥離強度とした。なお、測定は５回行い、その平均値を採用した。このようにして求めた剥離強度に対して、下記基準にて機能性膜との密着性を評価した。
Ａ：０．０３０Ｎ／１０ｍｍ以上、もしくは剥離不可
Ｂ：０．０１０Ｎ／１０ｍｍ以上０．０３０Ｎ／ｍｍ未満
Ｃ：０．０１０Ｎ／１０ｍｍ未満。

　（１０）機能性膜との剥離性（方法１）（加熱後）
（９）と同様にフィルム／機能性膜層を作製したのち、（６）と同様にして１８０℃５分間の加熱処理を行った。その後は（９）と同様の方法にて剥離強度を算出した。その後、（９）で求めた剥離強度と、１８０℃５分間加熱処理を行った後の剥離強度を比較し、下記基準にて加熱後の剥離性向上効果を評価した。
Ａ：１８０℃５分間加熱後に、剥離強度が０．０１Ｎ／１０ｍｍ以上低くなった、もしくは剥離不可だったものが剥離可能となった。
Ｂ：１８０℃５分間加熱後に、剥離強度が０．００５Ｎ／１０ｍｍ以上、０．０１Ｎ／１０ｍｍ未満低くなった。
Ｃ：１８０℃５分間加熱後に、剥離強度が０Ｎ／１０ｍｍを超えて０．００５Ｎ／１０ｍｍ未満低くなった。
Ｄ：１８０℃５分間加熱後に、剥離強度が変化しなかった、もしくは剥離強度が高くなった。

　（１１）機能性膜の平滑性（方法１）
（１０）と同様にしてフィルムから剥離した機能性膜について、ベック式平滑度試験機（熊谷理機工業株式会社製、ＨＫ型）を用いて、ガラスと機能性膜の隙間からの空気流入時間を測定し、下記基準にて評価した。なお、空気流入時間が長いと、機能性膜同士を積層しても空気が流入する隙間が少なく、機能性膜同士を積層して使用する用途において電気特性や部材の小型化で有利な指標である。なお、測定条件としては、測定面積が１０ｃｍ^２、ガラス上へ機能性膜を固定する加圧が１００ｋＰａ、測定開始時の真空側圧力を０．０５ＭＰａ、大気側の圧力を０．１ＭＰａとし、０．０５１ＭＰａから０．０５２ＭＰａに圧力が変化する時間を空気流入時間とした。
Ａ：２０分以上
Ｂ：５分以上２０分未満
Ｃ：１分以上５分未満
Ｄ：１分未満。

　（１２）１８０℃５分間加熱後のポリマーＡ層の光沢度
（６）と同様にして１８０℃５分間の加熱処理を行ったフィルムについて、ＪＩＳ　Ｚ－８７４１－１９９７に規定された方法に従って、スガ試験機製デジタル変角光沢度計ＵＧＶ－５Ｄを用いて、ポリマーＡ層側の６０°鏡面光沢度を測定した。測定はｎ＝５で行い、最大値と最小値を除いた平均値を光沢度とした。なお、光沢度を測定する際には、黒画用紙（キングコーポレーション製、ＧＫ８０１２（厚み０．１９ｍｍ））をフィルムの測定面の裏側に設置して測定を行った。

　（１３）主配向軸方向、主配向軸方向と直交する方向
フィルムの任意の点において１００ｍｍ×１００ｍｍの寸法でサンプルを切り出し、ＫＳシステムズ（現王子計測機器）製のマイクロ波分子配向計ＭＯＡ－２００１Ａ（周波数４ＧＨｚ）を用い、ポリエステルフィルムの面内の主配向軸方向を求めた。また、得られた主配向軸方向を元に、主配向軸方向と直交する方向についても求めた。

