WO2011132440A1 - アクティブマトリクス基板及び表示装置 - Google Patents

Abstract

　アクティブマトリクス基板（２０）の額縁領域（２４）には、スイッチング素子を駆動するための走査信号線駆動回路（３２）が設けられており、走査信号線駆動回路（３２）を構成する複数の回路部（３６）には、各々駆動用ＴＦＴ素子（４２）が設けられており、額縁領域（２４）には、駆動用ＴＦＴ素子（４２）に信号を供給する第２の配線としての枝配線（４３）と、枝配線（４３）に接続された第１の配線としての接続配線（４４）とが設けられており、接続配線（４４）と枝配線（４３）とは接続部（６０）において接続されており、枝配線（４３）について、当該配線の配線幅を規定する両辺が、平面視において、第２の絶縁層に設けられているコンタクトホール（６１）の内に配置されている。

Description

アクティブマトリクス基板及び表示装置

　本発明は、絶縁基板にアクティブ素子が設けられたアクティブマトリクス基板、及び、このアクティブマトリクス基板が用いられた表示装置に関するものである。

　近年、薄膜トランジスタ（Ｔｈｉｎ　Ｆｉｌｍ　Ｔｒａｎｓｉｓｔｏｒ、以下「ＴＦＴ」と称す）等が画素のスイッチング素子として用いられているアクティブマトリクス型表示装置は、応答速度が速く、多階調表示が容易で、テレビを始め、携帯電話、携帯型ゲーム機、車載用ナビゲーション装置などに幅広く利用されている。

　アクティブマトリクス型表示装置は、通常アクティブマトリクス基板と対向基板とが互いに対向して配置されており、これらの基板の間に表示素子（液晶、有機ＥＬ等）がシール材によって封入されている。

　一方、走査信号線駆動回路やデータ信号線駆動回路がアクティブマトリクス基板にモノリシックに形成されている表示装置は、額縁領域の減少や信頼性向上が可能で、携帯電話、携帯型ゲーム機など携帯情報端末に好適に利用されている。

　（アクティブマトリクス基板）
　以下、図９に基づいて、走査信号線駆動回路がモノリシックに形成されているアクティブマトリクス基板の概略構成について説明する。図９は、アクティブマトリクス基板の要部の概略構成を示す平面図である。

　図９に示すように、アクティブマトリクス基板２０は、ガラス基板などからなる絶縁基板２１の中央部分に、表示領域２２が形成されており、該表示領域２２には画素電極や表示駆動用ＴＦＴ素子（スイッチング素子）（図示せず）がマトリクス状に形成されている。表示駆動用ＴＦＴ素子のゲート電極には走査信号線３０が接続されており、ソース電極にはデータ信号線３１が接続されており、ドレイン電極には画素電極（図示せず）が接続されている。走査信号線３０とデータ信号線３１とは、アクティブマトリクス基板２０の表示領域２２上で互いに直交する方向に設けられている。なお、走査信号線３０とデータ信号線３１とは、それらが直交する部分で互いに電気的に接続されないように、アクティブマトリクス基板２０上の異なる層に、絶縁層を介して設けられている。

　表示領域２２の周囲の領域であり、アクティブマトリクス基板２０の基板端辺２６の近傍領域に額縁領域２４が形成されており、表示領域２２を挟んで該額縁領域２４の左右側（図９に示す矢印Ｘ方向）には、走査信号線駆動回路３２が設けられている。走査信号線駆動回路３２は、走査信号線３０と電気的に接続されており、走査信号線３０に走査信号を印加する。

　表示領域２２を挟んで額縁領域２４の左右両側に走査信号線駆動回路３２が設けられているため、１本の走査信号線３０に対して、両側から信号が入力される場合、信号の波形なまりを低減させることができる。よって、走査信号線駆動回路３２を構成する複数の駆動用ＴＦＴ素子の大きさを小さくすることができるため、額縁領域２４が狭いアクティブマトリクス基板２０を提供することができる。一方、１本の走査信号線３０に対して、片側から信号が入力される場合であっても、走査信号線３０を、右側の走査信号線駆動回路３２により駆動されるグループと、左側の走査信号線駆動回路３２により駆動されるグループとに分けることにより、アクティブマトリクス基板２０の左右の額縁領域２４を均等にすることができる。

　額縁領域２４の上下側（図９に示す矢印Ｙ方向）の一側にはドライバ３３が設けられている。ドライバ３３は、データ信号線３１と電気的に接続されており、データ信号線３１にデータ信号を印加する。

　クロック配線などからなる走査信号線駆動回路用配線群３５は、金属薄膜等でパターニングされた端子３４に接続されており、ＦＰＣ（Ｆｌｅｘｉｂｌｅ　ｐｒｉｎｔｅｄ　ｃｉｒｃｕｉｔｓ）（図示せず）等を介して、外部のＤＣ／ＤＣコンバータや表示制御回路から、走査信号線駆動回路３２を動作させるために必要な信号を入力する。

　なお、図９に示すアクティブマトリクス基板２０は、走査信号線駆動回路３２が表示領域２２の両側に設けられているが、片側の構成も可能である。また、走査信号線駆動回路用配線群３５に供給する信号を、ドライバ３３から供給する構成も可能である。

　（特許文献１）
　走査信号線駆動回路の具体的な構成としては、例えば特許文献１に記載の構成がある。

　図１０は、特許文献１に記載の走査信号線駆動回路の要部の構成を示す配置図である。

　図１０に示すように、アクティブマトリクス基板１００の額縁領域には、走査信号線駆動回路４００とクロック配線などからなる走査信号線駆動回路用配線１２２と、接続配線１７２とが設けられている。

　走査信号線駆動回路４００には、複数の駆動用ＴＦＴ素子Ｔ５・Ｔ６・Ｔ１０・Ｔ１１・Ｔ４１～Ｔ４５などが設けられており、走査信号線駆動回路用配線１２２は、直接にあるいは接続配線１７２を介して、各駆動用ＴＦＴ素子に必要な信号を印加する。

　なお、走査信号線駆動回路用配線１２２と接続配線１７２とは、２つのコンタクトホール２００を介して電気的に接続されている。

日本国公開特許公報「特開２００６－３９５２４号公報（２００６年２月９日公開）」 日本国公開特許公報「特開２００５－３５２４５５号公報（２００５年１２月２２日公開）」 日本国公開特許公報「特開平１１－１９０８５７号公報（１９９９年７月１３日公開）」 日本国公開特許公報「特開２０００－１９９９１７号公報（２０００年７月１８日公開）」

　しかしながら、上記特許文献１に記載された構成では、上記接続配線１７２は走査信号線駆動回路用配線１２２に対して突出する形状となっており、且つ、上記走査信号線駆動回路用配線１２２と上記接続配線１７２とは、２つのコンタクトホール２００を介して電気的に接続されているため、接続部の占有面積が大きくなり、額縁領域が大きくなるという問題が生じる。

　本発明は、上記の問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、額縁領域が狭く、信頼性が高いアクティブマトリクス基板及び表示装置を提供することにある。

　上記の課題を解決するために、本発明のアクティブマトリクス基板は、
　絶縁基板上に、スイッチング素子と、当該スイッチング素子に接続された画素電極とがマトリクス状に設けられてなるアクティブマトリクス基板であって、
　上記絶縁基板において、上記画素電極がマトリクス状に配置されている領域が表示領域であり、
　上記表示領域の周辺の領域が額縁領域であり、
　上記額縁領域には、上記スイッチング素子を駆動するための駆動回路が設けられており、
　上記駆動回路を構成する複数の回路部には、各々駆動素子が設けられており、
　上記額縁領域には、上記絶縁基板上に順に、上記駆動素子に信号を供給するための、第１の配線と第２の配線とが設けられており、
　上記第１の配線と上記第２の配線との間には、第１の絶縁層が設けられており、
　上記第１の配線及び上記第２の配線のうち少なくとも１つの配線と、上記第１の絶縁層とを覆う、第２の絶縁層が設けられており、
　上記第１の配線と上記第２の配線とを接続する接続部において、
　上記第２の絶縁層には、第１のコンタクトホールが設けられており、
　上記第１の配線及び上記第２の配線のうち少なくとも１つの配線について、当該配線の配線幅を規定する辺のうちの少なくとも１辺が、平面視において、上記第１のコンタクトホールの内に配置されていることを特徴とする。

