WO2013129609A1

WO2013129609A1 - 駆動装置、駆動方法及び光学機器

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Publication number: WO2013129609A1
Application number: PCT/JP2013/055522
Authority: WO
Inventors: 隆利芦沢; 一泰大根; 慎二西原; 利和森桶
Original assignee: 株式会社ニコン
Priority date: 2012-02-28
Filing date: 2013-02-28
Publication date: 2013-09-06
Also published as: CN109031582A; EP2821832A4; US10871700B2; CN104272159B; CN107040160B; US20150125140A1; US20190129279A1; EP2821832A1; EP3521887A2; EP3521887B1; US9366940B2; CN109031582B; EP2821832B1; US20180164658A1; US20160252797A1; EP3521887A3; US9869921B2; CN107040160A; CN104272159A

Abstract

振動波モータの応答性を損ねることなく、位相差変更時の異音を抑制する。レンズ鏡筒（１０）のレンズ側ＭＣＵ（１５）は、振動波モータにＡ相駆動信号およびＢ相駆動信号を出力して振動波モータ（１２）に駆動電圧を印加する駆動装置（１４）を制御する。レンズ側ＭＣＵ（１５）は、例えば駆動電圧設定部（１５２）とデューティ比変更部（１５３）とを用いて、駆動電圧を変更する。また、レンズ側ＭＣＵ（１５）は、Ａ相駆動信号およびＢ相駆動信号の位相差を変更する位相差変更部（１５４）を備える。レンズ側ＭＣＵ（１５）は、振動波モータ（１２）を駆動させる場合は駆動電圧をＶｒｅｇに変更し、位相差変更部（１５４）が位相差を変更する場合は駆動電圧を零より大きくＶｒｅｇより小さいＶ１に変更する。

Description

駆動装置、駆動方法及び光学機器

　本発明は、駆動装置、駆動方法及び光学機器に関するものである。

（１）振動波モータの駆動に関して異音の発生を抑制する技術が知られている（例えば、特許文献１参照）。特許文献１では、振動波モータを停止させるときの異音を、Ａ相駆動信号とＢ相駆動信号との位相差を９０ｄｅｇから０ｄｅｇまで徐々に変化させることで抑制している。

（２）振動波モータにより光学系を駆動させて、オートフォーカスなどの処理を行う撮像装置が知られている（特許文献２）。
（３）振動アクチュエータは、圧電体の伸縮を利用して弾性体の駆動面に進行性振動波（以下、進行波と略する）を発生させ、この進行波によって駆動面に楕円運動を生じさせ、楕円運動の波頭に加圧接触した移動子を駆動するものである（例えば、特許文献３参照）。この様な振動アクチュエータは、低回転でも高トルクを有するといった特徴があり、駆動装置に搭載した場合に、駆動装置のギアを省略することができる。このため、ギア騒音をなくすことで静寂化を達成することができ、また、位置決め精度も向上する。電子カメラにおいて、この振動アクチュエータを搭載しているものがある。また、電子カメラでは、静止画の撮影以外にも、動画の撮影も行うことが出来るものがある（特許文献４参照）。動画の撮影を行う場合、通常、音声の取り込みも行われる。

（４）従来、振動アクチュエータを駆動するために、圧電素子に対して、互いの位相が異なる２つの振動信号を印加している。入力される振動信号の周波数は、振動アクチュエータを駆動するために用いられる駆動周波数と、その駆動周波数を含む振動モード（駆動モード）の次の高次の振動モードの共振周波数との間の周波数（起動周波数）から開始して、徐々に駆動周波数に下げている（例えば、特許文献５参照）。

（５）従来、振動アクチュエータの駆動装置は、振動アクチュエータに入力する交番信号の位相差及び周波数を変化させることによって振動アクチュエータの動作を制御していた（例えば、特許文献６）。

特開２００２－１９９７４９号公報特開２００９－１５３２８６号公報特公平１－１７３５４号公報特開平８－８００７３号公報特開平３－２２８７３号公報特許第４７６５４０５号公報

（１）振動波モータの停止や駆動方向の反転を行う際、Ａ相駆動信号とＢ相駆動信号の位相差を変化させることがある。特許文献１のように、位相差を徐々に変化させる方法では、振動波モータの応答性を損ねる。

（２）振動波モータによる光学系の駆動方向を切り替える際、異音が生じることが問題となっている。特許文献２の発明では、駆動方向を切り替える際に、振動波モータへの電圧印加を停止させて光学系の駆動を一旦停止させている。このとき、方向切り替え後の駆動のために振動波モータへ電圧印加を行う際に、駆動回路内部でのエネルギー上昇に伴って異音が発生する。これらの異音は、例えば撮像装置による動画撮影時などにおいて録音されてしまう。

（３）動画撮影時に、オートフォーカス（以下、ＡＦと略す）でレンズが駆動されると、動画とともに振動アクチュエータの動作開始時の音が取り込まれる。この振動アクチュエータの動作開始時の音は、振動アクチュエータの駆動時に、駆動電圧を０Ｖから段階的に所定の電圧値に変化させる際に、ステータ（振動子）から発生されるものである。

（４）上記起動周波数は、駆動周波数と、その駆動モードの次の高次の振動モードの共振周波数との間の周波数と限定されるため、あまり高い周波数とすることができない。したがって、起動時において、十分に高い周波数から開始されないため、振動子２０が急に振動を開始して突発音が発生する場合がある。
　近年、動画撮影用のカメラに振動アクチュエータが用いられる場合が多く、この場合、動画撮影時等にこの突発音が録音されてしまう。特に、動画撮影時は、ウォブリング動作が行われ、電源が頻繁にＯＮ－ＯＦＦされるために、この異音の発生がさらに顕在化する。

（５）特許文献６の駆動装置は、振動アクチュエータの制御中は常に電力が供給されている状態となるため、消費電力が高くなるという問題があった。

　本発明の課題は、異音の発生を抑制することができる駆動装置、駆動方法及び光学機器を提供することである。
本発明の他の課題は、制御中の振動アクチュエータの消費電力を低減することができる駆動装置及び光学機器を提供することである。

　第１の発明では、第１および第２の駆動信号の位相差により駆動方向が変化する振動波モータと、振動波モータに第１の駆動信号および第２の駆動信号を出力して駆動電圧を印加する駆動装置と、駆動電圧を変更する駆動電圧変更部と、位相差を変更する位相差変更部と、を備え、駆動電圧変更部は、振動波モータを駆動させる場合は駆動電圧を第１電圧に変更し、位相差変更部が位相差を変更する場合は駆動電圧を零より大きく第１電圧より小さい第２電圧に変更することを特徴とする光学機器を提供する。

　第２の発明では、一対の駆動信号を生成する信号生成部と、前記信号生成部によって生成された駆動信号が印加される電気機械変換素子と、前記電気機械変換素子の振動により駆動力を発生する振動体と、前記振動体に加圧接触され、前記駆動力により駆動される移動体と、前記駆動信号の周波数及び位相差を設定する制御部と、を備え、前記制御部は、前記移動体の駆動方向を変更するときに、前記周波数を前記移動体の駆動速度が実質的に零となる保持周波数に設定した後に前記位相差を変更すること、を特徴とする駆動装置を提供する。

　第３の発明では、電気機械変換素子の励振により駆動面に発生する駆動力を用いてレンズを駆動する振動アクチュエータと、前記振動アクチュエータに２つの駆動信号を与える駆動制御部と、動画撮影モードを選択できる撮影設定部と、を備え、前記駆動制御部は、該撮影設定部が動画撮影モードを選択した場合に、前記２つの駆動信号の電圧を一定に維持した状態で、前記２つの駆動信号の位相差を変更するとともに、前記２つの駆動信号の周波数を前記切り替えられた位相差に対応させて変更することで、前記振動アクチュエータの速度を変更可能であること、を特徴とする光学機器を提供する。

　第４の発明では、位相差を変更可能な２つの駆動信号が入力される電気機械エネルギー変換素子を有する振動部と、前記電気機械エネルギー変換素子の振動により前記振動部に生じた駆動力によって、前記振動部に対して相対移動する相対移動部と、前記相対移動部が停止状態となる位相差に保持した状態で、駆動に用いる駆動周波数よりも高い起動周波数で、前記２つの駆動信号を前記電気機械エネルギー変換素子に入力し、前記２つの駆動信号の周波数を、前記起動周波数から漸次減少させ前記駆動周波数になったときに、前記位相差を、前記相対移動部が前記振動部に対して相対移動可能な位相差にする制御部とを備えた駆動装置を提供する。

　第５の発明では、位相差を変更可能な２つの駆動信号が入力される電気機械エネルギー変換素子を有する振動部と、前記電気機械エネルギー変換素子の振動により前記振動部に生じた駆動力によって、前記振動部に対して相対移動する相対移動部と、を備える駆動方法であって、前記振動アクチュエータの起動時に、互いの位相差を前記相対移動部が停止状態を保つ位相差に保持した状態、かつ、前記振動アクチュエータの駆動に用いる駆動周波数よりも高い起動周波数で、前記２つの駆動信号を前記電気機械エネルギー変換素子に入力し、前記２つの駆動信号の周波数を、前記起動周波数から漸次減少させ前記駆動周波数になった際に、前記位相差を、前記相対移動部が前記振動部に対して相対移動可能な位相差にすること、を特徴とする駆動方法を提供する。

　第６の発明では、振動体に設けられた圧電体に位相の異なる２相の交番信号を印加して、前記振動体を振動させて駆動力を発生する振動アクチュエータの駆動を制御する駆動装置であって、前記圧電体に印加する２相の交番信号の周波数を変化させて、前記振動アクチュエータの駆動速度を制御する速度制御部と、所定の周波数を記憶する周波数記憶部と、前記振動アクチュエータが停止しているか否かを判定する停止判定部とを備え、前記速度制御部は、前記停止判定部が前記振動アクチュエータが停止していると判定した場合に、前記圧電体に印加する前記交番信号の周波数を、前記周波数記憶部に記憶された所定の周波数に変化させること、を特徴とする駆動装置を提供する。

第７の発明では、振動体に設けられた圧電体に位相の異なる２相の交番信号を印加して、前記振動体を振動させて駆動力を発生する振動アクチュエータの駆動を制御する駆動装置であって、前記圧電体に印加する２相の交番信号の周波数を変化させて、前記振動アクチュエータの駆動速度を制御する速度制御部と、前記振動アクチュエータが停止しているか否かを判定する停止判定部とを備え、前記速度制御部は、前記停止判定部が前記振動アクチュエータが停止していると判定した場合に、前記圧電体に印加する前記交番信号の周波数を、電気的共振周波数に近づくように変化させること、を特徴とする駆動装置を提供する。

　第８の発明では、駆動回路から駆動信号が印加される電気機械変換素子と、前記電気機械変換素子により駆動力を発生する振動体と、前記振動体の駆動力により駆動される移動体と、前記移動体を駆動させるとき前記駆動信号が第１周波数になるように制御する第１制御を行い、前記移動体が停止しているとき前記駆動信号が第２周波数になるように制御する第２制御を行う制御部とを含み、前記駆動回路は、前記駆動信号が第２周波数であるとき、前記駆動信号が第１周波数であるときよりも電力消費量が少ないこと、を特徴とする光学機器を提供する。

　本発明によれば、異音の発生を抑制することができる。
また、制御中の振動アクチュエータの消費電力を低減することができる。

本発明の第１実施形態によるレンズ鏡筒の概略図である。本発明の第１実施形態によるレンズ鏡筒に備わる振動波モータの概略図である。本発明の第１実施形態によるレンズ鏡筒の制御ブロック図である。昇圧部の一例を示す概略電気回路図である。駆動電圧とデューティ比の関係について説明するための図である。振動波モータに印加される駆動信号の周波数と振動波モータの回転速度との関係を示す図である。振動波モータに印加されるＡ相駆動信号とＢ相駆動信号の位相差と振動波モータの回転速度との関係を示す図である。本発明の第１実施形態によるレンズ鏡筒の制御装置による駆動装置の制御に関するフローチャートである。本発明の第１実施形態によるレンズ鏡筒の制御装置による駆動装置の制御の一例を示すタイミングチャートである。Ａ相駆動信号とＢ相駆動信号の位相差の変更速度と位相差変更時の異音の抑制レベルの関係を示すテーブルである。本発明の第２実施形態によるレンズ鏡筒の制御ブロック図である。本発明の第２実施形態によるレンズ鏡筒の制御装置による駆動装置の制御に関するフローチャートである。本発明の第２実施形態によるレンズ鏡筒の制御装置による駆動装置の制御に関するフローチャートである。本発明の第３実施形態によるレンズ鏡筒の概略図である。振動波モータの振動体の概略図である。振動波モータの位相差―回転速度特性を示す図である。振動波モータの周波数―回転速度特性を示す図である。本発明の第３実施形態による駆動装置のブロック図である。本発明の第３実施形態による駆動装置による振動波モータの駆動制御に関するフローチャートである。本発明の第３実施形態による駆動装置による振動波モータの駆動制御に関するタイミングチャート例である。保持周波数について説明するための図である。保持周波数の設定処理に関するフローチャートである。本発明の第４実施形態の電子カメラを説明する図である。本発明の第４実施形態のレンズ鏡筒を説明する図である。本発明の第４実施形態の振動波モータの振動子を説明する図である。振動波モータの駆動装置を説明するブロック図である。（ａ）は、振動波モータの駆動信号の位相差に対する回転速度の関係を示すグラフであり、（ｂ）は、振動波モータの駆動周波数に対する回転速度の関係を示すグラフである。第４実施形態の駆動装置の第１動作例の動作を説明するタイミングチャートである。第４実施形態の駆動装置の第１動作例の動作を説明するフローチャートである。本発明の第４実施形態の駆動装置の第２動作例の動作を説明するタイミングチャートである。本発明の第５実施形態のレンズ鏡筒を説明する図である。第５実施形態の振動波モータを説明する図である。第５実施形態の振動波モータの動作原理を説明する図である。第６実施形態の駆動装置で駆動される振動アクチュエータを備えるレンズ鏡筒を含むカメラを説明する図である。第６実施形態の振動アクチュエータおよび振動波アクチュエータの駆動装置を説明するブロック図である。第６実施形態の駆動装置で駆動される振動アクチュエータを備えるレンズ鏡筒を説明する図である。Ａ相とＢ相との間の位相差と、移動子の回転速度との関係を示す図である。駆動信号の周波数と、振動アクチュエータのインピーダンスの関係を示す図である。第６実施形態による振動アクチュエータによるレンズ駆動の例を示した図である。第７実施形態のカメラ７０１の全体構成を説明する概略図である。第７実施形態の超音波モータ７２０の構成を説明する図である。第７実施形態の超音波モータ７２０に接続される駆動装置３３０の構成を説明する図である。第７実施形態の超音波モータ７２０の特性を示す図である。第７実施形態のウォブリング動作における駆動装置７３０の駆動パターンを説明するタイミングチャートである。比較例のウォブリング動作における駆動装置の駆動パターンを説明するタイミングチャートである。第７実施形態と比較例の超音波モータの電力消費量を比較する図である。

（第１実施形態）
　図１は、本発明の第１実施形態によるレンズ鏡筒の構成を示す概略図である。レンズ鏡筒１０は、デジタルカメラなどの撮像装置用のレンズ鏡筒である。レンズ鏡筒１０は、外側固定筒１０１と第１内側固定筒１０２と第２内側固定筒１０３とを備える。外側固定筒１０１は、レンズ鏡筒１０の外周部を覆っている。第１内側固定筒１０２と第２内側固定筒１０３は外側固定筒１０１よりも内周側に存在しており、第１内側固定筒１０２が被写体側に位置し、第２内側固定筒１０３が像側に位置している。

　外側固定筒１０１と第１内側固定筒１０２との間には、振動波モータ（振動アクチュエータ）１２と駆動装置１４とギアユニットモジュール１０４とが設けられており、第１内側固定筒１０２に固定されている。ギアユニットモジュール１０４は、振動波モータ１２の出力を減速して伝達する減速ギア１０５を有している。

　また、第１内側固定筒１０２には、被写体側から第１レンズ群Ｌ１、第２レンズ群Ｌ２が固定されている。第２内側固定筒１０３には、被写体側から第４レンズ群Ｌ４が固定されている。第２レンズ群Ｌ２と第４レンズ群Ｌ４との間には、ＡＦ環１０７に保持された合焦用のＡＦレンズである第３レンズ群Ｌ３が配置されている。すなわち、第１レンズ群Ｌ１、第２レンズ群Ｌ２、第３レンズ群Ｌ３、および第４レンズ群Ｌ４が光軸方向において、被写体側から撮像素子側に向かって順に配置されている。

　ＡＦ環１０７と第１内側固定筒１０２との間には、カム環１０６が光軸方向を中心軸として回転自在に設けられている。カム環１０６は、減速ギア１０５により伝達された振動波モータ１２の出力により回転する。また、カム環１０６の内側には、周方向に対して螺旋状にキー溝１０６ａが切られている。また、ＡＦ環１０７の外周側には固定ピン１０７ａが設けられている。この固定ピン１０７ａは、カム環１０６のキー溝１０６ａに挿入されている。

　また、外側固定筒１０１の内周側から内側に張り出した保持部１０１ａには、駆動装置１４が配置されている。駆動装置１４は、振動波モータ１２に電気的に接続され、振動波モータ１２を駆動させる。

　振動波モータ１２の出力は、減速ギア１０５を介してカム環１０６を回転させることにより、固定ピン１０７ａがキー溝１０６ａに導かれて移動し、ＡＦ環１０７を光軸方向に移動させる。また、振動波モータ１２の出力は、カム環１０６を停止させることにより、ＡＦ環１０７を停止させることができる。すなわち、駆動装置１４は、振動波モータ１２を駆動させることによりＡＦ環１０７を光軸方向に駆動して第３レンズ群Ｌ３を移動させて、撮像素子上に合焦した被写体像を結像させることができる。

　図２は、振動波モータ１２の構成を示す概略図である。振動波モータ１２は、回転軸型（Ｓ型）の振動波モータであって、振動子１２１と移動子１２４と固定部材１２５とベアリング１２６と出力軸１２７と加圧部材１２８とベアリング受部材１２９とストッパ１３０とゴム部材１３１とギア部材１３２とを備えている。

　振動子１２１は、弾性体１２２と圧電体１２３とを有する。弾性体１２２は、共振先鋭度が大きな金属材料により形成される。弾性体１２２の形状は円環形状となっている。弾性体１２２は、櫛歯部１２２ａとベース部１２２ｂとからなる。ベース部１２２ｂの一面には圧電体１２３が接合され、その面の反対の面には櫛歯部１２２ａが設けられている。櫛歯部１２２ａは、その突起部分の先端面が駆動面となり、移動子１２４に加圧接触する。弾性体１２２の駆動面には、高速駆動したときの耐摩耗性確保のため、樹脂膜が形成されている。その樹脂膜の材料は、例えばポリアミドイミドを主成分とし、ＰＴＦＥが添加されている。その樹脂膜は、例えばヤング率が４～８ＧＰａ程度であり、その膜厚が５０μｍ以下である。

　圧電体１２３は、電気エネルギーを機械エネルギーに変換する圧電素子や電歪素子などの電気―機械変換素子である。圧電体１２３は、円周方向に沿って二つの組（Ａ相，Ｂ相）に分かれており、各相においては１／２波長ごとに分極が交互に配置されると共にＡ相とＢ相との間には、１／４波長の間隔が空くように配置されている。圧電体１２３のＡ相へ出力される駆動信号とＢ相へ出力される駆動信号の位相差は可変である。圧電体１２３のＡ相とＢ相にそれぞれ駆動信号が印加されると、圧電体１２３が励起する。圧電体１２３の励起による弾性体１２２のベース部１２２ｂのたわみは、弾性体１２２の櫛歯部１２２ａで拡大されて、櫛歯部１２２ａの先端の駆動面で進行波となる。

　移動子１２４は、アルミニウムなどの軽金属により形成される。櫛歯部１２２ａと加圧接触している移動子１２４の摺動面は、耐摩耗性向上のためアルマイト処理が施されている。

　出力軸１２７は、ゴム部材１３１を介して移動子１２４と共に回転するように結合されている。ゴム部材１３１は、ゴムによる粘着性で移動子１２４と出力軸１２７とを結合する機能と、移動子１２４から出力軸１２７に振動を伝達しないために振動を吸収する機能とを有する。