　（１４）引裂き伝播抵抗
重荷重引裂試験機（東洋精機製）を用いて、ＪＩＳ Ｋ－７１２８－２－１９９８に沿って測定した。サンプルは、主配向軸方向、および主配軸方向と直交する方向にそれぞれ７５ｍｍ×６３ｍｍとし、その７５ｍｍの辺の中央部の位置に端から２０ｍｍの深さの切れ込みを入れ、残り４３ｍｍを引き裂いたときの指示値を読みとって主配向軸方向の引裂力（Ｎ）を求めた。次に、指示値より読み取った主配向軸方向の引裂力（Ｎ）をフィルム厚み（ｍｍ）で除して主配向軸方向の引裂き伝播抵抗を求めた。なお、測定は１０回ずつ行い、１０回の平均値を採用した。また、測定サンプルを主配向軸方向と直交する方向、および主配軸方向にそれぞれ７５ｍｍ×６３ｍｍとした以外は上記と同様に測定を行い、主配向軸方向と直交する方向の引裂き伝播抵抗を求めた。

　（１５）表面粗さ
表面粗さ計（小坂研究所製、ＳＥ４０００）を用いて両面について測定した。触針先端半径０．５μｍ、測定力１００μＮ、測定長１ｍｍ、低域カットオフ０．２００ｍｍ、高域カットオフ０．０００ｍｍの条件で測定し、ＪＩＳ Ｂ０６０１－２００１に準拠して算術平均粗さＳＲａを求めた。

　（１６）破断伸度
（１３）の方法で主配向軸方向、および主配向軸方向と直交する方向を求めた後、１５０ｍｍ×３０ｍｍ（主配向軸方向×主配向軸方向と直交する方向）の矩形に切り出してサンプルを作製した。引張試験機（オリエンテック製テンシロンＵＣＴ－１００）に試長（初期引張チャック間距離（Ｓａ））が５０ｍｍとなるようにサンプルをセットし、引張速度３００ｍｍ／分でサンプルが破断した際のチャック間距離（Ｓｂ）を求めた。Ｓａ、Ｓｂについて１０回の測定を行い、１０回の平均値を（Ｓｂ－Ｓａ）／Ｓａ×１００の計算式で求めた値を主配向軸方向の破断伸度（％）とした。また、主配向軸方向と直交する方向の破断伸度（％）についても、１５０ｍｍ×１０ｍｍ（主配向軸方向と直交する方向×主配向軸方向）の矩形サンプルを用いて測定を行って求めた。

　（１７）破断強度
（１６）の方法で主配向軸方向の破断伸度を求めた際に、サンプルが破断した際の応力を１０回読み取り、１０回の平均値を主配向軸方向の破断強度（ＭＰａ）とした。また、（１６）の方法で主配向軸方向と直交する方向の破断伸度を求めた際に、サンプルが破断した際の応力を１０回読み取り、１０回の平均値を主配向軸方向と直交する方向の破断強度（ＭＰａ）とした。

　（１８）加工性（方法１）
３００ｍｍ幅、２００ｍ長（６インチ、３５０ｍｍ長コア巻）のフィルムを準備し、下記条件で、３インチ、３５０ｍｍ長コアに巻返しを行い、搬送速度、張力を変増加しながら下記の基準で評価を行った。
Ａ：速度１０ｍ／分、搬送張力７０Ｎ／ｍで巻き返しても破れが発生しなかった。
Ｂ：速度５ｍ／分、搬送張力５０Ｎ／ｍで巻き返しても破れが発生しなかったが、速１０ｍ／分、搬送張力７０Ｎ／ｍに変更すると破れが発生した。
Ｃ：速度５ｍ／分、搬送張力３５Ｎ／ｍで巻き返しても破れが発生しなかったが、速度５ｍ／分、搬送張力５０Ｎ／ｍで巻き返すと破れが発生した。
Ｄ：速度５ｍ／分、搬送張力３５Ｎ／ｍで巻き返しても破れが発生した。

　（１９）表面自由エネルギーＳＥ１
２３℃、６５％ＲＨの条件下で２４時間調湿したフィルムについて、接触角計（協和界面化学製ＣＡ－Ｄ型）を使用して、水、エチレングリコ－ル、ホルムアミド、及びヨウ化メチレンの４種類の測定液を用い、協和界面化学（株）製接触角計ＣＡ－Ｄ型を用いて、フィルム表面に対する静的接触角を求めた。それぞれの液体について得られた接触角と測定液の表面張力の各成分を下式にそれぞれ代入し、４つの式からなる連立方程式をγ^L 、γ⁺ 、γ^- について解いた。

