KR20220007048A - 렌즈 구동 장치, 카메라 모듈, 및 카메라 탑재 장치 - Google Patents

Abstract

외부 자기의 영향을 저감시킬 수 있음과 함께, 소형화 및 저배화를 도모할 수 있는 렌즈 구동 장치, 카메라 모듈 및 카메라 탑재 장치를 제공한다.
렌즈 구동 장치는, 제1 고정부와, 제1 고정부와 이간하여 배치되는 제1 가동부와, 제1 고정부에 대하여 제1 가동부를 지지하는 제1 지지부와, 제1 고정부에 배치되고, 제1 고정부에 대하여 제1 가동부를 광축 방향으로 이동시키는 Z방향 구동부를 구비한다. Z방향 구동부는, 압전 소자 및 공진부를 갖고, 진동 운동을 직선 운동으로 변환하는 초음파 모터로 구성된다. 공진부는, 압전 소자에 협지되는 몸통부와, 몸통부로부터 동일한 방향으로 뻗어 있는 제1 및 제2의 암부를 갖고, 제1 및 제2의 암부는, 압전 소자의 진동에 공진하여 변형되며, 제1 암부만이, 제1 가동부에 맞닿아 있다.

Description

렌즈 구동 장치, 카메라 모듈, 및 카메라 탑재 장치

본 발명은, 렌즈 구동 장치, 카메라 모듈, 및 카메라 탑재 장치에 관한 것이다.

일반적으로, 스마트폰 등의 휴대 단말에는, 소형의 카메라 모듈이 탑재되어 있다. 이와 같은 카메라 모듈에는, 피사체를 촬영할 때의 초점 맞춤을 자동적으로 행하는 오토 포커스 기능(이하 「AF 기능」이라고 칭한다, AF: Auto Focus) 및 촬영 시에 발생하는 흔들림(진동)을 광학적으로 보정하여 화상의 흐트러짐을 경감시키는 흔들림 보정 기능(이하 「OIS 기능」이라고 칭한다, OIS: Optical Image Stabilization)을 갖는 렌즈 구동 장치가 적용된다(예를 들면, 특허문헌 1).

AF 기능 및 OIS 기능을 갖는 렌즈 구동 장치는, 렌즈부를 광축 방향으로 이동시키기 위한 오토 포커스 구동부(이하 「AF 구동부」라고 칭한다)와, 렌즈부를 광축 방향에 직교하는 평면 내에서 요동(搖動)시키기 위한 흔들림 보정 구동부(이하 「OIS 구동부」라고 칭한다)를 구비한다. 특허문헌 1에서는, AF 구동부 및 OIS 구동부에, 보이스 코일 모터(VCM)가 적용되어 있다.

또, 최근에는, 복수(전형적으로는 2개)의 렌즈 구동 장치를 갖는 카메라 모듈의 실용화가 진행되고 있다(이른바 듀얼 카메라). 듀얼 카메라는, 초점 거리가 상이한 2매의 화상을 동시에 촬상할 수 있거나, 정지 화상과 동영상을 동시에 촬상할 수 있거나 하는 등, 이용 신에 따라 다양한 가능성을 갖고 있다.

특허문헌 1: 일본 공개특허공보 2013-210550호 특허문헌 2: 국제 공개공보 제2015/123787호

그러나, 특허문헌 1과 같이, VCM을 이용한 렌즈 구동 장치는, 외부 자기의 영향을 받기 때문에, 고정밀도의 동작이 손상될 우려가 있다. 특히, 렌즈 구동 장치가 병치(竝置)되는 듀얼 카메라에 있어서는, 렌즈 구동 장치 사이에서 자기 간섭이 발생할 가능성이 높다.

한편, 특허문헌 2에는, AF 구동부 및 OIS 구동부에 초음파 모터를 적용한 렌즈 구동 장치가 개시되어 있다. 특허문헌 2에 개시된 렌즈 구동 장치는, 마그넷리스이기 때문에 외부 자기의 영향을 저감시킬 수 있지만, 구조가 복잡하여, 소형화 및 저배화(低背化)를 도모하는 것이 곤란하다.

본 발명의 목적은, 외부 자기의 영향을 저감시킬 수 있음과 함께, 소형화 및 저배화를 도모할 수 있는 렌즈 구동 장치, 카메라 모듈 및 카메라 탑재 장치를 제공하는 것이다.

본 발명에 관한 렌즈 구동 장치는,

제1 고정부와,

상기 제1 고정부와 이간하여 배치되는 제1 가동부와,

상기 제1 고정부에 대하여 상기 제1 가동부를 지지하는 제1 지지부와,

상기 제1 고정부에 배치되고, 상기 제1 고정부에 대하여 상기 제1 가동부를 광축 방향(Z방향)으로 이동시키는 Z방향 구동부를 구비하는 렌즈 구동 장치로서,

상기 Z방향 구동부는, 압전 소자 및 공진부를 가지며, 진동 운동을 직선 운동으로 변환하는 초음파 모터로 구성되고,

상기 공진부는, 상기 압전 소자가 배치되는 몸통부와, 상기 몸통부로부터 동일한 방향으로 뻗어 있는 제1 및 제2의 암부를 가지며,

상기 제1 및 제2의 암부는, 상기 압전 소자의 진동에 공진하여 변형되고,

상기 제1 암부만이, 상기 가동부에 맞닿아 있다.

본 발명에 관한 카메라 모듈은,

상기의 렌즈 구동 장치와,

상기 제1 가동부에 장착되는 렌즈부와,

상기 렌즈부에 의하여 결상된 피사체상(像)을 촬상하는 촬상부를 구비한다.

본 발명에 관한 카메라 탑재 장치는,

정보 기기 또는 수송 기기인 카메라 탑재 장치로서,

상기의 카메라 모듈과,

상기 카메라 모듈에서 얻어진 화상 정보를 처리하는 화상 처리부를 구비한다.

본 발명에 의하면, 외부 자기의 영향을 저감시킬 수 있음과 함께, 소형화 및 저배화를 도모할 수 있는 렌즈 구동 장치, 카메라 모듈 및 카메라 탑재 장치를 제공할 수 있다.

도 1에 있어서 도 1a, 도 1b는, 본 발명의 일 실시형태에 관한 카메라 모듈을 탑재하는 스마트폰을 나타내는 도이다.
도 2는, 카메라 모듈의 외관 사시도이다.
도 3에 있어서, 도 3a, 도 3b는, 제1 실시형태에 관한 렌즈 구동 장치의 외관 사시도이다.
도 4는, 제1 실시형태에 관한 렌즈 구동 장치의 분해 사시도이다.
도 5는, 제1 실시형태에 관한 렌즈 구동 장치의 분해 사시도이다.
도 6에 있어서, 도 6a, 도 6b는, OIS 구동부의 사시도이다.
도 7은, 제1 실시형태에 관한 OIS 가동부의 분해 사시도이다.
도 8은, 제1 실시형태에 관한 OIS 가동부의 분해 사시도이다.
도 9는, 제1 실시형태에 관한 OIS 가동부의 분해 사시도이다.
도 10에 있어서, 도 10a, 도 10b는, 제1 실시형태에 관한 AF 구동부의 사시도이다.
도 11에 있어서, 도 11a, 도 11b는, 제1 실시형태에 관한 제1 스테이지, AF 구동부 및 AF 지지부를 조립한 상태를 나타내는 도이다.
도 12에 있어서, 도 12a, 도 12b는, 제2 실시형태에 관한 렌즈 구동 장치의 외관 사시도이다.
도 13은, 제2 실시형태에 관한 OIS 가동부의 분해 사시도이다.
도 14는, 제2 실시형태에 관한 OIS 가동부의 분해 사시도이다.
도 15는, 제2 실시형태에 관한 OIS 가동부의 분해 사시도이다.
도 16에 있어서, 도 16a, 도 16b는, 제2 실시형태에 관한 제1 스테이지, AF 구동부 및 AF 지지부를 조립한 상태를 나타내는 도이다.
도 17은, 진동 구동용의 구동 유닛의 도이다.
도 18에 있어서, 도 18a, 도 18b는, 진동 구동용의 구동 유닛의 도이다.
도 19는, 진동 구동용의 구동 유닛의 도이다.
도 20은, 구동 펄스의 형상을 조정했을 때의 구동 신호 및 그 결과 발생하는 진동 진폭의 도이다.
도 21은, 구동 펄스의 존재를 조정했을 때의 구동 신호 및 그 결과 발생하는 진동 진폭의 도이다.
도 22는, 펄스 듀티 사이클에 대한 구동 속도의 의존 관계를 나타내는 도이다.
도 23은, 여기 주파수에 대한 구동 속도의 의존 관계를 나타내는 도이다.
도 24는, 구동 유닛의 구동 방법을 나타내는 플로도이다.
도 25에 있어서, 도 25a, 도 25b는, 차재용 카메라 모듈을 탑재하는 카메라 탑재 장치로서의 자동차를 나타내는 도이다.

이하, 본 발명의 실시형태를 도면에 근거하여 상세하게 설명한다.

[제1 실시형태]

도 1a, 도 1b는, 본 발명의 일 실시형태에 관한 카메라 모듈(A)을 탑재하는 스마트폰(M)(카메라 탑재 장치의 일례)을 나타내는 도이다. 도 1a는 스마트폰(M)의 정면도이며, 도 1b는 스마트폰(M)의 배면도이다.

스마트폰(M)은, 2개의 배면 카메라(OC1, OC2)로 이루어지는 듀얼 카메라를 갖는다. 본 실시형태에서는, 배면 카메라(OC1, OC2)에, 카메라 모듈(A)이 적용되어 있다.

카메라 모듈(A)은, AF 기능 및 OIS 기능을 구비하고, 피사체를 촬영할 때의 초점 맞춤을 자동적으로 행함과 함께, 촬영 시에 발생하는 흔들림(진동)을 광학적으로 보정하여 상 흔들림이 없는 화상을 촬영할 수 있다.

도 2는, 카메라 모듈(A)의 외관 사시도이다. 도 3a, 도 3b는, 제1 실시형태에 관한 렌즈 구동 장치(1)의 외관 사시도이다. 도 3b는, 도 3a를 Z축 둘레로 180° 회전한 상태를 나타낸다. 도 2, 도 3a 및 도 3b에 나타내는 바와 같이, 본 실시형태에서는, 직교 좌표계(X, Y, Z)를 사용하여 설명한다. 후술하는 도면에 있어서도 공통의 직교 좌표계(X, Y, Z)로 나타내고 있다.

카메라 모듈(A)은, 예를 들면, 스마트폰(M)으로 실제로 촬영이 행해지는 경우에, X방향이 상하 방향(또는 좌우 방향), Y방향이 좌우 방향(또는 상하 방향), Z방향이 전후 방향이 되도록 탑재된다. 즉, Z방향이 광축 방향이며, 도면 중 상측(+Z측)이 광축 방향 수광 측, 하측(-Z측)이 광축 방향 결상 측이다. 또, Z축에 직교하는 X방향 및 Y방향을 「광축 직교 방향」이라고 칭하고, XY면을 「광축 직교면」이라고 칭한다.

도 2, 도 3a 및 도 3b에 나타내는 바와 같이, 카메라 모듈(A)은, AF 기능 및 OIS 기능을 실현하는 렌즈 구동 장치(1), 원통 형상의 렌즈 배럴에 렌즈가 수용되어 이루어지는 렌즈부(2), 렌즈부(2)에 의하여 결상된 피사체상을 촬상하는 촬상부(도시 생략), 및 전체를 덮는 커버(3) 등을 구비한다.

커버(3)는, 광축 방향에서 본 평면시(平面視)에서 직사각형상의 덮개가 있는 사각통체이다. 본 실시형태에서는, 커버(3)는, 평면시에서 정사각형상을 갖고 있다. 커버(3)는, 상면에 개략 원형의 개구(3a)를 갖는다. 렌즈부(2)는, 개구(3a)로부터 외부에 면하고, 광축 방향에 있어서의 이동에 따라, 커버(3)의 개구면보다 수광 측으로 돌출되도록 구성된다. 커버(3)는, 렌즈 구동 장치(1)의 OIS 고정부(20)의 베이스(21)(도 4 참조)에, 예를 들면, 접착에 의하여 고정된다.