　加圧部材１２８は、出力軸１２７に固定されたギア部材１３２と、ベアリング受部材１２９の間に配置されている。ベアリング受部材１２９は、ベアリング１２６の内側に挿入される。ベアリング１２６は、固定部材１２５の内側に挿入されている。ギア部材１３２は、出力軸１２７の不図示の切欠き部（Ｄカット）に嵌るように挿入される。そして、ギア部材１３２は、ストッパ１３０により固定されており、出力軸１２７と共に回転する。なお、加圧部材１２８とベアリング受部材１２９との間には、不図示の加圧力調整ワッシャが配置される。

　図３は、本発明の第１実施形態によるレンズ鏡筒の制御ブロック図である。図３には、レンズ鏡筒１０と共にカメラボディ２０が図示されている。図３では、レンズ鏡筒１０は、振動波モータ１２と駆動装置１４とレンズ側ＭＣＵ（Ｍｉｃｒｏ　Ｃｏｎｔｒｏｌ　Ｕｎｉｔ）１５と検出部１６と記憶部１７とを備えている。

　駆動装置１４は、駆動パルス生成部１４１と昇圧部１４２とを備え、振動波モータ１２に駆動電圧を印加して振動波モータ１２を駆動する。レンズ側ＭＣＵ１５は、周波数変更部１５１と駆動電圧設定部１５２とデューティ比変更部１５３と位相差変更部１５４とを備え、駆動装置１４を制御する。カメラボディ２０は、ボディ側ＭＣＵ２１を備える。

　駆動パルス生成部１４１は、Ａ相用の駆動パルスとＢ相用の駆動パルスとを生成して、昇圧部１４２へ出力する。駆動パルス生成部１４１は、レンズ側ＭＣＵ１５の制御のもとＡ相用の駆動パルスとＢ相用の駆動パルスの周波数とデューティ比（パルス幅をパルス周期で除したもの）と位相差とを変更することができる。

　昇圧部１４２は、例えば図４に示すような回路構成を有しており、駆動パルス生成部１４１から入力されたＡ相用の駆動パルスとＢ相用の駆動パルスとに基づいて、Ａ相駆動信号とＢ相駆動信号とを出力する。昇圧部１４２は、Ａ相駆動信号とＢ相駆動信号を振動波モータ１２へ出力する。

　振動波モータ１２は、Ａ相駆動信号とＢ相駆動信号により駆動される。振動波モータ１２を駆動する駆動電圧は、実質的にはそれらの駆動信号の平均振幅、つまり所定の期間の電圧の時間積分値を時間で除した値となる。駆動信号が図５に示すようなゼロと所定の最大電圧Ｖ_ＭＡＸの間で変化する方形波の場合は、駆動信号の最大電圧Ｖ_ＭＡＸとデューティ比の積が平均振幅Ｖ_ＡＶＥとなり、この平均振幅Ｖ_ＡＶＥが駆動電圧に相当する。図３の例では、昇圧部１４２の最大出力電圧が図５の最大電圧Ｖ_ＭＡＸに相当し、デューティ比変更部１５３により変更されたデューティ比との積が駆動電圧となる。

　駆動電圧を変更するためには振幅もしくはデューティ比またはその両方を変更すればよい。第１実施形態では、駆動電圧は、デューティ比変更部１５３によりデューティ比を変更することにより変更される。

　振動波モータ１２が回転しているとき、駆動電圧はＶ_ｒｅｇに設定される。そして本発明では、振動波モータ１２を停止、駆動方向の反転を行うために位相差を変更するとき、駆動電圧はＶ_ｒｅｇよりも小さくかつ零でないＶ_１に設定される。駆動電圧がＶ_ｒｅｇに設定された状態では振動子１２１に発生する振動の振幅が大きいため、従来のように駆動電圧がＶ_ｒｅｇのままで位相差を変更した場合に異音が発生しやすい。本発明では。位相差変更時に駆動電圧をＶ_１に設定することにより、異音の発生を低減するのである。

　レンズ側ＭＣＵ１５の周波数変更部１５１は、Ａ相およびＢ相の駆動パルスの周波数に関する駆動パルス生成部１４１の設定を変更する。駆動パルスの周波数の変更に伴い振動波モータ１２へ出力される駆動信号の周波数が変更されて、振動波モータ１２の回転速度が変化する。振動波モータ１２の周波数―回転速度特性は、図６に示されるとおりである。

　駆動信号の周波数が図６に示す周波数ｆ_０となると、振動波モータ１２の回転速度はＮ_０ｒｐｍ（たとえば、０ｒｐｍ）となり停止する。駆動信号の周波数が周波数ｆ_０より小さい周波数ｆ_１となると、振動波モータ１２は回転速度Ｎ_１ｒｐｍで駆動される。同様に、駆動信号の周波数が周波数ｆ_１より小さい周波数ｆ_２となると、振動波モータ１２は回転速度Ｎ_１より速い回転速度Ｎ_２ｒｐｍで駆動される。

　駆動電圧設定部１５２は、振動波モータ１２へ印加する駆動電圧を設定する。デューティ比変更部１５３は、駆動電圧設定部１５２が設定した駆動電圧が印加されるように、Ａ相の駆動パルスとＢ相の駆動パルスのデューティ比に関する駆動パルス生成部１４１の設定を変更する。

　位相差変更部１５４は、駆動パルス生成部１４１が出力するＡ相用の駆動パルスとＢ相用の駆動パルスとの間の位相差に関する駆動パルス生成部１４１の設定を変更する。振動波モータ１２の位相差―回転速度特性は、図７に示されるとおりである。

　図７に示されるように、振動波モータ１２の回転速度は、位相差が＋９０ｄｅｇのとき正回転（例えば、時計回り）の最大速度となり、位相差が－９０ｄｅｇのときは逆回転（例えば、反時計回り）の最大速度となる。Ａ相用の駆動パルスとＢ相用の駆動パルスとの間の位相差に関する駆動パルス生成部１４１の設定は、＋９０ｄｅｇまたは－９０ｄｅｇに設定される。

　レンズ側ＭＣＵ１５は、ボディ側ＭＣＵ２１と通信を行う。レンズ側ＭＣＵ１５は、例えばレンズ情報を、ボディ側ＭＣＵ２１へ送信する。一方、ボディ側ＭＣＵ２１は、振動波モータ１２による第３レンズ群Ｌ３の駆動指示を、レンズ側ＭＣＵ１５へ送信する。第３レンズ群Ｌ３の駆動指示には、第３レンズ群Ｌ３を駆動させる目標位置が少なくとも含まれる。

　検出部１６は、光学式エンコーダや磁気エンコーダ等により構成され、振動波モータ１２の駆動により駆動された第３レンズ群Ｌ３の位置や速度を検出し、それらの検出値を電気信号（検出信号）としてレンズ側ＭＣＵ１５へ出力する。
　記憶部１７は、ＲＯＭなどであって、レンズ側ＭＣＵ１５がレンズ鏡筒１０を制御するために実行する制御プログラムやレンズ情報などが記憶されている。

　図８は、レンズ側ＭＣＵ１５が行う駆動装置１４の制御に関するフローチャートである。図８の処理は、レンズ側ＭＣＵ１５がボディ側ＭＣＵ２１から第３レンズ群Ｌ３の駆動指示を受信したときに開始される。

　図８のステップＳ３００では、レンズ側ＭＣＵ１５は、ボディ側ＭＣＵ２１から受信した第３レンズ群Ｌ３の駆動指示と、検出部１６が検出する検出信号とに基づいて、振動波モータ１２の回転方向と回転速度とを決定する。

　ステップＳ３０１では、レンズ側ＭＣＵ１５は、Ａ相用の駆動パルスとＢ相用の駆動パルスの位相差を変更するか否かを判定する。レンズ側ＭＣＵ１５は、ステップＳ３０１開始時点での振動波モータ１２の回転方向と、ステップＳ３００で決定した振動波モータ１２の回転方向とに基づいて、回転方向を反転させる必要がある場合はステップＳ３０１を肯定判定する。レンズ側ＭＣＵ１５は、ステップＳ３０１が肯定判定された場合は処理をステップＳ３０２に進め、ステップＳ３０１が否定判定された場合は処理をステップＳ３０５に進める。

　ステップＳ３０２では、レンズ側ＭＣＵ１５は、駆動電圧をＶ_１に変更する。例えば、駆動電圧設定部１５２とデューティ比変更部１５３とを用いて、次のような処理を行う。まず、駆動電圧設定部１５２が駆動電圧をＶ_１に設定する。次に、Ａ相駆動信号とＢ相駆動信号の平均振幅がＶ_１になるように、デューティ比変更部１５３がＡ相およびＢ相の駆動パルスのデューティ比に関する駆動パルス生成部１４１の設定を変更する。

　ステップＳ３０３では、レンズ側ＭＣＵ１５は、ステップＳ３００で決定した振動波モータ１２の回転方向に基づいて、Ａ相の駆動パルスとＢ相の駆動パルスの位相差を変更する。例えば、レンズ側ＭＣＵ１５の位相差変更部１５４が位相差に関する駆動パルス生成部１４１の設定をステップＳ３００で決定した振動波モータ１２の回転方向に対応した位相差に変更する。

　ステップＳ３０４では、レンズ側ＭＣＵ１５は、駆動電圧をＶ_ｒｅｇに変更する。例えば、駆動電圧設定部１５２とデューティ比変更部１５３とを用いて、次のような処理を行う。まず、駆動電圧設定部１５２が駆動電圧をＶ_ｒｅｇに設定する。次に、Ａ相駆動信号とＢ相駆動信号の平均振幅がＶ_ｒｅｇになるように、駆動電圧がＡ相の駆動パルスとＢ相の駆動パルスのデューティ比に関する駆動パルス生成部１４１の設定をデューティ比変更部１５３が変更する。

　ステップＳ３０５では、レンズ側ＭＣＵ１５は、Ａ相およびＢ相の駆動パルスの周波数を変更して、振動波モータ１２を駆動させる。例えば、レンズ側ＭＣＵ１５の周波数変更部１５１がＡ相およびＢ相の駆動パルスの周波数に関する駆動パルス生成部１４１の設定をｆ_０からｆ_１やｆ_２に変更する。

　ステップＳ３０６では、レンズ側ＭＣＵ１５は、駆動指示に含まれる第３レンズ群Ｌ３の目標位置まで第３レンズ群Ｌ３が駆動されたか否かを判定する。例えばレンズ側ＭＣＵ１５は、検出部１６の検出信号に基づいて、第３レンズ群Ｌ３の位置を検出して、その位置を駆動指示に含まれる第３レンズ群Ｌ３の目標位置と比較する。レンズ側ＭＣＵ１５は、ステップＳ３０６が否定判定された場合は処理をステップＳ３０５に戻り、ステップＳ３０６が肯定判定された場合は処理をステップＳ３０７に進める。

　ステップＳ３０７では、レンズ側ＭＣＵ１５は、Ａ相およびＢ相の駆動パルスの周波数を変更して、振動波モータ１２を停止させる。例えば、レンズ側ＭＣＵ１５の周波数変更部１５１がＡ相およびＢ相の駆動パルスの周波数をｆ_０に変更する。

　図９は、振動波モータ１２の駆動制御に関するタイミングチャートである。図９には、第３レンズ群Ｌ３の位置、振動波モータ１２の回転速度、駆動パルス生成部１４１における周波数の設定値、駆動パルス生成部１４１における位相差の設定値、駆動電圧のタイミングチャートがそれぞれ並べて図示されている。

　図９では、レンズ側ＭＣＵ１５は、ボディ側ＭＣＵ２１から第３レンズ群Ｌ３の駆動指示を３回受信している（例えば、タイミングｔ１、ｔ５、ｔ１１）。１回目の駆動指示は、第３レンズ群Ｌ３を光軸上の位置Ｗ_ｂｅまで駆動させる駆動指示である。２回目の駆動指示は、第３レンズ群Ｌ３を光軸上の位置Ｗ_ａｆまで駆動させる駆動指示である。３回目の駆動指示は、第３レンズ群Ｌ３を光軸上の位置Ｗ_０まで駆動させる駆動指示である。

　レンズ側ＭＣＵ１５は、タイミングｔ１に１回目の駆動指示を受信すると、位相差を変更する必要はなかったため（図８のステップＳ３０１　ＮＯ）、タイミングｔ２にて周波数の設定値を変更している（ステップＳ３０５）。周波数の設定値がｆ_０よりも小さくなるにつれて振動波モータ１２の回転速度は徐々に速くなる。第３レンズ群Ｌ３の位置は、タイミングｔ４に目標位置Ｗ_ｂｅに到達して（ステップＳ３０６　ＹＥＳ）、その後周波数の設定値がｆ_０となり振動波モータ１２が停止する（ステップＳ３０７）。

　レンズ側ＭＣＵ１５は、タイミングｔ５に２回目の駆動指示を受信すると、位相差を変更する必要があるため（図８のステップＳ３０１　ＹＥＳ）、まず駆動電圧をＶ_ｒｅｇからＶ_１に変更する（ステップＳ３０２）。次にレンズ側ＭＣＵ１５は、タイミングｔ６にＡ相の駆動パルスとＢ相の駆動パルスの位相差を＋９０ｄｅｇから－９０ｄｅｇに変更している（ステップＳ３０３）。位相差を変更している間、駆動電圧はＶ_１のまま維持されている。レンズ側ＭＣＵ１５は、位相差の変更が完了した後のタイミングｔ７に、駆動電圧をＶ_１からＶ_ｒｅｇに変更する（ステップＳ３０４）。その後、レンズ側ＭＣＵ１５は、タイミングｔ８にて周波数の設定値を変更している（ステップＳ３０５）。このとき、タイミングｔ２のときよりも第３レンズ群Ｌ３を駆動させる必要がある距離が長いため、周波数の設定値をタイミングｔ２よりも低く設定している。第３レンズ群Ｌ３の位置は、タイミングｔ１０に目標位置Ｗ_ａｆに到達して（ステップＳ３０６　ＹＥＳ）、その後周波数の設定値がｆ_０となり振動波モータ１２が停止する（ステップＳ３０７）。

　レンズ側ＭＣＵ１５は、タイミングｔ１１に３回目の駆動指示を受信すると、位相差を変更する必要があるため（図８のステップＳ３０１　ＹＥＳ）、まず駆動電圧をＶ_ｒｅｇからＶ_１に変更する（ステップＳ３０２）。次にレンズ側ＭＣＵ１５は、タイミングｔ１２にＡ相の駆動パルスとＢ相の駆動パルスの位相差を－９０ｄｅｇから＋９０ｄｅｇに変更している（ステップＳ３０３）。位相差を変更している間、駆動電圧はＶ_１のまま維持されている。レンズ側ＭＣＵ１５は、位相差の変更が完了した後のタイミングｔ１３に、駆動電圧をＶ_１からＶ_ｒｅｇに変更する（ステップＳ３０４）。その後、レンズ側ＭＣＵ１５は、タイミングｔ１４にて周波数の設定値を変更している（ステップＳ３０５）。第３レンズ群Ｌ３の位置は、タイミングｔ１６に目標位置Ｗ_０に到達して（ステップＳ３０６　ＹＥＳ）、その後周波数の設定値がｆ_０となり振動波モータ１２が停止する（ステップＳ３０７）。

　タイミングｔ６およびｔ１２のように位相差を変更する際の異音は、Ｖ_１の値をＶ_ｒｅｇの値に対して低く設定するほど抑制することができる。異音抑制の効果は、図９で説明した位相差変更だけに限定されず、例えば０ｄｅｇから＋９０ｄｅｇへの位相差変更、＋９０ｄｅｇから０ｄｅｇへの位相差変更、０ｄｅｇから－９０ｄｅｇへの位相差変更、－９０ｄｅｇから０ｄｅｇへの位相差変更などにおいても有効である。
　また、駆動電圧をＶ_１に下げることは、振動波モータ１２の消費電力の低減にも寄与する。

　以上で説明した第１実施形態によれば、以下の作用効果が得られる。
　レンズ鏡筒１０のレンズ側ＭＣＵ１５は、振動波モータ１２にＡ相駆動信号とＢ相駆動信号を出力して、振動波モータ１２に駆動電圧を印加する駆動装置１４を制御する。レンズ側ＭＣＵ１５は、駆動電圧設定部１５２とデューティ比変更部１５３とを備え、振動波モータ１２へ印加される駆動電圧を変更する。また、レンズ側ＭＣＵ１５は、位相差変更部１５４を備え、Ａ相およびＢ相の駆動パルスの位相差を変更することによりＡ相駆動信号とＢ相駆動信号の位相差を変更する。駆動電圧設定部１５２とデューティ比変更部１５３は、振動波モータ１２を回転駆動させる場合は駆動電圧をＶ_ｒｅｇに変更し（図８のステップＳ３０４）、位相差変更部１５４が位相差を変更する場合は駆動電圧を零より大きくＶ_ｒｅｇより小さいＶ_１に変更する（図８のステップＳ３０２）。
　このようにすることで、レンズ鏡筒１０は、振動波モータ１２の応答性を損ねることなく、位相差変更時の異音を低減することができる。

（第２実施形態）
　本発明の第２実施形態について説明する。第２実施形態では、位相差を変更する前に駆動電圧を下げるだけでなく、位相差の変更速度を低く設定する（遅くする）ことによって位相差変更時の異音の低減を図る。

　各相の駆動パルスのデューティ比は、その取り得る値の範囲がＰＷＭの分解能などにより制限される。例えば、駆動パルスのデューティ比は、０～２５５の設定値に割り当てられており、デューティ比の設定値を「０」と「１」との間の値に設定することができない。Ｖ_１の設定値の下限は、例えば設定値「１」に相当するデューティ比ｄ_１と駆動信号の最大電圧Ｖ_ＭＡＸの積により定められる。

　Ｖ_ＭＡＸの値は、振動波モータ１２の駆動装置の回路構成や環境温度などにより変化する。例えばＶ_ＭＡＸの値は、環境温度が低くなるほど大きくなる。異音を無視できるレベルとなる駆動電圧をＶ_Ｓとした場合、Ｖ_ＭＡＸの値が大きいときＶ_１≦Ｖ_Ｓとなるようなデューティ比ｄ_Ｓが設定値「１」に相当するデューティ比ｄ_１より小さい値となるおそれがある。

　第２実施形態では、上記のような設計上の課題を解決するために、位相差の変更速度を低く設定することによって、Ｖ_１の設定値の下限が大きい場合にあっても、好適に異音の発生を抑制する。図１０は、位相差の変更速度を低く設定することによる異音抑制効果を説明するための図である。

　図１０は、異音の抑制レベルに関するレベルテーブルの一例である。図１０に例示するレベルテーブル５０には、Ｖ_ｒｅｇに対するＶ_１の割合が１００％、７５％、５０％、２５％である場合に、位相差の変更速度が９０ｄｅｇ／ｍｓｅｃ、３０ｄｅｇ／ｍｓｅｃ、５ｄｅｇ／ｍｓｅｃのときの異音の抑制レベルがそれぞれ示されている。異音の抑制レベルは、レンズ鏡筒の設計段階に予め決定された値であって、レベル１、レベル２、レベル３の３段階に分けられている。抑制レベルがレベル１のとき、位相差変更時に異音が発生しない。抑制レベルがレベル２のとき、位相差変更時の異音は目立たず無視できる。抑制レベルがレベル３のとき、位相差変更時の異音が目立つ。異音が目立つとは、動画撮影中における録音音声内において、異音が他の音に紛れずに記録される状態を表す。

　図１０を見て明らかなように、異音の抑制レベルは、Ｖ_ｒｅｇに対するＶ_１の割合が小さく定められるほどレベルが低くなっている。換言すると、Ｖ_ｒｅｇに対するＶ_１の割合が小さく定められるほど異音を抑制することができる。また、異音の抑制レベルは、位相差の変更速度が遅くなるほどレベルが低くなっている。

　例えば、位相差の変更速度が９０ｄｅｇ／ｍｓｅｃの場合にＶ_ｒｅｇに対するＶ_１の割合が５０％になるようにＶ_１の設定値を定めたとき、異音の抑制レベルはレベル２である。一方で位相差の変更速度を３０ｄｅｇ／ｍｓｅｃまで遅くした場合は、Ｖ_ｒｅｇに対するＶ_１の割合が７５％であっても異音の抑制レベルがレベル２となるようにＶ_１の設定値を定めることができる。本発明の第２実施形態によるレンズ鏡筒は、抑制レベルが同一の場合、Ｖ_ｒｅｇに対するＶ_１の割合が大きいときは、Ｖ_ｒｅｇに対するＶ_１の割合が小さいときよりも位相差の変更速度が低く設定される。

