WO2011158763A1 - アイソレーター装置 - Google Patents

Abstract

【課題】アイソレーター装置の稼働中における危険性に対処して、簡単な構造を有して高い安全性を確保することのできるアイソレーター装置を提供する。更に、アイソレーター装置の稼働終了後における危険性に対処して、フィルタ交換作業が簡単で当該交換作業によって外部環境を汚染する危険性が低いアイソレーター装置を提供する。 【解決手段】作業室と、作業室の内部に上方から下方に向かう一方向流の空気を給気する給気手段と、作業室の下方から一方向流の空気を排気する排気手段とを備えており、上記一方向流の空気に沿って作業室の周壁部に並行に設けられる隔壁と、隔壁の下端部の下方に当該下端部の幅方向に沿って開口し、空気清浄用フィルタユニットが空気導入口部を対向させるようにして装着された長手状の排気口とを備えている。

Description

アイソレーター装置

　本発明は、アイソレーター装置に関するものであり、更に詳しくは、内部を無菌状態に保つ作業にも、また、内部で人体に影響を及ぼす物質を取り扱う作業にも使用できる安全性の高いアイソレーター装置に関するものである。

　清浄な雰囲気で行われる作業、例えば、半導体や電子部品の製造段階の作業、或いは、医薬品の製造段階の作業においては、外部環境から汚染物質が入り込まないように内部を無菌・無塵状態に保った清浄な作業環境で作業が行われる。かかる作業を行う作業環境が小規模な場合には、外部環境から密閉されたチャンバーなどを使用し、作業者がこのチャンバーの外部からグローブやハーフスーツを介して作業をすることのできるアイソレーター装置が利用される。このようなアイソレーター装置は、特に無菌アイソレーターと呼ばれている。

　一方、人体に影響を及ぼす物質を取り扱う作業、例えば、医薬品の製造段階の作業、医学や生物学の分野において毒性の強い微生物を取り扱う作業、或いは、放射性物質を取り扱う作業などにおいては、人体に影響を及ぼす化学物質や微生物等の汚染から作業者を保護し、また、これらの人体に影響を及ぼす化学物質や微生物等が作業環境から外部環境に漏洩することを防止する必要がある。かかる作業においても、外部環境から密閉されたチャンバーの外部からグローブやハーフスーツを介して作業をすることのできるアイソレーター装置が利用される。このようなアイソレーター装置は、特に封じ込めアイソレーターと呼ばれている。

　アイソレーター装置は、作業者が作業を行う外部環境とは気密的に遮蔽されており、また、外部の空気をフィルタで清浄化してチャンバー内に供給すると共にチャンバー内の空気をフィルタで清浄化して外部に排気する。従って、このようなアイソレーター装置は、基本的には無菌アイソレーターとしても封じ込めアイソレーターとしても使用できる。

　また、アイソレーター装置を使用する場合には、目的に応じてチャンバー内の空気圧を調整することにより更に安全性を向上することができる。すなわち、無菌アイソレーターとして使用するときには、チャンバー内を外部の空気圧より高圧（以下、陽圧という）として、仮にチャンバーからの漏洩が生じた場合にも空気はチャンバー側から外部へ流れるため、外部から浮遊菌等がチャンバー内に侵入しないようにしている。

　一方、封じ込めアイソレーターとして使用するときには、チャンバー内を外部の空気圧より低圧（以下、陰圧という）として使用することにより、仮にチャンバーからの漏洩が生じた場合にも空気は外部からチャンバー内へ流れるため、チャンバー内の化学物質等が外部環境を汚染することがないようにしている。

　しかし、アイソレーター装置には、外部からチャンバー内を視認できるガラス窓、作業者が作業を行うグローブ、及び、チャンバー内への機器の搬入やメンテナンスを行うための開閉扉などが設けられている。従って、アイソレーター装置のチャンバーを気密的に完璧に遮蔽することは困難であり、アイソレーター装置の稼働中に遮蔽性が破壊されることも考えられる。更に、チャンバー内の空気圧を調整しても、外部の空気圧の変動など様々な要因により常に圧力差を設けることにも限界がある。

　このようにして、アイソレーター装置に何らかの漏洩が生じると、無菌アイソレーターにおいては、チャンバー内の無菌・無塵状態が維持できず、また、封じ込めアイソレーターにおいては、チャンバー内で取り扱われている化学物質や微生物等が外部環境へ漏洩することとなる。

　アイソレーター装置の稼働中におけるこのような危険性を回避する方法として、下記特許文献１においては、チャンバーに設けられた接合部の内周縁にチャンバー内及び外部に対して共に陰圧となる陰圧空気吸入路を設置して、接合部の内周縁を通過する空気を陰圧空気吸入路で吸引するようにしたアイソレーター装置の清浄維持装置が提案されている。

　一方、アイソレーター装置の稼働終了後における危険性を伴う作業として、使用後のフィルタを交換する作業がある。例えば、封じ込めアイソレーター装置においては、その内部の空気を清浄化するためのフィルタを介して空気中の化学物質等を除去し、清浄化された空気を外部環境に排気している。このことにより、アイソレーター装置などの内部で取り扱われる化学物質等が外部環境へ漏洩することを防止している。

　これらの空気を清浄化するためのフィルタには、ＨＥＰＡフィルタ或いはＵＬＰＡフィルタなどの高性能フィルタが使用され、使用後のフィルタには空気中から除去された多くの化学物質等が付着している。従って、これら使用後のフィルタを交換する際には、作業者の安全と外部環境への漏洩を防止すべく慎重な作業が要求される。

　このフィルタ交換作業で最も広く採用されている方法は、バッグイン‐バッグアウト方式であるが、この従来の方式においては、フィルタを収納したハウジングの構造が複雑となり、フィルタ交換作業が煩雑なものとなる。

　また、ハウジングの内部はフィルタによって区分されており、空気の流れに沿ってフィルタの上流側の面は化学物質等が付着し、フィルタの下流側の面は汚染されていない。このような状態で、使用済みのフィルタをハウジング内の取付板から取外してバッグに収納するが、バッグに収納されるまでの段階でフィルタの上流側の面に付着した化学物質等がハウジング内のフィルタの下流部を汚染する恐れが生じる。

　このようにして、ハウジング内のフィルタの下流部が化学物質等で汚染されると、フィルタ交換後にアイソレーター装置などを作動させたときに、ハウジング内のフィルタの下流部を汚染した化学物質等が外部環境へ漏洩することとなる。

　このような危険性を回避する方法として、下記特許文献２においては、使用済みのフィルタを収納したハウジングをハウジングごと取外し、新規フィルタを収納した新規ハウジングと交換する安全なフィルタハウジング交換方式が提案されている。

　このフィルタハウジング交換方式においては、ハウジング上面に開口する吸気口からアイソレーター装置などの室内の空気を吸入し、ハウジング内に収納されたフィルタで空気を清浄化し、ハウジング側面に開口する排気口から清浄空気を排出する。ここで、ハウジングの吸気口は、アイソレーター装置などの作業チャンバーの差し込み口に脱着可能に連結されており、一方、ハウジングの排気口は、排気側ダクトに脱着可能に連結されている。

　このハウジングを交換する際には、まず、アイソレーター装置などの作業チャンバー側の吸気口に蓋をしてハウジング内の汚染された部分であるフィルタ上流部を密封する。次に、作業チャンバー内を洗浄してからハウジングの吸気口を作業チャンバーの差し込み口から取外す。また、ハウジングの排気口も排気側ダクトから取外して蓋をする。

　このフィルタハウジング交換方式では、従来のバッグイン‐バッグアウト方式に比べ、フィルタの交換作業が比較的簡単であり、ハウジングの取外し作業の間に外部環境を汚染する危険性が低減できる。また、取外されたハウジングは、吸排気口ともに密封されているので外部環境を汚染することがない。

特開２０００－３４６４１８号公報 ＷＯ２００７／１３１３７６号公報

　アイソレーター装置の稼働中における危険性を回避する方法として、上記特許文献１に提案されているアイソレーター装置の清浄維持装置は、高度な無菌・無塵状態を維持することを目的とした無菌アイソレーターを提供するものであり、封じ込めアイソレーターを提供することを目的としていない。また、この清浄維持装置において高度な安全性を維持するためには、アイソレーター装置の全ての接合部にそれぞれ陰圧空気吸入路を設ける必要があり、装置の構造が複雑となると共にアイソレーター装置のメンテナンスコストが高くなるという問題があった。

　また、上記特許文献１の明細書中には、上記清浄維持装置を具備したダブルウォール型のアイソレーター装置が提案されており、このアイソレーター装置は、装置筐体との間に間隙を形成する内壁を設けて空気の周回路とし、この周回路に上昇気流を形成して、外部から汚染空気が侵入しても周回路により遮断され、シールド性が更に向上するとしている（同文献明細書段落番号００３０～００３１）。

　このダブルウォール型のアイソレーター装置は、無菌アイソレーターに適用されるものであって、周回路に流れる空気は装置内から吸引されたものであって、装置内の空気中に化学物質等が含まれている封じ込めアイソレーターに適用することはできない。

　一方、アイソレーター装置の稼働終了後における危険性を回避する方法として、上記特許文献２に提案されているフィルタハウジング交換方式においては、複雑な構造を有する専用のハウジングを必要とし製造コストが高くなる。また、フィルタ交換の際には、使用済みのフィルタだけでなく専用のハウジング自体も使い捨てとなり、廃棄コストを含めたアイソレーター装置のメンテナンスコストが高くなるという問題があった。

　一方、ＨＥＰＡフィルタ、ＵＬＰＡフィルタ等の高性能フィルタは、製造後定格の捕集効率を満足すること及びフィルタに漏洩の無いことを確認するためにリーク検査が行われる。このリーク検査方法には、例えば、米国規格　ＩＥＳＴ－ＲＰ－ＣＣ００６．２、ＩＳＯ　ＣＤ１４６４４－３（１９９８）があり、これらの方法においては、交換部品である個々のフィルタの排気面に対するスキャンテストが要求される。

　このスキャンテストの方法は、試験フィルタの上流側から試験粒子を混合した試験空気を試験フィルタの吸気面全体に供給し、試験フィルタの下流側の排気面を走査する粒子検出器により試験フィルタを透過する粒子を検出する。このスキャンテストにおいて、特定箇所の検出粒子が多い場合には、その箇所にリークが発生していることが確認できる。

　しかし、上記フィルタハウジング交換方式においては、複雑な構造を有する専用のハウジングの内部にフィルタが完全に収納されており、フィルタの排気面がハウジングの外部に露出していない。従って、スキャンテストの粒子検出器がフィルタの排気面を走査することができない。

　よって、ハウジングの内部に収納する前の個々のフィルタについてはスキャンテストが可能であるが、ハウジングに組み込まれた状態でのスキャンテストによる完全性検査が実施できない。従って、フィルタハウジング交換方式の交換部品であるフィルタハウジング自体の安全性が確認できないという問題があった。

　そこで、本発明は、アイソレーター装置の稼働中における危険性に対処して、簡単な構造を有して高い安全性を確保することのできるアイソレーター装置であって、無菌アイソレーターとして高度な無菌・無塵状態を維持できると共に、封じ込めアイソレーターとして化学物質や微生物等の外部環境への漏洩を高度に防止することのできるアイソレーター装置を提供することを目的とする。

　更に、本発明は、アイソレーター装置の稼働終了後における危険性に対処して、フィルタ交換作業が簡単で当該交換作業によって外部環境を汚染する危険性が低く、また、簡単な構造を有して製造コスト及び廃棄コストを含めたアイソレーター装置のメンテナンスコストが安く、更に、スキャンテストによる完全性検査が実施できることで安全性の確認が容易な空気清浄用フィルタユニットを備えたアイソレーター装置を提供することを目的とする。

　上記課題の解決にあたり、本発明者らは、鋭意研究の結果、アイソレーター装置の稼働中における危険性に対処して、ダブルウォール型アイソレーター装置において、チャンバー内に設ける隔壁と、チャンバー内を流れる空気の流れと、チャンバーに設ける排気口の位置との関係を検討することにより、本発明の目的を達成できることを見出して本発明の完成に至った。

　即ち、本発明に係るアイソレーター装置は、請求項１の記載によれば、
　作業室（１０）と、
　上記作業室の内部に上方から下方に向かう一方向流の空気を給気する給気手段（２０）と、
　上記作業室の下方から上記一方向流の空気を排気する排気手段（３０）とを備えるアイソレーター装置において、
　上記一方向流の空気に沿って上記作業室の周壁部（１０ａ）に並行に設けられる隔壁（１１ａ）と、
　上記隔壁の下端部の下方に当該下端部の幅方向に沿って開口する長手状の排気口（１８ａ、１８ｂ）とを備えていることを特徴とする。

　上記構成によれば、作業室の内部には、給気手段によって上方から下方に向かう一方向流（いわゆる層流）の空気が給気されている。この作業室の内部には、上記一方向流の空気の流れに沿う方向に隔壁が設けられている。この隔壁は、作業室の周壁部に並行に形成されて、作業室の内部空間を隔壁から中央の空間（以下、中央空間という）と、隔壁と周壁部との間の空間（以下、周辺空間という）とに区分けしている。従って、作業室内を上方から下方に向かう一方向流の空気は、中央空間を上方から下方に向かう一方向流の空気と、周辺空間を上方から下方に向かう一方向流の空気とに分かれて流れることとなる。