촬상부(도시 생략)는, 렌즈 구동 장치(1)의 광축 방향 결상 측에 배치된다. 촬상부(도시 생략)는, 예를 들면, 이미지 센서 기판 및 이미지 센서 기판에 실장되는 촬상 소자를 갖는다. 촬상 소자는, 예를 들면, CCD(charge-coupled device)형 이미지 센서, CMOS(complementary metal oxide semiconductor)형 이미지 센서 등에 의하여 구성된다. 촬상 소자는, 렌즈부(2)에 의하여 결상된 피사체상을 촬상한다. 렌즈 구동 장치(1)는, 이미지 센서 기판(도시 생략)에 탑재되어, 기계적으로 또한 전기적으로 접속된다. 렌즈 구동 장치(1)의 구동 제어를 행하는 제어부는, 이미지 센서 기판에 마련되어도 되고, 카메라 모듈(A)이 탑재되는 카메라 탑재 기기(본 실시형태에서는, 스마트폰(M))에 마련되어도 된다.

도 4, 도 5는, 제1 실시형태에 관한 렌즈 구동 장치(1)의 분해 사시도이다. 도 5는, 도 4를 Z축 둘레로 180° 회전한 상태를 나타낸다.

도 4, 도 5에 나타내는 바와 같이, 본 실시형태에 있어서, 렌즈 구동 장치(1)는, OIS 가동부(10)(제2 가동부), OIS 고정부(20)(제2 고정부), OIS 구동부(30)(XY방향 구동부) 및 OIS 지지부(40)(제2 지지부)를 구비한다. 또한, 도 5에서는, 배선(24)의 베이스(21)에 매설되어 있는 부분을 점선으로 나타내고 있다.

OIS 가동부(10)는, 흔들림 보정 시에 광축 직교면 내에서 요동하는 부분이다. OIS 가동부(10)는, AF 유닛, 제2 스테이지(13) 및 볼(42)을 포함한다. AF 유닛은, AF 가동부(11)(제1 가동부), 제1 스테이지(12)(제1 고정부), AF 구동부(14)(Z방향 구동부) 및 AF 지지부(15)(제1 지지부)를 갖는다(도 7~도 9 참조).

OIS 고정부(20)는, OIS 지지부(40)를 개재하여 OIS 가동부(10)가 접속되는 부분이다. OIS 고정부(20)는, 베이스(21)를 포함한다.

OIS 가동부(10)는, OIS 고정부(20)에 대하여 광축 방향으로 이간하여 배치되고, OIS 지지부(40)를 개재하여 OIS 고정부(20)와 연결된다. 또, OIS 가동부(10)와 OIS 고정부(20)는, 네 모서리에 마련된 OIS용 부세(付勢) 부재(50)에 의하여, 서로 가까워지는 방향으로 부세되어 있다.

또한, 본 실시형태에서는, Y방향의 이동에 관해서는, AF 유닛을 포함하는 OIS 가동부(10)의 전체가 가동체로서 이동한다. 한편, X방향의 이동에 관해서는, AF 유닛만이 가동체로서 이동한다. 즉, X방향의 이동에 관해서는, 제2 스테이지(13)는, 베이스(21)와 함께 OIS 고정부(20)를 구성하고, 볼(42)은 OIS 지지부(40)로서 기능한다.

베이스(21)는, 예를 들면, 폴리아릴레이트(PAR), PAR을 포함하는 복수의 수지 재료를 혼합한 PAR 알로이(예를 들면, PAR/PC), 또는 액정 폴리머로 이루어지는 성형 재료로 형성된, 평면시에서 직사각형상의 부재이며, 중앙에 원형의 개구(21a)를 갖는다.

베이스(21)는, 베이스(21)의 주면(主面)을 형성하는 제1 베이스부(21b), 및, 네 모서리 중 한 모서리에 형성된 제2 베이스부(21c)를 갖고, 제1 베이스부(21b)와 제2 베이스부(21c)의 사이는 오목하게 파여 형성되어 있다. 이 오목부에 센서 기판(22)이 배치되고, 제1 베이스부(21b), 제2 베이스부(21c) 및 센서 기판(22)에 의하여, 단차가 없는 한 면의 베이스면이 형성되어 있다.

베이스(21)는, 제2 베이스부(21c)의 대각(對角)에 위치하는 부분에, 제2 OIS 구동부(30Y)가 배치되는 OIS 모터 고정부(21d)를 갖는다. OIS 모터 고정부(21d)는, 제1 베이스부(21b)로부터 광축 방향 수광 측을 향하여 돌출되어 형성되고, 제2 OIS 구동부(30Y)를 지지 가능한 형상을 갖고 있다.

베이스(21)에는, 단자 금구(金具)(23) 및 배선(24)이, 예를 들면, 인서트 성형에 의하여 배치된다. 배선(24)은, AF 구동부(14) 및 OIS 구동부(30)로의 급전 라인을 포함한다. 배선(24)은, 베이스(21)의 네 모서리에 형성된 개구(21g)로부터 노출되어, OIS용 부세 부재(50)와 전기적으로 접속된다. AF 구동부(14) 및 제1 OIS 구동부(30X)로의 급전은, OIS용 부세 부재(50)를 통하여 행해진다. 단자 금구(23)는, 센서 기판(22)에 형성된 배선(도시 생략)과 전기적으로 접속된다.

또, 베이스(21)는, 볼(41)을 수용하는 볼 수용부(21e, 21f)를 갖는다. 제2 베이스부(21c)에 형성된 볼 수용부(21e)는, 원형상으로 오목하게 파여 형성되어 있으며, 제1 베이스부(21b)에 형성된 3개의 볼 수용부(21f)는, Y방향으로 뻗는 직사각형상으로 오목하게 파여 형성되어 있다. 볼 수용부(21f)의 측면은, 예를 들면, 바닥면 측을 향하여 홈폭이 좁아지도록 테이퍼 형상으로 형성된다.

센서 기판(22)은, 자기 센서(25X, 25Y)용의 급전 라인 및 신호 라인을 포함하는 배선(도시 생략)을 갖는다. 센서 기판(22)에는, 자기 센서(25X, 25Y)가 실장된다. 자기 센서(25X, 25Y)는, 예를 들면, 홀 소자 또는 TMR(Tunnel Magneto Resistance) 센서 등으로 구성되고, 센서 기판(22)에 형성된 배선(도시 생략)을 통하여, 단자 금구(23)와 전기적으로 접속된다. OIS 가동부(10)의 제1 스테이지(12)에 있어서, 자기 센서(25X, 25Y)에 대향하는 위치에는 마그넷(16X, 16Y)이 배치된다. 자기 센서(25X, 25Y) 및 마그넷(16X, 16Y)으로 이루어지는 위치 검출부에 의하여, OIS 가동부(10)의 X방향 및 Y방향의 위치가 검출된다. 또한, 마그넷(16X, 16Y)과 자기 센서(25X, 25Y) 대신에, 포토 리플렉터 등의 광센서에 의하여 OIS 가동부(10)의 X방향 및 Y방향의 위치를 검출하도록 해도 된다.

OIS용 부세 부재(50)는, 예를 들면, 인장 코일 스프링으로 구성되고, OIS 가동부(10)와 OIS 고정부(20)를 연결한다. 본 실시형태에서는, OIS용 부세 부재(50)의 일단은, 베이스(21)의 배선(24)에 접속되고, 타단은, 제1 스테이지(12)의 배선(17)에 접속되어 있다. OIS용 부세 부재(50)는, OIS 가동부(10)와 OIS 고정부(20)를 연결했을 때의 인장 하중을 받아, OIS 가동부(10)와 OIS 고정부(20)가 서로 가까워지도록 작용한다. 즉, OIS 가동부(10)는, OIS용 부세 부재(50)에 의하여, 광축 방향으로 부세된 상태(베이스(21)에 눌린 상태)에서, XY면 내에서 요동 가능하게 지지되어 있다. 이로써, OIS 가동부(10)를 덜컹거림이 없는 안정된 상태로 지지할 수 있다.

또, 본 실시형태에서는, OIS용 부세 부재(50)는, AF 구동부(14) 및 제1 OIS 구동부(30X)로의 급전 라인으로서 기능한다.

OIS 지지부(40)는, OIS 고정부(20)에 대하여, OIS 가동부(10)를 광축 방향으로 이간한 상태로 지지한다. 본 실시형태에서는, OIS 지지부(40)는, OIS 가동부(10)(제1 스테이지(12) 및 제2 스테이지(13))와 베이스(21)의 사이에 개재되는 4개의 볼(41)을 포함한다. 베이스(21)의 볼 수용부(21e)에 배치되는 1개의 볼(41)은, 베이스(21)와 제1 스테이지(12)의 사이에 개재되고, 볼 수용부(21f)에 배치되는 3개의 볼(41)은, 베이스(21)와 제2 스테이지(13)의 사이에 개재된다.

또, OIS 지지부(40)는, OIS 가동부(10)에 있어서, 제1 스테이지(12)와 제2 스테이지(13)의 사이에 개재되는 3개의 볼(42)을 포함한다(도 7 등 참조).

본 실시형태에서는, OIS 지지부(40)를 구성하는 볼(41, 42)(합계 7개)의 전동(轉動) 가능한 방향을 규제함으로써, OIS 가동부(10)를 XY면 내에서 양호한 정밀도로 요동할 수 있도록 되어 있다. 또한, OIS 지지부(40)를 구성하는 볼(41, 42)의 수는, 적절히 변경할 수 있다.

OIS 구동부(30)는, OIS 가동부(10)를 X방향 및 Y방향으로 이동시키는 액추에이터이다. 구체적으로는, OIS 구동부(30)는, OIS 가동부(10)(AF 유닛만)를 X방향으로 이동시키는 제1 OIS 구동부(30X)(제1 XY방향 구동부)와, OIS 가동부(10) 전체를 Y방향으로 이동시키는 제2 OIS 구동부(30Y)(제2 XY방향 구동부)로 구성된다.

제1 및 제2의 OIS 구동부(30X, 30Y)는, 초음파 모터로 구성된다. 제1 OIS 구동부(30X)는, X방향을 따라 뻗어 있도록, 제1 스테이지(12)의 OIS 모터 고정부(12f)에 고정된다. 제2 OIS 구동부(30Y)는, Y방향을 따라 뻗어 있도록, 베이스(21)의 OIS 모터 고정부(21d)에 고정된다. 즉, 제1 OIS 구동부(30X) 및 제2 OIS 구동부(30Y)는, 서로 직교하는 변을 따라 배치되어 있다.

OIS 구동부(30)의 구성을 도 6a, 도 6b에 나타낸다. 도 6a는, OIS 구동부(30)의 각 부재를 조립한 상태를 나타내고, 도 6b는, OIS 구동부(30)의 각 부재를 분해한 상태를 나타낸다. 또한, 도 6a, 도 6b는, 제2 OIS 구동부(30Y)를 나타내고 있지만, 제1 OIS 구동부(30X)의 주요 구성, 구체적으로는 OIS 공진부(31) 및 전극(33)의 형상을 제외하는 구성은 동일하므로, OIS 구동부(30)를 나타내는 도로서 취급한다.

도 6a, 도 6b에 나타내는 바와 같이, OIS 구동부(30)는, OIS 공진부(31), OIS 압전 소자(32) 및 OIS 전극(33)을 갖는다. OIS 구동부(30)의 구동력은, OIS 동력 전달부(34)를 통하여 제2 스테이지(13)에 전달된다. 구체적으로는, 제1 OIS 구동부(30X)는 제1 OIS 동력 전달부(34X)에 접속되고, 제2 OIS 구동부(30Y)는 제2 OIS 동력 전달부(34Y)에 접속되어 있다.

OIS 압전 소자(32)는, 예를 들면, 세라믹 재료로 형성된 판형상 소자이며, 고주파 전압을 인가함으로써 진동을 발생한다.

OIS 전극(33)은, OIS 공진부(31) 및 OIS 압전 소자(32)를 협지하고, OIS 압전 소자(32)에 전압을 인가한다. 제1 OIS 구동부(30X)의 OIS 전극(33)은, 급전 플레이트(18)와 전기적으로 접속되고, 제2 OIS 구동부(30Y)의 OIS 전극(33)은, 베이스(21)의 배선(24)과 전기적으로 접속된다.

OIS 공진부(31)는, 도전성 재료로 형성되고, OIS 압전 소자(32)의 진동에 공진하여, 진동 운동을 직선 운동으로 변환한다. 본 실시형태에서는, OIS 공진부(31)는, OIS 압전 소자(32)에 협지되는 대략 직사각형상의 몸통부(31a), 몸통부(31a)의 상부 및 하부로부터 뻗어 있는 2개의 암부(31b), 몸통부(31a)의 중앙부로부터 Y방향으로 뻗어 있는 돌출부(31c), 및, 몸통부(31a)의 중앙부로부터 돌출부(31c)와는 반대 측으로 뻗어 있는 통전부(31d)를 갖고 있다. 2개의 암부(31b)는 대칭적인 형상을 갖고, 각각의 자유 단부가 OIS 동력 전달부(34)에 맞닿아, OIS 압전 소자(32)의 진동에 공진하여 대칭적으로 변형된다. 제1 OIS 구동부(30X)의 통전부(31d)는, 제1 스테이지(12)의 배선(17)과 전기적으로 접속되고, 제2 OIS 구동부(30Y)의 통전부(31d)는, 베이스(21)의 배선(24)과 전기적으로 접속된다.

