JP2023057711A - 光学素子駆動装置、カメラモジュール及びカメラ搭載装置 - Google Patents

Abstract

【課題】衝撃による支持部の変形を抑制すること。
【解決手段】光学素子駆動装置は、光学素子を保持した状態で駆動部の駆動により光軸直交方向に移動する可動側部材と、可動側部材に対して光軸方向に離間した位置に配置され、転動部材を介して可動側部材を光軸直交方向に移動可能に支持する固定側部材と、可動側部材及び固定側部材の少なくとも一方に埋設され、駆動部に電気的に接続される配線と、を備え、可動側部材及び固定側部材は、転動部材の収容部を形成する収容部形成面を有し、収容部形成面の一部において、配線が転動部材と接触するように露出されている。
【選択図】図９

Description

本発明は、光学素子駆動装置、カメラモジュール及びカメラ搭載装置に関する。

一般に、スマートフォン等の携帯端末には、小型のカメラモジュールが搭載されている。このようなカメラモジュールには、光学素子を駆動する光学素子駆動装置が使用されている。

光学素子駆動装置は、オートフォーカス機能（以下「ＡＦ機能」と称する、ＡＦ：Auto Focus）及び振れ補正機能（以下「ＯＩＳ機能」と称する、ＯＩＳ：Optical Image Stabilization）を有している（例えば、特許文献１）。光学素子駆動装置は、ＡＦ機能により、被写体を撮影するときのピント合わせを自動的に行い、ＯＩＳ機能により、撮影時に生じる振れ（振動）を光学的に補正して画像の乱れを軽減している。

上記のような光学素子駆動装置は、レンズ部を光軸方向に移動可能に支持するＡＦ支持部と、レンズ部を光軸方向に直交する平面内で揺動可能に支持するＯＩＳ支持部と、を備える。例えば、特許文献１において、ＯＩＳ支持部は、フレームと、フレームに形成されたガイド溝部と、ガイド溝部の内側を移動可能に配置され、フレームに対してレンズ部を揺動可能に支持するボール部材とを有している。

特開２０１９－５３２７１号公報

特許文献１に示すような光学素子駆動装置において、ガイド溝部が形成されるフレームは、樹脂材料等から構成されることが一般的である。一方、ガイド溝部の内側に配置されるボール部材は、樹脂材料より硬質な材料、例えば、セラミック材料等から構成されることが一般的である。このように、ガイド溝部を構成する材料とボール部材を構成する材料との間には硬度差がある。そのため、例えば、落下等により光学素子駆動装置が大きな衝撃を受けると、ボール部材による打痕がガイド溝部に生じること等により、ガイド溝部が変形するおそれがある。ガイド溝部が変形すると、ガイド溝部の内側に配置されたボール部材の移動に影響を与えて、レンズ部の揺動を適切に行えず、上述した振れ補正を適切に行えなくなる可能性がある。

本発明の目的は、衝撃による支持部の変形を抑制可能な光学素子駆動装置、カメラモジュール及びカメラ搭載装置を提供することである。

本発明に係る光学素子駆動装置は、
光学素子を保持した状態で駆動部の駆動により光軸直交方向に移動する可動側部材と、
前記可動側部材に対して光軸方向に離間した位置に配置され、転動部材を介して前記可動側部材を前記光軸直交方向に移動可能に支持する固定側部材と、
前記可動側部材及び前記固定側部材の少なくとも一方に埋設され、前記駆動部に電気的に接続される配線と、
を備え、
前記可動側部材及び前記固定側部材は、前記転動部材の収容部を形成する収容部形成面を有し、
前記収容部形成面の一部において、前記配線が前記転動部材と接触するように露出されている。

本発明に係る光学素子駆動装置は、
光学素子を保持した状態で光軸直交方向のうちの第１方向に移動可能な第１可動部と、
前記第１可動部に対して光軸方向に離間した位置に配置され、転動部材により前記第１可動部を前記第１方向に移動可能に支持し、前記光軸直交方向のうちの前記第１方向に直交する第２方向に前記第１可動部と共に移動可能な第２可動部と、
前記第２可動部に対して前記光軸方向に離間した位置に配置され、転動部材により前記第２可動部を前記第２方向に移動可能に支持する固定部と、
前記第２可動部に対して前記第１可動部を前記第１方向に、前記固定部に対して前記第２可動部を前記第２方向に、それぞれ駆動する駆動部と、
前記第１可動部及び前記固定部のそれぞれに埋設され、前記駆動部に電気的に接続される配線と、
を備え、
前記第１可動部、前記第２可動部及び前記固定部はそれぞれ、前記転動部材の収容部を形成する収容部形成面を有し、
前記収容部形成面の一部において、前記配線が前記転動部材と接触するように露出されている。

本発明に係るカメラモジュールは、
上記の光学素子駆動装置と、
前記光学素子により結像された被写体像を撮像する撮像部と、を備える。

本発明に係るカメラ搭載装置は、
情報機器又は輸送機器であるカメラ搭載装置であって、
上記のカメラモジュールと、
前記カメラモジュールで得られた画像情報を処理する画像処理部と、を備える。

本発明によれば、衝撃による支持部の変形を抑制することができる。

本発明の実施の形態に係るカメラモジュールを搭載するスマートフォンを示す正面図である。 図１Ａに示すスマートフォンの背面図である。 カメラモジュール及び撮像部を示す斜視図である。 図２に示すカメラモジュールの光学素子駆動装置の分解斜視図である。 図３に示す光学素子駆動装置本体の斜視図である。 図３に示す光学素子駆動装置本体の平面図である。 図３に示す光学素子駆動装置本体の分解斜視図である。 図６に示すＯＩＳ固定部の分解斜視図である。 図７に示すＯＩＳ固定部のベースの平面図である。 図８に示すベースにおいて、ベース表面に形成された開口部と、ベース内部に配置された配線との位置関係を示す図である。 図８に示すベースのＡ－Ａ線矢視断面図である。 ＯＩＳ駆動部の分解斜視図である。 図６に示すＯＩＳ可動部の分解斜視図である。 図１２に示すＡＦ部の分解斜視図である。 図１３に示す第１ステージの分解斜視図である。 図１３に示すＡＦ可動部及びＡＦ駆動部の斜視図である。 図１５に示すＡＦ可動部からＡＦ駆動部を分離した分解斜視図である。 図１６に示すＡＦ駆動部の分解斜視図である。 図６に示すＡＦ可動部、第１ステージ及び第２ステージを斜め下方側から見た図である。 図１８に示す第１ステージの底面図である。 図１８に示す第１ステージにおいて、第１ステージの底面に形成された開口部と、第１ステージ内部に配置された配線との位置関係を示す図である。 ＡＦ可動部を付勢する付勢部を示す斜視図である。 第１ステージとＡＦ可動部との間に配置される付勢部を説明するための断面図である。 付勢部の板バネの斜視図である。 車載用カメラモジュールを搭載するカメラ搭載装置としての自動車を示す正面図である。 図２４Ａに示す自動車を斜め後方側から見た斜視図である。

以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。

［スマートフォン］
図１Ａ及び図１Ｂは、本実施の形態に係るカメラモジュールＡを搭載するスマートフォンＭ（カメラ搭載装置の一例）を示す図である。図１ＡはスマートフォンＭの正面図であり、図１ＢはスマートフォンＭの背面図である。

スマートフォンＭは、２つの背面カメラＯＣ１、ＯＣ２からなるデュアルカメラを有する。本実施の形態では、背面カメラＯＣ１、ＯＣ２に、カメラモジュールＡが適用されている。

カメラモジュールＡは、ＡＦ機能及びＯＩＳ機能を備え、被写体を撮影するときのピント合わせを自動的に行うと共に、撮影時に生じる振れ（振動）を光学的に補正して、像ぶれのない画像を撮影することができる。

［カメラモジュール］
図２は、カメラモジュールＡ及び撮像部５を示す斜視図である。図３は、図２に示すカメラモジュールＡの光学素子駆動装置１の分解斜視図である。なお、図３では、レンズ部２の図示を省略している。図２及び図３に示すように、本実施の形態では、直交座標系（Ｘ，Ｙ，Ｚ）を使用して説明する。後述する図においても、共通の直交座標系（Ｘ，Ｙ，Ｚ）で示している。

カメラモジュールＡは、例えば、スマートフォンＭで撮影が行われる場合、Ｘ方向が上下方向（又は左右方向）、Ｙ方向が左右方向（又は上下方向）、Ｚ方向が前後方向となるように搭載される。Ｚ方向は、レンズ部２がカメラモジュールＡに組付けられた場合に、レンズ部２の光軸ＯＡの方向に沿って延びる方向である。すなわち、Ｚ方向が光軸方向であり、図２及び図３において、図中上側（＋Ｚ側）が光軸方向受光側、下側（－Ｚ側）が光軸方向結像側である。

また、以降において、Ｚ軸に直交するＸ方向及びＹ方向を「光軸直交方向」と称し、ＸＹ面を「光軸直交面」と称する。また、光軸ＯＡから放射状に延びる方向を「径方向」と称し、光軸ＯＡの周囲を囲むように延びる方向を「周方向」と称する。なお、径方向及び周方向は、後述するカバー３の開口３０１や光学素子駆動装置本体４の開口４０１の径方向及び周方向と捉えてもよい。

図２に示すように、カメラモジュールＡは、ＡＦ機能及びＯＩＳ機能を実現する光学素子駆動装置１、円筒形状のレンズバレルにレンズが収容されてなるレンズ部２及びレンズ部２により結像された被写体像を撮像する撮像部５等を備える。すなわち、光学素子駆動装置１は、光学素子としてレンズ部２を駆動する、いわゆる、レンズ駆動装置である。

［カバー］
光学素子駆動装置１において、光学素子駆動装置本体４は、外側をカバー３で覆われている。カバー３は、光軸方向から見た平面視で矩形状の有蓋四角筒体である。本実施の形態では、カバー３は、平面視で正方形状を有している。カバー３は、上面に略円形の開口３０１を有する。レンズ部２は、光学素子駆動装置本体４の開口４０１に収容され、カバー３の開口３０１から外部に臨み、例えば、光軸方向における移動に伴い、カバー３の開口面３０２よりも光軸方向受光側に突出するように構成されている。カバー３の内壁３０３は、光学素子駆動装置本体４のＯＩＳ固定部２０のベース２１（図６を参照）に、例えば、接着により固定され、ベース２１と共に内部にＯＩＳ可動部１０等（図３を参照）を収容する。

カバー３は、光学素子駆動装置１の外部からの電磁波を遮断する部材、例えば、磁性体からなるシールド部材を有している。

［撮像部］
撮像部５は、光学素子駆動装置１の光軸方向結像側に配置される。撮像部５は、例えば、イメージセンサー基板５０１、イメージセンサー基板５０１に実装される撮像素子５０２及び制御部５０３を有する。撮像素子５０２は、例えば、ＣＣＤ（charge-coupled device）型イメージセンサー、ＣＭＯＳ（complementary metal oxide semiconductor）型イメージセンサー等により構成され、レンズ部２により結像された被写体像を撮像する。

制御部５０３は、例えば、制御ＩＣやドライバＩＣで構成され、光学素子駆動装置１の駆動制御を行う。光学素子駆動装置１は、イメージセンサー基板５０１に搭載され、機械的かつ電気的に接続される。なお、制御部５０３は、イメージセンサー基板５０１に設けられてもよいし、カメラモジュールＡが搭載されるカメラ搭載機器（本実施の形態では、スマートフォンＭ）に設けられてもよい。

［光学素子駆動装置本体］
図４～図６は、光学素子駆動装置本体４を示す図である。図４は、光学素子駆動装置本体４の斜視図である。図４は、図３に示した光学素子駆動装置本体４をＺ軸周りに１８０°回転した図である。図５は、光学素子駆動装置本体４の平面図である。図６は、光学素子駆動装置本体４の分解斜視図である。

光学素子駆動装置本体４は、図６に示すように、ＯＩＳ可動部１０（本発明における可動側部材）、ＯＩＳ固定部２０（本発明における固定側部材）、ＯＩＳ駆動部３０、ＯＩＳ支持部４０（本発明における支持部）及びＯＩＳ用付勢部材５０を備える。

ＯＩＳ可動部１０は、レンズ部２を保持した状態で、ＯＩＳ駆動部３０の駆動により光軸直交方向に移動する部材である。ＯＩＳ可動部１０は、例えば、振れ補正時に光軸直交面内で揺動する。詳細は後述するが、ＯＩＳ可動部１０は、ＡＦ部１１、第２ステージ１４（本発明における第２可動部）及びＯＩＳ支持部４０（Ｘ方向基準ボール４２）を有する（図１２等を参照）。同じく、詳細は後述するが、ＡＦ部１１は、ＡＦ可動部１２、第１ステージ１３（本発明における第１可動部）、ＡＦ駆動部１５及びＡＦ支持部１６を有する（図１３等を参照）。

ＯＩＳ固定部２０は、ＯＩＳ可動部１０に対して光軸方向に離間した位置に配置され、ＯＩＳ支持部４０（Ｙ方向基準ボール４１）を介して、ＯＩＳ可動部１０を光軸直交方向に揺動可能（移動可能）に支持する部材である。ＯＩＳ固定部２０は、図６に示すように、ベース２１、ＯＩＳ支持部４０（Ｙ方向基準ボール４１）を有する。ＯＩＳ可動部１０は、Ｙ方向基準ボール４１を介して、ベース２１に対して光軸方向に離間して配置され、ベース２１は、Ｙ方向基準ボール４１を介して、ＯＩＳ可動部１０を揺動可能に支持する。ＯＩＳ固定部２０については、詳細は図７を参照して後述する。

