JPH04200282A - 超音波モータの駆動装置 - Google Patents
超音波モータの駆動装置Info
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- JPH04200282A JPH04200282A JP2332136A JP33213690A JPH04200282A JP H04200282 A JPH04200282 A JP H04200282A JP 2332136 A JP2332136 A JP 2332136A JP 33213690 A JP33213690 A JP 33213690A JP H04200282 A JPH04200282 A JP H04200282A
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/10—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors
- H02N2/14—Drive circuits; Control arrangements or methods
- H02N2/142—Small signal circuits; Means for controlling position or derived quantities, e.g. speed, torque, starting, stopping, reversing
Landscapes
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
Ａ、産業上の利用分野
本発明は、駆動電圧とモニタ電圧との位相差に基づいて
駆動周波数を制御する超音波モータの駆動装置に関する
。
駆動周波数を制御する超音波モータの駆動装置に関する
。
Ｂ、従来の技術
従来から、超音波モータの駆動電極に印加する駆動電圧
波形と、超音波モータの弾性体の振動に応じた周波電圧
を発生するモニタ電極の電圧波形との位相差が、安定し
た駆動状態が得られる所定の値になるように、駆動周波
数を制御する超音波モータの駆動装置が知られている（
例えば、特開昭６１−２５１４９０号公報参照）。
波形と、超音波モータの弾性体の振動に応じた周波電圧
を発生するモニタ電極の電圧波形との位相差が、安定し
た駆動状態が得られる所定の値になるように、駆動周波
数を制御する超音波モータの駆動装置が知られている（
例えば、特開昭６１−２５１４９０号公報参照）。
この種の駆動装置の構成を示す第４図により、その概要
を説明する。
を説明する。
超音波モータ１００の一方の駆動電極１００ａに印加さ
れる駆動電圧波形は、波形整形器１ヘフイードバツクさ
れ、所定レベルの方形波電圧波形に変換される。一方、
モニタ電極１００ｃから発生するモニタ電圧は、波形整
形器２ヘフイートバツクされ、同様に所定レベルの方形
波電圧波形に変換される。これらの方形波電圧は、第５
図に詳細を示す位相差検出器３に入力される。
れる駆動電圧波形は、波形整形器１ヘフイードバツクさ
れ、所定レベルの方形波電圧波形に変換される。一方、
モニタ電極１００ｃから発生するモニタ電圧は、波形整
形器２ヘフイートバツクされ、同様に所定レベルの方形
波電圧波形に変換される。これらの方形波電圧は、第５
図に詳細を示す位相差検出器３に入力される。
位相差検出器３は、第５図に示すように、アンドゲート
３１，３２、ＳＲフリップフロップ３３、バッファ３４
、抵抗器３５およびコンデンサ３６から構成される。ア
ンドゲート３１の一方の入力端子には上述した方形波の
駆動電圧が入力され、アンドゲート３２の一方の入力端
子には上述した方形波のモニタ電圧が入力される。そし
て、フリップフロップ３３の出力Ｑは、アンドゲート３
１゜３２への入力方形波電圧の位相差、つまり、駆動電
圧とモニタ電圧との位相差Φに応じたパルス幅のパルス
電圧を出力する。このパルス電圧は、バッファ３４．抵
抗器３５およびコンデンサ３６から成る積分回路によっ
て、第６図に示すように位相差Φに応じた電圧値に変換
される。
３１，３２、ＳＲフリップフロップ３３、バッファ３４
、抵抗器３５およびコンデンサ３６から構成される。ア
ンドゲート３１の一方の入力端子には上述した方形波の
駆動電圧が入力され、アンドゲート３２の一方の入力端
子には上述した方形波のモニタ電圧が入力される。そし
て、フリップフロップ３３の出力Ｑは、アンドゲート３
１゜３２への入力方形波電圧の位相差、つまり、駆動電
圧とモニタ電圧との位相差Φに応じたパルス幅のパルス
電圧を出力する。このパルス電圧は、バッファ３４．抵
抗器３５およびコンデンサ３６から成る積分回路によっ
て、第６図に示すように位相差Φに応じた電圧値に変換
される。
この位相差検出器３の出力は、駆動周波数設定器４を構
成する誤差増幅器４２の（−）端子へ入力される。また
、誤差増幅器４２の（＋）端子へは、基準位相差設定器
４１により設定された基準位相差ΦＫに応じた電圧が入
力され、この基準位相差Φにと位相差検出器３からの駆
動中の位相差Φとが比較される。そして、両者の差（Φ
に一Φ）に応じた電圧が誤差増幅器４２によって増幅さ
れ、抵抗器４３とコンデンサ４４とから成るループフィ
ルタ回路を介して電圧制御発振器（以下、■Ｃ○と呼ぶ
）４５へ出力される。ｖＣ○４５は、この入力電圧値に
応じた周波数の周波信号を発生して移相器５へ出力する
。
成する誤差増幅器４２の（−）端子へ入力される。また
、誤差増幅器４２の（＋）端子へは、基準位相差設定器
４１により設定された基準位相差ΦＫに応じた電圧が入
力され、この基準位相差Φにと位相差検出器３からの駆
動中の位相差Φとが比較される。そして、両者の差（Φ
に一Φ）に応じた電圧が誤差増幅器４２によって増幅さ