OIS 공진부(31)의 몸통부(31a)에, 두께 방향으로부터 OIS 압전 소자(32)가 첩합되고, OIS 전극(33)에 의하여 협지됨으로써, 이들은 서로 전기적으로 접속된다. 예를 들면, 급전 경로의 일방이 OIS 전극(33)에 접속되고, 타방이 OIS 공진부(31)의 통전부(31d)에 접속됨으로써, OIS 압전 소자(32)에 전압이 인가되어, 진동이 발생한다.

OIS 공진부(31)는, 적어도 2개의 공진 주파수를 갖고, 각각의 공진 주파수에 대하여, 상이한 거동으로 변형된다. 바꾸어 말하면, OIS 공진부(31)는, 2개의 공진 주파수에 대하여 상이한 거동으로 변형되도록, 전체의 형상이 설정되어 있다. 상이한 거동이란, OIS 동력 전달부(34)를 X방향 또는 Y방향으로 전진시키는 거동과, 후퇴시키는 거동이다.

OIS 동력 전달부(34)는, 일방향으로 뻗어 있는 처킹 가이드이며, 일단이 OIS 구동부(30)에 접속되고, 타단이 제2 스테이지(13)에 접속된다. OIS 동력 전달부(34)는, OIS 모터 맞닿음부(34a), 스테이지 고정부(34c), 및 연결부(34b)를 갖는다. OIS 모터 맞닿음부(34a)는, 단면 대략 U자 형상으로 형성되고, OIS 공진부(31)의 암부(31b)의 자유 단부와 맞닿는다. 스테이지 고정부(34c)는, OIS 동력 전달부(34)의 단부에 배치되고, 제2 스테이지(13)의 OIS 처킹 가이드 고정부(13c)(도 8 등 참조)에 고정된다. 연결부(34b)는, OIS 모터 맞닿음부(34a)와 스테이지 고정부(34c)를 연결하는 부분이며, 스테이지 고정부(34c)로부터 2개로 분기하여 서로 평행하게 형성되어 있다.

OIS 모터 맞닿음부(34a) 사이의 폭은, OIS 공진부(31)의 암부(31b)의 자유 단부 사이의 폭보다 넓게 설정된다. 이로써, OIS 구동부(30)에 OIS 동력 전달부(34)를 장착했을 때에, OIS 동력 전달부(34)가 판 스프링으로서 기능하여, OIS 공진부(31)의 암부(31b)를 눌러 펴는 방향으로 부세력이 작용한다. 이 부세력에 의하여, OIS 공진부(31)의 암부(31b)의 자유 단부 사이에 OIS 동력 전달부(34)가 지지되고, OIS 공진부(31)로부터의 구동력이 OIS 동력 전달부(34)에 효율적으로 전달된다.

OIS 구동부(30)와 OIS 동력 전달부(34)는, 부세된 상태로 맞닿아 있을 뿐이므로, 맞닿은 부분을 X방향 또는 Y방향으로 크게 하는 것만으로, 렌즈 구동 장치(1)의 외형을 크게 하지 않고, OIS 가동부(10)의 이동 거리(스트로크)를 길게 할 수 있다.

제1 OIS 구동부(30X)는, OIS 가동부(10)(제1 스테이지(12))에 고정되고, OIS 동력 전달부(34X)를 개재하여 제2 스테이지(13)와 접속되어 있으며, 제2 OIS 구동부(30Y)에 의한 Y방향의 흔들림 보정 시는, OIS 가동부(10)와 함께 이동한다. 한편, 제2 OIS 구동부(30Y)는, OIS 고정부(20)(베이스(21))에 고정되고, OIS 동력 전달부(34Y)를 개재하여 제2 스테이지(13)와 접속되어 있으며, 제1 OIS 구동부(30X)에 의한 X방향의 흔들림 보정에 영향을 받지 않는다. 즉, 일방의 OIS 구동부(30)에 의한 OIS 가동부(10)의 이동은, 타방의 OIS 구동부(30)의 구조에 의하여 방해받지 않는다. 따라서, OIS 가동부(10)의 Z축 둘레의 회전을 방지할 수 있어, OIS 가동부(10)를 XY평면 내에서 양호한 정밀도로 요동시킬 수 있다.

도 7~도 9는, OIS 가동부(10)의 분해 사시도이다. 도 8은, 도 7을 Z축 둘레로 180° 회전시킨 상태를 나타낸다. 도 9는, 도 7을 Z축 둘레로 90° 회전시킨 상태를 나타내는 하방 사면도이다.

도 7~도 9에 나타내는 바와 같이, 본 실시형태에 있어서, OIS 가동부(10)는, AF 가동부(11), 제1 스테이지(12), 제2 스테이지(13), AF 구동부(14) 및 AF 지지부(15) 등을 갖는다. Y방향의 이동에 관해서는, 제1 스테이지(12) 및 제2 스테이지(13)를 포함하는 OIS 가동부(10) 전체가 가동체가 되는 데 대하여, X방향의 이동에 관해서는, 제2 스테이지(13)는 OIS 고정부(20)로서 기능하고, AF 유닛만이 OIS 가동부(10)로서 기능한다. 또, 제1 스테이지(12)는, AF 고정부로서 기능한다.

AF 가동부(11)는, 초점 맞춤 시에 광축 방향으로 이동하는 부분이다. AF 가동부(11)는, 제1 스테이지(12)(AF 고정부)에 대하여 직경 방향으로 이간하여 배치되고, AF 지지부(15)를 개재하여 제1 스테이지(12)와 접속된다.

AF 가동부(11)는, 렌즈부(2)(도 2 참조)를 지지하는 렌즈 홀더(111) 및 AF용 부세 부재(112)를 갖는다.

렌즈 홀더(111)는, 예를 들면, 폴리아릴레이트(PAR), PAR을 포함하는 복수의 수지 재료를 혼합한 PAR 알로이, 액정 폴리머 등으로 형성된다. 렌즈 홀더(111)는, 통형상의 렌즈 수용부(111a)를 갖는다. 렌즈 수용부(111a)에는, 렌즈부(2)(도 2 참조)가, 예를 들면, 접착에 의하여 고정된다.

렌즈 홀더(111)는, 렌즈 수용부(111a)의 상부 외주 가장자리에, 상부 플랜지(111b)를 갖고, 하부 외주 가장자리에, 하부 플랜지(111c)를 갖는다. 본 실시형태에서는, 렌즈 구동 장치(1)의 네 모서리에 대응하는 위치에, 4개의 상부 플랜지(111b)가 마련되어 있으며, 대향하는 2개의 상부 플랜지(111b)의 하방에 하부 플랜지(111c)가 마련되어 있다. 상부 플랜지(111b)는, 렌즈 홀더(111)의 광축 방향 결상 측(하측)으로의 이동을 규제하는 규제부로서 기능하고, 하부 플랜지(111c)는, 렌즈 홀더(111)의 광축 방향 수광 측(상측)으로의 이동을 규제하는 규제부로서 기능한다.

또, 렌즈 홀더(111)는, 렌즈 수용부(111a)의 둘레면에, AF 지지부(15)를 수용하는 볼 수용부(111d)를 갖고 있다. 본 실시형태에서는, 볼 수용부(111d)는, 일방의 대각 방향(X방향과 Y방향의 중간 방향)에 관하여 선대칭인 2개소에, 타방의 대각 방향에 관하여 동일한 측(AF용 부세 부재(112)가 배치되어 있는 측과 반대 측)이 개구되도록 마련되어 있다.

AF용 부세 부재(112)는, 예를 들면, 타이타늄 구리, 니켈 구리, 스테인리스 등의 금속 재료로 형성되고, 렌즈 홀더(111)의 둘레 방향으로 뻗어 있도록 배치된다. 본 실시형태에서는, AF용 부세 부재(112)는, 예를 들면, 금속 판재를 굴곡 가공하여 형성되어 있으며, 서로 직교하는 방향으로 뻗어 있는 판 스프링부(112a) 및 판 스프링부(112a)를 연결하는 연결부(112b)를 갖고 있다. 판 스프링부(112a)는 연결부(112b)에 관하여 대칭적인 형상을 갖고, 판 스프링부(112a)의 단부(112c)는 대략 U자 형상으로 되접어 꺾여 형성되어 있다(이하, 「AF 모터 맞닿음부(112c)」라고 칭한다).

AF용 부세 부재(112)는, 렌즈 홀더(111)의 상부 플랜지(111b)와 하부 플랜지(111c) 사이에 끼워진 공간의 일방에, 연결부(112b)가 장착됨으로써, 렌즈 홀더(111)에 고정된다. 판 스프링부(112a)는, X방향 및 Y방향을 따라 뻗어 있게 된다.

제1 스테이지(12)는, AF 지지부(15)를 개재하여 AF 가동부(111)를 지지하는 부분이다. 제1 스테이지(12)의 광축 방향 결상 측에는, 볼(42)을 개재하여 제2 스테이지(13)가 배치된다. 제1 스테이지(12)는, 흔들림 보정 시에 X방향 및 Y방향으로 이동하고, 제2 스테이지(13)는, 흔들림 보정 시에 X방향으로만 이동한다.

제1 스테이지(12)는, 대략 직사각형 통형상의 부재이며, 예를 들면, 액정 폴리머로 형성된다. 제1 스테이지(12)는, 렌즈 홀더(111)에 대응하는 부분에 대략 원형상의 개구(12a)를 갖는다. 제1 스테이지(12)에 있어서, 제2 스테이지(13)에 대응하는 2개의 측벽은, 다른 측벽에 비교하여, 제2 스테이지의 두께분만큼 박육(薄肉)으로 형성되어 있다.

제1 스테이지(12)는, 하면에, 볼(42)을 수용하는 3개의 볼 수용부(12b)와, 볼(41)을 수용하는 볼 수용부(12c)를 갖는다. 볼 수용부(12b)는, X방향으로 뻗는 타원 형상으로 오목하게 파여 형성되어 있다. 또, 볼 수용부(12b)의 측면은, 바닥면 측을 향하여 홈폭이 좁아지도록 테이퍼 형상으로 형성되어 있다. 볼 수용부(12c)는, 원형상으로 오목하게 파여 형성되어 있다. 볼 수용부(12b)는, 제2 스테이지(13)의 볼 수용부(13a)와 Z방향에 있어서 대향하고, 볼 수용부(12c)는, 베이스(21)의 볼 수용부(21e)와 Z방향에 있어서 대향한다.

제1 스테이지(12)는, 하부의 네 모서리에 있어서 내측으로 돌출되는 플랜지부(12d)를 갖는다. 제1 스테이지(12)에 렌즈 홀더(111)를 장착했을 때, 플랜지부(12d)의 상방에 렌즈 홀더(111)의 상부 플랜지(111b)가 위치하고, 대각에 위치하는 2개의 플랜지부(12d)의 하방에 렌즈 홀더(111)의 하부 플랜지(111c)가 위치한다. 즉, 2개의 플랜지부(12d)는, 렌즈 홀더(111)의 상부 플랜지(111b) 및 하부 플랜지(111c)에 의하여, 렌즈 홀더(111)의 이동 가능 거리만큼 이간한 상태로 끼워진다.

제1 스테이지(12)는, X방향 및 Y방향을 따르는 일방의 측벽의 내측면에, AF 지지부(15)를 고정하기 위한 볼 고정부(12e)를 갖는다. 제1 스테이지(12)는, X방향을 따르는 일방의 외측면에, 제1 OIS 구동부(30X)를 고정하기 위한 OIS 모터 고정부(12f)를 갖는다. 제1 스테이지(12)에 있어서, Y방향을 따르는 일방의 측벽의 외측면은 내측으로 오목하게 파여 형성되어 있으며, 렌즈 구동 장치(1)를 조립했을 때에, 제2 OIS 구동부(30Y)가 위치한다.

또, 제1 스테이지(12)에 있어서, X방향 및 Y방향을 따르는 타방의 측벽의 내측면에는, AF 구동부(14A, 14B)가 배치되고, 당해 측벽의 하면에는, 자기 센서(25X, 25Y)와 Z방향에 있어서 대향하도록, XY위치 검지용의 마그넷(16X, 16Y)이 배치된다. 예를 들면, 마그넷(16X)은 X방향으로 착자(着磁)되고, 마그넷(16Y)은 Y방향으로 착자된다.

