WO2023026966A1 - 光学素子駆動装置、カメラモジュール及びカメラ搭載装置 - Google Patents

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WO2023026966A1
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洋平 遠田
智彦 大坂
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ミツミ電機株式会社
洋平 遠田
智彦 大坂
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    • H04N23/57—Mechanical or electrical details of cameras or camera modules specially adapted for being embedded in other devices

Definitions

  • the present invention relates to an optical element driving device for driving an optical element, a camera module, and a camera mounting device.
  • a camera module is installed in a thin camera-equipped device such as a smartphone.
  • An optical element driving device for driving an optical element is used in such a camera module.
  • the optical element driving device has an autofocus function (hereinafter referred to as "AF function", AF: Auto Focus).
  • AF function autofocus function
  • the optical element driving device drives a lens (optical element) with an AF function to automatically perform focusing when photographing a subject.
  • Patent Document 1 discloses a lens holder that holds a lens, a ball member that supports the lens holder movably in the optical axis direction, and an actuator that drives the lens holder movably in the optical axis direction.
  • a lens driver is shown.
  • one actuator is arranged at one corner of a rectangular base in plan view.
  • Patent Document 1 As described above, the lens and the lens holder are driven by a single actuator. Therefore, when the weight of the lens increases, the thrust force for driving the lens becomes insufficient, which causes problems such as a long time required for focusing. may occur. By providing a plurality of actuators, it is possible to increase the thrust for driving the lens, but in that case, it becomes difficult to reduce the size of the camera module. Therefore, there is a demand for an optical element driving device that can increase the thrust force for driving the lens and can achieve miniaturization.
  • An object of the present invention is to provide an optical element driving device, a camera module, and a camera mounting device that can increase the thrust for driving the optical element and can be made smaller.
  • An optical element driving device includes: a first movable portion configured to be movable in the optical axis direction by the first driving portion while holding the optical element; a second movable section configured by stacking a first stage and a second stage on a base so as to be movable together with the first movable section in a direction perpendicular to the optical axis by a second driving section; with The second drive section is arranged along each of two orthogonal side surfaces of the second movable section, The first drive portions are arranged at diagonal positions of the second movable portion.
  • a camera module includes: the optical element driving device; an imaging unit that captures a subject image formed by the optical element; Prepare.
  • a camera-equipped device includes: A camera-equipped device that is information equipment or transportation equipment, the camera module; an image processing unit that processes image information obtained by the camera module; Prepare.
  • the optical element driving device in the optical element driving device, it is possible to increase the thrust for driving the optical element and to reduce the size.
  • FIG. 1 is a front view showing a smart phone equipped with a camera module according to an embodiment of the invention
  • FIG. 1B is a rear view of the smartphone shown in FIG. 1A
  • FIG. It is a perspective view which shows a camera module and an imaging part.
  • FIG. 3 is a perspective view of an optical element driving device body included in the optical element driving device of the camera module
  • 4 is a perspective view from a different direction of the main body of the optical element driving device shown in FIG. 3
  • FIG. 5 is an exploded perspective view of the main body of the optical element driving device shown in FIGS. 3 and 4
  • FIG. 6 is an exploded perspective view of the OIS movable portion shown in FIG. 5;
  • FIG. 5 is a plan view of the main body of the optical element driving device shown in FIGS. 3 and 4;
  • FIG. 4 is a plan view showing a positional relationship between an OIS fixed portion and an AF movable portion;
  • FIG. 4 is a plan view of an OIS fixing portion; It is a bottom view of an OIS fixing
  • FIG. 15B is a perspective view of the automobile shown in FIG. 15A as viewed obliquely from the rear;
  • FIG. 1A and 1B are diagrams showing a smartphone M (an example of a camera-equipped device) equipped with a camera module A according to the present embodiment.
  • 1A is a front view of the smartphone M
  • FIG. 1B is a rear view of the smartphone M.
  • FIG. 1A is a front view of the smartphone M
  • FIG. 1B is a rear view of the smartphone M.
  • Smartphone M has a dual camera consisting of two rear cameras OC1 and OC2.
  • the camera module A is applied to the rear cameras OC1 and OC2.
  • Camera module A has an AF function and a shake correction function (hereinafter referred to as "OIS function", OIS: Optical Image Stabilization).
  • OIS function Optical Image Stabilization
  • the camera module A uses the AF function to automatically adjust the focus when shooting a subject, and the OIS function to optically correct the shake (vibration) that occurs during shooting to shoot images without image blur. can do.
  • FIG. 2 is a perspective view showing the camera module A and the imaging section 5.
  • FIG. 3 and 4 are perspective views of the optical element driving device main body 4 included in the optical element driving device 1 of the camera module A shown in FIG.
  • FIG. 4 is a diagram of the optical element driving device main body 4 shown in FIG. 3 rotated by 180° around the Z-axis.
  • this embodiment will be described using an orthogonal coordinate system (X, Y, Z).
  • the drawings to be described later are also shown in a common orthogonal coordinate system (X, Y, Z).
  • the camera module A when photographing is performed by the smartphone M, the camera module A is mounted so that the X direction is the up-down direction (or the left-right direction), the Y direction is the left-right direction (or the up-down direction), and the Z direction is the front-back direction. . That is, the Z direction is the optical axis direction, and in FIGS. 2 to 4, the upper side (+Z side) is the light receiving side in the optical axis direction, and the lower side ( ⁇ Z side) is the imaging side in the optical axis direction.
  • optical axis orthogonal direction the X direction and the Y direction orthogonal to the Z axis
  • XY plane the XY plane
  • optical axis orthogonal plane the direction orthogonal to the optical axis
  • the camera module A includes an optical element driving device 1 that realizes an AF function and an OIS function, a lens unit 2 configured by housing a lens in a cylindrical lens barrel, and an image formed by the lens unit 2.
  • An imaging unit 5 and the like are provided for capturing an image of the subject. That is, the optical element driving device 1 is a so-called lens driving device that drives the lens portion 2 as an optical element.
  • the optical element driving device main body 4 is covered with a cover 3 on the outside.
  • the cover 3 is a lidded quadrangular cylinder having a rectangular shape in a plan view seen from the optical axis direction. In this embodiment, the cover 3 has a square shape in plan view.
  • the cover 3 has a substantially circular opening 301 on its upper surface.
  • the lens unit 2 is accommodated in the opening 401 of the optical element driving device main body 4 and faces the outside through the opening 301 of the cover 3. For example, as it moves in the optical axis direction, the lens unit 2 moves toward the light receiving side of the opening surface of the cover 3 in the optical axis direction.
  • the inner wall of the cover 3 is fixed to the base 21 (see FIG. 5 which will be described later) of the OIS fixing portion 20 of the optical element driving device main body 4 by, for example, adhesion, and the OIS movable portion 10 etc. (FIG. ).
  • the cover 3 has a member that blocks electromagnetic waves from the outside of the optical element driving device 1, for example, a shield member made of a magnetic material.
  • the imaging unit 5 is arranged on the imaging side of the optical element driving device 1 in the optical axis direction.
  • the imaging unit 5 has, for example, an image sensor substrate 501 , an imaging device 502 mounted on the image sensor substrate 501 , and a control unit 503 .
  • the imaging device 502 is configured by, for example, a CCD (charge-coupled device) image sensor, a CMOS (complementary metal oxide semiconductor) image sensor, or the like, and captures an object image formed by the lens unit 2 .
  • CCD charge-coupled device
  • CMOS complementary metal oxide semiconductor
  • the control unit 503 is composed of, for example, a control IC, and controls driving of the optical element driving device 1 .
  • the optical element driving device 1 is mounted on the image sensor substrate 501 and mechanically and electrically connected.
  • the control unit 503 may be provided on the image sensor substrate 501, or may be provided on a camera-equipped device (in this embodiment, the smart phone M) on which the camera module A is mounted.
  • FIG. 5 is an exploded perspective view of the main body 4 of the optical element driving device.
  • FIG. 6 is an exploded perspective view of the OIS movable portion 10.
  • FIG. FIG. 7 is a plan view of the main body 4 of the optical element driving device. The optical element driving device main body 4 will be described with reference to FIGS. 5 to 7 as well.
  • the optical element driving device main body 4 includes an OIS movable portion 10, an OIS fixed portion 20, an OIS driving portion 30, an OIS supporting portion 40, and an OIS biasing member 50, as shown in FIG.
  • the OIS movable portion 10 is a portion that can hold the lens portion 2 and that swings within a plane perpendicular to the optical axis during shake correction.
  • the OIS movable section 10 has an AF section 11, a second stage 14, and an OIS support section 40 (Y-direction reference ball 42) (see FIG. 6).
  • the AF section 11 has an AF movable section 12, a first stage 13, an AF drive section 15, and AF support sections 16A and 16B (see FIGS. 5 and 6).
  • the OIS fixing part 20 has a base 21 and an OIS supporting part 40 (X-direction reference ball 41), as shown in FIG.
  • the OIS fixing section 20 is arranged at a position separated from the OIS movable section 10 in the optical axis direction via the OIS support section 40, and the OIS support section 40 allows the OIS movable section 10 to swing in the direction perpendicular to the optical axis. This is the supporting part.
  • the OIS movable section 10 is spaced apart from the base 21 in the optical axis direction via the X-direction reference ball 41 , and the base 21 is connected to the OIS movable section 10 via the X-direction reference ball 41 . is swingably supported.
  • the OIS movable part 10 and the OIS fixed part 20 are elastically connected by the OIS biasing member 50 so as to be biased toward each other, in other words, to hold the OIS support part 40 sandwiched therebetween. (see FIGS. 3-5).
  • the OIS biasing member 50 is made of a conductive material. Although the details will be described later, the OIS biasing member 50 also functions as a connection member that forms a conductive path between a circuit for driving the lens unit 2 and the like and a circuit on the OIS fixing unit 20 side.
  • the OIS biasing members 50 are arranged at the four corner portions (corner portions) in plan view of the optical element driving device main body 4 (see FIGS. 3 and 4).
  • the OIS driving section 30 has a first OIS driving section 30X that drives the OIS movable section 10 in the X direction, and a second OIS driving section 30Y that drives the OIS movable section 10 in the Y direction.
  • the entire OIS movable section 10 including the AF section 11 moves as a movable body with respect to movement in the X direction.
  • the base 21 of the OIS fixing portion 20 constitutes a fixed body
  • the X direction reference ball 41 functions as an OIS support portion 40 that supports the OIS movable portion 10 so as to be swingable in the X direction. do.
  • the AF section 11 moves as a movable body with respect to movement in the Y direction.
  • the second stage 14 constitutes a fixed body together with the base 21, and the Y direction reference ball 42 functions as an OIS support portion 40 that supports the AF portion 11 so as to be swingable in the Y direction. do.
  • [OIS fixing part] 9 is a plan view of the OIS fixing portion 20.
  • FIG. 10 is a bottom view of the OIS fixing portion 20.
  • FIG. The OIS fixing unit 20 will be described with reference to FIGS. 9 and 10 as well.
  • the OIS fixing section 20 has a base 21, a substrate 22, a first OIS driving section 30X, and an OIS supporting section 40 (X-direction reference ball 41) (see FIG. 5).
  • the base 21 is formed of, for example, polyarylate (PAR), a PAR alloy (for example, PAR/PC) obtained by mixing a plurality of resin materials including PAR, or a molding material made of liquid crystal polymer.
  • the base 21 is a rectangular member in plan view and has a circular opening 211 in the center.
  • the base 21 has an OIS motor fixing portion 217 on which the first OIS driving portion 30X is arranged.
  • the OIS motor fixing portion 217 is provided, for example, near one corner of the base 21, protrudes from the base 21 toward the light receiving side in the optical axis direction, and has a shape capable of holding the first OIS driving portion 30X. (see Figure 5).
  • the base 21 also has an X-direction reference ball holding portion 218 that holds the X-direction reference ball 41 that constitutes the OIS support portion 40 .
  • the X-direction reference ball 41 is sandwiched between the X-direction reference ball holding portion 218 and the X-direction reference ball holding portion 144 (see FIG. 11 described later) of the second stage 14 facing each other in the Z direction.
  • the X-direction reference ball holding portion 218 and the X-direction reference ball holding portion 144 are recesses having rectangular openings extending in the X direction.
  • the X-direction reference ball holding portion 218 and the X-direction reference ball holding portion 144 have, for example, a substantially V-shaped (tapered) cross-sectional shape or a substantially U-shaped cross section so that the groove width becomes narrower toward the bottom surface of the recess. formed to be
  • the groove formed by the recess having the cross-sectional shape described above is formed parallel to the X direction, so that the X direction reference ball holding portion 218 and the X direction reference ball holding portion 144 are sandwiched.
  • the ball 41 can roll in the X direction within the recess. That is, the base 21 supports the OIS movable part 10 (second stage 14) through the X-direction reference ball 41 so as to be movable in the X-direction.
  • the X-direction reference ball holding portion 218 and the X-direction reference ball holding portion 144 are arranged at four corners of the rectangular base 21 and the second stage 14, and the OIS movable portion 10 (second stage 14) has four It is supported on the base 21 by the X-direction reference ball 41, that is, at four points. In this way, the X-direction reference ball 41 is sandwiched by multi-point contact, so that it rolls stably in the Y-direction.
  • the OIS movable section 10 (second stage 14) should be supported by the base 21 at least at three points or more.
  • the X-direction reference ball holding portion 218 and the X-direction reference ball holding portion 218 and The X-direction reference ball holding portion 144 may be arranged.
  • a plurality of terminals 23 and power supply lines 25Xa, 25Xb, 25Ya, 25Yb, 25Za, 25Zb, 25Zc, and 25Zd are arranged on the outer edge of the base 21 (see FIGS. 9 and 10).
  • the terminals 23 are embedded in the base 21 by, for example, insert molding, with one end of each terminal exposed from the top surface of the base 21 (see FIG. 9) and the other end exposed from the bottom surface of the base 21. (see FIG. 10).
  • the terminal 23 is a terminal for power supply and signal to driver ICs 221X, 221Y, and 221Z which drive the first OIS driving section 30X, the second OIS driving section 30Y, and the AF driving section 15, respectively.
  • the power supply wirings 25Xa and 25Xb are formed so as to be exposed on the upper surface of the base 21 from the inner end to the outer end in the outer edge portion of the base 21 (see FIG. 9).
  • the power supply wirings 25Ya and 25Yb have inner ends exposed on the top surface of the base 21 (see FIG. 9) and outer ends exposed on the bottom surface of the base 21 at the corners that are the outer edge portions of the base 21. (see FIG. 10).
  • the power supply wirings 25Za, 25Zb, 25Zc, and 25Zd have inner ends exposed on the upper surface of the base 21 at corners, which are outer edge portions of the base 21 (see FIG. 9), and outer ends of the base 21. (see FIG. 10).
  • the inner ends of the power supply wirings 25Xa and 25Xb are connected to the substrate 22 and connected to the driver IC 221X via a booster section 60, which will be described later. Outer ends of the power supply lines 25Xa and 25Xb are connected to the first OIS driver 30X. Further, the inner ends of the power supply wirings 25Ya and 25Yb are connected to the substrate 22 and connected to the driver IC 221Y via the boosting section 60, which will be described later. The outer ends of the power supply wirings 25Ya and 25Yb are connected to the second OIS driving section 30Y via the OIS biasing member 50 and the power supply wirings 18Ya and 18Yb.
  • the inner ends of the power supply wirings 25Za, 25Zb, 25Zc, and 25Zd are connected to the substrate 22 and connected to the driver IC 221Z via a boosting section 60, which will be described later.
  • the outer ends of the power supply wirings 25Za, 25Zb, 25Zc and 25Zd are connected to the two AF drive units 15 via the OIS biasing member 50 and the power supply wirings 18Za, 18Zb, 18Zc and 18Zd.
  • the driver IC 221X is a 1-channel driver IC that controls driving of one drive unit
  • the driver IC 221Y is also a similar 1-channel driver IC
  • the driver IC 221Z is a two-channel driver IC that controls driving of the two drive units.
  • the number of channels in the driver ICs 221X, 221Y, and 221Z can be appropriately changed according to the number of drive units to be driven.
  • the substrate 22 is arranged on the light receiving side of the base 21 in the optical axis direction.
  • the substrate 22 is electrically connected to terminals 23 exposed on the upper surface of the base 21, and the terminals 23 are connected to the driver ICs 221X, 221Y, 221Z, etc. via wiring (not shown) formed on the substrate 22.
  • the driver ICs 221X, 221Y, and 221Z are connected to power supply wirings 25Xa, 25Xb, 25Ya, 25Yb, 25Za, 25Zb, 25Zc, and 25Zd via wiring (not shown) formed on the substrate 22 .
  • the power supply lines 25Xa, 25Xb, 25Ya, 25Yb, 25Za, 25Zb, 25Zc, and 25Zd are connected to the first OIS driving section 30X, the second OIS driving section 30Y, and the AF driving section 15 as described above.
  • the driver ICs 221X, 221Y, and 221Z are arranged on the light-receiving side of the substrate 22 in the optical axis direction, and each have a magnetic sensor (not shown).
  • These magnetic sensors are composed of, for example, Hall elements, TMR (Tunnel Magneto Resistance) sensors, etc., and detect magnetic fields generated by magnets 17X, 17Y, and 17Z (magnets) described later, and detect X, Y, and A position in the Z direction is detected magnetically.
  • the driver ICs 221X, 221Y, and 221Z are provided in a region where the AF drive section 15, AF support sections 16A, 16B, first OIS drive section 30X, and second OIS drive section 30Y are not arranged (see FIG. 5). reference). That is, it is provided in a region near one corner of the rectangular base 21 in plan view (see FIG. 9). As a result, the driver ICs 221X, 221Y, and 221Z can be concentrated in one area, and the space inside the optical element driving device main body 4 can be effectively utilized.
  • a magnet 17X is arranged on the bottom side of the second stage 14 that moves in the X direction, and the driver IC 221X and the magnet 17X are arranged to face each other.
  • the X-direction position of the second stage 14, that is, the X-direction position of the OIS movable section 10 is detected by an X-direction position detection section including the driver IC 221X and the magnet 17X.
  • a magnet 17Y is arranged on the bottom side of the first stage 13 that moves in the Y direction, and the driver IC 221Y and the magnet 17Y are arranged so as to face each other.
  • a Y-direction position detection unit including the driver IC 221Y and the magnet 17Y detects the Y-direction position of the first stage 13, that is, the Y-direction position of the OIS movable unit 10.
