WO2023063157A1 - 光学素子駆動装置、カメラモジュール及びカメラ搭載装置 - Google Patents

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WO2023063157A1
WO2023063157A1 PCT/JP2022/037043 JP2022037043W WO2023063157A1 WO 2023063157 A1 WO2023063157 A1 WO 2023063157A1 JP 2022037043 W JP2022037043 W JP 2022037043W WO 2023063157 A1 WO2023063157 A1 WO 2023063157A1
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ois
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stage
optical axis
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PCT/JP2022/037043
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正吉 菅原
智之 村上
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ミツミ電機株式会社
正吉 菅原
智之 村上
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    • H04N23/00—Cameras or camera modules comprising electronic image sensors; Control thereof
    • H04N23/57—Mechanical or electrical details of cameras or camera modules specially adapted for being embedded in other devices

Definitions

  • the present invention relates to an optical element driving device, a camera module, and a camera mounting device.
  • mobile terminals such as smartphones are equipped with a small camera module.
  • An optical element driving device for driving an optical element is used in such a camera module.
  • the optical element driving device has an autofocus function (hereinafter referred to as "AF function”, AF: Auto Focus) and a shake correction function (hereinafter referred to as "OIS function”, OIS: Optical Image Stabilization) (for example, Patent document 1).
  • AF function autofocus function
  • OIS function shake correction function
  • the optical element driving device uses the AF function to automatically adjust the focus when shooting a subject, and the OIS function optically corrects shake (vibration) that occurs during shooting to reduce image distortion. .
  • the optical element driving device as described above includes an AF support section that supports the lens section so as to be movable in the optical axis direction, an OIS support section that supports the lens section so as to be swingable in a plane orthogonal to the optical axis direction, Prepare.
  • the OIS support includes a frame, a guide groove formed in the frame, and a ball member arranged movably inside the guide groove and supporting the lens so as to swing with respect to the frame.
  • the frame in which the guide groove is formed is generally made of a resin material or the like.
  • the ball member arranged inside the guide groove is generally made of a material harder than the resin material, such as a ceramic material.
  • the guide groove may be deformed due to, for example, a dent in the guide groove due to the ball member. If the guide groove is deformed, it may affect the movement of the ball member arranged inside the guide groove, making it impossible to properly swing the lens, and thus make it impossible to perform the above-described shake correction properly.
  • An object of the present invention is to provide an optical element driving device, a camera module, and a camera mounting device capable of suppressing deformation of the supporting portion due to impact.
  • An optical element driving device includes: a movable side member that moves in a direction orthogonal to the optical axis by being driven by the driving unit while holding the optical element; a stationary member disposed at a position spaced apart from the movable member in the optical axis direction and supporting the movable member movably in the direction perpendicular to the optical axis via a rolling member; wiring embedded in at least one of the movable-side member and the fixed-side member and electrically connected to the drive unit; with The movable-side member and the fixed-side member have an accommodating portion forming surface that forms an accommodating portion for the rolling member, The wiring is exposed so as to come into contact with the rolling member on a part of the accommodating portion forming surface.
  • An optical element driving device includes: a first movable part capable of moving in a first direction orthogonal to the optical axis while holding the optical element; is arranged at a position separated from the first movable portion in the optical axis direction, the first movable portion is movably supported in the first direction by a rolling member, and the first movable portion in the direction orthogonal to the optical axis is supported by a rolling member; a second movable portion movable together with the first movable portion in a second direction orthogonal to one direction; a fixing portion arranged at a position spaced apart from the second movable portion in the optical axis direction and supporting the second movable portion movably in the second direction by a rolling member; a driving section that drives the first movable section with respect to the second movable section in the first direction and the second movable section with respect to the fixed section in the second direction; wiring embedded in each of the first movable portion and the fixed portion and electrically connected to the
  • a camera module includes: the optical element driving device; an imaging unit configured to capture a subject image formed by the optical element.
  • a camera-equipped device includes: A camera-equipped device that is information equipment or transportation equipment, the above camera module; an image processing unit that processes image information obtained by the camera module.
  • FIG. 1 is a front view showing a smart phone equipped with a camera module according to an embodiment of the invention
  • FIG. 1B is a rear view of the smartphone shown in FIG. 1A
  • FIG. It is a perspective view which shows a camera module and an imaging part.
  • FIG. 3 is an exploded perspective view of the optical element driving device of the camera module shown in FIG. 2
  • 4 is a perspective view of the main body of the optical element driving device shown in FIG. 3
  • FIG. 4 is a plan view of the main body of the optical element driving device shown in FIG. 3
  • FIG. 4 is an exploded perspective view of the main body of the optical element driving device shown in FIG. 3
  • FIG. 7 is an exploded perspective view of the OIS fixing portion shown in FIG. 6;
  • FIG. 8 is a plan view of the base of the OIS fixing part shown in FIG. 7; 9 is a diagram showing the positional relationship between openings formed in the surface of the base shown in FIG. 8 and wiring arranged inside the base; FIG. FIG. 9 is a cross-sectional view of the base shown in FIG. 8 taken along the line AA.
  • FIG. 3 is an exploded perspective view of an OIS drive unit;
  • FIG. 7 is an exploded perspective view of the OIS movable portion shown in FIG. 6;
  • 13 is an exploded perspective view of the AF section shown in FIG. 12;
  • FIG. FIG. 14 is an exploded perspective view of the first stage shown in FIG. 13; 14 is a perspective view of an AF movable portion and an AF driving portion shown in FIG. 13;
  • FIG. 16 is an exploded perspective view of the AF driving section separated from the AF movable section shown in FIG. 15; 17 is an exploded perspective view of the AF driving section shown in FIG. 16; FIG. It is the figure which looked at the AF movable part, the 1st stage, and the 2nd stage which are shown in FIG. 6 from the diagonally downward side.
  • FIG. 19 is a bottom view of the first stage shown in FIG. 18; 19 is a diagram showing a positional relationship between an opening formed in the bottom surface of the first stage and wiring arranged inside the first stage in the first stage shown in FIG. 18;
  • FIG. FIG. 5 is a perspective view showing a biasing portion that biases the AF movable portion; FIG.
  • FIG. 5 is a cross-sectional view for explaining an urging section arranged between the first stage and the AF movable section;
  • FIG. 4 is a perspective view of a leaf spring of the biasing portion;
  • 1 is a front view showing an automobile as a camera-equipped device on which an in-vehicle camera module is installed;
  • FIG. 24B is a perspective view of the automobile shown in FIG. 24A as viewed obliquely from the rear;
  • FIG. 1A and 1B are diagrams showing a smartphone M (an example of a camera-equipped device) equipped with a camera module A according to the present embodiment.
  • 1A is a front view of the smartphone M
  • FIG. 1B is a rear view of the smartphone M.
  • FIG. 1A is a front view of the smartphone M
  • FIG. 1B is a rear view of the smartphone M.
  • Smartphone M has a dual camera consisting of two rear cameras OC1 and OC2.
  • the camera module A is applied to the rear cameras OC1 and OC2.
  • Camera module A is equipped with AF and OIS functions, and automatically adjusts the focus when shooting a subject. can do.
  • FIG. 2 is a perspective view showing the camera module A and the imaging section 5.
  • FIG. 3 is an exploded perspective view of the optical element driving device 1 of the camera module A shown in FIG. 2.
  • illustration of the lens part 2 is abbreviate
  • this embodiment will be described using an orthogonal coordinate system (X, Y, Z).
  • the drawings to be described later are also shown in a common orthogonal coordinate system (X, Y, Z).
  • the camera module A when photographing is performed by the smartphone M, the camera module A is mounted so that the X direction is the up-down direction (or the left-right direction), the Y direction is the left-right direction (or the up-down direction), and the Z direction is the front-back direction.
  • the Z direction is a direction extending along the direction of the optical axis OA of the lens unit 2 when the lens unit 2 is attached to the camera module A.
  • the Z direction is the optical axis direction
  • the upper side (+Z side) is the optical axis direction light receiving side
  • the lower side ( ⁇ Z side) is the optical axis direction imaging side.
  • the X direction and the Y direction orthogonal to the Z axis are referred to as “optical axis orthogonal direction”, and the XY plane is referred to as “optical axis orthogonal plane”.
  • the direction radially extending from the optical axis OA is referred to as “radial direction”
  • the direction extending so as to surround the optical axis OA is referred to as “circumferential direction”.
  • the radial direction and the circumferential direction may be regarded as the radial direction and the circumferential direction of the opening 301 of the cover 3 and the opening 401 of the optical element driving device main body 4, which will be described later.
  • the camera module A has an optical element driving device 1 that realizes the AF function and the OIS function, a lens unit 2 in which a lens is housed in a cylindrical lens barrel, and an image formed by the lens unit 2.
  • An imaging unit 5 for capturing an image of a subject is provided. That is, the optical element driving device 1 is a so-called lens driving device that drives the lens portion 2 as an optical element.
  • the optical element driving device main body 4 is covered with a cover 3 on the outside.
  • the cover 3 is a lidded quadrangular cylinder having a rectangular shape in a plan view seen from the optical axis direction. In this embodiment, the cover 3 has a square shape in plan view.
  • the cover 3 has a substantially circular opening 301 on its upper surface.
  • the lens unit 2 is accommodated in the opening 401 of the optical element driving device main body 4, faces the outside through the opening 301 of the cover 3, and receives light in the optical axis direction from the opening surface 302 of the cover 3 as it moves in the optical axis direction. configured to protrude to the side.
  • the inner wall 303 of the cover 3 is fixed to the base 21 (see FIG. 6) of the OIS fixing portion 20 of the optical element driving device main body 4, for example, by bonding, and the OIS movable portion 10 and the like (see FIG. 3) are provided inside the base 21. see).
  • the cover 3 has a member that blocks electromagnetic waves from the outside of the optical element driving device 1, for example, a shield member made of a magnetic material.
  • the imaging unit 5 is arranged on the imaging side of the optical element driving device 1 in the optical axis direction.
  • the imaging unit 5 has, for example, an image sensor substrate 501 , an imaging device 502 mounted on the image sensor substrate 501 , and a control unit 503 .
  • the imaging device 502 is configured by, for example, a CCD (charge-coupled device) image sensor, a CMOS (complementary metal oxide semiconductor) image sensor, or the like, and captures an object image formed by the lens unit 2 .
  • CCD charge-coupled device
  • CMOS complementary metal oxide semiconductor
  • the control unit 503 is composed of, for example, a control IC and a driver IC, and controls driving of the optical element driving device 1 .
  • the optical element driving device 1 is mounted on the image sensor substrate 501 and mechanically and electrically connected. Note that the control unit 503 may be provided on the image sensor substrate 501, or may be provided on a camera-equipped device (in this embodiment, the smart phone M) on which the camera module A is mounted.
  • FIG. 4 to 6 are diagrams showing the main body 4 of the optical element driving device.
  • FIG. 4 is a perspective view of the main body 4 of the optical element driving device.
  • FIG. 4 is a diagram of the optical element driving device main body 4 shown in FIG. 3 rotated by 180° around the Z-axis.
  • FIG. 5 is a plan view of the main body 4 of the optical element driving device.
  • FIG. 6 is an exploded perspective view of the main body 4 of the optical element driving device.
  • the optical element driving device main body 4 includes an OIS movable portion 10 (movable side member in the present invention), an OIS fixed portion 20 (fixed side member in the present invention), an OIS drive portion 30, and an OIS support portion 40. (a support portion in the present invention) and an OIS biasing member 50 are provided.
  • the OIS movable section 10 is a member that moves in the direction orthogonal to the optical axis by being driven by the OIS driving section 30 while holding the lens section 2 .
  • the OIS movable portion 10 swings within a plane perpendicular to the optical axis, for example, during shake correction.
  • the OIS movable section 10 has an AF section 11, a second stage 14 (second movable section in the present invention), and an OIS support section 40 (X-direction reference ball 42) (see FIG. 12, etc.). .
  • the AF section 11 has an AF movable section 12, a first stage 13 (first movable section in the present invention), an AF drive section 15, and an AF support section 16 (see FIG. 13, etc.). .
  • the OIS fixing section 20 is arranged at a position spaced apart from the OIS movable section 10 in the optical axis direction, and swings the OIS movable section 10 in the direction orthogonal to the optical axis via the OIS support section 40 (Y-direction reference ball 41). It is a member that is movably (movably) supported. As shown in FIG. 6, the OIS fixing section 20 has a base 21 and an OIS support section 40 (Y-direction reference ball 41). The OIS movable part 10 is arranged apart from the base 21 in the optical axis direction via the Y-direction reference ball 41 , and the base 21 swings the OIS movable part 10 via the Y-direction reference ball 41 . Support possible. Details of the OIS fixing unit 20 will be described later with reference to FIG.
  • the OIS movable portion 10 and the OIS fixed portion 20 are biased toward each other, in other words, the OIS supporting portion 40 is held between them. It is elastically connected by a biasing member 50 (see FIG. 6).
  • the OIS urging member 50 is made of a conductive material, and connects circuits (wirings 181 to 184, which will be described later) for driving the lens section 2 and circuits (wirings 231 to 234, which will be described later) on the side of the OIS fixing section 20. It also functions as a connecting member that forms a conductive path between them.
  • the OIS biasing members 50 are arranged at the four corner portions (corner portions) of the optical element driving device main body 4 in plan view (see FIG. 5).
  • the OIS drive unit 30 includes a first OIS drive unit 30X that drives the OIS movable unit 10 in the X direction (the first direction out of the directions orthogonal to the optical axis), and a first OIS drive unit 30X that drives the OIS movable unit 10 in the Y direction (out of the directions orthogonal to the optical axis). and a second OIS driving section 30Y that drives in a second direction orthogonal to the X direction.
  • the entire OIS movable section 10 including the AF section 11 moves as a movable body (movable side member) with respect to movement in the Y direction.
  • the base 21 of the OIS fixed part 20 constitutes a fixed body (fixed side member), and the Y direction reference ball 41 (rolling member in the present invention) moves the OIS movable part 10 in the Y direction.
  • It functions as an OIS support portion 40 that supports the OIS so as to be able to swing.
  • the AF section 11 moves as a movable body (movable side member) with respect to movement in the X direction.
  • the second stage 14 constitutes a fixed body (fixed member) together with the base 21, and the X direction reference ball 42 (rolling member in the present invention) moves the AF section 11 in the X direction. It functions as an OIS support portion 40 that supports the OIS so as to be able to swing.
  • [OIS fixing part] 7 is an exploded perspective view of the OIS fixing portion 20.
  • the OIS fixing section 20 has the second OIS driving section 30Y and the sensor substrate 22 attached, whereas in FIG. state.
  • the OIS fixing section 20 has a base 21, a sensor substrate 22, wirings 231 to 237 (wirings in the present invention), a wall section 24, a second OIS driving section 30Y, and a Y-direction reference ball 41.
  • the base 21 is formed of, for example, polyarylate (PAR), a PAR alloy (for example, PAR/PC) obtained by mixing a plurality of resin materials including PAR, or a molding material made of liquid crystal polymer.
  • the base 21 is a rectangular member in plan view and has a circular opening 211 in the center.
  • the base 21 has a first base portion 212 forming the main surface of the base 21 and second base portions 213 a and 213 b recessed from the first base portion 212 .
  • the second base portion 213a corresponds to the portion of the OIS movable portion 10 protruding toward the imaging side in the optical axis direction, that is, the AF motor fixing portion 135 of the first stage 13 (see FIGS. 13 and 14 described later). is provided. Specifically, the second base portion 213a is formed to be one size larger than the AF motor fixing portion 135 in plan view so that interference does not occur during shake correction. Terminals 237b of a plurality of wirings 237 are arranged on the second base portion 213b, and a sensor substrate 22 having magnetic sensors 221X, 221Y, and 221Z is arranged on the plurality of terminals 237b.
  • the second base portions 213a and 213b are recessed with respect to the first base portion 212, thereby ensuring a movement stroke of the AF movable portion 12, which will be described later. , the height of the optical element driving device 1 can be reduced.
  • the base 21 also has an OIS motor fixing portion 219 on which the second OIS driving portion 30Y is arranged.
  • the OIS motor fixing portion 219 is provided, for example, near one corner of the base 21, protrudes from the first base portion 212 toward the light receiving side in the optical axis direction, and can hold the second OIS driving portion 30Y. have a shape.
  • FIG. 8 is a plan view of the base 21 of the OIS fixing portion 20.
  • FIG. FIG. 9 is a diagram showing the positional relationship between the openings formed on the surface of the base 21 and the wirings 231 to 237 arranged inside the base 21. As shown in FIG. In FIG. 9, only the shapes of the base 21, the openings 214 to 217, the Y-direction openings 218a and 218b, and the wirings 231 to 237 are shown in order to show the positional relationship.
  • Wirings 231 to 237 are embedded in the base 21 by, for example, insert molding.
  • the wirings 231 to 237 are embedded so that the surface of the base 21 on the surface side (optical axis direction light receiving side) is parallel to the surface of the base 21 .
  • the wires 231 to 237 are arranged inside the base 21 and extend from terminals 231a to 237a at one end of the wires 231 to 237 to terminals 231b to 237b at the other end (FIG. 9).
  • the terminals 231a-237a are exposed from the bottom surface of the base 21 (see FIGS. 3 and 4).
  • the terminals 231b to 237b are exposed on the surface side of the base 21 (light receiving side in the optical axis direction) (see FIGS. 8 and 9).
  • the wirings 231 to 234 are wirings that serve as power supply lines to the AF driving section 15 and the first OIS driving section 30X.
  • Terminals 231a to 234a of the wirings 231 to 234 are exposed from the bottom surface of the base 21 (see FIG. 4).
  • the terminals 231b to 234b are exposed through openings 214 formed at the four corners on the surface side (light receiving side in the optical axis direction) of the base 21 (see FIG. 9).
  • the terminals 231b to 234b are electrically connected to the OIS biasing member 50, and power is supplied to the AF driving section 15 and the first OIS driving section 30X via the OIS biasing member 50.
  • the wirings 235 and 236 are wirings that serve as power supply lines to the second OIS driving section 30Y. Terminals 235a and 236a of the wirings 235 and 236 are exposed from the bottom surface of the base 21 (see FIG. 4). The terminals 235b and 236b are exposed from openings 215 and 216 formed near the OIS motor fixing portion 219 on the surface side of the base 21 (see FIG. 9). The terminals 235b and 236b are electrically connected to the second OIS driving section 30Y, and power is supplied to the second OIS driving section 30Y.
  • the wirings 237 are wirings that serve as power supply lines (eg, 4 lines) and signal lines (eg, 6 lines) to the magnetic sensors 221X, 221Y, and 221Z of the sensor substrate 22.
  • terminal 237a is exposed from the bottom surface of base 21 (see FIG. 3).
  • the terminal 237b is exposed through an opening 217 formed on the surface side of the base 21 (see FIG. 9).
  • the terminal 237b is electrically connected to the sensor substrate 22, and supplies power to the sensor substrate 22 and transmits and receives signals.
  • the wires 232 and 233 respectively have extended portions 232c and 233c that extend so as to be exposed within the Y-direction opening 218a.
  • the extension portions 232c and 233c extend from portions of the wirings 232 and 233 that are close to the Y-direction opening 218a.
  • the Y-direction openings 218a through which the wirings 232 and 233 (extending portions 232c and 233c) are exposed will be described later with reference to FIG.
  • a part of the wiring is exposed within the Y-direction opening 218a, but the wiring is not limited to this, and all the Y-direction openings 218a and 218b are exposed. It may be configured such that a part of the wiring is exposed.
  • extension portions similar to the extension portions 232c and 233c may be provided in any one or more of the wirings 231 to 237, or the arrangement of the wirings 231 to 237 may be adjusted.
  • [OIS support - Y direction] 10 is a cross-sectional view of the base 21 shown in FIG. 8 taken along the line AA.
  • the OIS support section 40 will be described with reference to FIG. 10 together with FIGS. 8 and 9 .
  • the base 21 has Y-direction openings 218a and 218b (accommodating portions in the present invention) that accommodate the Y-direction reference balls 41 that constitute the OIS support portion 40 (see FIGS. 8 and 9).
  • the Y-direction reference ball 41 is sandwiched between the Y-direction openings 218a and 218b and the Y-direction openings 144 (receiving portions in the present invention) of the second stage 14 facing each other in the Z direction (see the drawings to be described later). 18).
  • the Y-direction openings 218a and 218b and the Y-direction opening 144 are grooves having rectangular openings extending in the Y-direction.
  • the Y-direction openings 218a and 218b and the Y-direction opening 144 are formed so that the cross-sectional shape on the XZ plane is, for example, a quadrangle or an inverted triangle (V shape).
  • the Y-direction openings 218a and 218b and the Y-direction opening 144 may be configured so that the width of the groove narrows toward the bottom surface of the groove. shape).
  • the Y-direction opening 218a is formed to have an inverted trapezoidal cross-sectional shape, and the wiring 232 extends so as to form the bottom of the Y-direction opening 218a.
  • the setting portion 232c is exposed. That is, at the bottom portion, which is a part of the accommodating portion forming surface (inner wall) forming the Y-direction opening portion 218a, the extension portion 232c is exposed so as to contact the Y-direction reference ball 41 and receive the load in the optical axis direction. ing.
  • the Y-direction opening 218a on the lower right side in FIG. 9 has the same configuration.
  • the extended portion 232c exposed at the bottom of the accommodating portion forming surface forming the Y-direction opening 218a has a planar shape orthogonal to the optical axis (Z direction) and is positioned at one point with the Y-direction reference ball 41. abut with.
  • the Y-direction reference ball 41 is arranged inside the Y-direction opening 218a whose bottom is the extension 232c, and is in contact with the extension 232c in the Z direction. Since the wirings 231 to 237 are made of conductive metal, they are generally harder than the base 21 made of a resin material or the like. Therefore, for example, even if the optical element driving device 1 receives a large impact due to a drop or the like, the extended portion 233c is less likely to be deformed due to a dent or the like of the Y-direction reference ball 41, thereby suppressing deformation of the Y-direction opening 218a. can do.
  • the extending portion 232c of the wiring 232 embedded inside the base 21 is used as a part of the inner wall of the Y-direction opening 218a, the Y-direction opening can be formed without adding a new member that is difficult to deform. 218a can be suppressed.
  • the Y-direction openings 218b and 144 are formed to have a V-shaped cross section in the XZ plane.
  • the Y-direction opening 218b does not expose a part of the wirings 231 to 237. may be configured to be exposed.
  • part or all of the wirings exposed in the Y-direction opening 218b face the surface of the base 21 (optical axis direction light receiving side) with respect to the surface of the base 21. Buried at an angle.
  • part or all of the wirings exposed in the Y-direction opening 218b are formed to have a V-shaped cross section and are buried inside the base 21.
  • the Y-direction opening 144 is not configured to expose a part of the wiring.
  • the Y-direction opening 144 may be configured such that a portion of the wiring is exposed, similar to the Y-direction opening 218b.
  • the grooves formed by the Y-direction openings 218a, 218b, 144 are formed parallel to the Y-direction. Therefore, the Y-direction reference ball 41 sandwiched between the Y-direction openings 218a and 218b and the Y-direction opening 144 can roll in the grooves in the Y-direction. That is, the base 21 supports the OIS movable section 10 (second stage 14) through the Y-direction reference ball 41 so as to be movable in the Y-direction.
  • the Y-direction openings 218a and 218b and the Y-direction opening 144 are arranged at the four corners of the rectangular base 21 and the second stage 14 .
  • the OIS movable portion 10 (second stage 14) is supported by the base 21 at four Y-direction reference balls 41, that is, at four points. In this way, the Y-direction reference ball 41 is sandwiched by multi-point contact, so that it rolls stably in the Y-direction.
  • the OIS movable section 10 (second stage 14) should be supported by the base 21 at least at three points or more.
  • the Y-direction opening 144 may be arranged.
  • the sensor substrate 22 has an area where the AF driving section 15 and the OIS driving section 30 (the first OIS driving section 30X and the second OIS driving section 30Y) are not arranged, that is, the area corresponding to one side of the rectangular planar shape of the base 21. is provided in Accordingly, the power supply lines and signal lines for the magnetic sensors 221X, 221Y, and 221Z can be consolidated, and the wiring structure in the base 21 can be simplified.
  • the sensor substrate 22 has wiring including power supply lines and signal lines for the magnetic sensors 221X, 221Y, and 221Z (not shown). Magnetic sensors 221X, 221Y, and 221Z are mounted on the sensor substrate 22 .
  • the magnetic sensors 221X, 221Y, and 221Z are composed of, for example, Hall elements or TMR (Tunnel Magneto Resistance) sensors. connected to
  • a magnet 17X is arranged at a position facing the magnetic sensor 221X on the first stage 13 that moves in the X direction (see FIG. 18).