제1 스테이지(12)에는, 예를 들면, 인서트 성형에 의하여, 배선(17)이 매설된다. 배선(17)은, 제1 스테이지(12)의 네 모서리 외면의 노치 부분으로부터 노출되어 있으며, 이 부분에, OIS용 부세 부재(50)의 일단이 접속된다. 또, 제1 스테이지(12)의 상면에는, 배선(17)과 전기적으로 접속된 급전 플레이트(18)가 배치된다. 배선(17) 및 급전 플레이트(18)를 통하여, AF 구동부(14) 및 제1 OIS 구동부(30X)로의 급전이 행해진다.

제2 스테이지(13)는, L자 형상의 부재이며, 예를 들면, 액정 폴리머로 형성된다. 제2 스테이지(13)의 내주(內周)면은, 렌즈 홀더(111)의 외형을 따라 원호상으로 형성되어 있다. 제2 스테이지(13)의 Y방향을 따르는 측벽의 외측면은, 제1 스테이지(12)와 동일하게, 내측에 오목하게 파여 형성되어 있으며, 렌즈 구동 장치(1)를 조립했을 때에, 제2 OIS 구동부(30Y)가 위치한다. 본 실시형태에서는, 제2 스테이지(13)를 L자 형상으로 형성함과 함께, 제1 스테이지(12)에 있어서, 박육으로 형성된 2개의 측벽의 하방에 제2 스테이지(13)를 배치함으로써, OIS 가동부(10)의 저배화가 도모되어 있다.

제2 스테이지(13)는, 하면에, 볼(41)을 수용하는 3개의 볼 수용부(13a)를 갖는다. 볼 수용부(13a)는, 베이스(21)의 볼 수용부(21f)에 대향한다. 볼 수용부(13a)는, Y방향으로 뻗는 타원 형상으로 오목하게 파여 형성되어 있다. 또, 볼 수용부(13a)의 측면은, 바닥면 측을 향하여 홈폭이 좁아지도록 테이퍼 형상으로 형성되어 있다.

또, 제2 스테이지(13)는, 상면에, 볼(42)을 수용하는 3개의 볼 수용부(13b)를 갖는다. 볼 수용부(13b)는, 제1 스테이지(12)의 볼 수용부(12b)와 Z방향에 있어서 대향한다. 볼 수용부(13b)는, X방향으로 뻗는 타원 형상으로 오목하게 파여 형성되어 있다. 볼 수용부(12b)의 측면은, 바닥면 측을 향하여 홈폭이 좁아지도록 테이퍼 형상으로 형성되어 있다.

OIS 지지부(40)를 구성하는 3개의 볼(41)은, 베이스(21)의 볼 수용부(21f)와 제2 스테이지(13)의 볼 수용부(13a)에 의하여, 다점 접촉으로 협지된다. 따라서, 볼(41)은, 안정적으로 X방향으로 전동한다.

또, 볼(42)은, 제2 스테이지(13)의 볼 수용부(13b)와 제1 스테이지(12)의 볼 수용부(12b)에 의하여, 다점 접촉으로 협지된다. 따라서, 볼(42)은, 안정적으로 X방향으로 전동한다.

AF 지지부(15)는, 볼로 구성된다. 본 실시형태에서는, 3개의 볼이 Z방향으로 나란히 배치되어 있다. AF 지지부(15)는, 렌즈 홀더(111)의 볼 수용부(111d)와 제1 스테이지(12)의 볼 고정부(12e)의 사이에, 전동 가능한 상태로 개재된다.

AF 구동부(14)는, AF 가동부(11)를 Z방향으로 이동시키는 액추에이터이다. AF 구동부(14)는, 제1 AF 구동부(14A)(제1 Z방향 구동부) 및 제2 AF 구동부(14B)(제2 Z방향 구동부)로 구성된다. AF 구동부(14)는, OIS 구동부(30)와 동일하게, 초음파 모터로 구성되어 있다. 제1 AF 구동부(14A) 및 제2 AF 구동부(14B)는, 각각, X방향 및 Y방향을 따르도록, 제1 스테이지(12)의 내주면에 고정된다.

AF 구동부(14)의 구성을 도 10a, 도 10b에 나타낸다. 도 10A는, AF 구동부(14)의 각 부재를 조립한 상태를 나타내고, 도 10b는, AF 구동부(14)의 각 부재를 분해한 상태를 나타낸다. 또한, 도 10a, 도 10b는, 제2 AF 구동부(14B)를 나타내고 있지만, 제1 AF 구동부(14A)의 주요 구성, 구체적으로는 전극(143)의 형상을 제외하는 구성은 동일하므로, AF 구동부(14)를 나타내는 도로서 취급한다. AF 구동부(14)의 구성은, OIS 구동부(30)와 대략 동일하다.

도 10a, 도 10b에 나타내는 바와 같이, AF 구동부(14)는, AF 공진부(141), AF 압전 소자(142) 및 AF 전극(143)을 갖는다. AF 구동부(14)의 구동력은, AF용 부세 부재(112)를 통하여 렌즈 홀더(111)에 전달된다.

AF 압전 소자(142)는, 예를 들면, 세라믹 재료로 형성된 판형상 소자이며, 고주파 전압을 인가함으로써 진동을 발생한다. AF 공진부(141)의 몸통부(141a)를 사이에 끼워 넣도록, 2매의 AF 압전 소자(142)가 배치된다.

AF 전극(143)은, AF 공진부(141) 및 AF 압전 소자(142)를 협지하고, AF 압전 소자(142)에 전압을 인가한다.

AF 공진부(141)는, 도전성 재료로 형성되고, AF 압전 소자(142)의 진동에 공진하여, 진동 운동을 직선 운동으로 변환한다. 본 실시형태에서는, AF 공진부(141)는, AF 압전 소자(142)에 협지되는 대략 직사각형상의 몸통부(141a), 몸통부(141a)의 상부 및 하부로부터 X방향 또는 Y방향으로 뻗어 있는 2개의 암부(141b), 몸통부(141a)의 중앙부로부터 X방향 또는 Y방향으로 뻗어 있는 돌출부(141c), 및, 몸통부(141a)의 중앙부로부터 돌출부(141c)와는 반대 측으로 뻗어 있고 급전 경로(제1 스테이지(12)의 배선(17))와 전기적으로 접속되는 통전부(141d)를 갖고 있다. 2개의 암부(141b)는 자유 단부를 제외하고 대칭적인 형상을 가지며, AF 압전 소자(142)의 진동에 공진하여 대칭적으로 변형된다. 2개의 암부(141b)의 자유 단부는, 일방의 자유 단부만이 AF용 부세 부재(112)에 맞닿도록, 서로 상이한 형상을 갖는다. 또한, AF용 부세 부재(112)의 형상을 연구하는 등 하여, 일방의 자유 단부만이 AF용 부세 부재(112)에 맞닿도록 구성할 수 있으면, 2개의 암부(141b)의 자유 단부가 대칭적인 형상을 갖고 있어도 된다.

AF 공진부(141)의 몸통부(141a)에, 두께 방향으로부터 AF 압전 소자(142)가 첩합되고, AF 전극(143)에 의하여 협지됨으로써, 이들은 서로 전기적으로 접속된다. 급전 플레이트(18)가 AF 전극(143)에 접속되고, 제1 스테이지(12)의 배선(17)이 AF 공진부(141)의 통전부(141d)에 접속됨으로써, AF 압전 소자(142)에 전압이 인가되어, 진동이 발생한다.

AF 공진부(141)는, OIS 공진부(31)와 동일하게, 적어도 2개의 공진 주파수를 갖고, 각각의 공진 주파수에 대하여, 상이한 거동으로 변형된다. 바꾸어 말하면, AF 공진부(141)는, 2개의 공진 주파수에 대하여 상이한 거동으로 변형되도록, 전체의 형상이 설정되어 있다.

제1 AF 구동부(14A) 및 제2 AF 구동부(14B)는, 각각, X방향 및 Y방향을 따르도록, 제1 스테이지(12)의 내주면에 고정된다. 본 실시형태에서는, 제1 AF 구동부(14A) 및 제2 AF 구동부(14B)의 2개의 암부(141b) 중 일방(예를 들면, 하측에 위치하는 암부(141b))의 선단을, AF용 부세 부재(112)에 맞닿게 하고, AF 가동부(11)를 Z방향으로 이동시키도록 되어 있다. AF용 부세 부재(112)에 맞닿는 암부(141b)를 「제1 암부(141b)」, AF용 부세 부재(112)에 맞닿지 않는 암부(141b)를 「제2 암부(141b)」라고 칭한다. 또한, AF 공진부(141)의 상하 2개의 암부(141b)의 선단을 양방 모두 AF용 부세 부재(112)에 맞닿게 하면, 2개의 암부(141b)는 대칭적으로 동작하므로, 슬립하여 AF 가동부(11)를 Z방향으로 이동시킬 수 없다.

본 실시형태에서는, AF 구동부(14)는, 제1 암부(141b)만을 AF 가동부(11)(AF용 부세 부재(112))에 맞닿게 하고 Z방향으로 이동시키기 때문에, OIS 구동부(30)와 같이 2개의 암부(31b)를 이용하여 구동력을 전달하는 경우에 비교하여, 전달되는 구동력은 반감한다. 따라서, AF 구동부(14)를 2개 마련함으로써, 광축 방향으로의 이동을 위한 구동력이 확보되어 있다.

AF 유닛을 조립하여, AF 구동부(14)를 AF용 부세 부재(112)에 맞닿게 했을 때에, AF용 부세 부재(112)가 판 스프링으로서 기능하고, AF 가동부(11)(렌즈 홀더(111))는 AF 지지부(15)를 개재하여 제1 스테이지(12)(AF 고정부)로 부세되도록 되어 있다(도 11a, 도 11b참조).

구체적으로는, 제1 및 제2의 AF 구동부(14A, 14B)의 제1 암부(141b)가 AF용 부세 부재(112)의 양단부에 맞닿음으로써, 렌즈 홀더(111)가 제1 스테이지(AF 고정부)에 대하여, 광축 직교면 내에서 일방향으로 부세되어 있다. 실시형태에서는, 렌즈 홀더(111)는, AF용 부세 부재(112)에 의하여 눌리고, 제1 스테이지(AF 고정부)에 대하여, X방향 및 Y방향의 중간 방향으로 부세되어 있다.

이 부세력에 의하여, AF 공진부(141)의 암부(141b)의 선단에 AF용 부세 부재(112)가 눌리고, AF 공진부(141)로부터의 구동력이 AF용 부세 부재(112)에 효율적으로 전달된다. 또, AF용 부세 부재(112)가, AF 구동부(14)의 구동력을 전달하는 기능과, AF 가동부(11)를 제1 스테이지(12)에 대하여 부세하는 기능을 겸용하고 있으므로, 부품 구성이 간소화된다.

또, AF 지지부(15)는, 제1 및 제2의 AF 구동부(14A, 14B)에 대응하여 2개소에 마련되어 있다. 2개소에 마련된 AF 지지부(15)를 개재하여, AF 가동부(11)가 제1 스테이지(12)를 향하여 부세되므로, AF 가동부(11)는 안정된 자세로 지지된다.

AF 구동부(14)와 AF용 부세 부재(112)는, 부세된 상태로 맞닿아 있을 뿐이므로, 맞닿음 부분을 Z방향으로 크게 하는 것만으로, 렌즈 구동 장치(1)의 저배화를 저해하지 않고, AF 가동부(11)의 이동 거리(스트로크)를 용이하게 길게 할 수 있다. 단, AF 가동부(11)의 이동 거리는, AF 가동부(11)의 이동에 관여하지 않는 AF 공진부(141)의 타방의 암부(141b)(예를 들면, 상측에 위치하는 암부(141b))에 AF용 부세 부재(112)가 맞닿지 않을 정도로 제한된다.

또, AF 공진부(141)의 제1 암부(141b)는, 금속 성형품인 AF용 부세 부재(112)에 맞닿아 있다. 이로써, 제1 암부(141b)가 수지 성형품인 렌즈 홀더(111)에 맞닿는 경우에 비교하여, AF 구동부(14)의 구동력을 효율적으로 전달할 수 있다.

렌즈 구동 장치(1)에 있어서, AF 구동부(14)에 전압을 인가하면, AF 압전 소자(142)가 진동하고, AF 공진부(141)가 주파수에 따른 거동으로 변형된다. 이때, 제1 AF 구동부(14A)와 제2 AF 구동부(14B)가 동일한 거동을 나타내도록, 전압이 인가된다. AF 구동부(14)의 구동력에 의하여, AF용 부세 부재(112)가 Z방향으로 슬라이딩된다. 이에 따라, AF 가동부(11)가 Z방향으로 이동하여, 초점 맞춤이 행해진다. AF 지지부(15)가 볼로 구성되어 있으므로, AF 가동부(11)는 Z방향으로 매끄럽게 이동할 수 있다.