また、詳細は後述するが、ＯＩＳ可動部１０とＯＩＳ固定部２０とは、互いに近づく方向に付勢されるように、言い換えると、ＯＩＳ支持部４０を挟む状態を保持するように、ＯＩＳ用付勢部材５０によって弾性接続されている（図６を参照）。このＯＩＳ用付勢部材５０は、導電性材料からなり、レンズ部２を駆動するための回路（後述する配線１８１～１８４）とＯＩＳ固定部２０側の回路（後述する配線２３１～２３４）との間の導電経路を形成する接続部材としても機能する。本実施の形態では、ＯＩＳ用付勢部材５０は、光学素子駆動装置本体４の平面視における四隅部分（角部分）に配置されている（図５を参照）。

ＯＩＳ駆動部３０は、ＯＩＳ可動部１０をＸ方向（光軸直交方向のうちの第１方向）に駆動する第１ＯＩＳ駆動部３０Ｘと、ＯＩＳ可動部１０をＹ方向（光軸直交方向のうちのＸ方向に直交する第２方向）に駆動する第２ＯＩＳ駆動部３０Ｙとを有する。

本実施の形態では、Ｙ方向の移動に関しては、ＡＦ部１１を含むＯＩＳ可動部１０の全体が可動体（可動側部材）として移動する。つまり、Ｙ方向の移動に関しては、ＯＩＳ固定部２０のベース２１が固定体（固定側部材）を構成し、Ｙ方向基準ボール４１（本発明における転動部材）は、ＯＩＳ可動部１０をＹ方向に揺動可能に支持するＯＩＳ支持部４０として機能する。

一方、詳細は図１２を参照して後述するが、Ｘ方向の移動に関しては、ＡＦ部１１が可動体（可動側部材）として移動する。つまり、Ｘ方向の移動に関しては、第２ステージ１４は、ベース２１と共に固定体（固定側部材）を構成し、Ｘ方向基準ボール４２（本発明における転動部材）は、ＡＦ部１１をＸ方向に揺動可能に支持するＯＩＳ支持部４０として機能する。

［ＯＩＳ固定部］
図７は、ＯＩＳ固定部２０の分解斜視図である。図６において、ＯＩＳ固定部２０は、第２ＯＩＳ駆動部３０Ｙ及びセンサー基板２２を取り付けた状態であるのに対し、図７において、ＯＩＳ固定部２０は、第２ＯＩＳ駆動部３０Ｙ及びセンサー基板２２を取り外した状態である。

ＯＩＳ固定部２０は、ベース２１、センサー基板２２、配線２３１～２３７（本発明における配線）、壁部２４、第２ＯＩＳ駆動部３０Ｙ、Ｙ方向基準ボール４１を有する。

［ベース］
ベース２１は、例えば、ポリアリレート（ＰＡＲ）、ＰＡＲを含む複数の樹脂材料を混合したＰＡＲアロイ（例えば、ＰＡＲ／ＰＣ）、又は、液晶ポリマーからなる成形材料で形成される。ベース２１は、平面視で矩形状の部材であり、中央に円形の開口２１１を有する。

ベース２１は、ベース２１の主面を形成する第１ベース部２１２と、第１ベース部２１２に対して凹んで形成された第２ベース部２１３ａ、２１３ｂとを有する。

第２ベース部２１３ａは、ＯＩＳ可動部１０の光軸方向結像側に突出する部分、すなわち、第１ステージ１３のＡＦモーター固定部１３５（後述の図１３、図１４を参照）に対応して設けられている。具体的には、第２ベース部２１３ａは、振れ補正時に干渉が生じないように、ＡＦモーター固定部１３５よりも、平面視において一回り大きく形成されている。第２ベース部２１３ｂには、複数の配線２３７の端子２３７ｂが配置され、複数の端子２３７ｂの上に、磁気センサー２２１Ｘ、２２１Ｙ、２２１Ｚを有するセンサー基板２２が配置される。

このようにして、第２ベース部２１３ａ、２１３ｂは、第１ベース部２１２に対して凹んで形成されているので、これにより、後述するＡＦ可動部１２の移動ストロークを確保することができ、また、光学素子駆動装置１の低背化を図ることができる。

また、ベース２１は、第２ＯＩＳ駆動部３０Ｙが配置されるＯＩＳモーター固定部２１９を有する。ＯＩＳモーター固定部２１９は、例えば、ベース２１の１つの隅部の近傍に設けられ、第１ベース部２１２から光軸方向受光側に向けて突出して形成され、第２ＯＩＳ駆動部３０Ｙを保持可能な形状を有している。

［ベースの配線］
図８は、ＯＩＳ固定部２０のベース２１の平面図である。図９は、ベース２１において、ベース２１表面に形成された開口部と、ベース２１内部に配置された配線２３１～２３７との位置関係を示す図である。図９においては、ベース２１、開口部２１４～２１７、Ｙ方向開口部２１８ａ、２１８ｂ及び配線２３１～２３７の位置関係を示すため、これらの形状のみ図示している。

ベース２１には、例えば、インサート成形により、配線２３１～２３７が埋設されている。配線２３１～２３７は、ベース２１の表面側（光軸方向受光側）の面が、ベース２１の表面と平行になるように埋設されている。

配線２３１～２３７は、ベース２１の内部に配置され、配線２３１～２３７の一方の端部の端子２３１ａ～２３７ａの位置から他方の端部の端子２３１ｂ～２３７ｂの位置まで延設されている（図９を参照）。端子２３１ａ～２３７ａはベース２１の底面から露出されている（図３、図４を参照）。また、詳細は以下に説明するが、端子２３１ｂ～２３７ｂはベース２１の表面側（光軸方向受光側）に露出されている（図８、図９を参照）。

配線２３１～２３４は、ＡＦ駆動部１５及び第１ＯＩＳ駆動部３０Ｘへの給電ラインとなる配線である。配線２３１～２３４において、端子２３１ａ～２３４ａはベース２１の底面から露出されている（図４を参照）。また、端子２３１ｂ～２３４ｂはベース２１の表面側（光軸方向受光側）の四隅に形成された開口部２１４から露出されている（図９を参照）。端子２３１ｂ～２３４ｂは、ＯＩＳ用付勢部材５０と電気的に接続され、ＡＦ駆動部１５及び第１ＯＩＳ駆動部３０Ｘへの給電は、ＯＩＳ用付勢部材５０を介して行われる。

配線２３５、２３６は、第２ＯＩＳ駆動部３０Ｙへの給電ラインとなる配線である。配線２３５、２３６において、端子２３５ａ、２３６ａはベース２１の底面から露出されている（図４を参照）。また、端子２３５ｂ、２３６ｂはベース２１の表面側のＯＩＳモーター固定部２１９の近傍に形成された開口部２１５、２１６から露出されている（図９を参照）。端子２３５ｂ、２３６ｂは、第２ＯＩＳ駆動部３０Ｙと電気的に接続され、第２ＯＩＳ駆動部３０Ｙへの給電が行われる。

配線２３７は、センサー基板２２の磁気センサー２２１Ｘ、２２１Ｙ、２２１Ｚへの給電ライン（例えば、４本）及び信号ライン（例えば、６本）となる配線である。配線２３７において、端子２３７ａはベース２１の底面から露出されている（図３を参照）。また、端子２３７ｂはベース２１の表面側に形成された開口部２１７から露出されている（図９を参照）。端子２３７ｂは、センサー基板２２と電気的に接続され、センサー基板２２への給電や信号の送受信が行われる。

ベース２１の内部に配置された配線２３１～２３７のうちの配線２３２、２３３は、Ｙ方向開口部２１８ａ内で露出するように延設された延設部２３２ｃ、２３３ｃを各々有している。延設部２３２ｃ、２３３ｃは、配線２３２、２３３においてＹ方向開口部２１８ａに近接する部分から延設されている。配線２３２、２３３（延設部２３２ｃ、２３３ｃ）が露出されるＹ方向開口部２１８ａについては、図１０を参照して後述する。

ここでは、一例として、Ｙ方向開口部２１８ａ内で配線の一部（延設部２３２ｃ、２３３ｃ）が露出するよう構成されているが、これに限らず、全てのＹ方向開口部２１８ａ、２１８ｂ内で配線の一部が露出するよう構成してもよい。例えば、配線２３１～２３７の何れか複数に上記の延設部２３２ｃ、２３３ｃと同様の延設部を設けてもよいし、配線２３１～２３７の配置を調整してもよい。

［ＯＩＳ支持部－Ｙ方向］
図１０は、図８に示すベース２１のＡ－Ａ線矢視断面図である。図８及び図９と共に、図１０も参照してＯＩＳ支持部４０を説明する。

ベース２１は、ＯＩＳ支持部４０を構成するＹ方向基準ボール４１を収容するＹ方向開口部２１８ａ、２１８ｂ（本発明における収容部）を有する（図８、図９を参照）。Ｙ方向基準ボール４１は、Ｙ方向開口部２１８ａ、２１８ｂと、Ｚ方向において互いに対向する第２ステージ１４のＹ方向開口部１４４（本発明における収容部）との間に挟持される（後述する図１８を参照）。

Ｙ方向開口部２１８ａ、２１８ｂ及びＹ方向開口部１４４は、Ｙ方向に延びる矩形状の開口を有する溝部である。Ｙ方向開口部２１８ａ、２１８ｂ及びＹ方向開口部１４４は、ＸＺ平面における断面形状が、例えば、四角形や逆三角形（Ｖ字状）となるように形成されている。Ｙ方向開口部２１８ａ、２１８ｂ及びＹ方向開口部１４４は、溝部の底面に向かって溝幅が狭くなるようにしてもよく、その場合、ＸＺ平面における断面形状は、逆台形や逆三角形（Ｖ字状）となるようにすればよい。

本実施の形態において、Ｙ方向開口部２１８ａは、図１０に示すように、逆台形の断面形状に形成されており、Ｙ方向開口部２１８ａの底部を構成するように、上述した配線２３２の延設部２３２ｃが露出されている。つまり、Ｙ方向開口部２１８ａを形成する収容部形成面（内壁）の一部である底部において、延設部２３２ｃがＹ方向基準ボール４１と接触して光軸方向の荷重を受けるように露出されている。図９中の右下側のＹ方向開口部２１８ａも同様の構成である。この場合、Ｙ方向開口部２１８ａを形成する収容部形成面の底部で露出されている延設部２３２ｃは、光軸（Ｚ方向）に直交する平面状であり、Ｙ方向基準ボール４１と１点で当接する。

Ｙ方向基準ボール４１は、底部が延設部２３２ｃからなるＹ方向開口部２１８ａの内側に配置され、Ｚ方向においては、延設部２３２ｃと接することになる。配線２３１～２３７は、導電性がある金属から構成されるため、一般的に樹脂材料等から構成されるベース２１より硬質である。そのため、例えば、落下等により光学素子駆動装置１が大きな衝撃を受けても、Ｙ方向基準ボール４１の打痕等による変形は延設部２３３ｃには生じにくく、Ｙ方向開口部２１８ａの変形を抑制することができる。

また、Ｙ方向開口部２１８ａの内壁の一部として、ベース２１の内部に埋設された配線２３２の延設部２３２ｃを利用するので、変形し難い部材を新たに追加することなく、Ｙ方向開口部２１８ａの変形を抑制することができる。

なお、本実施の形態において、Ｙ方向開口部２１８ｂ、１４４は、ＸＺ平面における断面形状がＶ字状となるように形成されている。ここでは、Ｙ方向開口部２１８ｂは、配線２３１～２３７の一部を露出する構成にしていないが、例えば、Ｙ方向開口部２１８ｂのＶ字断面の少なくとも一方の側面に配線２３１～２３７の一部が露出されるよう構成してもよい。この場合、配線２３１～２３７のうち、Ｙ方向開口部２１８ｂで露出される配線の一部又は全部において、ベース２１の表面側（光軸方向受光側）の面が、ベース２１の表面に対して傾斜するように埋設する。また、配線２３１～２３７のうち、Ｙ方向開口部２１８ｂで露出される配線の一部又は全部をＶ字断面形状に形成して、ベース２１の内部に埋設する。

また、ここでは、第２ステージ１４が内部に配線を有していないので、Ｙ方向開口部１４４は、配線の一部を露出する構成にしていない。第２ステージ１４が内部に配線を有する構成とする場合には、Ｙ方向開口部１４４は、Ｙ方向開口部２１８ｂと同様に、配線の一部が露出されるよう構成してもよい。

Ｙ方向開口部２１８ａ、２１８ｂ、１４４により各々形成される溝は、Ｙ方向に平行に形成されている。そのため、Ｙ方向開口部２１８ａ、２１８ｂとＹ方向開口部１４４との間に挟持されるＹ方向基準ボール４１は、溝内において、Ｙ方向に転動可能である。つまり、ベース２１は、Ｙ方向基準ボール４１を介して、ＯＩＳ可動部１０（第２ステージ１４）をＹ方向に移動可能に支持している。

Ｙ方向開口部２１８ａ、２１８ｂ及びＹ方向開口部１４４は、矩形状のベース２１及び第２ステージ１４の四隅の部分に配置されている。ＯＩＳ可動部１０（第２ステージ１４）は、４個のＹ方向基準ボール４１で、つまり、４点でベース２１に支持されている。このように、Ｙ方向基準ボール４１は、多点接触で挟持されるので、安定してＹ方向に転動する。

なお、ＯＩＳ可動部１０（第２ステージ１４）は、少なくとも３点以上でベース２１に支持されればよい。例えば、３点で支持する場合には、ベース２１及び第２ステージ１４の１つの辺側の２箇所と当該辺に対向する辺側の１箇所の合計３箇所にＹ方向開口部２１８ａ、２１８ｂ及びＹ方向開口部１４４を配置すればよい。

［センサー基板］
センサー基板２２は、ＡＦ駆動部１５及びＯＩＳ駆動部３０（第１ＯＩＳ駆動部３０Ｘ及び第２ＯＩＳ駆動部３０Ｙ）が配置されていない領域、すなわち、ベース２１の平面形状である矩形の一辺に対応する領域に設けられている。これにより、磁気センサー２２１Ｘ、２２１Ｙ、２２１Ｚ用の給電ライン及び信号ラインを集約することができ、ベース２１における配線構造を簡略化することができる。