　上記構成によれば、第１の配線と上記第２の配線とが接続する部分の占有面積を縮小させ、駆動回路の占有面積を小さくすることが可能となる。よって、狭額縁化が容易となる。

　さらに、各配線間スペースを広くすることが可能となるので、配線間リークを低減することができる。よって、歩留り向上を図ることができる。

　上記の課題を解決するために、本発明のアクティブマトリクス基板は、
　絶縁基板上に、スイッチング素子と、当該スイッチング素子に接続された画素電極とがマトリクス状に設けられてなるアクティブマトリクス基板であって、
　上記絶縁基板において、上記画素電極がマトリクス状に配置されている領域が表示領域であり、
　上記表示領域の周辺の領域が額縁領域であり、
　上記額縁領域には、上記スイッチング素子を駆動するための駆動回路が設けられており、
　上記駆動回路を構成する複数の回路部には、各々駆動素子が設けられており、
　上記額縁領域には、上記絶縁基板上に順に、上記駆動素子に信号を供給するための、第１の配線と第２の配線とが設けられており、
　上記第１の配線と上記第２の配線の間には、第１の絶縁層が設けられており、
　上記第１の配線及び上記第２の配線のうち少なくとも１つの配線と、上記第１の絶縁層とを覆う、第２の絶縁層が設けられており、
　上記第１の配線と上記第２の配線とを接続する接続部において、
　上記第２の絶縁層には、第１のコンタクトホールが２つ設けられており、
　上記２つの第１のコンタクトホールのそれぞれは、上記第１の配線及び上記第２の配線のうちの何れか一方の配線が延伸された方向に沿って設けられており、
　上記第１の配線及び上記第２の配線のうちの他方の配線の一部は、平面視において、上記２つの第１のコンタクトホールの何れのコンタクトホール内にも設けられており、
　上記他方の配線の一部について、当該配線の配線幅を規定する辺のうちの少なくとも１辺が、平面視において、上記第１のコンタクトホールの内に配置されていることを特徴とする。

　上記構成によれば、２箇所において、第１の配線と第２の配線とが電気的に接続されている。そのため、第１の配線と第２の配線とを確実に接続することができ、信頼性を向上させることが可能である。

　また、上述のとおり、接続部の占有面積を縮小し、走査信号線駆動回路の占有面積を小さくすることが可能である。よって、狭額縁化が容易となる。

　また、例えば第１の配線に対する第２の配線のアライメントズレ、或いはコンタクトホールに対する第２の配線のアライメントズレが生じた場合でも、２箇所の接続部の面積の合計が変動しにくい。

　本発明のアクティブマトリクス基板は、絶縁基板上に、スイッチング素子と、当該スイッチング素子に接続された画素電極とがマトリクス状に設けられてなるアクティブマトリクス基板であって、
　上記絶縁基板において、上記画素電極がマトリクス状に配置されている領域が表示領域であり、
　上記表示領域の周辺の領域が額縁領域であり、
　上記額縁領域には、上記スイッチング素子を駆動するための駆動回路が設けられており、
　上記駆動回路を構成する複数の回路部には、各々駆動素子が設けられており、
　上記額縁領域には、上記絶縁基板上に順に、上記駆動素子に信号を供給するための、第１の配線と第２の配線とが設けられており、
　上記第１の配線と上記第２の配線との間には、第１の絶縁層が設けられており、
　上記第１の配線及び上記第２の配線のうち少なくとも１つの配線と、上記第１の絶縁層とを覆う、第２の絶縁層が設けられており、
　上記第１の配線と上記第２の配線とを接続する接続部において、
　上記第２の絶縁層には、第１のコンタクトホールが設けられており、
　上記第１の配線及び上記第２の配線のうち少なくとも１つの配線について、当該配線の配線幅を規定する辺のうちの少なくとも１辺が、平面視において、上記第１のコンタクトホールの内に配置されているものである。

　それゆえ、第１の配線と第２の配線とが接続する部分の占有面積を縮小させ、駆動回路の占有面積を小さくすることが可能であり、狭額縁化が容易となる。

　さらに、各配線間スペースを広くすることが可能となり、配線間リークを低減でき、歩留り向上を図ることができる。

図１の（ａ）は、実施の形態１に係る走査信号線駆動回路の要部の構成を示す配置図であり、図１の（ｂ）は、図１の（ａ）に示す切替部の構成を示す拡大図である。 実施の形態１に係る表示装置の要部の構成を示す側面図である。 図３の（ａ）は、実施の形態１に係る切替部の構成を示す平面図であり、図３の（ｂ）は、図３の（ａ）に示す切替部のＸ－Ｘ´線断面図である。 図３の（ａ）に示す切替部のＸ－Ｘ´線断面図である。 実施の形態１に係る走査信号線駆動回路の要部の構成を示す配置図である。 実施の形態１に係る接続部の構成を示す平面図である。 図７の（ａ）～図７の（ｇ）は、実施の形態１に係る切替部の構成の変形例を示す平面図である。 図８の（ａ）は、実施の形態２に係る切替部の構成を示す平面図であり、図８の（ｂ）は、図８の（ａ）に示す切替部のＸ－Ｘ´線断面図である。 従来のアクティブマトリクス基板の要部の概略構成を示す平面図である。 特許文献１に記載の走査信号線駆動回路の要部の構成を示す配置図である。 図１１の（ａ）は、従来の切替部の構成を示す平面図であり、図１１の（ｂ）は、図１１の（ａ）に示す切替部のＸ－Ｘ´線断面図である。 図１２の（ａ）は、従来の切替部の構成を示す平面図であり、図１２の（ｂ）は、図１１の（ａ）に示す切替部の示すＸ－Ｘ´線断面図である。

　以下、本発明の実施の形態について、詳細に説明する。

　〔実施の形態１〕
　本発明の一実施の形態について、図１～図７に基づいて説明すれば以下のとおりである。

　（表示装置）
　図２は、本実施の形態に係る表示装置の要部の概略構成を示す側面図である。

　図２に示すように、表示装置１０には、アクティブマトリクス基板２０と対向基板８０とがシールを介して互いに対向して配置されている。

　対向基板８０には、対向電極やカラーフィルタ（図示せず）が備えられている。一方、アクティブマトリクス基板２０には、表示領域２２に、画素電極や表示駆動用ＴＦＴ素子（図示せず）がマトリクス状に備えられており、表示領域２２を挟んで額縁領域２４の両側に、走査信号線駆動回路３２がモノリシックに設けられている。

　なお、上記走査信号線駆動回路３２が設けられる位置は特には限定されるものではない。例えば、他の形態としては、図２において、アクティブマトリクス基板２０が対向基板８０と重なっていない位置に、走査信号線駆動回路３２ａ・３２ｂとして設けることも可能である。また、図２における、走査信号線駆動回路３２と走査信号線駆動回路３２ａ・３２ｂとを併設することも可能である。

　走査信号線駆動回路３２は、外光による動作不良を避けるために、対向基板８０に設けられたブラックマトリクスと重なるように設けられる。走査信号線駆動回路３２ａ・３２ｂとして設ける場合には、遮光テープなどの遮光部材を３２ａ・３２ｂ上に配置する等の遮光対策を実施することが好ましい。

　ここで、アクティブマトリクス基板２０は、先に図９に基づいて説明したアクティブマトリクス基板２０とほぼ同様の概略構成を有しているため、説明の便宜上、同じ機能を有する部材については、同じ符号を付記し、具体的な説明を省略する。

　以下、走査信号線駆動回路３２について詳細に説明する。

　（走査信号線駆動回路）
　図１の（ａ）は、本実施の形態に係る走査信号線駆動回路の要部の構成を示す配置図であり、図１の（ｂ）は、図１の（ａ）に示す走査信号線駆動回路において、切替部の構成を示す局部拡大図である。

