JP6431013B2 - 窒化アルミニウム系半導体深紫外発光素子 - Google Patents
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Description
上記のように、良好な特性を有する縦型構造の窒化アルミニウム系半導体深紫外発光素子を、歩留りよく作製することは困難であった。
[窒化アルミニウム系半導体深紫外発光素子の構成]
図1および図2を参照して、本実施形態の窒化アルミニウム系半導体深紫外発光素子(発光層104を含む窒化アルミニウム系半導体層構造体403を有する発光素子をいう、以下同じ。)は、窒化アルミニウム系半導体層構造体403の形成に用いられる下地基板がすべて除去された縦型構造の窒化アルミニウム系半導体深紫外発光素子である。すなわち、本実施形態の窒化アルミニウム系半導体深紫外発光素子は、導電性支持基板205と、空孔率が10%以上50%以下であり導電性を有するマクロポーラス構造の多孔質金属膜204と、発光層104を含む窒化アルミニウム系半導体層構造体403と、を含み、導電性支持基板205と、窒化アルミニウム系半導体層構造体403とが、多孔質金属膜204を介在して、電気的に接続するように接合されている、発光ピーク波長が220nm以上300nm以下の窒化アルミニウム系半導体深紫外発光素子である。ここで、窒化アルミニウム系半導体層構造体403は、第1導電型コンタクト層103と、発光層104と、第2導電型コンタクト層107と、をこの順に含み、第2導電型コンタクト層107は、多孔質金属膜204を介在して、導電性支持基板205と電気的に接続するように接合され、第1導電型コンタクト層103の少なくとも一部(図1の第1導電型コンタクト層103の一主面である表面の一部、あるいは図2の第1導電型コンタクト層103の一主面である表面の全部)に電気的に接続するように接合されている第1導電側電極(図1の第1導電側コンタクト電極301および第1導電側パッド電極302、あるいは図2の第1導電側透光性導電膜304および第1導電側パッド電極302)をさらに含む。
導電性支持基板205は、窒化アルミニウム系半導体層構造体403を支持する導電性基板をいい、導電性支持基板205の導電性が高く縦型構造の窒化アルミニウム系発光素子のオン抵抗を低減できる観点から、導電性支持基板205はシリコン基板であることが好ましい。また、かかるシリコン基板は、実用されている半導体材料の中で最も加工が容易であり、その技術が洗練され、かつ材料および加工のコストも安価である観点からも好ましい。
窒化アルミニウム系半導体層構造体403は、窒化アルミニウム(AlN)を含有する半導体層(たとえば、AlxGa1-xN(0<x≦1)半導体層)を少なくとも1層含む構造体をいい、少なくとも第1導電型コンタクト層103と、発光層104と、第2導電型コンタクト層107と、をこの順に含み、発光素子としての機能を発現する。ここで、第1導電型コンタクト層103は、発光層104から発する光を透過し、発光効率を低下させない観点から、第1導電型AlxGa1-xN(0<x≦1かつx≧(発光層104の平均Al組成))コンタクト層であることが好ましい。発光層104は、発光波長の温度に対する安定性および内部量子効率を高める観点から、複数周期のAlsGa1-sN(0<s≦1)バリア層とAltGa1-tN(0<t≦1)井戸層とで構成される多重量子井戸構造を有することが好ましい。第2導電型コンタクト層107は、発光層104から発する光の大部分を透過し、発光効率を低下させず、かつコンタクト抵抗を低減する観点から、第2導電型AlyGa1-yN(0.25≦y≦1)コンタクト層であることが好ましい。
