WO2016103547A1 - 発光装置及びその製造方法 - Google Patents

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electrode
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植田　充彦
佐名川　佳治
孝典 明田
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パナソニックＩｐマネジメント株式会社
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    • H01L33/32—Materials of the light emitting region containing only elements of Group III and Group V of the Periodic Table containing nitrogen

Definitions

  • the present invention relates to a light emitting device and a manufacturing method thereof.
  • the optical element is made of, for example, a glass plate.
  • the LED element is flip-chip bonded to the electrode pattern through solder bumps formed on each electrode of the LED element.
  • the spacer is made of, for example, a silicon substrate, and is bonded to the submount substrate by an adhesive sheet.
  • the optical element is made of, for example, a glass plate, and is bonded to the upper surface of the spacer by an adhesive sheet.
  • a light emitting device in which an LED element is flip-chip mounted on an inorganic material substrate, followed by a wavelength conversion layer coating step, and then a step of bonding the inorganic material substrate and the glass lid is performed.
  • a production method is known (Document 2 [Japanese Patent Application Publication No. 2011-40577]).
  • an AuSn electrode for flip-chip mounting the LED element, and an Au layer as a welding base layer for bonding a glass lid are formed.
  • An object of the present invention is to provide a light-emitting device capable of improving reliability and reducing costs and a method for manufacturing the same.
  • a light-emitting device includes a mounting substrate, an ultraviolet light-emitting element mounted on the mounting substrate, and a cap that is disposed on the mounting substrate and has a recess that houses the ultraviolet light-emitting element.
  • the mounting substrate includes a support, and a first conductor portion, a second conductor portion, and a first bonding metal layer supported by the support. The first conductor portion and the second conductor portion are arranged so as to face the inner bottom surface of the concave portion of the cap on the surface side of the support.
  • the cap includes a cap body having a front surface and a back surface, the recess being formed on the back surface, and a peripheral portion of the recess on the back surface of the cap body, facing the first bonding metal layer.
  • the part between the said surface of the said cap main body and the inner bottom face of the said recessed part is formed with the glass which permeate
  • the ultraviolet light emitting element includes a first electrode and a second electrode, and the first electrode and the second electrode are disposed on one surface side in the thickness direction of the ultraviolet light emitting element.
  • the first conductor portion, the second conductor portion, and the first bonding metal layer are formed of the same laminated film on the surface side of the support.
  • the uppermost layer farthest from the support in each of the first conductor portion, the second conductor portion, and the first metal layer for bonding is formed of Au.
  • the first electrode and the first conductor portion are joined by a first joint portion made of AuSn, and the second electrode and the second conductor portion are made of AuSn. It is joined by the joint.
  • the first bonding metal layer and the second bonding metal layer are bonded by a third bonding portion formed of AuSn.
  • a method for manufacturing a light emitting device is a method for manufacturing a light emitting device having the following configuration.
  • the light emitting device includes a mounting substrate, an ultraviolet light emitting element mounted on the mounting substrate, and a cap that is disposed on the mounting substrate and has a recess that accommodates the ultraviolet light emitting element.
  • the mounting substrate includes a support, and a first conductor portion, a second conductor portion, and a first bonding metal layer supported by the support. The first conductor portion and the second conductor portion are arranged so as to face the inner bottom surface of the concave portion of the cap on the surface side of the support.
  • the cap includes a cap body having a front surface and a back surface, the recess being formed on the back surface, and a peripheral portion of the recess on the back surface of the cap body, facing the first bonding metal layer. A second bonding metal layer.
  • At least an ultraviolet light transmitting portion between the surface of the cap body and the inner bottom surface of the concave portion is formed of glass that transmits ultraviolet light emitted from the ultraviolet light emitting element.
  • the ultraviolet light emitting element includes a first electrode and a second electrode, and the first electrode and the second electrode are disposed on one surface side in the thickness direction of the ultraviolet light emitting element.
  • the cap is formed.
  • the second bonding metal layer in the first electrode, the second electrode, and the cap of the ultraviolet light emitting element, and the first conductor portion and the second conductor portion of the mounting substrate are then used.
  • the first bonding metal layer are bonded by a first AuSn layer, a second AuSn layer, and a third AuSn layer, respectively.
  • the first AuSn layer, the second AuSn layer, and the third AuSn layer are collectively formed in the same process on the mounting substrate.
  • FIG. 1 is a schematic cross-sectional view showing the light emitting device of the first embodiment.
  • FIG. 2 is a schematic plan view showing the light emitting device of the first embodiment.
  • FIG. 3 is a schematic side view showing the light emitting device of the first embodiment.
  • FIG. 4 is a schematic bottom view showing the light emitting device of the first embodiment.
  • FIG. 5 is a schematic side view of the light emitting device of Embodiment 1 mounted on a wiring board.
  • 6 is a schematic cross-sectional view of an ultraviolet light-emitting element in the light-emitting device of Embodiment 1.
  • FIG. FIG. 7A is a main process plan view for describing the method for manufacturing the light-emitting device of Embodiment 1.
  • FIG. 7B is a main process plan view for describing the method for manufacturing the light-emitting device of Embodiment 1.
  • FIG. 7C is a main process plan view for describing the method for manufacturing the light-emitting device of Embodiment 1.
  • FIG. 7D is a main process plan view for describing the method for manufacturing the light-emitting device of Embodiment 1.
  • FIG. 7E is a main process plan view for describing the method for manufacturing the light-emitting device of Embodiment 1.
  • FIG. 8 is a main process cross-sectional view for explaining the method for manufacturing the light emitting device of the first embodiment.
  • FIG. 9 is a bactericidal effect curve.
  • FIG. 10 is a schematic plan view showing a modification of the light emitting device of the first embodiment.
  • FIG. 10 is a schematic plan view showing a modification of the light emitting device of the first embodiment.
  • FIG. 11A is an explanatory diagram of the relationship between the wavelength of light incident on an evaluation sample using a Si substrate at an incident angle of 5 ° and the reflectance.
  • FIG. 11B is an explanatory diagram of the relationship between the wavelength of light incident on the evaluation sample using the Si substrate at an incident angle of 15 ° and the reflectance.
  • FIG. 11C is an explanatory diagram of the relationship between the wavelength and the reflectance of light incident on the evaluation sample using the Si substrate at an incident angle of 25 °.
  • FIG. 11D is an explanatory diagram of the relationship between the wavelength of light incident on an evaluation sample using a Si substrate at an incident angle of 35 ° and the reflectance.
  • FIG. 11E is an explanatory diagram of the relationship between the reflectance and the wavelength of light incident on the evaluation sample using the Si substrate at an incident angle of 45 °.
  • FIG. 11F is a diagram illustrating the relationship between the reflectance and the wavelength of light incident on the evaluation sample using the Si substrate at an incident angle of 55 °.
  • FIG. 12A is an explanatory diagram of the relationship between the reflectance and the wavelength of light incident on the Al substrate at an incident angle of 15 °.
  • FIG. 12B is an explanatory diagram of the relationship between the reflectance and the wavelength of light incident on the Al substrate at an incident angle of 25 °.
  • FIG. 12C is an explanatory diagram of the relationship between the reflectance and the wavelength of light incident on the Al substrate at an incident angle of 35 °.
  • FIG. 12A is an explanatory diagram of the relationship between the reflectance and the wavelength of light incident on the Al substrate at an incident angle of 15 °.
  • FIG. 12B is an explanatory diagram of the relationship between the reflectance and the
  • FIG. 12D is a diagram illustrating the relationship between the reflectance and the wavelength of light incident on the Al substrate at an incident angle of 45 °.
  • FIG. 12E is an explanatory diagram of the relationship between the reflectance and the wavelength of light incident on the Al substrate at an incident angle of 55 °.
  • FIG. 13 is a schematic cross-sectional view showing the light emitting device of the second embodiment.
  • FIG. 14 is a main process cross-sectional view illustrating the method for manufacturing the light emitting device of the second embodiment.
  • FIG. 15 is a schematic cross-sectional view showing the light emitting device of the third embodiment.
  • FIG. 16 is a schematic plan view showing the light emitting device of the third embodiment.
  • FIG. 17 is a cross-sectional view of main processes for explaining the method for manufacturing the light emitting device of the third embodiment.
  • FIG. 18 is a schematic side view of the light emitting device of Embodiment 3 mounted on a wiring board.
  • FIG. 19 is a schematic cross-sectional view showing the light emitting device of the fourth embodiment.
  • FIG. 20 is a cross-sectional view of main processes for explaining the method for manufacturing the light-emitting device of Embodiment 4.
  • FIG. 21 is a schematic cross-sectional view showing a first modification of the cap in the fourth embodiment.
  • FIG. 22 is a schematic cross-sectional view showing a second modification of the cap in the fourth embodiment.
  • FIG. 23 is a schematic cross-sectional view showing a third modification of the cap in the fourth embodiment.
  • FIG. 24 is a schematic cross-sectional view showing a fourth modification of the cap in the fourth embodiment.
  • FIG. 25 is a schematic cross-sectional view showing the light emitting device of the fifth embodiment.
  • FIG. 26 is a main process cross-sectional view for explaining the method for manufacturing the light-emitting device of Embodiment 5.
  • FIG. 27 is a schematic cross-sectional view illustrating the light emitting device of the sixth embodiment.
  • FIG. 28 is a main process cross-sectional view for describing the method for manufacturing the light-emitting device of Embodiment 6.
  • FIG. 29 is an explanatory diagram of the result of cross-sectional observation of a cap using a scanning electron microscope (SEM) and the result of a composition analysis using EDX (energy dispersive x-ray spectroscopic).
  • FIG. 30 is a schematic cross-sectional view showing the light emitting device of the first example.
  • FIG. 31 is a main process sectional view for explaining the method for manufacturing the light emitting device of the first example.
  • FIG. 32 is a schematic cross-sectional view showing a light emitting device of a second example.
  • FIG. 33 is a main process sectional view for explaining the method for manufacturing the light emitting device of the second example.
  • FIG. 34 is a schematic cross-sectional view showing the light emitting device of the seventh embodiment.
  • FIG. 35A is a main process sectional view for describing the method for manufacturing the light-emitting device of Embodiment 7.
  • FIG. 35B is a main process sectional view for describing the method for manufacturing the light-emitting
  • FIGS. 1 is a schematic schematic cross-sectional view corresponding to the XX cross section of FIG.
  • the light emitting device 1a includes a mounting substrate 2a, an ultraviolet light emitting element 3 mounted on the mounting substrate 2a, a spacer 4 formed on the mounting substrate 2a and having a through hole 41 that exposes the ultraviolet light emitting element 3, and a spacer 4 And a cover 5 disposed on the spacer 4 so as to close the through-hole 41.
  • the mounting substrate 2a includes a support body 20a, and a first conductor portion 21, a second conductor portion 22, and a first bonding metal layer 23 supported by the support body 20a.
  • the 1st conductor part 21 and the 2nd conductor part 22 are arrange
  • the spacer 4 includes a spacer main body 40 formed of Si, and a second bonding metal layer 43 disposed opposite to the first bonding metal layer 23 on the side of the spacer main body 40 facing the mounting substrate 2a.
  • the cover 5 is made of glass that transmits ultraviolet rays emitted from the ultraviolet light emitting element 3.
  • the ultraviolet light emitting element 3 includes a first electrode 31 and a second electrode 32, and the first electrode 31 and the second electrode 32 are disposed on one surface side in the thickness direction of the ultraviolet light emitting element 3.
  • the first electrode 31 and the first conductor portion 21 are joined by the first joining portion 61 made of AuSn, and the second electrode 32 and the second conductor portion 22 are made of AuSn. Joined by the second joining portion 62.
  • the second bonding metal layer 43 of the spacer 4 and the first bonding metal layer 23 of the mounting substrate 2a are bonded by a third bonding portion 63 formed of AuSn. In the light emitting device 1a having the above-described configuration, it is possible to improve the reliability and reduce the cost.
  • a first joining portion 61 that is formed of AuSn and joins the first electrode 31 and the first conductor portion 21 exists between the first electrode 31 and the first conductor portion 21, and AuSn.
  • the second joint portion 62 that joins the second electrode 32 and the second conductor portion 22 exists.
  • the second bonding metal layer 43 and the first bonding metal layer 23 formed of AuSn are bonded between the second bonding metal layer 43 and the first bonding metal layer 23.
  • the spacer 4 and the cover 5 constitute a cap 6 a that covers the ultraviolet light emitting element 3.
  • the cap 6a is formed with a recess 663 for accommodating the ultraviolet light emitting element 3. Therefore, from a different perspective, the light emitting device 1a has the following configuration.
  • the light emitting device 1a includes a mounting substrate 2a, an ultraviolet light emitting element 3 mounted on the mounting substrate 2a, and a cap 6a formed on the mounting substrate 2a and having a recess 663 for accommodating the ultraviolet light emitting element 3.
  • the mounting substrate 2a includes a support body 20a, and a first conductor portion 21, a second conductor portion 22, and a first bonding metal layer 23 supported by the support body 20a.
  • the 1st conductor part 21 and the 2nd conductor part 22 are arrange
  • the cap 6 a has a front surface 661 and a back surface 662, and a cap body 660 having a recess 663 formed on the back surface 662, and a peripheral portion of the recess 663 on the back surface 662 of the cap body 660, facing the first bonding metal layer 23. And a second bonding metal layer 43 disposed.
  • at least an ultraviolet light transmitting portion 666 between the surface 661 of the cap body 660 and the inner bottom surface 664 of the concave portion 663 is formed of glass that transmits ultraviolet light emitted from the ultraviolet light emitting element 3.
  • the ultraviolet light emitting element 3 includes a first electrode 31 and a second electrode 32, and the first electrode 31 and the second electrode 32 are disposed on one surface side in the thickness direction of the ultraviolet light emitting element 3.
  • the first conductor portion 21, the second conductor portion 22, and the first bonding metal layer 23 are laminated films made of the same material and the same thickness on the surface 201 side of the support 20a (in other words, (The 1st conductor part 21, the 2nd conductor part 22, and the 1st metal layer 23 for joining are comprised from the same laminated film by the surface 201 side of the support body 20a).
  • the uppermost layer farthest from the support 20a in each of the first conductor portion 21, the second conductor portion 22, and the first bonding metal layer 23 is made of Au.
  • the first electrode 31 and the first conductor portion 21 are joined by the first joining portion 61 made of AuSn, and the second electrode 32 and the second conductor portion 22 are made of AuSn. Joined by the second joining portion 62.
  • the first bonding metal layer 23 and the second bonding metal layer 43 are bonded by a third bonding portion 63 formed of AuSn. In the light emitting device 1a having the above-described configuration, it is possible to improve the reliability and reduce the cost.
  • the cap 6 a is disposed on the mounting substrate 2 a and has a spacer 4 formed with a through hole 41 that exposes the ultraviolet light emitting element 3.
  • the cap 6 a is disposed on the spacer 4 so as to close the through hole 41 of the spacer 4.
  • a cover 5 that is joined.
  • the surface exposed by the through hole 41 in the cover 5 constitutes the inner bottom surface 664 of the recess 663.
  • the cover 5 is made of glass that transmits ultraviolet rays emitted from the ultraviolet light emitting element 3.
  • the spacer 4 includes a spacer main body 40 formed of Si, and a second bonding metal layer 43 disposed opposite to the first bonding metal layer 23 on the side of the spacer main body 40 facing the mounting substrate 2a. .
  • the light emitting device 1 a ultraviolet rays radiated from the ultraviolet light emitting element 3 toward the inner bottom surface 664 of the recess 663 easily pass through the cover 5 and are emitted from the ultraviolet light emitting element 3 toward the inner side surface 665 of the recess 663.
  • the ultraviolet rays that are generated are easily reflected by the spacers 4.
  • the cap 6a is formed of an inorganic material.
  • the third joint portion 63 (see FIGS. 1 and 3) is formed along the entire circumference of the outer peripheral edge 421 on the surface 42 of the spacer body 40 facing the mounting substrate 2a.
  • the third joint portion 63 is preferably formed along the entire circumference of the outer peripheral edge of the back surface 662 of the cap body 660.
  • the mounting substrate 2a, the spacer 4, and the cover 5 constitute a package 7a for housing the ultraviolet light emitting element 3.
  • the light emitting device 1a is configured such that the third bonding portion 63 is formed along the entire circumference of the outer peripheral edge 421 on the surface 42 of the spacer body 40 facing the mounting substrate 2a. It becomes possible to hermetically seal.
  • the mounting substrate 2a is a substrate on which the ultraviolet light emitting element 3 is mounted.
  • “Mounting” is a concept that includes arranging and mechanically connecting the ultraviolet light emitting elements 3 and electrically connecting them.
  • the mounting substrate 2a is configured so that one ultraviolet light emitting element 3 can be mounted as an example.
  • the mounting substrate 2a is larger than the ultraviolet light emitting element 3 in plan view.
  • the support 20a has a function of supporting the first conductor portion 21, the second conductor portion 22, and the first bonding metal layer 23. Further, the support 20 a has a function of electrically insulating the first conductor portion 21, the second conductor portion 22, and the first bonding metal layer 23. The support 20a preferably has a function as a heat sink for efficiently transmitting the heat generated by the ultraviolet light emitting element 3 to the outside.
  • the mounting substrate 2a has a support 20a formed in a flat plate shape, and a first conductor portion 21, a second conductor portion 22, and a first bonding metal layer 23 on a surface 201 orthogonal to the thickness direction of the support 20a. Is formed.
  • the outer peripheral shape of the support 20a is rectangular (right-angled quadrilateral).
  • the outer peripheral shape of the support 20a is not limited to a rectangular shape, and may be, for example, a polygonal shape other than a rectangular shape, a circular shape, or the like.
  • the first conductor portion 21 is a conductive layer to which the first electrode 31 of the ultraviolet light emitting element 3 is electrically connected.
  • the second conductor portion 22 is a conductive layer to which the second electrode 32 of the ultraviolet light emitting element 3 is electrically connected.
  • Each of the first conductor portion 21, the second conductor portion 22, and the first bonding metal layer 23 can be constituted by, for example, a laminated film of a Ti film, a Pt film, and an Au film.
  • Each of the first conductor part 21, the second conductor part 22, and the first bonding metal layer 23 is, for example, a laminated film of an Al film, a Ni film, a Pd film, and an Au film, or a laminated film of a Ni film and an Au film.
  • a laminated film of a Cu film, a Ni film, and an Au film may be used.
  • the uppermost layer farthest from the support 20a is formed of Au, and the most on the support 20a. It is preferable that the nearest lowermost layer is formed of a material having high adhesion to the support 20a.
  • the 1st conductor part 21, the 2nd conductor part 22, and the 1st metal part 23 for joining may be comprised not only by a laminated film but by a single layer film.
  • the mounting substrate 2a includes the first conductor portion 21, the second conductor portion 22, and the first joint so that the first conductor portion 21, the second conductor portion 22, and the first joining metal layer 23 are spatially separated.
  • a metal layer 23 is disposed.
  • a groove 203 is formed between the first conductor portion 21 and the second conductor portion 22.
  • the inner surface of the groove 203 is constituted by a part of the surface 201 of the support 20 a and the opposing surfaces of the first conductor portion 21 and the second conductor portion 22.
  • the first conductor portion 21, the second conductor portion 22, and the first bonding metal layer 23 are formed on the surface 201 of the support 20a with the same thickness.
  • the mounting substrate 2a has the surface 211 of the first conductor portion 21, the surface 212 of the second conductor portion 22, and the surface 231 of the first bonding metal layer 23 (see FIG. 8) aligned on one plane. It is configured.
  • the mounting substrate 2a includes a first external connection electrode 24 and a second external connection electrode 25, and a first through wiring 26 and a second through wiring 27 that are formed through the support 20a in the thickness direction.
  • the first external connection electrode 24 and the second external connection electrode 25 are formed on the back surface 202 of the support 20a.
  • the first external connection electrode 24 is electrically connected to the first conductor portion 21 via the first through wiring 26.
  • the second external connection electrode 25 is electrically connected to the second conductor portion 22 via the second through wiring 27. Therefore, the light emitting device 1a can be surface-mounted on the wiring board 10a, for example, as shown in FIG.
  • the wiring board 10a is a mother board.
  • the wiring board 10a can be formed by a metal base printed wiring board, for example.
  • the wiring board 10a is formed on, for example, the metal plate 111, the Au layer 112 formed on the metal plate 111, the insulating resin layer 113 formed on the Au layer 112, and the insulating resin layer 113.
  • the first wiring part 114 and the second wiring part 115 are provided.
  • the metal plate 111 is composed of a Cu plate, but is not limited thereto, and may be composed of, for example, an Al plate.
  • the first external connection electrode 24 is joined to and electrically connected to the first wiring part 114 by the fifth joining part 104 made of solder. Further, in the ultraviolet LED module, the second external connection electrode 25 is joined and electrically connected to the second wiring part 115 by the sixth joint part 105 made of solder.
  • the light emitting device 1a is secondarily mounted on the wiring board 10a. In the light emitting device 1a, since each of the first joint 61, the second joint 62, and the third joint 63 is formed of AuSn, the light-emitting device 1a is formed of SnCuAg which is a kind of lead-free solder other than AuSn.
  • the light emitting device 1a can suppress remelting of the first joint portion 61, the second joint portion 62, and the third joint portion 63 when, for example, the secondary mounting is performed on the wiring board 10a or the like.
  • the wiring board 10a is preferably larger than the light emitting device 1a in plan view. Thereby, the ultraviolet LED module can further improve heat dissipation.
  • the wiring board 10a preferably includes a resist layer 116 that covers a region that does not overlap the light emitting device 1a in each of the first wiring portion 114 and the second wiring portion 115.
  • a white resist can be adopted.
  • the white resist include a resin containing a white pigment.
  • the white pigment include barium sulfate (BaSO 4 ) and titanium dioxide (TiO 2 ).
  • the resin include a silicone resin.
  • ASA COLOR (registered trademark) RESIST INK which is a white resist material made of silicone manufactured by Asahi Rubber Co., Ltd., can be used.
  • the resist layer 116 can be formed by, for example, a coating method.
  • Each of the first external connection electrode 24 and the second external connection electrode 25 can be composed of a laminated film of a Ti film, a Pt film, and an Au film, for example.
  • Each of the first conductor portion 21 and the second conductor portion 22 includes, for example, a laminated film of an Al film, a Ni film, a Pd film, and an Au film, a laminated film of a Ni film and an Au film, a Cu film, a Ni film, and Au. You may comprise by the laminated film etc. with a film
  • the uppermost layer farthest from the support body 20a is formed of Au
  • the lowermost layer closest to the support body 20a is the support body 20a. It is preferable that it is made of a material having high adhesion.
  • the first external connection electrode 24 and the second external connection electrode 25 are not limited to a laminated film, and may be formed of a single layer film.
  • the first through wiring 26 and the second through wiring 27 can be formed of W, Cu, or the like, for example.
  • the first through wiring 26 and the second through wiring 27 are preferably disposed so as not to overlap the ultraviolet light emitting element 3 in the thickness direction of the ultraviolet light emitting element 3.
  • the support 20a is preferably made of AlN ceramic.
  • the light emitting device 1a can efficiently dissipate the heat generated in the ultraviolet light emitting element 3 from the support 20a as compared with the case where the support 20a is formed of a resin substrate. Therefore, the light emitting device 1a can improve heat dissipation.
  • AlN ceramics have electrical insulation, but have relatively high thermal conductivity and higher thermal conductivity than Si.
  • the ultraviolet light emitting element 3 is an ultraviolet LED chip.
  • the chip size of the ultraviolet light emitting element 3 is set to 400 ⁇ m ⁇ (400 ⁇ m ⁇ 400 ⁇ m), but is not limited thereto.
  • the chip size of the ultraviolet light emitting element 3 can be appropriately set within a range of, for example, about 200 ⁇ m ⁇ (200 ⁇ m ⁇ 200 ⁇ m) to 1 mm ⁇ (1 mm ⁇ 1 mm).
  • the planar shape of the ultraviolet light emitting element 3 is not limited to a square shape, and may be, for example, a rectangular shape.
  • the ultraviolet light emitting element 3 is flip-chip mounted on the mounting substrate 2a.
  • the ultraviolet light emitting element 3 includes a substrate 30, and on the first surface 301 side of the substrate 30, the first conductivity type semiconductor layer 33 and the second conductivity type are sequentially arranged from the side closer to the first surface 301.
  • a semiconductor layer 35 is formed.
  • the ultraviolet light emitting element 3 includes the semiconductor multilayer film 39 having the first conductive semiconductor layer 33 and the second conductive semiconductor layer 35.
  • the first conductivity type semiconductor layer 33 is composed of an n-type semiconductor layer
  • the second conductivity type semiconductor layer 35 is composed of a p-type semiconductor layer.
  • the first conductive semiconductor layer 33 may be formed of a p-type semiconductor layer
  • the second conductive semiconductor layer 35 may be formed of an n-type semiconductor layer.
  • the substrate 30 has a function of supporting the semiconductor multilayer film 39.
  • the semiconductor multilayer film 39 can be formed by, for example, an epitaxial growth method.
  • an epitaxial growth method for example, a crystal growth method such as a MOVPE (metal organic vapor phase epitaxy) method, an HVPE (hydride vapor phase epitaxy) method, or an MBE (molecular molecular beam epitaxy) method can be adopted.
  • the semiconductor multilayer film 39 may contain impurities such as hydrogen, carbon, oxygen, silicon, and iron that are inevitably mixed when the semiconductor multilayer film 39 is formed.
  • the substrate 30 can be composed of a crystal growth substrate when the semiconductor multilayer film 39 is formed.
  • the substrate 30 is preferably composed of a sapphire substrate.
  • the substrate 30 may be a substrate formed of a material that can efficiently transmit ultraviolet rays emitted from the semiconductor multilayer film 39, and is not limited to a sapphire substrate, and may be a single crystal AlN substrate, for example.
  • the substrate 30 is preferably transparent to ultraviolet rays emitted from the semiconductor multilayer film 39.
  • a second surface 302 opposite to the first surface 301 of the substrate 30 constitutes a light extraction surface.
  • the semiconductor multilayer film 39 includes a buffer layer between the substrate 30 and the first conductivity type semiconductor layer 33.
  • the buffer layer is preferably composed of, for example, an AlN layer.
  • the semiconductor multilayer film 39 preferably includes a light emitting layer 34 between the first conductive semiconductor layer 33 and the second conductive semiconductor layer 35.
  • the ultraviolet rays emitted from the semiconductor multilayer film 39 are ultraviolet rays emitted from the light emitting layer 34, and the emission peak wavelength is defined by the material of the light emitting layer 34.
  • the light emitting layer 34 preferably has a single quantum well structure, a multiple quantum well structure, or the like, but is not limited thereto.
  • the first conductive semiconductor layer 33, the light emitting layer 34, and the second conductive semiconductor layer 35 may form a double heterostructure.
  • the first conductive type semiconductor layer 33 can be composed of, for example, an n-type AlGaN layer.
  • the first conductivity type semiconductor layer 33 is not limited to a single layer structure, and may have a multilayer structure.
  • the second conductive semiconductor layer 35 is not limited to a single layer structure, and may have a multilayer structure.
  • the second conductivity type semiconductor layer 35 may have a multilayer structure including, for example, a p-type electron block layer, a p-type semiconductor layer, and a p-type contact layer.
  • the p-type semiconductor layer is a layer for transporting holes to the light emitting layer 34.
  • the p-type electron blocking layer is a layer for suppressing electrons that have not been recombined with holes in the light emitting layer 34 from leaking (overflowing) to the p-type semiconductor layer side.
  • the composition of the p-type electron blocking layer is preferably set so that the band gap energy is higher than that of the p-type semiconductor layer and the light emitting layer 34.
  • the p-type contact layer is a layer provided in order to reduce the contact resistance with the second electrode 32 and obtain good ohmic contact with the second electrode 32.
  • the p-type electron block layer and the p-type semiconductor layer can be composed of, for example, AlGaN layers having different compositions. Further, the p-type contact layer can be constituted by, for example, a p-type GaN layer.
  • the ultraviolet light emitting element 3 is removed by etching a part of the semiconductor multilayer film 39 from the surface 391 side of the semiconductor multilayer film 39 to the middle of the first conductivity type semiconductor layer 33.
  • the ultraviolet light emitting element 3 has a mesa structure 37 formed by etching a part of the semiconductor multilayer film 39.
  • a step is formed between the surface 351 of the second conductivity type semiconductor layer 35 and the surface 331 of the first conductivity type semiconductor layer 33.
  • the first electrode 31 is formed on the exposed surface 331 of the first conductive type semiconductor layer 33
  • the second electrode 32 is formed on the surface 351 of the second conductive type semiconductor layer 35.
  • the conductivity type (first conductivity type) of the first conductivity type semiconductor layer 33 is n-type
  • the conductivity type (second conductivity type) of the second conductivity type semiconductor layer 35 is p-type
  • the first electrode 31 and the second electrode 32 constitute a negative electrode and a positive electrode, respectively.
  • the first electrode 31 and the second electrode 32 constitute a positive electrode and a negative electrode, respectively.
  • the area of the surface 351 of the second conductivity type semiconductor layer 35 is preferably larger than the area of the exposed surface 331 of the first conductivity type semiconductor layer 33. Thereby, the ultraviolet light emitting element 3 can widen the region where the second conductive semiconductor layer 35 and the first conductive semiconductor layer 33 overlap each other in the thickness direction, thereby improving the light emission efficiency. It becomes possible.
  • the ultraviolet light emitting element 3 includes the protruding structure portion 36.
  • the protruding structure 36 preferably protrudes from the surface 351 side of the second conductive type semiconductor layer 35 of the ultraviolet light emitting element 3 to the surface 212 side of the second conductor portion 22 and contacts the surface 212 of the second conductor portion 22. Further, it is preferable that the protruding structure portion 36 is located along the outer periphery of the second electrode 32. As shown in FIG. 1, the second bonding portion 62 is formed so as to fill a space 9 (see FIG. 1) surrounded by the second electrode 32, the protruding structure portion 36, and the second conductor portion 22. It is preferable.
  • the protrusion structure portion 36 is disposed along the outer periphery of the second electrode 32 in a plan view and surrounds the second joint portion 62.
  • the portion where the protruding structure portion 36 overlaps in the plan view has the same height as or lower than the portion where the second conductor portion 22 is joined to the second joint portion 62.
  • the light emitting device 1a can reduce the thermal resistance between the ultraviolet light emitting element 3 and the mounting substrate 2a. Furthermore, since the light emitting device 1a can manage the thickness of the second joint portion 62 by the protruding structure portion 36, the thickness and size accuracy of the second joint portion 62 can be increased, and the thermal resistance can be reduced. Variations in thermal resistance can be reduced. “The thickness of the second joint 62 can be managed by the protrusion structure 36” means that the second joint is determined by the protrusion amount H1 of the protrusion structure 36 along the thickness direction of the ultraviolet light emitting element 3 (see FIG. 6). This means that the thickness of the part 62 can be defined. Therefore, the light emitting device 1a can reduce variations in thermal resistance among products.
  • the protrusion structure portion 36 in plan view means a shape in which the protrusion structure portion 36 is viewed from the thickness direction of the protrusion structure portion 36 along the thickness direction of the ultraviolet light emitting element 3.
  • the protruding structure portion 36 is formed along the outer periphery of the second electrode 32 and protrudes on the surface 351 side of the second conductivity type semiconductor layer 35.
  • the second electrode 32 is larger than the first electrode 31, and the protruding structure portion 36 is formed over the entire outer periphery of the second electrode 32.
  • the light emitting device 1a can further suppress occurrence of a short circuit between the second electrode 32 and the first electrode 31 due to AuSn forming the second bonding portion 62 at the time of manufacture.
  • the ultraviolet light emitting element 3 is mounted on the mounting substrate 2a, the light emitting device 1a can improve the reproducibility of the shape of the second joint portion 62, and can reduce variations in thermal resistance. .
  • the light emitting device 1 a can manage the thickness of the second joint portion 62 by the protruding structure portion 36 without being affected by the thickness of the first joint portion 61. Therefore, the light emitting device 1a can increase the accuracy of the thickness and size of the second joint portion 62 that joins the second electrode 32 and the second conductor portion 22 having a large heat radiation area. Thereby, the light emitting device 1a can reduce the thermal resistance and the variation of the thermal resistance.
  • the protrusion structure portion 36 is preferably formed along the outer periphery of the second electrode 32 and has a constant width W1 (see FIG. 6). Thereby, the light emitting device 1a suppresses the occurrence of a short circuit due to the solder between the second electrode 32 and the first electrode 31 while increasing the contact area between the second electrode 32 and the second conductivity type semiconductor layer 35. It becomes possible.
  • the width W1 of the protruding structure 36 is preferably set in the range of about 5 ⁇ m to 10 ⁇ m, for example.
  • the ultraviolet light emitting element 3 is preferably formed so that the second electrode 32 covers substantially the entire surface 351 of the second conductivity type semiconductor layer 35.
  • the “substantially the entire surface 351 of the second conductivity type semiconductor layer 35” is not limited to the entire surface 351.
  • the ultraviolet light emitting element 3 includes an insulating film 38 to be described later and the outer peripheral portion of the surface 351 of the second conductive type semiconductor layer 35 is covered with the insulating film 38, “the surface 351 of the second conductive type semiconductor layer 35”.
  • the “substantially the entire surface” means a portion of the surface 351 of the second conductivity type semiconductor layer 35 that is not covered with the insulating film 38.
  • the ultraviolet light emitting element 3 is preferably formed so that the second electrode 32 covers the surface 351 of the second conductivity type semiconductor layer 35 in a planar shape. Thereby, the light-emitting device 1a can improve heat dissipation.
  • the thickness of the first conductor portion 21 and the second conductor portion 22 is preferably larger than the distance between the second electrode 32 and the second conductor portion 22.
  • the “interval between the second electrode 32 and the second conductor portion 22” means the interval between the center portion of the surface 321 (see FIG. 6) of the second electrode 32 and the surface 212 of the second conductor portion 22.
  • the distance between the second electrode 32 and the second conductor portion 22 can be determined by the protruding amount H1 of the protruding structure portion 36. In other words, the distance between the second electrode 32 and the second conductor portion 22 is substantially the same as the protrusion amount H1 (see FIG. 6) of the protrusion structure portion 36.
  • the light emitting device 1a can reduce the flow rate of the protruding AuSn at the groove 203 even when a part of the molten AuSn protrudes from the space 9 at the time of manufacture.
  • the side surface of the second conductor portion 22 can function as a solder guiding portion that guides the protruding AuSn toward the surface 201 side of the support 20a at the time of manufacture.
  • the light emitting device 1 a can suppress the occurrence of a short circuit between the second electrode 32 and the first electrode 31 due to AuSn protruding from the space 9.
  • the surface 201 of the support 20a preferably has lower solder wettability than the side surfaces of the first conductor portion 21 and the second conductor portion 22.
  • the ultraviolet light emitting element 3 is preferably provided with an insulating film 38.
  • the insulating film 38 is preferably formed on the surface 351 of the second conductivity type semiconductor layer 35 so as to surround the contact region of the second electrode 32 with the second conductivity type semiconductor layer 35.
  • the second electrode 32 is formed across the surface 351 of the second conductivity type semiconductor layer 35 and the surface of the insulating film 38, and the second conductivity type is more than the center portion of the second electrode 32.
  • the outer peripheral portion protruding in a direction away from the semiconductor layer 35 also serves as the protruding structure portion 36.
  • the light emitting device 1a can increase the bonding area between the second electrode 32 and the second conductor portion 22, and can improve the heat dissipation and reduce the contact resistance.
  • the insulating film 38 is a silicon oxide film.
  • the insulating film 38 may be an electrical insulating film. Accordingly, the material of the insulating film 38 is not limited to SiO 2 as long as it is an electrically insulating material. For example, Si 3 N 4 , Al 2 O 3 , TiO 2 , Ta 2 O 5 , ZrO 2 , Y 2 O 3 , CeO 2 , Nb 2 O 5 and the like can be employed.
  • the insulating film 38 preferably has a function as a passivation film for protecting the function of the semiconductor multilayer film 39, and the material thereof is preferably SiO 2 or Si 3 N 4 .
  • the thickness of the insulating film 38 is set to 1 ⁇ m.
  • the insulating film 38 can be formed by, for example, a chemical vapor deposition (CVD) method, a vapor deposition method, a sputtering method, or the like.
  • the insulating film 38 is not limited to a single layer film, and may be a multilayer film.
  • the multilayer film provided as the insulating film 38 may be composed of a dielectric multilayer film for reflecting light generated in the semiconductor multilayer film 39.
  • the insulating film 38 is preferably formed across the surface 371 of the mesa structure 37, the side surface 372 of the mesa structure 37, and the surface 331 of the first conductivity type semiconductor layer 33.
  • a surface 371 of the mesa structure 37 is a surface 351 of the second conductivity type semiconductor layer 35.
  • the portion of the insulating film 38 formed on the surface 331 of the first conductive type semiconductor layer 33 is formed in a pattern surrounding the contact region of the first electrode 31 with the first conductive type semiconductor layer 33. Is preferred.
