WO2013073156A1 - 板材の搬送システム - Google Patents

板材の搬送システム Download PDF

Info

Publication number
WO2013073156A1
WO2013073156A1 PCT/JP2012/007241 JP2012007241W WO2013073156A1 WO 2013073156 A1 WO2013073156 A1 WO 2013073156A1 JP 2012007241 W JP2012007241 W JP 2012007241W WO 2013073156 A1 WO2013073156 A1 WO 2013073156A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
plate material
delivery device
unit
plate glass
conveyance
Prior art date
Application number
PCT/JP2012/007241
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
守正 久下
田中　秀幸
一典 高原
京史 辻田
Original Assignee
川崎重工業株式会社
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 川崎重工業株式会社 filed Critical 川崎重工業株式会社
Priority to CN201280053236.0A priority Critical patent/CN103906692B/zh
Priority to KR1020147011849A priority patent/KR101564675B1/ko
Priority to IN3271CHN2014 priority patent/IN2014CN03271A/en
Publication of WO2013073156A1 publication Critical patent/WO2013073156A1/ja

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G49/00—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
    • B65G49/05—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
    • B65G49/06—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for fragile sheets, e.g. glass
    • B65G49/063—Transporting devices for sheet glass
    • B65G49/064—Transporting devices for sheet glass in a horizontal position
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G49/00—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
    • B65G49/05—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
    • B65G49/06—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for fragile sheets, e.g. glass
    • B65G49/063—Transporting devices for sheet glass
    • B65G49/064—Transporting devices for sheet glass in a horizontal position
    • B65G49/065—Transporting devices for sheet glass in a horizontal position supported partially or completely on fluid cushions, e.g. a gas cushion
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67706—Mechanical details, e.g. roller, belt
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67736—Loading to or unloading from a conveyor
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G2249/00—Aspects relating to conveying systems for the manufacture of fragile sheets
    • B65G2249/04—Arrangements of vacuum systems or suction cups
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G2249/00—Aspects relating to conveying systems for the manufacture of fragile sheets
    • B65G2249/04—Arrangements of vacuum systems or suction cups
    • B65G2249/045—Details of suction cups suction cups