多孔質金属膜204は、空孔率が10%以上50%以下であり導電性を有するマクロポーラス構造の金属膜をいう。ここで、空孔率は、以下の方法により算出する。多孔質金属膜204の任意に特定される断面のSEM(走査型電子顕微鏡)観察において、断面積全体に対する空孔断面積の百分率(空孔面積率)を算出し、かかる空孔面積率を3/2乗することにより、空孔率を算出する。断面の空孔面積率は、測定場所によるムラもあるため、複数の断面の空孔の面積率の測定を行ってその平均を取るなどして、空孔面積率および空孔率を算出することが好ましい。空孔率は、窒化アルミニウム系半導体層構造体を接合する際、多孔質金属膜中で応力を低減させる観点から、10%以上であり、15%以上が好ましく、20%以上がより好ましい。また、空孔率は、窒化アルミニウム系半導体層構造体を接合する際、接合面積を確保し十分な接合強度を得る観点から、50%以下であり、45%以下が好ましく、40%以下がより好ましい。
本実施形態の窒化アルミニウム系発光素子の発光ピーク波長は、220nm以上300nm以下の深紫外線領域にある。また、発光ピークの半幅は、概ね数十nm以下である。
本実施形態の窒化アルミニウム系発光素子の製造方法は、特に制限はないが、効率よく製造する観点から、下地基板上における窒化アルミニウム系半導体層構造体の形成工程、第2導電型の層(具体的には、第2導電型ブロック層105、第2導電型層106および第2導電型コンタクト層107)の活性化工程、第2導電側電極および反射電極の形成工程、多孔質金属膜による導電性支持基板の接合工程、下地基板の除去工程、光取出し構造の形成工程、および第1導電側電極(第1導電側コンタクト電極および第1導電側パッド電極)の形成工程を含むことが好ましい。
図3を参照して、窒化アルミニウム系半導体層構造体403を形成するための下地基板101は、高品質の窒化アルミニウム系半導体層構造体403を形成する観点から、サファイア基板が好適に用いられる。下地基板101としては、サファイア基板以外に、シリコン基板、窒化シリコン基板、窒化ガリウム基板などを用いることもできる。下地基板101上に窒化アルミニウム系半導体層構造体403を形成するための窒化アルミニウム系半導体層を成長させる方法は、高品質の窒化アルミニウム系半導体層構造体403を厚さの精度よくかつ効率よく成長させる観点から、MOCVD(有機金属化学気相堆積)法、MBE(分子線気相成長)法などが好適に用いられる。
次に、窒化アルミニウム系半導体ウェハ401は、MOCVD装置から取り出され、第2導電型の層(第2導電型ブロック層105、第2導電型層106および第2導電型コンタクト層107)であるp型層(p型Al0.85Ga0.15Nブロック層、p型Al0.60Ga0.40N層およびp型Al0.25Ga0.75Nコンタクト層)を活性化するための熱処理が行われる。すなわち、窒化アルミニウム系半導体ウェハ401が熱処理装置内に導入され、650〜1350℃(たとえば900℃)の高温で1〜30分間(たとえば5分間)熱処理される。熱処理の雰囲気としては、たとえば、窒素雰囲気、または窒素と0.1〜100%(たとえば3%)の酸素を含む窒素/酸素混合雰囲気もしくは純酸素雰囲気を利用することができる。本実施形態では、純酸素雰囲気で熱処理を実施する。この熱処理によって、p型層の活性化が促進されて、p型層が低抵抗化される。この低抵抗化は、p型層中に不純物として添加されたマグネシウムに結合していた水素が熱処理の効果によって離脱し、マグネシウムがアクセプタとして活性化されることによる。
次に、図4に示すように、熱処理により第2導電型であるp型層が活性化された窒化アルミニウム系半導体ウェハ401の第2導電型コンタクト層107側に第2導電側コンタクト電極201(p型コンタクト電極)および反射電極202が形成される。より具体的には、熱処理により第2導電型であるp型層が活性化された窒化アルミニウム系半導体ウェハ401が、真空蒸着装置内へ導入され、窒化アルミニウム系半導体ウェハ401の第2導電型コンタクト層107上に、NiおよびAuの薄膜からなる第2導電側コンタクト電極201が形成される。