　(γ^L γ_j ^L )^1/2 ＋２(γ⁺ γ_j ^-)^1/2 ＋２(γ_j ⁺γ^-)^1/2 ＝(１＋cosθ)[γ_j ^L ＋２(γ_j ⁺ γ_j ^- )^1/2]／２
ただし、γ＝γ^L ＋２(γ⁺ γ_- )^1/2γ_j ＝γ_j ^L ＋２(γ_j ⁺γ_j ^- )^1/2ここで、γ、γ^L 、γ⁺ 、γ^- は、それぞれ、フィルム表面の表面自由エネルギー、長距離間力項、ルイス酸パラメーター、ルイス塩基パラメーターを、また、γ_j 、γ_j ^L 、γ_j ⁺ 、γ_j ^- は、それぞれ、用いた測定液の表面自由エネルギー、長距離間力項、ルイス酸パラメーター、ルイス塩基パラメーターをあらわすものとする。

　ここで用いた各液体の表面張力は、Ｏｓｓ（"Fundamentals ofAdhesion", L.H.Lee(Ed.), p153, Plenum ess, New York(1991)）によって提案された表１の値を用いた。なお、各測定液における静的接触角は、５回の測定の平均値を採用した。

　（２０）表面自由エネルギーＳＥ２
Ａ４サイズのフィルムを、Ａ４サイズで四辺１ｃｍ幅以外がくり抜かれた厚み２ｍｍのアルミニウム枠２枚で挟み込んだ後、アルミニウム枠を金属クリップで固定したサンプルを準備した。その後、１８０℃に設定したコンベア式オーブン（フジマック製ＦＧＪＯＡ９Ｈ）にて、オーブン通過時間が５分になるように設定し、フィルムの熱処理を行った。上記方法によって得られた１８０℃５分間加熱後のフィルムについて、（１９）と同様の方法にて表面自由エネルギーを求め、ＳＥ２とした。

　（２１）機能性膜との密着性（方法２）
フィルムのポリマーＡ層側に、機能性膜として、導電性ペーストを乾燥後の厚みが２０μｍとなるように塗布した。導電性ペーストとしては、エポキシ系接着剤（東亞合成製“ＡＳ－６０”）１００質量部に、５０％粒子径（メディアン径）が５．９μｍの銀コート銅粉（福田金属箔粉工業製“Ｃｕ－ＨＷＱ５μｍ”）１５０質量部を混合したものを使用し、乾燥条件は１００℃５分間とした。得られたフィルム／機能性膜（導電性ペーストを乾燥させて得られた層）の、機能性膜側に、日東電工製ＯＰＰ粘着テープ（ダンプロンエースＮｏ．３７５）を貼り合わせ、幅１０ｍｍ、長さ１５０ｍｍの矩形に切り出しサンプルとした。該サンプルの一部をフィルム／機能性膜間で剥離し、引張試験機（オリエンテック製テンシロンＵＣＴ－１００）を用いて、初期引張チャック間距離１００ｍｍ、引張速度を２０ｍｍ／分として、１８０°剥離試験を行った。剥離長さ１３０ｍｍ（チャック間距離２３０ｍｍ）になるまで測定を行い、剥離長さ２５ｍｍ～１２５ｍｍの荷重の平均値を剥離強度とした。なお、測定は５回行い、その平均値を採用した。このようにして求めた剥離強度に対して、下記基準にて機能性膜との密着性を評価した。
Ａ：０．０３０Ｎ／１０ｍｍ以上、もしくは剥離不可
Ｂ：０．０１０Ｎ／１０ｍｍ以上０．０３０Ｎ／ｍｍ未満
Ｃ：０．０１０Ｎ／１０ｍｍ未満。