렌즈 구동 장치(1)에 있어서, OIS 구동부(30)에 전압을 인가하면, OIS 압전 소자(32)가 진동하고, OIS 공진부(31)가 주파수에 따른 거동으로 변형된다. OIS 구동부(30)의 구동력에 의하여, OIS 동력 전달부(34)가 X방향 또는 Y방향으로 슬라이딩된다. 이에 따라, OIS 가동부(10)가 X방향 또는 Y방향으로 이동하여, 흔들림 보정이 행해진다. OIS 지지부(40)가 볼로 구성되어 있으므로, OIS 가동부(10)는 X방향 또는 Y방향으로 매끄럽게 이동할 수 있다.

구체적으로는, 제1 OIS 구동부(30X)가 구동되어, OIS 동력 전달부(34)가 X방향으로 이동하는 경우, 제1 OIS 구동부(30X)가 배치되어 있는 제1 스테이지(12)로부터 제2 스테이지(13)로 동력이 전달된다. 이때, 제2 스테이지(13)와 베이스(21)로 협지되어 있는 볼(41)(볼 수용부(21f)에 수용되어 있는 3개)은, X방향으로 전동할 수 없으므로, 베이스(21)에 대한 제2 스테이지(13)의 X방향의 위치는 유지된다. 한편, 제1 스테이지(12)와 제2 스테이지(13)로 협지되어 있는 볼(42)은, X방향으로 전동할 수 있으므로, 제2 스테이지(13)에 대하여 제1 스테이지(12)가 X방향으로 이동한다. 즉, 제2 스테이지(13)가 OIS 고정부(20)를 구성하고, 제1 스테이지(12)가 OIS 가동부(10)를 구성한다.

또, 제2 OIS 구동부(30Y)가 구동되어, OIS 동력 전달부(34)가 Y방향으로 이동하는 경우, 제2 OIS 구동부(30Y)가 배치되어 있는 베이스(21)로부터 제2 스테이지(13)로 동력이 전달된다. 이때, 제1 스테이지(12)와 제2 스테이지(13)로 협지되어 있는 볼(42)은, Y방향으로 전동할 수 없으므로, 제2 스테이지에 대한 제1 스테이지(12)의 Y방향의 위치는 유지된다. 한편, 제2 스테이지(13)와 베이스(21)로 협지되어 있는 볼(41)(볼 수용부(21f)에 수용되어 있는 3개)은, Y방향으로 전동할 수 있으므로, 베이스(21)에 대하여 제2 스테이지(13)가 Y방향으로 이동한다. 제1 스테이지(12)도 제2 스테이지(13)에 추종하여 Y방향으로 이동하게 된다. 즉, 베이스(21)가 OIS 고정부(20)를 구성하고, 제1 스테이지(12) 및 제2 스테이지(13)를 포함하는 AF 유닛이 OIS 가동부(10)를 구성한다.

이와 같이 하여, OIS 가동부(10)가 XY평면 내에서 요동하여, 흔들림 보정이 행해진다. 구체적으로는, 카메라 모듈(A)의 각도 흔들림이 상쇄되도록, 흔들림 검출부(예를 들면 자이로 센서, 도시 생략)로부터의 각도 흔들림을 나타내는 검출 신호에 근거하여, OIS 구동부(30X, 30Y)로의 통전 전압이 제어된다. 이때, 마그넷(16X, 16Y) 및 자기 센서(25X, 25Y)로 구성되는 XY위치 검출부의 검출 결과를 피드백함으로써, OIS 가동부(10)의 병진 이동을 정확하게 제어할 수 있다.

이와 같이, 실시형태에 관한 렌즈 구동 장치(1)는, 제1 스테이지(12)(제1 고정부)와, 제1 스테이지(12)와 이간하여 배치되는 AF 가동부(11)(제1 가동부)와, 제1 스테이지(12)에 대하여 AF 가동부(11)를 지지하는 AF 지지부(15)(제1 지지부)와, 제1 스테이지(12)에 배치되고, 제1 스테이지(12)에 대하여 AF 가동부(11)를 광축 방향으로 이동시키는 AF 구동부(14)(Z방향 구동부)를 구비한다. AF 구동부(14)는, AF 압전 소자(142) 및 AF 공진부(141)를 갖고, 진동 운동을 직선 운동으로 변환하는 초음파 모터로 구성된다. AF 공진부(141)는, AF 압전 소자(142)에 협지되는 몸통부(141a)와, 몸통부(141a)로부터 동일한 방향으로 뻗어 있는 제1 및 제2의 암부(141b)를 갖는다. 제1 및 제2의 암부(141b)는, AF 압전 소자의 진동에 공진하여 변형되고, 제1 암부(141b)만이, AF 가동부(11)에 맞닿아 있다.

렌즈 구동 장치(1)에 의하면, AF 구동부(14)가 초음파 모터로 구성되어 있으므로, 외부 자기의 영향을 저감시킬 수 있음과 함께, 소형화 및 저배화를 도모할 수 있다. 따라서, 스마트폰(M)과 같이, 렌즈 구동 장치(1)를 갖는 카메라 모듈(A)을 근접하여 배치해도 자기적인 영향은 없으므로, 듀얼 카메라용으로서 매우 적합하다.

또, 렌즈 구동 장치(1)에 있어서, AF 가동부(11)는, AF 지지부(15)를 개재하여 제1 스테이지(AF 고정부)로 부세되어 있다. 이로써, AF 가동부(11)에 AF 구동부(14)의 구동력을 효율적으로 전달할 수 있다.

[제2 실시형태]

도 12a, 도 12b는, 제2 실시형태에 관한 렌즈 구동 장치(1A)의 외관 사시도이다. 도 12b는, 도 12a를 Z축 둘레로 180° 회전한 상태를 나타낸다. 제2 실시형태에 관한 렌즈 구동 장치(1A)는, OIS 가동부(10A)의 구성을 제외하고, 제1 실시형태에 관한 렌즈 구동 장치(1)와 대략 동일하다. 제1 실시형태에 관한 렌즈 구동 장치(1)와 동일하거나 또는 대응하는 구성 요소에 대해서는, 동일한 부호를 붙여 설명을 생략하고, 여기에서는, OIS 가동부(10A)(특히 AF 가동부(51))에 대하여 설명한다.

도 13~도 15는, OIS 가동부(10)의 분해 사시도이다. 도 14는, 도 13을 Z축 둘레로 180° 회전시킨 상태를 나타낸다. 도 15는, 도 13을 Z축 둘레로 90° 회전시킨 상태를 나타내는 하방 사시도이다.

도 13~도 15에 나타내는 바와 같이, 제2 실시형태에 있어서, OIS 가동부(10A)는, AF 가동부(51), 제1 스테이지(12), 제2 스테이지(13), AF 구동부(14) 및 AF 지지부(15) 등을 갖는다. Y방향의 이동에 관해서는, 제1 스테이지(12) 및 제2 스테이지(13)를 포함하는 OIS 가동부(10A) 전체가 가동체가 되는 데 대하여, X방향의 이동에 관해서는, 제2 스테이지(13)는 OIS 고정부(20)로서 기능하고, AF 유닛만이 OIS 가동부(10)로서 기능한다. 또, 제1 스테이지(12)는, AF 고정부로서 기능한다.

AF 가동부(51)는, 초점 맞춤 시에 광축 방향으로 이동하는 부분이다. AF 가동부(51)는, 제1 스테이지(12)(AF 고정부)에 대하여 직경 방향으로 이간하여 배치되고, AF 지지부(15)를 개재하여 제1 스테이지(12)와 접속된다.

AF 가동부(51)는, 렌즈부(2)(도 2 참조)를 지지하는 렌즈 홀더(511) 및 AF용 부세 부재(512)를 갖는다.

렌즈 홀더(511)는, 예를 들면, 폴리아릴레이트(PAR), PAR을 포함하는 복수의 수지 재료를 혼합한 PAR 알로이, 액정 폴리머 등으로 형성된다. 렌즈 홀더(511)는, 통형상의 렌즈 수용부(511a)를 갖는다. 렌즈 수용부(511a)에는, 렌즈부(2)(도 2 참조)가, 예를 들면, 접착에 의하여 고정된다.

렌즈 홀더(511)는, 렌즈 수용부(511a)의 상부 외주 가장자리에, 상부 플랜지(511b)를 갖는다. 제2 실시형태에서는, 렌즈 구동 장치(1A)의 네 모서리에 대응하는 위치에, 4개의 상부 플랜지(511b)가 마련되어 있다. 상부 플랜지(511b)는, 렌즈 홀더(511)의 광축 방향 결상 측(하측)으로의 이동을 규제하는 규제부로서 기능한다.

4개의 상부 플랜지부(511b) 중 1개에는, Z위치 검출용의 마그넷(16Z)을 수용하는 마그넷 수용부(511c)가 마련되어 있다. 마그넷 수용부(511c)에 마그넷(16Z)이 배치되고, 센서 기판(22)(도 4 참조)의 마그넷(16Z)과 광축 방향으로 대향하는 위치에 Z위치 검출용의 자기 센서(예를 들면 홀 소자, TMR 센서 등)(도시 생략)가 배치된다. 또한, 마그넷(16Z)과 자기 센서(도시 생략) 대신에, 포토 리플렉터 등의 광센서에 의하여 AF 가동부(51)의 Z방향의 위치를 검출하도록 해도 된다.

또, 렌즈 홀더(511)는, 렌즈 수용부(511a)의 둘레면에, AF 지지부(15)를 수용하는 볼 수용부(511d)를 갖고 있다. 제2 실시형태에서는, 볼 수용부(511d)는, 일방의 대각 방향(X방향과 Y방향의 중간 방향)에 관하여 선대칭인 2개소에, 타방의 대각 방향에 관하여 동일한 측(AF용 부세 부재(512)가 배치되는 측)이 개구되도록 마련되어 있다.

AF용 부세 부재(512)는, 예를 들면, 타이타늄 구리, 니켈 구리, 스테인리스 등의 금속 재료로 형성된다. AF용 부세 부재(512)는, 예를 들면, 평탄한 덤벨 형상의 판 스프링으로 구성된다. AF용 부세 부재(512)의 길이 방향에 있어서의 양단부(512a)에, AF 구동부(14A, 14B)가 맞닿는다. 또, AF용 부세 부재(512)는, 경량화에 의하여, 스프링 상수가 조정되어 있다.

AF용 부세 부재(512)는, 마그넷 수용부(511c)와 렌즈 수용부(511a)의 사이에 형성된 공간(511e)에 배치되고, 스페이서(513)와 마그넷 수용부(511c)에 의하여 협지되어 있다. AF용 부세 부재(512)는, 렌즈 수용부(51a)에 접하도록 뻗어 있게 된다.

제1 AF 구동부(14A) 및 제2 AF 구동부(14B)는, 각각, X방향 및 Y방향을 따르도록, 제1 스테이지(12)의 내주면에 고정된다. 제2 실시형태에서는, 제1 AF 구동부(14A) 및 제2 AF 구동부(14B)의 2개의 암부(141b) 중 일방(예를 들면, 상측에 위치하는 암부(141b))의 선단을, AF용 부세 부재(512)에 맞닿게 하고, AF 가동부(51)를 Z방향으로 이동시키도록 되어 있다. AF용 부세 부재(512)에 맞닿는 암부(141b)를 「제1 암부(141b)」, AF용 부세 부재(112)에 맞닿지 않는 암부(141b)를 「제2 암부(141b)」라고 칭한다. 또한, AF 공진부(141)의 상하 2개의 암부(141b)의 선단을 양방 모두 AF용 부세 부재(112)에 맞닿게 하면, 2개의 암부(141b)는 대칭적으로 동작하므로, 슬립하여 AF 가동부(11)를 Z방향으로 이동시킬 수 없다.

제2 실시형태에서는, AF 구동부(14)는, 제1 암부(141b)만을 AF 가동부(11)(AF용 부세 부재(112))에 맞닿게 하고 Z방향으로 이동시키기 때문에, OIS 구동부(30)와 같이 2개의 암부(31b)를 이용하여 구동력을 전달하는 경우에 비교하여, 전달되는 구동력은 반감한다. 따라서, AF 구동부(14)를 2개 마련함으로써, 광축 방향으로의 이동을 위한 구동력이 확보되어 있다.

AF 유닛을 조립하여, AF 구동부(14)를 AF용 부세 부재(512)에 맞닿게 했을 때에, AF용 부세 부재(512)가 판 스프링으로서 기능하고, AF 가동부(51)는 AF 지지부(15)를 개재하여 제1 스테이지(12)(AF 고정부)로 부세되도록 되어 있다(도 16a, 도 16b 참조).