Definitions

  • the present invention relates to a plate material conveyance system for conveying a plate material.
  • a plate material conveying system has been proposed in which both sides of a plate material are sandwiched between nipping members and the plate material is conveyed by movement of the nipping members (see, for example, Patent Documents 1 to 3).
  • a transport system capable of transporting the plate glass without contacting one surface is required. This is because a thin glass layer such as a semiconductor is formed on one surface of a glass plate for a liquid crystal display, and even fine scratches cannot be allowed on that surface (hereinafter, such precise processing is performed). Called the “precision surface”).
  • the applicant is configured to contact a conveying belt with a surface corresponding to the back side of the precision surface (hereinafter referred to as “normal surface”) of the conveying plate material, while applying fluid pressure to the precision surface.
  • normal surface a surface corresponding to the back side of the precision surface of the conveying plate material
  • the belt is divided between stages in which the plate material is processed or in the same stage, and the plate material is transferred by the divided front and rear belts at the boundary portion.
  • the processing cycle time can be shortened.
  • the belt conveying speed before and after the delivery is different, the plate material slides on one of the belts during the delivery. If slippage of the plate material occurs, the conveyance speed of the plate material cannot be accurately controlled, which is rather counterproductive to shortening the cycle time.
  • an object of the present invention is to provide a plate material transport system in which the plate material does not slip when the plate material is delivered.
  • a plate material conveyance system is a plate material conveyance system that includes a first delivery device and a second delivery device, and the plate material is transferred from the first delivery device to the second delivery device.
  • Each of the first delivery device and the second delivery device is in contact with one surface of the plate material and feeds the plate material in the conveyance direction, and the pressure in the vertical direction by the fluid on the other surface of the plate material.
  • a pressurizing unit that can pressurize the plate material toward the transport unit, and before the plate material is delivered from the first sending device to the second sending device,
  • the first delivery device conveys the plate material while holding the plate material between the conveyance unit and the fluid of the pressurizing unit, and the conveyance unit of the second delivery device is configured not to contact the plate material.
  • the second delivery device conveys the plate material while holding the plate material between the conveyance unit and the fluid of the pressurizing unit, and the first delivery device includes:
  • the transport unit is configured not to contact the plate material.
  • the conveying portion of the second sending device does not contact the plate material, and the plate material is transferred from the first sending device to the second sending device. Is transferred, the transport section of the first delivery device does not come into contact with the plate material. Therefore, before and after the delivery of the plate material, the plate material is not simultaneously conveyed by both the first delivery device and the second delivery device.
  • each of the first delivery device and the second delivery device applies a vertical force to the one surface of the plate material from the transport unit side to float the plate material. It may be configured to further include a levitation unit that does not come into contact with the transport unit.
  • the levitation unit may be configured to apply a vertical pressure by a fluid to the one surface of the plate material.
  • the levitation unit may be configured such that a fluid film can be formed between the one surface of the plate material.
  • the levitation unit includes a support roller that contacts the one surface of the plate material, and an urging member that urges the support roller to the plate material. You may comprise so that the force of a perpendicular direction can be applied to the said one surface of the said board
  • the transport portion of the first delivery device is driven so that the end portion on the second delivery device side does not contact the plate material with the end portion on the opposite side as a fulcrum.
  • the transport section of the second delivery device is configured to be driven so that the end on the first delivery device side does not contact the plate material with the end on the opposite side as a fulcrum. May be.
  • the conveyance units of the first delivery device and the second delivery device may be configured to be driven so as not to contact the plate material as a whole.
  • the plate material conveyance system of the present invention the plate material is not simultaneously conveyed by the first delivery device and the second delivery device before and after delivery of the plate material. Therefore, the plate material does not slip when the plate material is delivered.
  • FIG. 1 is a right side view of a transport system according to the first embodiment of the present invention.
  • 2 is a cross-sectional view taken along the line II-II in FIG. 3 is a cross-sectional view taken along the line III-III in FIG.
  • FIG. 4 is a bottom view of the pressure unit shown in FIG. 1.
  • FIG. 5 is an enlarged right side view of the vicinity of the boundary between the first delivery device and the second delivery device, showing the operation of conveying the glass sheet of the delivery system of FIG.
  • FIG. 6 is a longitudinal sectional view of a transport system according to the second embodiment of the present invention.
  • FIG. 7 is a longitudinal sectional view of a transport system according to the third embodiment of the present invention.
  • FIG. 8 is a right side view showing the operation of conveying the plate glass of the conveyance system according to the fourth embodiment of the present invention.
  • FIG. 9 is a right side view showing the operation of conveying the plate glass of the conveyance system according to the fifth embodiment of the present invention.
  • FIG. 1 is a right side surface of the transport system 100 according to the present embodiment (the fluid guide unit 60 is omitted), and FIG. 2 is a cross-sectional view taken along the line II-II in FIG.
  • the direction from the left to the right of the drawing is the conveying direction of the plate glass 101 (hereinafter simply referred to as “conveying direction”), and in FIG. 2, the direction from the front of the drawing to the back is the conveying direction.
  • “right” refers to the right in the transport direction
  • “left” refers to the left in the transport direction.
  • the conveyance system 100 is an apparatus that conveys the plate glass 101.
  • the transport system 100 includes a first sending device 10 and a second sending device 11 that are arranged adjacent to each other.
  • the plate glass 101 to be conveyed is delivered from the first delivery device 10 located on the upstream side to the second delivery device 11 located on the downstream side.
  • the first sending device 10 and the second sending device 11 have the same structure. Therefore, in the following, the first sending device 10 will be described in detail, and the second sending device 11 will be described in a necessary range.
  • the first delivery device 10 includes a transport unit 20, a pressurizing unit 40, a levitation unit 50, and a fluid guide unit 60.
  • the conveyance unit 20 is a device that sends out the plate glass 101 in the conveyance direction. As shown in FIGS. 1 and 2, the transport unit 20 is mainly configured by an endless belt 21, a belt receiving member 22, a left end guide member 23, and a right end guide member 24.
  • the endless belt 21 is a belt formed in an annular shape, and is driven by two drive pulleys 25 positioned before and after in the conveyance direction.
  • the endless belt 21 is configured to come into contact with the normal surface 103 (lower surface) of the plate glass 101, and the drive pulley 25 in contact with the plate glass 101 is rotationally driven, whereby the plate glass 101 can be sent out in the transport direction.
  • the endless belt 21 according to the present embodiment is mainly composed of a rubber belt portion 26 made of rubber and a metal belt portion 27 made of metal, and has a two-layer structure. Among these, the rubber belt portion 26 is located on the outer surface side of the endless belt 21 and is in contact with the plate glass 101.
  • fluid discharge grooves 28 extending in the belt width direction are formed at equal intervals on the outer surface of the rubber belt portion 26.
  • the metal belt portion 27 is located on the inner surface side of the endless belt 21 and is in contact with the drive pulley 25. As shown in FIG. 2, the metal belt portion 27 has a slightly larger belt width (dimension in the left-right direction) than the rubber belt portion 26, and the right end and the left end are located on the outer side in the left-right direction than the right end and left end of the rubber belt portion 26, respectively. ing.
  • the belt receiving member 22 is a member that supports the endless belt 21.
  • the belt receiving member 22 has a plate shape extending in the transport direction.
  • the belt receiving member 22 is located inside the endless belt 21 and is disposed in parallel with the conveyance path through which the plate glass 101 passes. In other words, the belt receiving member 22 is disposed so as to face the conveyance path of the plate glass 101 with the endless belt 21 interposed therebetween.
  • the belt receiving member 22 is formed with a flat belt receiving surface 29 in contact with the endless belt 21, and the endless belt 21 slides on the surface of the belt receiving surface 29.
  • the endless belt 21 is supported by the flat belt receiving surface 29, so that the endless belt 21 generated when received by, for example, a roller is used as the belt surface. Occurrence of a phenomenon that undulates in the vertical direction can be suppressed. Therefore, the plate glass 101 can be stably conveyed.
  • the left end guide member 23 is a member that suppresses the displacement of the endless belt 21 to the left.
  • the left end guide member 23 is a roller that rotates with the direction orthogonal to the transport direction as the direction of the rotation axis.
  • a plurality of left end guide members 23 are arranged in the vicinity of the conveyance path of the plate glass 101.