  • the first electrode 31 preferably includes a first ohmic electrode layer 31A and a first pad electrode layer 31B.
  • the first ohmic electrode layer 31 ⁇ / b> A is formed on the surface 331 of the first conductivity type semiconductor layer 33 in order to obtain ohmic contact with the first conductivity type semiconductor layer 33.
  • the first pad electrode layer 31B is formed so as to cover the first ohmic electrode layer 31A so as to be bonded to the mounting substrate 2a via the first bonding portion 61.
  • the first ohmic electrode layer 31A is formed by, for example, forming a first laminated film of an Al film, a Ni film, an Al film, a Ni film, and an Au film on the surface 331 of the first conductivity type semiconductor layer 33, and then performing an annealing process. And can be formed by slow cooling.
  • the first ohmic electrode layer 31A is constituted by a solidified structure mainly composed of Ni and Al.
  • the solidified structure means a crystal structure formed as a result of transformation of the molten metal.
  • the solidified structure containing Ni and Ai as main components may contain, for example, Au and N as impurities.
  • the thicknesses of the Al film, Ni film, Al film, Ni film, and Au film are set in the range of 10 to 200 nm, respectively.
  • the first ohmic electrode layer 31 ⁇ / b> A is not limited to a configuration having Ni and Al as main components, and may be formed of, for example, another material containing Ti or the like as a component.
  • the first pad electrode layer 31B can be composed of a laminated film of a Ti film and an Au film, for example.
  • As the first pad electrode layer 31B if the outermost surface side is an Au film, another laminated film can be adopted. In other words, it is preferable that the first electrode 31 includes the first pad electrode layer 31B whose outermost surface is constituted by the surface of the Au film.
  • the first pad electrode layer 31B can be formed by, for example, a vapor deposition method or the like.
  • the first pad electrode layer 31 ⁇ / b> B is not limited to a single layer structure of an Au film, and may be configured by a laminated film of a Ti film and an Au film, for example.
  • the ultraviolet light emitting element 3 may comprise the shape of the 1st electrode 31 whole only by 31 A of 1st ohmic electrode layers, for example, between 31 A of 1st ohmic electrode layers, and the 1st pad electrode layer 31B.
  • the structure provided with another electrode layer may be sufficient.
  • the second electrode 32 preferably includes a second ohmic electrode layer 32A and a second pad electrode layer 32B.
  • the second ohmic electrode layer 32 ⁇ / b> A is formed on the surface 351 of the second conductive semiconductor layer 35 in order to obtain ohmic contact with the second conductive semiconductor layer 35.
  • the second pad electrode layer 32B is formed so as to cover the second ohmic electrode layer 32A in order to be bonded to the mounting substrate 2a via the second bonding portion 62.
  • the second ohmic electrode layer 32A can be formed, for example, by forming a second stacked film of a Ni film and an Au film on the surface 351 of the second conductivity type semiconductor layer 35 and then performing an annealing process. .
  • the second pad electrode layer 32B can be constituted by a laminated film of a Ti film and an Au film, for example.
  • the second pad electrode layer 32B if the outermost surface side is an Au film, another laminated film can be adopted.
  • the second electrode 32 preferably includes a second pad electrode layer 32B whose outermost surface is constituted by the surface of the Au film.
  • the second pad electrode layer 32B can be formed by, for example, a vapor deposition method or the like.
  • the second pad electrode layer 32B is not limited to a single layer structure of an Au film, and may be configured by a laminated film of a Ti film and an Au film, for example.
  • the ultraviolet light emitting element 3 may comprise the shape of the 2nd electrode 32 whole only by the 2nd ohmic electrode layer 32A, for example, and between the 2nd ohmic electrode layer 32A and the 2nd pad electrode layer 32B.
  • the structure provided with another electrode layer may be sufficient.
  • the second pad electrode layer 32B is preferably formed across the surface of the second ohmic electrode layer 32A and the surface of the insulating film 38.
  • the outer peripheral portion of the second electrode 32 that protrudes away from the second conductive type semiconductor layer 35 than the central portion also serves as the protruding structure portion 36.
  • the light emitting device 1a can increase the bonding area between the ultraviolet light emitting element 3 and the mounting substrate 2a, thereby reducing the thermal resistance, and is generated in the semiconductor multilayer film 39 of the ultraviolet light emitting element 3. Heat is easily transmitted to the mounting substrate 2 a side through the protruding structure 36. Therefore, the light emitting device 1a can improve heat dissipation.
  • the ultraviolet light-emitting element 3 has a light emission peak wavelength in a wavelength range of 210 nm to 280 nm. That is, the ultraviolet light emitting element 3 is preferably configured to emit ultraviolet light having a light emission peak wavelength in the UV-C wavelength region. Thereby, the light emitting device 1a can be suitably used for, for example, sterilization.
  • the “UV-C wavelength range” is, for example, 100 nm to 280 nm according to the classification by the wavelength of ultraviolet rays in the International Commission on Illumination (CIE).
  • the ultraviolet light emitting element 3 has a light emission peak wavelength in a wavelength range of 240 nm to 280 nm.
  • “sterilizing ultraviolet rays” are defined as those in the wavelength region indicated by a sterilizing effect curve having a maximum sterilizing effect in the vicinity of a wavelength of 260 nm among ultraviolet rays.
  • FIG. 9 is a diagram in which the above-mentioned sterilization effect curve is rewritten. In FIG. 9, the horizontal axis represents the wavelength, and the vertical axis represents the bactericidal effect relative value.
  • the “bactericidal effect curve” is a curve based on the data of Reference 1 [M.
  • the bactericidal effect curve in the light emitting device 1a, if the wavelength of ultraviolet rays emitted from the ultraviolet light emitting element 3 is in the range of 240 nm to 280 nm, the relative value of the bactericidal effect is 60% or more, and a relatively high bactericidal effect is obtained. It is assumed that it will be obtained.
  • the ultraviolet light emitting element 3 has an emission peak wavelength set to 265 nm.
  • the height of the spacer 4 is larger than the thickness of the ultraviolet light emitting element 3. Thereby, the light emitting device 1a can suppress the ultraviolet light emitting element 3 from coming into contact with the cover 5.
  • the spacer 4 preferably has a rectangular outer peripheral shape in plan view.
  • the spacer 4 is preferably smaller than the mounting substrate 2a in plan view. More specifically, the outer peripheral shape of the spacer 4 in plan view is preferably smaller than the outer peripheral shape of the mounting substrate 2a in plan view. Furthermore, it is preferable that the outer peripheral line in the plan view of the spacer 4 is inside the outer peripheral line in the plan view of the mounting substrate 2a. Thereby, the light emitting device 1a can suppress the spacer 4 from protruding from the mounting substrate 2a during manufacture.
  • the through hole 41 is formed in the spacer body 40. It is preferable that the opening area of the through hole 41 gradually increases as the distance from the mounting substrate 2a increases. In short, the opening area of the through hole 41 of the spacer 4 gradually increases as the distance from the mounting substrate 2a increases in the direction along the thickness direction of the mounting substrate 2a.
  • the spacer 4 can function as a reflector that reflects the ultraviolet rays radiated from the ultraviolet light emitting elements 3 to the side toward the cover 5 side.
  • the spacer body 40 is made of Si as described above.
  • the spacer 4 can constitute a reflector having a relatively high reflectance without forming a reflective film such as an Al film on the inner surface of the through hole 41 (the inner surface 665 of the recess 663). Thereby, the light-emitting device 1a can achieve cost reduction and high output.
  • the through hole 41 of the spacer 4 is preferably a quadrangular pyramid tapered hole. More specifically, the spacer body 40 is preferably formed from a single crystal Si substrate 400 having a (401) surface 401.
  • the spacer 4 is a preferred embodiment in which the inner side surface of the through hole 41 is a surface along the ⁇ 111 ⁇ plane.
  • the spacer 4 is a preferred embodiment in which the crystal plane constituting the inner surface of the through hole 41 is a ⁇ 111 ⁇ plane.
  • the angle ⁇ formed between the back surface 402 of the single crystal Si substrate 400 and the inner surface of the through hole 41 can be approximately 55 ° (theoretically, 54.7 °). .
  • Such a through hole 41 can be easily formed by etching using an alkaline solution.
  • the through hole 41 can be formed by crystal anisotropic etching.
  • a TMAH (tetramethylammonium hydroxide) aqueous solution can be used as the alkaline solution.
  • the alkaline solution is not limited to the TMAH aqueous solution, and for example, a TMAH solution heated to about 85 ° C., a KOH aqueous solution, ethylenediamine pyrocatechol, or the like may be used.
  • Etching at the time of forming the through hole 41 may be performed in two stages.
  • etching is performed from the surface 401 of the single crystal Si substrate 400 to the middle in the thickness direction of the single crystal Si substrate 400 with a KOH aqueous solution, and then the back surface of the single crystal Si substrate 400 with a TMAH aqueous solution. Etching may be performed until 402 is reached.
  • the facing surface 42 of the spacer body 40 facing the mounting substrate 2 a is constituted by the back surface 402 of the single crystal Si substrate 400.
  • a silicon oxide film 44 is formed between a surface 42 of the spacer body 40 facing the mounting substrate 2 a and the second bonding metal layer 43.
  • the second bonding metal layer 43 is preferably composed of a laminated film of a base film 431 and an Au film 432, for example.
  • Al can be employed.
  • the spacer 4 may be configured such that the inner surface of the through hole 41 is a surface of a silicon oxide film formed along the ⁇ 111 ⁇ plane.
  • the ⁇ 111 ⁇ plane which is the crystal plane constituting the inner side surface of the through hole 41 is covered with the silicon oxide film, so that the manufacturing yield can be improved and the ultraviolet output can be improved. It is possible to suppress the change with time.
  • the silicon oxide film may be formed of a natural oxide film or a thermal oxide film.
  • the glass forming the cover 5 contains an alkaline component, and the spacer 4 and the cover 5 are preferably directly joined.
  • the cover 5 and the spacer 4 can be directly bonded by anodic bonding, and the manufacturing cost can be reduced. It becomes possible.
  • the alkali component include Na, K, Na 3 O, and K 2 O. “Directly bonded” means bonded without using a bonding material or the like.
  • the glass forming the cover 5 preferably has a transmittance of 70% or more, more preferably 80% or more, for the ultraviolet rays emitted from the ultraviolet light emitting element 3.
  • borosilicate glass can be adopted as the glass for forming the cover 5.
  • Borosilicate glass contains an alkali component.
  • the light emitting device 1a preferably has a smaller difference in linear expansion coefficient between the cover 5 and the spacer body 40.
  • the cover 5 is preferably smaller than the mounting substrate 2a in plan view. More specifically, the cover 5 is preferably the same size as the spacer 4 in plan view. In short, the outer peripheral shape of the cover 5 in plan view is preferably the same as the outer peripheral shape of the spacer 4 in plan view. Therefore, it is preferable that the outer peripheral shape of the cover 5 in a plan view is a rectangular shape.
  • the cap 6a when the cap 6a is formed, for example, the first wafer on which the plurality of spacers 4 are formed and the second wafer that is the basis of the plurality of covers 5 are bonded at the wafer level. After that, it can be divided into a plurality of caps 6a.
  • the cap 6a is preferably smaller than the mounting substrate 2a in plan view. Thereby, in the light-emitting device 1a, it is possible to prevent the cap 6a from protruding from the mounting substrate 2a even when the cap 6a is displaced during manufacture.
  • the cover 5 is not limited to a flat plate shape, and may be a shape in which lenses are integrally formed, for example. In short, in the light emitting device 1a, part or all of the cover 5 may constitute a lens.
  • the light emitting device 1a preferably has an inert gas atmosphere in a space 8 surrounded by the mounting substrate 2a, the spacer 4, and the cover 5.
  • the light emitting device 1a preferably has a space surrounded by the mounting substrate 2a and the cap 6a as an inert gas atmosphere.
  • the light emitting device 1a can suppress oxidation of the ultraviolet light emitting element 3, the first conductor portion 21, the second conductor portion 22, and the like, and can further improve the reliability.
  • the inert gas atmosphere is preferably an N 2 gas atmosphere.
  • the inert gas atmosphere preferably has a high purity of inert gas, but does not require 100% purity.
  • the inert gas atmosphere may contain, for example, about 100 to 200 ppm of O 2 inevitably mixed.
  • the inert gas is not limited to the N 2 gas, for example, Ar gas, or a mixed gas of N 2 gas and Ar gas.
  • the light emitting device 1a includes a first conductor part 21, a second conductor part 22, and a first joining metal layer 23, and a first joining part 61, a second joining part 62, and a third joining part 63, respectively.
  • the first barrier layer 81, the second barrier layer 82, and the third barrier layer 83 are preferably formed.
  • the first barrier layer 81, the second barrier layer 82, and the third barrier layer 83 are preferably formed of the same material and the same thickness.
  • the first barrier layer 81, the second barrier layer 82, and the third barrier layer 83 can have substantially the same barrier properties at the time of manufacture. Therefore, in the light emitting device 1a, it is possible to improve the bonding property of the ultraviolet light emitting element 3 and the cap 6a to the mounting substrate 2a at the time of manufacture.
  • the first electrode 31 includes a first pad electrode layer 31B whose outermost surface is configured by the surface of the Au film, and the second electrode 32 is configured by the surface of the Au film.
  • the second bonding electrode layer 32B is preferably provided, and the second bonding metal layer 43 is preferably formed of a laminated film of a base film and an Au film.
  • the following first step, second step, third step, and fourth step are sequentially performed.
  • a laminated structure of the silicon oxide film 44 and the second bonding metal layer 43 is formed on the back surface 402 of the single crystal Si substrate 400, and then a region where the through-hole 41 of the single crystal Si substrate 400 is to be formed. Is etched to form the through hole 41 to form the spacer 4 (FIG. 7A).
  • the silicon oxide film 44 can be formed using a thin film formation technique, a photolithography technique, an etching technique, and the like.
  • the second bonding metal layer 43 can be formed using a thin film formation technique, a photolithography technique, an etching technique, and the like.
  • an appropriate etching mask is formed on each of the front surface 401 and the back surface 402 side of the single crystal Si substrate 400, and then etching is performed from the front surface 401 of the single crystal Si substrate 400 with a TMAH aqueous solution.
  • the cap 6a is formed by joining the spacer 4 and the cover 5 (FIG. 7B). More specifically, the cap 6a is formed by directly joining the spacer 4 and the cover 5 by anodic bonding.
  • anodic bonding for example, in a vacuum atmosphere, the peripheral portion of the through hole 41 in the spacer main body 40 and the peripheral portion of the cover 5 are brought into direct contact with each other, and the spacer 4 and the cover 5 are laminated on the spacer.
  • a predetermined DC voltage is applied with 4 being the high potential side and the cover 5 being the low potential side.
  • the predetermined DC voltage is, for example, 600V.
  • a predetermined DC voltage is applied for a predetermined time in a state where the stacked body of the spacer 4 and the cover 5 is heated to a predetermined bonding temperature, and then the temperature of the stacked body is lowered.
  • the bonding temperature is 400 ° C., for example.
  • the first step and the second step described above it is preferable to perform the first step and the second step described above at the wafer level. More specifically, in the first step, it is preferable to form a plurality of spacers 4 on the first wafer from which the single crystal Si substrate 400 is based.
  • the second step when the cap 6a is formed, for example, the first wafer on which the plurality of spacers 4 are formed and the second wafer that is the basis of the plurality of covers 5 are bonded at the wafer level, and then the plurality of caps are formed. It is preferable to divide into 6a.
  • the first AuSn layer 71, the second AuSn layer 72, and the third AuSn layer 73 which are the origins of the first joint 61, the second joint 62, and the third joint 63, are formed on the mounting substrate 2a.
  • FIG. 7C More specifically, in the third step, on the surface 211 side of the first conductor portion 21, the surface 212 side of the second conductor portion 22, and the surface 231 side of the first bonding metal layer 23 of the mounting substrate 2 a, A 1AuSn layer 71, a second AuSn layer 72, and a third AuSn layer 73 are formed.
  • the first AuSn layer 71, the second AuSn layer 72, and the third AuSn layer 73 can be formed by, for example, a vapor deposition method, a plating method, or the like.
  • the thicknesses of the first AuSn layer 71, the second AuSn layer 72, and the third AuSn layer 73 are set to the same value.
  • the area of the surface of the first AuSn layer 71 is set smaller than the area of the surface 311 of the first electrode 31 (see FIG. 6).
  • the area of the surface of the second AuSn layer 72 is set smaller than the area of the surface 321 (see FIG. 6) of the second electrode 32.
  • the area of the surface of the third AuSn layer 73 is set smaller than the area of the surface 231 (see FIGS. 7C and 8) of the first bonding metal layer 23.
  • the thicknesses of the first AuSn layer 71 and the second AuSn layer 72 are the projection amount H1 (see FIG. 6) of the projection structure portion 36 of the ultraviolet light emitting element 3, the second electrode 32 and the first electrode 32 in the thickness direction of the ultraviolet light emitting element 3.
  • the height is set to be larger by a predetermined thickness ( ⁇ ) than the sum (H1 + H2) of the height H2 (see FIG. 6) of the step with the electrode 31. That is, the thicknesses of the first AuSn layer 71 and the second AuSn layer 72 are H1 + H2 + ⁇ .
  • the thicknesses of the first AuSn layer 71 and the second AuSn layer 72 may be set to about 3 ⁇ m. In this case, ⁇ is 1 ⁇ m.
  • the first AuSn layer 71 and the second AuSn layer 72 are preferably formed in the center of the region of the mounting substrate 2a that faces the first electrode 31 and the second electrode 32, respectively.
  • the second AuSn layer 72 is disposed on the surface 212 of the second conductor portion 22 so as to be located inside the vertical projection region of the protruding structure portion 36 and away from the vertical projection region.
  • the vertical projection region of the projection structure 36 means a projection region in the thickness direction of the projection structure 36.
  • the vertical projection region of the projection structure 36 means a vertical projection region in which the projection direction is along the thickness direction of the projection structure 36.
  • the vertical projection region of the protrusion structure portion 36 means a vertical projection region onto a plane orthogonal to the thickness direction of the protrusion structure portion 36.
  • the first AuSn layer 71 and the second AuSn layer 72 have a composition ratio that is smaller than the eutectic composition (70 at% Au, 30 at% Sn) and melts at a temperature of, for example, 300 ° C. or more and less than 400 ° C. (for example, 60 at% Au, 40 at% Sn) is preferred.
  • the first barrier layer 81, the second conductor portion 22, the first bonding metal layer 23, the first AuSn layer 71, the second AuSn layer 72, and the third AuSn layer 73 It is preferable to form the second barrier layer 82 and the third barrier layer 83, respectively.
  • the first barrier layer 81, the second barrier layer 82, and the third barrier layer 83 are the first AuSn layer 71, the second AuSn layer 72, the third AuSn layer 73, the first conductor portion 21, the second conductor portion 22, and the first bonding layer.
  • This is a layer having a function of a diffusion barrier that suppresses fluctuation of the composition of AuSn due to diffusion of metal (for example, Sn) between the metal layer 23.
  • the first barrier layer 81, the second barrier layer 82, and the third barrier layer 83 As a material of the first barrier layer 81, the second barrier layer 82, and the third barrier layer 83, for example, Pt can be adopted, but not limited to this, Pd or the like can also be adopted.
  • the thicknesses of the first barrier layer 81, the second barrier layer 82, and the third barrier layer 83 are set to the same value.
  • the thicknesses of the first barrier layer 81, the second barrier layer 82, and the third barrier layer 83 are preferably set to about 0.2 ⁇ m, for example.
  • the first barrier layer 81, the second barrier layer 82, and the third barrier layer 83 can be formed by, for example, an evaporation method, a plating method, or the like.
  • the first Au layer 91, the second Au layer 92, and the third Au layer 93 are layers provided to suppress the oxidation of Sn in the first AuSn layer 71, the second AuSn layer 72, and the third AuSn layer 73.
  • the thicknesses of the first Au layer 91, the second Au layer 92, and the third Au layer 93 are preferably sufficiently thinner than the thicknesses of the first AuSn layer 71, the second AuSn layer 72, and the third AuSn layer 73.
  • the thicknesses of the first Au layer 91, the second Au layer 92, and the third Au layer 93 are set such that the first AuSn layer 71, the second AuSn layer 72, and the third AuSn layer 71 are melted when the first AuSn layer 71, the second AuSn layer 72, and the third AuSn layer 73 are melted.
  • Au is thermally diffused into the 3AuSn layer 73, and the first conductor portion 21, the second conductor portion 22, and the first bonding metal layer 23 are bonded to the first electrode 31, the second electrode 32, and the second bonding metal layer 43. Need to be set to be done.
  • the thicknesses of the first Au layer 91, the second Au layer 92, and the third Au layer 93 are preferably set in the range of about 0.05 ⁇ m to 0.15 ⁇ m, for example.
  • the first Au layer 91, the second Au layer 92, and the third Au layer 93 can be formed by, for example, a vapor deposition method or a plating method.
  • a laminated film of the first barrier layer 81, the first AuSn layer 71, and the first Au layer 91 is referred to as a first bonding layer 101, and a laminated film of the second barrier layer 82, the second AuSn layer 72, and the second Au layer 92.
  • the film is referred to as a second bonding layer 102.
  • a laminated film of the third barrier layer 83, the third AuSn layer 73, and the third Au layer 93 is referred to as a third bonding layer 103.
  • the first bonding layer 101 only needs to include at least the first AuSn layer 71 and is not limited to a laminated film but may be a single layer film.
  • the second bonding layer 102 only needs to include at least the second AuSn layer 72 and is not limited to a laminated film but may be a single layer film.
  • the third bonding layer 103 only needs to include at least the third AuSn layer 73, and is not limited to a laminated film but may be a single layer film.
  • the ultraviolet light emitting element 3 is mounted on the mounting substrate 2a by performing the first step and the second step (FIG. 7D), and then the cap 6a is mounted by sequentially performing the third step and the fourth step. Bonded to the substrate 2a (FIG. 7E). Thereby, in the manufacturing method of the light-emitting device 1a, the light-emitting device 1a can be obtained.
  • a bonding apparatus is used. More specifically, in the fourth step, the first step, the second step, the third step, and the fourth step are continuously performed by one bonding apparatus. If the cap 6a is regarded as a die having a size different from that of the ultraviolet light emitting element 3, the bonding apparatus can be regarded as a die bonding apparatus or a flip chip bonding apparatus.
  • the bonding apparatus includes, for example, a first suction holder, a second suction holder, a stage, a first heater, a second heater, and a joining chamber.
  • the first suction holder is a first collet that holds the ultraviolet light emitting element 3 by suction.
  • the second suction holder is a second collet that holds the cap 6a by suction.
  • the mounting substrate 2a is placed on the stage.
  • the first heater is provided on the stage and configured to heat the mounting substrate 2a.
  • the second heater is mounted on a holder that selectively holds the first suction holder and the second suction holder and is configured to heat the die.
  • the bonding apparatus may have a configuration in which each of the first collet and the second collet includes a second heater instead of the holder including the second heater.
  • the die is the ultraviolet light emitting element 3 sucked and held by the first suction holder or the cap 6a sucked and held by the second suction holder.
  • the bonding chamber is a processing chamber in which a stage is accommodated and in which the ultraviolet light emitting element 3 and the cap 6a are bonded to the mounting substrate 2a on the stage.
  • the atmosphere in the bonding chamber may be appropriately adjusted according to a predetermined atmosphere in the package 7a.
  • the atmosphere in the bonding chamber is an N 2 gas atmosphere.
  • the bonding apparatus opens the entrance / exit in the bonding chamber, and the mounting substrate 2a, the first adsorption holder, the second adsorption holder, etc. are supplied in a state in which N 2 gas is supplied from the outside of the bonding chamber through the entrance / exit. I put it in and out from the doorway.
  • the bonding apparatus can be reduced in cost compared to the case where the bonding apparatus is configured to perform the bonding process in the vacuum chamber.
  • the ultraviolet light emitting element 3 and the mounting substrate 2a are opposed to each other.
  • the ultraviolet light emitting element 3 and the mounting substrate 2a are opposed to each other means that the first electrode 31 and the second electrode 32 of the ultraviolet light emitting element 3 and the first conductor portion 21 and the second conductor portion 22 of the mounting substrate 2a are respectively This means that the ultraviolet light emitting element 3 and the mounting substrate 2a are opposed to each other.
  • the first electrode 31 and the second electrode 32 of the ultraviolet light emitting element 3 adsorbed and held by the first adsorbing holder are opposed to the first conductor portion 21 and the second conductor portion 22 of the mounting substrate 2a. More specifically, in the first step, the first AuSn layer 71 on the surface 211 of the first conductor part 21 is opposed to the first electrode 31, and the second electrode 32 and the surface 212 of the second conductor part 22 are on the surface 212. The second AuSn layer 72 is opposed to the second AuSn layer 72.
  • the first electrode 31 and the second electrode 32 of the ultraviolet light emitting element 3 and the first conductor portion 21 and the second conductor portion 22 of the mounting substrate 2a are respectively connected by the first AuSn layer 71 and the second AuSn layer 72.
  • the first junction 61 is not limited to being formed of AuSn alone, and may include the first barrier layer 81 in addition to the portion formed of AuSn.
  • the 2nd junction part 62 is not restricted to being formed only with AuSn, In addition to the part formed with AuSn, the 2nd barrier layer 82 may be included.
  • the first electrode 31 and the second electrode 32 of the ultraviolet light emitting element 3 and the first bonding layer 101 and the second bonding layer 102 on the mounting substrate 2a are stacked so as to be in contact with each other.
  • the first AuSn layer 71 and the second AuSn layer 72 are melted while performing appropriate heating and pressurization.
  • Au diffuses from the first Au layer 91 into the melted AuSn, and the composition ratio of Au in the melted AuSn increases.
  • the second AuSn layer 72 is melted, Au diffuses from the second Au layer 92 into the melted AuSn, and the composition ratio of Au in the melted AuSn increases.
  • the first AuSn layer 71 and the second AuSn layer 72 are melted, and then the AuSn that has been melted is pressed by applying pressure from the ultraviolet light emitting element 3 side so that the protruding structure portion 36 is in contact with the second conductor portion 22.
  • the molten AuSn is filled in the space 9 by being pushed down and spread in the lateral direction, and then the molten AuSn is cooled and solidified.
  • the mounting substrate 2a may be heated by the first heater, or the ultraviolet light emitting element 3 may be heated by the second heater.
  • pressurization is performed by applying an appropriate load.
  • the load is preferably set in a range of about 0.1 to 1 kg / cm 2 for one ultraviolet light emitting element 3.
  • the time for applying the load is preferably set in the range of about 0.1 to 1 second, for example.
  • the second step is preferably performed in an N 2 gas atmosphere.
  • the melting temperature of the first AuSn layer 71 and the second AuSn layer 72 is preferably lower than the heat resistance temperature of the ultraviolet light emitting element 3.
  • the first AuSn layer 71 and the second AuSn layer 72 are, for example, compositions having a smaller Au composition ratio than eutectic composition (70 at% Au, 30 at% Sn) and melting at a temperature of 300 ° C. or higher and lower than 400 ° C. (for example, 60 at%). Au, 40 at% Sn) is preferred.
  • the volume of the second bonding layer 102 formed in the third step is preferably set to be equal to the volume of the space 9 so that AuSn forming the second bonding portion 62 does not come out of the space 9. .
  • the melted AuSn so that the protruding structure portion 36 of the ultraviolet light emitting element 3 is in contact with the surface 212 of the second conductor portion 22 in a state where each of the first AuSn layer 71 and the second AuSn layer 72 is melted. Is pressed down to join the ultraviolet light emitting element 3 and the mounting substrate 2a. Therefore, in the second step of the fourth step, it is possible to suppress the first electrode 31 and the first conductor portion 21 from being unjoined.
  • the projecting structure portion 36 is in contact with the second conductor portion 22, the first electrode 31 and the first conductor portion 21 are joined by the first joining portion 61 formed of AuSn, The two electrodes 32 and the second conductor portion 22 are joined by a second joint portion 62 formed of AuSn.
  • the second joint portion 62 is formed so as to fill the space 9 surrounded by the second electrode 32, the protruding structure portion 36, and the second conductor portion 22. It becomes possible to do.
  • the protrusion structure portion 36 flows the molten AuSn along the surface of the ultraviolet light emitting element 3. Suppress.
  • the light emitting device 1a that can reduce the thermal resistance between the ultraviolet light emitting element 3 and the mounting substrate 2a and can reduce the variation in the thermal resistance is manufactured. It becomes possible to do.
  • the second step of the fourth step it is preferable to apply a load so that the entire front end surface of the protruding structure portion 36 is in contact with the surface 212 of the second conductor portion 22.
  • the second step of the fourth step due to the difference between the flatness of the tip surface of the protrusion structure 36 and the flatness of the surface 212 of the second conductor portion 22, It may be difficult to bring the entire surface into contact with the surface 212 of the second conductor portion 22. In this case, a part of the tip surface of the protrusion structure portion 36 is in contact with the surface 212 of the second conductor portion 22, and the gap between the remaining portion of the tip surface of the protrusion structure portion 36 and the surface 212 of the second conductor portion 22.
  • the light emitting device 1a may be configured such that the protruding structure portion 36 partially contacts the surface 212 of the second conductor portion 22 as long as the parallelism of the ultraviolet light emitting element 3 with respect to the mounting substrate 2a is in a desired range.
  • the second step of the fourth step if the applied load is increased, the difference between the flatness of the tip surface of the protrusion structure 36 and the flatness of the surface 212 of the second conductor portion 22 can be reduced. It is possible to increase the contact area between the structure portion 36 and the second conductor portion 22.
  • the protruding structure portion 36 when the protruding structure portion 36 is formed of, for example, metal, the protruding structure portion 36 can be deformed to be compressed by increasing the applied load. It is possible to increase the contact area between the protruding structure portion 36 and the second conductor portion 22.
  • the first Au layer 91 and the second Au layer 92 on the first AuSn layer 71 and the second AuSn layer 72, respectively, in the third step described above.
  • Bondability can be improved.
  • the bondability can be evaluated by, for example, die shear strength (die shear strength).
  • the die shear strength is a force necessary to peel off the ultraviolet light emitting element 3 bonded to the mounting substrate 2a in parallel to the bonding surface.
  • the die shear strength can be measured by, for example, a die shear tester.
  • the second bonding metal layer 43 in the cap 6a sucked and held by the second suction holder is opposed to the first bonding metal layer 23 of the mounting substrate 2a. More specifically, in the third step, the second bonding metal layer 43 and the third AuSn layer 73 on the surface 231 of the first bonding metal layer 23 are opposed to each other.
  • the second bonding metal layer 43 in the cap 6 a and the first bonding metal layer 23 of the mounting substrate 2 a are bonded by the third AuSn layer 73.
  • the third bonding portion 63 is not limited to being formed of AuSn alone, and may include a third barrier layer 83 in addition to the portion formed of AuSn.
  • the second bonding metal layer 43 in the cap 6a and the third bonding layer 103 on the mounting substrate 2a are overlapped so as to be in contact with each other while performing appropriate heating and pressurization.
  • the third AuSn layer 73 is melted.
  • Au diffuses from the third Au layer 93 into the melted AuSn, and the composition ratio of Au in the melted AuSn increases.
  • the third AuSn layer 73 is melted and then pressurized from the cap 6a side, so that the melted AuSn is pushed down and spread in the lateral direction, and then cooled and solidified.
  • the mounting substrate 2a may be heated by the first heater, or the cap 6a may be heated by the second heater.
  • pressure is applied by applying an appropriate load.
  • the load is preferably set in the range of about 0.1 to 1 kg / cm 2 for one cap 6a.
  • the time for applying the load is preferably set in the range of about 0.1 to 1 second, for example.
  • the fourth step is preferably performed in an N 2 gas atmosphere.
  • the third bonding layer 103 on the mounting substrate 2a in the third step.
  • the cap 6a is formed by joining the spacer 4 and the cover 5, and then the first electrode 31, the second electrode 32, and the cap of the ultraviolet light emitting element 3 are formed.
  • the second bonding metal layer 43 in 6a and the first conductor portion 21, the second conductor portion 22, and the first bonding metal layer 23 of the mounting substrate 2a are respectively connected to the first AuSn layer 71, the second AuSn layer 72, and the third AuSn layer 73. To join. Therefore, in the method for manufacturing the light emitting device 1a of the present embodiment, the reliability can be improved and the cost can be reduced.
  • the manufacturing method of the light emitting device 1a is a manufacturing method of the light emitting device 1a having the following configuration.
  • the light emitting device 1a includes a mounting substrate 2a, an ultraviolet light emitting element 3 mounted on the mounting substrate 2a, and a cap 6a formed on the mounting substrate 2a and having a recess 663 for accommodating the ultraviolet light emitting element 3.
  • the mounting substrate 2a includes a support body 20a, and a first conductor portion 21, a second conductor portion 22, and a first bonding metal layer 23 supported by the support body 20a.
  • the 1st conductor part 21 and the 2nd conductor part 22 are arrange
  • the cap 6 a has a front surface 661 and a back surface 662, and a cap body 660 having a recess 663 formed on the back surface 662, and a peripheral portion of the recess 663 on the back surface 662 of the cap body 660, facing the first bonding metal layer 23. And a second bonding metal layer 43 disposed.
  • at least an ultraviolet light transmitting portion 666 between the surface 661 of the cap body 660 and the inner bottom surface 664 of the concave portion 663 is formed of glass that transmits ultraviolet light emitted from the ultraviolet light emitting element 3.
  • the ultraviolet light emitting element 3 includes a first electrode 31 and a second electrode 32, and the first electrode 31 and the second electrode 32 are disposed on one surface side in the thickness direction of the ultraviolet light emitting element 3.
  • the cap 6a is formed, and then the first electrode 31, the second electrode 32 of the ultraviolet light emitting element 3 and the second bonding metal layer 43 in the cap 6a and the first conductor portion of the mounting substrate 2a. 21, the second conductor portion 22, and the first bonding metal layer 23 are bonded by the first AuSn layer 71, the second AuSn layer 72, and the third AuSn layer 73, respectively.
  • the first AuSn layer 71, the second AuSn layer 72, and the third AuSn layer 73 are collectively formed on the mounting substrate 2a in the same process. Therefore, in the method for manufacturing the light emitting device 1a, the reliability can be improved and the cost can be reduced.
  • the first AuSn layer 71, the second AuSn layer 72, and the third AuSn layer 73 can be collectively formed on the mounting substrate 2a in the same process, so that the cost can be reduced. It becomes.
  • the first AuSn layer 71 and the second AuSn layer 72 are formed by connecting the first electrode 31 and the second electrode 32 of the ultraviolet light emitting element 3 and the first conductor portion 21 and the second conductor portion 22 of the mounting substrate 2a, respectively.
  • a first joining process for joining is performed.
  • the second bonding process in which the second bonding metal layer 43 of the cap 6a and the first bonding metal layer 23 of the mounting substrate 2a are bonded by the third AuSn layer 73. I do.
  • the first bonding process and the second bonding process are continuously performed in a bonding chamber of one bonding apparatus. Therefore, in the manufacturing method of the light-emitting device 1a, it becomes possible to achieve cost reduction.
  • the light emitting device 1a preferably includes a Zener diode connected to the ultraviolet light emitting element 3 in antiparallel.
  • the light-emitting device 1a can improve electrostatic resistance.
  • the light emitting device 1a can suppress the dielectric breakdown of the ultraviolet light emitting element 3 due to static electricity.
  • the Zener diode is preferably mounted on the mounting substrate 2a in the package 7a, for example.
  • the chip size of the Zener diode is preferably smaller than the chip size of the ultraviolet light emitting element 3.
  • the zener diode is preferably flip-chip mounted on the mounting substrate 2a by AuSn, like the ultraviolet light emitting element 3.
  • a mounting substrate 2a having a third conductor portion and a fourth conductor portion for mounting a Zener diode is prepared, and in the third step, the third conductor portion and A fourth bonding layer including a fourth AuSn layer and a fifth bonding layer including a fifth AuSn layer are formed on the surface of each of the fourth conductor portions.
  • the Zener diode may be flip-chip mounted on the mounting substrate 2a using the above-described bonding apparatus.
  • FIG. 10 is a schematic plan view of the light emitting device 1b of the first modification.
  • the light emitting device 1b of the first modified example is different in that a mounting substrate 2b on which a plurality of ultraviolet light emitting elements 3 are mounted is provided instead of the mounting substrate 2a.
  • symbol same as the light-emitting device 1a is attached
  • subjected and description is abbreviate
  • a plurality of ultraviolet light emitting elements 3 are mounted on a mounting substrate 2b.
  • the plurality of ultraviolet light emitting elements 3 are preferably arranged at equal intervals on one virtual circle.
  • the light emitting device 1b preferably includes a Zener diode ZD for improving electrostatic resistance.
  • the Zener diode ZD is preferably arranged at the center of the above-mentioned virtual circle.
  • the light emitting device 1b includes a package 7b including a mounting substrate 2b and a cap 6a instead of the package 7a of the light emitting device 1a.