　本発明の第２実施形態によるレンズ鏡筒は、図１と同様の構成を備える。図１１は、本発明の第２実施形態によるレンズ鏡筒の制御ブロック図である。図１１に示す制御ブロック図のうち図３に示す制御ブロック図と同一の構成については、図３と同一の符号を付してその説明を省略する。なお、以下の説明では駆動パルス生成部１４１のデューティ比に関する設定値は所定値で一定であるものとして説明する。振動波モータ１２へ印加される駆動電圧は、昇圧部１４２の電源電圧（図４）に基づいて変化させる。

　図１１のレンズ鏡筒３０は、レンズ側ＭＣＵ１５の代わりにレンズ側ＭＣＵ３５を備える。また、レンズ鏡筒３０は、環境温度を検出する温度検出部３８をさらに備える。レンズ側ＭＣＵ３５は、デューティ比変更部１５３および位相差変更部１５４の代わりに電源電圧変更部３５－３および位相差変更部３５－４を備える。さらに、レンズ側ＭＣＵ３５は、変更速度設定部３５－５を新たに備える。

　電源電圧変更部３５－３は、昇圧部１４２の電源電圧を変更する。昇圧部１４２の電源電圧が変更されると、Ａ相駆動信号とＢ相駆動信号の振幅が変化して、振動波モータ１２へ印加される駆動電圧が変化する。

　変更速度設定部３５－５は、設計段階に定められたＶ_ｒｅｇに対するＶ_１の割合と、予め設定された抑制レベルの設定値とに基づいて、位相差の変更速度を設定する。例えば、Ｖ_１がＶ_ｒｅｇの７５％に設定されており、予め抑制レベルを２レベルに設定している場合、変更速度設定部３５－５は、レベルテーブル５０のうちＶ_ｒｅｇに対するＶ_１の割合が７５％の列を参照して、位相差の変更速度を、抑制レベルが２レベルとなるような変更速度、例えば３０ｄｅｇ／ｍｓｅｃに設定する。なお、レベルテーブル５０は、記憶部１７などに記憶されている。抑制レベルの設定値は、ユーザが不図示の操作部材を用いて設定することにしてもよいし、レンズ鏡筒３０を備える撮像装置の動作モードに基づいて、レンズ側ＭＣＵ３５またはボディ側ＭＣＵ２１が自動的に設定することにしてもよい。例えば、静止画撮影のように音声の録音を伴わない撮影を行う場合にはレンズ側ＭＣＵ３５またはボディ側ＭＣＵ２１が抑制レベルを３レベルに設定し、動画撮影のように音声の録音を伴う撮影を行う場合にはレンズ側ＭＣＵ３５またはボディ側ＭＣＵ２１が抑制レベルを１レベルに設定することにしてもよい。

　位相差変更部３５－４は、駆動パルス生成部１４１が出力するＡ相用の駆動パルスとＢ相用の駆動パルスとの間の位相差に関する駆動パルス生成部１４１の設定を変更する。その際、変更速度設定部３５－５が設定した変更速度に基づいて、位相差を変更する。

　図１２および図１３は、レンズ側ＭＣＵ３５が行う駆動装置１４の制御に関するフローチャートである。図１２の処理は、レンズ側ＭＣＵ３５がボディ側ＭＣＵ２１から第３レンズ群Ｌ３の駆動指示を受信したときに開始される。図１２および図１３に示す処理のうち図８に示す処理と同様の処理についてはその説明を省略する。

　ステップＳ４０１では、レンズ側ＭＣＵ３５は、駆動電圧をＶ_１に変更する。例えば、レンズ側ＭＣＵ３５の駆動電圧設定部１５２が駆動電圧をＶ_１に設定する。次に、駆動電圧がＶ_１になるように、電源電圧変更部３５－３が昇圧部１４２の電源電圧を変更する。

　ステップＳ４０２では、レンズ側ＭＣＵ３５は、位相差の変更速度を設定する。例えば、Ｖ_ｒｅｇに対するＶ_１の割合と、予め設定された抑制レベルとに基づいて、変更速度設定部３５－５が位相差の変更速度を設定する。なお、変更速度設定部３５－５がＶ_ｒｅｇに対するＶ_１の割合に基づいてレベルテーブル５０を参照して位相差の変更速度を設定することにしてもよい。

　ステップＳ４０３では、レンズ側ＭＣＵ３５は、Ａ相の駆動パルスとＢ相の駆動パルスの位相差を、ステップＳ４０２で設定した変更速度とステップＳ３００で決定した振動波モータ１２の回転方向に基づいて変更する。

　ステップＳ４０４では、レンズ側ＭＣＵ３５は、Ａ相の駆動パルスとＢ相の駆動パルスの位相差が目標値まで変更されたか否かを判定する。ここで、目標値とは図１２のステップＳ３００で決定した振動波モータ１２の回転方向を表す位相差を指す。レンズ側ＭＣＵ３５は、ステップＳ４０４が否定判定された場合は処理をステップＳ４０３に戻り、ステップＳ４０４が肯定判定された場合は処理を図１２のステップＳ３０４に進める。レンズ側ＭＣＵ３５は、図１２のステップＳ３０４にて駆動電圧をＶ_ｒｅｇに変更した後、処理を図１３のステップＳ３０５に進める。図１３の処理については、図８のステップＳ３０５、Ｓ３０６、Ｓ３０７と同様の処理であるため、その説明を省略する。

　以上で説明した第２実施形態によれば、以下の作用効果が得られる。
　レンズ鏡筒３０のレンズ側ＭＣＵ３５は、振動波モータ１２にＡ相駆動信号とＢ相駆動信号を出力して、振動波モータ１２に駆動電圧を印加する駆動装置１４を制御する。レンズ側ＭＣＵ３５は、駆動電圧設定部１５２と電源電圧変更部３５－３とを備え、振動波モータ１２へ印加される駆動電圧を変更する。レンズ側ＭＣＵ３５は、位相差変更部３５－４を備え、Ａ相およびＢ相の駆動パルスの位相差を変更することによりＡ相駆動信号とＢ相駆動信号の位相差を変更する。駆動電圧設定部１５２と電源電圧変更部３５－３は、振動波モータ１２を回転駆動させる場合は駆動電圧をＶ_ｒｅｇに変更し（図１２のステップＳ３０４）、位相差変更部１５４が位相差を変更する場合は駆動電圧を零より大きくＶ_ｒｅｇより小さいＶ_１に変更する（図１２のステップＳ４０１）。
　このようにすることで、レンズ鏡筒３０は、振動波モータの応答性を損ねることなく、位相差変更時の異音を低減することができる。また、レンズ側ＭＣＵ３５は、変更速度設定部３５－５が位相差の変更速度を適正に設定することにより、振動波モータ１２の駆動装置の回路構成や環境温度によりＶ_１を十分に小さい値に設定できない場合であっても、位相差変更時の異音を低減することができる。

　以上で説明した実施の形態は、以下のように変形して実施できる。
（変形例１）
　第１実施形態では、レンズ側ＭＣＵ１５は、デューティ比変更部１５３が駆動パルス生成部１４１におけるデューティ比の設定値を変更することにした。しかし、レンズ側ＭＣＵ１５がデューティ比変更部１５３の代わりに電源電圧変更部３５－３を備えることにしてもよい。また、第２実施形態では、レンズ側ＭＣＵ３５は、電源電圧変更部３５－３が昇圧部１４２の電源電圧を変更することにした。しかし、レンズ側ＭＣＵ３５が電源電圧変更部３５－３の代わりにデューティ比変更部１５３を備えることにしてもよい。
（変形例２）
　レンズ側ＭＣＵ１５および３５により制御される駆動装置１４が駆動する振動波モータは、図２に示したような回転軸型のものだけに限定しない。例えば、円環型の振動波モータであってもよい。レンズ側ＭＣＵ１５および３５による制御は、振動波モータが円環型であっても上記実施形態と同様に行うことができる。
（変形例３）
　本発明は、ＭＣＵなどの制御装置で駆動装置を制御して、その駆動装置で振動波モータを駆動する電子機器であればデジタルカメラ以外の電子機器にも適用することができる。

（第３実施形態）
　図１４は、本発明の第３実施形態によるレンズ鏡筒の概略図である。図１４のレンズ鏡筒２０２は、デジタルカメラなどの撮像装置用のレンズ鏡筒である。振動波モータ２０１は、振動体２６１と、移動体２６２と、不織布などによる緩衝支持部材２６３と、加圧接触手段２６４とを備える。振動波モータ２０１は、レンズ鏡筒２０２に対して、レンズ群Ｌを光軸方向に駆動させるための駆動力を提供する。

　振動体２６１は、弾性体２６１ａと圧電体２６１ｂとを有する。弾性体２６１ａは、共振先鋭度が大きな金属材料により形成される。弾性体２６１ａの形状は、図１５に示されるように円環形状となっている。弾性体２６１ａの円形の一面には圧電体２６１ｂが接合されており、その反対面には溝が切られた櫛歯部２２１が設けられている。

　圧電体２６１ｂは、電気エネルギーを機械エネルギーに変換する電気機械変換素子である。圧電体２６１ｂは、円周方向に沿って二つの相（Ａ相，Ｂ相）に分かれている。圧電体２６１ｂの各相においては１／２波長ごとに分極が交互に配置される。圧電体２６２ｂのＡ相とＢ相との間には、１／４波長の間隔が空くように配置されている。圧電体２６１ｂの各相には、駆動回路２８０から駆動信号が出力される。圧電体２６１ｂのＡ相へ出力される駆動信号とＢ相へ出力される駆動信号の位相差は可変である。圧電体２６１ｂのＡ相とＢ相にそれぞれ高周波電圧が印加されると、圧電体２６１ｂが励起する。圧電体２６１ｂの励起による弾性体２６１ａのベース部２２２のたわみは、弾性体１６１ａの櫛歯部２２１で拡大されて、櫛歯部２２１の先端の駆動面２２３で進行波となる。なお、本実施の形態では圧電体２６１ｂは９山の進行波（９次の屈曲振動波）が発生しやすい電極パターンになっているものとする。

　移動体２６２は、アルミニウムなどの軽金属により形成される。移動体２６２は、加圧板と加圧部材とを有する加圧接触手段２６４による加圧により、駆動面２２３に加圧接触している。駆動部２２３で発生している進行波の波頭には楕円運動が生じている。駆動面２２３に加圧接触された移動体２６２は、この楕円運動による摩擦により駆動されて、回転移動する。移動体２６２の回転方向は、圧電体２６１ｂのＡ相とＢ相の駆動信号の位相差により変化する。

　移動体２６２には、移動体２６２の光軸方向の振動を吸収するゴムなどの振動吸収部材２６６が配置されている。振動吸収部材２６６は、加圧接触手段２６４により出力伝達部２５５と加圧接触している。移動体２６２の回転移動は、出力伝達部２５５に伝達される。ただし、出力伝達部２５５は、固定部材２５１に取り付けられたベアリング２５６により、光軸方向の動きと径方向の動きとが規制されている。

　出力伝達部２５５は、突起部２５５ａを有する。この突起部２５５ａは、フォーク２５４と嵌合している。フォーク２５４には、突起部２５５ａを介して出力伝達部２５５の回転運動が伝達される。さらに、その回転運動はカム環２５３に伝達する。カム環２５３の内側には周方向に対して螺旋状にキー溝２５３ａが切られている。キー溝２５３ａには、ＡＦ環２５２の固定ピン２５２ａが挿入されている。カム環２５３が回転すると、固定ピン２５２ａがキー溝２５３ａに導かれて移動し、レンズ群Ｌを保持しているＡＦ環２５２が光軸方向に移動する。

　上記のように、振動波モータ２０１が発生させた進行波が移動体２６２、出力伝達部２５５、フォーク２５４、カム環２５３を介してＡＦ環２５２に伝達されて、ＡＦ環２５２とともにレンズ群Ｌが光軸方向に駆動される。この駆動を用いて、レンズ鏡筒２０２はウォブリング動作等を実行する。

　図１６は、Ａ相とＢ相の駆動信号の位相差と、移動体２６２の回転速度との関係を示す図である。移動体２６２の回転速度は、位相差が＋９０°のとき正回転（例えば、時計回り）の最大速度となり、位相差が－９０°のときは逆回転（例えば、反時計回り）の最大速度となる。

　図１７は、駆動信号の周波数と、移動体２６２の回転速度との関係を示す図である。移動体２６２の回転速度は、駆動信号の周波数が所定の範囲内にあるとき実質的に零となる。ここで、実質的に零とは、振動吸収部材２６６等と加圧接触した移動体２６２を回転させるだけのトルクが発生しない状態をいう。例えば、図１７に示される範囲内では、２８．５ｋＨｚから３０．０ｋＨｚの範囲内は、移動体２６２の回転速度が零となる。また、２８．５ｋＨｚより低周波または３０．０ｋＨｚより高周波であっても、振動吸収部材２６６等と加圧接触した移動体２６２を回転させるだけのトルクが発生せず、カム環２５３等が回転せず、実質的に移動体２６２の回転速度が零となる周波数が存在する。このような移動体２６２の回転速度が実質的に零となる周波数のことを保持周波数ｆ０と称する。

　本発明では、移動体２６２の回転駆動方向を切り替える際、振動波モータ２０１へ電圧印加を停止するのではなく、駆動信号の周波数を保持周波数ｆ０に変更する。これにより、電圧印加停止後再び電圧を印加する際に発生する異音を低減することができる。

　図１８は、本発明の第３実施形態による駆動装置に関するブロック図である。図１８に例示された駆動装置２９０は、振動波モータ２０１と駆動回路２８０とを備える。駆動回路２８０は、制御部２８１と発振部２８２と、移相部２８３と、増幅部２８４ａおよび２８４ｂと、検出部２８５と、温度測定部２８６とを備える。

　発振部２８２は、制御部２８１により設定された周波数の信号を発振する。移相部２８３は、発振部２８２が発振した発振信号に基づいて、Ａ相の信号とＢ相の信号とを生成する。これらのＡ相の信号とＢ相の信号との位相差は、制御部２８１により設定される。

　増幅部２８４ａは、移相部２８３が生成したＡ相の信号の電圧振幅を、制御部２８１により設定された電圧に増幅（昇圧）する。これによりＡ相の駆動信号が生成される。また、増幅部２８４ｂは、移相部２８３が生成したＢ相の信号の電圧振幅を、制御部２８１により設定された電圧に増幅（昇圧）する。これによりＢ相の駆動信号が生成される。

　振動体２６１は、増幅部２８４ａで増幅されたＡ相の駆動信号と、増幅部２８４ｂで増幅されたＢ相の駆動信号とに基づいて駆動される。検出部２８５は、光学式エンコーダや磁気エンコーダ等により構成され、移動体２６２の駆動により駆動されたレンズ群Ｌの位置や速度を検出し、それらの検出値を電気信号（検出信号）として制御部２８１へ出力する。制御部２８１は、検出部２８５からの検出信号に基づいて、レンズ群Ｌの位置や速度に関する情報を取得する。

　温度測定部２８６は、振動波モータ２０１の温度を測定する。振動波モータ２０１の温度は、振動体２６１と移動体２６２との摩擦により熱が生じることにより上昇する。振動波モータ２０１の温度上昇は、その駆動能力に悪影響を及ぼす。温度測定部２８６は、測定した温度信号を制御部２８１へ出力する。制御部２８１は、その温度信号に基づいて、振動波モータ２０１の温度が与える駆動能力への影響を推定する。

　制御部２８１は、レンズ鏡筒２０２のCPU２０３からレンズ群Ｌの移動方向と移動量に関する駆動指示を取得する。制御部２８１は、駆動指示に基づいて定められる目標位置にレンズ群Ｌが位置決めされるように、発振部２８２に対して設定する周波数と、移相部２８３に対して設定する位相差と、増幅部２８４ａおよび２８４ｂに対して設定する電圧振幅とを制御する。なお、制御部２８１が取得する駆動指示は、移動方向と移動量の組み合わせに関するものだけに限定されない。例えば、移動速度や移動シーケンスのパターン（例えば、ウォブリング動作の回数）を含んでもよい。また、制御部２８１が取得する駆動指示は、移動方向と移動速度の組み合わせであってもよい。

　図１９および図２０（ａ）～（ｃ）を用いて、本発明における振動波モータ２０１の駆動制御について説明する。図１９は、振動波モータ２０１の駆動制御に関するフローチャートの一例である。図２０（ａ）～（ｃ）は、振動波モータ２０１の駆動制御に関するタイミングチャートの一例である。図２０（ａ）は、Ａ相とＢ相の駆動信号の位相差に関するタイミングチャートである。図２０（ｂ）は、発振部２８２の発振周波数、すなわち駆動信号の周波数に関するタイミングチャートである。図２０（ｃ）は、振動波モータ２０１の回転数に関するタイミングチャートである。

　図１９の処理は、制御部２８１が駆動指示を取得したときに実行を開始する。ステップＳ１００では、制御部２８１は、発振部２８２に対して保持周波数ｆ０を設定して、発振部２８２から保持周波数ｆ０の信号が発振されるように制御する。

　ステップＳ１１０では、制御部２８１は、移相部２８３に対して＋９０°または－９０°の位相差を設定して、移相部２８３により出力されるＡ相の信号とＢ相の信号の位相差を変更する（図２０のタイミングＴ０～Ｔ１、タイミングＴ３～Ｔ４）。発振部２８２が発振する周波数が保持周波数ｆ０のときは、振動波モータ２０１の回転数は実質的に零である。したがって、ステップＳ１１０において制御部２８１が位相差を変更しても振動波モータ２０１の駆動が不安定になることがない。

　ステップＳ１１０における位相差の変更が終了後、ステップＳ１２０では、制御部２８１は、駆動指示と、検出部２８５からの検出信号により演算されるレンズ群Ｌの位置や速度と、温度測定部２８６により測定された振動波モータ２０１の温度と、振動波モータ２０１の個体差などに基づいて、発振部２８２に対して設定する周波数を制御して、レンズ群Ｌが目標位置に位置決めされるように駆動制御する（図２０のタイミングＴ１～Ｔ２）。

　発振部２８２に対して設定する周波数が保持周波数ｆ０より低周波となると、振動波モータ２０１の回転数が零より大きくなる。振動波モータ２０１を停止させるとき振動波モータ２０１への電圧印加を停止させていないため、振動波モータ２０１が駆動を開始しても異音は発生しない。

　ステップＳ１３０では、制御部２８１は、レンズ群Ｌが目標位置に到達したか否かを判定する。制御部２８１は、ステップＳ１３０が否定判定された場合は処理をステップＳ１２０に進め、ステップＳ１３０が肯定判定された場合は処理をステップＳ１４０に進める。

　ステップＳ１４０では、制御部２８１は、発振部２８２に対して保持周波数ｆ０を設定して、発振部２８２から保持周波数ｆ０の信号が発振されるように制御する（図２０のタイミングＴ２～Ｔ３）。

　ステップＳ１５０では、制御部２８１は、次の駆動指示を取得しているか否かを判定する。制御部２８１は、ステップＳ１５０が肯定判定された場合は処理をステップＳ１１０に進め、ステップＳ１５０が否定判定された場合は処理をステップＳ１６０に進める。

　ステップＳ１６０では、制御部２８１は、移相部２８３に対して０°の位相差を設定して、移相部２８３により出力されるＡ相の信号とＢ相の信号の位相差を変更して、図１９の処理を終了する。これにより、図１６に示されるように位相差によっても振動波モータ２０１の回転速度が零となるように制御される。

　図１７に示したように、保持周波数ｆ０は、取り得る値に範囲を有する。ステップＳ１４０において、制御部２８１が発振部２８２に設定する保持周波数ｆ０を、その範囲内のどの値にするかによって、振動波モータ２０１に対して得られる効果が変化する。その効果の違いを、図２１を用いて説明する。