　（２２）機能性膜との剥離性（方法２）（加熱後）
（２１）と同様にフィルム／機能性膜を作製したのち、（２０）と同様にして１８０℃５分間の加熱処理を行った。その後は（２１）と同様の方法にて剥離強度を算出した。その後、（２１）で求めた剥離強度と、１８０℃５分間加熱処理を行った後の剥離強度を比較し、下記基準にて加熱後の剥離性向上効果を評価した。
Ａ：１８０℃５分間加熱後に、剥離強度が０．０１Ｎ／１０ｍｍ以上低くなった、もしくは剥離不可だったものが剥離可能となった。
Ｂ：１８０℃５分間加熱後に、剥離強度が０．００５Ｎ／１０ｍｍ以上、０．０１Ｎ／１０ｍｍ未満低くなった。
Ｃ：１８０℃５分間加熱後に、剥離強度が０Ｎ／１０ｍｍを超えて０．００５Ｎ／１０ｍｍ未満低くなった。
Ｄ：１８０℃５分間加熱後に、剥離強度が変化しなかった、もしくは剥離強度が高くなった。

　（２３）機能性膜の均一性
（２１）と同様にフィルム／機能性膜を作製したのち、機能性膜の表面比抵抗を測定し、下記基準にて評価した。機能性膜の組成が均一であれば、機能性膜に含有される金属が均一に分散し、電流が流れやすくなるので表面比抵抗は小さくなり、機能性膜が均一であることの指標となる。なお、表面比抵抗の測定方法としては、フィルムを２００ｍｍ×２００ｍｍに切り取った後、２３℃、相対湿度２５％に調湿された部屋にて２４時間放置後、その雰囲気下で、ポリマーＡ層側についてデジタル超高抵抗／微小電流系Ｒ８３４０Ａ（アドバンテスト製）を用いて測定を行い、１０回の平均値を求めたのち下記基準で評価した。
Ａ：１．０×１０^８Ω／ｓｑ以下
Ｂ：１．０×１０^８Ω／ｓｑを超えて１．０×１０^１３Ω／ｓｑ以下
Ｃ：１．０×１０^１３Ω／ｓｑを超えて１．０×１０^１５Ω／ｓｑ以下
Ｄ：１．０×１０^１５Ω／ｓｑを超えた値
　（２４）Ｓｄ２、Ｓｐ２
（２０）と同様にして１８０℃５分間の加熱処理を行ったフィルムについて、分散力Ｓｄ２、極性力Ｓｐ２は、次にようにして求めた。まず、拡張Ｆｏｗｋｅｓ式とＹｏｕｎｇの式から、下記式（ｅ）を導いた。
〔拡張Ｆｏｗｋｅｓ式〕
γＳＬ＝γＳ ＋γＬ －２（γｓｄ ・γＬｄ ）１／２ －２（γｓＤ ・γＬＤ ）１／２ －２（γｓｈ ・γＬｈ ）１／２
〔Ｙｏｕｎｇの式〕
γＳ ＝γＳＬ＋γＬ ｃｏｓθ
γＳ ：固体の表面自由エネルギー
γＬ ：液体の表面張力
γＳＬ：固体と液体の界面の張力
θ ：液体との接触角
γｓｄ ，γＬｄ ：γＳ ，γＬ の分散力成分
γｓＤ，γＬＤ ：γＳ ，γＬ の極性力成分
γｓｈ ，γｈＬ ：γＳ ，γＬ の水素結合成分
（γｓｄ ・γＬｄ ）１／２ ＋（γｓＤ ・γＬＤ ）１／２ ＋（γｓｈ ・γＬｈ ）１／２＝γＬ （１＋ｃｏｓθ）／２ ・・・（ｅ）
次に、表面張力の各成分が既知である４種類の液体について、１８０℃５分間の加熱処理を行ったフィルムとの接触角を測定し、式（ｅ）に代入、各液体についての３元１次連立方程式を解くことで、１８０℃５分間の加熱処理を行ったフィルムの表面自由エネルギー中の分散力成分γｓｄをＳｄ２、極性力成分γｓＤをＳｐ２として採用した。連立方程式の解法には数値計算ソフト“Ｍａｔｈｅｍａｔｉｃａ”を用いた。また、接触角の測定には、水、エチレングリコール、ホルムアミド、ヨウ化メチレンの測定液を用い、測定機は協和界面化学（株）製接触角計ＣＡ－Ｄ型を使用した。なお、各測定液における静的接触角は、５回の測定の平均値を採用した。