  • a magnet 17Z is arranged on the bottom side of the AF movable portion 12 that moves in the Z direction, and the driver IC 221Z and the magnet 17Z are arranged so as to oppose each other.
  • the Z-direction position of the AF movable section 12 is detected by the Z-direction position detection section including the driver IC 221Z and the magnet 17Z.
  • an optical sensor such as a photoreflector may be used to detect the positions of the OIS movable section 10 in the X and Y directions and the position of the AF movable section 12 in the Z direction.
  • the optical element driving device 1 ultrasonic motors including piezoelectric elements are used as the AF driving section 15, the first OIS driving section 30X, and the second OIS driving section 30Y from the viewpoint of miniaturization. Since a relatively large drive voltage is required to drive the ultrasonic motor, this embodiment includes a booster 60 that boosts the input voltage to a desired voltage.
  • the boosting section 60 is connected between the driver IC 221X and the first OIS driving section 30X, between the driver IC 221Y and the second OIS driving section 30Y, and between the driver IC 221Z and the AF driving section 15.
  • the drive circuit is configured to The driver ICs 221X, 221Y, and 221Z are arranged on the upper surface side (light receiving side in the optical axis direction) of the substrate 22 (see FIG. 9). side) (see FIG. 10).
  • the driver ICs 221X, 221Y, and 221Z each have Hall elements as magnetic sensors.
  • the driver ICs 221X, 221Y, 221Z output drive currents according to the positions of the magnets 17X, 17Y, 17Z detected by the respective Hall elements.
  • a series resonance circuit having an inductor, a circuit in which a capacitor is connected in parallel to the series resonance circuit, or the like can be used as the booster section 60 .
  • the drive currents output from the driver ICs 221X, 221Y, and 221Z are boosted in voltage by the booster 60 and supplied to the first OIS drive section 30X, the second OIS drive section 30Y, and the AF drive section 15, respectively. Accordingly, the first OIS driving section 30X and the second OIS driving section 30Y are driven to perform shake correction, and the AF driving section 15 is driven to perform autofocus.
  • the optical element driving device 1 has two AF driving units 15, a first OIS driving unit 30X and a second OIS driving unit 30Y, and therefore has four sets of boosting units 60.
  • the boosting section 60 is arranged at a position away from the magnets 17X, 17Y, 17Z and the driver ICs 221X, 221Y, 221Z.
  • the inductor of the booster section 60 has magnetic performance, but the arrangement described above can suppress the magnetic influence of the inductor of the booster section 60 on the magnets 17X, 17Y, 17Z and the driver ICs 221X, 221Y, 221Z. .
  • magnets 17X, 17Y, and 17Z arranged on the light-receiving side of the base 21 in the optical axis direction are arranged on the lower left side of the figure.
  • the boosting section 60 is arranged at a position away from the magnets 17X, 17Y and 17Z, at least at a position not facing the magnets 17X, 17Y and 17Z.
  • the boosting section 60 is arranged on the bottom surface side of the substrate 22, which is the surface that does not face the magnets 17X, 17Y, and 17Z.
  • an opening 219 penetrating through the base 21 is provided. be positioned.
  • the booster section 60 By arranging the booster section 60 on the bottom side of the substrate 22, it is possible to secure the distance (distance in the Z direction) between the inductor of the booster section 60 and the magnets 17X, 17Y, and 17Z. can suppress the magnetic influence of As a result, it is possible to suppress the influence on the detectability of the magnetic sensor.
  • the OIS driving section 30 is an actuator that moves the OIS movable section 10 in the X direction and the Y direction. Specifically, the OIS driving section 30 includes a first OIS driving section 30X that moves the entire OIS movable section 10 in the X direction, and a second OIS driving section 30X that moves a part of the OIS movable section 10 (the AF section 11) in the Y direction. and a portion 30Y.
  • first OIS driving section 30X and the second OIS driving section 30Y are arranged in different directions, they have the same components, so the same reference numerals are given to the same components, and refer to FIG. and explain.
  • the first OIS drive section 30X and the second OIS drive section 30Y have ultrasonic motors that serve as drive sources for moving the OIS movable section 10.
  • the first OIS driving section 30X is fixed to the OIS motor fixing section 217 along the X direction of the base 21 .
  • the second OIS driving section 30Y is fixed to the OIS motor fixing section 134 of the first stage 13 along the Y direction. That is, the first OIS driving unit 30X and the second OIS driving unit 30Y are arranged along the X-direction side surface 101X and the Y-direction side surface 101Y that are orthogonal to each other in the OIS movable unit 10 (see FIGS. 3 to 5, etc.). ).
  • the first OIS drive section 30X and the second OIS drive section 30Y have an OIS resonance section 31 that is a resonance section, an OIS piezoelectric element 32 that is a piezoelectric element, and an OIS power transmission section 34 that is a power transmission section.
  • the driving force of the OIS drive section 30 is transmitted to other members via the OIS power transmission section 34 .
  • the first OIS driving section 30X is connected to the second stage 14 via the OIS power transmission section 34, and the driving force thereof is transmitted.
  • the second OIS driving section 30Y is connected to the second stage 14 via the OIS power transmission section 34, and the driving force thereof is transmitted.
  • the OIS resonance section 31 constitutes an active element
  • the OIS power transmission section 34 constitutes a passive element.
  • the OIS resonance part 31 is made of a conductive material, is sandwiched between OIS piezoelectric elements 32 to be described later, resonates with vibrations of the OIS piezoelectric elements 32, and converts vibrational motion into linear motion.
  • the OIS resonator 31 is formed by, for example, laser processing, etching processing, press processing, or the like of a metal plate.
  • the OIS resonance section 31 of the first OIS drive section 30X is fixed to the OIS motor fixing section 217 (base 21 side) with, for example, a rivet, an adhesive, or the like.
  • the OIS resonance section 31 of the second OIS drive section 30Y is fixed to the OIS motor fixing section 134 (on the first stage 13 side) with, for example, a rivet, an adhesive, or the like.
  • the OIS piezoelectric element 32 is, for example, a plate-like element made of ceramic material, and generates vibration by applying a high-frequency voltage.
  • the two OIS piezoelectric elements 32 are bonded together so as to sandwich the OIS resonator 31 .
  • the OIS piezoelectric element 32 of the first OIS driving section 30X is electrically connected to the above-described power supply wirings 25Xa and 25Xb by, for example, electrode members (not shown).
  • the OIS piezoelectric element 32 of the second OIS drive unit 30Y is electrically connected to the above-described power supply wirings 18Ya and 18Yb by, for example, electrode members (not shown) or the like. Such a connection allows a voltage to be applied to the OIS piezoelectric element 32, and the application of the voltage causes the OIS piezoelectric element 32 to vibrate.
  • the OIS resonance section 31 described above has at least two resonance frequencies, and deforms with different behavior for each resonance frequency.
  • the OIS resonator 31 is configured to deform in different behaviors with respect to two resonance frequencies.
  • the different behaviors are the behavior of advancing the OIS power transmission section 34 in the X direction or the Y direction and the behavior of retreating. Therefore, by vibrating the OIS piezoelectric element 32 at a desired resonance frequency, the OIS power transmission section 34 can be moved forward or backward in the X direction or the Y direction.
  • the OIS power transmission section 34 is a chucking guide extending in the X direction or the Y direction, one end of which is in contact with the OIS resonance section 31 and the driving force from the OIS resonance section 31 is transmitted.
  • a stage fixing portion 35 which is the other end of the OIS power transmission portion 34 , is connected to the second stage 14 .
  • the stage fixing portion 35 of the first OIS driving portion 30X is fixed to the OIS chucking guide fixing portion 145X of the second stage 14 .
  • the stage fixing portion 35 of the second OIS driving portion 30Y is fixed to the OIS chucking guide fixing portion 145Y of the second stage 14 .
  • the second OIS drive section 30Y is fixed to the first stage 13 (on the side of the OIS movable section 10) via the OIS motor fixing section 134, and connected to the second stage 14 via the OIS power transmission section 34. It is The second OIS driving unit 30Y is driven during shake correction in the Y direction, and drives the first stage 13 with respect to the second stage 14 so as to move in the Y direction. Note that the second OIS driving section 30Y moves together with the first stage 13 (OIS movable section 10) when the first OIS driving section 30X performs shake correction in the X direction.
  • the first OIS driving section 30X is fixed to the base 21 (on the OIS fixing section 20 side) via the OIS motor fixing section 217 and connected to the second stage 14 via the OIS power transmission section 34 .
  • the first OIS driving section 30X is driven during shake correction in the X direction, and drives the second stage 14 to move in the X direction with respect to the base 21 (OIS fixing section 20). Since the first OIS driving section 30X moves the second stage 14 in the X direction with respect to the base 21 (OIS fixing section 20), it is not affected by the shake correction in the Y direction by the second OIS driving section 30Y.
  • the movement by one OIS drive unit 30 is not hindered by the structure of the other OIS drive unit 30. Therefore, it is possible to prevent the rotation of the OIS movable part 10 around the Z axis, and it is possible to precisely swing the OIS movable part 10 within the XY plane.
  • the OIS support section 40 supports the OIS movable section 10 so as to be swingable in the direction perpendicular to the optical axis with respect to the OIS fixed section 20 while being spaced apart in the optical axis direction.
  • the OIS support section 40 has four X-direction reference balls 41 interposed between the OIS movable section 10 (second stage 14) and the base 21 (see FIG. 5).
  • the OIS support section 40 has four Y-direction reference balls 42 interposed between the first stage 13 and the second stage 14 in the OIS movable section 10 (see FIG. 6).
  • the four X-direction reference balls 41 can roll in the X direction, and the direction in which they can roll is restricted to the X direction.
  • the four Y-direction reference balls 42 can roll in the Y direction, and the direction in which they can roll is restricted to the Y direction.
  • OIS biasing member 50 are arranged at four corners (corners) of the rectangular OIS movable portion 10 and the OIS fixed portion 20, respectively.
  • the OIS biasing member 50 is composed of, for example, an extension coil spring, and connects the OIS movable section 10 and the OIS fixed section 20 .
  • the end portion of the OIS biasing member 50 on the imaging side in the optical axis direction is connected to the power supply wirings 25Ya, 25Yb, 25Za, 25Zb, 25Zc, and 25Zd exposed from the corners of the bottom surface of the base 21 (FIG. 10). ).
  • the light-receiving side end in the optical axis direction is connected to the power supply wirings 18Ya, 18Yb, 18Za, 18Zb, 18Zc, and 18Zd of the first stage 13 (see FIGS. 3 and 4).
  • the OIS biasing member 50 receives a tensile load when the OIS movable part 10 and the OIS fixed part 20 are connected, and acts so that the OIS movable part 10 and the OIS fixed part 20 come closer to each other. That is, the OIS movable section 10 is held so as to be able to swing within the XY plane while being biased toward the imaging side in the optical axis direction (pressed against the base 21) by the OIS biasing member 50. there is As a result, the OIS movable portion 10 can be held in a stable state without rattling.
  • two OIS urging members 50 are arranged radially outward of the two AF driving units 15 so that the AF driving units 15 can be stably driven.
  • the OIS biasing member 50 is made of a conductive material and functions as a power supply line (conductive path) to the AF driving section 15 and the second OIS driving section 30Y.
  • the OIS biasing member 50 is arranged in notches (reference numerals omitted) obtained by notching the four corners (corner portions) of the first stage 13 and the second stage 14 (FIGS. 3 and 4). ). Since the notches are formed in the first stage 13 and the second stage 14, the OIS biasing member 50 can be arranged without increasing the size of the base 21, thereby suppressing an increase in the size of the device. , the size of the optical element driving device 1 can be reduced.
  • [OIS moving part] 11 is a bottom view of the OIS movable part 10.
  • FIG. The OIS movable section 10 will be described with reference to FIG. 11 as well.
  • the OIS movable section 10 is configured to be able to hold the lens section 2 (see FIG. 2), and has an AF section 11, a second stage 14, etc., as shown in FIGS.
  • the AF section 11 also includes an AF movable section 12, a first stage 13, an AF drive section 15, AF support sections 16A and 16B, and the like.
  • the OIS movable section 10 is configured by stacking a first stage 13 and a second stage 14 on the base 21 of the OIS fixed section 20 .
  • the OIS movable section 10 is configured to be movable in the direction orthogonal to the optical axis together with the AF movable section 12 by the OIS driving section 30 (the first OIS driving section 30X and the second OIS driving section 30Y).
  • the entire OIS movable section 10 including the first stage 13 and the second stage 14 is a movable body.
  • the second stage 14 functions as a fixed body together with the OIS fixed section 20, and only the AF section 11 (AF movable section 12 and first stage 13) functions as a movable body.
  • the first stage 13 also functions as an AF fixed section that supports the AF movable section 12 .
  • FIG. 8 is a plan view showing the positional relationship between the OIS fixing section 20 and the AF movable section 12. As shown in FIG. 13 is a bottom view of the AF movable section 12. FIG. The AF movable section 12 will be described with reference to FIGS. 8 and 13 as well. 8 shows the OIS fixed part 20 and the AF movable part 12 in order to show the positional relationship between the OIS fixed part 20 and the AF movable part 12. The first stage 13 and the second stage 14 are shown in FIG. not shown.
  • the AF movable section 12 is a lens holder capable of holding the lens section 2 (see FIG. 2), and is configured to be movable in the optical axis direction (Z direction) by the AF driving section 15 while holding the lens section 2. ing.
  • the AF movable portion 12 is moved in the optical axis direction, for example, during focusing in the AF function.
  • the AF movable section 12 is arranged radially inward (on the side of the lens section 2) with a distance from the first stage 13 (AF fixed section), and is supported by the first stage 13 via AF support sections 16A and 16B. (see FIG. 5).
  • the AF movable part 12 is made of, for example, polyarylate (PAR), a PAR alloy obtained by mixing a plurality of resin materials including PAR, liquid crystal polymer, or the like.
  • PAR polyarylate
  • PAR alloy obtained by mixing a plurality of resin materials including PAR, liquid crystal polymer, or the like.
  • the AF movable section 12 has a lens accommodating section 121 having a cylindrical opening inside.
  • the lens portion 2 is fixed to the inner peripheral surface 121a of the lens housing portion 121 by, for example, adhesion (see FIG. 6).
  • the AF movable portion 12 has a protruding portion 123 protruding radially outward from a portion of the outer peripheral surface 121b of the lens accommodating portion 121 and extending toward the imaging side in the optical axis direction.
  • a magnet 17Z for detecting the Z position is provided inside the projecting portion 123.
  • the magnet 17Z is arranged at a position facing the Z-position driver IC 221Z (magnetic sensor) of the substrate 22 in the optical axis direction (see FIG. 8, etc.).
  • the projecting portion 123 is inserted into an insertion hole 132 of the first stage 13, which will be described later, and moves along the insertion hole 132 when the AF movable portion 12 moves in the Z direction.
  • a first rail member 161 that constitutes the AF support portions 16A and 16B is attached on the outer peripheral surface 121b of the lens housing portion 121.
  • the first rail members 161 are attached to three locations on the outer peripheral surface 121b of the lens accommodating portion 121.
  • the AF movable portion 12 is supported movably in the Z direction by AF support portions 16A and 16B having first rail members 161 and the like.
  • the AF support portions 16A and 16B having the first rail member 161 will be described later.
  • the lens accommodating section 121 is connected to the AF drive section 15 by an AF connection member (not shown).
  • the AF movable section 12 is driven by the AF driving section 15 via the AF connection member connected to the lens accommodating section 121 to move in the Z direction.
  • the AF driving section 15 is an actuator that moves the AF movable section 12 in the Z direction.
  • the AF driving section 15 has an ultrasonic motor that serves as a driving source for moving the AF movable section 12, similarly to the OIS driving section 30. As shown in FIG.
  • the AF drive unit 15 has a different size, shape, etc., but basically has the same configuration as the OIS drive unit 30, and includes an AF resonance unit as a resonance unit, an AF piezoelectric element as a piezoelectric element, and a power It has an AF power transmission section which is a transmission section. Therefore, as for the AF drive unit 15, illustration of its constituent elements is omitted, and redundant description is also omitted.
  • the AF drive unit 15 is fixed to the inner peripheral surface 131a of the opening 131 of the first stage 13 with, for example, a rivet, an adhesive, or the like.
  • the driving force of the AF drive section 15 fixed to the inner peripheral surface 131a is transmitted to the AF movable section 12 via the AF power transmission section and the AF connection member.
  • the AF resonance section constitutes an active element
  • the AF power transmission section constitutes a passive element.
  • a pair of AF drive units 15 are provided in the present embodiment. Although the arrangement of the AF drive units 15 will be described later with reference to FIG. 14 , the pair of AF drive units 15 are arranged at diagonal positions of the OIS movable unit 10 .
  • [1st stage] 12 is a bottom view of the AF movable section 12 and the first stage 13. FIG. Also referring to FIG. 12, the first stage 13 will be described.
  • the first stage 13 supports the AF movable section 12 via AF support sections 16A and 16B.
  • the second stage 14 is arranged on the imaging side of the first stage 13 in the optical axis direction with a Y-direction reference ball 42 interposed therebetween.
  • the first stage 13 moves in the X and Y directions during shake correction, and the second stage 14 moves only in the X direction during shake correction.
  • the first stage 13 is a member having a substantially rectangular shape in a plan view seen from the optical axis direction, and is made of liquid crystal polymer, for example.
  • the first stage 13 has a substantially circular opening 131 in a portion corresponding to the AF movable section 12 .
  • An insertion hole 132 corresponding to the projecting portion 123 of the AF movable portion 12 is formed in the first stage 13 (see FIG. 6).
  • the first stage 13 has a Y-direction reference ball holding portion 133 that holds the Y-direction reference ball 42 constituting the OIS support portion 40 on its lower surface (see FIG. 12).
  • the Y-direction reference ball 42 is sandwiched between the Y-direction reference ball holding portion 133 and the Y-direction reference ball holding portion 143 of the second stage 14 facing in the Z direction (see FIG. 6).
  • the Y-direction reference ball holding portion 133 and the Y-direction reference ball holding portion 143 are recesses having rectangular openings extending in the Y direction.
  • the Y-direction reference ball holding portion 133 and the Y-direction reference ball holding portion 143 have, for example, a substantially V-shaped (tapered) or substantially U-shaped cross section so that the groove width becomes narrower toward the bottom surface of the recess. formed to be
  • the groove formed by the concave portion having the above-described cross-sectional shape is formed parallel to the Y direction.