センサー基板２２は、磁気センサー２２１Ｘ、２２１Ｙ、２２１Ｚ用の給電ライン及び信号ラインを含む配線を有する（図示省略）。センサー基板２２には、磁気センサー２２１Ｘ、２２１Ｙ、２２１Ｚが実装される。磁気センサー２２１Ｘ、２２１Ｙ、２２１Ｚは、例えば、ホール素子又はＴＭＲ（Tunnel Magneto Resistance）センサー等で構成され、センサー基板２２に形成された配線が端子２３７ｂと電気的に接続されて、配線２３７と電気的に接続される。

詳細は図１８を参照して後述するが、Ｘ方向に移動する第１ステージ１３において、磁気センサー２２１Ｘに対向する位置にマグネット１７Ｘが配置されている（図１８を参照）。磁気センサー２２１Ｘ及びマグネット１７ＸからなるＸ方向位置検出部により、第１ステージ１３のＸ方向の位置、すなわち、ＯＩＳ可動部１０のＸ方向の位置が検出される。

また、Ｙ方向に移動する第２ステージ１４において、磁気センサー２２１Ｙに対向する位置にマグネット１７Ｙが配置されている（図１８を参照）。磁気センサー２２１Ｙ及びマグネット１７ＹからなるＹ方向位置検出部により、第２ステージ１４のＹ方向の位置、すなわち、ＯＩＳ可動部１０のＹ方向の位置が検出される。

また、Ｚ方向に移動するＡＦ可動部１２において、磁気センサー２２１Ｚに対向する位置にマグネット１７Ｚが配置されている（図１８を参照）。磁気センサー２２１Ｚ及びマグネット１７ＺからなるＺ方向位置検出部により、ＡＦ可動部１２のＺ方向の位置が検出される。

なお、マグネット１７Ｘ、１７Ｙ、１７Ｚと磁気センサー２２１Ｘ、２２１Ｙ、２２１Ｚに代えて、フォトリフレクター等の光センサーにより、ＯＩＳ可動部１０のＸ方向及びＹ方向の位置並びにＡＦ可動部１２のＺ方向の位置を検出するようにしてもよい。

［ＯＩＳ駆動部］
ＯＩＳ駆動部３０は、ＯＩＳ可動部１０をＸ方向及びＹ方向に移動させるアクチュエーターである。具体的には、ＯＩＳ駆動部３０は、ＯＩＳ可動部１０の一部（ＡＦ部１１）をＸ方向に移動させる第１ＯＩＳ駆動部３０Ｘと、ＯＩＳ可動部１０全体をＹ方向に移動させる第２ＯＩＳ駆動部３０Ｙとを有する。

ＯＩＳ駆動部３０について、図７と共に、図１１～図１４を参照して説明する。図１１は、ＯＩＳ駆動部３０の分解斜視図である。図１２は、ＯＩＳ可動部１０の分解斜視図である。図１３は、ＡＦ部１１の分解斜視図である。図１４は、第１ステージ１３の分解斜視図である。

なお、図１１は、ＯＩＳ駆動部３０として、第２ＯＩＳ駆動部３０Ｙの各部材を分解した状態を示している。第１ＯＩＳ駆動部３０Ｘは、配置する方向に違いはあるが、第２ＯＩＳ駆動部３０Ｙと同様の構成を有しているので、図１１では、第２ＯＩＳ駆動部３０Ｙと合わせて、ＯＩＳ駆動部３０として説明する。

第１ＯＩＳ駆動部３０Ｘ及び第２ＯＩＳ駆動部３０Ｙは、ＯＩＳ可動部１０を移動させる駆動源となる超音波モーターを有する。第１ＯＩＳ駆動部３０Ｘは、第１ステージ１３のＸ方向に沿うＯＩＳモーター固定部１３４に固定される（図１４を参照）。また、第２ＯＩＳ駆動部３０Ｙは、ベース２１のＹ方向に沿うＯＩＳモーター固定部２１９に固定される（図７を参照）。すなわち、第１ＯＩＳ駆動部３０Ｘ及び第２ＯＩＳ駆動部３０Ｙは、互いに直交する辺に沿って配置されている。

ＯＩＳ駆動部３０は、図１１に示すように、ＯＩＳ共振部３１、ＯＩＳ圧電素子３２及びＯＩＳ動力伝達部３４を有する。ＯＩＳ駆動部３０の駆動力は、ＯＩＳ動力伝達部３４を介して、他の部材に伝達される。具体的には、第１ＯＩＳ駆動部３０Ｘは、そのＯＩＳ動力伝達部３４を介して、第２ステージ１４に接続され、その駆動力が伝達される。また、第２ＯＩＳ駆動部３０Ｙは、そのＯＩＳ動力伝達部３４を介して、第２ステージ１４に接続されて、その駆動力が伝達される。ＯＩＳ駆動部３０において、ＯＩＳ共振部３１が能動要素を構成し、ＯＩＳ動力伝達部３４が受動要素を構成する。

ＯＩＳ共振部３１は、導電性材料で形成され、後述するＯＩＳ圧電素子３２の振動に共振して、振動運動を直線運動に変換する。ＯＩＳ共振部３１は、例えば、金属板のレーザー加工、エッチング加工又はプレス加工等により形成される。

ＯＩＳ共振部３１は、図１１に示すように、胴部３１１、２つのアーム部３１２、突出部３１３及び通電部３１４を有する。

ＯＩＳ共振部３１において、胴部３１１は、ＯＩＳ圧電素子３２に挟持される略矩形状の部分である。

アーム部３１２は、胴部３１１の上部及び下部からＸ方向又はＹ方向に延在する。２つのアーム部３１２は対称的な形状を有し、それぞれの自由端部がＯＩＳ動力伝達部３４に当接し、ＯＩＳ圧電素子３２の振動に共振して対称的に変形する。

突出部３１３は、胴部３１１の中央部からＸ方向又はＹ方向に延在する。突出部３１３には、リベットを挿通する貫通孔３１３ａが形成されている。

ここで、第１ステージ１３のＯＩＳモーター固定部１３４には、リベット（図示省略）を挿通する貫通孔を有するリベット取付部１３４ａが形成されている（図１４を参照）。リベットは、光学素子駆動装置本体４の外側から内側に向かって、突出部３１３の貫通孔３１３ａ及びリベット取付部１３４ａの貫通孔に挿通されて、その先端が留め具（図示省略）で留められている。なお、リベットの外側は樹脂部材３９で覆われている。リベット及び留め具により、第１ＯＩＳ駆動部３０ＸのＯＩＳ共振部３１は、ＯＩＳモーター固定部１３４（第１ステージ１３側）に固定される。

また、ベース２１のＯＩＳモーター固定部２１９にも、リベット（図示省略）を挿通する貫通孔を有するリベット取付部２１９ａが形成されている（図７を参照）。リベットは、光学素子駆動装置本体４の内側から外側に向かって、リベット取付部２１９ａの貫通孔及び突出部３１３の貫通孔３１３ａに挿通されて、その先端が留め具（図示省略）で留められている。なお、リベットの外側は樹脂部材３９で覆われている。リベット及び留め具により、第２ＯＩＳ駆動部３０ＹのＯＩＳ共振部３１は、ＯＩＳモーター固定部２１９（ベース２１側）に固定される。

このように、リベット及び留め具等を用いることにより、第１ＯＩＳ駆動部３０Ｘ及び第２ＯＩＳ駆動部３０ＹのＯＩＳ共振部３１をＯＩＳモーター固定部２１９、１３４に堅固に固定することができる。そのため、外部から大きな衝撃が加わったとしても、ＯＩＳ共振部３１がＯＩＳモーター固定部２１９、１３４から外れたり、ずれたりすることはなく、ＯＩＳ駆動部３０の信頼性を高めることができる。

なお、ここでは、リベット及び留め具を用いて、第１ＯＩＳ駆動部３０Ｘ及び第２ＯＩＳ駆動部３０ＹのＯＩＳ共振部３１をＯＩＳモーター固定部２１９、１３４に固定しているが、他の部材を用いて固定してもよい。例えば、樹脂系の接着剤等の固着材料を用いて固定してもよい。

通電部３１４は、胴部３１１の中央部から突出部３１３とは反対側に延在する。第１ＯＩＳ駆動部３０Ｘにおいて、その通電部３１４は、例えば、はんだ（図示省略）により、第１ステージ１３の配線１８１の端子１８１ｂと電気的に接続される（後述の図２０を参照）。また、第２ＯＩＳ駆動部３０Ｙにおいて、その通電部３１４は、例えば、はんだ（図示省略）により、ベース２１の開口部２１６から露出する配線２３６の端子２３６ｂと電気的に接続される。

ＯＩＳ圧電素子３２は、例えば、セラミック材料で形成された板状素子であり、高周波電圧を印加することにより振動を発生する。２枚のＯＩＳ圧電素子３２は、ＯＩＳ共振部３１の胴部３１１を挟み込むように、貼り合わされて配置されている。

ここで、第１ＯＩＳ駆動部３０Ｘにおいて、そのＯＩＳ圧電素子３２は、例えば、電極部材（図示省略）により、第１ステージ１３の配線１８２の端子１８２ｂと電気的に接続される（後述の図２０を参照）。また、第２ＯＩＳ駆動部３０Ｙにおいて、そのＯＩＳ圧電素子３２は、例えば、電極部材（図示省略）により、ベース２１の開口部２１５から露出する配線２３５の端子２３５ｂと電気的に接続される。

このように、第１ＯＩＳ駆動部３０ＸのＯＩＳ圧電素子３２は、通電部３１４及び電極部材を介して、第１ステージ１３の配線１８１及び配線１８２と電気的に接続される。また、第２ＯＩＳ駆動部３０ＹのＯＩＳ圧電素子３２は、通電部３１４及び電極部材を介して、ベース２１の配線２３５及び配線２３６と電気的に接続される。従って、第１ＯＩＳ駆動部３０Ｘ及び第２ＯＩＳ駆動部３０ＹのＯＩＳ圧電素子３２には電圧を印加可能であり、電圧を印加することにより、ＯＩＳ圧電素子３２には振動が発生する。

上述したＯＩＳ共振部３１は、少なくとも２つの共振周波数を有し、それぞれの共振周波数に対して、異なる挙動で変形する。言い換えると、ＯＩＳ共振部３１は、２つの共振周波数に対して異なる挙動で変形するように、全体の形状が設定されている。異なる挙動とは、ＯＩＳ動力伝達部３４をＸ方向又はＹ方向に前進させる挙動と、後退させる挙動である。従って、ＯＩＳ圧電素子３２を所望の共振周波数で振動させることにより、ＯＩＳ動力伝達部３４をＸ方向又はＹ方向に前進又は後退させることができる。

ＯＩＳ動力伝達部３４は、Ｘ方向又はＹ方向に延在するチャッキングガイドであり、一端がＯＩＳ共振部３１のアーム部３１２に当接され、他端が第２ステージ１４に接続される。ＯＩＳ動力伝達部３４は、ＯＩＳモーター当接部３４１、連結部３４２及びステージ固定部３４３を有する。

ＯＩＳモーター当接部３４１は、ＯＩＳ共振部３１のアーム部３１２の自由端部と当接する。ステージ固定部３４３は、ＯＩＳ動力伝達部３４の端部に配置され、第２ステージ１４のＯＩＳチャッキングガイド固定部１４５Ｘ、１４５Ｙ（図１２を参照）に固定される。連結部３４２は、ＯＩＳモーター当接部３４１とステージ固定部３４３を連結する部分であり、ステージ固定部３４３から２つに分岐するように形成されている。

ＯＩＳモーター当接部３４１間の幅は、ＯＩＳ共振部３１のアーム部３１２の自由端部間の幅よりも広く設定される。例えば、連結部３４２とステージ固定部３４３との接続部分において、２つの連結部３４２の間に、それらの接続端部の幅よりも大きい離隔部３４４を介在させることで、ＯＩＳモーター当接部３４１間の幅を拡げることができる。離隔部３４４は、例えば、ステージ固定部３４３と一体的に形成される。

ＯＩＳモーター当接部３４１間の幅をアーム部３１２の自由端部間の幅よりも広くすることにより、アーム部３１２の間にＯＩＳ動力伝達部３４を取り付けたときに、連結部３４２が板バネとして機能し、アーム部３１２を押し広げる方向に付勢力が作用する。この付勢力により、アーム部３１２の自由端部間にＯＩＳ動力伝達部３４が保持され、ＯＩＳ共振部３１からの駆動力がＯＩＳ動力伝達部３４に効率よく伝達される。

なお、図１１に示す例では、ステージ固定部３４３において、連結部３４２の取付部分の片側（図中手前側）が開放しているが、ステージ固定部３４３は、連結部３４２の取付部分を両側（図中奥側及び手前側）で挟み込むような構造でもよい。この場合、経時的に連結部３４２がずれて脱落するのを防止でき、ＯＩＳ駆動部３０の信頼性が向上する。

ＯＩＳ共振部３１とＯＩＳ動力伝達部３４とは、付勢された状態で当接している。そのため、この当接部分をＸ方向又はＹ方向に大きくするだけで、光学素子駆動装置１の外形を大きくすることなく、ＯＩＳ可動部１０の移動ストロークを長くすることができる。

第１ＯＩＳ駆動部３０Ｘは、ＯＩＳモーター固定部１３４を介して、第１ステージ１３（ＯＩＳ可動部１０側）に固定され（図１４を参照）、ＯＩＳ動力伝達部３４を介して、第２ステージ１４と接続されている（図１２を参照）。第１ＯＩＳ駆動部３０Ｘは、Ｘ方向の振れ補正時に駆動され、第２ステージ１４に対して、第１ステージ１３（ＯＩＳ可動部１０）がＸ方向に移動するよう駆動する。なお、第１ＯＩＳ駆動部３０Ｘは、第２ＯＩＳ駆動部３０ＹによるＹ方向の振れ補正時には、第１ステージ１３（ＯＩＳ可動部１０）と共に移動する。