  • the left end guide member 23 is located on the left side of the endless belt 21 and supports the left end of the metal belt portion 27.
  • the left end guide member 23 is a roller, but the left end guide member 23 is not limited to such a configuration.
  • the left end guide member 23 may be a plate-like member extending in the transport direction instead of the roller.
  • the right end guide member 24 is a member that suppresses the displacement of the endless belt 21 to the right.
  • the right end guide member 24 is a roller that rotates with the direction orthogonal to the transport direction as the direction of the rotation axis.
  • a plurality of right end guide members 24 are arranged in the vicinity of the conveyance path of the plate glass 101 so as to make a pair with the left end guide member 23.
  • the right end guide member 24 is located on the right side of the endless belt 21 and is in contact with the right end of the metal belt portion 27. Furthermore, a leftward force toward the endless belt 21 is applied to the right end guide member 24 by the spring 30. With this configuration, the right end guide member 24 is always in contact with the endless belt 21. Since the right end guide member 24 has the above-described configuration, the endless belt 21 can be pressed to the left, and displacement of the endless belt 21 to the right can be suppressed.
  • the pressurizing unit 40 is a device that applies a fluid pressure in the vertical direction to the plate glass 101.
  • the fluid (hereinafter referred to as “pressurized fluid”) 104 used when applying fluid pressure to the plate glass 101 is water in this embodiment.
  • the pressurized fluid 104 may be a cleaning liquid, another liquid, or a gas such as air.
  • a plurality of pressure units 40 are arranged along the conveyance direction so as to face the endless belt 21 through the plate glass 101.
  • 3 is a cross-sectional view taken along the line III-III in FIG. 1 (the drive pulley 25 is omitted), and
  • FIG. 4 is a bottom view of the pressure unit 40.
  • the pressurizing unit 40 is mainly configured by a cylindrical inflow side member 41 and a rectangular plate-shaped outflow side member 42.
  • the inflow side member 41 is a member that serves as an inlet of the pressurized fluid 104. As shown in FIG. 3, an inlet channel 43 that opens to an end surface opposite to the outflow side member 42 is formed inside the inflow side member 41. A fluid supply device (not shown) is connected to the inlet channel 43, and the pressurized fluid 104 is supplied to the inside of the inflow side member 41 through the inlet channel 43. Furthermore, a fluid reservoir 44 is formed inside the inflow side member 41 and opens to the end surface on the outflow side member 42 side. The fluid reservoir 44 can temporarily store the pressurized fluid 104 that has flowed from the inlet channel 43.
  • the pressurized fluid 104 is reduced in a state where the amount of pressure fluctuation is reduced by the fluid reservoir 44. Can be supplied to the outflow side member 42. That is, the fluid reservoir 44 functions as a damper.
  • the outflow side member 42 is a member that discharges the pressurized fluid 104 to the plate glass 101.
  • the outflow side member 42 is located closer to the conveyance path of the plate glass 101 than the inflow side member 41 and is connected to the inflow side member 41.
  • Inside the outflow side member 42 an intermediate flow path 45 that opens to the surface on the inflow side member 41 side is formed.
  • the intermediate flow path 45 includes a small diameter portion 46 and a large diameter portion 47 having a larger diameter than the small diameter portion 46.
  • the outflow side member 42 is formed with a discharge opening 48 that opens to the conveyance path side of the plate glass 101. As shown in FIG. 4, the discharge opening 48 is formed in a substantially rectangular shape when viewed from the conveyance path side of the plate glass 101.
  • the pressurized fluid 104 that has passed through the intermediate flow path 45 flows into the discharge opening 48 and is discharged to the precision surface 102 of the plate glass 101.
  • the outflow side member 42 which concerns on this embodiment is each comprised independently for every pressurization part 40, you may form these integrally.
  • the pressurizing unit 40 having the above configuration is arranged so that a slight gap is generated between the sheet glass 101 being conveyed (in FIG. 3, the gap is drawn large so that the invention can be easily understood). .
  • the pressurized fluid 104 discharged from the pressurizing unit 40 flows out of the pressurizing unit 40 through a slight gap between the pressurizing unit 40 and the plate glass 101. become.
  • a film of the pressurized fluid 104 is generated between the pressurizing unit 40 and the plate glass 101. Therefore, the pressurizing unit 40 can push the plate glass 101 in the vertical direction toward the endless belt 21 by the pressure of the pressurized fluid 104 without contacting the plate glass 101.
  • the downward force to the plate glass 101 by the pressurizing unit 40 can be adjusted by increasing / decreasing the flow rate of the pressurized fluid 104 discharged from the pressurizing unit 40.
  • the levitation unit 50 is a member for floating the plate glass 101 from the endless belt 21 so that the two do not come into contact with each other. As shown in FIG. 1, the levitation unit 50 is located on the normal surface 103 side of the plate glass 101 and on both the left and right sides of the endless belt 21, and a plurality of levitation units 50 are arranged along the conveyance direction. Each levitation unit 50 is formed with an inlet channel 51, a fluid reservoir 52, an intermediate channel 53, and a discharge opening 54. These correspond to the inlet channel 43, the fluid reservoir 44, the intermediate channel 45, and the discharge opening 48 of the pressurizing unit 40, respectively, and perform the same function.
  • the levitation unit 50 has a structure close to the pressurizing unit 40, and forms a fluid film between the plate glass 101 and the normal surface of the plate glass 101, similarly to the pressurizing unit 40.
  • a vertical fluid pressure can be applied to 103.
  • the flow rate of the pressurized fluid 104 discharged from the levitation unit 50 is constant. Therefore, whether the plate glass 101 is not in contact with the endless belt 21 depends on the control of the pressurizing unit 40, not the levitation unit 50. That is, if the downward force applied to the glass sheet 101 is increased by increasing the flow rate of the pressurized fluid 104 discharged from the pressurizing unit 40, the force from the pressurizing unit 40 becomes larger than the force from the levitation unit 50, As a result, the plate glass 101 is pressed against the endless belt 21.
  • the fluid guide unit 60 is a device that applies vertical fluid pressure to both surfaces of the plate glass 101 to suppress pitching of the plate glass 101.
  • the fluid guide unit 60 includes six flow channel pipes 61. These six flow channel pipes 61 are arranged in the vicinity of the left and right ends of the plate glass 101, on the precision surface 102 side and the normal surface 103 side, and on the center side in the left-right direction from these, on the normal surface 103 side. And these flow path pipes 61 are arrange
  • a plurality of injection ports 62 are formed at predetermined intervals in a portion of the flow channel pipe 61 that faces the plate glass 101. Further, water, which is a pressurized fluid, flows inside each channel pipe 61.
  • the pressurized fluid When the pressure of the pressurized fluid is increased, the pressurized fluid is ejected from the ejection port 62 toward the plate glass 101 in the vertical direction. . Therefore, according to the fluid guide part 60, the vertical pressure by the pressurized fluid can be applied to both surfaces of the glass sheet 101 without touching the machinery, and the pitch of the glass sheet 101 can be prevented. Moreover, since the fluid guide part 60 which concerns on this embodiment uses the pressurized fluid, it also plays the role which prevents that a foreign material adheres to the plate glass 101. FIG.
  • the above is the description of each component of the first sending device 10.
  • the first delivery device 10 includes the above-described components, and conveys it in the conveyance direction while holding the plate glass 101 between the endless belt 21 of the conveyance unit 20 and the pressurized fluid 104 of the pressurization unit 40. can do. Further, as described above, the first delivery device 10 does not press the plate glass 101 against the endless belt 21 or contact the endless belt 21 by adjusting the flow rate of the pressurized fluid 104 discharged from the pressurizing unit 40. And so on.
  • the second delivery device 11 has the same configuration as the first delivery device 10 as described above, and by adjusting the flow rate of the pressurized fluid 104 discharged from the pressurizing unit 40, the plate glass 101 can be pressed against the endless belt 21 or can be prevented from contacting the endless belt 21.
  • FIG. 5 is an enlarged right side view in the vicinity of the boundary between the first sending device 10 and the second sending device 11, and shows the operation in which the transport system 100 transports the plate glass 101.
  • the transport system 100 is configured to be able to deliver the plate glass 101 from the first delivery device 10 to the second delivery device 11.
  • the second sending device 11 is the second sending device 11 in the plate glass 101.
  • the portion located inside is floated so as not to contact the endless belt 21. Thereby, although a part of the plate glass 101 is located in the second delivery device 11, the plate glass 101 is conveyed only by the conveyance unit 20 of the first delivery device 10.
  • the plate glass 101 is sent from the first delivery device 10 to the second delivery.
  • the middle diagram in FIG. 5 shows a state immediately before the plate glass 101 is delivered from the first delivery device 10 to the second delivery device 11.
  • the middle diagram in FIG. 8 and FIG. 9 The same is true for the middle figure).
  • the fluid guide portions 60 support the left and right ends of the glass plate 101, so that it bends due to its own weight. There is nothing wrong.
  • the timing at which the glass sheet 101 is delivered from the first sending device 10 to the second sending device 11 is not limited to the above case.
  • the plate glass 101 may be delivered from the first sending device 10 to the second sending device 11 when the center of gravity of the plate glass 101 is in the first sending device 10 or the second sending device 11.