  • the ball 42 can roll in the Y direction within the recess. That is, in the OIS movable section 10 , the second stage 14 supports the first stage 13 movably in the Y direction via the Y-direction reference ball 42 .
  • the Y-direction reference ball holding portion 133 and the Y-direction reference ball holding portion 143 are arranged at the four corners of the rectangular first stage 13 and second stage 14.
  • the first stage 13 holds four Y-direction reference balls. It is supported by the second stage 14 at 42, that is, at four points. In this way, the Y-direction reference ball 42 is sandwiched by multi-point contact, so that it rolls stably in the Y-direction.
  • the first stage 13 may be supported by the second stage 14 at least three points.
  • the Y-direction reference ball holders are placed at three points in total: two points on one side of the first stage 13 and second stage 14 and one point on the side opposite to the side.
  • 133 and the Y-direction reference ball holding portion 143 may be arranged.
  • the OIS motor fixing portion 134 on which the second OIS driving portion 30Y is arranged is recessed radially inward so that the second OIS driving portion 30Y can be arranged without protruding radially outward. (See Figure 6).
  • the concave portion 137 in which the first OIS driving portion 30X is arranged is also formed so as to be concave inward in the radial direction.
  • two AF motor fixing portions (reference numerals omitted) are provided at positions symmetrical with respect to the center of the opening 131.
  • the AF drive units 15 are arranged and fixed to the respective motor fixing portions.
  • Second rail members 164 and 165 that constitute the AF support portions 16A and 16B are attached to the inner peripheral surface 131a of the opening 131. As shown in FIG. Here, as an example, the second rail members 164 and 165 are attached to the inner peripheral surface 131a of the opening 131 at three locations. AF support portions 16A and 16B having second rail members 164 and 165 will be described later.
  • a magnet 17Y for detecting the Y position is arranged on the bottom surface of one frame portion along the X direction (see FIG. 12).
  • the magnet 17Y is magnetized in the Y direction.
  • the driver IC 221Y having a magnetic sensor for detecting the Y position is arranged at a position facing the magnet 17Y in the optical axis direction (see FIGS. 8, 9, etc.).
  • power supply wirings 18Ya, 18Yb, 18Za, 18Zb, 18Zc, and 18Zd are embedded in the first stage 13 by, for example, insert molding (see FIG. 6).
  • the power supply wirings 18Ya, 18Yb, 18Za, 18Zb, 18Zc, and 18Zd are exposed from notches (reference numerals omitted) obtained by notching the four corners of the first stage 13, and the OIS biasing members 50 are attached to these portions. is connected.
  • the power supply wirings 18Ya and 18Yb are formed inside the first stage 13 so as to extend from the notches at the four corners to the vicinity of the second OIS drive section 30Y to which power is to be supplied, and are connected to the second OIS drive section 30Y. Further, the power supply wirings 18Za and 18Zb are formed inside the first stage 13 so as to extend from the notches at the four corners to the vicinity of one AF driving section 15 to which power is to be supplied, and are connected to the AF driving section 15. there is In addition, the power supply wirings 18Zc and 18Zd are formed inside the first stage 13 so as to extend from the notches at the four corners to the vicinity of another AF drive unit 15 to which power is to be supplied, and are connected to the AF drive unit 15. It is
  • power is supplied to the second OIS driving section 30Y that moves the first stage 13 in the Y direction through the power supply wirings 18Ya and 18Yb.
  • power is supplied to the AF drive section 15 that moves the AF movable section 12 in the Z direction through the power supply wirings 18Za, 18Zb, 18Zc, and 18Zd.
  • the second stage 14 is a member having a substantially rectangular shape in plan view seen from the optical axis direction, and is made of liquid crystal polymer, for example.
  • the opening 141 of the second stage 14 is formed in a substantially rectangular shape (see FIG. 6).
  • the concave portion 146 in which the second OIS driving portion 30Y is arranged is formed so as to be concave inward in the radial direction, similarly to the first stage 13.
  • a cutout portion 147 in which the first OIS driving portion 30X is arranged is formed integrally with the cutout portion of the corner portion.
  • the second stage 14 has a Y-direction reference ball holding portion 143 that holds the Y-direction reference ball 42 constituting the OIS support portion 40 on its upper surface.
  • the Y-direction reference ball holding portion 143 may have the same configuration as the above-described Y-direction reference ball holding portion 133 arranged to face the Y-direction reference ball holding portion 143, so redundant description will be omitted here. .
  • the second stage 14 has an X-direction reference ball holding portion 144 that holds the X-direction reference ball 41 constituting the OIS support portion 40 on its lower surface (see FIG. 11).
  • the X-direction reference ball holding portion 144 may have the same configuration as the X-direction reference ball holding portion 218 arranged to face the X-direction reference ball holding portion 144, so redundant description will be omitted here as well. .
  • a magnet 17X for detecting the X position is arranged on the bottom surface of one frame portion along the Y direction (see FIG. 11).
  • magnet 17X is magnetized in the X direction.
  • the driver IC 221X having the magnetic sensor for detecting the X position is arranged at a position facing the magnet 17X in the optical axis direction (see FIGS. 8, 9, etc.).
  • the magnet 17X is arranged on the second stage 14 that moves in the X direction
  • the magnet 17Y is arranged on the first stage 13 that moves in the Y direction (FIGS. 11 and 12).
  • the first stage 13 moves, but the second stage 14 does not move, and the magnet 17X arranged on the second stage 14 does not move either. Therefore, the influence of the magnet 17Y is eliminated when the magnet 17X detects the position in the X direction, and the detection accuracy can be improved.
  • the first rail member 161 is attached to the outer peripheral surface 121b of the lens housing portion 121 of the AF movable portion 12, and the second rail member 164 is attached to the inner peripheral surface 131a of the opening 131 of the first stage 13. , 165 are attached (see FIG. 6).
  • a Z-direction reference ball 162 held by a retainer 163 is sandwiched between the first rail member 161 and the second rail member 164 to form the AF support portion 16A.
  • a Z-direction reference ball 162 held by a retainer 163 is sandwiched between the first rail member 161 and the second rail member 165 to form the AF support portion 16B.
  • the AF support section 16A has a first rail member 161, a Z-direction reference ball 162, a retainer 163 and a second rail member 164.
  • the AF support portion 16B has a first rail member 161, a Z-direction reference ball 162, a retainer 163, and a second rail member 165.
  • the first rail member 161 is attached to a clamping surface (reference numerals omitted) that rotatably clamps the Z-direction reference ball 162 when the first rail member 161 moves in the Z direction together with the AF movable section 12, and to the outer peripheral surface 121b of the lens housing section 121. and a claw portion (not shown).
  • the clamping surface is a curved surface extending in the optical axis direction, and is curved such that the central portion thereof is recessed inside the lens accommodating portion 121 in plan view.
  • the claw portions extend toward the inner side of the lens accommodating portion 121 and are arranged at two locations sandwiching the holding surface.
  • the outer peripheral surface 121b of the lens accommodating portion 121 is formed with an insertion groove (reference numerals omitted) into which the claw portion is inserted.
  • the first rail member 161 is attached to the outer peripheral surface 121b of the lens accommodating portion 121 by inserting the claw portion into the insertion groove and fixing it.
  • the second rail member 164 also has a clamping surface (reference numeral omitted) that rotatably clamps the Z-direction reference ball 162 .
  • the clamping surface is a curved surface extending in the optical axis direction, and the central portion thereof is curved so as to be recessed outward with respect to the outer peripheral surface 121b of the lens accommodating portion 121 in plan view.
  • the second rail member 164 is arranged in a groove (not numbered) formed in the inner peripheral surface 131a of the opening 131, and fixed to the groove by, for example, a bonding method such as an adhesive.
  • the second rail member 165 includes a fixed portion (not shown) fixed to a recess (not shown) formed in the inner peripheral surface 131a of the opening 131, and a biasing force contacting the Z-direction reference ball 162 to apply a biasing force. part (reference numeral omitted).
  • the inside of the applying portion serves as a holding surface (reference numerals omitted) that rotatably holds the Z-direction reference ball 162 .
  • the clamping surface is a curved surface extending in the optical axis direction, and the central portion thereof is curved so as to be recessed outward with respect to the outer peripheral surface 121b of the lens accommodating portion 121 in plan view.
  • the applicator is connected to two deformation sections arranged to sandwich the applicator.
  • the deforming portion is formed in a meandering shape, and the deforming portions arranged at two locations are arranged so as to be line-symmetrical with the applying portion interposed therebetween.
  • the deformable portion formed in this manner is elastically deformable, and transmits a restoring force generated by elastic deformation to the applying portion as an urging force. That is, the second rail member 165 functions as an elastic member.
  • the retainer 163 holds two Z-direction reference balls 162, for example.
  • the two Z-direction reference balls 162 are arranged side by side along the optical axis direction by the retainer 163, are positioned in the optical axis direction, and are held at a constant distance from each other.
  • the retainer 163 may have three or more Z-direction reference balls 162 (balls), but if it has two balls, the diameter of the balls should be larger than if it has three or more balls. can reduce the rolling resistance of the ball.
  • two AF support portions 16A and one AF support portion 16B are arranged. movably supported.
  • the AF support portions 16A and 16B are arranged in at least three dispersed positions in the circumferential direction on the inner peripheral surface 131a of the opening 131 of the first stage 13 .
  • the angles between the AF support parts 16A and 16B are arranged at intervals of 120°, but this angle can be changed as appropriate.
  • the AF support portions 16A and 16B may be dispersedly arranged at four or more points on the inner peripheral surface 131a of the opening 131.
  • the three-point support Preferably, they are placed at multiples of 3, such as 6 or 9, to provide additional support between them.
  • the Z-direction reference ball 162 is configured to be pressed and urged toward the first rail member 161 by the second rail members 164 and 165.
  • the Z-direction reference ball 162 is configured to contact the first rail member 161 and press and urge it in the direction toward the inside of the opening 131 .
  • the direction of the pressing forces F1 to F3 with which the Z-direction reference ball 162 presses the first rail member 161 is a point located inside the opening 131 when viewed from the optical axis direction. (see dashed-dotted and double-dotted lines).
  • the directions of the pressing forces F1 to F3 are desirably directed toward the center of the opening 131 (the position of the optical axis OA).
  • the AF support portions 16A and 16B and the AF drive portion 15 are arranged at different locations.
  • a total of three AF support sections 16A and 16B and a total of two AF driving sections 15 are arranged. More specifically, one AF driving section 15 is arranged between the one AF supporting section 16A and the AF supporting section 16B, and the other AF driving section 15 is arranged between the other AF supporting section 16A and the AF supporting section 16B.
  • a portion 15 is arranged.
  • the AF drive units 15 are arranged separately in the circumferential direction on the inner peripheral surface 131a of the opening 131, similarly to the AF support units 16A and 16B.
  • the AF drive unit 15 is arranged at two locations that are point-symmetrical with respect to the center of the opening 131, which are different from the locations where the AF support units 16A and 16B are arranged.
  • the first stage 13 moves the AF movable portion 12 through the AF support portions 16A and 16B. It can be stably supported.
  • the Z-direction reference balls 162 of the AF support portions 16A and 16B are configured to abut against the first rail member 161 and press and urge the lens accommodating portion 121 inward. For this reason, the AF movable portion 12 is supported so as to be movable in the optical axis direction while pressing and urging the AF movable portion 12 toward the inside of the lens housing portion 121 . ) can be suppressed. As a result, the first stage 13 can stably and movably support the AF movable section 12 and the lens section 2 via the AF support sections 16A and 16B.
  • a roller member may be used instead of the Z-direction reference ball 162.
  • the shape and the like of the first rail member 161 and the second rail members 164 and 165 may be changed according to the shape and arrangement of the roller members.
  • a shaft member extending in the optical axis direction a protrusion projecting outward from the outer peripheral surface 121b of the lens accommodating portion 121, or an inner peripheral surface 131a of the opening 131 may be provided. It may be a projecting portion that protrudes.
  • the shapes of the first rail member 161 and the second rail members 164 and 165 may be changed so that the shaft member and the projection are slidably supported in the optical axis direction.
  • FIG. 14 is a plan view schematically showing the main body 4 of the optical element driving device.
  • FIG. 14 schematically shows the arrangement of the AF drive section 15, the AF support sections 16A and 16B, the first OIS drive section 30X and the second OIS drive section 30Y, and the configuration related thereto.
  • the optical element driving device main body 4 has the first OIS driving section 30X and the second OIS driving section 30Y as described above.
  • the first OIS driving section 30X and the second OIS driving section 30Y are arranged as described below.
  • the first OIS driving section 30X and the second OIS driving section 30Y are arranged along the two side surfaces of the OIS movable section 10, that is, the X-direction side surface 101X and the Y-direction side surface 101Y, respectively.
  • the X-direction side surface 101X extends from the corner CO1 (the first corner in the present invention) to the corner CO2 (the first corner in the present invention) among the four corners CO1 to CO4. two corners).
  • the Y-direction side surface 101Y is a side surface that extends from the corner portion CO1 toward the corner portion CO3 (third corner portion in the present invention) in the OIS movable portion 10 .
  • the optical element driving device main body 4 has two AF drive sections 15, two AF support sections 16A, and one AF support section 16B.
  • the AF driving section 15 and the AF supporting sections 16A and 16B are arranged on the first stage 13 (inner peripheral surface 131a) as described below.
  • one AF support portion 16B having the second rail member 165 is arranged at a portion of the first stage 13 corresponding to one corner CO1 among the four corners CO1 to CO4.
  • the other two AF supporting portions 16A are arranged at portions avoiding the four corners CO1 to CO4.
  • a pair of AF drive units 15 are arranged in diagonally positioned portions corresponding to the corners CO2 and CO3 located on both sides of the corner CO1 so as to face each other across the optical axis OA. Arrange them accordingly. In this manner, the pair of AF drive units 15 are arranged in a distributed manner in portions different from the portions where the AF support portions 16A and 16B are arranged.
  • one AF support portion 16B is the portion that applies the biasing force from the second rail member 165, and the two AF support portions 16A are portions that receive the biasing force.
  • the position of the AF supporting portion 16A on the inner peripheral surface 131a of the opening 131 of the first stage 13 is set and arranged as follows.
  • the direction of the pressing force F1 (pressing direction) of the Z-direction reference ball 162 by the biasing force of the second rail member 165 for example, an extension line extending the direction of the pressing force F1 ( 7) is assumed.
  • the positions of the two AF supporting portions 16A are set and arranged so as to be symmetrical with respect to the assumed extension line. By arranging the two AF support portions 16A at such positions, the biasing force that the two AF support portions 16A receive from the single AF support portion 16B becomes equal, and the AF movable portion 12 is stably supported. can be done.
  • the ideal distance between the two AF support portions 16A and one AF support portion 16B is 120°. However, these intervals do not necessarily have to be 120° intervals.
  • the positions of the AF support portions 16A are arranged so as to be symmetrical with respect to the direction (extension line) of the pressing force F1.
  • a pair of AF drive units 15 are also arranged to face each other at portions corresponding to the corners CO2 and CO3 so as to be symmetrical with respect to the direction (extension line) of the pressing force F1.
  • driver ICs 221X, 221Y, and 221Z having magnetic sensors are arranged in a portion of the substrate 22 attached to the base 21 corresponding to the corner CO4 (fourth corner in the present invention) facing the corner CO1.
  • the AF drive section 15, AF support section 16B, and driver ICs 221X, 221Y, and 221Z, which require space, are arranged at portions corresponding to the four corners CO1 to CO4. Further, the AF support portion 16A, which does not require a space as compared with the AF support portion 16B, is arranged in a portion avoiding the corner portions CO1 to CO4. In other words, the space inside the optical element driving device 1 is effectively used to arrange the AF drive section 15, the AF support section 16A, the AF support section 16B, and the driver ICs 221X, 221Y, and 221Z. Therefore, the pair of AF driving units 15 can be arranged in the optical element driving device 1, and the size of the optical element driving device 1 can be reduced.
  • optical element driving device In the optical element driving device 1, when a voltage is applied to the AF drive section 15, the AF piezoelectric element vibrates, and the AF resonance section resonates and deforms with behavior according to the frequency. The deformation of the AF resonance section causes the AF power transmission section to move in the Z direction. Along with this, the AF movable portion 12 moves in the Z direction, and focusing is performed. Since the AF support portions 16A and 16B have balls (Z-direction reference balls 162), the AF movable portion 12 can move smoothly in the Z-direction. In the AF drive unit 15, the AF power transmission unit is in contact with the AF resonance unit in a biased state. The moving stroke of the AF movable part 12 can be easily lengthened without impairing the efficiency.
  • the OIS piezoelectric element 32 vibrates, and the OIS resonance section 31 resonates and deforms with behavior according to the frequency. Due to the deformation of the OIS resonance portion 31, the OIS power transmission portion 34 moves in the X direction and the Y direction. Accordingly, the OIS movable portion 10 moves in the X direction and the Y direction, and shake correction is performed. Since the OIS support section 40 has balls (X-direction reference ball 41 and Y-direction reference ball 42), the OIS movable section 10 can move smoothly in the X and Y directions.
  • the second OIS drive unit 30Y when the second OIS drive unit 30Y is driven and the OIS power transmission unit 34 moves in the Y direction, power is transferred from the first stage 13 on which the second OIS drive unit 30Y is arranged to the second stage 14. transmitted.
  • the X-direction reference ball 41 sandwiched between the second stage 14 and the base 21 cannot roll in the Y-direction, the position of the second stage 14 with respect to the base 21 in the Y-direction is maintained.
  • the Y-direction reference ball 42 sandwiched between the first stage 13 and the second stage 14 can roll in the Y-direction, the first stage 13 moves in the Y-direction with respect to the second stage 14 . That is, the base 21 and the second stage 14 serve as fixed bodies for the OIS function, and the AF section 11 (the AF movable section 12 and the first stage 13) serve as the movable bodies for the OIS function.
  • the first OIS drive unit 30X when the first OIS drive unit 30X is driven and the OIS power transmission unit 34 moves in the X direction, power is transmitted from the base 21 on which the first OIS drive unit 30X is arranged to the second stage 14.
  • the Y-direction reference ball 42 sandwiched between the first stage 13 and the second stage 14 cannot roll in the X-direction, the X-direction position of the first stage 13 with respect to the second stage is maintained.
  • the X-direction reference ball 41 sandwiched between the second stage 14 and the base 21 can roll in the X direction, so the second stage 14 moves in the X direction with respect to the base 21 .
