WO2007029605A1

WO2007029605A1 - ペースト組成物、誘電体組成物、キャパシタおよびペースト組成物の製造方法

Info

Publication number: WO2007029605A1
Application number: PCT/JP2006/317300
Authority: WO
Inventors: Toshihisa Nonaka; Yoshitake Hara; Masahiro Yoshioka
Original assignee: Toray Industries, Inc.
Priority date: 2005-09-06
Filing date: 2006-09-01
Publication date: 2007-03-15
Also published as: EP1939894A4; CN102117700B; CN102117700A; CN102122569A; TWI395783B; KR101233702B1; KR20080041711A; CN101258560B; EP1939894A1; US20090103236A1; CN101258560A; TW200714650A

Abstract

　　【課題】フラットパネルディスプレイ、フレキシブルディスプレイ、携帯情報端末のディスプレイ、タッチパネルなどの情報表示部材で、透明性が必要とされる領域に透明な高誘電率層を形成し、層間絶縁膜として透明電極などと組み合わせることにより透明なキャパシタを形成することができる誘電体組成物を提供する。　　【解決手段】（ａ）樹脂、（ｂ）ペロブスカイト系結晶構造を有する高誘電率無機粒子、および（ｃ）有機溶剤を含有してなるペースト組成物であって、（ｂ）高誘電率無機粒子の平均粒子径が０．００２μｍ以上０．０６μｍ以下であり、全有機溶剤量がペースト組成物全量の３５重量％以上８５重量％以下であるペースト組成物。また、（ａ）樹脂、（ｂ）ペロブスカイト系結晶構造を有する高誘電率無機粒子を含有してなる誘電体組成物であって、（ｂ）高誘電率無機粒子の平均粒子径が０．００２μｍ以上０．０６μｍ以下である誘電体組成物。

Description

明細書

ペースト組成物、誘電体組成物、キャパシタおよびペースト組成物の製造方法

技術分野

[0001] 本発明は、フラットパネルディスプレイ、フレキシブルディスプレイ、電子ペーパー、携帯情報端末のディスプレイ、タツチパネルなどの情報表示部材で、透明性が必要とされる領域に透明な高誘電率層を形成し、層間絶縁膜として透明電極などと組み合わせることにより透明なキャパシタなどを形成することができるペースト組成物および誘電体組成物、およびそれらによって形成された透明キャパシタに関する。

背景技術

[0002] 実装基板に内蔵するキャパシタ用の層間絶縁膜を作製する方法として、高誘電率無機粒子を榭脂中に分散したペースト組成物を塗布、乾燥、硬化させるという方法が知られている (特許文献 1〜2参照)。しカゝしながら、これらの方法により作製された層間絶縁膜は、用いている粒子の粒子径が大きいためと、膜厚が厚いためから、不透明であり、透明誘電体膜として用いることが困難であった。

[0003] 一方、液晶配向膜榭脂中に高誘電率無機粒子を分散させ、比誘電率を 6〜7に高めるという技術も知られている（特許文献 3参照)。この技術では榭脂単体の 2〜2. 5 倍となる比誘電率を得ているが、比誘電率の値が 6〜7と不十分で、この膜を層間絶縁膜とするキャパシタの静電容量は小さく実用的でない。

[0004] 無機粒子の榭脂材料中への分散は、まず、有機溶剤中へ無機粒子を良好に分散させた分散液を製造し、その後、分散液を榭脂と混合することで達成することができる。市販されてヽる平均粒子径がナノメートル〜数十ナノメートルオーダーである無機粒子は、個々の粒子（1次粒子)を適度に凝集させ、平均粒子径が数十 μ mの粉体状の粒子（2次粒子）として提供されている場合が多い。したがって、平均粒子径が 0 . 06 m以下の無機粒子の分散液を製造するためには、分散媒中で、これら 2次粒子の凝集を解し、 1次粒子が安定に分散した分散液を製造する必要がある。しかしながら、無機粒子の粒子径がより微小になると、凝集した無機粒子にせん断応力をカロえるための機構が粒子サイズに追随できなくなることから、無機粒子を分散媒中で均一分散させることが非常に困難となる。また、粒子重量に対する表面積の割合が高くなるため、分散が進行すると分散液の粘度が増加し、分散をさらに進めることが難しくなる。