れ、抵抗器４３とコンデンサ４４とから成るループフィ
ルタ回路を介して電圧制御発振器（以下、■Ｃ○と呼ぶ
）４５へ出力される。ｖＣ○４５は、この入力電圧値に
応じた周波数の周波信号を発生して移相器５へ出力する
。
さらに、ｖＣ○４５からの周波信号は、移相器５によっ
て互にπ／２の位相差を有する一対の周波信号に変換さ
れ、それぞれ電力増幅器６に出力される。電力増幅器６
は、起動入力信号がＨｉレベルのときにこれらの周波信
号を電力増幅して超音波モータ１００の駆動電極１００
ａ、１００ｂに印加する。
て互にπ／２の位相差を有する一対の周波信号に変換さ
れ、それぞれ電力増幅器６に出力される。電力増幅器６
は、起動入力信号がＨｉレベルのときにこれらの周波信
号を電力増幅して超音波モータ１００の駆動電極１００
ａ、１００ｂに印加する。
このように従来の駆動装置は、実際の駆動状態の駆動電
圧とモニタ電圧との位相差Φが基準位相差ΦＫに一致す
るようにフィードバック制御を行ない、超音波モータ１
００の駆動周波数が基準位相差ΦＫに対応した周波数Ｆ
Ｋになるように制御する。
圧とモニタ電圧との位相差Φが基準位相差ΦＫに一致す
るようにフィードバック制御を行ない、超音波モータ１
００の駆動周波数が基準位相差ΦＫに対応した周波数Ｆ
Ｋになるように制御する。
第７図は、超音波モータの駆動周波数Ｆに対する駆動電
圧とモニタ電圧との位相差Φ、および駆動周波数Ｆに対
する駆動速度Ｎの関係を示す。図中の周波数範囲ＦＤは
、通常用いられる超音波モータの駆動周波数範囲である
。周波数ＦＲは超音波モータの弾性体が最も大きく振動
する共振周波数であり、この共振周波数ＦＲにごく近い
周波数で駆動すると超音波モータの駆動状態が不安定に
なることが知られている。また、第７図に示すように共
振周波数ＦＲよりも高い周波数域および低い周波数域に
も、超音波モータの弾性体が共振する周波数が存在する
。これらの共振周波数よりもわずかに高い周波数範囲で
超音波モータを駆動することも可能であるが、周波数範
囲ＦＤで駆動したときと回転方向が逆になり、動作が不
安定になるため、通常、これらの周波数は超音波モータ
の駆動周波数として用いられない。
圧とモニタ電圧との位相差Φ、および駆動周波数Ｆに対
する駆動速度Ｎの関係を示す。図中の周波数範囲ＦＤは
、通常用いられる超音波モータの駆動周波数範囲である
。周波数ＦＲは超音波モータの弾性体が最も大きく振動
する共振周波数であり、この共振周波数ＦＲにごく近い
周波数で駆動すると超音波モータの駆動状態が不安定に
なることが知られている。また、第７図に示すように共
振周波数ＦＲよりも高い周波数域および低い周波数域に
も、超音波モータの弾性体が共振する周波数が存在する
。これらの共振周波数よりもわずかに高い周波数範囲で
超音波モータを駆動することも可能であるが、周波数範
囲ＦＤで駆動したときと回転方向が逆になり、動作が不
安定になるため、通常、これらの周波数は超音波モータ
の駆動周波数として用いられない。
上述した従来装置により、位相差Φが基準位相差ΦＫに
一致するように駆動周波数を制御するとき、第７図に示
す駆動周波数ＦＫよりも現在の駆動周波数がわずかに低
ければ１位相差（Φに一Φ）〉０となり、誤差増幅器４
２の出力電圧が上昇してコンデンサ４４が充電される。
一致するように駆動周波数を制御するとき、第７図に示
す駆動周波数ＦＫよりも現在の駆動周波数がわずかに低
ければ１位相差（Φに一Φ）〉０となり、誤差増幅器４
２の出力電圧が上昇してコンデンサ４４が充電される。
さらに、コンデンサ４４の端子電圧の上昇にともなって
ｖＣ○４５の周波信号の周波数が高くなる。そして、超
音波モータ１００に印加される駆動電圧の周波数がＦＫ
になると、駆動中の位相差Φ＝Φにとなって誤差増幅器
４２はコンデンサ４４への充電を停止する。すなわち、
コンデンサ４４の端子電圧は■Ｃ０４５の出力周波数が
ＦＫとなる電圧を保持し、超音波モータ１００は駆動周
波数ＦＫで駆動される。
ｖＣ○４５の周波信号の周波数が高くなる。そして、超
音波モータ１００に印加される駆動電圧の周波数がＦＫ
になると、駆動中の位相差Φ＝Φにとなって誤差増幅器
４２はコンデンサ４４への充電を停止する。すなわち、
コンデンサ４４の端子電圧は■Ｃ０４５の出力周波数が
ＦＫとなる電圧を保持し、超音波モータ１００は駆動周
波数ＦＫで駆動される。
逆に、現在の駆動周波数が周波数ＦＫよりもわずかに高
ければ１位相差は（Φに一Φ）〈０となるため誤差増幅
器４２の出力は低下し、コンデンサ４４の放電によって
その端子電圧が低下する。
ければ１位相差は（Φに一Φ）〈０となるため誤差増幅
器４２の出力は低下し、コンデンサ４４の放電によって
その端子電圧が低下する。
これによって、位相差Φ＝Φにとなる周波数ＰＫになる
までＶＣＯ４５の出力周波数が低下し、超音波モータ１
００は駆動周波数ＦＫで駆動される。
までＶＣＯ４５の出力周波数が低下し、超音波モータ１
００は駆動周波数ＦＫで駆動される。
Ｃ１発明が解決しようとする課題
ところで、超音波モータの駆動時には、急激な負荷変動
や、制御回路、特にモニタ電圧波形整形器へのノイズの
混入などにより、検出される位相差Φが変化することが
ある。また、超音波モータの起動時には、瞬間的に超音
波モータの動作状態が不安定になり、その結果、検出さ
れる位相差Φが変化する。
や、制御回路、特にモニタ電圧波形整形器へのノイズの
混入などにより、検出される位相差Φが変化することが
ある。また、超音波モータの起動時には、瞬間的に超音
波モータの動作状態が不安定になり、その結果、検出さ
れる位相差Φが変化する。
しかしながら、上述した従来の超音波モータの駆動装置
では、駆動中または起動時に、位相差Φが変化すると誤
差増幅器の出力も大きく変化し、それによってｖＣ○の