  • the light emitting device 1b includes a plurality of ultraviolet light emitting elements 3 connected in parallel.
  • the present invention is not limited thereto, and for example, the light emitting device 1b may have a configuration in which a plurality of ultraviolet light emitting elements 3 are connected in series. You may have the structure made.
  • Document 1 describes that the spacer is made of a silicon substrate or an insulating resin. Reference 1 describes that it is preferable to form a reflective metal film made of Ag or Al on the side surface of the cavity in order to obtain a sufficient light reflection effect from the side surface of the cavity.
  • an optoelectronic element including a carrier, an optoelectronic semiconductor chip that is a light emitting diode mounted on the main surface of the carrier, and an optical component mounted on the carrier has been proposed.
  • the carrier is a printed circuit board or ceramic.
  • the optical component has a frame and a glass plate.
  • the frame is made of silicon.
  • the glass plate transmits radiation emitted from the optoelectronic semiconductor chip.
  • the above-described light emitting device 1a has the following configuration, if viewed from a different perspective.
  • the light emitting device 1a includes a mounting substrate 2a, an ultraviolet light emitting element 3 mounted on the mounting substrate 2a, a spacer 4 formed on the mounting substrate 2a and having a through hole 41 that exposes the ultraviolet light emitting element 3, and a spacer 4 And a cover 5 disposed on the spacer 4 so as to close the through-hole 41.
  • the ultraviolet light emitting element 3 is configured to emit ultraviolet light having an emission peak wavelength in the ultraviolet wavelength region.
  • the spacer 4 includes a spacer body 40 made of Si.
  • the through hole 41 is formed in the spacer body 40.
  • the opening area of the through hole 41 gradually increases as the distance from the mounting substrate 2a increases.
  • the cover 5 is made of glass that transmits ultraviolet rays emitted from the ultraviolet light emitting element 3. In the light emitting device 1a, the spacer 4 and the cover 5 are joined. In the light emitting device 1a having such a configuration, it is possible to increase the output of ultraviolet rays.
  • the ultraviolet light emitting element 3 only needs to have an emission peak wavelength in the ultraviolet wavelength region, and is not limited to the UV-C wavelength region, and has an emission peak wavelength in the UV-B wavelength region or the UV-A wavelength region. You may do it.
  • the “UV-B wavelength range” is, for example, 280 nm to 315 nm according to the classification by the wavelength of ultraviolet rays in the International Commission on Illumination.
  • the “wavelength range of UV-A” is, for example, 315 nm to 400 nm according to the classification by the wavelength of ultraviolet rays in the International Commission on Illumination.
  • the inventors of the present application conducted an experiment for measuring the reflectance of each of an evaluation sample using an Si substrate and an Al substrate.
  • the evaluation sample is a sample in which a natural oxide film having a thickness of about 1 nm is formed on the surface of a Si substrate having the same specifications as the single crystal Si substrate 400.
  • the reflectance is a value measured using a spectrophotometer. More specifically, the reflectance of the evaluation sample is determined by measuring the reflected light from the evaluation sample when ultraviolet light is incident on the surface of the evaluation sample (the surface of the natural oxide film) at a predetermined incident angle using a spectrophotometer. Spectroscopically measured.
  • the reflectance of the Al substrate was measured by spectrophotometer spectrophotometrically measuring the reflected light from the Al substrate when ultraviolet rays were incident on the surface of the Al substrate at a predetermined incident angle.
  • 11A, 11B, 11C, 11D, 11E, and 11F show the reflection characteristics of the evaluation samples when the incident angles are 5 °, 15 °, 25 °, 35 °, 45 °, and 55 °, respectively.
  • 12A, 12B, 12C, 12D, and 12E show the reflection characteristics of the Al substrate when the incident angles are 15 °, 25 °, 35 °, 45 °, and 55 °, respectively.
  • the evaluation sample had a reflectance of 50% or more with respect to ultraviolet rays having a wavelength of 220 nm to 390 nm and about 50% with respect to ultraviolet rays having a wavelength of 400 nm, regardless of the incident angle.
  • the reflectance with respect to ultraviolet rays in the UV-C wavelength region tends to be small. This is because the reflectivity of aluminum oxide is greatly reduced in the UV-C wavelength region, so the aluminum oxide film formed on the Al substrate affects the overall reflectivity decrease (the Al substrate on which the aluminum oxide film is formed). Because it is.
  • the progress of the surface oxidation of the Al substrate causes a decrease in reflectance with respect to ultraviolet rays in the UV-C wavelength region.
  • the oxidative corrosion of the Al substrate progresses faster than the oxidation of the surface of the Si substrate. Therefore, care must be taken when using the Al substrate and the Al film in applications that reflect ultraviolet rays in the UV-C wavelength region.
  • the spacer 4 includes the spacer main body 40 formed of Si, and the opening area of the through hole 41 formed in the spacer main body 40 gradually increases as the distance from the mounting substrate 2a increases.
  • the inner side surface of the through hole 41 in the spacer body 40 has a function of a reflecting surface that reflects ultraviolet rays, so that the light extraction efficiency can be improved and the output of the ultraviolet rays can be increased. It becomes.
  • the light emitting device 1a has the same basic configuration as the light emitting device 1a, and suppresses variations in output and changes in reflection characteristics over time, as compared with a comparative example in which an Al film is added as a reflective film to the inner surface of the through hole 41. It becomes possible. Therefore, in the light emitting device 1a, it is possible to increase the output of ultraviolet rays while reducing the cost, and it is possible to improve the reliability.
  • the light-emitting device 1c of this embodiment is demonstrated based on FIG.
  • the light emitting device 1c is different from the light emitting device 1a of the first embodiment in that the spacer 4 and the cover 5 are bonded using an inorganic bonding material.
  • symbol same as the light-emitting device 1a is attached
  • subjected and description is abbreviate
  • the spacer 4 and the cover 5 are joined by the fourth joining portion 64 formed of low melting glass having a thermal expansion coefficient between the thermal expansion coefficient of the spacer body 40 and the thermal expansion coefficient of the cover 5.
  • the light emitting device 1c can employ not only glass containing an alkali component but also quartz glass or the like as the cover 5.
  • the low melting point glass is a glass having a softening point of 600 ° C. or lower, preferably a glass having a softening point of 500 ° C. or lower, and more preferably a glass having a softening point of 400 ° C. or lower.
  • the low melting point glass include glass containing lead oxide (PbO) and boric anhydride (B 2 O 3 ) as main components.
  • the light emitting device 1c includes a cap 6c constituted by the spacer 4, the fourth joint 64, and the cover 5 instead of the cap 6a of the light emitting device 1a.
  • the cap 6c is made of an inorganic material.
  • the cap 6 c has a front surface 661 and a back surface 662, and a cap body 660 having a recess 663 formed on the back surface 662, and a peripheral portion of the recess 663 on the back surface 662 of the cap body 660, facing the first bonding metal layer 23. And a second bonding metal layer 43 disposed.
  • the light emitting device 1c includes a package 7c including a cap 6c and a mounting substrate 2a instead of the package 7a of the light emitting device 1a.
  • the manufacturing method of the light emitting device 1c of this embodiment is substantially the same as the manufacturing method of the light emitting device 1a, and the bonding method of the spacer 4 and the cover 5 in the second step is different. That is, in the method for manufacturing the light emitting device 1b, the cap 6c is formed by joining the spacer 4 and the cover 5 in the second step. More specifically, in the method for manufacturing the light emitting device 1c, the spacer 4 and the cover 5 are bonded with low melting point glass in the second step. In the second step, low melting point glass pellets or low melting point glass paste may be used.
  • the cap 6c is formed by joining the spacer 4 and the cover 5, and then the first electrode 31, the second electrode 32, and the cap 6c of the ultraviolet light emitting element 3 are formed.
  • the second bonding metal layer 43 and the first conductor portion 21, the second conductor portion 22, and the first bonding metal layer 23 of the mounting substrate 2a are bonded by the first AuSn layer 71, the second AuSn layer 72, and the third AuSn layer 73, respectively. . Therefore, in the method for manufacturing the light emitting device 1b according to the present embodiment, the reliability can be improved and the cost can be reduced.
  • the light emitting device 1d of the present embodiment will be described with reference to FIGS.
  • the light emitting device 1d is different from the light emitting device 1a in that a mounting substrate 2d is provided instead of the mounting substrate 2a of the light emitting device 1a of the first embodiment.
  • the same components as those of the light emitting device 1a are denoted by the same reference numerals as those of the light emitting device 1a, and description thereof is omitted.
  • the light emitting device 1d includes a package 7d including a cap 6a and a mounting substrate 2d instead of the package 7a of the light emitting device 1a.
  • the mounting board 2d is a multilayer board.
  • the mounting substrate 2 d includes a first external connection electrode 24 and a second external connection electrode 25, a first wiring layer 28, a second wiring layer 29, and an electrical insulating layer 253.
  • the first wiring layer 28 and the second wiring layer 29 are disposed on the surface 201 side of the support 20d.
  • the first conductor portion 21 and the first external connection electrode 24 are disposed on the first wiring layer 28 and are electrically connected to the first wiring layer 28.
  • the second conductor portion 22 and the second external connection electrode 25 are disposed on the second wiring layer 29 and are electrically connected to the second wiring layer 29.
  • the electrical insulating layer 253 is disposed so as to cover the first wiring layer 28 and the second wiring layer 29 on the surface 201 side of the support 20d.
  • the first bonding metal layer 23 is disposed on the electrical insulating layer 253. Therefore, for example, the light emitting device 1d can be mounted on the wiring board 600 using the first external connection electrode 24 and the second external connection electrode 25 on the front surface side of the mounting board 2d as shown in FIG. .
  • the mounting substrate 2d includes a second electrical insulation layer 251 different from the first electrical insulation layer made of the electrical insulation layer 253.
  • the support 20d is made of Si.
  • the second electrical insulating layer 251 is disposed on the surface 201 of the support 20d.
  • the first wiring layer 28 and the second wiring layer 29 are disposed on the second electrical insulating layer 251. Therefore, the light emitting device 1d can improve heat dissipation.
  • the mounting substrate 2d has a first underlayer 254 interposed between the first bonding metal layer 23 and the electrical insulating layer 253.
  • the mounting substrate 2d has a fourth electrical insulating layer 252 formed on the back surface 202 of the support 20d.
  • the conductor layer 256 is laminated on the fourth electrical insulating layer 252 with the second base layer 255 interposed therebetween.
  • Each of the first electrical insulation layer, the second electrical insulation layer 251, the third electrical insulation layer, and the fourth electrical insulation layer 252 can be composed of, for example, a silicon oxide film.
  • Each of the first underlayer 254 and the second underlayer 255 can be composed of, for example, an Al film.
  • the first underlayer 254 and the second underlayer 255 are made of the same material, but may be made of different materials.
  • the conductor layer 256 can be constituted by a laminated film of a Ni film, a Pd film, and an Au film, for example.
  • the wiring board 600 is a mother board.
  • the wiring board 600 can be formed by a metal base printed wiring board, for example.
  • the wiring substrate 600 includes, for example, a metal plate 601, an insulating resin layer 602 formed on the metal plate 601, and first and second wiring portions 604 and 605 formed on the insulating resin layer 602. Are preferably provided.
  • the metal plate 601 is made of a Cu plate, but is not limited thereto, and may be made of an Al plate, for example.
  • the wiring board 600 exposes the projection area of the light emitting device 1 d on the surface 611 of the metal plate 601.
  • the conductor layer 256 on the back surface side of the light emitting device 1d is bonded to the metal plate 601 by the bonding layer 310.
  • the bonding layer 310 is formed of solder, but is not limited thereto, and may be formed of sintered silver.
  • Sintered silver is a sintered body in which silver particles are bonded together by sintering.
  • Sintered silver is porous silver.
  • the first external connection electrode 24 is electrically connected to the first wiring part 604 through the first wire 294.
  • the second external connection electrode 25 is electrically connected to the second wiring portion 605 through the second wire 295.
  • Each of the first wire 294 and the second wire 295 is preferably an Au wire.
  • the light emitting device 1 d is secondarily mounted on the wiring board 600.
  • the wiring board 600 is preferably larger than the light emitting device 1a in plan view. Thereby, the ultraviolet LED module can further improve heat dissipation.
  • the manufacturing method of the light emitting device 1d of the present embodiment is basically the same as the manufacturing method of the light emitting device 1a.
  • the cap 6a is formed by joining the spacer 4 and the cover 5, and then the first electrode 31, the second electrode 32, and the cap 6a of the ultraviolet light emitting element 3 are formed.
  • the second bonding metal layer 43 and the first conductor portion 21, the second conductor portion 22, and the first bonding metal layer 23 of the mounting substrate 2a are bonded by the first AuSn layer 71, the second AuSn layer 72, and the third AuSn layer 73, respectively. . Therefore, in the method for manufacturing the light emitting device 1d according to the present embodiment, it is possible to improve the reliability and reduce the cost.
  • the light emitting device 1d may include the cap 6c in the light emitting device 1c of the second embodiment instead of the cap 6a.
  • the light-emitting device 1e of this embodiment is demonstrated based on FIG.
  • the light emitting device 1e is different from the light emitting device 1a of the first embodiment in that a cap 6e is provided instead of the cap 6a of the light emitting device 1a of the first embodiment.
  • symbol same as the light-emitting device 1a is attached
  • subjected and description is abbreviate
  • the light emitting device 1e includes a package 7e including a cap 6e and a mounting substrate 2a instead of the package 7a of the light emitting device 1a.
  • the entire cap body 660 is formed of glass that transmits ultraviolet rays emitted from the ultraviolet light emitting element 3.
  • the second bonding metal layer 43 is formed on the flat glass plate that is the base of the cap body 660.
  • a hole corresponding to the recess 663 is then formed in the glass plate by drilling.
  • the above-described method for forming the cap 6e is adopted at the time of manufacture.
  • the opening area of the recess 663 on the back surface 662 of the cap body 660 can be made substantially the same as the area of the inner bottom surface 664 of the recess 663.
  • the depth of the recess 663 is, for example, 300 ⁇ m.
  • the second bonding metal layer 43 is preferably composed of a laminated film of a base film 431 and an Au film 432, for example.
  • the base film 431 can be configured by a laminated film of a Cr film formed on the back surface 662 of the cap body 660 and a Pt film formed on the Cr film.
  • the base film 431 in the second bonding metal layer 43 includes a Cr film, whereby the adhesion between the cap body 660 made of glass and the second bonding metal layer 43 can be improved. It becomes.
  • the second bonding metal layer 43 can be formed using, for example, a film formation technique such as an evaporation method, a sputtering method, or a plating method, a photolithography technique, and an etching technique.
  • the manufacturing method of the light emitting device 1e of the present embodiment is substantially the same as the manufacturing method of the light emitting device 1a of the first embodiment. That is, in the method for manufacturing the light emitting device 1e, the cap 6e is formed, and then the first electrode 31, the second electrode 32 of the ultraviolet light emitting element 3, and the second bonding metal layer 43 in the cap 6e and the first of the mounting substrate 2a.
  • the conductor part 21, the second conductor part 22, and the first joining metal layer 23 are joined by the first AuSn layer 71, the second AuSn layer 72, and the third AuSn layer 73, respectively.
  • the first AuSn layer 71, the second AuSn layer 72, and the third AuSn layer 73 are collectively formed on the mounting substrate 2a in the same process.
  • “Batch formation in the same process” means that the first AuSn layer 71, the second AuSn layer 72, and the third AuSn layer 73 are simultaneously formed using the same process. Therefore, in the method for manufacturing the light emitting device 1e, the reliability can be improved and the cost can be reduced. In the manufacturing method of the light emitting device 1e, the first AuSn layer 71, the second AuSn layer 72, and the third AuSn layer 73 can be collectively formed on the mounting substrate 2a in the same process, so that the cost can be reduced. It becomes.
  • the thicknesses of the Au films of the first electrode 31 and the second electrode 32 of the ultraviolet light emitting element 3 and the thickness of the Au film 432 in the second bonding metal layer 43 are set to a relatively close value or the same value. Is preferred. As a result, it is possible to further improve the mountability when the ultraviolet light emitting element 3 is mounted on the mounting substrate 2a and the cap 6e is mounted on the mounting substrate 2a.
  • the thickness of each Au film of the first electrode 31 and the second electrode 32 of the ultraviolet light emitting element 3 is, for example, 1.3 ⁇ m.
  • the thickness of the Au film 432 in the second bonding metal layer 43 is, for example, 1.0 ⁇ m.
  • FIG. 21 is a schematic cross-sectional view showing a first modification of the cap 6e in the fourth embodiment.
  • the cap 6e according to the first modification is different from the cap 6e according to the fourth embodiment in that the recess 663 in the cap body 660 is formed by blasting. Blasting is sand blasting.
  • the inner bottom surface 664 of the recess 663 is a ground glass surface. In other words, a fine uneven structure is formed on the inner bottom surface 664 of the recess 663.
  • the opening area of the recess 663 is gradually reduced in the depth direction of the recess 663.
  • the second bonding metal layer 43 is formed on the flat glass plate that is the base of the cap body 660.
  • the cap body 660 is then formed by forming the recess 663 on the glass plate by blasting.
  • FIG. 22 is a schematic cross-sectional view showing a second modification of the cap 6e in the fourth embodiment.
  • the cap 6e according to the second modification is different from the cap 6e according to the fourth embodiment in that the recess 663 in the cap body 660 is formed by wet etching.
  • the wet etching is, for example, isotropic etching using a hydrofluoric acid solution. Therefore, the inner side surface 665 of the recessed part 663 is formed in the concave curved surface shape which has roundness.
  • the cap body 660 is formed by forming the recess 663 by wet etching on the flat glass plate from which the cap body 660 is based.
  • the second bonding metal layer 43 is then formed on the cap body 660.
  • FIG. 23 is a schematic cross-sectional view showing a third modification of the cap 6e in the fourth embodiment.
  • the cap body 660 is formed by press molding.
  • the concave portion 663 is formed when the cap body 660 is press-molded. Therefore, in the cap 6e of the third modified example, in consideration of releasability, the opening area of the recess 663 on the back surface 662 of the cap body 660 is set larger than the area of the inner bottom surface 664 of the recess 663.
  • the recess 663 in the cap 6e of the third modified example has a forward tapered shape in which the opening area gradually decreases in the depth direction.
  • a quadrangular frustum shape is adopted as the forward tapered shape.
  • the cap body 660 is formed by press molding.
  • the second bonding metal layer 43 is then formed on the cap body 660.
  • FIG. 24 is a schematic cross-sectional view showing a fourth modification of the cap 6e in the fourth embodiment.
  • the cap 6e of the fourth modified example is formed by joining a cover 5 made of glass and a spacer 4 made of glass.
  • the cap 6e of the fourth modified example it is possible to make the inner bottom surface 664 of the recess 663 a smooth surface as compared with the first modified example, the second modified example, and the third modified example.
  • the entire cap 6e may be formed of glass that transmits ultraviolet rays emitted from the ultraviolet light emitting element 3, or only the cover 5 is ultraviolet rays emitted from the ultraviolet light emitting element 3. It may be formed of glass that transmits light.
  • the light-emitting device 1f of this embodiment is demonstrated based on FIG.
  • the light emitting device 1f is different from the light emitting device 1e in that a mounting substrate 2d is provided instead of the mounting substrate 2a of the light emitting device 1e of the fourth embodiment.
  • the same components as those of the light emitting device 1e are denoted by the same reference numerals as those of the light emitting device 1e, and the description thereof is omitted.
  • the light emitting device 1f includes a package 7f including a cap 6e and a mounting substrate 2d instead of the package 7e of the light emitting device 1e.
  • the mounting board 2d is a multilayer board.
  • the mounting substrate 2 d includes a first external connection electrode 24 and a second external connection electrode 25, a first wiring layer 28, a second wiring layer 29, and an electrical insulating layer 253.
  • the first wiring layer 28 and the second wiring layer 29 are disposed on the surface 201 side of the support 20d.
  • the first conductor portion 21 and the first external connection electrode 24 are disposed on the first wiring layer 28 and are electrically connected to the first wiring layer 28.
  • the second conductor portion 22 and the second external connection electrode 25 are disposed on the second wiring layer 29 and are electrically connected to the second wiring layer 29.
  • the electrical insulating layer 253 is disposed so as to cover the first wiring layer 28 and the second wiring layer 29 on the surface side of the support 20d.
  • the first bonding metal layer 23 is disposed on the electrical insulating layer 253. Therefore, the light emitting device 1f can be mounted on the wiring board 600 (see FIG. 18) using the first external connection electrode 24 and the second external connection electrode 25 on the surface side of the mounting board 2d.
  • the mounting substrate 2d includes a second electrical insulation layer 251 different from the first electrical insulation layer made of the electrical insulation layer 253.
  • the support 20d is made of Si.
  • the second electrical insulating layer 251 is disposed on the surface 201 of the support 20d.
  • the first wiring layer 28 and the second wiring layer 29 are disposed on the second electrical insulating layer 251. Therefore, the light emitting device 1f can improve heat dissipation.
  • the mounting substrate 2d has a first underlayer 254 interposed between the first bonding metal layer 23 and the electrical insulating layer 253.
  • the mounting substrate 2d has a fourth electrical insulating layer 252 formed on the back surface 202 of the support 20d.
  • the conductor layer 256 is laminated on the fourth electrical insulating layer 252 with the second base layer 255 interposed therebetween.
  • Each of the first electrical insulation layer, the second electrical insulation layer 251, the third electrical insulation layer, and the fourth electrical insulation layer 252 can be composed of, for example, a silicon oxide film.
  • Each of the first underlayer 254 and the second underlayer 255 can be composed of, for example, an Al film.
  • the first underlayer 254 and the second underlayer 255 are made of the same material, but may be made of different materials.
  • the conductor layer 256 can be constituted by a laminated film of a Ni film, a Pd film, and an Au film, for example.
  • the ultraviolet light emitting element 3 when the ultraviolet light emitting element 3 is configured to emit ultraviolet light having an emission peak wavelength in the UV-C wavelength region, from the viewpoint of improving the transmittance of ultraviolet light, Schott Corporation. It is preferable to use 8337B manufactured by SCHOTT rather than 8347 manufactured by SCHOTT.
  • the thermal expansion coefficient of 8337B manufactured by SCHOTT is larger than that of Si.
  • the difference between the thermal expansion coefficient of 8337B manufactured by SCHOTT and the thermal expansion coefficient of Si is larger than the difference between the thermal expansion coefficient of 8347 manufactured by SCHOTT and the thermal expansion coefficient of Si.
  • a wafer is formed by bonding, at a wafer level, a first wafer on which a plurality of spacers 4 are formed and a second wafer on which a plurality of covers 5 are based.
  • a bonding process for forming a level bonded body is performed, and then a dicing process for dividing the wafer level bonded body into individual caps 6a by cutting with a dicing saw.
  • the manufacturing method of the light emitting device 1a when 8337B manufactured by SCHOTT is used as the borosilicate glass forming the second wafer, compared with 8347 manufactured by SCHOTT as the borosilicate glass forming the second wafer, Manufacturing yield will be reduced. More specifically, in the method for manufacturing the light emitting device 1a, the spacer 4 and the cover 5 are separated in the dicing process even if the first wafer and the second wafer are apparently bonded in the wafer level bonded body. There was a thing. That is, in the manufacturing method of the light emitting device 1a, when 8337B manufactured by SCHOTT Co. is used as the borosilicate glass forming the second wafer, the bonding failure between the spacer 4 and the cover 5 may occur.
  • the spacer 4 includes a silicon oxide film 46 formed on the side of the surface 45 facing the cover 5 in the spacer body 40 formed of Si. And the point from which the spacer 4 and the cover 5 are directly joined differs from the light-emitting device 1a.
  • the spacer body 40 has a thickness of about 0.3 mm.
  • the cover 5 has a thickness of about 0.3 mm.
  • the film thickness of the silicon oxide film 46 is about 50 nm.
  • the silicon oxide film 46 is a thermal oxide film.
  • the glass forming the cover 5 contains an alkali component, and the spacer 4 and the cover 5 are directly joined.
  • symbol same as the light-emitting device 1a is attached
  • omitted is abbreviate
  • the spacer 4 and the cover 5 constitute a cap 6g that covers the ultraviolet light emitting element 3.
  • the mounting substrate 2a and the cap 6g constitute a package 7g for housing the ultraviolet light emitting element 3.
  • the light emitting device 1g of the present embodiment includes a mounting substrate 2a, an ultraviolet light emitting element 3 mounted on the mounting substrate 2a, and a cap 6g formed on the mounting substrate 2a and having a recess 663 for accommodating the ultraviolet light emitting element 3. .
  • the cap 6g is disposed on the mounting substrate 2a and is provided on the spacer 4 so as to close the through hole 41 of the spacer 4 and the spacer 4 in which the through hole 41 exposing the ultraviolet light emitting element 3 is exposed.
  • a cover 5 that is joined.
  • the cover 5 is made of borosilicate glass that transmits ultraviolet rays emitted from the ultraviolet light emitting element 3.
  • the spacer 4 includes a spacer body 40 made of Si, and a silicon oxide film 46 formed on the side of the spacer body 40 facing the cover 5 facing the cover 5.
  • the spacer 4 and the cover 5 are directly joined.
  • the cover 5 can be formed of borosilicate glass having a higher transmittance with respect to the ultraviolet light emitted from the ultraviolet light emitting element 3, and the output of the ultraviolet light can be increased. It becomes.
  • the second bonding metal layer 43 is preferably composed of a laminated film of a base film 431 and a bonding layer 433, for example.
  • the base film 431 can be composed of, for example, an Al film.
  • the bonding layer 433 can be configured by a laminated film of a Ni film and an Au film, for example.
  • the manufacturing method of the light emitting device 1g is substantially the same as the manufacturing method of the light emitting device 1a described in the first embodiment.
  • the spacer 4 is formed, the silicon oxide film 46 is formed on the surface 45 of the spacer 4 facing the cover 5. Thereafter, the only difference is that the spacer 4 and the cover 5 are joined by anodic bonding.
  • a first wafer 4001 on which a plurality of spacers 4 are formed and a second wafer 5000 on which a plurality of covers 5 can be formed are overlapped.
  • the electrode 4010 is disposed on the exposed surface of the silicon oxide film 46, and the electrode 5010 is disposed on the second wafer 5000. Thereafter, in a state where the first wafer 4001 and the second wafer 5000 are heated to a predetermined temperature (for example, 305 ° C.), the electrode 4010 is placed between the electrode 4010 and the electrode 5010 as the anode side and a predetermined voltage value (for example, from the DC power source E). , 600V) is applied for a predetermined time (for example, 30 minutes).
  • a predetermined temperature for example, 305 ° C.
  • a predetermined voltage value for example, from the DC power source E. , 600V
  • a predetermined time for example, 30 minutes.
  • the boundary between adjacent spacers 4 is schematically shown by a one-dot chain line.
  • the boundary of adjacent covers 5 is typically shown by a one-dot chain line.
  • the first wafer 4001 is a wafer in which a silicon oxide film 46, a silicon oxide film 44, a base film 431, and a through hole 41 are formed on a Si wafer 4000 that is a base of the single crystal Si substrate 400.
  • the second wafer 5000 is made of borosilicate glass.
  • the diameter of the second wafer 5000 is the same as the diameter of the Si wafer 4000.
  • the width of the flat surface 5003 provided on a part of the side surface of the second wafer 5000 (width in the direction orthogonal to the paper surface of FIG. 28) is the flat surface provided on a part of the side surface of the Si wafer 4000 (orientation flat: orientation flat) larger than 4003 width. Therefore, in a state where the first wafer 4001 and the second wafer 5000 are overlapped, a part of the first wafer 4001 is exposed as viewed from the first wafer 5000 side.
  • the manufacturing method of the light emitting device 1g is a manufacturing method of the light emitting device 1g having the following configuration.
  • the light emitting device 1g includes a mounting substrate 2a, an ultraviolet light emitting element 3 mounted on the mounting substrate 2a, and a cap 6g formed on the mounting substrate 2a and having a recess 663 in which the ultraviolet light emitting element 3 is accommodated.
  • the cap 6g is disposed on the mounting substrate 2a and is provided on the spacer 4 so as to close the through hole 41 of the spacer 4 and the spacer 4 in which the through hole 41 exposing the ultraviolet light emitting element 3 is exposed.
  • a cover 5 that is joined.
  • the cover 5 is made of borosilicate glass that transmits ultraviolet rays emitted from the ultraviolet light emitting element 3.
  • the spacer 4 includes a spacer body 40 made of Si, and a silicon oxide film 46 formed on the side of the spacer body 40 facing the cover 5 facing the cover 5. The spacer 4 and the cover 5 are directly joined.
  • a wafer level bonded body is formed by directly bonding a first wafer 4001 formed with a plurality of spacers 4 and a second wafer 5000 capable of forming a plurality of covers 5 by anodic bonding.
  • the cap 6g is formed by dicing the level joined body, and the mounting substrate 2a on which the ultraviolet light emitting element 3 is mounted and the cap 6g are joined. Therefore, in the method for manufacturing the light emitting device 1g, the light emitting device 1g capable of increasing the output of ultraviolet light can be manufactured relatively easily. Further, in the method for manufacturing the light emitting device 1g, the manufacturing yield can be improved and the cost can be reduced.
  • the bonding layer 433 is not formed on the base film 431 of the spacer 4 before the wafer level bonded body is formed.
  • a zincate treatment (zincate treatment) is performed on the base film 431, followed by electroless plating.
  • a bonding layer 433 composed of a laminated film of a Ni film and an Au film is formed on the base film 431.
  • the inventors of the present application manufactured a wafer level bonded body by bonding the first wafer and the second wafer formed by 8337B manufactured by SCHOTT by anodic bonding.
  • the interface between the first wafer and the second wafer was observed from the front surface side of the second wafer with an optical microscope, but no void of a problem size was observed, and apparently the first wafer and the second wafer Two wafers were bonded.
  • the thickness of the Si wafer that is the basis of the first wafer is 0.3 mm.
  • the thickness of the second wafer is 0.3 to 0.5 mm.
  • the spacer 4 and the cover 5 were not separated even when the wafer level bonded body was diced with a dicing saw.
  • FIG. 29 is a diagram summarizing SEM image diagrams and results of composition analysis by EDX.
  • the depth direction distribution was examined for each of C, O, Na, Al, Si, K, and Ba.
  • the “depth distribution” refers to each element (C, O, Na) in the cover 5 when the position away from the interface between the spacer body 40 and the silicon oxide film 46 by about 4.73 ⁇ m is used as the reference position.
  • Al, Si, K, and Ba The depth direction is a direction from the reference position toward the spacer body 40.
  • the inventors of the present application found that the movement of K occurred near the surface of the silicon oxide film 46, and a reaction layer having a thickness of about 350 nm was formed in a portion of the cover 5 on the silicon oxide film 46 side. Confirmed that it has been. The inventors of the present application speculate that the spacer 4 and the cover 5 are joined by the silicon oxide film 46 serving as an adhesion layer between the Si wafer 4000 and the second wafer 5000.
  • the inventors of the present application made a plurality of wafer level bonded bodies with different thicknesses of the silicon oxide film 46, and conducted an experiment of observing the bonded state of each wafer level bonded body with an optical microscope, SEM or the like.
  • the thickness of the silicon oxide film 46 was set to 0 nm, 25 nm, 40 nm, 50 nm, 80 nm, 100 nm, and 300 nm.
  • the film thickness of the silicon oxide film 46 is a value measured by an ellipsometer.
  • the inventors of the present application obtained an experimental result that the cover 5 and the spacer 4 are separated at the time of dicing in each wafer level bonded body in which the thickness of the silicon oxide film 46 is 0 nm, 25 nm, and 40 nm. Further, the inventors of the present application obtained an experimental result that the cover 5 and the spacer 4 are not separated at the time of dicing in each wafer level bonded body in which the film thickness of the silicon oxide film 46 is 50 nm, 80 nm, 100 nm, and 300 nm. Therefore, the bonding state of the wafer level bonded body was evaluated by observing the cross section of the wafer level bonded body with an SEM. The inventors of the present application show that the bonding state of the wafer level bonded body is good when no void is seen at the interface between the silicon oxide film 46 and the cover 5 and the reaction layer is seen as observed by SEM. It was judged.
  • the inventors of the present application conducted a heat cycle test for examining the thermal shock resistance of a wafer level bonded body having a silicon oxide film 46 of 50 nm or more.
  • the temperature in the low temperature period was ⁇ 40 ° C.
  • the temperature in the high temperature period was 105 ° C.
  • the number of heat cycle cycles was 100.
  • the inventors of the present application have obtained knowledge that, if the thickness of the silicon oxide film 46 is 50 nm or more, the bonding state, dicing resistance and thermal shock resistance of the wafer level bonded body are good. It was.
  • the silicon oxide film 46 is preferably a thermal oxide film. Thereby, in the light emitting device 1g, it is possible to improve the reliability as compared with the case where the silicon oxide film 46 is a silicon oxide film formed by a CVD method.
  • the thickness of the silicon oxide film 46 is preferably 50 nm or more. Thereby, in the light emitting device 1g, it is possible to reduce the cost by improving the manufacturing yield. From the viewpoint of improving the manufacturing yield of the light emitting device 1g, the thickness of the silicon oxide film 46 is more preferably 80 ⁇ m or more. However, as the thickness of the silicon oxide film 46 increases, it is necessary to increase the voltage value of the DC voltage applied at the time of anodic bonding. Therefore, the thickness of the silicon oxide film 46 is preferably 1 ⁇ m or less, and more preferably 300 nm or less. .
  • the cap 6g in the light emitting device 1g of the present embodiment may be used in place of the cap 6a of the other light emitting devices 1b, 1d.
  • the light-emitting device 1h of a 1st example is demonstrated based on FIG.
  • the first electrode 31 and the second electrode 32 of the ultraviolet light emitting element 3 and the first conductor portion 21 and the second conductor portion 22 of the mounting substrate 2a are respectively joined by an Au bump bump 161 and Au bump.
  • the light emitting device 1a of the first embodiment is different from the light emitting device 1a according to the first embodiment in that the light emitting device 1a is joined by the joint 162.
  • the light emitting device 1 h is different from the light emitting device 1 a in that the third barrier layer 83 is between the second bonding metal layer 43 of the spacer 4 and the third bonding portion 63.
  • the same components as those of the light emitting device 1a are denoted by the same reference numerals as those of the light emitting device 1a, and description thereof is omitted.
  • the Au bump is preferably constituted by a stud bump formed on the mounting substrate 2a by a stud bump method (also called a ball bump method).
  • a stud bump method also called a ball bump method.
  • the second bonding metal layer 43 is preferably composed of a laminated film of a base film 431 and a bonding layer 433, for example.
  • the base film 431 can be composed of, for example, an Al film.
  • the bonding layer 433 can be configured by a laminated film of a Ni film, a Pd film, and an Au film, for example.
  • the spacer 4 and the cover 5 constitute a cap 6 h that covers the ultraviolet light emitting element 3.
  • the mounting substrate 2a and the cap 6h constitute a package 7h for housing the ultraviolet light emitting element 3.
  • Document 1 describes that the spacer is made of a silicon substrate or an insulating resin. Reference 1 describes that it is preferable to form a reflective metal film made of Ag or Al on the side surface of the cavity in order to obtain a sufficient light reflection effect from the side surface of the cavity.
  • Reference 3 also discloses an optoelectronic element including a carrier, an optoelectronic semiconductor chip that is a light emitting diode mounted on the main surface of the carrier, and an optical component mounted on the carrier as a light emitting device.
  • the carrier is a printed circuit board or ceramic.
  • the optical component has a frame and a glass plate.
  • the frame is made of silicon.
  • the glass plate transmits radiation emitted from the optoelectronic semiconductor chip.
  • the light emitting device 1h includes a mounting substrate 2a, an ultraviolet light emitting element 3 mounted on the mounting substrate 2a, and a spacer formed on the mounting substrate 2a and having a through hole 41 that exposes the ultraviolet light emitting element 3. 4 and a cover 5 disposed on the spacer 4 so as to close the through hole 41 of the spacer 4.
  • the ultraviolet light emitting element 3 is configured to emit ultraviolet light having an emission peak wavelength in the ultraviolet wavelength region.
  • the spacer 4 includes a spacer body 40 made of Si.
  • the through hole 41 is formed in the spacer body 40.
  • the opening area of the through hole 41 gradually increases as the distance from the mounting substrate 2a increases.
  • the cover 5 is made of glass that transmits ultraviolet rays emitted from the ultraviolet light emitting element 3. In the light emitting device 1h, the spacer 4 and the cover 5 are joined. In the light emitting device 1h having such a configuration, it is possible to increase the output of ultraviolet rays.
  • the following first step, second step, third step, and fourth step are sequentially performed.
  • a base film 431 made of an Al film is formed on the silicon oxide film 44 of the spacer 4, and then the cap 5h is formed by directly bonding the cover 5 and the spacer 4 by anodic bonding.
  • a zincate treatment is performed on the base film 431 of the cap 6e, and then the bonding layer 433 made of a laminated film of a Ni film, a Pd film, and an Au film is formed by an electroless plating method. It is formed on the base film 431.