[0005] 他方、無機粒子を 1次粒子の状態にして分散させる方法として、ホモジナイザーやビーズミル、超音波分散機などの分散装置を用いる方法が知られている。特に、無機粒子を平均粒子径 0. 06 m以下の微小粒子へと分散するには、微小ビーズの摩擦によるせん断応力により分散を促進するビーズミルを好ましく用いることができる。

[0006] 例えば、粒子径 70nm以下のシリカ粒子を有機溶剤中へ、ビーズミルを用いて分散させるものがある (特許文献 4参照)。しカゝしながら、特許文献 4に記載された方法は、シリカ粒子という極性が高く有機溶剤への分散が比較的容易な無機粒子についての方法であり、他の無機粒子に対しては有効でない。さらに、分散が容易なシリカ粒子においても、分散媒に使用する有機溶剤はアルコール系に限定され、ビーズミルでの分散後、遠心分離機を用いて、粒子径を小さくしている。また特許文献 4には、ァルミナなどのシリカ粒子よりも極性が小さい粒子に関する分散例が示されているが、シリカ粒子以外にっヽては具体的な粒子径分布が示されておらず、 1次粒子までの分散達成は難しいと考えられる。極性力、さい粒子として、ベロブスカイト系結晶構造を有する高誘電率無機粒子であるチタン酸バリウムなどが挙げられる。

[0007] また、ビーズミルを用いたナノメートルオーダーの炭素粒子の分散を行う方法も提案されている（特許文献 5参照)。し力しながら、特許文献 5に記載された方法では、分散媒としては極性が高い水を用いており、一般的な有機溶剤よりも分散が容易である。したがって、一般的な有機溶剤に対しては、特許文献 5に記載された方法は有効でない。

[0008] これら従来の分散方法は、無機粒子の種類や大きさ、分散媒の種類によって分散の度合いが左右されることが多ぐなかでもぺロブスカイト系結晶構造を有する高誘電率無機粒子の分散に適用した場合、安定した分散性を実現することは非常に困難であった。

特許文献 1：特開 2005 - 38821号公報 (特許請求の範囲）特許文献 2：特開 2004— 285105号公報 (特許請求の範囲）

特許文献 3：特開平 4 70818号公報 (特許請求の範囲）

特許文献 4：特開 2004— 346288号公報（6頁、実施例）

特許文献 5：米国特許出願公開第 2005Z8560号明細書

発明の開示

発明が解決しょうとする課題

[0009] 力かる状況に鑑み、本発明は、透明性が必要とされる領域に透明な高誘電率層を形成し、層間絶縁膜として透明電極などと組み合わせることにより透明なキャパシタや帯電量を制御できる透明誘電体層を形成することができるペースト組成物および誘電体組成物、およびそれらによって形成された透明キャパシタを提供する。

課題を解決するための手段

[0010] すなわち（a)榭脂、 (b)ベロブスカイト系結晶構造を有する高誘電率無機粒子、および (c)有機溶剤を含有してなるペースト組成物であって、 (b)高誘電率無機粒子の平均粒子径が 0. 002 m以上 0. 06 m以下であり、全有機溶剤量がペースト組成物全量の 35重量％以上 85重量％以下であるペースト組成物であり、その製造方法である。

[0011] また、本発明のもう一つの態様は、（a)榭脂、（b)ベロブスカイト系結晶構造を有する高誘電率無機粒子を含有してなる誘電体組成物であって、 (b)高誘電率無機粒子の平均粒子径が 0. 002 μ m以上 0. 06 μ m以下である誘電体組成物と、その誘電体組成物を絶縁膜として用いたキャパシタである。

発明の効果

[0012] 本発明によれば、比誘電率が大きぐ波長 400〜700nmの全域において光線透過率が高い誘電体組成物およびそれを得るための原料となるペースト組成物を得ることができる。さらには、本発明の組成物は、： L mという薄膜においても、リーク電流力 S小さぐ高電圧保持率が大きい。またこれらの誘電体組成物は、ディスプレイ部材などの高い可視光透過率を要求される用途でのキャパシタ用層間絶縁膜を提供することができる。図面の簡単な説明