また、第２ＯＩＳ駆動部３０Ｙは、ＯＩＳモーター固定部２１９を介して、ベース２１（ＯＩＳ固定部２０側）に固定され（図７を参照）、ＯＩＳ動力伝達部３４を介して、第２ステージ１４と接続されている（図６を参照）。第２ＯＩＳ駆動部３０Ｙは、Ｙ方向の振れ補正時に駆動され、ベース２１（ＯＩＳ固定部２０）に対して、第２ステージ１４がＹ方向に移動するよう駆動する。このように、第２ＯＩＳ駆動部３０Ｙは、ベース２１（ＯＩＳ固定部２０）に対して、第２ステージ１４をＹ方向に移動させるので、第１ＯＩＳ駆動部３０ＸによるＸ方向の振れ補正に影響を受けない。

すなわち、一方のＯＩＳ駆動部３０による移動は、他方のＯＩＳ駆動部３０の構造によって妨げられない。従って、ＯＩＳ可動部１０のＺ軸周りの回転を防止することができ、ＯＩＳ可動部１０をＸＹ平面内で精度よく揺動させることができる。

［ＯＩＳ用付勢部材］
矩形状のＯＩＳ可動部１０及びＯＩＳ固定部２０の四隅部分（角部分）には、それぞれＯＩＳ用付勢部材５０が配置されている。ＯＩＳ用付勢部材５０は、例えば、引張コイルばねで構成され、ＯＩＳ可動部１０とＯＩＳ固定部２０とを連結する。ＯＩＳ用付勢部材５０の光軸方向結像側の端部は、ベース２１の開口部２１４から露出される配線２３１～２３４の端子２３１ｂ～２３４ｂに接続されている。一方、光軸方向受光側の端部は、第１ステージ１３の配線１８１～１８４の端子１８１ａ～１８４ａに接続されている（図２０を参照）。

ＯＩＳ用付勢部材５０は、ＯＩＳ可動部１０とＯＩＳ固定部２０とを連結したときの引張荷重を受けて、ＯＩＳ可動部１０とＯＩＳ固定部２０が互いに近接するように作用する。すなわち、ＯＩＳ可動部１０は、ＯＩＳ用付勢部材５０によって、光軸方向結像側に付勢された状態（ベース２１に押し付けられた状態）で、ＸＹ面内で揺動可能に保持されている。これにより、ＯＩＳ可動部１０をがたつきのない安定した状態で保持することができる。

また、ＯＩＳ用付勢部材５０は、導電性材料からなり、ＡＦ駆動部１５及び第１ＯＩＳ駆動部３０Ｘへの給電ライン（導電経路）として機能する。

このように、ＯＩＳ用付勢部材５０は給電ラインとして機能するので、外部から大きな衝撃が加わった場合に、ＯＩＳ用付勢部材５０が揺れて、他の部材と接触して、ショートが発生する可能性がある。そのため、ＯＩＳ固定部２０においてＯＩＳ用付勢部材５０に対応する位置に局所的に、ＯＩＳ用付勢部材５０の周囲の少なくとも一部を囲うように、非導電性材料からなる壁部２４を設けている。

本実施の形態の場合、導電性材料からなる部材であって、ＯＩＳ用付勢部材５０の位置に近い部材はカバー３である。そのため、壁部２４は、カバー３とＯＩＳ用付勢部材５０との間に介在するように配置されている。例えば、ＯＩＳ用付勢部材５０の周囲のうち、ＯＩＳ可動部１０の径方向外側の部分を囲うように配置されている。カバー３とＯＩＳ用付勢部材５０との間に壁部２４が介在するので、外部から大きな衝撃が加わった場合に、ＯＩＳ用付勢部材５０が揺れても、壁部２４により、ＯＩＳ用付勢部材５０がカバー３（内壁３０３）と接触することを防止することができる。この結果、ショートの発生を防止することができる。

また、ＯＩＳ用付勢部材５０は、第１ステージ１３及び第２ステージ１４においては、これらの四隅（角部分）を切り欠いた切欠部１３７、１４７に配置されている（図３～図６を参照）。第１ステージ１３及び第２ステージ１４の四隅を切り欠いて切欠部１３７、１４７を形成しているので、当該切り欠いた四隅に対向するベース２１の四隅に壁部２４を配置することができる。

より具体的には、切欠部１３７、１４７を形成する形成面に対向するように、そして、切欠部１３７、１４７を除く第１ステージ１３及び第２ステージ１４の縁部分に対向するほど延在しないように、壁部２４が形成される。このようにして、壁部２４を形成し、配置することで、切欠部１３７、１４７に配置したＯＩＳ用付勢部材５０の近傍に壁部２４を配置できる。そのため、ベース２１を大きくする必要はなく、装置サイズの増大を抑制しつつ、光学素子駆動装置１の小型化を図ることができる。

また、壁部２４は、切欠部１３７、１４７と共にＯＩＳ用付勢部材５０の周囲を囲むように形成されており、例えば、平面視で略Ｌ字形状に形成されている。このように、切欠部１３７、１４７と共に壁部２４でＯＩＳ用付勢部材５０の周囲を囲むことにより、外部から大きな衝撃が加わった場合に、ＯＩＳ用付勢部材５０が揺れても、ＯＩＳ用付勢部材５０が他の部材と接触することを防止することができる。なお、壁部２４は、ＯＩＳ可動部１０の移動に干渉しないように、ベース２１の四隅の角部からＸ方向及びＹ方向に延在していればよい。

［ＯＩＳ可動部］
ＯＩＳ可動部１０について、図１２～図１４を参照して説明する。ＯＩＳ可動部１０は、レンズ部２を保持可能に構成されており、図１２～図１４に示すように、ＡＦ部１１、第２ステージ１４等を有する。また、ＡＦ部１１は、ＡＦ可動部１２、第１ステージ１３、ＡＦ駆動部１５及びＡＦ支持部１６等を有する。

Ｙ方向の移動に関しては、第１ステージ１３及び第２ステージ１４を含むＯＩＳ可動部１０全体が可動体（可動側部材）となる。一方、Ｘ方向の移動に関しては、第２ステージ１４はＯＩＳ固定部２０と共に固定体（固定側部材）として機能し、ＡＦ部１１（ＡＦ可動部１２及び第１ステージ１３）だけが可動体（可動側部材）として機能する。また、第１ステージ１３は、ＡＦ可動部１２を支持するＡＦ固定部として機能する。

［ＡＦ可動部］
ＡＦ可動部１２について図１５～図１８を参照して説明を行う。図１５は、ＡＦ可動部１２及びＡＦ駆動部１５の斜視図である。図１６は、ＡＦ可動部１２からＡＦ駆動部１５を分離した分解斜視図である。図１７は、ＡＦ駆動部１５の分解斜視図である。図１８は、ＡＦ可動部１２、第１ステージ１３及び第２ステージ１４を斜め下方側から見た図である。

ＡＦ可動部１２は、レンズ部２（図３を参照）を保持可能なレンズホルダーであり、ピント合わせ時に光軸方向に移動する。ＡＦ可動部１２は、第１ステージ１３（ＡＦ固定部）に対して径方向内側（レンズ部２側）に離間して配置され、後述するＡＦ支持部１６を介して、第１ステージ１３に支持される。

ＡＦ可動部１２は、例えば、ポリアリレート（ＰＡＲ）、ＰＡＲを含む複数の樹脂材料を混合したＰＡＲアロイ、液晶ポリマー等で形成される。ＡＦ可動部１２は、筒状のレンズ収容部１２１を有する。レンズ収容部１２１の内周面には、レンズ部２が、例えば、接着等により固定される。

ＡＦ可動部１２は、レンズ収容部１２１の外周面の光軸方向受光側（上側）において、当該外周面の全周から径方向外側に突出するフランジ部１２２を有する。フランジ部１２２の光軸方向結像側（下側）は、後述する第１ステージ１３のフランジ受部１３１ａと当接することにより、ＡＦ可動部１２の光軸方向結像側への移動を規制する。本実施の形態では、フランジ部１２２は、ＡＦ駆動部１５が駆動されていない基準状態において、フランジ受部１３１ａに当接する。

また、ＡＦ可動部１２は、フランジ部１２２の外周面の一部から径方向外側に突出する突出部１２３を有する。突出部１２３は、平面視において、光軸周りに等間隔に配置されることが好ましい。本実施の形態では、光軸周りに９０°の等間隔となるように、４つの突出部１２３が設けられている。

なお、４つの突出部１２３のうちの１つの突出部１２３ａは、光軸方向結像側に延在しており、延在された部分の内部にＺ位置検出用のマグネット１７Ｚが設けられている。マグネット１７Ｚは、上述したように、光軸方向において、センサー基板２２のＺ位置検出用の磁気センサー２２１Ｚと対向する位置に配置されている（図６を参照）。

上述した突出部１２３は、後述する第１ステージ１３の案内溝１３２に挿入され、ＡＦ可動部１２がＺ方向に移動する際に、案内溝１３２に沿って移動する。このように、案内溝１３２は突出部１２３のＺ方向の案内機構として機能する。

本実施の形態では、上述したように、複数の突出部１２３及び案内溝１３２が設けられており、案内溝１３２は突出部１２３のＺ方向の案内機構として機能する。そのため、ＡＦ可動部１２の一部が大きく浮き上がろうとすると（ＡＦ可動部１２が傾こうとすると）、突出部１２３が案内溝１３２に接触して、ある角度以上はＡＦ可動部１２が傾かないように規制することになる。その結果、外部から大きな衝撃が加わっても、ＡＦ可動部１２の一部が大きく浮き上がることを、第１ステージ１３（ＡＦ固定部）により防止して、ＡＦ可動部１２がカバー３の内壁（光軸方向受光側の内壁）に接触しないようにすることができる。

突出部１２３と案内溝１３２との間隔等を調整することにより、３つの突出部１２３及び案内溝１３２でも、上記と同様の効果を得ることが可能であるが、本実施の形態のように、４つ以上の突出部１２３及び案内溝１３２を設けた方が上記の効果は大きい。

また、突出部１２３は、本実施の形態では、平面視において、円弧形状であり、また、案内溝１３２も、平面視において、円弧形状となっている。このような円弧形状の場合、周方向の長さが同じで、径方向の長さが同じ矩形状のものよりも、平面視における面積が小さくなり、突出部１２３及び案内溝１３２の配置に関し、省スペース化を図ることができる。

また、ＡＦ可動部１２は、ＡＦ駆動部１５を収容する駆動部収容部１２４を有する（図１６を参照）。駆動部収容部１２４は、レンズ収容部１２１の外周面に設けられている。また、ＡＦ可動部１２は、駆動部収容部１２４を間に挟むように、レンズ収容部１２１の外周面から径方向外側に突出し、光軸方向に延在する一対のプレート収容部１２５、１２６を有する。一対のプレート収容部１２５、１２６は、レンズ収容部１２１の外周面に対向して配置される対向面１２５ａ、１２６ａを有し、対向面１２５ａ、１２６ａは、Ｘ方向において、互いに近接する方向に延在している。つまり、プレート収容部１２５、１２６は、平面視において、略Ｌ字形状となっている。

詳細は図１７を参照して後述するが、駆動部収容部１２４にＡＦ駆動部１５の受動要素であるＡＦ動力伝達部１５４が配置され、プレート収容部１２５、１２６にＡＦ駆動部１５のプレート１５５が配置される。また、駆動部収容部１２４及び一対のプレート収容部１２５、１２６は、後述する第１ステージ１３のＡＦモーター固定部１３５に収容され、ＡＦ支持部１６にＺ方向に移動可能に支持される（図１３、図１４を参照）。

［第１ステージ］
第１ステージ１３は、レンズ部２（図３を参照）を保持した状態のＡＦ可動部１２を、ＡＦ支持部１６を介して支持する（図１３を参照）。第１ステージ１３の光軸方向結像側に離間した位置には、Ｘ方向基準ボール４２を介して、第２ステージ１４が配置され、第１ステージ１３は、Ｘ方向に移動可能に、第２ステージ１４に支持される（図１２を参照）。第２ステージ１４は、振れ補正時にＹ方向のみに移動可能である。第１ステージ１３自体は、振れ補正時にＸ方向のみに移動可能であるが、第２ステージ１４に支持されるので、第２ステージ１４と共にＹ方向にも移動可能である。

第１ステージ１３は、光軸方向から見た平面視において略矩形状を有する部材であり、例えば、液晶ポリマーで形成される。第１ステージ１３は、ＡＦ可動部１２に対応する部分に略円形状の開口１３１を有する（図１３を参照）。開口１３１には、ＡＦ可動部１２のフランジ部１２２に対応するフランジ受部１３１ａが径方向内側に突出するように形成されている。また、開口１３１には、ＡＦ可動部１２の突出部１２３に対応する案内溝１３２が形成されている。

第１ステージ１３は、下面に、ＯＩＳ支持部４０を構成するＸ方向基準ボール４２を保持するＸ方向開口部１３３ａ、１３３ｂを有する（図１８を参照）。ＯＩＳ支持部４０を構成するＸ方向基準ボール４２、Ｘ方向開口部１３３ａ、１３３ｂについては、図１９、図２０を参照して後述する。

第１ステージ１３において、第１ＯＩＳ駆動部３０Ｘが配置される部分（第１ステージ１３の側壁の外側面）は、径方向外側にはみ出すことなく、第１ＯＩＳ駆動部３０Ｘを配置できるよう、径方向内側に凹んで形成されている（ＯＩＳモーター固定部１３４）。同様に、第１ステージ１３において、第２ＯＩＳ駆動部３０Ｙが配置される部分も、径方向内側に凹んで形成されており、ここでは、隅部分を切り欠いた部分と一体に形成されている（切欠部１３７ａ）。