  • the third barrier layer 83 made of, for example, a Pt film is formed on the bonding layer 433, and then the third AuSn layer 73 is formed on the third barrier layer 83 by an electrolytic plating method.
  • a third Au layer 93 is formed on the third AuSn layer 73 by electrolytic plating.
  • the third barrier layer 83, the third AuSn layer 73, and the third Au layer 93 constitute a third bonding layer 103.
  • the first and second steps described above are preferably performed at the wafer level. After the third Au layer 93 is formed in the second step, the first wafer and the plurality of covers 5 on which the plurality of spacers 4 are formed are formed. It is preferable that the structure bonded to the second wafer is divided into a plurality of caps 6h.
  • the first electrode 31 and the second electrode 32 of the ultraviolet light emitting element 3 and the first conductor portion 21 and the second conductor portion 22 of the mounting substrate 2a are joined to the joint portion 161 and the Au bump, respectively, made of Au bumps. It joins by the junction part 162 which consists of.
  • flip chip mounting is performed in which the ultraviolet light emitting element 3 is mounted on the mounting substrate 2a using ultrasonic waves.
  • the cap 6h is joined to the mounting substrate 2a by sequentially performing the first step and the second step.
  • the first step of the fourth step the second bonding metal layer 43 and the first bonding metal layer 23 of the mounting substrate 2d are opposed to each other in the cap 6h that is sucked and held by the second suction holder. More specifically, in the first step, the third bonding layer 103 laminated on the second bonding metal layer 43 and the first bonding metal layer 23 are opposed to each other.
  • the second bonding metal layer 43 in the cap 6 h and the first bonding metal layer 23 of the mounting substrate 2 a are bonded by the third AuSn layer 73.
  • the mounting substrate 2a is heated to a temperature equal to or higher than the melting point of the third AuSn layer 73 by the first heater, and the cap 6h is set to a temperature lower than the melting point of the third AuSn layer 73.
  • the bonding layer 103 and the first bonding metal layer 23 of the mounting substrate 2a are overlaid so as to be in contact with each other.
  • the third AuSn layer 73 is melted while applying pressure to the cap 6h, and then cooled and solidified to form the third joint 63.
  • the second step is preferably performed in an N 2 gas atmosphere.
  • the light emitting device 1h can be obtained by sequentially performing the first step, the second step, the third step, and the fourth step.
  • the light emitting device 1 i of the second example will be described with reference to FIGS. 32 and 33.
  • the first electrode 31 and the second electrode 32 of the ultraviolet light emitting element 3 and the first conductor portion 21 and the second conductor portion 22 of the mounting substrate 2d are respectively joined portions 161 and Au bumps made of Au bumps.
  • the light emitting device 1d of the third embodiment it is joined by a joining portion 162 made of
  • the light emitting device 1 i is different from the light emitting device 1 a in that the third barrier layer 83 is located between the second bonding metal layer 43 of the spacer 4 and the third bonding portion 63.
  • the same components as those of the light emitting device 1d are denoted by the same reference numerals as those of the light emitting device 1d, and description thereof is omitted.
  • the Au bump is preferably composed of a stud bump formed by a stud bump method.
  • the planar size of the second electrode 32 is larger than the planar size of the first electrode 31, it is preferable to provide a plurality of joints 162 with respect to the second electrode 32. Thereby, in the light-emitting device 1i, it becomes possible to improve heat dissipation as compared with the case where the number of the joint portions 162 is one.
  • the spacer 4 and the cover 5 constitute a cap 6 h that covers the ultraviolet light emitting element 3.
  • the mounting substrate 2d and the cap 6h constitute a package 7i for housing the ultraviolet light emitting element 3.
  • the manufacturing method of the light emitting device 1i is the same as the manufacturing method of the light emitting device 1h, the description thereof is omitted.
  • the light-emitting device 1j of this embodiment is demonstrated based on FIG.
  • the light emitting device 1j is different from the light emitting device 1a of the first embodiment in that the light emitting device 1j includes a sealing portion 80 that covers the ultraviolet light emitting element 3 in a space 8 surrounded by the mounting substrate 2a, the spacer 4, and the cover 5.
  • symbol same as the light-emitting device 1a is attached
  • the sealing material forming the sealing part 80 has electrical insulation.
  • the sealing material forming the sealing portion 80 is resistant to ultraviolet rays emitted from the ultraviolet light emitting element 3 and transmits the ultraviolet rays emitted from the ultraviolet light emitting element 3. Resin. “Having ultraviolet resistance against ultraviolet rays emitted from the ultraviolet light emitting element 3” means, for example, that the ultraviolet light emitting element 3 is continuously energized for 2000 hours at a rated current, and the transmittance before and after the start of energization. It means that the rate of decrease is 30% or less.
  • the refractive index of the sealing portion 80 is higher than the refractive index of the inert gas.
  • sealing resin for example, a silicone resin whose main skeleton is made of Si—O bond and having an ultraviolet transmittance of 90% or more, or a main skeleton made of CF bond and having an ultraviolet transmittance of 90% or more. It is also possible to employ a fluorine-based resin (for example, amorphous fluororesin).
  • a fluorine-based resin for example, amorphous fluororesin
  • the refractive index of the cover 5 with respect to ultraviolet rays having a wavelength of 265 nm is about 1.5. Further, the refractive index of the substrate 30 with respect to the ultraviolet ray having a wavelength of 265 nm is about 1.8. On the other hand, the refractive index of the sealing portion 80 with respect to ultraviolet rays having a wavelength of 265 nm is, for example, about 1.3 to 1.5.
  • the light emitting device 1j can improve the light extraction efficiency by including the sealing portion 80 that covers the ultraviolet light emitting element 3 in the space 8 surrounded by the mounting substrate 2a, the spacer 4, and the cover 5. Thus, it becomes possible to achieve high output.
  • the manufacturing method of the light emitting device 1j of the present embodiment is substantially the same as the manufacturing method of the light emitting device 1a, and the sealing resin that becomes the source of the sealing portion 80 in the space surrounded by the cover 5 and the spacer 4 in the cap 6a. 800 is applied (FIG. 35A), and then the cap 6a is made to face the mounting substrate 2a (FIG. 35B). Subsequently, the cap 6a is bonded to the mounting substrate 2a, and then the sealing resin 800 is thermally cured. The difference is that the sealing portion 80 is formed.
  • the process conditions for thermosetting the sealing resin 800 are, for example, a heating temperature of 150 ° C. and a heating time of 2 hours.
  • Embodiments 1 to 7 are only preferable examples and are not intended to be limited thereto. Furthermore, the present invention can be appropriately modified in configuration without departing from the scope of its technical idea.
  • the light emitting devices 1a, 1b, 1c, 1d, 1e, 1f, 1g, 1h, and 1j employ an ultraviolet LED chip as the ultraviolet light emitting element 3, the present invention is not limited thereto.
  • an ultraviolet LD (laser diode) chip may be employed.
  • the spacer body 40 is made of Si, but the spacer body 40 may be made of Al.
  • the light emitting device (1a, 1b, 1c, 1d, 1e, 1f, 1g, 1j) according to the first aspect of the present invention has the mounting substrate (2a, 2b, 2d), the ultraviolet light emitting element (3) mounted on the mounting substrate (2a, 2b, 2d), and the ultraviolet light emitting element (3) disposed on the mounting substrate (2a, 2b, 2d).
  • the caps (6a, 6c, 6e, 6g) are arranged so as to face the inner bottom surface (664) of the recess (663), and the caps (6a, 6c, 6e, 6g) have a front surface (661) and a back surface (662).
  • a second bonding metal layer (43) disposed opposite to the first bonding metal layer (23), and at least the surface (661) of the cap body (660) and the recess (663).
  • An ultraviolet light transmitting portion (666) between the inner bottom surface (664) is formed of glass that transmits ultraviolet light emitted from the ultraviolet light emitting element (3), and the ultraviolet light emitting element (3) includes a first electrode ( 31)
  • the second electrode (32), and the first electrode (31) and the second electrode (32) are disposed on one surface side in the thickness direction of the ultraviolet light emitting element (3),
  • the one conductor part (21), the second conductor part (22), and the first bonding metal layer (23) are composed of the same laminated film on the surface (201) side of the support (20a, 20d).
  • the uppermost layer farthest from the support (20a, 20d) in each of the first conductor part (21), the second conductor part (22), and the first bonding metal layer (23) is made of Au.
  • the first electrode (31) and the first conductor portion (21) are joined by a first joint portion (61) made of AuSn, and the second electrode (32) and the second conductor are joined.
  • the portion (22) is formed by the second joint portion (62) formed of AuSn.
  • the first bonding metal layer (23) and the second bonding metal layer (43) are bonded by a third bonding portion (63) formed of AuSn.
  • the light emitting device (1a, 1b, 1c, 1d, 1e, 1f, 1g, 1j) includes the first conductor portion (21) and the second conductor portion in the first aspect. (22) and the first bonding metal layer (23) and the first bonding portion (61), the second bonding portion (62), and the third bonding portion (63), respectively.
  • a barrier layer (81), a second barrier layer (82), and a third barrier layer (83) are formed, and the first barrier layer (81), the second barrier layer (82), and the third barrier layer are formed. (83) is made of the same material and the same thickness.
  • the light emitting device (1a, 1b, 1c, 1d, 1e, 1f, 1g, 1j) according to the third aspect of the present invention is the first or second aspect, wherein the first electrode (31) has an outermost surface.
  • a first pad electrode layer (31B) configured by the surface of the Au film is provided, and the second electrode (32) includes a second pad electrode layer (32B) whose outermost surface is configured by the surface of the Au film.
  • the second bonding metal layer (43) includes a laminated film of a base film (431) and an Au film (432).
  • the light emitting device (1a, 1b, 1c, 1d, 1e, 1f, 1g, 1j) according to the fourth aspect of the present invention is the third junction (63) according to any one of the first to third aspects. Is formed along the entire circumference of the outer peripheral edge of the back surface (662) of the cap body (660).
  • the light emitting device (1a, 1b, 1c, 1d, 1e, 1f, 1g) is the fourth aspect, wherein the mounting substrate (2a, 2b, 2d) and the cap (6a, The space surrounded by 6c, 6e, 6g) is an inert gas atmosphere.
  • the light emitting device (1a, 1b, 1c, 1d, 1e, 1f, 1g, 1j) according to the sixth aspect of the present invention is the cap (6a, 6c, 6e) according to any one of the first to fifth aspects. 6g) is smaller than the mounting substrates (2a, 2b, 2d) in plan view.
  • the light emitting device (1a, 1b, 1c, 1e, 1g, 1j) according to the seventh aspect of the present invention is the light emitting device according to any one of the first to sixth aspects.
  • the first external connection electrode (24) and the second external connection electrode (25) are formed on the back surface (202) of the support (20a), and the first external connection electrode (24)
  • the second external connection electrode (25) is electrically connected to the first conductor portion (21) through the first through wiring (26), and the second external connection electrode (25) is connected to the first conductor portion (21) through the second through wiring (27).
  • the second conductor part (22) is electrically connected.
  • the support (20a) is made of AlN ceramic.
  • the mounting substrate (2d) is a multilayer substrate, and the mounting substrate (2d) is A first external connection electrode (24) and a second external connection electrode (25), a first wiring layer (28), a second wiring layer (29), and an electrical insulating layer (253),
  • the first wiring layer (28) and the second wiring layer (29) are disposed on the surface (201) side of the support (20d), and the first conductor portion (21) and the first external connection electrode (24) is disposed on the first wiring layer (28) and is electrically connected to the first wiring layer (28), and the second conductor portion (22) and the second external connection electrode (25).
  • the electrical insulating layer (253) is disposed so as to cover the first wiring layer (28) and the second wiring layer (29) on the surface (201) side of the support (20d).
  • One joining metal layer (23) is disposed on the electrical insulating layer (253).
  • a light emitting device (1d, 1f) is the ninth aspect, wherein the mounting substrate (2d) includes a first electric insulating layer (253) made of the electric insulating layer (253). Includes another second electric insulating layer (251), the support (20d) is made of Si, and the second electric insulating layer (251) is formed on the surface (20d) of the support (20d). 201), and the first wiring layer (28) and the second wiring layer (29) are arranged on the second electrical insulating layer (251).
  • the cap (6a, 6c, 6g) A spacer (4) disposed on the mounting substrate (2a, 2b, 2d) and having a through hole (41) exposing the ultraviolet light emitting element (3), and the through hole (41) of the spacer (4)
  • a cover (5) disposed on the spacer (4) so as to close the cover and joined to the spacer (4), and exposed through the through-hole (41) in the cover (5)
  • Constitutes the inner bottom surface (664) of the recess (663), and the cover (5) is made of glass that transmits ultraviolet rays emitted from the ultraviolet light emitting element (3), and the spacer (4) Is shaped by Si
  • the spacer main body (40) and the facing surface (42) of the spacer main body (40) facing the mounting substrate (2a, 2b, 2d) are arranged to face the first bonding metal layer (
  • a light emitting device (1a, 1b, 1c, 1d, 1g, 1j) is the eleventh aspect, wherein the through hole (41) is formed in the spacer body (40).
  • the opening area of the through hole (41) gradually increases as the distance from the mounting substrate (2a, 2b, 2d) increases.
  • a light emitting device (1a, 1b, 1c, 1d, 1g, 1j) according to a thirteenth aspect of the present invention is the twelfth aspect, wherein the spacer body (40) has a surface (401) having a (100) plane. It is formed from a single crystal Si substrate (400), and the inner side surface of the through hole (41) is a surface along the ⁇ 111 ⁇ plane.
  • the light emitting device (1a, 1b, 1c, 1d, 1g, 1j) according to the fourteenth aspect of the present invention is the thirteenth aspect, wherein the spacer (4) has the inner surface of the through hole (41). It is constituted by the surface of a silicon oxide film formed along the ⁇ 111 ⁇ plane.
  • the ultraviolet light emitting element (3) is UV-C.
  • the ultraviolet ray having the emission peak wavelength in the wavelength region is emitted.
  • the light emitting device (1a, 1b, 1d, 1g, 1j) is the glass according to any one of the eleventh to fifteenth aspects, wherein the glass forming the cover (5) contains an alkaline component.
  • the spacer (4) and the cover (5) are directly joined.
  • the light emitting device (1c) according to a seventeenth aspect of the present invention is the light emitting device (1c) according to any one of the eleventh to fifteenth aspects, wherein the spacer (4) and the cover (5) are the heat of the spacer body (40). It joins by the 4th junction part (64) formed with the low melting glass which has a thermal expansion coefficient between an expansion coefficient and the thermal expansion coefficient of the said cover (5).
  • a light emitting device (1g) according to an eighteenth aspect of the present invention is the light emitting device (1g) according to the sixteenth aspect, wherein the spacer (4) is located on the surface (45) side facing the cover (5) in the spacer body (40).
  • a silicon oxide film (46) is formed.
  • the entire cap body (660) is radiated from the ultraviolet light emitting element (3). It is made of glass that transmits ultraviolet rays.
  • the manufacturing method of the light emitting device (1a, 1b, 1c, 1d, 1e, 1f, 1g, 1j) includes a mounting board (2a, 2b, 2d) and the mounting board (2a, 2b and 2d), and a cap (663) formed on the mounting substrate (2a, 2b and 2d) and having a recess (663) for accommodating the ultraviolet light emitting element (3).
  • 6a, 6c, 6e, 6g) and the mounting substrate (2a, 2b, 2d) is supported by the support (20a, 20d) and the support (20a, 20d).
  • the caps (6a, 6c, 6 6g) and the cap (6a, 6c, 6e, 6g) has a front surface (661) and a back surface (662), and the back surface (662). 662) and the first metal layer for bonding (23) at the periphery of the recess (663) on the back surface (662) of the cap body (660).
  • An ultraviolet transmission part (666) is formed of glass that transmits ultraviolet rays emitted from the ultraviolet light emitting element (3).