　ここで、上記切替部とは、異なる層に形成されている配線同士を接続する接続部の一例であり、以下に説明する枝配線と接続配線とを接続する接続部を、枝配線と幹配線とを接続する接続部と区別するために用いるものである。

　図１の（ａ）に示すように、アクティブマトリクス基板２０の額縁領域２４には、走査信号線駆動回路３２と、走査信号線駆動回路用配線群３５とが設けられている。

　走査信号線駆動回路３２として、複数の回路部３６が設けられており、各々回路部３６には、駆動用ＴＦＴ素子４２が形成されている。

　また、走査信号線駆動回路用配線群３５として、アクティブマトリクス基板２０のＹ方向に沿って、幹配線としての低電位電源配線４０と、幹配線としての第１クロック配線４１ａと、幹配線としての第２クロック配線４１ｂとが設けられている。具体的には、基板端辺２６から表示領域２２の方に向かって、１本の低電位電源配線４０、続いて第１クロック配線４１ａ、第２クロック配線４１ｂが設けられている。

　ここで、表示領域２２とは、スイッチング素子としての表示駆動用ＴＦＴ素子（図示せず）と、当該表示駆動用ＴＦＴ素子に接続された画素電極（図示せず）とがマトリクス状に配置されている領域である。

　また、走査信号線駆動回路用配線群３５と、各回路部３６に設けられている各駆動用ＴＦＴ素子４２とを接続するために、アクティブマトリクス基板２０のＸ方向に沿って、第２の配線の一例としての枝配線４３が設けられている。走査信号線駆動回路用配線群３５としての低電位電源配線４０は、低電位電源配線４０からＸ方向に延設されている枝配線４３を介して、駆動用ＴＦＴ素子４２に低電位信号を供給する。ここで、低電位信号とは、ＴＦＴ素子４２をＯＦＦ状態にするためにＴＦＴ素子４２のゲート電極に供給する信号である。一方、走査信号線駆動回路用配線群３５としての第１クロック配線４１ａ及び第２クロック配線４１ｂは、枝配線４３を介して、駆動用ＴＦＴ素子４２にクロック信号を供給する。なお、枝配線４３と第１クロック配線４１ａ及び第２クロック配線４１ｂとの接続部５０にそれぞれ２つのコンタクトホール５１ａ・５１ｂが設けられており、接続導体４５を介して、第１クロック配線４１ａ及び第２クロック配線４１ｂは枝配線４３と電気的に接続されている。

　また、Ｘ方向に沿って複数の回路部３６が設けられてなる各段において、１本の第１クロック配線４１ａあるいは第２クロック配線４１ｂと電気的に接続された枝配線４３が設けられており、この枝配線４３を介して、クロック配線４１ａ・４１ｂから第１クロック信号と第２クロック信号の何れか一方のクロック信号が供給される。

　なお、同じ段において、互いに隣接する回路部３６の間には、枝配線４３と電気的に接続された、第１の配線の一例としての接続配線４４が設けられており、この接続配線４４を介して、一部の回路部３６に上記一方のクロック信号が供給される。

　また、異なる段の間にも、接続配線４４が設けられており、この接続配線４４を介して、他段の枝配線４３から他方のクロック信号が供給される。

　上記構成により、各段において、第１クロック配線４１ａと第２クロック配線４１ｂにそれぞれ電気的に接続された２本の枝配線４３を設けた構成と比較して、枝配線４３の数が削減されるので、歩留まりの低下を抑制することができる。

　枝配線４３と接続配線４４との切替部６０にはコンタクトホール６１が設けられており、接続導体４５を介して、枝配線４３と接続配線４４とは電気的に接続されている。なお、図１の（ｂ）に示すように、枝配線４３について、当該配線の配線幅を規定する両辺が、平面視において、コンタクトホール６１の内に配置されており、切替部６０において、該枝配線４３の配線幅が一定であり、拡大しない。

　以下、各配線に用いられる導電性材料について説明する。

　（導電性材料）
　Ｙ方向に延伸する第１クロック配線４１ａ及び第２クロック配線４１ｂは、枝配線４３とは異なる層に設けられており、走査信号線３０（図９参照）を形成する第１導電性材料Ｍ１で形成されている。

　他方、Ｙ方向に延伸する低電位電源配線４０と、Ｘ方向に延伸する枝配線４３とは、データ信号線３１（図９参照）を形成する第２導電性材料Ｍ２で形成されている。

　また、枝配線４３と接続配線４４とは、異なる層に設けられており、接続配線４４は、第１導電性材料Ｍ１で形成されている。接続導体４５は、画素電極を形成する第３導電性材料Ｍ３で形成されている。

　ここで、第１導電性材料Ｍ１としてアルミニウム合金膜（Ａｌ）からなる単層膜を用いて、第２導電性材料Ｍ２として、チタン（Ｔｉ）膜とアルミニウム（Ａｌ）膜からなる積層膜を用いて、第３導電性材料Ｍ３として、ＩＴＯ（Ｉｎｄｉｕｍ　Ｔｉｎ　Ｏｘｉｄｅ：酸化インジウムスズ）膜を用いることができるが、これに限定されることはない。例えば、第３導電性材料Ｍ３として、ＩＺＯ（Ｉｎｄｉｕｍ　Ｚｉｎｃ　ｏｘｉｄｅ：　酸化インジウム亜鉛）などを用いてもよい。また、接続導体４５は、画素電極を形成する材料に限定されない。例えば、ＦＦＳ（Ｆｒｉｎｇｅ　Ｆｉｅｌｄ　Ｓｗｉｔｃｈｉｎｇ）モード、ＩＰＳ（Ｉｎ－ｐｌａｎｅ　Ｓｗｉｔｃｈｉｎｇ）モード等においては、画素電極を形成する基板側に、共通電極が形成されるが、この共通電極を形成する導電性材料で接続導体４５を形成してもよい。

　本実施の形態においては、低電位電源配線４０は第２導電性材料Ｍ２で形成されているが、第１導電性材料Ｍ１で形成されてもよい。その場合、低電位電源配線４０と、第２導電性材料Ｍ２で形成されている枝配線４３とは、コンタクトホールにおいて接続導体４５を介して接続されていても良い。

　以下、図３～図４に基づいて、上記切替部６０の構成をさらに詳細に説明する。

　（切替部）
　先ず、従来の切替部の構成について説明する。

　図１１の（ａ）は、従来の切替部の構成を示す平面図であり、図１１の（ｂ）は、図１１の（ａ）に示す切替部のＸ－Ｘ´線断面図である。

　図１１の（ａ）に示すように、枝配線２４３と接続配線２４４との切替部２６０に２つのコンタクトホール２６１ａ・２６１ｂが設けられており、接続導体２４５を介して、枝配線２４３と接続配線２４４とは電気的に接続されている。

　なお、切替部２６０において、枝配線２４３と接続配線２４４との配線幅は拡大する。

　具体的には、図１１の（ｂ）に示すように、ガラス基板などからなる絶縁基板２２１上に、接続配線２４４、絶縁層２４７ａ、枝配線２４３、絶縁層２４７ｂ、接続導体２４５が順に積層されており、枝配線２４３と接続配線２４４とは、平面視において、重なっていない。なお、絶縁層２４７ａと枝配線２４３との間に半導体層２４８が形成されている。

　コンタクトホール２６１ａでは、接続導体２４５と枝配線２４３とが電気的に接続されている。一方、コンタクトホール２６１ｂでは、接続導体２４５と接続配線２４４とが電気的に接続されている。

　枝配線２４３と接続配線２４４とは、平面視において、重なっておらず、それぞれコンタクトホール２６１ａ・２６１ｂにおいて接続導体２４５と電気的に接続されている。よって、切替部２６０の占有面積が大きい。