このとき、第2導電側コンタクト電極201による光吸収を抑制するために、その透過率は75%以上であることが好ましく、95%以上であることがより好ましい。このために、第2導電側コンタクト電極201の厚さは、0.5〜50nmであることが好ましい。NiとAuのそれぞれの層厚は、2層の合計の厚さが上記の0.5〜50nmの範囲内であれば、それぞれ0nm〜50nmの範囲で任意に変更することができ、かつそれらの層の総厚さが0.5〜50nmの範囲であれば、それぞれ交互に複数層積層するなど、3層以上の構造であってもよいし、NiあるいはAuのみの単層構造であってもよい。なお、発明者らは、第1層Ni2.5nm、第2層Au2.5nmの計5.0nmの時において、続いて行う、電極アロイ後において、第2導電側コンタクト電極201の透過率96%(波長280nmでの測定)が得られることを確認した。Ni、Auからなる第2導電側コンタクト電極201の形成後、第2導電側コンタクト電極201の合金化およびオーミック電極化のために、電極アロイ処理を行った。電極アロイ処理は、熱処理炉に、第2導電側コンタクト電極201が形成された窒化アルミニウム系半導体ウェハ401を導入し、100%酸素の雰囲気中で、1気圧、500℃の条件で、5分間実施される。次いで、第2導電側コンタクト電極201上に、Alからなる反射電極202が形成されることが好ましい。反射電極202の形成は、真空蒸着装置にてAlを蒸着することで行われる。反射電極202は、発光層104で発した光を損失を小さく反射させる必要から、窒化アルミニウム系半導体ウェハ401全面に均一に形成することが望ましい。
次に、図4に示すように、第2導電側コンタクト電極201および反射電極202が形成された窒化アルミニウム系半導体ウェハ401は、多孔質金属膜204により、導電性支持基板205に接合される。窒化アルミニウム系発光素子は、かかる接合により、発光層104から導電性支持基板205の方向へ発せられた220nm以上300nm以下の波長の紫外光は、第2導電側コンタクト電極201を透過し、反射電極202およびマクロポーラス構造の多孔質金属膜204で反射され、再び第2導電側コンタクト電極201を透過して、導電性支持基板205の反対方向へと放射される。
次に、窒化アルミニウム系半導体ウェハ401からの下地基板101の除去を行う。かかる下地基板101(たとえばサファイア基板)の除去は、レーザリフトオフ法を用いて行うことができる。たとえば、図4中の矢印で示されているように、波長193nmのレーザ光が下地基板101側から窒化アルミニウム系半導体ウェハ401内へ照射される。このレーザ光は、バッファ層102で吸収される。これは、バッファ層102のバンドギャップが、波長193nmの光が有するエネルギーよりも小さいため、波長193nmの光について、吸収機能を有するからである。この時、バッファ層102で吸収されたレーザ光のエネルギーの大部分が、熱エネルギーに変換され、発生した熱によってバッファ層102自体が熱分解される。これにより、下地基板101と、バッファ層102から導電性支持基板205までの部分とに分離されることで、下地基板101が剥離されて除去される。なお、下地基板101の除去の際に、照射されるレーザ光の波長193nmに比べて発光層104の発光ピーク波長は、220nm以上300nm以下と長いため、レーザ光の強度が強すぎて、バッファ層102および第1導電型コンタクト層103で、レーザ光をすべて吸収できない場合、あるいは、バッファ層102および第1導電型コンタクト層103で、多量の熱エネルギーが発生し、その熱エネルギーが発光領域まで、伝搬するような場合は、発光層104にダメージを与える可能性がある。このため、照射されるレーザ光がすべて、バッファ層102で吸収され、過度な熱エネルギーが発生しないよう、照射するレーザ光の強度および、バッファ層102の層厚を適切に調整することが必要である。なお、下地基板101の除去には、波長193nmのレーザ光以外でも、バッファ層102で吸収する任意の波長のレーザ光を用いることができる。