  • the ultraviolet light emitting element (3) includes a first electrode (31) and a second electrode. (32) The light emitting devices (1a, 1b, 1c, 1d, 1e) in which the first electrode (31) and the second electrode (32) are arranged on one surface side in the thickness direction of the ultraviolet light emitting element (3).
  • the second bonding metal layer (43) in the electrode (32) and the cap (6a, 6c, 6e, 6g), the first conductor portion (21) of the mounting substrate (2a, 2b, 2d), the first Two conductor portions (22) and the first joining metal layer (23) are joined by a first AuSn layer (71), a second AuSn layer (72), and a third AuSn layer (73), respectively, and the first AuSn layer (71), the second AuSn layer (72)
  • the third AuSn layer (73) is collectively formed in the same process on the mounting substrate (2a, 2b, 2d).
  • the manufacturing method of the light emitting device (1a, 1b, 1c, 1d, 1e, 1f, 1g, 1j) according to the twenty-first aspect of the present invention is the first aspect of the ultraviolet light emitting element (3) in the twentieth aspect.
  • the electrode (31) and the second electrode (32) and the first conductor part (21) and the second conductor part (22) of the mounting substrate (2a, 2b, 2d) are respectively connected to the first AuSn layer (71 ) And the second AuSn layer (72), and the second bonding metal layer (43) of the cap (6a, 6c, 6e, 6g) and the first bonding process, following the first bonding process.
  • a second bonding process is performed in which the first bonding metal layer (23) of the mounting substrate (2a, 2b, 2d) is bonded by the third AuSn layer (73), and the first bonding process and the first bonding process are performed.
  • a light emitting device (1a, 1b, 1c, 1d, 1f, 1g, 1h, 1i, 1j) includes a mounting board (2a, 2b, 2d) and the mounting board (2a, 2b). 2d) and a spacer formed with a through hole (41) that is disposed on the mounting substrate (2a, 2b, 2d) and exposes the ultraviolet light emitting element (3). 4) and a cover (5) disposed on the spacer (4) so as to close the through hole (41) of the spacer (4), and the ultraviolet light emitting element (3) has an ultraviolet wavelength
  • the spacer (4) includes a spacer body (40) formed of Si, and the through hole (41) is formed of the spacer body (40).
  • the through hole ( 1) the opening area gradually increases as the distance from the mounting substrate (2a, 2b, 2d) increases, and the cover (5) is made of glass that transmits ultraviolet rays emitted from the ultraviolet light emitting element (3).
  • the spacer (4) and the cover (5) are joined.
  • the light emitting device (1a, 1b, 1c, 1d, 1f, 1g, 1h, 1i, 1j) according to the 23rd aspect of the present invention is the UV light emitting element (3) according to the 22nd aspect, wherein the UV-C The ultraviolet ray having the emission peak wavelength in the wavelength region is emitted.
  • the light emitting device (1a, 1b, 1c, 1d, 1f, 1g, 1h, 1i, 1j) according to the 24th aspect of the present invention is the 22nd or 23rd aspect, wherein the spacer body (40) 401) is formed from a (100) plane single crystal Si substrate (400), and the inner side surface of the through hole (41) is a plane along the ⁇ 111 ⁇ plane.
  • the light emitting device (1a, 1b, 1c, 1d, 1f, 1g, 1h, 1i, 1j) according to the 25th aspect of the present invention is the light emitting device according to the 24th aspect, wherein the spacer (4) has the through hole (41). ) Of the silicon oxide film formed along the ⁇ 111 ⁇ plane.
  • the mounting substrate (2a, 2b, 2d), the spacer (4), and the cover (5) And a sealing portion (80) covering the ultraviolet light emitting element (3) in a space (8) surrounded by.
  • a light emitting device (1g) includes a mounting substrate (2a, 2b, 2d), an ultraviolet light emitting element (3) mounted on the mounting substrate (2a, 2b, 2d), A cap (6g) disposed on the mounting substrate (2a, 2b, 2d) and having a recess (663) for accommodating the ultraviolet light emitting element (3).
  • the cap (6g) A spacer (4) disposed on (2a, 2b, 2d) and having a through hole (41) for exposing the ultraviolet light emitting element (3) is formed, and the through hole (41) of the spacer (4) is closed. And a cover (5) disposed on the spacer (4) and joined to the spacer (4).
  • the cover (5) is radiated from the ultraviolet light emitting element (3). Shaped by borosilicate glass that transmits ultraviolet light
  • the spacer (4) includes a spacer body (40) made of Si and a silicon oxide film (46) formed on the side of the spacer body (40) facing the cover (5) (45). ), And the spacer (4) and the cover (5) are directly joined.
  • the silicon oxide film (46) is a thermal oxide film.
  • the thickness of the silicon oxide film (46) is 50 nm or more.
  • the manufacturing method of the light emitting device (1g) includes a mounting substrate (2a, 2b, 2d) and an ultraviolet light emitting element (3) mounted on the mounting substrate (2a, 2b, 2d). And a cap (6g) formed on the mounting substrate (2a, 2b, 2d) and having a recess (663) for accommodating the ultraviolet light emitting element (3), the cap (6g) A spacer (4) formed on the mounting substrate (2a, 2b, 2d) and having a through hole (41) for exposing the ultraviolet light emitting element (3), and the through hole (41) of the spacer (4) And a cover (5) which is disposed on the spacer (4) and joined to the spacer (4) so as to block the ultraviolet light emitting element (3).
  • the spacer (4) is a silicon oxide film formed on the side of the spacer body (40) formed of Si and the surface (45) facing the cover (5) of the spacer body (40). (46), wherein the spacer (4) and the cover (5) are directly joined to each other, the method for manufacturing the light emitting device (1g), wherein a plurality of the spacers (4) are formed.
  • a wafer level bonded body is formed by directly bonding the wafer (4001) and a second wafer (5000) capable of forming a plurality of the covers (5) by anodic bonding, and then the wafer level bonded body is diced by dicing.
  • a cap (6g) is formed, and the mounting substrate (2a, 2b, 2d) on which the ultraviolet light emitting element 3 is mounted is bonded to the cap (6g).

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Abstract

　本発明の課題は、信頼性の向上を図れ、かつ、低コスト化を図ることが可能な発光装置及びその製造方法を提供することである。発光装置（１ａ）は、キャップ６ａの紫外線透過部（６６６）が、紫外線を透過するガラスにより形成されている。発光装置（１ａ）は、紫外線発光素子（３）の第１電極（３１）と実装基板（２ａ）の第１導体部（２１）とが、ＡｕＳｎにより形成された第１接合部（６１）により接合され、紫外線発光素子（３）の第２電極（３２）と実装基板（２ａ）の第２導体部（２２）とが、ＡｕＳｎにより形成された第２接合部（６２）により接合され、実装基板（２ａ）の第１接合用金属層（２３）とキャップ（６ａ）の第２接合用金属層（４３）とが、ＡｕＳｎにより形成された第３接合部（６３）により接合されている。

Description

発光装置及びその製造方法
　本発明は、発光装置及びその製造方法に関する。
　従来、放熱特性が優れた薄型の発光装置としては、例えば、サブマウント基板と、サブマウント基板に実装されたＬＥＤ素子と、キャビティを有するスペーサと、光学素子と、を備えたＬＥＤパッケージが提案されている（文献１［日本国特許出願公開番号２００６－２７００４６］）。
　光学素子は、例えば、ガラス板からなる。
　ＬＥＤパッケージは、ＬＥＤ素子の各電極に形成されたソルダバンプを通してＬＥＤ素子が電極パターンにフリップチップボンディングされている。
　スペーサは、例えば、シリコン基板から作られており、接着シートによりサブマウント基板に接合されている。光学素子は、例えば、ガラス板からなり、接着シートによりスペーサの上面に接合されている。
　また、発光装置の製造方法としては、ＬＥＤ素子を無機材質基板にフリップチップ実装した後、波長変換層被覆工程を経てから、無機材質基板とガラス蓋を接合する工程を行うようにした発光装置の製造方法が知られている（文献２［日本国特許出願公開番号２０１１－４０５７７］）。
　無機材質基板には、ＬＥＤ素子をフリップチップ実装するためのＡｕＳｎ電極、ガラス蓋を接着するための溶着下地層としてのＡｕ層を形成してある。
　発光装置の分野においては、信頼性の向上及び低コスト化が望まれている。
　本発明の目的は、信頼性の向上を図れ、かつ、低コスト化を図ることが可能な発光装置及びその製造方法を提供することにある。
　本発明に係る一態様の発光装置は、実装基板と、前記実装基板に実装された紫外線発光素子と、前記実装基板上に配置され前記紫外線発光素子を収納する凹部が形成されたキャップと、を備える。前記実装基板は、支持体と、前記支持体に支持された第１導体部、第２導体部及び第１接合用金属層と、を備える。前記第１導体部及び前記第２導体部は、前記支持体の表面側において前記キャップの前記凹部の内底面に臨むように配置されている。前記キャップは、表面及び裏面を有し前記裏面に前記凹部が形成されたキャップ本体と、前記キャップ本体の前記裏面における前記凹部の周部で前記第１接合用金属層に対向して配置された第２接合用金属層と、を備える。前記キャップは、少なくとも、前記キャップ本体の前記表面と前記凹部の内底面との間の部分が、前記紫外線発光素子から放射される紫外線を透過するガラスにより形成されている。前記紫外線発光素子は、第１電極と、第２電極と、を備え、前記紫外線発光素子の厚さ方向の一面側に前記第１電極及び前記第２電極が配置されている。前記第１導体部と前記第２導体部と前記第１接合用金属層とは、前記支持体の表面側で同じ積層膜から構成されている。前記第１導体部、前記第２導体部及び前記第１接合用金属層それぞれにおける前記支持体から最も離れた最上層はＡｕにより形成されている。発光装置は、前記第１電極と前記第１導体部とが、ＡｕＳｎにより形成された第１接合部により接合され、前記第２電極と前記第２導体部とが、ＡｕＳｎにより形成された第２接合部により接合されている。発光装置は、前記第１接合用金属層と前記第２接合用金属層とが、ＡｕＳｎにより形成された第３接合部により接合されている。
　本発明に係る一態様の発光装置の製造方法は、以下の構成を備える発光装置の製造方法である。
　発光装置は、実装基板と、前記実装基板に実装された紫外線発光素子と、前記実装基板上に配置され前記紫外線発光素子を収納する凹部が形成されたキャップと、を備える。前記実装基板は、支持体と、前記支持体に支持された第１導体部、第２導体部及び第１接合用金属層と、を備える。前記第１導体部及び前記第２導体部は、前記支持体の表面側において前記キャップの前記凹部の内底面に臨むように配置されている。前記キャップは、表面及び裏面を有し前記裏面に前記凹部が形成されたキャップ本体と、前記キャップ本体の前記裏面における前記凹部の周部で前記第１接合用金属層に対向して配置された第２接合用金属層と、を備える。前記キャップは、少なくとも、前記キャップ本体の前記表面と前記凹部の内底面との間の紫外線透過部が、前記紫外線発光素子から放射される紫外線を透過するガラスにより形成されている。前記紫外線発光素子は、第１電極と、第２電極と、を備え、前記紫外線発光素子の厚さ方向の一面側に前記第１電極及び前記第２電極が配置されている。
　発光装置の製造方法では、前記キャップを形成する。発光装置の製造方法では、その後、前記紫外線発光素子の前記第１電極、前記第２電極及び前記キャップにおける前記第２接合用金属層と前記実装基板の前記第１導体部、前記第２導体部及び前記第１接合用金属層とをそれぞれ第１ＡｕＳｎ層、第２ＡｕＳｎ層及び第３ＡｕＳｎ層により接合する。前記第１ＡｕＳｎ層、前記第２ＡｕＳｎ層及び前記第３ＡｕＳｎ層は、前記実装基板に対して同一工程で一括形成される。
図１は、実施形態１の発光装置を示す概略断面図である。 図２は、実施形態１の発光装置を示す概略平面図である。 図３は、実施形態１の発光装置を示す概略側面図である。 図４は、実施形態１の発光装置を示す概略下面図である。 図５は、実施形態１の発光装置を配線基板に実装した状態の概略側面図である。 図６は、実施形態１の発光装置における紫外線発光素子の概略断面図である。 図７Ａは、実施形態１の発光装置の製造方法を説明するための主要工程平面図である。図７Ｂは、実施形態１の発光装置の製造方法を説明するための主要工程平面図である。図７Ｃは、実施形態１の発光装置の製造方法を説明するための主要工程平面図である。図７Ｄは、実施形態１の発光装置の製造方法を説明するための主要工程平面図である。図７Ｅは、実施形態１の発光装置の製造方法を説明するための主要工程平面図である。 図８は、実施形態１の発光装置の製造方法を説明するための主要工程断面図である。 図９は、殺菌効果曲線である。 図１０は、実施形態１の発光装置の変形例を示す概略平面図である。 図１１Ａは、Ｓｉ基板を用いた評価用サンプルに入射角５°で入射する光の波長と反射率との関係説明図である。図１１Ｂは、Ｓｉ基板を用いた評価用サンプルに入射角１５°で入射する光の波長と反射率との関係説明図である。図１１Ｃは、Ｓｉ基板を用いた評価用サンプルに入射角２５°で入射する光の波長と反射率との関係説明図である。図１１Ｄは、Ｓｉ基板を用いた評価用サンプルに入射角３５°で入射する光の波長と反射率との関係説明図である。図１１Ｅは、Ｓｉ基板を用いた評価用サンプルに入射角４５°で入射する光の波長と反射率との関係説明図である。図１１Ｆは、Ｓｉ基板を用いた評価用サンプルに入射角５５°で入射する光の波長と反射率との関係説明図である。 図１２Ａは、Ａｌ基板に入射角１５°で入射する光の波長と反射率との関係説明図である。図１２Ｂは、Ａｌ基板に入射角２５°で入射する光の波長と反射率との関係説明図である。図１２Ｃは、Ａｌ基板に入射角３５°で入射する光の波長と反射率との関係説明図である。図１２Ｄは、Ａｌ基板に入射角４５°で入射する光の波長と反射率との関係説明図である。図１２Ｅは、Ａｌ基板に入射角５５°で入射する光の波長と反射率との関係説明図である。 図１３は、実施形態２の発光装置を示す概略断面図である。 図１４は、実施形態２の発光装置の製造方法を説明する主要工程断面図である。 図１５は、実施形態３の発光装置を示す概略断面図である。 図１６は、実施形態３の発光装置を示す概略平面図である。 図１７は、実施形態３の発光装置の製造方法を説明するための主要工程断面図である。 図１８は、実施形態３の発光装置を配線基板に実装した状態の概略側面図である。 図１９は、実施形態４の発光装置を示す概略断面図である。 図２０は、実施形態４の発光装置の製造方法を説明するための主要工程断面図である。 図２１は、実施形態４におけるキャップの第１変形例を示す概略断面図である。 図２２は、実施形態４におけるキャップの第２変形例を示す概略断面図である。 図２３は、実施形態４におけるキャップの第３変形例を示す概略断面図である。 図２４は、実施形態４におけるキャップの第４変形例を示す概略断面図である。 図２５は、実施形態５の発光装置を示す概略断面図である。 図２６は、実施形態５の発光装置の製造方法を説明するための主要工程断面図である。 図２７は、実施形態６の発光装置を示す概略断面図である。 図２８は、実施形態６の発光装置の製造方法を説明するための主要工程断面図である。 図２９は、キャップについてＳＥＭ（scanning electron microscope）による断面観察を行った結果及びＥＤＸ（energy dispersive x-ray spectroscopy）による組成分析を行った結果の説明図である。 図３０は、第１例の発光装置を示す概略断面図である。 図３１は、第１例の発光装置の製造方法を説明するための主要工程断面図である。 図３２は、第２例の発光装置を示す概略断面図である。 図３３は、第２例の発光装置の製造方法を説明するための主要工程断面図である。 図３４は、実施形態７の発光装置を示す概略断面図である。 図３５Ａは、実施形態７の発光装置の製造方法を説明するための主要工程断面図である。図３５Ｂは、実施形態７の発光装置の製造方法を説明するための主要工程断面図である。
　下記の実施形態１～７において説明する各図は、模式的な図であり、各構成要素の大きさや厚さそれぞれの比が、必ずしも実際の寸法比を反映しているとは限らない。
　（実施形態１）
　以下では、本実施形態の発光装置１ａについて、図１～８に基づいて説明する。なお、図１は、図２のＸ－Ｘ断面に対応する模式的な概略断面図である。
　発光装置１ａは、実装基板２ａと、実装基板２ａに実装された紫外線発光素子３と、実装基板２ａ上に配置され紫外線発光素子３を露出させる貫通孔４１が形成されたスペーサ４と、スペーサ４の貫通孔４１を塞ぐようにスペーサ４上に配置されたカバー５と、を備える。実装基板２ａは、支持体２０ａと、支持体２０ａに支持された第１導体部２１、第２導体部２２及び第１接合用金属層２３と、を備える。第１導体部２１及び第２導体部２２は、支持体２０ａの表面２０１側において貫通孔４１により露出するように配置されている。スペーサ４は、Ｓｉにより形成されたスペーサ本体４０と、スペーサ本体４０における実装基板２ａとの対向面４２側で第１接合用金属層２３に対向して配置された第２接合用金属層４３と、を備える。カバー５は、紫外線発光素子３から放射される紫外線を透過するガラスにより形成されている。発光装置１ａでは、スペーサ４とカバー５とが接合されている。紫外線発光素子３は、第１電極３１と、第２電極３２と、を備え、紫外線発光素子３の厚さ方向の一面側に第１電極３１及び第２電極３２が配置されている。発光装置１ａは、第１電極３１と第１導体部２１とが、ＡｕＳｎにより形成された第１接合部６１により接合され、第２電極３２と第２導体部２２とが、ＡｕＳｎにより形成された第２接合部６２により接合されている。発光装置１ａは、スペーサ４の第２接合用金属層４３と実装基板２ａの第１接合用金属層２３とが、ＡｕＳｎにより形成された第３接合部６３により接合されている。以上説明した構成の発光装置１ａでは、信頼性の向上を図れ、かつ、低コスト化を図ることが可能となる。発光装置１ａでは、第１電極３１と第１導体部２１との間に、ＡｕＳｎにより形成され第１電極３１と第１導体部２１とを接合している第１接合部６１が存在し、ＡｕＳｎにより形成され第２電極３２と第２導体部２２との間に、第２電極３２と第２導体部２２とを接合している第２接合部６２が存在している。また、発光装置１ａでは、第２接合用金属層４３と第１接合用金属層２３との間に、ＡｕＳｎにより形成され第２接合用金属層４３と第１接合用金属層２３とを接合している第３接合部６３が存在している。
　発光装置１ａは、スペーサ４とカバー５とで、紫外線発光素子３を覆うキャップ６ａを構成している。キャップ６ａには、紫外線発光素子３を収納する凹部６６３が形成されている。したがって、見方を変えれば、発光装置１ａは、下記の構成を備える。
　発光装置１ａは、実装基板２ａと、実装基板２ａに実装された紫外線発光素子３と、実装基板２ａ上に配置され紫外線発光素子３を収納する凹部６６３が形成されたキャップ６ａと、を備える。実装基板２ａは、支持体２０ａと、支持体２０ａに支持された第１導体部２１、第２導体部２２及び第１接合用金属層２３と、を備える。第１導体部２１及び第２導体部２２は、支持体２０ａの表面２０１側においてキャップ６ａの凹部６６３の内底面６６４に臨むように配置されている。キャップ６ａは、表面６６１及び裏面６６２を有し裏面６６２に凹部６６３が形成されたキャップ本体６６０と、キャップ本体６６０の裏面６６２における凹部６６３の周部で第１接合用金属層２３に対向して配置された第２接合用金属層４３と、を備える。キャップ６ａは、少なくとも、キャップ本体６６０の表面６６１と凹部６６３の内底面６６４との間の紫外線透過部６６６が、紫外線発光素子３から放射される紫外線を透過するガラスにより形成されている。紫外線発光素子３は、第１電極３１と、第２電極３２と、を備え、紫外線発光素子３の厚さ方向の一面側に第１電極３１及び第２電極３２が配置されている。第１導体部２１と第２導体部２２と第１接合用金属層２３とは、支持体２０ａの表面２０１側に同じ材料でかつ、同じ厚さで構成された積層膜である（言い換えれば、第１導体部２１と第２導体部２２と第１接合用金属層２３とは、支持体２０ａの表面２０１側で同じ積層膜から構成されている）。第１導体部２１、第２導体部２２及び第１接合用金属層２３それぞれにおける支持体２０ａから最も離れた最上層はＡｕにより形成されている。発光装置１ａは、第１電極３１と第１導体部２１とが、ＡｕＳｎにより形成された第１接合部６１により接合され、第２電極３２と第２導体部２２とが、ＡｕＳｎにより形成された第２接合部６２により接合されている。発光装置１ａは、第１接合用金属層２３と第２接合用金属層４３とが、ＡｕＳｎにより形成された第３接合部６３により接合されている。以上説明した構成の発光装置１ａでは、信頼性の向上を図れ、かつ、低コスト化を図ることが可能となる。
　キャップ６ａは、実装基板２ａ上に配置され紫外線発光素子３を露出させる貫通孔４１が形成されたスペーサ４と、スペーサ４の貫通孔４１を塞ぐようにスペーサ４上に配置されておりスペーサ４に接合されているカバー５と、を備える。キャップ６ａは、カバー５において貫通孔４１により露出した面が凹部６６３の内底面６６４を構成している。カバー５は、紫外線発光素子３から放射される紫外線を透過するガラスにより形成されている。スペーサ４は、Ｓｉにより形成されたスペーサ本体４０と、スペーサ本体４０における実装基板２ａとの対向面４２側で第１接合用金属層２３に対向して配置された第２接合用金属層４３と、を備える。よって、発光装置１ａでは、紫外線発光素子３から凹部６６３の内底面６６４へ向かって放射される紫外線がカバー５を透過しやすく、かつ、紫外線発光素子３から凹部６６３の内側面６６５へ向かって放射される紫外線がスペーサ４で反射されやすくなる。これにより、発光装置１ａでは、紫外線発光素子３から放射された紫外線をキャップ６ａの表面６６１から効率良く出射させることが可能となる。また、発光装置１ａでは、キャップ６ａが、無機材料により形成されている。
　発光装置１ａは、第３接合部６３（図１、３参照）が、スペーサ本体４０における実装基板２ａとの対向面４２における外周縁４２１の全周に沿って形成されているのが好ましい。言い換えれば、第３接合部６３は、キャップ本体６６０の裏面６６２における外周縁の全周に沿って形成されているのが好ましい。これにより、発光装置１ａは、外気、水分等が紫外線発光素子３、第１導体部２１及び第２導体部２２に到達するのを抑制することが可能となり、信頼性の向上を図ることが可能となる。
　また、発光装置１ａは、実装基板２ａとスペーサ４とカバー５とで、紫外線発光素子３を収納するパッケージ７ａを構成している。発光装置１ａは、上述のように第３接合部６３が、スペーサ本体４０における実装基板２ａとの対向面４２における外周縁４２１の全周に沿って形成されていることにより、紫外線発光素子３を気密封止することが可能となる。
　発光装置１ａの各構成要素については、以下に詳細に説明する。
　実装基板２ａは、紫外線発光素子３を実装する基板である。「実装する」とは、紫外線発光素子３を配置して機械的に接続すること及び電気的に接続することを含む概念である。
　実装基板２ａは、一例として、１個の紫外線発光素子３を実装できるように構成されている。
　実装基板２ａは、平面視において紫外線発光素子３よりも大きい。
　支持体２０ａは、第１導体部２１、第２導体部２２及び第１接合用金属層２３を支持する機能を有する。また、支持体２０ａは、第１導体部２１と第２導体部２２と第１接合用金属層２３とを電気的に絶縁する機能を有する。また、支持体２０ａは、紫外線発光素子３で発生する熱を効率良く外部に伝えるためのヒートシンク（heat sink）としての機能を備えているのが好ましい。
　実装基板２ａは、支持体２０ａが平板状に形成されており、支持体２０ａの厚さ方向に直交する表面２０１上に第１導体部２１、第２導体部２２及び第１接合用金属層２３が形成されている。
　支持体２０ａの外周形状は、矩形（直角四辺形）状としてある。支持体２０ａの外周形状は、矩形状に限らず、例えば、矩形以外の多角形状や、円形状等でもよい。
　第１導体部２１は、紫外線発光素子３の第１電極３１が電気的に接続される導電層である。第２導体部２２は、紫外線発光素子３の第２電極３２が電気的に接続される導電層である。
　第１導体部２１、第２導体部２２及び第１接合用金属層２３の各々は、例えば、Ｔｉ膜とＰｔ膜とＡｕ膜との積層膜により構成することができる。第１導体部２１、第２導体部２２及び第１接合用金属層２３の各々は、例えば、Ａｌ膜とＮｉ膜とＰｄ膜とＡｕ膜との積層膜、Ｎｉ膜とＡｕ膜との積層膜、Ｃｕ膜とＮｉ膜とＡｕ膜との積層膜等により構成してもよい。第１導体部２１、第２導体部２２及び第１接合用金属層２３の各々は、積層膜により構成する場合、支持体２０ａから最も離れた最上層がＡｕにより形成され、支持体２０ａに最も近い最下層が支持体２０ａとの密着性の高い材料により形成されているのが好ましい。第１導体部２１、第２導体部２２及び第１接合用金属層２３は、積層膜に限らず、単層膜により構成してもよい。
　実装基板２ａは、第１導体部２１と第２導体部２２と第１接合用金属層２３とが空間的に分離されるように、第１導体部２１、第２導体部２２及び第１接合用金属層２３が配置されている。実装基板２ａは、第１導体部２１と第２導体部２２との間に溝２０３が形成されている。溝２０３の内面は、支持体２０ａの表面２０１の一部と、第１導体部２１及び第２導体部２２の互いの対向面と、で構成される。実装基板２ａは、第１導体部２１と第２導体部２２と第１接合用金属層２３とが、支持体２０ａの表面２０１上に同じ厚さで形成されている。これにより、実装基板２ａは、第１導体部２１の表面２１１と第２導体部２２の表面２１２と第１接合用金属層２３の表面２３１（図８参照）とが一平面上に揃うように構成されている。
　実装基板２ａは、第１外部接続電極２４及び第２外部接続電極２５と、支持体２０ａの厚さ方向に貫通して形成された第１貫通配線２６及び第２貫通配線２７と、を備える。第１外部接続電極２４及び第２外部接続電極２５は、支持体２０ａの裏面２０２に形成されている。第１外部接続電極２４は、第１貫通配線２６を介して第１導体部２１と電気的に接続されている。第２外部接続電極２５は、第２貫通配線２７を介して第２導体部２２と電気的に接続されている。よって、発光装置１ａは、例えば、図５に示すように、配線基板１０ａに表面実装することが可能となる。
　配線基板１０ａは、マザー基板である。配線基板１０ａは、例えば、金属ベースプリント配線板により形成することができる。この場合、配線基板１０ａは、例えば、金属板１１１と、金属板１１１上に形成されたＡｕ層１１２と、Ａｕ層１１２上に形成された絶縁樹脂層１１３と、絶縁樹脂層１１３上に形成された第１配線部１１４及び第２配線部１１５と、を備えるのが好ましい。金属板１１１は、Ｃｕ板により構成してあるが、これに限らず、例えば、Ａｌ板により構成してもよい。発光装置１ａと配線基板１０ａとを備えた紫外線ＬＥＤモジュールでは、第１外部接続電極２４がはんだからなる第５接合部１０４により第１配線部１１４と接合され電気的に接続されている。また、紫外線ＬＥＤモジュールでは、第２外部接続電極２５がはんだからなる第６接合部１０５により第２配線部１１５と接合され電気的に接続されている。要するに、紫外線ＬＥＤモジュールでは、発光装置１ａが配線基板１０ａに２次実装されている。発光装置１ａは、第１接合部６１、第２接合部６２及び第３接合部６３の各々がＡｕＳｎにより形成されているので、ＡｕＳｎ以外の鉛フリーはんだの一種であるＳｎＣｕＡｇにより形成されている場合に比べて、耐熱性の向上が可能となる。これにより、発光装置１ａは、例えば、配線基板１０ａ等に２次実装する際に第１接合部６１、第２接合部６２及び第３接合部６３が再溶融するのを抑制することが可能となる。紫外線ＬＥＤモジュールでは、平面視において配線基板１０ａが発光装置１ａよりも大きいのが好ましい。これにより、紫外線ＬＥＤモジュールは、放熱性を、より向上させることが可能となる。
　配線基板１０ａは、第１配線部１１４及び第２配線部１１５の各々において発光装置１ａに重ならない領域を覆うレジスト層１１６を備えているのが好ましい。レジスト層１１６の材料としては、例えば、白色レジストを採用することができる。白色レジストとしては、例えば、白色顔料を含有した樹脂を挙げることができる。白色顔料としては、例えば、硫酸バリウム（ＢａＳＯ４）、二酸化チタン（ＴｉＯ２）等が挙げられる。樹脂としては、例えば、シリコーン樹脂等が挙げられる。白色レジストとしては、例えば、株式会社朝日ラバーのシリコーン製の白色レジスト材である“ASA COLOR（登録商標） RESIST INK”等を採用することができる。レジスト層１１６は、例えば、塗布法により形成することができる。
　第１外部接続電極２４及び第２外部接続電極２５の各々は、例えば、Ｔｉ膜とＰｔ膜とＡｕ膜との積層膜により構成することができる。第１導体部２１及び第２導体部２２の各々は、例えば、Ａｌ膜とＮｉ膜とＰｄ膜とＡｕ膜との積層膜、Ｎｉ膜とＡｕ膜との積層膜、Ｃｕ膜とＮｉ膜とＡｕ膜との積層膜等により構成してもよい。第１導体部２１及び第２導体部２２の各々は、積層膜により構成する場合、支持体２０ａから最も離れた最上層がＡｕにより形成され、支持体２０ａに最も近い最下層が支持体２０ａとの密着性の高い材料により形成されているのが好ましい。第１外部接続電極２４及び第２外部接続電極２５は、積層膜に限らず、単層膜により構成してもよい。
　第１貫通配線２６及び第２貫通配線２７は、例えば、Ｗ、Ｃｕ等により形成することができる。第１貫通配線２６及び第２貫通配線２７は、紫外線発光素子３の厚さ方向において紫外線発光素子３に重ならないように配置されているのが好ましい。
　支持体２０ａは、ＡｌＮセラミックにより形成されているのが好ましい。これにより、発光装置１ａは、支持体２０ａが樹脂基板により構成されている場合に比べて、紫外線発光素子３で発生した熱を支持体２０ａから効率良く放熱させることが可能となる。よって、発光装置１ａは、放熱性を向上させることが可能となる。ＡｌＮセラミックは、電気絶縁性を有するが、熱伝導率が比較的高く、Ｓｉよりも熱伝導率が高い。
　紫外線発光素子３は、紫外線ＬＥＤチップである。紫外線発光素子３のチップサイズ（chip size）は、４００μｍ□（４００μｍ×４００μｍ）に設定してあるが、これに限らない。紫外線発光素子３のチップサイズは、例えば、２００μｍ□（２００μｍ×２００μｍ）～１ｍｍ□（１ｍｍ×１ｍｍ）程度の範囲で適宜設定することができる。また、紫外線発光素子３の平面形状は、正方形状に限らず、例えば、長方形状等でもよい。
　紫外線発光素子３は、実装基板２ａにフリップチップ実装されている。
　紫外線発光素子３は、図６に示すように、基板３０を備え、基板３０の第１面３０１側において、第１面３０１に近い側から順に、第１導電型半導体層３３、第２導電型半導体層３５が形成されている。要するに、紫外線発光素子３は、第１導電型半導体層３３及び第２導電型半導体層３５を有する半導体多層膜３９を備えている。紫外線発光素子３は、第１導電型半導体層３３がｎ型半導体層により構成され、第２導電型半導体層３５がｐ型半導体層により構成されている。紫外線発光素子３は、第１導電型半導体層３３がｐ型半導体層により構成され、第２導電型半導体層３５がｎ型半導体層により構成されていてもよい。
　基板３０は、半導体多層膜３９を支持する機能を備える。半導体多層膜３９は、例えば、エピタキシャル成長法により形成することができる。エピタキシャル成長法は、例えば、ＭＯＶＰＥ（metal organic vapor phase epitaxy）法、ＨＶＰＥ（hydride vapor phase epitaxy）法、ＭＢＥ（molecular beam epitaxy）法等の結晶成長法を採用できる。なお、半導体多層膜３９は、この半導体多層膜３９を形成する際に不可避的に混入される水素、炭素、酸素、シリコン、鉄等の不純物が存在してもよい。基板３０は、半導体多層膜３９を形成する際の結晶成長用基板により構成することができる。
　紫外線発光素子３は、ＡｌＧａＮ系紫外線ＬＥＤチップにより構成する場合、基板３０がサファイア基板により構成されているのが好ましい。基板３０は、半導体多層膜３９から放射される紫外線を効率良く透過できる材料により形成された基板であればよく、サファイア基板に限らず、例えば、単結晶ＡｌＮ基板等を採用することもできる。基板３０は、半導体多層膜３９から放射される紫外線に対して透明であるのが好ましい。紫外線発光素子３は、基板３０の第１面３０１とは反対の第２面３０２が光取り出し面を構成しているのが好ましい。紫外線発光素子３は、半導体多層膜３９が、基板３０と第１導電型半導体層３３との間にバッファ層（buffer layer）を備えているのが好ましい。バッファ層は、例えば、ＡｌＮ層により構成されているのが好ましい。