　（２５）加工性（方法２）
３００ｍｍ幅、２００ｍ長（６インチ、３５０ｍｍ長コア巻）のフィルムを準備し、下記条件で、３インチ、３５０ｍｍ長コアに巻返しを行い、搬送速度、張力を変増加しながら下記の基準で評価を行った。
Ａ：速度１０ｍ／分、搬送張力７０Ｎ／ｍで巻き返しても破れが発生しなかった。
Ｂ：速度５ｍ／分、搬送張力５０Ｎ／ｍで巻き返しても破れが発生しなかったが、速１０ｍ／分、搬送張力７０Ｎ／ｍに変更すると破れが発生した。
Ｃ：速度５ｍ／分、搬送張力５０Ｎ／ｍで巻き返すと破れが発生した。

　（２６）機能性膜の平滑性（方法２）
（２２）と同様にしてフィルムから剥離した機能性膜について、蛍光灯の下に置き、視認される蛍光灯の像を下記基準で評価した。
Ａ：蛍光灯の輪郭がはっきりと確認できた。
Ｂ：蛍光灯の輪郭がぼやけて見えるものの、蛍光灯の状態をほぼ確認できた。
Ｃ：蛍光灯の輪郭がほとんど確認できなかった。

　（２７）主配向軸方向、主配向軸方向と直交する方向
フィルムの任意の点において１００ｍｍ×１００ｍｍの寸法でサンプルを切り出し、ＫＳシステムズ（現王子計測機器）製のマイクロ波分子配向計ＭＯＡ－２００１Ａ（周波数４ＧＨｚ）を用い、ポリエステルフィルムの面内の主配向軸方向を求めた。また、得られた主配向軸方向を元に、主配向軸方向と直交する方向についても求めた。
本発明のフィルムの製造には下記の樹脂を使用した。

　（ポリエステル１）
ジカルボン酸成分としてテレフタル酸成分が１００モル％、グリコール成分としてエチレングリコール成分が１００モル％であるポリエチレンテレフタレート樹脂を製造後、数平均粒子径２．２μｍのシリカ粒子をポリエチレンテレフタレート樹脂１００質量％に対して０．０４質量％含有させた、粒子含有ポリエチレンテレフタレート樹脂（固有粘度０．６３、融点２５５℃）。

　（ポリオレフィン２）
無水マレイン酸が結合されている変性ポリオレフィン系樹脂として、三洋化成製“ユーメックス”１００１（融点１４２℃）を用いた。
（ポリエステル３）
ポリブチレンテレフタレート９０質量％と、ポリテトラメチレングリコールを１０質量％とをブロック共重合させたポリエステル系樹脂（固有粘度１．１、融点２１５℃）を用いた。

　（ポリオレフィン４）
ポリプロピレン系樹脂として、住友化学製Ｒ１０１（ＭＦＲ＝１９、融点１６３℃）を用いた。

　（ポリオレフィン５）
環状ポリオレフィン系樹脂として、ポリプラスチックス製“ＴＯＰＡＳ”８００７Ｆ－０４（融点なし）を用いた。

　（ポリオレフィン６）
ポリエチレン系主鎖に、メタクリル酸（カルボン酸）の水素イオンの一部を金属イオンに置換した側鎖が結合されている変性ポリオレフィン系樹脂として、三井デュポンポリケミカル製“ハイミラン”１７０７（融点９０℃）を用いた。