第１ステージ１３において、Ｘ方向に沿う一方の側壁の内側には、ＡＦ駆動部１５が配置されて固定されるＡＦモーター固定部１３５が形成されている。ＡＦモーター固定部１３５は、リベット用の貫通孔を有するリベット取付部１３５ａと、ＡＦ駆動部１５のＡＦ共振部１５１用の挿入穴を有する下部固定板１３５ｂを有し、これらにＡＦ駆動部１５のＡＦ共振部１５１が取り付けられる。

具体的には、リベット１５６（図１６を参照）をリベット取付部１３５ａ（図１４を参照）の貫通孔及び通電部１５１ｃの貫通孔１５１ｆ（図１７を参照）に挿通し、その先端を留め具１５７（図１８を参照）で留めている。これにより、ＡＦ共振部１５１をリベット取付部１３５ａに取り付ける。また、ＡＦ共振部１５１の下端部（光軸方向結像側）を下部固定板１３５ｂに設けられた挿入穴（符号省略）に挿入し、接着により固定することで、ＡＦ共振部１５１を下部固定板１３５ｂに取り付ける。このようにして、ＡＦ駆動部１５は、アーム部１５１ｂがＺ方向に延在するように、第１ステージ１３のＡＦモーター固定部１３５に固定される。

また、第１ステージ１３において、Ｙ方向に沿う一方の側壁には、Ｘ位置検出用のマグネット１７Ｘが配置される（図１８を参照）。例えば、マグネット１７ＸはＸ方向に着磁される。上述したように、センサー基板２２においては、マグネット１７Ｘと光軸方向に対向する位置に、Ｘ位置検出用の磁気センサー２２１Ｘが配置される（図６を参照）。

［第１ステージの配線］
図１９は、第１ステージ１３の底面図である。図２０は、第１ステージ１３において、第１ステージ１３の底面に形成された開口部と、第１ステージ１３内部に配置された配線１８１～１８４との位置関係を示す図である。図２０においては、第１ステージ１３、Ｘ方向開口部１３３ａ、１３３ｂ及び配線１８１～１８４の位置関係を示すため、これらの形状のみ図示している。

第１ステージ１３には、例えば、インサート成形により、配線１８１～１８４（本発明における配線）が埋設されている。配線１８１～１８４は、第１ステージ１３の内部に配置され、配線１８１～１８４の一方の端部の端子１８１ａ～１８４ａの位置から他方の端部の端子１８１ｂ～１８４ｂの位置まで延設されている（図２０を参照）。ここでは、配線１８１～１８４は、例えば、第１ステージ１３のＸ方向に沿う側部において、Ｘ方向に沿うように配置されている。

配線１８１～１８４は、第１ステージ１３の四隅の角部分を切り欠いた切欠部１３７から端子１８１ａ～１８４ａが露出しており、端子１８１ａ～１８４ａに、ＯＩＳ用付勢部材５０の一端が接続される。また、端子１８１ｂ～１８４ｂは第１ステージ１３の表面側（光軸方向受光側）に形成された開口部（図示省略）から露出されている。

配線１８１、１８２は、第１ステージ１３を移動させる第１ＯＩＳ駆動部３０Ｘへの給電ラインとなる配線である。配線１８１、１８２の端子１８１ｂ、１８２ｂは、第１ＯＩＳ駆動部３０Ｘと電気的に接続され、第１ＯＩＳ駆動部３０Ｘへの給電は、端子１８１ａ、１８２ａに接続されたＯＩＳ用付勢部材５０を介して行われる。

また、配線１８３、１８４は、ＡＦ可動部１２を移動させるＡＦ駆動部１５への給電ラインとなる配線である。配線１８３、１８４の端子１８３ｂ、１８４ｂは、ＡＦ駆動部１５と電気的に接続され、ＡＦ駆動部１５への給電は、端子１８３ａ、１８４ａに接続されたＯＩＳ用付勢部材５０を介して行われる。

このように、第１ステージ１３は、第１ＯＩＳ駆動部３０Ｘ、ＡＦ駆動部１５を駆動するための回路となる配線１８１～１８４を有している。

第１ステージ１３の内部に配置された配線１８１～１８４のうちの配線１８３、１８４は、Ｘ方向開口部１３３ａ内で露出するように延設された延設部１８３ｃ、１８４ｃを各々有している。延設部１８３ｃ、１８４ｃは、配線１８３、１８４においてＸ方向開口部１３３ａに近接する部分から延設されている。配線１８３、１８４（延設部１８３ｃ、１８４ｃ）が露出されるＸ方向開口部１３３ａは、図１０で説明したＹ方向開口部２１８ａと同様の構成でよい。

ここでは、一例として、Ｘ方向開口部１３３ａ内で配線の一部（延設部１８３ｃ、１８４ｃ）が露出するよう構成されているが、これに限らず、全てのＸ方向開口部１３３ａ、１３３ｂ内で配線の一部が露出するよう構成してもよい。例えば、配線１８１～１８４の何れか複数に上記の延設部１８３ｃ、１８４ｃと同様の延設部を設けてもよいし、配線１８１～１８４の配置を調整してもよい。

［第２ステージ］
第２ステージ１４は、光軸方向から見た平面視において略矩形状を有する部材であり、例えば、液晶ポリマーで形成される。第２ステージ１４は、Ｘ方向基準ボール４２を介して、第１ステージ１３に対して、光軸方向結像側に離間した位置に配置され、第１ステージ１３をＸ方向に移動可能に支持し、第１ステージ１３と共にＹ方向に移動可能である。

第２ステージ１４の内周面１４１は、ＡＦ可動部１２の外形に対応して形成されている（図１２を参照）。第２ステージ１４において、第１ＯＩＳ駆動部３０Ｘ及び第２ＯＩＳ駆動部３０Ｙが配置される部分（側壁の外側面）は、第１ステージ１３と同様に、径方向内側に凹んで形成されている。第２ＯＩＳ駆動部３０Ｙが配置される部分は、隅部分を切り欠いた部分と一体に形成されている（切欠部１４７ａ）。

第２ステージ１４は、上面に、ＯＩＳ支持部４０を構成するＸ方向基準ボール４２を保持するＸ方向開口部１４３を有する（図１２を参照）。Ｘ方向開口部１４３については、Ｘ方向開口部１４３に対向して配置される上記のＸ方向開口部１３３ｂと同様の構成でよいので、ここでは、重複する説明は省略する。

また、第２ステージ１４は、下面に、ＯＩＳ支持部４０を構成するＹ方向基準ボール４１を保持するＹ方向開口部１４４を有する（図１８を参照）。Ｙ方向開口部１４４については、Ｙ方向開口部１４４に対向して配置される上記のＹ方向開口部２１８ｂと同様の構成でよいので、ここでも、重複する説明は省略する。

また、第２ステージ１４において、Ｙ方向に沿う一方の側壁には、Ｙ位置検出用のマグネット１７Ｙが配置される（図１８を参照）。例えば、マグネット１７ＹはＹ方向に着磁される。センサー基板２２において、マグネット１７Ｙと光軸方向に対向する位置に、Ｙ位置検出用の磁気センサー２２１Ｙが配置される（図６を参照）。

上述したように、本実施の形態では、Ｘ方向に移動する第１ステージ１３にマグネット１７Ｘを配置し、Ｙ方向に移動する第２ステージ１４にマグネット１７Ｙを配置し、Ｚ方向に移動するＡＦ可動部１２にマグネット１７Ｚを配置している（図１８を参照）。このように、マグネット１７Ｘ、１７Ｙを複数の部材に分散して配置して、特定の１つの部材に配置が集中しないようにしている。そのため、マグネット１７Ｘ、１７Ｙの設置スペースを確保するために、特定の１つの部材、例えば、第２ステージ１４の側壁の一部を切り欠く必要はなく、第２ステージ１４の側壁の一部の肉厚が薄くなることもない。その結果、外部から大きな衝撃が加わったとしても、第２ステージ１４等が変形したりすることはなく、部品の耐久性を向上させることができる。

また、Ｘ方向のみに移動するときは、第１ステージ１３は移動するが、第２ステージ１４は移動せず、第２ステージ１４に配置したマグネット１７Ｙも移動しない。そのため、マグネット１７ＸによるＸ方向の位置検出の際に、マグネット１７Ｙの影響がなくなり、検出精度を向上させることができる。

［ＯＩＳ支持部－Ｘ方向］
第１ステージ１３は、底面に、ＯＩＳ支持部４０を構成するＸ方向基準ボール４２を収容するＸ方向開口部１３３ａ、１３３ｂ（本発明における収容部）を有する（図１９、図２０を参照）。Ｘ方向基準ボール４２は、Ｘ方向開口部１３３ａ、１３３ｂと、Ｚ方向において対向する第２ステージ１４のＸ方向開口部１４３（本発明における収容部）との間に挟持される（図１２、図１８を参照）。

Ｘ方向開口部１３３ａ、１３３ｂ及びＸ方向開口部１４３は、Ｘ方向に延びる矩形状の開口を有する溝部である。Ｘ方向開口部１３３ａ、１３３ｂ及びＸ方向開口部１４３は、ＹＺ平面における断面形状が、例えば、四角形や逆三角形（Ｖ字状）となるように形成されている。Ｘ方向開口部１３３ａ、１３３ｂ及びＸ方向開口部１４３は、溝部の底面に向かって溝幅が狭くなるようにしてもよく、その場合、ＹＺ平面における断面形状は、逆台形や逆三角形（Ｖ字状）となるようにすればよい。

本実施の形態において、Ｘ方向開口部１３３ａは、図１０に示すＹ方向開口部２１８ａと同様に、逆台形の断面形状に形成されており、Ｘ方向開口部１３３ａの底部を構成するように、上述した配線１８３、１８４の延設部１８３ｃ、１８４ｃが露出されている。つまり、Ｘ方向開口部１３３ａを形成する収容部形成面（内壁）の一部である底部において、延設部１８３ｃ、１８４ｃがＸ方向基準ボール４２と接触して光軸方向の荷重を受けるように露出されている。この場合、Ｘ方向開口部１３３ａを形成する収容部形成面の底部で露出されている延設部１８３ｃ、１８４ｃは、光軸に直交する平面状であり、Ｘ方向基準ボール４２と１点で当接する。

Ｘ方向基準ボール４２は、底部が延設部１８３ｃ、１８４ｃからなるＸ方向開口部１３３ａの内側に配置され、Ｚ方向においては、延設部１８３ｃ、１８４ｃと接することになる。配線１８１～１８４は、導電性がある金属から構成されるため、一般的に樹脂材料等から構成される第１ステージ１３より硬質である。そのため、例えば、落下等により光学素子駆動装置１が大きな衝撃を受けても、Ｘ方向基準ボール４２の打痕等による変形は延設部１８３ｃ、１８４ｃには生じにくく、Ｘ方向開口部１３３ａの変形を抑制することができる。

また、Ｘ方向開口部１３３ａの内壁の一部として、第１ステージ１３の内部に埋設された配線１８３、１８４の延設部１８３ｃ、１８４ｃを利用するので、変形し難い部材を新たに追加することなく、Ｘ方向開口部１３３ａの変形を抑制することができる。

なお、本実施の形態において、Ｘ方向開口部１３３ｂ、１４３は、ＹＺ平面における断面形状がＶ字状となるように形成されている。ここでは、Ｘ方向開口部１３３ｂは、配線１８１～１８４の一部を露出する構成にしていないが、例えば、Ｘ方向開口部１３３ｂのＶ字断面の少なくとも一方の側面に配線１８１～１８４の一部が露出されるよう構成してもよい。この場合、配線１８１～１８４のうち、Ｘ方向開口部１３３ｂで露出される配線の一部又は全部において、第１ステージ１３の底面側（光軸方向結像側）の面が、第１ステージ１３の底面に対して傾斜するように埋設する。また、配線１８１～１８４のうち、Ｘ方向開口部１３３ｂで露出される配線の一部又は全部をＶ字断面形状に形成して、第１ステージ１３の内部に埋設する。

また、ここでは、第２ステージ１４が内部に配線を有していないので、Ｘ方向開口部１４３は、配線の一部を露出する構成にしていない。第２ステージ１４が内部に配線を有する構成とする場合には、Ｘ方向開口部１４３は、Ｘ方向開口部１３３ｂと同様に、配線の一部が露出されるよう構成してもよい。

Ｘ方向開口部１３３ａ、１３３ｂ、１４３により各々形成される溝は、Ｘ方向に平行に形成されている。そのため、Ｘ方向開口部１３３ａ、１３３ｂとＸ方向開口部１４３との間に挟持されるＸ方向基準ボール４２は、溝内において、Ｘ方向に転動可能である。つまり、ＯＩＳ可動部１０（第２ステージ１４）は、Ｘ方向基準ボール４２を介して、第１ステージ１３をＸ方向に移動可能に支持している。

Ｘ方向開口部１３３ａ、１３３ｂ及びＸ方向開口部１４３は、矩形状の第１ステージ１３及び第２ステージ１４の四隅の部分に配置され、第１ステージ１３は、４個のＸ方向基準ボール４２で、つまり、４点で第２ステージ１４に支持されている。このように、Ｘ方向基準ボール４２は、多点接触で挟持されるので、安定してＸ方向に転動する。

なお、第１ステージ１３は、少なくとも３点以上で第２ステージ１４に支持されればよい。例えば、３点で支持する場合には、第１ステージ１３及び第２ステージ１４の１つの辺側の２箇所と当該辺に対向する辺側の１箇所の合計３箇所にＸ方向開口部１３３ａ、１３３ｂ及びＸ方向開口部１４３を配置すればよい。

以上説明したＯＩＳ支持部４０は、ＯＩＳ固定部２０に対して、ＯＩＳ可動部１０を光軸方向に離間した状態で光軸直交方向に揺動可能に支持する。本実施の形態では、ＯＩＳ支持部４０は、ＯＩＳ可動部１０（第２ステージ１４）とベース２１の間に介在する４個のＹ方向基準ボール４１を有する（図６、図７を参照）。また、ＯＩＳ支持部４０は、ＯＩＳ可動部１０において、第１ステージ１３と第２ステージ１４の間に介在する４個のＸ方向基準ボール４２を有する（図１２を参照）。