　半導体多層膜３９が、第１導電型半導体層３３と第２導電型半導体層３５との間に発光層３４を備えているのが好ましい。この場合、半導体多層膜３９から放射される紫外線は、発光層３４から放射される紫外線であり、発光層３４の材料により発光ピーク波長が規定される。紫外線発光素子３は、発光層３４が、単一量子井戸構造、多重量子井戸構造等を有するのが好ましいが、これに限らない。例えば、紫外線発光素子３は、第１導電型半導体層３３と発光層３４と第２導電型半導体層３５とでダブルヘテロ構造（double heterostructure）を構成するようにしてもよい。
　第１導電型半導体層３３は、例えば、ｎ型ＡｌＧａＮ層により構成することができる。第１導電型半導体層３３は、単層構造に限らず多層構造でもよい。
　第２導電型半導体層３５は、単層構造に限らず、多層構造でもよい。第２導電型半導体層３５は、例えば、ｐ型電子ブロック層とｐ型半導体層とｐ型コンタクト層とで構成される多層構造とすることができる。この場合、ｐ型半導体層は、発光層３４へ正孔を輸送するための層である。ｐ型電子ブロック層は、発光層３４で正孔と再結合されなかった電子がｐ型半導体層側へ漏れる（オーバーフローする）のを抑制するための層である。ｐ型電子ブロック層は、ｐ型半導体層及び発光層３４よりもバンドギャップエネルギが高くなるように組成を設定するのが好ましい。ｐ型コンタクト層は、第２電極３２との接触抵抗を下げ、第２電極３２との良好なオーミック接触を得るために設ける層である。ｐ型電子ブロック層及びｐ型半導体層は、例えば、互いに組成の異なるＡｌＧａＮ層により構成することができる。また、ｐ型コンタクト層は、例えば、ｐ型ＧａＮ層により構成することができる。
　紫外線発光素子３は、半導体多層膜３９の一部を、半導体多層膜３９の表面３９１側から第１導電型半導体層３３の途中までエッチングすることで除去してある。要するに、紫外線発光素子３は、半導体多層膜３９の一部をエッチングすることで形成されたメサ構造（mesa structure）３７を有している。これにより、紫外線発光素子３は、第２導電型半導体層３５の表面３５１と第１導電型半導体層３３の表面３３１との間に段差が形成されている。紫外線発光素子３は、第１導電型半導体層３３の露出した表面３３１上に第１電極３１が形成され、第２導電型半導体層３５の表面３５１上に第２電極３２が形成されている。紫外線発光素子３は、第１導電型半導体層３３の導電型（第１導電型）がｎ型であり、第２導電型半導体層３５の導電型（第２導電型）がｐ型である場合、第１電極３１、第２電極３２が、負電極、正電極を、それぞれ構成する。また、紫外線発光素子３は、第１導電型がｐ型であり、第２導電型がｎ型である場合、第１電極３１、第２電極３２が、正電極、負電極を、それぞれ構成する。
　紫外線発光素子３は、第２導電型半導体層３５の表面３５１の面積が、第１導電型半導体層３３の露出させた表面３３１の面積よりも大きいほうが好ましい。これにより、紫外線発光素子３は、第２導電型半導体層３５と第１導電型半導体層３３とが互いの厚さ方向において重なる領域を広くすることが可能となり、発光効率の向上を図ることが可能となる。
　発光装置１ａは、紫外線発光素子３が突起構造部３６を備えるのが好ましい。突起構造部３６は、紫外線発光素子３の第２導電型半導体層３５の表面３５１側から第２導体部２２の表面２１２側へ突出して第２導体部２２の表面２１２に接するのが好ましい。また、突起構造部３６は、第２電極３２の外周に沿って位置するのが好ましい。そして、第２接合部６２は、図１に示すように、第２電極３２と突起構造部３６と第２導体部２２とで囲まれた空間９（図１参照）を満たすように形成されているのが好ましい。突起構造部３６は、平面視において、第２電極３２の外周に沿って配置され、第２接合部６２を囲んでいる。実装基板２ａは、平面視において突起構造部３６が重なる部分が、第２導体部２２において第２接合部６２と接合される部位と同じ高さ又はそれより低い高さとなっているのが好ましい。これにより、発光装置１ａは、第１接合部６１及び第２接合部６２それぞれをより薄くすることが可能となり、かつ、第１接合部６１及び第２接合部６２それぞれと第１導体部２１及び第２導体部２２それぞれとの接合面積をより大きくすることが可能となる。よって、発光装置１ａは、紫外線発光素子３と実装基板２ａとの間の熱抵抗の低減を図ることが可能となる。更に、発光装置１ａは、突起構造部３６による第２接合部６２の厚さ管理が可能なため、第２接合部６２の厚さ及びサイズの精度を高めることが可能となり、熱抵抗の低減及び熱抵抗のばらつきを小さくすることが可能となる。「突起構造部３６による第２接合部６２の厚さ管理が可能」とは、紫外線発光素子３の厚さ方向に沿った突起構造部３６の突出量Ｈ１（図６参照）により、第２接合部６２の厚さを規定できることを意味する。したがって、発光装置１ａは、その製品ごとの熱抵抗のばらつきを小さくすることが可能となる。これにより、発光装置１ａは、放熱性の向上及び信頼性の向上を図ることが可能となる。「突起構造部３６は、平面視において」とは、紫外線発光素子３の厚さ方向に沿った突起構造部３６の厚さ方向から突起構造部３６を見た形状において、を意味する。
　紫外線発光素子３は、突起構造部３６が、第２電極３２の外周に沿って形成され、第２導電型半導体層３５の表面３５１側で突出しているのが好ましい。
　紫外線発光素子３は、第２電極３２が第１電極３１よりも大きく、突起構造部３６が、第２電極３２の外周の全周に亘って形成されていることが好ましい。これにより、発光装置１ａは、製造時に、第２接合部６２を形成するＡｕＳｎによる第２電極３２と第１電極３１との短絡が発生するのを、より抑制することが可能となる。しかも、発光装置１ａは、紫外線発光素子３を実装基板２ａに実装するときに、第２接合部６２の形状の再現性を高めることが可能となり、熱抵抗のばらつきを低減することが可能となる。また、発光装置１ａは、第１接合部６１の厚さの影響を受けずに、突起構造部３６による第２接合部６２の厚さ管理が可能である。よって、発光装置１ａは、放熱面積の大きい第２電極３２と第２導体部２２とを接合する第２接合部６２の厚さ及びサイズの精度を高めることが可能となる。これにより、発光装置１ａは、熱抵抗の低減及び熱抵抗のばらつきの低減を図ることが可能となる。
　突起構造部３６は、第２電極３２の外周に沿って形成され幅Ｗ１（図６参照）が一定であるのが好ましい。これにより、発光装置１ａは、第２電極３２と第２導電型半導体層３５との接触面積を大きくしつつ、第２電極３２と第１電極３１とのはんだによる短絡の発生を抑制することが可能となる。突起構造部３６の幅Ｗ１は、例えば、５μｍ～１０μｍ程度の範囲で設定するのが好ましい。
　紫外線発光素子３は、第２電極３２が、第２導電型半導体層３５の表面３５１の略全面を覆うように形成されているのが好ましい。「第２導電型半導体層３５の表面３５１の略全面」とは、表面３５１の全面に限らない。例えば、紫外線発光素子３が後述の絶縁膜３８を備え、第２導電型半導体層３５の表面３５１の外周部が絶縁膜３８により覆われている場合、「第２導電型半導体層３５の表面３５１の略全面」とは、第２導電型半導体層３５の表面３５１のうち絶縁膜３８により覆われていない部位を意味する。要するに、紫外線発光素子３は、第２電極３２が、第２導電型半導体層３５の表面３５１を面状に覆うように形成されているのが好ましい。これにより、発光装置１ａは、放熱性を向上させることが可能となる。
　実装基板２ａは、第１導体部２１及び第２導体部２２の厚さが、第２電極３２と第２導体部２２との間隔よりも大きいことが好ましい。「第２電極３２と第２導体部２２との間隔」とは、第２電極３２の表面３２１（図６参照）の中央部と第２導体部２２の表面２１２との間隔を意味する。第２電極３２と第２導体部２２との間隔は、突起構造部３６の突出量Ｈ１により決めることができる。言い換えれば、第２電極３２と第２導体部２２との間隔は、突起構造部３６の突出量Ｈ１（図６参照）と略同じである。
　よって、発光装置１ａは、製造時に、溶融したＡｕＳｎの一部が空間９からはみ出した場合でも、はみ出したＡｕＳｎの流速を溝２０３で低下させることが可能となる。また、発光装置１ａは、製造時に、第２導体部２２の側面が、はみ出したＡｕＳｎを支持体２０ａの表面２０１側へ向かって誘導するはんだ誘導部として機能することが可能となる。これにより、発光装置１ａは、空間９からはみだしたＡｕＳｎによる第２電極３２と第１電極３１との短絡の発生を抑制することが可能となる。なお、支持体２０ａの表面２０１は、第１導体部２１及び第２導体部２２の各側面よりもはんだ濡れ性が低いのが好ましい。
　紫外線発光素子３は、絶縁膜３８を備えているのが好ましい。絶縁膜３８は、第２電極３２における第２導電型半導体層３５との接触領域を囲むように第２導電型半導体層３５の表面３５１上に形成されているのが好ましい。また、紫外線発光素子３は、第２電極３２が第２導電型半導体層３５の表面３５１と絶縁膜３８の表面とに跨って形成され、第２電極３２のうち中央部よりも第２導電型半導体層３５から離れる向きに突出した外周部が、突起構造部３６を兼ねているのが好ましい。これにより、発光装置１ａは、第２電極３２と第２導体部２２との接合面積を増加させることが可能となり、放熱性の向上及び接触抵抗の低抵抗化を図ることが可能となる。
　絶縁膜３８の材料としては、ＳｉＯ2を採用している。よって、絶縁膜３８は、シリコン酸化膜である。絶縁膜３８は、電気絶縁膜であればよい。したがって、絶縁膜３８の材料は、電気絶縁性を有する材料であればよく、ＳｉＯ2に限らず、例えば、Ｓｉ3Ｎ4、Ａｌ2Ｏ3、ＴｉＯ2、Ｔａ2Ｏ5、ＺｒＯ2、Ｙ2Ｏ3、ＣｅＯ2、Ｎｂ2Ｏ5等を採用することができる。絶縁膜３８は、半導体多層膜３９の機能を保護するためのパッシベーション膜（passivation film）としての機能を備えることが好ましく、その材料として、ＳｉＯ2やＳｉ3Ｎ4が好ましい。これにより、発光装置１ａは、信頼性を向上させることが可能となる。絶縁膜３８の厚さは、一例として、１μｍに設定してある。絶縁膜３８は、例えば、ＣＶＤ（chemical vapor deposition）法、蒸着法、スパッタ法等により形成することができる。絶縁膜３８は、単層膜に限らず、多層膜により構成してもよい。絶縁膜３８として設ける多層膜は、半導体多層膜３９で発生した光を反射させるための誘電体多層膜により構成してもよい。
　絶縁膜３８は、メサ構造３７の表面３７１とメサ構造３７の側面３７２と第１導電型半導体層３３の表面３３１とに跨って形成されているのが好ましい。メサ構造３７の表面３７１は、第２導電型半導体層３５の表面３５１である。絶縁膜３８のうち第１導電型半導体層３３の表面３３１上に形成される部位は、第１電極３１における第１導電型半導体層３３との接触領域を囲むようなパターンに形成されているのが好ましい。
　第１電極３１は、第１オーミック電極層３１Ａと、第１パッド電極層３１Ｂと、を備えているのが好ましい。
　第１オーミック電極層３１Ａは、第１導電型半導体層３３とオーミック接触を得るために、第１導電型半導体層３３の表面３３１上に形成されている。第１パッド電極層３１Ｂは、第１接合部６１を介して実装基板２ａと接合するために、第１オーミック電極層３１Ａを覆うように形成されている。第１オーミック電極層３１Ａは、例えば、Ａｌ膜とＮｉ膜とＡｌ膜とＮｉ膜とＡｕ膜との第１積層膜を第１導電型半導体層３３の表面３３１上に形成してから、アニール処理を行い、徐冷を行うことにより形成することができる。これにより、第１オーミック電極層３１Ａは、ＮｉとＡｌとを主成分とする凝固組織により構成されている。凝固組織とは、溶融金属が変態する結果生成した結晶組織を意味する。ＮｉとＡｉとを主成分とする凝固組織は、例えば、不純物としてＡｕ、Ｎを含んでいてもよい。第１積層膜は、一例として、Ａｌ膜、Ｎｉ膜、Ａｌ膜、Ｎｉ膜及びＡｕ膜の厚さを、それぞれ、１０～２００ｎｍの範囲で設定している。第１オーミック電極層３１Ａは、ＮｉとＡｌとを主成分とした構成に限らず、例えば、Ｔｉ等を成分とする別の材料により形成してもよい。
　第１パッド電極層３１Ｂは、例えば、Ｔｉ膜とＡｕ膜との積層膜により構成することができる。第１パッド電極層３１Ｂは、最表面側がＡｕ膜であれば、他の積層膜を採用することもできる。言い換えれば、第１電極３１は、最表面がＡｕ膜の表面により構成されている第１パッド電極層３１Ｂを備えるのが好ましい。第１パッド電極層３１Ｂは、例えば、蒸着法等により形成することができる。第１パッド電極層３１Ｂは、Ａｕ膜の単層構造に限らず、例えば、Ｔｉ膜とＡｕ膜との積層膜により構成してもよい。また、紫外線発光素子３は、例えば、第１オーミック電極層３１Ａのみにより第１電極３１全体の形状を構成してもよいし、第１オーミック電極層３１Ａと第１パッド電極層３１Ｂとの間に別の電極層を備えた構成でもよい。
　第２電極３２は、第２オーミック電極層３２Ａと、第２パッド電極層３２Ｂと、を備えているのが好ましい。
　第２オーミック電極層３２Ａは、第２導電型半導体層３５とオーミック接触を得るために、第２導電型半導体層３５の表面３５１上に形成されている。第２パッド電極層３２Ｂは、第２接合部６２を介して実装基板２ａと接合するために、第２オーミック電極層３２Ａを覆うように形成されている。第２オーミック電極層３２Ａは、例えば、Ｎｉ膜とＡｕ膜との第２積層膜を第２導電型半導体層３５の表面３５１上に形成してから、アニール処理を行うことにより形成することができる。
　第２パッド電極層３２Ｂは、例えば、Ｔｉ膜とＡｕ膜との積層膜により構成することができる。第２パッド電極層３２Ｂは、最表面側がＡｕ膜であれば、他の積層膜を採用することもできる。言い換えれば、第２電極３２は、最表面がＡｕ膜の表面により構成されている第２パッド電極層３２Ｂを備えるのが好ましい。第２パッド電極層３２Ｂは、例えば、蒸着法等により形成することができる。第２パッド電極層３２Ｂは、Ａｕ膜の単層構造に限らず、例えば、Ｔｉ膜とＡｕ膜との積層膜により構成してもよい。また、紫外線発光素子３は、例えば、第２オーミック電極層３２Ａのみにより第２電極３２全体の形状を構成してもよいし、第２オーミック電極層３２Ａと第２パッド電極層３２Ｂとの間に別の電極層を備えた構成でもよい。
　第２パッド電極層３２Ｂは、第２オーミック電極層３２Ａの表面と絶縁膜３８の表面とに跨って形成されているのが好ましい。そして、発光装置１ａは、第２電極３２のうち中央部よりも第２導電型半導体層３５から離れる向きに突出した外周部が、突起構造部３６を兼ねているのが好ましい。これにより、発光装置１ａは、紫外線発光素子３と実装基板２ａとの接合面積を増加させることが可能となって熱抵抗の低減を図れ、しかも、紫外線発光素子３の半導体多層膜３９で発生した熱が突起構造部３６を通して実装基板２ａ側へ伝わりやすくなる。よって、発光装置１ａは、放熱性を向上させることが可能となる。
　発光装置１ａは、例えば、殺菌、医療、環境汚染物質を高速で処理する用途等の分野で利用する場合、紫外線発光素子３が、２１０ｎｍ～２８０ｎｍの波長域に発光ピーク波長を有するのが好ましい。つまり、紫外線発光素子３は、ＵＶ－Ｃの波長域に発光ピーク波長を有する紫外線を放射するように構成されているのが好ましい。これにより、発光装置１ａは、例えば、殺菌の用途に好適に用いることが可能となる。「ＵＶ－Ｃの波長域」とは、例えば国際照明委員会（ＣＩＥ）における紫外線の波長による分類によれば、１００ｎｍ～２８０ｎｍである。発光装置１ａは、殺菌の用途で利用する場合、紫外線発光素子３が、２４０ｎｍ～２８０ｎｍの波長域に発光ピーク波長を有するのが、より好ましい。ＪＩＳ　Ｚ８８１１－１９６８では、「殺菌紫外線」は、紫外線のうち波長２６０ｎｍ付近に最大殺菌効果を有する殺菌効果曲線の示す波長領域内のものと規定されている。図９は、上述の殺菌効果曲線を書き直した図である。図９は、横軸が波長、縦軸が殺菌効果相対値である。「殺菌効果曲線」は、参考文献１〔M.Luckiesh:Applications of Germicidal, Erythemal, and Infrared Energy (1946),p.115〕のデータに基づく曲線である。殺菌効果曲線を参照すれば、発光装置１ａでは、紫外線発光素子３から放射する紫外線の波長が２４０ｎｍ～２８０ｎｍの範囲内であれば、殺菌効果相対値が６０％以上となり、比較的高い殺菌効果が得られると推考される。紫外線発光素子３は、一例として、発光ピーク波長を２６５ｎｍに設定してある。
　スペーサ４の高さは、紫外線発光素子３の厚さよりも大きい。これにより、発光装置１ａは、紫外線発光素子３がカバー５に接触するのを抑制することが可能となる。スペーサ４は、平面視における外周形状が矩形状であるのが好ましい。スペーサ４は、平面視において実装基板２ａよりも小さいのが好ましい。より詳細には、スペーサ４の平面視における外周形状は、実装基板２ａの平面視における外周形状よりも小さいのが好ましい。更に言えば、スペーサ４の平面視における外周線は、実装基板２ａの平面視における外周線よりも内側にあるのが好ましい。これにより、発光装置１ａは、製造時にスペーサ４が実装基板２ａからはみ出すのを抑制することが可能となる。
　貫通孔４１は、スペーサ本体４０に形成されている。貫通孔４１は、実装基板２ａから離れるにつれて開口面積が漸次増加しているのが好ましい。要するに、スペーサ４の貫通孔４１は、実装基板２ａの厚さ方向に沿った方向において実装基板２ａから離れるにつれて開口面積が徐々に大きくなっている。これにより、発光装置１ａでは、スペーサ４を、紫外線発光素子３から側方へ放射された紫外線をカバー５側へ反射するリフレクタとして機能させることが可能となる。スペーサ本体４０は、上述のようにＳｉにより形成されている。Ｓｉ基板は、例えば、入射角が５°～５５°の場合、波長２６０ｎｍ～２８０ｎｍの紫外線に対する反射率が７０％よりも高い。よって、スペーサ４は、貫通孔４１の内側面（凹部６６３の内側面６６５）にＡｌ膜等の反射膜を形成しなくても比較的高い反射率を有するリフレクタを構成することができる。これにより、発光装置１ａは、低コスト化及び高出力化を図ることが可能となる。
　スペーサ４の貫通孔４１は、四角錐台状のテーパ孔であるのが好ましい。より詳細には、スペーサ本体４０は、表面４０１が（１００）面の単結晶Ｓｉ基板４００から形成されているのが好ましい。スペーサ４は、貫通孔４１の内側面が｛１１１｝面に沿った面であるのが好ましい一態様である。要するに、スペーサ４は、貫通孔４１の内側面を構成する結晶面が｛１１１｝面であるのが好ましい一態様である。これにより、発光装置１ａでは、単結晶Ｓｉ基板４００の裏面４０２と貫通孔４１の内側面とのなす角度θを略５５°（理論的には、５４．７°）とすることが可能となる。このような貫通孔４１は、アルカリ系溶液を用いたエッチングにより、容易に形成することができる。要するに、貫通孔４１は、結晶異方性エッチングにより形成することができる。アルカリ系溶液としては、例えば、ＴＭＡＨ（tetramethylammonium hydroxide）水溶液を用いることができる。アルカリ系溶液は、ＴＭＡＨ水溶液に限らず、例えば、８５℃程度に加熱したＴＭＡＨ溶液、ＫＯＨ水溶液、エチレンジアミンピロカテコール等を用いてもよい。貫通孔４１の形成時のエッチングは、２段階に分けて行ってもよい。例えば、貫通孔４１の形成時には、ＫＯＨ水溶液により、単結晶Ｓｉ基板４００の表面４０１から単結晶Ｓｉ基板４００の厚さ方向の途中までエッチングし、その後、ＴＭＡＨ水溶液により、単結晶Ｓｉ基板４００の裏面４０２に到達するまでエッチングしてもよい。スペーサ本体４０における実装基板２ａとの対向面４２は、単結晶Ｓｉ基板４００の裏面４０２により構成される。スペーサ本体４０は、スペーサ本体４０における実装基板２ａとの対向面４２と第２接合用金属層４３との間に、シリコン酸化膜４４が形成されている。第２接合用金属層４３は、例えば、下地膜４３１とＡｕ膜４３２との積層膜により構成されているのが好ましい。下地膜４３１の材料としては、例えば、Ａｌ等を採用することができる。
　スペーサ４は、貫通孔４１の内側面が、｛１１１｝面に沿って形成されたシリコン酸化膜の表面により構成されていてもよい。これにより、発光装置１ａでは、貫通孔４１の内側面を構成する結晶面である｛１１１｝面がシリコン酸化膜により覆われているので、製造歩留りを向上させることが可能となり、また、紫外線出力の経時変化を抑制することが可能となる。シリコン酸化膜は、例えば、自然酸化膜により形成してもよいし、熱酸化膜により形成してもよい。
　発光装置１ａでは、カバー５を形成するガラスが、アルカリ成分を含んでおり、スペーサ４とカバー５とが直接接合されているのが好ましい一態様である。発光装置１ａでは、カバー５を形成するガラスが、アルカリ成分を含んでいることにより、カバー５とスペーサ４とを陽極接合によって直接接合することが可能となり、製造コストの低コスト化を図ることが可能となる。アルカリ成分としては、例えば、Ｎａ、Ｋ、Ｎａ3Ｏ、Ｋ2Ｏ等がある。「直接接合されている」とは、接合材等を用いることなく接合されていることを意味する。
　カバー５を形成するガラスとしては、紫外線発光素子３が放射する紫外線に対する透過率が７０％以上であるのが好ましく、８０％以上であるのがより好ましい。紫外線発光素子３がＵＶ－Ｃの波長域に発光ピーク波長を有する紫外線を放射する場合には、カバー５を形成するガラスとして、例えば、硼珪酸ガラスを採用することができる。硼珪酸ガラスは、アルカリ成分を含んでいる。硼珪酸ガラスとしては、例えば、ＳＣＨＯＴＴ社製の８３４７、ＳＣＨＯＴＴ社製の８３３７Ｂ、等を採用することにより、波長が２６５ｎｍの紫外線に対する透過率を８０％以上とすることができる。
　発光装置１ａは、カバー５とスペーサ本体４０との線膨張係数差に起因してカバー５等に発生する応力を低減する観点から、カバー５とスペーサ本体４０との線膨張係数差が小さいほうが好ましい。
　カバー５は、平面視において実装基板２ａよりも小さいのが好ましい。より詳細には、カバー５は、平面視においてスペーサ４と同じ大きさであるのが好ましい。要するに、カバー５の平面視における外周形状は、スペーサ４の平面視における外周形状と同じであるのが好ましい。よって、カバー５の平面視における外周形状は、矩形状であるのが好ましい。これにより、発光装置１ａの製造方法では、キャップ６ａを形成する際に、例えば、複数のスペーサ４を形成した第１ウェハと複数のカバー５の元になる第２ウェハとをウェハレベルで接合してから、複数のキャップ６ａに分割することが可能となる。キャップ６ａは、平面視において実装基板２ａよりも小さいのが好ましい。これにより、発光装置１ａでは、製造時にキャップ６ａの位置ずれが発生した場合でもキャップ６ａが実装基板２ａからはみ出すのを抑制することが可能となる。
　カバー５は、平板状に限らず、例えば、レンズが一体に形成された形状でもよい。要するに、発光装置１ａは、カバー５の一部あるいは全部がレンズを構成してもよい。
　発光装置１ａは、実装基板２ａとスペーサ４とカバー５とで囲まれた空間８を不活性ガス雰囲気としてあるのが好ましい。言い換えれば、発光装置１ａは、実装基板２ａとキャップ６ａとで囲まれた空間を不活性ガス雰囲気としてあるのが好ましい。これにより、発光装置１ａは、紫外線発光素子３、第１導体部２１及び第２導体部２２等の酸化を抑制することが可能となり、信頼性の更なる向上を図ることが可能となる。
　不活性ガス雰囲気は、Ｎ2ガス雰囲気であるのが好ましい。不活性ガス雰囲気は、不活性ガスの純度が高いのが好ましいが、１００％の純度を必須としない。例えば、不活性ガス雰囲気は、不活性ガスとしてＮ2ガスを採用する場合、例えば、不可避的に混入される１００～２００ｐｐｍ程度のＯ2を含んでいてもよい。不活性ガスは、Ｎ2ガスに限らず、例えば、Ａｒガス、Ｎ2ガスとＡｒガスとの混合ガス等でもよい。
　発光装置１ａは、第１導体部２１、第２導体部２２及び第１接合用金属層２３と、第１接合部６１、第２接合部６２及び第３接合部６３との間にそれぞれ、第１バリア層８１、第２バリア層８２及び第３バリア層８３が形成されているのが好ましい。第１バリア層８１と第２バリア層８２と第３バリア層８３とは同じ材料でかつ、同じ厚さで形成されているのが好ましい。これにより、発光装置１ａでは、製造時に、第１導体部２１、第２導体部２２及び第１接合用金属層２３と、第１接合部６１、第２接合部６２及び第３接合部６３との間それぞれでの金属の拡散を抑制することが可能となる。また、発光装置１ａでは、製造時に、第１バリア層８１と第２バリア層８２と第３バリア層８３とでそれぞれのバリア性を略同じとすることが可能となる。よって、発光装置１ａでは、製造時に、実装基板２ａに対する紫外線発光素子３及びキャップ６ａの接合性を向上させることが可能となる。
　発光装置１ａは、第１電極３１が、最表面がＡｕ膜の表面により構成されている第１パッド電極層３１Ｂを備え、第２電極３２が、最表面がＡｕ膜の表面により構成されている第２パッド電極層３２Ｂを備え、第２接合用金属層４３が、下地膜とＡｕ膜との積層膜により構成されているのが好ましい。これにより、発光装置１ａでは、製造時に、実装基板２ａに対する紫外線発光素子３及びキャップ６ａの接合性を向上させることが可能となる。
　以下では、発光装置１ａの製造方法について図７及び８に基づいて説明する。
　発光装置１ａの製造方法では、例えば、下記の第１工程、第２工程、第３工程及び第４工程を順次行う。
　第１工程では、単結晶Ｓｉ基板４００の裏面４０２上にシリコン酸化膜４４と第２接合用金属層４３との積層構造を形成し、その後、単結晶Ｓｉ基板４００の貫通孔４１の形成予定領域をエッチングし貫通孔４１を形成することでスペーサ４を形成する（図７Ａ）。シリコン酸化膜４４は、薄膜形成技術、フォトリソグラフィ技術及びエッチング技術等を利用して形成することができる。また、第２接合用金属層４３は、薄膜形成技術、フォトリソグラフィ技術及びエッチング技術等を利用して形成することができる。貫通孔４１を形成する際には、単結晶Ｓｉ基板４００の表面４０１及び裏面４０２側それぞれに適宜のエッチングマスクを形成した後に、単結晶Ｓｉ基板４００の表面４０１からＴＭＡＨ水溶液によるエッチングを行う。
　第２工程では、スペーサ４とカバー５とを接合することでキャップ６ａを形成する（図７Ｂ）。より詳細には、スペーサ４とカバー５とを陽極接合により直接接合することによってキャップ６ａを形成する。陽極接合を行う際には、例えば、真空雰囲気中において、スペーサ本体４０における貫通孔４１の周部とカバー５の周部とを直接接触させ、スペーサ４とカバー５との積層体に対し、スペーサ４を高電位側、カバー５を低電位側として、所定の直流電圧を印加する。所定の直流電圧は、例えば、６００Ｖである。陽極接合を行う際には、例えば、スペーサ４とカバー５との積層体を所定の接合温度に加熱した状態で、所定の直流電圧を所定の時間だけ印加した後に、積層体の温度を降温させる。接合温度は、例えば、４００℃である。
　上述の第１工程及び第２工程は、ウェハレベルで行うことが好ましい。より詳細には、第１工程では、単結晶Ｓｉ基板４００の元になる第１ウェハに複数のスペーサ４を形成するのが好ましい。第２工程では、キャップ６ａを形成する際に、例えば、複数のスペーサ４を形成した第１ウェハと複数のカバー５の元になる第２ウェハとをウェハレベルで接合してから、複数のキャップ６ａに分割するのが好ましい。
　第３工程では、実装基板２ａに対して、第１接合部６１、第２接合部６２及び第３接合部６３それぞれの元になる第１ＡｕＳｎ層７１、第２ＡｕＳｎ層７２及び第３ＡｕＳｎ層７３を形成する（図７Ｃ）。より詳細には、第３工程では、実装基板２ａの第１導体部２１の表面２１１側、第２導体部２２の表面２１２側、第１接合用金属層２３の表面２３１側に、それぞれ、第１ＡｕＳｎ層７１、第２ＡｕＳｎ層７２及び第３ＡｕＳｎ層７３を形成する。第１ＡｕＳｎ層７１、第２ＡｕＳｎ層７２及び第３ＡｕＳｎ層７３は、例えば、蒸着法、めっき法等により形成することができる。
　第３工程では、第１ＡｕＳｎ層７１、第２ＡｕＳｎ層７２及び第３ＡｕＳｎ層７３の厚さを同じ値に設定してある。第１ＡｕＳｎ層７１の表面の面積は、第１電極３１の表面３１１（図６参照）の面積よりも小さく設定してある。また、第２ＡｕＳｎ層７２の表面の面積は、第２電極３２の表面３２１（図６参照）の面積よりも小さく設定してある。また、第３ＡｕＳｎ層７３の表面の面積は、第１接合用金属層２３の表面２３１（図７Ｃ、８参照）の面積よりも小さく設定してある。
　第１ＡｕＳｎ層７１及び第２ＡｕＳｎ層７２の厚さは、紫外線発光素子３の突起構造部３６の突出量Ｈ１（図６参照）と、紫外線発光素子３の厚さ方向における第２電極３２と第１電極３１との段差の高さＨ２（図６参照）と、の合計（Ｈ１＋Ｈ２）よりも所定厚さ（α）だけ大きくなるように設定する。つまり、第１ＡｕＳｎ層７１及び第２ＡｕＳｎ層７２の厚さは、Ｈ１＋Ｈ２＋αとする。例えば、Ｈ１＝１μｍ、Ｈ２＝１μｍの場合、第１ＡｕＳｎ層７１及び第２ＡｕＳｎ層７２の厚さは、３μｍ程度に設定すればよい。この場合、αは、１μｍである。これらの数値は、一例であり、紫外線発光素子３の構造等に基づいて適宜設定すればよい。第１ＡｕＳｎ層７１、第２ＡｕＳｎ層７２は、実装基板２ａのうち第１電極３１、第２電極３２それぞれに対向させる領域の中央部に形成するのが好ましい。第２ＡｕＳｎ層７２は、突起構造部３６の垂直投影領域よりも内側で、この垂直投影領域から離れて位置するように、第２導体部２２の表面２１２上に配置する。突起構造部３６の垂直投影領域とは、突起構造部３６の厚さ方向への投影領域を意味する。すなわち、突起構造部３６の垂直投影領域とは、突起構造部３６の厚さ方向に投影方向が沿った垂直投影領域を意味する。言い換えれば、突起構造部３６の垂直投影領域とは、突起構造部３６の厚さ方向に直交する面への垂直投影領域を意味する。
　第１ＡｕＳｎ層７１及び第２ＡｕＳｎ層７２は、ＡｕＳｎの場合、共晶組成（７０ａｔ％Ａｕ、３０ａｔ％Ｓｎ）よりもＡｕの組成比が小さく例えば３００℃以上４００℃未満の温度で溶融する組成（例えば、６０ａｔ％Ａｕ、４０ａｔ％Ｓｎ）のＡｕＳｎが好ましい。
　第３工程では、第１導体部２１、第２導体部２２及び第１接合用金属層２３と第１ＡｕＳｎ層７１、第２ＡｕＳｎ層７２及び第３ＡｕＳｎ層７３との間に、第１バリア層８１、第２バリア層８２及び第３バリア層８３をそれぞれ形成するのが好ましい。第１バリア層８１、第２バリア層８２及び第３バリア層８３は、第１ＡｕＳｎ層７１、第２ＡｕＳｎ層７２及び第３ＡｕＳｎ層７３と第１導体部２１、第２導体部２２及び第１接合用金属層２３との間での金属（例えば、Ｓｎ等）の拡散に起因してＡｕＳｎの組成が変動するのを抑制する拡散バリアの機能を有する層である。第１バリア層８１、第２バリア層８２及び第３バリア層８３の材料としては、例えば、Ｐｔを採用することができるが、これに限らず、Ｐｄ等を採用することもできる。第３工程では、第１バリア層８１、第２バリア層８２及び第３バリア層８３の厚さを同じ値に設定してある。第１バリア層８１、第２バリア層８２及び第３バリア層８３の厚さは、例えば、０．２μｍ程度に設定するのが好ましい。第１バリア層８１、第２バリア層８２及び第３バリア層８３は、例えば、蒸着法、めっき法等により形成することができる。
　また、第３工程では、第１ＡｕＳｎ層７１、第２ＡｕＳｎ層７２及び第３ＡｕＳｎ層７３上に、第１Ａｕ層９１、第２Ａｕ層９２及び第３Ａｕ層９３をそれぞれ形成するのが好ましい。第１Ａｕ層９１、第２Ａｕ層９２及び第３Ａｕ層９３は、第１ＡｕＳｎ層７１、第２ＡｕＳｎ層７２及び第３ＡｕＳｎ層７３のＳｎの酸化を抑制するために設ける層である。第１Ａｕ層９１、第２Ａｕ層９２及び第３Ａｕ層９３の厚さは、第１ＡｕＳｎ層７１、第２ＡｕＳｎ層７２及び第３ＡｕＳｎ層７３の厚さに比べて十分に薄いのが好ましく、例えば、０．１５μｍ以下が好ましい。第１Ａｕ層９１、第２Ａｕ層９２及び第３Ａｕ層９３の厚さは、第１ＡｕＳｎ層７１、第２ＡｕＳｎ層７２及び第３ＡｕＳｎ層７３が溶融したときに、第１ＡｕＳｎ層７１、第２ＡｕＳｎ層７２及び第３ＡｕＳｎ層７３へＡｕが熱拡散され、第１導体部２１、第２導体部２２及び第１接合用金属層２３と第１電極３１、第２電極３２及び第２接合用金属層４３との接合が行われるように設定する必要がある。第１Ａｕ層９１、第２Ａｕ層９２及び第３Ａｕ層９３の厚さは、例えば、０．０５μｍ～０．１５μｍ程度の範囲で設定するのが好ましい。第１Ａｕ層９１、第２Ａｕ層９２及び第３Ａｕ層９３は、例えば、蒸着法やめっき法等により形成することができる。以下では、第１バリア層８１と第１ＡｕＳｎ層７１と第１Ａｕ層９１との積層膜を第１接合用層１０１と称し、第２バリア層８２と第２ＡｕＳｎ層７２と第２Ａｕ層９２との積層膜を第２接合用層１０２と称する。また、以下では、第３バリア層８３と第３ＡｕＳｎ層７３と第３Ａｕ層９３との積層膜を第３接合用層１０３と称する。第１接合用層１０１は、少なくとも第１ＡｕＳｎ層７１を備えていればよく、積層膜に限らず、単層膜でもよい。第２接合用層１０２は、少なくとも第２ＡｕＳｎ層７２を備えていればよく、積層膜に限らず、単層膜でもよい。第３接合用層１０３は、少なくとも第３ＡｕＳｎ層７３を備えていればよく、積層膜に限らず、単層膜でもよい。
　第４工程では、第１ステップ、第２ステップを行うことで紫外線発光素子３を実装基板２ａに実装し（図７Ｄ）、引き続き、第３ステップ及び第４ステップを順次行うことでキャップ６ａを実装基板２ａに接合する（図７Ｅ）。これにより、発光装置１ａの製造方法では、発光装置１ａを得ることができる。第４工程では、ボンディング装置を利用する。より詳細には、第４工程では、第１ステップ、第２ステップ、第３ステップ及び第４ステップを、１台のボンディング装置で連続して行う。キャップ６ａを紫外線発光素子３とは大きさの異なるダイとみなせば、ボンディング装置は、ダイボンディング装置、フリップチップボンディング装置とみなすことができる。
　ボンディング装置は、例えば、第１吸着保持具と、第２吸着保持具と、ステージと、第１ヒータと、第２ヒータと、接合室と、を備える。第１吸着保持具は、紫外線発光素子３を吸着保持する第１コレット（collet）である。第２吸着保持具は、キャップ６ａを吸着保持する第２コレットである。ステージは、実装基板２ａが載せ置かれる。第１ヒータは、ステージに設けられ実装基板２ａを加熱できるように構成されている。第２ヒータは、第１吸着保持具と第２吸着保持具とを択一的に保持するホルダに装着されダイを加熱できるように構成されている。ボンディング装置は、ホルダが第２ヒータを備える代わりに、第１コレット及び第２コレットの各々が第２ヒータを備えた構成でもよい。ダイは、第１吸着保持具に吸着保持された紫外線発光素子３又は第２吸着保持具に吸着保持されたキャップ６ａである。ボンディング室は、ステージが収納配置されており、ステージ上の実装基板２ａに対して紫外線発光素子３及びキャップ６ａそれぞれの接合処理が行われる処理室である。ボンディング室内の雰囲気は、パッケージ７ａ内の所定の雰囲気に合わせて適宜調整すればよい。本実施形態の発光装置１ａの製造方法では、一例として、ボンディング室内の雰囲気をＮ2ガス雰囲気とする。ボンディング装置は、ボンディング室における出入口を開放しており、ボンディング室の外側から出入口を通してボンディング室内にＮ2ガスを供給した状態で、実装基板２ａ、第１吸着保持具、第２吸着保持具等を出入口から入れたり出したりするようにしている。これにより、ボンディング装置は、真空チャンバ内で接合処理を行うように構成されている場合に比べて、低コスト化を図ることが可能となる。
　第１ステップでは、図８に示すように、紫外線発光素子３と実装基板２ａとを対向させる。「紫外線発光素子３と実装基板２ａとを対向させる」とは、紫外線発光素子３の第１電極３１、第２電極３２と実装基板２ａの第１導体部２１、第２導体部２２とがそれぞれ対向するように、紫外線発光素子３と実装基板２ａとを対向させることを意味する。
　第１ステップでは、第１吸着保持具により吸着保持した紫外線発光素子３における第１電極３１、第２電極３２と実装基板２ａの第１導体部２１、第２導体部２２とを対向させる。より詳細には、第１ステップでは、第１電極３１と第１導体部２１の表面２１１上の第１ＡｕＳｎ層７１とを対向させ、かつ、第２電極３２と第２導体部２２の表面２１２上の第２ＡｕＳｎ層７２とを対向させる。
　第２ステップでは、紫外線発光素子３の第１電極３１、第２電極３２と実装基板２ａの第１導体部２１、第２導体部２２とを、それぞれ、第１ＡｕＳｎ層７１、第２ＡｕＳｎ層７２により接合する。第１接合部６１は、ＡｕＳｎのみにより形成される場合に限らず、ＡｕＳｎにより形成された部分に加えて第１バリア層８１を含んでいてもよい。また、第２接合部６２は、ＡｕＳｎのみにより形成される場合に限らず、ＡｕＳｎにより形成された部分に加えて第２バリア層８２を含んでいてもよい。
　上述の第２ステップでは、紫外線発光素子３の第１電極３１、第２電極３２と実装基板２ａ上の第１接合用層１０１、第２接合用層１０２とが接触するように重ね合わせた状態で、適宜の加熱及び加圧を行いながら第１ＡｕＳｎ層７１及び第２ＡｕＳｎ層７２を溶融させる。第１ＡｕＳｎ層７１が溶融すると、溶融したＡｕＳｎに、第１Ａｕ層９１からＡｕが拡散し、溶融したＡｕＳｎにおけるＡｕの組成比が増加する。また、第２ＡｕＳｎ層７２が溶融すると、溶融したＡｕＳｎに、第２Ａｕ層９２からＡｕが拡散し、溶融したＡｕＳｎにおけるＡｕの組成比が増加する。
　第２ステップでは、第１ＡｕＳｎ層７１及び第２ＡｕＳｎ層７２を溶融させてから、突起構造部３６が第２導体部２２に接するように、紫外線発光素子３側から加圧することで、溶融したＡｕＳｎを押し下げて横方向に広げることで空間９に溶融したＡｕＳｎを満たしてから、溶融しているＡｕＳｎを冷却凝固させる。
　第２ステップでは、第１ヒータによる実装基板２ａの加熱だけでもよいし、第２ヒータによる紫外線発光素子３の加熱を行うようにしてもよい。第２ステップでは、実装基板２ａと紫外線発光素子３との接合性を考えると、第１ヒータ及び第２ヒータ両方からの加熱を行うのが好ましい。また、第２ステップでは、適宜の荷重を印加することで加圧を行う。荷重は、例えば、１個の紫外線発光素子３に対して、０．１～１ｋｇ／ｃｍ２程度の範囲で設定するのが好ましい。また、荷重を印加する時間は、例えば、０．１～１秒程度の範囲で設定するのが好ましい。第２ステップは、Ｎ２ガス雰囲気中で行うのが好ましい。
　第１ＡｕＳｎ層７１及び第２ＡｕＳｎ層７２の溶融温度は、紫外線発光素子３の耐熱温度よりも低いのが好ましい。第１ＡｕＳｎ層７１及び第２ＡｕＳｎ層７２は、例えば、共晶組成（７０ａｔ％Ａｕ、３０ａｔ％Ｓｎ）よりもＡｕの組成比が小さく３００℃以上４００℃未満の温度で溶融する組成（例えば、６０ａｔ％Ａｕ、４０ａｔ％Ｓｎ）のＡｕＳｎが好ましい。
　ところで、第３工程で形成する第２接合用層１０２の体積は、第２接合部６２を形成するＡｕＳｎが空間９から出ないように、空間９の容積と等しくなるように設定するのが好ましい。
　第４工程の第２ステップでは、第１ＡｕＳｎ層７１及び第２ＡｕＳｎ層７２それぞれが溶融した状態で紫外線発光素子３の突起構造部３６が第２導体部２２の表面２１２に接するように、溶融したＡｕＳｎを押し下げて紫外線発光素子３と実装基板２ａとを接合する。よって、第４工程の第２ステップでは、第１電極３１と第１導体部２１とが未接合となるのを抑制することが可能となる。
　第４工程の第２ステップでは、突起構造部３６が第２導体部２２に接し、第１電極３１と第１導体部２１とが、ＡｕＳｎにより形成された第１接合部６１により接合され、第２電極３２と第２導体部２２とが、ＡｕＳｎにより形成された第２接合部６２により接合される。これにより、発光装置１ａの製造方法では、第２接合部６２が、第２電極３２と突起構造部３６と第２導体部２２とで囲まれた空間９を満たすように形成された構成、とすることが可能となる。発光装置１ａの製造方法では、第２接合用層１０２の溶融したＡｕＳｎを押し下げて横方向に広げたときに、突起構造部３６が、溶融したＡｕＳｎの、紫外線発光素子３の表面に沿った流動を抑制する。これにより、発光装置１ａの製造方法では、第１電極３１と第２電極３２とのＡｕＳｎによる短絡の発生を抑制可能となる。しかも、発光装置１ａの製造方法では、紫外線発光素子３と実装基板２ａとの間の熱抵抗の低減を図ることが可能で、かつ熱抵抗のばらつきを小さくすることが可能な発光装置１ａを製造することが可能となる。
　ところで、第４工程の第２ステップでは、突起構造部３６の先端面の全面を第２導体部２２の表面２１２と接するように荷重を印加するのが好ましい。しかしながら、第４工程の第２ステップでは、突起構造部３６の先端面の平面度と、第２導体部２２の表面２１２の平面度との違いに起因して、突起構造部３６の先端面の全面を第２導体部２２の表面２１２と接するようにするのが難しいこともある。この場合には、突起構造部３６の先端面の一部が第２導体部２２の表面２１２と接し、突起構造部３６の先端面の残りの部分と第２導体部２２の表面２１２との間に製造時に浸み込んで固まったＡｕＳｎからなる、薄いＡｕＳｎ層が残ることもある。要するに、発光装置１ａは、実装基板２ａに対する紫外線発光素子３の平行度が所望の範囲であれば、突起構造部３６が部分的に、第２導体部２２の表面２１２に接する構成でもよい。第４工程の第２ステップでは、印加する荷重をより大きくすれば、突起構造部３６の先端面の平面度と、第２導体部２２の表面２１２の平面度との差を低減可能となり、突起構造部３６と第２導体部２２との接触面積を大きくすることが可能となる。また、第４工程の第２ステップでは、突起構造部３６が例えば金属等により形成されている場合、印加する荷重を大きくすれば、突起構造部３６を圧縮するように変形させることも可能となり、突起構造部３６と第２導体部２２との接触面積を大きくすることが可能となる。