　また、排気口は、隔壁の下端部の下方、すなわち、上記各一方向流の空気の下流側にあって、当該下端部の幅方向に沿って長手状に開口している。このことにより、中央空間及び周辺空間を上方から下方に流れる各一方向流の空気は、流れる方向が変化することがないので、その層流状態を乱すことなく上記排気口から排気される。

　上記構成によるアイソレーター装置で行われる作業は、中央空間で行われ、この中央空間と外部環境の間に周辺空間が形成されている。この状態において、中央空間及び周辺空間には、給気手段から供給された清浄な空気がそれぞれ独立して流れ、これらの空気は、それぞれ排気口から排気されている。

　従って、アイソレーター装置が無菌アイソレーターとして使用される場合には、外部環境から周辺空間に進入した浮遊菌等は、周辺空間を流れる清浄な一方向流の空気に沿って、排気口から排気される。このことにより、中央空間の無菌・無塵状態が汚染されることがなく、無菌アイソレーターの高度な安全性が維持できる。

　一方、アイソレーター装置が封じ込めアイソレーターとして使用される場合には、中央空間から周辺空間に漏洩した化学物質等は、周辺空間を流れる清浄な一方向流の空気に沿って、排気口から排気される。このことにより、化学物質等が外部環境に漏洩することがなく、封じ込めアイソレーターの高度な安全性が維持できる。

　よって、請求項１に記載の発明は、アイソレーター装置の稼働中における危険性に対処して、簡単な構造を有して高い安全性を確保することのできるアイソレーター装置であって、無菌アイソレーターとして高度な無菌・無塵状態を維持できると共に、封じ込めアイソレーターとして化学物質や微生物等の外部環境への漏洩を高度に防止することのできるアイソレーター装置を提供することができる。

　また、本発明は、請求項２の記載によれば、請求項１に記載のアイソレーター装置であって、
　上記周壁部に対向する他の周壁部（１０ｂ）に並行に設けられる他の隔壁（１１ｂ）と、
　上記他の隔壁の下端部の下方に当該下端部の幅方向に沿って開口する長手状の他の排気口（１８ｃ、１８ｄ）とを備えていることを特徴とする。

　上記構成によれば、アイソレーター装置の対向する２つの周壁部にそれぞれ並行に隔壁が設けられ、各隔壁の下端部の下方にそれぞれ排気口が開口している。このことにより、中央空間を上方から下方に向かう一方向流の空気は、対向する方向に開口する２つの排気口にそれぞれ分かれて排気されることとなり、作業室内の空気がより安定して流れ、排気口から排出される。

　よって、請求項２に記載の発明においても、請求項１に記載の発明と同様の作用効果をより一層達成することができる。

　また、本発明は、請求項３の記載によれば、請求項１又は２に記載のアイソレーター装置であって、
　上記排気口は、上記作業室の底壁部に形成されて上記下端部の直下或いは直下より上記作業室の中央寄りに開口していることを特徴とする。

　上記構成によれば、排気口は、作業室の底壁部に形成されて隔壁の下端部の直下或いは直下より中央空間寄りに開口している。上述のように、中央空間は、作業が行われる空間であり、当然、周辺空間より大きな容積を占めている。従って、中央空間を流れる空気の流量は、周辺空間を流れる空気の流量より多く、排気口が隔壁の下端部の直下或いは直下より中央空間寄りに開口することにより、作業室内の空気がより安定して流れ排気口から排出される。

　よって、請求項３に記載の発明においても、請求項１又は２に記載の発明と同様の作用効果をより一層達成することができる。

　また、本発明は、請求項４の記載によれば、請求項１～３のいずれか１つに記載のアイソレーター装置であって、
　上記排気口は、上記隔壁に対して、それぞれ、１つ又は２つ以上の開口部から構成されており、
　上記１つ又は２つ以上の開口部の長手方向の開口長さの総和は、上記下端部の幅方向の長さに対して、５０％～１００％の割合にあることを特徴とする。

　上記構成によれば、各隔壁に設けられる排気口は、１つの開口部から構成されてもよく、また、２つ以上の開口部に分かれて構成されてもよい。更に、これらの開口部の長手方向の開口長さの総和が、所定の長さ以上あることがよい。このことにより、隔壁に沿って流れてきた空気は、その方向を大きく変えることなくより安定して流れ、排気口から排出される。

　よって、請求項４に記載の発明においては、請求項１～３のいずれか１つに記載の発明と同様の作用効果をより一層達成することができる。

　また、本発明は、請求項５の記載によれば、請求項１～４のいずれか１つに記載のアイソレーター装置であって、
　上記給気手段は、上記一方向流の空気を形成する整流部材（２３）を有して、
　上記整流部材は、複数本の枠材（２４ａ）からなる枠体（２４）と、この枠体の上面及び底面を被覆するように上記枠材に固着される多孔性シート（２５ａ、２５ｂ）とを備えており、
　上記枠材は、その上面から底面にかけて貫通する複数の貫通口（２４ｂ）を具備し、
　上記多孔性シートは、上記枠材に当接して当該枠材に固着される部分において、上記貫通口の開口部であって上記枠材の上面開口部或いは底面開口部のうち、いずれか一方の開口部のみを被覆することを特徴とする。

　上記構成によれば、給気手段は、枠体とこの枠体の上面及び底面を被覆する多孔性シートとからなる整流部材を有している。給気手段により作業室の内部に供給される空気は、この整流部材のうち多孔性シートの部分（整流部材の中央部分）を通過することができるので、その流れが整えられ作業室の内部を上方から下方に向かう一方向流の空気を形成する。

　一方、整流部材のうち枠体の部分（整流部材の周縁部分）は、空気を通過させることができない。これでは、作業室の内部空間全体に均一な一方向流の空気を供給することが難しくなることが考えられる。そこで、枠体を構成する枠材には、その上面から底面にかけて貫通する複数の貫通口を設けるようにする。このことにより、枠材を貫通した貫通口の部分からも空気を供給することができる。

　しかし、枠材に複数の貫通口を設けても、枠材の貫通口が開口しない部分からは空気は通過しない。そこで、枠材全体からの空気の流量（みかけの流量）は、貫通口の部分からの空気の流量と等しくなる。そこで、整流部材の中央部分と周縁部分（貫通口の部分）との多孔性シートの被覆枚数に差を与えるようにする。すなわち、整流部材の中央部分には、上面及び底面の二か所に多孔性シートを被覆し、一方、周縁部分（貫通口の部分）には、上面開口部或いは底面開口部のいずれか一方にのみ多孔性シートを被覆するようにする。

　このことにより、貫通口の部分の空気の通過抵抗は、整流部材の中央部分の空気の通過抵抗より小さくなり、貫通口の部分の空気の流速が中央部分の空気の流速より大きくなる。その結果、貫通口の部分の空気の流量が中央部分の空気の流量より多くなる。従って、整流部材の中央部分の空気の流量と周縁部分の空気の流量（みかけの流量）の差が小さくなり、整流部材を通過する空気は、整流部材全体から作業室の内部を上方から下方に向かう一方向流の空気となって更に安定して流れることとなる。

　よって、請求項５に記載の発明においては、請求項１～４のいずれか１つに記載の発明と同様の作用効果をより一層達成することができる。

　また、本発明は、請求項６の記載によれば、請求項５に記載のアイソレーター装置であって、
　上記多孔性シートは、表裏を連通する無数の細孔を有するスクリーン紗であることを特徴とする。

　上記構成によれば、多孔性シートは、その表裏を連通する無数の細孔を有している。このことにより、整流部材を通過する空気は、これらの細孔によってその流れを整えられて、安定した一方向流の空気を形成する。

　よって、請求項６に記載の発明においては、請求項５に記載の発明と同様の作用効果をより一層達成することができる。

　また、本発明は、請求項７の記載によれば、請求項５又は６に記載のアイソレーター装置であって、
　上記整流部材に所定量の空気を供給したときに、当該整流部材を通過して流れる空気において、
　上記上面開口部或いは上記底面開口部のうち上記多孔性シートが被覆して当該多孔性シートが一重となっている部分を通過する空気の流速をＶ１とし、
　上記多孔性シートが上記枠材に当接することなく当該多孔性シートが二重となっている部分を通過する空気の流速をＶ２としたときに、
　上記枠材の上面或いは底面の面積に対する上記多孔性シートが被覆する上記開口部の開口率Ｘ（％）が下記の式、
　　　　Ｘ＝（Ｖ２／Ｖ１）×１００
で示されるように、上記枠材に上記貫通口を開口してなることを特徴とする。

　上記構成によれば、枠材に設ける貫通口の開口率Ｘ（％）が上記の式で求められる。このことにより、整流部材を設計する際に、多孔性シートが一重の部分の空気の流速と多孔性シートが二重の部分の空気の流速とを測定することにより、整流部材の中央部分の空気の流量と周縁部分の空気の流量（みかけの流量）とをより正確に調整することができる。その結果、整流部材を通過する空気は、整流部材全体から作業室の内部を上方から下方に向かう一方向流の空気となって更に安定して流れることとなる。

　よって、請求項７に記載の発明においては、請求項５又は６に記載の発明と同様の作用効果をより一層達成することができる。

　また、本発明者らは、アイソレーター装置の稼働終了後における危険性に対処して、ダブルウォール型アイソレーター装置の排気口に装着する空気清浄用フィルタユニットの構造に工夫をすることにより、本発明の目的を達成できることを見出して本発明の完成に至った。

　即ち、本発明は、請求項８の記載によれば、請求項１～３のいずれか１つに記載のアイソレーター装置であって、
　上記排気手段（２６０）は、上記長手状の排気口（２６２）から排気される上記一方向流の空気の流路に脱着可能に装着された空気清浄用フィルタユニット（２１０）を備えており、
　上記空気清浄用フィルタユニットは、
　空気を導入する長手状の空気導入口部（２１４）を設けてなる第１壁部と、上記第１壁部に交差するように形成されて上記空気導入口部から導入された空気を排出する空気排出口部（２１３）を設けてなる第２壁部とを有する矩形状の筒体（２１１）と、
　上記空気排出口部の外壁面を構成するように当該空気排出口部に設けられて、上記導入された空気を濾過するフィルタ部材（２１２）とを備えており、
　この空気清浄用フィルタユニットが上記空気導入口部を上記排気口に対向するようにして上記作業室の外部に装着されていることを特徴とする。

　上記構成によれば、排気手段が備える空気清浄用フィルタユニットは、作業室から排気される空気の流路に脱着可能に備えられて、この流路を流れる空気から作業室で使用された人体に有害な化学物質等をフィルタユニットの内部に捕捉することができる。

　また、空気清浄用フィルタユニットは、作業室に開口する排気口を介して、直接、外部から作業室に装着されている。このことにより、作業室から排出される化学物質等を排出直後に効率よく捕捉することができる。

　また、この排気口は、作業室の底壁部に長手状に開口しており、一方、フィルタユニットの空気導入口もこの排気口の形状に合わせて長手状に構成されている。このことにより、フィルタユニットの交換作業などメンテナンスにおける安全性と作業性が向上する。

　ここで、空気清浄用フィルタユニットは、筒体とフィルタ部材とが一体となって構成されている。このフィルタ部材の排気面は、空気排出口部の外壁面を構成しているので、フィルタ部材の吸気面は筒体の内部に収納されている。このように、本発明に係る空気清浄用フィルタユニットは、簡単な構造をしており、人体に有害な化学物質等を取り扱う作業室から排気される空気の流路に当該フィルタユニットごと装着することができる。

　上記フィルタユニットにおいて、作業室から排気される化学物質等を含んだ空気は、空気導入口部から当該フィルタユニットの内部に誘導される。このフィルタユニットの内部に誘導された空気は、フィルタ部材の吸気面から吸気されて濾過され、当該フィルタ部材の排気面から上記フィルタユニットの外部に排気される。このことにより、上記フィルタ部材で濾過された化学物質等は、当該フィルタ部材の吸気面に付着して上記フィルタユニットの内部に捕捉される。

　次に、上記フィルタユニットを交換する際には、空気導入口部を閉じることで当該フィルタユニットの内部を簡単に密封することができる。このことにより、上記フィルタユニットの内部に捕捉された化学物質等が外部環境に漏洩することを防止することができる。従って、上記フィルタユニットをフィルタユニットごと交換することにより、フィルタ交換作業を簡単に行うことができ、また、当該交換作業によって外部環境を汚染する危険性が低く抑えられる。

　また、上述のように、空気清浄用フィルタユニットは、筒体とフィルタ部材とからなり簡単な構造をしている。従って、このフィルタユニットは、製造コストが低く、また、フィルタユニットごと廃棄する際にも廃棄コストが低くなる。よって、これらの製造コスト及び廃棄コストを含めたアイソレーター装置のメンテナンスコストが安く抑えられる。

　更に、空気導入口部が長手状に開口することにより、この空気導入口部が開口する第１壁部の形状を長手矩形状にして、その長辺を長くし、その短辺を短く抑えることができる。この第１壁部の長辺側の境界には第２壁部が交差しており、この第２壁部には、フィルタ部材が設けられている。

　従って、第１壁部の長辺の長さは、フィルタ部材の排気面の大きさを左右する。一方、第１壁部の短辺は、フィルタ部材の排気面に交差する方向にあり、この短辺の長さは、フィルタユニットの奥行きを左右する。よって、第１壁部の形状を長手矩形状にすることにより、フィルタユニットの排気面の面積を大きく、奥行きを狭くすることができる。