  • the first stage 13 also follows the second stage 14 and moves in the X direction. That is, the base 21 serves as a fixed body for the OIS function, and the AF section 11 (the AF movable section 12 and the first stage 13) and the second stage 14 serve as movable bodies for the OIS function.
  • the OIS movable section 10 swings within the XY plane, and shake correction is performed.
  • the first OIS driving unit 30X and the second OIS driving unit 30Y are controlled based on the detection signal indicating the angular shake from the shake detection unit (for example, the gyro sensor) so that the angular shake of the camera module A is offset. is controlled.
  • the translational movement of the OIS movable section 10 can be accurately controlled by feeding back the detection results of the X and Y position detection sections composed of the magnetic sensors of the magnets 17X and 17Y and the driver ICs 221X and 221Y.
  • the pair of AF driving units 15 are arranged so as to face each other. Therefore, the thrust for driving the first stage 13 holding the lens unit 2 can be increased, the responsiveness of the AF operation can be increased, and even if the weight of the lens unit 2 increases, the AF operation can be performed. It can be performed.
  • one AF supporting portion that applies a biasing force to the AF movable portion 12 is provided at a portion corresponding to one corner portion CO1 of the first stage 13.
  • 16B is placed.
  • a pair of AF drive units 15 are arranged to face each other at portions corresponding to the corners CO2 and CO3 located on both sides of the corner CO1.
  • the AF supporting portion 16B and the AF driving portion 15, which require space are arranged in the portions corresponding to the corner portions CO1 to CO3 of the first stage 13, the space inside the optical element driving device 1 can be effectively utilized. , the size of the optical element driving device 1 can be reduced.
  • the driver ICs 221X, 221Y, and 221Z having magnetic sensors are arranged in the substrate 22 at the portion corresponding to the corner CO4 facing the corner CO1. It is In this way, since the driver ICs 221X, 221Y, and 221Z, which require space, are arranged in the portions corresponding to the corners CO4, the space inside the optical element driving device 1 can be effectively used, and the optical element driving device 1 can be miniaturized. can be planned.
  • the two AF support portions 16A and one AF support portion 16B are dispersed at three locations in the circumferential direction. are arranged as follows. Also, on the inner peripheral surface 131a, the pair of AF drive portions 15 are arranged in a dispersed manner at locations opposite to each other, which are different from the location where the AF support portions 16A and 16B are arranged. For this reason, the locations where force is applied to the AF movable portion 12 are dispersed in the circumferential direction of the inner peripheral surface 131a, making it difficult for the AF movable portion 12 to deform, and local deformation can also be suppressed. . Since the AF movable portion 12 is less likely to deform, the two AF support portions 16A, the one AF support portion 16B, and the pair of AF driving portions 15 allow the AF movable portion 12 to move smoothly in the optical axis direction.
  • the two AF support portions 16A are arranged so as to be symmetrical with respect to the direction (extension line) of the pressing force F1 in the AF support portion 16B.
  • a pair of AF drive units 15 are also arranged to face each other at portions corresponding to the corners CO2 and CO3 so as to be symmetrical with respect to the direction (extension line) of the pressing force F1.
  • the two AF supporting portions 16A press the AF movable portion 12 symmetrically with respect to the extension line extending in the direction of the pressing force F1, and the pair of AF driving portions 15 are symmetrically pressed.
  • a driving force is applied to the AF movable portion 12 from the position of .
  • the AF movable portion 12 can be smoothly moved in the optical axis direction. Even if the AF movable portion 12 elastically deforms due to the pressing force of the two AF support portions 16A, the AF movable portion 12 elastically deforms in line symmetry. can be moved smoothly along the optical axis.
  • the OIS driving section 30 and the AF driving section 15 are configured by ultrasonic motors. , miniaturization and low profile can be achieved.
  • the AF movable portion 12 is supported by the AF support portions 16A and 16B described above, the moving operation of the AF movable portion 12 is stabilized, and the driving performance of the optical element driving device 1 is remarkably improved.
  • two AF support portions 16A and one AF support portion 16B are combined as three-point support AF support portions of the AF movable portion 12, but the three AF support portions 16A
  • the configuration may include three AF support portions 16B.
  • the AF drive section 15 and AF support section 16A or the AF drive section 15 and AF support section 16B are arranged in the same manner as the arrangement described with reference to FIG.
  • two AF drive units 15 and three AF support units 16A are arranged as follows. Specifically, one AF support portion 16A is arranged at a portion corresponding to one corner CO1 (first corner in the present invention) among the four corners CO1 to CO4 of the first stage 13, Another AF support portion 16A is arranged in a portion avoiding the four corners CO1 to CO4. Then, a pair of AF drive units 15 are arranged at portions corresponding to the corners CO2 and CO3 (second and third corners in the present invention) located on both sides of the corner CO1 with the optical axis OA interposed therebetween. arranged to face each other.
  • AF drive units 15 and three AF support units 16B they are arranged as follows. Specifically, one AF support portion 16B is arranged at a portion corresponding to one corner CO1 (first corner in the present invention) among the four corners CO1 to CO4 of the first stage 13, Another AF supporting portion 16B is arranged in a portion avoiding the four corners CO1 to CO4. Then, a pair of AF drive units 15 are arranged at portions corresponding to the corners CO2 and CO3 (second and third corners in the present invention) located on both sides of the corner CO1 with the optical axis OA interposed therebetween. arranged to face each other.
  • the smartphone M was described as an example, but the present invention can be applied to a camera-mounted device having a camera module and an image processing unit that processes image information obtained by the camera module.
  • Camera-equipped devices include information equipment and transportation equipment.
  • Information devices include, for example, camera-equipped mobile phones, laptop computers, tablet terminals, portable game machines, web cameras, and camera-equipped in-vehicle devices (eg, back monitor devices, drive recorder devices).
  • Transportation equipment also includes, for example, automobiles.
  • FIGS. 15A and 15B are diagrams showing an automobile V as a camera-equipped device equipped with an in-vehicle camera module VC (Vehicle Camera).
  • 15A is a front view of automobile V
  • FIG. 15B is a rear perspective view of automobile V.
  • FIG. An automobile V is equipped with the camera module A described in the above embodiment as an in-vehicle camera module VC.
  • the in-vehicle camera module VC is attached to the windshield facing forward, or attached to the rear gate facing rearward, for example.
  • This in-vehicle camera module VC is used for a back monitor, drive recorder, collision avoidance control, automatic driving control, and the like.
  • the optical element driving device 1 that drives the lens unit 2 as an optical element has been described, but the optical element to be driven may be an optical element other than a lens such as a mirror or a prism. .