　図３の（ａ）は、本実施の形態に係る切替部の構成を示す平面図であり、図３の（ｂ）は、図３の（ａ）に示す切替部のＸ－Ｘ´線断面図である。

　図３の（ａ）に示すように、枝配線４３と接続配線４４との切替部６０にコンタクトホール６１が設けられており、このコンタクトホール６１において接続導体４５を介して、枝配線４３と接続配線４４とは電気的に接続されている。

　なお、枝配線４３について、当該配線の配線幅を規定する両辺が、平面視において、コンタクトホール６１の内に配置されている。すなわち、切替部６０において、枝配線４３の配線幅が一定であり、拡大しない。

　具体的には、図３の（ｂ）に示すように、ガラス基板などからなる絶縁基板２１上に、接続配線（第１の配線）４４、絶縁層（第１の絶縁層）４７ａ、枝配線４３（第２の配線）、絶縁層（第２の絶縁層）４７ｂ、接続導体４５が順に積層されており、枝配線４３と接続配線４４とは、平面視において、重なっている。なお、接続導体４５の段切れを防止するために、絶縁層４７ａと枝配線４３との間に半導体層４８が形成されている。

　上記コンタクトホール６１は、上記第１の絶縁層４７ａに設けられている第２のコンタクトホール、及び、上記第２の絶縁層４７ｂに設けられている第１のコンタクトホールから構成されている。

　詳しくは、コンタクトホール６１は、３つの部分コンタクトホール６１Ａ・６１Ｂ・６１Ｃに分けられており、上記コンタクトホール６１Ａ・６１Ｃが上記第２のコンタクトホールに相当し、その上層と上記コンタクトホール６１Ｂとが上記第１のコンタクトホールに相当する。

　そして、コンタクトホール６１Ａ・６１Ｃでは、接続導体４５と接続配線４４とが電気的に接続されている。コンタクトホール６１Ａ・６１Ｃの間に形成されているコンタクトホール６１Ｂでは、接続導体４５と枝配線４３とが電気的に接続されている。

　すなわち、平面視において、枝配線４３の配線幅を規定する両辺がコンタクトホール６１の内に設けられている。

　上記構成により、本実施の形態に係る切替部６０の占有面積を従来より小さくすることができる。

　また、枝配線４３の配線幅を規定する両辺がコンタクトホール６１の内に設けられているため、製造工程のフォトリソ工程において、接続配線４４に対する枝配線４３のアライメントズレが生じた場合でも、切替部６０の面積が変動しにくい。

　なお、図４に示すように、接続配線４４から枝配線４３に至るテーパー部において、絶縁層４７ａは、階段状に形成されていても良い。図４は、図３の（ａ）に示す切替部のＸ－Ｘ´線断面図である。

　ここで、例えば、枝配線４３および絶縁層４７ｂをマスクとして、絶縁層４７ａをエッチング除去する場合、あるいは、絶縁層４７ｂが有機膜（例えばアクリル系樹脂膜）と無機膜（例えば窒化シリコン膜）の２層構造であり、上層の有機膜のパターンと枝配線４３をマスクとして、下層の無機膜と絶縁層４７ａをエッチング除去する場合、枝配線４３がエッチングストッパになるため、その下の絶縁層４７ａは残存する。しかしながら、マスクとして作用する、枝配線４３がエッチングされないため、その下の絶縁層４７ａが急速にエッチングされる場合がある。この場合、絶縁層４７ａが枝配線４３の下に入り込む逆テーパー形状になり、接続導体４５が断線しやすくなる。

　本実施の形態においては、枝配線４３と絶縁層４７ａとの間に、絶縁層４７ａよりエッチング速度の遅い半導体層４８を配置しており、枝配線４３下の絶縁層４７ａが急速にエッチングされることが無くなる。すなわち、絶縁層４７ａのパターン端部を順テーパに形成することができ、接続導体４５の断線を低減できる。

　本実施の形態においては、絶縁層４７ａと枝配線４３との間に半導体層４８が形成されている構成であるが、これに限定することなく、形成しなくても良い。

　図５は、本実施の形態に係る走査信号線駆動回路の要部の構成を示す配置図である。

　図５に示すように、走査信号線駆動回路３２内には、複数のコンタクトホール６１が設けられており、このコンタクトホール６１において、枝配線４３と接続配線４４とは電気的に接続されており、各駆動用ＴＦＴ４２は互いに電気的に接続されている。

　なお、枝配線４３の配線幅を規定する両辺が、平面視において、コンタクトホール６１内に設けられているため、コンタクトホール６１の占有面積が縮小し、走査信号線駆動回路３２の占有面積が小さくなり、狭額縁化が容易となる。

　さらに、コンタクトホール６１と各配線間スペースを広くすることが可能となり、配線間リークを低減でき、歩留り向上を図ることができる。

　以下、図６に基づいて、上記幹配線３５としての第１クロック配線４１ａ／第２クロック配線４１ｂと枝配線４３との接続部５０の構成をさらに詳細に説明する。

　（接続部）
　幹配線３５としての第１クロック配線４１ａ及び第２クロック配線４１ｂは、高抵抗化による信号遅延を抑えるために、枝配線４３より太く形成されている。

　ここで、接続部の低抵抗化と信頼性向上のため、相対的に線幅が広い１つの配線に対して、複数個のコンタクトホールを配置する場合がある。

　図６は、本実施の形態に係る接続部の構成を示す平面図である。

　図６に示すように、第２の配線の一例としての枝配線４３と、第１の配線の一例であり且つ幹配線としての第１クロック配線４１ａ／第２クロック配線４１ｂとの接続部５０には、２つのコンタクトホール５１ａ・５１ｂが設けられており、接続導体４５を介して、第１クロック配線４１ａ／第２クロック配線４１ｂと枝配線４３とは電気的に接続されている。

　具体的には、２つのコンタクトホール５１ａ・５１ｂのそれぞれは、Ｙ方向に沿って設けられており、枝配線４３の一部は、平面視において、上記２つのコンタクトホール５１ａ・５１ｂの何れのコンタクトホール内にも設けられている。また、枝配線４３の配線幅を規定する辺の中で１辺が、平面視において、コンタクトホール５１ａの内に設けられており、他辺が、平面視において、コンタクトホール５１ｂの内に設けられている。

　コンタクトホール５１ａでは、接続導体４５を介して枝配線４３と第１クロック配線４１ａ／第２クロック配線４１ｂとが電気的に接続されており、コンタクトホール５１ｂでも、接続導体４５を介して枝配線４３と第１クロック配線４１ａ／第２クロック配線４１ｂとが電気的に接続されている。すなわち、２箇所において、枝配線４３と第１クロック配線４１ａ／第２クロック配線４１ｂとは電気的に接続されている。これにより、枝配線４３と第１クロック配線４１ａ／第２クロック配線４１ｂとは確実に電気的に接続されることができ、信頼性の向上が可能である。

　また、幹配線３５に対する枝配線４３のアライメントズレ、或いはコンタクトホール５１ａ・５１ｂに対する枝配線４３のアライメントズレが生じた場合でも、２箇所の接続部の面積の合計が変動しにくい。

　また、枝配線４３をコンタクトホール５１ａ・５１ｂそれぞれに内在化させることにより、２つのコンタクトホール５１ａ・５１ｂが設けられている構成において、接続部５０の占有面積を縮小し、走査信号線駆動回路３２の占有面積を小さくすることが可能であり、狭額縁化が容易となる。

　本実施の形態においては、枝配線４３と第１クロック配線４１ａ／第２クロック配線４１ｂとの接続部５０には、それぞれ２つのコンタクトホール５１ａ・５１ｂが設けられており、接続導体４５を介して、第１クロック配線４１ａ／第２クロック配線４１ｂと枝配線４３とはそれぞれ電気的に接続されているが、これに限定されることなく、例えば図３等に基づいて説明した上記切替部６０と同じ構成にしても良い。

　また、本実施の形態においては、枝配線４３と接続配線４４との切替部６０には、１つの配線に対して、１つのコンタクトホールが設けられているが、これに限定されることなく、１つの配線に対して複数のコンタクトホールを設けてもよく、例えば接続部５０と同じ構成にしても良い。