　図２１は、振動体２６１の周波数―振動変形特性を例示した図である。図２１には、振動体２６２の９次屈曲振動の固有周波数ｆ９が２６ｋＨｚの位置に例示されており、１０次屈曲振動の固有周波数ｆ１０が３２ｋＨｚの位置に例示されている。以降、９次屈曲振動の固有周波数ｆ９を単に固有周波数ｆ９と略記し、１０次屈曲振動の固有周波数ｆ１０を単に固有周波数ｆ１０と略記する。

　駆動信号の周波数が９次屈曲振動の固有周波数ｆ９近傍のとき、振動体２６１の駆動面２２３では９山の進行波が発生する。そして、駆動信号の周波数が１０次屈曲振動の固有周波数ｆ１０近傍のとき、振動体２６１の駆動面２２３では１０山の進行波が発生する。振動体２６１の振動の大きさのうち、９山の進行波成分は、周波数が固有周波数ｆ９から離れるほど小さくなる。同様に振動体２６１の振動の大きさのうち、１０山の進行波成分は、周波数が固有周波数ｆ１０から離れるほど小さくなる。

　前述したとおり、圧電体２６１ｂは９山の進行波を励起させやすい電極パターンとなっており、振動波モータ２０１は１０山の進行波を用いるときより９山の進行波を用いるときの方が駆動効率がよい。そのため、図２１では９山の進行波の振動の大きさが１０山の進行波の振動の大きさよりも大きくなっている。

　２相の駆動信号の位相差が同一の場合、９山の進行波と１０山の進行波の回転方向は、互いに反対方向となる。例えば、２相の駆動信号の位相差が＋９０°の場合に、駆動信号の周波数が２７ｋＨｚのとき移動体２６２は正回転に回転し、駆動信号の周波数が３３ｋＨｚのとき移動体２６２は逆回転に回転する。周波数が固有周波数ｆ９と固有周波数ｆ１０との間にあるとき、９山の進行波成分による移動体２６２の回転と１０山の進行波成分による移動体２６２の回転とは、互いに打ち消し合う。

（１）保持周波数ｆ０が固有周波数ｆ９と固有周波数ｆ１０の平均値の場合
　保持周波数ｆ０が固有周波数ｆ９と固有周波数ｆ１０の平均値の場合、例えば図２１の例において保持周波数ｆ０が２９ｋＨｚの場合、振動体２６１の振動の大きさは小さくなる。これは、固有周波数ｆ９と固有周波数ｆ１０との中間では、９山の進行波成分も１０山の進行波成分も共に小さくなるためである。さらに、９山の進行波成分による移動体２６２の回転と１０山の進行波成分による移動体２６２の回転とが打ち消し合う。

　したがって、保持周波数ｆ０が固有周波数ｆ９と固有周波数ｆ１０の平均値である場合、振動体２６１の振動の大きさが小さいため移動体２６２が振動体２６１から離間しないため、移動体２６２と振動体２６１との衝突による異音が発生しない。また、９山の進行波成分による移動体２６２の回転と１０山の進行波成分による移動体２６２の回転とが打ち消し合うため、移動体２６２の回転停止の確実性が増す。

（２）保持周波数ｆ０が固有周波数ｆ９と固有周波数ｆ１０の平均値より高周波の場合
　保持周波数ｆ０が固有周波数ｆ９と固有周波数ｆ１０の平均値より高周波の場合、すなわち固有周波数ｆ９より固有周波数ｆ１０に近い場合、振動体２６２で発生する進行波は、１０山の進行波成分が支配的になる。図１９のステップＳ１２０で９山の進行波成分に基づいて回転していた移動体２６２は、ステップＳ１４０で駆動周波数を保持周波数ｆ０に変更したとき１０山の進行波成分に基づいて制御される。すなわち、１０山の進行波成分による回転は９山の進行波成分による回転とその回転方向が反対方向となるため、ステップＳ１４０において移動体２６２の回転方向は直前のステップＳ１２０の制御時の回転方向とは反対方向になる。ただし、このとき振動波モータ２０１により発生するトルクが小さいためフォーク２５４、カム環２５３、ＡＦ環２５２が回転することはない。

　したがって、ステップＳ１５０において次の駆動指示がある場合に、次の駆動指示において移動体２６２を逆方向に回転させることが確定しているときは、突起部２５５ａとフォーク２５４の間のガタと、キー溝２５３ａと固定ピン２５２ａとの間のガタとが詰まる。これにより、実際に移動体２６２が逆方向に回転し始めたときの機械的な衝突音を抑制することができる。

（３）保持周波数ｆ０が固有周波数ｆ９と固有周波数ｆ１０の平均値より低周波の場合
　保持周波数ｆ０が固有周波数ｆ９と固有周波数ｆ１０の平均値より低周波の場合、すなわち固有周波数ｆ１０より固有周波数ｆ９に近い場合、振動体２６２で発生する進行波は、９山の進行波成分が支配的になる。この場合、ステップＳ１４０において移動体２６２の回転方向は直前のステップＳ１２０の制御時の回転方向と同方向になる。したがって、ステップＳ１５０において次の駆動指示がある場合に、次の駆動指示において移動体２６２を同方向に回転させることが確定しているときは、突起部２５５ａとフォーク２５４の間のガタと、キー溝２５３ａと固定ピン２５２ａとの間のガタとが詰まる。これにより、実際に移動体２６２が同方向に回転し始めたときの機械的な衝突音を抑制することができる。

　また、保持周波数ｆ０が上記（１）や（２）のときより固有周波数ｆ９に近いため、図２０のタイミングＴ２～Ｔ３の期間を上記（１）や（２）のときより短縮することができる。これにより、移動体２６２の駆動制御における処理時間が短縮され、移動体２６２の停止精度が向上する。

　上記（２）で説明したように、次の駆動指示で直前の駆動指示とは反対方向に駆動するときは、保持周波数ｆ０を固有周波数ｆ９と固有周波数ｆ１０との平均値より高周波にした方がよい。また、上記（３）で説明したように、次の駆動指示で直前の駆動指示と同方向に駆動するときは、保持周波数ｆ０を固有周波数ｆ９と固有周波数ｆ１０との平均値より低周波にした方がよい。

　図２２は、図１９のステップＳ１４０の処理に関するフローチャートである。図２２の処理では、駆動指示を実行した後に実行する次の駆動指示に基づいて、適切に保持周波数を設定する。

　ステップＳ１４１では、制御部２８１は、次の駆動指示を取得しているか否かを判定する。制御部２８１は、ステップＳ１４１が肯定判定された場合は処理をステップＳ１４２に進め、ステップＳ１４１が否定判定された場合は処理をステップＳ１４３に進める。

　ステップＳ１４２では、制御部２８１は、次の駆動指示が直前に完了した駆動指示と同一方向に移動体２６２を回転させる指示か否かを判定する。制御部２８１は、ステップＳ１４２が肯定判定された場合は処理をステップＳ１４５に進め、ステップＳ１４２が否定判定された場合は処理をステップＳ１４４に進める。

　ステップＳ１４３では、制御部２８１は、保持周波数ｆ０を、固有周波数ｆ９と固有周波数ｆ１０の平均値に設定する。これにより、上記（１）で説明したような効果が得られる。
　ステップＳ１４４では、制御部２８１は、保持周波数ｆ０を、固有周波数ｆ９と固有周波数ｆ１０の平均値より高周波であり、固有周波数ｆ１０より低周波の周波数に設定する。これにより、上記（２）で説明したような効果が得られる。
　ステップＳ１４５では、制御部２８１は、保持周波数ｆ０を、固有周波数ｆ９と固有周波数ｆ１０の平均値より低周波であり、固有周波数ｆ９より高周波の周波数に設定する。これにより、上記（３）で説明したような効果が得られる。

　ステップＳ１４６では、制御部２８１は、ステップＳ１４３～Ｓ１４５で設定された保持周波数ｆ０を、発振部２８２に設定する。

　以上で説明した実施の形態によれば、以下の作用効果が得られる。
　レンズ鏡筒２０２においてレンズ群Ｌを駆動する駆動装置２９０は、駆動回路２８０と振動波モータ２０１とを備える。駆動回路２８０は、Ａ相とＢ相の駆動信号を生成する。振動波モータ２０１は、振動体２６１と移動体２６２を備える。振動体２６１は、駆動回路２８０により生成されたＡ相とＢ相の駆動信号が印加される圧電体２６１ｂを備え、その圧電体２６１ｂの振動により弾性体２６１ａの駆動面２２３に進行波を発生させ、加圧接触させた移動体２６２を駆動させるための駆動力を発生させる。駆動回路２８０は、Ａ相とＢ相の駆動信号の周波数と位相差を設定する制御部２８１を有し、移動体２６２の駆動方向を変更するときに、発振部２８２が発振する周波数を保持周波数ｆ０に設定した後（図１９のステップＳ１００およびＳ１４０）に、移相部２８３に設定する位相差を変更する（図１９のステップＳ１１０）。
　このようにすることで、駆動装置２９０では、移動体２６２の駆動方向を切り替える際に、駆動周波数の制御によって移動体２６２の駆動を停止させているため、異音の発生を抑制することができる。

　移動体２６２が駆動している間に位相差を変更すると、移動体２６２の回転が不安定になり、移動体２６２と振動体２６１の衝突による異音が発生する虞がある。しかし、本発明のように、移動体２６２の駆動が停止している状態で、Ａ相およびＢ相の駆動信号の位相差を制御するようにすれば、そのような異音が発生する虞がない。

　また、移動体２６２が駆動している間に位相差を変更すると、一時的に移動体２６２を低速駆動することがあるが、低速駆動時は移動体２６２の回転ムラが増大し、停止精度を確保できなくなるという虞がある。しかし、本発明のように、移動体２６２の駆動が停止している状態で、Ａ相およびＢ相の駆動信号の位相差を制御するようにすれば、そのような回転ムラの増大が発生せず、停止精度を確保できなくなる虞がない。

　以上で説明した第３実施形態は、以下のように変形して実施できる。
（変形例４）上記の実施形態では、圧電体２６１ｂが９山の進行波が発生しやすい電極パターンになっているものとして、振動体２６１の駆動面２２３に９山の進行波または１０山の進行波を発生するものとした。しかし、振動体２６１が発生させる進行波は、９山の進行波に限定しない。本発明は、駆動面２２３に任意のｎ山の進行波によるｎ次屈曲振動を発生させることにしてもよい。
（変形例５）上記の実施形態では、発振部２８２に対して設定する周波数を制御してレンズ群Ｌの駆動制御を行っている間、Ａ相およびＢ相の駆動信号の位相差を制御しなかった。しかし、移動体２６２と振動体２６１の衝突による異音や、移動体２６２の回転ムラの増大を無視できる範囲内で、発振部２８２に対して設定する周波数を制御してレンズ群Ｌの駆動制御を行っている間にも、Ａ相およびＢ相の駆動信号の位相差を制御してもよい。

（第４実施形態）
　以下、本発明にかかる電子カメラ１の実施形態について、添付図面を参照しながら詳細に説明する。図２３は、本発明の第４実施形態の電子カメラ３０１を説明する図である。
　電子カメラ３０１は、静止画及び動画撮影が可能なカメラであって、撮像光学系であるレンズ鏡筒３２０と、撮像素子３３０と、ＡＦＥ（Ａｎａｌｏｇ　ｆｒｏｎｔ　ｅｎｄ）回路３６０と、画像処理部３７０と、音声検出部３８０と、操作部材３９０と、ＣＰＵ４００と、バッファメモリ４１０と、記録インターフェース４２０と、メモリ４３０と、モニタ４４０とから構成され、外部機器のＰＣ４５０との接続が可能となっている。

　レンズ鏡筒３２０は、複数の光学レンズ群Ｌにより構成され、被写体像を撮像素子３３０の受光面に結像させる。図２３では、複数の光学レンズ群Ｌを簡略化して、単レンズとして図示している。この光学レンズ群Ｌのうちの、後述するＡＦ用の第３レンズ群Ｌ３（図２４に図示）は、振動波モータ３１０により駆動される。

　撮像素子３３０は、受光面に受光素子が二次元的に配列されたＣＭＯＳイメージセンサなどによって構成される。撮像素子３３０は、レンズ鏡筒３２０を通過した光束による被写体像を光電変換してアナログ画像信号を生成する。

　アナログ画像信号は、ＡＦＥ回路３６０に入力される。ＡＦＥ回路３６０は、アナログ画像信号に対するゲイン調整（ＩＳＯ感度に応じた信号増幅）を行う。具体的には、ＣＰＵ４００からの感度設定指示に応じて、撮像感度を所定範囲内で変更する。ＡＦＥ回路３６０は、さらに、内蔵するＡ／Ｄ変換回路によってアナログ処理後の画像信号をデジタルデータに変換する。そのデジタルデータは、画像処理部３７０に入力される。

　画像処理部３７０は、デジタル画像データに対して、各種の画像処理を行う。
　バッファメモリ４１０は、画像処理部３７０による画像処理の前工程や後工程での画像データを一時的に記録する。

　音声検出部３８０は、マイクと信号増幅部とから構成され、主に動画撮影時に被写体方向からの音声を検出して取り込み、そのデータをＣＰＵ４００へ伝達する。

　操作部材３９０は、モードダイヤル、十字キー、決定ボタンやレリーズボタンを示し、各操作に応じた操作信号をＣＰＵ４００へ送出する。静止画撮影や動画撮影の設定は、該操作部材３９０により設定される。

　ＣＰＵ４００は、不図示のＲＯＭに格納されたプログラムを実行することによって電子カメラ３０１が行う動作を統括的に制御する。例えば、ＡＦ（オートフォーカス）動作制御、ＡＥ（自動露出）動作制御、オートホワイトバランス制御などを行う。

　記録インターフェース４２０は、不図示のコネクタを有し、該コネクタにメモリカード４２１等の記録媒体が接続され、接続された記録媒体に対して、データの書き込みや、記録媒体からのデータの読み込みを行う。

　メモリ４３０は、画像処理した一連の画像データを記録する。本実施形態の電子カメラ３０１においては、動画に対応した画像を取り込む。
　モニタ４４０は、液晶パネルによって構成され、ＣＰＵ４００からの指示に応じて、操作メニュー、静止画像及び動画などを表示する。

　次に、レンズ鏡筒３２０について説明する。
　図２４は、本発明の第４実施形態のレンズ鏡筒３２０を説明する図である。図２５は、本発明の第４実施形態の振動波モータ３１０の振動子３１１を説明する図である。
　レンズ鏡筒３２０は、レンズ鏡筒３２０の外周部を覆う外側固定筒３３１と、外側固定筒３３１よりも内周側に位置する内側固定筒３３２と、を備え、さらに外側固定筒３３１と内側固定筒３３２との間に振動波モータ３１０を備える。

　内側固定筒３３２には、被写体側から第１レンズ群Ｌ１、第２レンズ群Ｌ２、ＡＦ環３３４に保持されたＡＦレンズである第３レンズ群Ｌ３、第４レンズ群Ｌ４が配置されている。第１レンズ群Ｌ１、第２レンズ群Ｌ２及び第４レンズ群Ｌ４は、内側固定筒３３２に固定されている。第３レンズ群Ｌ３は、ＡＦ環３３４が移動することにより内側固定筒３３２に対して移動可能に構成される。

　図２４に示すように、振動波モータ３１０は、振動子３１１、移動子３１５、加圧部材３１８等を備え、振動子３１１側を固定とし、移動子３１５を回転駆動する形態となっている。
　振動子３１１について説明する。図２５に示すように、振動子３１１は、電気エネルギーを機械エネルギーに変換する圧電素子や電歪素子等を例とした電気－機械変換素子（以下、圧電体３１３と称する）と、圧電体３１３を接合した弾性体３１２とから構成されている。振動子３１１には進行波が発生するようにされているが、本実施形態では一例として９波の進行波が発生される。

　弾性体３１２は、共振先鋭度が大きな金属材料から成り、形状は、円環形状である。弾性体３１２における圧電体３１３が接合される反対面は、溝が切られた櫛歯部３１２ａとなっており、突起部分（溝がない箇所）の先端面が駆動面となり移動子３１５に加圧接触される。振動波モータ３１０は、圧電体３１３の励振により駆動面に発生する駆動力を用いて移動子３１５を駆動することによって第３レンズ群Ｌ３を駆動する。溝を切る理由は、進行波の中立面をできる限り圧電体３１３側に近づけ、これにより駆動面の進行波の振幅を増幅させるためである。溝の切っていない部分を本実施形態ではベース部３１２ｂと呼ぶ。

　ベース部３１２ｂの櫛歯部３１２ａとは反対面に圧電体３１３が接合されている。弾性体３１２の駆動面には潤滑性の表面処理がなされている。圧電体３１３は、円周方向に沿って２つの相（Ａ相、Ｂ相）に分かれており、各相においては、１／２波長毎に分極が交互となった要素が並べられていて、Ａ相とＢ相との間には１／４波長分間隔が空くようにしてある。

　圧電体３１３は、一般的には通称ＰＺＴと呼ばれるチタン酸ジルコン酸鉛といった材料から構成されているが、近年では環境問題から鉛フリーの材料であるニオブ酸カリウムナトリウム、ニオブ酸カリウム、ニオブ酸ナトリウム、チタン酸バリウム、チタン酸ビスマスナトリウム、チタン酸ビスマスカリウム等から構成されることもある。

　図２４に示すように、圧電体３１３の下には、不織布３１６、加圧板３１７、加圧部材３１８が配置されている。不織布３１６は、フェルトを例としたものであり、圧電体３１３の下に配置されていて、振動子３１１の振動を加圧板３１７や加圧部材３１８に伝えないようにしてある。

　加圧板３１７は、加圧部材３１８の加圧を受けるようにされている。加圧部材３１８は、皿バネにより構成され、加圧板３１７の下に配置されていて、加圧力を発生させるものである。本実施形態では、加圧部材３１８を皿バネとしたが、皿バネでなくともコイルバネやウェーブバネでも良い。加圧部材３１８は、押さえ環３１９が固定部材３１４に固定されることで、保持される。

　移動子３１５は、アルミニウム等の軽金属からなり、摺動面の表面３１５ａには耐摩耗性向上のための摺動材料等の表面処理がなされている（図２５参照）。

　移動子３１５の上には、移動子３１５の縦方向の振動を吸収するために、ゴム等により形成された振動吸収部材３２３が配置され、その上には、出力伝達部材３２４が配置されている。

　出力伝達部材３２４は、固定部材３１４に設けられたベアリング３２５により、加圧方向と径方向とを規制し、これにより、移動子３１５の加圧方向と径方向とが規制されるようにされている。

　出力伝達部材３２４は、突起部３２４ａがあり、そこからカム環３３６に接続されたフォーク３３５が嵌合している。カム環３３６は、出力伝達部材３２４の回転とともに回転される。

　カム環３３６には、周方向に対して斜めにキー溝３３７が切られている。また、ＡＦ環３３４の外周側には、固定ピン３３８が設けられている。固定ピン３３８は、キー溝３３７に嵌合していて、カム環３３６が回転駆動することにより、ＡＦ環３３４は光軸直進方向に駆動され、所望の位置に停止できるようになっている。

　固定部材３１４には、押さえ環３１９がネジにより取り付けられている。押さえ環３１９を固定部材３１４に取り付けることで、出力伝達部材３２４から移動子３１５、振動子３１１、加圧部材３１８までを一つのモータユニットとして構成できる。

　次に、駆動装置３４０Ａについて説明する。
　図２６は、振動波モータ３１０の駆動装置３４０Ａを説明するブロック図である。駆動装置３４０Ａは、基板３４０（図２４参照）に設けられている。駆動装置３４０Ａは、図２６に示すように、振動波モータ３１０に接続されており、振動波モータ３１０に設けられた回転検出部３４６から振動波モータ３１０の回転数を受信するとともに、振動波モータ３１０の制御も行う。

　駆動装置３４０Ａは、駆動制御部３４１と、発振部３４２と、移相部３４３と、増幅部３４４とを備える。また、駆動装置３４０Ａの駆動制御部３４１には、振動波モータ３１０に取り付けられた回転検出部３４６、コントラスト検出部３３９、及び、動画撮影モードか静止画撮影モードかを選択できる撮影設定部３４７が接続されている。