出力周波数も大きく変動する。その結果、フィードバッ
ク制御系が基準位相差Φにと同じ値を有する通常の駆動
周波数範囲ＦＤ外の周波数に収束し、超音波モータの動
作が不安定になるという問題がある。すなわち、第７図
に示すように位相差Φは駆動周波数Ｆに対して振動特性
を示すので、駆動周波数ＦＫ以外の周波数ＦＬ２．ＦＬ
Ｉ、ＦＨＩ、ＦＨ２で駆動しても、基準位相差Φにと等
しい位相差が得られる。
では、駆動中または起動時に、位相差Φが変化すると誤
差増幅器の出力も大きく変化し、それによってｖＣ○の
出力周波数も大きく変動する。その結果、フィードバッ
ク制御系が基準位相差Φにと同じ値を有する通常の駆動
周波数範囲ＦＤ外の周波数に収束し、超音波モータの動
作が不安定になるという問題がある。すなわち、第７図
に示すように位相差Φは駆動周波数Ｆに対して振動特性
を示すので、駆動周波数ＦＫ以外の周波数ＦＬ２．ＦＬ
Ｉ、ＦＨＩ、ＦＨ２で駆動しても、基準位相差Φにと等
しい位相差が得られる。
今、位相差Φの変化にともなって■Ｃ○４５の出力周波
数が低周波数側に大きく変動し、周波数ＦＬＬよりも低
くなると、基準位相差Φにと駆動中の位相差Φとの差は
（Φに一Φ）〈０となり、周波数を高くしなければなら
ないのに、誤差増幅器４２は上述したようにＶｃ○４５
の出力周波数を低くするように制御する。この結果、さ
らに周波数Ｆが低下し、位相差Φ＝Φにとなる周波数Ｆ
Ｌ２に達すると、制御系の周波数制御が収束する。
数が低周波数側に大きく変動し、周波数ＦＬＬよりも低
くなると、基準位相差Φにと駆動中の位相差Φとの差は
（Φに一Φ）〈０となり、周波数を高くしなければなら
ないのに、誤差増幅器４２は上述したようにＶｃ○４５
の出力周波数を低くするように制御する。この結果、さ
らに周波数Ｆが低下し、位相差Φ＝Φにとなる周波数Ｆ
Ｌ２に達すると、制御系の周波数制御が収束する。
すなわち、超音波モータ１００は、駆動周波数ＦＬ２で
駆動され、上述したように動作が不安定になる。
駆動され、上述したように動作が不安定になる。
逆に、位相差Φの変化にともなってＶＣＯ４５の出力周
波数が高周波数側に大きく変動し、周波数ＦＨＩよりも
高くなると、基準位相差Φにと駆動中の位相差Φとの差
は（Φに一Φ）＞Ｏとなり。
波数が高周波数側に大きく変動し、周波数ＦＨＩよりも
高くなると、基準位相差Φにと駆動中の位相差Φとの差
は（Φに一Φ）＞Ｏとなり。
周波数を低くしなければならないのに、誤差増幅器４２
は■Ｃ○４Ｓの出力周波数を高くするように制御する。
は■Ｃ○４Ｓの出力周波数を高くするように制御する。
この結果、さらに周波数Ｆが上昇し、位相差Φ＝Φにと
なる周波数ＦＨ２に達すると、制御系の周波数制御が収
束する。すなわち、超音波モータ１００は、駆動周波数
ＦＨ２で駆動され、上記と同様にその動作が不安定にな
る。
なる周波数ＦＨ２に達すると、制御系の周波数制御が収
束する。すなわち、超音波モータ１００は、駆動周波数
ＦＨ２で駆動され、上記と同様にその動作が不安定にな
る。
このような従来装置の不具合を解決するために、誤差増
幅器４２の増幅率を小さくして、ＶＣＯ４５の出力周波
数が大きく変動しないようにしたり、あるいは、抵抗器
４３とコンデンサ４４により構成されるループフィルタ
の時定数を大きくして、フィードバック制御系の応答性
を低くする方法が考えられるが、いずれの場合も制御精
度および応答性が低下するので、採用できない。
幅器４２の増幅率を小さくして、ＶＣＯ４５の出力周波
数が大きく変動しないようにしたり、あるいは、抵抗器
４３とコンデンサ４４により構成されるループフィルタ
の時定数を大きくして、フィードバック制御系の応答性
を低くする方法が考えられるが、いずれの場合も制御精
度および応答性が低下するので、採用できない。
本発明の目的は、超音波モータの通常の駆動周波数範囲
よりも低い周波数領域では、通常の駆動周波数範囲内の
周波数に対応した位相差と同じ位相差が得られる周波数
よりも高く、通常の駆動周波数範囲よりも高い周波数領
域では１通常の駆動周波数範囲内の周波数に対応した位
相差と同じ位相差が得られる周波数よりも低くなるよう
に、■ＣＯの出力周波数範囲を制限して、超音波モータ
を安定に駆動制御する駆動装置を提供することにある。
よりも低い周波数領域では、通常の駆動周波数範囲内の
周波数に対応した位相差と同じ位相差が得られる周波数
よりも高く、通常の駆動周波数範囲よりも高い周波数領
域では１通常の駆動周波数範囲内の周波数に対応した位
相差と同じ位相差が得られる周波数よりも低くなるよう
に、■ＣＯの出力周波数範囲を制限して、超音波モータ
を安定に駆動制御する駆動装置を提供することにある。
０１課題を解決するための手段
クレーム対応図である第１図に対応づけて本発明を説明
すると、本発明は、超音波モータの駆動電極に印加する
高周波駆動電圧波形と、弾性体の振動に応じた周波電圧
を発生するモニタ電極の出力電圧波形との位相差であっ
て、超音波モータの駆動周波数を変化させたときに振動
特性を有する位相差を検出する位相差検出手段３と、超
音波モータの駆動力が最も大きくなる駆動周波数を含む
通常の駆動周波数範囲内の駆動周波数に対応した基準位
相差を設定する基準位相差設定手段４１と、位相差検出
手１段３により検出された位相差が、基準位相差設定手
段４１により設定された基準位相差に一致するように制
御する制御手段４２と、制御手段４２の出力に応じた周
波数の信号を発生して超音波モータに印加する周波信号
発生手段４５とを備えた超音波モータの駆動装置に適用
される。
すると、本発明は、超音波モータの駆動電極に印加する
高周波駆動電圧波形と、弾性体の振動に応じた周波電圧
を発生するモニタ電極の出力電圧波形との位相差であっ
て、超音波モータの駆動周波数を変化させたときに振動