　以下、図７に基づいて、上記切替部６０の変形例について説明する。

　〔変形例１〕
　本発明の表示装置に関する変形例について、図７の（ａ）に基づいて説明すれば、以下のとおりである。

　なお、説明の便宜上、上記実施の形態１にて説明した図面と同じ機能を有する部材については、同じ符号を付記し、その説明を省略する。

　本変形例は、上記の実施の形態１における切替部６０の別の構成にかかる例である。

　図７の（ａ）に示すように、枝配線４３と接続配線４４との切替部６０にコンタクトホール６１が設けられており、接続導体４５を介して、枝配線４３と接続配線４４とは電気的に接続されている。

　なお、切替部６０において、枝配線４３の配線幅を規定する一辺が、平面視において、コンタクトホール６１の内に設けられている。また、切替部６０において、枝配線４３の線幅は一定であり、拡大しない。

　上記構成により、切替部６０の占有面積を縮小し、走査信号線駆動回路３２の占有面積を小さくすることが可能であり、狭額縁化が容易となる。

　さらに、各配線間スペースを広くすることが可能となり、配線間リークを低減でき、歩留り向上を図ることができる。

　〔変形例２〕
　本発明の表示装置に関する変形例について、図７の（ｂ）に基づいて説明すれば、以下のとおりである。

　なお、説明の便宜上、上記実施の形態１にて説明した図面と同じ機能を有する部材については、同じ符号を付記し、その説明を省略する。

　本変形例は、上記の実施の形態１における切替部６０の別の構成にかかる例である。

　図７の（ｂ）に示すように、枝配線４３と接続配線４４との切替部６０にコンタクトホール６１が設けられており、接続導体４５を介して、枝配線４３と接続配線４４とは電気的に接続されている。

　なお、切替部６０において、枝配線４３の配線幅を規定する一辺が、平面視において、コンタクトホール６１の内に設けられている。

　また、枝配線４３について、平面視において、コンタクトホール６１の内に、突起部７２が設けられており、その配線幅が拡大する。

　枝配線４３に突起部７２を設けることにより、切替部６０の面積を調整をすることが容易となる。例えば、第２導電性材料Ｍ２からなる枝配線４３と第３導電性材料Ｍ３からなる接続導体４５との接続抵抗が、第１導電性材料Ｍ１からなる接続配線４４と第３導電性材料Ｍ３からなる接続導体４５との接続抵抗より高い場合は、突起部７２を付加することで、接続面積を拡大し、全体の接続抵抗を最適化することができる。

　〔変形例３〕
　本発明の表示装置に関する変形例について、図７の（ｃ）に基づいて説明すれば、以下のとおりである。

　なお、説明の便宜上、上記実施の形態１にて説明した図面と同じ機能を有する部材については、同じ符号を付記し、その説明を省略する。

　本変形例は、上記の実施の形態１における切替部６０の別の構成にかかる例である。

　図７の（ｃ）に示すように、枝配線４３と接続配線４４との切替部６０にコンタクトホール６１が設けられており、接続導体４５を介して、枝配線４３と接続配線４４とは電気的に接続されている。

　なお、切替部６０において、接続配線４４について、当該配線の配線幅を規定する両辺が、平面視において、コンタクトホール６１の内に配置されており、枝配線４３について、当該配線の配線幅を規定する辺の中で１辺が、平面視において、コンタクトホール６１の内に配置されている。また、切替部６０において、枝配線４３及び接続配線４４の配線幅は一定であり、拡大しない。

　上記構成により、切替部６０の占有面積を縮小し、走査信号線駆動回路３２の占有面積を小さくすることが可能であり、狭額縁化が容易となる。

　さらに、各配線間スペースを広くすることが可能となり、配線間リークを低減でき、歩留り向上を図ることができる。

　〔変形例４〕
　本発明の表示装置に関する変形例について、図７の（ｄ）に基づいて説明すれば、以下のとおりである。

　なお、説明の便宜上、上記実施の形態１にて説明した図面と同じ機能を有する部材については、同じ符号を付記し、その説明を省略する。

　本変形例は、上記の実施の形態１における切替部６０の別の構成にかかる例である。

　図７の（ｄ）に示すように、枝配線４３と接続配線４４との切替部６０にコンタクトホール６１ａ・６１ｂが設けられており、接続導体４５を介して、枝配線４３と接続配線４４とは電気的に接続されている。なお、コンタクトホール６１ａ・６１ｂは、接続配線４４の延伸方向に沿って並んで設けられている。

　コンタクトホール６１ｂでは、接続導体４５と枝配線４３とが電気的に接続されており、コンタクトホール６１ａでは、接続導体４５と接続配線４４とが電気的に接続されている。なお、枝配線４３の配線幅を規定する両辺が、平面視において、コンタクトホール６１ｂの内に設けられている。すなわち、切替部６０において、枝配線４３の配線幅が一定であり拡大しない。

　上記構成により、切替部６０の占有面積を縮小し、走査信号線駆動回路３２の占有面積を小さくすることが可能であり、狭額縁化が容易となる。

　さらに、各配線間スペースを広くすることが可能となり、配線間リークを低減でき、歩留り向上を図ることができる。

　〔変形例５〕
　本発明の表示装置に関する変形例について、図７の（ｅ）に基づいて説明すれば、以下のとおりである。

　なお、説明の便宜上、上記実施の形態１にて説明した図面と同じ機能を有する部材については、同じ符号を付記し、その説明を省略する。

　本変形例は、上記の実施の形態１における切替部６０の別の構成にかかる例である。

　図７の（ｅ）に示すように、枝配線４３と接続配線４４との切替部６０にコンタクトホール６１ａ・６１ｂが設けられており、接続導体４５を介して、枝配線４３と接続配線４４とは電気的に接続されている。なお、コンタクトホール６１ａ・６１ｂは、枝配線４３の延伸方向に沿って並んで設けられている。

　コンタクトホール６１ｂでは、接続導体４５と枝配線４３とが電気的に接続されており、コンタクトホール６１ａでは、接続導体４５と接続配線４４とが電気的に接続されている。なお、接続配線４４について、当該配線の配線幅を規定する両辺が、平面視において、コンタクトホール６１ｂの内に設けられている。すなわち、切替部６０において、接続配線４４の線幅が一定であり、拡大しない。

　上記構成により、切替部６０の占有面積を縮小し、走査信号線駆動回路３２の占有面積を小さくすることが可能であり、狭額縁化が容易となる。

　さらに、各配線間スペースを広くすることが可能となり、配線間リークを低減でき、歩留り向上を図ることができる。

　〔変形例６〕
　本発明の表示装置に関する変形例について、図７の（ｆ）及び図７の（ｇ）に基づいて説明すれば、以下のとおりである。上記図７の（ｆ）は、本変形例の切替部６０を示す図であり、上記図７の（ｇ）は、上記図７の（ｆ）のＸ－Ｘ’線断面図である。

　なお、説明の便宜上、上記実施の形態１にて説明した図面と同じ機能を有する部材については、同じ符号を付記し、その説明を省略する。

　本変形例は、上記の実施の形態１における切替部６０の別の構成にかかる例である。

　図７の（ｆ）及び図７の（ｇ）に示すように、本変形例では、接続配線（第１の配線）４４の配線幅を規定する両辺が、平面視においてコンタクトホール６１の内に配置されている。

　すなわち、第１の配線としての接続配線４４の配線幅を規定する辺が、平面視において、第２の絶縁層４７ｂに設けられたコンタクトホール６１である第１のコンタクトホールの内に配置されている。

　上記構成により、切替部６０の占有面積を縮小することができるので、上述のように、狭額縁化や歩留り向上が容易になる。

　〔他の構成〕
　本発明の表示装置に関連する他の構成について、図８に基づいて説明すれば、以下のとおりである。

　なお、説明の便宜上、上記実施の形態１にて説明した図面と同じ機能を有する部材については、同じ符号を付記し、その説明を省略する。

　以下の構成は、上記の実施の形態１における切替部６０の他の構成を示している。

　先ず、従来の切替部の構成について説明する。

　図１２の（ａ）は、従来の切替部の構成を示す平面図であり、図１２の（ｂ）は、図１２の（ａ）に示す切替部のＸ－Ｘ´線断面図である。

　図１２の（ａ）に示すように、枝配線３４３と接続配線３４４との切替部３６０にコンタクトホール３６１が設けられており、このコンタクトホール３６１を介して、枝配線３４３と接続配線３４４とは直接に電気的に接続されている。