　（アクリル７）
ＤＩＣ製“ファインタック”ＣＴ－３０８８を７４質量％に対して、熱膨張性微小球（マイクロスフェアＦ－５０）を２６質量％含有させた樹脂塗剤を用いた。
（ポリエステル８）
ジカルボン酸成分としてテレフタル酸成分が１００モル％、グリコール成分としてエチレングリコール成分が１００モル％であるポリエチレンテレフタレート樹脂を製造後、数平均粒子径３．５μｍのシリカ粒子をポリエチレンテレフタレート樹脂１００質量％に対して５質量％含有させた、粒子含有ポリエチレンテレフタレート樹脂（固有粘度０．６３、融点２５５℃）。
（ポリエステル９）
ポリブチレンテレフタレート８５質量％と、ポリテトラメチレングリコールを１５質量％とをブロック共重合させたポリエステル系樹脂（固有粘度１．０、融点２１３℃）を用いた。
（ポリエステル１０）
ポリブチレンテレフタレート９０質量％と、ポリテトラメチレングリコールを１０質量％とをブロック共重合させたポリエステル系樹脂（固有粘度１．４、融点２１８℃）を用いた。
（ポリエステル１１）
ジカルボン酸成分としてテレフタル酸成分が１００モル％、グリコール成分としてエチレングリコール成分が１００モル％であるポリエチレンテレフタレート樹脂を製造後、数平均粒子径３．５μｍのシリカ粒子をポリエチレンテレフタレート樹脂１００質量％に対して２０質量％含有させた、粒子含有ポリエチレンテレフタレート樹脂（固有粘度０．６５、融点２５５℃）。

　（ポリエステル１２）
ジカルボン酸成分としてテレフタル酸成分が１００モル％、グリコール成分としてエチレングリコール成分が１００モル％であるポリエチレンテレフタレート樹脂を製造後、数平均粒子径２．２μｍのシリカ粒子をポリエチレンテレフタレート樹脂１００質量％に対して０．０４質量％含有させた、粒子含有ポリエチレンテレフタレート樹脂（固有粘度０．６３）。

　（ポリオレフィン１３）
無水マレイン酸が結合されている変性ポリオレフィン系樹脂として、三洋化成製“ユーメックス１００１”を用いた。

　（ポリエステル１４）
ポリブチレンテレフタレート９０質量％と、ポリテトラメチレングリコールを１０質量％とをブロック共重合させた樹脂（固有粘度０．５７）を用いた。

　（ポリオレフィン１５）
ポリプロピレン系樹脂として、住友化学製“Ｒ１０１”（ＭＦＲ＝１９）を用いた。

　（ポリオレフィン１６）
環状ポリオレフィン系樹脂として、ポリプラスチックス製“ＴＯＰＡＳ８００７Ｆ－０４”を用いた。

　（アクリル１７）
ＤＩＣ製“ファインタックＣＴ－３０８８”７４質量％に、熱膨張性微小球（マイクロスフェアＦ－５０）を２６質量％含有させた樹脂塗剤を用いた。
ジカルボン酸成分としてテレフタル酸成分が９０モル％、イソフタル酸成分が１０モル％、グリコール成分としてエチレングリコール成分が１００モル％であるイソフタル酸共重合
ポリエチレンテレフタレート樹脂（固有粘度０．７、融点２３０℃）。

　（ポリエステル１８）
ジカルボン酸成分としてテレフタル酸成分が１００モル％、グリコール成分としてエチレングリコール成分が９９．３モル％、テトラメチレングリコールが０．７モル％である、テトラメチレングリコール共重合ポリエチレンテレフタレート樹脂を製造後、数平均粒子径２．２μｍのシリカ粒子をポリエチレンテレフタレート樹脂１００質量％に対して０．０４質量％含有させた、粒子含有ポリエチレンテレフタレート樹脂（固有粘度０．６５）。

　（ポリエステル１９）
ポリブチレンテレフタレートとポリテトラメチレンテレフタレートのブロック共重合させた樹脂として、東レデュポン製“ハイトレル”７２４７を用いた。

　（実施例１）
組成を表の通りとして、ポリエステル１を酸素濃度を０．２体積％としたベント同方向二軸押出機の通常フィーダーに供給し、ポリオレフィン２を、同方向二軸押出機のサイドフィーダーから供給し、ポリマーＡ層の押出機のシリンダー温度を２８０℃で溶融し、短管温度を２８０℃、口金温度を２８０℃で、Ｔダイより２５℃に温度制御した冷却ドラム上にシート状に吐出した。その際、直径０．１ｍｍのワイヤー状電極を使用して静電印加し、冷却ドラムに密着させ未延伸シートを得た。次いで、長手方向へ延伸温度８５℃で長手方向に３．５倍延伸し、すぐに４０℃に温度制御した金属ロールで冷却化した。次いでテンター式横延伸機にて予熱温度８５℃で１．５秒予熱を行い、延伸温度１００℃で幅方向に３．５倍延伸し、そのままテンター内にて、熱処理温度を２４５℃として熱処理を行った。なお、幅方向に５％縮めながら熱処理を行い、フィルム厚み５０μｍの二軸配向ポリエステルフィルムを得た。