特性を有する位相差を検出する位相差検出手段３と、超
音波モータの駆動力が最も大きくなる駆動周波数を含む
通常の駆動周波数範囲内の駆動周波数に対応した基準位
相差を設定する基準位相差設定手段４１と、位相差検出
手１段３により検出された位相差が、基準位相差設定手
段４１により設定された基準位相差に一致するように制
御する制御手段４２と、制御手段４２の出力に応じた周
波数の信号を発生して超音波モータに印加する周波信号
発生手段４５とを備えた超音波モータの駆動装置に適用
される。
そして請求項１の超音波モータの駆動装置では、通常の
駆動周波数範囲よりも低い側に駆動周波数を変化させた
とき、基準位相差設定手段４１により設定された位相差
と同じ位相差が得られる周波数よりも超音波モータの駆
動周波数が高くなるように、周波信号発生手段４５を制
御する下限周波数制御手段４６．４７を備えることによ
り、上記目的が達成される。
駆動周波数範囲よりも低い側に駆動周波数を変化させた
とき、基準位相差設定手段４１により設定された位相差
と同じ位相差が得られる周波数よりも超音波モータの駆
動周波数が高くなるように、周波信号発生手段４５を制
御する下限周波数制御手段４６．４７を備えることによ
り、上記目的が達成される。
また、請求項２の超音波モータの駆動装置では、通常の
駆動周波数範囲よりも高い側に駆動周波数を変化させた
とき、基準位相差設定手段４１により設定された位相差
と同じ位相差が得られる周波数よりも超音波モータの駆
動周波数が低くなるように、周波信号発生手段４５を制
御する上限周波数制御手段４６．４７を備える。
駆動周波数範囲よりも高い側に駆動周波数を変化させた
とき、基準位相差設定手段４１により設定された位相差
と同じ位相差が得られる周波数よりも超音波モータの駆
動周波数が低くなるように、周波信号発生手段４５を制
御する上限周波数制御手段４６．４７を備える。
さらに、請求項３の超音波モータの駆動装置では、下限
周波数制御手段４６．４７と上限周波数制御手段４６．
４７とを備える。
周波数制御手段４６．４７と上限周波数制御手段４６．
４７とを備える。
Ｅ６作用
請求項１の超音波モータの駆動装置では、下限周波数制
御手段４６．４７が、通常の駆動周波数範囲よりも低い
側に駆動周波数を変化させたとき、基準位相差設定手段
４工により設定された位相差と同し位相差が得られる周
波数よりも超音波モータの駆動周波数が高くなるように
、周波信号発生手段４５を制御する。これによって超音
波モータは、上記の下限周波数よりも高い周波数で駆動
される。
御手段４６．４７が、通常の駆動周波数範囲よりも低い
側に駆動周波数を変化させたとき、基準位相差設定手段
４工により設定された位相差と同し位相差が得られる周
波数よりも超音波モータの駆動周波数が高くなるように
、周波信号発生手段４５を制御する。これによって超音
波モータは、上記の下限周波数よりも高い周波数で駆動
される。
また、請求項２の超音波モータの駆動装置では、上限周
波数制御手段４６．４７が、通常の駆動周波数範囲より
も高い側に駆動周波数を変化させたとき、基準位相差設
定手段４１により設定された位相差と同じ位相差が得ら
れる周波数よりも超音波モータの駆動周波数が低くなる
ように、周波信号発生手段４５を制御する。これによっ
て超音波モータは、上記の上限周波数よりも低い周波数
で駆動される。
波数制御手段４６．４７が、通常の駆動周波数範囲より
も高い側に駆動周波数を変化させたとき、基準位相差設
定手段４１により設定された位相差と同じ位相差が得ら
れる周波数よりも超音波モータの駆動周波数が低くなる
ように、周波信号発生手段４５を制御する。これによっ
て超音波モータは、上記の上限周波数よりも低い周波数
で駆動される。
さらに、請求項３の超音波モータの駆動装置では、下限
周波数制御手段４６．４７および上限周波数制御手段４
６．４７か、超音波モータの駆動周波数が上記の下限周
波数よりも高く、且つ上記の上限周波数よりも低くなる
ように周波信号発生手段４５を制御する。これによって
超音波モータは、上記の下限周波数および上限周波数で
設定される範囲の周波数で駆動される。
周波数制御手段４６．４７および上限周波数制御手段４
６．４７か、超音波モータの駆動周波数が上記の下限周
波数よりも高く、且つ上記の上限周波数よりも低くなる
ように周波信号発生手段４５を制御する。これによって
超音波モータは、上記の下限周波数および上限周波数で
設定される範囲の周波数で駆動される。
なお、本発明の詳細な説明する上記り項およびＥ項では
、本発明を分りやすくするために各手段の符号に対応す
る実施例の要素と同一の符号を用いたが、これにより本
発明が実施例に限定されるものではない。
、本発明を分りやすくするために各手段の符号に対応す
る実施例の要素と同一の符号を用いたが、これにより本
発明が実施例に限定されるものではない。
Ｆ、実施例
第２図は、本発明の一実施例の全体構成を示すブロック
図である。なお、第４図に示す従来装置と同様な機器に
対しては同符合を付して相違点を中心に説明する。
図である。なお、第４図に示す従来装置と同様な機器に
対しては同符合を付して相違点を中心に説明する。
駆動周波数設定器４０は、第４図に示す基準位相差設定
器４１．誤差増幅器４２．抵抗器４３゜コンデンサ４４
および■Ｃ○４５に加え、周波数弁別器４６およびマル
チプレクサ４７によって構成される。
器４１．誤差増幅器４２．抵抗器４３゜コンデンサ４４
および■Ｃ○４５に加え、周波数弁別器４６およびマル
チプレクサ４７によって構成される。
周波数弁別器４６は、ＶＣＯ４５の出力周波数の弁別を
行なう。すなわち、ＶＣＯ４５の出力周波数が第７図に
示す周波数ＦＬＬよりも高いとき、端子ａがＨｉレベル
となり、低いときＬｏレベルとなる。また、ｖＣ○の出