구체적으로는, 제1 및 제2의 AF 구동부(14A, 14B)의 제1 암부(141b)가 AF용 부세 부재(512)의 양단부에 맞닿음으로써, 렌즈 홀더(111)가 제1 스테이지(AF 고정부)에 대하여, 광축 직교면 내에서 일방향으로 부세되어 있다. 제2 실시형태에서는, 렌즈 홀더(111)는, AF용 부세 부재(512)에 의하여 인장되고, 제1 스테이지(AF 고정부)에 대하여, X방향 및 Y방향의 중간 방향으로 부세되어 있다.

이 부세력에 의하여, AF 공진부(141)의 암부(141b)의 선단에 AF용 부세 부재(512)가 눌리고, AF 공진부(141)로부터의 구동력이 AF용 부세 부재(512)에 효율적으로 전달된다. 또, AF용 부세 부재(512)가, AF 구동부(14)의 구동력을 전달하는 기능과, AF 가동부(51)를 제1 스테이지(12)에 대하여 부세하는 기능을 겸용하고 있으므로, 부품 구성이 간소화된다.

또, 제2 실시형태에서는, AF용 부세 부재(512)가 평탄한 덤벨 형상의 판 스프링으로 구성되어 있으며, 큰 부세력이 발휘되므로, AF 가동부(51)의 자체 중량에 의한 가라앉음이 억제되어, 제1 스테이지(12)에 대한 AF 가동부(51)의 자세가 안정된다. 따라서, AF 구동부(14)의 구동력을 효율적으로 AF 가동부(51)에 전달할 수 있음과 함께, 응답성이 향상된다.

또, AF 지지부(15)는, 제1 및 제2의 AF 구동부(14A, 14B)에 대응하여 2개소에 마련되어 있다. 2개소에 마련된 AF 지지부(15)를 개재하여, AF 가동부(11)가 제1 스테이지(12)를 향하여 부세되므로, AF 가동부(51)는 안정된 자세로 지지된다.

AF 구동부(14)와 AF용 부세 부재(512)는, 부세된 상태로 맞닿아 있을 뿐이므로, 맞닿음 부분을 Z방향으로 크게 하는 것만으로, 렌즈 구동 장치(1A)의 저배화를 저해하지 않고, AF 가동부(51)의 이동 거리(스트로크)를 용이하게 길게 할 수 있다. 단, AF 가동부(51)의 이동 거리는, AF 가동부(51)의 이동에 관여하지 않는 AF 공진부(141)의 타방의 암부(141b)(예를 들면, 하측에 위치하는 암부(141b))에 AF용 부세 부재(512)가 맞닿지 않을 정도로 제한된다.

또, AF 공진부(141)의 제1 암부(141b)는, 금속 성형품인 AF용 부세 부재(512)에 맞닿아 있다. 이로써, 제1 암부(141b)가 수지 성형품인 렌즈 홀더(111)에 맞닿는 경우에 비교하여, AF 구동부(14)의 구동력을 효율적으로 전달할 수 있다.

이와 같이, 제2 실시형태에 관한 렌즈 구동 장치(1A)는, 제1 스테이지(12)(제1 고정부)와, 제1 스테이지(12)와 이간하여 배치되는 AF 가동부(51)(제1 가동부)와, 제1 스테이지(12)에 대하여 AF 가동부(51)를 지지하는 AF 지지부(15)(제1 지지부)와, 제1 스테이지(12)에 배치되고, 제1 스테이지(12)에 대하여 AF 가동부(51)를 광축 방향으로 이동시키는 AF 구동부(14)(Z방향 구동부)를 구비한다. AF 구동부(14)는, AF 압전 소자(142) 및 AF 공진부(141)를 갖고, 진동 운동을 직선 운동으로 변환하는 초음파 모터로 구성된다. AF 공진부(141)는, AF 압전 소자(142)에 협지되는 몸통부(141a)와, 몸통부(141a)로부터 동일한 방향으로 뻗어 있는 제1 및 제2의 암부(141b)를 갖는다. 제1 및 제2의 암부(141b)는, AF 압전 소자(142)의 진동에 공진하여 변형되고, 제1 암부(141b)만이, AF 가동부(51)(AF용 부세 부재(512))에 맞닿아 있다.

렌즈 구동 장치(1A)에 의하면, AF 구동부(14)가 초음파 모터로 구성되어 있으므로, 외부 자기의 영향을 저감시킬 수 있음과 함께, 소형화 및 저배화를 도모할 수 있다. 따라서, 스마트폰(M)과 같이, 렌즈 구동 장치(1)를 갖는 카메라 모듈(A)을 근접하여 배치해도 자기적인 영향은 없으므로, 듀얼 카메라용으로서 매우 적합하다.

또, 렌즈 구동 장치(1A)에 있어서, AF 가동부(51)는, AF 지지부(15)를 개재하여 제1 스테이지(AF 고정부)로 부세되어 있다. 이로써, AF 가동부(51)에 AF 구동부(14)의 구동력을 효율적으로 전달할 수 있다.

[구동 유닛의 제어 방법]

제1 실시형태에 관한 렌즈 구동 장치(1) 및 제2 실시형태에 관한 렌즈 구동 장치(1A)에 있어서, AF 구동부(14) 및 OIS 구동부(30)(구동 유닛)는, 예를 들면, 이하와 같이 하여 제어된다. 이하에 나타내는 구동 유닛에 있어서, 「능동 소자(C-1)」가 AF 공진부(141) 및 OIS 공진부(31)에 대응하고, 「수동 요소(C-4)」가 AF용 부세 부재(112, 512) 및 OIS 동력 전달부(34)에 대응한다.

원칙적으로, 이들 도면에서는, 동일하거나 또는 기능적으로 동일한 부분에는 동일한 참조 기호를 제공한다. 도 17은, 능동 요소(C-1)를 구비하는 구동 유닛을 나타낸다. 능동 요소(C-1)는, 제1 암(C-21) 및 제2 암(C-22)이라는 한 쌍의 암을 갖는 공진기(C-2)(AF 공진부(141), OIS 공진부(31)에 대응)를 구비한다. 암(C-21, C-22) 및 장착부(C-14)는, 공진기(C-22)의 연결부(C-20)에 접속되어 있다. 공진기(C－22)는, 장착부(C－14)를 개재하여, 베이스 요소 등의 다른 부분에 실장된다.

연결부(C-20) 상에, 압전 소자 등의 여기 수단(C-23)(AF 압전 소자(142), OIS 압전 소자(32)에 대응)이 배치된다. 여기 수단(C-23)을 구동하기 위한 여기 신호 또는 여기 전압을 생성하도록, 컨트롤러(90)가 배치되어 있다. 능동 요소(C-1)에 대한 수동 요소(C-4)의 위치 및/또는 속도를 측정하도록, 센서(91)가 배치되어 있다. 센서(91)는, 수동 요소(C－4)의 위치에 따른 영향을 받는 자계에 근거하여, 수동 요소(C－4)의 위치 및/또는 속도를 측정한다. 센서(91)에는, 홀 센서를 적용할 수 있다.

여기 수단(C-23)은, 여기 수단(C-23)의 양측에 배치된 2개의 별개의 요소를 구비한다. 공진기(C-22) 및 여기 수단(C-23)은 평탄한 요소이며, 서로 적층되어, 기준 평면(C-28)에 대하여 평행하게 뻗어 있다(도 19 참조).

여기 주파수의 교류 전압에 의하여 여기되면, 암(C－21, C－22)은 진동하고, 제1 암(C－21)의 제1 접촉부(C－31)는, 주파수에 따라, 대략 선형(線形)의 운동을 실행한다. 선형 진동은, 직교 성분을 가질 수 있고, 전체적인 운동은 타원형이라고 간주할 수 있다. 주파수에 따라, 선형의 진동(전후) 운동의 방향은 변화한다. 제1 접촉부(C-31)는, 수동 요소(C-4)의 제1 접촉 영역(C-41)에 반복하여 접촉하고, 능동 요소(C-1)에 대하여 구동한다. 제2 접촉부(C-32) 및 제2 접촉 영역(C-42)에 대해서도 동일하다.

선형의 전후 운동의 방향에 따라, 수동 요소(C－4)는 대응하는 방향으로 반복하여 밀려, 수동 요소(C－4)가 어떻게 현가되어 있는지에 따라, 예를 들면, 선형 및/또는 회전 운동을 실행한다. 도 17에 나타내는 실시형태에서는, 수동 요소(C-4)는 능동 요소(C-1)에 대하여 회전한다.

이들 부분의 특정의 기하(幾何) 형상, 및 수동 요소(C-4)가 능동 요소(C-1)에 대하여 움직이기 위한 배치 양태를 생각하면, 원하는 운동(회전 또는 선형) 방향에 대하여, 각 진동 또는 각 펄스 및 그 결과 발생하는 압압 운동마다, 원하는 운동에 대하여 최대의 에너지 전달을 야기하는 여기 주파수를 판정하는 것이 가능하다. 펄스마다의 에너지 전달을 저감시키기 위하여, 약간 변화하지만, 진동 운동의 개략적인 방향이 동일하게 유지되도록, 여기 주파수를 약간 변화시킬 수 있다. 이로써, 제1 접촉부(31) 및 제2 접촉부(32)가 각각의 접촉 영역(41, 42)에 맞닿은 맞닿음각, 및 그들의 진동의 진폭이 변화하고, 그 결과, 펄스마다 전달되는 에너지는, 최적의 각도에 비하여 감소한다. 이와 같이, 여기 주파수의 약간의 상대 변화를 이용하여, 수동 요소(C-4)의 이동 속도를 제어할 수 있다.

제1 접촉부(C-31)와 제1 접촉 영역(C-41)의 사이, 및 제2 접촉부(C-32)와 제2 접촉 영역(C-42)의 사이에는 각각, 프리스트레스력(力)이 작용한다. 프리스트레스력은, 제1 암(C-21) 및 제2 암(C-22)의 탄성에 의하여 생성된다. 수동 요소(C-4)가 제1 접촉부(C-31)와 제2 접촉부(C-32)의 사이에 배치되면, 제1 암(C-21) 및 제2 암(C-22)은, 이간하도록 밀린다.

제1 암(C-21) 및 제2 암(C-22)은, 연결부(C-20)로부터 실질적으로 대칭으로 뻗지만, 평탄한 재료편(片)으로부터 제조되는 경우, 그들의 형상, 특히 윤곽의 세부에서는 상이한 경우가 있다. 공진기축(C-24)은, 상술한 암의 세부를 제외하고, 공진기(C-22), 특히 연결부(C-20) 및 제1 암(C-21)과 제2 암(C-22)을 경상(鏡像)화할 수 있는 대칭축에 대응한다. 여기 수단(C-23)에 의하여 여기되었을 때, 연결부(C-20) 및 암(C-21, C-22)의 운동은 동일한 대칭축에 대하여 대략 대칭이다. 이 운동의 노드, 즉 최소 운동 영역은, 공진기축(C-24) 상에 위치한다. 능동 요소(C-1)를 다른 요소에 실장하기 위한 장착부(C-14)도 또한, 공진기축(C-24) 상에 위치한다.

도 18a, 도 18b는, 능동 요소(C-1)의 변형 형태를 나타내고, 보기 쉽도록 수동 요소(C-4)는 생략되어 있다. 도 18a는, 도 17에 나타내는 바와 같은 능동 요소(C-1)를 나타낸다. 도 18b에 있어서, 능동 요소(C－1)는, 공진기축(C－24)에 대응하는 양방향 화살표에 의하여 나타나 있는 바와 같이, 특히 2개의 암(C－21, C－22)이 위치하는 평면 내에서, 수동 요소를 직선 방향으로 구동하도록 위치한다. 도 18a, 도 18b에 있어서, 여기 수단(C-23)은, 공진기(C-22)의 양측에 장착되어 있다.

도 19는, 도 17에 나타내는 구동 유닛과 본질적으로 동일한 요소를 갖는 구동 유닛을 나타낸다. 이 구동 유닛도 또한 한 쌍의 암(C-21, C-22)을 갖지만, 제1 암(C-21)만이 수동 요소(C-4)에 접촉하여, 수동 요소(C-4)를 구동한다. 선형 운동축(C-26)에 의하여 나타나 있는 바와 같이, 구동 유닛의 운동은 선형이다.