  • it can be applied not only to autofocus but also to zoom and the like when the AF movable portion 12 is moved in the optical axis direction.
  • optical element driving device and the camera module according to the present invention are useful when mounted on camera-equipped devices such as smartphones, mobile phones, digital cameras, laptop computers, tablet terminals, portable game machines, and in-vehicle cameras. is.

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Abstract

光学素子駆動装置は、光学素子を保持した状態で第１駆動部により光軸方向に移動可能に構成された第１可動部と、第２駆動部により第１可動部と共に光軸直交方向に移動可能に、ベース上に第１ステージと第２ステージとを積層して構成された第２可動部と、を備え、第２駆動部は、第２可動部の直交する２つの側面の夫々に沿って配置され、第１駆動部は、第２可動部の対角位置の夫々に配置される。

Description

光学素子駆動装置、カメラモジュール及びカメラ搭載装置
　本発明は、光学素子を駆動する光学素子駆動装置、カメラモジュール及びカメラ搭載装置に関する。
　一般に、スマートフォン等の薄型のカメラ搭載装置には、カメラモジュールが搭載されている。このようなカメラモジュールには、光学素子を駆動する光学素子駆動装置が使用されている。
　光学素子駆動装置は、オートフォーカス機能（以下「ＡＦ機能」と称する、ＡＦ：Auto Focus）を有している。光学素子駆動装置は、ＡＦ機能により、レンズ（光学素子）を駆動して、被写体を撮影するときのピント合わせを自動的に行っている。
　例えば、特許文献１には、レンズを保持するレンズホルダと、光軸方向に移動可能にレンズホルダを支持するボール部材と、レンズホルダを光軸方向に移動可能に駆動する１つのアクチュエーターとを備えたレンズ駆動装置が示されている。特許文献１では、１つのアクチュエーターは、平面視が矩形状のベースの１つの角部に配置されている。
特開２０１３－０６８８２８号公報
　近年、カメラモジュールの高画素数化に伴い、カメラモジュールのレンズやセンサーのサイズや重量が増加する傾向にある。特許文献１においては、上述したように、１つのアクチュエーターでレンズ及びレンズホルダを駆動するため、レンズの重量が増加すると、レンズを駆動する推力が不足し、ピント合わせに時間が要する等の問題を生じる可能性がある。アクチュエーターを複数設けることで、レンズを駆動する推力を増やすことはできるが、その場合には、カメラモジュールの小型化を図ることが難しくなる。そのため、レンズを駆動する推力を増やすと共に、小型化を図ることができる光学素子駆動装置が望まれている。
　本発明の目的は、光学素子を駆動する推力を増やすと共に、小型化が可能な光学素子駆動装置、カメラモジュール及びカメラ搭載装置を提供することである。
　本発明に係る光学素子駆動装置は、
　光学素子を保持した状態で第１駆動部により光軸方向に移動可能に構成された第１可動部と、
　第２駆動部により前記第１可動部と共に光軸直交方向に移動可能に、ベース上に第１ステージと第２ステージとを積層して構成された第２可動部と、
　を備え、
　前記第２駆動部は、前記第２可動部の直交する２つの側面の夫々に沿って配置され、
　前記第１駆動部は、前記第２可動部の対角位置の夫々に配置される。
　本発明に係るカメラモジュールは、
　前記光学素子駆動装置と、
　前記光学素子により結像された被写体像を撮像する撮像部と、
　を備える。
　本発明に係るカメラ搭載装置は、
　情報機器又は輸送機器であるカメラ搭載装置であって、
　前記カメラモジュールと、
　前記カメラモジュールで得られた画像情報を処理する画像処理部と、
　を備える。
　本発明によれば、光学素子駆動装置において、光学素子を駆動する推力を増やすと共に、小型化を図ることができる。
本発明の実施の形態に係るカメラモジュールを搭載するスマートフォンを示す正面図である。 図１Ａに示すスマートフォンの背面図である。 カメラモジュール及び撮像部を示す斜視図である。 カメラモジュールの光学素子駆動装置が有する光学素子駆動装置本体の斜視図である。 図３に示す光学素子駆動装置本体の異なる方向からの斜視図である。 図３及び図４に示す光学素子駆動装置本体の分解斜視図である。 図５に示すＯＩＳ可動部の分解斜視図である。 図３及び図４に示す光学素子駆動装置本体の平面図である。 ＯＩＳ固定部とＡＦ可動部との位置関係を示す平面図である。 ＯＩＳ固定部の平面図である。 ＯＩＳ固定部の底面図である。 ＯＩＳ可動部の底面図である。 ＡＦ可動部及び第１ステージの底面図である。 ＡＦ可動部の底面図である。 光学素子駆動装置本体を模式的に示す平面図である。 車載用カメラモジュールを搭載するカメラ搭載装置としての自動車を示す正面図である。 図１５Ａに示す自動車を斜め後方側から見た斜視図である。
　以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。
　［スマートフォン］
　図１Ａ及び図１Ｂは、本実施の形態に係るカメラモジュールＡを搭載するスマートフォンＭ（カメラ搭載装置の一例）を示す図である。図１ＡはスマートフォンＭの正面図であり、図１ＢはスマートフォンＭの背面図である。
　スマートフォンＭは、２つの背面カメラＯＣ１、ＯＣ２からなるデュアルカメラを有する。本実施の形態では、背面カメラＯＣ１、ＯＣ２に、カメラモジュールＡが適用されている。
　カメラモジュールＡは、ＡＦ機能及び振れ補正機能（以下「ＯＩＳ機能」と称する、ＯＩＳ：Optical Image Stabilization）を備える。カメラモジュールＡは、ＡＦ機能により、被写体を撮影するときのピント合わせを自動的に行うと共に、ＯＩＳ機能により、撮影時に生じる振れ（振動）を光学的に補正して、像ぶれのない画像を撮影することができる。
　［カメラモジュール］
　図２は、カメラモジュールＡ及び撮像部５を示す斜視図である。図３及び図４は、図２に示すカメラモジュールＡの光学素子駆動装置１が有する光学素子駆動装置本体４の斜視図である。図４は、図３に示した光学素子駆動装置本体４をＺ軸周りに１８０°回転した図である。図２～図４に示すように、本実施の形態では、直交座標系（Ｘ，Ｙ，Ｚ）を使用して説明する。後述する図においても、共通の直交座標系（Ｘ，Ｙ，Ｚ）で示している。
　カメラモジュールＡは、例えば、スマートフォンＭで撮影が行われる場合、Ｘ方向が上下方向（又は左右方向）、Ｙ方向が左右方向（又は上下方向）、Ｚ方向が前後方向となるように搭載される。すなわち、Ｚ方向が光軸方向であり、図２～図４において、図中上側（＋Ｚ側）が光軸方向受光側、下側（－Ｚ側）が光軸方向結像側である。また、以降において、Ｚ軸に直交するＸ方向及びＹ方向を「光軸直交方向」と称し、ＸＹ面を「光軸直交面」と称する。また、光軸に直交する方向を「径方向」と称する。
　図２に示すように、カメラモジュールＡは、ＡＦ機能及びＯＩＳ機能を実現する光学素子駆動装置１、円筒形状のレンズバレルにレンズが収容されて構成されるレンズ部２及びレンズ部２により結像された被写体像を撮像する撮像部５等を備える。すなわち、光学素子駆動装置１は、光学素子としてレンズ部２を駆動する、いわゆる、レンズ駆動装置である。
　［カバー］
　光学素子駆動装置１において、光学素子駆動装置本体４は、外側をカバー３で覆われている。カバー３は、光軸方向から見た平面視で矩形状の有蓋四角筒体である。本実施の形態では、カバー３は、平面視で正方形状を有している。カバー３は、上面に略円形の開口３０１を有する。レンズ部２は、光学素子駆動装置本体４の開口４０１に収容され、カバー３の開口３０１から外部に臨み、例えば、光軸方向における移動に伴い、カバー３の開口面よりも光軸方向受光側に突出するように構成されている。カバー３の内壁は、光学素子駆動装置本体４のＯＩＳ固定部２０のベース２１（後述の図５を参照）に、例えば、接着により固定され、ベース２１と共に内部にＯＩＳ可動部１０等（図５を参照）を収容する。
　カバー３は、光学素子駆動装置１の外部からの電磁波を遮断する部材、例えば、磁性体からなるシールド部材を有している。
　［撮像部］
　撮像部５は、光学素子駆動装置１の光軸方向結像側に配置される。撮像部５は、例えば、イメージセンサー基板５０１、イメージセンサー基板５０１に実装される撮像素子５０２及び制御部５０３を有する。撮像素子５０２は、例えば、ＣＣＤ（charge-coupled device）型イメージセンサー、ＣＭＯＳ（complementary metal oxide semiconductor）型イメージセンサー等により構成され、レンズ部２により結像された被写体像を撮像する。
　制御部５０３は、例えば、制御ＩＣで構成され、光学素子駆動装置１の駆動制御を行う。光学素子駆動装置１は、イメージセンサー基板５０１に搭載され、機械的かつ電気的に接続される。なお、制御部５０３は、イメージセンサー基板５０１に設けられてもよいし、カメラモジュールＡが搭載されるカメラ搭載機器（本実施の形態では、スマートフォンＭ）に設けられてもよい。
　［光学素子駆動装置本体］
　図５は、光学素子駆動装置本体４の分解斜視図である。図６は、ＯＩＳ可動部１０の分解斜視図である。図７は、光学素子駆動装置本体４の平面図である。光学素子駆動装置本体４について、図５～図７も参照して説明する。
　光学素子駆動装置本体４は、図５に示すように、ＯＩＳ可動部１０、ＯＩＳ固定部２０、ＯＩＳ駆動部３０、ＯＩＳ支持部４０及びＯＩＳ用付勢部材５０を備える。
　ＯＩＳ可動部１０は、レンズ部２を保持可能であり、振れ補正時に光軸直交面内で揺動する部分である。詳細は後述するが、ＯＩＳ可動部１０は、ＡＦ部１１、第２ステージ１４及びＯＩＳ支持部４０（Ｙ方向基準ボール４２）を有する（図６を参照）。同じく、詳細は後述するが、ＡＦ部１１は、ＡＦ可動部１２、第１ステージ１３、ＡＦ駆動部１５及びＡＦ支持部１６Ａ、１６Ｂを有する（図５、図６を参照）。
　ＯＩＳ固定部２０は、図５に示すように、ベース２１、ＯＩＳ支持部４０（Ｘ方向基準ボール４１）を有する。ＯＩＳ固定部２０は、ＯＩＳ可動部１０に対して光軸方向に離間した位置にＯＩＳ支持部４０を介して配置され、ＯＩＳ支持部４０によりＯＩＳ可動部１０を光軸直交方向に揺動可能に支持する部分である。言い換えると、ＯＩＳ可動部１０は、Ｘ方向基準ボール４１を介して、ベース２１に対して光軸方向に離間して配置され、ベース２１は、Ｘ方向基準ボール４１を介して、ＯＩＳ可動部１０を揺動可能に支持する。
　また、ＯＩＳ可動部１０とＯＩＳ固定部２０とは、互いに近づく方向に付勢されるように、言い換えると、ＯＩＳ支持部４０を挟む状態を保持するように、ＯＩＳ用付勢部材５０によって弾性接続されている（図３～図５を参照）。このＯＩＳ用付勢部材５０は、導電性材料からなる。詳細は後述するが、ＯＩＳ用付勢部材５０は、レンズ部２等を駆動するための回路とＯＩＳ固定部２０側の回路との間の導電経路を形成する接続部材としても機能する。本実施の形態では、ＯＩＳ用付勢部材５０は、光学素子駆動装置本体４の平面視における四隅部分（角部分）に配置されている（図３、図４を参照）。
　詳細は後述するが、ＯＩＳ駆動部３０は、ＯＩＳ可動部１０をＸ方向に駆動する第１ＯＩＳ駆動部３０Ｘと、ＯＩＳ可動部１０をＹ方向に駆動する第２ＯＩＳ駆動部３０Ｙとを有する。
　本実施の形態では、Ｘ方向の移動に関しては、ＡＦ部１１を含むＯＩＳ可動部１０の全体が可動体として移動する。つまり、Ｘ方向の移動に関しては、ＯＩＳ固定部２０のベース２１が固定体を構成し、Ｘ方向基準ボール４１は、ＯＩＳ可動部１０をＸ方向に揺動可能に支持するＯＩＳ支持部４０として機能する。
　一方、詳細は図６を参照して後述するが、Ｙ方向の移動に関しては、ＡＦ部１１が可動体として移動する。つまり、Ｙ方向の移動に関しては、第２ステージ１４は、ベース２１と共に固定体を構成し、Ｙ方向基準ボール４２は、ＡＦ部１１をＹ方向に揺動可能に支持するＯＩＳ支持部４０として機能する。
　［ＯＩＳ固定部］
　図９は、ＯＩＳ固定部２０の平面図である。また、図１０は、ＯＩＳ固定部２０の底面図である。ＯＩＳ固定部２０について、図９及び図１０も参照して説明する。
　ＯＩＳ固定部２０は、ベース２１、基板２２、第１ＯＩＳ駆動部３０Ｘ、ＯＩＳ支持部４０（Ｘ方向基準ボール４１）を有する（図５を参照）。
　［ベース、ＯＩＳ支持部］
　ベース２１は、例えば、ポリアリレート（ＰＡＲ）、ＰＡＲを含む複数の樹脂材料を混合したＰＡＲアロイ（例えば、ＰＡＲ／ＰＣ）、又は、液晶ポリマーからなる成形材料で形成される。ベース２１は、平面視で矩形状の部材であり、中央に円形の開口２１１を有する。
　ベース２１は、第１ＯＩＳ駆動部３０Ｘが配置されるＯＩＳモーター固定部２１７を有する。ＯＩＳモーター固定部２１７は、例えば、ベース２１の１つの隅部の近傍に設けられ、ベース２１から光軸方向受光側に向けて突出して形成され、第１ＯＩＳ駆動部３０Ｘを保持可能な形状を有している（図５を参照）。
　また、ベース２１は、ＯＩＳ支持部４０を構成するＸ方向基準ボール４１を保持するＸ方向基準ボール保持部２１８を有する。Ｘ方向基準ボール４１は、Ｘ方向基準ボール保持部２１８と、Ｚ方向において互いに対向する第２ステージ１４のＸ方向基準ボール保持部１４４（後述の図１１を参照）との間に挟持される。
　Ｘ方向基準ボール保持部２１８及びＸ方向基準ボール保持部１４４は、Ｘ方向に延びる矩形状の開口を有する凹部である。Ｘ方向基準ボール保持部２１８及びＸ方向基準ボール保持部１４４は、凹部の底面に向かって溝幅が狭くなるように、例えば、断面形状が略Ｖ字状（テーパー形状）や略Ｕ字状となるように形成される。
　上述した断面形状を有する凹部が形成する溝は、Ｘ方向に平行に形成されており、そのため、Ｘ方向基準ボール保持部２１８とＸ方向基準ボール保持部１４４との間に挟持されるＸ方向基準ボール４１は、凹部内において、Ｘ方向に転動可能である。つまり、ベース２１は、Ｘ方向基準ボール４１を介して、ＯＩＳ可動部１０（第２ステージ１４）をＸ方向に移動可能に支持している。
　Ｘ方向基準ボール保持部２１８及びＸ方向基準ボール保持部１４４は、矩形状のベース２１及び第２ステージ１４の四隅の部分に配置され、ＯＩＳ可動部１０（第２ステージ１４）は、４個のＸ方向基準ボール４１で、つまり、４点でベース２１に支持されている。このように、Ｘ方向基準ボール４１は、多点接触で挟持されるので、安定してＹ方向に転動する。
　なお、ＯＩＳ可動部１０（第２ステージ１４）は、少なくとも３点以上でベース２１に支持されればよい。例えば、３点で支持する場合には、ベース２１及び第２ステージ１４の１つの辺側の２箇所と当該辺に対向する辺側の１箇所の合計３箇所にＸ方向基準ボール保持部２１８及びＸ方向基準ボール保持部１４４を配置すればよい。
　ベース２１の外縁部分には、複数の端子２３及び給電配線２５Ｘａ、２５Ｘｂ、２５Ｙａ、２５Ｙｂ、２５Ｚａ、２５Ｚｂ、２５Ｚｃ、２５Ｚｄが配置されている（図９、図１０を参照）。
　端子２３は、例えば、インサート成形により、ベース２１に埋設されており、各端子の一端がベース２１の上面から露出され（図９を参照）、他端がベース２１の底面から露出されるよう形成されている（図１０を参照）。端子２３は、第１ＯＩＳ駆動部３０Ｘ、第２ＯＩＳ駆動部３０Ｙ、ＡＦ駆動部１５を各々駆動する後述のドライバーＩＣ２２１Ｘ、２２１Ｙ、２２１Ｚへの給電及び信号用の端子である。
　また、給電配線２５Ｘａ、２５Ｘｂは、ベース２１の外縁部分において、内側の端部から外側の端部に渡って、ベース２１の上面に露出するよう形成されている（図９を参照）。また、給電配線２５Ｙａ、２５Ｙｂは、ベース２１の外縁部分である隅部において、内側の端部がベース２１の上面に露出し（図９を参照）、外側の端部がベース２１の底面に露出するよう形成されている（図１０を参照）。また、給電配線２５Ｚａ、２５Ｚｂ、２５Ｚｃ、２５Ｚｄは、ベース２１の外縁部分である隅部において、内側の端部がベース２１の上面に露出し（図９を参照）、外側の端部がベース２１の底面に露出するよう形成されている（図１０を参照）。
　給電配線２５Ｘａ、２５Ｘｂの内側の端部は、基板２２と接続され、後述する昇圧部６０を介して、ドライバーＩＣ２２１Ｘと接続される。給電配線２５Ｘａ、２５Ｘｂの外側の端部は、第１ＯＩＳ駆動部３０Ｘと接続される。また、給電配線２５Ｙａ、２５Ｙｂの内側の端部は、基板２２と接続され、後述する昇圧部６０を介して、ドライバーＩＣ２２１Ｙと接続される。給電配線２５Ｙａ、２５Ｙｂの外側の端部は、ＯＩＳ用付勢部材５０、給電配線１８Ｙａ、１８Ｙｂを介して、第２ＯＩＳ駆動部３０Ｙと接続される。また、給電配線２５Ｚａ、２５Ｚｂ、２５Ｚｃ、２５Ｚｄの内側の端部は、基板２２と接続され、後述する昇圧部６０を介して、ドライバーＩＣ２２１Ｚと接続される。給電配線２５Ｚａ、２５Ｚｂ、２５Ｚｃ、２５Ｚｄの外側の端部は、ＯＩＳ用付勢部材５０、給電配線１８Ｚａ、１８Ｚｂ、１８Ｚｃ、１８Ｚｄを介して、２つのＡＦ駆動部１５と接続される。
　ここでは、一例として、ドライバーＩＣ２２１Ｘは、１つの駆動部の駆動を制御する１チャンネルのドライバーＩＣであり、ドライバーＩＣ２２１Ｙも同様の１チャンネルのドライバーＩＣである。また、ドライバーＩＣ２２１Ｚは、２つの駆動部の駆動を制御する２チャンネルのドライバーＩＣである。ドライバーＩＣ２２１Ｘ、２２１Ｙ、２２１Ｚにおけるチャンネル数は、駆動対象の駆動部の数に応じて適宜に変更可能である。
　［基板］
　基板２２は、ベース２１の光軸方向受光側に配置されている。基板２２は、ベース２１の上面に露出された端子２３と電気的に接続されており、端子２３は、基板２２に形成された配線（図示省略）を介して、ドライバーＩＣ２２１Ｘ、２２１Ｙ、２２１Ｚ等に接続される。また、ドライバーＩＣ２２１Ｘ、２２１Ｙ、２２１Ｚは、基板２２に形成された配線（図示省略）を介して、給電配線２５Ｘａ、２５Ｘｂ、２５Ｙａ、２５Ｙｂ、２５Ｚａ、２５Ｚｂ、２５Ｚｃ、２５Ｚｄと接続される。給電配線２５Ｘａ、２５Ｘｂ、２５Ｙａ、２５Ｙｂ、２５Ｚａ、２５Ｚｂ、２５Ｚｃ、２５Ｚｄは、上述したように、第１ＯＩＳ駆動部３０Ｘ、第２ＯＩＳ駆動部３０Ｙ、ＡＦ駆動部１５と接続される。