  • the position of the first stage 13 in the X direction that is, the position of the OIS movable part 10 in the X direction is detected by an X-direction position detection unit including the magnetic sensor 221X and the magnet 17X.
  • a magnet 17Y is arranged at a position facing the magnetic sensor 221Y (see FIG. 18).
  • a Y-direction position detection unit including the magnetic sensor 221Y and the magnet 17Y detects the Y-direction position of the second stage 14, that is, the Y-direction position of the OIS movable unit 10.
  • a magnet 17Z is arranged at a position facing the magnetic sensor 221Z (see FIG. 18).
  • the Z-direction position of the AF movable section 12 is detected by a Z-direction position detection section including the magnetic sensor 221Z and the magnet 17Z.
  • an optical sensor such as a photoreflector is used to detect the position of the OIS movable portion 10 in the X and Y directions and the position of the AF movable portion 12 in the Z direction. may be detected.
  • the OIS driving section 30 is an actuator that moves the OIS movable section 10 in the X direction and the Y direction. Specifically, the OIS driving section 30 includes a first OIS driving section 30X that moves a part (AF section 11) of the OIS movable section 10 in the X direction, and a second OIS driving section 30X that moves the entire OIS movable section 10 in the Y direction. and a portion 30Y.
  • FIG. 11 is an exploded perspective view of the OIS drive unit 30.
  • FIG. 12 is an exploded perspective view of the OIS movable part 10.
  • FIG. 13 is an exploded perspective view of the AF section 11.
  • FIG. 14 is an exploded perspective view of the first stage 13. FIG.
  • FIG. 11 shows a state in which each member of the second OIS driving section 30Y as the OIS driving section 30 is disassembled.
  • the first OIS driving section 30X has the same configuration as the second OIS driving section 30Y, although there is a difference in the direction in which it is arranged. Therefore, in FIG. explain.
  • the first OIS drive section 30X and the second OIS drive section 30Y have ultrasonic motors that serve as drive sources for moving the OIS movable section 10.
  • the first OIS driving section 30X is fixed to the OIS motor fixing section 134 along the X direction of the first stage 13 (see FIG. 14).
  • the second OIS driving section 30Y is fixed to the OIS motor fixing section 219 along the Y direction of the base 21 (see FIG. 7). That is, the first OIS driving section 30X and the second OIS driving section 30Y are arranged along sides orthogonal to each other.
  • the OIS drive section 30 has an OIS resonance section 31, an OIS piezoelectric element 32, and an OIS power transmission section 34, as shown in FIG.
  • the driving force of the OIS drive section 30 is transmitted to other members via the OIS power transmission section 34 .
  • the first OIS driving section 30X is connected to the second stage 14 via the OIS power transmission section 34, and the driving force thereof is transmitted.
  • the second OIS drive section 30Y is connected to the second stage 14 via the OIS power transmission section 34, and the driving force thereof is transmitted.
  • the OIS resonance section 31 constitutes an active element
  • the OIS power transmission section 34 constitutes a passive element.
  • the OIS resonance part 31 is made of a conductive material, resonates with the vibration of the OIS piezoelectric element 32, which will be described later, and converts the vibrational motion into linear motion.
  • the OIS resonator 31 is formed by, for example, laser processing, etching processing, press processing, or the like of a metal plate.
  • the OIS resonance section 31 has a trunk section 311, two arm sections 312, a protruding section 313 and a conducting section 314, as shown in FIG.
  • the trunk part 311 is a substantially rectangular part sandwiched between the OIS piezoelectric elements 32 .
  • the arm part 312 extends in the X direction or the Y direction from the upper and lower parts of the body part 311 .
  • the two arm portions 312 have symmetrical shapes, and their free ends abut the OIS power transmission portion 34 and resonate with the vibration of the OIS piezoelectric element 32 to deform symmetrically.
  • the projecting portion 313 extends from the central portion of the body portion 311 in the X direction or the Y direction.
  • the projecting portion 313 is formed with a through hole 313a through which a rivet is inserted.
  • the OIS motor fixing portion 134 of the first stage 13 is formed with a rivet mounting portion 134a having a through hole for inserting a rivet (not shown) (see FIG. 14).
  • the rivet is inserted through the through hole 313a of the protruding portion 313 and the through hole of the rivet mounting portion 134a from the outside to the inside of the optical element driving device main body 4, and the tip thereof is fastened with a fastener (not shown).
  • the outside of the rivet is covered with a resin member 39 .
  • the OIS resonance section 31 of the first OIS drive section 30X is fixed to the OIS motor fixing section 134 (on the first stage 13 side) with rivets and fasteners.
  • the OIS motor fixing portion 219 of the base 21 is also formed with a rivet mounting portion 219a having a through-hole for inserting a rivet (not shown) (see FIG. 7).
  • the rivet is inserted through the through hole of the rivet mounting portion 219a and the through hole 313a of the protruding portion 313 from the inside to the outside of the optical element driving device main body 4, and the tip thereof is fastened with a fastener (not shown).
  • the outside of the rivet is covered with a resin member 39 .
  • the OIS resonance section 31 of the second OIS driving section 30Y is fixed to the OIS motor fixing section 219 (on the side of the base 21) with rivets and fasteners.
  • the OIS resonance units 31 of the first OIS drive unit 30X and the second OIS drive unit 30Y can be firmly fixed to the OIS motor fixing units 219 and 134. Therefore, even if a large impact is applied from the outside, the OIS resonance section 31 will not come off or shift from the OIS motor fixing sections 219 and 134, and the reliability of the OIS drive section 30 can be improved.
  • the OIS resonators 31 of the first OIS drive unit 30X and the second OIS drive unit 30Y are fixed to the OIS motor fixing units 219 and 134 using rivets and fasteners here, other members are used to fix them. May be fixed. For example, it may be fixed using a fixing material such as a resin-based adhesive.
  • the conducting portion 314 extends from the central portion of the body portion 311 to the side opposite to the projecting portion 313 .
  • the conducting section 314 is electrically connected to the terminal 181b of the wiring 181 of the first stage 13 by, for example, solder (not shown) (see FIG. 20 described later).
  • the conducting section 314 is electrically connected to the terminal 236b of the wiring 236 exposed from the opening 216 of the base 21, for example, by soldering (not shown).
  • the OIS piezoelectric element 32 is, for example, a plate-like element made of ceramic material, and generates vibration by applying a high-frequency voltage.
  • the two OIS piezoelectric elements 32 are attached and arranged so as to sandwich the trunk portion 311 of the OIS resonance portion 31 .
  • the OIS piezoelectric element 32 is electrically connected to the terminal 182b of the wiring 182 of the first stage 13 by, for example, an electrode member (not shown) (refer to FIG. 20 to be described later). reference).
  • the OIS piezoelectric element 32 is electrically connected to the terminal 235b of the wiring 235 exposed from the opening 215 of the base 21, for example, by an electrode member (not shown).
  • the OIS piezoelectric element 32 of the first OIS driving section 30X is electrically connected to the wiring 181 and wiring 182 of the first stage 13 via the conducting section 314 and the electrode member.
  • the OIS piezoelectric element 32 of the second OIS driving section 30Y is electrically connected to the wiring 235 and wiring 236 of the base 21 via the conducting section 314 and the electrode member. Therefore, voltage can be applied to the OIS piezoelectric elements 32 of the first OIS driving section 30X and the second OIS driving section 30Y, and the OIS piezoelectric elements 32 vibrate by applying the voltage.
  • the OIS resonance section 31 described above has at least two resonance frequencies, and deforms with different behavior for each resonance frequency.
  • the overall shape of the OIS resonator 31 is set so that it deforms with different behaviors for the two resonance frequencies.
  • the different behaviors are the behavior of advancing the OIS power transmission section 34 in the X direction or the Y direction and the behavior of retreating. Therefore, by vibrating the OIS piezoelectric element 32 at a desired resonance frequency, the OIS power transmission section 34 can be moved forward or backward in the X direction or the Y direction.
  • the OIS power transmission section 34 is a chucking guide extending in the X direction or the Y direction, one end of which is in contact with the arm section 312 of the OIS resonance section 31 and the other end of which is connected to the second stage 14 .
  • the OIS power transmission section 34 has an OIS motor contact section 341 , a connecting section 342 and a stage fixing section 343 .
  • the OIS motor contact portion 341 contacts the free end portion of the arm portion 312 of the OIS resonance portion 31 .
  • the stage fixing portion 343 is arranged at the end portion of the OIS power transmission portion 34 and fixed to the OIS chucking guide fixing portions 145X and 145Y (see FIG. 12) of the second stage 14 .
  • the connecting portion 342 is a portion that connects the OIS motor contact portion 341 and the stage fixing portion 343 , and is formed so as to branch from the stage fixing portion 343 into two.
  • the width between the OIS motor contact portions 341 is set wider than the width between the free ends of the arm portions 312 of the OIS resonance portion 31 .
  • the OIS motor contact portion 341 is formed by interposing a separation portion 344 larger than the width of the connection end portion between the two connecting portions 342 . You can widen the gap.
  • the separating portion 344 is formed integrally with the stage fixing portion 343, for example.
  • the connecting portion 342 acts as a plate spring. , and an urging force acts in the direction of pushing the arm portion 312 apart. This urging force holds the OIS power transmission section 34 between the free ends of the arm section 312 , and efficiently transmits the driving force from the OIS resonance section 31 to the OIS power transmission section 34 .
  • one side (the front side in the drawing) of the mounting portion of the connecting portion 342 is open. It may be structured such that it is sandwiched between (back side and front side in the figure). In this case, it is possible to prevent the connecting portion 342 from slipping and dropping over time, and the reliability of the OIS driving portion 30 is improved.
  • the OIS resonance portion 31 and the OIS power transmission portion 34 are in contact with each other while being biased. Therefore, the movement stroke of the OIS movable portion 10 can be lengthened without enlarging the outer shape of the optical element driving device 1 simply by enlarging this contact portion in the X direction or the Y direction.
  • the first OIS driving section 30X is fixed to the first stage 13 (on the side of the OIS movable section 10) via the OIS motor fixing section 134 (see FIG. 14), and is connected via the OIS power transmission section 34 to the second stage 14. (see FIG. 12).
  • the first OIS driving section 30X is driven during shake correction in the X direction, and drives the first stage 13 (OIS movable section 10) with respect to the second stage 14 so as to move in the X direction. Note that the first OIS driving section 30X moves together with the first stage 13 (OIS movable section 10) when the second OIS driving section 30Y corrects the shake in the Y direction.
  • the second OIS driving section 30Y is fixed to the base 21 (on the side of the OIS fixing section 20) via the OIS motor fixing section 219 (see FIG. 7), and is connected to the second stage 14 via the OIS power transmission section . (see Figure 6).
  • the second OIS driving section 30Y is driven during shake correction in the Y direction, and drives the second stage 14 to move in the Y direction with respect to the base 21 (OIS fixing section 20). In this way, the second OIS driving section 30Y moves the second stage 14 in the Y direction with respect to the base 21 (OIS fixing section 20), and therefore is affected by the shake correction in the X direction by the first OIS driving section 30X. do not have.
  • the movement by one OIS drive unit 30 is not hindered by the structure of the other OIS drive unit 30. Therefore, it is possible to prevent the rotation of the OIS movable part 10 around the Z axis, and it is possible to precisely swing the OIS movable part 10 within the XY plane.
  • OIS biasing members 50 are arranged at four corners (corners) of the rectangular OIS movable portion 10 and the OIS fixed portion 20, respectively.
  • the OIS biasing member 50 is composed of, for example, an extension coil spring, and connects the OIS movable section 10 and the OIS fixed section 20 .
  • the end portion of the OIS biasing member 50 on the imaging side in the optical axis direction is connected to terminals 231b to 234b of the wirings 231 to 234 exposed from the opening 214 of the base 21 .
  • the ends on the light receiving side in the optical axis direction are connected to terminals 181a to 184a of wirings 181 to 184 of the first stage 13 (see FIG. 20).
  • the OIS biasing member 50 receives a tensile load when the OIS movable part 10 and the OIS fixed part 20 are connected, and acts so that the OIS movable part 10 and the OIS fixed part 20 come closer to each other. That is, the OIS movable section 10 is held so as to be able to swing within the XY plane while being biased toward the imaging side in the optical axis direction (pressed against the base 21) by the OIS biasing member 50. there is As a result, the OIS movable portion 10 can be held in a stable state without rattling.
  • the OIS biasing member 50 is made of a conductive material and functions as a power supply line (conductive path) to the AF driving section 15 and the first OIS driving section 30X.
  • the OIS biasing member 50 functions as a power supply line, so when a large impact is applied from the outside, the OIS biasing member 50 shakes and comes into contact with other members, causing a short circuit. there is a possibility. Therefore, a wall portion 24 made of a non-conductive material is locally provided at a position corresponding to the OIS biasing member 50 in the OIS fixing portion 20 so as to surround at least part of the periphery of the OIS biasing member 50 . ing.
  • the cover 3 is a member made of a conductive material and close to the position of the OIS biasing member 50 . Therefore, the wall portion 24 is arranged so as to be interposed between the cover 3 and the OIS biasing member 50 . For example, it is arranged so as to surround the radially outer portion of the OIS movable portion 10 in the periphery of the OIS biasing member 50 . Since the wall portion 24 is interposed between the cover 3 and the OIS biasing member 50, even if the OIS biasing member 50 shakes when a large external impact is applied, the wall portion 24 prevents the OIS biasing member from It is possible to prevent the force member 50 from coming into contact with the cover 3 (inner wall 303). As a result, short circuits can be prevented.
  • the OIS biasing member 50 is arranged in notches 137 and 147 obtained by notching four corners (corner portions) of the first stage 13 and the second stage 14 (see FIGS. 3 to 6). reference). Since the notches 137 and 147 are formed by notching the four corners of the first stage 13 and the second stage 14, the wall portions 24 can be arranged at the four corners of the base 21 facing the four notched corners.
  • the wall portion 24 is formed.
  • the wall portion 24 can be arranged in the vicinity of the OIS biasing member 50 arranged in the notches 137 and 147 . Therefore, it is not necessary to increase the size of the base 21, and it is possible to reduce the size of the optical element driving device 1 while suppressing an increase in the size of the device.
  • the wall portion 24 is formed so as to surround the OIS biasing member 50 together with the cutout portions 137 and 147, and is, for example, substantially L-shaped in plan view. In this way, by surrounding the OIS biasing member 50 with the wall portion 24 together with the notches 137 and 147, even if the OIS biasing member 50 shakes when a large impact is applied from the outside, the OIS biasing member 50 is It is possible to prevent the biasing member 50 from coming into contact with other members. Note that the wall portions 24 need only extend from the four corners of the base 21 in the X direction and the Y direction so as not to interfere with the movement of the OIS movable portion 10 .
  • the OIS movable section 10 will be described with reference to FIGS. 12 to 14.
  • FIG. The OIS movable section 10 is configured to be able to hold the lens section 2, and has an AF section 11, a second stage 14, etc., as shown in FIGS.
  • the AF section 11 also includes an AF movable section 12, a first stage 13, an AF drive section 15, an AF support section 16, and the like.
  • the entire OIS movable section 10 including the first stage 13 and the second stage 14 becomes a movable body (movable side member).
  • the second stage 14 functions as a fixed body (fixed side member) together with the OIS fixed part 20, and only the AF part 11 (AF movable part 12 and first stage 13) is a movable body (movable body). side member).
  • the first stage 13 also functions as an AF fixed section that supports the AF movable section 12 .
  • FIG. 15 is a perspective view of the AF movable section 12 and the AF driving section 15.
  • FIG. 16 is an exploded perspective view in which the AF driving section 15 is separated from the AF movable section 12.
  • FIG. 17 is an exploded perspective view of the AF driving section 15.
  • FIG. 18 is a diagram of the AF movable section 12, the first stage 13, and the second stage 14 as seen obliquely from below.
  • the AF movable part 12 is a lens holder capable of holding the lens part 2 (see FIG. 3), and moves in the optical axis direction during focusing.
  • the AF movable part 12 is arranged radially inward (on the side of the lens part 2) with a gap from the first stage 13 (AF fixed part), and is supported by the first stage 13 via an AF support part 16, which will be described later. be done.
  • the AF movable part 12 is made of, for example, polyarylate (PAR), a PAR alloy obtained by mixing a plurality of resin materials including PAR, liquid crystal polymer, or the like.
  • the AF movable portion 12 has a cylindrical lens housing portion 121 .
  • the lens portion 2 is fixed to the inner peripheral surface of the lens accommodating portion 121 by, for example, adhesion.
  • the AF movable portion 12 has a flange portion 122 protruding radially outward from the outer peripheral surface of the lens accommodating portion 121 on the light receiving side (upper side) in the optical axis direction.
  • the image formation side (lower side) of the flange portion 122 in the optical axis direction is in contact with a flange receiving portion 131a of the first stage 13, which will be described later, thereby restricting the movement of the AF movable portion 12 toward the image formation side in the optical axis direction.
  • the flange portion 122 abuts on the flange receiving portion 131a in a reference state in which the AF driving portion 15 is not driven.
  • the AF movable portion 12 also has a projecting portion 123 that projects radially outward from a portion of the outer peripheral surface of the flange portion 122 .
  • the protrusions 123 are preferably arranged at regular intervals around the optical axis in plan view. In this embodiment, four protruding portions 123 are provided at equal intervals of 90° around the optical axis.
  • One protrusion 123a of the four protrusions 123 extends toward the imaging side in the optical axis direction, and a magnet 17Z for detecting the Z position is provided inside the extended portion. .
  • the magnet 17Z is arranged at a position facing the magnetic sensor 221Z for detecting the Z position of the sensor substrate 22 in the optical axis direction (see FIG. 6).
  • the protrusion 123 described above is inserted into a guide groove 132 of the first stage 13, which will be described later, and moves along the guide groove 132 when the AF movable section 12 moves in the Z direction.
  • the guide groove 132 functions as a guide mechanism for the projection 123 in the Z direction.
  • a plurality of protrusions 123 and guide grooves 132 are provided, and the guide grooves 132 function as guide mechanisms for the protrusions 123 in the Z direction. Therefore, when a part of the AF movable part 12 tries to float up significantly (when the AF movable part 12 tries to tilt), the projecting part 123 comes into contact with the guide groove 132 and the AF movable part 12 tilts over a certain angle. It will be regulated so that it does not occur.
  • the projecting portion 123 has an arc shape in plan view
  • the guide groove 132 also has an arc shape in plan view.
  • the area in a plan view is smaller than that of a rectangular shape having the same length in the circumferential direction and the same length in the radial direction. Space saving can be achieved.
  • the AF movable section 12 has a driving section accommodating section 124 that accommodates the AF driving section 15 (see FIG. 16).
  • the driving unit accommodating portion 124 is provided on the outer peripheral surface of the lens accommodating portion 121 .
  • the AF movable portion 12 has a pair of plate housing portions 125 and 126 that protrude radially outward from the outer peripheral surface of the lens housing portion 121 and extend in the optical axis direction so as to sandwich the driving portion housing portion 124 therebetween. have.
  • the pair of plate accommodating portions 125 and 126 has opposing surfaces 125a and 126a that are arranged to face the outer peripheral surface of the lens accommodating portion 121, and the opposing surfaces 125a and 126a extend in the direction of approaching each other in the X direction. exist. That is, the plate accommodating portions 125 and 126 are substantially L-shaped in plan view.
  • an AF power transmission section 154 which is a passive element of the AF drive section 15, is arranged in the drive section accommodation section 124, and a plate 155 of the AF drive section 15 is arranged in the plate accommodation sections 125 and 126. is placed.
  • the driving unit accommodating portion 124 and the pair of plate accommodating portions 125 and 126 are accommodated in an AF motor fixing portion 135 of the first stage 13, which will be described later, and are supported by the AF support portion 16 so as to be movable in the Z direction (Fig. 13, see FIG. 14).
  • the first stage 13 supports the AF movable section 12 holding the lens section 2 (see FIG. 3) via the AF support section 16 (see FIG. 13).
  • a second stage 14 is arranged at a position spaced apart from the first stage 13 on the imaging side in the optical axis direction via an X-direction reference ball 42 . It is supported by stage 14 (see FIG. 12).
  • the second stage 14 is movable only in the Y direction during shake correction.
  • the first stage 13 itself is movable only in the X direction during shake correction, but since it is supported by the second stage 14 it is also movable in the Y direction together with the second stage 14 .
  • the first stage 13 is a member having a substantially rectangular shape in a plan view seen from the optical axis direction, and is made of liquid crystal polymer, for example.
  • the first stage 13 has a substantially circular opening 131 in a portion corresponding to the AF movable section 12 (see FIG. 13).
  • a flange receiving portion 131 a corresponding to the flange portion 122 of the AF movable portion 12 is formed in the opening 131 so as to protrude radially inward.
  • a guide groove 132 corresponding to the projecting portion 123 of the AF movable portion 12 is formed in the opening 131 .
  • the first stage 13 has X-direction openings 133a and 133b on its lower surface for holding the X-direction reference balls 42 that constitute the OIS support section 40 (see FIG. 18).
  • the X-direction reference ball 42 and the X-direction openings 133a and 133b that constitute the OIS support portion 40 will be described later with reference to FIGS. 19 and 20.
  • FIG. 18 The X-direction reference ball 42 and the X-direction openings 133a and 133b that constitute the OIS support portion 40 will be described later with reference to FIGS. 19 and 20.
  • the portion where the first OIS driving section 30X is arranged (the outer surface of the side wall of the first stage 13) is arranged radially inward so that the first OIS driving section 30X can be arranged without protruding radially outward.
  • the portion where the second OIS driving portion 30Y is arranged is also formed to be recessed inward in the radial direction, and is formed integrally with the portion where the corner portion is cut out ( Notch 137a).
  • an AF motor fixing portion 135 is formed inside one side wall along the X direction, in which the AF driving portion 15 is arranged and fixed.
  • the AF motor fixing portion 135 has a rivet mounting portion 135a having a through hole for a rivet and a lower fixing plate 135b having an insertion hole for the AF resonance portion 151 of the AF driving portion 15.
  • An AF resonance unit 151 is attached.
  • the rivet 156 (see FIG. 16) is inserted through the through hole of the rivet mounting portion 135a (see FIG. 14) and the through hole 151f (see FIG. 17) of the conducting portion 151c, and the tip thereof is attached to the fastener. 157 (see FIG. 18).
  • the AF resonance section 151 is attached to the rivet attachment section 135a.
  • the lower end of the AF resonator 151 (on the imaging side in the optical axis direction) is inserted into an insertion hole (not shown) provided in the lower fixing plate 135b and fixed by adhesion, thereby fixing the AF resonator 151 to the lower part. Attach to plate 135b.
  • the AF driving section 15 is fixed to the AF motor fixing section 135 of the first stage 13 so that the arm section 151b extends in the Z direction.
  • a magnet 17X for detecting the X position is arranged on one side wall along the Y direction (see FIG. 18).
  • magnet 17X is magnetized in the X direction.
  • the magnetic sensor 221X for detecting the X position is arranged at a position facing the magnet 17X in the optical axis direction (see FIG. 6).
  • FIG. 19 is a bottom view of the first stage 13.
  • FIG. FIG. 20 is a diagram showing the positional relationship between the opening formed in the bottom surface of the first stage 13 and the wirings 181 to 184 arranged inside the first stage 13. As shown in FIG. In FIG. 20, only the shapes of the first stage 13, the X-direction openings 133a and 133b, and the wirings 181 to 184 are shown in order to show the positional relationship.
  • Wires 181 to 184 are embedded in the first stage 13 by, for example, insert molding.
  • the wirings 181 to 184 are arranged inside the first stage 13 and extend from terminals 181a to 184a at one end of the wirings 181 to 184 to terminals 181b to 184b at the other end. (See Figure 20).
  • the wirings 181 to 184 are arranged along the X direction, for example, on the side of the first stage 13 along the X direction.
  • Terminals 181a to 184a of the wirings 181 to 184 are exposed from notches 137 formed by cutting four corners of the first stage 13, and one end of the OIS biasing member 50 is connected to the terminals 181a to 184a. be.
  • the terminals 181b to 184b are exposed from an opening (not shown) formed on the front surface side of the first stage 13 (light receiving side in the optical axis direction).
  • the wirings 181 and 182 are wirings that serve as power supply lines to the first OIS driving section 30X that moves the first stage 13 .
  • Terminals 181b and 182b of wirings 181 and 182 are electrically connected to first OIS driving section 30X, and power is supplied to first OIS driving section 30X via OIS biasing member 50 connected to terminals 181a and 182a. done.