上述の下地基板101の除去によって、図5に示すような窒化アルミニウム系半導体層構造体403を含むウェハが得られる。レーザの照射によって下地基板が剥離された分離面には、レーザ照射によって分解したバッファ層に起因する残留層402が付着している。したがって、塩酸などの酸によるウェットエッチングで分離面を清浄化した後に、さらにドライエッチングを行って、第1導電型コンタクト層103の清浄な表面を露出させることが望ましい。たとえば、上記ウェハを塩酸溶液に3分間浸漬した後に、そのウェハをRIE(反応性イオンエッチング)装置に導入して厚さ0.5μm程度だけドライエッチングすればよい。なお、ドライエッチング時において、電子線描画装置等を利用して、第1導電型コンタクト層103の表面に、光取り出しの効率を高める構造(光取り出し構造)としてのテクスチャ構造の形成のための電子線レジストパターンを形成したのちに、ドライエッチングを行うことで、テクスチャ構造を形成することもできる。光取り出し構造であるテクスチャ構造の一例が、図6の概略斜視図に示されている。
次に、図1に示すように、光取り出し構造としてテクスチャ構造が表面に形成された第1導電型コンタクト層103のその表面の一部に、第1導電側コンタクト電極301が形成される。第1導電側コンタクト電極301形成用のレジストパターンがフォトリソグラフィで形成された後に、上記ウェハを蒸着装置内へ導入して、Ti/Alの積層構造からなる第1導電側コンタクト電極層が蒸着される。こうして第1導電側コンタクト電極層が形成された後に、上記ウェハが蒸着装置から取り出されて、第1導電側コンタクト電極層のリフトオフ処理を行って、第1導電側コンタクト電極301が形成される。第1導電側コンタクト電極301の形成後、必要に応じて、オーミック電極化および合金化の熱処理を行うことができる。
次に、第1導電側パッド電極302が形成された上記ウェハは必要に応じて、SiO2などの絶縁体からなる分割保護膜および/または電流阻止層などを形成したのちに、ダイシングによって適切なサイズ(本実施の形態では1mm×1mm)の複数のチップに分割される。チップ分割によって得られた各紫外LEDチップは、ステムまたはSMD(表面実装デバイス)としてマウントされ、第1導電側パッド電極302などに配線が行われ、さらに、紫外線透過樹脂などで封止されて、紫外LED素子となる。このとき、ステムまたはSMDなどのいずれのパッケージング形態であっても、発光光の出射面は、第1導電側電極側の面となる。
本実施形態の窒化アルミニウム系半導体深紫外発光素子は、空孔率が10%以上50%以下のマクロポーラス構造の多孔質金属膜204で、導電性支持基板205と窒化アルミニウム系半導体層構造体403が接合されていることから、導電性支持基板、窒化アルミニウム系半導体層構造体、多孔質金属膜および下地基板のそれぞれの熱膨張係数の違いによって発生した応力が、マクロポーラス構造の多孔質金属膜で吸収されることによって、導電性支持基板からのウェハの剥れや、窒化アルミニウム系半導体層構造体内でのクラック発生、多孔質金属膜でのクラックの発生を抑制することが可能となり、窒化アルミニウム系半導体深紫外発光素子の歩留りの向上が可能となる。また、マクロポーラス構造の多孔質金属膜は、高温耐性を有することから、500℃以上の条件での第1導電側コンタクト電極のオーミック化熱処理を実施することが可能となるため、良好なオーミック特性を有する、第1導電側コンタクト電極の形成が可能となり、発光効率が高く歩留りが高い縦型構造の窒化アルミニウム系半導体深紫外発光素子を提供することが可能となる。
[窒化アルミニウム系半導体深紫外発光素子の構成]