　ドライバーＩＣ２２１Ｘ、２２１Ｙ、２２１Ｚは、基板２２の光軸方向受光側に配置され、各々、磁気センサー（図示省略）を有している。これらの磁気センサーは、例えば、ホール素子やＴＭＲ（Tunnel Magneto Resistance）センサー等で構成され、後述するマグネット１７Ｘ、１７Ｙ、１７Ｚ（磁石）が発生する磁界を検出して、検出対象のＸ、Ｙ、Ｚ方向における位置を磁気的に検出する。
　基板２２において、ドライバーＩＣ２２１Ｘ、２２１Ｙ、２２１Ｚは、ＡＦ駆動部１５、ＡＦ支持部１６Ａ、１６Ｂ、第１ＯＩＳ駆動部３０Ｘ及び第２ＯＩＳ駆動部３０Ｙが配置されていない領域に設けられている（図５を参照）。即ち、平面視で矩形状のベース２１における１つの隅部近傍の領域に設けられている（図９を参照）。これにより、ドライバーＩＣ２２１Ｘ、２２１Ｙ、２２１Ｚを１つの領域に集約して、光学素子駆動装置本体４内のスペースを有効活用することができる。
　Ｘ方向に移動する第２ステージ１４の底面側には、後述の図１１に示すように、マグネット１７Ｘが配置されており、ドライバーＩＣ２２１Ｘとマグネット１７Ｘとは、互いに対向するように配置されている。ドライバーＩＣ２２１Ｘ及びマグネット１７ＸからなるＸ方向位置検出部により、第２ステージ１４のＸ方向の位置、すなわち、ＯＩＳ可動部１０のＸ方向の位置が検出される。
　また、Ｙ方向に移動する第１ステージ１３の底面側には、図１１に示すように、マグネット１７Ｙが配置されており、ドライバーＩＣ２２１Ｙとマグネット１７Ｙとは、互いに対向するように配置されている。ドライバーＩＣ２２１Ｙ及びマグネット１７ＹからなるＹ方向位置検出部により、第１ステージ１３のＹ方向の位置、すなわち、ＯＩＳ可動部１０のＹ方向の位置が検出される。
　また、Ｚ方向に移動するＡＦ可動部１２の底面側には、図１１に示すように、マグネット１７Ｚが配置されており、ドライバーＩＣ２２１Ｚとマグネット１７Ｚとは、互いに対抗するように配置されている。ドライバーＩＣ２２１Ｚ及びマグネット１７ＺからなるＺ方向位置検出部により、ＡＦ可動部１２のＺ方向の位置が検出される。
　なお、上述したマグネット１７Ｘ、１７Ｙ、１７ＺとドライバーＩＣ２２１Ｘ、２２１Ｙ、２２１Ｚの磁気センサーとの組み合わせに代えて、他の方法により、位置検出を行うようにしてもよい。例えば、フォトリフレクター等の光センサーにより、ＯＩＳ可動部１０のＸ方向及びＹ方向の位置及びＡＦ可動部１２のＺ方向の位置を検出するようにしてもよい。
　［駆動回路］
　光学素子駆動装置１においては、小型化等の観点から、ＡＦ駆動部１５、第１ＯＩＳ駆動部３０Ｘ及び第２ＯＩＳ駆動部３０Ｙとして、圧電素子を含む超音波モーターを用いている。超音波モーターを駆動するためには、比較的大きな駆動電圧が必要となるので、本実施の形態では、入力電圧を所望の電圧に昇圧する昇圧部６０を有している。
　本実施の形態においては、ドライバーＩＣ２２１Ｘと第１ＯＩＳ駆動部３０Ｘとの間、ドライバーＩＣ２２１Ｙと第２ＯＩＳ駆動部３０Ｙとの間、ドライバーＩＣ２２１ＺとＡＦ駆動部１５との間に、夫々、昇圧部６０を接続する駆動回路の構成としている。ドライバーＩＣ２２１Ｘ、２２１Ｙ、２２１Ｚは、基板２２の上面側（光軸方向受光側）の面に配置されており（図９を参照）、昇圧部６０は、基板２２の底面側（光軸方向結像側）の面に配置されている（図１０を参照）。
　ドライバーＩＣ２２１Ｘ、２２１Ｙ、２２１Ｚは、夫々、磁気センサーとしてのホール素子を有するものである。ドライバーＩＣ２２１Ｘ、２２１Ｙ、２２１Ｚは、夫々のホール素子が検出するマグネット１７Ｘ、１７Ｙ、１７Ｚの位置に応じて、駆動電流を出力する。
　昇圧部６０としては、インダクタを有する直列共振回路、当該直列共振回路にコンデンサを並列に接続した回路等を使用可能である。
　ドライバーＩＣ２２１Ｘ、２２１Ｙ、２２１Ｚから出力された駆動電流は、夫々、昇圧部６０で電圧が昇圧されて、第１ＯＩＳ駆動部３０Ｘ、第２ＯＩＳ駆動部３０Ｙ及びＡＦ駆動部１５に供給される。これにより、第１ＯＩＳ駆動部３０Ｘ、第２ＯＩＳ駆動部３０Ｙを駆動して、振れ補正を行い、また、ＡＦ駆動部１５を駆動して、オートフォーカスを行う。
　本実施の形態において、光学素子駆動装置１は、２つのＡＦ駆動部１５と第１ＯＩＳ駆動部３０Ｘと第２ＯＩＳ駆動部３０Ｙとを有しているので、４組の昇圧部６０を有している。昇圧部６０は、マグネット１７Ｘ、１７Ｙ、１７ＺやドライバーＩＣ２２１Ｘ、２２１Ｙ、２２１Ｚから離れた位置に配置している。昇圧部６０のインダクタは磁気性能を有するが、以上のような配置により、昇圧部６０のインダクタからマグネット１７Ｘ、１７Ｙ、１７ＺやドライバーＩＣ２２１Ｘ、２２１Ｙ、２２１Ｚへの磁気的な影響を抑制することができる。
　例えば、図１０において、ベース２１の光軸方向受光側に配置されるマグネット１７Ｘ、１７Ｙ、１７Ｚを図示すると、マグネット１７Ｘ、１７Ｙ、１７Ｚは、図中の左下側に配置されている。昇圧部６０は、マグネット１７Ｘ、１７Ｙ、１７Ｚから離れた位置、少なくとも、マグネット１７Ｘ、１７Ｙ、１７Ｚとは対向しない位置に配置されている。このような配置により、昇圧部６０のインダクタとマグネット１７Ｘ、１７Ｙ、１７Ｚとの距離（Ｘ、Ｙ方向の距離）を確保することができ、インダクタからの磁気的な影響を抑制することができる。この結果、磁気センサーの検出性への影響を抑制することができる。
　また、昇圧部６０は、図１０に示すように、基板２２において、マグネット１７Ｘ、１７Ｙ、１７Ｚとは対向しない面である底面側に配置する。この場合、図１０に示すように、ベース２１を貫通する開口部２１９を設け、ベース２１の上面に基板２２を配置したとき、基板２２の底面側に設けた昇圧部６０が開口部２１９内に位置するようにする。このような構成とすることで、基板２２の底面側に設けた昇圧部６０の設置スペースを確保する必要は無く、光学素子駆動装置１の低背化を図ることができる。
　そして昇圧部６０を基板２２の底面側に配置することで、昇圧部６０のインダクタとマグネット１７Ｘ、１７Ｙ、１７Ｚとの距離（Ｚ方向の距離）を確保することができ、昇圧部６０のインダクタからの磁気的な影響を抑制することができる。この結果、磁気センサーの検出性への影響を抑制することができる。
　［ＯＩＳ駆動部］
　ＯＩＳ駆動部３０は、ＯＩＳ可動部１０をＸ方向及びＹ方向に移動させるアクチュエーターである。具体的には、ＯＩＳ駆動部３０は、ＯＩＳ可動部１０全体をＸ方向に移動させる第１ＯＩＳ駆動部３０Ｘと、ＯＩＳ可動部１０の一部（ＡＦ部１１）をＹ方向に移動させる第２ＯＩＳ駆動部３０Ｙとを有する。
　第１ＯＩＳ駆動部３０Ｘと第２ＯＩＳ駆動部３０Ｙとは、配置する方向に違いはあるが、同等の構成要素を有しているので、同等の構成要素には同じ符号を付し、図５を参照して説明する。
　第１ＯＩＳ駆動部３０Ｘ及び第２ＯＩＳ駆動部３０Ｙは、ＯＩＳ可動部１０を移動させる駆動源となる超音波モーターを有する。第１ＯＩＳ駆動部３０Ｘは、ベース２１のＸ方向に沿うＯＩＳモーター固定部２１７に固定される。また、第２ＯＩＳ駆動部３０Ｙは、第１ステージ１３のＹ方向に沿うＯＩＳモーター固定部１３４に固定される。すなわち、第１ＯＩＳ駆動部３０Ｘ及び第２ＯＩＳ駆動部３０Ｙは、ＯＩＳ可動部１０において、互いに直交するＸ方向側面１０１Ｘ及びＹ方向側面１０１Ｙに沿ってそれぞれ配置されている（図３～図５等を参照）。
　第１ＯＩＳ駆動部３０Ｘ及び第２ＯＩＳ駆動部３０Ｙは、共振部であるＯＩＳ共振部３１、圧電素子であるＯＩＳ圧電素子３２及び動力伝達部であるＯＩＳ動力伝達部３４を有する。ＯＩＳ駆動部３０の駆動力は、ＯＩＳ動力伝達部３４を介して、他の部材に伝達される。具体的には、第１ＯＩＳ駆動部３０Ｘは、ＯＩＳ動力伝達部３４を介して、第２ステージ１４に接続され、その駆動力が伝達される。また、第２ＯＩＳ駆動部３０Ｙは、ＯＩＳ動力伝達部３４を介して、第２ステージ１４に接続され、その駆動力が伝達される。ＯＩＳ駆動部３０において、ＯＩＳ共振部３１が能動要素を構成し、ＯＩＳ動力伝達部３４が受動要素を構成する。
　ＯＩＳ共振部３１は、導電性材料で形成され、後述するＯＩＳ圧電素子３２に挟持され、ＯＩＳ圧電素子３２の振動に共振して、振動運動を直線運動に変換する。ＯＩＳ共振部３１は、例えば、金属板のレーザー加工、エッチング加工又はプレス加工等により形成される。
　第１ＯＩＳ駆動部３０ＸのＯＩＳ共振部３１は、例えば、リベットや接着剤等により、ＯＩＳモーター固定部２１７（ベース２１側）に固定される。第２ＯＩＳ駆動部３０ＹのＯＩＳ共振部３１は、例えば、リベットや接着剤等により、ＯＩＳモーター固定部１３４（第１ステージ１３側）に固定される。
　ＯＩＳ圧電素子３２は、例えば、セラミック材料で形成された板状素子であり、高周波電圧を印加することにより振動を発生する。２枚のＯＩＳ圧電素子３２は、ＯＩＳ共振部３１を挟み込むように、貼り合わされて配置されている。
　第１ＯＩＳ駆動部３０ＸのＯＩＳ圧電素子３２は、例えば、電極部材（図示省略）等により、上述した給電配線２５Ｘａ、２５Ｘｂ部と電気的に接続される。第２ＯＩＳ駆動部３０ＹのＯＩＳ圧電素子３２は、例えば、電極部材（図示省略）等により、上述した給電配線１８Ｙａ、１８Ｙｂと電気的に接続される。このような接続により、ＯＩＳ圧電素子３２には電圧を印加可能であり、電圧を印加することにより、ＯＩＳ圧電素子３２には振動が発生する。
　上述したＯＩＳ共振部３１は、少なくとも２つの共振周波数を有し、それぞれの共振周波数に対して、異なる挙動で変形する。言い換えると、ＯＩＳ共振部３１は、２つの共振周波数に対して異なる挙動で変形するよう構成されている。異なる挙動とは、ＯＩＳ動力伝達部３４をＸ方向又はＹ方向に前進させる挙動と、後退させる挙動である。従って、ＯＩＳ圧電素子３２を所望の共振周波数で振動させることにより、ＯＩＳ動力伝達部３４をＸ方向又はＹ方向に前進又は後退させることができる。
　ＯＩＳ動力伝達部３４は、Ｘ方向又はＹ方向に延在するチャッキングガイドであり、その一端がＯＩＳ共振部３１に当接され、ＯＩＳ共振部３１からの駆動力が伝達される。ＯＩＳ動力伝達部３４の他端であるステージ固定部３５は、第２ステージ１４に接続される。具体的には、第１ＯＩＳ駆動部３０Ｘのステージ固定部３５は、第２ステージ１４のＯＩＳチャッキングガイド固定部１４５Ｘに固定される。また、第２ＯＩＳ駆動部３０Ｙのステージ固定部３５は、第２ステージ１４のＯＩＳチャッキングガイド固定部１４５Ｙに固定される。
　このように、第２ＯＩＳ駆動部３０Ｙは、ＯＩＳモーター固定部１３４を介して、第１ステージ１３（ＯＩＳ可動部１０側）に固定され、ＯＩＳ動力伝達部３４を介して、第２ステージ１４と接続されている。第２ＯＩＳ駆動部３０Ｙは、Ｙ方向の振れ補正時に駆動され、第２ステージ１４に対して、第１ステージ１３がＹ方向に移動するよう駆動する。なお、第２ＯＩＳ駆動部３０Ｙは、第１ＯＩＳ駆動部３０ＸによるＸ方向の振れ補正時には、第１ステージ１３（ＯＩＳ可動部１０）と共に移動する。
　また、第１ＯＩＳ駆動部３０Ｘは、ＯＩＳモーター固定部２１７を介して、ベース２１（ＯＩＳ固定部２０側）に固定され、ＯＩＳ動力伝達部３４を介して、第２ステージ１４と接続されている。第１ＯＩＳ駆動部３０Ｘは、Ｘ方向の振れ補正時に駆動され、ベース２１（ＯＩＳ固定部２０）に対して、第２ステージ１４がＸ方向に移動するよう駆動する。第１ＯＩＳ駆動部３０Ｘは、ベース２１（ＯＩＳ固定部２０）に対して、第２ステージ１４をＸ方向に移動させるので、第２ＯＩＳ駆動部３０ＹによるＹ方向の振れ補正に影響を受けない。
　すなわち、一方のＯＩＳ駆動部３０による移動は、他方のＯＩＳ駆動部３０の構造によって妨げられない。従って、ＯＩＳ可動部１０のＺ軸周りの回転を防止することができ、ＯＩＳ可動部１０をＸＹ平面内で精度よく揺動させることができる。
　［ＯＩＳ支持部］
　ＯＩＳ支持部４０は、ＯＩＳ固定部２０に対して、ＯＩＳ可動部１０を光軸方向に離間した状態で光軸直交方向に揺動可能に支持する。本実施の形態では、ＯＩＳ支持部４０は、ＯＩＳ可動部１０（第２ステージ１４）とベース２１の間に介在する４個のＸ方向基準ボール４１を有する（図５を参照）。また、ＯＩＳ支持部４０は、ＯＩＳ可動部１０において、第１ステージ１３と第２ステージ１４の間に介在する４個のＹ方向基準ボール４２を有する（図６を参照）。
　本実施の形態では、４個のＸ方向基準ボール４１は、上述したように、Ｘ方向に転動可能であり、転動可能な方向がＸ方向に規制されている。また、４個のＹ方向基準ボール４２は、後述するように、Ｙ方向に転動可能であり、転動可能な方向がＹ方向に規制されている。このように、Ｘ方向基準ボール４１及びＹ方向基準ボール４２の転動可能な方向を規制することにより、ＯＩＳ可動部１０をＸＹ面内で精度よく揺動できるようになっている。なお、ＯＩＳ支持部４０を構成するＸ方向基準ボール４１及びＹ方向基準ボール４２の数は、適宜変更することができる。
　［ＯＩＳ用付勢部材］
　矩形状のＯＩＳ可動部１０及びＯＩＳ固定部２０の四隅部分（角部分）には、それぞれＯＩＳ用付勢部材５０が配置されている。ＯＩＳ用付勢部材５０は、例えば、引張コイルばねで構成され、ＯＩＳ可動部１０とＯＩＳ固定部２０とを連結する。
　ＯＩＳ用付勢部材５０の光軸方向結像側の端部は、ベース２１の底面の隅部から露出される給電配線２５Ｙａ、２５Ｙｂ、２５Ｚａ、２５Ｚｂ、２５Ｚｃ、２５Ｚｄと接続されている（図１０を参照）。一方、光軸方向受光側の端部は、第１ステージ１３の給電配線１８Ｙａ、１８Ｙｂ、１８Ｚａ、１８Ｚｂ、１８Ｚｃ、１８Ｚｄと接続されている（図３、図４を参照）。
　ＯＩＳ用付勢部材５０は、ＯＩＳ可動部１０とＯＩＳ固定部２０とを連結したときの引張荷重を受けて、ＯＩＳ可動部１０とＯＩＳ固定部２０が互いに近接するように作用する。すなわち、ＯＩＳ可動部１０は、ＯＩＳ用付勢部材５０によって、光軸方向結像側に付勢された状態（ベース２１に押し付けられた状態）で、ＸＹ面内で揺動可能に保持されている。これにより、ＯＩＳ可動部１０をがたつきのない安定した状態で保持することができる。ここでは、２つＡＦ駆動部１５の径方向外側に２つのＯＩＳ用付勢部材５０を配置しており、ＡＦ駆動部１５を安定した状態で駆動できるようにしている。
　また、ＯＩＳ用付勢部材５０は、導電性材料からなり、ＡＦ駆動部１５及び第２ＯＩＳ駆動部３０Ｙへの給電ライン（導電経路）として機能する。
　また、ＯＩＳ用付勢部材５０は、第１ステージ１３及び第２ステージ１４においては、これらの四隅（角部分）を切り欠いた切欠部（符号省略）に配置されている（図３、図４を参照）。第１ステージ１３及び第２ステージ１４に切欠部を形成しているので、ベース２１を大きくすることなく、ＯＩＳ用付勢部材５０を配置することができ、装置サイズの増大を抑制すること、つまり、光学素子駆動装置１の小型化を図ることができる。
　［ＯＩＳ可動部］
　図１１は、ＯＩＳ可動部１０の底面図である。図１１も参照して、ＯＩＳ可動部１０を説明する。
　ＯＩＳ可動部１０は、レンズ部２（図２を参照）を保持可能に構成されており、図５、図６に示すように、ＡＦ部１１、第２ステージ１４等を有する。また、ＡＦ部１１は、ＡＦ可動部１２、第１ステージ１３、ＡＦ駆動部１５及びＡＦ支持部１６Ａ、１６Ｂ等を有する。ＯＩＳ可動部１０は、ＯＩＳ機能としては、ＯＩＳ固定部２０のベース２１上に第１ステージ１３と第２ステージ１４とを積層して構成されている。
　また、ＯＩＳ可動部１０は、ＯＩＳ駆動部３０（第１ＯＩＳ駆動部３０Ｘ及び第２ＯＩＳ駆動部３０Ｙ）によりＡＦ可動部１２と共に光軸直交方向に移動可能に構成されている。Ｘ方向の移動に関しては、第１ステージ１３及び第２ステージ１４を含むＯＩＳ可動部１０全体が可動体となる。一方、Ｙ方向の移動に関しては、第２ステージ１４はＯＩＳ固定部２０と共に固定体として機能し、ＡＦ部１１（ＡＦ可動部１２及び第１ステージ１３）だけが可動体として機能する。また、第１ステージ１３は、ＡＦ可動部１２を支持するＡＦ固定部として機能する。
　［ＡＦ可動部］
　図８は、ＯＩＳ固定部２０とＡＦ可動部１２との位置関係を示す平面図である。また、図１３は、ＡＦ可動部１２の底面図である。図８及び図１３も参照して、ＡＦ可動部１２を説明する。なお、図８では、ＯＩＳ固定部２０とＡＦ可動部１２との位置関係を示すため、ＯＩＳ固定部２０とＡＦ可動部１２とを図示しており、第１ステージ１３及び第２ステージ１４は図示していない。
　ＡＦ可動部１２は、レンズ部２（図２を参照）を保持可能なレンズホルダであり、レンズ部２を保持した状態でＡＦ駆動部１５により光軸方向（Ｚ方向）に移動可能に構成されている。ＡＦ可動部１２は、例えば、ＡＦ機能のピント合わせ時に光軸方向に移動される。ＡＦ可動部１２は、第１ステージ１３（ＡＦ固定部）に対して径方向内側（レンズ部２側）に離間して配置され、ＡＦ支持部１６Ａ、１６Ｂを介して、第１ステージ１３に支持される（図５を参照）。
　ＡＦ可動部１２は、例えば、ポリアリレート（ＰＡＲ）、ＰＡＲを含む複数の樹脂材料を混合したＰＡＲアロイ、液晶ポリマー等で形成される。
　ＡＦ可動部１２は、内側が筒状に開口するレンズ収容部１２１を有する。レンズ収容部１２１の内周面１２１ａには、レンズ部２が、例えば、接着等により固定される（図６を参照）。
　ＡＦ可動部１２は、レンズ収容部１２１の外周面１２１ｂの一部から径方向外側に突出すると共に、光軸方向結像側に延在する突出部１２３を有する。突出部１２３の内部には、Ｚ位置検出用のマグネット１７Ｚが設けられている。マグネット１７Ｚは、上述したように、光軸方向において、基板２２のＺ位置用のドライバーＩＣ２２１Ｚ（磁気センサー）と対向する位置に配置されている（図８等を参照）。突出部１２３は、後述する第１ステージ１３の挿入孔１３２に挿入され、ＡＦ可動部１２がＺ方向に移動する際に、挿入孔１３２に沿って移動する。
　また、レンズ収容部１２１の外周面１２１ｂには、ＡＦ支持部１６Ａ、１６Ｂを構成する第１レール部材１６１が取り付けられている。ここでは、一例として、レンズ収容部１２１の外周面１２１ｂの３箇所に第１レール部材１６１が取り付けられている。ＡＦ可動部１２は、第１レール部材１６１等を有するＡＦ支持部１６Ａ、１６Ｂにより、Ｚ方向に移動可能に支持される。第１レール部材１６１を有するＡＦ支持部１６Ａ、１６Ｂについては後述する。
　また、レンズ収容部１２１は、図示省略したＡＦ接続部材によりＡＦ駆動部１５と接続されている。ＡＦ可動部１２は、レンズ収容部１２１に接続されたＡＦ接続部材を介して、ＡＦ駆動部１５に駆動されて、Ｚ方向に移動する。
　［ＡＦ駆動部］
