JP5689255B2 - 空気清浄用フィルタユニット及びアイソレーター装置 - Google Patents
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- 238000004140 cleaning Methods 0.000 title claims description 70
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 54
- 238000005192 partition Methods 0.000 claims description 21
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 10
- 238000001914 filtration Methods 0.000 claims description 7
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims description 7
- 238000005452 bending Methods 0.000 claims description 5
- 238000007599 discharging Methods 0.000 claims description 5
- 239000000565 sealant Substances 0.000 claims description 5
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 claims description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 52
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 29
- 229920001971 elastomer Polymers 0.000 description 24
- 238000000034 method Methods 0.000 description 16
- 238000012856 packing Methods 0.000 description 15
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 14
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 13
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 12
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 7
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 7
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 7
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 6
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 5
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 description 5
- 238000004887 air purification Methods 0.000 description 4
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 4
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 3
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 2
- 238000013461 design Methods 0.000 description 2
- 239000003814 drug Substances 0.000 description 2
- 238000003780 insertion Methods 0.000 description 2
- 230000037431 insertion Effects 0.000 description 2
- 238000012827 research and development Methods 0.000 description 2
- 239000007921 spray Substances 0.000 description 2
- 238000009423 ventilation Methods 0.000 description 2
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000013543 active substance Substances 0.000 description 1
- 239000002246 antineoplastic agent Substances 0.000 description 1
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 1
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 1
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 1
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 1