図8を参照して、本実施形態の窒化アルミニウム系半導体深紫外発光素子(発光層104を含む窒化アルミニウム系半導体層構造体403を有する発光素子をいう、以下同じ。)は、実施形態1の窒化アルミニウム系半導体深紫外発光素子と同様の縦型構造であって、窒化アルミニウム系半導体層構造体403の第1導電型コンタクト層103側の主面の一部上に接合されている別の基板として下地基板101をさらに有する縦型構造の窒化アルミニウム系半導体深紫外発光素子である。すなわち、本実施形態の窒化アルミニウム系半導体深紫外発光素子は、導電性支持基板205と、空孔率が10%以上50%以下であり導電性を有するマクロポーラス構造の多孔質金属膜204と、発光層104を含む窒化アルミニウム系半導体層構造体403と、を含み、導電性支持基板205と、窒化アルミニウム系半導体層構造体403とが、多孔質金属膜204を介在して、電気的に接続するように接合されている、発光ピーク波長が220nm以上300nm以下の窒化アルミニウム系半導体深紫外発光素子である。ここで、窒化アルミニウム系半導体層構造体403は、第1導電型コンタクト層103と、発光層104と、第2導電型コンタクト層107と、をこの順に含み、第2導電型コンタクト層107は、多孔質金属膜204を介在して、導電性支持基板205と電気的に接続するように接合され、第1導電型コンタクト層103側の一部に接合されている別の基板である下地基板101と、第1導電型コンタクト層103の他の一部に電気的に接続するように接合されている第1導電側電極(第1導電側コンタクト電極301および第1導電側パッド電極302)をさらに含む。すなわち、本実施形態においても、第1導電側電極は、第1導電型コンタクト層103の少なくとも一部に電気的に接続するように接合されている。
本実施形態の窒化アルミニウム系紫外発光素子における下地基板101は、窒化アルミニウム系半導体層構造体403の形成に用いられる基板であり、高品質の窒化アルミニウム系半導体層構造体403を形成する観点および波長220nm以上300nm以下の深紫外線を透過する観点から、サファイア基板が好ましい。
本実施形態の窒化アルミニウム系発光素子の製造方法は、特に制限はないが、効率よく製造する観点から、下地基板上における窒化アルミニウム系半導体層構造体の形成工程、第2導電型の層(具体的には、第2導電型ブロック層105、第2導電型層106および第2導電型コンタクト層107)の活性化工程、第2導電側電極および反射電極の形成工程、多孔質金属膜による導電性支持基板の接合工程、下地基板の一部の除去工程、第1導電型コンタクト層の露出工程、第1導電側電極(第1導電側コンタクト電極および第1導電側パッド電極)の形成工程、および光取出し構造の形成工程を含むことが好ましい。
下地基板上における窒化アルミニウム系半導体層構造体の形成工程、第2導電型の層(具体的には、第2導電型ブロック層105、第2導電型層106および第2導電型コンタクト層107)の活性化工程、第2導電側電極および反射電極の形成工程、および多孔質金属膜による導電性支持基板の接合工程は、実施形態1の窒化アルミニウム系半導体深紫外発光素子の場合と同じである。
多孔質金属膜204による窒化アルミニウム系半導体ウェハ401と導電性支持基板205との接合の後、窒化アルミニウム系半導体ウェハ401からの下地基板101の一部の除去を行う。かかる下地基板101の剥離は、第一の実施の形態と同様にレーザリフトオフ法を用いて行うことができる。本実施形態では、波長193nmのレーザ光は、下地基板101の除去したい部分にのみ窒化アルミニウム系半導体ウェハ内へ照射される。これにより、レーザが照射された部分のサファイア基板が剥離される。レーザの照射条件などは、レーザ照射エリア等が異なるのみで、第一の実施の形態と同様である。
上記の下地基板の一部除去により、図9に示すように、レーザの照射によって下地基板101が剥離された部分には、レーザ照射によって分解したバッファ層102に起因する残留層402が付着している。したがって、塩酸などの酸によるウェットエッチングで分離面を清浄化した後に、さらにドライエッチングを行って、第1導電型コンタクト層103の清浄な表面を露出させることが望ましい。たとえば、このウェハを塩酸溶液に3分間浸漬した後に、そのウェハをRIE(反応性イオンエッチング)装置に導入して厚さ0.5μm程度だけドライエッチングすればよい。