　このことにより、フィルタユニットの形状がコンパクトになり、一方、排気面の面積を大きくすることができる。従って、作業室から排気される空気の排気経路に装着する際に、場所の制約が少なくアイソレーター装置設計上の自由度が向上する。

　また、上述のように、フィルタ部材の排気面は、空気排出口部の外壁面を構成している。このフィルタ部材の排気面は平面を形成し、通常のＨＥＰＡフィルタなどのリーク試験と同様のスキャンテストをすることができる。このことにより、上記フィルタユニット自体のリーク試験において、この排気面に対するスキャンテストによる完全性検査が従来の方法で可能となる。

　よって、請求項８に記載の発明は、アイソレーター装置の稼働終了後における危険性に対処して、フィルタ交換作業が簡単で当該交換作業によって外部環境を汚染する危険性が低く、また、簡単な構造を有して製造コスト及び廃棄コストを含めたアイソレーター装置のメンテナンスコストが安く、更に、スキャンテストによる完全性検査が実施できることで安全性の確認が容易な空気清浄用フィルタユニットを備えたアイソレーター装置を提供することができる。

　また、本発明は、請求項９の記載によれば、請求項８に記載のアイソレーター装置であって、
　上記空気清浄用フィルタユニットは、
　他のフィルタ部材を備えており、
　上記筒体は、上記第２壁部に対向するように形成されて上記導入空気を排出する他の空気排出口部を設けてなる第３壁部を有して、
　上記他のフィルタ部材は、その排気面において、上記他の空気排出口部の外壁面を構成するように当該他の空気排出口部に設けられて上記濾過された空気を排出するようにしたことを特徴とする。

　上記構成によれば、空気清浄用フィルタユニットは、対向する２つの壁部に２つの空気排出口部を有しており、これらの空気排出口部には、それぞれ、フィルタ部材が設けられている。このことにより、フィルタユニットの通風正面積を広く取ることができ、フィルタ効率が向上する。換言すれば、フィルタユニットに必要なフィルタ容積が小さくなり、コンパクトなフィルタユニットを構成することができる。

　よって、請求項９に記載の発明においても、請求項８に記載の発明と同様の作用効果を達成し得るとともに、フィルタ効率がよくコンパクトな空気清浄用フィルタユニットを備えたアイソレーター装置を提供することができる。

　また、本発明は、請求項１０の記載によれば、請求項８又は９に記載のアイソレーター装置であって、
　上記空気清浄用フィルタユニットは、
　上記空気導入口部を閉じる脱着可能な蓋体（２１６）と、
　この蓋体の外周縁部と上記空気導入口部の内周縁部との間に気密的に介装してなるパッキン（２１６ａ）とを備えていることを特徴とする。

　上記構成によれば、フィルタユニットの筒体は、空気導入口部を閉じる蓋体とこの蓋体を空気導入口部に密封するパッキンとを備えている。従って、排気経路から使用済みのフィルタユニットを交換する際に、この蓋体を密封的に装着することにより、フィルタユニットの内部に捕捉された化学物質等が外部環境に漏洩することを更に押えることができる。

　よって、請求項１０に記載の発明においては、請求項８又は９に記載の発明と同様の作用効果をより一層達成することができる。

　また、本発明は、請求項１１の記載によれば、請求項８又は９に記載のアイソレーター装置であって、
　上記空気清浄用フィルタユニットは、
　上記空気導入口部の外周縁部から内側に延出されて当該空気導入口部を開閉可能に閉じる複数枚の可撓性シート（５１６ａ、５１６ｂ）を有する開閉部材（５１６）を備えていることを特徴とする。

　上記構成によれば、請求項１０に記載の脱着可能な蓋体に代えて、可撓性シートを有する開閉部材が固定的に備えられている。この開閉部材は、通常は空気導入口部を閉じる状態にあるが、この開閉部材は、複数枚の可撓性シートを有しており、これらの可撓性シートを押し曲げて空気導入口部を開放することができる。

　従って、フィルタユニットを排気流路に装着して空気を清浄化する際には、この可撓性シートを押し曲げて空気導入口部が開放される。一方、排気経路から使用済みのフィルタユニットを交換する際には、この可撓性シートが復元して空気導入口部を閉じるようになる。このことにより、フィルタユニットの内部に捕捉された化学物質等が外部環境に漏洩することを更に押えることができる。

　よって、請求項１１に記載の発明においては、請求項８又は９に記載の発明と同様の作用効果をより一層達成することができる。

　なお、上記各手段の括弧内の符号は、後述する実施形態に記載の具体的手段との対応関係を示すものである。

本発明の第１実施形態に係るアイソレーター装置の内部を側面から見た概要図である。 図１に示すアイソレーター装置の内部を上面から見た概要図である。 従来のダブルウォール型アイソレーター装置の内部を側面から見た概要図である。 図１に示すアイソレーター装置の排気口に空気が吸引される様子を示す概要図である。 排気口に空気が吸引される様子を側面から見た概要図であって、（Ａ）は排気口が隔壁の真下よりチャンバーの中央寄りに開口する場合を示し、（Ｂ）は排気口が隔壁の真下に開口する場合を示す。 排気口に空気が吸引される様子を側面から見た概要図であって、（Ｃ）は排気口がチャンバー前壁の下端部に開口する場合を示し、（Ｄ）は排気口がチャンバー前壁の下端部からチャンバー内部に突出して設けられた排気ダクトの側壁に開口する場合を示す。 図１に示すアイソレーター装置の整流板の構造を示す分解斜視図である。 図１の円形部分Ｅで示す整流板の取付け部を拡大した部分断面図である。 本発明の第２実施形態に係るアイソレーター装置を前面から見た図であって、図１０に示すＹ－Ｙ線に沿った断面図である。 図９に示すアイソレーター装置を左側面から見た図であって、図９に示すＸ－Ｘ線に沿った断面図である。 図９に示すアイソレーター装置を平面から見た図であって、図１０に示すＺ－Ｚ線に沿った断面図である。 図９に示すアイソレーター装置に組み込まれる空気清浄用フィルタユニットの実施形態２Ａを示す斜視図である。 図１２に示す空気清浄用フィルタユニットをハウジングに装着した状態を示す側面から見た断面図である。 図１３に示す空気清浄用フィルタユニットに蓋体が装着された状態を示す部分断面図である。 図９に示すアイソレーター装置に組み込まれる空気清浄用フィルタユニットの他の実施形態２Ｂを示す斜視図である。 図９に示すアイソレーター装置に組み込まれる空気清浄用フィルタユニットの他の実施形態２Ｃにおいて液体シールの部分を示す側面から見た部分断面図である。 図９に示すアイソレーター装置に組み込まれる空気清浄用フィルタユニットの他の実施形態２Ｄを示す斜視図である。 図１７に示す空気清浄用フィルタユニットをハウジングに装着する前の状態を示す側面から見た断面図である。 図１７に示す空気清浄用フィルタユニットをハウジングに装着した状態を示す側面から見た断面図である。 図９に示すアイソレーター装置に組み込まれる空気清浄用フィルタユニットの他の実施形態２Ｅを示す斜視図である。 図２０に示す空気清浄用フィルタユニットをハウジングに装着した状態を示す側面から見た断面図である。 図２１に示す空気清浄用フィルタユニットに蓋体が装着された状態を示す部分断面図である。

　以下、本発明に係るアイソレーター装置の各実施形態を図面に従って説明する。
《第１実施形態》
図１は、本発明に係るアイソレーター装置の内部を側面から見た概要図であって、アイソレーター装置Ａは、床面上に載置される架台Ｂと、この架台Ｂの上に乗載されるアイソレーター本体Ｃとにより構成されている。

　架台Ｂは、周囲をステンレス製金属板からなる壁材で覆われ、その内部には、４つ（２つのみ図示）の排気用一次フィルタユニット３１（後述する）と、電装及び機械室（図示せず）が収納されている。

　アイソレーター本体Ｃは、チャンバー１０と、給気機構２０と、排気機構３０とを備えている。

　チャンバー１０は、ステンレス製金属板で構成された箱体からなり、制限された吸気口及び排気口を除き作業者Ｄが作業を行う外部環境とは気密的に遮蔽されている。このチャンバー１０は、内部を洗浄する洗浄液用スプレーノズル及び排水溝（いずれも図示せず）を備えている。

　図２は、アイソレーター装置Ａの内部を上面から見た概要図であって、チャンバー１０の内部には、チャンバー１０の前壁部１０ａ及び背壁部１０ｂのそれぞれ内側に両壁部１０ａ、１０ｂに並行にそれぞれ前隔壁１１ａ及び背隔壁１１ｂが配設されている。両隔壁１１ａ、１１ｂは、左右両端部をそれぞれ対向するチャンバー１０の左右両側壁部１０ｃ、１０ｄに当接するようにして当該両側壁部１０ｃ、１０ｄにより支持されている。

　また、両隔壁１１ａ、１１ｂは、下方端部をそれぞれ対向するチャンバー１０の底壁部１０ｅと当接することなく一定の空間を設けている。更に、両隔壁１１ａ、１１ｂは、上方端部をそれぞれ対向するチャンバー１０の上壁部１０ｆの下方に設けられた整流板２３（後述する）と当接することなく一定の空間を設けている（図１参照）。

　このように、チャンバー１０の内部に設けられた両隔壁１１ａ、１１ｂによって、チャンバー１０の内部空間１２は、両隔壁１１ａ、１１ｂの間の空間（以下、中央空間１２ａという）と、両隔壁１１ａ、１１ｂと前後両壁部１０ａ、１０ｂとの間の２つの空間（以下、周辺空間１２ｂ、１２ｃという）とに区分けされている。

　チャンバー１０の前壁部１０ａには、透明なガラス窓１３が設けられ、また、前壁部１０ａに並行に設けられた前隔壁１１ａにも、透明なガラス窓１４が設けられている。このことにより、チャンバー１０の前面に立った作業者Ｄは、ガラス窓１３及びガラス窓１４を介してチャンバー１０の内部を視認することができる（図１参照）。

　前壁部１０ａに設けられたガラス窓１３は、外部とチャンバー１０の内部空間１２とを連通させる２つの作業用開口部１３ａを有している。また、前隔壁１１ａに設けられたガラス窓１４は、作業用開口部１３ａと対向する位置に中央空間１２ａと周辺空間１２ｂとを連通させる２つの補助開口部１４ａを有している。各作業用開口部１３ａには、それぞれ樹脂製のグローブ１５の基端部が取付枠１３ｂにより気密的に取り付けられ、更に、これらのグローブ１５は、補助枠１４ｂにより各補助開口部１４ａにも取付けられて先端部を中央空間１２ａに挿入されている（図２参照）。

　チャンバー１０の左側壁部１０ｃの外側には、架台Ｂに収納された４つの排気用一次フィルタユニット３１と連通するダクト１６がチャンバー１０の左側面に沿って上方に向けて設けられている（図２参照）。

　また、チャンバー１０の底壁部１０ｅには、各隔壁１１ａ、１１ｂの下端部の下方にそれぞれ２つずつの排気口１８ａ～１８ｄが開口している（図２参照）。これらの排気口１８ａ～１８ｄは、各隔壁１１ａ、１１ｂの下端部の幅方向に沿って長手状に設けられ、各隔壁１１ａ、１１ｂの下端部の直下より中央寄りの位置、すなわち、中央空間１２ａ寄りに形成されている。

　給気機構２０は、外気をチャンバー１０内に供給するための給気用ブロワー２１と、この給気用ブロワー２１から供給された空気を濾過するための給気用フィルタユニット２２と、チャンバー１０の内部にあって給気用フィルタユニット２２で濾過された空気を整流してチャンバー１０内に給気するための整流板２３とを備えている（図１参照）。

　給気用ブロワー２１は、給気用フィルタユニット２２の上壁部に開口する一次吸気口２２ａ（図示せず）を介して給気用フィルタユニット２２の外部側に接続している。この給気用ブロワー２１から排出された空気は、給気用フィルタユニット２２の内部空間に供給される。

　給気用フィルタユニット２２は、チャンバー１０の上壁部１０ｆに開口する二次吸気口１７を介してチャンバー１０の上部に設けられている。この給気用フィルタユニット２２は、給気用ブロワー２１から供給された空気を濾過するためのＨＥＰＡフィルタ２２ｂを二次吸気口１７に面して備えている。このＨＥＰＡフィルタ２２ｂで清浄化された空気は、ＨＥＰＡフィルタ２２ｂの下部にあってチャンバー１０の内部空間１２の上部に全面に亘って設けられた整流板２３を介してチャンバー１０の内部空間１２に給気される（図１参照）。

　整流板２３は、その表面に表裏を連通する無数の細孔を具備しており、チャンバー１０に供給される空気の流れを均一化する。このことにより、ＨＥＰＡフィルタ２２ｂから給気される空気は、整流板２３を介してチャンバー１０の内部空間１２を上方から下方に向かう一方向流（いわゆる層流）の空気を形成する。

　排気機構３０は、チャンバー１０の内部空間１２の空気を清浄化するための排気用一次フィルタユニット３１と排気用二次フィルタユニット３２と清浄化された空気をチャンバー１０の外部に排気するための排気用ブロワー３３とを備えている。