本実施の形態では、４個のＹ方向基準ボール４１は、上述したように、Ｙ方向に転動可能であり、転動可能な方向がＹ方向に規制されている。また、４個のＸ方向基準ボール４２は、Ｘ方向に転動可能であり、転動可能な方向がＸ方向に規制されている。このように、Ｙ方向基準ボール４１及びＸ方向基準ボール４２の転動可能な方向を規制することにより、ＯＩＳ可動部１０をＸＹ面内で精度よく揺動できるようになっている。なお、ＯＩＳ支持部４０を構成するＹ方向基準ボール４１及びＸ方向基準ボール４２の数は、適宜変更することができる。

［ＡＦ駆動部］
ＡＦ駆動部１５は、ＡＦ可動部１２をＺ方向に移動させるアクチュエーターである。ＡＦ駆動部１５は、ＯＩＳ駆動部３０と同様に、ＡＦ可動部１２を移動させる駆動源となる超音波モーターを有する。ＡＦ駆動部１５の構成を、図１７を参照して説明する。図１７は、ＡＦ駆動部１５の各部材を分解した状態を示す。

図１７に示すように、ＡＦ駆動部１５は、ＡＦ共振部１５１、ＡＦ圧電素子１５２、ＡＦ電極１５３、ＡＦ動力伝達部１５４及びプレート１５５を有する。ＡＦ駆動部１５の駆動力は、ＡＦ動力伝達部１５４を介して、ＡＦ可動部１２に伝達される。すなわち、ＡＦ駆動部１５において、ＡＦ共振部１５１が能動要素を構成し、ＡＦ動力伝達部１５４が受動要素を構成する。

ＡＦ共振部１５１は、導電性材料で形成され、ＡＦ圧電素子１５２の振動に共振して、振動運動を直線運動に変換する。ＡＦ共振部１５１は、例えば、金属板のレーザー加工、エッチング加工又はプレス加工等により形成される。

ＡＦ共振部１５１は、胴部１５１ａ、２つのアーム部１５１ｂ、通電部１５１ｃ、突出部１５１ｄ等を有している。

ＡＦ共振部１５１において、胴部１５１ａは、ＡＦ圧電素子１５２に挟持される部分である。

２つのアーム部１５１ｂは、胴部１５１ａの両側部からＺ方向に延在する。２つのアーム部１５１ｂは、対称的な形状を有し、それぞれの自由端部１５１ｅが、プレート１５５を介して、ＡＦ動力伝達部１５４に挟持されるように配置される。２つのアーム部１５１ｂは、ＡＦ圧電素子１５２の振動に共振して対称的に変形する。

通電部１５１ｃは、胴部１５１ａの中央部からＺ方向に延在し、給電ラインである第１ステージ１３の配線１８３の端子１８３ｂと電気的に接続される。また、通電部１５１ｃには、リベット１５６を挿通する貫通孔１５１ｆが形成されている。

ここで、第１ステージ１３のＡＦモーター固定部１３５には、リベット１５６を挿通する貫通孔を有するリベット取付部１３５ａが形成されている（図１３、図１４を参照）。リベット１５６は、光学素子駆動装置本体４の外側から内側に向かって、通電部１５１ｃの貫通孔１５１ｆ及びリベット取付部１３５ａの貫通孔に挿通されて、その先端が留め具１５７（図１８を参照）で留められている。リベット１５６及び留め具１５７により、ＡＦ駆動部１５のＡＦ共振部１５１は、ＡＦモーター固定部１３５（第１ステージ１３側）に固定される。

このように、リベット１５６及び留め具１５７を用いることにより、ＡＦ駆動部１５のＡＦ共振部１５１をＡＦモーター固定部１３５に堅固に固定することができる。そのため、外部から大きな衝撃が加わったとしても、ＡＦ共振部１５１がＡＦモーター固定部１３５から外れたり、ずれたりすることはなく、ＡＦ駆動部１５の信頼性を高めることができる。

なお、ここでは、リベット１５６及び留め具１５７を用いて、ＡＦ駆動部１５のＡＦ共振部１５１をＡＦモーター固定部１３５に固定したが、他の部材、例えば、樹脂系の接着剤等の固着材料を用いて固定してもよい。

突出部１５１ｄは、胴部１５１ａの中央部から通電部１５１ｃとは反対側に延在する。突出部１５１ｄは、下部固定板１３５ｂに設けられた挿入穴（符号省略）に挿入され、例えば、接着により固定される。

ＡＦ圧電素子１５２は、例えば、セラミック材料で形成された板状素子であり、高周波電圧を印加することにより振動を発生する。２枚のＡＦ圧電素子１５２は、ＡＦ共振部１５１の胴部１５１ａを挟み込むように、張り合わされて配置されている。

ＡＦ電極１５３は、ＡＦ共振部１５１の胴部１５１ａを間に挟む２つのＡＦ圧電素子１５２を挟持するように配置されている。

このように、ＡＦ共振部１５１の胴部１５１ａに２つのＡＦ圧電素子１５２が貼り合わされ、ＡＦ電極１５３により挟持されることにより、これらは互いに電気的に接続される。ＡＦ共振部１５１の通電部１５１ｃが第１ステージ１３の配線１８３の端子１８３ｂに接続され、ＡＦ電極１５３が第１ステージ１３の配線１８４の端子１８４ｂに接続されることで、ＡＦ圧電素子１５２に電圧が印加され、振動が発生する。

ＡＦ共振部１５１は、ＯＩＳ共振部３１と同様に、少なくとも２つの共振周波数を有し、それぞれの共振周波数に対して、異なる挙動で変形する。言い換えると、ＡＦ共振部１５１は、２つの共振周波数に対して異なる挙動で変形するように、全体の形状が設定されている。異なる挙動とは、ＡＦ動力伝達部１５４をＺ方向に前進させる挙動と、後退させる挙動である。従って、ＡＦ共振部１５１を所望の共振周波数で振動させることにより、ＡＦ動力伝達部１５４をＺ方向に前進又は後退させることができる。

ＡＦ動力伝達部１５４は、Ｚ方向に所定の長さを有するチャッキングガイドである。ＡＦ動力伝達部１５４は、ＡＦ共振部１５１のアーム部１５１ｂに向けて、プレート１５５を付勢する部材である。ＡＦ動力伝達部１５４の構造は適宜に変更可能であるが、ここでは、一例として、ＡＦ動力伝達部１５４は、一対の側壁部１５４ａ、一対の板バネ部１５４ｂ、連結部１５４ｃ、取付部１５４ｄ、一対の取付孔１５４ｅ等を有する。

一対の側壁部１５４ａは、Ｘ方向において互いに対向し、各々、Ｙ方向－側に延在すると共にＺ方向下側（－側）に延在する。一対の板バネ部１５４ｂは、側壁部１５４ａのＺ方向下側の端部をヘアピン状に内側に折り返し、アーム部１５１ｂに対してプレート１５５を同じ付勢力で内側に押し付けるように、Ｚ方向に対して傾斜して形成されている。連結部１５４ｃは、Ｘ方向に延在し、Ｚ方向上側の端部において、一対の側壁部１５４ａの間を連結する。取付部１５４ｄは、レンズ収容部１２１の外周面に沿って、連結部１５４ｃからＺ方向下側に延在する。取付孔１５４ｅは、取付部１５４ｄに設けられ、Ｙ方向に貫通する孔である。

ＡＦ共振部１５１のアーム部１５１ｂは、プレート１５５を介して、板バネ部１５４ｂを押し拡げるように当接して、ＡＦ駆動部１５の駆動力がＡＦ可動部１２に伝達される。ＡＦ動力伝達部１５４の板バネ部１５４ｂは、２つのアーム部１５１ｂが当接されたときに、板バネとして機能するので、ＡＦ共振部１５１の変形によって生じる駆動力が効率よく伝達される。ＡＦ動力伝達部１５４の板バネ部１５４ｂにより、ＡＦ駆動部１５のアーム部１５１ｂを押し返す方向に付勢力が働くので、ＡＦ共振部１５１の変形によって生じる駆動力が、ＡＦ動力伝達部１５４に、より効率よく伝達される。

本実施の形態では、ＡＦ動力伝達部１５４は、ＡＦ可動部１２と別部材で構成されている。ＡＦ動力伝達部１５４は、例えば、平面視で略Ｕ字形状を有し、側壁部１５４ａがＸ方向に対向した状態で、取付部１５４ｄがレンズ収容部１２１の外周面に固定される。具体的には、駆動部収容部１２４に設けられた突起部１２４ａに取付部１５４ｄの取付孔１５４ｅが挿入されると共に、側壁部１５４ａがプレート収容部１２５、１２６の凹部１２５ｂ、１２６ｂに配置される。これにより、ＡＦ動力伝達部１５４は、レンズ収容部１２１の外周面に、つまり、ＡＦ可動部１２に固定される。

ＡＦ動力伝達部１５４は、例えば、チタン銅、ニッケル銅、ステンレス等の金属材料で形成される。なお、ＡＦ動力伝達部１５４は、ＡＦ可動部１２と一体的に成形されてもよい。

プレート１５５は、ＡＦ共振部１５１のアーム部１５１ｂとＡＦ動力伝達部１５４の板バネ部１５４ｂとの間に介在するよう配置される。ＡＦ共振部１５１からの駆動力は、２つのプレート１５５を介して、ＡＦ動力伝達部１５４（ＡＦ可動部１２側）に伝達される。つまり、２つのプレート１５５は、ＡＦ動力伝達部１５４と共に、ＡＦ駆動部１５の受動要素として機能する。

プレート１５５は、例えば、チタン銅、ニッケル銅、ステンレス等の金属材料からなる硬質の板状部材である。プレート１５５は、主面がＡＦ共振部１５１のアーム部１５１ｂと当接するように、移動方向（Ｚ方向）に沿ってＡＦ可動部１２の駆動部収容部１２４に配置され、ＡＦ可動部１２と一体的に移動可能となっている。

プレート１５５は、他の部材には接着されずに、ＡＦ可動部１２のプレート収容部１２５、１２６に収容されている。具体的には、プレート１５５は、Ｚ方向においては、プレート収容部１２５、１２６の底部（図示省略）とＡＦ動力伝達部１５４の連結部１５４ｃとの間に配置されて、収容されている。プレート１５５は、Ｙ方向においては、対向面１２５ａ、１２６ａのＹ方向内側（図１６中の奥側）に形成されたガイド溝（図示省略）と駆動部収容部１２４におけるレンズ収容部１２１の外周面に形成された切欠部１２４ｂとの間に配置されて、収容されている。このようにして、プレート１５５は、収容されるプレート収容部１２５、１２６内において、Ｚ方向及びＹ方向には物理的に係止されている。

一方、プレート１５５は、収容されるプレート収容部１２５、１２６内において、Ｘ方向には、プレート１５５に当接する板バネ部１５４ｂの当接部分（自由端部１５１ｅ）の振動や変位に追従できるように、移動可能に配置されている。

以上説明したように、ＡＦ駆動部１５は、電圧印加により振動を発生するＡＦ圧電素子１５２と、ＡＦ圧電素子１５２の振動に共振して変形する２つのアーム部１５１ｂとを有し、２つのアーム部１５１ｂは、ＡＦ圧電素子１５２の振動を直線運動に変換する。ＡＦ駆動部１５において、２つのアーム部１５１ｂを有するＡＦ共振部１５１は、能動要素として機能する。

また、ＡＦ駆動部１５は、移動方向（Ｚ方向）に沿って駆動部収容部１２４に配置され、２つのアーム部１５１ｂに当接し、アーム部１５１ｂの駆動力を受けて、ＡＦ共振部１５１に対して相対的に移動する２つのプレート１５５を有する。ＡＦ駆動部１５において、２つのプレート１５５は、受動要素として機能する。

また、ＡＦ駆動部１５は、２つのアーム部１５１ｂに向けて、２つのプレート１５５を付勢する２つの板バネ部１５４ｂを有する。ＡＦ駆動部１５において、２つの板バネ部１５４ｂを有するＡＦ動力伝達部１５４は、付勢部材として機能する。

ＡＦ動力伝達部１５４の板バネ部１５４ｂは、プレート１５５を介して、アーム部１５１ｂに付勢力を付与している。このため、ＡＦ可動部１２が光軸方向に移動しても、つまり、プレート１５５に当接するアーム部１５１ｂの位置が移動しても、能動要素であるＡＦ共振部１５１のアーム部１５１ｂと受動要素であるプレート１５５との付勢状態（付勢荷重）は変動しない。従って、ＡＦ共振部１５１からの駆動力を、プレート１５５を介して、ＡＦ動力伝達部１５４（ＡＦ可動部１２側）に安定的に伝達することができる。

また、ＡＦ共振部１５１からＡＦ可動部１２への動力伝達経路が比較的短いので、ＡＦ共振部１５１からＡＦ可動部１２への動力伝達効率を向上させることができる。

板バネ部１５４ｂを有するＡＦ動力伝達部１５４とプレート１５５とを別部材とすることで、それぞれに適した材料を用いることができる。例えば、プレート１５５については、剛性の高い材料を用いることができ、この場合、ＡＦ駆動部１５のアーム部１５１ｂの駆動力をＡＦ動力伝達部１５４（ＡＦ可動部１２側）に効率よく伝達することができる。

また、プレート１５５は、表面が平坦であるため、任意の表面処理を適切に行うことができる。例えば、表面に、ダイヤモンドライクカーボン（ＤＬＣ）やセラミック等のコーティング層を形成した場合、耐摩耗性が格段に向上する。