上記で露出され洗浄された第1導電型コンタクト層103上に第1導電側電極(第1導電側コンタクト電極301および第1導電側パッド電極302)を形成する。第1導電側コンタクト電極301および第1導電側パッド電極302の形成方法は、実施形態1の窒化アルミニウム系半導体深紫外発光素子の場合と同じである。なお、本実施形態においても、第1導電型コンタクト層103のAl組成は0.65と高いため、900℃の条件で第1導電側コンタクト電極301のオーミック化熱処理を第1導電側パッド電極302の形成前に実施している。
次に、電子線描画装置あるいはナノインプリント装置などを利用して、下地基板101の表面にテクスチャ構造形成のための電子線レジストパターン、あるいは、樹脂モールドを利用した樹脂パターンを形成したのちに、ドライエッチングを行うことで、テクスチャ構造を形成することもできる。テクスチャ構造の一例が、第一の実施の形態と同様、図5の模式的斜視図に示されている。このようなテクスチャ構造は必ずしも形成されることを要しないが、テクスチャ構造の形成によって、下地基板101からの光取り出し効率を向上させることができる。また、テクスチャ構造以外でも、光取り出し効率向上のために、モスアイ構造などの他の低反射率構造を成長基板の表面に形成してもよい。
次に、実施形態1の場合と同様に、上記ウェハはダイシングによって適切なサイズ(本実施の形態では1mm×1mm)の複数のチップに分割され、ステムまたはSMD(表面実装デバイス)としてマウントされ、第1導電側パッド電極302などに配線が行われ、さらに、紫外線透過樹脂などで封止されて、紫外LED素子となる。発光光の出射面は、第1導電側電極側の第1導電型コンタクト層103の主面となる。
本実施形態の窒化アルミニウム系半導体深紫外発光素子は、実施形態1の窒化アルミニウム系半導体深紫外発光素子と同様の縦型構造であって、窒化アルミニウム系半導体層構造体403の第1導電型コンタクト層103側の主面の一部上に接合している別の基板をさらに有する縦型構造であり、実施形態1の窒化アルミニウム系半導体深紫外発光素子と同様の作用効果を有し、発光効率が高く歩留りが高い縦型構造の窒化アルミニウム系半導体深紫外発光素子を提供することが可能となる。
図10および図11を参照して、本実施形態の窒化アルミニウム系半導体深紫外発光素子は、実施形態1と同様に、窒化アルミニウム系半導体層構造体403の形成に用いられる下地基板がすべて除去された縦型構造の窒化アルミニウム系半導体深紫外発光素子であって、端面から発光する発光素子である。端面発光の素子としては、レーザダイオード(LD)や、スーパールミネッセントダイオード(SLD)等の誘導放出型の発光素子があげられる。
次に、第1導電側パッド電極302が形成されたウェハは、劈開および/またはダイシングによってバー状に分割される。半導体レーザの場合は、劈開面の一方に高反射コーティングを施して光反射面とし、他方の面は、用途に応じて、低反射コーティング、保護コーティングなどを施して、レーザ出射面とする。スーパールミネッセントダイオードの場合は、レーザ発振が起こらないように、端面に低反射コーティング、凹凸形状の形成、および/または斜面化処理などの端面反射の低減化構造を形成する。端面処理を行ったのち、適切なサイズ(本実施の形態では0.8mm×0.4mm)の複数のチップに分割される。チップ分割によって得られた端面出射型発光素子チップは、ステムにマウントされ、第1導電側パッド電極などに配線が行われ、そして紫外線透過樹脂などで封止されて端面出射型紫外発光素子となる。