  • the wirings 183 and 184 are wirings that serve as power supply lines to the AF driving section 15 that moves the AF movable section 12 .
  • Terminals 183b and 184b of the wirings 183 and 184 are electrically connected to the AF driving section 15, and power is supplied to the AF driving section 15 via the OIS biasing member 50 connected to the terminals 183a and 184a. .
  • the first stage 13 has wirings 181 to 184 that serve as circuits for driving the first OIS driving section 30X and the AF driving section 15.
  • FIG. 1
  • the wirings 183 and 184 among the wirings 181 to 184 arranged inside the first stage 13 respectively have extended portions 183c and 184c extending so as to be exposed in the X-direction opening 133a. .
  • the extension portions 183c and 184c extend from portions of the wirings 183 and 184 that are close to the X-direction opening 133a.
  • the X-direction opening 133a through which the wirings 183 and 184 (extending portions 183c and 184c) are exposed may have the same configuration as the Y-direction opening 218a described with reference to FIG.
  • a part of the wiring is exposed within the X-direction opening 133a, but the present invention is not limited to this, and all of the X-direction openings 133a and 133b are exposed. It may be configured such that a part of the wiring is exposed.
  • extension portions similar to the extension portions 183c and 184c may be provided in any one or more of the wirings 181 to 184, or the arrangement of the wirings 181 to 184 may be adjusted.
  • the second stage 14 is a member having a substantially rectangular shape in plan view seen from the optical axis direction, and is made of liquid crystal polymer, for example.
  • the second stage 14 is arranged at a position spaced apart from the first stage 13 toward the imaging side in the optical axis direction via the X-direction reference ball 42, and supports the first stage 13 so as to be movable in the X-direction. , is movable in the Y direction together with the first stage 13 .
  • An inner peripheral surface 141 of the second stage 14 is formed corresponding to the outer shape of the AF movable portion 12 (see FIG. 12).
  • the portion (outer side surface of the side wall) where the first OIS driving section 30X and the second OIS driving section 30Y are arranged is recessed radially inward similarly to the first stage 13 .
  • the portion where the second OIS driving portion 30Y is arranged is formed integrally with the portion where the corner portion is cut (notch portion 147a).
  • the second stage 14 has, on its upper surface, an X-direction opening 143 that holds the X-direction reference ball 42 that constitutes the OIS support section 40 (see FIG. 12).
  • the X-direction opening 143 may have the same configuration as the above-described X-direction opening 133b arranged to face the X-direction opening 143, so redundant description will be omitted here.
  • the second stage 14 has a Y-direction opening 144 that holds the Y-direction reference ball 41 that constitutes the OIS support 40 on its lower surface (see FIG. 18).
  • the Y-direction opening 144 may have the same configuration as the Y-direction opening 218b arranged to face the Y-direction opening 144, so redundant description will be omitted here as well.
  • a magnet 17Y for Y position detection is arranged on one side wall along the Y direction (see FIG. 18).
  • the magnet 17Y is magnetized in the Y direction.
  • a magnetic sensor 221Y for Y position detection is arranged at a position facing the magnet 17Y in the optical axis direction (see FIG. 6).
  • the magnet 17X is arranged on the first stage 13 that moves in the X direction
  • the magnet 17Y is arranged on the second stage 14 that moves in the Y direction
  • the AF movable body moves in the Z direction.
  • a magnet 17Z is arranged in the portion 12 (see FIG. 18).
  • the magnets 17X and 17Y are distributed over a plurality of members so that the arrangement is not concentrated on one specific member. Therefore, in order to secure installation space for the magnets 17X and 17Y, it is not necessary to cut out a specific member, for example, part of the side wall of the second stage 14. It doesn't get thinner. As a result, even if a large impact is applied from the outside, the second stage 14 and the like will not be deformed, and the durability of the parts can be improved.
  • the first stage 13 moves, but the second stage 14 does not move, and the magnet 17Y arranged on the second stage 14 does not move either. Therefore, the influence of the magnet 17Y is eliminated when the magnet 17X detects the position in the X direction, and the detection accuracy can be improved.
  • the first stage 13 has X-direction openings 133a and 133b (accommodating portions in the present invention) for accommodating the X-direction reference balls 42 constituting the OIS support portion 40 on the bottom surface (see FIGS. 19 and 20).
  • the X-direction reference ball 42 is sandwiched between the X-direction openings 133a and 133b and the X-direction opening 143 (receiving portion in the present invention) of the second stage 14 facing in the Z direction (FIGS. 12 and 12). 18).
  • the X-direction openings 133a, 133b and the X-direction opening 143 are grooves having rectangular openings extending in the X-direction.
  • the X-direction openings 133a and 133b and the X-direction opening 143 are formed so that the cross-sectional shape on the YZ plane is, for example, a quadrangle or an inverted triangle (V shape).
  • the width of the X-direction openings 133a and 133b and the X-direction opening 143 may be narrowed toward the bottom of the groove. shape).
  • the X-direction opening 133a is formed to have an inverted trapezoidal cross-sectional shape in the same manner as the Y-direction opening 218a shown in FIG. Extending portions 183c and 184c of the wirings 183 and 184 described above are exposed. That is, at the bottom portion, which is a part of the accommodating portion forming surface (inner wall) forming the X-direction opening 133a, the extension portions 183c and 184c contact the X-direction reference ball 42 and receive the load in the optical axis direction. exposed.
  • the extended portions 183c and 184c exposed at the bottom of the accommodating portion forming surface forming the X-direction opening 133a are planar orthogonal to the optical axis and come into contact with the X-direction reference ball 42 at one point. touch.
  • the X-direction reference ball 42 is arranged inside the X-direction opening 133a whose bottom is formed by the extensions 183c and 184c, and contacts the extensions 183c and 184c in the Z direction. Since the wirings 181 to 184 are made of conductive metal, they are generally harder than the first stage 13 made of a resin material or the like. Therefore, for example, even if the optical element driving device 1 receives a large impact due to being dropped or the like, the extension portions 183c and 184c are less likely to be deformed due to dents or the like of the X-direction reference ball 42, and the X-direction opening portion 133a is deformed. can be suppressed.
  • the extending portions 183c and 184c of the wirings 183 and 184 embedded inside the first stage 13 are used as part of the inner wall of the X-direction opening 133a, it is not necessary to newly add a member that is difficult to deform. Therefore, deformation of the X-direction opening 133a can be suppressed.
  • the X-direction openings 133b and 143 are formed to have a V-shaped cross section on the YZ plane.
  • the X-direction opening 133b does not expose part of the wirings 181 to 184. may be configured to be exposed.
  • the surface of the first stage 13 on the bottom side (optical axis direction imaging side) of some or all of the wirings exposed in the X-direction opening 133b is the first stage 13 Buried so as to be inclined with respect to the bottom surface of the Also, of the wirings 181 to 184 , part or all of the wirings exposed in the X-direction opening 133 b are formed into a V-shaped cross section and embedded inside the first stage 13 .
  • the X-direction opening 143 is not configured to expose a part of the wiring.
  • the X-direction opening 143 may be configured such that a part of the wiring is exposed, similar to the X-direction opening 133b.
  • the grooves respectively formed by the X-direction openings 133a, 133b, 143 are formed parallel to the X-direction. Therefore, the X-direction reference ball 42 sandwiched between the X-direction openings 133a, 133b and the X-direction opening 143 can roll in the grooves in the X-direction. That is, the OIS movable section 10 (second stage 14) supports the first stage 13 through the X-direction reference ball 42 so as to be movable in the X-direction.
  • the X-direction openings 133 a , 133 b and the X-direction opening 143 are arranged at the four corners of the rectangular first stage 13 and second stage 14 . , that is, supported by the second stage 14 at four points. In this manner, the X-direction reference ball 42 is sandwiched by multi-point contact, so that it rolls stably in the X-direction.
  • the first stage 13 may be supported by the second stage 14 at least three points.
  • openings 133a in the X direction are provided at a total of three locations, two locations on the side of one side of the first stage 13 and the second stage 14 and one location on the side opposite to the side.
  • 133b and the X-direction opening 143 may be arranged.
  • the OIS support section 40 described above supports the OIS movable section 10 so as to be swingable in the direction orthogonal to the optical axis with respect to the OIS fixed section 20 while being spaced apart in the optical axis direction.
  • the OIS support section 40 has four Y-direction reference balls 41 interposed between the OIS movable section 10 (second stage 14) and the base 21 (see FIGS. 6 and 7).
  • the OIS support section 40 also has four X-direction reference balls 42 interposed between the first stage 13 and the second stage 14 in the OIS movable section 10 (see FIG. 12).
  • the four Y-direction reference balls 41 are rollable in the Y-direction, and the rollable direction is restricted to the Y-direction.
  • the four X-direction reference balls 42 are rollable in the X direction, and the rollable direction is restricted to the X direction.
  • the AF driving section 15 is an actuator that moves the AF movable section 12 in the Z direction.
  • the AF driving section 15 has an ultrasonic motor that serves as a driving source for moving the AF movable section 12, similarly to the OIS driving section 30. As shown in FIG. The configuration of the AF driving section 15 will be described with reference to FIG. 17 .
  • FIG. 17 shows a state in which each member of the AF driving section 15 is disassembled.
  • the AF drive section 15 has an AF resonance section 151, an AF piezoelectric element 152, an AF electrode 153, an AF power transmission section 154 and a plate 155.
  • the driving force of the AF drive section 15 is transmitted to the AF movable section 12 via the AF power transmission section 154 . That is, in the AF driving section 15, the AF resonance section 151 constitutes an active element, and the AF power transmission section 154 constitutes a passive element.
  • the AF resonance section 151 is made of a conductive material, resonates with the vibration of the AF piezoelectric element 152, and converts the vibrational motion into linear motion.
  • the AF resonance section 151 is formed by, for example, laser processing, etching processing, press processing, or the like of a metal plate.
  • the AF resonance section 151 has a trunk section 151a, two arm sections 151b, a conducting section 151c, a projecting section 151d, and the like.
  • a trunk section 151a is a section sandwiched between the AF piezoelectric elements 152. As shown in FIG.
  • the two arm portions 151b extend in the Z direction from both sides of the trunk portion 151a.
  • the two arm portions 151b have symmetrical shapes, and are arranged so that their free ends 151e are sandwiched by the AF power transmission portion 154 via the plate 155 .
  • the two arm portions 151b resonate with the vibration of the AF piezoelectric element 152 and deform symmetrically.
  • the conducting portion 151c extends in the Z direction from the central portion of the body portion 151a and is electrically connected to the terminal 183b of the wiring 183 of the first stage 13, which is the power supply line.
  • a through hole 151f through which the rivet 156 is inserted is formed in the conducting portion 151c.
  • the AF motor fixing portion 135 of the first stage 13 is formed with a rivet mounting portion 135a having a through-hole for inserting the rivet 156 (see FIGS. 13 and 14).
  • the rivet 156 is inserted through the through hole 151f of the conducting portion 151c and the through hole of the rivet mounting portion 135a from the outside to the inside of the optical element driving device main body 4, and the tip of the rivet 156 is attached to the fastener 157 (see FIG. 18). is stopped by
  • the AF resonance section 151 of the AF driving section 15 is fixed to the AF motor fixing section 135 (first stage 13 side) by the rivet 156 and the fastener 157 .
  • the AF resonance section 151 of the AF driving section 15 can be firmly fixed to the AF motor fixing section 135 . Therefore, even if a large impact is applied from the outside, the AF resonance section 151 will not come off or shift from the AF motor fixing section 135, and the reliability of the AF driving section 15 can be improved.
  • the rivet 156 and the fastener 157 are used to fix the AF resonance unit 151 of the AF driving unit 15 to the AF motor fixing unit 135, but other members such as a fixing material such as a resin adhesive may be used. can be fixed using
  • the projecting portion 151d extends from the central portion of the body portion 151a to the side opposite to the conducting portion 151c.
  • the projecting portion 151d is inserted into an insertion hole (not shown) provided in the lower fixing plate 135b and fixed by, for example, adhesion.
  • the AF piezoelectric element 152 is, for example, a plate-shaped element made of ceramic material, and generates vibration by applying a high-frequency voltage.
  • the two AF piezoelectric elements 152 are bonded together so as to sandwich the trunk portion 151a of the AF resonance portion 151 .
  • the AF electrode 153 is arranged so as to sandwich two AF piezoelectric elements 152 that sandwich the trunk portion 151a of the AF resonance portion 151 therebetween.
  • the two AF piezoelectric elements 152 are attached to the trunk portion 151a of the AF resonance portion 151 and sandwiched by the AF electrodes 153, thereby electrically connecting them to each other.
  • the conducting part 151c of the AF resonance part 151 to the terminal 183b of the wiring 183 of the first stage 13 and connecting the AF electrode 153 to the terminal 184b of the wiring 184 of the first stage 13, the voltage is applied to the AF piezoelectric element 152. is applied and vibration occurs.
  • the AF resonance section 151 has at least two resonance frequencies, similar to the OIS resonance section 31, and deforms with different behaviors for each resonance frequency.
  • the overall shape of the AF resonance section 151 is set so that it deforms in different behaviors with respect to two resonance frequencies.
  • the different behaviors are the behavior of advancing the AF power transmission unit 154 in the Z direction and the behavior of retreating. Therefore, by vibrating the AF resonance section 151 at a desired resonance frequency, the AF power transmission section 154 can be moved forward or backward in the Z direction.
  • the AF power transmission section 154 is a chucking guide having a predetermined length in the Z direction.
  • the AF power transmission section 154 is a member that biases the plate 155 toward the arm section 151 b of the AF resonance section 151 .
  • the structure of the AF power transmission portion 154 can be changed as appropriate, here, as an example, the AF power transmission portion 154 includes a pair of side wall portions 154a, a pair of plate spring portions 154b, a connecting portion 154c, a mounting portion 154d, It has a pair of mounting holes 154e and the like.
  • the pair of side wall portions 154a are opposed to each other in the X direction, and each extend to the negative side in the Y direction and downward (to the negative side) in the Z direction.
  • the pair of leaf spring portions 154b bends the Z-direction lower end of the side wall portion 154a inward in a hairpin shape, and pushes the plate 155 inward against the arm portion 151b with the same biasing force. It is formed in a sloping manner.
  • the connecting portion 154c extends in the X direction and connects the pair of side wall portions 154a at the upper end in the Z direction.
  • the mounting portion 154d extends downward in the Z direction from the connecting portion 154c along the outer peripheral surface of the lens accommodating portion 121 .
  • the attachment hole 154e is a hole provided in the attachment portion 154d and penetrating in the Y direction.
  • the arm portion 151b of the AF resonance portion 151 abuts on the leaf spring portion 154b via the plate 155 so as to spread the plate spring portion 154b, and the driving force of the AF drive portion 15 is transmitted to the AF movable portion 12. Since the plate spring portion 154b of the AF power transmission portion 154 functions as a plate spring when the two arm portions 151b are brought into contact with each other, the driving force generated by the deformation of the AF resonance portion 151 is efficiently transmitted.
  • the leaf spring portion 154b of the AF power transmission portion 154 exerts a biasing force in the direction of pushing back the arm portion 151b of the AF driving portion 15, the driving force generated by the deformation of the AF resonance portion 151 is applied to the AF power transmission portion 154 more. Efficiently transmitted.
  • the AF power transmission section 154 is configured as a separate member from the AF movable section 12 .
  • the AF power transmission section 154 has, for example, a substantially U-shape in plan view, and the mounting section 154d is fixed to the outer peripheral surface of the lens accommodating section 121 with the side wall section 154a facing in the X direction.
  • the mounting hole 154e of the mounting portion 154d is inserted into the protrusion 124a provided in the drive portion accommodating portion 124, and the side wall portions 154a are arranged in the concave portions 125b and 126b of the plate accommodating portions 125 and 126.
  • the AF power transmission section 154 is fixed to the outer peripheral surface of the lens housing section 121 , that is, to the AF movable section 12 .
  • the AF power transmission section 154 is made of a metal material such as titanium copper, nickel copper, stainless steel, or the like. Note that the AF power transmission section 154 may be molded integrally with the AF movable section 12 .
  • the plate 155 is arranged so as to be interposed between the arm portion 151 b of the AF resonance portion 151 and the plate spring portion 154 b of the AF power transmission portion 154 .
  • the driving force from the AF resonance section 151 is transmitted to the AF power transmission section 154 (AF movable section 12 side) via two plates 155 . That is, the two plates 155 function as passive elements of the AF drive section 15 together with the AF power transmission section 154 .
  • the plate 155 is a hard plate-like member made of a metal material such as titanium copper, nickel copper, stainless steel, or the like.
  • the plate 155 is arranged in the driving unit accommodating unit 124 of the AF movable unit 12 along the movement direction (Z direction) so that the main surface abuts the arm unit 151b of the AF resonance unit 151, and is integrated with the AF movable unit 12. can be moved freely.
  • the plate 155 is housed in the plate housing sections 125 and 126 of the AF movable section 12 without being adhered to other members. Specifically, the plate 155 is arranged and housed between the bottoms (not shown) of the plate housing sections 125 and 126 and the connecting section 154c of the AF power transmission section 154 in the Z direction. In the Y direction, the plate 155 has guide grooves (not shown) formed on the Y direction inner side (back side in FIG. 16) of the facing surfaces 125a and 126a and the outer peripheral surface of the lens accommodating portion 121 in the drive portion accommodating portion 124. It is arranged and accommodated between the notch 124b formed in the . In this manner, the plate 155 is physically locked in the Z and Y directions within the plate housing portions 125 and 126 in which it is housed.
  • the plate 155 is arranged in the plate housing portions 125 and 126 so that it can follow the vibration and displacement of the contact portion (free end portion 151e) of the plate spring portion 154b that contacts the plate 155 in the X direction. are movably arranged in the
  • the AF driving section 15 has the AF piezoelectric element 152 that generates vibration by voltage application, and the two arm sections 151b that resonate with the vibration of the AF piezoelectric element 152 and deform.
  • the portion 151b converts vibration of the AF piezoelectric element 152 into linear motion.
  • an AF resonance section 151 having two arm sections 151b functions as an active element.
  • the AF drive unit 15 is arranged in the drive unit accommodating unit 124 along the moving direction (Z direction), contacts the two arm units 151b, receives the driving force of the arm units 151b, and moves to the AF resonance unit 151. It has two plates 155 that move relative to each other. In the AF drive section 15, the two plates 155 function as passive elements.
  • the AF driving section 15 also has two plate spring sections 154b that bias the two plates 155 toward the two arm sections 151b.
  • an AF power transmission section 154 having two plate spring sections 154b functions as a biasing member.
  • a leaf spring portion 154b of the AF power transmission portion 154 applies a biasing force to the arm portion 151b via the plate 155. Therefore, even if the AF movable portion 12 moves in the optical axis direction, that is, even if the position of the arm portion 151b in contact with the plate 155 moves, the arm portion 151b of the AF resonance portion 151, which is the active element, and the passive element , does not change. Therefore, the driving force from the AF resonance section 151 can be stably transmitted to the AF power transmission section 154 (AF movable section 12 side) via the plate 155 .
  • the power transmission path from the AF resonance section 151 to the AF movable section 12 is relatively short, the power transmission efficiency from the AF resonance section 151 to the AF movable section 12 can be improved.
  • the AF power transmission section 154 having the plate spring section 154b and the plate 155 separate members, materials suitable for each can be used.
  • a highly rigid material can be used for the plate 155.
  • the driving force of the arm portion 151b of the AF driving portion 15 can be efficiently transmitted to the AF power transmission portion 154 (AF movable portion 12 side). can be done.
  • the plate 155 has a flat surface, arbitrary surface treatment can be performed appropriately. For example, when a coating layer such as diamond-like carbon (DLC) or ceramic is formed on the surface, wear resistance is remarkably improved.
  • DLC diamond-like carbon
  • the AF resonance portion 151 active element
  • the two plates 155 passive elements
  • the AF resonance section 151 and the two plates 155 are sandwiched in a state in which the biasing forces of the two plate spring portions 154b are balanced, so that a uniform biasing force can be easily applied to the two plates 155. can be done.
  • the structure of the AF driving section 15 described above can also be applied to the OIS driving section 30.
  • the OIS driving section 30 For example, by applying a combination of the AF power transmission portion 154 and the plate 155 instead of the OIS power transmission portion 34 of the OIS drive portion 30, it is possible to easily cope with a long stroke and improve the operational stability.
  • the first stage 13 includes a first Z-direction holding portion 136a holding a first Z-direction reference ball 16A and a second Z-direction reference ball 16B, which constitute the AF support portion 16, and a second Z-direction holding portion 136a. It has a portion 136b.
  • the first stage 13 is formed with the AF motor fixing section 135 that accommodates the driving section accommodating section 124 of the AF movable section 12 and the pair of plate accommodating sections 125 and 126 .
  • the first Z-direction holding portion 136a and the second Z-direction holding portion 136b are formed at both ends of the AF motor fixing portion 135 in the X direction.
  • the first Z-direction holding portion 136a is a groove formed toward the + side in the X direction, and has a substantially V-shaped cross-sectional shape along the plane perpendicular to the optical axis (XY plane) in which the width of the groove narrows toward the bottom of the groove. (tapered shape) (see FIGS. 5, 13 and 14).
  • the first Z-direction reference ball 16A is arranged on the first Z-direction holding portion 136a.
  • the second Z-direction holding portion 136b is a groove that is inclined with respect to the X direction and formed toward the - side in the X direction. (see Figures 5, 13 and 14).
  • the second Z-direction holding portion 136b is provided with the second Z-direction reference ball 16B and a biasing portion 19 for biasing the AF movable portion 12 via the second Z-direction reference ball 16B.
  • the AF movable section 12 has the plate accommodating sections 125 and 126.
  • a first Z-direction holding portion 125c that holds the first Z-direction reference ball 16A is formed on the +X side of the plate accommodating portion 125 (see FIG. 16).
  • the first Z-direction holding portion 125c is a groove formed toward the negative side in the X direction, and has a substantially V-shaped cross-sectional shape along the plane orthogonal to the optical axis (XY plane) in which the width of the groove narrows toward the bottom of the groove. (Taper shape).
  • a second Z-direction holding portion 126c for holding the second Z-direction reference ball 16B is formed on the X-direction - side of the plate accommodating portion 126 (see FIG. 16).
  • the second Z-direction holding portion 126c is a groove formed toward the + side in the X direction, and has a substantially V-shaped cross-sectional shape along the plane orthogonal to the optical axis (XY plane) in which the width of the groove narrows toward the bottom of the groove. (Taper shape).
  • FIG. 21 is a perspective view showing the biasing portion 19 that biases the AF movable portion 12.
  • FIG. 22 is a cross-sectional view for explaining the biasing section 19 arranged between the first stage 13 and the AF movable section 12.
  • FIG. 23 is a perspective view of the leaf spring 191 of the biasing portion 19.
  • the biasing portion 19 has, for example, a leaf spring 191 which is a biasing member made of a metal material, and a spacer 192 made of a ceramic material with a small coefficient of friction.
  • a plate spring 191 is arranged on the first stage 13 side, and a spacer 192 is arranged on the AF movable section 12 side.
  • the leaf spring 191 is configured to abut on the spacer 192 at multiple points in the Z direction.
  • the plate spring 191 includes a base portion 191a, a first elastic deformation portion 191b, a first contact portion 191c, a first bent portion 191d, a second elastic deformation portion 191e, and a second contact portion. It has a contact portion 191f, a second bent portion 191g, and a restricting portion 191h.
  • the plate spring 191 shown in FIG. 23 can be formed, for example, by punching or bending a single sheet metal.
  • the base portion 191a is a rectangular plate-shaped member that contacts the inner wall of the second Z-direction holding portion 136b, and elastically deformably supports the first elastic deformation portion 191b and the second elastic deformation portion 191e.
  • the first elastically deformable portion 191b is a portion that is elastically deformed with respect to the base portion 191a, and is a trapezoidal plate-like member formed by bending the upper end side of the base portion 191a so as to extend in the negative direction in the Z direction and the positive side in the X direction. is.
  • the first elastic deformation portion 191b is arranged to pass through an opening 191i formed by two second elastic deformation portions 191e.
  • the first contact portion 191c is a portion that contacts the spacer 192 on the lower end side of the first elastic deformation portion 191b, that is, on the negative side in the Z direction.
  • the first bent portion 191d is a triangular plate-shaped member formed by bending the lower end side of the first elastically deformable portion 191b in the Z direction ⁇ side and the X direction ⁇ side. By forming the first bent portion 191 d , the first contact portion 191 c protrudes to the + side in the X direction and comes into contact with the spacer 192 .