　なお、切替部３６０において、枝配線３４３及び接続配線３４４の配線幅は拡大する。

　図１２の（ｂ）に示すように、ガラス基板などからなる絶縁基板３２１上に、接続配線３４４、絶縁層３４７ａ、枝配線３４３、絶縁層３４７ｂが順に積層されている。枝配線３４３と接続配線３４４とは、コンタクトホール３６１を介して直接に電気的に接続されている。

　切替部３６０において、枝配線３４３と接続配線３４４とも配線幅が拡大するため、切替部３６０の占有面積は大きい。

　図８の（ａ）は、本構成に係る切替部の構成を示す平面図であり、図８の（ｂ）は、図８の（ａ）に示す切替部のＸ－Ｘ´線断面図である。

　図８の（ａ）に示すように、枝配線４３と接続配線４４との切替部６０にコンタクトホール６１が設けられており、このコンタクトホール６１を介して、枝配線４３と接続配線４４とは直接に電気的に接続されている。

　なお、切替部６０において、接続配線４４の配線幅を規定する両辺が、平面視において、コンタクトホール６１の内に設けられている。すなわち、切替部６０において、接続配線４４の配線幅は一定であり、拡大しない。

　具体的には、図８の（ｂ）に示すように、ガラス基板などからなる絶縁基板２１上に、接続配線４４、絶縁層４７ａ、枝配線４３、絶縁層４７ｂが順に積層されている。枝配線４３と接続配線４４とは、コンタクトホール６１を介して直接に電気的に接続されている。

　なお、切替部６０において、接続配線４４の配線幅は拡大しない。

　上記構成により、切替部６０の占有面積を縮小し、走査信号線駆動回路３２の占有面積を小さくすることが可能であり、狭額縁化が容易となる。

　さらに、各配線間スペースを広くすることが可能となり、配線間リークを低減でき、歩留り向上を図ることができる。

　すなわち、上記他の構成のアクティブマトリクス基板は、
　絶縁基板上に、スイッチング素子と、当該スイッチング素子に接続された画素電極とがマトリクス状に設けられてなるアクティブマトリクス基板であって、
　上記絶縁基板において、上記画素電極がマトリクス状に配置されている領域が表示領域であり、
　上記表示領域の周辺の領域が額縁領域であり、
　上記額縁領域には、上記スイッチング素子を駆動するための駆動回路が設けられており、
　上記駆動回路を構成する複数の回路部には、各々駆動素子が設けられており、
　上記額縁領域には、上記絶縁基板上に順に、上記駆動素子に信号を供給するための、第１の配線と第２の配線とが設けられており、
　上記第１の配線と上記第２の配線との間には、第１の絶縁層が設けられており、
　上記第１の絶縁層には、コンタクトホールが設けられており、
　上記第１の配線と上記第２の配線とは、上記コンタクトホールにおいて、他の接続導体を介することなく直接に接続されており、
　上記第１の配線及び上記第２の配線のうち少なくとも１つの配線について、当該配線の配線幅を規定する辺のうちの少なくとも１辺が、平面視において、上記コンタクトホールの内に配置されているものである。

　上記構成によれば、上述の通り、狭額縁化が容易となることに加えて、接続配線と枝配線との接続における抵抗値の増加を抑制することができる。

　また、接続導体を用いないため、接続導体に起因する不良を低減することができる。

　例えば、配線や絶縁膜のエッジ部における接続導体の断線や、接続部にシールが配置された場合におけるシール材に混入したスペーサ材（繊維状ガラス等）による接続導体の断線を低減できる。

　なお、本発明は上述した各実施形態に限定されるものではなく、請求項に示した範囲で種々の変更が可能であり、異なる実施形態にそれぞれ開示された技術的手段を適宜組み合わせて得られる実施形態についても本発明の技術的範囲に含まれる。

　本発明のアクティブマトリクス基板は、
　絶縁基板上に、スイッチング素子と、当該スイッチング素子に接続された画素電極とがマトリクス状に設けられてなるアクティブマトリクス基板であって、
　上記絶縁基板において、上記画素電極がマトリクス状に配置されている領域が表示領域であり、
　上記表示領域の周辺の領域が額縁領域であり、
　上記額縁領域には、上記スイッチング素子を駆動するための駆動回路が設けられており、
　上記駆動回路を構成する複数の回路部には、各々駆動素子が設けられており、
　上記額縁領域には、上記絶縁基板上に順に、上記駆動素子に信号を供給するための、第１の配線と第２の配線とが設けられており、
　上記第１の配線と上記第２の配線との間には、第１の絶縁層が設けられており、
　上記第１の配線及び上記第２の配線のうち少なくとも１つの配線と、上記第１の絶縁層とを覆う、第２の絶縁層が設けられており、
　上記第１の配線と上記第２の配線とを接続する接続部において、
　上記第２の絶縁層には、第１のコンタクトホールが設けられており、
　上記第１の配線及び上記第２の配線のうち少なくとも１つの配線について、当該配線の配線幅を規定する辺のうちの少なくとも１辺が、平面視において、上記第１のコンタクトホールの内に配置されていることを特徴とする。

　上記構成によれば、第１の配線と上記第２の配線とが接続する部分の占有面積を縮小させ、駆動回路の占有面積を小さくすることが可能となる。よって、狭額縁化が容易となる。

　さらに、各配線間スペースを広くすることが可能となるので、配線間リークを低減することができる。よって、歩留り向上を図ることができる。

　また、本発明のアクティブマトリクス基板は、
　上記接続部には、上記第１の絶縁層に、第２のコンタクトホールが設けられていることが好ましい。

　また、本発明のアクティブマトリクス基板は、
　上記第１の配線と上記第２の配線とは、上記第１のコンタクトホール及び上記第２のコンタクトホールに設けられた接続導体を介して電気的に接続されていることが好ましい。

　また、本発明のアクティブマトリクス基板は、
　上記接続導体は、上記画素電極と同じ材料から構成されていることが好ましい。

　上記構成によれば、接続導体と画素電極とを、同じ導電層をパターニングして形成することができ、該接続導体を介して、第１の配線と第２の配線とを電気的に接続することができる。そのため、工程を簡素化することができる。

　また、本発明のアクティブマトリクス基板は、
上記第１の配線及び上記第２の配線のうちの一方の配線が、上記駆動素子に接続された枝配線であり、
　上記第１の配線及び上記第２の配線のうちの他方の配線が、上記枝配線に接続された接続配線であり、
　上記接続配線は、上記枝配線が接続された駆動素子とは異なる段の駆動素子に接続されていることが好ましい。

　上記構成によれば、各駆動素子に信号を供給する枝配線と接続配線とが接続する部分の占有面積を縮小させ、駆動回路の占有面積を小さくすることが可能となる。よって、狭額縁化が容易となる。

　また、枝配線の数が削減されるので、歩留まりの低下を抑制することができる。

　また、本発明のアクティブマトリクス基板は、
　上記第１の配線及び上記第２の配線のうちの一方の配線が、上記駆動素子に接続された枝配線であり、
　上記第１の配線及び上記第２の配線のうちの他方の配線が、上記枝配線に接続された接続配線であり、
　上記接続配線は、上記枝配線が接続された駆動素子と同じ段の異なる駆動素子に接続されていることが好ましい。

　上記構成によれば、各駆動素子に信号を供給する枝配線と接続配線とが接続する部分の占有面積を縮小させ、駆動回路の占有面積を小さくすることが可能となる。よって、狭額縁化が容易となる。