  • the first sending device 10 sends the first sending out of the plate glass 101.
  • the part located in the device 10 is lifted and separated from the endless belt 21. Accordingly, the plate glass 101 is transported only by the transport unit 20 of the second delivery device 11 even though a part of the plate glass 101 is located in the first delivery device 10.
  • the transport system 100 when the plate glass 101 is transferred from the first sending device 10 to the second sending device 11, the plate glass 101 is in contact with the endless belt 21 of both devices at the same time. Therefore, even if the conveying speeds of the endless belt 21 of the first delivery device 10 and the endless belt of the second delivery device 11 are different, the plate glass 101 does not slide on any of the devices.
  • the plate glass 101 when the plate glass 101 is delivered, a part of the plate glass 101 is floated, so that the plate glass 101 is partially curved. Therefore, when the plate glass 101 is bent to some extent, the conveyance method of this embodiment is effective. For example, if the thickness of the plate glass 101 is about 1 mm or less, the transport system 100 according to the present embodiment is effective.
  • the transport speeds of the first sending device 10 and the second sending device 11 do not have to be constant.
  • the conveying speed of both is made the same, and after the plate glass 101 is delivered to the second delivery device 11, the second delivery device. 11 may be increased.
  • the conveyance speed of the second delivery device 11 is increased, even if a part of the plate glass 101 remains inside the first delivery device 10, that part slides on the first delivery device 10. There is no.
  • the flow rate of the pressurized fluid 104 released from the levitation unit 50 is constant and the flow rate of the pressurized fluid 104 released from the pressurization unit 40 is variable has been described. It is not limited to the configuration.
  • the flow rate of the pressurized fluid 104 discharged from the levitation unit 50 is made variable
  • the flow rate of the pressurized fluid 104 released from the pressurization unit 40 is made constant
  • the plate glass 101 is made endless by adjustment on the levitation unit 50 side. You may comprise so that it can control whether it contacts with the belt 21 or not.
  • FIG. 6 is a cross-sectional view of the first delivery device 210 (second delivery device 211) constituting the transport system 200 according to the second embodiment, and corresponds to FIG. 3 of the first embodiment.
  • the transport system 200 according to the present embodiment is different from the transport system 100 according to the first embodiment in that the transport system 200 includes a levitation unit 250 instead of the levitation unit 50 illustrated in FIG. 3. .
  • the levitation unit 250 of the present embodiment is a so-called jet nozzle, and is configured such that a high-pressure pressurized fluid 104 is jetted vertically from the tip toward the normal surface 103 of the plate glass 101. As a result, an upward force is applied to the plate glass 101, and the plate glass 101 is pushed upward to be separated from the endless belt 21. According to the present embodiment, since a jet nozzle is employed as the levitation unit 250, an upward force can be applied to the plate glass 101 even when the distance between the levitation unit 250 and the plate glass 101 is relatively large. . Therefore, the distance between the levitation unit 250 and the plate glass 101 can be set in a wide range.
  • FIG. 7 is a cross-sectional view of the first delivery device 310 (second delivery device 311) that constitutes the transport system 300 according to the second embodiment, and corresponds to FIG. 3 of the first embodiment.
  • the conveyance system 300 according to the present embodiment is different in configuration from the conveyance system 100 according to the first embodiment in that a levitation unit 350 is provided instead of the levitation unit 50 illustrated in FIG. 3. .
  • the levitation unit 350 of the present embodiment includes a support roller 351 that contacts the plate glass 101, a holding member 352 that rotatably supports the support roller about the horizontal direction as a rotation axis, and the support roller 351 via the holding member 352. It is mainly configured by a biasing member 353 that biases the normal surface 103 of the plate glass 101 in the vertical direction. According to the configuration of the present embodiment, even if the pressurized fluid 104 (see FIG. 1 and the like) is not used, an upward force is applied to the plate glass 101 so that the plate glass 101 is floated so as not to contact the transport unit 20. be able to.
  • FIG. 8 is a right side view illustrating an operation of transporting the plate glass 101 of the transport system 400 according to the fourth embodiment.
  • the transport system 400 according to the present embodiment does not include the levitation unit 50 (see FIG. 1 and the like) for pushing up the plate glass 101, and the first sending device 410 and the second sending device 411 are provided.
  • the configuration differs from the transport system 100 according to the first embodiment in that it is displaced. Specifically, it is as follows.
  • the first delivery device 410 is configured to be tiltable so that the downstream side is downward, and the first delivery device 411 is configured to be tiltable so that the upstream side is downward.
  • the downstream drive pulley 25B of the first delivery device 410 is configured to be movable below the original horizontal position with the upstream drive pulley 25A as a fulcrum, and the second delivery device 411.
  • the upstream drive pulley 25C is configured to be movable downward from the original horizontal position with the downstream drive pulley 25D as a fulcrum.
  • the means for raising and lowering the drive pulleys 25B and C is not particularly limited.
  • the member supporting the drive pulleys 25B and C may be raised and lowered using an actuator such as an air cylinder.
  • the plate glass 101 is delivered from the first sending device 410 to the second sending device 411 as follows. First, as shown in the upper diagram of FIG. 8, before the plate glass 101 is transferred from the first delivery device 410 to the second delivery device 411, the drive pulley 25C on the upstream side of the second delivery device 411 is lowered, The plate glass 101 is separated from the endless belt 21 in the second delivery device 411. As a result, the plate glass 101 is transported only by the transport unit 20 of the first delivery device 410 even though part of the plate glass 101 is located in the second delivery device 411.
  • the transport system 400 uses the first sending device for the plate glass 101.
  • the data is transferred from 410 to the second sending device 411.
  • the drive pulley 25 ⁇ / b> B on the downstream side of the first delivery device 410 is moved. Lower the plate glass 101 from the endless belt 21 in the first delivery device 410. Accordingly, the plate glass 101 is transported only by the transport unit 20 of the second delivery device 411 even though a part of the plate glass 101 is located in the first delivery device 410.
  • the endless belt 21 of the first delivery device 410 and the endless belt of the second delivery device 411 are transported as in the transport system 100 according to the first embodiment. Even if the speed is different, the glass plate 101 does not slip.
  • the plate glass 101 since the plate glass 101 is not bent, for example, thickness is comparatively 1 mm or more.
  • the conveyance system 400 according to the present embodiment is effective when conveying a certain glass plate that is not easily distorted.
  • FIG. 9 is a right side view showing the operation of the conveyance system 500 according to the fifth embodiment conveying the plate glass 101.
  • the transport system 400 according to the present embodiment relates to the fourth embodiment in that the first sending device 510 and the second sending device 511 move up and down as well as one end. The configuration is different from the transport system 400.
  • the first delivery device 510 and the second delivery device 511 of the transport system 500 are configured such that the entire endless belt 21 is movable downward from the original position. More specifically, the drive pulleys 25A, B, C, and D at both ends of each endless belt 21 are configured to move downward simultaneously.
  • the means for moving the drive pulleys 25A, B, C, and D up and down is not particularly limited.
  • an actuator such as an air cylinder is used to move the members that support the front and rear drive pulleys 25A, B, C, and D up and down. You may comprise as follows.
  • the plate glass 101 is delivered from the first sending device 510 to the second sending device 511 as follows. First, before the plate glass 101 is transferred from the first delivery device 510 to the second delivery device 511, the drive pulleys 25C and 25D on both sides of the second delivery device 511 are lowered, and the endless belt 21 in the second delivery device 511 is lowered. The glass plate 101 is separated from the plate. As a result, the plate glass 101 is transported only by the transport unit 20 of the first delivery device 510 even though a part of the plate glass 101 is located in the second delivery device 511.
  • the plate glass 101 is sent from the first sending device 510 to the second sending. It is delivered to the device 511.
  • both surfaces of the plate glass 101 to convey may be a normal surface, for example. Even in such a case, the surface of the plate glass should be kept clean, and the plate material conveying system according to the present invention is effective.
  • the transport system transports the plate material (plate glass 101) in a horizontal state
  • the transport system may be configured to transport the plate material in a vertical state.
  • the conveyance system may be configured such that the configuration illustrated in FIGS. 2 and 3 is rotated 90 ° counterclockwise.
  • conveyance systems 100, 200, and 300 for floating the plate glass and the conveyance systems 400 and 500 for displacing the first delivery device and the second delivery device themselves have been described, but these may be combined. That is, it is good also as a conveyance system which can displace a 1st sending apparatus and a 2nd sending apparatus while floating a plate glass.
  • the plate material conveyance system according to the present invention is useful in the technical field of plate material conveyance systems because the plate material does not slip during delivery of the plate material.