　（実施例２，３、６、７、８、９、１１、１８、１９、２０、２１）
組成、製造条件を表のとおりに変更した以外は、実施例１と同様にして二軸配向ポリエステルフィルムを得た。

　（実施例４）
組成を表の通りとして、原料をそれぞれ酸素濃度を０．２体積％とした別々のベント同方向二軸押出機に供給した。ポリマーＡ層についてはポリエステル１を通常フィーダーに供給し、ポリオレフィン２を、サイドフィーダーから供給しポリマーＡ層の押出機のシリンダー温度を２８０℃に設定して原料を溶融させた。ポリマーＢ層については、ポリエステル１を通常フィーダーに供給し、押出機シリンダー温度を２８０℃に設定して原料を溶融させた。その後、それぞれの押出機にて溶融させたポリマーＡ層、ポリマーＢ層の原料について、フィードブロック内でＡ層／Ｂ層の２層構成になるよう合流させた以外は、実施例１と同様にして二軸配向ポリエステルフィルムを得た。

　（実施例５、１３、１４、１５、１６、１７、２２、２３、２４、２５、２６，２７、２８、２９、３０、３１、３２、３３、３４、３５、３６）
各層の厚みを表の通りとした以外は、実施例４と同様にして二軸配向ポリエステルフィルムを得た。

　（実施例１０）
アクリル７を、二軸配向ポリエステルフィルムである東レ製“ルミラー”Ｓ１０（１００μｍ）に塗工し、８０℃で３分間乾燥を行って、ポリエステルフィルムとアクリル７の積層フィルムを得た。

　（実施例１２）
ポリエステル１とポリオレフィン２をいずれも通常フィーダーから供給した以外は、実施例１と同様にして二軸配向ポリエステルフィルムを得た。

　（実施例３７）
組成を表の通りとした以外は、実施例１２と同様にして二軸配向ポリエステルフィルムを得た。

　（比較例１、２）
組成、製造条件を表の通りに変更した以外は、実施例１と同様にして二軸配向ポリエステルフィルムを得た。

　（参考実施例１）
組成を表の通りとして、原料をそれぞれ酸素濃度を０．２体積％としたベント同方向二軸押出機に供給し、ポリマーＡ層の押出機のシリンダー温度を２８０℃で溶融し、短管温度を２８０℃、口金温度を２８０℃で、Ｔダイより２５℃に温度制御した冷却ドラム上にシート状に吐出した。その際、直径０．１ｍｍのワイヤー状電極を使用して静電印加し、冷却ドラムに密着させ未延伸シートを得た。次いで、長手方向へ延伸温度８５℃で長手方向に３．５倍延伸し、すぐに４０℃に温度制御した金属ロールで冷却化した。次いでテンター式横延伸機にて予熱温度８５℃で１．５秒予熱を行い、延伸温度１００℃で幅方向に３．５倍延伸し、そのままテンター内にて、幅方向に５％縮めながら、２４５℃の熱処理温度にて熱処理を行った。その後、得られたフィルムに、コロナ表面処理の照射強度の目安であるＥ値（＝処理強度（Ｗ）／（処理電極幅（ｍ）×コロナ表面処理時のフィルム搬送速度（ｍ／分））を１Ｗ・分／ｍ^２に設定してコロナ表面処理を行い、フィルム厚み５０μｍの二軸配向ポリエステルフィルムを得た。

　（参考実施例２，３、６、７、８、１１、１５、１６、２０、２１）
組成、製造条件を表の通りに変更した以外は、参考実施例１と同様にして二軸配向ポリエステルフィルムを得た。