　排気用一次フィルタユニット３１は、上述のように、架台Ｂに４つ収納されて、チャンバー１０の底壁部１０eに開口する４つの排気口１８ａ～１８ｄ（図２参照）を介してそれぞれチャンバー１０と連通している。この排気用一次フィルタユニット３１は、排気口１８ａ～１８ｄから排気された空気を濾過するためのＨＥＰＡフィルタ３１ａを備えている。また、この排気用一次フィルタユニット３１には、架台Ｂの前面及び背面に内部のＨＥＰＡフィルタ３１ａを交換するための開閉扉３１ｂが密封的かつ開閉可能に設けられている（図１参照）。

　排気用二次フィルタユニット３２は、チャンバー１０の上部にあって給気用フィルタユニット２２の前部に設けられて、ダクト１６を介して排気用一次フィルタユニット３１と連通している。この排気用二次フィルタユニット３２は、排気用一次フィルタユニット３１で濾過された空気を更に濾過するためのＨＥＰＡフィルタ３２ａを備えている。また、この排気用二次フィルタユニット３２は、内部のＨＥＰＡフィルタ３２ａを交換するための開閉扉３２ｂを密封的かつ開閉可能に設けている（図１参照）。

　排気用ブロワー３３は、排気用二次フィルタユニット３２の上部開口部に連通して排気用二次フィルタユニット３２の上壁部に設けられている。この排気用ブロワー３３は、排気用一次フィルタユニット３１及び排気用二次フィルタユニット３２で濾過された清浄な空気をチャンバー１０の外部に排気する。

　ここで、上述のように構成した本第１実施形態に係るアイソレーター装置Ａにおいて、稼働中における空気の流れを説明する。

　まず、給気用ブロワー２１及び排気用ブロワー３１が作動すると、上述のように、給気用ブロワー２１から排出された空気は、給気用フィルタユニット２２の内部空間で圧力が均一化されＨＥＰＡフィルタ２２ｂに供給される。このＨＥＰＡフィルタ２２ｂで清浄化された空気は、整流板２３を介してチャンバー１０の内部空間１２を上方から下方に向かう一方向流の空気を形成する。この整流板２３の構造及び作用については後述する。

　図１にチャンバー１０内の空気の流れを矢印にて記述する。図１において、整流板２３を介して下方に供給される清浄化された空気のうち大部分の空気は、チャンバー１０の内部空間１２のうち中央空間１２ａを通り、上方から下方に向かう一方向流の空気を形成する。このことにより、作業者Ｄがグローブ１５を介して作業を行う中央空間１２ａの空気は、上方から下方に向かう一方向流に沿ってチャンバー１０の底壁部１０ｅに開口する排気口１８ａ～１８ｄから排出される。

　従って、アイソレーター装置Ａが無菌アイソレーターとして使用される場合には、中央空間４５ａの無菌・無塵の空気が排気口１８ａ～１８ｄから排出される。一方、アイソレーター装置Ａが封じ込めアイソレーターとして使用される場合には、中央空間１２ａ内での作業で使用される化学薬品等を含有した空気が排気口１８ａ～１８ｄから排出される。

　また、整流板２３を介して下方に供給される清浄化された空気のうち他の空気は、チャンバー１０の内部空間１２のうち周辺空間１２ｂ、１２ｃを通り、上方から下方に向かう一方向流の空気を形成する。この周辺空間１２ｂ、１２ｃは、隔壁１１ａ、１１ｂにより中央空間１２ａと区分けされており、作業者Ｄによる作業が行われることがない。

　従って、アイソレーター装置Ａが無菌アイソレーターとして使用される場合だけでなく、封じ込めアイソレーターとして使用される場合にも、この周辺空間１２ｂ、１２ｃには常に清浄な空気が流れている。この周辺空間１２ｂ、１２ｃを流れる清浄な空気は、上方から下方に向かう一方向流に沿ってチャンバー１０の底壁部１０ｅに開口する排気口１８ａ～１８ｄから排出される。このような状態において、チャンバー１０内の中央空間１２ａ及び周辺空間１２ｂ、１２ｃは、外部に対して常に陽圧を維持している。

　このように構成された本第１実施形態に係るアイソレーター装置において、隔壁及び排気口の作用効果について説明する。
（隔壁の作用効果）
　まず、アイソレーター装置Ａを無菌アイソレーターとして使用する場合を考える。チャンバー１０の前壁部１０ａに設けられた接合部、例えば、作業用開口部１３ａに設けられた取付枠１３ｂから漏れが生じて外部からチャンバー１０内に浮遊菌等が侵入した場合、この浮遊菌等は、周辺空間１２ｂを上方から下方に向かう清浄な空気に沿ってチャンバー１０の底壁部１０ｅに開口する排気口１８ａ、１８ｂから排出される。このとき、周辺空間１２ｂは、隔壁１１ａによって中央空間１２ａと区分けされており、取付枠１３ｂの漏れから侵入した浮遊菌等は、無菌・無塵状態で作業が行われる中央空間１２ａに侵入することはない。

　また、同様にアイソレーター装置Ａを無菌アイソレーターとして使用する場合において、隔壁１１ａに設けられた接合部、例えば、補助開口部１４ａに設けられた補助枠１４ｂから漏れが生じた場合、周辺空間１２ｂを上方から下方に向かう一方向流の空気は、常に清浄な空気であり、補助枠１４ｂの漏れから中央空間１２ａに空気が漏洩したとしても無菌・無塵状態が汚染されることはない。

　一方、アイソレーター装置Ａを封じ込めアイソレーターとして使用する場合を考える。隔壁１１ａに設けられた接合部、例えば、補助開口部１４ａに設けられた補助枠１４ｂから漏れが生じて中央空間１２ａで使用される化学薬品等が周辺空間１２ｂに漏洩した場合、この化学薬品等は、周辺空間１２ｂを上方から下方に向かう清浄な空気に沿ってチャンバー１０の底壁部１０ｅに開口する排気口１８ａ、１８ｂから排出される。このとき、周辺空間１２ｂは、チャンバー１０の前壁部１０ａによって外部環境から気密的に遮蔽されており、補助枠１４ｂから漏洩した化学薬品等は、外部環境を汚染することはない。

　また、同様にアイソレーター装置Ａを封じ込めアイソレーターとして使用する場合において、チャンバー１０の前壁部１０ａに設けられた接合部、例えば、作業用開口部１３ａに設けられた取付枠１３ｂから漏れが生じた場合、周辺空間１２ｂを上方から下方に向かう一方向流の空気は、常に清浄な空気であり、取付枠１３ｂの漏れから外部環境に空気が漏洩したとしても外部環境が汚染されることはない。

　このように、本第１実施形態に係るアイソレーター装置Ａは、無菌アイソレーターとしても封じ込めアイソレーターとしても、いずれの場合にも高度な安全性を確保することができる。

　ここで、本第１実施形態に係るアイソレーター装置Ａの作用効果を明確にするために、従来のダブルウォール型アイソレーター装置の空気の流れについて説明する。図３は、従来型アイソレーター装置Ｆの内部を側面から見た概要図である。図３にチャンバー１１０内の空気の流れを矢印にて記述する。図３を図１と比較すると、両隔壁１１１ａ、１１１ｂの上端部をチャンバー１１０の上壁部１１０ｆに当接している。また、チャンバー１１０の底壁部１１０ｅには、排気口が設けられていない。

　このことにより、整流板１２３を介してチャンバー１１０内に供給される空気は、中央空間１１２ａのみを上方から下方に向かう一方向流の空気を形成する。この中央空間１１２ａのみを上方から下方に向かう一方向流の空気は、隔壁１１１ａ、１１１ｂの下端部で流れる方向を反転し、周辺空間１１２ｂ、１１２ｃを下方から上方に流れ、排気用フィルタユニット１３１、１３２を介して排気用ブロワー１３３によって外部に排気される。

　この従来型アイソレーター装置Ｆを無菌アイソレーターとして使用する場合を考える。チャンバー１１０の前壁部１１０ａに設けられた接合部、例えば、作業用開口部１１３ａに設けられた取付枠１１３ｂから漏れが生じて外部からチャンバー１１０内に浮遊菌等が侵入した場合、この浮遊菌等は、中央空間１１２ａから供給されて周辺空間１１２ｂを下方から上方に向かう清浄な空気に沿ってチャンバー１１０の上部前方に設けられた排気用フィルタユニット１３１、１３２へ排出される。このとき、周辺空間１１２ｂは、隔壁１１１ａによって中央空間１１２ａと区分けされており、取付枠１１３ｂの漏れから侵入した浮遊菌等は、無菌・無塵状態で作業が行われる中央空間１１２ａに侵入することはない。このことが従来のダブルウォール型アイソレーター装置の作用効果である。

　また、同様に従来型アイソレーター装置Ｆを無菌アイソレーターとして使用する場合において、隔壁１１１ａに設けられた接合部、例えば、補助開口部１１４ａに設けられた補助枠１１４ｂから漏れが生じた場合、周辺空間１１２ｂを下方から上方に向かう一方向流の空気は、中央空間１１２ａから供給された清浄な空気であり、補助枠１１４ｂの漏れから中央空間１１２ａに空気が漏洩したとしても無菌・無塵状態が汚染されることはない。このことも従来のダブルウォール型アイソレーター装置の作用効果である。

　一方、従来型アイソレーター装置Ｆを封じ込めアイソレーターとして使用する場合を考える。チャンバー１１０の前壁部１１０ａに設けられた接合部、例えば、作業用開口部１１３ａに設けられた取付枠１１３ｂから漏れが生じた場合、周辺空間１１２ｂを下方から上方に向かう空気は、化学物質等を取り扱う中央空間１１２ａから供給されている。すなわち、周辺空間１１２ｂを下方から上方に向かう空気は、常に化学物質等を含んでいる。このことにより、取付枠１１３ｂから漏れが生じた場合には、人体に有害な化学物質等が外部環境を汚染することとなる。従って、ダブルウォールの効果はなく、通常のシングルウォール型アイソレーター装置と変わることがないので、高度な安全性を確保することができない。

　このように、従来型アイソレーター装置Ｆは、無菌アイソレーターとして高度な安全性を確保できても、封じ込めアイソレーターとして高度な安全性を確保することができない。
（排気口の作用効果）
　次に、チャンバー１０の底壁部１０ｅに開口する排気口１８ａ～１８ｄの作用効果について説明する。本第１実施形態においては、上述のように、排気口１８ａ～１８ｄは、チャンバー１０の底壁部１０eにあって、各隔壁１１ａ、１１ｂの下端部の直下より中央空間１２ａ寄りに当該下端部の長さ方向に沿って設けられている。

　ここで、チャンバー１０内から排気口１８ａ～１８ｄに吸入される空気の流れを図４において説明する。隔壁１１ａの図示背面側（中央空間１２ａ）を上方から下方に流れる空気ａ１、ａ２は、隔壁１１ａの図示背面側から排気口１８ａに吸引され、隔壁１１ａの図示手前側（周辺空間１２ｂ）を上方から下方に流れる空気ｂ１、ｂ２は、隔壁１１ａの図示手前側から排気口１８ａに吸引される。

　同様に、隔壁１１ａの図示背面側（中央空間１２ａ）を上方から下方に流れる空気ａ３、ａ４は、隔壁１１ａの図示背面側から排気口１８ｂに吸引され、隔壁１１ａの図示手前側（周辺空間１２ｂ）を上方から下方に流れる空気ｂ３、ｂ４は、隔壁１１ａの図示手前側から排気口１８ｂに吸引される。

　このように、各排気口１８ａ～１８ｄが各隔壁１１ａ、１１ｂの下端部の下方、すなわち、上方から下方に流れる一方向流の空気の下流側にあって、当該下端部の幅方向に沿って長手状に設けられていることにより、中央空間１２ａ及び周辺空間１２ｂ、１２ｃを上方から下方に向かう一方向流の空気は、流れる方向が変化することがないので、その層流状態を乱すことなく各排気口１８ａ～１８ｄに吸引される。

　次に、チャンバー１０の底壁部１０eにおける排気口１８ａ～１８ｄの位置について説明する。図５は、排気口１８ａにチャンバー１０内の空気が吸引される様子を側面から見た概要図である。図５（Ａ）では、排気口１８ａが隔壁１１ａの下端部の直下より中央空間１２ａ寄りに開口している。この状態において、周辺空間１２ｂを上方から下方に流れてきた空気ｃ１は、その層流状態を乱すことなく排気口１８ａに吸引される。同様に、中央空間１２ａを上方から下方に流れてきた空気ｃ２、ｃ３は、その層流状態を乱すことなく排気口１８ａに吸引される。

　ここで、中央空間１２ａは、上述のように作業が行われる空間であり、当然、周辺空間１２ｂより大きな容積を占め、中央空間１２ａを流れる空気の流量は、周辺空間１２ｂを流れる空気の流量より多くなる。よって、排気口１８ａが隔壁１１ａの下端部の直下より中央空間１２ａ寄りに開口している場合には、排気口１８ａ付近の空気の流れがその層流状態を乱すことなく非常に安定する。

　また、図５（Ｂ）では、排気口１８ａが隔壁１１ａの下端部の直下に開口している。この状態において、周辺空間１２ｂを上方から下方に流れてきた空気ｄ１は、その層流状態を乱すことなく排気口１８ａに吸引される。同様に、中央空間１２ａを上方から下方に流れてきた空気ｄ２、ｄ３は、その層流状態を乱すことなく排気口１８ａに吸引される。このように、排気口１８ａが隔壁１１ａの下端部の直下に開口している場合にも、排気口１８ａ付近の空気の流れがその層流状態を乱すことなく安定する。