[0013] [図 1]実施例における電圧保持率の算出で用いた上部電極と ITO透明電極間の電位差と印加矩形パルスの関係を示した図

発明を実施するための最良の形態

[0014] 本発明のペースト組成物は、（a)榭脂、（b)ぺロブスカイト系結晶構造を有する高誘電率無機粒子、および (c)有機溶剤を含有しており、（b)高誘電率無機粒子の平均粒子径が 0. 002 μ m以上 0. 06 μ m以下であって、全有機溶剤量がペースト組成物全量の 35重量％以上 85重量％以下である。

[0015] 本発明で用いる (b)ベロブスカイト系結晶構造を有する高誘電率無機粒子の平均粒子径 ίま、 0. 002 μ m以上 0. 06 μ m以下であり、好ましく ίま 0. 002 μ m以上 0. 04 /z m以下であり、より好ましくは 0. 002 m以上であることや 0. 03 m以下であることである。（b)ベロブスカイト系結晶構造を有する高誘電率無機粒子の平均粒子径が 0. 06 m以下であると、ペースト組成物を硬化させて得られる誘電体組成物の表面が平滑になりやすくなり、そのため表面での光の散乱が小さくなり、その結果、光線透過率を大きくできる。伝搬する光線が受けるレーリー散乱の強度は、光線が通過する媒質中にある粒子の粒子径の 3乗に正の相関関係があるため、誘電体組成物中の（ b)ベロブスカイト系結晶構造を有する高誘電率無機粒子の粒子径が小さ!/、ほど、 (b )高誘電率無機粒子による光線透過を阻害するレーリー散乱は小さくなる。 (b)ベロブスカイト系結晶構造を有する高誘電率無機粒子の平均粒子径が 0. 04 m以下であると、ペースト組成物を硬化させて得られる誘電体組成物に光を透過させる際に (b )高誘電率無機粒子により起こるレーリー散乱の抑制効果が顕著となり、光線透過率を大きくしゃすくなる。（b)ベロブスカイト系結晶構造を有する高誘電率無機粒子の平均粒子径が 0. 03 μ m以下であると、ペースト中の (b)高誘電率無機粒子の沈降が起きに《なる。（b)ベロブスカイト系結晶構造を有する高誘電率無機粒子の平均粒子径が 0. 002 m以上であると高誘電率無機粒子の結晶性が良くなるために、 ( b)高誘電率無機粒子の誘電率を大きくすることができるため、誘電体組成物の誘電率を大きくしゃすくなる。

[0016] 本発明のペースト組成物中の全有機溶剤量は、ペースト組成物全量の 35重量％以上 85重量％以下であり、さらには、 45重量％以上であることや、 75重量％以下であることが好ましい。有機溶剤量がペースト組成物全量の 85重量％以下では、ぺースト中の固形分量が十分多くなるため、塗布膜を形成した際に膜厚が薄い場合にも連続膜が得やすくなる。有機溶剤量がペースト組成物全量の 75重量％以下では、乾燥時の有機溶剤揮発による空隙の発生が抑制される。このため誘電体組成物の誘電率を大きくすることができ、かつ空隙によるレーリー散乱が抑制され光線透過率を高くすることができ、また吸湿の原因となりうる空隙の量が小さいために、湿度、水分の影響による物性変化を小さくできる。有機溶剤量がペースト組成物全量の 35重量％以上では、分散処理する前の段階にぉ、ての）高誘電率無機粒子の過剰な凝集を防ぎ粘度を低くできるため、分散処理開始時点において極端に高い粘度であると分散処理を開始できな、ことがあるビーズミルなどの分散装置での分散処理を行、やすい。有機溶剤量がペースト組成物全量の 45重量％以上では、高誘電率無機粒子を均一に分散した後のペーストの粘度も低くすることができるため、膜厚均一性が高ヽ塗布膜を形成しやすヽ。

[0017] ペースト組成物は、例えば、高誘電率無機粒子を液状榭脂ゃ榭脂溶液に加えて混合分散する方法や、予め高誘電率無機粒子を適当な有機溶剤中に分散した分散液を作製し、その分散液と液状榭脂もしくは榭脂溶液を混合するレットダウン法などによつて作製される。また、榭脂または有機溶剤中へ高誘電率無機粒子を分散させる方法は特に限定されず、例えば、超音波分散機、ボールミル、ロールミル、クレアミックス、ホモジナイザー、ビーズミル、メディア分散機などを使用する方法を用いることができるが、特に、高い分散性が達成できる点でボールミル、ホモジナイザー、ビーズミルを用いるのが好ましい。