また、ＡＦ共振部１５１（能動要素）及び２つのプレート１５５（受動要素）は、ＡＦ動力伝達部１５４の２つの板バネ部１５４ｂによって挟持されている。これにより、２つの板バネ部１５４ｂによる付勢力が釣り合った状態で、ＡＦ共振部１５１及び２つのプレート１５５が挟持されるので、２つのプレート１５５に対して均一な付勢力を容易に作用させることができる。

なお、上述したＡＦ駆動部１５の構造は、ＯＩＳ駆動部３０にも適用することができる。例えば、ＯＩＳ駆動部３０のＯＩＳ動力伝達部３４に代えて、ＡＦ動力伝達部１５４及びプレート１５５の組合せを適用することで、ロングストロークにも容易に対応でき、動作の安定性が向上する。

［ＡＦ支持部］
第１ステージ１３は、図１３及び図１４に示すように、ＡＦ支持部１６を構成する第１Ｚ方向基準ボール１６Ａ、第２Ｚ方向基準ボール１６Ｂを保持する第１Ｚ方向保持部１３６ａ、第２Ｚ方向保持部１３６ｂを有する。

第１ステージ１３には、上述したように、ＡＦ可動部１２の駆動部収容部１２４及び一対のプレート収容部１２５、１２６を収容するＡＦモーター固定部１３５が形成されている。第１Ｚ方向保持部１３６ａ及び第２Ｚ方向保持部１３６ｂは、ＡＦモーター固定部１３５のＸ方向の両端部に形成されている。

第１Ｚ方向保持部１３６ａは、Ｘ方向＋側に向かって形成された溝であり、光軸直交面（ＸＹ平面）に沿う断面形状が、溝底に向かって溝幅が狭くなる略Ｖ字状（テーパー形状）に形成されている（図５、図１３、図１４を参照）。第１Ｚ方向保持部１３６ａには、第１Ｚ方向基準ボール１６Ａが配置される。

また、第２Ｚ方向保持部１３６ｂは、Ｘ方向に対して傾斜して、Ｘ方向－側に向かって形成された溝であり、光軸直交面に沿う断面形状が略Ｕ字状に形成されている（図５、図１３、図１４を参照）。第２Ｚ方向保持部１３６ｂには、第２Ｚ方向基準ボール１６Ｂと共に、第２Ｚ方向基準ボール１６Ｂを介して、ＡＦ可動部１２を付勢するための付勢部１９が配置される。

上述したように、ＡＦ可動部１２は、プレート収容部１２５、１２６を有している。プレート収容部１２５のＸ方向＋側には、第１Ｚ方向基準ボール１６Ａを保持する第１Ｚ方向保持部１２５ｃが形成されている（図１６を参照）。第１Ｚ方向保持部１２５ｃは、Ｘ方向－側に向かって形成された溝であり、光軸直交面（ＸＹ平面）に沿う断面形状が、溝底に向かって溝幅が狭くなる略Ｖ字状（テーパー形状）に形成されている。

同様に、プレート収容部１２６のＸ方向－側には、第２Ｚ方向基準ボール１６Ｂを保持する第２Ｚ方向保持部１２６ｃが形成されている（図１６を参照）。第２Ｚ方向保持部１２６ｃは、Ｘ方向＋側に向かって形成された溝であり、光軸直交面（ＸＹ平面）に沿う断面形状が、溝底に向かって溝幅が狭くなる略Ｖ字状（テーパー形状）に形成されている。

ここで、付勢部１９について、図２１～図２３を参照して説明する。図２１は、ＡＦ可動部１２を付勢する付勢部１９を示す斜視図である。図２２は、第１ステージ１３とＡＦ可動部１２との間に配置される付勢部１９を説明するための断面図である。図２３は、付勢部１９の板バネ１９１の斜視図である。

付勢部１９は、例えば、金属材料で形成される付勢部材である板バネ１９１と、摩擦係数が小さいセラミック材料で形成されるスペーサー１９２と、を有する。第１ステージ１３側に板バネ１９１が配置され、ＡＦ可動部１２側にスペーサー１９２が配置される。

板バネ１９１は、Ｚ方向において、スペーサー１９２と複数箇所で当接するよう構成されている。具体的には、板バネ１９１は、図２３に示すように、基部１９１ａ、第１弾性変形部１９１ｂ、第１当接部１９１ｃ、第１折り曲げ部１９１ｄ、第２弾性変形部１９１ｅ、第２当接部１９１ｆ、第２折り曲げ部１９１ｇ、規制部１９１ｈを有している。図２３に示す板バネ１９１は、たとえば、一枚の板金に打ち抜き加工や曲げ加工を行うことで形成可能である。

基部１９１ａは、第２Ｚ方向保持部１３６ｂの内壁に接する矩形の板状部材であり、第１弾性変形部１９１ｂ及び第２弾性変形部１９１ｅを弾性変形可能に支持する。第１弾性変形部１９１ｂは、基部１９１ａに対して弾性変形する部分であり、基部１９１ａの上端側からＺ方向－側かつＸ方向＋側へ延在するように折り曲げて形成した台形の板状部材である。第１弾性変形部１９１ｂは、２つの第２弾性変形部１９１ｅが形成する開口部１９１ｉを挿通するように配置されている。

第１当接部１９１ｃは、第１弾性変形部１９１ｂの下端側において、つまり、Ｚ方向－側において、スペーサー１９２と当接する部分である。第１折り曲げ部１９１ｄは、第１弾性変形部１９１ｂの下端側からＺ方向－側かつＸ方向－側に折り曲げて形成した三角形の板状部材である。第１折り曲げ部１９１ｄを形成することで、第１当接部１９１ｃは、Ｘ方向＋側に突出して、スペーサー１９２と当接することになる。

第２弾性変形部１９１ｅは、基部１９１ａに対して弾性変形する部分であり、基部１９１ａの下端側からＺ方向＋側かつＸ方向＋側へ延在するように折り曲げて形成した２つの台形の板状部材である。２つの第２弾性変形部１９１ｅ及び第２折り曲げ部１９１ｇに囲まれる部分が開口部１９１ｉとなっている。

第２当接部１９１ｆは、２つの第２弾性変形部１９１ｅの上端側において、つまり、Ｚ方向＋側において、スペーサー１９２と当接する部分である。第２折り曲げ部１９１ｇは、２つの第２弾性変形部１９１ｅを接続するように、２つの第２弾性変形部１９１ｅの上端側からＺ方向＋側かつＸ方向－側に折り曲げて形成した矩形の板状部材である。第２折り曲げ部１９１ｇを形成することで、第２当接部１９１ｆは、Ｘ方向＋側に突出して、スペーサー１９２と当接することになる。

規制部１９１ｈは、第２折り曲げ部１９１ｇの上端側からＸ方向＋側に折り曲げて形成した矩形の板状部材である。規制部１９１ｈは、スペーサー１９２の上方側（Ｚ方向＋側）への動きを規制して、第１当接部１９１ｃ及び第２当接部１９１ｆがスペーサー１９２へ安定して当接するようにしている。

以上のように、板バネ１９１は、Ｚ方向において、スペーサー１９２と複数箇所で当接する第１当接部１９１ｃ及び第２当接部１９１ｆを有する。そのため、ＡＦ可動部１２がＺ方向のどの位置に移動しても、スペーサー１９２（ＡＦ可動部１２側）に対する板バネ１９１の付勢力が変化することはなく、一定の付勢力を付与することができる。この結果、ＡＦ可動部１２のＺ方向に対するチルトを抑制することができる。

また、板バネ１９１と第２Ｚ方向基準ボール１６Ｂとの間にセラミック製のスペーサー１９２を介在させることにより、第２Ｚ方向基準ボール１６Ｂを滑らかに転動させることができ、耐久性も向上する。なお、スペーサー１９２の材質は、第２Ｚ方向基準ボール１６Ｂを滑らかに転動させることができるものであればよく、摩擦係数が小さいセラミック材料に限らず、例えば、銅合金やステンレスなど適度な摩擦係数を有する材料でもよい。

第２Ｚ方向保持部１３６ｂは、Ｘ方向に対して傾斜して形成されており、第２Ｚ方向保持部１３６ｂに収容される付勢部１９は、Ｘ方向に対して傾斜して、第２Ｚ方向基準ボール１６Ｂを付勢する。これにより、ＡＦ可動部１２は、第２Ｚ方向基準ボール１６Ｂを介して、直交する２方向であるＸ方向及びＹ方向に押し付けられ、光軸直交面内において安定した姿勢で保持される。

Ｘ方向に対する第２Ｚ方向保持部１３６ｂの傾斜角θや板バネ１９１の予圧Ｆは、ＡＦ可動部１２の光軸周りの回転が規制されるように設定される。傾斜角θは、例えば、０°～４５°（０°を除く）であり、傾斜角θを大きくすると、予圧Ｆを小さくすることができ、予圧Ｆを大きくすると、傾斜角θを小さくすることができる。

第１Ｚ方向基準ボール１６Ａは、ＡＦ可動部１２のプレート収容部１２５の第１Ｚ方向保持部１２５ｃと第１ステージ１３の第１Ｚ方向保持部１３６ａとの間に転動可能に保持される。また、第２Ｚ方向基準ボール１６Ｂは、ＡＦ可動部１２のプレート収容部１２６の第２Ｚ方向保持部１２６ｃと第１ステージ１３の第２Ｚ方向保持部１３６ｂに配置されたスペーサー１９２との間に転動可能に保持される。

ＡＦ可動部１２は、第１Ｚ方向基準ボール１６Ａ及び第２Ｚ方向基準ボール１６Ｂを介して、付勢された状態で第１ステージ１３に支持され、安定した姿勢で保持される。第２Ｚ方向基準ボール１６Ｂは、予圧ボールとしても機能している。

第１Ｚ方向基準ボール１６Ａは、ＡＦ可動部１２と第１ステージ１３によって挟持され、光軸直交方向における移動（ＡＦ可動部１２の回転）が規制されている。これにより、ＡＦ可動部１２を、光軸方向に安定した挙動で移動させることができる。

一方、第２Ｚ方向基準ボール１６Ｂは、板バネ１９１及びスペーサー１９２を介して、ＡＦ可動部１２と第１ステージ１３によって挟持され、光軸直交方向における移動が許容されている。これにより、ＡＦ可動部１２及び第１ステージ１３の寸法公差を吸収できると共に、ＡＦ可動部１２が移動する際の安定性が向上する。

また、第１Ｚ方向基準ボール１６Ａ及び第２Ｚ方向基準ボール１６Ｂは、それぞれ、２個のボールで構成されている。第１Ｚ方向基準ボール１６Ａ及び第２Ｚ方向基準ボール１６Ｂを、それぞれ、３個以上のボールで構成する場合と比較して、２個のボールで構成する場合は、ボールの直径を大きくすることができ、ボールの転がり抵抗を小さくすることができる。

ここでは、ＡＦ駆動部１５が配置されている部分であるＡＦ可動部１２のプレート収容部１２５、１２６を、第１Ｚ方向基準ボール１６Ａ及び第２Ｚ方向基準ボール１６Ｂで挟み込み、第２Ｚ方向基準ボール１６Ｂに予圧を与える構成となっている。すなわち、第１ステージ１３に対してＡＦ可動部１２を１箇所で支持する構成となっている。

これにより、ＡＦ駆動部１５の駆動力を受ける力点（ＡＦ共振部１５１とプレート１５５との当接点）から回転軸（第１Ｚ方向基準ボール１６Ａの中心）までの距離を小さくしやすく、モーメントを減少させて予圧を小さくすることができる。また、第２Ｚ方向基準ボール１６Ｂが予圧ボールとして機能し、これ以外の予圧ボールはないので、転がり抵抗を小さくすることができる。従って、ＡＦ駆動部１５の駆動効率が向上し、大口径レンズ用のレンズ駆動装置としても好適なものとなる。また、予圧が同じであれば、チルト耐性が向上することになる。

［光学素子駆動装置の動作］
光学素子駆動装置１において、ＡＦ駆動部１５に電圧を印加すると、ＡＦ圧電素子１５２が振動し、ＡＦ共振部１５１が周波数に応じた挙動で変形する。ＡＦ駆動部１５の駆動力により、ＡＦ動力伝達部１５４がＺ方向に摺動される。これに伴い、ＡＦ可動部１２がＺ方向に移動し、ピント合わせが行われる。ＡＦ支持部１６がボールで構成されているので、ＡＦ可動部１２はＺ方向にスムーズに移動することができる。また、ＡＦ駆動部１５とＡＦ動力伝達部１５４は、付勢された状態で当接しているだけなので、当接部分をＺ方向に大きくするだけで、光学素子駆動装置１の低背化を損なうことなく、ＡＦ可動部１２の移動ストロークを容易に長くすることができる。

また、光学素子駆動装置１において、ＯＩＳ駆動部３０に電圧を印加すると、ＯＩＳ圧電素子３２が振動し、ＯＩＳ共振部３１が周波数に応じた挙動で変形する。ＯＩＳ駆動部３０の駆動力により、ＯＩＳ動力伝達部３４がＸ方向又はＹ方向に摺動される。これに伴い、ＯＩＳ可動部１０がＸ方向又はＹ方向に移動し、振れ補正が行われる。ＯＩＳ支持部４０がボールで構成されているので、ＯＩＳ可動部１０はＸ方向又はＹ方向にスムーズに移動することができる。

具体的には、第１ＯＩＳ駆動部３０Ｘが駆動され、ＯＩＳ動力伝達部３４がＸ方向に移動する場合、第１ＯＩＳ駆動部３０Ｘが配置されている第１ステージ１３から第２ステージ１４に動力が伝達される。このとき、第２ステージ１４とベース２１とで挟持されているＹ方向基準ボール４１は、Ｘ方向に転動できないので、ベース２１に対する第２ステージ１４のＸ方向の位置は維持される。一方、第１ステージ１３と第２ステージ１４とで挟持されているＸ方向基準ボール４２は、Ｘ方向に転動できるので、第２ステージ１４に対して第１ステージ１３がＸ方向に移動する。つまり、第２ステージ１４がＯＩＳ機能の固定体となり、第１ステージ１３がＯＩＳ機能の可動体となる。