상기의 실시형태에서는, 수동 요소(C-4)는 암(C-21, C-22) 사이에 배치되고, 암의 단부의 접촉부(C-31, C-32)는 서로 내향이 되어 있다. 다른 실시형태에서는, 도시를 생략하지만, 암(C-21, C-22)은, 접촉부(C-31, C-32)가 서로 멀어지는 쪽으로 외향이 되는 것 같은 형상을 갖는다. 수동 요소(C-4)는, 접촉부(C-31, C-32) 중 일방 또는 양방에 외측으로부터 접촉하도록 배치된다.

본 명세서에 제시하는 구동 방법을 적용할 수 있는 구동 유닛의 가일층의 실시형태는, 국제 공개공보 제2006/000118호, 미국 특허공보 제7,429,812호, 및 국제 공개공보 제2019/068708호에 개시되어 있으며, 참조에 의하여 그들 전체가 본 명세서에 원용된다.

도 20은, 3개의 구동 신호 D1, D2, D3과, 대응하는 능동 요소(C-1)에 의한 진동의 진폭 A1, A2, A3을, 동일한 시간축 t를 따라 나타내고 있다.

제1 구동 신호 D1은, 펄스 주기라고도 불리는 주기장 Te의 직사각형 신호이며, 여기 주파수 fe는, fe=1/Te로 나타난다. 제1 구동 신호 D1의 최대 펄스폭은 Te/2이며, 즉 펄스 듀티 사이클 dp는 50%이다.

제1 구동 신호 D1의 펄스 시퀀스가 개시 시간 t0에서 시작된다고 가정하면, 대응하는 진동의 제1 진폭 A1은, 여기 수단(C-23)에 의한 후속의 펄스가 기계 에너지를 능동 요소(C-1), 특히 공진기(C-22) 및 그 암(C-21, C-22)의 진동이 전달됨에 따라 상승한다. 복수의 펄스 후, 진동은 최대로 도달하고, 그 후, 정상 상태에서 본질적으로 일정해진다.

진폭이 활성화 임곗값 At를 하회하고 있는 경우, 암(C-21, C-22)은 수동 요소(C-4)에 구동력을 부여하지 않는다. 진폭이 임곗값을 상회하고 있는 경우, 암(C-21, C-22)은 수동 요소(C-4)에 구동력을 부여하고, 수동 요소(C-4)는 능동 요소(C-1)에 대하여 구동된다.

제2 구동 신호 D2는, 제1 구동 신호 D1의 진폭 변조에 의하여 얻어지고, 진폭이 최댓값에 대하여 감소하고 있다. 제3 구동 신호 D3은, 제1 구동 신호 D1의 펄스폭 변조에 의하여 얻어지고, 펄스폭 또는 펄스 듀티 사이클이 최댓값에 대하여 감소하고 있다. 제2 구동 신호 D2 및 제3 구동 신호 D3 중 어느 경우도, 펄스마다 능동 요소(C-1)로 전달되는 기계 에너지는, 제1 구동 신호 D1의 경우에 비교하여 감소한다. 그에 대응하여, 제2 진폭 A2 및 제3 진폭 A3의 궤도는, 제1 진폭 A1보다 천천히 상승하고, 보다 낮은 일정값 또는 정상값에서 평평해진다. 활성화 임곗값을 초과하기 위하여 필요한 시간은, 제1 구동 신호 D1의 경우보다 길다.

능동 요소(C-1)에 의한 진동의 진폭은, 수동 요소(C-4)의 능동 요소(C-1)에 대한 이동 속도에 대응한다. 따라서, 펄스마다 능동 요소(C-1)에 부여되는 에너지를 제어함으로써, 구동 유닛의 속도를 제어할 수 있다. 펄스마다 능동 요소(C-1)에 부여되는 에너지는, 펄스의 형상에 따르고, 이 형상은, 상이한 타입의 변조에 의하여 제어할 수 있다. 변조의 타입으로서는, 예를 들면, 펄스 진폭 및/또는 펄스폭 변조가 잘 알려져 있다.

펄스마다 전달되는 에너지를 추가로 저감시키면, 진폭이 활성화 임곗값 At를 일절 초과하지 않거나 또는 불확실하게 그때그때밖에 초과하지 않는 상황을 야기할 가능성이 있다. 이 때문에, 구동 유닛의 속도를 속도 임곗값보다 아래로 저감시킬 수 없다. 대략, 속도 임곗값은 진폭 임곗값에 대응한다. 속도 임곗값은, 구동 유닛의 물리 특성 및 전기 특성에 따라, 최대 속도의 20%~40%의 영역 내로 할 수 있다.

도 22는, 상기를, 펄스폭 또는 펄스 듀티 사이클 dp와 그 결과 발생하는 속도 ｖ의 관계에 의하여 나타내고 있다. 펄스 듀티 사이클을 그 최대의 50%로부터 저감시키면, 속도는 임곗값까지 저하되어, 임곗값으로 제로가 된다.

보다 느린 속도를 실현하기 위하여, 구동 신호의 형상은, 정상 상태에 있어서의 능동 요소의 진동의 진폭이 안전 마진에 의하여 활성화 임곗값을 상회하도록 유지된다. 도 21에 나타내는 바와 같이, 구동 유닛은 단속적으로 동작한다. 이 도면은, 제4 구동 신호 D4, 대응하는 능동 요소(C-1)의 진동의 진폭 A4, 및 대응하는 능동 요소(C-1)에 대한 수동 요소(C-4)의 변위 S를, 동일한 시간축 t를 따라 나타내고 있다. 시간축은, 도 20의 시간축과 비교하면 압축되어 있다.

제4 구동 신호 D4는, 턴온 시간 Ton에서는 펄스를 포함하고, 턴오프 시간 Toff에서는 펄스를 포함하지 않는다. 펄스가 있는 시퀀스와 펄스가 없는 시퀀스는, Ton+Toff와 동일한 펄스 블록 주기 Tb로 주기적으로 반복된다. 펄스 블록 주기는, 여기 주기라고도 불린다. 펄스 블록이 반복되는 대응하는 주파수 fb=1/Tb는, 펄스 블록 주파수라고 불린다. 턴온 시간 Ton과 펄스 블록 주기 Tb의 관계, 즉 Ton/Tb는, 펄스 블록 듀티 사이클 dpb라고 불린다.

이와 같이, 턴온 기간에만 구동 유닛에 펄스를 인가하고, 턴오프 기간에는 펄스를 생략하거나 또는 억제함으로써, 구동 유닛은, 단속적으로 동작한다. 진폭이 활성화 임곗값을 초과하는 데 충분히 긴 턴온 기간 중, 및 대응하는 지연 후, 수동 요소(C-4)는 능동 요소(C-1)에 대하여 구동된다. 턴오프 기간 중, 진동이 감쇠하는 지연 후, 능동 요소(C-1)는, 프리스트레스력에 의하여 수동 요소(C-4)를 정위치에서 지지한다. 변위 S는, 일련의 스텝 및 정상 기간의 반복에 의하여 증대된다. 도 21에 나타내는 변위의 평균 구배(勾配)는, 능동 요소(C-1)에 대한 수동 요소(C-4)의 평균 속도를 나타낸다.

일반적으로, 속도란, 직선축을 따라 본 능동 요소(C-1)와 수동 요소(C-4)의 사이의 상대 운동을 가리킨다. 회전 구동 유닛의 경우, 각속도는, 능동 요소(C-1)가 수동 요소(C-4)를 구동할 때의 반경으로 속도를 나눈 값에 대응한다.

일반적인 애플리케이션에서는, 펄스 블록 주기는, 5kHz~100kHz, 전형적으로는 25kHz 전후의 펄스 블록 주파수 fb=1/Tb에 대응할 수 있다. 펄스 자체의 주파수는, 50kHz~1000kHz, 전형적으로는 500kHz 전후이다.

그 결과, 최대 속도는, 80mm/초 전후가 된다. 각 진동 주기에 대한 스텝은, 0. 01~1μm의 범위 내가 된다. 능동 요소(C-1)에 의하여 수동 요소(C-4)에 부여되는 힘은, 최대 100mN(즉, 최대 0.1N)이다. 여기 수단(C-23)에 인가되는 전압은, 3V 전후이다.

구동 유닛의 위치를 얻을 필요가 있는 상황에 있어서, 컨트롤러는, 속도에 관계없이, 1펄스 주기의 위치 변화인 위치 스텝 사이즈를 수정한다. 예를 들면,

●구동 펄스의 형상을 수정하고, 펄스마다 전달되는 에너지를 저감시켜, 수동 요소를 구동하는 기계적 진동의 진폭을 저감시킴으로써, 수정한다.

●또는, 여기 주파수를 수정하고, 기계적 진동을 저감시켜 진폭에 대한 에너지 전달을 저감시키며, 및/또는 기계적 진동의 방향, 즉 수동 요소(C-4)의 운동 방향으로 작용하는 구동력에 대한 기여를 변화시킴으로써, 수정한다.

도 23은, 여기 주파수 f와 그 결과 발생하는 속도 ｖ의 관계를 나타낸다. 제1 주파수 f1에 있어서, 공진기(C-22)는, 제1 동작 모드 또는 제1 진동 모드에 있으며, 수동 요소(C-4)를 제1 방향으로 최대 속도로 구동한다. 제2 주파수 f2에 있어서, 공진기(C-22)는, 제2 동작 모드에 있으며, 제1 방향과는 반대의 제2 방향으로, 최대 속도로 수동 요소(C-4)를 구동한다. 각각의 진동 모드에 있어서의 능동 요소(C-1)의 고유 주파수에 대한 여기 주파수의 이조(離調)에 따라, 각각 f1 또는 f2 전후에 약간의 어긋남이 있는 경우, 각각의 속도는 감소한다.

상기의 예는, 직사각형 펄스를 갖는 구동 신호에 관련하여 설명되어 있다. 특히 진폭 및 펄스폭 변조 및 펄스의 생략에 관하여, 상이한 형상의 펄스에서도 동일한 원리를 적용할 수 있다. 예를 들면, 정현파(正弦波), 삼각형, 사다리꼴, 혹은 톱니형의 펄스, 또는 임의의 형상의 펄스에서도 적용할 수 있다.

반대 방향의 운동에 대한 최적인 여기 주파수 f1 및 f2, 또, 상이한 모드 및 방향에 대한 여기 주파수는, 대략, 구동 유닛, 특히 공진기(C-22) 및 여기 수단(C-23)의 개개의 기계 및 전기 특성에 의존한다. 이들 특성은, 마모 및 파라미터 변동 때문에, 온도, 습기 등의 환경 조건에 따라, 또 중력 방향에 대한 구동 유닛의 방향에 따라, 경시적으로 변화한다. 그에 대응하여, 여기 주파수의 최적값도 변화한다. 최적값을 판정하기 위하여, 구동 유닛을 상이한 주파수로 동작시키고, 타깃의 응답을 측정하여, 타깃의 응답이 최적이 되는 주파수를 판정할 수 있다.

도 24는, 실시형태에 관한 구동 유닛을 동작시키는 방법을 나타내는 플로도이다.

초기화 스텝 C-80에 있어서, 방법이 개시된다. 측정 스텝 C-81에 있어서, 구동 유닛의 실제의 위치, 즉 능동 요소(C-1) 및 수동 요소(C-4)의 상대 위치가 결정된다. 이 위치는, 회전 위치여도 되고, 병진 위치여도 된다.

차분 연산 스텝 C-82에 있어서, 실제의 위치와 설정 위치의 사이의 차분 d가 계산된다. 차분 d는, 위치 오차 신호에 의하여 나타난다. 차분 d의 값에 따라, 방법은 상이한 구동 모드로 분기한다. 구동 유닛은, 상이한 임곗값 d1<d2<d3과, 차분 d의 절댓값 abs(d)에 따라, 상이한 파라미터의 구동 신호에 의하여 구동된다.

●abs(d)>d3인 경우(판정 스텝 C-83에서 “y”), 고속 구동 모드 C-84로 구동되고,

●d2<abs(d)<d3인 경우(판정 스텝 C-83에서 “n”, 판정 스텝 C-85에서 “y”), 중속 구동 모드 C-86으로 구동되며,

●d1<abs(d)<d2인 경우(판정 스텝 C-85에서 “n”, 판정 스텝 C-87에서 “y”), 저속 구동 모드 C-88로 구동된다.

어느 경우도, 상술한 예에 있어서의 구동 신호의 여기 주파수, 즉 f1 또는 f2는, 위치를 보정해야 할 방향, 즉 차분 d의 부호에 따라 선택된다.

abs(d)<d1인 경우(판정 스텝 C-87에서 “n”), 구동 유닛은 구동되지 않는다. 이때, 제동 모드(89)에 있어서, 수동 요소(C-4)는, 프리스트레스력에 의하여 능동 요소(C-1)에 대하여 지지된다.

그리고, 측정 스텝 C-81을 계속함으로써 반복적으로 반복된다.