- 239000003365 glass fiber Substances 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 244000005700 microbiome Species 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 229920001296 polysiloxane Polymers 0.000 description 1
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 1
- 239000000941 radioactive substance Substances 0.000 description 1
- 238000011160 research Methods 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 239000003566 sealing material Substances 0.000 description 1
- 229920002379 silicone rubber Polymers 0.000 description 1
- 239000004945 silicone rubber Substances 0.000 description 1
- 150000003431 steroids Chemical class 0.000 description 1
- 238000010998 test method Methods 0.000 description 1
- 231100000331 toxic Toxicity 0.000 description 1
- 230000002588 toxic effect Effects 0.000 description 1
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Landscapes
- Ventilation (AREA)
- Filtering Of Dispersed Particles In Gases (AREA)
- Devices For Use In Laboratory Experiments (AREA)
Description
作業室(40)内から排気される空気を清浄化するために当該作業室の排気口(62)の外部に当該作業室と連接するように装着され、
上記排気口から排出される空気を導入する空気導入口部(14)を設けてなる第1壁部と、上記第1壁部に交差するように形成されて上記空気導入口部から導入される導入空気を排出する空気排出口部(13)を設けてなる第2壁部とを有する矩形状の筒体(11)と、
上記筒体に設けられて上記導入空気を濾過するフィルタ部材(12)とを備え、
上記フィルタ部材は、その排気面(12d)において、上記空気排出口部の外壁面を構成するように当該空気排出口部に設けられて上記濾過された空気を排出するようにした空気清浄用フィルタユニット(10)であって、
上記空気導入口部の外周部を取り囲むように上記第1壁部の上記作業室と対向する側に設けられた環状のシール部材(15)と、
上記空気導入口部を気密的に閉鎖する脱着可能な蓋体(16)とを具備し、
上記作業室と連接する際に上記空気導入口部を上記作業室の排気口に対向するように装着することにより、上記シール部材が上記作業室の外壁部に気密的に当接することを特徴とする。
作業室内から排気される空気を清浄化するために当該作業室の排気口の外部に当該作業室と連接するように装着され、
上記排気口から排出される空気を導入する空気導入口部を設けてなる第1壁部と、上記第1壁部に交差するように形成されて上記空気導入口部から導入される導入空気を排出する空気排出口部を設けてなる第2壁部とを有する矩形状の筒体と、
上記筒体に設けられて上記導入空気を濾過するフィルタ部材とを備え、
上記フィルタ部材は、その排気面において、上記空気排出口部の外壁面を構成するように当該空気排出口部に設けられて上記濾過された空気を排出するようにした空気清浄用フィルタユニットであって、
上記空気導入口部の外周部を取り囲むように上記第1壁部の上記作業室と対向する側に設けられた環状のシール部材と、
上記空気導入口部の外周縁部から内側に延出されて当該空気導入口部を開閉可能に閉じる複数枚の可撓性シートを有する開閉部材(316)とを具備し、
上記作業室と連接する際に上記作業室の排気口から外部に向けて設けられた延出部が上記複数枚の可撓性シートを押し曲げて上記空気導入口部の内部に挿入されることにより、上記複数枚の可撓性シートが上記延出部の外周部に当接すると共に、上記シール部材が上記作業室の外壁部に気密的に当接することを特徴とする。
上記作業室と連接する際に上記空気導入口部の内周部を上記作業室の排気口から外部に向けて設けられた延出部(62b)の外周部に沿って装着することにより、上記シール部材が上記作業室の外壁部に気密的に当接することを特徴とする。
上記空気導入口部の外周部と上記環状のシール部材との間から外部に向けて設けられた延出部(17)を具備し、
上記作業室と連接する際に上記空気導入口部が具備する延出部の外周部を上記作業室の排気口の内周部に沿って装着することにより、上記シール部材が上記作業室の外壁部に気密的に当接することを特徴とする。
上記シール部材は、環状の凹部(215b)を有する環状の延出部と当該環状の凹部に充填されたシール剤とからなる液体シール(215)であって、
上記作業室と連接する際に上記空気導入口部の上記環状の凹部に上記作業室の外周部を取り囲むように外部に向けて延出するように設けられた環状の凸部(215a)を嵌合することにより、上記環状の凹部と上記環状の凸部と上記シール剤とによって上記作業室の外壁部に気密的に当接することを特徴とする。
上記筒体に設けられて前記導入空気を濾過する他のフィルタ部材を備えており、