力周波数がＦＨＩよりも低いとき、端子すがＨｉレベル
となり、高いときにＬｏレベルとなる。
行なう。すなわち、ＶＣＯ４５の出力周波数が第７図に
示す周波数ＦＬＬよりも高いとき、端子ａがＨｉレベル
となり、低いときＬｏレベルとなる。また、ｖＣ○の出
力周波数がＦＨＩよりも低いとき、端子すがＨｉレベル
となり、高いときにＬｏレベルとなる。
マルチプレクサ４７は、前述した増幅器４２と抵抗器４
３との間に設けられ、周波数弁別器４６の出力ａ、ｂに
応じて入力Ａ、Ｂ、Ｃの中からいずれかを選択して出力
する。入力Ａは増幅器４２の出力に接続され、入力Ｂは
電源に接続され、入力Ｃは接地される。周波数弁別器４
６の出力ａ。
３との間に設けられ、周波数弁別器４６の出力ａ、ｂに
応じて入力Ａ、Ｂ、Ｃの中からいずれかを選択して出力
する。入力Ａは増幅器４２の出力に接続され、入力Ｂは
電源に接続され、入力Ｃは接地される。周波数弁別器４
６の出力ａ。
ｂがともにＨｉレベルのとき、すなわち超音波モータ１
００の駆動周波数ＦがＦＬＩ＜Ｆ＜ＰＨ１であればＡ入
力を選択し、出力ａがＬＯレベルで出力すがＨｉレベル
のとき、すなわち駆動周波数ＦがＦＬＩよりも低いとき
Ｂ入力を選択し、さらに出力ａがＨｉレベルで出力ｂ
ｆＪ＜ Ｌ ｏレベルのとき、すなわち駆動周波数Ｆが
ＦＨＩよりも高いときＣ入力を選択する。
００の駆動周波数ＦがＦＬＩ＜Ｆ＜ＰＨ１であればＡ入
力を選択し、出力ａがＬＯレベルで出力すがＨｉレベル
のとき、すなわち駆動周波数ＦがＦＬＩよりも低いとき
Ｂ入力を選択し、さらに出力ａがＨｉレベルで出力ｂ
ｆＪ＜ Ｌ ｏレベルのとき、すなわち駆動周波数Ｆが
ＦＨＩよりも高いときＣ入力を選択する。
次に５動作を説明する。
ＶＣＯ４５の出力周波数ＦがＦＬＩ＜Ｆ＜ＦＨｌであれ
ば、周波数弁別器４６の出力ａ、ｂはともにＨルベルと
なり、マルチプレクサ４７は六入力を選択する。すなわ
ち、ｖＣ○４５の出力周波数Ｆは、第６図に示す誤差増
幅器４２の出力電圧に応じた周波数となり、上述したよ
うに移相器５および電力増幅器６により駆動電圧に増幅
されて超音波モータ１００に印加される。
ば、周波数弁別器４６の出力ａ、ｂはともにＨルベルと
なり、マルチプレクサ４７は六入力を選択する。すなわ
ち、ｖＣ○４５の出力周波数Ｆは、第６図に示す誤差増
幅器４２の出力電圧に応じた周波数となり、上述したよ
うに移相器５および電力増幅器６により駆動電圧に増幅
されて超音波モータ１００に印加される。
今、上述したように超音波モータ１００の起動時または
駆動中に、急激な負荷変動、制御回路へのノイズの混入
などが発生して、位相差検出器３により検出される駆動
時の位相差Φが基準位相差Φによりも小さくなると、上
述したように誤差増幅器４２の出力電圧が上昇する。こ
のとき、マルチプレクサ４７は入力Ａを選択しているの
で、誤差増幅器４２の出力は、マルチプレクサ４７およ
び抵抗器４３を介してコンデンサ４４を充電する。
駆動中に、急激な負荷変動、制御回路へのノイズの混入
などが発生して、位相差検出器３により検出される駆動
時の位相差Φが基準位相差Φによりも小さくなると、上
述したように誤差増幅器４２の出力電圧が上昇する。こ
のとき、マルチプレクサ４７は入力Ａを選択しているの
で、誤差増幅器４２の出力は、マルチプレクサ４７およ
び抵抗器４３を介してコンデンサ４４を充電する。
この結果、Ｖ６Ｏ１３の入力電圧が上昇し、出力周波数
が高くなる。そして、ＶＣＯ４５の出力周波数Ｆが周波
数ＦＨＩを越えると、周波数弁別器４６の出力すがＬｏ
レベルに反転し、マルチプレクサ４７は入力Ｃを選択す
る。これによって、コンデンサ４４の一方の端子は、抵
抗器４３およびマルチプレクサ４７の入力端子Ｃを介し
て接地され、その端子電圧が放電される。コンデンサ４
４の端子電圧の低下にともなってＶＣＯ４５の出力周波
数も低くなり、出力周波数ＦがＦＨＩよりも低くなると
、周波数弁別器４６の出力すがＨｉレベルに反転する。
が高くなる。そして、ＶＣＯ４５の出力周波数Ｆが周波
数ＦＨＩを越えると、周波数弁別器４６の出力すがＬｏ
レベルに反転し、マルチプレクサ４７は入力Ｃを選択す
る。これによって、コンデンサ４４の一方の端子は、抵
抗器４３およびマルチプレクサ４７の入力端子Ｃを介し
て接地され、その端子電圧が放電される。コンデンサ４
４の端子電圧の低下にともなってＶＣＯ４５の出力周波
数も低くなり、出力周波数ＦがＦＨＩよりも低くなると
、周波数弁別器４６の出力すがＨｉレベルに反転する。
つまり、マルチプレクサ４７はふたたび入力Ａを選択す
る。
る。
一方、上述した何らかの原因により駆動時の位相差Φが
基準位相差Φによりも大きくなると、誤差増幅器４２の
出力電圧が低下する。この結果、コンデンサ４４の充電
電圧は、抵抗器４３．マルチプレクサ４７の入力Ａ、誤
差増幅器４２の経路で放電する。さらに、コンデンサ４
４の端子電圧の低下にともなって、ｖＣ○４５の出力周
波数Ｆが低下する。そして、出力周波数ＦがＦＬＩより
も低くなると、周波数弁別器４６の出力ａがり。
基準位相差Φによりも大きくなると、誤差増幅器４２の
出力電圧が低下する。この結果、コンデンサ４４の充電
電圧は、抵抗器４３．マルチプレクサ４７の入力Ａ、誤
差増幅器４２の経路で放電する。さらに、コンデンサ４
４の端子電圧の低下にともなって、ｖＣ○４５の出力周
波数Ｆが低下する。そして、出力周波数ＦがＦＬＩより
も低くなると、周波数弁別器４６の出力ａがり。
レベルに反転し、マルチプレクサ４７は入力Ｂを選択す
る。これによって、コンデンサ４４は、電源、マルチプ
レクサ４７のＢ入力、抵抗器４３の経路で充電され、そ
の端子電圧が上昇する。コンデンサ４４の端子電圧の上
昇にともなってＶＣＯ４５の出力周波数が上昇し、出力
周波数ＦがＦＬｌより高くなると周波数弁別器４６の出