　（参考実施例４、１０、１２）
組成、製造条件を表の通りとし、コロナ表面処理におけるＥ値を６０Ｗ・分／ｍ^２とした以外は、参考実施例１と同様にして二軸配向ポリエステルフィルムを得た。

　（参考実施例５）
コロナ表面処理のＥ値を５０Ｗ・分／ｍ^２に変更した以外は、参考実施例４と同様にして二軸配向ポリエステルフィルムを得た。

　（参考実施例１３、１７、１８）
組成、製造条件を表の通りとして、原料をそれぞれ酸素濃度を０．２体積％とした別々のベント同方向二軸押出機に供給し、ポリマーＡ層の押出機のシリンダー温度を２８０℃、Ｂ層押出機シリンダー温度を２８０℃で溶融し、フィードブロック内でＡ層／Ｂ層の２層構成になるよう合流させた以外は、参考実施例１と同様にして二軸配向ポリエステルフィルムを得た。

　（参考実施例９）
アクリル６を、二軸配向ポリエステルフィルムである東レ製“ルミラー”Ｓ１０（１００μｍ）に塗工、８０℃で３分間乾燥を行って、ポリエステルフィルムとアクリル１７の積層フィルムを得た。

　（参考実施例１４）
組成、製造条件を表の通りとして、コロナ表面処理を行わなかった以外は、参考実施例１と同様にして二軸延伸ポリエステルフィルムを得た。

　（参考実施例１９）
組成、製造条件を表の通りとして、原料をそれぞれ酸素濃度を０．２体積％とした別々のベント同方向二軸押出機に供給し、ポリマーＡ層の押出機のシリンダー温度を２８０℃、Ｂ層押出機シリンダー温度を２８０℃で溶融し、フィードブロック内でＡ層／Ｂ層／Ａ層の３層構成になるように合流させた以外は、参考実施例１と同様にして二軸配向ポリエステルフィルムを得た。

　（参考比較例１、２）
組成、製造条件を表の通りに変更した以外は、参考実施例１と同様にして二軸配向ポリエステルフィルムを得た。

　本発明の第１、第２のフィルムは、加熱前の密着性、加熱後の剥離性を良好にできることから、機能性材料を塗布して機能性材料の薄膜（機能性膜）を得るための工程基材として好ましく用いられる。

Claims (9)

1. ポリマーＡ層を少なくとも片面に有するフィルムであって、ＡＦＭにて求めたポリマーＡ層の最大高さをＲｍ１（ｎｍ）、１８０℃５分間加熱処理後における、ＡＦＭにて求めたポリマーＡ層の最大高さをＲｍ２（ｎｍ）とした際に、下記式（I）を満足することを特徴とする、フィルム。
   Ｒｍ２－Ｒｍ１＞０ｎｍ・・・（I）
2. 下記式（I I）を満足する、請求項１に記載のフィルム。
   １ｎｍ≦（Ｒｍ２－Ｒｍ１）≦２．０×１０^４ｎｍ・・・（I I）
3. 　１８０℃５分間加熱処理後における、ＡＦＭで求めたポリマーＡ層の算術平均粗さをＲａ２（ｎｍ）とした際に、下記式（III）を満足する、請求項１または２に記載のフィルム。
   ６≦（Ｒｍ２／Ｒa２）≦１５・・・（III）
4. 下記式（IV）を満足する、請求項１に記載のフィルム。
   （Ｒｍ２／Ｒａ２）－（Ｒｍ１／Ｒａ１）＞０・・・（IV）
5. ポリマーＡ層の主成分がポリエステル系樹脂である、請求項１に記載のフィルム。
6. 　１８０℃５分間加熱処理後のポリマーＡ層の光沢度（６０°）が３０以上である、請求項１に記載のフィルム。
7. 　ポリマーＡ層の押し込み弾性率が８００Ｎ／ｍｍ^２以上６，０００Ｎ／ｍｍ^２以下である、請求項１に記載のフィルム。
8. 　主配向軸方向、および主配向軸と直交する方向において引裂き伝播抵抗が４．０Ｎ／ｍｍ以上１２．０Ｎ／ｍｍ以下である、請求項１に記載のフィルム。
9. 　製造工程用途に用いられる、請求項１に記載のフィルム。