　駆動制御部３４１は、レンズ鏡筒３２０内又はカメラ３０１本体のＣＰＵ４００からの駆動指令を基に振動波モータ３１０の駆動を制御する。
　発振部３４２は、駆動制御部３４１の指令により所望の周波数の駆動信号を発生する。駆動信号は、電位ゼロを基準として、＋方向及び－方向で非対称形状となっている。
　移相部３４３は、該発振部３４２で発生した駆動信号を位相の異なる２つの駆動信号に分ける。
　増幅部３４４は、移相部３４３によって分けられた２つの駆動信号をそれぞれ所望の電圧に昇圧する。
　増幅部３４４からの２つの駆動信号は、振動波モータ３１０に伝達され、この２つの駆動信号の印加により振動子３１１に進行波が発生し、移動子３１５が駆動される。

　回転検出部３４６は、光学式エンコーダや磁気エンコーダ等により構成され、移動子３１５の駆動によって駆動された被駆動物の位置や速度を検出し、検出値を電気信号として駆動制御部３４１に伝達する。
　コントラスト検出部３３９は、被写体像のコントラストを検出する。コントラスト検出部３３９は、例えば、被写体が現在のレンズの焦点位置の範囲内か、＋方向にあるか、－方向にあるか、どの程度ずれているか、を判定する。コントラスト検出部３３９により検出されたコントラストは、電気信号として駆動制御部３４１に伝達される。

　駆動制御部３４１は、レンズ鏡筒３２０内またはカメラ３０１本体のＣＰＵ４００からの駆動指令を基に、振動波モータ３１０の駆動を制御する。駆動制御部３４１は、回転検出部３４６からの検出信号を受信すると、その値を基に、位置情報と速度情報とを得て、目標位置に位置決めされるように発振部３４２の周波数、移相部３４３の位相差、及び増幅部３４４の電圧を制御する。

　また、駆動制御部３４１は、レンズやカメラより撮影情報（撮影設定部３４７により選択された、静止画モード／動画モード等）が伝達されるようになっている。駆動制御部３４１は、このレンズやカメラより撮影情報を基に、駆動信号の周波数や位相差をきめ細かに制御する。具体的には、駆動制御部３４１は、撮影設定部３４７が動画撮影モードを選択した場合に、２つの駆動信号の電圧を一定に維持した状態で、２つの駆動信号の位相差を切り替えるとともに、２つの駆動信号の周波数を切り替えられた位相差に対応させて切り替えることで、振動波モータ３１０の速度を変更可能である。
　また、駆動制御部３４１は、コントラスト検出部３３９により検出されたコントラストに基づいて、２つの駆動信号の周波数を切り替える。

　本実施形態では説明を簡易にするため、コントラスト検出部３３９の情報及び撮影設定部３４７の情報が直接駆動制御部３４１に伝達される構成としているが、これに限定されない。例えば、コントラスト検出部３３９の情報や撮影設定部３４７の情報が一旦カメラのＣＰＵに伝わり、その後、レンズ内の駆動制御部３４１へ伝わるように構成されていてもよい。

　次に、駆動装置３４０Ａにおける振動波モータ３１０の駆動及び制御について説明する。
　まず、駆動制御部３４１には、レンズ鏡筒３２０内又はカメラ３０１本体のＣＰＵ４００からの目標位置が伝達される。発振部３４２から駆動信号が発生し、その信号は移相部３４３により９０度位相の異なる２つの駆動信号に分割され、増幅部３４４により所望の電圧に増幅される。駆動制御部３４１は、振動波モータ３１０に２つの駆動信号を与える。

　２つの駆動信号は、振動波モータ３１０の圧電体３１３に印加され、圧電体３１３は励振され、その励振によって弾性体３１２には９次の曲げ振動が発生する。圧電体３１３はＡ相とＢ相とに分けられており、２つの駆動信号はそれぞれＡ相とＢ相に印加される。Ａ相から発生する９次曲げ振動とＢ相から発生する９次曲げ振動とは位置的な位相が１／４波長ずれるようになっており、また、Ａ相駆動信号とＢ相駆動信号とは９０度位相がずれているため、２つの曲げ振動は合成され、９波の進行波となる。位相差の値＋９０度又は－９０度は、理想的な値であり、その中間値でも進行波の形状は乱れているが、進行波は生じている。進行波の波頭には楕円運動が生じている。従って、駆動面に加圧接触された移動子３１５は、この楕円運動によって摩擦的に駆動される。

　移動子３１５の駆動により駆動された被駆動体には、光学式エンコーダが配置されていて、そこから、電気パルスが発生し、駆動制御部３４１に伝達される。駆動制御部３４１は、この信号を基に、現在の位置と現在の速度を得ることが可能となり、これらの位置情報、速度情報及び目標位置情報を基に、発振部３４２の駆動周波数を制御する。

　また、ＡＦ環３３４を正方向に駆動する場合には、移相部３４３での２つの駆動信号（周波電圧信号）の位相差を＋値、例えば＋９０度にし、ＡＦ環３３４を逆方向に駆動する場合には、移相部３４３での２つの駆動信号（周波電圧信号）の位相差を－値、例えば－９０度にすれば良い。

　一方、駆動制御部３４１は、現在の撮影モードが静止画モード／動画モードであるかの情報を基に、静止画モードの場合には、発振部３４２の駆動周波数を制御し、動画モードの場合には、発振部３４２の駆動周波数および移相部３４３の位相差を制御する。特に、小刻みにＡＦ用の第３レンズ群Ｌ３を前後させるウォブリング動作においては、位相差を変更して、位置や速度を制御する。ウォブリング動作とは、ＡＦ用のレンズを小刻みに前後させて焦点位置を被写体に追従させる動作である。

　図２７（ａ）は、振動波モータの駆動信号の位相差に対する回転速度の関係を示すグラフであり、図２７（ｂ）は、振動波モータの駆動周波数に対する回転速度の関係を示すグラフである。図２７（ａ）に示すように、回転速度は、２つの駆動信号の位相差が＋９０度では正回転の最大速度、２つの駆動信号の位相差が－９０度では逆回転の最大速度となり、その中間の位相差は、中間的な速度値を示す。また、図２７（ｂ）に示すように、駆動周波数は、小さくしていくと回転速度が大きくなり、周波数を大きくすると回転速度は低下していき、０となる。
　例えば、２つの駆動信号の位相差を＋９０度とした時、駆動周波数が小さい方が、回転速度は高くなる。

（第１動作例）
　次に、本発明の第４実施形態の第１動作例について、動画モードが選択された場合の駆動装置３４０Ａにおける振動波モータ３１０の駆動についてタイミングチャートに基づいて説明する。図２８は、第４実施形態の駆動装置３４０Ａの第１動作例の動作を説明するタイミングチャートである。
　本実施形態において動画モードが選択された場合、駆動周波数、駆動電圧、位相差、振動波モータ３１０の回転速度の関係を時系列に説明する。
　本実施形態では、動画モードが選択されていた場合には、駆動周波数はｆ０（最大周波数）、駆動電圧はＶ０（最小電圧）と設定される。
　ｔ０において、駆動装置３４０Ａは、２つの駆動信号の位相差を＋９０度に設定して、駆動信号をＯＮにする。
　ｔ１において、駆動装置３４０Ａは、駆動電圧を増加させる。
　ｔ２において、駆動装置３４０Ａは、駆動電圧をＶ１に設定する。
　ｔ３において、駆動装置３４０Ａは、駆動周波数を最大周波数ｆ０より挿引を開始する。
　ｔ４の直後のｔ４’において、駆動装置３４０Ａは、駆動周波数が挿引されている途中で、振動波モータ３１０を駆動開始し、駆動周波数を周波数ｆ１に設定する。

　動画モードの場合には、小刻みにＡＦ用の第３レンズ群Ｌ３を前後させるウォブリング動作を行う。本実施形態の場合には、２０Ｈｚの間隔としている。
　ｔ４～ｔ５において、駆動装置３４０Ａは、２つの駆動信号の位相差を＋９０度に設定して、正回転で回転させて、速度をＶとする。
　ｔ５～ｔ６において、駆動装置３４０Ａは、２つの駆動信号の位相差を０度に設定して、Ｗｂｅ位置でのコントラストをコントラスト検出部３３９により検出する。
　ｔ６～ｔ７において、駆動装置３４０Ａは、２つの駆動信号の位相差を－９０度に設定して、周波数をｆ１より小さいｆ２として、周波数ｆ２で逆回転駆動させ、速度を－２Ｖ（Ｖの２倍）とする。
　ウォブリング動作の逆転時の速度を正回転の２倍とするのは、レンズ位置の移動量が２倍であるためである。

　ｔ７～ｔ８において、駆動装置３４０Ａは、２つの駆動信号の位相差を０度に設定して、Ｗａｆ位置でのコントラストを検出する。
　ｔ８～ｔ９において、駆動装置３４０Ａは、２つの駆動信号の位相差を＋９０度に設定して、周波数ｆ１で正回転駆動させて、速度をＶとする。
　ｔ９～ｔ１０において、駆動装置３４０Ａは、２つの駆動信号の位相差を０度に設定して、Ｗ０位置でのコントラストを検出する。

　以下繰り返しで、ウォブリング動作を行う。ウォブリング動作の１サイクル（例えば、ｔ４とｔ１０との間）は、２０Ｈｚの間隔（＝約５０ｍｓｅｃ）である。
　ｔ９～ｔ１０間において、Ｗｂｅ位置、Ｗａｆ位置、およびＷ０位置のコントラストの検出結果により、被写体の位置を算出し、次のウォブリング動作の１サイクルの駆動周波数を決める。つまり、駆動制御部３４１は、コントラスト検出部３３９によって検出された、ウォブリング動作における所定の１サイクルのコントラストに基づいて、所定の１サイクルの次の１サイクルにおける２つの駆動信号の周波数を、ＡＦ用の第３レンズ群Ｌ３の焦点位置を被写体に追従させるように切り替える。

　決めるパラメータとしては、ｔ１０～ｔ１１間の周波数ｆｓ、ｔ１２～ｔ１３間の周波数ｆｂ、及び、ｔ１４～ｔ１５間の周波数ｆｓ２である。
　例えば、ｔ４～ｔ１０間のウォブリング動作の１サイクルでのコントラスト検出の結果において、被写体はウォブリング振幅の間（＋１～－１）にあるものと判定された場合、次のウォブリング動作の１サイクルにおいても、ウォブリング振幅を＋１～－１として、周波数ｆｓ＝ｆ１、周波数ｆｂ＝ｆ２、周波数ｆｓ２＝ｆ１とする。
　なお、図２８での被写体検出結果では、コントラストが良い方を大きい値で示すようにしてある（コントラストが良い＝焦点が合っている＝１としており、焦点が合っていない程、数値が小さくなるように示してある。）。

　また、別のケースとして、ｔ１７～ｔ２２間のウォブリング動作の１サイクルでのコントラスト検出の結果、被写体は現在のレンズ位置から＋方向にあるものと判定された場合、次のウォブリング動作の１サイクルは、ｔ２２～ｔ２３での速度を３Ｖとして、ウォブリング振幅の３倍のレンズの移動を行う。その場合、周波数ｆｓ＝ｆ３（ｆ２よりさらに小さい周波数）、周波数ｆｂ＝ｆ２、周波数ｆｓ２＝ｆ１とする。

　さらに、別のケースとして、ｔ４０～ｔ４５のウォブリング動作の１サイクルでのコントラスト検出の結果、被写体は現在のレンズ位置から大きく＋方向にあるものと判定された場合、次のウォブリング動作の１サイクルは、ｔ４０～ｔ４１での速度は４Ｖとして、ウォブリング振幅の３倍のレンズの移動を行う。その場合、周波数ｆｓ＝ｆ４（ｆ３よりさらに小さい周波数）、周波数ｆｂ＝ｆ２、周波数ｆｓ２＝ｆ１とする。

　ここで、レンズを駆動させようとすると、振動波モータに駆動信号を開始する時の駆動信号ＯＮ時の微小の音が、動画撮影時に音声を検出するマイクに取り込まれてしまうという問題点が生じる可能性がある。その原因は、振動波モータに加える駆動信号を０Ｖからある電圧にステップ的に変化させた瞬間、ステータ（振動子）から様々な周波数の音が発生し、その可聴音が音声に取り込まれるからである。その音の音圧は、電圧に大きさに依存しており、駆動信号の電圧が小さい揚合には、音圧が下がる傾向が見られる。
　この点については、駆動信号ＯＮの瞬間は駆動信号電圧の電圧値を小さくしておき、ステータ（振動子）から発生する音の音圧をマイクの感度以下にし、駆動信号ＯＮ以降に、駆動電圧を正規の電圧（定格電圧）に戻すことで対策がとれる。

　しかし、動画撮影時には、ＡＦレンズを前後させるウォブリング動作をする必要があり、正方向の駆動する時と逆方向に駆動する時との間に、一旦停止して、位相差を変えなくてはならない。この場合、ステータ（振動子）から発生する微小な音を防止するためには、従来の制御方法では、２つの駆動信号の位相差＋９０度に設定して、駆動電圧をＶ０からＶ１に変化させて、ＡＦ環３４を正回転駆動させる。次に、駆動電圧をＶ１からＶ０に変化させて、２つの駆動信号の位相差を－９０度に設定する。さらに、駆動電圧をＶ０からＶ１に変化させて、ＡＦ環３４を逆回転駆動させる。次に、駆動電圧をＶ１からＶ０に変化させて、２つの駆動信号の位相差を＋９０度に設定する。以下繰り返しを行うため、非常に煩雑な動作となってしまう。

　本実施形態では、電圧を一定に維持した状態で、２つの駆動信号の位相差を３段階に切り替え（９０度、０度、－９０度）、その位相差に応じた周波数を設定することでウォブリング動作を行うようにする。なお、２つの駆動信号の位相差の切り替えは、微小音発生防止に対して、徐々に位相差を連続的に切り替えることが好適である。
　このようにすることで、従来のように煩雑に駆動する必要もなく、静寂な駆動が可能となる。

　なお、静止画モードが選択されている場合には、従来のように、電圧を定格電圧Ｖ１に設定してから駆動信号をＯＮにして、駆動周波数の挿引開始をする。また、位置や速度制御も、静止画モードの場合には、ウォブリング動作をする必要がないため、駆動周波数または駆動電圧による制御となる。
　なお、駆動信号ＯＮ時の音は、僅かであり、音声マイクが振動波モータの至近に設けられているため音として検知されてしまうが、操作している人にはほとんど聞こえない音である。

　以下、第４実施形態の駆動装置３４０Ａの第１動作例の動作についてフローチャートに基づいて説明する。
　図２９は、第４実施形態の駆動装置３４０Ａの第１動作例の動作を説明するフローチャートである。
　まず、レンズの駆動を開始する。
　Ｓ５０１において、駆動装置３４０Ａは、動画モードであるか静止画モードであるかを判定する。動画モードの場合にはＳ５０２へ進む。駆動装置３４０Ａは、静止画モードの揚合にはＳ６０１へ進み、ウォブリング動作を行なわずに、静止画撮影時の駆動動作を行う。
　Ｓ５０２において、駆動装置３４０Ａは、電圧をＶ０に設定するとともに、２つの駆動信号の位相差を＋９０°に設定する。
　Ｓ５０３において、駆動装置３４０Ａは、駆動信号をＯＮにする。
　Ｓ５０４において、駆動装置３４０Ａは、２つの駆動信号の電圧を増加させる。
　Ｓ５０５において、駆動装置３４０Ａは、２つの駆動信号の電圧をＶ１に設定する。
　Ｓ５０６において、駆動装置３４０Ａは、周波数の挿引を開始して周波数をｆｌに設定する。
　これにより、移動子３１５が駆動して、ＡＦ環３３４が正方向に駆動される。

　Ｓ５０７において、駆動装置３４０Ａは、２つの駆動信号の位相差を０°に設定する。これにより、移動子１５の駆動が停止する。
　Ｓ５０８において、駆動装置３４０Ａは、Ｗｂｅ位置及びコントラストを検出する。
　Ｓ５０９において、駆動装置３４０Ａは、周波数をｆ２に設定する。
　Ｓ５１０において、駆動装置３４０Ａは、２つの駆動信号の位相差を－９０°に設定する。
　これにより、移動子３１５が駆動して、ＡＦ環３３４が逆方向に駆動される。

　Ｓ５１１において、駆動装置３４０Ａは、２つの駆動信号の位相差を０°に設定する。これにより、移動子３１５の駆動が停止する。
　Ｓ５１２において、駆動装置３４０Ａは、Ｗａｆ位置及びコントラストを検出する。
　Ｓ５１３において、駆動装置３４０Ａは、周波数をｆ１に設定する。
　Ｓ５１４において、駆動装置３４０Ａは、２つの駆動信号の位相差を９０°に設定する。
　これにより、移動子１５が駆動してＡＦ環３３４が正方向に駆動される。

　Ｓ５１５において、駆動装置３４０Ａは、２つの駆動信号の位相差を０°に設定する。これにより、移動子３１５の駆動が停止する。
　Ｓ５１６において、駆動装置３４０Ａは、Ｗ０位置及びコントラストを検出する。
　Ｓ５１７において、駆動装置３４０Ａは、Ｗｂｅ位置，Ｗａｆ位置，Ｗ０位置及び各コントラスト情報より、被写体位置を算出する。

　Ｓ５１８において、周波数ｆｓ、ｆｂを算出する。
　Ｓ５１９において、駆動装置３４０Ａは、２つの駆動信号の位相差を＋９０°に設定する。
　駆動装置３４０Ａは、周波数をｆｓに設定する。例えば、図２８におけるｔ１７～ｔ２２間のウォブリング動作の１サイクルでのコントラストを検出した結果において、被写体は現在のレンズ位置から＋方向にあるものと判定された時には、次のウォブリング動作の１サイクルは、ｆ３（ｆ２よりさらに小さい周波数）と設定する。これにより、移動子３１５が駆動してＡＦ環３３４が正方向に駆動される。

　Ｓ５２０において、駆動装置３４０Ａは、２つの駆動信号の位相を０°に設定する。これにより移動子３１５の駆動が停止する。
　Ｓ５２１において、駆動装置３４０Ａは、Ｗｂｅ位置及びコントラストを検出する。
　Ｓ５２２において、駆動装置３４０Ａは、周波数をｆｂに設定する。例えば、図２８におけるｔ１７～ｔ２２間のウォブリング動作の１サイクルでのコントラスト検出結果において、駆動装置３４０Ａは、駆動周波数をｆ２に設定する。

　Ｓ５２３において、２つの駆動信号の位相差を－９０°に設定する。これにより、移動子３１５が駆動してＡＦ環３３４が逆方向に駆動される。
　Ｓ５２４において、駆動装置３４０Ａは、２つの駆動信号の位相差を０°に設定する。これにより、移動子３１５の駆動が停止する。
　Ｓ５２５において、駆動装置３４０Ａは、Ｗａｆ位置及びコントラストを検出する。
　Ｓ５２６において、駆動装置３４０Ａは、周波数をｆｓ２（＝ｆｌ）に設定する。
　Ｓ５２７において、駆動装置３４０Ａは、２つの駆動信号の位相差を９０°に設定する。これにより、移動子３１５が駆動してＡＦ環３３４が正方向に駆動される。

　Ｓ５２８において、駆動装置３４０Ａは、２つの駆動信号の位相差を０°に設定する。これにより、移動子３１５の駆動が停止する。
　Ｓ５２９において、駆動装置３４０Ａは、Ｗ０位置及びコントラストを検出する。
　Ｓ５３０において、駆動装置３４０Ａは、Ｗｂｅ位置，Ｗａｆ位置，Ｗ０位置及び各コントラスト情報より、被写体位置を算出する。
　Ｓ５３１において、駆動装置３４０Ａは、ＡＦ環３３４の駆動が終了か否か判定する。
　ＡＦ環３３４の駆動が終了でない場合には、Ｓ５１８へ戻り、次のウォブリング動作を行う。撮影終了指令があり、駆動終了時には、停止させる場合には、位相差の切り替え制御を終わらせ、周波数をｆ０へ高周波側に掃引して振動波モータの動きを停止する。そして、電圧をＶ１からＶ０へ徐々に減少させ、その後、駆動信号をＯＦＦとする。

　本実施形態においては、Ｓ５１９～Ｓ５３０にてレンズ位置において３箇所のコントラストを検出して被写体位置を推定し、その情報に応じてＳ５１８にて周波数ｆｓ、ｆｂの算出をする。Ａ相とＢ相との位相差を３段階に切り替えること（９０度、０度、－９０度）と、周波数ｆｓ、ｆｂ、ｆｓ２の３つの駆動周波数を設定することにより、振動波モータ１０のウォブリング動作を可能としている。