　これらに対して、図６（Ｃ）では、排気口１９ａがチャンバー１０の前壁部１０ａの下端部に開口している。この状態において、周辺空間１２ｂを上方から下方に流れてきた空気ｅ１及び中央空間１２ａを上方から下方に流れてきた空気ｅ２、ｅ３は、排気口１９ａに吸引されるが、中央空間１２ａを流れる多くの空気が隔壁１１ａの下端部を通過するので、この下端部付近にわずかな乱流ｅ４が発生することが考えられる。しかし、排気口１９ａが前壁部１０ａの下端部の低い位置に開口していることから、この乱流ｅ４は、周辺空間１２ｂを上方から下方に流れてきた空気ｅ１に引き込まれて排気口１９ａから排気され、特に問題となることはない。

　また、図６（Ｄ）では、排気口１９ｂがチャンバー１０の前壁部１０ａの下端部からチャンバー内部に突出して設けられた排気ダクト１９の側壁に開口している。この状態において、周辺空間１２ｂを上方から下方に流れてきた空気ｆ１及び中央空間１２ａを上方から下方に流れてきた空気ｆ２、ｆ３は、排気口１９ｂに吸引されるが、周辺空間１２ｂを流れる空気ｆ１は、隔壁１１ａの下端部と排気ダクト１９の外壁とによってその流路を絞られて流速が増し、排気口１９ｂ付近の空気の流れが乱されることなくすことなく排気口１９ｂに吸引されるものと考えられる。

　また、本第１実施形態の構成によれば、アイソレーター装置Ａの前壁部１０ａ及び背壁部１０ｂにそれぞれ隔壁１１ａ、１１ｂが設けられ、各隔壁１１ａ、１１ｂの下端部の下方にそれぞれ排気口１８ａ～１８ｄが開口している。このことにより、中央空間１２ａを上方から下方に向かう一方向流の空気は、対向する２方向の排気口（１８ａと１８ｂ及び１８ｃと１８ｄ）にそれぞれ分かれて排気される。よって、中央空間１２ａの空気は、その層流状態を乱すことなくより安定して流れることができる。

　また、本第１実施形態の構成によれば、各隔壁１１ａ、１１ｂの下端部の下方に設けられる各排気口は、それぞれ２つずつの開口部（１８ａと１８ｂ及び１８ｃと１８ｄ）から構成されている。但し、各排気口は、１つの隔壁に対して２つの開口部に限定されるものではなく、１つの開口部から構成されてもよく、或いは、３つ以上の開口部に分かれて構成されてもよい。このとき、これらの開口部の長手方向の開口長さの総計が、所定の長さ以上あることが好ましい。

　本第１実施形態においては、図２に示すように、隔壁１１ａの下端部の下方に設けられる２つの排気口において、排気口１８ａの開口長さ（Ｙ１）と排気口１８ｂの開口長さ（Ｙ２）との総和（Ｙ１＋Ｙ２）は、隔壁１１ａの下端部の幅方向の長さ（Ｚ）に対して、６０％となっている。

　一方、隔壁１１ｂの下端部の下方に設けられる２つの排気口において、排気口１８ｃの開口長さ（Ｙ３）と排気口１８ｄの開口長さ（Ｙ４）との和（Ｙ３＋Ｙ４）は、隔壁１１ｂの下端部の幅方向の長さ（Ｚ）に対して、６０％となっている。

　ここで、各隔壁に対して、その下端部に設けられる各排気口の開口長さの総和は、隔壁の下端部の幅方向の長さに対して、５０％～１００％の割合にあることが好ましく、また、６０％～１００％の割合にあることがより好ましい。このことにより、隔壁に沿って流れてきた空気は、その方向を大きく変えることなく排気口から排気され、チャンバー１０内の空気は、その層流状態を乱すことなくより安定して流れることができる。

　以上のことにより、本第１実施形態においては、アイソレーター装置の稼働中における危険性に対処して、簡単な構造を有して高い安全性を確保することのできるアイソレーター装置であって、無菌アイソレーターとして高度な無菌・無塵状態を維持できると共に、封じ込めアイソレーターとして化学物質や微生物等の外部環境への漏洩を高度に防止することのできるアイソレーター装置を提供することができる。
（整流板の構造及び作用効果）
　次に、本第１実施形態に係るアイソレーター装置Ａにおいて中央空間１２ａ及び周辺空間１２ｂ、１２ｃを上方から下方に向かう一方向流の空気を更に安定したものとして供給する整流板２３の構造及び作用について図７及び図８に従って説明する。

　上述のように、整流板２３は、ＨＥＰＡフィルタ２２ｂの下部にあってチャンバー１０の内部空間１２の上部に全面に亘って設けられている（図１参照）。この整流板２３は、ステンレス製金属からなる矩形状の枠体２４と、この枠体２４の上面及び底面を覆うように枠体２４に貼付されたスクリーン紗２５ａ、２５ｂとから構成されている（図８参照）。

　枠体２４は、４本の矩形パイプ２４ａをチャンバー１０の内部の横断面形状（図２参照）の周縁部を覆うように矩形状に組み立てられている。この枠体を構成する矩形パイプ２４ａは、その上面から底面に貫通する複数の貫通口２４ｂを具備している。また、枠体２４の底面を受承してチャンバー１０の側壁部１０ａ～１０ｄに架設するための受承部材２６は、断面Ｌ字状のステンレス製金属板からなり、その底片２６ａにおいて貫通口２４ｂに対向する位置に同様の貫通口２６ｂを具備している。（図７参照）。これらの貫通口２４ｂ及び貫通口２６ｂの作用については後述する。

　スクリーン紗２５ａ、２５ｂは、一般に合成繊維長繊維からなる織物であって、この織物の経糸と緯糸の間隙によって表裏を連通する無数の細孔が形成されている。このことにより、整流板２３を通過する空気は、これらの無数の細孔によってその流れを整えられ、チャンバー１０の内部空間１２を上方から下方に向かう安定した一方向流の空気を形成する。

　このスクリーン紗２５ａ、２５ｂを形成する合成繊維長繊維は、線径が３０～２００μｍであることが好ましく、目開きが３０～２００μｍであることが好ましい。また、スクリーン紗２５ａ、２５ｂの素材は、どのようなものであってもよいが、本第１実施形態においては、ポリエチレン紗を使用した。

　このように構成された整流板２３は、枠体２４をその底面から受承する受承部材２６と共にチャンバー１０の上部に架設される。まず、受承部材２６は、チャンバー１０の周壁部１０ａ～１０ｄの上部に部分的に設けられた小型梁１０ｇ（図２参照）に上載されて、その鉛直片２６ｃをチャンバー１０の周壁部１０ａ～１０ｄに留具２６ｄで気密的に固定されている。この受承部材２６のＬ字部に上方から整流板２３が気密的に乗載される。このとき、整流板２３と受承部材２６とは、互いの貫通口２４ｂ、２６ｂを連通させるようにして固定される。このような構造により、整流板２３の洗浄及び交換が容易となる。

　このように、チャンバー１０の内部空間１２の上方に整流板２３が架設され、この整流板２３を通過して清浄な空気が内部空間１２に供給される場合を考える。図８に示すように、矩形パイプ２４ａが存在しない部分（以下、整流板２３の中央部分という）と、矩形パイプ２４ａが存在する部分（以下、整流板２３の周縁部分という）では、空気の通過状態が異なっている。

　整流板２３の周縁部分において、矩形パイプ２４ａに貫通口２４ｂが開口していなければ、この部分では空気が通過しない。また、この整流板２３の周縁部分の下方には、隔壁１１ａにより区分けされた周辺空間１２ｂが存在する。このことにより、チャンバー１０内の中央空間１２ａと周辺空間１２ｂとの間で空気の流量が異なることとなる。この場合、中央空間１２ａと周辺空間１２ｂとを流れる空気の状態に差異が生じる可能性があり、チャンバー１０の下方で空気の層流状態が乱れれば、アイソレーター装置Ａの高い安全性を確保することが難しくなる。

　そこで、本第１実施形態においては、上述のように、枠体２４の矩形パイプ２４ａ及び受承部材２６に上面から底面に貫通する貫通口２４ｂ、２６ｂを設けるようにした（図８参照）。このことにより、矩形パイプ２４ａと受承部材２６とを貫通した貫通口２４ｂ、２６ｂの部分にも空気が通過するので、整流板２３の周縁部分の下方にも空気を供給することができる。

　しかし、枠体２４の強度を維持するために、矩形パイプ２４ａに開口できる貫通口２４ｂの開口率には限界がある。そこで、貫通口２４ｂ、２６ｂの部分からの空気の流量を多くして、整流板２３の周縁部分全体からの空気の流量（みかけの流量）を整流板２３の中央部分からの空気の流量に近づけるようにした。そのために、整流板２３の中央部分と周縁部分（貫通口の部分）とのスクリーン紗の被覆枚数に差を与えている。すなわち、整流板２３の中央部分には、上面及び底面に２枚のスクリーン紗２５ａ、２５ｂを被覆し、一方、周縁部分（貫通口の部分）には、底面開口部にのみ１枚のスクリーン紗２５ａを被覆している（図８参照）。

　このことにより、整流板２３の貫通口の部分の空気の通過抵抗は、整流板２３の中央部分の空気の通過抵抗より小さくなり、貫通口２４ｂの部分の空気の流速が中央部分の空気の流速より大きくなる。その結果、貫通口２４ｂの部分の空気の流量が中央部分の空気の流量より多くなる。従って、整流板２３の中央部分の空気の流量と周縁部分の空気の流量（みかけの流量）の差が小さくなる。このことにより、整流板２３を通過する空気は、整流板２３全体からチャンバー１０の内部空間１２を上方から下方に向かう一方向流の空気となって安定して流れ、チャンバー内の層流状態が更に安定し高い安全性が維持できる。

　更に、矩形パイプ２４ａの底面の面積に対する貫通口２４ｂの開口率を調整することにより、更に高い安全性を確保することができる。この方法では、スクリーン紗２５ａのみを被覆した貫通口２４ｂの底面部（スクリーン紗が一重の部分）を通過する空気の流速をＶ１とし、スクリーン紗２５ａ及びスクリーン紗２５ｂが被覆された部分（スクリーン紗が二重の部分）を通過する空気の流速をＶ２としたときに、貫通口２４ｂの開口率Ｘ（％）が下記の式、
　　　　Ｘ＝（Ｖ２／Ｖ１）×１００
で求められる。

　このことにより、整流板２３を設計する際に、スクリーン紗が一重の部分の空気の流速とスクリーン紗が二重の部分の空気の流速とを測定することにより、整流板２３の中央部分の空気の流量と周縁部分の空気の流量（みかけの流量）とをより正確に調整することができる。その結果、整流板２３を通過する空気は、整流板２３全体からチャンバー１０の内部空間１２を上方から下方に向かう一方向流の空気となって更に安定して流れることとなる。
《第２実施形態》
　本発明に係るアイソレーター装置の第２実施形態を図面に従って説明する。図９～図１１に示すように、アイソレーター装置Ａは、床面上に載置される架台Ｂと、この架台Ｂの上に乗載されるアイソレーター本体Ｃとにより構成されている。

　架台Ｂは、周囲をステンレス製金属板からなる壁材で覆われ、その内部には、空気清浄用フィルタユニット２１０（以下、フィルタユニット２１０という）を装着するための４つのハウジング２２０と、電装及び機械室２３０が収納されている。この架台Ｂの前面及び背面には、各ハウジング２２０からフィルタユニット２１０を交換するための開閉扉２２１が密封的かつ開閉可能に設けられている。

　４つのハウジング２２０のうち、図９において、架台Ｂの前面側に収納された２つのハウジング２２０は互いに連通し、架台Ｂの背面側に収納された２つのハウジング２２０は互いに連通している。

　アイソレーター本体Ｃは、チャンバー２４０と、給気機構２５０と、排気用機構２６０とを備えている。

　チャンバー２４０は、ステンレス製金属板で構成された箱体からなり、作業者が作業を行う外部環境とは気密的に遮蔽されており、このチャンバー２４０は、内部を洗浄する洗浄液用スプレーノズル及び排水溝（いずれも図示せず）を備えている。

　チャンバー２４０の前面及び背面の両壁部２４１ａには、それぞれ内部を視認できる透明なガラス窓２４２が設けられている。また、チャンバー２４０の内部には、各ガラス窓２４２の内側にそれぞれガラス窓２４２に並行にガラス隔壁２４３が配設されている。各ガラス隔壁２４３は、上下左右の各端部２４３ａ～２４３ｃをそれぞれ対向する壁面２４１ｂ～２４１ｅと当接することなく一定の距離を保った状態で４つの支持具２４４により前面及び背面の両壁部２４１ａから支持されている。このことにより、チャンバー２４０の内部空間２４５は、中央空間２４５ａと前面及び背面の２つの周辺空間２４５ｂとに区分けされている。