[0018] 高誘電率無機粒子を分散させる際、分散性を向上させるために、例えば、高誘電率無機粒子の表面処理、組成物への分散剤の添加、界面活性剤の添加、溶剤の添加などを行ってもよい。

[0019] 高誘電率無機粒子の表面処理としては、シラン系、チタン系、アルミニウム系などの各種カップリング剤、脂肪酸、リン酸化合物などによる処理のほか、ロジン処理、酸性処理、塩基性処理などが挙げられる。ここで、高誘電率無機粒子の表面処理は、組成物を作製する前に、高誘電率無機粒子に施す表面処理であってもよぐまた、上記の処理剤を組成物中に添加し、結果として高誘電率無機粒子の表面に上記の処理剤が付着する態様のヽずれでもよ、。

[0020] 組成物へ添加する分散剤の例としては、リン酸、カルボン酸、脂肪酸、およびそれらのエステル類などの酸基を有するものなどが挙げられる。チタン酸バリウムなど表面が塩基性である高誘電率無機粒子を分散させる場合には、酸一塩基相互作用を利用して分散剤を高誘電率無機粒子表面と相互作用させることができるため、酸基を有する分散剤を用いることが有効であり、特に、リン酸エステル骨格を有する化合物が好ましく用いられる。リン酸エステル骨格を有する化合物が含まれる分散剤としては、ビックケミ一'ジャパン (株）製：商品名" Dysperbyk— 111"、同じぐ' BYK— W9 010"などがある。その他、リン酸トリメチル、リン酸トリェチル、リン酸トリブチルなどのリン酸アルキルやリン酸アタリレートなども有効な場合がある。また、組成物へ添加する分散剤は高誘電率無機粒子の表面処理剤として用いられてもよい。

[0021] 添加する分散剤の量は、高誘電率無機粒子に対し、 2重量％以上 25重量％以下が好ましい。分散剤の量が 2重量％以上であると高誘電率粒子の良好な分散が達成されやすくなる。分散剤は、分散処理等によって凝集が解された粒子の表面を覆うことで粒子の再凝集を阻害し、分散を維持する効果を有している。分散剤の量が高誘電率無機粒子に対し 2重量％以上であると、前記の効果が発現する。分散剤の量が高誘電率無機粒子に対し 5重量％以上であるとより好ましぐ高誘電率粒子の粒子径が 0. 02 m以下の場合にも前述の分散剤の効果が発現し、良好な分散が得られ、誘電体組成物の光線透過率を大きくしゃすい。分散剤の量が高誘電率無機粒子に対し 25重量％以下であると誘電率を大きくしゃすくなる。