  • the second elastically deformable portion 191e is a portion that is elastically deformed with respect to the base portion 191a, and is formed by bending two trapezoidal plates extending from the lower end side of the base portion 191a to the positive side in the Z direction and the positive side in the X direction. It is a shaped member. A portion surrounded by the two second elastic deformation portions 191e and the second bent portion 191g forms an opening 191i.
  • the second contact portion 191f is a portion that contacts the spacer 192 on the upper end side of the two second elastic deformation portions 191e, that is, on the positive side in the Z direction.
  • the second bent portion 191g is a rectangular plate formed by bending the upper end side of the two second elastic deformation portions 191e in the Z direction + side and the X direction ⁇ side so as to connect the two second elastic deformation portions 191e. It is a shaped member. By forming the second bent portion 191 g , the second contact portion 191 f protrudes in the + direction in the X direction and comes into contact with the spacer 192 .
  • the restricting portion 191h is a rectangular plate member formed by bending the upper end side of the second bent portion 191g toward the + side in the X direction.
  • the regulating portion 191h regulates the movement of the spacer 192 upward (+ side in the Z direction) so that the first contact portion 191c and the second contact portion 191f stably contact the spacer 192. .
  • the plate spring 191 has the first contact portion 191c and the second contact portion 191f that contact the spacer 192 at multiple locations in the Z direction. Therefore, even if the AF movable part 12 moves to any position in the Z direction, the biasing force of the leaf spring 191 against the spacer 192 (AF movable part 12 side) does not change, and a constant biasing force can be applied. can. As a result, tilting of the AF movable portion 12 in the Z direction can be suppressed.
  • the second Z-direction reference ball 16B can roll smoothly and durability is improved.
  • the spacer 192 may be made of any material as long as it allows the second Z-direction reference ball 16B to roll smoothly. It may be a material having
  • the second Z-direction holding portion 136b is formed to be inclined with respect to the X direction, and the urging portion 19 accommodated in the second Z-direction holding portion 136b is inclined with respect to the X direction and is positioned at the second Z-direction reference position. Force the ball 16B. As a result, the AF movable part 12 is pressed in the X direction and the Y direction, which are two orthogonal directions, via the second Z-direction reference ball 16B, and is held in a stable posture within the plane orthogonal to the optical axis.
  • the inclination angle ⁇ of the second Z-direction holding portion 136b with respect to the X direction and the preload F of the plate spring 191 are set so that rotation of the AF movable portion 12 around the optical axis is restricted.
  • the inclination angle ⁇ is, for example, 0° to 45° (excluding 0°). If the inclination angle ⁇ is increased, the preload F can be decreased, and if the preload F is increased, the inclination angle ⁇ is decreased. can be done.
  • the first Z-direction reference ball 16A is rollably held between the first Z-direction holding portion 125c of the plate housing portion 125 of the AF movable portion 12 and the first Z-direction holding portion 136a of the first stage 13.
  • the second Z-direction reference ball 16B rolls between the second Z-direction holding portion 126c of the plate housing portion 126 of the AF movable portion 12 and the spacer 192 arranged in the second Z-direction holding portion 136b of the first stage 13. retained as possible.
  • the AF movable part 12 is supported by the first stage 13 in a urged state via the first Z-direction reference ball 16A and the second Z-direction reference ball 16B, and is held in a stable posture.
  • the second Z-direction reference ball 16B also functions as a preload ball.
  • the first Z-direction reference ball 16A is sandwiched between the AF movable section 12 and the first stage 13, and movement in the direction orthogonal to the optical axis (rotation of the AF movable section 12) is restricted. Thereby, the AF movable part 12 can be moved in the optical axis direction with stable behavior.
  • the second Z-direction reference ball 16B is held between the AF movable section 12 and the first stage 13 via a plate spring 191 and a spacer 192, and is allowed to move in the direction perpendicular to the optical axis.
  • the dimensional tolerance of the AF movable part 12 and the first stage 13 can be absorbed, and the stability when the AF movable part 12 moves is improved.
  • first Z-direction reference ball 16A and the second Z-direction reference ball 16B are each composed of two balls.
  • the diameter of the balls can be increased when two balls are used. , the rolling resistance of the ball can be reduced.
  • the plate accommodating portions 125 and 126 of the AF movable portion 12 where the AF driving portion 15 is arranged are sandwiched between the first Z-direction reference ball 16A and the second Z-direction reference ball 16B, and the second Z-direction reference ball 16B is inserted. It is configured to apply preload to That is, the AF movable portion 12 is supported at one point with respect to the first stage 13 .
  • optical element driving device In the optical element driving device 1, when a voltage is applied to the AF driving section 15, the AF piezoelectric element 152 vibrates, and the AF resonance section 151 deforms with behavior according to the frequency. The driving force of the AF drive unit 15 causes the AF power transmission unit 154 to slide in the Z direction. Along with this, the AF movable portion 12 moves in the Z direction, and focusing is performed. Since the AF support portion 16 is composed of a ball, the AF movable portion 12 can move smoothly in the Z direction.
  • the AF drive unit 15 and the AF power transmission unit 154 are only in contact with each other while being biased, simply enlarging the contact portion in the Z direction impairs the reduction in the height of the optical element driving device 1. Therefore, the movement stroke of the AF movable section 12 can be easily lengthened.
  • the optical element driving device 1 when a voltage is applied to the OIS driving section 30, the OIS piezoelectric element 32 vibrates, and the OIS resonance section 31 deforms with behavior according to the frequency.
  • the driving force of the OIS drive unit 30 causes the OIS power transmission unit 34 to slide in the X direction or the Y direction. Accordingly, the OIS movable portion 10 moves in the X direction or the Y direction, and shake correction is performed. Since the OIS support part 40 is composed of a ball, the OIS movable part 10 can move smoothly in the X direction or the Y direction.
  • the first OIS drive unit 30X when the first OIS drive unit 30X is driven and the OIS power transmission unit 34 moves in the X direction, power is transmitted from the first stage 13 on which the first OIS drive unit 30X is arranged to the second stage 14. be done.
  • the Y-direction reference ball 41 sandwiched between the second stage 14 and the base 21 cannot roll in the X-direction, the position of the second stage 14 with respect to the base 21 in the X-direction is maintained.
  • the X-direction reference ball 42 sandwiched between the first stage 13 and the second stage 14 can roll in the X direction, the first stage 13 moves in the X direction with respect to the second stage 14 . That is, the second stage 14 serves as a fixed body for the OIS function, and the first stage 13 serves as a movable body for the OIS function.
  • the second OIS drive unit 30Y is driven and the OIS power transmission unit 34 moves in the Y direction, power is transmitted from the base 21 on which the second OIS drive unit 30Y is arranged to the second stage 14.
  • the X-direction reference ball 42 sandwiched between the first stage 13 and the second stage 14 cannot roll in the Y direction, the position of the first stage 13 in the Y direction with respect to the second stage is maintained.
  • the Y-direction reference ball 41 sandwiched between the second stage 14 and the base 21 can roll in the Y-direction, the second stage 14 moves in the Y-direction with respect to the base 21 .
  • the first stage 13 also follows the second stage 14 and moves in the Y direction. That is, the base 21 serves as a fixed body for the OIS function, and the AF section 11 including the first stage 13 and the second stage 14 serve as movable bodies for the OIS function.
  • the OIS movable section 10 swings within the XY plane, and shake correction is performed.
  • the first OIS driving unit 30X and the second OIS driving unit 30Y are controlled based on the detection signal indicating the angular shake from the shake detection unit (for example, the gyro sensor) so that the angular shake of the camera module A is offset. is controlled.
  • the translational movement of the OIS movable section 10 can be accurately controlled by feeding back the detection results of the XY position detection section composed of the magnets 17X and 17Y and the magnetic sensors 221X and 221Y.
  • the optical element driving device 1 of the present embodiment since the AF driving section 15 as well as the OIS driving section 30 are composed of ultrasonic motors, the influence of external magnetism can be reduced, and the size and height can be reduced. can be achieved.
  • the arm portion 151b of the AF driving portion 15 extends in the optical axis direction and is sandwiched by the AF power transmission portion 154, the driving force of the AF driving portion 15 is transmitted to the AF movable portion 12 at the maximum. , the driving force for moving the AF movable portion 12 can be efficiently obtained.
  • the rotational moment with respect to the support position is suppressed, so that the moving operation of the AF movable unit 12 is stabilized. Therefore, the driving performance of the optical element driving device 1 is remarkably improved.
  • the smartphone M was described as an example, but the present invention can be applied to a camera-equipped device having a camera module and an image processing unit that processes image information obtained by the camera module.
  • Camera-equipped devices include information equipment and transportation equipment.
  • Information devices include, for example, camera-equipped mobile phones, laptop computers, tablet terminals, portable game machines, web cameras, and camera-equipped in-vehicle devices (eg, back monitor devices, drive recorder devices).
  • Transportation equipment also includes, for example, automobiles.
  • FIGS. 24A and 24B are diagrams showing an automobile V as a camera-equipped device equipped with an in-vehicle camera module VC (Vehicle Camera).
  • 24A is a front view of automobile V
  • FIG. 24B is a rear perspective view of automobile V.
  • FIG. An automobile V is equipped with the camera module A described in the above embodiment as an in-vehicle camera module VC.
  • the in-vehicle camera module VC is attached to the windshield facing forward or attached to the rear gate facing backward, for example.
  • This in-vehicle camera module VC is used for a back monitor, drive recorder, collision avoidance control, automatic driving control, and the like.