（第２動作例）
　次に、本発明の第４実施形態の第２動作例について説明する。第２動作例は第１動作例とレンズ鏡筒、振動波モータ及び駆動装置３４０Ａの構成は同様であるためその説明は省略する。第１動作例と第２動作例とは、駆動装置３４０Ａ内における動作が異なる。第２動作例は、被写体の位置がレンズ位置の＋方向に動き、途中から一方向に動いた場合におけるものである。

　第２動作例の駆動装置３４０Ａにおける振動波モータ３１０の駆動についてタイミングチャートに基づいて説明する。図３０は、本発明の第４実施形態の駆動装置３４０Ａの第２動作例の動作を説明するタイミングチャートである。
　第２動作例について、動画モードが選択された場合において、被写体の位置がレンズ位置の＋方向に動き、途中から一方向に動いた場合の挙動について時系列に説明する。

　本実施形態では、動画モードが選択された場合には、駆動周波数はｆ０（最大周波数）、駆動電圧はＶ０（最小電圧）と設定される。
　ｔ０において、駆動装置３４０Ａは、２つの駆動信号の位相差を＋９０度に設定して、駆動信号をＯＮにする。
　ｔ１において、駆動装置３４０Ａは、２つの駆動信号の駆動動電圧を増加させる。
　ｔ２において、駆動装置３４０Ａは、２つの駆動信号の駆動電圧をＶ１に設定する。
　ｔ３において、駆動装置３４０Ａは、駆動周波数を最大周波数ｆ０より挿引を開始する。
　ｔ４の直後のｔ４’において、駆動装置３４０Ａは、駆動周波数が挿引されている途中で、振動波モータ３１０を駆動開始し、駆動周波数を周波数ｆ１に設定する。

　動画モードの場合には、小刻みにＡＦレンズを前後させるウォブリング動作を行う。本実施形態の場合には、２０Ｈｚの間隔としている。
　ｔ４～ｔ５において、駆動装置３４０Ａは、２つの駆動信号の位相差を＋９０度に設定して、正回転で回転させ、速度をＶとする。
　ｔ５～ｔ６において、駆動装置３４０Ａは、２つの駆動信号の位相差を０度に設定して、Ｗｂｅ位置でのコントラストを検出する。
　ｔ６～ｔ７において、駆動装置３４０Ａは、２つの駆動信号の位相差を－９０度に設定して、周波数ｆ２で逆回転駆動して、速度を－２Ｖ（Ｖの２倍）とする。速度を大きくする分、周波数は、ｆ１より小さいｆ２とした。
　ウォブリング動作の逆転時の速度が正回転の２倍なのは、レンズ位置の移動量が２倍であるためである。

　ｔ７～ｔ８において、駆動装置３４０Ａは、２つの駆動信号の位相差を０度に設定して、Ｗａｆ位置でのコントラストを検出する。
　ｔ８～ｔ９において、駆動装置３４０Ａは、２つの駆動信号の位相差を＋９０度に設定して、周波数ｆ１で正回転駆動して、速度をＶとする。
　ｔ９～ｔ１０において、駆動装置３４０Ａは、２つの駆動信号の位相差を０度に設定して、Ｗ０位置でのコントラストを検出する。

　以下繰り返しで、ウォブリング動作を行う。ウォブリング動作の１サイクル（例えば、ｔ４とｔ１０との間）は２０Ｈｚの間隔（＝約５０ｍｓｅｃ）である。
　ｔ９～ｔ１０間において、Ｗｂｅ位置、Ｗａｆ位置、およびＷ０位置のコントラストの検出結果により、被写体の位置を算出し、次のウォブリング動作を決める。
　決めるパラメータとしては、ｔ１０～ｔ１１間の周波数ｆｓ、ｔ１２～ｔ１３間の周波数ｆｂ、ｔ１４～ｔ１５間の周波数ｆｓ２である。

　例えば、ｔ４～ｔ１０間のウォブリング動作の１サイクルでのコントラスト検出の結果において、被写体はウォブリング振幅の間（＋１～－１）にあるものと判定された場合、次のウォブリング動作の１サイクルにおいても、ウォブリング振幅は＋１～－１として、周波数ｆｓ＝ｆ１、周波数ｆｂ＝ｆ２、周波数ｆｓ２＝ｆ１とする。
　なお、図３０での被写体検出結果では、コントラストが良い方を大きい値で示すようにしてある（コントラストが良い＝焦点が合っている＝１としており、焦点が合っていない程数値が小さくなるように示してある）。

　また、被写体がレンズの＋方向に移動した場合、例えば、ｔ１０～ｔ１６間のウォブリング動作の１サイクルでのコントラスト検出の結果、被写体は現在のレンズ位置から＋方向にあるものと判定された場合、次のウォブリング動作の１サイクルは、ｔ１６～ｔ１７での速度を３Ｖとして、ウォブリング振幅の３倍のレンズの移動を行う。その場合、周波数ｆｓ＝ｆ３（ｆ２よりさらに小さい周波数）、周波数ｆｂ＝ｆ２、周波数ｆｓ２＝ｆ１とする。

　次に、被写体が＋方向から－方向に移動した場合、ｔ２２～ｔ２７のウォブリング動作の１サイクルでのコントラスト検出の結果、被写体は現在のレンズ位置から大きく－方向にあるものと判定された場合、次のウォブリング動作の１サイクルは、ｔ３０～ｔ３１での速度を４Ｖとして、ウォブリング振幅の４倍のレンズの移動を行う。その場合、周波数ｆｓ＝ｆ１、周波数ｆｂ＝ｆ４（ｆ３よりさらに小さい周波数）、周波数ｆｓ２＝ｆｌとする。

　基本的には、前述の第１動作例の通り、図２８や図２９で説明した考え方やフローチャートの説明と同様である。即ち、動画撮影時のウォブリング動作においては、レンズ位置の３箇所のコントラストを検出して被写体位置を推定し、その情報に応じて周波数ｆｓ、ｆｂを算出する。そして、Ａ相とＢ相との位相差を３段階に切り替えること（約９０度、０度、－９０度）と、周波数ｆｓ、ｆｂ、ｆｓ２の３つの駆動周波数の設定と、により、被写体が、途中にレンズの＋方向に移動した場合にでも、－方向に移動した場合にでも対応できる。
　また、被写体が現在の位置から大きくずれていると判定された場合には、周波数ｆｓ、ｆｂに適正な値を入れることで（図２８や図３０のｆ４よりもっと小さい周波数値に設定することで）、被写体に合焦させることが可能となる。

　以上、本実施形態によると、以下の効果を有する。
　（１）撮影設定部３４７が動画撮影モードを選択した場合に、２つの駆動信号の電圧を一定に維持した状態で、２つの駆動信号の位相差を切り替えるとともに、２つの駆動信号の周波数を切り替えられた位相差に対応させて切り替えることで、振動波モータ３１０の速度を変更することができる。これにより、複雑な駆動制御をすることなく、動画撮影時における振動波モータ３１０の作動音を低減することができる。

　（２）ウォブリング動作における所定の１サイクルのコントラストに基づいて、所定の１サイクルの次の１サイクルにおける２つの駆動信号の周波数を、ＡＦ用の第３レンズ群Ｌ３の焦点位置を被写体に追従させるように切り替えるようにした。これにより、振動波モータ３１０は、被写体の動作に追従させてＡＦ用の第３レンズ群Ｌ３を動作させることができ、かつ、振動波モータ３１０をウォブリング動作で駆動させる際の作動音を低減することができる。

（第５実施形態）
　次に、本発明の第５実施形態を説明する。第５実施形態は上述の実施形態とレンズ鏡筒及び駆動装置３４０Ａの構成は同様であるため、その説明は省略する。また、動画撮影時における駆動装置３４０Ａの動作についても第４実施形態と同様である。第５実施形態が第４実施形態と異なる点は、主に、振動波モータ５０の構成である。

　次に、第５実施形態のレンズ鏡筒３２０Ａの構成を説明する。
　図３１は、本発明の第５実施形態のレンズ鏡筒３２０Ａを説明する図である。図３２は、第５実施形態の振動波モータ３５０を説明する図である。図３３は、第５実施形態の振動波モータ３５０の動作原理を説明する図である。

　図３１に示すように、レンズ鏡筒３２０Ａは、レンズ鏡筒３２０Ａの外周部を覆う外側固定筒３３１と、外側固定筒３３１よりも内周側における被写体側に位置する内側第１固定筒３３２Ａと、外側固定筒３３１よりも内周側における像側に位置する内側第２固定筒３３２Ｂと、を備え、さらに外側固定筒３３１と内側第１固定筒３３２Ａとの間に振動波モータ３５０を備える。

　内側第１固定筒３３２Ａには、被写体側から第１レンズ群Ｌ１、第２レンズ群Ｌ２が固定されている。また、内側第２固定筒３３２Ｂには、第４レンズ群Ｌ４が固定されている。第２レンズ群Ｌ２と第４レンズ群Ｌ４との間には、ＡＦ環３３４に保持されたＡＦレンズである第３レンズ群Ｌ３が配置されている。

　図３１に示すように、振動波モータ３５０は、振動子３５１、移動子３５５、加圧部材３５７等を備え、移動子３５５を移動して駆動する形態となっている。
　振動子３５１は、固定部材３５４に設けられた支持ピン３５８により振動子３５１の長手方向に支持され、加圧方向には自由度があるように構成されている。
　加圧部材３５７は、固定部材３５４と振動子３５１との間に設けられ、振動子３５１を移動子３５５に加圧接触する。
　固定部材３５４は、内側第１固定筒３３２Ａに取り付けられる。固定部材３５４を内側第１固定筒３３２Ａに取り付けることで、移動子３５５、振動子３５１、加圧部材３５７までを、一つのモータユニットとして構成できるようになる。

　移動子３５５は、アルミニウムといった軽金属からなり、摺動面の表面には耐摩耗性向上のための摺動メッキが設けられている。また、移動子３５５は、リニアガイド３６１に固定され、リニアガイド３６１は内側第１固定筒３３２Ａに支持され、移動子３５５は内側第１固定筒３３２Ａに対して直線方向に移動可能となっている。
　移動子３５５の端部３５５Ａには、ＡＦ環３３４に接続されたフォーク３６２が嵌合しており、移動子３５５の駆動によりＡＦ環３３４が直進駆動される。

　ＡＦ環３３４は、内側第１固定筒３３２Ａ及び内側第２固定筒３３２Ｂに設けられた直線レール３６３に沿って可動な構造となっている。直線レール３６３には、ＡＦ環３３４に設けられたガイド部３６４が嵌合し、移動子３５５の直進駆動に伴って、光軸方向に直進方向に駆動され、所望の位置に停止できるようになっている。

　振動子３５１は、図３２及び図３３に示すように、圧電体３５３、金属製の弾性体３５２および出力取出用の突起部３５２Ａから構成される。弾性体３５２の設計は、縦１次振動と曲げ４次振動との共振周波数が一致するようにする。圧電体３５３にこの周波数の電圧（駆動信号）を加え、かつ双方の振動の位相を９０°ずらすと、図３３に示すように、突起部３５２Ａには励起された縦振動と曲げ振動との合成により楕円運動が生じる。突起部３５２Ａは移動子３５５に加圧接触されているので、摩擦により駆動力が生じる。突起部３５２Ａには耐摩耗性材が用いられており、摩擦による摩耗を抑えている。

　圧電体３５３は、一般的には通称ＰＺＴと呼ばれるチタン酸ジルコン酸鉛といった材料から構成されているが、近年では環境問題から鉛フリーの材料であるニオブ酸カリウムナトリウム、ニオブ酸カリウム、ニオブ酸ナトリウム、チタン酸バリウム、チタン酸ビスマスナトリウム、チタン酸ビスマスカリウム等から構成されることもある。

　第５実施形態においては、振動波モータ３５０は、リニア型の振動波モータである。しかし、第５実施形態の振動波モータ３５０においても、周波数、電圧、２つの駆動信号の位相差を制御して、速度制御することができるため、前述の第４実施形態と同様の効果を得ることができる。

　また、第５実施形態においては、第４実施形態の円環型超音波モータを搭載した場合のように、回転運動から直進運動に変換する時に生じる損失がなくなるため、変換効率が向上する。そのため、駆動システム全体として効率を向上させることができる。

（第６実施形態）
　図３４は、本発明の第６実施形態の駆動装置で駆動される振動アクチュエータ６００を備えるレンズ鏡筒５０１を含むカメラ５０２を説明する図である。
　本実施形態においてレンズ鏡筒５０１はカメラ５０２の本体に対して着脱可能であるが、これに限定されず、着脱不能なものであっても良い。

　本実施形態のカメラ５０２は、レンズ鏡筒５０１内に撮像光学系（レンズ）５０３を備える。
　またカメラ５０２の本体内に、撮像素子５０４と、ＡＦＥ（Ａｎａｌｏｇ　ｆｒｏｎｔ　ｅｎｄ）回路５０５と、画像処理部５０６と、音声検出部５０７と、バッファメモリ５０８と、記録インターフェイス５０９と、モニタ５１０と、操作部材５１１と、メモリ５１２と、ＣＰＵ５１３とから構成され、外部機器のＰＣ５１４との接続が可能となっている。

　撮像光学系５０３は、複数の光学レンズにより構成され、被写体像を撮像素子５０４の受光面に結像させる。図３４では光学レンズ系を簡略化して、単レンズとして符号５０３で示している。
　また、光学レンズ群の内、ＡＦ用の光学レンズは、振動アクチュエータ６００の駆動により駆動される。

　操作部材５１１または画像の状況により撮像素子５０４への露光時間（シャッタースピード）が決定される。
　撮像素子５０４は、受光面に受光素子が二次元的に配列されたＣＭＯＳイメージセンサなどによって構成される。撮像素子５０４は、撮像光学系５０３を通過した光束による被写体像を光電変換してアナログ画像信号を生成する。アナログ画像信号は、ＡＦＥ回路５０５に入力される。

　ＡＦＥ回路５０５は、アナログ画像信号に対するゲイン調整（ＩＳＯ感度に応じて信号増幅）行う。具体的には、ＣＰＵ５１３からの感度設定指示に応じて、撮像感度を所定範囲内で変更する。ＡＦＥ回路５０５は、さらに、内蔵するＡ／Ｄ変換回路によってアナログ処理後の画像信号をデジタルデータに変換する。そのデジタルデータは、画像処理部５０６に入力される。

　画像処理部５０６は、デジタル画像データに対して、各種の画像処理を行う。
　メモリ５１２は、画像処理部５０６による画像処理の前工程や後工程での画像データを一時的に記録する。
　音声検出部５０７は、マイクと信号増幅部６０５から構成され、主に動画撮影時に被写体方向からの音声を検出して取り込み、そのデータをＣＰＵ５１３へ伝達する。

　記録インターフェイス５０９は、不図示のコネクタを有し、該コネクタに記録媒体５１５が接続され、接続された記録媒体５１５に対して、データの書き込みや、記録媒体からのデータの読み込みを行う。
　モニタ５１０は、液晶パネルによって構成され、ＣＰＵ５１３からの指示に応じて画像や操作メニューなどを表示する。
　操作部材５１１は、モードダイヤル、十字キー、決定ボタンやレリーズボタンを示し、各操作に応じた操作信号をＣＰＵ５１３へ送出する。静止画撮影や動画撮影の設定は、該操作部材５１１により設定される。

　ＣＰＵ５１３は、不図示のＲＯＭに格納されたプログラムを実行することによってカメラ５０２が行う動作を統括的に制御する。例えば、ＡＦ（オートフォーカス）動作制御、ＡＥ（自動露出）動作制御、オートホワイトバランス制御などを行う。
　メモリ５１２は、画像処理した一連の画像データを記録する。
　この様な構成のカメラ５０２において、本発明は、動画に対応した画像を取り込む。

　図３５は、第６実施形態の振動アクチュエータ６００および振動波アクチュエータの駆動装置６０１を説明するブロック図である。駆動装置６０１は、発振部６０２、移相部６０４、増幅部６０５、検出部６０６及びそれらを制御する制御部６０３を備える。

　発振部６０２は、制御部６０３の指令により所望の周波数の駆動信号を発生する。
　移相部６０４は、制御部６０３の指令により、該発振部６０２で発生した駆動信号を所望の位相の異なる２つの駆動信号に分ける。
　増幅部６０５は、移相部６０４によって分けられた２つの駆動信号をそれぞれ所望の電圧に昇圧する。
　増幅部６０５からの駆動信号は、振動アクチュエータ６００に伝達され、この駆動信号の印加により、振動アクチュエータ６００の、後述する振動子５２０に進行波が発生し、移動子５２８が駆動される。

　回転検出部６０６は、光学式エンコーダや磁気エンコ－ダ等により構成され、移動子５２８の駆動によって駆動された駆動物の位置や速度を検出し、検出値を電気信号として制御部６０３に伝達する。
　制御部６０３は、レンズ鏡筒５０１内またはカメラ本体のＣＰＵ５１３からの駆動指令を基に振動アクチュエータ６００の駆動および振動波アクチュエータの動作を制御する。制御部６０３は、回転検出部６０６からの検出信号を受け、その値を基に、位置情報と速度情報を得て、目標位置に位置決めされるように振動アクチュエータ６００の発振部６０２の周波数や位相差等を制御する。

　図３６は、本発明の第６実施形態の駆動装置で駆動される振動アクチュエータ６００を備えるレンズ鏡筒５０１を説明する図であり、リング状の振動アクチュエータ６００をレンズ鏡筒５０１に組み込んだ状態の図である。

　振動子５２０は、電気エネルギーを機械エネルギーに変換する圧電素子や電歪素子等を例とした電気機械エネルギー変換素子（以下、圧電体と称する）５２１と、圧電体５２１を接合した弾性体５２２とから構成されている。振動子５２０には、本実施形態において一例として９波の進行波が発生する。

　弾性体５２２は、共振先鋭度が大きな金属材料から成り、形状は、円環形状である。弾性体５２２の、圧電体５２１が接合される反対面には溝が切ってあり、突起部分（溝がない箇所）の先端面が駆動面５２２ａとなり移動子２８に加圧接触される。溝を切る理由は、進行波の中立面をできる限り圧電体５２１側に近づけ、これにより駆動面５２２ａの進行波の振幅を増幅させるためである。

　圧電体５２１は、円周方向に沿って２つの相（Ａ相、Ｂ相）に分かれており、各相においては、１／２波長毎に分極が交互となった要素が並べられていて、Ａ相とＢ相との間には１／４波長分間隔が空くようにしてある。

　圧電体５２１の下には、不織布５２３、加圧板５２４、加圧部材５２５が配置されている。
不織布５２３は、例えばフェルトで、圧電体５２１の下に配置されていて、振動子５２０の振動を加圧板５２４や加圧部材５２５に伝えないようにしてある。

　加圧板５２４は、加圧部材５２５の加圧を受けるようにされている。
　加圧部材５２５は、加圧板５２４の下に配置され、加圧力を発生させるものである。本実施形態では、加圧部材５２５を皿バネとしたが、皿バネでなくともコイルバネやウェーブバネでも良い。
　加圧部材５２５は、押さえ環５２６に保持され、押さえ環５２６は固定部材５２７に固定されている。

　移動子５２８は、アルミニウムといった軽金属からなり、摺動面の表面には耐摩耗性向上のための摺動材料が設けられている。
　移動子５２８の上には、移動子５２８の縦方向の振動を吸収するために、ゴムの様な振動吸収部材５２９が配置され、その上には出力伝達部材５３０が配置されている。

　出力伝達部材５３０は、固定部材５２７に設けられたベアリング５３１により、加圧方向と径方向とが規制され、これにより移動子５２８の加圧方向と径方向とが規制されている。
　出力伝達部材５３０は、突起部５３２があり、そこからカム環５３３に接続されたフォークが嵌合しており、出力伝達部材５３０の回転とともに、カム環５３３が回転される。

　カム環５３３には、キー溝５３４がカム環５３３に斜めに切られており、ＡＦ環５３５に設けられた固定ピン５３６が、キー溝５３４に嵌合している。
　そして、カム環５３３が回転駆動することにより、光軸方向に直進方向にＡＦ環５３５が駆動され、所望の位置に停止できる様にされている。
　固定部材５２７は、押さえ環５２６がネジにより取り付けられ、これを取り付けることで、出力伝達部材５３０から移動子５２８、振動子５２０、加圧部材５２５までが一つのモータユニットとして構成可能となる。

