JP2012124443A - 半導体発光装置及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】バンプ電極14を有するLED素子18は反射剤を含む封止部材11によって側面とともに下面が封止され、上面には蛍光体層15がある。封止部材11の下面にはバンプ電極14に接続する接続電極17が形成されている。このとき封止部材11とバンプ電極14の下面の高さが略一致し、接続電極17がメッキ電極からなる。LED素子18の側面と下面を反射性の封止部材11で囲むとLED素子18の発光が全て上方に向かうため発光効率が高い。この状態で封止部材11とバンプ電極14の下面を平坦にしておくことで接続電極17の形成にメッキ法が適用できる。
【選択図】図1
Description
前記蛍光体層は前記半導体発光素子の上面に形成され、
前記封止部材は反射剤を含み、前記半導体発光素子の側面とともに前記バンプ電極を除く前記半導体発光素子の下面を封止し、
前記封止部材と前記バンプ電極の下面の高さが略一致し、
前記接続電極が前記封止部材及び前記バンプ電極の下面に接し、メッキ電極からなることを特徴とする。
上面に粘着層を備える支持基板に前記バンプ電極が形成された面を上に向けて複数の前記半導体発光素子を配置する素子配置工程と、
前記複数の半導体発光素子の側面とともに前記バンプ電極を有する面を、反射剤を含む前記封止部材で封止する封止工程と、
前記封止部材と前記バンプ電極の高さが一致するように該封止部材又は該バンプ電極を削る研磨工程と、
前記封止部材で前記複数の半導体発光素子が連結した集合体の前記バンプ電極が露出した面にメッキ法で前記接続電極を形成する電極形成工程と、
前記集合体を切断して個片化する個片化工程と
を備えることを特徴とする。
(第1実施形態)
に限らず蒸着法やスパッタ法、CVD法など他のメッキ法でも良い。しかしながら電解メッキ法は大気中及び低温で処理できるため扱いやすい。
(実施形態2)
(実施形態3)
(第4実施形態)
11,41…封止部材、
12,42…サファイア基板、
13,43…半導体層、
14,44…バンプ電極、
14a,c,e…n側バンプ(バンプ電極)、
14b,d,f…p側バンプ(バンプ電極)、
15,45…蛍光体層、
16,46…透明樹脂層、
17,47…接続電極、
18,48,71,72,73…LED素子(半導体発光素子)、
31,36…支持基板、
32…集合体、
33…メッキ用共通電極膜、
34…レジスト膜、
35…金属層、
51…ウェハー、
52…透明層、
53…第2封止部材、
61…n型半導体層、
62a〜c…p型半導体層、
63…配線、
64…金属膜、
65…保護膜、
66…サファイア基板、
L1,L2、L3,L4…光線。
Claims (12)
- バンプ電極を有する半導体発光素子と、該半導体発光素子から出射する光を波長変換する蛍光体層と、少なくとも該半導体発光素子の側面を封止する封止部材と、外部基板との接続をとる接続電極とを備える半導体発光装置において、
前記蛍光体層は前記半導体発光素子の上面に形成され、
前記封止部材は反射剤を含み、前記半導体発光素子の側面とともに前記バンプ電極を除く前記半導体発光素子の下面を封止し、
前記封止部材と前記バンプ電極の下面の高さが略一致し、
前記接続電極が前記封止部材及び前記バンプ電極の下面に接し、メッキ電極からなることを特徴とする半導体発光装置。 - 前記蛍光体層が前記半導体層の上面にのみ存在し、該蛍光体層の側面が前記封止部材で封止されていることを特徴とする請求項1に記載の半導体発光装置。
- 前記蛍光層の上面に透明層を備え、該透明層の側面が前記封止部材で封止されていることを特徴とする請求項2に記載の半導体発光装置。
- 前記封止部材の下に第2封止部材があることを特徴とする請求項1から3のいずれか一項に記載の半導体発光装置。
- 前記封止部材のバインダがシリコーン樹脂であることを特徴とする請求項1から4のいずれか一項に記載の半導体発光装置。
- 前記封止部材のバインダが焼結するとガラス質となる無機バインダであることを特徴とする請求項1から4のいずれか一項に記載の半導体発光装置。
- 前記半導体発光素子は、n型半導体層と接続する前記バンプ電極が保護膜を介してp型半導体層と積層していることを特徴とする請求項1から6のいずれか一項に記載の半導体発光装置。
- 前記半導体発光素子は電極面の略中央に前記n型半導体層の露出部を備えることを特徴とする請求項7に記載の半導体発光装置。
- バンプ電極を有する半導体発光素子の上面に該半導体発光素子から出射する光を波長変換する蛍光体層を形成するとともに、少なくとも該半導体発光素子側面を封止部材で封止し、該封止部材の底面には接続電極を形成する半導体発光装置の製造方法において、
上面に粘着層を備える支持基板に前記バンプ電極が形成された面を上に向けて複数の前記半導体発光素子を配置する素子配置工程と、
前記複数の半導体発光素子の側面とともに前記バンプ電極を有する面を、反射剤を含む前記封止部材で封止する封止工程と、
前記封止部材と前記バンプ電極の高さが一致するように該封止部材又は該バンプ電極を削る研磨工程と、
前記封止部材で前記複数の半導体発光素子が連結した集合体の前記バンプ電極が露出した面にメッキ法で前記接続電極を形成する電極形成工程と、
前記集合体を切断して個片化する個片化工程と
を備えることを特徴とする半導体発光装置の製造方法。 - 前記メッキ法が電解メッキ法であることを特徴とする請求項9に記載の半導体発光装置の製造方法。
- 前記電極形成工程の後に前記集合体を前記支持基板から剥離し、接続電極を形成した面を下にして新たな支持基板上に配置してから、前記集合体上面に前記蛍光体層を形成することを特徴とする請求項9又は10に記載の半導体発光装置の製造方法。
- 前記半導体発光素子が連結して配列したウェハーに前記蛍光体層を形成し、該ウェハーを個片化して得られた前記半導体発光素子を前記支持基板に配置することを特徴とする請求項9又は10に記載の半導体発光装置の製造方法。
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