  • both the AF movable part 12 and the first stage 13 are provided with holding parts for holding the first Z-direction reference ball 16A and the second Z-direction reference ball 16B.
  • the holding portion that holds the first Z-direction reference ball 16A and the second Z-direction reference ball 16B may be provided on either the AF movable portion 12 or the first stage 13 .
  • the first Z-direction reference ball 16A and the second Z-direction reference ball 16B are arranged symmetrically in the circumferential direction with respect to the AF driving section 15. However, they may be arranged asymmetrically. good. In this case, in order to stabilize the moving operation of the AF movable section 12, it is preferable that the first Z-direction reference ball 16A is on the AF drive section 15 side.
  • the AF drive unit 15 is arranged along the X direction, but the arrangement mode of the AF drive unit 15 is not limited to this, and may be arranged along the Y direction, for example. and may be arranged obliquely with respect to the X and Y directions.
  • the optical element driving device 1 that drives the lens unit 2 as an optical element has been described, but the optical element to be driven may be an optical element other than a lens such as a mirror or a prism. .
  • the present invention can be applied not only to autofocus but also to zoom and the like when moving the movable part in the optical axis direction.
  • the AF driving unit 15 and the OIS driving unit 30 are not limited to the case where the driving source is an ultrasonic motor, and the driving source other than the ultrasonic motor (for example, an optical element driving device provided with a voice coil motor (VCM)) It can also be applied to devices.
  • the driving source is an ultrasonic motor
  • the driving source other than the ultrasonic motor for example, an optical element driving device provided with a voice coil motor (VCM)
  • VCM voice coil motor
  • optical element driving device and the camera module according to the present invention are useful when mounted on camera-equipped devices such as smartphones, mobile phones, digital cameras, laptop computers, tablet terminals, portable game machines, and in-vehicle cameras. is.
  • optical element driving device 2 lens part (an example of an optical element) 3 cover 4 main body of optical element driving device 5 imaging unit 10
  • OIS movable unit an example of a movable side member
  • 11 AF section 12
  • 1st stage an example of the 1st movable section
  • Second stage an example of the second movable part
  • AF drive section 16 AF support section 16A 1st Z-direction reference ball 16B 2nd Z-direction reference ball 17X, 17Y, 17Z Magnet 19 Biasing section
  • OIS fixing section fixed side member, example of fixing section
  • OIS driving unit an example of the driving unit
  • 30X first OIS drive section 30Y second OIS drive section
  • 31 OIS resonance section
  • 32 OIS piezoelectric element
  • OIS power transmission section 39 resin member 40
  • OIS support section an example of support section
  • 41 Y-direction reference ball (an example of a rolling member)

Landscapes

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Abstract

光学素子駆動装置は、光学素子を保持した状態で駆動部の駆動により光軸直交方向に移動する可動側部材と、可動側部材に対して光軸方向に離間した位置に配置され、転動部材を介して可動側部材を光軸直交方向に移動可能に支持する固定側部材と、可動側部材及び固定側部材の少なくとも一方に埋設され、駆動部に電気的に接続される配線と、を備え、可動側部材及び固定側部材は、転動部材の収容部を形成する収容部形成面を有し、収容部形成面の一部において、配線が転動部材と接触するように露出されている。

Description

光学素子駆動装置、カメラモジュール及びカメラ搭載装置
　本発明は、光学素子駆動装置、カメラモジュール及びカメラ搭載装置に関する。
　一般に、スマートフォン等の携帯端末には、小型のカメラモジュールが搭載されている。このようなカメラモジュールには、光学素子を駆動する光学素子駆動装置が使用されている。
　光学素子駆動装置は、オートフォーカス機能（以下「ＡＦ機能」と称する、ＡＦ：Auto Focus）及び振れ補正機能（以下「ＯＩＳ機能」と称する、ＯＩＳ：Optical Image Stabilization）を有している（例えば、特許文献１）。光学素子駆動装置は、ＡＦ機能により、被写体を撮影するときのピント合わせを自動的に行い、ＯＩＳ機能により、撮影時に生じる振れ（振動）を光学的に補正して画像の乱れを軽減している。
　上記のような光学素子駆動装置は、レンズ部を光軸方向に移動可能に支持するＡＦ支持部と、レンズ部を光軸方向に直交する平面内で揺動可能に支持するＯＩＳ支持部と、を備える。例えば、特許文献１において、ＯＩＳ支持部は、フレームと、フレームに形成されたガイド溝部と、ガイド溝部の内側を移動可能に配置され、フレームに対してレンズ部を揺動可能に支持するボール部材とを有している。
特開２０１９－５３２７１号公報
　特許文献１に示すような光学素子駆動装置において、ガイド溝部が形成されるフレームは、樹脂材料等から構成されることが一般的である。一方、ガイド溝部の内側に配置されるボール部材は、樹脂材料より硬質な材料、例えば、セラミック材料等から構成されることが一般的である。このように、ガイド溝部を構成する材料とボール部材を構成する材料との間には硬度差がある。そのため、例えば、落下等により光学素子駆動装置が大きな衝撃を受けると、ボール部材による打痕がガイド溝部に生じること等により、ガイド溝部が変形するおそれがある。ガイド溝部が変形すると、ガイド溝部の内側に配置されたボール部材の移動に影響を与えて、レンズ部の揺動を適切に行えず、上述した振れ補正を適切に行えなくなる可能性がある。
　本発明の目的は、衝撃による支持部の変形を抑制可能な光学素子駆動装置、カメラモジュール及びカメラ搭載装置を提供することである。
　本発明に係る光学素子駆動装置は、
　光学素子を保持した状態で駆動部の駆動により光軸直交方向に移動する可動側部材と、
　前記可動側部材に対して光軸方向に離間した位置に配置され、転動部材を介して前記可動側部材を前記光軸直交方向に移動可能に支持する固定側部材と、
　前記可動側部材及び前記固定側部材の少なくとも一方に埋設され、前記駆動部に電気的に接続される配線と、
　を備え、
　前記可動側部材及び前記固定側部材は、前記転動部材の収容部を形成する収容部形成面を有し、
　前記収容部形成面の一部において、前記配線が前記転動部材と接触するように露出されている。
　本発明に係る光学素子駆動装置は、
　光学素子を保持した状態で光軸直交方向のうちの第１方向に移動可能な第１可動部と、
　前記第１可動部に対して光軸方向に離間した位置に配置され、転動部材により前記第１可動部を前記第１方向に移動可能に支持し、前記光軸直交方向のうちの前記第１方向に直交する第２方向に前記第１可動部と共に移動可能な第２可動部と、
　前記第２可動部に対して前記光軸方向に離間した位置に配置され、転動部材により前記第２可動部を前記第２方向に移動可能に支持する固定部と、
　前記第２可動部に対して前記第１可動部を前記第１方向に、前記固定部に対して前記第２可動部を前記第２方向に、それぞれ駆動する駆動部と、
　前記第１可動部及び前記固定部のそれぞれに埋設され、前記駆動部に電気的に接続される配線と、
　を備え、
　前記第１可動部、前記第２可動部及び前記固定部はそれぞれ、前記転動部材の収容部を形成する収容部形成面を有し、
　前記収容部形成面の一部において、前記配線が前記転動部材と接触するように露出されている。
　本発明に係るカメラモジュールは、
　上記の光学素子駆動装置と、
　前記光学素子により結像された被写体像を撮像する撮像部と、を備える。
　本発明に係るカメラ搭載装置は、
　情報機器又は輸送機器であるカメラ搭載装置であって、
　上記のカメラモジュールと、
　前記カメラモジュールで得られた画像情報を処理する画像処理部と、を備える。
　本発明によれば、衝撃による支持部の変形を抑制することができる。
本発明の実施の形態に係るカメラモジュールを搭載するスマートフォンを示す正面図である。 図１Ａに示すスマートフォンの背面図である。 カメラモジュール及び撮像部を示す斜視図である。 図２に示すカメラモジュールの光学素子駆動装置の分解斜視図である。 図３に示す光学素子駆動装置本体の斜視図である。 図３に示す光学素子駆動装置本体の平面図である。 図３に示す光学素子駆動装置本体の分解斜視図である。 図６に示すＯＩＳ固定部の分解斜視図である。 図７に示すＯＩＳ固定部のベースの平面図である。 図８に示すベースにおいて、ベース表面に形成された開口部と、ベース内部に配置された配線との位置関係を示す図である。 図８に示すベースのＡ－Ａ線矢視断面図である。 ＯＩＳ駆動部の分解斜視図である。 図６に示すＯＩＳ可動部の分解斜視図である。 図１２に示すＡＦ部の分解斜視図である。 図１３に示す第１ステージの分解斜視図である。 図１３に示すＡＦ可動部及びＡＦ駆動部の斜視図である。 図１５に示すＡＦ可動部からＡＦ駆動部を分離した分解斜視図である。 図１６に示すＡＦ駆動部の分解斜視図である。 図６に示すＡＦ可動部、第１ステージ及び第２ステージを斜め下方側から見た図である。 図１８に示す第１ステージの底面図である。 図１８に示す第１ステージにおいて、第１ステージの底面に形成された開口部と、第１ステージ内部に配置された配線との位置関係を示す図である。 ＡＦ可動部を付勢する付勢部を示す斜視図である。 第１ステージとＡＦ可動部との間に配置される付勢部を説明するための断面図である。 付勢部の板バネの斜視図である。 車載用カメラモジュールを搭載するカメラ搭載装置としての自動車を示す正面図である。 図２４Ａに示す自動車を斜め後方側から見た斜視図である。
　以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。
　［スマートフォン］
　図１Ａ及び図１Ｂは、本実施の形態に係るカメラモジュールＡを搭載するスマートフォンＭ（カメラ搭載装置の一例）を示す図である。図１ＡはスマートフォンＭの正面図であり、図１ＢはスマートフォンＭの背面図である。
　スマートフォンＭは、２つの背面カメラＯＣ１、ＯＣ２からなるデュアルカメラを有する。本実施の形態では、背面カメラＯＣ１、ＯＣ２に、カメラモジュールＡが適用されている。
　カメラモジュールＡは、ＡＦ機能及びＯＩＳ機能を備え、被写体を撮影するときのピント合わせを自動的に行うと共に、撮影時に生じる振れ（振動）を光学的に補正して、像ぶれのない画像を撮影することができる。
　［カメラモジュール］
　図２は、カメラモジュールＡ及び撮像部５を示す斜視図である。図３は、図２に示すカメラモジュールＡの光学素子駆動装置１の分解斜視図である。なお、図３では、レンズ部２の図示を省略している。図２及び図３に示すように、本実施の形態では、直交座標系（Ｘ，Ｙ，Ｚ）を使用して説明する。後述する図においても、共通の直交座標系（Ｘ，Ｙ，Ｚ）で示している。
　カメラモジュールＡは、例えば、スマートフォンＭで撮影が行われる場合、Ｘ方向が上下方向（又は左右方向）、Ｙ方向が左右方向（又は上下方向）、Ｚ方向が前後方向となるように搭載される。Ｚ方向は、レンズ部２がカメラモジュールＡに組付けられた場合に、レンズ部２の光軸ＯＡの方向に沿って延びる方向である。すなわち、Ｚ方向が光軸方向であり、図２及び図３において、図中上側（＋Ｚ側）が光軸方向受光側、下側（－Ｚ側）が光軸方向結像側である。
　また、以降において、Ｚ軸に直交するＸ方向及びＹ方向を「光軸直交方向」と称し、ＸＹ面を「光軸直交面」と称する。また、光軸ＯＡから放射状に延びる方向を「径方向」と称し、光軸ＯＡの周囲を囲むように延びる方向を「周方向」と称する。なお、径方向及び周方向は、後述するカバー３の開口３０１や光学素子駆動装置本体４の開口４０１の径方向及び周方向と捉えてもよい。
　図２に示すように、カメラモジュールＡは、ＡＦ機能及びＯＩＳ機能を実現する光学素子駆動装置１、円筒形状のレンズバレルにレンズが収容されてなるレンズ部２及びレンズ部２により結像された被写体像を撮像する撮像部５等を備える。すなわち、光学素子駆動装置１は、光学素子としてレンズ部２を駆動する、いわゆる、レンズ駆動装置である。
　［カバー］
　光学素子駆動装置１において、光学素子駆動装置本体４は、外側をカバー３で覆われている。カバー３は、光軸方向から見た平面視で矩形状の有蓋四角筒体である。本実施の形態では、カバー３は、平面視で正方形状を有している。カバー３は、上面に略円形の開口３０１を有する。レンズ部２は、光学素子駆動装置本体４の開口４０１に収容され、カバー３の開口３０１から外部に臨み、例えば、光軸方向における移動に伴い、カバー３の開口面３０２よりも光軸方向受光側に突出するように構成されている。カバー３の内壁３０３は、光学素子駆動装置本体４のＯＩＳ固定部２０のベース２１（図６を参照）に、例えば、接着により固定され、ベース２１と共に内部にＯＩＳ可動部１０等（図３を参照）を収容する。
　カバー３は、光学素子駆動装置１の外部からの電磁波を遮断する部材、例えば、磁性体からなるシールド部材を有している。
　［撮像部］
　撮像部５は、光学素子駆動装置１の光軸方向結像側に配置される。撮像部５は、例えば、イメージセンサー基板５０１、イメージセンサー基板５０１に実装される撮像素子５０２及び制御部５０３を有する。撮像素子５０２は、例えば、ＣＣＤ（charge-coupled device）型イメージセンサー、ＣＭＯＳ（complementary metal oxide semiconductor）型イメージセンサー等により構成され、レンズ部２により結像された被写体像を撮像する。
　制御部５０３は、例えば、制御ＩＣやドライバＩＣで構成され、光学素子駆動装置１の駆動制御を行う。光学素子駆動装置１は、イメージセンサー基板５０１に搭載され、機械的かつ電気的に接続される。なお、制御部５０３は、イメージセンサー基板５０１に設けられてもよいし、カメラモジュールＡが搭載されるカメラ搭載機器（本実施の形態では、スマートフォンＭ）に設けられてもよい。
　［光学素子駆動装置本体］
　図４～図６は、光学素子駆動装置本体４を示す図である。図４は、光学素子駆動装置本体４の斜視図である。図４は、図３に示した光学素子駆動装置本体４をＺ軸周りに１８０°回転した図である。図５は、光学素子駆動装置本体４の平面図である。図６は、光学素子駆動装置本体４の分解斜視図である。
　光学素子駆動装置本体４は、図６に示すように、ＯＩＳ可動部１０（本発明における可動側部材）、ＯＩＳ固定部２０（本発明における固定側部材）、ＯＩＳ駆動部３０、ＯＩＳ支持部４０（本発明における支持部）及びＯＩＳ用付勢部材５０を備える。
　ＯＩＳ可動部１０は、レンズ部２を保持した状態で、ＯＩＳ駆動部３０の駆動により光軸直交方向に移動する部材である。ＯＩＳ可動部１０は、例えば、振れ補正時に光軸直交面内で揺動する。詳細は後述するが、ＯＩＳ可動部１０は、ＡＦ部１１、第２ステージ１４（本発明における第２可動部）及びＯＩＳ支持部４０（Ｘ方向基準ボール４２）を有する（図１２等を参照）。同じく、詳細は後述するが、ＡＦ部１１は、ＡＦ可動部１２、第１ステージ１３（本発明における第１可動部）、ＡＦ駆動部１５及びＡＦ支持部１６を有する（図１３等を参照）。
　ＯＩＳ固定部２０は、ＯＩＳ可動部１０に対して光軸方向に離間した位置に配置され、ＯＩＳ支持部４０（Ｙ方向基準ボール４１）を介して、ＯＩＳ可動部１０を光軸直交方向に揺動可能（移動可能）に支持する部材である。ＯＩＳ固定部２０は、図６に示すように、ベース２１、ＯＩＳ支持部４０（Ｙ方向基準ボール４１）を有する。ＯＩＳ可動部１０は、Ｙ方向基準ボール４１を介して、ベース２１に対して光軸方向に離間して配置され、ベース２１は、Ｙ方向基準ボール４１を介して、ＯＩＳ可動部１０を揺動可能に支持する。ＯＩＳ固定部２０については、詳細は図７を参照して後述する。
　また、詳細は後述するが、ＯＩＳ可動部１０とＯＩＳ固定部２０とは、互いに近づく方向に付勢されるように、言い換えると、ＯＩＳ支持部４０を挟む状態を保持するように、ＯＩＳ用付勢部材５０によって弾性接続されている（図６を参照）。このＯＩＳ用付勢部材５０は、導電性材料からなり、レンズ部２を駆動するための回路（後述する配線１８１～１８４）とＯＩＳ固定部２０側の回路（後述する配線２３１～２３４）との間の導電経路を形成する接続部材としても機能する。本実施の形態では、ＯＩＳ用付勢部材５０は、光学素子駆動装置本体４の平面視における四隅部分（角部分）に配置されている（図５を参照）。
　ＯＩＳ駆動部３０は、ＯＩＳ可動部１０をＸ方向（光軸直交方向のうちの第１方向）に駆動する第１ＯＩＳ駆動部３０Ｘと、ＯＩＳ可動部１０をＹ方向（光軸直交方向のうちのＸ方向に直交する第２方向）に駆動する第２ＯＩＳ駆動部３０Ｙとを有する。
　本実施の形態では、Ｙ方向の移動に関しては、ＡＦ部１１を含むＯＩＳ可動部１０の全体が可動体（可動側部材）として移動する。つまり、Ｙ方向の移動に関しては、ＯＩＳ固定部２０のベース２１が固定体（固定側部材）を構成し、Ｙ方向基準ボール４１（本発明における転動部材）は、ＯＩＳ可動部１０をＹ方向に揺動可能に支持するＯＩＳ支持部４０として機能する。
　一方、詳細は図１２を参照して後述するが、Ｘ方向の移動に関しては、ＡＦ部１１が可動体（可動側部材）として移動する。つまり、Ｘ方向の移動に関しては、第２ステージ１４は、ベース２１と共に固定体（固定側部材）を構成し、Ｘ方向基準ボール４２（本発明における転動部材）は、ＡＦ部１１をＸ方向に揺動可能に支持するＯＩＳ支持部４０として機能する。
　［ＯＩＳ固定部］
　図７は、ＯＩＳ固定部２０の分解斜視図である。図６において、ＯＩＳ固定部２０は、第２ＯＩＳ駆動部３０Ｙ及びセンサー基板２２を取り付けた状態であるのに対し、図７において、ＯＩＳ固定部２０は、第２ＯＩＳ駆動部３０Ｙ及びセンサー基板２２を取り外した状態である。
　ＯＩＳ固定部２０は、ベース２１、センサー基板２２、配線２３１～２３７（本発明における配線）、壁部２４、第２ＯＩＳ駆動部３０Ｙ、Ｙ方向基準ボール４１を有する。
　［ベース］
　ベース２１は、例えば、ポリアリレート（ＰＡＲ）、ＰＡＲを含む複数の樹脂材料を混合したＰＡＲアロイ（例えば、ＰＡＲ／ＰＣ）、又は、液晶ポリマーからなる成形材料で形成される。ベース２１は、平面視で矩形状の部材であり、中央に円形の開口２１１を有する。
　ベース２１は、ベース２１の主面を形成する第１ベース部２１２と、第１ベース部２１２に対して凹んで形成された第２ベース部２１３ａ、２１３ｂとを有する。
　第２ベース部２１３ａは、ＯＩＳ可動部１０の光軸方向結像側に突出する部分、すなわち、第１ステージ１３のＡＦモーター固定部１３５（後述の図１３、図１４を参照）に対応して設けられている。具体的には、第２ベース部２１３ａは、振れ補正時に干渉が生じないように、ＡＦモーター固定部１３５よりも、平面視において一回り大きく形成されている。第２ベース部２１３ｂには、複数の配線２３７の端子２３７ｂが配置され、複数の端子２３７ｂの上に、磁気センサー２２１Ｘ、２２１Ｙ、２２１Ｚを有するセンサー基板２２が配置される。
　このようにして、第２ベース部２１３ａ、２１３ｂは、第１ベース部２１２に対して凹んで形成されているので、これにより、後述するＡＦ可動部１２の移動ストロークを確保することができ、また、光学素子駆動装置１の低背化を図ることができる。
　また、ベース２１は、第２ＯＩＳ駆動部３０Ｙが配置されるＯＩＳモーター固定部２１９を有する。ＯＩＳモーター固定部２１９は、例えば、ベース２１の１つの隅部の近傍に設けられ、第１ベース部２１２から光軸方向受光側に向けて突出して形成され、第２ＯＩＳ駆動部３０Ｙを保持可能な形状を有している。
　［ベースの配線］
　図８は、ＯＩＳ固定部２０のベース２１の平面図である。図９は、ベース２１において、ベース２１表面に形成された開口部と、ベース２１内部に配置された配線２３１～２３７との位置関係を示す図である。図９においては、ベース２１、開口部２１４～２１７、Ｙ方向開口部２１８ａ、２１８ｂ及び配線２３１～２３７の位置関係を示すため、これらの形状のみ図示している。
　ベース２１には、例えば、インサート成形により、配線２３１～２３７が埋設されている。配線２３１～２３７は、ベース２１の表面側（光軸方向受光側）の面が、ベース２１の表面と平行になるように埋設されている。
　配線２３１～２３７は、ベース２１の内部に配置され、配線２３１～２３７の一方の端部の端子２３１ａ～２３７ａの位置から他方の端部の端子２３１ｂ～２３７ｂの位置まで延設されている（図９を参照）。端子２３１ａ～２３７ａはベース２１の底面から露出されている（図３、図４を参照）。また、詳細は以下に説明するが、端子２３１ｂ～２３７ｂはベース２１の表面側（光軸方向受光側）に露出されている（図８、図９を参照）。
　配線２３１～２３４は、ＡＦ駆動部１５及び第１ＯＩＳ駆動部３０Ｘへの給電ラインとなる配線である。配線２３１～２３４において、端子２３１ａ～２３４ａはベース２１の底面から露出されている（図４を参照）。また、端子２３１ｂ～２３４ｂはベース２１の表面側（光軸方向受光側）の四隅に形成された開口部２１４から露出されている（図９を参照）。端子２３１ｂ～２３４ｂは、ＯＩＳ用付勢部材５０と電気的に接続され、ＡＦ駆動部１５及び第１ＯＩＳ駆動部３０Ｘへの給電は、ＯＩＳ用付勢部材５０を介して行われる。
　配線２３５、２３６は、第２ＯＩＳ駆動部３０Ｙへの給電ラインとなる配線である。配線２３５、２３６において、端子２３５ａ、２３６ａはベース２１の底面から露出されている（図４を参照）。また、端子２３５ｂ、２３６ｂはベース２１の表面側のＯＩＳモーター固定部２１９の近傍に形成された開口部２１５、２１６から露出されている（図９を参照）。端子２３５ｂ、２３６ｂは、第２ＯＩＳ駆動部３０Ｙと電気的に接続され、第２ＯＩＳ駆動部３０Ｙへの給電が行われる。
　配線２３７は、センサー基板２２の磁気センサー２２１Ｘ、２２１Ｙ、２２１Ｚへの給電ライン（例えば、４本）及び信号ライン（例えば、６本）となる配線である。配線２３７において、端子２３７ａはベース２１の底面から露出されている（図３を参照）。また、端子２３７ｂはベース２１の表面側に形成された開口部２１７から露出されている（図９を参照）。端子２３７ｂは、センサー基板２２と電気的に接続され、センサー基板２２への給電や信号の送受信が行われる。