　各ガラス窓２４２は、外部とチャンバー２４０の内部空間２４５とを連通させるそれぞれ２つずつの作業用開口部２４６を有する。また、各ガラス隔壁２４３は、作業用開口部２４６と対向する位置に中央空間２４５ａと周辺空間２４５ｂとを連通させるそれぞれ２つずつの補助開口部２４７を有する。各作業用開口部２４６には、それぞれ樹脂製のグローブ２４８の基端部が取付枠２４６ａにより気密的に取り付けられ、更に、これらのグローブ２４８は、補助枠２４７ａにより各補助開口部２４７にも取付けられて、その先端部を中央空間２４５ａに配設されている。

　チャンバー２４０の右側面の壁部２４１ｂには、チャンバー２４０内への機器の搬入及び内部をメンテナンスするための開閉扉２４１が密封的かつ開閉可能に設けられている（図１１参照）。また、チャンバー２４０の左側面の壁部２４１ｃの外側には、架台Ｂに収納された４つのハウジング２２０と連通するダクト２４９がチャンバー２４０の左側面に沿って上方に向けて設けられている（図９参照）。

　給気機構２５０は、外気をチャンバー２４０内に供給するための給気用ブロワー２５１と、この給気用ブロワー２５１から供給された空気を濾過するための給気用フィルタ２５２と、濾過された空気を整流してチャンバー２４０内に給気するための整流板２５３とを備えている。

　給気用ブロワー２５１は、チャンバー２４０の上壁部２４１ｄに開口する吸気口２５４（図示せず）を介してチャンバー２４０の外部側に接続している。この給気用ブロワー２５１は、外部の空気を吸入し、この給気用ブロワー２５１から排出された空気は、給気用フィルタ２５２に供給される。

　給気用フィルタ２５２は、チャンバー２４０の内部空間２４５の上部に設けられて、給気用ブロワー２５１から供給された空気を濾過するためのＨＥＰＡフィルタから構成されている。この給気用フィルタ２５２で清浄化された空気は、給気用フィルタ２５２の下部にあってチャンバー２４０内の上部全面に亘って設けられた整流板２５３を介してチャンバー２４０の内部空間２４５に給気される。

　この整流板２５３は、複数の空気通過孔を有して空気の流れを均一化する。このことにより、給気用フィルタ２５２から給気される空気は、整流板２５３を介してチャンバー２４０の内部空間２４５を上方から下方に向かう一方向流（いわゆる層流）の空気を形成する。

　排気機構２６０は、チャンバー２４０の内部空間２４５の空気を清浄化するためのフィルタユニット２１０と、このフィルタユニット２１０で清浄化された空気をハウジング２２０及びダクト２４９を介してチャンバー２４０の外部に排気するための排気用ブロワー２６１とを備えている。

　フィルタユニット２１０は、チャンバー２４０の底壁部２４１eに開口する排気口２６２を介してチャンバー２４０と連通するハウジング２２０内に装着されている。このフィルタユニット２１０の構造及びハウジング２２０内での装着状態については後述する。

　排気用ブロワー２６１は、ダクト２４９の上部開口部に連通してチャンバー２４０の上壁部２４１ｄの外側であって給気用ブロワー２５１の背面側に設けられている。この排気用ブロワー２６１は、ハウジング２２０及びダクト２４９を介して送られる空気をチャンバー２４０の外部に排気する。
（空気清浄用フィルタユニットの実施形態２Ａ）
　ここで、フィルタユニット２１０の構造について説明する。図１２において、フィルタユニット２１０は、内部に空洞を有する矩形状の筒体であって、ステンレス製金属板からなる筒体２１１と２つのＨＥＰＡフィルタ２１２とを備えている。

　筒体２１１は、天板２１１ａと底板２１１ｂと２枚の横板２１１ｃとからなり前面と背面がそれぞれ空気排出口部２１３として矩形状に開放されている。また、天板２１１ａには、空気排出口部２１３の面と天板２１１ａとが交差する境界線２１１ｄに沿って長手状に開口する空気導入口部２１４が設けられている。

　２つのＨＥＰＡフィルタ２１２は、ガラス繊維からなる濾材を波状に折曲して形成されるフィルタ２１２ａとこのフィルタ２１２ａの周縁部を保持する矩形状の外枠２１２ｂとから構成されている。２つのＨＥＰＡフィルタ２１２は、それぞれ空気排出口部２１３を覆うように外枠２１２ｂの外縁部でもって筒体２１１の内縁部に固着されている。

　このことにより、２つのＨＥＰＡフィルタ２１２は、互いの吸気面２１２ｃをフィルタユニット２１０の内側に向け、互に対向するように並行に配列する。一方、２つのＨＥＰＡフィルタ２１２は、互いの排気面２１２ｄをフィルタユニット２１０の外側に向け、これらの排気面２１２ｄでもってフィルタユニット２１０の前面及び背面の外壁面を構成する。

　また、フィルタユニット２１０は、天板２１１ａ上に開口する空気導入口部２１４を取り囲むように環状のシール部材としてのゴム製のパッキン２１５を備えている。

　次に、上述のように構成したフィルタユニット２１０がハウジング２２０内に装着される状態について説明する。図１３は、フィルタユニット２１０が装着されたハウジング２２０を側面から見た断面図である。

　図１３において、ハウジング２２０は、ステンレス製金属板で構成された箱体からなり、上述のように架台Ｂに収納されている。ハウジング２２０の上壁部２２０ａは、チャンバー２４０の底壁部２４１eと共通する壁部であり、ハウジング２２０の前面の壁部２２０ｂには、上述のように、ハウジング２２０からフィルタユニット２１０を交換するための開閉扉２２１が密封的かつ開閉可能に設けられている。

　ハウジング２２０は、上述のように、隣り合うハウジング２２０と連通するとともに、ダクト２４９と連通して、チャンバー２４０の底壁部２４１e（ハウジング２２０の上壁部２２０ａに対応）に開口する排気口２６２から排気用ブロワー２６１に向かう排気流路を構成している（図９参照）。

　ハウジング２２０の上壁部２２０ａに開口する排気口２６２の周縁部には、周縁部の全周に亘ってチャンバー２４０側（上方側）に延出する環状の上方延出部２６２ａと、周縁部の全周に亘ってハウジング２２０側（下方側）に延出する環状の下方延出部２６２ｂとが形成されている。

　ハウジング２２０の底壁部２２０ｃには、排気口２６２の下方部に配設されてフィルタユニット２１０を排気口２６２に押圧するための２つのユニット押具２２２が設けられている（図９及び図１３参照）。このユニット押具２２２は、フィルタユニット２１０の下端部を受承する受承部材２２２ａとこの受承部材２２２ａをネジ式に上下動させる可動部材２２２ｂとから構成されている。

　このように構成されたハウジング２２０内において、フィルタユニット２１０は、空気導入口部２１４を排気口２６２に対向するようにして、パッキン２１５を下方延出部２６２ｂの外周部に沿ってハウジング２２０の上壁部２２０ａに当接するように装着される。このとき、フィルタユニット２１０の下端部は、受承部材２２２ａに受承されて可動部材２２２ｂにより上方へ押圧されており、フィルタユニット２１０は、その空気導入口部２１４を介してパッキン２１５により排気口２６２に密封的に装着されている。

　ここで、上述のように構成した本第２実施形態に係るアイソレーター装置Ａにおいて、稼働中における空気の流れを説明する。

　図１０において、給気用ブロワー２５１及び排気用ブロワー２６１が作動すると、上述のように、給気用ブロワー２５１から排出された空気は、給気用フィルタ２５２に供給される。この給気用フィルタ２５２で清浄化された空気は、整流板２５３を介してチャンバー２４０の内部空間２４５を上方から下方に向かう一方向流の空気を形成する。

　換言すれば、整流板２５３を介して下方に供給される清浄化された空気のうち大部分の空気は、チャンバー２４０の内部空間２４５のうち中央空間２４５ａを通り、上方から下方に向かう一方向流の空気を形成する。このことにより、中央空間２４５ａ内での作業で使用される化学薬品等は、中央空間２４５ａを通り上方から下方に向かう一方向流に沿って排気口２６２から排出される。

　一方、整流板２５３を介して下方に供給される清浄化された空気のうち他の空気は、チャンバー２４０の内部空間２４５のうち周辺空間２４５ｂを通り、上方から下方に向かう一方向流の空気を形成する。この周辺空間２４５ｂは、ガラス隔壁２４３により中央空間２４５ａと区分けされており、化学薬品等を使用する作業が直接行われることがない。よって、周辺空間２４５ｂ内には、清浄化された空気が流れている。このことにより、グローブ２４８の取付枠２４６ａなどにおいて漏れが生じた場合にも、中央空間２４５ａ内の化学薬品等がチャンバー２４０の外部に漏えいすることがない。

　このようにして、内部空間２４５ａ及び周辺空間２４５ｂを流れてきた各一方向流の空気は、チャンバー２４０内に設けられた４つの排気口２６２（図１１参照）から排気用ブロワー２６１の吸引によりチャンバー２４０外に排気される。

　排気口２６２からチャンバー２４０外に排気された空気は、中央空間２４５ａ内の作業で使用された化学薬品等を含んでいる。図１０及び図１３に示すように、排気口２６２から排気された空気は、排気口２６２に密封的に装着されたフィルタユニット２１０の空気導入口部２１４からフィルタユニット２１０の内部の空間に導入される。このフィルタユニット２１０の内部に導入された空気は、２つのＨＥＰＡフィルタ２１２の吸気面２１２ｃから吸引され、これらのＨＥＰＡフィルタ２１２で清浄化された後、２つのＨＥＰＡフィルタ２１２の排気面２１２ｄからハウジング２２０内に排気される。

　フィルタユニット２１０の排気面２１２ｄから排気される清浄化された空気は、ハウジング２２０の内部からダクト２４９を通り、排気用ブロワー２６１の吸引によりチャンバー２４０の外部に排気される（図９参照）。

　以上のようにして使用されたフィルタユニット２１０は、その内部の空間及びＨＥＰＡフィルタ２１２の吸気面２１２ｃに多くの化学薬品等を付着させている。そこで、この使用済みのフィルタユニット２１０をハウジング２２０から取外す作業について説明する。

　まず、給気用ブロワー２５１及び排気用ブロワー２６１を停止して、洗浄液用スプレーノズル（図示せず）を使用してチャンバー２４０の内部を洗浄する。また、排出口２６２の周辺を洗浄し、フィルタユニット２１０の内部にあるＨＥＰＡフィルタ２１２の吸気面２１２ｃを湿潤させるウェットダウンを実施する。このウェットダウンにより、ＨＥＰＡフィルタ２１２の吸気面２１２ｃに多く付着した化学物質等の飛散を防止することができる。

　次に、チャンバー２４０の内部からフィルタユニット２１０の空気導入口部２１４に蓋体２１６を取付ける（図１４参照）。この蓋体２１６は、その外周縁を全周に亘って取り囲むゴム製のパッキン２１６ａを具備している。この蓋体２１６は、パッキン２１６ａによって空気導入口部２１４に設けられた取付け溝２１４ａに密封的に装着される。このことにより、化学物質等で汚染されたフィルタユニット２１０の内部が密封され、内部の化学物質等が外部環境に漏洩することがない。

　このようにフィルタユニット２１０の内部を密封した状態で、ハウジング２２０の開閉扉２２１を解放し、フィルタユニット２１０を上方に押圧している可動部材２２２ｂのネジを緩め、受承部材２２２ａを下方に下げてフィルタユニット２１０を排気口２６２から取外す。

　上述のように構成された本第２実施形態に係るアイソレーター装置Ａに組み込まれるフィルタユニットの実施形態２Ａにおいては、筒体と２つのＨＥＰＡフィルタとが一体となってフィルタユニットを構成する。この２つのＨＥＰＡフィルタの排気面は、いずれも空気排出口部の外壁面を構成する。一方、２つのＨＥＰＡフィルタの吸気面は、いずれも筒体の内部に収納されている。このように、本実施形態２Ａに係るフィルタユニットは、簡単な構造をしており、人体に有害な化学物質等を取り扱うアイソレーター装置のチャンバーの排気口に連通して設けられたハウジングに当該フィルタユニットごと装着されている。

　上記フィルタユニットにおいて、チャンバーの排気口から排気される化学物質等を含んだ空気は、空気導入口部から当該フィルタユニットの内部に誘導される。このフィルタユニットの内部に誘導された空気は、２つのＨＥＰＡフィルタの吸気面から吸気されて濾過され、これら２つのＨＥＰＡフィルタの排気面からフィルタユニットの外部に排気される。このことにより、２つのＨＥＰＡフィルタで濾過された空気に含まれていた化学物質等は、これら２つのＨＥＰＡフィルタの吸気面に付着してフィルタユニットの内部に捕捉される。

　次に、上記フィルタユニットを交換する際には、空気導入口部を蓋体で閉じることによりフィルタユニットの内部を簡単に密封することができる。このことにより、フィルタユニットの内部に捕捉された化学物質等が外部環境に漏洩することを防止することができる。従って、フィルタユニットをフィルタユニットごと交換することにより、フィルタ交換作業を簡単に行うことができ、また、当該交換作業によって外部環境を汚染する危険性が低く抑えられる。

　また、本第２実施形態に係るアイソレーター装置Ａに組み込まれるフィルタユニットの実施形態２Ａにおいては、上述のように、筒体と２つのＨＥＰＡフィルタとからなる簡単な構造をしている。従って、このフィルタユニットは、製造コストが低く、また、フィルタユニットごと廃棄する際にも廃棄コストが低くなる。よって、これらの製造コスト及び廃棄コストを含めたアイソレーター装置のメンテナンスコストが安く抑えられる。