上記筒体は、上記第2壁部に対向するように形成されて上記導入空気を排出する他の空気排出口部を設けてなる第3壁部を有して、
上記他のフィルタ部材は、その排気面において、上記他の空気排出口部の外壁面を構成するように当該他の空気排出口部に設けられて上記濾過された空気を排出することを特徴とする。
上記空気導入口部は、上記第1壁部と上記第2壁部との境界線に沿って長手状に開口していることを特徴とする。
作業室(40)と、
上記作業室の内部に空気を給気する給気手段(50)と、
上記作業室の内部の空気を排気する排気手段(60)とを備えるアイソレーター装置(A)において、
上記排気手段は、請求項1〜7のいずれか1つに記載の空気清浄用フィルタユニットを備えており、
上記空気清浄用フィルタユニットは、上記作業室から排気される空気の流路に脱着可能に装着されていることを特徴とする。
作業室(40)と、
上記作業室の内部に上方から下方に向かう一方向流の空気を給気する給気手段(50)と、
上記作業室の下方から上記一方向流の空気を排気する排気手段(60)とを備えるアイソレーター装置(A)において、
上記一方向流の空気に沿って上記作業室の周壁部(41a)に並行に設けられる少なくとも1つの隔壁(43)と、
上記作業室の底壁部(41e)に形成されて上記隔壁の下端部(43b)の幅方向に沿って開口する長手状の排気口(62)とを備え、
上記排気手段は、請求項1〜7のいずれか1つに記載の空気清浄用フィルタユニットを備えており、
上記空気清浄用フィルタユニットは、上記排気口から排気される上記一方向流の空気の流路に脱着可能に装着されていることを特徴とする。
(第1実施形態)
本発明に係る空気清浄用フィルタユニット及び当該フィルタユニットを備えたアイソレーター装置の第1実施形態を図面に従って説明する。図1〜図3に示すように、アイソレーター装置Aは、床面上に載置される架台Bと、この架台Bの上に乗載されるアイソレーター本体Cとにより構成されている。
(第2実施形態)
次に、本発明に係る空気清浄用フィルタユニットの第2実施形態について説明する。図7に示すように、フィルタユニット110は、内部に空洞を有する矩形状の筒体であって、ステンレス製金属板からなる筒体111と1つのHEPAフィルタ12とを備えている。
(第3実施形態)
次に、本発明に係る空気清浄用フィルタユニットの第3実施形態について説明する。フィルタユニット210は、上記第1実施形態に係るフィルタユニット10と同様の構成をしている。但し、パッキン15に代えて、液体シール215を備えている(図8参照)。この液体シール215は、シール凸部215aとシール凹部215bとこれらの間に充填されるシール剤215cとから構成されている。
(第4実施形態)
次に、本発明に係る空気清浄用フィルタユニットの第4実施形態について説明する。フィルタユニット310は、上記第1実施形態に係るフィルタユニット10と同様の構成をしている。但し、フィルタユニット10の空気導入口部14に取付ける蓋体16に代えて、可撓性のゴムシート316が空気導入口部14を閉じるように設けられている(図9参照)。
(第5実施形態)
次に、本発明に係る空気清浄用フィルタユニットの第5実施形態について説明する。フィルタユニット410は、上記第1実施形態に係るフィルタユニット10と同様の構成をしている。但し、フィルタユニット410の天板411aに開口する空気導入口部14の周縁部には、周縁部の全周に亘って上方に延出するステンレス製金属板からなる環状の取付口部17が設けられている(図12参照)。
1.上記第1実施形態においては、フィルタユニットの交換作業にバッグイン・バッグアウト法は使用していない。しかし、これに限定するものではなく、簡略化したバッグイン・バッグアウト法を利用することは有効である。例えば、フィルタユニットを装着する際に受承部材の下方に予めバッグを装着しておくと、ウェットダウンの際に排気面からの洗浄水の染み出しを捕捉することができる。また、フィルタユニットを取外す際に当該バッグの中に収納することで更に安全性が向上する。
2.上記第1実施形態においては、ハウジングをチャンバーの下方に配設することにより、フィルタユニットをチャンバーの排気口に直接装着するものである。しかし、これに限定するものではなく、例えば、排気口からダクトを経由してチャンバーの上部に配設されたハウジングにフィルタユニットを装着するようにしてもよい。
3.上記第1実施形態においては、給気用ブロワーと排気用ブロワーを停止した状態でフィルタユニットを交換するものである。しかし、これに限定するものではなく、例えば、排気用ブロワーを稼働した状態で交換作業をするようにしてもよい。この場合には、交換作業中に何らかの理由で化学物質等が飛散した場合にも、排気用ブロワーによる吸気によりハウジング内から化学物質等が外部環境に漏洩することを防止できる。この場合には、ハウジングの下流側に他のフィルタを装着しておくことが有効である。
4.上記第1実施形態においては、チャンバーの前面及び背面に2つのガラス隔壁が設けられているが、チャンバーに設けるガラス隔壁の数は、これに限るものではなく、全く設けない場合、1面のみ設ける場合、或いは、4面全てに設けるようにしてもよい。
5.上記第1実施形態においては、ガラス隔壁43は、上下左右の各端部をそれぞれ対向する壁面と当接することなく一定の距離を保った状態で4つの支持具により前面及び背面の両壁部から支持されている。しかし、これに限定するものではなく、例えば、ガラス隔壁の左右端部をそれぞれ対向する側壁面に当接するようにして当該側壁面により支持するようにしてもよい。この場合には、チャンバーの内部空間を中央空間と周辺空間により明確に区分けすることができる。
6.上記第1実施形態においては、チャンバーには4つのグローブが装着されているが、チャンバーに装着するグローブの数は、これらに限るものではない。また、グローブに代えて、ハーフスーツ等を装着するようにしてもよい。