　ベース２１の内部に配置された配線２３１～２３７のうちの配線２３２、２３３は、Ｙ方向開口部２１８ａ内で露出するように延設された延設部２３２ｃ、２３３ｃを各々有している。延設部２３２ｃ、２３３ｃは、配線２３２、２３３においてＹ方向開口部２１８ａに近接する部分から延設されている。配線２３２、２３３（延設部２３２ｃ、２３３ｃ）が露出されるＹ方向開口部２１８ａについては、図１０を参照して後述する。
　ここでは、一例として、Ｙ方向開口部２１８ａ内で配線の一部（延設部２３２ｃ、２３３ｃ）が露出するよう構成されているが、これに限らず、全てのＹ方向開口部２１８ａ、２１８ｂ内で配線の一部が露出するよう構成してもよい。例えば、配線２３１～２３７の何れか複数に上記の延設部２３２ｃ、２３３ｃと同様の延設部を設けてもよいし、配線２３１～２３７の配置を調整してもよい。
　［ＯＩＳ支持部－Ｙ方向］
　図１０は、図８に示すベース２１のＡ－Ａ線矢視断面図である。図８及び図９と共に、図１０も参照してＯＩＳ支持部４０を説明する。
　ベース２１は、ＯＩＳ支持部４０を構成するＹ方向基準ボール４１を収容するＹ方向開口部２１８ａ、２１８ｂ（本発明における収容部）を有する（図８、図９を参照）。Ｙ方向基準ボール４１は、Ｙ方向開口部２１８ａ、２１８ｂと、Ｚ方向において互いに対向する第２ステージ１４のＹ方向開口部１４４（本発明における収容部）との間に挟持される（後述する図１８を参照）。
　Ｙ方向開口部２１８ａ、２１８ｂ及びＹ方向開口部１４４は、Ｙ方向に延びる矩形状の開口を有する溝部である。Ｙ方向開口部２１８ａ、２１８ｂ及びＹ方向開口部１４４は、ＸＺ平面における断面形状が、例えば、四角形や逆三角形（Ｖ字状）となるように形成されている。Ｙ方向開口部２１８ａ、２１８ｂ及びＹ方向開口部１４４は、溝部の底面に向かって溝幅が狭くなるようにしてもよく、その場合、ＸＺ平面における断面形状は、逆台形や逆三角形（Ｖ字状）となるようにすればよい。
　本実施の形態において、Ｙ方向開口部２１８ａは、図１０に示すように、逆台形の断面形状に形成されており、Ｙ方向開口部２１８ａの底部を構成するように、上述した配線２３２の延設部２３２ｃが露出されている。つまり、Ｙ方向開口部２１８ａを形成する収容部形成面（内壁）の一部である底部において、延設部２３２ｃがＹ方向基準ボール４１と接触して光軸方向の荷重を受けるように露出されている。図９中の右下側のＹ方向開口部２１８ａも同様の構成である。この場合、Ｙ方向開口部２１８ａを形成する収容部形成面の底部で露出されている延設部２３２ｃは、光軸（Ｚ方向）に直交する平面状であり、Ｙ方向基準ボール４１と１点で当接する。
　Ｙ方向基準ボール４１は、底部が延設部２３２ｃからなるＹ方向開口部２１８ａの内側に配置され、Ｚ方向においては、延設部２３２ｃと接することになる。配線２３１～２３７は、導電性がある金属から構成されるため、一般的に樹脂材料等から構成されるベース２１より硬質である。そのため、例えば、落下等により光学素子駆動装置１が大きな衝撃を受けても、Ｙ方向基準ボール４１の打痕等による変形は延設部２３３ｃには生じにくく、Ｙ方向開口部２１８ａの変形を抑制することができる。
　また、Ｙ方向開口部２１８ａの内壁の一部として、ベース２１の内部に埋設された配線２３２の延設部２３２ｃを利用するので、変形し難い部材を新たに追加することなく、Ｙ方向開口部２１８ａの変形を抑制することができる。
　なお、本実施の形態において、Ｙ方向開口部２１８ｂ、１４４は、ＸＺ平面における断面形状がＶ字状となるように形成されている。ここでは、Ｙ方向開口部２１８ｂは、配線２３１～２３７の一部を露出する構成にしていないが、例えば、Ｙ方向開口部２１８ｂのＶ字断面の少なくとも一方の側面に配線２３１～２３７の一部が露出されるよう構成してもよい。この場合、配線２３１～２３７のうち、Ｙ方向開口部２１８ｂで露出される配線の一部又は全部において、ベース２１の表面側（光軸方向受光側）の面が、ベース２１の表面に対して傾斜するように埋設する。また、配線２３１～２３７のうち、Ｙ方向開口部２１８ｂで露出される配線の一部又は全部をＶ字断面形状に形成して、ベース２１の内部に埋設する。
　また、ここでは、第２ステージ１４が内部に配線を有していないので、Ｙ方向開口部１４４は、配線の一部を露出する構成にしていない。第２ステージ１４が内部に配線を有する構成とする場合には、Ｙ方向開口部１４４は、Ｙ方向開口部２１８ｂと同様に、配線の一部が露出されるよう構成してもよい。
　Ｙ方向開口部２１８ａ、２１８ｂ、１４４により各々形成される溝は、Ｙ方向に平行に形成されている。そのため、Ｙ方向開口部２１８ａ、２１８ｂとＹ方向開口部１４４との間に挟持されるＹ方向基準ボール４１は、溝内において、Ｙ方向に転動可能である。つまり、ベース２１は、Ｙ方向基準ボール４１を介して、ＯＩＳ可動部１０（第２ステージ１４）をＹ方向に移動可能に支持している。
　Ｙ方向開口部２１８ａ、２１８ｂ及びＹ方向開口部１４４は、矩形状のベース２１及び第２ステージ１４の四隅の部分に配置されている。ＯＩＳ可動部１０（第２ステージ１４）は、４個のＹ方向基準ボール４１で、つまり、４点でベース２１に支持されている。このように、Ｙ方向基準ボール４１は、多点接触で挟持されるので、安定してＹ方向に転動する。
　なお、ＯＩＳ可動部１０（第２ステージ１４）は、少なくとも３点以上でベース２１に支持されればよい。例えば、３点で支持する場合には、ベース２１及び第２ステージ１４の１つの辺側の２箇所と当該辺に対向する辺側の１箇所の合計３箇所にＹ方向開口部２１８ａ、２１８ｂ及びＹ方向開口部１４４を配置すればよい。
　［センサー基板］
　センサー基板２２は、ＡＦ駆動部１５及びＯＩＳ駆動部３０（第１ＯＩＳ駆動部３０Ｘ及び第２ＯＩＳ駆動部３０Ｙ）が配置されていない領域、すなわち、ベース２１の平面形状である矩形の一辺に対応する領域に設けられている。これにより、磁気センサー２２１Ｘ、２２１Ｙ、２２１Ｚ用の給電ライン及び信号ラインを集約することができ、ベース２１における配線構造を簡略化することができる。
　センサー基板２２は、磁気センサー２２１Ｘ、２２１Ｙ、２２１Ｚ用の給電ライン及び信号ラインを含む配線を有する（図示省略）。センサー基板２２には、磁気センサー２２１Ｘ、２２１Ｙ、２２１Ｚが実装される。磁気センサー２２１Ｘ、２２１Ｙ、２２１Ｚは、例えば、ホール素子又はＴＭＲ（Tunnel Magneto Resistance）センサー等で構成され、センサー基板２２に形成された配線が端子２３７ｂと電気的に接続されて、配線２３７と電気的に接続される。
　詳細は図１８を参照して後述するが、Ｘ方向に移動する第１ステージ１３において、磁気センサー２２１Ｘに対向する位置にマグネット１７Ｘが配置されている（図１８を参照）。磁気センサー２２１Ｘ及びマグネット１７ＸからなるＸ方向位置検出部により、第１ステージ１３のＸ方向の位置、すなわち、ＯＩＳ可動部１０のＸ方向の位置が検出される。
　また、Ｙ方向に移動する第２ステージ１４において、磁気センサー２２１Ｙに対向する位置にマグネット１７Ｙが配置されている（図１８を参照）。磁気センサー２２１Ｙ及びマグネット１７ＹからなるＹ方向位置検出部により、第２ステージ１４のＹ方向の位置、すなわち、ＯＩＳ可動部１０のＹ方向の位置が検出される。
　また、Ｚ方向に移動するＡＦ可動部１２において、磁気センサー２２１Ｚに対向する位置にマグネット１７Ｚが配置されている（図１８を参照）。磁気センサー２２１Ｚ及びマグネット１７ＺからなるＺ方向位置検出部により、ＡＦ可動部１２のＺ方向の位置が検出される。
　なお、マグネット１７Ｘ、１７Ｙ、１７Ｚと磁気センサー２２１Ｘ、２２１Ｙ、２２１Ｚに代えて、フォトリフレクター等の光センサーにより、ＯＩＳ可動部１０のＸ方向及びＹ方向の位置並びにＡＦ可動部１２のＺ方向の位置を検出するようにしてもよい。
　［ＯＩＳ駆動部］
　ＯＩＳ駆動部３０は、ＯＩＳ可動部１０をＸ方向及びＹ方向に移動させるアクチュエーターである。具体的には、ＯＩＳ駆動部３０は、ＯＩＳ可動部１０の一部（ＡＦ部１１）をＸ方向に移動させる第１ＯＩＳ駆動部３０Ｘと、ＯＩＳ可動部１０全体をＹ方向に移動させる第２ＯＩＳ駆動部３０Ｙとを有する。
　ＯＩＳ駆動部３０について、図７と共に、図１１～図１４を参照して説明する。図１１は、ＯＩＳ駆動部３０の分解斜視図である。図１２は、ＯＩＳ可動部１０の分解斜視図である。図１３は、ＡＦ部１１の分解斜視図である。図１４は、第１ステージ１３の分解斜視図である。
　なお、図１１は、ＯＩＳ駆動部３０として、第２ＯＩＳ駆動部３０Ｙの各部材を分解した状態を示している。第１ＯＩＳ駆動部３０Ｘは、配置する方向に違いはあるが、第２ＯＩＳ駆動部３０Ｙと同様の構成を有しているので、図１１では、第２ＯＩＳ駆動部３０Ｙと合わせて、ＯＩＳ駆動部３０として説明する。
　第１ＯＩＳ駆動部３０Ｘ及び第２ＯＩＳ駆動部３０Ｙは、ＯＩＳ可動部１０を移動させる駆動源となる超音波モーターを有する。第１ＯＩＳ駆動部３０Ｘは、第１ステージ１３のＸ方向に沿うＯＩＳモーター固定部１３４に固定される（図１４を参照）。また、第２ＯＩＳ駆動部３０Ｙは、ベース２１のＹ方向に沿うＯＩＳモーター固定部２１９に固定される（図７を参照）。すなわち、第１ＯＩＳ駆動部３０Ｘ及び第２ＯＩＳ駆動部３０Ｙは、互いに直交する辺に沿って配置されている。
　ＯＩＳ駆動部３０は、図１１に示すように、ＯＩＳ共振部３１、ＯＩＳ圧電素子３２及びＯＩＳ動力伝達部３４を有する。ＯＩＳ駆動部３０の駆動力は、ＯＩＳ動力伝達部３４を介して、他の部材に伝達される。具体的には、第１ＯＩＳ駆動部３０Ｘは、そのＯＩＳ動力伝達部３４を介して、第２ステージ１４に接続され、その駆動力が伝達される。また、第２ＯＩＳ駆動部３０Ｙは、そのＯＩＳ動力伝達部３４を介して、第２ステージ１４に接続されて、その駆動力が伝達される。ＯＩＳ駆動部３０において、ＯＩＳ共振部３１が能動要素を構成し、ＯＩＳ動力伝達部３４が受動要素を構成する。
　ＯＩＳ共振部３１は、導電性材料で形成され、後述するＯＩＳ圧電素子３２の振動に共振して、振動運動を直線運動に変換する。ＯＩＳ共振部３１は、例えば、金属板のレーザー加工、エッチング加工又はプレス加工等により形成される。
　ＯＩＳ共振部３１は、図１１に示すように、胴部３１１、２つのアーム部３１２、突出部３１３及び通電部３１４を有する。
　ＯＩＳ共振部３１において、胴部３１１は、ＯＩＳ圧電素子３２に挟持される略矩形状の部分である。
　アーム部３１２は、胴部３１１の上部及び下部からＸ方向又はＹ方向に延在する。２つのアーム部３１２は対称的な形状を有し、それぞれの自由端部がＯＩＳ動力伝達部３４に当接し、ＯＩＳ圧電素子３２の振動に共振して対称的に変形する。
　突出部３１３は、胴部３１１の中央部からＸ方向又はＹ方向に延在する。突出部３１３には、リベットを挿通する貫通孔３１３ａが形成されている。
　ここで、第１ステージ１３のＯＩＳモーター固定部１３４には、リベット（図示省略）を挿通する貫通孔を有するリベット取付部１３４ａが形成されている（図１４を参照）。リベットは、光学素子駆動装置本体４の外側から内側に向かって、突出部３１３の貫通孔３１３ａ及びリベット取付部１３４ａの貫通孔に挿通されて、その先端が留め具（図示省略）で留められている。なお、リベットの外側は樹脂部材３９で覆われている。リベット及び留め具により、第１ＯＩＳ駆動部３０ＸのＯＩＳ共振部３１は、ＯＩＳモーター固定部１３４（第１ステージ１３側）に固定される。
　また、ベース２１のＯＩＳモーター固定部２１９にも、リベット（図示省略）を挿通する貫通孔を有するリベット取付部２１９ａが形成されている（図７を参照）。リベットは、光学素子駆動装置本体４の内側から外側に向かって、リベット取付部２１９ａの貫通孔及び突出部３１３の貫通孔３１３ａに挿通されて、その先端が留め具（図示省略）で留められている。なお、リベットの外側は樹脂部材３９で覆われている。リベット及び留め具により、第２ＯＩＳ駆動部３０ＹのＯＩＳ共振部３１は、ＯＩＳモーター固定部２１９（ベース２１側）に固定される。
　このように、リベット及び留め具等を用いることにより、第１ＯＩＳ駆動部３０Ｘ及び第２ＯＩＳ駆動部３０ＹのＯＩＳ共振部３１をＯＩＳモーター固定部２１９、１３４に堅固に固定することができる。そのため、外部から大きな衝撃が加わったとしても、ＯＩＳ共振部３１がＯＩＳモーター固定部２１９、１３４から外れたり、ずれたりすることはなく、ＯＩＳ駆動部３０の信頼性を高めることができる。
　なお、ここでは、リベット及び留め具を用いて、第１ＯＩＳ駆動部３０Ｘ及び第２ＯＩＳ駆動部３０ＹのＯＩＳ共振部３１をＯＩＳモーター固定部２１９、１３４に固定しているが、他の部材を用いて固定してもよい。例えば、樹脂系の接着剤等の固着材料を用いて固定してもよい。
　通電部３１４は、胴部３１１の中央部から突出部３１３とは反対側に延在する。第１ＯＩＳ駆動部３０Ｘにおいて、その通電部３１４は、例えば、はんだ（図示省略）により、第１ステージ１３の配線１８１の端子１８１ｂと電気的に接続される（後述の図２０を参照）。また、第２ＯＩＳ駆動部３０Ｙにおいて、その通電部３１４は、例えば、はんだ（図示省略）により、ベース２１の開口部２１６から露出する配線２３６の端子２３６ｂと電気的に接続される。
　ＯＩＳ圧電素子３２は、例えば、セラミック材料で形成された板状素子であり、高周波電圧を印加することにより振動を発生する。２枚のＯＩＳ圧電素子３２は、ＯＩＳ共振部３１の胴部３１１を挟み込むように、貼り合わされて配置されている。
　ここで、第１ＯＩＳ駆動部３０Ｘにおいて、そのＯＩＳ圧電素子３２は、例えば、電極部材（図示省略）により、第１ステージ１３の配線１８２の端子１８２ｂと電気的に接続される（後述の図２０を参照）。また、第２ＯＩＳ駆動部３０Ｙにおいて、そのＯＩＳ圧電素子３２は、例えば、電極部材（図示省略）により、ベース２１の開口部２１５から露出する配線２３５の端子２３５ｂと電気的に接続される。
　このように、第１ＯＩＳ駆動部３０ＸのＯＩＳ圧電素子３２は、通電部３１４及び電極部材を介して、第１ステージ１３の配線１８１及び配線１８２と電気的に接続される。また、第２ＯＩＳ駆動部３０ＹのＯＩＳ圧電素子３２は、通電部３１４及び電極部材を介して、ベース２１の配線２３５及び配線２３６と電気的に接続される。従って、第１ＯＩＳ駆動部３０Ｘ及び第２ＯＩＳ駆動部３０ＹのＯＩＳ圧電素子３２には電圧を印加可能であり、電圧を印加することにより、ＯＩＳ圧電素子３２には振動が発生する。
　上述したＯＩＳ共振部３１は、少なくとも２つの共振周波数を有し、それぞれの共振周波数に対して、異なる挙動で変形する。言い換えると、ＯＩＳ共振部３１は、２つの共振周波数に対して異なる挙動で変形するように、全体の形状が設定されている。異なる挙動とは、ＯＩＳ動力伝達部３４をＸ方向又はＹ方向に前進させる挙動と、後退させる挙動である。従って、ＯＩＳ圧電素子３２を所望の共振周波数で振動させることにより、ＯＩＳ動力伝達部３４をＸ方向又はＹ方向に前進又は後退させることができる。
　ＯＩＳ動力伝達部３４は、Ｘ方向又はＹ方向に延在するチャッキングガイドであり、一端がＯＩＳ共振部３１のアーム部３１２に当接され、他端が第２ステージ１４に接続される。ＯＩＳ動力伝達部３４は、ＯＩＳモーター当接部３４１、連結部３４２及びステージ固定部３４３を有する。
　ＯＩＳモーター当接部３４１は、ＯＩＳ共振部３１のアーム部３１２の自由端部と当接する。ステージ固定部３４３は、ＯＩＳ動力伝達部３４の端部に配置され、第２ステージ１４のＯＩＳチャッキングガイド固定部１４５Ｘ、１４５Ｙ（図１２を参照）に固定される。連結部３４２は、ＯＩＳモーター当接部３４１とステージ固定部３４３を連結する部分であり、ステージ固定部３４３から２つに分岐するように形成されている。
　ＯＩＳモーター当接部３４１間の幅は、ＯＩＳ共振部３１のアーム部３１２の自由端部間の幅よりも広く設定される。例えば、連結部３４２とステージ固定部３４３との接続部分において、２つの連結部３４２の間に、それらの接続端部の幅よりも大きい離隔部３４４を介在させることで、ＯＩＳモーター当接部３４１間の幅を拡げることができる。離隔部３４４は、例えば、ステージ固定部３４３と一体的に形成される。
　ＯＩＳモーター当接部３４１間の幅をアーム部３１２の自由端部間の幅よりも広くすることにより、アーム部３１２の間にＯＩＳ動力伝達部３４を取り付けたときに、連結部３４２が板バネとして機能し、アーム部３１２を押し広げる方向に付勢力が作用する。この付勢力により、アーム部３１２の自由端部間にＯＩＳ動力伝達部３４が保持され、ＯＩＳ共振部３１からの駆動力がＯＩＳ動力伝達部３４に効率よく伝達される。
　なお、図１１に示す例では、ステージ固定部３４３において、連結部３４２の取付部分の片側（図中手前側）が開放しているが、ステージ固定部３４３は、連結部３４２の取付部分を両側（図中奥側及び手前側）で挟み込むような構造でもよい。この場合、経時的に連結部３４２がずれて脱落するのを防止でき、ＯＩＳ駆動部３０の信頼性が向上する。
　ＯＩＳ共振部３１とＯＩＳ動力伝達部３４とは、付勢された状態で当接している。そのため、この当接部分をＸ方向又はＹ方向に大きくするだけで、光学素子駆動装置１の外形を大きくすることなく、ＯＩＳ可動部１０の移動ストロークを長くすることができる。
　第１ＯＩＳ駆動部３０Ｘは、ＯＩＳモーター固定部１３４を介して、第１ステージ１３（ＯＩＳ可動部１０側）に固定され（図１４を参照）、ＯＩＳ動力伝達部３４を介して、第２ステージ１４と接続されている（図１２を参照）。第１ＯＩＳ駆動部３０Ｘは、Ｘ方向の振れ補正時に駆動され、第２ステージ１４に対して、第１ステージ１３（ＯＩＳ可動部１０）がＸ方向に移動するよう駆動する。なお、第１ＯＩＳ駆動部３０Ｘは、第２ＯＩＳ駆動部３０ＹによるＹ方向の振れ補正時には、第１ステージ１３（ＯＩＳ可動部１０）と共に移動する。
　また、第２ＯＩＳ駆動部３０Ｙは、ＯＩＳモーター固定部２１９を介して、ベース２１（ＯＩＳ固定部２０側）に固定され（図７を参照）、ＯＩＳ動力伝達部３４を介して、第２ステージ１４と接続されている（図６を参照）。第２ＯＩＳ駆動部３０Ｙは、Ｙ方向の振れ補正時に駆動され、ベース２１（ＯＩＳ固定部２０）に対して、第２ステージ１４がＹ方向に移動するよう駆動する。このように、第２ＯＩＳ駆動部３０Ｙは、ベース２１（ＯＩＳ固定部２０）に対して、第２ステージ１４をＹ方向に移動させるので、第１ＯＩＳ駆動部３０ＸによるＸ方向の振れ補正に影響を受けない。
　すなわち、一方のＯＩＳ駆動部３０による移動は、他方のＯＩＳ駆動部３０の構造によって妨げられない。従って、ＯＩＳ可動部１０のＺ軸周りの回転を防止することができ、ＯＩＳ可動部１０をＸＹ平面内で精度よく揺動させることができる。
　［ＯＩＳ用付勢部材］
　矩形状のＯＩＳ可動部１０及びＯＩＳ固定部２０の四隅部分（角部分）には、それぞれＯＩＳ用付勢部材５０が配置されている。ＯＩＳ用付勢部材５０は、例えば、引張コイルばねで構成され、ＯＩＳ可動部１０とＯＩＳ固定部２０とを連結する。ＯＩＳ用付勢部材５０の光軸方向結像側の端部は、ベース２１の開口部２１４から露出される配線２３１～２３４の端子２３１ｂ～２３４ｂに接続されている。一方、光軸方向受光側の端部は、第１ステージ１３の配線１８１～１８４の端子１８１ａ～１８４ａに接続されている（図２０を参照）。
　ＯＩＳ用付勢部材５０は、ＯＩＳ可動部１０とＯＩＳ固定部２０とを連結したときの引張荷重を受けて、ＯＩＳ可動部１０とＯＩＳ固定部２０が互いに近接するように作用する。すなわち、ＯＩＳ可動部１０は、ＯＩＳ用付勢部材５０によって、光軸方向結像側に付勢された状態（ベース２１に押し付けられた状態）で、ＸＹ面内で揺動可能に保持されている。これにより、ＯＩＳ可動部１０をがたつきのない安定した状態で保持することができる。
　また、ＯＩＳ用付勢部材５０は、導電性材料からなり、ＡＦ駆動部１５及び第１ＯＩＳ駆動部３０Ｘへの給電ライン（導電経路）として機能する。
　このように、ＯＩＳ用付勢部材５０は給電ラインとして機能するので、外部から大きな衝撃が加わった場合に、ＯＩＳ用付勢部材５０が揺れて、他の部材と接触して、ショートが発生する可能性がある。そのため、ＯＩＳ固定部２０においてＯＩＳ用付勢部材５０に対応する位置に局所的に、ＯＩＳ用付勢部材５０の周囲の少なくとも一部を囲うように、非導電性材料からなる壁部２４を設けている。
　本実施の形態の場合、導電性材料からなる部材であって、ＯＩＳ用付勢部材５０の位置に近い部材はカバー３である。そのため、壁部２４は、カバー３とＯＩＳ用付勢部材５０との間に介在するように配置されている。例えば、ＯＩＳ用付勢部材５０の周囲のうち、ＯＩＳ可動部１０の径方向外側の部分を囲うように配置されている。カバー３とＯＩＳ用付勢部材５０との間に壁部２４が介在するので、外部から大きな衝撃が加わった場合に、ＯＩＳ用付勢部材５０が揺れても、壁部２４により、ＯＩＳ用付勢部材５０がカバー３（内壁３０３）と接触することを防止することができる。この結果、ショートの発生を防止することができる。
　また、ＯＩＳ用付勢部材５０は、第１ステージ１３及び第２ステージ１４においては、これらの四隅（角部分）を切り欠いた切欠部１３７、１４７に配置されている（図３～図６を参照）。第１ステージ１３及び第２ステージ１４の四隅を切り欠いて切欠部１３７、１４７を形成しているので、当該切り欠いた四隅に対向するベース２１の四隅に壁部２４を配置することができる。
　より具体的には、切欠部１３７、１４７を形成する形成面に対向するように、そして、切欠部１３７、１４７を除く第１ステージ１３及び第２ステージ１４の縁部分に対向するほど延在しないように、壁部２４が形成される。このようにして、壁部２４を形成し、配置することで、切欠部１３７、１４７に配置したＯＩＳ用付勢部材５０の近傍に壁部２４を配置できる。そのため、ベース２１を大きくする必要はなく、装置サイズの増大を抑制しつつ、光学素子駆動装置１の小型化を図ることができる。
　また、壁部２４は、切欠部１３７、１４７と共にＯＩＳ用付勢部材５０の周囲を囲むように形成されており、例えば、平面視で略Ｌ字形状に形成されている。このように、切欠部１３７、１４７と共に壁部２４でＯＩＳ用付勢部材５０の周囲を囲むことにより、外部から大きな衝撃が加わった場合に、ＯＩＳ用付勢部材５０が揺れても、ＯＩＳ用付勢部材５０が他の部材と接触することを防止することができる。なお、壁部２４は、ＯＩＳ可動部１０の移動に干渉しないように、ベース２１の四隅の角部からＸ方向及びＹ方向に延在していればよい。
　［ＯＩＳ可動部］
　ＯＩＳ可動部１０について、図１２～図１４を参照して説明する。ＯＩＳ可動部１０は、レンズ部２を保持可能に構成されており、図１２～図１４に示すように、ＡＦ部１１、第２ステージ１４等を有する。また、ＡＦ部１１は、ＡＦ可動部１２、第１ステージ１３、ＡＦ駆動部１５及びＡＦ支持部１６等を有する。
　Ｙ方向の移動に関しては、第１ステージ１３及び第２ステージ１４を含むＯＩＳ可動部１０全体が可動体（可動側部材）となる。一方、Ｘ方向の移動に関しては、第２ステージ１４はＯＩＳ固定部２０と共に固定体（固定側部材）として機能し、ＡＦ部１１（ＡＦ可動部１２及び第１ステージ１３）だけが可動体（可動側部材）として機能する。また、第１ステージ１３は、ＡＦ可動部１２を支持するＡＦ固定部として機能する。
　［ＡＦ可動部］
　ＡＦ可動部１２について図１５～図１８を参照して説明を行う。図１５は、ＡＦ可動部１２及びＡＦ駆動部１５の斜視図である。図１６は、ＡＦ可動部１２からＡＦ駆動部１５を分離した分解斜視図である。図１７は、ＡＦ駆動部１５の分解斜視図である。図１８は、ＡＦ可動部１２、第１ステージ１３及び第２ステージ１４を斜め下方側から見た図である。
　ＡＦ可動部１２は、レンズ部２（図３を参照）を保持可能なレンズホルダーであり、ピント合わせ時に光軸方向に移動する。ＡＦ可動部１２は、第１ステージ１３（ＡＦ固定部）に対して径方向内側（レンズ部２側）に離間して配置され、後述するＡＦ支持部１６を介して、第１ステージ１３に支持される。
　ＡＦ可動部１２は、例えば、ポリアリレート（ＰＡＲ）、ＰＡＲを含む複数の樹脂材料を混合したＰＡＲアロイ、液晶ポリマー等で形成される。ＡＦ可動部１２は、筒状のレンズ収容部１２１を有する。レンズ収容部１２１の内周面には、レンズ部２が、例えば、接着等により固定される。
　ＡＦ可動部１２は、レンズ収容部１２１の外周面の光軸方向受光側（上側）において、当該外周面の全周から径方向外側に突出するフランジ部１２２を有する。フランジ部１２２の光軸方向結像側（下側）は、後述する第１ステージ１３のフランジ受部１３１ａと当接することにより、ＡＦ可動部１２の光軸方向結像側への移動を規制する。本実施の形態では、フランジ部１２２は、ＡＦ駆動部１５が駆動されていない基準状態において、フランジ受部１３１ａに当接する。
　また、ＡＦ可動部１２は、フランジ部１２２の外周面の一部から径方向外側に突出する突出部１２３を有する。突出部１２３は、平面視において、光軸周りに等間隔に配置されることが好ましい。本実施の形態では、光軸周りに９０°の等間隔となるように、４つの突出部１２３が設けられている。
　なお、４つの突出部１２３のうちの１つの突出部１２３ａは、光軸方向結像側に延在しており、延在された部分の内部にＺ位置検出用のマグネット１７Ｚが設けられている。マグネット１７Ｚは、上述したように、光軸方向において、センサー基板２２のＺ位置検出用の磁気センサー２２１Ｚと対向する位置に配置されている（図６を参照）。
　上述した突出部１２３は、後述する第１ステージ１３の案内溝１３２に挿入され、ＡＦ可動部１２がＺ方向に移動する際に、案内溝１３２に沿って移動する。このように、案内溝１３２は突出部１２３のＺ方向の案内機構として機能する。
　本実施の形態では、上述したように、複数の突出部１２３及び案内溝１３２が設けられており、案内溝１３２は突出部１２３のＺ方向の案内機構として機能する。そのため、ＡＦ可動部１２の一部が大きく浮き上がろうとすると（ＡＦ可動部１２が傾こうとすると）、突出部１２３が案内溝１３２に接触して、ある角度以上はＡＦ可動部１２が傾かないように規制することになる。その結果、外部から大きな衝撃が加わっても、ＡＦ可動部１２の一部が大きく浮き上がることを、第１ステージ１３（ＡＦ固定部）により防止して、ＡＦ可動部１２がカバー３の内壁（光軸方向受光側の内壁）に接触しないようにすることができる。