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
  • Delivering By Means Of Belts And Rollers (AREA)

Abstract

　本発明に係る板材の搬送システム（100）は、第１送出装置（10）から第２送出装置（11）へ板材（101）が受け渡される前においては、第１送出装置（10）は搬送部（20）と加圧部（40）の流体（104）とによって板材（101）を挟むように保持しながら搬送するとともに、第２送出装置（11）の搬送部（20）は板材（101）と接触しないようにし、第１送出装置（10）から第２送出装置（11）へ板材（101）が受け渡された後においては、第２送出装置（11）は搬送部（20）と加圧部（40）の流体（104）とによって板材（101）を挟むように保持しながら搬送するとともに、第１送出装置（10）の搬送部（20）は板材（101）と接触しないように構成されている。

Description

板材の搬送システム
　本発明は、板材を搬送する板材の搬送システムに関する。
　板材の搬送システムとしては、板材の両面を狭持部材で挟み、その狭持部材の移動によって板材を搬送するように構成されたものが提案されている（例えば、特許文献１乃至３参照）。しかしながら、例えば、ＴＦＴ（薄膜トランジスタ）の液晶ディスプレイに使用する板ガラス（板材）の加工ラインなどでは、一方側の面に接触することなく板ガラスを搬送できる搬送システムが求められる。なぜなら、液晶ディスプレイ用の板ガラスは、一方側の面に半導体等の薄膜層が形成されるため、その面では微細な傷さえも許容できないからである（以下では、このように精密な加工が施される面を「精密面」と称す）。
特開平６－１２６５８３号公報 特開昭５３－７１３９６号公報 特開昭５５－１２９７５３号公報
　そこで、出願人は、搬送する板材のうち精密面の裏側にあたる面（以下、「普通面」と称す。）を搬送用のベルトに接触させる一方、精密面には流体圧を加えるように構成された搬送システムを検討している。かかる構成によれば、板ガラスの精密面に機械類が接触することがないにもかかわらず、板ガラスを安定して搬送することができる。
　この搬送システムでは、板材の加工を行うステージの間、あるいは同じステージ内で上記のベルトが分割されており、その境界部分では分割された前後のベルトによって板材の受け渡しが行われる。このようなシステムでは、分割されたベルトごとに搬送速度を変えることができれば、加工のサイクルタイムを短縮することができる。しかしながら、受け渡しが行われる前後のベルトの搬送速度が異なれば、受け渡しの際、板材はいずれかのベルト上を滑ることになる。仮に、板材の滑りが発生すると、板材の搬送速度を正確に制御できなくなり、むしろサイクルタイムの短縮には逆効果である。
　そこで本発明は、板材の受け渡しの際に、板材が滑ることのない板材の搬送システムを提供することを目的としている。
　本発明のある形態に係る板材の搬送システムは、第１送出装置と、第２送出装置とを備え、前記第１送出装置から前記第２送出装置へ板材が受け渡される板材の搬送システムであって、前記第１送出装置及び前記第２送出装置はそれぞれ、前記板材の一方の面に接触して前記板材を搬送方向へ送り出す搬送部と、前記板材の他方の面に流体による垂直方向の圧力を加え、前記板材を前記搬送部に向かって加圧することができる加圧部と、を有しており、前記第１送出装置から前記第２送出装置へ前記板材が受け渡される前においては、前記第１送出装置は搬送部と前記加圧部の流体とによって前記板材を挟むように保持しながら搬送するとともに、前記第２送出装置の搬送部は前記板材と接触しないようにし、前記第１送出装置から前記第２送出装置へ前記板材が受け渡された後においては、前記第２送出装置は搬送部と前記加圧部の流体とによって前記板材を挟むように保持しながら搬送するとともに、前記第１送出装置の搬送部は前記板材と接触しないように構成されている。
　かかる構成によれば、第１送出装置から第２送出装置へ板材が受け渡される前においては、第２送出装置の搬送部は板材と接触せず、第１送出装置から第２送出装置へ板材が受け渡された後においては、第１送出装置の搬送部は板材と接触しないことになる。そのため、板材の受け渡しの前後において、板材が第１送出装置と第２送出装置の両方によって同時に搬送されるようなことはない。
　また、上記の板材の搬送システムにおいて、前記第１送出装置及び前記第２送出装置はそれぞれ、前記搬送部側から前記板材の前記一方の面に垂直方向の力を加え、前記板材を浮かすようにして前記搬送部と接触しないようにする浮揚部をさらに備えるように構成してもよい。
　また、上記の板材の搬送システムにおいて、前記浮揚部は、前記板材の前記一方の面に流体による垂直方向の圧力を加えることができるように構成してもよい。
　また、上記の板材の搬送システムにおいて、前記浮揚部は、前記板材の前記一方の面との間で流体の膜が形成できるように構成してもよい。
　また、上記の板材の搬送システムにおいて、前記浮揚部は、前記板材の前記一方の面に接触する支持ローラーと、該支持ローラーを前記板材へ付勢する付勢部材と、を有し、前記支持ローラーを介して前記板材の前記一方の面に垂直方向の力を加えることができるように構成してもよい。
　また、上記の板材の搬送システムにおいて、前記第１送出装置の搬送部は、前記第２送出装置側の端部がこれとは反対側の端部を支点にして前記板材と接触しないように駆動するよう構成されており、前記第２送出装置の搬送部は、前記第１送出装置側の端部がこれとは反対側の端部を支点にして前記板材と接触しないように駆動するよう構成されていてもよい。
　また、上記の板材の搬送システムにおいて、前記第１送出装置及び前記第２送出装置の搬送部は、全体が前記板材と接触しないように駆動するよう構成されていてもよい。
　上記のように、本発明に係る板材の搬送システムによれば、板材の受け渡しの前後において、板材が第１送出装置と第２送出装置によって同時に搬送されるようなことはない。そのため、板材の受け渡しの際に、板材が滑ることはない。
図１は、本発明の第１実施形態に係る搬送システムの右側面図である。 図２は、図１のII－II矢視断面図である。 図３は、図１のIII－III矢視断面図である。 図４は、図１に示す加圧部の下面図である。 図５は、図１の搬送システムの板ガラスを搬送する動作を示した、第１送出装置と第２送出装置の境界付近の拡大右側面図である。 図６は、本発明の第２実施形態に係る搬送システムの縦断面図である。 図７は、本発明の第３実施形態に係る搬送システムの縦断面図である。 図８は、本発明の第４実施形態に係る搬送システムの板ガラスを搬送する動作を示した右側面図である。 図９は、本発明の第５実施形態に係る搬送システムの板ガラスを搬送する動作を示した右側面図である。
　以下、本発明に係る実施形態について図を参照しながら説明する。以下では、全ての図面を通じて同一又は相当する要素には同じ符号を付して、重複する説明は省略する。なお、以下で説明する板材の搬送システムは、精密面と普通面を有する板ガラス（板材）を搬送することとする。
　（第１実施形態）
　はじめに、図１から図４を参照して、本発明の第１実施形態に係る搬送システム１００について説明する。ここで、図１は本実施形態に係る搬送システム１００の右側面であり（流体ガイド部６０を省略）、図２は図１のII－II矢視断面図である。図１において、紙面左から右に向かう方向が板ガラス１０１の搬送方向（以下、単に「搬送方向」と称す。）であり、図２において、紙面手前から奥に向かう方向が搬送方向である。なお、以下では「右」というときは搬送方向を向いて右をいい、「左」というときは搬送方向を向いて左をいうこととする。
　搬送システム１００は、板ガラス１０１を搬送する装置である。図１に示すように、本実施形態に係る搬送システム１００は、互いに隣接して配置されている第１送出装置１０と、第２送出装置１１と、を備えている。搬送対象である板ガラス１０１は、上流側に位置する第１送出装置１０から下流側に位置する第２送出装置１１へ受け渡たされる。この第１送出装置１０と第２送出装置１１は同じ構造を有している。そこで、以下では、第１送出装置１０について詳しく説明し、第２送出装置１１については必要な範囲で説明する。図２に示すように、第１送出装置１０は、搬送部２０と、加圧部４０と、浮揚部５０と、流体ガイド部６０と、を有している。
　搬送部２０は、板ガラス１０１を搬送方向に送り出す装置である。図１及び図２に示すように、搬送部２０は、無端ベルト２１と、ベルト受け部材２２と、左端ガイド部材２３と、右端ガイド部材２４とによって主に構成されている。
　無端ベルト２１は、環状に形成されたベルトであって、搬送方向の前後に位置する２台の駆動プーリ２５によって駆動される。この無端ベルト２１は板ガラス１０１の普通面１０３（下面）に接触するように構成されており、板ガラス１０１に接触した駆動プーリ２５が回転駆動することで、板ガラス１０１を搬送方向に送り出すことができる。なお、本実施形態に係る無端ベルト２１は、ゴム製のゴムベルト部２６と、金属製の金属ベルト部２７によって主に構成されており、二層構造を有している。このうち、ゴムベルト部２６は、無端ベルト２１の外表面側に位置しており、板ガラス１０１に接する。また、ゴムベルト部２６の外表面には、ベルト幅方向に延びる流体排出溝２８が等間隔で形成されている。他方、金属ベルト部２７は無端ベルト２１の内表面側に位置しており、駆動プーリ２５に接する。金属ベルト部２７は、図２に示すように、ゴムベルト部２６よりもベルト幅（左右方向寸法）がわずかに大きく、右端及び左端がそれぞれゴムベルト部２６の右端及び左端よりも左右方向外側に位置している。
　ベルト受け部材２２は、無端ベルト２１を支持する部材である。ベルト受け部材２２は、搬送方向に延びる板状の形状を有している。ベルト受け部材２２は、無端ベルト２１の内側に位置しており、板ガラス１０１が通過する搬送路と平行に配置されている。換言すれば、ベルト受け部材２２は、無端ベルト２１を挟んで板ガラス１０１の搬送路と対向するように配置されている。ベルト受け部材２２には、無端ベルト２１に接する平面状のベルト受け面２９が形成されており、このベルト受け面２９の表面を無端ベルト２１が摺動する。このように、本実施形態のベルト受け部材２２によれば、平面状のベルト受け面２９で無端ベルト２１を支持するため、例えばローラー等で受けた場合などに発生する無端ベルト２１がベルト面と垂直方向に波打つような現象の発生を抑えることができる。よって、板ガラス１０１を安定して搬送することができる。