임곗값에 대한 값은, 구동 유닛을 설계하거나 또는 주문할 때에 선택된다. 이들 값은, 예를 들면, d1=1μm, d2=5μm, d3=10μm로 할 수 있다.

실시형태에 있어서, 고속 구동 모드 C-84에서는, 구동 신호의 최대 파워에 대한 펄스 듀티 사이클은 전형적으로는 50%이며, 최대 펄스 블록 듀티 사이클은 전형적으로는 100%이다.

실시형태에 있어서, 중속 구동 모드 C-86에서는,

●구동 신호의 펄스 듀티 사이클은 고속 구동 모드 C-84의 펄스 듀티 사이클보다 저감되고, 및/또는

●구동 신호의 펄스 블록 듀티 사이클은 고속 구동 모드 C-84의 펄스 블록 듀티 사이클보다 저감된다.

실시형태에서는, 펄스 듀티 사이클 및 펄스 블록 듀티 사이클의 양방이 저감된다. 예를 들면, 펄스 듀티 사이클은 30%이며(최대인 50%는 아니다), 펄스 블록 듀티 사이클은 50%이다(최대인 100%는 아니다).

실시형태에 있어서, 저속 구동 모드 C-88에서는,

●구동 신호의 펄스 듀티 사이클은 중속 구동 모드 C-86의 펄스 듀티 사이클보다 저감되고, 및/또는

●구동 신호의 펄스 블록 듀티 사이클은 중속 구동 모드 C-86의 펄스 블록 듀티 사이클보다 저감된다.

실시형태에서는,

●고속 구동 모드 C-84에서, 구동 신호의 펄스 듀티 사이클은 50%, 펄스 블록 듀티 사이클은 100%이며,

●중속 구동 모드 C-86에서, 구동 신호의 펄스 듀티 사이클은 30%, 펄스 블록 듀티 사이클은 50%이고,

●저속 구동 모드 C-88에서, 구동 신호의 펄스 듀티 사이클은 20%, 펄스 블록 듀티 사이클은 10%이다.

다른 실시형태에서는, 속도가 상이한 2개의 구동 모드만이 사용된다.

이상, 본 발명자에 의하여 이루어진 발명을 실시형태에 근거하여 구체적으로 설명했지만, 본 발명은 상기 실시형태에 한정되는 것은 아니고, 그 요지를 벗어나지 않는 범위에서 변경 가능하다.

예를 들면, 실시형태에서는, 카메라 모듈(A)을 구비하는 카메라 탑재 장치의 일례로서, 카메라 탑재 휴대 단말인 스마트폰(M)을 들어 설명했지만, 본 발명은, 카메라 모듈과 카메라 모듈에서 얻어진 화상 정보를 처리하는 화상 처리부를 갖는 카메라 탑재 장치에 적용할 수 있다. 카메라 탑재 장치는, 정보 기기 및 수송 기기를 포함한다. 정보 기기는, 예를 들면, 카메라 탑재 휴대 전화기, 노트형 컴퓨터, 태블릿 단말, 휴대형 게임기, web 카메라, 카메라 탑재 차재 장치(예를 들면, 백 모니터 장치, 드라이브 리코더 장치)를 포함한다. 또, 수송 기기는, 예를 들면 자동차를 포함한다.

도 25a, 도 25b는, 차재용 카메라 모듈(VC)(Vehicle Camera)을 탑재하는 카메라 탑재 장치로서의 자동차(V)를 나타내는 도이다. 도 25a는 자동차(V)의 정면도이며, 도 25b는 자동차(V)의 후방 사시도이다. 자동차(V)는, 차재용 카메라 모듈(VC)로서, 실시형태에서 설명한 카메라 모듈(A)을 탑재한다. 도 25a, 도 25b에 나타내는 바와 같이, 차재용 카메라 모듈(VC)은, 예를 들면 전방을 향하여 프론트 유리에 장착되거나, 후방을 향하여 리어 게이트에 장착되거나 한다. 이 차재용 카메라 모듈(VC)은, 백 모니터용, 드라이브 리코더용, 충돌 회피 제어용, 자동 운전 제어용 등으로서 사용된다.

또, 실시형태에서는, AF 구동부(14)의 제1 암부(141b)를, AF 가동부(11, 51)를 구성하는 AF용 부세 부재(112, 512)에 맞닿게 하고 있지만, 렌즈 홀더(111, 512)에 직접 맞닿게 해도 된다. 단, 수지 성형품인 렌즈 홀더(111, 512)보다, 금속 성형품인 AF용 부세 부재(112, 512)에 맞닿게 하는 쪽이, 구동력을 효율적으로 전달할 수 있음과 함께, 내구성도 향상된다.

또, 렌즈 홀더(111, 512)를 제1 스테이지(12)를 향하여 부세하는 부세 부재와, AF 구동부(14)의 제1 암부(141b)가 맞닿은 부재를 별개로 마련하도록 해도 된다.

또, 실시형태에서는, 2개의 AF 구동부(14A, 14B)를 마련하고 있지만, AF 가동부(11, 51)를 Z방향으로 이동 가능한 구동력을 발휘할 수 있으면, AF 구동부(14)의 수는 1개여도 되고, 3개 이상이어도 된다.

또, 본 발명은, 오토 포커스뿐만 아니라, 줌 등, 가동부를 광축 방향으로 이동시키는 경우에 적용할 수 있다.

또한, 제2 실시형태에 있어서의 AF용 부세 부재(512)를 이용한 AF 가동부(51)의 지지 구조는, AF 구동부(14)와 같이 구동원이 초음파 모터로 구성되어 있는 경우에 한정하지 않고, 초음파 모터 이외의 구동원(예를 들면, 보이스 코일 모터(VCM))을 구비하는 렌즈 구동 장치에도 적용할 수 있다.

이번에 개시된 실시형태는 모든 점에서 예시이며 제한적인 것은 아니라고 생각되어야 할 것이다. 본 발명의 범위는 상기한 설명이 아니라 특허청구의 범위에 의하여 나타나고, 특허청구의 범위와 균등한 의미 및 범위 내에서의 모든 변경이 포함되는 것이 의도된다.

2019년 5월 10일 출원된 특원 2019-089864, 2019년 10월 11일 출원된 특원 2019-187775, 및 2019년 12월 13일 출원된 특원 2019-225710의 일본 출원에 포함되는 명세서, 도면 및 요약서의 개시 내용은, 모두 본원에 원용된다.

1, 1A 렌즈 구동 장치
10, 10A OIS 가동부(제2 가동부)
11, 51 AF 가동부(제1 가동부)
111, 511 렌즈 홀더
112, 512 AF용 부세 부재
12 제1 스테이지(제1 고정부)
13 제2 스테이지
14 AF 구동부(Z방향 구동부)
141 AF 공진부
142 AF 압전 소자
143 AF 전극
15 AF 지지부(제1 지지부)
20 OIS 고정부(제2 고정부)
21 베이스
30 OIS 구동부(XY방향 구동부)
31 OIS 공진부
32 OIS 압전 소자
33 OIS 전극
34 OIS 동력 전달부
40 OIS 지지부(제2 지지부)
50 OIS용 부세 부재
A 카메라 모듈
M 스마트폰(카메라 탑재 장치)

Claims (16)

1. 제1 고정부와,
   상기 제1 고정부와 이간하여 배치되는 제1 가동부와,
   상기 제1 고정부에 대하여 상기 제1 가동부를 지지하는 제1 지지부와,
   상기 제1 고정부에 배치되고, 상기 제1 고정부에 대하여 상기 제1 가동부를 광축 방향으로 이동시키는 Z방향 구동부를 구비하는 렌즈 구동 장치로서,
   상기 Z방향 구동부는, 압전 소자 및 공진부를 가지며, 진동 운동을 직선 운동으로 변환하는 초음파 모터로 구성되고,
   상기 공진부는, 상기 압전 소자가 배치되는 몸통부와, 상기 몸통부로부터 동일한 방향으로 뻗어 있는 제1 및 제2의 암부를 가지며,
   상기 제1 및 제2의 암부는, 상기 압전 소자의 진동에 공진하여 변형되고,
   상기 제1 암부만이, 상기 가동부에 맞닿아 있는, 렌즈 구동 장치.
2. 제1항에 있어서,
   상기 제1 가동부는, 상기 제1 지지부를 개재하여 상기 고정부로 부세되어 있는, 렌즈 구동 장치.
3. 제2항에 있어서,
   상기 제1 가동부는, 렌즈부를 지지하는 렌즈 홀더와, 상기 렌즈 홀더의 둘레 방향으로 뻗어 있도록 배치되는 부세 부재를 갖고,
   상기 제1 암부가 상기 부세 부재에 맞닿음으로써, 상기 렌즈 홀더가 상기 제1 고정부에 대하여, 상기 광축 방향과 직교하는 방향으로 부세되어 있는, 렌즈 구동 장치.
4. 제3항에 있어서,
   상기 Z방향 구동부는, 상기 광축 방향과 직교하는 광축 직교면 내에 있어서 교차하는 2개의 방향을 따라 배치되는 제1 및 제2의 Z방향 구동부를 갖고,
   상기 제1 및 제2의 Z방향 구동부의 상기 제1 암부가 상기 부세 부재의 양단부에 맞닿음으로써, 상기 렌즈 홀더가 상기 제1 고정부에 대하여, 상기 광축 직교면 내에서 일방향으로 부세되어 있는, 렌즈 구동 장치.
5. 제4항에 있어서,
   상기 렌즈 홀더는, 상기 제1 고정부에 대하여, 상기 2개의 방향의 중간 방향으로 부세되어 있는, 렌즈 구동 장치.
6. 제5항에 있어서,
   상기 렌즈 홀더는, 상기 Z방향 구동부가 상기 부세 부재에 맞닿음으로써, 상기 부세 부재에 의하여 상기 광축 방향과 직교하는 방향으로 눌리고, 상기 제1 지지부를 개재하여 상기 제1 고정부로 부세되어 있는, 렌즈 구동 장치.
7. 제5항에 있어서,
   상기 렌즈 홀더는, 상기 Z방향 구동부가 상기 부세 부재에 맞닿음으로써, 상기 부세 부재에 의하여 상기 광축 방향과 직교하는 방향으로 인장되고, 상기 제1 지지부를 개재하여 상기 제1 고정부로 부세되어 있는, 렌즈 구동 장치.
8. 제7항에 있어서,
   상기 부세 부재는, 상기 렌즈 홀더의 둘레면에 접하도록 뻗어 있는 판 스프링인, 렌즈 구동 장치.
9. 제4항 내지 제8항 중 어느 한 항에 있어서,
   상기 렌즈 홀더는 수지 성형품이며,
   상기 부세 부재는 금속 성형품인, 렌즈 구동 장치.
10. 제4항 내지 제9항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제1 지지부는, 상기 제1 및 제2의 Z방향 구동부에 대응하여 마련되어 있는, 렌즈 구동 장치.
11. 제10항에 있어서,
    상기 제1 고정부는, 상기 광축 방향에서 본 평면시에 있어서 직사각형상을 갖고,
    상기 제1 지지부는, 상기 제1 고정부의 대각 위치에 대응하여 배치되어 있는, 렌즈 구동 장치.
12. 제11항에 있어서,
    상기 제1 지지부는, 상기 광축 방향으로 나란히 배치된 볼인, 렌즈 구동 장치.
13. 제1항 내지 제12항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제1 고정부, 상기 제1 가동부 및 상기 제1 지지부를 포함하는 제2 가동부와,
    상기 제2 가동부와 이간하여 배치되는 제2 고정부와,
    상기 제2 고정부에 대하여 상기 제2 가동부를 지지하는 제2 지지부와,
    상기 제2 고정부에 대하여 상기 제2 가동부를 상기 광축 방향에 직교하는 광축 직교면 내에 있어서 이동시키는 XY방향 구동부를 구비하는 렌즈 구동 장치.
14. 제13항에 있어서,
    상기 XY방향 구동부는, 압전 소자 및 공진부를 갖고, 진동 운동을 직선 운동으로 변환하는 초음파 모터로 구성되는, 렌즈 구동 장치.
15. 제1항 내지 제14항 중 어느 한 항에 기재된 렌즈 구동 장치와,
    상기 제1 가동부에 장착되는 렌즈부와,
    상기 렌즈부에 의하여 결상된 피사체상을 촬상하는 촬상부를 구비하는, 카메라 모듈.
16. 정보 기기 또는 수송 기기인 카메라 탑재 장치로서,
    제15항에 기재된 카메라 모듈과,
    상기 카메라 모듈에서 얻어진 화상 정보를 처리하는 화상 처리부를 구비하는, 카메라 탑재 장치.

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