　突出部１２３と案内溝１３２との間隔等を調整することにより、３つの突出部１２３及び案内溝１３２でも、上記と同様の効果を得ることが可能であるが、本実施の形態のように、４つ以上の突出部１２３及び案内溝１３２を設けた方が上記の効果は大きい。
　また、突出部１２３は、本実施の形態では、平面視において、円弧形状であり、また、案内溝１３２も、平面視において、円弧形状となっている。このような円弧形状の場合、周方向の長さが同じで、径方向の長さが同じ矩形状のものよりも、平面視における面積が小さくなり、突出部１２３及び案内溝１３２の配置に関し、省スペース化を図ることができる。
　また、ＡＦ可動部１２は、ＡＦ駆動部１５を収容する駆動部収容部１２４を有する（図１６を参照）。駆動部収容部１２４は、レンズ収容部１２１の外周面に設けられている。また、ＡＦ可動部１２は、駆動部収容部１２４を間に挟むように、レンズ収容部１２１の外周面から径方向外側に突出し、光軸方向に延在する一対のプレート収容部１２５、１２６を有する。一対のプレート収容部１２５、１２６は、レンズ収容部１２１の外周面に対向して配置される対向面１２５ａ、１２６ａを有し、対向面１２５ａ、１２６ａは、Ｘ方向において、互いに近接する方向に延在している。つまり、プレート収容部１２５、１２６は、平面視において、略Ｌ字形状となっている。
　詳細は図１７を参照して後述するが、駆動部収容部１２４にＡＦ駆動部１５の受動要素であるＡＦ動力伝達部１５４が配置され、プレート収容部１２５、１２６にＡＦ駆動部１５のプレート１５５が配置される。また、駆動部収容部１２４及び一対のプレート収容部１２５、１２６は、後述する第１ステージ１３のＡＦモーター固定部１３５に収容され、ＡＦ支持部１６にＺ方向に移動可能に支持される（図１３、図１４を参照）。
　［第１ステージ］
　第１ステージ１３は、レンズ部２（図３を参照）を保持した状態のＡＦ可動部１２を、ＡＦ支持部１６を介して支持する（図１３を参照）。第１ステージ１３の光軸方向結像側に離間した位置には、Ｘ方向基準ボール４２を介して、第２ステージ１４が配置され、第１ステージ１３は、Ｘ方向に移動可能に、第２ステージ１４に支持される（図１２を参照）。第２ステージ１４は、振れ補正時にＹ方向のみに移動可能である。第１ステージ１３自体は、振れ補正時にＸ方向のみに移動可能であるが、第２ステージ１４に支持されるので、第２ステージ１４と共にＹ方向にも移動可能である。
　第１ステージ１３は、光軸方向から見た平面視において略矩形状を有する部材であり、例えば、液晶ポリマーで形成される。第１ステージ１３は、ＡＦ可動部１２に対応する部分に略円形状の開口１３１を有する（図１３を参照）。開口１３１には、ＡＦ可動部１２のフランジ部１２２に対応するフランジ受部１３１ａが径方向内側に突出するように形成されている。また、開口１３１には、ＡＦ可動部１２の突出部１２３に対応する案内溝１３２が形成されている。
　第１ステージ１３は、下面に、ＯＩＳ支持部４０を構成するＸ方向基準ボール４２を保持するＸ方向開口部１３３ａ、１３３ｂを有する（図１８を参照）。ＯＩＳ支持部４０を構成するＸ方向基準ボール４２、Ｘ方向開口部１３３ａ、１３３ｂについては、図１９、図２０を参照して後述する。
　第１ステージ１３において、第１ＯＩＳ駆動部３０Ｘが配置される部分（第１ステージ１３の側壁の外側面）は、径方向外側にはみ出すことなく、第１ＯＩＳ駆動部３０Ｘを配置できるよう、径方向内側に凹んで形成されている（ＯＩＳモーター固定部１３４）。同様に、第１ステージ１３において、第２ＯＩＳ駆動部３０Ｙが配置される部分も、径方向内側に凹んで形成されており、ここでは、隅部分を切り欠いた部分と一体に形成されている（切欠部１３７ａ）。
　第１ステージ１３において、Ｘ方向に沿う一方の側壁の内側には、ＡＦ駆動部１５が配置されて固定されるＡＦモーター固定部１３５が形成されている。ＡＦモーター固定部１３５は、リベット用の貫通孔を有するリベット取付部１３５ａと、ＡＦ駆動部１５のＡＦ共振部１５１用の挿入穴を有する下部固定板１３５ｂを有し、これらにＡＦ駆動部１５のＡＦ共振部１５１が取り付けられる。
　具体的には、リベット１５６（図１６を参照）をリベット取付部１３５ａ（図１４を参照）の貫通孔及び通電部１５１ｃの貫通孔１５１ｆ（図１７を参照）に挿通し、その先端を留め具１５７（図１８を参照）で留めている。これにより、ＡＦ共振部１５１をリベット取付部１３５ａに取り付ける。また、ＡＦ共振部１５１の下端部（光軸方向結像側）を下部固定板１３５ｂに設けられた挿入穴（符号省略）に挿入し、接着により固定することで、ＡＦ共振部１５１を下部固定板１３５ｂに取り付ける。このようにして、ＡＦ駆動部１５は、アーム部１５１ｂがＺ方向に延在するように、第１ステージ１３のＡＦモーター固定部１３５に固定される。
　また、第１ステージ１３において、Ｙ方向に沿う一方の側壁には、Ｘ位置検出用のマグネット１７Ｘが配置される（図１８を参照）。例えば、マグネット１７ＸはＸ方向に着磁される。上述したように、センサー基板２２においては、マグネット１７Ｘと光軸方向に対向する位置に、Ｘ位置検出用の磁気センサー２２１Ｘが配置される（図６を参照）。
　［第１ステージの配線］
　図１９は、第１ステージ１３の底面図である。図２０は、第１ステージ１３において、第１ステージ１３の底面に形成された開口部と、第１ステージ１３内部に配置された配線１８１～１８４との位置関係を示す図である。図２０においては、第１ステージ１３、Ｘ方向開口部１３３ａ、１３３ｂ及び配線１８１～１８４の位置関係を示すため、これらの形状のみ図示している。
　第１ステージ１３には、例えば、インサート成形により、配線１８１～１８４（本発明における配線）が埋設されている。配線１８１～１８４は、第１ステージ１３の内部に配置され、配線１８１～１８４の一方の端部の端子１８１ａ～１８４ａの位置から他方の端部の端子１８１ｂ～１８４ｂの位置まで延設されている（図２０を参照）。ここでは、配線１８１～１８４は、例えば、第１ステージ１３のＸ方向に沿う側部において、Ｘ方向に沿うように配置されている。
　配線１８１～１８４は、第１ステージ１３の四隅の角部分を切り欠いた切欠部１３７から端子１８１ａ～１８４ａが露出しており、端子１８１ａ～１８４ａに、ＯＩＳ用付勢部材５０の一端が接続される。また、端子１８１ｂ～１８４ｂは第１ステージ１３の表面側（光軸方向受光側）に形成された開口部（図示省略）から露出されている。
　配線１８１、１８２は、第１ステージ１３を移動させる第１ＯＩＳ駆動部３０Ｘへの給電ラインとなる配線である。配線１８１、１８２の端子１８１ｂ、１８２ｂは、第１ＯＩＳ駆動部３０Ｘと電気的に接続され、第１ＯＩＳ駆動部３０Ｘへの給電は、端子１８１ａ、１８２ａに接続されたＯＩＳ用付勢部材５０を介して行われる。
　また、配線１８３、１８４は、ＡＦ可動部１２を移動させるＡＦ駆動部１５への給電ラインとなる配線である。配線１８３、１８４の端子１８３ｂ、１８４ｂは、ＡＦ駆動部１５と電気的に接続され、ＡＦ駆動部１５への給電は、端子１８３ａ、１８４ａに接続されたＯＩＳ用付勢部材５０を介して行われる。
　このように、第１ステージ１３は、第１ＯＩＳ駆動部３０Ｘ、ＡＦ駆動部１５を駆動するための回路となる配線１８１～１８４を有している。
　第１ステージ１３の内部に配置された配線１８１～１８４のうちの配線１８３、１８４は、Ｘ方向開口部１３３ａ内で露出するように延設された延設部１８３ｃ、１８４ｃを各々有している。延設部１８３ｃ、１８４ｃは、配線１８３、１８４においてＸ方向開口部１３３ａに近接する部分から延設されている。配線１８３、１８４（延設部１８３ｃ、１８４ｃ）が露出されるＸ方向開口部１３３ａは、図１０で説明したＹ方向開口部２１８ａと同様の構成でよい。
　ここでは、一例として、Ｘ方向開口部１３３ａ内で配線の一部（延設部１８３ｃ、１８４ｃ）が露出するよう構成されているが、これに限らず、全てのＸ方向開口部１３３ａ、１３３ｂ内で配線の一部が露出するよう構成してもよい。例えば、配線１８１～１８４の何れか複数に上記の延設部１８３ｃ、１８４ｃと同様の延設部を設けてもよいし、配線１８１～１８４の配置を調整してもよい。
　［第２ステージ］
　第２ステージ１４は、光軸方向から見た平面視において略矩形状を有する部材であり、例えば、液晶ポリマーで形成される。第２ステージ１４は、Ｘ方向基準ボール４２を介して、第１ステージ１３に対して、光軸方向結像側に離間した位置に配置され、第１ステージ１３をＸ方向に移動可能に支持し、第１ステージ１３と共にＹ方向に移動可能である。
　第２ステージ１４の内周面１４１は、ＡＦ可動部１２の外形に対応して形成されている（図１２を参照）。第２ステージ１４において、第１ＯＩＳ駆動部３０Ｘ及び第２ＯＩＳ駆動部３０Ｙが配置される部分（側壁の外側面）は、第１ステージ１３と同様に、径方向内側に凹んで形成されている。第２ＯＩＳ駆動部３０Ｙが配置される部分は、隅部分を切り欠いた部分と一体に形成されている（切欠部１４７ａ）。
　第２ステージ１４は、上面に、ＯＩＳ支持部４０を構成するＸ方向基準ボール４２を保持するＸ方向開口部１４３を有する（図１２を参照）。Ｘ方向開口部１４３については、Ｘ方向開口部１４３に対向して配置される上記のＸ方向開口部１３３ｂと同様の構成でよいので、ここでは、重複する説明は省略する。
　また、第２ステージ１４は、下面に、ＯＩＳ支持部４０を構成するＹ方向基準ボール４１を保持するＹ方向開口部１４４を有する（図１８を参照）。Ｙ方向開口部１４４については、Ｙ方向開口部１４４に対向して配置される上記のＹ方向開口部２１８ｂと同様の構成でよいので、ここでも、重複する説明は省略する。
　また、第２ステージ１４において、Ｙ方向に沿う一方の側壁には、Ｙ位置検出用のマグネット１７Ｙが配置される（図１８を参照）。例えば、マグネット１７ＹはＹ方向に着磁される。センサー基板２２において、マグネット１７Ｙと光軸方向に対向する位置に、Ｙ位置検出用の磁気センサー２２１Ｙが配置される（図６を参照）。
　上述したように、本実施の形態では、Ｘ方向に移動する第１ステージ１３にマグネット１７Ｘを配置し、Ｙ方向に移動する第２ステージ１４にマグネット１７Ｙを配置し、Ｚ方向に移動するＡＦ可動部１２にマグネット１７Ｚを配置している（図１８を参照）。このように、マグネット１７Ｘ、１７Ｙを複数の部材に分散して配置して、特定の１つの部材に配置が集中しないようにしている。そのため、マグネット１７Ｘ、１７Ｙの設置スペースを確保するために、特定の１つの部材、例えば、第２ステージ１４の側壁の一部を切り欠く必要はなく、第２ステージ１４の側壁の一部の肉厚が薄くなることもない。その結果、外部から大きな衝撃が加わったとしても、第２ステージ１４等が変形したりすることはなく、部品の耐久性を向上させることができる。
　また、Ｘ方向のみに移動するときは、第１ステージ１３は移動するが、第２ステージ１４は移動せず、第２ステージ１４に配置したマグネット１７Ｙも移動しない。そのため、マグネット１７ＸによるＸ方向の位置検出の際に、マグネット１７Ｙの影響がなくなり、検出精度を向上させることができる。
　［ＯＩＳ支持部－Ｘ方向］
　第１ステージ１３は、底面に、ＯＩＳ支持部４０を構成するＸ方向基準ボール４２を収容するＸ方向開口部１３３ａ、１３３ｂ（本発明における収容部）を有する（図１９、図２０を参照）。Ｘ方向基準ボール４２は、Ｘ方向開口部１３３ａ、１３３ｂと、Ｚ方向において対向する第２ステージ１４のＸ方向開口部１４３（本発明における収容部）との間に挟持される（図１２、図１８を参照）。
　Ｘ方向開口部１３３ａ、１３３ｂ及びＸ方向開口部１４３は、Ｘ方向に延びる矩形状の開口を有する溝部である。Ｘ方向開口部１３３ａ、１３３ｂ及びＸ方向開口部１４３は、ＹＺ平面における断面形状が、例えば、四角形や逆三角形（Ｖ字状）となるように形成されている。Ｘ方向開口部１３３ａ、１３３ｂ及びＸ方向開口部１４３は、溝部の底面に向かって溝幅が狭くなるようにしてもよく、その場合、ＹＺ平面における断面形状は、逆台形や逆三角形（Ｖ字状）となるようにすればよい。
　本実施の形態において、Ｘ方向開口部１３３ａは、図１０に示すＹ方向開口部２１８ａと同様に、逆台形の断面形状に形成されており、Ｘ方向開口部１３３ａの底部を構成するように、上述した配線１８３、１８４の延設部１８３ｃ、１８４ｃが露出されている。つまり、Ｘ方向開口部１３３ａを形成する収容部形成面（内壁）の一部である底部において、延設部１８３ｃ、１８４ｃがＸ方向基準ボール４２と接触して光軸方向の荷重を受けるように露出されている。この場合、Ｘ方向開口部１３３ａを形成する収容部形成面の底部で露出されている延設部１８３ｃ、１８４ｃは、光軸に直交する平面状であり、Ｘ方向基準ボール４２と１点で当接する。
　Ｘ方向基準ボール４２は、底部が延設部１８３ｃ、１８４ｃからなるＸ方向開口部１３３ａの内側に配置され、Ｚ方向においては、延設部１８３ｃ、１８４ｃと接することになる。配線１８１～１８４は、導電性がある金属から構成されるため、一般的に樹脂材料等から構成される第１ステージ１３より硬質である。そのため、例えば、落下等により光学素子駆動装置１が大きな衝撃を受けても、Ｘ方向基準ボール４２の打痕等による変形は延設部１８３ｃ、１８４ｃには生じにくく、Ｘ方向開口部１３３ａの変形を抑制することができる。
　また、Ｘ方向開口部１３３ａの内壁の一部として、第１ステージ１３の内部に埋設された配線１８３、１８４の延設部１８３ｃ、１８４ｃを利用するので、変形し難い部材を新たに追加することなく、Ｘ方向開口部１３３ａの変形を抑制することができる。
　なお、本実施の形態において、Ｘ方向開口部１３３ｂ、１４３は、ＹＺ平面における断面形状がＶ字状となるように形成されている。ここでは、Ｘ方向開口部１３３ｂは、配線１８１～１８４の一部を露出する構成にしていないが、例えば、Ｘ方向開口部１３３ｂのＶ字断面の少なくとも一方の側面に配線１８１～１８４の一部が露出されるよう構成してもよい。この場合、配線１８１～１８４のうち、Ｘ方向開口部１３３ｂで露出される配線の一部又は全部において、第１ステージ１３の底面側（光軸方向結像側）の面が、第１ステージ１３の底面に対して傾斜するように埋設する。また、配線１８１～１８４のうち、Ｘ方向開口部１３３ｂで露出される配線の一部又は全部をＶ字断面形状に形成して、第１ステージ１３の内部に埋設する。
　また、ここでは、第２ステージ１４が内部に配線を有していないので、Ｘ方向開口部１４３は、配線の一部を露出する構成にしていない。第２ステージ１４が内部に配線を有する構成とする場合には、Ｘ方向開口部１４３は、Ｘ方向開口部１３３ｂと同様に、配線の一部が露出されるよう構成してもよい。
　Ｘ方向開口部１３３ａ、１３３ｂ、１４３により各々形成される溝は、Ｘ方向に平行に形成されている。そのため、Ｘ方向開口部１３３ａ、１３３ｂとＸ方向開口部１４３との間に挟持されるＸ方向基準ボール４２は、溝内において、Ｘ方向に転動可能である。つまり、ＯＩＳ可動部１０（第２ステージ１４）は、Ｘ方向基準ボール４２を介して、第１ステージ１３をＸ方向に移動可能に支持している。
　Ｘ方向開口部１３３ａ、１３３ｂ及びＸ方向開口部１４３は、矩形状の第１ステージ１３及び第２ステージ１４の四隅の部分に配置され、第１ステージ１３は、４個のＸ方向基準ボール４２で、つまり、４点で第２ステージ１４に支持されている。このように、Ｘ方向基準ボール４２は、多点接触で挟持されるので、安定してＸ方向に転動する。
　なお、第１ステージ１３は、少なくとも３点以上で第２ステージ１４に支持されればよい。例えば、３点で支持する場合には、第１ステージ１３及び第２ステージ１４の１つの辺側の２箇所と当該辺に対向する辺側の１箇所の合計３箇所にＸ方向開口部１３３ａ、１３３ｂ及びＸ方向開口部１４３を配置すればよい。
　以上説明したＯＩＳ支持部４０は、ＯＩＳ固定部２０に対して、ＯＩＳ可動部１０を光軸方向に離間した状態で光軸直交方向に揺動可能に支持する。本実施の形態では、ＯＩＳ支持部４０は、ＯＩＳ可動部１０（第２ステージ１４）とベース２１の間に介在する４個のＹ方向基準ボール４１を有する（図６、図７を参照）。また、ＯＩＳ支持部４０は、ＯＩＳ可動部１０において、第１ステージ１３と第２ステージ１４の間に介在する４個のＸ方向基準ボール４２を有する（図１２を参照）。
　本実施の形態では、４個のＹ方向基準ボール４１は、上述したように、Ｙ方向に転動可能であり、転動可能な方向がＹ方向に規制されている。また、４個のＸ方向基準ボール４２は、Ｘ方向に転動可能であり、転動可能な方向がＸ方向に規制されている。このように、Ｙ方向基準ボール４１及びＸ方向基準ボール４２の転動可能な方向を規制することにより、ＯＩＳ可動部１０をＸＹ面内で精度よく揺動できるようになっている。なお、ＯＩＳ支持部４０を構成するＹ方向基準ボール４１及びＸ方向基準ボール４２の数は、適宜変更することができる。
　［ＡＦ駆動部］
　ＡＦ駆動部１５は、ＡＦ可動部１２をＺ方向に移動させるアクチュエーターである。ＡＦ駆動部１５は、ＯＩＳ駆動部３０と同様に、ＡＦ可動部１２を移動させる駆動源となる超音波モーターを有する。ＡＦ駆動部１５の構成を、図１７を参照して説明する。図１７は、ＡＦ駆動部１５の各部材を分解した状態を示す。
　図１７に示すように、ＡＦ駆動部１５は、ＡＦ共振部１５１、ＡＦ圧電素子１５２、ＡＦ電極１５３、ＡＦ動力伝達部１５４及びプレート１５５を有する。ＡＦ駆動部１５の駆動力は、ＡＦ動力伝達部１５４を介して、ＡＦ可動部１２に伝達される。すなわち、ＡＦ駆動部１５において、ＡＦ共振部１５１が能動要素を構成し、ＡＦ動力伝達部１５４が受動要素を構成する。
　ＡＦ共振部１５１は、導電性材料で形成され、ＡＦ圧電素子１５２の振動に共振して、振動運動を直線運動に変換する。ＡＦ共振部１５１は、例えば、金属板のレーザー加工、エッチング加工又はプレス加工等により形成される。
　ＡＦ共振部１５１は、胴部１５１ａ、２つのアーム部１５１ｂ、通電部１５１ｃ、突出部１５１ｄ等を有している。
　ＡＦ共振部１５１において、胴部１５１ａは、ＡＦ圧電素子１５２に挟持される部分である。
　２つのアーム部１５１ｂは、胴部１５１ａの両側部からＺ方向に延在する。２つのアーム部１５１ｂは、対称的な形状を有し、それぞれの自由端部１５１ｅが、プレート１５５を介して、ＡＦ動力伝達部１５４に挟持されるように配置される。２つのアーム部１５１ｂは、ＡＦ圧電素子１５２の振動に共振して対称的に変形する。
　通電部１５１ｃは、胴部１５１ａの中央部からＺ方向に延在し、給電ラインである第１ステージ１３の配線１８３の端子１８３ｂと電気的に接続される。また、通電部１５１ｃには、リベット１５６を挿通する貫通孔１５１ｆが形成されている。
　ここで、第１ステージ１３のＡＦモーター固定部１３５には、リベット１５６を挿通する貫通孔を有するリベット取付部１３５ａが形成されている（図１３、図１４を参照）。リベット１５６は、光学素子駆動装置本体４の外側から内側に向かって、通電部１５１ｃの貫通孔１５１ｆ及びリベット取付部１３５ａの貫通孔に挿通されて、その先端が留め具１５７（図１８を参照）で留められている。リベット１５６及び留め具１５７により、ＡＦ駆動部１５のＡＦ共振部１５１は、ＡＦモーター固定部１３５（第１ステージ１３側）に固定される。
　このように、リベット１５６及び留め具１５７を用いることにより、ＡＦ駆動部１５のＡＦ共振部１５１をＡＦモーター固定部１３５に堅固に固定することができる。そのため、外部から大きな衝撃が加わったとしても、ＡＦ共振部１５１がＡＦモーター固定部１３５から外れたり、ずれたりすることはなく、ＡＦ駆動部１５の信頼性を高めることができる。
　なお、ここでは、リベット１５６及び留め具１５７を用いて、ＡＦ駆動部１５のＡＦ共振部１５１をＡＦモーター固定部１３５に固定したが、他の部材、例えば、樹脂系の接着剤等の固着材料を用いて固定してもよい。
　突出部１５１ｄは、胴部１５１ａの中央部から通電部１５１ｃとは反対側に延在する。突出部１５１ｄは、下部固定板１３５ｂに設けられた挿入穴（符号省略）に挿入され、例えば、接着により固定される。
　ＡＦ圧電素子１５２は、例えば、セラミック材料で形成された板状素子であり、高周波電圧を印加することにより振動を発生する。２枚のＡＦ圧電素子１５２は、ＡＦ共振部１５１の胴部１５１ａを挟み込むように、張り合わされて配置されている。
　ＡＦ電極１５３は、ＡＦ共振部１５１の胴部１５１ａを間に挟む２つのＡＦ圧電素子１５２を挟持するように配置されている。
　このように、ＡＦ共振部１５１の胴部１５１ａに２つのＡＦ圧電素子１５２が貼り合わされ、ＡＦ電極１５３により挟持されることにより、これらは互いに電気的に接続される。ＡＦ共振部１５１の通電部１５１ｃが第１ステージ１３の配線１８３の端子１８３ｂに接続され、ＡＦ電極１５３が第１ステージ１３の配線１８４の端子１８４ｂに接続されることで、ＡＦ圧電素子１５２に電圧が印加され、振動が発生する。
　ＡＦ共振部１５１は、ＯＩＳ共振部３１と同様に、少なくとも２つの共振周波数を有し、それぞれの共振周波数に対して、異なる挙動で変形する。言い換えると、ＡＦ共振部１５１は、２つの共振周波数に対して異なる挙動で変形するように、全体の形状が設定されている。異なる挙動とは、ＡＦ動力伝達部１５４をＺ方向に前進させる挙動と、後退させる挙動である。従って、ＡＦ共振部１５１を所望の共振周波数で振動させることにより、ＡＦ動力伝達部１５４をＺ方向に前進又は後退させることができる。
　ＡＦ動力伝達部１５４は、Ｚ方向に所定の長さを有するチャッキングガイドである。ＡＦ動力伝達部１５４は、ＡＦ共振部１５１のアーム部１５１ｂに向けて、プレート１５５を付勢する部材である。ＡＦ動力伝達部１５４の構造は適宜に変更可能であるが、ここでは、一例として、ＡＦ動力伝達部１５４は、一対の側壁部１５４ａ、一対の板バネ部１５４ｂ、連結部１５４ｃ、取付部１５４ｄ、一対の取付孔１５４ｅ等を有する。
　一対の側壁部１５４ａは、Ｘ方向において互いに対向し、各々、Ｙ方向－側に延在すると共にＺ方向下側（－側）に延在する。一対の板バネ部１５４ｂは、側壁部１５４ａのＺ方向下側の端部をヘアピン状に内側に折り返し、アーム部１５１ｂに対してプレート１５５を同じ付勢力で内側に押し付けるように、Ｚ方向に対して傾斜して形成されている。連結部１５４ｃは、Ｘ方向に延在し、Ｚ方向上側の端部において、一対の側壁部１５４ａの間を連結する。取付部１５４ｄは、レンズ収容部１２１の外周面に沿って、連結部１５４ｃからＺ方向下側に延在する。取付孔１５４ｅは、取付部１５４ｄに設けられ、Ｙ方向に貫通する孔である。
　ＡＦ共振部１５１のアーム部１５１ｂは、プレート１５５を介して、板バネ部１５４ｂを押し拡げるように当接して、ＡＦ駆動部１５の駆動力がＡＦ可動部１２に伝達される。ＡＦ動力伝達部１５４の板バネ部１５４ｂは、２つのアーム部１５１ｂが当接されたときに、板バネとして機能するので、ＡＦ共振部１５１の変形によって生じる駆動力が効率よく伝達される。ＡＦ動力伝達部１５４の板バネ部１５４ｂにより、ＡＦ駆動部１５のアーム部１５１ｂを押し返す方向に付勢力が働くので、ＡＦ共振部１５１の変形によって生じる駆動力が、ＡＦ動力伝達部１５４に、より効率よく伝達される。
　本実施の形態では、ＡＦ動力伝達部１５４は、ＡＦ可動部１２と別部材で構成されている。ＡＦ動力伝達部１５４は、例えば、平面視で略Ｕ字形状を有し、側壁部１５４ａがＸ方向に対向した状態で、取付部１５４ｄがレンズ収容部１２１の外周面に固定される。具体的には、駆動部収容部１２４に設けられた突起部１２４ａに取付部１５４ｄの取付孔１５４ｅが挿入されると共に、側壁部１５４ａがプレート収容部１２５、１２６の凹部１２５ｂ、１２６ｂに配置される。これにより、ＡＦ動力伝達部１５４は、レンズ収容部１２１の外周面に、つまり、ＡＦ可動部１２に固定される。
　ＡＦ動力伝達部１５４は、例えば、チタン銅、ニッケル銅、ステンレス等の金属材料で形成される。なお、ＡＦ動力伝達部１５４は、ＡＦ可動部１２と一体的に成形されてもよい。
　プレート１５５は、ＡＦ共振部１５１のアーム部１５１ｂとＡＦ動力伝達部１５４の板バネ部１５４ｂとの間に介在するよう配置される。ＡＦ共振部１５１からの駆動力は、２つのプレート１５５を介して、ＡＦ動力伝達部１５４（ＡＦ可動部１２側）に伝達される。つまり、２つのプレート１５５は、ＡＦ動力伝達部１５４と共に、ＡＦ駆動部１５の受動要素として機能する。
　プレート１５５は、例えば、チタン銅、ニッケル銅、ステンレス等の金属材料からなる硬質の板状部材である。プレート１５５は、主面がＡＦ共振部１５１のアーム部１５１ｂと当接するように、移動方向（Ｚ方向）に沿ってＡＦ可動部１２の駆動部収容部１２４に配置され、ＡＦ可動部１２と一体的に移動可能となっている。
　プレート１５５は、他の部材には接着されずに、ＡＦ可動部１２のプレート収容部１２５、１２６に収容されている。具体的には、プレート１５５は、Ｚ方向においては、プレート収容部１２５、１２６の底部（図示省略）とＡＦ動力伝達部１５４の連結部１５４ｃとの間に配置されて、収容されている。プレート１５５は、Ｙ方向においては、対向面１２５ａ、１２６ａのＹ方向内側（図１６中の奥側）に形成されたガイド溝（図示省略）と駆動部収容部１２４におけるレンズ収容部１２１の外周面に形成された切欠部１２４ｂとの間に配置されて、収容されている。このようにして、プレート１５５は、収容されるプレート収容部１２５、１２６内において、Ｚ方向及びＹ方向には物理的に係止されている。
　一方、プレート１５５は、収容されるプレート収容部１２５、１２６内において、Ｘ方向には、プレート１５５に当接する板バネ部１５４ｂの当接部分（自由端部１５１ｅ）の振動や変位に追従できるように、移動可能に配置されている。
　以上説明したように、ＡＦ駆動部１５は、電圧印加により振動を発生するＡＦ圧電素子１５２と、ＡＦ圧電素子１５２の振動に共振して変形する２つのアーム部１５１ｂとを有し、２つのアーム部１５１ｂは、ＡＦ圧電素子１５２の振動を直線運動に変換する。ＡＦ駆動部１５において、２つのアーム部１５１ｂを有するＡＦ共振部１５１は、能動要素として機能する。
　また、ＡＦ駆動部１５は、移動方向（Ｚ方向）に沿って駆動部収容部１２４に配置され、２つのアーム部１５１ｂに当接し、アーム部１５１ｂの駆動力を受けて、ＡＦ共振部１５１に対して相対的に移動する２つのプレート１５５を有する。ＡＦ駆動部１５において、２つのプレート１５５は、受動要素として機能する。
　また、ＡＦ駆動部１５は、２つのアーム部１５１ｂに向けて、２つのプレート１５５を付勢する２つの板バネ部１５４ｂを有する。ＡＦ駆動部１５において、２つの板バネ部１５４ｂを有するＡＦ動力伝達部１５４は、付勢部材として機能する。