　また、本発明のアクティブマトリクス基板は、
　上記接続部で接続されている上記接続配線と上記枝配線とについて、平面視において、当該枝配線の延伸方向を水平方向とした場合、当該枝配線の上側、下側、又は上側及び下側の何れかの領域に、上記枝配線と同じ材料から構成されている配線が配置されていることが好ましい。

　上記構成によれば、各配線間スペースを広くすることが可能となる。結果、配線間リークを低減でき、歩留り向上を図ることができる。

　また、本発明のアクティブマトリクス基板は、
　上記第１の配線及び上記第２の配線のうちの何れか一方の配線について、当該配線の配線幅を規定する両辺が、平面視において、上記第１のコンタクトホールの内に配置されていることが好ましい。

　上記構成によれば、第１の配線又は第２の配線とが接続する部分の占有面積をさらに縮小させ、駆動回路の占有面積を小さくすることが可能となる。よって、狭額縁化がより容易となる。

　また、各配線間スペースをより広くすることが可能となるので、歩留りをより向上させることができる。

　また、例えば第１の配線の配線幅を規定する両辺が上記コンタクトホール内に配置されている場合、製造工程のフォトリソ工程において、第２の配線に対する第１の配線のアライメントズレ、或いはコンタクトホールに対する第１の配線のアライメントズレが生じた場合でも、接続部の面積が変動しにくい。

　また、本発明のアクティブマトリクス基板は、
　上記第１の配線及び上記第２の配線のうちの何れか一方の配線について、当該配線の配線幅を規定する辺のうちの１辺のみが、平面視において、上記第１のコンタクトホールの内に配置されていることが好ましい。

　上記構成によれば、上述の通り、第１の配線と第２の配線とが接続する部分の占有面積を縮小させることができるので、狭額縁化が容易となる。

　さらに、各配線間スペースを広くすることが可能となるので、歩留り向上を図ることができる。

　また、本発明のアクティブマトリクス基板は、
　上記第１の配線及び上記第２の配線の何れの配線についても、当該配線の配線幅を規定する辺のうちの少なくとも１辺が、平面視において、上記第１のコンタクトホールの内に配置されていることが好ましい。

　上記構成によれば、上述の通り、狭額縁化及び歩留り向上を図ることができる。

　また、本発明のアクティブマトリクス基板は、
　上記第１の配線及び上記第２の配線のうちの何れか一方の配線について、平面視において、上記第１のコンタクトホールの内で、その配線幅が拡大するように設けられていることが好ましい。

　上記構成によれば、上述の通り、狭額縁化及び歩留り向上を図ることができる。

　加えて、上記構成によれば、接続部の面積を調整をすることが容易となる。そのため、例えば、第２導電性材料からなる第２の配線と第３導電性材料からなる接続導体との接続抵抗が、第１導電性材料からなる第１の配線と第３導電性材料からなる接続導体との接続抵抗より高い場合であっても、配線幅を拡大することで、接続面積を拡大し、全体の接続抵抗を最適化することができる。また、複数の接続部における、各接続抵抗のばらつきを低減できるので、表示品位が向上する。

　また、本発明のアクティブマトリクス基板は、
　上記接続部において接続されている配線であって、当該配線の配線幅を規定する辺のうちで少なくとも１辺が、平面視において、上記第１のコンタクトホールの内に配置されている配線は、上記第１のコンタクトホールにおいてその配線幅が拡大していないことが好ましい。

　上記構成によれば、上述の通り、狭額縁化が容易となる。

　本発明のアクティブマトリクス基板は、
　絶縁基板上に、スイッチング素子と、当該スイッチング素子に接続された画素電極とがマトリクス状に設けられてなるアクティブマトリクス基板であって、
　上記絶縁基板において、上記画素電極がマトリクス状に配置されている領域が表示領域であり、
　上記表示領域の周辺の領域が額縁領域であり、
　上記額縁領域には、上記スイッチング素子を駆動するための駆動回路が設けられており、
　上記駆動回路を構成する複数の回路部には、各々駆動素子が設けられており、
　上記額縁領域には、上記絶縁基板上に順に、上記駆動素子に信号を供給するための、第１の配線と第２の配線とが設けられており、
　上記第１の配線と上記第２の配線の間には、第１の絶縁層が設けられており、
　上記第１の配線及び上記第２の配線のうち少なくとも１つの配線と、上記第１の絶縁層とを覆う、第２の絶縁層が設けられており、
　上記第１の配線と上記第２の配線とを接続する接続部において、
　上記第２の絶縁層には、第１のコンタクトホールが２つ設けられており、
　上記２つの第１のコンタクトホールのそれぞれは、上記第１の配線及び上記第２の配線のうちの何れか一方の配線が延伸された方向に沿って設けられており、
　上記第１の配線及び上記第２の配線のうちの他方の配線の一部は、平面視において、上記２つの第１のコンタクトホールの何れのコンタクトホール内にも設けられており、
　上記他方の配線の一部について、当該配線の配線幅を規定する辺のうちの少なくとも１辺が、平面視において、上記第１のコンタクトホールの内に配置されていることを特徴とする。

　上記構成によれば、２箇所において、第１の配線と第２の配線とが電気的に接続されている。そのため、第１の配線と第２の配線とを確実に接続することができ、信頼性を向上させることが可能である。

　また、上述のとおり、接続部の占有面積を縮小し、走査信号線駆動回路の占有面積を小さくすることが可能である。よって、狭額縁化が容易となる。

　また、例えば第１の配線に対する第２の配線のアライメントズレ、或いはコンタクトホールに対する第２の配線のアライメントズレが生じた場合でも、２箇所の接続部の面積の合計が変動しにくい。

　また、本発明のアクティブマトリクス基板は、
　上記接続部には、上記第１の絶縁層に、第２のコンタクトホールが設けられていることを特徴とする。

　また、本発明のアクティブマトリクス基板は、
　上記第１の配線及び上記第２の配線のうちの一方の配線が、上記駆動素子に接続された枝配線であり、
　上記第１の配線及び上記第２の配線のうちの他方の配線が、外部から上記枝配線に信号を供給する幹配線であり、
　上記幹配線には、複数の上記枝配線が共通接続されていることが好ましい。

　上記構成によれば、上述のとおり、接続部の占有面積を縮小し、走査信号線駆動回路の占有面積を小さくすることが可能である。よって、狭額縁化が容易となる。

　また、２箇所において、幹配線と枝配線とが電気的に接続されている場合、幹配線と枝配線とを確実に接続することができ、信頼性を向上させることが可能である。

　また、例えば幹配線に対する枝配線のアライメントズレ、或いはコンタクトホールに対する枝配線のアライメントズレが生じた場合でも、２箇所の接続部の面積の合計が変動しにくい。

　また、本発明のアクティブマトリクス基板は、
　上記スイッチング素子及び上記駆動素子がトランジスタ素子であることが好ましい。

　本発明の表示装置は、上記アクティブマトリクス基板と対向基板とが互いに対向して配置されていることが好ましい。

　上記構成によれば、表示装置の狭額縁化が容易となる。

　本発明は、アクティブマトリクス基板において、額縁領域を狭くし、信頼性を向上することができるので、液晶表示装置などの表示装置に好適に利用することができる。

　１０　　　　　　　　　表示装置
　１６　　　　　　　　　絶縁基板
　２０　　　　　　　　　アクティブマトリクス基板
　２１　　　　　　　　　絶縁基板
　２２　　　　　　　　　表示領域
　２４　　　　　　　　　額縁領域
　２６　　　　　　　　　基板端辺
　３０　　　　　　　　　走査信号線
　３１　　　　　　　　　データ信号線
　３２　　　　　　　　　走査信号線駆動回路
　３３　　　　　　　　　ドライバ
　３４　　　　　　　　　端子
　３５　　　　　　　　　走査信号線駆動回路用配線群
　３６　　　　　　　　　回路部
　４０　　　　　　　　　低電位電源配線
　４１ａ　　　　　　　　第１クロック配線　（第１の配線）
　４１ｂ　　　　　　　　第２クロック配線　（第１の配線）
　４２　　　　　　　　　駆動用ＴＦＴ素子
　４３　　　　　　　　　枝配線　　（第２の配線）
　４４　　　　　　　　　接続配線　（第１の配線）
　４５　　　　　　　　　接続導体
　４７ａ　　　　　　　　絶縁層　（第１の絶縁層）
　４７ｂ　　　　　　　　絶縁層　（第２の絶縁層）
　４８　　　　　　　　　半導体層
　５０　　　　　　　　　接続部
　５１　　　　　　　　　コンタクトホール
　６０　　　　　　　　　切替部　（接続部）
　６１　　　　　　　　　コンタクトホール
　７２　　　　　　　　　突起部
　８０　　　　　　　　　対向基板