　また、本第２実施形態に係るアイソレーター装置Ａに組み込まれるフィルタユニットの実施形態２Ａによれば、空気導入口部が長手状に開口することにより、この空気導入口部が開口する天板の形状を長手矩形状にして、その長辺を長くし、その短辺を短く抑えることができる。この天板の長辺側の２つの境界には、それぞれＨＥＰＡフィルタの排気面が交差している。従って、天板の長辺の長さは、ＨＥＰＡフィルタの排気面の大きさを左右する。一方、天板の短辺は、２つのＨＥＰＡフィルタの排気面に交差する方向にあり、この短辺の長さは、フィルタユニットの奥行きを左右する。よって、天板の形状を長手矩形状にして長辺を長く、短辺を短くすることにより、フィルタユニットの排気面の面積を大きく、奥行きを狭くすることができる。

　このことにより、フィルタユニットの形状がコンパクトになり、このコンパクトな形状に対して、排気面の面積を大きくすることができる。従って、チャンバーから排気される空気の排気経路に装着する際に、場所の制約が少なくなりアイソレーター装置設計上の自由度が向上する。このことにより、本実施形態２Ａにおいては、チャンバーの下部にハウジングを設け、このハウジングをアイソレーター装置の架台に４つ収納することができる。

　更に、本実施形態２Ａによれば、フィルタユニットは、２つのＨＥＰＡフィルタを備えている。このように、ＨＥＰＡフィルタが２つ使用されていることで、上述のように、フィルタユニットの通風正面積を広く取ることができ、フィルタ効率が向上する。よって、フィルタユニットに必要なフィルタ容積が小さくなり、コンパクトなフィルタユニットを提供することができる。

　また、上述のように、２つのＨＥＰＡフィルタの排気面は、空気排出口部の外壁面を構成している。このＨＥＰＡフィルタの排気面は平面を形成し、通常のＨＥＰＡフィルタなどのリーク試験と同様のスキャンテストを実施することができる。このことにより、上記フィルタユニット自体のリーク試験において、２つの排気面に対してスキャンテストを直接行うことができ、フィルタユニットに対する完全性検査が従来の方法で可能となる。

　一方、上述のフィルタユニットを備えた本第２実施形態に係るアイソレーター装置においては、給気機構によってチャンバーの内部を上方から下方に向かう一方向流の空気が給気されている。また、このチャンバーの内部には、上記一方向流の空気の流れに沿う方向に隔壁が設けられている。この隔壁は、周壁部に並行に形成されて、チャンバーの内部空間を中央空間と周辺空間とに区分けしている。従って、チャンバー内を上方から下方に向かう一方向流の空気は、中央空間を上方から下方に向かう一方向流の空気と、周辺空間を上方から下方に向かう一方向流の空気とに分かれて流れることとなる。

　また、チャンバー内で取り扱われる化学物質等は、中央空間内で取り扱われ、この中央空間内を流れる一方向流の空気によって排気口に誘導される。一方、周辺空間においては、化学物質等が取り扱われないので、この周辺空間には、常に清浄な一方向流の空気が流れている。従って、仮に何らかの理由でチャンバー内の空気が外部環境に漏れるようなことがあっても、この周辺空間があることにより、チャンバー内で取り扱われる化学物質等が外部環境に漏洩することがない。

　また、チャンバーの底壁部に設けられる排気口は、隔壁の下端部の幅方向に沿って長手状に開口している。従って、中央空間及び周辺空間を上方から下方に流れるそれぞれの一方向流の空気は、乱れることなくこの排気口から排気される。このように構成された安全性の高いチャンバーから排気される空気を清浄化するに際して、上述のフィルタユニットを採用することで、更に高度な安全性を確保することができる。

　また、従来のアイソレーター装置では、フィルタ交換の際のリスク低減のため排気経路には複数のフィルタが採用されている。しかし、上述のフィルタユニットの交換作業においては、濾過した化学物質等の漏洩が高度に防止されている。従って、本第２実施形態に係るアイソレーター装置においては、１つのフィルタユニットを採用することでフィルタ交換の際のリスク低減を図ることができる。このことは、交換するフィルタユニットが１つでよいこととなり、アイソレーター装置設計及びメンテナンスコストの点で有利である。
（空気清浄用フィルタユニットの実施形態２Ｂ）
　次に、本発明に係るフィルタユニットの実施形態２Ｂについて説明する。図１５に示すように、フィルタユニット３１０は、内部に空洞を有する矩形状の筒体であって、ステンレス製金属板からなる筒体３１１と１つのＨＥＰＡフィルタ２１２とを備えている。

　筒体３１１は、天板３１１ａと底板３１１ｂと２枚の横板３１１ｃと背板３１１ｄとからなり前面が空気排出口部２１３として矩形状に開放されている。また、天板３１１ａには、空気排出口部２１３の面と天板３１１ａとが交差する境界線３１１eに沿って長手状に開口する空気導入口部２１４が設けられている。

　ＨＥＰＡフィルタ２１２は、上記実施形態２Ａと同一の構成をしている。このＨＥＰＡフィルタ２１２は、空気排出口部２１３を覆うように外枠２１２ｂの外縁部でもって筒体３１１の内縁部に固着されている。

　このことにより、ＨＥＰＡフィルタ２１２は、吸気面２１２ｃをフィルタユニット３１０の内部に向け、背板３１１ｄと対向するように並行に配列する。一方、ＨＥＰＡフィルタ２１２は、排気面２１２ｄをフィルタユニット３１０の外側に向け、この排気面２１２ｄでもってフィルタユニット３１０の前面の外壁面を構成する。

　また、フィルタユニット３１０は、天板３１１ａ上に開口する空気導入口部２１４を取り囲むように環状のシール部材としてのゴム製のパッキン２１５を備えている。

　上述のように構成したフィルタユニット３１０がハウジング２２０内に装着された状態については、上記実施形態２Ａと同様である。

　上述のように構成された本実施形態２Ｂに係るフィルタユニットは、ＨＥＰＡフィルタを１つだけ備えている点で、ＨＥＰＡフィルタを２つ備えた上記実施形態２Ａに係るフィルタユニットと異なっている。このことは、フィルタユニットの排気面積が小さくなることを意味し、処理される空気の容量が少なくなる。但し、このことを除いて、上記実施形態２Ａに係るフィルタユニット変わるところはない。

　従って、本実施形態２Ｂに係るフィルタユニットは、処理する空気の容量が少ない場合、アイソレーター装置設計上の都合、或いは、よりコンパクトでより安価なフィルタユニットを必要とする場合に有効である。また、ＨＥＰＡフィルタの排気面が１面であることにより、リーク試験におけるスキャンテストがより容易になる。
（空気清浄用フィルタユニットの実施形態２Ｃ）
　次に、本発明に係るフィルタユニットの実施形態２Ｃについて説明する。フィルタユニット４１０は、上記実施形態２Ａに係るフィルタユニット２１０と同様の構成をしている。但し、パッキン２１５に代えて、液体シール４１５を備えている（図１６参照）。この液体シール４１５は、シール凸部４１５ａとシール凹部４１５ｂとこれらの間に充填されるシール剤４１５ｃとから構成されている。

　図１６は、フィルタユニット４１０が、その空気導入口部２１４をハウジング２２０の上壁部２２０ａに開口する排気口２６２に対向する位置に合わせて装着された状態を示している。排気口２６２の周縁部には、周縁部の全周に亘ってチャンバー２４０側（上方側）に延出する上方延出部２６２ａが形成されている。一方、上記実施形態２Ａにおいて設けられた下方延出部２６２ｂがなく、その代わりに排気口２６２の周縁部より外側に離れた位置に排気口２６２を取り囲むようにハウジング２２０側（下方側）に延出する環状のシール凸部４１５ａが形成されている。

　また、フィルタユニット４１０は、天板４１１ａ上に開口する空気導入口部２１４を取り囲むように断面凹状で環状のシール凹部４１５ｂを備えている。このシール凹部４１５ｂの溝の中には液体シリコーンなどのシール剤４１５ｃが充填されている。

　このように構成されたフィルタユニット４１０は、図１６に示すように、ハウジング２２０内において空気導入口部２１４を排気口２６２に対向するようにして、シール凹部４１５ｂの環状の溝の中にシール凸部４１５ａが挿入されるようにユニット押具２２２（図示せず）によって持ち上げられている。

　このとき、シール凸部４１５ａは、全周に亘りシール凹部４１５ｂの溝の中に充填されたシール剤４１５ｃに浸かっているので、排気口２６２と空気導入口部４１４とは、密封的に連通している。このことにより、排気口２６２からフィルタユニット４１０に導入される空気は、フィルタユニット４１０の内部に誘導され、ＨＥＰＡフィルタ２１２によって化学物質等が除去される。

　上述のように構成された本実施形態２Ｃに係るフィルタユニットは、その空気導入口部とチャンバーの排気口とを密封的に連通させるために、シール部材として液体シールを使用する点で、パッキンを使用する上記実施形態２Ａ及び実施形態２Ｂに係るフィルタユニットと異なっている。但し、このことを除いて、上記実施形態２Ａ及び実施形態２Ｂに係るフィルタユニット変わるところはない。
（空気清浄用フィルタユニットの実施形態２Ｄ）
　次に、本発明に係るフィルタユニットの実施形態２Ｄについて説明する。フィルタユニット５１０は、上記実施形態２Ａに係るフィルタユニット２１０と同様の構成をしている。但し、フィルタユニット２１０の空気導入口部２１４に取付ける蓋体２１６に代えて、可撓性のゴムシート５１６が空気導入口部２１４を閉じるように設けられている（図１７参照）。

　ゴムシート５１６は、図１７に示すように、２片の略台形のゴムシート５１６ａと２片の略三角形のゴムシート５１６ｂとからなり、フィルタユニット５１０の天板５１１ａとゴム製のパッキン２１５に挟持された状態で固定され一体化している。この固定された状態で、ゴムシート５１６の中央部には、空気導入口部２１４の長手方向に沿った１本のスリット５１６ｃとこのスリットの両端部から周縁部に向かう４本のスリット５１６ｄが形成されている。

　ここで、可撓性のゴムシート５１６に用いられるゴムとしては、可撓性を有するものであればどのようなものを使用してもよい。なお、本実施形態２Ｄにおいては、ゴムシート５１６には、厚み３ｍｍのシリコーンゴムのシートを使用した。

　次に、上述のように構成したフィルタユニット５１０がハウジング２２０内に装着される状態について説明する。図１８は、フィルタユニット５１０が装着される前のハウジング２２０を側面から見た断面図である。

　ハウジング２２０は、図１８に示すように、ハウジング２２０の上壁部２２０ａに開口する排気口２６２の開口幅が上記実施形態２Ａに比べ狭く、また、排気口２６２の周縁部に設けられる下方延出部２６２ｂの延出長さが上記実施形態２Ａに比べ長くなっている。

　このことにより、フィルタユニット５１０を排気口２６２に装着したときに、下方延出部２６２ｂがゴムシート５１６を押し曲げてフィルタユニット５１０の空気導入口部２１４の内部に挿入される。以下、この状態について説明する。

　図１８において、フィルタユニット５１０は、その下端部をユニット押具２２２の受承部材２２２ａにより受承されて排気口２６２の下方に配置されている。このとき、受承部材２２２ａは、可動部材２２２ｂによって下方に下げられた状態にあり、フィルタユニット５１０の空気導入口部２１４は、排気口２６２に装着されていない。

　次に、図１９に示すように、ユニット押具２２２の可動部材２２２ｂのネジを回転して受承部材２２２ａを上方に押し上げると、排気口２６２の下方延出部２６２ｂは、ゴムシート５１６を下方に押し曲げてフィルタユニット５１０の空気導入口部２１４の内部に挿入される。このとき、ゴムシート５１６は、空気導入口部２１４の内周部と下方延出部２６２ｂの外周部との間に介挿されて密封材の働きをする。

　この状態において、フィルタユニット５１０は、空気導入口部２１４を排気口２６２に対向するようにして、パッキン２１５をハウジング２２０の上面の壁部２２０ａに当接するように装着される。このとき、フィルタユニット５１０の下端部は、受承部材２２２ａに受承されて可動部材２２２ｂにより上方へ押圧されており、フィルタユニット５１０は、その空気導入口部２１４を介してパッキン２１５により排気口２６２に密封的に装着されている。

　以上のような状態で使用されたフィルタユニット５１０は、その内部の空間及びＨＥＰＡフィルタ２１２の吸気面２１２ｃに多くの化学薬品等を付着させている。そこで、この使用済みのフィルタユニット５１０をハウジング２２０から取外す際には、上述のようにウェットダウンを実施する。

　なお、フィルタユニット５１０においては、上記実施形態２Ａと異なり空気導入口部２１４に蓋体２１６を取付けることなく、ハウジング２２０の開閉扉２２１を解放し、フィルタユニット５１０を上方に押圧している可動部材２２２ｂのネジを緩め、受承部材２２２ａを下方に下げてフィルタユニット５１０を排気口２６２から取外す。

　このとき、下方延出部２６２ｂによって下方に押し曲げられていたゴムシート５１６が空気導入口部２１４を閉じる位置に復元する。このことにより、化学物質等で汚染されたフィルタユニット５１０の内部が密封され、内部の化学物質等が外部環境に漏洩することがない。