　ＡＦ動力伝達部１５４の板バネ部１５４ｂは、プレート１５５を介して、アーム部１５１ｂに付勢力を付与している。このため、ＡＦ可動部１２が光軸方向に移動しても、つまり、プレート１５５に当接するアーム部１５１ｂの位置が移動しても、能動要素であるＡＦ共振部１５１のアーム部１５１ｂと受動要素であるプレート１５５との付勢状態（付勢荷重）は変動しない。従って、ＡＦ共振部１５１からの駆動力を、プレート１５５を介して、ＡＦ動力伝達部１５４（ＡＦ可動部１２側）に安定的に伝達することができる。
　また、ＡＦ共振部１５１からＡＦ可動部１２への動力伝達経路が比較的短いので、ＡＦ共振部１５１からＡＦ可動部１２への動力伝達効率を向上させることができる。
　板バネ部１５４ｂを有するＡＦ動力伝達部１５４とプレート１５５とを別部材とすることで、それぞれに適した材料を用いることができる。例えば、プレート１５５については、剛性の高い材料を用いることができ、この場合、ＡＦ駆動部１５のアーム部１５１ｂの駆動力をＡＦ動力伝達部１５４（ＡＦ可動部１２側）に効率よく伝達することができる。
　また、プレート１５５は、表面が平坦であるため、任意の表面処理を適切に行うことができる。例えば、表面に、ダイヤモンドライクカーボン（ＤＬＣ）やセラミック等のコーティング層を形成した場合、耐摩耗性が格段に向上する。
　また、ＡＦ共振部１５１（能動要素）及び２つのプレート１５５（受動要素）は、ＡＦ動力伝達部１５４の２つの板バネ部１５４ｂによって挟持されている。これにより、２つの板バネ部１５４ｂによる付勢力が釣り合った状態で、ＡＦ共振部１５１及び２つのプレート１５５が挟持されるので、２つのプレート１５５に対して均一な付勢力を容易に作用させることができる。
　なお、上述したＡＦ駆動部１５の構造は、ＯＩＳ駆動部３０にも適用することができる。例えば、ＯＩＳ駆動部３０のＯＩＳ動力伝達部３４に代えて、ＡＦ動力伝達部１５４及びプレート１５５の組合せを適用することで、ロングストロークにも容易に対応でき、動作の安定性が向上する。
　［ＡＦ支持部］
　第１ステージ１３は、図１３及び図１４に示すように、ＡＦ支持部１６を構成する第１Ｚ方向基準ボール１６Ａ、第２Ｚ方向基準ボール１６Ｂを保持する第１Ｚ方向保持部１３６ａ、第２Ｚ方向保持部１３６ｂを有する。
　第１ステージ１３には、上述したように、ＡＦ可動部１２の駆動部収容部１２４及び一対のプレート収容部１２５、１２６を収容するＡＦモーター固定部１３５が形成されている。第１Ｚ方向保持部１３６ａ及び第２Ｚ方向保持部１３６ｂは、ＡＦモーター固定部１３５のＸ方向の両端部に形成されている。
　第１Ｚ方向保持部１３６ａは、Ｘ方向＋側に向かって形成された溝であり、光軸直交面（ＸＹ平面）に沿う断面形状が、溝底に向かって溝幅が狭くなる略Ｖ字状（テーパー形状）に形成されている（図５、図１３、図１４を参照）。第１Ｚ方向保持部１３６ａには、第１Ｚ方向基準ボール１６Ａが配置される。
　また、第２Ｚ方向保持部１３６ｂは、Ｘ方向に対して傾斜して、Ｘ方向－側に向かって形成された溝であり、光軸直交面に沿う断面形状が略Ｕ字状に形成されている（図５、図１３、図１４を参照）。第２Ｚ方向保持部１３６ｂには、第２Ｚ方向基準ボール１６Ｂと共に、第２Ｚ方向基準ボール１６Ｂを介して、ＡＦ可動部１２を付勢するための付勢部１９が配置される。
　上述したように、ＡＦ可動部１２は、プレート収容部１２５、１２６を有している。プレート収容部１２５のＸ方向＋側には、第１Ｚ方向基準ボール１６Ａを保持する第１Ｚ方向保持部１２５ｃが形成されている（図１６を参照）。第１Ｚ方向保持部１２５ｃは、Ｘ方向－側に向かって形成された溝であり、光軸直交面（ＸＹ平面）に沿う断面形状が、溝底に向かって溝幅が狭くなる略Ｖ字状（テーパー形状）に形成されている。
　同様に、プレート収容部１２６のＸ方向－側には、第２Ｚ方向基準ボール１６Ｂを保持する第２Ｚ方向保持部１２６ｃが形成されている（図１６を参照）。第２Ｚ方向保持部１２６ｃは、Ｘ方向＋側に向かって形成された溝であり、光軸直交面（ＸＹ平面）に沿う断面形状が、溝底に向かって溝幅が狭くなる略Ｖ字状（テーパー形状）に形成されている。
　ここで、付勢部１９について、図２１～図２３を参照して説明する。図２１は、ＡＦ可動部１２を付勢する付勢部１９を示す斜視図である。図２２は、第１ステージ１３とＡＦ可動部１２との間に配置される付勢部１９を説明するための断面図である。図２３は、付勢部１９の板バネ１９１の斜視図である。
　付勢部１９は、例えば、金属材料で形成される付勢部材である板バネ１９１と、摩擦係数が小さいセラミック材料で形成されるスペーサー１９２と、を有する。第１ステージ１３側に板バネ１９１が配置され、ＡＦ可動部１２側にスペーサー１９２が配置される。
　板バネ１９１は、Ｚ方向において、スペーサー１９２と複数箇所で当接するよう構成されている。具体的には、板バネ１９１は、図２３に示すように、基部１９１ａ、第１弾性変形部１９１ｂ、第１当接部１９１ｃ、第１折り曲げ部１９１ｄ、第２弾性変形部１９１ｅ、第２当接部１９１ｆ、第２折り曲げ部１９１ｇ、規制部１９１ｈを有している。図２３に示す板バネ１９１は、たとえば、一枚の板金に打ち抜き加工や曲げ加工を行うことで形成可能である。
　基部１９１ａは、第２Ｚ方向保持部１３６ｂの内壁に接する矩形の板状部材であり、第１弾性変形部１９１ｂ及び第２弾性変形部１９１ｅを弾性変形可能に支持する。第１弾性変形部１９１ｂは、基部１９１ａに対して弾性変形する部分であり、基部１９１ａの上端側からＺ方向－側かつＸ方向＋側へ延在するように折り曲げて形成した台形の板状部材である。第１弾性変形部１９１ｂは、２つの第２弾性変形部１９１ｅが形成する開口部１９１ｉを挿通するように配置されている。
　第１当接部１９１ｃは、第１弾性変形部１９１ｂの下端側において、つまり、Ｚ方向－側において、スペーサー１９２と当接する部分である。第１折り曲げ部１９１ｄは、第１弾性変形部１９１ｂの下端側からＺ方向－側かつＸ方向－側に折り曲げて形成した三角形の板状部材である。第１折り曲げ部１９１ｄを形成することで、第１当接部１９１ｃは、Ｘ方向＋側に突出して、スペーサー１９２と当接することになる。
　第２弾性変形部１９１ｅは、基部１９１ａに対して弾性変形する部分であり、基部１９１ａの下端側からＺ方向＋側かつＸ方向＋側へ延在するように折り曲げて形成した２つの台形の板状部材である。２つの第２弾性変形部１９１ｅ及び第２折り曲げ部１９１ｇに囲まれる部分が開口部１９１ｉとなっている。
　第２当接部１９１ｆは、２つの第２弾性変形部１９１ｅの上端側において、つまり、Ｚ方向＋側において、スペーサー１９２と当接する部分である。第２折り曲げ部１９１ｇは、２つの第２弾性変形部１９１ｅを接続するように、２つの第２弾性変形部１９１ｅの上端側からＺ方向＋側かつＸ方向－側に折り曲げて形成した矩形の板状部材である。第２折り曲げ部１９１ｇを形成することで、第２当接部１９１ｆは、Ｘ方向＋側に突出して、スペーサー１９２と当接することになる。
　規制部１９１ｈは、第２折り曲げ部１９１ｇの上端側からＸ方向＋側に折り曲げて形成した矩形の板状部材である。規制部１９１ｈは、スペーサー１９２の上方側（Ｚ方向＋側）への動きを規制して、第１当接部１９１ｃ及び第２当接部１９１ｆがスペーサー１９２へ安定して当接するようにしている。
　以上のように、板バネ１９１は、Ｚ方向において、スペーサー１９２と複数箇所で当接する第１当接部１９１ｃ及び第２当接部１９１ｆを有する。そのため、ＡＦ可動部１２がＺ方向のどの位置に移動しても、スペーサー１９２（ＡＦ可動部１２側）に対する板バネ１９１の付勢力が変化することはなく、一定の付勢力を付与することができる。この結果、ＡＦ可動部１２のＺ方向に対するチルトを抑制することができる。
　また、板バネ１９１と第２Ｚ方向基準ボール１６Ｂとの間にセラミック製のスペーサー１９２を介在させることにより、第２Ｚ方向基準ボール１６Ｂを滑らかに転動させることができ、耐久性も向上する。なお、スペーサー１９２の材質は、第２Ｚ方向基準ボール１６Ｂを滑らかに転動させることができるものであればよく、摩擦係数が小さいセラミック材料に限らず、例えば、銅合金やステンレスなど適度な摩擦係数を有する材料でもよい。
　第２Ｚ方向保持部１３６ｂは、Ｘ方向に対して傾斜して形成されており、第２Ｚ方向保持部１３６ｂに収容される付勢部１９は、Ｘ方向に対して傾斜して、第２Ｚ方向基準ボール１６Ｂを付勢する。これにより、ＡＦ可動部１２は、第２Ｚ方向基準ボール１６Ｂを介して、直交する２方向であるＸ方向及びＹ方向に押し付けられ、光軸直交面内において安定した姿勢で保持される。
　Ｘ方向に対する第２Ｚ方向保持部１３６ｂの傾斜角θや板バネ１９１の予圧Ｆは、ＡＦ可動部１２の光軸周りの回転が規制されるように設定される。傾斜角θは、例えば、０°～４５°（０°を除く）であり、傾斜角θを大きくすると、予圧Ｆを小さくすることができ、予圧Ｆを大きくすると、傾斜角θを小さくすることができる。
　第１Ｚ方向基準ボール１６Ａは、ＡＦ可動部１２のプレート収容部１２５の第１Ｚ方向保持部１２５ｃと第１ステージ１３の第１Ｚ方向保持部１３６ａとの間に転動可能に保持される。また、第２Ｚ方向基準ボール１６Ｂは、ＡＦ可動部１２のプレート収容部１２６の第２Ｚ方向保持部１２６ｃと第１ステージ１３の第２Ｚ方向保持部１３６ｂに配置されたスペーサー１９２との間に転動可能に保持される。
　ＡＦ可動部１２は、第１Ｚ方向基準ボール１６Ａ及び第２Ｚ方向基準ボール１６Ｂを介して、付勢された状態で第１ステージ１３に支持され、安定した姿勢で保持される。第２Ｚ方向基準ボール１６Ｂは、予圧ボールとしても機能している。
　第１Ｚ方向基準ボール１６Ａは、ＡＦ可動部１２と第１ステージ１３によって挟持され、光軸直交方向における移動（ＡＦ可動部１２の回転）が規制されている。これにより、ＡＦ可動部１２を、光軸方向に安定した挙動で移動させることができる。
　一方、第２Ｚ方向基準ボール１６Ｂは、板バネ１９１及びスペーサー１９２を介して、ＡＦ可動部１２と第１ステージ１３によって挟持され、光軸直交方向における移動が許容されている。これにより、ＡＦ可動部１２及び第１ステージ１３の寸法公差を吸収できると共に、ＡＦ可動部１２が移動する際の安定性が向上する。
　また、第１Ｚ方向基準ボール１６Ａ及び第２Ｚ方向基準ボール１６Ｂは、それぞれ、２個のボールで構成されている。第１Ｚ方向基準ボール１６Ａ及び第２Ｚ方向基準ボール１６Ｂを、それぞれ、３個以上のボールで構成する場合と比較して、２個のボールで構成する場合は、ボールの直径を大きくすることができ、ボールの転がり抵抗を小さくすることができる。
　ここでは、ＡＦ駆動部１５が配置されている部分であるＡＦ可動部１２のプレート収容部１２５、１２６を、第１Ｚ方向基準ボール１６Ａ及び第２Ｚ方向基準ボール１６Ｂで挟み込み、第２Ｚ方向基準ボール１６Ｂに予圧を与える構成となっている。すなわち、第１ステージ１３に対してＡＦ可動部１２を１箇所で支持する構成となっている。
　これにより、ＡＦ駆動部１５の駆動力を受ける力点（ＡＦ共振部１５１とプレート１５５との当接点）から回転軸（第１Ｚ方向基準ボール１６Ａの中心）までの距離を小さくしやすく、モーメントを減少させて予圧を小さくすることができる。また、第２Ｚ方向基準ボール１６Ｂが予圧ボールとして機能し、これ以外の予圧ボールはないので、転がり抵抗を小さくすることができる。従って、ＡＦ駆動部１５の駆動効率が向上し、大口径レンズ用のレンズ駆動装置としても好適なものとなる。また、予圧が同じであれば、チルト耐性が向上することになる。
　［光学素子駆動装置の動作］
　光学素子駆動装置１において、ＡＦ駆動部１５に電圧を印加すると、ＡＦ圧電素子１５２が振動し、ＡＦ共振部１５１が周波数に応じた挙動で変形する。ＡＦ駆動部１５の駆動力により、ＡＦ動力伝達部１５４がＺ方向に摺動される。これに伴い、ＡＦ可動部１２がＺ方向に移動し、ピント合わせが行われる。ＡＦ支持部１６がボールで構成されているので、ＡＦ可動部１２はＺ方向にスムーズに移動することができる。また、ＡＦ駆動部１５とＡＦ動力伝達部１５４は、付勢された状態で当接しているだけなので、当接部分をＺ方向に大きくするだけで、光学素子駆動装置１の低背化を損なうことなく、ＡＦ可動部１２の移動ストロークを容易に長くすることができる。
　また、光学素子駆動装置１において、ＯＩＳ駆動部３０に電圧を印加すると、ＯＩＳ圧電素子３２が振動し、ＯＩＳ共振部３１が周波数に応じた挙動で変形する。ＯＩＳ駆動部３０の駆動力により、ＯＩＳ動力伝達部３４がＸ方向又はＹ方向に摺動される。これに伴い、ＯＩＳ可動部１０がＸ方向又はＹ方向に移動し、振れ補正が行われる。ＯＩＳ支持部４０がボールで構成されているので、ＯＩＳ可動部１０はＸ方向又はＹ方向にスムーズに移動することができる。
　具体的には、第１ＯＩＳ駆動部３０Ｘが駆動され、ＯＩＳ動力伝達部３４がＸ方向に移動する場合、第１ＯＩＳ駆動部３０Ｘが配置されている第１ステージ１３から第２ステージ１４に動力が伝達される。このとき、第２ステージ１４とベース２１とで挟持されているＹ方向基準ボール４１は、Ｘ方向に転動できないので、ベース２１に対する第２ステージ１４のＸ方向の位置は維持される。一方、第１ステージ１３と第２ステージ１４とで挟持されているＸ方向基準ボール４２は、Ｘ方向に転動できるので、第２ステージ１４に対して第１ステージ１３がＸ方向に移動する。つまり、第２ステージ１４がＯＩＳ機能の固定体となり、第１ステージ１３がＯＩＳ機能の可動体となる。
　また、第２ＯＩＳ駆動部３０Ｙが駆動され、ＯＩＳ動力伝達部３４がＹ方向に移動する場合、第２ＯＩＳ駆動部３０Ｙが配置されているベース２１から第２ステージ１４に動力が伝達される。このとき、第１ステージ１３と第２ステージ１４とで挟持されているＸ方向基準ボール４２は、Ｙ方向に転動できないので、第２ステージに対する第１ステージ１３のＹ方向の位置は維持される。一方、第２ステージ１４とベース２１とで挟持されているＹ方向基準ボール４１は、Ｙ方向に転動できるので、ベース２１に対して第２ステージ１４がＹ方向に移動する。第１ステージ１３も第２ステージ１４に追従してＹ方向に移動することになる。つまり、ベース２１がＯＩＳ機能の固定体となり、第１ステージ１３を含むＡＦ部１１及び第２ステージ１４がＯＩＳ機能の可動体となる。
　このようにして、ＯＩＳ可動部１０がＸＹ平面内で揺動し、振れ補正が行われる。具体的には、カメラモジュールＡの角度振れが相殺されるように、振れ検出部（例えば、ジャイロセンサー）からの角度振れを示す検出信号に基づいて、第１ＯＩＳ駆動部３０Ｘ、第２ＯＩＳ駆動部３０Ｙへの通電電圧が制御される。このとき、マグネット１７Ｘ、１７Ｙ及び磁気センサー２２１Ｘ、２２１Ｙで構成されるＸＹ位置検出部の検出結果をフィードバックすることで、ＯＩＳ可動部１０の並進移動を正確に制御することができる。
　本実施の形態の光学素子駆動装置１によれば、ＯＩＳ駆動部３０と共に、ＡＦ駆動部１５が超音波モーターで構成されているので、外部磁気の影響を低減できると共に、小型化及び低背化を図ることができる。
　スマートフォンＭのように、光学素子駆動装置１を有するカメラモジュールＡを近接して配置しても磁気的な影響はないので、デュアルカメラ用として極めて好適である。
　また、ＡＦ駆動部１５のアーム部１５１ｂが光軸方向に延在してＡＦ動力伝達部１５４により挟持されており、ＡＦ駆動部１５の駆動力がＡＦ可動部１２に最大限に伝達されるので、ＡＦ可動部１２を移動させる駆動力を効率よく得ることができる。その上、ＡＦ駆動部１５とＡＦ支持部１６の位置を近づけることで、支持位置に対する回転モーメントが抑制されるので、ＡＦ可動部１２の移動動作が安定する。従って、光学素子駆動装置１の駆動性能が格段に向上する。
　［他の実施の形態］
　本発明は上記実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で変更可能である。
　例えば、上記実施の形態では、スマートフォンＭを例に挙げて説明したが、本発明は、カメラモジュールとカメラモジュールで得られた画像情報を処理する画像処理部とを有するカメラ搭載装置に適用できる。カメラ搭載装置は、情報機器及び輸送機器を含む。情報機器は、例えば、カメラ付き携帯電話機、ノート型パソコン、タブレット端末、携帯型ゲーム機、ｗｅｂカメラ、カメラ付き車載装置（例えば、バックモニター装置、ドライブレコーダー装置）を含む。また、輸送機器は、例えば、自動車を含む。
　図２４Ａ、図２４Ｂは、車載用カメラモジュールＶＣ（Vehicle Camera）を搭載するカメラ搭載装置としての自動車Ｖを示す図である。図２４Ａは自動車Ｖの正面図であり、図２４Ｂは自動車Ｖの後方斜視図である。自動車Ｖは、車載用カメラモジュールＶＣとして、上記実施の形態で説明したカメラモジュールＡを搭載する。図２４Ａ、図２４Ｂに示すように、車載用カメラモジュールＶＣは、例えば、前方に向けてフロントガラスに取り付けられたり、後方に向けてリアゲートに取り付けられたりする。この車載用カメラモジュールＶＣは、バックモニター用、ドライブレコーダー用、衝突回避制御用、自動運転制御用等として使用される。
　また、上記実施の形態では、ＡＦ可動部１２及び第１ステージ１３の両方に第１Ｚ方向基準ボール１６Ａ及び第２Ｚ方向基準ボール１６Ｂを保持する保持部が設けられている。これに限らず、第１Ｚ方向基準ボール１６Ａ及び第２Ｚ方向基準ボール１６Ｂを保持する保持部は、ＡＦ可動部１２及び第１ステージ１３のいずれか一方に設けられてもよい。
　また、上記実施の形態では、第１Ｚ方向基準ボール１６Ａ及び第２Ｚ方向基準ボール１６Ｂは、ＡＦ駆動部１５を基準として、周方向に対称的に配置されているが、非対称的に配置されてもよい。この場合、ＡＦ可動部１２の移動動作を安定させるためには、第１Ｚ方向基準ボール１６ＡがＡＦ駆動部１５側となるようにするのが好ましい。
　また、上記実施の形態では、ＡＦ駆動部１５がＸ方向に沿って配置されているが、ＡＦ駆動部１５の配置態様はこれに限定されず、例えば、Ｙ方向に沿って配置されてもよいし、Ｘ方向及びＹ方向に対して傾斜して配置されてもよい。
　また、上記実施の形態では、光学素子としてレンズ部２を駆動する光学素子駆動装置１について説明したが、駆動対象となる光学素子は、ミラーやプリズム等のレンズ以外の光学素子であってもよい。
　また、本発明は、オートフォーカスだけでなく、ズーム等、可動部を光軸方向に移動させる場合に適用することができる。さらに、ＡＦ駆動部１５やＯＩＳ駆動部３０は、駆動源が超音波モーターで構成されている場合に限らず、超音波モーター以外の駆動源（例えば、ボイスコイルモーター（ＶＣＭ）を備える光学素子駆動装置にも適用することができる。
　今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
　２０２１年１０月１２日出願の特願２０２１－１６７３４３の日本出願に含まれる明細書、図面および要約書の開示内容は、すべて本願に援用される。
　本発明に係る光学素子駆動装置及びカメラモジュールは、例えば、スマートフォン、携帯電話機、デジタルカメラ、ノート型パソコン、タブレット端末、携帯型ゲーム機、車載カメラ等のカメラ搭載装置に搭載して、有用なものである。
　１　光学素子駆動装置
　２　レンズ部（光学素子の一例）
　３　カバー
　４　光学素子駆動装置本体
　５　撮像部
　１０　ＯＩＳ可動部（可動側部材の一例）
　１１　ＡＦ部
　１２　ＡＦ可動部
　１３　第１ステージ（第１可動部の一例）
　１４　第２ステージ（第２可動部の一例）
　１５　ＡＦ駆動部
　１６　ＡＦ支持部
　１６Ａ　第１Ｚ方向基準ボール
　１６Ｂ　第２Ｚ方向基準ボール
　１７Ｘ、１７Ｙ、１７Ｚ　マグネット
　１９　付勢部
　２０　ＯＩＳ固定部（固定側部材、固定部の一例）
　２１　ベース
　２２　センサー基板
　２４　壁部
　３０　ＯＩＳ駆動部（駆動部の一例）
　３０Ｘ　第１ＯＩＳ駆動部
　３０Ｙ　第２ＯＩＳ駆動部
　３１　ＯＩＳ共振部
　３２　ＯＩＳ圧電素子
　３４　ＯＩＳ動力伝達部
　３９　樹脂部材
　４０　ＯＩＳ支持部（支持部の一例）
　４１　Ｙ方向基準ボール（転動部材の一例）
　４２　Ｘ方向基準ボール（転動部材の一例）
　５０　ＯＩＳ用付勢部材
　１２１　レンズ収容部
　１２２　フランジ部
　１２３、１２３ａ　突出部
　１２４　駆動部収容部
　１２４ａ　突起部
　１２４ｂ　切欠部
　１２５、１２６　プレート収容部
　１２５ａ、１２６ａ　対向面
　１２５ｂ、１２６ｂ　凹部
　１２５ｃ　第１Ｚ方向保持部
　１２６ｃ　第２Ｚ方向保持部
　１３１　開口
　１３１ａ　フランジ受部
　１３２　案内溝
　１３３ａ、１３３ｂ　Ｘ方向開口部（収容部の一例）
　１３４　ＯＩＳモーター固定部
　１３４ａ　リベット取付部
　１３５　ＡＦモーター固定部
　１３５ａ　リベット取付部
　１３５ｂ　下部固定板
　１３６ａ　第１Ｚ方向保持部
　１３６ｂ　第２Ｚ方向保持部
　１３７、１３７ａ　切欠部
　１４１　内周面
　１４３　Ｘ方向開口部（収容部の一例）
　１４４　Ｙ方向開口部（収容部の一例）
　１４５Ｘ、１４５Ｙ　ＯＩＳチャッキングガイド固定部
　１４７、１４７ａ　切欠部
　１５１　ＡＦ共振部
　１５１ａ　胴部
　１５１ｂ　アーム部
　１５１ｃ　通電部
　１５１ｄ　突出部
　１５１ｅ　自由端部
　１５１ｆ　貫通孔
　１５２　ＡＦ圧電素子
　１５３　ＡＦ電極
　１５４　ＡＦ動力伝達部
　１５４ａ　側壁部
　１５４ｂ　板バネ部
　１５４ｃ　連結部
　１５４ｄ　取付部
　１５４ｅ　取付孔
　１５５　プレート
　１５６　リベット
　１５７　留め具
　１８１～１８４　配線（配線の一例）
　１８１ａ～１８４ａ　端子
　１８１ｂ～１８４ｂ　端子
　１８３ｃ、１８４ｃ　延設部
　１９１　板バネ
　１９１ａ　基部
　１９１ｂ　第１弾性変形部
　１９１ｃ　第１当接部
　１９１ｄ　曲げ部
　１９１ｅ　第２弾性変形部
　１９１ｆ　第２当接部
　１９１ｇ　曲げ部
　１９１ｈ　規制部
　１９１ｉ　開口部
　１９２　スペーサー
　２１１　開口
　２１２　第１ベース部
　２１３ａ、２１３ｂ　第２ベース部
　２１４～２１７　開口部
　２１８ａ、２１８ｂ　Ｙ方向開口部（収容部の一例）
　２１９　ＯＩＳモーター固定部
　２１９ａ　リベット取付部
　２２１Ｘ、２２１Ｙ、２２１Ｚ　磁気センサー
　２３１～２３７　配線（配線の一例）
　２３１ａ～２３７ａ　端子
　２３１ｂ～２３７ｂ　端子
　２３２ｃ、２３３ｃ　延設部
　３０１、４０１　開口
　３０２　開口面
　３０３　内壁
　３１１　胴部
　３１２　アーム部
　３１３　突出部
　３１３ａ　貫通孔
　３１４　通電部
　３４１　ＯＩＳモーター当接部
　３４２　連結部
　３４３　ステージ固定部
　３４４　離隔部
　５０１　イメージセンサー基板
　５０２　撮像素子
　５０３　制御部
　Ａ　カメラモジュール
　Ｍ　スマートフォン（カメラ搭載装置の一例）

Claims (7)

  1. 　光学素子を保持した状態で駆動部の駆動により光軸直交方向に移動する可動側部材と、
    　前記可動側部材に対して光軸方向に離間した位置に配置され、転動部材を介して前記可動側部材を前記光軸直交方向に移動可能に支持する固定側部材と、
    　前記可動側部材及び前記固定側部材の少なくとも一方に埋設され、前記駆動部に電気的に接続される配線と、
    　を備え、
    　前記可動側部材及び前記固定側部材は、前記転動部材の収容部を形成する収容部形成面を有し、
    　前記収容部形成面の一部において、前記配線が前記転動部材と接触するように露出されている、
    　光学素子駆動装置。
  2. 　前記収容部形成面の一部において露出されている前記配線は、光軸に直交する平面状であり、前記転動部材と１点で当接する、
    　請求項１に記載の光学素子駆動装置。
  3. 　前記可動側部材は、前記光学素子を保持した状態で前記光軸直交方向のうちの第１方向に移動可能な第１可動部と、前記第１可動部を前記第１方向に移動可能に支持し、前記光軸直交方向のうちの前記第１方向に直交する第２方向に前記第１可動部と共に移動可能な第２可動部とを含み、
    　前記固定側部材は、前記第２可動部に対して前記光軸方向に離間した位置に配置され、前記転動部材を介して前記第２可動部を前記第２方向に移動可能に支持し、
    　前記配線は、前記固定側部材に埋設されている、
    　請求項１又は２に記載の光学素子駆動装置。
  4. 　前記可動側部材は、前記光学素子を保持した状態で前記光軸直交方向のうちの第１方向に移動可能な第１可動部を含み、
    　前記固定側部材は、前記第１可動部に対して前記光軸方向に離間した位置に配置され、前記転動部材により前記第１可動部を前記第１方向に移動可能に支持し、前記光軸直交方向のうちの前記第１方向に直交する第２方向に前記第１可動部と共に移動可能な第２可動部とを含み、
    　前記配線は、前記第１可動部に埋設されている、
    　請求項１又は２に記載の光学素子駆動装置。
  5. 　光学素子を保持した状態で光軸直交方向のうちの第１方向に移動可能な第１可動部と、
    　前記第１可動部に対して光軸方向に離間した位置に配置され、転動部材により前記第１可動部を前記第１方向に移動可能に支持し、前記光軸直交方向のうちの前記第１方向に直交する第２方向に前記第１可動部と共に移動可能な第２可動部と、
    　前記第２可動部に対して前記光軸方向に離間した位置に配置され、転動部材により前記第２可動部を前記第２方向に移動可能に支持する固定部と、
    　前記第２可動部に対して前記第１可動部を前記第１方向に、前記固定部に対して前記第２可動部を前記第２方向に、それぞれ駆動する駆動部と、
    　前記第１可動部及び前記固定部のそれぞれに埋設され、前記駆動部に電気的に接続される配線と、
    　を備え、
    　前記第１可動部、前記第２可動部及び前記固定部はそれぞれ、前記転動部材の収容部を形成する収容部形成面を有し、
    　前記収容部形成面の一部において、前記配線が前記転動部材と接触するように露出されている、
    　光学素子駆動装置。
  6. 　請求項１から５のいずれか一項に記載の光学素子駆動装置と、
    　前記光学素子により結像された被写体像を撮像する撮像部と、を備える、
    　カメラモジュール。
  7. 　情報機器又は輸送機器であるカメラ搭載装置であって、
    　請求項６に記載のカメラモジュールと、
    　前記カメラモジュールで得られた画像情報を処理する画像処理部と、を備える、
    　カメラ搭載装置。
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