7.上記第1実施形態においては、チャンバーの内部空間を上方から下方に向かう一方向流の空気を形成するために複数の空気通過孔を有する整流板を採用するが、これに限定するものではなく、細かなメッシュを有するスクリーン紗を貼付した整流板を採用するようにしてもよい。
8.上記各実施形態においては、給気用フィルタ及びフィルタユニットには、HEPAフィルタを使用するものであるが、HEPAフィルタに限るものではなく、ULPAフィルタその他の高性能フィルタをチャンバー内で使用する化学物質等の有害な物質に合わせて、適宜選定すればよい。
9.本発明に係る空気清浄用フィルタユニットは、アイソレーター装置に使用することに限定するものではなく、化学物質等を取り扱う更に大きな作業室或いはRABSなどに使用するようにしてもよい。
Claims (9)
- 作業室内から排気される空気を清浄化するために当該作業室の排気口の外部に当該作業室と連接するように装着され、
前記排気口から排出される空気を導入する空気導入口部を設けてなる第1壁部と、前記第1壁部に交差するように形成されて前記空気導入口部から導入される導入空気を排出する空気排出口部を設けてなる第2壁部とを有する矩形状の筒体と、
前記筒体に設けられて前記導入空気を濾過するフィルタ部材とを備え、
前記フィルタ部材は、その排気面において、前記空気排出口部の外壁面を構成するように当該空気排出口部に設けられて前記濾過された空気を排出するようにした空気清浄用フィルタユニットであって、
前記空気導入口部の外周部を取り囲むように前記第1壁部の前記作業室と対向する側に設けられた環状のシール部材と、
前記空気導入口部を気密的に閉鎖する脱着可能な蓋体とを具備し、
前記作業室と連接する際に前記空気導入口部を前記作業室の排気口に対向するように装着することにより、前記シール部材が前記作業室の外壁部に気密的に当接することを特徴とする空気清浄用フィルタユニット。 - 作業室内から排気される空気を清浄化するために当該作業室の排気口の外部に当該作業室と連接するように装着され、
前記排気口から排出される空気を導入する空気導入口部を設けてなる第1壁部と、前記第1壁部に交差するように形成されて前記空気導入口部から導入される導入空気を排出する空気排出口部を設けてなる第2壁部とを有する矩形状の筒体と、
前記筒体に設けられて前記導入空気を濾過するフィルタ部材とを備え、
前記フィルタ部材は、その排気面において、前記空気排出口部の外壁面を構成するように当該空気排出口部に設けられて前記濾過された空気を排出するようにした空気清浄用フィルタユニットであって、
前記空気導入口部の外周部を取り囲むように前記第1壁部の前記作業室と対向する側に設けられた環状のシール部材と、
前記空気導入口部の外周縁部から内側に延出されて当該空気導入口部を開閉可能に閉じる複数枚の可撓性シートを有する開閉部材とを具備し、
前記作業室と連接する際に前記作業室の排気口から外部に向けて設けられた延出部が前記複数枚の可撓性シートを押し曲げて前記空気導入口部の内部に挿入されることにより、前記複数枚の可撓性シートが前記延出部の外周部に当接すると共に、前記シール部材が前記作業室の外壁部に気密的に当接することを特徴とする空気清浄用フィルタユニット。 - 前記作業室と連接する際に前記空気導入口部の内周部を前記作業室の排気口から外部に向けて設けられた延出部の外周部に沿って装着することにより、前記シール部材が前記作業室の外壁部に気密的に当接することを特徴とする請求項1又は2に記載の空気清浄用フィルタユニット。
- 前記空気導入口部の外周部と前記環状のシール部材との間から外部に向けて設けられた延出部を具備し、
前記作業室と連接する際に前記空気導入口部が具備する延出部の外周部を前記作業室の排気口の内周部に沿って装着することにより、前記シール部材が前記作業室の外壁部に気密的に当接することを特徴とする請求項1又は2に記載の空気清浄用フィルタユニット。 - 前記シール部材は、環状の凹部を有する環状の延出部と当該環状の凹部に充填されたシール剤とからなる液体シールであって、
前記作業室と連接する際に前記空気導入口部の前記環状の凹部に前記作業室の外周部を取り囲むように外部に向けて延出するように設けられた環状の凸部を嵌合することにより、前記環状の凹部と前記環状の凸部と前記シール剤とによって前記作業室の外壁部に気密的に当接することを特徴とする請求項1又は2に記載の空気清浄用フィルタユニット。 - 前記筒体に設けられて前記導入空気を濾過する他のフィルタ部材を備えており、
前記筒体は、前記第2壁部に対向するように形成されて前記導入空気を排出する他の空気排出口部を設けてなる第3壁部を有して、
前記他のフィルタ部材は、その排気面において、前記他の空気排出口部の外壁面を構成するように当該他の空気排出口部に設けられて前記濾過された空気を排出することを特徴とする請求項1〜5のいずれか1つに記載の空気清浄用フィルタユニット。 - 前記空気導入口部は、前記第1壁部と前記第2壁部との境界線に沿って長手状に開口していることを特徴とする請求項1〜6のいずれか1つに記載の空気清浄用フィルタユニット。
- 作業室と、
前記作業室の内部に空気を給気する給気手段と、
前記作業室の内部の空気を排気する排気手段とを備えるアイソレーター装置において、
前記排気手段は、請求項1〜7のいずれか1つに記載の空気清浄用フィルタユニットを備えており、
前記空気清浄用フィルタユニットは、前記作業室から排気される空気の流路に脱着可能に装着されていることを特徴とするアイソレーター装置。 - 作業室と、
前記作業室の内部に上方から下方に向かう一方向流の空気を給気する給気手段と、
前記作業室の下方から前記一方向流の空気を排気する排気手段とを備えるアイソレーター装置において、
前記一方向流の空気に沿って前記作業室の周壁部に並行に設けられる少なくとも1つの隔壁と、