　左端ガイド部材２３は、無端ベルト２１を左方への変位を抑える部材である。左端ガイド部材２３は、搬送方向に直行する方向を回転軸の方向として回転するローラーである。左端ガイド部材２３は、板ガラス１０１の搬送路に沿ってその近傍に複数配置されている。そして、左端ガイド部材２３は、無端ベルト２１の左側に位置し、金属ベルト部２７の左端を支持している。なお、本実施形態では左端ガイド部材２３はローラーであるが、左端ガイド部材２３はこのような構成に限られない。例えば、左端ガイド部材２３はローラーに代えて搬送方向に延びる板状の部材であってもよい。
　右端ガイド部材２４は、無端ベルト２１の右方への変位を抑える部材である。右端ガイド部材２４は、搬送方向に直交する方向を回転軸の方向として回転するローラーである。右端ガイド部材２４は、左端ガイド部材２３と対をなすようにして、板ガラス１０１の搬送路の近傍に複数配置されている。そして、右端ガイド部材２４は、無端ベルト２１の右側に位置し、金属ベルト部２７の右端と接触している。さらに、右端ガイド部材２４には、ばね３０により無端ベルト２１に向かう左向きの力が加えられている。この構成により、右端ガイド部材２４は、常に無端ベルト２１に接した状態となる。右端ガイド部材２４は、以上のような構成を備えているため、無端ベルト２１を左方に押さえ込み、無端ベルト２１の右方への変位を抑えることができる。
　加圧部４０は、板ガラス１０１に垂直方向の流体圧力を加える装置である。なお、板ガラス１０１に流体圧力を加える際に用いる流体（以下、「加圧流体」と称す。）１０４は、本実施形態では水とする。ただし、加圧流体１０４は、洗浄液であってもよく、他の液体であってもよく、空気などの気体であってもよい。加圧部４０は、板ガラス１０１を介して無端ベルト２１に対向するように搬送方向に沿って複数配置されている。ここで、図３は図１のIII－III矢視断面図であり（駆動プーリ２５を省略）、図４は加圧部４０の下面図である。図３及び図４に示すように、加圧部４０は、円柱状の流入側部材４１と、矩形板状の流出側部材４２とによって主に構成されている。
　流入側部材４１は、加圧流体１０４の入口となる部材である。図３に示すように、流入側部材４１の内部には、流出側部材４２とは反対側の端面に開口する入口流路４３が形成されている。この入口流路４３には図示しない流体供給装置が接続されており、この入口流路４３を介して流入側部材４１の内部に加圧流体１０４が供給される。さらに、流入側部材４１の内部には、流出側部材４２側の端面に開口する流体溜４４が形成されている。この流体溜４４は、入口流路４３から流入した加圧流体１０４を一旦溜めることができる。そのため、例えば入口流路４３に供給される加圧流体１０４の圧力が変動するような場合であっても、この流体溜４４を介することにより、圧力の変動量を低減した状態で加圧流体１０４を流出側部材４２へと供給することができる。つまり、流体溜４４はダンパとして機能している。
　流出側部材４２は、加圧流体１０４を板ガラス１０１に放出する部材である。流出側部材４２は、流入側部材４１よりも板ガラス１０１の搬送路に近い部分に位置し、流入側部材４１に連結されている。流出側部材４２の内部には、流入側部材４１側の面に開口する中間流路４５が形成されている。中間流路４５は、小径部４６と、小径部４６よりも径の大きい大径部４７とによって構成されている。これにより、流入側部材４１の流体溜４４を通過した加圧流体１０４は、小径部４６、大径部４７の順にこれらの内部を流れる。流出側部材４２には、板ガラス１０１の搬送路側に開口する放出開口部４８が形成されている。放出開口部４８は、図４に示すように、板ガラス１０１の搬送路側から見て略矩形状に形成されている。中間流路４５を通過した加圧流体１０４は、この放出開口部４８へ流入し、板ガラス１０１の精密面１０２へと放出される。なお、本実施形態に係る流出側部材４２は加圧部４０ごとにそれぞれ独立して構成されているが、これらを一体に形成してもよい。
　上記の構成を備える加圧部４０は、搬送される板ガラス１０１との間にわずかな隙間が生じるように配置されている（図３では発明が理解されやすいように、隙間を大きく描いている）。このように配置することで、加圧部４０から放出された加圧流体１０４が、加圧部４０と板ガラス１０１の間のわずかな隙間を通って、加圧部４０の外へと流出することになる。これにより、加圧部４０と板ガラス１０１との間に加圧流体１０４の膜が生じる。そのため、加圧部４０は板ガラス１０１に接触することなく、この加圧流体１０４の圧力によって、板ガラス１０１を無端ベルト２１に向かって垂直方向に押すことができる。なお、加圧部４０による板ガラス１０１への下方の力は、加圧部４０から放出する加圧流体１０４の流量を増減させることで、調整することができる。
　浮揚部５０は、板ガラス１０１を無端ベルト２１から浮かせ、両者が接触しないようにするための部材である。図１に示すように、浮揚部５０は、板ガラス１０１の普通面１０３側であって、無端ベルト２１の左右両側に位置し、搬送方向に沿って複数配置されている。各浮揚部５０は、入口流路５１、流体溜５２、中間流路５３、及び放出開口部５４が形成されている。これらは、それぞれ加圧部４０の入口流路４３、流体溜４４、中間流路４５、及び放出開口部４８に対応しており、同じ機能を果たす。このように、浮揚部５０は、加圧部４０に近い構造を有しており、加圧部４０と同様に、板ガラス１０１との間に流体の膜を形成し、また、板ガラス１０１の普通面１０３に垂直方向の流体圧力を加えることができる。
　なお、加圧部４０の場合と異なり、浮揚部５０から放出される加圧流体１０４の流量は一定である。そのため、板ガラス１０１を無端ベルト２１と接触しないようにするかは浮揚部５０ではなく加圧部４０の制御による。つまり、加圧部４０から放出される加圧流体１０４の流量を増やして板ガラス１０１へ加える下方の力を大きくすると、加圧部４０からの力が浮揚部５０からの力よりも大きくなり、その結果、板ガラス１０１が無端ベルト２１に押し付けられる。これに対し、加圧部４０から放出される加圧流体１０４の流量を減らして板ガラス１０１へ加える下方の力を小さくすると、加圧部４０からの力が浮揚部５０からの力よりも小さくなり、その結果、板ガラス１０１が上方に押し上げられて無端ベルト２１から離れる。
　流体ガイド部６０は、板ガラス１０１の両面に垂直方向の流体圧力を加えて板ガラス１０１の縦揺れを抑える装置である。この流体ガイド部６０は、６つの流路管６１によって構成されている。これら６つの流路管６１は、板ガラス１０１の左右両端近傍であって精密面１０２側及び普通面１０３側と、これらよりの左右方向中央側であって普通面１０３側に配置されている。そして、これらの流路管６１は、板ガラス１０１の搬送方向に延びるように配置されている。また、流路管６１のうち板ガラス１０１に対向する部分には、所定の間隔をおいて噴射口６２が複数形成されている。さらに、各流路管６１の内部には加圧流体である水が流れており、その加圧流体の圧力を上げると噴射口６２から板ガラス１０１に向かって垂直方向に加圧流体が噴射される。よって、流体ガイド部６０によれば、板ガラス１０１に機械類が触れることなく、その両面に加圧流体による垂直方向の圧力を加えることができ、板ガラス１０１の縦揺れを防止することができる。また、本実施形態に係る流体ガイド部６０は加圧流体を用いているため、板ガラス１０１に異物が付着するのを防止する役割も果たしている。
　以上が、第１送出装置１０の各構成要素の説明である。第１送出装置１０は、以上のような構成要素を備えており、搬送部２０の無端ベルト２１と加圧部４０の加圧流体１０４とによって板ガラス１０１を挟むように保持しながら搬送方向へ搬送することができる。また、第１送出装置１０は、上述したように、加圧部４０から放出される加圧流体１０４の流量を調整することで、板ガラス１０１を無端ベルト２１に押し付けたり、無端ベルト２１と接触しないようにしたりすることができる。そして、第２送出装置１１も第１送出装置１０と同じ構成を有していることは上述したとおりであり、加圧部４０から放出される加圧流体１０４の流量を調整することで、板ガラス１０１を無端ベルト２１に押し付けたり、無端ベルト２１と接触しないようにしたりすることができる。
　次に、図５を参照して、本実施形態に係る搬送システム１００の動作について説明する。図５は、第１送出装置１０と第２送出装置１１の境界付近の拡大右側面図であり、搬送システム１００が板ガラス１０１を搬送する動作を示している。搬送システム１００では、第１送出装置１０から第２送出装置１１へ板ガラス１０１を受け渡しできるように構成されていることは上述したとおりである。
　まず、図５の上段の図に示すように、第１送出装置１０から第２送出装置１１へ板ガラス１０１が受け渡される前においては、第２送出装置１１は板ガラス１０１のうち第２送出装置１１内に位置する部分を浮かせ、無端ベルト２１と接触しないようにしている。これにより、板ガラス１０１の一部が第２送出装置１１内に位置しているにもかかわらず、板ガラス１０１は第１送出装置１０の搬送部２０のみによって搬送される。
　続いて、図５の中段の図に示すように、板ガラス１０１の重心位置が、第１送出装置１０と第２送出装置１１の境界に達すると、板ガラス１０１は第１送出装置１０から第２送出装置１１へ受け渡される（図５の中段の図は、板ガラス１０１は第１送出装置１０から第２送出装置１１へ受け渡される直前の状態を示している。図８の中段の図及び図９の中段の図も同様である）。図５の中段の図では、板ガラス１０１を支持している部分が少ないようにも見えるが、実際には板ガラス１０１の左右両端部等を流体ガイド部６０が支持しているため、自重によって撓むようなことはない。なお、板ガラス１０１が第１送出装置１０から第２送出装置１１へ受け渡されるタイミングは上記のような場合に限られない。例えば、板ガラス１０１の重心位置が第1送出装置１０内や第２送出装置１１内にあるときに板ガラス１０１を第１送出装置１０から第２送出装置１１へ受け渡すようにしてもよい。
　続いて、図５の下段の図に示すように、第１送出装置１０から第２送出装置１１へ板ガラス１０１が受け渡された後においては、第１送出装置１０は板ガラス１０１のうち第１送出装置１０内に位置する部分を浮かせ、無端ベルト２１から離す。これにより、板ガラス１０１の一部が第１送出装置１０内に位置しているにもかかわらず、板ガラス１０１は第２送出装置１１の搬送部２０のみによって搬送される。
　以上のように、本実施形態に係る搬送システム１００によれば、板ガラス１０１を第１送出装置１０から第２送出装置１１に受け渡す際、板ガラス１０１が両装置の無端ベルト２１に同時に接することはないため、仮に第１送出装置１０の無端ベルト２１と第２送出装置１１の無端ベルトの搬送速度が異なっていたとしても、板ガラス１０１がいずれかの装置上を滑るようなことはない。なお、本実施形態では、板ガラス１０１を受け渡す際、板ガラス１０１の一部を浮かすことになるため、板ガラス１０１は部分的に湾曲する。そのため、板ガラス１０１がある程度撓む場合には本実施形態の搬送方法は有効である。例えば、板ガラス１０１の厚みが１mm以下程度あれば、本実施形態に係る搬送システム１００は有効である。