　上述のように構成された本実施形態２Ｄに係るフィルタユニットは、空気導入口部に可撓性のゴムシートを固定的に備えている点で、脱着可能な蓋体を備えることによりフィルタユニットの内部を密封する上記実施形態２Ａ～実施形態２Ｃに係るフィルタユニットと異なっている。この可撓性のゴムシートは、４枚のゴムシートからなり、通常は空気導入口部を閉じる状態にあるが、これらのゴムシートを押し曲げることにより、空気導入口部を開放することができる。

　従って、フィルタユニットをハウジングに装着して空気を清浄化する際には、この可撓性のゴムシートを押し曲げて空気導入口部が開放される。一方、ハウジングから使用済みのフィルタユニットを交換する際には、この可撓性のゴムシートが復元して空気導入口部を閉じるようになる。このことにより、フィルタユニットの内部に捕捉された化学物質等が外部環境に漏洩することを押えることができる。
（空気清浄用フィルタユニットの実施形態２Ｅ）
　次に、本発明に係るフィルタユニットの実施形態２Ｅについて説明する。フィルタユニット６１０は、上記実施形態２Ａに係るフィルタユニット２１０と同様の構成をしている。但し、フィルタユニット６１０の天板６１１ａに開口する空気導入口部２１４の周縁部には、周縁部の全周に亘って上方に延出するステンレス製金属板からなる環状の取付口部２１７が設けられている（図２０参照）。

　次に、上述のように構成したフィルタユニット６１０がハウジング２２０内に装着される状態について説明する。図２１は、フィルタユニット６１０が装着されたハウジング２２０を側面から見た断面図である。

　上記実施形態２Ａと同様の構成をしたハウジング２２０において、フィルタユニット６１０は、空気導入口部２１４を排気口２６２に対向するようにして、取付口部２１７を下方延出部２６２ｂの内周部に沿って排気口２６２に挿入すると共に、パッキン２１５を下方延出部２６２ｂの外周部に沿ってハウジング２２０の上壁部２２０ａに当接する。このとき、フィルタユニット６１０の下端部は、受承部材２２２ａに受承されて可動部材２２２ｂにより上方へ押圧されており、フィルタユニット６１０は、その空気導入口部２１４を介してパッキン２１５により排気口２６２に密封的に装着されている。

　また、フィルタユニット６１０を交換する際には、上記実施形態２Ａと同様の蓋体２１６をパッキン２１６ａによって取付口部２１７に設けられた取付け溝２１７ａに密封的に装着する。このことにより、化学物質等で汚染されたフィルタユニット６１０の内部が密封され、内部の化学物質等が外部環境に漏洩することがない。

　上述のように構成された本実施形態２Ｅに係るフィルタユニットは、空気導入口部にステンレス製金属板からなる環状の取付口部が設けられている点で、この取付口部が設けられていない上記実施形態２Ａ～実施形態２Ｄに係るフィルタユニットと異なっている。

　従って、フィルタユニットをハウジングに装着する際には、この取付口部を下方延出部の内周部に沿って排気口に挿入することができ、ハウジングに対するフィルタユニットの装着が安定する。また、蓋体を装着する取付口部の延出端部が下方延出部まで延出されているので、蓋体の装着が容易となる。このことにより、フィルタユニットの交換作業がより簡単なものとなる。

　これまで述べてきたように、上記第２実施形態においては、アイソレーター装置の稼働終了後における危険性に対処して、フィルタ交換作業が簡単で当該交換作業によって外部環境を汚染する危険性が低く、また、簡単な構造を有して製造コスト及び廃棄コストを含めたアイソレーター装置のメンテナンスコストが安く、更に、スキャンテストによる完全性検査が実施できることで安全性の確認が容易な空気清浄用フィルタユニットを備えたアイソレーター装置を提供することができる。

　なお、本発明の実施にあたり、上記各実施形態に限らず、次のような種々の変形例が挙げられる。
（１）上記各実施形態においては、チャンバーの前面及び背面に２つの隔壁が設けられているが、チャンバーに設ける隔壁の数は、これに限るものではなく、１面のみ設けてもよく、或いは、３面、４面に設けるようにしてもよい。
（２）上記第１実施形態においては、整流板の枠体を構成する枠材に中空の矩形パイプを使用するが、これに限るものではなく、矩形パイプに代えて矩形金属棒などを使用するようにしてもよい。また、断面形状は矩形でなくてもよい。
（３）上記第１実施形態においては、整流板の枠体を構成する矩形パイプに開口する貫通口の形状を長円としたが、これに限るものではなく、丸形或いは矩形状などどのような形状であってもよい。
（４）上記第１実施形態においては、整流板の枠体を構成する矩形パイプに貫通口を形成するようにしたが、これに限るものではなく、上面及び底面が全パンチング板からなる矩形パイプを使用するようにしてもよい。
（５）上記第１実施形態においては、整流板の多孔性シートとして上面及び底面に同一線径、同一目開きのスクリーン紗を使用するが、これに限るものではなく、上面と底面に使用するスクリーン紗の線径或いは目開きを異なるものとしてもよい。この場合、例えば、底面側（枠材に貼付する方）のスクリーン紗の目開きを荒くすることにより、一重の部分と二重の部分の空気の通過抵抗の差をより大きなものとすることができる。また、多孔性シートには、スクリーン紗に代えて連通孔を有する多孔性セラミック板などを使用するようにしてもよい。
（６）上記第１実施形態においては、整流板にスクリーン紗が一重の部分と二重の部分との組み合わせを採用したが、これに限るものではなく、二重の部分と三重の部分との組み合わせ、或いは、一重の部分と三重の部分との組み合わせなど、どのような組み合わせを採用するようにしてもよい。
（７）上記各実施形態においては、給気用及び排気用のフィルタには、ＨＥＰＡフィルタを使用するものであるが、ＨＥＰＡフィルタに限るものではなく、ＵＬＰＡフィルタその他の高性能フィルタをチャンバー内での作業の使用目的に合わせて、適宜選定すればよい。
（８）上記第２実施形態においては、フィルタユニットの交換作業にバッグイン・バッグアウト法は使用していない。しかし、これに限定するものではなく、簡略化したバッグイン・バッグアウト法を利用することは有効である。例えば、フィルタユニットを装着する際に受承部材の下方に予めバッグを装着しておくと、ウェットダウンの際に排気面からの洗浄水の染み出しを捕捉することができる。また、フィルタユニットを取外す際に当該バッグの中に収納することで更に安全性が向上する。
（９）上記第２実施形態においては、給気用ブロワーと排気用ブロワーを停止した状態でフィルタユニットを交換するものである。しかし、これに限定するものではなく、例えば、排気用ブロワーを稼働した状態で交換作業をするようにしてもよい。この場合には、交換作業中に何らかの理由で化学物質等が飛散した場合にも、排気用ブロワーによる吸気によりハウジング内から化学物質等が外部環境に漏洩することを防止できる。この場合には、ハウジングの下流側に他のフィルタを装着しておくことが有効である。

Ａ…アイソレーター装置、Ｂ…架台、Ｃ…アイソレーター本体、Ｄ…作業者、
１０、２４０…チャンバー、１１ａ、１１ｂ…隔壁、２４３…ガラス隔壁、
１２、２４５内部空間、１２ａ、２４５ａ…中央空間、１２ｂ、２４５ｂ…周辺空間、
１３、１４、２４２…ガラス窓、１５、２４８…グローブ、
１８ａ～１８ｄ、２６２…排気口、
２０、２５０…給気機構、２１、２５１…給気用ブロワー、２５２…給気用フィルタ、
２５４…吸気口、２２…給気用フィルタユニット、
２２ｂ、３１ａ、３２ａ、２１２…ＨＥＰＡフィルタ、
２３、２５３…整流板、２４…枠体、２４ａ…枠材、２４ｂ、２６ｂ…貫通口、
２５ａ、２５ｂ…スクリーン紗、２６…受承部材、
３０、２６０…排気機構、３１…排気用一次フィルタユニット、
３２…排気用二次フィルタユニット、３３…排気用ブロワー、
２１０…空気清浄用フィルタユニット、２１１…筒体、２１２ａ…フィルタ、
２１２ｂ…外枠、２１２ｃ…吸気面、２１２ｄ…排気面、２１３…空気排出口部、
２１４…空気導入口部、２１５…パッキン、２１６…蓋体、２１７…取付口部、
２２０…ハウジング、２２１…開閉扉、２２２…ユニット押具、２２２ａ…受承部材、
２２２ｂ…可動部材、２３０…電装及び機械室、２４６…作業用開口部、
２４７…補助開口部、２４９…ダクト、４１５…液体シール、５１６…ゴムシート。

Claims (11)

1. 　作業室と、
   　前記作業室の内部に上方から下方に向かう一方向流の空気を給気する給気手段と、
   　前記作業室の下方から前記一方向流の空気を排気する排気手段とを備えるアイソレーター装置において、
   　前記一方向流の空気に沿って前記作業室の周壁部に並行に設けられる隔壁と、
   　前記隔壁の下端部の下方に当該下端部の幅方向に沿って開口する長手状の排気口とを備えていることを特徴とするアイソレーター装置。
2. 　前記周壁部に対向する他の周壁部に並行に設けられる他の隔壁と、
   　前記他の隔壁の下端部の下方に当該下端部の幅方向に沿って開口する長手状の他の排気口とを備えていることを特徴とする請求項１に記載のアイソレーター装置。
3. 　前記排気口は、前記作業室の底壁部に形成されて前記下端部の直下或いは直下より前記作業室の中央寄りに開口していることを特徴とする請求項１又は２に記載のアイソレーター装置。
4. 　前記排気口は、前記隔壁に対して、それぞれ、１つ又は２つ以上の開口部から構成されており、
   　前記１つ又は２つ以上の開口部の長手方向の開口長さの総和は、前記下端部の幅方向の長さに対して、５０％～１００％の割合にあることを特徴とする請求項１～３のいずれか１つに記載のアイソレーター装置。
5. 　前記給気手段は、前記一方向流の空気を形成する整流部材を有して、
   　前記整流部材は、複数本の枠材からなる枠体と、この枠体の上面及び底面を被覆するように前記枠材に固着される多孔性シートとを備えており、
   　前記枠材は、その上面から底面にかけて貫通する複数の貫通口を具備し、
   　前記多孔性シートは、前記枠材に当接して当該枠材に固着される部分において、前記貫通口の開口部であって前記枠材の上面開口部或いは底面開口部のうち、いずれか一方の開口部のみを被覆することを特徴とする請求項１～４のいずれか１つに記載のアイソレーター装置。
6. 　前記多孔性シートは、表裏を連通する無数の細孔を有するスクリーン紗であることを特徴とする請求項５に記載のアイソレーター装置。
7. 　前記整流部材に所定量の空気を供給したときに、当該整流部材を通過して流れる空気において、
   　前記上面開口部或いは前記底面開口部のうち前記多孔性シートが被覆して当該多孔性シートが一重となっている部分を通過する空気の流速をＶ１とし、
   　前記多孔性シートが前記枠材に当接することなく当該多孔性シートが二重となっている部分を通過する空気の流速をＶ２としたときに、
   　前記枠材の上面或いは底面の面積に対する前記多孔性シートが被覆する前記開口部の開口率Ｘ（％）が下記の式、
   　　　　Ｘ＝（Ｖ２／Ｖ１）×１００
   で示されるように、前記枠材に前記貫通口を開口してなることを特徴とする請求項５又は６に記載のアイソレーター装置。
8. 　前記排気手段は、前記長手状の排気口から排気される前記一方向流の空気の流路に脱着可能に装着された空気清浄用フィルタユニットを備えており、
   　前記空気清浄用フィルタユニットは、
   　空気を導入する長手状の空気導入口部を設けてなる第１壁部と、前記第１壁部に交差するように形成されて前記空気導入口部から導入された空気を排出する空気排出口部を設けてなる第２壁部とを有する矩形状の筒体と、
   　前記空気排出口部の外壁面を構成するように当該空気排出口部に設けられて、前記導入された空気を濾過するフィルタ部材とを備えており、
   　この空気清浄用フィルタユニットが前記空気導入口部を前記排気口に対向するようにして前記作業室の外部に装着されていることを特徴とする請求項１～３のいずれか１つに記載のアイソレーター装置。
9. 　前記空気清浄用フィルタユニットは、
   　他のフィルタ部材を備えており、
   　前記筒体は、前記第２壁部に対向するように形成されて前記導入空気を排出する他の空気排出口部を設けてなる第３壁部を有して、
   　前記他のフィルタ部材は、その排気面において、前記他の空気排出口部の外壁面を構成するように当該他の空気排出口部に設けられて前記濾過された空気を排出するようにしたことを特徴とする請求項８に記載のアイソレーター装置。
10. 　前記空気清浄用フィルタユニットは、
    　前記空気導入口部を閉じる脱着可能な蓋体と、
    　この蓋体の外周縁部と前記空気導入口部の内周縁部との間に気密的に介装してなるパッキンとを備えていることを特徴とする請求項８又は９に記載のアイソレーター装置。
11. 　前記空気清浄用フィルタユニットは、
    　前記空気導入口部の外周縁部から内側に延出されて当該空気導入口部を開閉可能に閉じる複数枚の可撓性シートを有する開閉部材を備えていることを特徴とする請求項請求項８又は９に記載のアイソレーター装置。

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