また、第２ＯＩＳ駆動部３０Ｙが駆動され、ＯＩＳ動力伝達部３４がＹ方向に移動する場合、第２ＯＩＳ駆動部３０Ｙが配置されているベース２１から第２ステージ１４に動力が伝達される。このとき、第１ステージ１３と第２ステージ１４とで挟持されているＸ方向基準ボール４２は、Ｙ方向に転動できないので、第２ステージに対する第１ステージ１３のＹ方向の位置は維持される。一方、第２ステージ１４とベース２１とで挟持されているＹ方向基準ボール４１は、Ｙ方向に転動できるので、ベース２１に対して第２ステージ１４がＹ方向に移動する。第１ステージ１３も第２ステージ１４に追従してＹ方向に移動することになる。つまり、ベース２１がＯＩＳ機能の固定体となり、第１ステージ１３を含むＡＦ部１１及び第２ステージ１４がＯＩＳ機能の可動体となる。

このようにして、ＯＩＳ可動部１０がＸＹ平面内で揺動し、振れ補正が行われる。具体的には、カメラモジュールＡの角度振れが相殺されるように、振れ検出部（例えば、ジャイロセンサー）からの角度振れを示す検出信号に基づいて、第１ＯＩＳ駆動部３０Ｘ、第２ＯＩＳ駆動部３０Ｙへの通電電圧が制御される。このとき、マグネット１７Ｘ、１７Ｙ及び磁気センサー２２１Ｘ、２２１Ｙで構成されるＸＹ位置検出部の検出結果をフィードバックすることで、ＯＩＳ可動部１０の並進移動を正確に制御することができる。

本実施の形態の光学素子駆動装置１によれば、ＯＩＳ駆動部３０と共に、ＡＦ駆動部１５が超音波モーターで構成されているので、外部磁気の影響を低減できると共に、小型化及び低背化を図ることができる。

スマートフォンＭのように、光学素子駆動装置１を有するカメラモジュールＡを近接して配置しても磁気的な影響はないので、デュアルカメラ用として極めて好適である。

また、ＡＦ駆動部１５のアーム部１５１ｂが光軸方向に延在してＡＦ動力伝達部１５４により挟持されており、ＡＦ駆動部１５の駆動力がＡＦ可動部１２に最大限に伝達されるので、ＡＦ可動部１２を移動させる駆動力を効率よく得ることができる。その上、ＡＦ駆動部１５とＡＦ支持部１６の位置を近づけることで、支持位置に対する回転モーメントが抑制されるので、ＡＦ可動部１２の移動動作が安定する。従って、光学素子駆動装置１の駆動性能が格段に向上する。

［他の実施の形態］
本発明は上記実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で変更可能である。

例えば、上記実施の形態では、スマートフォンＭを例に挙げて説明したが、本発明は、カメラモジュールとカメラモジュールで得られた画像情報を処理する画像処理部とを有するカメラ搭載装置に適用できる。カメラ搭載装置は、情報機器及び輸送機器を含む。情報機器は、例えば、カメラ付き携帯電話機、ノート型パソコン、タブレット端末、携帯型ゲーム機、ｗｅｂカメラ、カメラ付き車載装置（例えば、バックモニター装置、ドライブレコーダー装置）を含む。また、輸送機器は、例えば、自動車を含む。

図２４Ａ、図２４Ｂは、車載用カメラモジュールＶＣ（Vehicle Camera）を搭載するカメラ搭載装置としての自動車Ｖを示す図である。図２４Ａは自動車Ｖの正面図であり、図２４Ｂは自動車Ｖの後方斜視図である。自動車Ｖは、車載用カメラモジュールＶＣとして、上記実施の形態で説明したカメラモジュールＡを搭載する。図２４Ａ、図２４Ｂに示すように、車載用カメラモジュールＶＣは、例えば、前方に向けてフロントガラスに取り付けられたり、後方に向けてリアゲートに取り付けられたりする。この車載用カメラモジュールＶＣは、バックモニター用、ドライブレコーダー用、衝突回避制御用、自動運転制御用等として使用される。

また、上記実施の形態では、ＡＦ可動部１２及び第１ステージ１３の両方に第１Ｚ方向基準ボール１６Ａ及び第２Ｚ方向基準ボール１６Ｂを保持する保持部が設けられている。これに限らず、第１Ｚ方向基準ボール１６Ａ及び第２Ｚ方向基準ボール１６Ｂを保持する保持部は、ＡＦ可動部１２及び第１ステージ１３のいずれか一方に設けられてもよい。

また、上記実施の形態では、第１Ｚ方向基準ボール１６Ａ及び第２Ｚ方向基準ボール１６Ｂは、ＡＦ駆動部１５を基準として、周方向に対称的に配置されているが、非対称的に配置されてもよい。この場合、ＡＦ可動部１２の移動動作を安定させるためには、第１Ｚ方向基準ボール１６ＡがＡＦ駆動部１５側となるようにするのが好ましい。

また、上記実施の形態では、ＡＦ駆動部１５がＸ方向に沿って配置されているが、ＡＦ駆動部１５の配置態様はこれに限定されず、例えば、Ｙ方向に沿って配置されてもよいし、Ｘ方向及びＹ方向に対して傾斜して配置されてもよい。

また、上記実施の形態では、光学素子としてレンズ部２を駆動する光学素子駆動装置１について説明したが、駆動対象となる光学素子は、ミラーやプリズム等のレンズ以外の光学素子であってもよい。

また、本発明は、オートフォーカスだけでなく、ズーム等、可動部を光軸方向に移動させる場合に適用することができる。さらに、ＡＦ駆動部１５やＯＩＳ駆動部３０は、駆動源が超音波モーターで構成されている場合に限らず、超音波モーター以外の駆動源（例えば、ボイスコイルモーター（ＶＣＭ）を備える光学素子駆動装置にも適用することができる。

今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。

１ 光学素子駆動装置
２ レンズ部（光学素子の一例）
３ カバー
４ 光学素子駆動装置本体
５ 撮像部
１０ ＯＩＳ可動部（可動側部材の一例）
１１ ＡＦ部
１２ ＡＦ可動部
１３ 第１ステージ（第１可動部の一例）
１４ 第２ステージ（第２可動部の一例）
１５ ＡＦ駆動部
１６ ＡＦ支持部
１６Ａ 第１Ｚ方向基準ボール
１６Ｂ 第２Ｚ方向基準ボール
１７Ｘ、１７Ｙ、１７Ｚ マグネット
１９ 付勢部
２０ ＯＩＳ固定部（固定側部材、固定部の一例）
２１ ベース
２２ センサー基板
２４ 壁部
３０ ＯＩＳ駆動部（駆動部の一例）
３０Ｘ 第１ＯＩＳ駆動部
３０Ｙ 第２ＯＩＳ駆動部
３１ ＯＩＳ共振部
３２ ＯＩＳ圧電素子
３４ ＯＩＳ動力伝達部
３９ 樹脂部材
４０ ＯＩＳ支持部（支持部の一例）
４１ Ｙ方向基準ボール（転動部材の一例）
４２ Ｘ方向基準ボール（転動部材の一例）
５０ ＯＩＳ用付勢部材
１２１ レンズ収容部
１２２ フランジ部
１２３、１２３ａ 突出部
１２４ 駆動部収容部
１２４ａ 突起部
１２４ｂ 切欠部
１２５、１２６ プレート収容部
１２５ａ、１２６ａ 対向面
１２５ｂ、１２６ｂ 凹部
１２５ｃ 第１Ｚ方向保持部
１２６ｃ 第２Ｚ方向保持部
１３１ 開口
１３１ａ フランジ受部
１３２ 案内溝
１３３ａ、１３３ｂ Ｘ方向開口部（収容部の一例）
１３４ ＯＩＳモーター固定部
１３４ａ リベット取付部
１３５ ＡＦモーター固定部
１３５ａ リベット取付部
１３５ｂ 下部固定板
１３６ａ 第１Ｚ方向保持部
１３６ｂ 第２Ｚ方向保持部
１３７、１３７ａ 切欠部
１４１ 内周面
１４３ Ｘ方向開口部（収容部の一例）
１４４ Ｙ方向開口部（収容部の一例）
１４５Ｘ、１４５Ｙ ＯＩＳチャッキングガイド固定部
１４７、１４７ａ 切欠部
１５１ ＡＦ共振部
１５１ａ 胴部
１５１ｂ アーム部
１５１ｃ 通電部
１５１ｄ 突出部
１５１ｅ 自由端部
１５１ｆ 貫通孔
１５２ ＡＦ圧電素子
１５３ ＡＦ電極
１５４ ＡＦ動力伝達部
１５４ａ 側壁部
１５４ｂ 板バネ部
１５４ｃ 連結部
１５４ｄ 取付部
１５４ｅ 取付孔
１５５ プレート
１５６ リベット
１５７ 留め具
１８１～１８４ 配線（配線の一例）
１８１ａ～１８４ａ 端子
１８１ｂ～１８４ｂ 端子
１８３ｃ、１８４ｃ 延設部
１９１ 板バネ
１９１ａ 基部
１９１ｂ 第１弾性変形部
１９１ｃ 第１当接部
１９１ｄ 曲げ部
１９１ｅ 第２弾性変形部
１９１ｆ 第２当接部
１９１ｇ 曲げ部
１９１ｈ 規制部
１９１ｉ 開口部
１９２ スペーサー
２１１ 開口
２１２ 第１ベース部
２１３ａ、２１３ｂ 第２ベース部
２１４～２１７ 開口部
２１８ａ、２１８ｂ Ｙ方向開口部（収容部の一例）
２１９ ＯＩＳモーター固定部
２１９ａ リベット取付部
２２１Ｘ、２２１Ｙ、２２１Ｚ 磁気センサー
２３１～２３７ 配線（配線の一例）
２３１ａ～２３７ａ 端子
２３１ｂ～２３７ｂ 端子
２３２ｃ、２３３ｃ 延設部
３０１、４０１ 開口
３０２ 開口面
３０３ 内壁
３１１ 胴部
３１２ アーム部
３１３ 突出部
３１３ａ 貫通孔
３１４ 通電部
３４１ ＯＩＳモーター当接部
３４２ 連結部
３４３ ステージ固定部
３４４ 離隔部
５０１ イメージセンサー基板
５０２ 撮像素子
５０３ 制御部
Ａ カメラモジュール
Ｍ スマートフォン（カメラ搭載装置の一例）

Claims (7)

1. 光学素子を保持した状態で駆動部の駆動により光軸直交方向に移動する可動側部材と、
   前記可動側部材に対して光軸方向に離間した位置に配置され、転動部材を介して前記可動側部材を前記光軸直交方向に移動可能に支持する固定側部材と、
   前記可動側部材及び前記固定側部材の少なくとも一方に埋設され、前記駆動部に電気的に接続される配線と、
   を備え、
   前記可動側部材及び前記固定側部材は、前記転動部材の収容部を形成する収容部形成面を有し、
   前記収容部形成面の一部において、前記配線が前記転動部材と接触するように露出されている、
   光学素子駆動装置。
2. 前記収容部形成面の一部において露出されている前記配線は、光軸に直交する平面状であり、前記転動部材と１点で当接する、
   請求項１に記載の光学素子駆動装置。
3. 前記可動側部材は、前記光学素子を保持した状態で前記光軸直交方向のうちの第１方向に移動可能な第１可動部と、前記第１可動部を前記第１方向に移動可能に支持し、前記光軸直交方向のうちの前記第１方向に直交する第２方向に前記第１可動部と共に移動可能な第２可動部とを含み、
   前記固定側部材は、前記第２可動部に対して前記光軸方向に離間した位置に配置され、前記転動部材を介して前記第２可動部を前記第２方向に移動可能に支持し、
   前記配線は、前記固定側部材に埋設されている、
   請求項１又は２に記載の光学素子駆動装置。
4. 前記可動側部材は、前記光学素子を保持した状態で前記光軸直交方向のうちの第１方向に移動可能な第１可動部を含み、
   前記固定側部材は、前記第１可動部に対して前記光軸方向に離間した位置に配置され、前記転動部材により前記第１可動部を前記第１方向に移動可能に支持し、前記光軸直交方向のうちの前記第１方向に直交する第２方向に前記第１可動部と共に移動可能な第２可動部とを含み、
   前記配線は、前記第１可動部に埋設されている、
   請求項１又は２に記載の光学素子駆動装置。
5. 光学素子を保持した状態で光軸直交方向のうちの第１方向に移動可能な第１可動部と、
   前記第１可動部に対して光軸方向に離間した位置に配置され、転動部材により前記第１可動部を前記第１方向に移動可能に支持し、前記光軸直交方向のうちの前記第１方向に直交する第２方向に前記第１可動部と共に移動可能な第２可動部と、
   前記第２可動部に対して前記光軸方向に離間した位置に配置され、転動部材により前記第２可動部を前記第２方向に移動可能に支持する固定部と、
   前記第２可動部に対して前記第１可動部を前記第１方向に、前記固定部に対して前記第２可動部を前記第２方向に、それぞれ駆動する駆動部と、
   前記第１可動部及び前記固定部のそれぞれに埋設され、前記駆動部に電気的に接続される配線と、
   を備え、
   前記第１可動部、前記第２可動部及び前記固定部はそれぞれ、前記転動部材の収容部を形成する収容部形成面を有し、
   前記収容部形成面の一部において、前記配線が前記転動部材と接触するように露出されている、
   光学素子駆動装置。
6. 請求項１から５のいずれか一項に記載の光学素子駆動装置と、
   前記光学素子により結像された被写体像を撮像する撮像部と、を備える、
   カメラモジュール。
7. 情報機器又は輸送機器であるカメラ搭載装置であって、
   請求項６に記載のカメラモジュールと、
   前記カメラモジュールで得られた画像情報を処理する画像処理部と、を備える、
   カメラ搭載装置。

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