　なお、第１送出装置１０及び第２送出装置１１の搬送速度はそれぞれ一定である必要はない。例えば、第１送出装置１０から第２送出装置１１へ板ガラス１０１が受け渡される際には、両者の搬送速度を同じにし、板ガラス１０１が第２送出装置１１へ受け渡された後に第２送出装置１１の搬送速度を大きくしても良い。この場合、第２送出装置１１の搬送速度を大きくしたとき、板ガラス１０１の一部が第１送出装置１０の内側に残っていたとしても、その部分が第１送出装置１０上を滑るようなことはない。
　また、以上では、浮揚部５０から放出される加圧流体１０４の流量が一定であり、加圧部４０から放出される加圧流体１０４の流量が可変である場合について説明したが、このような構成に限られない。例えば、浮揚部５０から放出される加圧流体１０４の流量を可変とするとともに、加圧部４０から放出される加圧流体１０４の流量を一定とし、浮揚部５０側の調整によって板ガラス１０１を無端ベルト２１と接触させるか否かを制御できるように構成してもよい。
　（第２実施形態）
　次に、図６を参照して、本発明の第２実施形態に係る搬送システム２００について説明する。図６は、第２実施形態に係る搬送システム２００を構成する第１送出装置２１０（第２送出装置２１１）の断面図であって、第１実施形態の図３に対応する図である。図６に示すように、本実施形態に係る搬送システム２００は、図３に示す浮揚部５０に代えて浮揚部２５０を備えている点で、第１実施形態に係る搬送システム１００と構成が異なる。本実施形態の浮揚部２５０は、いわゆるジェットノズルであって、先端からは高圧の加圧流体１０４が板ガラス１０１の普通面１０３に向かって垂直に噴射されるように構成されている。これにより板ガラス１０１は上方への力が加えられて上方に押し上げられ、無端ベルト２１から離す。本実施形態によれば、浮揚部２５０としてジェットノズルを採用しているため、浮揚部２５０と板ガラス１０１の距離が比較的大きな場合であっても、板ガラス１０１に上方への力を加えることができる。そのため、浮揚部２５０と板ガラス１０１との距離の設定を広い範囲で行うことができる。
　（第３実施形態）
　次に、図７を参照して、本発明の第３実施形態に係る搬送システム３００について説明する。図７は、第２実施形態に係る搬送システム３００を構成する第１送出装置３１０（第２送出装置３１１）の断面図であって、第１実施形態の図３に対応する図である。図７に示すように、本実施形態に係る搬送システム３００は、図３に示す浮揚部５０に代えて浮揚部３５０を備えている点で、第１実施形態に係る搬送システム１００と構成が異なる。本実施形態の浮揚部３５０は、板ガラス１０１に接触する支持ローラー３５１と、左右方向を回転軸としてこの支持ローラーを回転可能に保持する保持部材３５２と、この保持部材３５２を介して支持ローラー３５１を板ガラス１０１の普通面１０３へ垂直方向に付勢する付勢部材３５３によって主に構成されている。本実施形態の構成によれば、加圧流体１０４（図１等参照）を用いなくとも、板ガラス１０１に上方への力を加え、板ガラス１０１を浮かすようにして搬送部２０と接触しないようにすることができる。
　（第４実施形態）
　次に、図８を参照して、本発明の第４実施形態に係る搬送システム４００について説明する。図８は、第４実施形態に係る搬送システム４００の板ガラス１０１を搬送する動作を示した右側面図である。図８に示すように、本実施形態に係る搬送システム４００は、板ガラス１０１を押し上げるための浮揚部５０（図１等参照）を備えておらず、第１送出装置４１０及び第２送出装置４１１が変位する点で、第１実施形態に係る搬送システム１００と構成が異なる。具体的には次のとおりである。
　本実施形態に係る搬送システム４００では、第１送出装置４１０は下流側が下方になるよう傾斜可能に構成されており、第１送出装置４１１は上流側が下方になるよう傾斜可能に構成されている。より具体的には、第１送出装置４１０の下流側の駆動プーリ２５Bが上流側の駆動プーリ２５Aを支点にして元の水平位置よりも下方に移動可能に構成されており、第２送出装置４１１の上流側の駆動プーリ２５Cが下流側の駆動プーリ２５Dを支点にして元の水平位置よりも下方に移動可能に構成されている。なお、駆動プーリ２５B、Cを上下させる手段は特に限定されてないが、例えばエアシリンダ等のアクチュエータを用いて駆動プーリ２５B、Cを支持している部材を上下するように構成してもよい。
　以上のように構成された搬送システム４００によれば、次のようにして第１送出装置４１０から第２送出装置４１１へと板ガラス１０１が受け渡される。まず、図８の上段の図に示すように、第１送出装置４１０から第２送出装置４１１へ板ガラス１０１が受け渡される前においては、第２送出装置４１１の上流側の駆動プーリ２５Cを下げ、第２送出装置４１１内の無端ベルト２１から板ガラス１０１を離す。これにより、板ガラス１０１の一部が第２送出装置４１１内に位置しているにもかかわらず、板ガラス１０１は第１送出装置４１０の搬送部２０のみによって搬送される。
　続いて、図８の中段の図に示すように、板ガラス１０１の重心位置が、第１送出装置４１０と第２送出装置４１１の境界に達すると、搬送システム４００は、板ガラス１０１は第１送出装置４１０から第２送出装置４１１へ受け渡される。
　続いて、図８の下段の図に示すように、第１送出装置４１０から第２送出装置４１１へ板ガラス１０１が受け渡された後においては、第１送出装置４１０の下流側の駆動プーリ２５Bを下げ、第１送出装置４１０内の無端ベルト２１から板ガラス１０１を離す。これにより、板ガラス１０１の一部が第１送出装置４１０内に位置しているにもかかわらず、板ガラス１０１は第２送出装置４１１の搬送部２０のみによって搬送される。
　以上のように、本実施形態に係る搬送システム４００によれば、第１実施形態に係る搬送システム１００と同様に、第１送出装置４１０の無端ベルト２１と第２送出装置４１１の無端ベルトの搬送速度が異なっていたとしても、板ガラス１０１が滑るようなことはない。なお、第１実施形態では板ガラス１０１がある程度撓む場合には有効であると説明したが、本実施形態では板ガラス１０１を撓ませるようなことはないため、例えば厚みが１mm以上の比較的厚みのある歪みにくい板ガラスを搬送する場合には本実施形態に係る搬送システム４００が有効である。
　（第５実施形態）
　次に、図９を参照して、本発明の第５実施形態に係る搬送システム５００について説明する。図９は、第５実施形態に係る搬送システム５００が板ガラス１０１を搬送する動作を示した右側面図である。図９に示すように、本実施形態に係る搬送システム４００は、第１送出装置５１０及び第２送出装置５１１が一方の端部のみならず全体が上下に移動する点で第４実施形態に係る搬送システム４００と構成が異なる。
　本実施形態に係る搬送システム５００の第１送出装置５１０及び第２送出装置５１１は、無端ベルト２１全体が元の位置よりも下方に移動可能に構成されている。より具体的には、各無端ベルト２１の両端の駆動プーリ２５A、B、C、Dが同時に下方に移動できるように構成されている。駆動プーリ２５A、B、C、Dを上下させる手段は特に限定されてないが、例えばエアシリンダ等のアクチュエータを用いて前後の駆動プーリ２５A、B、C、Dを支持している部材を上下するように構成してもよい。
　以上のように構成された搬送システム５００によれば、次のようにして第１送出装置５１０から第２送出装置５１１へと板ガラス１０１が受け渡される。まず、第１送出装置５１０から第２送出装置５１１へ板ガラス１０１が受け渡される前においては、第２送出装置５１１の両側の駆動プーリ２５C、Dを下げ、第２送出装置５１１内の無端ベルト２１から板ガラス１０１を離す。これにより、板ガラス１０１の一部が第２送出装置５１１内に位置しているにもかかわらず、板ガラス１０１は第１送出装置５１０の搬送部２０のみによって搬送される。
　続いて、図９の中段の図に示すように、板ガラス１０１の重心位置が、第１送出装置５１０と第２送出装置５１１の境界に達すると、板ガラス１０１は第１送出装置５１０から第２送出装置５１１へ受け渡される。
　続いて、図９の下段の図に示すように、第１送出装置５１０から第２送出装置５１１へ板ガラス１０１が受け渡された後においては、第１送出装置５１０の両側の駆動プーリ２５A、Bを下げ、第１送出装置５１０内の無端ベルト２１から板ガラス１０１を離す。これにより、板ガラス１０１の一部が第１送出装置５１０内に位置しているにもかかわらず、板ガラス１０１は第２送出装置５１１の搬送部２０のみによって搬送される。
　以上、本発明の実施形態について図を参照して説明したが、具体的な構成はこれらの実施形態に限られるものではなく、この発明の要旨を逸脱しない範囲の設計の変更等があっても本発明に含まれる。なお、以上では、搬送される板ガラス１０１が精密面１０２と普通面１０３を有する場合について説明したが、例えば、搬送する板ガラス１０１の両面が普通面であってもよい。このような場合でも、板ガラスの表面を清浄に保つべきことに変わりなく、本発明に係る板材の搬送システムは有効である。
　また、以上では搬送システムが、板ガラスを搬送する場合について説明したが、仮にある装置が板ガラス以外の板材を搬送するものであったとしても、そのことをもって、その装置が本発明に含まれなくなる理由にはなりえない。
　また、以上では、搬送システムが環状の無端ベルト２１を用いる場合について説明したが、例えば無端ベルト２１に代えて環状型以外のベルトを用いても良い。
　また、以上では、搬送システムが板材（板ガラス１０１）を水平にした状態で搬送する場合について説明したが、板材を鉛直にした状態で搬送するように構成されていてもよい。つまり、例えば、搬送システムが、図２や図３に示す構成を反時計回りに９０°回転させたような構成であっても良い。
　また、以上では、板ガラスを浮かせる搬送システム１００、２００、３００と第１送出装置及び第２送出装置自体を変位させる搬送システム４００、５００について説明したが、これらを合わせても良い。つまり、板ガラスを浮かせるとともに、第１送出装置及び第２送出装置を変位させることができる搬送システムとしてもよい。
　本発明に係る板材の搬送システムによれば、板材の受け渡しの際に、板材が滑ることがないため、板材の搬送システムの技術分野において有益である。
１０、２１０、３１０、４１０、５１０　第１送出装置
１１、２１１、３１１、４１１、５１１　第２送出装置
２０　搬送部
２１　無端ベルト（ベルト）
４０　加圧部
５０　浮揚部
１００、２００、３００、４００、５００　搬送システム
１０１　板ガラス（板材）
１０４　加圧流体（流体）