前記作業室の底壁部に形成されて前記隔壁の下端部の幅方向に沿って開口する長手状の排気口とを備えており、
前記排気手段は、請求項1〜7のいずれか1つに記載の空気清浄用フィルタユニットを備えており、
前記空気清浄用フィルタユニットは、前記排気口から排気される前記一方向流の空気の流路に脱着可能に装着されていることを特徴とするアイソレーター装置。
Priority Applications (8)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010138841A JP5689255B2 (ja) | 2010-06-18 | 2010-06-18 | 空気清浄用フィルタユニット及びアイソレーター装置 |
US13/699,571 US8915984B2 (en) | 2010-06-18 | 2011-06-10 | Isolator device |
EP15190062.8A EP2995361B1 (en) | 2010-06-18 | 2011-06-10 | Filter unit |
PCT/JP2011/063415 WO2011158763A1 (ja) | 2010-06-18 | 2011-06-10 | アイソレーター装置 |
CN201180030159.2A CN102946970B (zh) | 2010-06-18 | 2011-06-10 | 隔离装置 |
EP11795670.6A EP2583737B1 (en) | 2010-06-18 | 2011-06-10 | Isolator device |
CN201410483866.2A CN104324563B (zh) | 2010-06-18 | 2011-06-10 | 过滤器单元 |
US14/536,987 US9494328B2 (en) | 2010-06-18 | 2014-11-10 | Filter unit |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010138841A JP5689255B2 (ja) | 2010-06-18 | 2010-06-18 | 空気清浄用フィルタユニット及びアイソレーター装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012000576A JP2012000576A (ja) | 2012-01-05 |
JP5689255B2 true JP5689255B2 (ja) | 2015-03-25 |
Family
ID=45533203
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010138841A Active JP5689255B2 (ja) | 2010-06-18 | 2010-06-18 | 空気清浄用フィルタユニット及びアイソレーター装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5689255B2 (ja) |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5785882B2 (ja) * | 2012-02-07 | 2015-09-30 | 株式会社日立産機システム | ケミカルハザード対策用キャビネット |
CN103506096A (zh) * | 2012-06-25 | 2014-01-15 | 威格高纯气体设备科技(苏州工业园区)有限公司 | 一种手套箱净化材料再生装置 |
JP2015121347A (ja) * | 2013-12-24 | 2015-07-02 | 日本エアーテック株式会社 | アイソレーターにおけるヘパフィルターの交換方法 |
JP6484458B2 (ja) * | 2014-06-04 | 2019-03-13 | ニッタ株式会社 | 空気清浄化装置のフィルタ洗浄装置およびフィルタ洗浄方法 |
IT201600078030A1 (it) * | 2016-07-26 | 2018-01-26 | I M A Industria Macch Automatiche S P A In Sigla Ima S P A | Gruppo di ventilazione per camere a contaminazione controllata |
JP6993121B2 (ja) * | 2017-06-26 | 2022-01-13 | 株式会社ダルトン | 空気清浄化装置 |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5416395Y2 (ja) * | 1971-04-08 | 1979-06-27 | ||
JPS5414098A (en) * | 1977-07-01 | 1979-02-01 | Hitachi Ltd | Clening bench with air curtain |
JPS62170118U (ja) * | 1986-04-14 | 1987-10-28 | ||
JPH0763387A (ja) * | 1993-08-26 | 1995-03-07 | Sanyo Electric Co Ltd | 安全キャビネットの外気吸込装置 |
JP2004069184A (ja) * | 2002-08-07 | 2004-03-04 | Masuda Clean Tech Co Ltd | クリーンブース式集塵移動作業台 |
CH699257B1 (de) * | 2006-05-15 | 2010-02-15 | Skan Ag | Filtervorrichtung für einem Reinraum. |
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