　発光装置１ａの製造方法では、上述の第３工程において、第１ＡｕＳｎ層７１、第２ＡｕＳｎ層７２上に、第１Ａｕ層９１、第２Ａｕ層９２をそれぞれ形成するのが好ましい。これにより、発光装置１ａの製造方法では、第４工程の前に第１ＡｕＳｎ層７１及び第２ＡｕＳｎ層７２のＳｎが酸化するのを抑制することが可能となり、紫外線発光素子３と実装基板２ａとの接合性を向上させることが可能となる。接合性は、例えば、ダイシェア強度（die shear strength）により評価することができる。ダイシェア強度は、実装基板２ａに接合された紫外線発光素子３を接合面に平行に押し剥がすために必要な力である。ダイシェア強度は、例えば、ダイシェアテスタ（die shear tester）等により測定することができる。
　第４工程の第３ステップでは、第２吸着保持具により吸着保持したキャップ６ａにおける第２接合用金属層４３と実装基板２ａの第１接合用金属層２３とを対向させる。より詳細には、第３ステップでは、第２接合用金属層４３と第１接合用金属層２３の表面２３１上の第３ＡｕＳｎ層７３とを対向させる。
　第４ステップでは、キャップ６ａにおける第２接合用金属層４３と実装基板２ａの第１接合用金属層２３とを、第３ＡｕＳｎ層７３により接合する。第３接合部６３は、ＡｕＳｎのみにより形成される場合に限らず、ＡｕＳｎにより形成された部分に加えて第３バリア層８３を含んでいてもよい。
　上述の第４ステップでは、キャップ６ａにおける第２接合用金属層４３と実装基板２ａ上の第３接合用層１０３とが接触するように重ね合わせた状態で、適宜の加熱及び加圧を行いながら第３ＡｕＳｎ層７３を溶融させる。第３ＡｕＳｎ層７３が溶融すると、溶融したＡｕＳｎに、第３Ａｕ層９３からＡｕが拡散し、溶融したＡｕＳｎにおけるＡｕの組成比が増加する。第４ステップでは、第３ＡｕＳｎ層７３を溶融させてから、キャップ６ａ側から加圧することで、溶融したＡｕＳｎを押し下げて横方向に広げてから、冷却凝固させる。
　第４ステップでは、第１ヒータによる実装基板２ａの加熱だけでもよいし、第２ヒータによるキャップ６ａの加熱を行うようにしてもよい。第４ステップでは、実装基板２ａとキャップ６ａとの接合性を考えると、第１ヒータ及び第２ヒータ両方からの加熱を行うのが好ましい。また、第４ステップでは、適宜の荷重を印加することで加圧を行う。荷重は、例えば、１個のキャップ６ａに対して、０．１～１ｋｇ／ｃｍ２程度の範囲で設定するのが好ましい。また、荷重を印加する時間は、例えば、０．１～１秒程度の範囲で設定するのが好ましい。第４ステップは、Ｎ２ガス雰囲気中で行うのが好ましい。
　発光装置１ａの製造方法では、第３工程において、第３接合用層１０３を実装基板２ａに形成するのが好ましい。これにより、発光装置１ａの製造方法では、第３接合用層１０３をキャップ６ａに形成する場合に比べて、製造が容易になる。
　以上説明した本実施形態の発光装置１ａの製造方法では、スペーサ４とカバー５とを接合することでキャップ６ａを形成し、その後、紫外線発光素子３の第１電極３１、第２電極３２及びキャップ６ａにおける第２接合用金属層４３と実装基板２ａの第１導体部２１、第２導体部２２及び第１接合用金属層２３とをそれぞれ第１ＡｕＳｎ層７１、第２ＡｕＳｎ層７２及び第３ＡｕＳｎ層７３により接合する。よって、本実施形態の発光装置１ａの製造方法では、信頼性の向上を図れ、かつ、低コスト化を図ることが可能となる。
　発光装置１ａの製造方法は、以下の構成を備える発光装置１ａの製造方法である。
　発光装置１ａは、実装基板２ａと、実装基板２ａに実装された紫外線発光素子３と、実装基板２ａ上に配置され紫外線発光素子３を収納する凹部６６３が形成されたキャップ６ａと、を備える。実装基板２ａは、支持体２０ａと、支持体２０ａに支持された第１導体部２１、第２導体部２２及び第１接合用金属層２３と、を備える。第１導体部２１及び第２導体部２２は、支持体２０ａの表面２０１側においてキャップ６ａの凹部６６３の内底面６６４に臨むように配置されている。キャップ６ａは、表面６６１及び裏面６６２を有し裏面６６２に凹部６６３が形成されたキャップ本体６６０と、キャップ本体６６０の裏面６６２における凹部６６３の周部で第１接合用金属層２３に対向して配置された第２接合用金属層４３と、を備える。キャップ６ａは、少なくとも、キャップ本体６６０の表面６６１と凹部６６３の内底面６６４との間の紫外線透過部６６６が、紫外線発光素子３から放射される紫外線を透過するガラスにより形成されている。紫外線発光素子３は、第１電極３１と、第２電極３２と、を備え、紫外線発光素子３の厚さ方向の一面側に第１電極３１及び第２電極３２が配置されている。
　発光装置１ａの製造方法では、キャップ６ａを形成し、その後、紫外線発光素子３の第１電極３１、第２電極３２及びキャップ６ａにおける第２接合用金属層４３と実装基板２ａの第１導体部２１、第２導体部２２及び第１接合用金属層２３とをそれぞれ第１ＡｕＳｎ層７１、第２ＡｕＳｎ層７２及び第３ＡｕＳｎ層７３により接合する。第１ＡｕＳｎ層７１、第２ＡｕＳｎ層７２及び第３ＡｕＳｎ層７３は、実装基板２ａに対して同一工程で一括形成される。よって、発光装置１ａの製造方法では、信頼性の向上を図れ、かつ、低コスト化を図ることが可能となる。発光装置１ａの製造方法では、第１ＡｕＳｎ層７１及び第２ＡｕＳｎ層７２と、第３ＡｕＳｎ層７３と、を実装基板２ａに対して同一工程で一括形成することができ、低コスト化を図ることが可能となる。
　発光装置１ａの製造方法では、紫外線発光素子３の第１電極３１及び第２電極３２と実装基板２ａの第１導体部２１及び第２導体部２２とをそれぞれ第１ＡｕＳｎ層７１及び第２ＡｕＳｎ層７２により接合する第１接合処理を行う。発光装置１ａの製造方法では、第１接合処理に引き続き、キャップ６ａの第２接合用金属層４３と実装基板２ａの第１接合用金属層２３とを第３ＡｕＳｎ層７３により接合する第２接合処理を行う。発光装置１ａの製造方法では、第１接合処理と第２接合処理とを、１台のボンディング装置のボンディング室で連続して行うのが好ましい。これにより、発光装置１ａの製造方法では、低コスト化を図ることが可能となる。
　ところで、発光装置１ａは、紫外線発光素子３に逆並列に接続されたツェナダイオードを備えているのが好ましい。これにより、発光装置１ａは、静電気耐性を向上させることが可能となる。要するに、発光装置１ａは、紫外線発光素子３が静電気によって絶縁破壊されるのを抑制することが可能となる。ツェナダイオードは、例えば、パッケージ７ａ内で実装基板２ａに実装されているのが好ましい。ツェナダイオードのチップサイズは、紫外線発光素子３のチップサイズよりも小さいのが好ましい。ツェナダイオードは、紫外線発光素子３と同様に、ＡｕＳｎにより実装基板２ａにフリップチップ実装されているのが好ましい。この場合、発光装置１ａの製造方法では、実装基板２ａとしてツェナダイオードを実装するための第３導体部及び第４導体部を備えたものを用意しておき、第３工程において第３導体部及び第４導体部それぞれの表面に、第４ＡｕＳｎ層を含む第４接合用層、第５ＡｕＳｎ層を含む第５接合用層を形成するようにし、第４工程において、第２ステップと第３ステップとの間、又は、第１ステップの前に、上述のボンディング装置を利用してツェナダイオードを実装基板２ａにフリップチップ実装すればよい。
　図１０は、第１変形例の発光装置１ｂの概略平面図である。第１変形例の発光装置１ｂは、実装基板２ａの代わりに、複数の紫外線発光素子３を実装する実装基板２ｂを備えている点が相違する。なお、発光装置１ｂにおいて、発光装置１ａと同様の構成要素については、発光装置１ａと同一の符号を付して説明を省略する。
　発光装置１ｂは、実装基板２ｂに複数の紫外線発光素子３が実装されている。複数の紫外線発光素子３は、１つの仮想円上において等間隔で配置されているのが好ましい。発光装置１ｂは、静電気耐性を向上させるためのツェナダイオードＺＤを備えているのが好ましい。ツェナダイオードＺＤは、上述の仮想円の中心に配置されているのが好ましい。
　発光装置１ｂは、発光装置１ａのパッケージ７ａの代わりに、実装基板２ｂとキャップ６ａとで構成されるパッケージ７ｂを備えている。
　発光装置１ｂは、複数の紫外線発光素子３が並列接続されているが、これに限らず、例えば、複数個の紫外線発光素子３が直列接続された構成を有してもよいし、直並列接続された構成を有してもよい。
　文献１には、スペーサがシリコン基板又は絶縁性樹脂から作られていることが記載されている。また、文献１には、キャビティ側面から十分な光反射効果を得るために、キャビティ側面にＡｇ又はＡｌからなる反射用金属膜を形成するのが好ましい旨が記載されている。
　また、発光装置としては、キャリアと、キャリアの主面上に装着された発光ダイオードであるオプトエレクトロニクス半導体チップと、キャリアに対して実装された光学部品と、を備えたオプトエレクトロニクス素子が提案されている（文献３［日本国特許出願公表番号２０１２－５１５４４１］）。キャリアは、プリント回路基板又はセラミックである。光学部品は、フレームと、ガラスプレートと、を有する。フレームは、シリコンを用いて構成されている。ガラスプレートは、オプトエレクトロニクス半導体チップから出射される放射を透過する。
　紫外線を出射する発光装置の分野においては、紫外線の高出力化が望まれている。
　上述の発光装置１ａは、見方を変えれば、下記の構成を備える。
　発光装置１ａは、実装基板２ａと、実装基板２ａに実装された紫外線発光素子３と、実装基板２ａ上に配置され紫外線発光素子３を露出させる貫通孔４１が形成されたスペーサ４と、スペーサ４の貫通孔４１を塞ぐようにスペーサ４上に配置されたカバー５と、を備える。紫外線発光素子３は、紫外波長域に発光ピーク波長を有する紫外線を放射するように構成されている。スペーサ４は、Ｓｉにより形成されたスペーサ本体４０を備える。貫通孔４１は、スペーサ本体４０に形成されている。貫通孔４１は、実装基板２ａから離れるにつれて開口面積が漸次増加している。カバー５は、紫外線発光素子３から放射される紫外線を透過するガラスにより形成されている。発光装置１ａでは、スペーサ４とカバー５とが接合されている。このような構成の発光装置１ａでは、紫外線の高出力化を図ることが可能となる。
　紫外線発光素子３は、紫外波長域に発光ピーク波長を有していればよく、ＵＶ－Ｃの波長域に限らず、ＵＶ－Ｂの波長域あるいはＵＶ－Ａの波長域に発光ピーク波長を有していてもよい。「ＵＶ－Ｂの波長域」とは、例えば国際照明委員会における紫外線の波長による分類によれば、２８０ｎｍ～３１５ｎｍである。「ＵＶ－Ａの波長域」とは、例えば国際照明委員会における紫外線の波長による分類によれば、３１５ｎｍ～４００ｎｍである。
　本願発明者らは、Ｓｉ基板を用いた評価用サンプル及びＡｌ基板それぞれについて反射率の測定を行う実験を行った。評価用サンプルは、単結晶Ｓｉ基板４００と同じ仕様のＳｉ基板の表面に厚さ１ｎｍ程度の自然酸化膜が形成されたサンプルである。反射率は、分光光度計を用いて測定した値である。より詳細には、評価用サンプルの反射率は、評価用サンプルの表面（自然酸化膜の表面）へ紫外線を所定の入射角で入射させたときの評価用サンプルからの反射光を分光光度計で分光測定した。Ａｌ基板の反射率は、Ａｌ基板の表面へ紫外線を所定の入射角で入射させたときのＡｌ基板からの反射光を分光光度計で分光測定した。
　図１１Ａ、１１Ｂ、１１Ｃ、１１Ｄ、１１Ｅ及び１１Ｆは、それぞれ、入射角５°、１５°、２５°、３５°、４５°及び５５°の場合の評価用サンプルの反射特性を示している。また、図１２Ａ、１２Ｂ、１２Ｃ、１２Ｄ及び１２Ｅは、それぞれ、入射角１５°、２５°、３５°、４５°及び５５°の場合のＡｌ基板の反射特性を示している。
　評価用サンプルでは、入射角によらず、波長２２０ｎｍ～３９０ｎｍの紫外線に対して反射率が５０％以上となり、波長４００ｎｍの紫外線に対しても反射率が５０％程度となることが確認された。また、Ａｌ基板が酸化した場合には、ＵＶ－Ｃの波長域の紫外線に対する反射率が小さくなる傾向にある。これは、酸化アルミニウムの反射率がＵＶ－Ｃの波長域で大きく低下するため、Ａｌ基板に形成された酸化アルミニウム膜が全体（酸化アルミニウム膜が形成されたＡｌ基板）の反射率の低下に影響しているからである。逆に言うと、Ａｌ基板の表面酸化の進展は、ＵＶ－Ｃの波長域の紫外線に対する反射率の低下を引き起こすことになる。Ａｌ基板の酸化腐食は、Ｓｉ基板の表面の酸化に比べて進展が早い。このため、Ａｌ基板及びＡｌ膜は、ＵＶ－Ｃの波長域の紫外線を反射する用途で用いる場合、注意が必要である。
　発光装置１ａでは、スペーサ４が、Ｓｉにより形成されたスペーサ本体４０を備え、スペーサ本体４０に形成された貫通孔４１は、実装基板２ａから離れるにつれて開口面積が漸次増加している。発光装置１ａでは、スペーサ本体４０における貫通孔４１の内側面が、紫外線を反射する反射面の機能を有しているので、光取り出し効率の向上を図れ、紫外線の高出力化を図ることが可能となる。また、発光装置１ａでは、発光装置１ａと基本構成が同じで貫通孔４１の内側面にＡｌ膜を反射膜として追加した比較例と比べて、出力のばらつきや、反射特性の経時変化を抑制することが可能となる。よって、発光装置１ａでは、低コスト化を図りながらも、紫外線の高出力化を図ることが可能となり、かつ、信頼性の向上を図ることが可能となる。
　（実施形態２）
　以下では、本実施形態の発光装置１ｃについて図１３及び１４に基づいて説明する。発光装置１ｃは、スペーサ４とカバー５とが無機接合材を用いて接合されている点が実施形態１の発光装置１ａと相違する。なお、発光装置１ｃにおいて、発光装置１ａと同様の構成要素については、発光装置１ａと同一の符号を付して説明を省略する。
　発光装置１ｃでは、スペーサ４とカバー５とが、スペーサ本体４０の熱膨張係数とカバー５の熱膨張係数との間の熱膨張係数を有する低融点ガラスにより形成された第４接合部６４により接合されている。これにより、発光装置１ｃは、カバー５として、アルカリ成分を含むガラスに限らず、石英ガラス等を採用することが可能となる。
　本明細書において、低融点ガラスとは、軟化点が６００℃以下のガラスであり、軟化点が５００℃以下のガラスが好ましく、軟化点が４００℃以下のガラスが更に好ましい。低融点ガラスとしては、例えば、主成分として酸化鉛（ＰｂＯ）と無水ほう酸（Ｂ2Ｏ3）とを含むガラスを挙げることができる。
　発光装置１ｃは、発光装置１ａのキャップ６ａの代わりに、スペーサ４と第４接合部６４とカバー５とで構成されるキャップ６ｃを備えている。キャップ６ｃは、無機材料により形成されている。キャップ６ｃは、表面６６１及び裏面６６２を有し裏面６６２に凹部６６３が形成されたキャップ本体６６０と、キャップ本体６６０の裏面６６２における凹部６６３の周部で第１接合用金属層２３に対向して配置された第２接合用金属層４３と、を備える。また、発光装置１ｃは、発光装置１ａのパッケージ７ａの代わりに、キャップ６ｃと実装基板２ａとで構成されるパッケージ７ｃを備えている。
　本実施形態の発光装置１ｃの製造方法は、発光装置１ａの製造方法と略同じであり、第２工程におけるスペーサ４とカバー５との接合方法が相違する。すなわち、発光装置１ｂの製造方法では、第２工程において、スペーサ４とカバー５とを接合することによりキャップ６ｃを形成する。より詳細には、発光装置１ｃの製造方法では、第２工程においてスペーサ４とカバー５とを低融点ガラスにより接合する。第２工程では、低融点ガラスのペレットを利用してもよいし低融点ガラスのペーストを利用してもよい。
　本実施形態の発光装置１ｃの製造方法では、スペーサ４とカバー５とを接合することでキャップ６ｃを形成し、その後、紫外線発光素子３の第１電極３１、第２電極３２及びキャップ６ｃにおける第２接合用金属層４３と実装基板２ａの第１導体部２１、第２導体部２２及び第１接合用金属層２３とをそれぞれ第１ＡｕＳｎ層７１、第２ＡｕＳｎ層７２及び第３ＡｕＳｎ層７３により接合する。よって、本実施形態の発光装置１ｂの製造方法では、信頼性の向上を図れ、かつ、低コスト化を図ることが可能となる。
　（実施形態３）
　以下では、本実施形態の発光装置１ｄについて図１５～１８に基づいて説明する。発光装置１ｄは、実施形態１の発光装置１ａの実装基板２ａの代わりに実装基板２ｄを備えている点が発光装置１ａと相違する。なお、発光装置１ｄにおいて、発光装置１ａと同様の構成要素については、発光装置１ａと同一の符号を付して説明を省略する。
　発光装置１ｄは、発光装置１ａのパッケージ７ａの代わりに、キャップ６ａと実装基板２ｄとで構成されるパッケージ７ｄを備えている。
　実装基板２ｄは、多層基板である。実装基板２ｄは、第１外部接続電極２４及び第２外部接続電極２５と、第１配線層２８と、第２配線層２９と、電気絶縁層２５３と、を備える。第１配線層２８及び第２配線層２９は、支持体２０ｄの表面２０１側に配置されている。第１導体部２１及び第１外部接続電極２４は、第１配線層２８上に配置されて第１配線層２８と電気的に接続されている。第２導体部２２及び第２外部接続電極２５は、第２配線層２９上に配置されて第２配線層２９と電気的に接続されている。電気絶縁層２５３は、支持体２０ｄの表面２０１側で第１配線層２８と第２配線層２９とを覆うように配置されている。第１接合用金属層２３は、電気絶縁層２５３上に配置されている。よって、発光装置１ｄは、例えば、図１８に示すように配線基板６００に実装基板２ｄの表面側の第１外部接続電極２４及び第２外部接続電極２５を利用して実装することが可能となる。
　実装基板２ｄは、電気絶縁層２５３からなる第１電気絶縁層とは別の第２電気絶縁層２５１を備える。支持体２０ｄは、Ｓｉにより形成されている。第２電気絶縁層２５１は、支持体２０ｄの表面２０１上に配置されている。第１配線層２８及び第２配線層２９は、第２電気絶縁層２５１上に配置されている。よって、発光装置１ｄは、放熱性を向上させることが可能となる。
　実装基板２ｄは、第１接合用金属層２３と電気絶縁層２５３との間に第１下地層２５４を介在させてあるのが好ましい。
　実装基板２ｄは、支持体２０ｄの裏面２０２に第４電気絶縁層２５２が形成されている。また、実装基板２ｄは、第４電気絶縁層２５２に第２下地層２５５を介して導体層２５６が積層されている。
　第１電気絶縁層、第２電気絶縁層２５１、第３電気絶縁層及び第４電気絶縁層２５２の各々は、例えば、シリコン酸化膜により構成することができる。
　第１下地層２５４及び第２下地層２５５の各々は、例えば、Ａｌ膜等により構成することができる。第１下地層２５４と第２下地層２５５とは、同じ材料により形成されていているが、互いに異なる材料により形成されていてもよい。
　導体層２５６は、例えば、Ｎｉ膜とＰｄ膜とＡｕ膜との積層膜により構成することができる。
　配線基板６００は、マザー基板である。配線基板６００は、例えば、金属ベースプリント配線板により形成することができる。この場合、配線基板６００は、例えば、金属板６０１と、金属板６０１上に形成された絶縁樹脂層６０２と、絶縁樹脂層６０２上に形成された第１配線部６０４及び第２配線部６０５と、を備えるのが好ましい。金属板６０１は、Ｃｕ板により構成してあるが、これに限らず、例えば、Ａｌ板により構成してもよい。配線基板６００は、金属板６０１の表面６１１における発光装置１ｄの投影領域を露出させてある。
　発光装置１ｄと配線基板６００とを備えた紫外線ＬＥＤモジュールでは、発光装置１ｄの裏面側の導体層２５６が接合層３１０により金属板６０１と接合されている。接合層３１０は、はんだにより形成されているが、これに限らず、焼結銀により形成されていてもよい。焼結銀は、銀粒子同士が焼結により結合された焼結体である。焼結銀は、多孔質銀である。接合層３１０を焼結銀により形成する場合には、金属板６０１の表面６１１上に銀粒子と揮発性のバインダと溶剤とを含むペーストを塗布してから、発光装置１ｄを金属板６０１にペーストを介して重ね合わせ、ペーストを加熱して焼結銀を形成すればよい。
　また、紫外線ＬＥＤモジュールは、第１外部接続電極２４が第１ワイヤ２９４を介して第１配線部６０４と電気的に接続されている。また、紫外線ＬＥＤモジュールでは、第２外部接続電極２５が第２ワイヤ２９５を介して第２配線部６０５と電気的に接続されている。第１ワイヤ２９４及び第２ワイヤ２９５の各々は、Ａｕワイヤであるのが好ましい。紫外線ＬＥＤモジュールは、発光装置１ｄが配線基板６００に２次実装されている。紫外線ＬＥＤモジュールでは、平面視において配線基板６００が発光装置１ａよりも大きいのが好ましい。これにより、紫外線ＬＥＤモジュールは、放熱性を、より向上させることが可能となる。
　本実施形態の発光装置１ｄの製造方法は、発光装置１ａの製造方法と基本的に同じである。本実施形態の発光装置１ｄの製造方法では、スペーサ４とカバー５とを接合することでキャップ６ａを形成し、その後、紫外線発光素子３の第１電極３１、第２電極３２及びキャップ６ａにおける第２接合用金属層４３と実装基板２ａの第１導体部２１、第２導体部２２及び第１接合用金属層２３とをそれぞれ第１ＡｕＳｎ層７１、第２ＡｕＳｎ層７２及び第３ＡｕＳｎ層７３により接合する。よって、本実施形態の発光装置１ｄの製造方法では、信頼性の向上を図れ、かつ、低コスト化を図ることが可能となる。
　発光装置１ｄは、キャップ６ａの代わりに、実施形態２の発光装置１ｃにおけるキャップ６ｃを備えてもよい。
　（実施形態４）
　以下では、本実施形態の発光装置１ｅについて図１９及び２０に基づいて説明する。発光装置１ｅは、実施形態１の発光装置１ａのキャップ６ａの代わりにキャップ６ｅを備えている点が実施形態１の発光装置１ａと相違する。なお、発光装置１ｅにおいて、発光装置１ａと同様の構成要素については、発光装置１ａと同一の符号を付して説明を省略する。
　発光装置１ｅは、発光装置１ａのパッケージ７ａの代わりに、キャップ６ｅと実装基板２ａとで構成されるパッケージ７ｅを備えている。
　キャップ６ｅでは、キャップ本体６６０の全体が、紫外線発光素子３から放射される紫外線を透過するガラスにより形成されている。これにより、本実施形態の発光装置１ｅでは、実施形態１の発光装置１ａと比べて、信頼性の向上及び低コスト化を図ることが可能となる。
　キャップ６ｅの形成方法では、まず、キャップ本体６６０の元になる平板状のガラス板に対して第２接合用金属層４３を形成する。キャップ６ｅの形成方法では、その後、ガラス板に対して凹部６６３に対応する穴をドリル加工により形成する。キャップ６ｅの形成方法では、その後、穴の内面をエッチング液（例えば、フッ酸溶液）によって円滑化する円滑化処理を行うのが好ましい。
　発光装置１ｅでは、製造時に、上述のキャップ６ｅの形成方法を採用している。これにより、発光装置１ｅでは、キャップ本体６６０の裏面６６２における凹部６６３の開口面積を凹部６６３の内底面６６４の面積と略同じにすることが可能となる。凹部６６３の深さは、例えば、３００μｍである。
　第２接合用金属層４３は、例えば、下地膜４３１とＡｕ膜４３２との積層膜により構成されているのが好ましい。下地膜４３１は、例えば、キャップ本体６６０の裏面６６２上に形成されたＣｒ膜と、このＣｒ膜上に形成されたＰｔ膜と、の積層膜により構成することができる。発光装置１ｅでは、第２接合用金属層４３における下地膜４３１がＣｒ膜を備えることにより、ガラスにより形成されたキャップ本体６６０と第２接合用金属層４３との密着性を向上させることが可能となる。第２接合用金属層４３は、例えば、蒸着法、スパッタ法、めっき法等の膜形成技術と、フォトリソグラフィ技術と、エッチング技術と、を利用して形成することができる。
　本実施形態の発光装置１ｅの製造方法は、実施形態１の発光装置１ａの製造方法と略同じである。すなわち、発光装置１ｅの製造方法では、キャップ６ｅを形成し、その後、紫外線発光素子３の第１電極３１、第２電極３２及びキャップ６ｅにおける第２接合用金属層４３と実装基板２ａの第１導体部２１、第２導体部２２及び第１接合用金属層２３とをそれぞれ第１ＡｕＳｎ層７１、第２ＡｕＳｎ層７２及び第３ＡｕＳｎ層７３により接合する。第１ＡｕＳｎ層７１、第２ＡｕＳｎ層７２及び第３ＡｕＳｎ層７３は、実装基板２ａに対して同一工程で一括形成される。「同一工程で一括形成される」とは、第１ＡｕＳｎ層７１、第２ＡｕＳｎ層７２及び第３ＡｕＳｎ層７３が、同じ工程を利用して同時に形成されることを意味する。よって、発光装置１ｅの製造方法では、信頼性の向上を図れ、かつ、低コスト化を図ることが可能となる。発光装置１ｅの製造方法では、第１ＡｕＳｎ層７１及び第２ＡｕＳｎ層７２と、第３ＡｕＳｎ層７３と、を実装基板２ａに対して同一工程で一括形成することができ、低コスト化を図ることが可能となる。紫外線発光素子３の第１電極３１及び第２電極３２それぞれのＡｕ膜の厚さと、第２接合用金属層４３におけるＡｕ膜４３２の厚さとは、比較的近い値もしくは同じ値に設定してあるのが好ましい。これにより、実装基板２ａへの紫外線発光素子３の実装と、実装基板２ａへのキャップ６ｅの実装と、を連続的に行うときの実装性を、より向上させることが可能となる。紫外線発光素子３の第１電極３１及び第２電極３２それぞれのＡｕ膜の厚さは、例えば、１．３μｍである。また、第２接合用金属層４３におけるＡｕ膜４３２の厚さは、例えば、１．０μｍである。
　図２１は、実施形態４におけるキャップ６ｅの第１変形例を示す概略断面図である。第１変形例のキャップ６ｅでは、キャップ本体６６０における凹部６６３が、ブラスト加工によって形成されている点が実施形態４におけるキャップ６ｅと相違する。ブラスト加工は、サンドブラスト加工である。第１変形例のキャップ６ｅでは、凹部６６３の内底面６６４がすりガラス状の面となっている。言い換えれば、凹部６６３の内底面６６４には、微細な凹凸構造が形成されている。また、第１変形例のキャップ６ｅでは、凹部６６３の開口面積が、凹部６６３の深さ方向において徐々に小さくなっている。第１変形例のキャップ６ｅの形成方法では、まず、キャップ本体６６０の元になる平板状のガラス板に対して第２接合用金属層４３を形成する。第１変形例のキャップ６ｅの形成方法では、その後、ガラス板に対して凹部６６３をブラスト加工により形成することでキャップ本体６６０を形成する。
　図２２は、実施形態４におけるキャップ６ｅの第２変形例を示す概略断面図である。第２変形例のキャップ６ｅでは、キャップ本体６６０における凹部６６３が、ウェットエッチングによって形成されている点が実施形態４におけるキャップ６ｅと相違する。ウェットエッチングは、例えば、フッ酸溶液を用いた等方性エッチングである。よって、凹部６６３の内側面６６５は、丸みを有する凹曲面状に形成されている。第２変形例のキャップ６ｅの形成方法では、まず、キャップ本体６６０の元になる平板状のガラス板に対して凹部６６３をウェットエッチングにより形成することでキャップ本体６６０を形成する。第２変形例のキャップ６ｅの形成方法では、その後、キャップ本体６６０に対して第２接合用金属層４３を形成する。
　図２３は、実施形態４におけるキャップ６ｅの第３変形例を示す概略断面図である。第３変形例のキャップ６ｅでは、キャップ本体６６０がプレス成型により形成されている。要するに、キャップ６ｅでは、キャップ本体６６０をプレス成型するときに凹部６６３を形成している。よって、第３変形例のキャップ６ｅでは、離型性を考慮して、キャップ本体６６０の裏面６６２における凹部６６３の開口面積を凹部６６３の内底面６６４の面積よりも大きく設定してある。言い換えれば、第３変形例のキャップ６ｅにおける凹部６６３は、深さ方向において開口面積が徐々に小さくなる順テーパ状の形状としてある。第３変形例のキャップ６ｅにおける凹部６６３では、順テーパ状の形状として、四角錐台状の形状を採用している。第３変形例のキャップ６ｅの形成方法では、まず、キャップ本体６６０をプレス成型により形成する。第３変形例のキャップ６ｅの形成方法では、その後、キャップ本体６６０に対して第２接合用金属層４３を形成する。
　図２４は、実施形態４におけるキャップ６ｅの第４変形例を示す概略断面図である。第４変形例のキャップ６ｅは、ガラスにより形成されたカバー５とガラスにより形成されたスペーサ４とを接合することで形成されている。第４変形例のキャップ６ｅでは、第１変形例、第２変形例及び第３変形例と比べて、凹部６６３の内底面６６４を滑らかな表面とすることが可能となる。第４変形例のキャップ６ｅでは、キャップ６ｅ全体が、紫外線発光素子３から放射される紫外線を透過するガラスにより形成されていてもよいし、カバー５のみが、紫外線発光素子３から放射される紫外線を透過するガラスにより形成されていてもよい。
　（実施形態５）
　以下では、本実施形態の発光装置１ｆについて図２５及び２６に基づいて説明する。発光装置１ｆは、実施形態４の発光装置１ｅの実装基板２ａの代わりに実装基板２ｄを備えている点が発光装置１ｅと相違する。なお、発光装置１ｆにおいて、発光装置１ｅと同様の構成要素については、発光装置１ｅと同一の符号を付して説明を省略する。
　発光装置１ｆは、発光装置１ｅのパッケージ７ｅの代わりに、キャップ６ｅと実装基板２ｄとで構成されるパッケージ７ｆを備えている。
　実装基板２ｄは、多層基板である。実装基板２ｄは、第１外部接続電極２４及び第２外部接続電極２５と、第１配線層２８と、第２配線層２９と、電気絶縁層２５３と、を備える。第１配線層２８及び第２配線層２９は、支持体２０ｄの表面２０１側に配置されている。第１導体部２１及び第１外部接続電極２４は、第１配線層２８上に配置されて第１配線層２８と電気的に接続されている。第２導体部２２及び第２外部接続電極２５は、第２配線層２９上に配置されて第２配線層２９と電気的に接続されている。電気絶縁層２５３は、支持体２０ｄの表面側で第１配線層２８と第２配線層２９とを覆うように配置されている。第１接合用金属層２３は、電気絶縁層２５３上に配置されている。よって、発光装置１ｆは、配線基板６００（図１８参照）に実装基板２ｄの表面側の第１外部接続電極２４及び第２外部接続電極２５を利用して実装することが可能となる。
　実装基板２ｄは、電気絶縁層２５３からなる第１電気絶縁層とは別の第２電気絶縁層２５１を備える。支持体２０ｄは、Ｓｉにより形成されている。第２電気絶縁層２５１は、支持体２０ｄの表面２０１上に配置されている。第１配線層２８及び第２配線層２９は、第２電気絶縁層２５１上に配置されている。よって、発光装置１ｆは、放熱性を向上させることが可能となる。
　実装基板２ｄは、第１接合用金属層２３と電気絶縁層２５３との間に第１下地層２５４を介在させてあるのが好ましい。
　実装基板２ｄは、支持体２０ｄの裏面２０２に第４電気絶縁層２５２が形成されている。また、実装基板２ｄは、第４電気絶縁層２５２に第２下地層２５５を介して導体層２５６が積層されている。
　第１電気絶縁層、第２電気絶縁層２５１、第３電気絶縁層及び第４電気絶縁層２５２の各々は、例えば、シリコン酸化膜により構成することができる。
　第１下地層２５４及び第２下地層２５５の各々は、例えば、Ａｌ膜等により構成することができる。第１下地層２５４と第２下地層２５５とは、同じ材料により形成されていているが、互いに異なる材料により形成されていてもよい。
　導体層２５６は、例えば、Ｎｉ膜とＰｄ膜とＡｕ膜との積層膜により構成することができる。
　（実施形態６）
　上述のように、紫外線を出射する発光装置の分野においては、紫外線の高出力化が望まれている。
　実施形態１の発光装置１ａでは、紫外線発光素子３がＵＶ－Ｃの波長域に発光ピーク波長を有する紫外線を放射するように構成されている場合、紫外線の透過率の向上の観点から、ＳＣＨＯＴＴ社製の８３４７よりもＳＣＨＯＴＴ社製の８３３７Ｂを採用するのが好ましい。ここで、ＳＣＨＯＴＴ社製の８３３７Ｂの熱膨張係数は、Ｓｉの熱膨張係数よりも大きい。ＳＣＨＯＴＴ社製の８３３７Ｂの熱膨張係数とＳｉの熱膨張係数との差は、ＳＣＨＯＴＴ社製の８３４７の熱膨張係数とＳｉの熱膨張係数との差よりも大きい。
　発光装置１ａの製造方法では、キャップ６ａを形成する際に、例えば、複数のスペーサ４を形成した第１ウェハと複数のカバー５の元になる第２ウェハとをウェハレベルで接合することでウェハレベル接合体を形成する接合工程を行い、その後、ウェハレベル接合体をダイシングソー（dicing saw）によって裁断することで個々のキャップ６ａに分割するダイシング工程を行う。しかしながら、この発光装置１ａの製造方法では、第２ウェハを形成する硼珪酸ガラスとしてＳＣＨＯＴＴ社製の８３３７Ｂを採用した場合、第２ウェハを形成する硼珪酸ガラスとしてＳＣＨＯＴＴ社製の８３４７と比べて、製造歩留りが低下してしまう。より詳細には、この発光装置１ａの製造方法では、ウェハレベル接合体において第１ウェハと第２ウェハとが見掛け上は接合されていても、ダイシング工程においてスペーサ４とカバー５とが離れてしまうことがあった。つまり、発光装置１ａの製造方法では、第２ウェハを形成する硼珪酸ガラスとしてＳＣＨＯＴＴ社製の８３３７Ｂを採用した場合、スペーサ４とカバー５との接合不良が発生していることがあった。
　これに対して、図２７に示す本実施形態の発光装置１ｇは、スペーサ４が、Ｓｉにより形成されたスペーサ本体４０におけるカバー５との対向面４５側に形成されたシリコン酸化膜４６を備えており、スペーサ４とカバー５とが直接接合されている点が発光装置１ａと相違する。スペーサ本体４０の厚さは、約０．３ｍｍである。カバー５の厚さは、約０．３ｍｍである。シリコン酸化膜４６の膜厚は、約５０ｎｍである。シリコン酸化膜４６は、熱酸化膜である。発光装置１ｇは、カバー５を形成するガラスが、アルカリ成分を含んでおり、スペーサ４とカバー５とが直接接合されている。なお、発光装置１ｇにおいて、発光装置１ａと同様の構成要素については、発光装置１ａと同一の符号を付して説明を省略する。
　本実施形態の発光装置１ｇでは、スペーサ４とカバー５とで、紫外線発光素子３を覆うキャップ６ｇを構成している。また、発光装置１ｇでは、実装基板２ａとキャップ６ｇとで、紫外線発光素子３を収納するパッケージ７ｇを構成している。
　本実施形態の発光装置１ｇは、実装基板２ａと、実装基板２ａに実装された紫外線発光素子３と、実装基板２ａ上に配置され紫外線発光素子３を収納する凹部６６３が形成されたキャップ６ｇと、を備える。キャップ６ｇは、実装基板２ａ上に配置され紫外線発光素子３を露出させる貫通孔４１が形成されたスペーサ４と、スペーサ４の貫通孔４１を塞ぐようにスペーサ４上に配置されておりスペーサ４に接合されているカバー５と、を備える。カバー５は、紫外線発光素子３から放射される紫外線を透過する硼珪酸ガラスにより形成されている。スペーサ４は、Ｓｉにより形成されたスペーサ本体４０と、スペーサ本体４０におけるカバー５との対向面４５側に形成されたシリコン酸化膜４６と、を備える。スペーサ４とカバー５とが直接接合されている。以上説明した構成の発光装置１ｇでは、カバー５を、紫外線発光素子３から放射される紫外線に対する透過率のより高い硼珪酸ガラスにより形成することが可能となり、紫外線の高出力化を図ることが可能となる。
　第２接合用金属層４３は、例えば、下地膜４３１と接合層４３３との積層膜により構成されているのが好ましい。下地膜４３１は、例えば、Ａｌ膜により構成することができる。接合層４３３は、例えば、Ｎｉ膜とＡｕ膜との積層膜により構成することができる。
　発光装置１ｇの製造方法は、実施形態１で説明した発光装置１ａの製造方法と略同じであり、スペーサ４を形成するときにスペーサ４におけるカバー５との対向面４５にシリコン酸化膜４６を形成し、その後、スペーサ４とカバー５とを陽極接合により接合する点が相違するだけである。スペーサ４とカバー５とを陽極接合により接合する場合には、例えば、図２８に示すように、スペーサ４を複数形成した第１ウェハ４００１とカバー５を複数形成できる第２ウェハ５０００とを重ね合わせた後、シリコン酸化膜４６の露出した表面上に電極４０１０を配置し、かつ、第２ウェハ５０００上に電極５０１０を配置する。その後、第１ウェハ４００１及び第２ウェハ５０００を所定温度（例えば、３０５℃）に加熱した状態で、電極４０１０と電極５０１０との間に電極４０１０を陽極側として直流電源Ｅから所定電圧値（例えば、６００Ｖ）の直流電圧を、所定時間（例えば、３０分）だけ印加する。なお、図２８では、隣り合うスペーサ４同士の境界を一点鎖線で模式的に示してある。また、図２８では、隣り合うカバー５同士の境界を一点鎖線で模式的に示してある。第１ウェハ４００１は、単結晶Ｓｉ基板４００の元になるＳｉウェハ４０００にシリコン酸化膜４６、シリコン酸化膜４４、下地膜４３１及び貫通孔４１を形成したウェハである。第２ウェハ５０００は、硼珪酸ガラスにより形成されている。第２ウェハ５０００の直径は、Ｓｉウェハ４０００の直径と同じである。第２ウェハ５０００の側面の一部に設けられたフラット面５００３の幅（図２８の紙面に直交する方向の幅）は、Ｓｉウェハ４０００の側面の一部に設けられたフラット面（オリエンテーションフラット：orientation flat）４００３の幅よりも大きい。したがって、第１ウェハ４００１と第２ウェハ５０００とを重ね合わせた状態では、第１ウェハ５０００側から見て第１ウェハ４００１の一部が露出している。
　発光装置１ｇの製造方法は、以下の構成を備える発光装置１ｇの製造方法である。
　発光装置１ｇは、実装基板２ａと、実装基板２ａに実装された紫外線発光素子３と、実装基板２ａ上に配置され紫外線発光素子３を収納する凹部６６３が形成されたキャップ６ｇと、を備える。キャップ６ｇは、実装基板２ａ上に配置され紫外線発光素子３を露出させる貫通孔４１が形成されたスペーサ４と、スペーサ４の貫通孔４１を塞ぐようにスペーサ４上に配置されておりスペーサ４に接合されているカバー５と、を備える。カバー５は、紫外線発光素子３から放射される紫外線を透過する硼珪酸ガラスにより形成されている。スペーサ４は、Ｓｉにより形成されたスペーサ本体４０と、スペーサ本体４０におけるカバー５との対向面４５側に形成されたシリコン酸化膜４６と、を備える。スペーサ４とカバー５とが直接接合されている。
　発光装置１ｇの製造方法では、スペーサ４を複数形成した第１ウェハ４００１とカバー５を複数形成できる第２ウェハ５０００とを陽極接合により直接接合することでウェハレベル接合体を形成し、その後、ウェハレベル接合体をダイシングすることによってキャップ６ｇを形成し、紫外線発光素子３が実装されている実装基板２ａとキャップ６ｇとを接合する。よって、発光装置１ｇの製造方法では、紫外線の高出力化を図ることが可能な発光装置１ｇを比較的簡単に製造することが可能となる。また、発光装置１ｇの製造方法では、製造歩留りの向上を図れ、低コスト化を図ることが可能となる。ここで、発光装置１ｇの製造方法では、ウェハレベル接合体を形成する前において、スペーサ４の下地膜４３１上に、接合層４３３を形成していない。また、発光装置１ｇの製造方法では、ウェハレベル接合体を形成してからウェハレベル接合体をダイシングする前に、下地膜４３１に対してジンケート処理（zincate treatment）を行い、続いて、無電解めっき法により、Ｎｉ膜とＡｕ膜との積層膜からなる接合層４３３を下地膜４３１上に形成する。
　本願発明者らは、実施形態１の発光装置１ａの製造方法において、第１ウェハとＳＣＨＯＴＴ社製の８３３７Ｂにより形成された第２ウェハとを陽極接合により接合することでウェハレベル接合体を作製し、光学顕微鏡により、第２ウェハの表面側から第１ウェハと第２ウェハとの界面を観察したが、問題となる大きさのボイド（void）は見られず、見掛け上、第１ウェハと第２ウェハとが接合されていた。なお、第１ウェハの元になるＳｉウェハの厚さは、０．３ｍｍである。また、第２ウェハの厚さは、０．３～０．５ｍｍである。
　しかしながら、このウェハレベル接合体をダイシングソーによりダイシングしたところ、スペーサ４とカバー５とが離れてしまうことがあった。
　これに対して発光装置１ｇの製造方法では、ウェハレベル接合体をダイシングソーによりダイシングしても、スペーサ４とカバー５とが離れなかった。
　図２９は、ＳＥＭ像図とＥＤＸによる組成分析の結果とをまとめた図である。ＥＤＸによる組成分析では、Ｃ、Ｏ、Ｎａ、Ａｌ、Ｓｉ、Ｋ及びＢａそれぞれについて深さ方向分布を調べた。ここで、「深さ方向分布」は、カバー５において、スペーサ本体４０とシリコン酸化膜４６との界面から約４．７３μｍだけ離れた位置を基準位置としたときの各元素（Ｃ、Ｏ、Ｎａ、Ａｌ、Ｓｉ、Ｋ及びＢａ）の深さ方向分布である。深さ方向は、基準位置からスペーサ本体４０に向かう方向である。ＳＥＭによる観察及びＥＤＸによる分析の結果、本願発明者らは、シリコン酸化膜４６の表面付近でＫの移動が起こり、カバー５におけるシリコン酸化膜４６側の部分に厚さ３５０ｎｍ程度の反応層が形成されていることを確認した。本願発明者らは、シリコン酸化膜４６がＳｉウェハ４０００と第２ウェハ５０００との密着層としての役割を果たすことでスペーサ４とカバー５とが接合されていると推考している。