本実施形態の窒化アルミニウム系半導体深紫外発光素子は、一部電流経路が制限され誘導放出を容易に起こすことが可能な構造であり、かつ、下地基板がすべて除去された縦型構造の端面出射型の発光素子であり、実施形態1と同様の作用効果で、発光効率が高く歩留りが高く縦型構造の窒化アルミニウム系半導体深紫外発光素子を提供することが可能となる。
図12および図13を参照して、本実施形態の窒化アルミニウム系半導体深紫外発光素子は、実施形態3の窒化アルミニウム系半導体深紫外発光素子と同様の縦型構造であって、窒化アルミニウム系半導体層構造体403の第1導電型コンタクト層103側の主面の一部上に接合されている別の基板として下地基板101をさらに有する縦型構造の窒化アルミニウム系半導体深紫外発光素子であり、実施形態3と同様に端面から発光する発光素子である。端面発光の素子としては、レーザダイオード(LD)や、スーパールミネッセントダイオード(SLD)等の誘導放出型の発光素子があげられる。
本実施形態の窒化アルミニウム系半導体深紫外発光素子は、実施形態3の窒化アルミニウム系半導体深紫外発光素子と同様の縦型構造であって、窒化アルミニウム系半導体層構造体403の第1導電型コンタクト層103側の主面の一部上に接合している別の基板をさらに有する縦型構造であり、実施形態3と同様の作用効果、すなわち、実施形態1と同様の作用効果で、発光効率が高く歩留りが高い縦型構造の窒化アルミニウム系半導体深紫外発光素子を提供することが可能となる。
図3を参照して、下地基板101としてサファイア基板をMOCVD装置に導入し、サファイア基板の一主面上に、厚さ300nmのAlN層からなるバッファ層102、厚さ3μmのn型Al0.65Ga0.35N層からなる第1導電型コンタクト層103、厚さ3nmのAl0.80Ga0.20Nバリア層/厚さ2nmのAl0.55Ga0.45N井戸層の6周期の多重量子井戸構造からなる発光層104、厚さ15nmのp型Al0.85Ga0.15Nブロック層からなる第2導電型ブロック層105、厚さ150nmのp型Al0.65Ga0.35N層からなる第2導電型層106、および厚さ50nmのp型Al0.25Ga0.75Nコンタクト層からなる第2導電型コンタクト層107をこの順に積層して、窒化アルミニウム系半導体ウェハ401を得た。なお、図3には、第1導電型層108が記載されているが、本実施例においては省略した。
本比較例は、実施例1において、ウェハ接合条件を、圧力1気圧で温度200℃〜350℃とした場合である。なお、かかるウェハ接合条件の場合、多孔質金属膜の空孔率は50%より高かった。実施例1で記載のように、これらの条件下でも、ウェハの接合は行うことができた。
本比較例においては、実施例1において、ウェハ接合条件を、圧力80気圧以上100気圧以下で温度200℃〜350℃とした場合である。なお、かかるウェハ接合条件の場合、多孔質金属膜の空孔率は10%より低かった。実施例1で記載のように、これらの条件下でも、ウェハの接合は行うことができた。
図8を参照して、本実施例は、実施例1において、下地基板であるサファイア基板をすべて除去せず、サファイア基板の一部のみ剥離した場合の実施例である。波長300〜220nmの深紫外光に対して、AlNおよびGaNの屈折率は2を超える値であり、これらの屈折率はサファイアの屈折率約1.6と比較して大きい。このため、下地基板であるサファイア基板をすべて除去して第1導電型コンタクト層であるn型Al0.65Ga0.35N層から光を取り出すよりも、下地基板を通して、光を取り出した方が、光取り出し効率の点で有利となる場合がある。光取り出し効率については、組み立て工程における、発光素子チップの構造以外でも、モールド樹脂などの形状、屈折率の影響でも変化するため、最適となるよう、素子設計が必要である。
図10を参照して、本実施例は、実施例1において、端面放出型の発光デバイスである半導体レーザおよび/またはスーパールミネッセントダイオードなどを形成した場合の実施例である。