力ａがＨｉレベルに反転する。つまり、マルチプレクサ
４７はふたたび入力Ａを選択する。
る。これによって、コンデンサ４４は、電源、マルチプ
レクサ４７のＢ入力、抵抗器４３の経路で充電され、そ
の端子電圧が上昇する。コンデンサ４４の端子電圧の上
昇にともなってＶＣＯ４５の出力周波数が上昇し、出力
周波数ＦがＦＬｌより高くなると周波数弁別器４６の出
力ａがＨｉレベルに反転する。つまり、マルチプレクサ
４７はふたたび入力Ａを選択する。
このように、周波数弁別器４６によってｖＣＯ４５の出
力周波数ＦがＦＨＩより高くなったことが検出されると
、マルチプレクサ４７が接地人力Ｃを選択してコンデン
サ４４の端子電圧を放電し、ＶＣＯ４５の出力周波数Ｆ
の上限値がＦＨＩになるように制御する。逆に、ＶＣＯ
４５の出力周波数ＦがＦＬＩよりも低くなったことが検
出されると、マルチプレクサ４７が電源人力Ｂを選択し
、コンデンサ４４を充電し、ＶＣＯ４５の出力周波数Ｆ
の下限値がＦＬＩになるように制御する。従って、ＶＣ
Ｏ４５の出力周波数は、周波数ＦＬＩからＦＨＩまでの
間に制限され、何らかの原因で駆動時の位相差Φが変化
しても、超音波モータ１００が、基準位相差Φにと同じ
値を有する通常の駆動周波数範囲ＦＤ外の周波数で駆動
されることはなく、高い制御精度と応答性を確保して超
音波モータ１００を安定に駆動することができる。
力周波数ＦがＦＨＩより高くなったことが検出されると
、マルチプレクサ４７が接地人力Ｃを選択してコンデン
サ４４の端子電圧を放電し、ＶＣＯ４５の出力周波数Ｆ
の上限値がＦＨＩになるように制御する。逆に、ＶＣＯ
４５の出力周波数ＦがＦＬＩよりも低くなったことが検
出されると、マルチプレクサ４７が電源人力Ｂを選択し
、コンデンサ４４を充電し、ＶＣＯ４５の出力周波数Ｆ
の下限値がＦＬＩになるように制御する。従って、ＶＣ
Ｏ４５の出力周波数は、周波数ＦＬＩからＦＨＩまでの
間に制限され、何らかの原因で駆動時の位相差Φが変化
しても、超音波モータ１００が、基準位相差Φにと同じ
値を有する通常の駆動周波数範囲ＦＤ外の周波数で駆動
されることはなく、高い制御精度と応答性を確保して超
音波モータ１００を安定に駆動することができる。
上述した実施例では、周波数弁別器４６およびマルチプ
レクサ４７を用いてＶＣＯ４５の出力周波数を所定の範
囲に制限したが、出力周波数Ｆを上述したＦＬＩ＜Ｆ＜
ＦＨＩの範囲に設定可能なＶＣＯを用いてもよい。
レクサ４７を用いてＶＣＯ４５の出力周波数を所定の範
囲に制限したが、出力周波数Ｆを上述したＦＬＩ＜Ｆ＜
ＦＨＩの範囲に設定可能なＶＣＯを用いてもよい。
また、上述した実施例では、ＶＣＯ４５の上限および下
限の周波数を制御したが、条件によっては上限または下
限の周波数だけを制御するようにしてもよい。
限の周波数を制御したが、条件によっては上限または下
限の周波数だけを制御するようにしてもよい。
また、上述した駆動中の急激な負荷変動や、制御回路へ
のノイズの混入などによる位相差Φの変化を考慮する必
要がない場合には、第３図に示すように、起動時の位相
差Φの変化だけを考慮した駆動周波数設定器４０Ａを用
いた駆動装置としてもよい。すなわち、起動時の周波数
ＦＳをＦＬＩＩ＜ＦＳ＜ＦＨｌの範囲の周波数に設定し
、起動後、超音波モータ１００の動作が安定したら、基
準位相差Φにと駆動時の位相差Φとの差（Φに一Φ）に
基づいて駆動周波数を制御する。
のノイズの混入などによる位相差Φの変化を考慮する必
要がない場合には、第３図に示すように、起動時の位相
差Φの変化だけを考慮した駆動周波数設定器４０Ａを用
いた駆動装置としてもよい。すなわち、起動時の周波数
ＦＳをＦＬＩＩ＜ＦＳ＜ＦＨｌの範囲の周波数に設定し
、起動後、超音波モータ１００の動作が安定したら、基
準位相差Φにと駆動時の位相差Φとの差（Φに一Φ）に
基づいて駆動周波数を制御する。
第３図は、起動周波数ＦＳにより超音波モータ１００を
起動するための駆動周波数設定器４０Ａの構成を示すブ
ロック図である。第２図および第４図に示す同様な機器
に対しては、同符合を付して相違点を中心に説明する。
起動するための駆動周波数設定器４０Ａの構成を示すブ
ロック図である。第２図および第４図に示す同様な機器
に対しては、同符合を付して相違点を中心に説明する。
誤差増幅器４２と抵抗器４３との間にマルチプレクサ４
７Ａが設けられ、その端子Ａには誤差増幅器４２の出力
が接続され、端子Ｂには起動周波数ＦＳを設定する起動
周波数設定器４８が接続される。また、制御端子Ｃには
タイマ４９の出力が接続される。マルチプレクサ４７Ａ
は、制御端子ＣがＨｉレベルのとき入力Ａを選択し、Ｌ
Ｏレベルのとき入力Ｂを選択する。
７Ａが設けられ、その端子Ａには誤差増幅器４２の出力
が接続され、端子Ｂには起動周波数ＦＳを設定する起動
周波数設定器４８が接続される。また、制御端子Ｃには
タイマ４９の出力が接続される。マルチプレクサ４７Ａ
は、制御端子ＣがＨｉレベルのとき入力Ａを選択し、Ｌ
Ｏレベルのとき入力Ｂを選択する。
タイマ４９は、起動入力がＬＯレレベからＨｉレベルに
変化したとき、設定時間ｔ１だけ遅れて出力をＬｏレベ
ルからＨ↓レベルにする。従って、起動時に起動入力が
ＬｏレベルからＨｉレベルに変化したとき、マルチプレ
クサ４７Ａは設定時間Ｌ１だけ入力Ｂを選択し、設定時
間ｔｌ後に入力Ａに切り換える。
変化したとき、設定時間ｔ１だけ遅れて出力をＬｏレベ
ルからＨ↓レベルにする。従って、起動時に起動入力が
ＬｏレベルからＨｉレベルに変化したとき、マルチプレ
クサ４７Ａは設定時間Ｌ１だけ入力Ｂを選択し、設定時
間ｔｌ後に入力Ａに切り換える。
次に、動作を説明する。
起１１時に起動入力がＬｏレベルからＨｉレベルに変化
しても、タイマ４９の出力は設定時間ｔ１の間Ｌｏレベ