　図３５の移相部６０４は、発振部６０２より発生された駆動信号を、互いに位相が異なるＡ相とＢ相の駆動信号に分離する。このＡ相とＢ相の駆動信号は、圧電体５２１のそれぞれの電極に印加されるものである。
　Ａ相とＢ相の駆動信号の間に位相差が存在する場合、圧電体５２１で励起された振動により弾性体５２２の駆動面５２２ａで発生する波は、進行波となり、移動子５２８を回転させる。

　図３７は、Ａ相とＢ相との間の位相差と、移動子５２８の回転速度との関係を示す図である。
　図示するように、Ａ相とＢ相との位相差が±９０度のときは、移動子５２８の回転速度は最も速くなる。そして位相差が０（又は１８０度）の近くになると、駆動面５２２ａで発生する波が、進行波でなく定在波となり、移動子５２８の回転は停止する。

　図３８は、駆動信号の周波数と、振動アクチュエータ６００のインピーダンスの関係を示す図である。図中ｆｓで示す部分は、レンズを駆動する際に用いる駆動周波数である。
　振動アクチュエータ６００の駆動時においては、振動アクチュエータ６００を低速から開始するのが好ましいため、圧電体５２１に印加する駆動信号の周波数は、駆動周波数より高い周波数（以下、起動周波数という）から開始して、徐々に駆動周波数へ下げていくのが一般的である。

　この起動周波数について説明容易のため、まず、本実施形態に対する比較形態について説明する。比較形態では、振動アクチュエータ６００を駆動する際に、圧電体５２１に印加するＡ相とＢ相との駆動信号の位相差を、例えば９０度に固定されている。
　この場合、起動周波数は、駆動周波数ｆｓと、その駆動周波数ｆｓが含まれる振動モード（駆動モード）の次の高次の振動モードの共振周波数ｆ３との間の周波数ｆ１から開始して、徐々に駆動周波数ｆｓまで下げていく。

　このように、ｆ１を、振動モードの次の高次の振動モードの共振周波数ｆ３よりも高い周波数は用いない理由は、駆動信号の周波数が共振周波数ｆ３を越える際に、振動アクチュエータ６００のインピーダンスが増加して動作の制御が困難となるからである。

　しかし、この比較形態の場合、電源がＯＮになると同時に、位相差が９０度で起動周波数ｆ１のＡ相とＢ相とが圧電体５２１に印加される。起動周波数ｆ１は、ｆ３をより小さいので、十分に高い周波数とすることができず、振動アクチュエータ６００の振動子５２０が急に大きな振動を開始して、突発音が発生する可能性がある。

　そこで、本実施形態では、駆動振動モードの次の高次の振動モードの共振周波数ｆ３を超えた周波数ｆ２から、圧電体５２１への電力印加を開始する。
　本実施形態においても、駆動周波数ｆｓまで周波数を下げる際に共振周波数ｆ３を超えなくてはならない。
　共振周波数ｆ３を越える際に、移動子５２８が駆動していると、上述したように振動アクチュエータ６００の動作が不安定になる可能性がある。

　そこで、本実施形態では、駆動周波数ｆｓに到達するまではＡ相とＢ相との間の位相差を０または１８０度にする。ただし、０度、１８０度は厳密な値ではなく、移動子５２８が回転しない範囲であれば、例えば±５度程度までは許容範囲である。
　そして、振動周波数が駆動周波数ｆｓに到達したら、Ａ相とＢ相との位相差を約９０度にする。位相差が９０度になると、移動子５２８は回転を始め、振動アクチュエータ６００によるレンズ駆動が可能となる。

　本実施形態によると、振動周波数が駆動周波数ｆｓに到達するまでは、振動子５２０の駆動面５２２ａには、進行波ではなく定在波が生じるので、移動子５２８に回転力は伝達されない。したがって、振動アクチュエータ６００は停止しているので、動作に不具合を生じることがない。一方、振動子５２０の振動は、小さい振動から開始されるので、突発音の可能性が低い。

　図３９は、第６実施形態による振動アクチュエータ６００によるレンズ駆動の例を示した図である。
　まず、振動アクチュエータ６００への電圧供給が開始された時点ｔ１において、位相差は０であるため、レンズは停止したままである。したがって、レンズがいきなり駆動し始めて突発音が発生することがない。
　そして、駆動信号の周波数を減少させていき、共振周波数ｆ３を越えて駆動周波数ｆｓに入ったｔ２で、Ａ相とＢ相との間に位相差を生じさせる。本実施形態では約９０度である。なお、９０度が効率が良いが、これに限定されるものではない。
　そして、レンズ５０３が所望の位置に到達した時点ｔ３で位相差を約０度とする。これによりレンズ５０３は停止する。
　再度レンズ５０３の駆動の必要が生じた時点ｔ４で、またＡ相とＢ相との間に位相差を生じさせる。この際、時刻ｔ２からｔ３の間の移動と逆向きにレンズ５０３を駆動させる場合は位相差をマイナス９０度にする。

　以上、本実施形態によると、以下の効果を有する。
（１）従来、振動アクチュエータ６００の起動時には、電源電圧をゆっくり投入したり、駆動周波数よりも少し高い周波数で起動していた。しかし、それでも電源ＯＮ時の突発音はなくならなかった。動画撮影中などは、アクチュエータＯＮするたびに突発音が発生していた。また、異音発生を抑えたくとも、従来は、起動時の周波数を次のモードの共振点前までしか広げていなかった。
　しかし、本発明では、起動時の周波数を次の駆動モードまで広げ、十分振動が小さい状態から起動させることにより、起動時の突発音の発生が低減される。
（２）電源ＯＮ時の駆動信号の位相差を０又は１８０度とすることで、振動子５２０が振動を開始しても、移動子５２８が動きだす事がなく、駆動信号の振動周波数が共振周波数を超える際の不具合も生じない。

　以上、説明した実施形態に限定されることなく、以下に示すような種々の変形や変更が可能であり、それらも本発明の範囲内である。
（変形例６）本実施形態では、レンズ鏡筒５０１はカメラ５０２の本体に対して着脱可能であるが、これに限定されず、着脱不能であっても良い。
（変形例７）また、本実施形態で振動アクチュエータ６００はレンズを内部に搭載する円環型を例に説明したが、これに限定されず、レンズ保持筒の外部において、保持筒の軸線と別の軸線周りに回転する小型なものであってもよい。

（第７実施形態）
　以下、図面等を参照して、本発明の第７実施形態について説明する。
　図４０は、第７実施形態のカメラ７０１の全体構成を説明する概略図である。
　図４１は、第７実施形態の超音波モータ７２０の構成を説明する図である。
　図４２は、第７実施形態の超音波モータ７２０に接続される駆動装置７３０の構成を説明する図である。
　なお、図４０において、カメラ７０１の前後方向をＸ方向とし、左右方向をＹ方向とし、鉛直方向をＺ方向とする。

　カメラ７０１は、図４０に示すように、撮像素子７０３を有するカメラ筐体７０２と、レンズ鏡筒７１０とを備え、被写体の静止画だけでなく動画も撮影することができるデジタルカメラである。
　レンズ鏡筒７１０は、カメラ筐体７０２と着脱可能な交換レンズである。レンズ鏡筒７１０は、レンズ７１１（光学部材）、カム筒部７１２、位置検出部７１３、超音波モータ７２０（振動アクチュエータ）、駆動装置７３０（振動アクチュエータの駆動装置）等を備えている。なお、レンズ鏡筒７１０は、カメラ筐体７０２と一体型としてもよい。

　レンズ７１１は、カム筒部７１２に保持されており、超音波モータ７２０の駆動力によって、光軸方向（Ｘ方向）に移動して焦点調節を行うフォーカスレンズである。
　カム筒部７１２は、超音波モータ７２０の回転子７２１（後述する）と接続されており、超音波モータ７２０の回転運動を、光軸方向（Ｘ方向）への直動運動に変換し、レンズ７１１を光軸方向（Ｘ方向）に移動可能にする。
　位置検出部７１３は、光軸方向（Ｘ方向）に移動するレンズ７１１の位置を検出するエンコーダである。

　超音波モータ７２０は、図４１に示すように、円環状の回転式の進行波型超音波モータであり、円環状の回転子７２１と、回転子７２１と加圧接触する円環状の振動子７２２（振動体）とから構成される。
　振動子７２２は、円環状の弾性体７２３と、その弾性体７２３に接合された円環状の圧電素子７２４（圧電体）とから構成されている。
　弾性体７２３は、回転子７２１と加圧接触する面に櫛歯が設けられた弾性部材である。

　圧電素子７２４は、弾性体７２３の回転子７２１との接触面とは反対側の面に接合されており、２相からなる電極パターンＡ相、Ｂ相を有する。電極パターンＡ相、Ｂ相は、それぞれが円周方向に極性が交互に異なるように分極されている。
　超音波モータ７２０は、圧電素子７２４の電極パターンＡ相、Ｂ相に、それぞれ位相の異なる２相の交番信号を印加して、振動子７２２に進行性の振動波を発生させ、振動子７２２に加圧接触された回転子７２１がその振動波に励振されることで、円周方向（正転方向Ｇ、反転方向Ｈ）に回転する駆動力を発生する。

　駆動装置７３０は、図４２に示すように、超音波モータ７２０の駆動を制御する装置である。駆動装置７３０は、制御部７３１、駆動回路部７３２、記憶部７３３（周波数記憶部）、速度検出部７３４等を備える。
　制御部７３１は、駆動装置７３０の各部を統括制御する制御回路であり、例えばＣＰＵ等から構成される。制御部７３１は、記憶部７３３に記憶された各種プログラムを適宜読み出して実行することにより、前述したハードウェアと協働し、本発明に係る各種機能を実現している。

　制御部７３１は、駆動回路部７３２、記憶部７３３、速度検出部７３４等に接続される。制御部７３１は、速度制御部７３１ａ、停止判定部７３１ｂ等を備える。
　速度制御部７３１ａは、駆動回路部７３２を介して超音波モータ７２０の駆動動作や、回転速度ｎを制御する。具体的には、速度制御部７３１ａは、超音波モータ７２０の圧電素子７２４の各電極パターンＡ相、Ｂ相に入力される交番信号の位相差ｐ及び駆動周波数ｆを変化させて、超音波モータ７２０の駆動動作や、回転速度ｎを制御する。ここで、駆動動作とは、超音波モータ７２０の回転子７２１の正転方向Ｇの回転運動（図４１参照）や、反転方向Ｈの回転運動（図４１参照）、停止といった動作をいう。

　停止判定部７３１ｂは、圧電素子７２４に印加する２相の交番信号の位相差ｐの状態と、速度検出部７３４によって検出される超音波モータ７２０の回転速度ｎの情報とに基づいて、超音波モータ７２０が停止したか否かを判定する。具体的には、停止判定部７３１ｂは、圧電素子７２４に印加される交番信号の位相差がｐ＝０度であり、速度検出部７３４によって検出される回転速度がｎ＝０であると確認したときに、超音波モータ７２０が停止したものと判定する。

　駆動回路部７３２は、圧電素子７２４の各電極パターンＡ相、Ｂ相の電極に接続されており、速度制御部７３１ａから入力した駆動信号に基づいて、所定の位相差ｐ及び所定の駆動周波数ｆに設定された交番信号を発生する回路である。
　記憶部７３３は、駆動装置７３０の動作に必要なプログラム、情報等を記憶するための半導体メモリ素子等の記憶装置である。また、記憶部７３３は、停止時の超音波モータ７２０に印加する交番信号の駆動周波数の情報を停止周波数ｆｘ（後述する）として記憶している。
　速度検出部７３４は、位置検出部７１３から検出されるレンズ７１１の位置Ｗの情報を入力し、その位置Ｗの情報に基づいて回転子７２１の回転速度ｎを検出する。速度検出部７３４は、検出した回転速度ｎの情報を制御部７３１に出力する。

　次に、超音波モータ７２０の特性について説明する。
　図４３は、第７実施形態の超音波モータ７２０の特性を示す図である。図４３（ａ）は、超音波モータ７２０に印加される交番信号の駆動周波数ｆと回転速度ｎとの関係を示す図である。図４３（ｂ）は、超音波モータ７２０に印加される交番信号の位相差ｐと回転速度ｎとの関係を示す図である。
　図４３（ａ）に示すように、超音波モータ７２０は、駆動周波数ｆを、ｆｒからｆ０の間を変化させることで、その回転速度ｎを変化させることができる。具体的には、超音波モータ７２０は、その駆動周波数ｆをｆ０から下げると、回転速度ｎが上がる特性を有する。例えば、駆動周波数ｆ＝ｆ１の場合、回転速度はｎ＝Ｎ１となり、ｆ＝ｆ２の場合、ｎ＝Ｎ２となる（ｆ１＞ｆ２、Ｎ２＞Ｎ１）。

　ここで、図４３（ａ）中のｆｒは、超音波モータ７２０の振動子７２２の機械的な共振周波数である。また、ｆ０は、無負荷の状態の超音波モータ７２０の回転子７２１が停止状態から回転を始める周波数である。超音波モータ７２０の制御の安定性等を考慮して駆動周波数ｆと、ｆｒと、ｆ０との関係は、一般にｆｒ＜ｆ＜ｆ０であることが望ましく、超音波モータ７２０の制御では、図４３（ａ）中のｆｒよりも右肩下がりの特性を利用する。
　また、ｆ０は、駆動装置７３０の駆動回路部７３２に設けられたトランス（不図示）の２次側巻線のインダクタンスＬと振動子７２２の圧電素子７２４の静電容量Ｃとに基づいて、以下の式で求められる電気的な共振周波数ｆｃと一致させることが電力消費低減の面から望ましいため、第７実施形態ではｆ０＝ｆｃとする。
　　　ｆｃ＝１／｛２π√（ＬＣ）｝

　上述したように、ｆ０は、無負荷の状態の超音波モータ７２０の回転子７２１が停止状態から回転を始める周波数であるのに対して、図４３（ａ）中のｆαは、レンズ７１１やカム筒部７１２等が接続された状態の回転子７２１が停止状態から回転を始める周波数である。レンズ７１１等が接続された回転子７２１は、レンズ７１１等の重量や摺動部の摩擦抵抗等によって、駆動周波数ｆ＝ｆ０で回転を開始することができず、駆動周波数ｆ＝ｆαにおいて回転を開始する。ｆαとｆ０との関係は、ｆ０＞ｆαとなる。
　記憶部７３３に記憶される停止周波数ｆｘは、上述したように、停止時における超音波モータ７２０に印加する交番信号の駆動周波数であるので、その消費電力を低減させるために、上述のｆ０からｆαの間で任意に設定される周波数である。第７実施形態では、停止周波数ｆｘは、ｆ０とｆαとの中間の周波数、すなわちｆｘ＝（ｆ０＋ｆα）／２に設定されている。

　また、図４３（ｂ）に示すように、超音波モータ７２０は、圧電素子７２４の各電極パターンＡ相、Ｂ相に印加する交番信号の位相差ｐが制御されることで、駆動動作を変化させることができる。第７実施形態では、超音波モータ７２０は、各電極パターンＡ相、Ｂ相に印加する交番信号の位相差をｐ＝＋９０度にすると正転方向Ｇ（図４１参照）に回転し、位相差をｐ＝－９０度にすると反転方向Ｈ（図４１参照）に回転する。また、位相差をｐ＝０度にすると停止する。このとき、レンズ７１１は、図４０に示すように、超音波モータ７２０が正転方向Ｇに回転すると、被写体側（Ｘ１側）に移動し、反転方向Ｈに回転すると撮像素子７０３側（Ｘ２側）に移動する。

　次に、超音波モータ７２０の駆動と、その駆動により移動するレンズ７１１の動作を、ウォブリング動作を例にして説明する。
　図４４は、第７実施形態のウォブリング動作における駆動装置７３０の駆動パターンを説明するタイミングチャートである。図４４は、縦軸が、上から順に超音波モータ７２０の駆動電圧ｖ、駆動周波数ｆ、位相差ｐ、回転速度ｎ、及び、レンズ７１１の位置Ｗを示し、横軸が時間（ｔ１～ｔ２９）を示す。

　ここで、ウォブリング動作とは、動画撮影中に自動的に被写体のフォーカスをあわせる合焦手段の一つである。ウォブリング動作において、駆動装置７３０は、カメラ１の不図示の制御部から入力する指令信号に基づいて、超音波モータ７２０を駆動して、図４４に示すように、レンズ１１の位置を初期位置Ｗｉから被写体側（Ｘ１側）のＷｂｅへ移動させて停止させ、Ｗｂｅから撮像素子７０３側（Ｘ２側）のＷａｆへ移動させて停止させ、ＷａｆからＷ０へ移動させて停止させるといった一連の動作（ｔ５～ｔ１６）を動画撮影中に繰り返す。

　ｔ４において、カメラ７０１の動画撮影が開始されると、駆動装置７３０の速度制御部７３１ａは、駆動周波数がｆ＝ｆ０、位相差がｐ＝＋９０度の交番信号を超音波モータ７２０の圧電素子７２４に印加する。このとき、レンズ７１１は、初期位置Ｗｉに停止している。
　ｔ５において、速度制御部７３１ａは、ウォブリング動作の開始に伴い、レンズ７１１の位置ＷをＷｉからＷｂｅに移動させるために、超音波モータ７２０の駆動周波数ｆをｆ０からｆ１へ下げる方向に変化させる。

　ｔ６において、駆動周波数ｆをｆ０からｆ１に徐々に下げると、ｆαを過ぎたところで、超音波モータ７２０は、正転方向Ｇに回転を始め、回転速度がｎ＝Ｎ１に達する。それとともに、レンズ７１１の位置ＷもＷｉから被写体側（Ｘ１側）に移動を開始する。そして、レンズ７１１の位置ＷがＷｂｅに到達するのにあわせて、速度制御部７３１ａは、超音波モータ７２０に印加する交番信号の位相差ｐを＋９０度から０度に変更して、超音波モータ７２０を停止させる。

　ｔ７において、制御部７３１の停止判定部７３１ｂは、交番信号の位相差ｐと、速度検出部７３４から出力される回転速度ｎの情報に基づいて、超音波モータ７２０が停止したか否かを判定する。停止判定部７３１ｂが、超音波モータ７２０が停止したものと判定したら、速度制御部７３１ａは、記憶部７３３で記憶された停止周波数ｆｘの情報を読み出して、駆動周波数ｆをｆ１からｆｘへ上げる方向に変更する。
　ｔ８において、速度制御部７３１ａは、超音波モータ７２０を駆動周波数がｆ＝ｆｘの状態で停止させる。

　ｔ９において、速度制御部７３１ａは、レンズ７１１の位置ＷをＷｂｅからＷａｆに移動させるために、超音波モータ７２０の駆動周波数ｆをｆｘからｆ２へ下げる方向に変化させる。
　ｔ１０において、速度制御部７３１ａは、圧電素子７２４に印加する交番信号の位相差ｐを０度から－９０度に徐々に変更する。これにより、超音波モータ７２０は、反転方向（Ｈ方向）に回転し、レンズ７１１の位置Ｗは、ＷｂｅからＷａｆへ移動する。
　そして、レンズ７１１の位置ＷがＷａｆに到達するのにあわせて、速度制御部７３１ａは、圧電素子７２４に印加する交番信号の位相差ｐを－９０度から０度に変更し、超音波モータ７２０を停止させる。

　ｔ１１において、停止判定部７３１ｂが、交番信号の位相差ｐと、速度検出部７３４から出力される回転速度ｎとの情報に基づいて、超音波モータ７２０が停止したものと判定したら、速度制御部７３１ａは、記憶部７３３の停止周波数ｆｘの情報を読み出して、駆動周波数ｆをｆ２からｆｘへ上げる方向に変更する。
　ｔ１２において、速度制御部７３１ａは、超音波モータ７２０を駆動周波数がｆ＝ｆｘの状態で停止させる。