第1導電側電極(第1導電側コンタクト電極301であるn側コンタクト電極および第1導電側パッド電極302であるn側パッド電極)の形成後、上記ウェハは必要に応じて、SiO2などの絶縁体からなる分割保護膜、電流阻止層などを形成した後に、劈開によって出射面の形成を行い、多数のバー状に分割した。本実施例では、幅800μmのバー状に分割した。
図11を参照して、本実施例は、実施例3と同様に、端面放出型の発光デバイスである半導体レーザや、スーパールミネッセントダイオードなどを形成した場合の実施例である。本実施例は、実施例3の電極ストライプ構造よりも、さらに、誘導放出を生じさせやすい、リッジストライプ構造が形成された端面放出型の発光デバイスについての実施例である。
図12を参照して、本実施例は、実施例3と同様に、ストライプ電極構造の端面放出型の発光デバイスである半導体レーザ、スーパールミネッセントダイオードなどを形成した場合の実施例である。実施例3と異なり、本実施例においては、下地基板は、一部領域のみ、剥離されている。
図13を参照して、本実施例は、実施例4と同様に、リッジストライプ構造の端面放出型の発光デバイスである半導体レーザ、スーパールミネッセントダイオードなどを形成した場合の実施例である。実施例4と異なり、本実施例においては、下地基板は、一部領域のみ、剥離されている。
102 バッファ層
103 第1導電型コンタクト層
104 発光層
105 第2導電型ブロック層
106 第2導電型層
107 第2導電型コンタクト層
108 第1導電型層
201 第2導電側コンタクト電極
202 反射電極
204 多孔質金属膜
205 導電性支持基板
206 絶縁層
301 第1導電側コンタクト電極
302 第1導電側パッド電極
304 第1導電側透光性導電膜
401 窒化アルミニウム系半導体ウェハ
402 残留層
403 窒化アルミニウム系半導体層構造体
Claims (5)
- 導電性支持基板と、空孔率が10%以上50%以下であり導電性を有するマクロポーラス構造の多孔質金属膜と、発光層を含む窒化アルミニウム系半導体層構造体と、第2導電側コンタクト電極と、を含み、
前記窒化アルミニウム系半導体層構造体は、第1導電型コンタクト層と、第1導電型層と、前記発光層と、第2導電型層と、第2導電型コンタクト層とをこの順に含み、
前記導電性支持基板と、前記窒化アルミニウム系半導体層構造体の前記第2導電型コンタクト層とが、前記多孔質金属膜および前記第2導電側コンタクト電極を介在して、電気的に接続するように接合されており、
第2導電側の電流経路を制限する構造を有し、
前記構造は、前記第2導電型コンタクト層の一部のみに前記第2導電側コンタクト電極が形成され、前記第2導電側コンタクト電極が形成されていない部分には絶縁層が形成されている電極ストライプ構造、または、前記第2導電型コンタクト層の一部領域が除去されて絶縁層が形成されているリッジストライプ構造であり、
発光ピーク波長が220nm以上300nm以下の窒化アルミニウム系半導体深紫外発光素子。 - 前記第1導電型層および前記第2導電型層は、それぞれAl組成の異なるAlGaN層の多層構造を有する請求項1に記載の窒化アルミニウム系半導体深紫外発光素子。
- 前記第1導電型コンタクト層は第1導電型AlxGa1-xN(0<x≦1)コンタクト層であり、前記第2導電型コンタクト層は第2導電型AlyGa1-yN(0.25≦y≦1)コンタクト層である請求項1または請求項2に記載の窒化アルミニウム系半導体深紫外発光素子。
- 前記多孔質金属膜は銀を含む金属膜である請求項1から請求項3のいずれか1項に記載の窒化アルミニウム系半導体深紫外発光素子。
- 前記導電性支持基板はシリコン基板である請求項1から請求項4のいずれか1項に記載の窒化アルミニウム系半導体深紫外発光素子。
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