ルのままであり、マルチプレクサ４７Ａは入力Ｂを選択
する。コンデンサ４４は、マルチプレクサ４７Ａおよび
抵抗器４３を介して、起動周波数設定器４８により設定
された電圧で充電される。これによって、ＶＣＯ４５は
周波数ＦＳの周波信号を移相器５に出力し、超音波モー
タ１００は駆動周波数ＦＳで起動される。
しても、タイマ４９の出力は設定時間ｔ１の間Ｌｏレベ
ルのままであり、マルチプレクサ４７Ａは入力Ｂを選択
する。コンデンサ４４は、マルチプレクサ４７Ａおよび
抵抗器４３を介して、起動周波数設定器４８により設定
された電圧で充電される。これによって、ＶＣＯ４５は
周波数ＦＳの周波信号を移相器５に出力し、超音波モー
タ１００は駆動周波数ＦＳで起動される。
起動入力がＨｉレベルになってから設定時間ｔ１が経過
すると、タイマ４９の出力がＨｉレベルになり、マルチ
プレクサ４７Ａは入力Ａを選択する。これによって、誤
差増幅器４２の出力がマルチプレクサ４７Ａおよび抵抗
器４３を介してコンデンサ４４に印加され、基準位相差
Φにと駆動時の位相差Φとの差（Φに一Φ）に基づいて
駆動周波数Ｆが制御される。
すると、タイマ４９の出力がＨｉレベルになり、マルチ
プレクサ４７Ａは入力Ａを選択する。これによって、誤
差増幅器４２の出力がマルチプレクサ４７Ａおよび抵抗
器４３を介してコンデンサ４４に印加され、基準位相差
Φにと駆動時の位相差Φとの差（Φに一Φ）に基づいて
駆動周波数Ｆが制御される。
このように、超音波モータ１００の起動時は、起動周波
数設定器４８により設定された起動周波数ＦＳで起動し
、起動後、超音波モータ１００の動作が安定したら駆動
電圧とモニタ電圧との位相差Φに基づいて駆動周波数を
制御するようにしたので、起動時の超音波モータ１００
の不安定動作に起因する位相差Φの変化の影響を受けず
、安定に超音波モータ１００を起動することができる。
数設定器４８により設定された起動周波数ＦＳで起動し
、起動後、超音波モータ１００の動作が安定したら駆動
電圧とモニタ電圧との位相差Φに基づいて駆動周波数を
制御するようにしたので、起動時の超音波モータ１００
の不安定動作に起因する位相差Φの変化の影響を受けず
、安定に超音波モータ１００を起動することができる。
なお、本出願人の実験によれば、超音波モータは起動し
てから１〜２ミリ秒後に動作状態が安定することが確認
された。従って、タイマ４９の設定時間ｔ１は２ミリ秒
より大きくすればよい。さらに精密に設定するときは、
使用する超音波モータを用いて実験を行ない、その結果
に基づいて設定時間ｔ１を決定する。
てから１〜２ミリ秒後に動作状態が安定することが確認
された。従って、タイマ４９の設定時間ｔ１は２ミリ秒
より大きくすればよい。さらに精密に設定するときは、
使用する超音波モータを用いて実験を行ない、その結果
に基づいて設定時間ｔ１を決定する。
また、起動時の駆動周波数ＦＳを、超音波モータ１００
の共振周波数ＦＲよりも低い周波数に設定した場合には
、通常の駆動周波数範囲ＦＤの駆動周波数に移行する起
動中に、共振周波数ＦＲおよびその近傍の動作状態が不
安定となる駆動周波数領域を通過することになる。しか
し、本出願人の実験によれば、超音波モータの種類によ
って相違はあるものの、数ミリ秒以内の時間で共振周波
数領域を通過すれば、異音などの不具合が発生すること
なく、安定に起動できることが確認された。
の共振周波数ＦＲよりも低い周波数に設定した場合には
、通常の駆動周波数範囲ＦＤの駆動周波数に移行する起
動中に、共振周波数ＦＲおよびその近傍の動作状態が不
安定となる駆動周波数領域を通過することになる。しか
し、本出願人の実験によれば、超音波モータの種類によ
って相違はあるものの、数ミリ秒以内の時間で共振周波
数領域を通過すれば、異音などの不具合が発生すること
なく、安定に起動できることが確認された。
従って、上述したように起動時の周波数ＦＳをＦＬｌ＜
ＦＳ＜ＦＨＩの範囲に設定しても問題はない。
ＦＳ＜ＦＨＩの範囲に設定しても問題はない。
以上の実施例の構成において、位相差検出器３が位相差
検出手段を、基準位相差設定器４１が基準位相差設定手
段を、誤差増幅器４２が制御手段を、ＶＣＯ４５が周波
信号発生手段を、周波数弁別器４６およびマルチプレク
サ４７が下限周波数制御手段および上限周波数制御手段
をそれぞれ構成する。
検出手段を、基準位相差設定器４１が基準位相差設定手
段を、誤差増幅器４２が制御手段を、ＶＣＯ４５が周波
信号発生手段を、周波数弁別器４６およびマルチプレク
サ４７が下限周波数制御手段および上限周波数制御手段
をそれぞれ構成する。
Ｇ０発明の詳細
な説明したように本発明によれば、ＶＣＯの出力周波数
範囲が超音波モータの通常の駆動周波数範囲を含む所定
の範囲となるように、その下限周波数、または上限周波
数、あるいは上下限周波数を制御するようにしたので、
起動時または駆動中に何らかの原因で位相差が変化して
も、超音波モータの駆動周波数が通常の駆動周波数範囲
から大きく逸脱することがなく、基準位相差に対する駆
動時の位相差の制御精度と制御応答性を確保しつつ、超
音波モータを安定に駆動することができる。
範囲が超音波モータの通常の駆動周波数範囲を含む所定
の範囲となるように、その下限周波数、または上限周波
数、あるいは上下限周波数を制御するようにしたので、
起動時または駆動中に何らかの原因で位相差が変化して
も、超音波モータの駆動周波数が通常の駆動周波数範囲
から大きく逸脱することがなく、基準位相差に対する駆
動時の位相差の制御精度と制御応答性を確保しつつ、超
音波モータを安定に駆動することができる。
第１図はクレーム対応図である。
第２図は一実施例の全体構成を示すブロック図、第３図
はその変形例を示す駆動周波数設定器のブロック図、第
４図は従来の駆動装置の全体構成を示すブロック図、第