　ＡＦ駆動部１５は、ＡＦ可動部１２をＺ方向に移動させるアクチュエーターである。ＡＦ駆動部１５は、ＯＩＳ駆動部３０と同様に、ＡＦ可動部１２を移動させる駆動源となる超音波モーターを有する。
　ＡＦ駆動部１５は、大きさや形状等には相違があるが、基本的には、ＯＩＳ駆動部３０と同様の構成であり、共振部であるＡＦ共振部、圧電素子であるＡＦ圧電素子及び動力伝達部であるＡＦ動力伝達部を有する。そのため、ＡＦ駆動部１５については、その構成要素の図示を省略すると共に、重複する説明も省略する。
　ＡＦ駆動部１５は、例えば、リベットや接着剤等により、第１ステージ１３の開口１３１の内周面１３１ａに固定される。内周面１３１ａに固定されたＡＦ駆動部１５の駆動力は、ＡＦ動力伝達部、ＡＦ接続部材を介して、ＡＦ可動部１２に伝達される。ＡＦ駆動部１５においても、ＡＦ共振部が能動要素を構成し、ＡＦ動力伝達部が受動要素を構成する。
　本実施の形態では、一対のＡＦ駆動部１５が設けられている。ＡＦ駆動部１５の配置については、図１４を参照して後述するが、一対のＡＦ駆動部１５は、ＯＩＳ可動部１０の対角位置に夫々配置されている。
　［第１ステージ］
　図１２は、ＡＦ可動部１２及び第１ステージ１３の底面図である。図１２も参照して、第１ステージ１３を説明する。
　第１ステージ１３は、ＡＦ支持部１６Ａ、１６Ｂを介して、ＡＦ可動部１２を支持する。第１ステージ１３の光軸方向結像側には、Ｙ方向基準ボール４２を介して、第２ステージ１４が配置される。第１ステージ１３は、振れ補正時にＸ方向及びＹ方向に移動し、第２ステージ１４は、振れ補正時にＸ方向のみに移動する。
　第１ステージ１３は、光軸方向から見た平面視において略矩形状を有する部材であり、例えば、液晶ポリマーで形成される。第１ステージ１３は、ＡＦ可動部１２に対応する部分に略円形状の開口１３１を有する。第１ステージ１３には、ＡＦ可動部１２の突出部１２３に対応する挿入孔１３２が形成されている（図６を参照）。
　第１ステージ１３は、下面に、ＯＩＳ支持部４０を構成するＹ方向基準ボール４２を保持するＹ方向基準ボール保持部１３３を有する（図１２を参照）。Ｙ方向基準ボール４２は、Ｙ方向基準ボール保持部１３３と、Ｚ方向において対向する第２ステージ１４のＹ方向基準ボール保持部１４３との間に挟持される（図６を参照）。
　Ｙ方向基準ボール保持部１３３及びＹ方向基準ボール保持部１４３は、Ｙ方向に延びる矩形状の開口を有する凹部である。Ｙ方向基準ボール保持部１３３及びＹ方向基準ボール保持部１４３は、凹部の底面に向かって溝幅が狭くなるように、例えば、断面形状が略Ｖ字状（テーパー形状）や略Ｕ字状となるように形成される。
　上述した断面形状を有する凹部が形成する溝は、Ｙ方向に平行に形成されており、そのため、Ｙ方向基準ボール保持部１３３とＹ方向基準ボール保持部１４３との間に挟持されるＹ方向基準ボール４２は、凹部内において、Ｙ方向に転動可能である。つまり、ＯＩＳ可動部１０において、第２ステージ１４は、Ｙ方向基準ボール４２を介して、第１ステージ１３をＹ方向に移動可能に支持している。
　Ｙ方向基準ボール保持部１３３及びＹ方向基準ボール保持部１４３は、矩形状の第１ステージ１３及び第２ステージ１４の四隅の部分に配置され、第１ステージ１３は、４個のＹ方向基準ボール４２で、つまり、４点で第２ステージ１４に支持されている。このように、Ｙ方向基準ボール４２は、多点接触で挟持されるので、安定してＹ方向に転動する。
　なお、第１ステージ１３は、少なくとも３点以上で第２ステージ１４に支持されればよい。例えば、３点で支持する場合には、第１ステージ１３及び第２ステージ１４の１つの辺側の２箇所と当該辺に対向する辺側の１箇所の合計３箇所にＹ方向基準ボール保持部１３３及びＹ方向基準ボール保持部１４３を配置すればよい。
　第１ステージ１３において、第２ＯＩＳ駆動部３０Ｙが配置されるＯＩＳモーター固定部１３４は、径方向外側にはみ出すことなく、第２ＯＩＳ駆動部３０Ｙを配置できるよう、径方向内側に凹んで形成されている（図６を参照）。同様に、第１ステージ１３において、第１ＯＩＳ駆動部３０Ｘが配置される凹部１３７も、径方向内側に凹んで形成されている。
　第１ステージ１３において、開口１３１の内周面１３１ａには、開口１３１の中心に対して点対称となる位置の２箇所にＡＦモーター固定部（符号省略）が設けられており、２箇所のＡＦモーター固定部にＡＦ駆動部１５が各々配置されて固定されている。
　また、開口１３１の内周面１３１ａには、ＡＦ支持部１６Ａ、１６Ｂを構成する第２レール部材１６４、１６５が取り付けられている。ここでは、一例として、開口１３１の内周面１３１ａの３箇所に第２レール部材１６４、１６５が取り付けられている。第２レール部材１６４、１６５を有するＡＦ支持部１６Ａ、１６Ｂについては後述する。
　また、第１ステージ１３において、Ｘ方向に沿う一方の枠部分の底面には、Ｙ位置検出用のマグネット１７Ｙが配置される（図１２を参照）。例えば、マグネット１７ＹはＹ方向に着磁される。上述したように、基板２２においては、マグネット１７Ｙと光軸方向に対向する位置に、Ｙ位置検出用の磁気センサーを有するドライバーＩＣ２２１Ｙが配置される（図８、図９等を参照）。
　また、第１ステージ１３には、例えば、インサート成形により、給電配線１８Ｙａ、１８Ｙｂ、１８Ｚａ、１８Ｚｂ、１８Ｚｃ、１８Ｚｄが埋設されている（図６を参照）。給電配線１８Ｙａ、１８Ｙｂ、１８Ｚａ、１８Ｚｂ、１８Ｚｃ、１８Ｚｄは、第１ステージ１３の四隅の角部分を切り欠いた切欠部（符号省略）から露出しており、この部分に、ＯＩＳ用付勢部材５０の一端が接続される。
　給電配線１８Ｙａ、１８Ｙｂは、第１ステージ１３の内部において、四隅の切欠部から給電対象の第２ＯＩＳ駆動部３０Ｙの近傍まで延在するよう形成され、第２ＯＩＳ駆動部３０Ｙと接続されている。また、給電配線１８Ｚａ、１８Ｚｂは、第１ステージ１３の内部において、四隅の切欠部から給電対象の１つのＡＦ駆動部１５の近傍まで延在するよう形成され、当該ＡＦ駆動部１５と接続されている。また、給電配線１８Ｚｃ、１８Ｚｄは、第１ステージ１３の内部において、四隅の切欠部から給電対象の他の１つのＡＦ駆動部１５の近傍まで延在するよう形成され、当該ＡＦ駆動部１５と接続されている。
　以上のような構成により、給電配線１８Ｙａ、１８Ｙｂを介して、第１ステージ１３をＹ方向に移動させる第２ＯＩＳ駆動部３０Ｙへの給電が行われる。また、給電配線１８Ｚａ、１８Ｚｂ、１８Ｚｃ、１８Ｚｄを介して、ＡＦ可動部１２をＺ方向に移動させるＡＦ駆動部１５への給電が行われる。
　［第２ステージ］
　第２ステージ１４は、光軸方向から見た平面視において略矩形状を有する部材であり、例えば、液晶ポリマーで形成される。第２ステージ１４の開口１４１は、略矩形状に形成されている（図６を参照）。第２ステージ１４において、第２ＯＩＳ駆動部３０Ｙが配置される凹部１４６は、第１ステージ１３と同様に、径方向内側に凹んで形成されている。第１ＯＩＳ駆動部３０Ｘが配置される切欠部１４７は、隅部分を切り欠いた部分と一体に形成されている。
　第２ステージ１４は、上面に、ＯＩＳ支持部４０を構成するＹ方向基準ボール４２を保持するＹ方向基準ボール保持部１４３を有する。Ｙ方向基準ボール保持部１４３については、Ｙ方向基準ボール保持部１４３に対向して配置される上記のＹ方向基準ボール保持部１３３と同様の構成でよいので、ここでは、重複する説明は省略する。
　また、第２ステージ１４は、下面に、ＯＩＳ支持部４０を構成するＸ方向基準ボール４１を保持するＸ方向基準ボール保持部１４４を有する（図１１を参照）。Ｘ方向基準ボール保持部１４４については、Ｘ方向基準ボール保持部１４４に対向して配置される上記のＸ方向基準ボール保持部２１８と同様の構成でよいので、ここでも、重複する説明は省略する。
　また、第２ステージ１４において、Ｙ方向に沿う一方の枠部分の底面には、Ｘ位置検出用のマグネット１７Ｘが配置される（図１１を参照）。例えば、マグネット１７ＸはＸ方向に着磁される。上述したように、基板２２においては、マグネット１７Ｘと光軸方向に対向する位置に、Ｘ位置検出用の磁気センサーを有するドライバーＩＣ２２１Ｘが配置される（図８、図９等を参照）。
　上述したように、本実施の形態では、Ｘ方向に移動する第２ステージ１４にマグネット１７Ｘを配置し、Ｙ方向に移動する第１ステージ１３にマグネット１７Ｙを配置している（図１１、図１２を参照）。そして、Ｙ方向のみに移動するときは、第１ステージ１３は移動するが、第２ステージ１４は移動せず、第２ステージ１４に配置したマグネット１７Ｘも移動しない。そのため、マグネット１７ＸによるＸ方向の位置検出の際に、マグネット１７Ｙの影響がなくなり、検出精度を向上させることができる。
　［ＡＦ支持部］
　上述したように、ＡＦ可動部１２のレンズ収容部１２１の外周面１２１ｂには第１レール部材１６１が取り付けられており、第１ステージ１３の開口１３１の内周面１３１ａには第２レール部材１６４、１６５が取り付けられている（図６を参照）。
　第１レール部材１６１と第２レール部材１６４との間に、リテーナー１６３に保持されたＺ方向基準ボール１６２が挟持されて、ＡＦ支持部１６Ａが構成されている。また、第１レール部材１６１と第２レール部材１６５との間に、リテーナー１６３に保持されたＺ方向基準ボール１６２が挟持されて、ＡＦ支持部１６Ｂが構成されている。つまり、ＡＦ支持部１６Ａは、第１レール部材１６１、Ｚ方向基準ボール１６２、リテーナー１６３及び第２レール部材１６４を有している。また、ＡＦ支持部１６Ｂは、第１レール部材１６１、Ｚ方向基準ボール１６２、リテーナー１６３及び第２レール部材１６５を有している。
　第１レール部材１６１は、ＡＦ可動部１２と共に自身がＺ方向に移動する際にＺ方向基準ボール１６２を回転可能に挟持する挟持面（符号省略）と、レンズ収容部１２１の外周面１２１ｂに取り付ける爪部（符号省略）とを有している。当該挟持面は、光軸方向に延在する湾曲面であり、平面視において、その中央部がレンズ収容部１２１の内側に凹むよう湾曲している。爪部は、レンズ収容部１２１の内側に向かって延在し、挟持面を挟む２箇所に配置されている。
　レンズ収容部１２１の外周面１２１ｂには、爪部を挿入する挿入溝（符号省略）が形成されている。挿入溝に爪部を挿入し、固定することで、第１レール部材１６１はレンズ収容部１２１の外周面１２１ｂに取り付けられる。
　第２レール部材１６４も、Ｚ方向基準ボール１６２を回転可能に挟持する挟持面（符号省略）を有している。当該挟持面は、光軸方向に延在する湾曲面であり、平面視において、その中央部がレンズ収容部１２１の外周面１２１ｂに対して外側に凹むよう湾曲している。
　第２レール部材１６４は、開口１３１の内周面１３１ａに形成された溝部（符号省略）に配置されて、例えば、接着剤等の接合法により、溝部に固定されている。
　第２レール部材１６５は、開口１３１の内周面１３１ａに形成された凹部（符号省略）に固定される固定部（符号省略）と、付勢力を付与するようＺ方向基準ボール１６２に接触する付与部（符号省略）とを有する。
　付与部の内側（第１レール部材１６１側）は、Ｚ方向基準ボール１６２を回転可能に挟持する挟持面（符号省略）となっている。当該挟持面は、光軸方向に延在する湾曲面であり、平面視において、その中央部がレンズ収容部１２１の外周面１２１ｂに対して外側に凹むよう湾曲している。
　付与部は、付与部を挟むように２箇所に配置された変形部に接続される。平面視において、変形部は、蛇行形状に形成されており、２箇所に配置された変形部は、付与部を挟んで、線対称となるように配置されている。このように形成された変形部は弾性変形可能であり、弾性変形で生じる復元力を付勢力として付与部に伝達する。つまり、第２レール部材１６５は、弾性部材として機能する。
　３つの支持部を設ける場合、２つのＡＦ支持部１６Ａと１つのＡＦ支持部１６Ｂとの組み合わせとすると、スペースを要するＡＦ支持部１６Ｂを１つ設ければよいので、省スペースを図ることができ、装置全体の小型化を図ることができる。また、複雑な形状の第２レール部材１６５を１つ設ければよいので、これを複数設ける場合と比較して、コストダウンを図ることができる。
　リテーナー１６３は、一例として、２つのＺ方向基準ボール１６２を保持している。リテーナー１６３により、２つのＺ方向基準ボール１６２は、光軸方向に沿って並ぶよう配置されて、光軸方向における位置決めがなされると共に、互いの距離が一定に保たれるよう保持される。リテーナー１６３は、３つ以上のＺ方向基準ボール１６２（ボール）を有するものでもよいが、２つボールを有する場合は、３つ以上のボールを有する場合と比較して、ボールの直径を大きくすることができ、ボールの転がり抵抗を小さくすることができる。
　ここでは、一例として、２つのＡＦ支持部１６Ａと１つのＡＦ支持部１６Ｂが配置されており、ＡＦ支持部１６Ａ、１６Ｂにより、ＡＦ可動部１２は、第１ステージ１３に対して、Ｚ方向に移動可能に支持されている。ＡＦ支持部１６Ａ、１６Ｂは、第１ステージ１３の開口１３１の内周面１３１ａにおいて、周方向の少なくとも３箇所に分散した位置に各々配置されている。
　ＡＦ支持部１６Ａ、１６Ｂを３箇所に分散して配置する場合、ＡＦ支持部１６Ａ、１６Ｂの間の角度は、１２０°間隔で配置することが望ましいが、この角度は適宜に変更可能である。
　また、ＡＦ支持部１６Ａ、１６Ｂは、開口１３１の内周面１３１ａの４箇所以上に分散して配置されてもよいが、対象を安定して支持可能な３点支持を基本として、３点支持の間を更に支持するよう、６箇所や９箇所等の３の倍数箇所に配置されることが望ましい。
　ＡＦ支持部１６Ａ、１６Ｂにおいて、Ｚ方向基準ボール１６２は、第２レール部材１６４、１６５により、第１レール部材１６１に向かって押圧、付勢するよう構成されている。つまり、Ｚ方向基準ボール１６２は、第１レール部材１６１に当接して、開口１３１の内側に向かう方向に押圧、付勢するよう構成されている。このとき、後述の図１４に示すように、Ｚ方向基準ボール１６２が第１レール部材１６１を押圧する押圧力Ｆ１～Ｆ３の方向は、光軸方向から見て、開口１３１の内側に位置する一点に向かう方向であることが望ましい（一点鎖線及び二点鎖線を参照）。例えば、押圧力Ｆ１～Ｆ３の方向は、開口１３１の中心（光軸ＯＡの位置）に向かう方向であることが望ましい。
　開口１３１の内周面１３１ａにおいて、ＡＦ支持部１６Ａ、１６ＢとＡＦ駆動部１５とは、互いに異なる箇所に配置されている。ここでは、一例として、合計３つのＡＦ支持部１６Ａ、１６Ｂと合計２つのＡＦ駆動部１５とが配置されている。更に具体的には、一方のＡＦ支持部１６ＡとＡＦ支持部１６Ｂとの間に一方のＡＦ駆動部１５が配置され、他方のＡＦ支持部１６ＡとＡＦ支持部１６Ｂとの間に他方のＡＦ駆動部１５が配置されている。この場合、ＡＦ駆動部１５は、ＡＦ支持部１６Ａ、１６Ｂと同様に、開口１３１の内周面１３１ａにおいて、周方向に分散して各々配置される。ここでは、ＡＦ駆動部１５は、ＡＦ支持部１６Ａ、１６Ｂが配置された箇所とは異なる箇所であって、開口１３１の中心に対して点対称となる位置の２箇所に配置する。
　ＡＦ支持部１６Ａ、１６Ｂは、開口１３１の内周面１３１ａの少なくとも３箇所に分散して配置されているので、第１ステージ１３は、ＡＦ支持部１６Ａ、１６Ｂを介して、ＡＦ可動部１２を安定して支持することができる。加えて、ＡＦ支持部１６Ａ、１６ＢのＺ方向基準ボール１６２が第１レール部材１６１に当接して、レンズ収容部１２１の内側に向かう方向に押圧、付勢するよう構成されている。このため、ＡＦ可動部１２をレンズ収容部１２１の内側に向かう方向に押圧、付勢しながら、ＡＦ可動部１２を光軸方向に移動可能に支持することになり、レンズ部２の傾き（チルト）を抑制することができる。この結果、第１ステージ１３は、ＡＦ支持部１６Ａ、１６Ｂを介して、ＡＦ可動部１２及びレンズ部２を安定して移動可能に支持することができる。
　なお、ＡＦ支持部１６Ａ、１６Ｂは、Ｚ方向基準ボール１６２を用いる構成であるが、Ｚ方向基準ボール１６２に代えて、ローラー部材を用いてもよい。その場合、ローラー部材の形状や配置等に応じて、第１レール部材１６１や第２レール部材１６４、１６５の形状等を変更すればよい。また、Ｚ方向基準ボール１６２、リテーナー１６３に代えて、光軸方向に延在するシャフト部材やレンズ収容部１２１の外周面１２１ｂから外側に突出する突出部又は開口１３１の内周面１３１ａから内側に突出する突出部でもよい。その場合、シャフト部材や突出部が光軸方向に摺動可能に支持されるよう、第１レール部材１６１や第２レール部材１６４、１６５の形状等を変更すればよい。
　［ＡＦ駆動部、ＡＦ支持部、ＯＩＳ駆動部の配置］
　ここで、ＡＦ駆動部１５、ＡＦ支持部１６Ａ、１６Ｂ、ＯＩＳ駆動部３０（第１ＯＩＳ駆動部３０Ｘ及び第２ＯＩＳ駆動部３０Ｙ）の配置について、図１４を参照して説明する。図１４は、光学素子駆動装置本体４を模式的に示す平面図である。図１４では、ＡＦ駆動部１５、ＡＦ支持部１６Ａ、１６Ｂ、第１ＯＩＳ駆動部３０Ｘ及び第２ＯＩＳ駆動部３０Ｙの配置関係を示すため、これら及びこれらに関係する構成を模式的に示している。
　光学素子駆動装置本体４は、上述したように、第１ＯＩＳ駆動部３０Ｘ及び第２ＯＩＳ駆動部３０Ｙを有する。このような構成を有する場合、ＯＩＳ可動部１０において、以下に説明するように、第１ＯＩＳ駆動部３０Ｘ及び第２ＯＩＳ駆動部３０Ｙを配置する。
　具体的には、第１ＯＩＳ駆動部３０Ｘ及び第２ＯＩＳ駆動部３０Ｙを、ＯＩＳ可動部１０の２つの側面であるＸ方向側面１０１Ｘ及びＹ方向側面１０１Ｙの夫々に沿って配置する。図１４に示すように、Ｘ方向側面１０１Ｘは、ＯＩＳ可動部１０において、４つの角部ＣＯ１～ＣＯ４のうちの角部ＣＯ１（本発明における第１角部）から角部ＣＯ２（本発明における第２角部）に向かって延在する側面である。また、Ｙ方向側面１０１Ｙは、ＯＩＳ可動部１０において、角部ＣＯ１から角部ＣＯ３（本発明における第３角部）に向かって延在する側面である。
　また、光学素子駆動装置本体４は、上述したように、２つのＡＦ駆動部１５と、２つのＡＦ支持部１６Ａと、１つのＡＦ支持部１６Ｂとを有する。このような構成を有する場合、第１ステージ１３（内周面１３１ａ）において、以下に説明するように、ＡＦ駆動部１５、ＡＦ支持部１６Ａ、１６Ｂを配置する。
　具体的には、第２レール部材１６５を有する１つのＡＦ支持部１６Ｂを、第１ステージ１３において、４つの角部ＣＯ１～ＣＯ４のうちの１つの角部ＣＯ１に対応する部分に配置する。また、他の２つのＡＦ支持部１６Ａを４つの角部ＣＯ１～ＣＯ４を避けた部分に配置する。そして、一対のＡＦ駆動部１５を、上記の角部ＣＯ１の両隣りに位置する角部ＣＯ２、ＣＯ３に対応する部分であって、対角位置の部分に、光軸ＯＡを挟んで互いに対向するよう夫々配置する。このように、一対のＡＦ駆動部１５を、ＡＦ支持部１６Ａ、１６Ｂが配置された部分とは異なる部分に分散して配置する。