Claims (7)

  1. 　第１送出装置と、第２送出装置とを備え、前記第１送出装置から前記第２送出装置へ板材が受け渡される板材の搬送システムであって、
    　前記第１送出装置及び前記第２送出装置はそれぞれ、
    　前記板材の一方の面に接触して前記板材を搬送方向へ送り出す搬送部と、
    　前記板材の他方の面に流体による垂直方向の圧力を加え、前記板材を前記搬送部に向かって加圧することができる加圧部と、を有しており、
    　前記第１送出装置から前記第２送出装置へ前記板材が受け渡される前においては、前記第１送出装置は搬送部と前記加圧部の流体とによって前記板材を挟むように保持しながら搬送するとともに、前記第２送出装置の搬送部は前記板材と接触しないようにし、
    　前記第１送出装置から前記第２送出装置へ前記板材が受け渡された後においては、前記第２送出装置は搬送部と前記加圧部の流体とによって前記板材を挟むように保持しながら搬送するとともに、前記第１送出装置の搬送部は前記板材と接触しないように構成された、板材の搬送システム。
  2. 　前記第１送出装置及び前記第２送出装置はそれぞれ、前記搬送部側から前記板材の前記一方の面に垂直方向の力を加え、前記板材を浮かすようにして前記搬送部と接触しないようにする浮揚部をさらに備えている、請求項１に記載の板材の搬送システム。
  3. 　前記浮揚部は、前記板材の前記一方の面に流体による垂直方向の圧力を加えることができるように構成されている、請求項２に記載の板材の搬送システム。
  4. 　前記浮揚部は、前記板材の前記一方の面との間で流体の膜が形成できるように構成されている、請求項３に記載の板材の搬送システム。
  5. 　前記浮揚部は、前記板材の前記一方の面に接触する支持ローラーと、該支持ローラーを前記板材へ付勢する付勢部材と、を有し、前記支持ローラーを介して前記板材の前記一方の面に垂直方向の力を加えることができるように構成されている、請求項２に記載の板材の搬送システム。
  6. 　前記第１送出装置の搬送部は、前記第２送出装置側の端部がこれとは反対側の端部を支点にして前記板材と接触しないように駆動するよう構成されており、
    　前記第２送出装置の搬送部は、前記第１送出装置側の端部がこれとは反対側の端部を支点にして前記板材と接触しないように駆動するよう構成されている、請求項１に記載の板材の搬送システム。
  7. 　前記第１送出装置及び前記第２送出装置の搬送部は、全体が前記板材と接触しないように駆動するよう構成されている、請求項１に記載の板材の搬送システム。
PCT/JP2012/007241 2011-11-14 2012-11-12 板材の搬送システム WO2013073156A1 (ja)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201280053236.0A CN103906692B (zh) 2011-11-14 2012-11-12 板材的搬运系统
KR1020147011849A KR101564675B1 (ko) 2011-11-14 2012-11-12 판재 반송 시스템
IN3271CHN2014 IN2014CN03271A (ja) 2011-11-14 2012-11-12

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2011248753A JP5931409B2 (ja) 2011-11-14 2011-11-14 板材の搬送システム
JP2011-248753 2011-11-14

Publications (1)

Publication Number Publication Date
WO2013073156A1 true WO2013073156A1 (ja) 2013-05-23

Family

ID=48429252

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/JP2012/007241 WO2013073156A1 (ja) 2011-11-14 2012-11-12 板材の搬送システム

Country Status (6)

Country Link
JP (1) JP5931409B2 (ja)
KR (1) KR101564675B1 (ja)
CN (1) CN103906692B (ja)
IN (1) IN2014CN03271A (ja)
TW (1) TWI480216B (ja)
WO (1) WO2013073156A1 (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2019186065A1 (fr) * 2018-03-29 2019-10-03 Saint-Gobain Glass France Ensemble de convoyage amélioré

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR3049943B1 (fr) * 2016-04-06 2020-08-28 Saint Gobain Dispositif de convoyage et de maintien de feuilles de verre notamment dans une installation de lavage, et procede de mise en oeuvre

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001151318A (ja) * 1999-09-13 2001-06-05 Press Gijutsu Kenkyusho:Kk 加工用送り装置
JP2003031637A (ja) * 2001-07-16 2003-01-31 Tokyo Electron Ltd 基板搬送装置
JP2006036471A (ja) * 2004-07-28 2006-02-09 Shinko Electric Co Ltd 基板の受渡し方法、及びその装置
WO2012046360A1 (ja) * 2010-10-06 2012-04-12 川崎重工業株式会社 板ガラスの搬送装置とそれを備えた面取り装置

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6481558B1 (en) * 1998-12-18 2002-11-19 Asyst Technologies, Inc. Integrated load port-conveyor transfer system
JP2004154893A (ja) * 2002-11-06 2004-06-03 Mitsubishi Materials Techno Corp 板硝子の研磨方法および研磨装置
JP4244006B2 (ja) 2003-11-14 2009-03-25 株式会社ダイフク 搬送装置
JP4800611B2 (ja) * 2004-12-13 2011-10-26 コーニングジャパン株式会社 板材収納方法および装置
JP4849969B2 (ja) * 2006-06-15 2012-01-11 東京エレクトロン株式会社 基板処理システムおよび基板搬送方法
JP2008302487A (ja) * 2007-06-11 2008-12-18 Olympus Corp 基板吸着装置及び基板搬送装置並びに外観検査装置

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001151318A (ja) * 1999-09-13 2001-06-05 Press Gijutsu Kenkyusho:Kk 加工用送り装置
JP2003031637A (ja) * 2001-07-16 2003-01-31 Tokyo Electron Ltd 基板搬送装置
JP2006036471A (ja) * 2004-07-28 2006-02-09 Shinko Electric Co Ltd 基板の受渡し方法、及びその装置
WO2012046360A1 (ja) * 2010-10-06 2012-04-12 川崎重工業株式会社 板ガラスの搬送装置とそれを備えた面取り装置

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2019186065A1 (fr) * 2018-03-29 2019-10-03 Saint-Gobain Glass France Ensemble de convoyage amélioré
FR3079507A1 (fr) * 2018-03-29 2019-10-04 Saint-Gobain Glass France Ensemble de convoyage ameliore
CN112074474A (zh) * 2018-03-29 2020-12-11 法国圣戈班玻璃厂 改进的输送组件

Also Published As

Publication number Publication date
TWI480216B (zh) 2015-04-11
CN103906692A (zh) 2014-07-02
KR101564675B1 (ko) 2015-10-30
IN2014CN03271A (ja) 2015-07-03
JP2013103797A (ja) 2013-05-30
CN103906692B (zh) 2016-01-06
TW201318943A (zh) 2013-05-16
JP5931409B2 (ja) 2016-06-08
KR20140085482A (ko) 2014-07-07

Similar Documents

Publication Publication Date Title
TW201013825A (en) Substrate transporting apparatus and substrate positioning method and apparatus
DK2134634T3 (en) BELT WITH ROLLS displacing OBJECTS
TWI492812B (zh) 研磨裝置及研磨方法
JP2007176702A5 (ja)
JP5931409B2 (ja) 板材の搬送システム
JP2019023134A5 (ja)
JP2004137054A (ja) 紙葉類検知装置
JP2016207847A (ja) 基板の搬送方法および搬送装置
CN106684014B (zh) 基板浮起输送装置
JP5745631B2 (ja) 板材の搬送装置及び板材の搬送方法
US20160159115A1 (en) Printing Device
JP2007204278A (ja) 基板浮上搬送装置
JP2012194025A (ja) 基板外観検査装置における基板幅寄せ搬送機構
TWI441768B (zh) Method for transporting sheet material and sheet material
JP2005199110A (ja) 塗布装置
JP2008273727A (ja) ワーク搬送装置
JP4830339B2 (ja) 搬送装置
JP2017109315A (ja) 冊子ページめくり装置
JP2010143662A (ja) スキュー補正装置及び記録装置
JP2016207848A (ja) 基板の搬送方法および搬送装置
KR102134272B1 (ko) 부상식 기판 이송 장치
JP6803654B2 (ja) ガラス基板の検査装置
JP2018108892A5 (ja)
JP2006076723A (ja) 容器の間隔形成装置
KR20060078538A (ko) 반송 롤러

Legal Events

Date Code Title Description
121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application

Ref document number: 12849149

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1

ENP Entry into the national phase

Ref document number: 20147011849

Country of ref document: KR

Kind code of ref document: A

NENP Non-entry into the national phase

Ref country code: DE

122 Ep: pct application non-entry in european phase

Ref document number: 12849149

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1