５図は位相差検出器の詳細を示すブロック図、第６図は
位相差検出器の入出力特性を示す図、第７図は超音波モ
ータの駆動周波数に対する駆動速度および位相差の特性
を示す図である。 ３：位相差検出器 ４０．４０Ａ：駆動周波数設定器 ４１：基準位相差設定器 ４２：誤差増幅器４５：ＶＣ
Ｏ４６：周波数弁別器 ４７．４７Ａ：マルチプレクサ ４８：起動周波数設定器
はその変形例を示す駆動周波数設定器のブロック図、第
４図は従来の駆動装置の全体構成を示すブロック図、第
５図は位相差検出器の詳細を示すブロック図、第６図は
位相差検出器の入出力特性を示す図、第７図は超音波モ
ータの駆動周波数に対する駆動速度および位相差の特性
を示す図である。 ３：位相差検出器 ４０．４０Ａ：駆動周波数設定器 ４１：基準位相差設定器 ４２：誤差増幅器４５：ＶＣ
Ｏ４６：周波数弁別器 ４７．４７Ａ：マルチプレクサ ４８：起動周波数設定器
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １）超音波モータの駆動電極に印加する高周波駆動電圧
波形と、弾性体の振動に応じた周波電圧を発生するモニ
タ電極の出力電圧波形との位相差であって、超音波モー
タの駆動周波数を変化させたときに振動特性を有する前
記位相差を検出する位相差検出手段と、 前記超音波モータの駆動力が最も大きくなる駆動周波数
を含む通常の駆動周波数範囲内の駆動周波数に対応した
基準位相差を設定する基準位相差設定手段と、 前記位相差検出手段により検出された前記位相差が、前
記基準位相差設定手段により設定された前記基準位相差
に一致するように制御する制御手段と、 前記制御手段の出力に応じた周波数の信号を発生して前
記超音波モータに印加する周波信号発生手段とを備えた
超音波モータの駆動装置において、前記通常の駆動周波
数範囲よりも低い側に駆動周波数を変化させたとき、前
記基準位相差設定手段により設定された位相差と同じ位
相差が得られる周波数よりも前記超音波モータの駆動周
波数が高くなるように、前記周波信号発生手段を制御す
る下限周波数制御手段を備えることを特徴とする超音波
モータの駆動装置。 ２）超音波モータの駆動電極に印加する高周波駆動電圧
波形と、弾性体の振動に応じた周波電圧を発生するモニ
タ電極の出力電圧波形との位相差であって、超音波モー
タの駆動周波数を変化させたときに振動特性を有する前
記位相差を検出する位相差検出手段と、 前記超音波モータの駆動力が最も大きくなる駆動周波数
を含む通常の駆動周波数範囲内の駆動周波数に対応した
基準位相差を設定する基準位相差設定手段と、 前記位相差検出手段により検出された前記位相差が、前
記基準位相差設定手段により設定された前記基準位相差
に一致するように制御する制御手段と、 前記制御手段の出力に応じた周波数の信号を発生して前
記超音波モータに印加する周波信号発生手段とを備えた
超音波モータの駆動装置において、前記通常の駆動周波
数範囲よりも高い側に駆動周波数を変化させたとき、前
記基準位相差設定手段により設定された位相差と同じ位
相差が得られる周波数よりも前記超音波モータの駆動周
波数が低くなるように、前記周波信号発生手段を制御す
る上限周波数制御手段を備えることを特徴とする超音波
モータの駆動装置。 ３）請求項１に記載の超音波モータの駆動装置において
、 前記通常の駆動周波数範囲よりも高い側に駆動周波数を
変化させたとき、前記基準位相差設定手段により設定さ
れた位相差と同じ位相差が得られる周波数よりも前記超
音波モータの駆動周波数が低くなるように、前記周波信
号発生手段を制御する上限周波数制御手段を備えること
を特徴とする超音波モータの駆動装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2332136A JPH04200282A (ja) | 1990-11-29 | 1990-11-29 | 超音波モータの駆動装置 |
| US08/203,510 US5508579A (en) | 1990-11-29 | 1994-02-28 | Ultrasonic motor driving device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2332136A JPH04200282A (ja) | 1990-11-29 | 1990-11-29 | 超音波モータの駆動装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04200282A true JPH04200282A (ja) | 1992-07-21 |
Family
ID=18251547
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2332136A Pending JPH04200282A (ja) | 1990-11-29 | 1990-11-29 | 超音波モータの駆動装置 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5508579A (ja) |
| JP (1) | JPH04200282A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2013129609A1 (ja) * | 2012-02-28 | 2013-09-06 | 株式会社ニコン | 駆動装置、駆動方法及び光学機器 |
| JP2013178396A (ja) * | 2012-02-28 | 2013-09-09 | Nikon Corp | カメラ |
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