　本実施の形態では、１つのＡＦ支持部１６Ｂが第２レール部材１６５により付勢力を付与する部分となり、２つのＡＦ支持部１６Ａが付勢力を受ける部分となる。このような構成において、第１ステージ１３の開口１３１の内周面１３１ａにおけるＡＦ支持部１６Ａの位置は、以下のようにして設定して配置する。
　具体的には、ＡＦ支持部１６Ｂにおいて、第２レール部材１６５の付勢力によるＺ方向基準ボール１６２の押圧力Ｆ１の方向（押圧の方向）、例えば、押圧力Ｆ１の方向を延長する延長線（図７中の二点鎖線）を想定する。想定された延長線に対して、線対称となるよう２つのＡＦ支持部１６Ａの位置を設定し、配置する。このような位置に２つのＡＦ支持部１６Ａを配置することにより、２つのＡＦ支持部１６Ａが１つのＡＦ支持部１６Ｂから受ける付勢力が均等になり、ＡＦ可動部１２を安定して支持することができる。
　２つのＡＦ支持部１６Ａと１つのＡＦ支持部１６Ｂとの間の間隔は１２０°が理想的である。しかしながら、これらの間隔は必ずしも１２０°間隔にしなくてもよく、その場合、上述したように、押圧力Ｆ１の方向（延長線）に対して線対称となるように、ＡＦ支持部１６Ａの位置を設定し、配置すればよい。また、一対のＡＦ駆動部１５も、押圧力Ｆ１の方向（延長線）に対して線対称となるよう、角部ＣＯ２、ＣＯ３に対応する部分に互いに対向するよう配置する。
　また、磁気センサーを有するドライバーＩＣ２２１Ｘ、２２１Ｙ、２２１Ｚを、ベース２１に取付られる基板２２において、角部ＣＯ１に対向する角部ＣＯ４（本発明における第４角部）に対応する部分に配置する。
　以上説明したように、スペースを要するＡＦ駆動部１５、ＡＦ支持部１６Ｂ及びドライバーＩＣ２２１Ｘ、２２１Ｙ、２２１Ｚを、４つの角部ＣＯ１～ＣＯ４に対応する部分に配置している。また、ＡＦ支持部１６Ｂと比較して、スペースを要しないＡＦ支持部１６Ａを、角部ＣＯ１～ＣＯ４を避けた部分に配置している。つまり、光学素子駆動装置１内のスペースを有効に活用して、ＡＦ駆動部１５、ＡＦ支持部１６Ａ、ＡＦ支持部１６Ｂ及びドライバーＩＣ２２１Ｘ、２２１Ｙ、２２１Ｚを配置している。そのため、光学素子駆動装置１内に一対のＡＦ駆動部１５を配置できると共に、光学素子駆動装置１の小型化を図ることができる。
　［光学素子駆動装置の動作］
　光学素子駆動装置１において、ＡＦ駆動部１５に電圧を印加すると、ＡＦ圧電素子が振動し、ＡＦ共振部が周波数に応じた挙動で共振して変形する。ＡＦ共振部の変形により、ＡＦ動力伝達部はＺ方向に移動する。これに伴い、ＡＦ可動部１２がＺ方向に移動し、ピント合わせが行われる。ＡＦ支持部１６Ａ、１６Ｂがボール（Ｚ方向基準ボール１６２）を有しているので、ＡＦ可動部１２はＺ方向にスムーズに移動することができる。また、ＡＦ駆動部１５において、ＡＦ動力伝達部は、付勢された状態でＡＦ共振部と当接しているので、当接部分をＺ方向に長くするだけで、光学素子駆動装置１の低背化を損なうことなく、ＡＦ可動部１２の移動ストロークを容易に長くすることができる。
　また、光学素子駆動装置１において、ＯＩＳ駆動部３０に電圧を印加すると、ＯＩＳ圧電素子３２が振動し、ＯＩＳ共振部３１が周波数に応じた挙動で共振して変形する。ＯＩＳ共振部３１の変形により、ＯＩＳ動力伝達部３４はＸ方向、Ｙ方向に移動する。これに伴い、ＯＩＳ可動部１０がＸ方向、Ｙ方向に移動し、振れ補正が行われる。ＯＩＳ支持部４０がボール（Ｘ方向基準ボール４１、Ｙ方向基準ボール４２）を有しているので、ＯＩＳ可動部１０はＸ方向、Ｙ方向にスムーズに移動することができる。
　具体的には、第２ＯＩＳ駆動部３０Ｙが駆動され、そのＯＩＳ動力伝達部３４がＹ方向に移動する場合、第２ＯＩＳ駆動部３０Ｙが配置されている第１ステージ１３から第２ステージ１４に動力が伝達される。このとき、第２ステージ１４とベース２１とで挟持されているＸ方向基準ボール４１は、Ｙ方向に転動できないので、ベース２１に対する第２ステージ１４のＹ方向の位置は維持される。一方、第１ステージ１３と第２ステージ１４とで挟持されているＹ方向基準ボール４２は、Ｙ方向に転動できるので、第２ステージ１４に対して第１ステージ１３がＹ方向に移動する。つまり、ベース２１及び第２ステージ１４がＯＩＳ機能の固定体となり、ＡＦ部１１（ＡＦ可動部１２及び第１ステージ１３）がＯＩＳ機能の可動体となる。
　また、第１ＯＩＳ駆動部３０Ｘが駆動され、そのＯＩＳ動力伝達部３４がＸ方向に移動する場合、第１ＯＩＳ駆動部３０Ｘが配置されているベース２１から第２ステージ１４に動力が伝達される。このとき、第１ステージ１３と第２ステージ１４とで挟持されているＹ方向基準ボール４２は、Ｘ方向に転動できないので、第２ステージに対する第１ステージ１３のＸ方向の位置は維持される。一方、第２ステージ１４とベース２１とで挟持されているＸ方向基準ボール４１は、Ｘ方向に転動できるので、ベース２１に対して第２ステージ１４がＸ方向に移動する。第１ステージ１３も第２ステージ１４に追従してＸ方向に移動することになる。つまり、ベース２１がＯＩＳ機能の固定体となり、ＡＦ部１１（ＡＦ可動部１２及び第１ステージ１３）及び第２ステージ１４がＯＩＳ機能の可動体となる。
　このようにして、ＯＩＳ可動部１０がＸＹ平面内で揺動し、振れ補正が行われる。具体的には、カメラモジュールＡの角度振れが相殺されるように、振れ検出部（例えば、ジャイロセンサー）からの角度振れを示す検出信号に基づいて、第１ＯＩＳ駆動部３０Ｘ、第２ＯＩＳ駆動部３０Ｙへの通電電圧が制御される。このとき、マグネット１７Ｘ、１７Ｙ及びドライバーＩＣ２２１Ｘ、２２１Ｙの磁気センサーで構成されるＸ、Ｙ位置検出部の検出結果をフィードバックすることで、ＯＩＳ可動部１０の並進移動を正確に制御することができる。
　［効果］
　本実施の形態の光学素子駆動装置１では、上述したように、一対のＡＦ駆動部１５を互いに対向するよう配置している。このため、レンズ部２を保持する第１ステージ１３を駆動する推力を増やすことができ、ＡＦ動作の応答性を速くすることができ、また、レンズ部２の重量が重くなっても、ＡＦ動作を行うことができる。
　また、本実施の形態の光学素子駆動装置１では、上述したように、第１ステージ１３の１つの角部ＣＯ１に対応する部分に、ＡＦ可動部１２に付勢力を付与する１つのＡＦ支持部１６Ｂを配置する。そして、角部ＣＯ１の両隣りに位置する角部ＣＯ２、ＣＯ３に対応する部分に、一対のＡＦ駆動部１５を互いに対向するよう配置する。このように、スペースを要するＡＦ支持部１６Ｂ、ＡＦ駆動部１５を第１ステージ１３の角部ＣＯ１～ＣＯ３に対応する部分に配置するので、光学素子駆動装置１内のスペースを有効に活用して、光学素子駆動装置１の小型化を図ることができる。
　また、本実施の形態の光学素子駆動装置１では、上述したように、基板２２において、角部ＣＯ１に対向する角部ＣＯ４に対応する部分に、磁気センサーを有するドライバーＩＣ２２１Ｘ、２２１Ｙ、２２１Ｚが配置されている。このように、スペースを要するドライバーＩＣ２２１Ｘ、２２１Ｙ、２２１Ｚを角部ＣＯ４に対応する部分に配置するので、光学素子駆動装置１内のスペースを有効に活用して、光学素子駆動装置１の小型化を図ることができる。
　また、本実施の形態の光学素子駆動装置１では、第１ステージ１３の開口１３１の内周面１３１ａにおいて、２つのＡＦ支持部１６Ａ及び１つのＡＦ支持部１６Ｂを、周方向の３箇所に分散して配置している。また、内周面１３１ａにおいて、一対のＡＦ駆動部１５を、ＡＦ支持部１６Ａ、１６Ｂが配置された箇所とは異なる箇所であって、互いに対向する箇所に分散して配置している。このため、ＡＦ可動部１２に力を付与する箇所が内周面１３１ａの周方向に分散することになり、ＡＦ可動部１２が変形しにくくなり、また、局所的な変形も抑制することができる。ＡＦ可動部１２が変形しにくくなるので、２つのＡＦ支持部１６Ａ、１つのＡＦ支持部１６Ｂ及び一対のＡＦ駆動部１５により、ＡＦ可動部１２を光軸方向にスムーズに移動させることができる。
　また、本実施の形態の光学素子駆動装置１では、ＡＦ支持部１６Ｂにおける押圧力Ｆ１の方向（延長線）に対して、線対称となるよう２つのＡＦ支持部１６Ａを配置している。また、一対のＡＦ駆動部１５も、押圧力Ｆ１の方向（延長線）に対して、線対称となるよう、角部ＣＯ２、ＣＯ３に対応する部分に互いに対向するよう配置している。このような配置により、押圧力Ｆ１の方向を延長する延長線に対して、２つのＡＦ支持部１６ＡがＡＦ可動部１２を線対称的に押圧し、また、一対のＡＦ駆動部１５が線対称の位置からＡＦ可動部１２に駆動力を付与する。このため、バランス良く押圧することができ、ＡＦ可動部１２を光軸方向にスムーズに移動させることができる。２つのＡＦ支持部１６Ａの押圧により、ＡＦ可動部１２が弾性変形することがあっても、ＡＦ可動部１２は線対称的に弾性変形するので、バランス良く押圧することができ、ＡＦ可動部１２を光軸方向にスムーズに移動させることができる。
　また、本実施の形態の光学素子駆動装置１によれば、ＯＩＳ駆動部３０と共に、ＡＦ駆動部１５が超音波モーターで構成されているので、外部磁気の影響を低減できると共に、上述した構成により、小型化及び低背化を図ることができる。
　また、図１Ｂに示すスマートフォンＭのように、光学素子駆動装置１を有するカメラモジュールＡを互いに近接して配置しても、磁気的な影響はないので、デュアルカメラ用として極めて好適である。
　また、ＡＦ可動部１２は、上述したＡＦ支持部１６Ａ、１６Ｂに支持されているので、ＡＦ可動部１２の移動動作が安定して、光学素子駆動装置１の駆動性能が格段に向上する。
　［他の実施の形態］
　本発明は上記実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で変更可能である。
　例えば、上記実施の形態では、ＡＦ可動部１２の３点支持のＡＦ支持部として、２つのＡＦ支持部１６Ａと１つのＡＦ支持部１６Ｂとを組み合わせた構成であるが、３つのＡＦ支持部１６Ａ又は３つのＡＦ支持部１６Ｂの構成でもよい。このような構成を有する場合、図１４で説明した配置と同様に、ＡＦ駆動部１５及びＡＦ支持部１６Ａ、又は、ＡＦ駆動部１５及びＡＦ支持部１６Ｂを配置する。
　例えば、２つのＡＦ駆動部１５及び３つのＡＦ支持部１６Ａの場合は、以下のように配置する。具体的には、１つのＡＦ支持部１６Ａを、第１ステージ１３の４つの角部ＣＯ１～ＣＯ４のうちの１つの角部ＣＯ１（本発明における第１角部）に対応する部分に配置し、他のＡＦ支持部１６Ａを４つの角部ＣＯ１～ＣＯ４を避けた部分に配置する。そして、一対のＡＦ駆動部１５を、上記の角部ＣＯ１の両隣りに位置する角部ＣＯ２、ＣＯ３（本発明における第２、第３角部）に対応する部分に、光軸ＯＡを挟んで互いに対向するよう配置する。
　また、２つのＡＦ駆動部１５及び３つのＡＦ支持部１６Ｂの場合は、以下のように配置する。具体的には、１つのＡＦ支持部１６Ｂを、第１ステージ１３の４つの角部ＣＯ１～ＣＯ４のうちの１つの角部ＣＯ１（本発明における第１角部）に対応する部分に配置し、他のＡＦ支持部１６Ｂを４つの角部ＣＯ１～ＣＯ４を避けた部分に配置する。そして、一対のＡＦ駆動部１５を、上記の角部ＣＯ１の両隣りに位置する角部ＣＯ２、ＣＯ３（本発明における第２、第３角部）に対応する部分に、光軸ＯＡを挟んで互いに対向するよう配置する。
　また、上記実施の形態では、スマートフォンＭを例に挙げて説明したが、本発明は、カメラモジュールとカメラモジュールで得られた画像情報を処理する画像処理部とを有するカメラ搭載装置に適用できる。カメラ搭載装置は、情報機器及び輸送機器を含む。情報機器は、例えば、カメラ付き携帯電話機、ノート型パソコン、タブレット端末、携帯型ゲーム機、ｗｅｂカメラ、カメラ付き車載装置（例えば、バックモニター装置、ドライブレコーダー装置）を含む。また、輸送機器は、例えば、自動車を含む。
　図１５Ａ、図１５Ｂは、車載用カメラモジュールＶＣ（Vehicle Camera）を搭載するカメラ搭載装置としての自動車Ｖを示す図である。図１５Ａは自動車Ｖの正面図であり、図１５Ｂは自動車Ｖの後方斜視図である。自動車Ｖは、車載用カメラモジュールＶＣとして、上記実施の形態で説明したカメラモジュールＡを搭載する。図１５Ａ、図１５Ｂに示すように、車載用カメラモジュールＶＣは、例えば、前方に向けてフロントガラスに取り付けられたり、後方に向けてリアゲートに取り付けられたりする。この車載用カメラモジュールＶＣは、バックモニター用、ドライブレコーダー用、衝突回避制御用、自動運転制御用等として使用される。
　また、上記実施の形態では、光学素子としてレンズ部２を駆動する光学素子駆動装置１について説明したが、駆動対象となる光学素子は、ミラーやプリズム等のレンズ以外の光学素子であってもよい。また、オートフォーカスだけでなく、ズーム等、ＡＦ可動部１２を光軸方向に移動させる場合に適用することができる。
　以上、本発明の実施の形態、変形例について説明した。なお、以上の説明は、本発明の好適な実施の形態の例証であり、本発明の範囲はこれに限定されない。つまり、上記装置の構成や各部分の形状についての説明は一例であり、本発明の範囲においてこれらの例に対する様々な変更や追加が可能であることは明らかである。
　２０２１年８月２６日出願の特願２０２１－１３８４０４の日本出願に含まれる明細書、図面および要約書の開示内容は、すべて本願に援用される。
　本発明に係る光学素子駆動装置及びカメラモジュールは、例えば、スマートフォン、携帯電話機、デジタルカメラ、ノート型パソコン、タブレット端末、携帯型ゲーム機、車載カメラ等のカメラ搭載装置に搭載して、有用なものである。
　１　光学素子駆動装置
　２　レンズ部
　３　カバー
　４　光学素子駆動装置本体
　５　撮像部
　１０　ＯＩＳ可動部（第２可動部の一例）
　１１　ＡＦ部
　１２　ＡＦ可動部（第１可動部の一例）
　１３　第１ステージ
　１４　第２ステージ
　１５　ＡＦ駆動部（第１駆動部の一例）
　１６Ａ、１６Ｂ　ＡＦ支持部
　１７Ｘ、１７Ｙ、１７Ｚ　マグネット
　１８Ｙａ、１８Ｙｂ、１８Ｚａ、１８Ｚｂ、１８Ｚｃ、１８Ｚｄ　給電配線
　２０　ＯＩＳ固定部
　２１　ベース
　２２　基板
　２３　端子
　２５Ｘａ、２５Ｘｂ　給電配線
　２５Ｙａ、２５Ｙｂ、２５Ｚａ、２５Ｚｂ、２５Ｚｃ、２５Ｚｄ　給電配線
　３０　ＯＩＳ駆動部（第２駆動部の一例）
　３０Ｘ　第１ＯＩＳ駆動部
　３０Ｙ　第２ＯＩＳ駆動部
　３１　ＯＩＳ共振部
　３２　ＯＩＳ圧電素子
　３４　ＯＩＳ動力伝達部
　３５　ステージ固定部
　４０　ＯＩＳ支持部
　４１　Ｘ方向基準ボール
　４２　Ｙ方向基準ボール
　５０　ＯＩＳ用付勢部材
　６０　昇圧部
　１０１Ｘ　Ｘ方向側面
　１０１Ｙ　Ｙ方向側面
　１２１　レンズ収容部
　１２１ａ、１３１ａ　内周面
　１２１ｂ　外周面
　１２３　突出部
　１３１、１４１、２１１、３０１、４０１　開口
　１３２　挿入孔
　１３３　Ｙ方向基準ボール保持部
　１３４　ＯＩＳモーター固定部
　１３７　凹部
　１４３　Ｙ方向基準ボール保持部
　１４４　Ｘ方向基準ボール保持部
　１４５Ｘ、１４５Ｙ　ＯＩＳチャッキングガイド固定部
　１４７　切欠部
　１６１　第１レール部材
　１６２　Ｚ方向基準ボール
　１６３　リテーナー
　１６４、１６５　第２レール部材
　２１７　ＯＩＳモーター固定部
　２１８　Ｘ方向基準ボール保持部
　２１９　開口部
　５０１　イメージセンサー基板
　５０２　撮像素子
　５０３　制御部
　ＣＯ１、ＣＯ２、ＣＯ３、ＣＯ４　角部

Claims (9)

  1. 　光学素子を保持した状態で第１駆動部により光軸方向に移動可能に構成された第１可動部と、
    　第２駆動部により前記第１可動部と共に光軸直交方向に移動可能に、ベース上に第１ステージと第２ステージとを積層して構成された第２可動部と、
    　を備え、
    　前記第２駆動部は、前記第２可動部の直交する２つの側面の夫々に沿って配置され、
    　前記第１駆動部は、前記第２可動部の対角位置の夫々に配置される、
    　光学素子駆動装置。
  2. 　前記第２可動部は、平面視矩形状であり、
    　前記第２駆動部は、前記第２可動部の４つの角部のうちの第１角部から第２角部及び第３角部の夫々に向かって延在する前記２つの側面の夫々に沿って配置され、
    　前記第１駆動部は、前記第２角部及び前記第３角部に対応する前記対角位置の夫々に配置される、
    　請求項１に記載の光学素子駆動装置。
  3. 　前記ベースにおいて前記第１角部に対向する第４角部に対応する部分に配置され、前記第１可動部及び前記第２可動部の夫々の位置を検出する位置検出部をさらに備える、
    　請求項２に記載の光学素子駆動装置。
  4. 　前記第２可動部の内側において、周方向の少なくとも３箇所に分散した位置で前記第１可動部を前記光軸方向に移動可能に支持する支持部をさらに備え、
    　前記第２可動部は、平面視矩形状であり、
    　１つの前記支持部は、前記第２可動部の４つの角部のうちの第１角部に対応する部分に配置され、他の前記支持部は、前記４つの角部を避けた部分に配置される、
    　請求項１から３のいずれか一項に記載の光学素子駆動装置。
  5. 　前記第１角部に対応する部分に配置される前記支持部は、前記第１可動部を前記第２可動部の内側の方向に押圧する弾性部材を有する、
    　請求項４に記載の光学素子駆動装置。
  6. 　前記第１駆動部は、前記弾性部材による押圧の方向に対して線対称に配置される、
    　請求項５に記載の光学素子駆動装置。
  7. 　前記４つの角部を避けた部分に配置される前記支持部は、前記弾性部材による押圧の方向に対して線対称に配置される、
    　請求項５又は６に記載の光学素子駆動装置。
  8. 　請求項１から７のいずれか一項に記載の光学素子駆動装置と、
    　前記光学素子により結像された被写体像を撮像する撮像部と、
    　を備える、
    　カメラモジュール。
  9. 　情報機器又は輸送機器であるカメラ搭載装置であって、
    　請求項８に記載のカメラモジュールと、
    　前記カメラモジュールで得られた画像情報を処理する画像処理部と、
    　を備える、
    　カメラ搭載装置。
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