　本願発明者らは、シリコン酸化膜４６の膜厚を異ならせた複数のウェハレベル接合体を作製し、各ウェハレベル接合体について光学顕微鏡、ＳＥＭ等により接合状態を観察する実験を行った。ここで、シリコン酸化膜４６の膜厚は、０ｎｍ、２５ｎｍ、４０ｎｍ、５０ｎｍ、８０ｎｍ、１００ｎｍ、３００ｎｍとした。シリコン酸化膜４６の膜厚は、エリプソメータ（ellipsometer）により測定した値である。
　そして、本願発明者らは、シリコン酸化膜４６の膜厚が０ｎｍ、２５ｎｍ、４０ｎｍの各ウェハレベル接合体では、ダイシング時にカバー５とスペーサ４とが離れてしまうという実験結果を得た。また、本願発明者らは、シリコン酸化膜４６の膜厚が５０ｎｍ、８０ｎｍ、１００ｎｍ、３００ｎｍの各ウェハレベル接合体では、ダイシング時にカバー５とスペーサ４とが離れないという実験結果を得た。そこで、ウェハレベル接合体の接合状態は、ウェハレベル接合体の断面をＳＥＭにより観察することで評価した。本願発明者らは、ＳＥＭによる観察で、シリコン酸化膜４６とカバー５との界面にボイドが見られず、かつ、反応層が見られたときに、ウェハレベル接合体の接合状態が良好であると判断した。
　また、本願発明者らは、シリコン酸化膜４６が５０ｎｍ以上のウェハレベル接合体について熱衝撃耐性を調べるためにヒートサイクル試験を行った。ヒートサイクル試験では、低温期間の温度を－４０℃、高温期間の温度を１０５℃として、ヒートサイクルのサイクル数を１００とした。
　本願発明者らは、上述の実験の結果から、シリコン酸化膜４６の厚さが５０ｎｍ以上であれば、ウェハレベル接合体の接合状態、ダイシング耐性及び熱衝撃耐性それぞれが良好であるという知見を得た。
　発光装置１ｇにおいて、シリコン酸化膜４６は、熱酸化膜であるのが好ましい。これにより、発光装置１ｇでは、シリコン酸化膜４６がＣＶＤ法によって形成されているシリコン酸化膜である場合と比べて、信頼性を向上させることが可能となる。
　発光装置１ｇにおいて、シリコン酸化膜４６の膜厚は、５０ｎｍ以上であるのが好ましい。これにより、発光装置１ｇでは、製造歩留りの向上による低コスト化を図ることが可能となる。発光装置１ｇの製造歩留りの向上の観点からは、シリコン酸化膜４６の膜厚は、８０μｍ以上であるのがより好ましい。ただし、シリコン酸化膜４６の膜厚が大きくなるほど、陽極接合時に印加する直流電圧の電圧値を大きくする必要があるので、シリコン酸化膜４６の膜厚は、１μｍ以下が好ましく、３００ｎｍ以下がより好ましい。
　本実施形態の発光装置１ｇにおけるキャップ６ｇは、他の発光装置１ｂ、１ｄ等のキャップ６ａの代わりに用いてもよい。
　（第１例）
　以下では、第１例の発光装置１ｈについて図３０及び３１に基づいて説明する。発光装置１ｈは、紫外線発光素子３の第１電極３１、第２電極３２と実装基板２ａの第１導体部２１、第２導体部２２とが、それぞれ、Ａｕバンプからなる接合部１６１、Ａｕバンプからなる接合部１６２により接合されている点が実施形態１の発光装置１ａと相違する。また、発光装置１ｈでは、第３バリア層８３がスペーサ４の第２接合用金属層４３と第３接合部６３との間にある点が発光装置１ａと相違する。なお、発光装置１ｈにおいて、発光装置１ａと同様の構成要素については、発光装置１ａと同一の符号を付して説明を省略する。
　Ａｕバンプは、実装基板２ａに対してスタッドバンプ法（ボールバンプ法とも呼ばれている）によって形成されたスタッドバンプにより構成されているのが好ましい。発光装置１ｈでは、第１電極３１の平面サイズよりも第２電極３２の平面サイズが大きいので、第２電極３２に対して接合部１６２を複数設けてあるのが好ましい。これにより、発光装置１ｈでは、接合部１６２が１つの場合に比べて、放熱性の向上を図ることが可能となる。
　第２接合用金属層４３は、例えば、下地膜４３１と接合層４３３との積層膜により構成されているのが好ましい。下地膜４３１は、例えば、Ａｌ膜により構成することができる。接合層４３３は、例えば、Ｎｉ膜とＰｄ膜とＡｕ膜との積層膜により構成することができる。
　発光装置１ｈではスペーサ４とカバー５とで、紫外線発光素子３を覆うキャップ６ｈを構成している。また、発光装置１ｈは、実装基板２ａとキャップ６ｈとで、紫外線発光素子３を収納するパッケージ７ｈを構成している。
　文献１には、スペーサがシリコン基板又は絶縁性樹脂から作られていることが記載されている。また、文献１には、キャビティ側面から十分な光反射効果を得るために、キャビティ側面にＡｇ又はＡｌからなる反射用金属膜を形成するのが好ましい旨が記載されている。
　また、文献３には、発光装置として、キャリアと、キャリアの主面上に装着された発光ダイオードであるオプトエレクトロニクス半導体チップと、キャリアに対して実装された光学部品と、を備えたオプトエレクトロニクス素子が提案されている。キャリアは、プリント回路基板又はセラミックである。光学部品は、フレームと、ガラスプレートと、を有する。フレームは、シリコンを用いて構成されている。ガラスプレートは、オプトエレクトロニクス半導体チップから出射される放射を透過する。
　紫外線を出射する発光装置の分野においては、紫外線の高出力化が望まれている。
　これに対して、発光装置１ｈは、実装基板２ａと、実装基板２ａに実装された紫外線発光素子３と、実装基板２ａ上に配置され紫外線発光素子３を露出させる貫通孔４１が形成されたスペーサ４と、スペーサ４の貫通孔４１を塞ぐようにスペーサ４上に配置されたカバー５と、を備える。紫外線発光素子３は、紫外波長域に発光ピーク波長を有する紫外線を放射するように構成されている。スペーサ４は、Ｓｉにより形成されたスペーサ本体４０を備える。貫通孔４１は、スペーサ本体４０に形成されている。貫通孔４１は、実装基板２ａから離れるにつれて開口面積が漸次増加している。カバー５は、紫外線発光素子３から放射される紫外線を透過するガラスにより形成されている。発光装置１ｈでは、スペーサ４とカバー５とが接合されている。このような構成の発光装置１ｈでは、紫外線の高出力化を図ることが可能となる。
　以下では、発光装置１ｈの製造方法について簡単に説明する。なお、発光装置１ａの製造方法と同様の工程については説明を適宜省略する。
　発光装置１ｈの製造方法では、例えば、下記の第１工程、第２工程、第３工程及び第４工程を順次行う。
　第１工程では、スペーサ４のシリコン酸化膜４４上にＡｌ膜からなる下地膜４３１を形成し、その後、カバー５とスペーサ４とを陽極接合によって直接接合することでキャップ６ｈを形成する。
　第２工程では、キャップ６ｅの下地膜４３１に対してジンケート処理（zincate treatment）を行った後、無電解めっき法により、Ｎｉ膜とＰｄ膜とＡｕ膜との積層膜からなる接合層４３３を下地膜４３１上に形成する。第２工程では、接合層４３３を形成した後、接合層４３３上に例えばＰｔ膜からなる第３バリア層８３を形成し、その後、第３バリア層８３上に第３ＡｕＳｎ層７３を電解めっき法により形成し、続いて、第３ＡｕＳｎ層７３上に電解めっき法により第３Ａｕ層９３を形成する。第３バリア層８３と第３ＡｕＳｎ層７３と第３Ａｕ層９３とで、第３接合用層１０３を構成している。
　上述の第１工程及び第２工程は、ウェハレベルで行うのが好ましく、第２工程において第３Ａｕ層９３を形成した後に、複数のスペーサ４を形成した第１ウェハと複数のカバー５の元になる第２ウェハとが接合された構造体から、複数のキャップ６ｈに分割するのが好ましい。
　第３工程では、紫外線発光素子３の第１電極３１、第２電極３２と実装基板２ａの第１導体部２１、第２導体部２２とを、それぞれ、Ａｕバンプからなる接合部１６１、Ａｕバンプからなる接合部１６２により接合する。第３工程では、超音波を利用して紫外線発光素子３を実装基板２ａに実装するフリップチップ実装を行う。
　第４工程では、第１ステップ、第２ステップを順次行うことにより、キャップ６ｈを実装基板２ａに接合する。第４工程の第１ステップでは、第２吸着保持具により吸着保持したキャップ６ｈにおける第２接合用金属層４３と実装基板２ｄの第１接合用金属層２３とを対向させる。より詳細には、第１ステップでは、第２接合用金属層４３に積層されている第３接合用層１０３と第１接合用金属層２３とを対向させる。第４工程の第２ステップでは、キャップ６ｈにおける第２接合用金属層４３と実装基板２ａの第１接合用金属層２３とを、第３ＡｕＳｎ層７３により接合する。第２ステップでは、第１ヒータにより実装基板２ａを第３ＡｕＳｎ層７３の融点以上の温度に加熱し、かつ、キャップ６ｈを第３ＡｕＳｎ層７３の融点未満の温度にした状態で、キャップ６ｈにおける第３接合用層１０３と実装基板２ａの第１接合用金属層２３とが接触するように重ね合わせる。そして、第２ステップでは、キャップ６ｈに対して加圧を行いながら第３ＡｕＳｎ層７３を溶融させてから、冷却凝固させることにより第３接合部６３を形成する。第２ステップは、Ｎ２ガス雰囲気中で行うのが好ましい。
　発光装置１ｈの製造方法では、第１工程、第２工程、第３工程及び第４工程を順次行うことにより、発光装置１ｈを得ることができる。
　（第２例）
　以下では、第２例の発光装置１ｉについて図３２及び３３に基づいて説明する。発光装置１ｉは、紫外線発光素子３の第１電極３１、第２電極３２と実装基板２ｄの第１導体部２１、第２導体部２２とが、それぞれ、Ａｕバンプからなる接合部１６１、Ａｕバンプからなる接合部１６２により接合されている点が実施形態３の発光装置１ｄと相違する。また、発光装置１ｉでは、第３バリア層８３がスペーサ４の第２接合用金属層４３と第３接合部６３との間にある点が発光装置１ａと相違する。なお、発光装置１ｉにおいて、発光装置１ｄと同様の構成要素については、発光装置１ｄと同一の符号を付して説明を省略する。
　Ａｕバンプは、スタッドバンプ法により形成されたスタッドバンプにより構成されているのが好ましい。発光装置１ｉでは、第１電極３１の平面サイズよりも第２電極３２の平面サイズが大きいので、第２電極３２に対して接合部１６２を複数設けてあるのが好ましい。これにより、発光装置１ｉでは、接合部１６２が１つの場合に比べて、放熱性の向上を図ることが可能となる。
　発光装置１ｉでは、スペーサ４とカバー５とで、紫外線発光素子３を覆うキャップ６ｈを構成している。また、発光装置１ｉは、実装基板２ｄとキャップ６ｈとで、紫外線発光素子３を収納するパッケージ７ｉを構成している。
　発光装置１ｉの製造方法は、発光装置１ｈの製造方法と同様なので、説明を省略する。
　（実施形態７）
　以下では、本実施形態の発光装置１ｊについて図３４及び３５に基づいて説明する。発光装置１ｊは、実装基板２ａとスペーサ４とカバー５とで囲まれた空間８内で紫外線発光素子３を覆っている封止部８０を備える点が実施形態１の発光装置１ａと相違する。なお、発光装置１ｊにおいて、発光装置１ａと同様の構成要素については、発光装置１ａと同一の符号を付して説明を省略する。
　封止部８０を形成している封止材料は、電気絶縁性を有する。また、封止部８０を形成している封止材料は、紫外線発光素子３から放射される紫外線に対して耐紫外線性を有し、かつ紫外線発光素子３から放射される紫外線を透過する封止樹脂である。「紫外線発光素子３から放射される紫外線に対して耐紫外線性を有し」とは、例えば、紫外線発光素子３を定格電流で２０００時間だけ、連続して通電し、通電開始前後の透過率の低下率が３０％以下であることを意味する。封止部８０の屈折率は、不活性ガスの屈折率よりも高い。
　封止樹脂としては、例えば、主骨格がＳｉ－Ｏ結合からなり、紫外線の透過率が９０％以上であるシリコーン樹脂や、主骨格がＣ－Ｆ結合からなり、紫外線の透過率が９０％以上であるフッ素系樹脂（例えば、アモルファスフッ素樹脂）等を採用することもできる。
　波長２６５ｎｍの紫外線に対するカバー５の屈折率は、１．５程度である。また、波長２６５ｎｍの紫外線に対する基板３０の屈折率は、１．８程度である。これに対して、波長２６５ｎｍの紫外線に対する封止部８０の屈折率は、例えば、１．３～１．５程度である。
　発光装置１ｊは、実装基板２ａとスペーサ４とカバー５とで囲まれた空間８内で紫外線発光素子３を覆っている封止部８０を備えることにより、光取り出し効率を向上させることが可能となり、高出力化を図ることが可能となる。
　本実施形態の発光装置１ｊの製造方法は、発光装置１ａの製造方法と略同じであり、キャップ６ａにおいてカバー５とスペーサ４とで囲まれた空間に封止部８０の元になる封止樹脂８００を塗布し（図３５Ａ）、その後、キャップ６ａを実装基板２ａに対向させ（図３５Ｂ）、続いて、キャップ６ａを実装基板２ａに接合してから、封止樹脂８００を熱硬化させることで封止部８０を形成する点が相違する。封止樹脂８００を熱硬化させるプロセス条件は、例えば、加熱温度が１５０℃、加熱時間が２時間である。
　実施形態１～７に記載した材料、数値等は、好ましい例を示しているだけであり、それに限定する主旨ではない。更に、本願発明は、その技術的思想の範囲を逸脱しない範囲で、構成に適宜変更を加えることが可能である。
　例えば、発光装置１ａ、１ｂ、１ｃ、１ｄ、１ｅ、１ｆ、１ｇ、１ｈ及び１ｊは、紫外線発光素子３として紫外線ＬＥＤチップを採用しているが、これに限らず、紫外線発光素子３として、例えば、紫外線ＬＤ（laser diode）チップを採用してもよい。
　また、発光装置１ａ、１ｂ、１ｃ、１ｄ及び１ｊでは、スペーサ本体４０がＳｉにより形成されているが、スペーサ本体４０がＡｌにより形成されていてもよい。
　（本発明に係る態様）
　上述の実施形態１～７から明らかなように、本発明に係る第１の態様の発光装置（１ａ、１ｂ、１ｃ、１ｄ、１ｅ、１ｆ、１ｇ、１ｊ）は、実装基板（２ａ、２ｂ、２ｄ）と、前記実装基板（２ａ、２ｂ、２ｄ）に実装された紫外線発光素子（３）と、前記実装基板（２ａ、２ｂ、２ｄ）上に配置され前記紫外線発光素子（３）を収納する凹部（６６３）が形成されたキャップ（６ａ、６ｃ、６ｅ、６ｇ）と、を備え、前記実装基板（２ａ、２ｂ、２ｄ）は、支持体（２０ａ、２０ｄ）と、前記支持体（２０ａ、２０ｄ）に支持された第１導体部（２１）、第２導体部（２２）及び第１接合用金属層（２３）と、を備え、前記第１導体部（２１）及び前記第２導体部（２２）は、前記支持体（２０ａ、２０ｄ）の表面（２０１）側において前記キャップ（６ａ、６ｃ、６ｅ、６ｇ）の前記凹部（６６３）の内底面（６６４）に臨むように配置され、前記キャップ（６ａ、６ｃ、６ｅ、６ｇ）は、表面（６６１）及び裏面（６６２）を有し前記裏面（６６２）に前記凹部（６６３）が形成されたキャップ本体（６６０）と、前記キャップ本体（６６０）の前記裏面（６６２）における前記凹部（６６３）の周部で前記第１接合用金属層（２３）に対向して配置された第２接合用金属層（４３）と、を備え、少なくとも、前記キャップ本体（６６０）の前記表面（６６１）と前記凹部（６６３）の内底面（６６４）との間の紫外線透過部（６６６）が、前記紫外線発光素子（３）から放射される紫外線を透過するガラスにより形成され、前記紫外線発光素子（３）は、第１電極（３１）と、第２電極（３２）と、を備え、前記紫外線発光素子（３）の厚さ方向の一面側に前記第１電極（３１）及び前記第２電極（３２）が配置されており、前記第１導体部（２１）と前記第２導体部（２２）と前記第１接合用金属層（２３）とは、前記支持体（２０ａ、２０ｄ）の表面（２０１）側で同じ積層膜から構成されており、前記第１導体部（２１）、前記第２導体部（２２）及び前記第１接合用金属層（２３）それぞれにおける前記支持体（２０ａ、２０ｄ）から最も離れた最上層はＡｕにより形成され、前記第１電極（３１）と前記第１導体部（２１）とが、ＡｕＳｎにより形成された第１接合部（６１）により接合され、前記第２電極（３２）と前記第２導体部（２２）とが、ＡｕＳｎにより形成された第２接合部（６２）により接合され、前記第１接合用金属層（２３）と前記第２接合用金属層（４３）とが、ＡｕＳｎにより形成された第３接合部（６３）により接合されている。
　本発明に係る第２の態様の発光装置（１ａ、１ｂ、１ｃ、１ｄ、１ｅ、１ｆ、１ｇ、１ｊ）は、第１の態様において、前記第１導体部（２１）、前記第２導体部（２２）及び前記第１接合用金属層（２３）と、前記第１接合部（６１）、前記第２接合部（６２）及び前記第３接合部（６３）との間にそれぞれ、第１バリア層（８１）、第２バリア層（８２）及び第３バリア層（８３）が形成されており、前記第１バリア層（８１）と前記第２バリア層（８２）と前記第３バリア層（８３）とは同じ材料でかつ、同じ厚さで形成されている。
　本発明に係る第３の態様の発光装置（１ａ、１ｂ、１ｃ、１ｄ、１ｅ、１ｆ、１ｇ、１ｊ）は、第１又は２の態様において、前記第１電極（３１）は、最表面がＡｕ膜の表面により構成されている第１パッド電極層（３１Ｂ）を備え、前記第２電極（３２）は、最表面がＡｕ膜の表面により構成されている第２パッド電極層（３２Ｂ）を備え、前記第２接合用金属層（４３）は、下地膜（４３１）とＡｕ膜（４３２）との積層膜により構成されている。
　本発明に係る第４の態様の発光装置（１ａ、１ｂ、１ｃ、１ｄ、１ｅ、１ｆ、１ｇ、１ｊ）は、第１乃至３のいずれか一つの態様において、前記第３接合部（６３）は、前記キャップ本体（６６０）の前記裏面（６６２）における外周縁の全周に沿って形成されている。
　本発明に係る第５の態様の発光装置（１ａ、１ｂ、１ｃ、１ｄ、１ｅ、１ｆ、１ｇ）は、第４の態様において、前記実装基板（２ａ、２ｂ、２ｄ）と前記キャップ（６ａ、６ｃ、６ｅ、６ｇ）とで囲まれた空間を不活性ガス雰囲気としてある。
　本発明に係る第６の態様の発光装置（１ａ、１ｂ、１ｃ、１ｄ、１ｅ、１ｆ、１ｇ、１ｊ）は、第１乃至５のいずれか一つの態様において、前記キャップ（６ａ、６ｃ、６ｅ、６ｇ）は、平面視において前記実装基板（２ａ、２ｂ、２ｄ）よりも小さい。
　本発明に係る第７の態様の発光装置（１ａ、１ｂ、１ｃ、１ｅ、１ｇ、１ｊ）は、第１乃至６のいずれか一つの態様において、前記実装基板（２ａ、２ｂ）は、第１外部接続電極（２４）及び第２外部接続電極（２５）と、前記支持体（２０ａ）の厚さ方向に貫通して形成された第１貫通配線（２６）及び第２貫通配線（２７）と、を備え、前記第１外部接続電極（２４）及び前記第２外部接続電極（２５）は、前記支持体（２０ａ）の裏面（２０２）に形成され、前記第１外部接続電極（２４）は、前記第１貫通配線（２６）を介して前記第１導体部（２１）と電気的に接続され、前記第２外部接続電極（２５）は、前記第２貫通配線（２７）を介して前記第２導体部（２２）と電気的に接続されている。
　本発明に係る第８の態様の発光装置（１ａ、１ｂ、１ｃ、１ｅ、１ｇ、１ｊ）は、第７の態様において、前記支持体（２０ａ）は、ＡｌＮセラミックにより形成されている。
　本発明に係る第９の態様の発光装置（１ｄ、１ｆ）は、第１乃至６のいずれか一つの態様において、前記実装基板（２ｄ）は、多層基板であり、前記実装基板（２ｄ）は、第１外部接続電極（２４）及び第２外部接続電極（２５）と、第１配線層（２８）と、第２配線層（２９）と、電気絶縁層（２５３）と、を備え、前記第１配線層（２８）及び前記第２配線層（２９）は、前記支持体（２０ｄ）の前記表面（２０１）側に配置され、前記第１導体部（２１）及び前記第１外部接続電極（２４）は、前記第１配線層（２８）上に配置されて前記第１配線層（２８）と電気的に接続され、前記第２導体部（２２）及び前記第２外部接続電極（２５）は、前記第２配線層（２９）上に配置されて前記第２配線層（２９）と電気的に接続され、前記電気絶縁層（２５３）は、前記支持体（２０ｄ）の前記表面（２０１）側で前記第１配線層（２８）と前記第２配線層（２９）とを覆うように配置され、前記第１接合用金属層（２３）は、前記電気絶縁層（２５３）上に配置されている。
　本発明に係る第１０の態様の発光装置（１ｄ、１ｆ）は、第９の態様において、前記実装基板（２ｄ）は、前記電気絶縁層（２５３）からなる第１電気絶縁層（２５３）とは別の第２電気絶縁層（２５１）を備え、前記支持体（２０ｄ）は、Ｓｉにより形成されており、前記第２電気絶縁層（２５１）は、前記支持体（２０ｄ）の前記表面（２０１）上に配置され、前記第１配線層（２８）及び前記第２配線層（２９）は、前記第２電気絶縁層（２５１）上に配置されている。
　本発明に係る第１１の態様の発光装置（１ａ、１ｂ、１ｃ、１ｄ、１ｇ、１ｊ）は、第１乃至１０のいずれか一つの態様において、前記キャップ（６ａ、６ｃ、６ｇ）は、前記実装基板（２ａ、２ｂ、２ｄ）上に配置され前記紫外線発光素子（３）を露出させる貫通孔（４１）が形成されたスペーサ（４）と、前記スペーサ（４）の前記貫通孔（４１）を塞ぐように前記スペーサ（４）上に配置されており前記スペーサ（４）に接合されているカバー（５）と、を備え、前記カバー（５）において前記貫通孔（４１）により露出した面が前記凹部（６６３）の内底面（６６４）を構成しており、前記カバー（５）は、前記紫外線発光素子（３）から放射される紫外線を透過するガラスにより形成され、前記スペーサ（４）は、Ｓｉにより形成されたスペーサ本体（４０）と、前記スペーサ本体（４０）における前記実装基板（２ａ、２ｂ、２ｄ）との対向面（４２）側で前記第１接合用金属層（２３）に対向して配置された前記第２接合用金属層（４３）と、を備える。
　本発明に係る第１２の態様の発光装置（１ａ、１ｂ、１ｃ、１ｄ、１ｇ、１ｊ）は、第１１の態様において、前記貫通孔（４１）は、前記スペーサ本体（４０）に形成されており、前記貫通孔（４１）は、前記実装基板（２ａ、２ｂ、２ｄ）から離れるにつれて開口面積が漸次増加している。
　本発明に係る第１３の態様の発光装置（１ａ、１ｂ、１ｃ、１ｄ、１ｇ、１ｊ）は、第１２の態様において、前記スペーサ本体（４０）は、表面（４０１）が（１００）面の単結晶Ｓｉ基板（４００）から形成されており、前記貫通孔（４１）の内側面が｛１１１｝面に沿った面である。
　本発明に係る第１４の態様の発光装置（１ａ、１ｂ、１ｃ、１ｄ、１ｇ、１ｊ）は、第１３の態様において、前記スペーサ（４）は、前記貫通孔（４１）の前記内側面が｛１１１｝面に沿って形成されたシリコン酸化膜の表面により構成されている。
　本発明に係る第１５の態様の発光装置（１ａ、１ｂ、１ｃ、１ｄ、１ｇ、１ｊ）は、第１１乃至１４のいずれか一つの態様において、前記紫外線発光素子（３）は、ＵＶ－Ｃの波長域に発光ピーク波長を有する紫外線を放射するように構成されている。
　本発明に係る第１６の態様の発光装置（１ａ、１ｂ、１ｄ、１ｇ、１ｊ）は、第１１乃至１５のいずれか一つの態様において、前記カバー（５）を形成するガラスは、アルカリ成分を含んでおり、前記スペーサ（４）と前記カバー（５）とが直接接合されている。
　本発明に係る第１７の態様の発光装置（１ｃ）は、第１１乃至１５のいずれか一つの態様において、前記スペーサ（４）と前記カバー（５）とが、前記スペーサ本体（４０）の熱膨張係数と前記カバー（５）の熱膨張係数との間の熱膨張係数を有する低融点ガラスにより形成された第４接合部（６４）により接合されている。
　本発明に係る第１８の態様の発光装置（１ｇ）は、第１６の態様において、前記スペーサ（４）は、前記スペーサ本体（４０）における前記カバー（５）との対向面（４５）側に形成されたシリコン酸化膜（４６）を備える。
　本発明に係る第１９の態様の発光装置（１ｅ、１ｆ）は、第１乃至１０のいずれか一つの態様において、前記キャップ本体（６６０）の全体が、前記紫外線発光素子（３）から放射される紫外線を透過するガラスにより形成されている。
　本発明に係る第２０の態様の発光装置（１ａ、１ｂ、１ｃ、１ｄ、１ｅ、１ｆ、１ｇ、１ｊ）の製造方法は、実装基板（２ａ、２ｂ、２ｄ）と、前記実装基板（２ａ、２ｂ、２ｄ）に実装された紫外線発光素子（３）と、前記実装基板（２ａ、２ｂ、２ｄ）上に配置され前記紫外線発光素子（３）を収納する凹部（６６３）が形成されたキャップ（６ａ、６ｃ、６ｅ、６ｇ）と、を備え、前記実装基板（２ａ、２ｂ、２ｄ）は、支持体（２０ａ、２０ｄ）と、前記支持体（２０ａ、２０ｄ）に支持された第１導体部（２１）、第２導体部（２２）及び第１接合用金属層（２３）と、を備え、前記第１導体部（２１）及び前記第２導体部（２２）は、前記支持体（２０ａ、２０ｄ）の表面（２０１）側において前記キャップ（６ａ、６ｃ、６ｅ、６ｇ）の前記凹部（６６３）の内底面（６６４）に臨むように配置され、前記キャップ（６ａ、６ｃ、６ｅ、６ｇ）は、表面（６６１）及び裏面（６６２）を有し前記裏面（６６２）に前記凹部（６６３）が形成されたキャップ本体（６６０）と、前記キャップ本体（６６０）の前記裏面（６６２）における前記凹部（６６３）の周部で前記第１接合用金属層（２３）に対向して配置された第２接合用金属層（４３）と、を備え、少なくとも、前記キャップ本体（６６０）の前記表面（６６１）と前記凹部（６６３）の内底面（６６４）との間の紫外線透過部（６６６）が、前記紫外線発光素子（３）から放射される紫外線を透過するガラスにより形成され、前記紫外線発光素子（３）は、第１電極（３１）と、第２電極（３２）と、を備え、前記紫外線発光素子（３）の厚さ方向の一面側に前記第１電極（３１）及び前記第２電極（３２）が配置されている、発光装置（１ａ、１ｂ、１ｃ、１ｄ、１ｅ、１ｆ、１ｇ、１ｊ）の製造方法であって、前記キャップ（６ａ、６ｃ、６ｅ、６ｇ）を形成し、その後、前記紫外線発光素子（３）の前記第１電極（３１）、前記第２電極（３２）及び前記キャップ（６ａ、６ｃ、６ｅ、６ｇ）における前記第２接合用金属層（４３）と前記実装基板（２ａ、２ｂ、２ｄ）の前記第１導体部（２１）、前記第２導体部（２２）及び前記第１接合用金属層（２３）とをそれぞれ第１ＡｕＳｎ層（７１）、第２ＡｕＳｎ層（７２）及び第３ＡｕＳｎ層（７３）により接合するようにし、前記第１ＡｕＳｎ層（７１）、前記第２ＡｕＳｎ層（７２）及び前記第３ＡｕＳｎ層（７３）は、前記実装基板（２ａ、２ｂ、２ｄ）に対して同一工程で一括形成される。
　本発明に係る第２１の態様の発光装置（１ａ、１ｂ、１ｃ、１ｄ、１ｅ、１ｆ、１ｇ、１ｊ）の製造方法は、第２０の態様において、前記紫外線発光素子（３）の前記第１電極（３１）及び前記第２電極（３２）と前記実装基板（２ａ、２ｂ、２ｄ）の前記第１導体部（２１）及び前記第２導体部（２２）とをそれぞれ前記第１ＡｕＳｎ層（７１）及び前記第２ＡｕＳｎ層（７２）により接合する第１接合処理を行い、前記第１接合処理に引き続き、前記キャップ（６ａ、６ｃ、６ｅ、６ｇ）の前記第２接合用金属層（４３）と前記実装基板（２ａ、２ｂ、２ｄ）の前記第１接合用金属層（２３）とを前記第３ＡｕＳｎ層（７３）により接合する第２接合処理を行うようにし、前記第１接合処理と前記第２接合処理とを、１台のボンディング装置のボンディング室で連続して行う。
　本発明に係る第２２の態様の発光装置（１ａ、１ｂ、１ｃ、１ｄ、１ｆ、１ｇ、１ｈ、１ｉ、１ｊ）は、実装基板（２ａ、２ｂ、２ｄ）と、前記実装基板（２ａ、２ｂ、２ｄ）に実装された紫外線発光素子（３）と、前記実装基板（２ａ、２ｂ、２ｄ）上に配置され前記紫外線発光素子（３）を露出させる貫通孔（４１）が形成されたスペーサ（４）と、前記スペーサ（４）の前記貫通孔（４１）を塞ぐように前記スペーサ（４）上に配置されたカバー（５）と、を備え、前記紫外線発光素子（３）は、紫外波長域に発光ピーク波長を有する紫外線を放射するように構成され、前記スペーサ（４）は、Ｓｉにより形成されたスペーサ本体（４０）を備え、前記貫通孔（４１）は、前記スペーサ本体（４０）に形成されており、前記貫通孔（４１）は、前記実装基板（２ａ、２ｂ、２ｄ）から離れるにつれて開口面積が漸次増加しており、前記カバー（５）は、前記紫外線発光素子（３）から放射される紫外線を透過するガラスにより形成され、前記スペーサ（４）と前記カバー（５）とが接合されている。
　本発明に係る第２３の態様の発光装置（１ａ、１ｂ、１ｃ、１ｄ、１ｆ、１ｇ、１ｈ、１ｉ、１ｊ）は、第２２の態様において、前記紫外線発光素子（３）は、ＵＶ－Ｃの波長域に発光ピーク波長を有する紫外線を放射するように構成されている。
　本発明に係る第２４の態様の発光装置（１ａ、１ｂ、１ｃ、１ｄ、１ｆ、１ｇ、１ｈ、１ｉ、１ｊ）は、第２２又は２３の態様において、前記スペーサ本体（４０）は、表面（４０１）が（１００）面の単結晶Ｓｉ基板（４００）から形成されており、前記貫通孔（４１）の内側面が｛１１１｝面に沿った面である。
　本発明に係る第２５の態様の発光装置（１ａ、１ｂ、１ｃ、１ｄ、１ｆ、１ｇ、１ｈ、１ｉ、１ｊ）は、第２４の態様において、前記スペーサ（４）は、前記貫通孔（４１）の前記内側面が｛１１１｝面に沿って形成されたシリコン酸化膜の表面により構成されている。
　本発明に係る第２６の態様の発光装置（１ｊ）は、第２２乃至２５のいずれか一つの態様において、前記実装基板（２ａ、２ｂ、２ｄ）と前記スペーサ（４）と前記カバー（５）とで囲まれた空間（８）内で前記紫外線発光素子（３）を覆っている封止部（８０）を備える。
　本発明に係る第２７の態様の発光装置（１ｇ）は、実装基板（２ａ、２ｂ、２ｄ）と、前記実装基板（２ａ、２ｂ、２ｄ）に実装された紫外線発光素子（３）と、前記実装基板（２ａ、２ｂ、２ｄ）上に配置され前記紫外線発光素子（３）を収納する凹部（６６３）が形成されたキャップ（６ｇ）と、を備え、前記キャップ（６ｇ）は、前記実装基板（２ａ、２ｂ、２ｄ）上に配置され前記紫外線発光素子（３）を露出させる貫通孔（４１）が形成されたスペーサ（４）と、前記スペーサ（４）の前記貫通孔（４１）を塞ぐように前記スペーサ（４）上に配置されており前記スペーサ（４）に接合されているカバー（５）と、を備え、前記カバー（５）は、前記紫外線発光素子（３）から放射される紫外線を透過する硼珪酸ガラスにより形成され、前記スペーサ（４）は、Ｓｉにより形成されたスペーサ本体（４０）と、前記スペーサ本体（４０）における前記カバー（５）との対向面（４５）側に形成されたシリコン酸化膜（４６）と、を備え、前記スペーサ（４）と前記カバー（５）とが直接接合されている。
　本発明に係る第２８の態様の発光装置（１ｇ）は、第２７の態様において、前記シリコン酸化膜（４６）は、熱酸化膜である。
　本発明に係る第２９の態様の発光装置（１ｇ）は、第２７又は２８の態様において、前記シリコン酸化膜（４６）の膜厚は、５０ｎｍ以上である。
　本発明に係る第３０の態様の発光装置（１ｇ）の製造方法は、実装基板（２ａ、２ｂ、２ｄ）と、前記実装基板（２ａ、２ｂ、２ｄ）に実装された紫外線発光素子（３）と、前記実装基板（２ａ、２ｂ、２ｄ）上に配置され前記紫外線発光素子（３）を収納する凹部（６６３）が形成されたキャップ（６ｇ）と、を備え、前記キャップ（６ｇ）は、前記実装基板（２ａ、２ｂ、２ｄ）上に配置され前記紫外線発光素子（３）を露出させる貫通孔（４１）が形成されたスペーサ（４）と、前記スペーサ（４）の前記貫通孔（４１）を塞ぐように前記スペーサ（４）上に配置されており前記スペーサ（４）に接合されているカバー（５）と、を備え、前記カバー（５）は、前記紫外線発光素子（３）から放射される紫外線を透過する硼珪酸ガラスにより形成され、前記スペーサ（４）は、Ｓｉにより形成されたスペーサ本体（４０）と、前記スペーサ本体（４０）における前記カバー（５）との対向面（４５）側に形成されたシリコン酸化膜（４６）と、を備え、前記スペーサ（４）と前記カバー（５）とが直接接合されている、発光装置（１ｇ）の製造方法であって、前記スペーサ（４）を複数形成した第１ウェハ（４００１）と前記カバー（５）を複数形成できる第２ウェハ（５０００）とを陽極接合により直接接合することでウェハレベル接合体を形成し、その後、ウェハレベル接合体をダイシングすることによって前記キャップ（６ｇ）を形成し、前記紫外線発光素子３が実装されている実装基板（２ａ、２ｂ、２ｄ）と前記キャップ（６ｇ）とを接合する。

Claims (21)

  1. 　実装基板と、前記実装基板に実装された紫外線発光素子と、前記実装基板上に配置され前記紫外線発光素子を収納する凹部が形成されたキャップと、を備え、
    　前記実装基板は、支持体と、前記支持体に支持された第１導体部、第２導体部及び第１接合用金属層と、を備え、
    　前記第１導体部及び前記第２導体部は、前記支持体の表面側において前記キャップの前記凹部の内底面に臨むように配置され、
    　前記キャップは、表面及び裏面を有し前記裏面に前記凹部が形成されたキャップ本体と、前記キャップ本体の前記裏面における前記凹部の周部で前記第１接合用金属層に対向して配置された第２接合用金属層と、を備え、少なくとも、前記キャップ本体の前記表面と前記凹部の内底面との間の紫外線透過部が、前記紫外線発光素子から放射される紫外線を透過するガラスにより形成され、
    　前記紫外線発光素子は、第１電極と、第２電極と、を備え、前記紫外線発光素子の厚さ方向の一面側に前記第１電極及び前記第２電極が配置されており、
    　前記第１導体部と前記第２導体部と前記第１接合用金属層とは、前記支持体の表面側で同じ積層膜から構成されており、
    　前記第１導体部、前記第２導体部及び前記第１接合用金属層それぞれにおける前記支持体から最も離れた最上層はＡｕにより形成され、
    　前記第１電極と前記第１導体部とが、ＡｕＳｎにより形成された第１接合部により接合され、
    　前記第２電極と前記第２導体部とが、ＡｕＳｎにより形成された第２接合部により接合され、
    　前記第１接合用金属層と前記第２接合用金属層とが、ＡｕＳｎにより形成された第３接合部により接合されている、
    　ことを特徴とする発光装置。
  2. 　前記第１導体部、前記第２導体部及び前記第１接合用金属層と、前記第１接合部、前記第２接合部及び前記第３接合部との間にそれぞれ、第１バリア層、第２バリア層及び第３バリア層が形成されており、
    　前記第１バリア層と前記第２バリア層と前記第３バリア層とは同じ材料でかつ、同じ厚さで形成されている、
    　ことを特徴とする請求項１記載の発光装置。
  3. 　前記第１電極は、最表面がＡｕ膜の表面により構成されている第１パッド電極層を備え、
    　前記第２電極は、最表面がＡｕ膜の表面により構成されている第２パッド電極層を備え、
    　前記第２接合用金属層は、下地膜とＡｕ膜との積層膜により構成されている、
    　ことを特徴とする請求項１又は２に記載の発光装置。
  4. 　前記第３接合部は、前記キャップ本体の前記裏面における外周縁の全周に沿って形成されている、
    　ことを特徴とする請求項１乃至３のいずれか一項に記載の発光装置。
  5. 　前記実装基板と前記キャップとで囲まれた空間を不活性ガス雰囲気としてある、
    　ことを特徴とする請求項４記載の発光装置。
  6. 　前記キャップは、平面視において前記実装基板よりも小さい、
    　ことを特徴とする請求項１乃至５のいずれか一項に記載の発光装置。
  7. 　前記実装基板は、第１外部接続電極及び第２外部接続電極と、前記支持体の厚さ方向に貫通して形成された第１貫通配線及び第２貫通配線と、を備え、
    　前記第１外部接続電極及び前記第２外部接続電極は、前記支持体の裏面に形成され、
    　前記第１外部接続電極は、前記第１貫通配線を介して前記第１導体部と電気的に接続され、
    　前記第２外部接続電極は、前記第２貫通配線を介して前記第２導体部と電気的に接続されている、
    　ことを特徴とする請求項１乃至６のいずれか一項に記載の発光装置。
  8. 　前記支持体は、ＡｌＮセラミックにより形成されている、
    　ことを特徴とする請求項７記載の発光装置。
  9. 　前記実装基板は、多層基板であり、
    　前記実装基板は、第１外部接続電極及び第２外部接続電極と、第１配線層と、第２配線層と、電気絶縁層と、を備え、
    　前記第１配線層及び前記第２配線層は、前記支持体の前記表面側に配置され、
    　前記第１導体部及び前記第１外部接続電極は、前記第１配線層上に配置されて前記第１配線層と電気的に接続され、
    　前記第２導体部及び前記第２外部接続電極は、前記第２配線層上に配置されて前記第２配線層と電気的に接続され、
    　前記電気絶縁層は、前記支持体の前記表面側で前記第１配線層と前記第２配線層とを覆うように配置され、
    　前記第１接合用金属層は、前記電気絶縁層上に配置されている、
    　ことを特徴とする請求項１乃至６のいずれか一項に記載の発光装置。
  10. 　前記実装基板は、前記電気絶縁層からなる第１電気絶縁層とは別の第２電気絶縁層を備え、
    　前記支持体は、Ｓｉにより形成されており、
    　前記第２電気絶縁層は、前記支持体の前記表面上に配置され、
    　前記第１配線層及び前記第２配線層は、前記第２電気絶縁層上に配置されている、
    　ことを特徴とする請求項９記載の発光装置。
  11. 　前記キャップは、前記実装基板上に配置され前記紫外線発光素子を露出させる貫通孔が形成されたスペーサと、前記スペーサの前記貫通孔を塞ぐように前記スペーサ上に配置されており前記スペーサに接合されているカバーと、を備え、前記カバーにおいて前記貫通孔により露出した面が前記凹部の内底面を構成しており、
    　前記カバーは、前記紫外線発光素子から放射される紫外線を透過するガラスにより形成され、
    　前記スペーサは、Ｓｉにより形成されたスペーサ本体と、前記スペーサ本体における前記実装基板との対向面側で前記第１接合用金属層に対向して配置された前記第２接合用金属層と、を備える、
    　ことを特徴とする請求項１乃至１０のいずれか一項に記載の発光装置。
  12. 　前記貫通孔は、前記スペーサ本体に形成されており、
    　前記貫通孔は、前記実装基板から離れるにつれて開口面積が漸次増加している、
    　ことを特徴とする請求項１１記載の発光装置。
  13. 　前記スペーサ本体は、表面が（１００）面の単結晶Ｓｉ基板から形成されており、前記貫通孔の内側面が｛１１１｝面に沿った面である、
    　ことを特徴とする請求項１２記載の発光装置。
  14. 　前記スペーサは、前記貫通孔の前記内側面が｛１１１｝面に沿って形成されたシリコン酸化膜の表面により構成されている、
    　ことを特徴とする請求項１３記載の発光装置。
  15. 　前記紫外線発光素子は、ＵＶ－Ｃの波長域に発光ピーク波長を有する紫外線を放射するように構成されている、
    　ことを特徴とする請求項１１乃至１４のいずれか一項に記載の発光装置。
  16. 　前記カバーを形成するガラスは、アルカリ成分を含んでおり、
    　前記スペーサと前記カバーとが直接接合されている、
    　ことを特徴とする請求項１１乃至１５のいずれか一項に記載の発光装置。
  17. 　前記スペーサと前記カバーとが、前記スペーサ本体の熱膨張係数と前記カバーの熱膨張係数との間の熱膨張係数を有する低融点ガラスにより形成された第４接合部により接合されている、
    　ことを特徴とする請求項１１乃至１５のいずれか一項に記載の発光装置。
  18. 　前記スペーサは、前記スペーサ本体における前記カバーとの対向面側に形成されたシリコン酸化膜を備える、
    　ことを特徴とする請求項１６記載の発光装置。
  19. 　前記キャップ本体の全体が、前記紫外線発光素子から放射される紫外線を透過するガラスにより形成されている、
    　ことを特徴とする請求項１乃至１０のいずれか一項に記載の発光装置。
  20. 　実装基板と、前記実装基板に実装された紫外線発光素子と、前記実装基板上に配置され前記紫外線発光素子を収納する凹部が形成されたキャップと、を備え、
    　前記実装基板は、支持体と、前記支持体に支持された第１導体部、第２導体部及び第１接合用金属層と、を備え、
    　前記第１導体部及び前記第２導体部は、前記支持体の表面側において前記キャップの前記凹部の内底面に臨むように配置され、
    　前記キャップは、表面及び裏面を有し前記裏面に前記凹部が形成されたキャップ本体と、前記キャップ本体の前記裏面における前記凹部の周部で前記第１接合用金属層に対向して配置された第２接合用金属層と、を備え、少なくとも、前記キャップ本体の前記表面と前記凹部の内底面との間の紫外線透過部が、前記紫外線発光素子から放射される紫外線を透過するガラスにより形成され、
    　前記紫外線発光素子は、第１電極と、第２電極と、を備え、前記紫外線発光素子の厚さ方向の一面側に前記第１電極及び前記第２電極が配置されている、発光装置の製造方法であって、
    　前記キャップを形成し、
    　その後、前記紫外線発光素子の前記第１電極、前記第２電極及び前記キャップにおける前記第２接合用金属層と前記実装基板の前記第１導体部、前記第２導体部及び前記第１接合用金属層とをそれぞれ第１ＡｕＳｎ層、第２ＡｕＳｎ層及び第３ＡｕＳｎ層により接合するようにし、
    　前記第１ＡｕＳｎ層、前記第２ＡｕＳｎ層及び前記第３ＡｕＳｎ層は、前記実装基板に対して同一工程で一括形成される、
    　ことを特徴とする発光装置の製造方法。
  21. 　前記紫外線発光素子の前記第１電極及び前記第２電極と前記実装基板の前記第１導体部及び前記第２導体部とをそれぞれ前記第１ＡｕＳｎ層及び前記第２ＡｕＳｎ層により接合する第１接合処理を行い、
    　前記第１接合処理に引き続き、前記キャップの前記第２接合用金属層と前記実装基板の前記第１接合用金属層とを前記第３ＡｕＳｎ層により接合する第２接合処理を行うようにし、
    　前記第１接合処理と前記第２接合処理とを、１台のボンディング装置のボンディング室で連続して行う、
    　ことを特徴とする請求項２０記載の発光装置の製造方法。
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