Claims (18)

1. 　絶縁基板上に、スイッチング素子と、当該スイッチング素子に接続された画素電極とがマトリクス状に設けられてなるアクティブマトリクス基板であって、
   　上記絶縁基板において、上記画素電極がマトリクス状に配置されている領域が表示領域であり、
   　上記表示領域の周辺の領域が額縁領域であり、
   　上記額縁領域には、上記スイッチング素子を駆動するための駆動回路が設けられており、
   　上記駆動回路を構成する複数の回路部には、各々駆動素子が設けられており、
   　上記額縁領域には、上記絶縁基板上に順に、上記駆動素子に信号を供給するための、第１の配線と第２の配線とが設けられており、
   　上記第１の配線と上記第２の配線との間には、第１の絶縁層が設けられており、
   　上記第１の配線及び上記第２の配線のうち少なくとも１つの配線と、上記第１の絶縁層とを覆う、第２の絶縁層が設けられており、
   　上記第１の配線と上記第２の配線とを接続する接続部において、
   　上記第２の絶縁層には、第１のコンタクトホールが設けられており、
   　上記第１の配線及び上記第２の配線のうち少なくとも１つの配線について、当該配線の配線幅を規定する辺のうちの少なくとも１辺が、平面視において、上記第１のコンタクトホールの内に配置されていることを特徴とするアクティブマトリクス基板。
2. 　上記接続部には、上記第１の絶縁層に、第２のコンタクトホールが設けられていることを特徴とする請求項１に記載のアクティブマトリクス基板。
3. 　上記第１の配線と上記第２の配線とは、上記第１のコンタクトホール及び上記第２のコンタクトホールに設けられた接続導体を介して電気的に接続されていることを特徴とする請求項２に記載のアクティブマトリクス基板。
4. 　上記第１の配線及び上記第２の配線のうちの一方の配線が、上記駆動素子に接続された枝配線であり、
   　上記第１の配線及び上記第２の配線のうちの他方の配線が、上記枝配線に接続された接続配線であり、
   　上記接続配線は、上記枝配線が接続された駆動素子とは異なる段の駆動素子に接続されていることを特徴とする請求項１から３の何れか１項に記載のアクティブマトリクス基板。
5. 　上記第１の配線及び上記第２の配線のうちの一方の配線が、上記駆動素子に接続された枝配線であり、
   　上記第１の配線及び上記第２の配線のうちの他方の配線が、上記枝配線に接続された接続配線であり、
   　上記接続配線は、上記枝配線が接続された駆動素子と同じ段の異なる駆動素子に接続されていることを特徴とする請求項１から３の何れか１項に記載のアクティブマトリクス基板。
6. 　上記接続部で接続されている上記接続配線と上記枝配線とについて、平面視において、当該枝配線の延伸方向を水平方向とした場合、当該枝配線の上側、下側、又は上側及び下側の何れかの領域に、上記枝配線と同じ材料から構成されている配線が配置されていることを特徴とする請求項４又は５に記載のアクティブマトリクス基板。
7. 　上記第１の配線及び上記第２の配線のうちの何れか一方の配線について、当該配線の配線幅を規定する両辺が、平面視において、上記第１のコンタクトホールの内に配置されていることを特徴とする請求項１から６の何れか１項に記載のアクティブマトリクス基板。
8. 　上記第１の配線及び上記第２の配線のうちの何れか一方の配線について、当該配線の配線幅を規定する辺のうちの１辺のみが、平面視において、上記第１のコンタクトホールの内に配置されていることを特徴とする請求項１から６の何れか１項に記載のアクティブマトリクス基板。
9. 　上記第１の配線及び上記第２の配線の何れの配線についても、当該配線の配線幅を規定する辺のうちの少なくとも１辺が、平面視において、上記第１のコンタクトホールの内に配置されていることを特徴とする請求項１から６の何れか１項に記載のアクティブマトリクス基板。
10. 　上記第１の配線及び上記第２の配線のうちの何れか一方の配線について、平面視において、上記第１のコンタクトホールの内で、その配線幅が拡大するように設けられていることを特徴とする請求項１から９の何れか１項に記載のアクティブマトリクス基板。
11. 　上記接続部において接続されている配線であって、当該配線の配線幅を規定する辺のうちで少なくとも１辺が、平面視において、上記第１のコンタクトホールの内に配置されている配線は、上記第１のコンタクトホールにおいてその配線幅が拡大していないことを特徴とする請求項１に記載のアクティブマトリクス基板。
12. 　絶縁基板上に、スイッチング素子と、当該スイッチング素子に接続された画素電極とがマトリクス状に設けられてなるアクティブマトリクス基板であって、
    　上記絶縁基板において、上記画素電極がマトリクス状に配置されている領域が表示領域であり、
    　上記表示領域の周辺の領域が額縁領域であり、
    　上記額縁領域には、上記スイッチング素子を駆動するための駆動回路が設けられており、
    　上記駆動回路を構成する複数の回路部には、各々駆動素子が設けられており、
    　上記額縁領域には、上記絶縁基板上に順に、上記駆動素子に信号を供給するための、第１の配線と第２の配線とが設けられており、
    　上記第１の配線と上記第２の配線の間には、第１の絶縁層が設けられており、
    　上記第１の配線及び上記第２の配線のうち少なくとも１つの配線と、上記第１の絶縁層とを覆う、第２の絶縁層が設けられており、
    　上記第１の配線と上記第２の配線とを接続する接続部において、
    　上記第２の絶縁層には、第１のコンタクトホールが２つ設けられており、
    　上記２つの第１のコンタクトホールのそれぞれは、上記第１の配線及び上記第２の配線のうちの何れか一方の配線が延伸された方向に沿って設けられており、
    　上記第１の配線及び上記第２の配線のうちの他方の配線の一部は、平面視において、上記２つの第１のコンタクトホールの何れのコンタクトホール内にも設けられており、
    　上記他方の配線の一部について、当該配線の配線幅を規定する辺のうちの少なくとも１辺が、平面視において、上記第１のコンタクトホールの内に配置されていることを特徴とするアクティブマトリクス基板。
13. 　上記接続部には、上記第１の絶縁層に、第２のコンタクトホールが設けられていることを特徴とする請求項１２に記載のアクティブマトリクス基板。
14. 　上記第１の配線と上記第２の配線とは、上記第１のコンタクトホール及び上記第２のコンタクトホールに設けられた接続導体を介して電気的に接続されていることを特徴とする請求項１３に記載のアクティブマトリクス基板。
15. 　上記第１の配線及び上記第２の配線のうちの一方の配線が、上記駆動素子に接続された枝配線であり、
    　上記第１の配線及び上記第２の配線のうちの他方の配線が、外部から上記枝配線に信号を供給する幹配線であり、
    　上記幹配線には、複数の上記枝配線が共通接続されていることを特徴とする請求項１又は１２に記載のアクティブマトリクス基板。
16. 　上記接続導体は、上記画素電極と同じ材料から構成されていることを特徴とする請求項３又は１４に記載のアクティブマトリクス基板。
17. 　上記スイッチング素子及び上記駆動素子がトランジスタ素子であることを特徴とする請求項１から１６の何れか１項に記載のアクティブマトリクス基板。
18. 　請求項１から１７の何れか１項に記載のアクティブマトリクス基板と対向基板とが互いに対向して配置されていることを特徴とする表示装置。

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