　ｔ１３において、速度制御部７３１ａは、レンズ７１１の位置ＷをＷａｆからＷ０に移動させるために、超音波モータ７２０の駆動周波数ｆをｆｘからｆ１に変化させる。
　ｔ１４において、速度制御部７３１ａは、超音波モータ７２０に印加する交番信号の位相差ｐを０度から＋９０度に徐々に変更する。これにより、超音波モータ７２０は、正転方向（Ｇ方向）に回転し、レンズ７１１の位置Ｗは、ＷａｆからＷ０へ移動する。
　そして、レンズ７１１の位置がＷ０に到達するのにあわせて、速度制御部７３１ａは、圧電素子７２４に印加する交番信号の位相差ｐを＋９０度から０度に変更し、超音波モータ７２０を停止させる。

　ｔ１５において、停止判定部７３１ｂは、交番信号の位相差ｐと、速度検出部７３４から出力される回転速度ｎの情報とに基づいて、超音波モータ７２０が停止したものと判定したら、速度制御部７３１ａは、記憶部７３３の停止周波数ｆｘの情報を読み出して、駆動周波数ｆをｆ１からｆｘへ上げる方向に変更にする。
　ｔ１６において、速度制御部７３１ａは、超音波モータ７２０を駆動周波数がｆ＝ｆｘの状態で停止させる。
　以上、ｔ５～ｔ１６において、一連のウォブリング動作が完了となり、駆動装置７３０は、ｔ１７から再び同様の動作を繰り返し行う。

　次に、比較例のウォブリング動作における超音波モータの動作パターンについて説明する。なお、以下の説明及び図面において、上述した本発明の超音波モータ７２０の動作パターンと同様の動作については説明を省略し、相違する動作についてのみ説明する。
　図４５は、比較例のウォブリング動作における駆動装置の駆動パターンを説明するタイミングチャートである。図４５は、図４４と同様に、縦軸が上から順に、超音波モータの駆動電圧ｖ、駆動周波数ｆ、位相差ｐ、回転速度ｎ、及び、レンズの位置Ｗを示し、横軸が時間（ｔ１～ｔ２９）を示す。

　図４５に示すように、比較例のウォブリング動作における駆動装置の駆動パターンは、レンズの位置ＷがＷｉからＷｂｅに移動したら、ｔ７において、速度制御部は、次の動作でレンズの位置ＷをＷｂｅからＷａｆに移動するために、駆動周波数ｆをｆ１からｆ２へ下げる方向に変更する。そして、速度制御部は、ｔ１０においてレンズの位置ＷをＷｂｅからＷａｆに移動させるまでの間、駆動周波数をｆ＝ｆ２に維持する。
　これに対して、本発明の駆動パターンは、上述したように、ｔ８において、速度制御部７３１ａは、駆動周波数をｆ＝ｆｘにして超音波モータ７２０を停止させており、その点で比較例の駆動パターンと相違している。また、ｔ１１～ｔ１３、ｔ１５～ｔ１７においても同様である。

　次に、第７実施形態と比較例の超音波モータの電力消費量の違いについて説明する。
　図４６は、第７実施形態と比較例の超音波モータの電力消費量を比較する図である。図４６は、縦軸が超音波モータの制御によって消費する電力量を示し、横軸が制御時間を示す。
　超音波モータ７２０は、駆動周波数ｆがｆ０（＝ｆｃ）に近いほど、その消費電力が低くなる傾向があるところ、本発明の駆動装置７３０は、超音波モータ７２０が停止しているときに、その駆動周波数ｆをｆ０に近づくように上げる方向へｆ＝ｆｘに変更している。
　一方、従来の駆動装置は、上述したように、超音波モータが停止しているときに、次の動作に備えて、その駆動周波数ｆをｆ０から離れる方向であるｆ１やｆ２等に変更している。

　ここで、ｆｘ＞１１＞ｆ２であることから、超音波モータ７２０の停止時の消費電力は、比較例の駆動装置による制御よりも、本発明の駆動装置７３０の制御のほうが少なくなる。
　図４６において、制御中における超音波モータの停止時間が長い場合（条件１）と、短い場合（条件２）とについて、それぞれ、本発明の駆動装置７３０と比較例の駆動装置とによる消費電力を比較した。
　図４６に示すように、いずれの場合においても、本発明の駆動装置７３０が比較例の駆動装置よりも消費電力が低くなり、本発明の駆動装置７３０の超音波モータ７２０による消費電力の低減の効果が確認することができた。また、制御時間が長くなるほど、停止時間も長くなるので、上述の本発明の消費電力の低減の効果がより顕著になる。

　以上説明したように、第７実施形態の駆動装置７３０及びレンズ鏡筒７１０には以下のような効果がある。
（１）駆動装置７３０は、超音波モータ７２０が停止している場合に、圧電素子７２４に印加する交番信号の駆動周波数ｆを、電気的な共振周波数ｆｃに近づくように上げる方向へｆｘに変化させるので、制御中における超音波モータ７２０の停止時の消費電力を低減することができる。
（２）停止判定部７３１ｂは、圧電素子２４に印加される交番信号の位相差ｐの状態と、回転子７２１の回転速度ｎに基づいて、超音波モータ７２０が停止したか否かを判定しているので、速度制御部７３１ａが、超音波モータ７２０が完全に停止する前に、駆動周波数ｆを変化させ、超音波モータ７２０が誤動作してしまうのを回避することができる。

（３）速度検出部７３４は、レンズ７１１の位置情報に基づいて超音波モータ７２０の回転子７２１の回転速度ｎを検出しているので、回転子７２１に回転速度ｎを検出するセンサを設けずに、レンズ鏡筒７１０に設けられた既存の位置検出部７１３を利用することができ、レンズ鏡筒１０の軽量化や、コスト低減を図ることができる。
（４）駆動装置７３０をレンズ鏡筒７１０のレンズ７１１の駆動に用いているので、レンズ７１１のウォブリング動作等のフォーカス動作において、連続的に駆動する超音波モータ７２０の消費電力を低減することができる。

（変形例８）第７実施形態において、記憶部７３３に記憶される停止周波数ｆｘは、ｆ０とｆαとの中間の周波数、すなわちｆｘ＝（ｆ０＋ｆα）／２に設定する例を示したが、これに限定されない。
　上述したように、ｆｘは、ｆ０からｆαの間であれば任意に設定することができるため、例えば、停止周波数をｆｘ＝ｆαに設定することも可能である。こうすることで、超音波モータ７２０の停止時の消費電力を低減しつつ、かつ、超音波モータ７２０の停止状態から回転動作への応答時間を早くすることができる。
　また、停止周波数をｆｘ＝ｆ０に設定すれば、ｆ０＝ｆｃであることから、駆動装置７３０は、超音波モータ７２０の停止時の消費電力を最も効率よく低減させることができる。

（変形例９）第７実施形態において、位置検出部７１３の位置情報に基づいて、速度検出部７３４が回転子７２１の回転速度ｎを検出した例を示したが、これに限定されない。例えば、回転子７２１に回転速度ｎを検出するセンサを設け、回転子７２１の回転速度ｎを直接検出するようにしてもよい。
（変形例１０）第７実施形態において、超音波モータ７２０は、円環状の回転式の進行波型超音波モータである例を示したが、これに限定されない。例えば、棒状の回転式の超音波モータを使用することも可能である。

（変形例１１）第７実施形態において、トランスが設けられた駆動回路部７３２を使用する例を示したが、例えば、インダクタが設けられた駆動回路部を使用することも可能である。
（変形例１２）第７実施形態において、レンズ鏡筒７１０の動画撮影時のウォブリング動作を例に説明したが、これに限定されない。他の動作、例えば、静止画撮影時のオートフォーカス動作に用いることも可能であり、本発明と同様の効果を得ることができる。

　以上で説明した実施の形態や変形例はあくまで例示に過ぎず、発明の特徴が損なわれない限り本発明はこれらの内容に限定されない。また、以上で説明した実施の形態や変形例は発明の特徴が損なわれない限り組み合わせて実行してもよい。

１０，３０：レンズ鏡筒、１２：振動波モータ、１４：駆動装置、１５，３５：レンズ側ＭＣＵ、１７：記憶部、２０：カメラボディ、２１：ボディ側ＭＣＵ、１４１：駆動パルス生成部、１４２：昇圧部、１５１：周波数変更部、１５２：駆動電圧設定部、１５３：デューティ比変更部、１５４，３５－４：位相差変更部、３５－３：電源電圧変更部、３５－５：変更速度設定部、５０：レベルテーブル、
２０１：振動波モータ、２０２：レンズ鏡筒、２８０：駆動回路、２８１：制御部、２８２：発振部、２８３：移相部、２８４ａ，２８４ｂ：増幅部、２９０：駆動装置、２６１：振動体、２６２：移動体、ｆ０：保持周波数、ｆ９，ｆ１０：固有周波数、
３０１：カメラ、３１０：振動波モータ、３１３：圧電体、３２０：レンズ鏡筒、３３９：コントラスト検出部、３４１：駆動制御部、３４７：撮影設定部、３５０：振動波モータ、３５３：圧電体、Ｌ３：第３レンズ群、
５０１：レンズ鏡筒、５０２：カメラ、５２０：振動子、５２１：圧電体、５２２：弾性体、５２２ａ：駆動面、５２８：移動子、６００：振動アクチュエータ、６０１：駆動装置、ｆ１：起動周波数、ｆ３：共振周波数、ｆｓ：駆動周波数
７１０：レンズ鏡筒、７２０：超音波モータ、７２２：振動子、７２４：圧電素子、７３０：駆動装置、７３１：制御部、７３１ａ：速度制御部、７３１ｂ：停止判定部、７３２：駆動回路部、７３３：記憶部、７３４：速度検出部

Claims

　第１および第２の駆動信号の位相差により駆動方向が変化する振動アクチュエータと、
　前記振動アクチュエータに前記第１の駆動信号および前記第２の駆動信号を出力して駆動電圧を印加する駆動装置と、
　前記駆動電圧を変更する駆動電圧変更部と、
　前記位相差を変更する位相差変更部と、
　を備え、
　前記駆動電圧変更部は、前記振動アクチュエータを駆動させる場合は前記駆動電圧を第１電圧に変更し、前記位相差変更部が前記位相差を変更する場合は前記駆動電圧を零より大きく前記第１電圧より小さい第２電圧に変更すること、
を特徴とする光学機器。
　請求項１に記載の光学機器において、
　前記駆動電圧変更部は、前記位相差変更部が前記位相差を変更しているとき前記駆動電圧を前記第２電圧で維持し、前記位相差変更部による前記位相差の変更が完了したとき前記駆動電圧を前記第１電圧に変更すること、
を特徴とする光学機器。
　請求項１または２に記載の光学機器において、
　前記第１電圧と前記第２電圧とに基づいて、前記位相差変更部が前記位相差を変更する際の変更速度を設定する変更速度設定部をさらに備えること、
を特徴とする光学機器。
　請求項３に記載の光学機器において、
　前記変更速度設定部が設定する前記変更速度は、前記第１電圧に対する前記第２電圧の割合が前記所定値より小さいときより、前記第１電圧に対する前記第２電圧の割合が所定値より大きいときの方が低いこと、
を特徴とする光学機器。
　請求項１から４のいずれか一項に記載の光学機器において、
　前記第１および第２の駆動信号は、パルス信号であって、
　前記駆動電圧変更部は、前記第１および第２の駆動信号のデューティ比を変更することにより前記駆動電圧を変更すること、
を特徴とする光学機器。
　一対の駆動信号を生成する信号生成部と、
　前記信号生成部によって生成された駆動信号が印加される電気機械変換素子と、
　前記電気機械変換素子の振動により駆動力を発生する振動体と、
　前記振動体に加圧接触され、前記駆動力により駆動される移動体と、
　前記駆動信号の周波数及び位相差を設定する制御部と、
　を備え、
　前記制御部は、前記移動体の駆動方向を変更するときに、前記周波数を前記移動体の駆動速度が実質的に零となる保持周波数に設定した後に前記位相差を変更すること、
を特徴とする駆動装置。
　請求項６に記載の駆動装置において、
　前記制御部は、ｎ次の振動の固有周波数ｆｎとｎ＋１次の振動の固有周波数ｆｎ＋１との平均値を、前記保持周波数として設定すること、
を特徴とする駆動装置。
　請求項６または７に記載の駆動装置において、
　前記制御部は、前記保持周波数として、ｎ次の振動の固有周波数ｆｎとｎ＋１次の振動の固有周波数ｆｎ＋１との平均値より高周波かつ前記固有周波数ｆｎ＋１より低周波の周波数、または前記平均値より低周波かつ前記固有周波数ｆｎより高周波の周波数を、設定すること、
を特徴とする駆動装置。
　請求項８に記載の駆動装置において、
　前記制御部は、前記保持周波数として、前記移動体の次の駆動方向が直前の駆動方向と同一のときは前記平均値より低周波かつ前記固有周波数ｆｎより高周波の周波数を、前記移動体の次の駆動方向が直前の駆動方向と反対のときは前記平均値より高周波かつ前記固有周波数ｆｎ＋１より低周波の周波数を設定すること、
を特徴とする駆動装置。
　請求項６から９に記載の駆動装置を備える光学機器。
　電気機械変換素子の励振により駆動面に発生する駆動力を用いてレンズを駆動する振動アクチュエータと、
　前記振動アクチュエータに２つの駆動信号を与える駆動制御部と、
　動画撮影モードを選択できる撮影設定部と、を備え、
　前記駆動制御部は、該撮影設定部が動画撮影モードを選択した場合に、前記２つの駆動信号の電圧を一定に維持した状態で、前記２つの駆動信号の位相差を変更するとともに、前記２つの駆動信号の周波数を前記切り替えられた位相差に対応させて変更することで、前記振動アクチュエータの速度を変更可能であること、
を特徴とする光学機器。
　請求項１１に記載の光学機器であって、
　前記駆動制御部は、前記２つの駆動信号の位相差を、９０度と－９０度と０度との間で連続的に変更可能であること、
を特徴とする光学機器。
　請求項１１又は１２に記載の光学機器であって、
　前記駆動制御部は、前記レンズを小刻みに前後させて焦点位置を被写体に追従させる動作であるウォブリング動作を行うこと、
を特徴とする光学機器。
　請求項１３に記載の光学機器であって、
　被写体像のコントラストを検出するコントラスト検出部を備え、
　前記駆動制御部は、前記コントラスト検出部によって検出された、前記ウォブリング動作における所定の１サイクルの前記コントラストに基づいて、前記所定の１サイクルの次の１サイクルにおける前記２つの駆動信号の周波数を、前記レンズの焦点位置を被写体に追従させるように切り替えること、
を特徴とする光学機器。
　請求項１１から１４のいずれか１項に記載の光学機器であって、
　前記駆動制御部は、前記撮影設定部が静止画撮影モードを選択した場合に、前記２つの駆動信号の位相差を、９０°と－９０°との間で切り替え可能であること、
を特徴とする光学機器。
　位相差を変更可能な２つの駆動信号が入力される電気機械エネルギー変換素子を有する振動部と、
　前記電気機械エネルギー変換素子の振動により前記振動部に生じた駆動力によって、前記振動部に対して相対移動する相対移動部と、
　前記相対移動部が停止状態となる位相差に保持した状態で、駆動に用いる駆動周波数よりも高い起動周波数で、前記２つの駆動信号を前記電気機械エネルギー変換素子に入力し、前記２つの駆動信号の周波数を、前記起動周波数から漸次減少させ前記駆動周波数になったときに、前記位相差を、前記相対移動部が前記振動部に対して相対移動可能な位相差にする制御部と
を備えた駆動装置。
　請求項１６に記載の駆動装置であって、
　前記起動周波数は、前記駆動周波数を含む振動モードの次の高次の振動モードの共振周波数以上の周波数であること、
を特徴とする駆動装置。
　請求項１６に記載の駆動装置であって、
　前記相対移動部が停止状態を保持する位相差は、０度又は１８０度の±１５度であること、
を特徴とする駆動装置。
　位相差を変更可能な２つの駆動信号が入力される電気機械エネルギー変換素子を有する振動部と、
　前記電気機械エネルギー変換素子の振動により前記振動部に生じた駆動力によって、前記振動部に対して相対移動する相対移動部と、
を備える振動アクチュエータの駆動方法であって、
　前記振動アクチュエータの起動時に、
　互いの位相差を前記相対移動部が停止状態を保つ位相差に保持した状態、かつ、前記振動アクチュエータの駆動に用いる駆動周波数よりも高い起動周波数で、前記２つの駆動信号を前記電気機械エネルギー変換素子に入力し、
　前記２つの駆動信号の周波数を、前記起動周波数から漸次減少させ前記駆動周波数になった際に、前記位相差を、前記相対移動部が前記振動部に対して相対移動可能な位相差にすること、
を特徴とする駆動方法。
　請求項１６から１８の駆動装置を備える光学機器。
　振動体に設けられた圧電体に位相の異なる２相の交番信号を印加して、前記振動体を振動させて駆動力を発生する振動アクチュエータの駆動を制御する駆動装置であって、
　前記圧電体に印加する２相の交番信号の周波数を変化させて、前記振動アクチュエータの駆動速度を制御する速度制御部と、
　所定の周波数を記憶する周波数記憶部と、
　前記振動アクチュエータが停止しているか否かを判定する停止判定部とを備え、
　前記速度制御部は、前記停止判定部が前記振動アクチュエータが停止していると判定した場合に、前記圧電体に印加する前記交番信号の周波数を、前記周波数記憶部に記憶された所定の周波数に変化させること、
　を特徴とする駆動装置。
　振動体に設けられた圧電体に位相の異なる２相の交番信号を印加して、前記振動体を振動させて駆動力を発生する振動アクチュエータの駆動を制御する駆動装置であって、
　前記圧電体に印加する２相の交番信号の周波数を変化させて、前記振動アクチュエータの駆動速度を制御する速度制御部と、
　前記振動アクチュエータが停止しているか否かを判定する停止判定部とを備え、
　前記速度制御部は、前記停止判定部が前記振動アクチュエータが停止していると判定した場合に、前記圧電体に印加する前記交番信号の周波数を、電気的共振周波数に近づくように変化させること、
　を特徴とする駆動装置。
　請求項２２に記載の駆動装置において、
　前記速度制御部は、前記停止判定部が前記振動アクチュエータが停止していると判定した場合に、前記圧電体に印加する前記交番信号の周波数を、上げる方向に変化させること、
　を特徴とする駆動装置。
　請求項２２に記載の駆動装置において、
　前記速度制御部は、前記停止判定部が前記振動アクチュエータが停止していると判定した場合に、前記圧電体に印加する前記交番信号の周波数を、前記振動アクチュエータが停止状態から駆動を開始する周波数に変化させること、
　を特徴とする駆動装置。
　請求項２２に記載の駆動装置において、
　前記速度制御部は、前記停止判定部が前記振動アクチュエータが停止していると判定した場合に、前記圧電体に印加する前記交番信号の周波数を、前記電気的共振周波数に変化させること、
　を特徴とする駆動装置。
　請求項２２から請求項２５までのいずれか１項に記載の駆動装置において、
　前記電気的共振周波数は、前記圧電体の静電容量と、前記圧電体に交番信号を印加する駆動回路のインダクタンスとの共振周波数であること、
　を特徴とする駆動装置。
　請求項２１から請求項２６までのいずれか１項に記載の駆動装置において、
　前記振動アクチュエータの駆動速度を検出する速度検出部を備え、
　前記速度制御部は、前記圧電体に印加する２相の交番信号の位相差を変化させて、前記振動アクチュエータの駆動速度を制御し、
　前記停止判定部は、前記圧電体に印加する２相の交番信号の位相差の状態と、前記速度検出部によって検出される駆動速度の情報とに基づいて、前記振動アクチュエータが停止したか否かを判定すること、
　を特徴とする駆動装置。
　請求項２１から請求項２７までのいずれか１項に記載の振動アクチュエータの駆動装置と、
　前記振動アクチュエータの駆動装置によって駆動される振動アクチュエータと、
　前記振動アクチュエータによって駆動される光学部材と、
　を備える光学機器。
　駆動回路から駆動信号が印加される電気機械変換素子と、
　前記電気機械変換素子により駆動力を発生する振動体と、
　前記振動体の駆動力により駆動される移動体と、
　前記移動体を駆動させるとき前記駆動信号が第１周波数になるように制御する第１制御を行い、前記移動体が停止しているとき前記駆動信号が第２周波数になるように制御する第２制御を行う制御部とを含み、
　前記駆動回路は、前記駆動信号が第２周波数であるとき、前記駆動信号が第１周波数であるときよりも電力消費量が少ないこと、
を特徴とする光学機器。