[0022] そのほか、分散性を良好にするための手段として、ノ-オン性、カチオン性、ァ-ォン性の界面活性剤、多価カルボン酸などの湿潤剤、両親和性物質、高立体障害の置換基を有する榭脂などの添加が挙げられる。これらの添加剤は、高誘電率無機粒子の表面処理剤として用いられてもよい。また、有機溶剤の添カ卩によって、分散時または分散後の系の極性を制御することができる。有機溶剤としては、榭脂を溶解するものであり、かつ分散剤との相溶性のあるものを適宜選択すれば良い。例えば、エタノール、 i—プロパノール、 n—ブタノール、ベンジルアルコール、イソブチルアルコール、メトキシメチルブタノールなどのアルコール類、クロ口ベンゼン、ベンゼン、トルェン、キシレン、メシチレンなどの芳香族炭化水素類、メチルセ口ソルブ、ェチルセロソルブ、ブチルセ口ソルブ等のセロソルブ類、メチルセ口ソルブアセテート、ェチルセ口ソルブアセテート、ブチルセ口ソルブアセテート等のセロソルブエステル類、プロピレングリコーノレモノメチノレエーテノレアセテート、プロピレングリコーノレモノェチノレエーテルアセテート等のプロピレングリコールエステル類、 1, 2—ジメトキシェタン、 1, 2— ジエトキシェタン、テトラヒドロフラン、ァ-ソールなどのエーテル類、メチルェチルケトン、メチルイソブチルケトン、メチルー n アミルケトン、シクロへキサノン、 γ ブチロラタトン、 γ ブチロラタタム、ジォキサン、アセトン、シクロへキサノン、シクロペンタノンなどのケトン類、 Ν, Ν ジメチルホルムアミド、ジメチルァセトアミド、 Ν—メチルピロリドン、ジメチルスルホキシド、スルホラン、テトラヒドロフラン、イソホロン、トリクロロェチレン、乳酸ェチル、酢酸ブチル、プロピレングリコールモノメチルエーテルなどや、これらのうちの 1種類以上を含有する混合物を有機溶剤として用いることができる。また本発明で用いる有機溶剤は沸点 160°C以上であることが好ましい。有機溶剤の沸点が 160°C以上では、誘電体組成物内での空隙発生が抑制されて、誘電体組成物の比誘電率を高くしゃすい。沸点が 160°Cより低いと、有機溶剤の揮発速度が速いため、熱処理時の物質移動による緻密化が追いつかず、空隙部が増加し、誘電体組成物の誘電率が低下することが多くなる。より好ましくは 180°C以上、さらにより好ましくは 200°C以上である。また、本発明で用いられる有機溶剤は、沸点 300°C以下であることが好ましぐより好ましくは 280°C以下である。沸点が 280°Cより高くなると、脱有機溶剤のための処理が高温となり、高温処理によって榭脂が分解し、誘電特性の劣化や機械的強度の低下などが起こる。また 300°Cより大きくなると、榭脂の分解がより激しくなり、機械強度の低下が起きる。本発明のペースト組成物に使用する有機溶剤は、沸点 160°C以上の有機溶剤 1種のみでもよいが、沸点 160°C以上の有機溶剤を含有してヽれば、それ以外の溶剤を含んで、ても空隙発生が抑制される効果が得られやすくなる。また、ペースト組成物は必要に応じて、安定化剤、分散剤、沈降防止剤、可塑剤、酸化防止剤、架橋剤、架橋促進剤、溶解調整剤、界面活性剤、消泡剤などの添加剤などを含有してもよ、。

[0024] 沸点 160°C以上の有機溶剤としては、メシチレン、ァセトニルアセトン、メチルシクロへキサノン、ジイソプチルケトン、メチルフエ-ルケトン、ジメチルスルホキシド、 γ—ブチロラタトン、イソホロン、ジェチルホルムアミド、 Ν, Ν—ジメチルァセトアミド、 Ν—メチルピロリドン、 γ —ブチロラタタム、エチレングリコールモノアセテート、エチレングリコールジアセテート、 3—メトキシ 3—メチルブタノールおよびそのアセテート、 3—メトキシブチルアセテート、 2—ェチルへキシルアセテート、シユウ酸エステル、マロン酸ジェチル、マレイン酸エステル、炭酸プロピレン、ブチルセ口ソルブ、ェチルカルビトール等がある。

[0025] 本発明でいう沸点とは、 1気圧、即ち 1. 01325 X 10⁵NZm²の圧力下での沸点である。沸点の測定は公知の技術を用いて行うことができ、特に限定されないが、例えば、 Swietoslawskiの沸点計を用いることで測定できる。

[0026] なお、高誘電率無機粒子の充填率が高くなるにつれて、上記有機溶剤量による影響は大きくなり、高誘電率無機粒子がペースト組成物に含まれる有機溶剤を除く成分の総重量の 80重量％以上の場合に、本発明の効果が特に大きい。

[0027] 次に、ペースト組成物を基板などの被着体に塗布する方法としては、特に限定されず、例えば、スクリーン印刷機、ブレードコーター、スピンコーター、バーコ一ターなどを用いて塗布する方法が挙げられる。続いて塗布後の膜に対し、ホットプレート、ォーブンなどの加熱装置を用いて、脱有機溶剤や熱硬化を行う。

[0028] ペースト組成物を塗布する被着体 (例えば基板）としては、例えば、有機系基板、無機系基板、およびこれらの基板に回路の構成材料が配置されたものから選択できる。有機系基板の例としては、榭脂基板、紙'フエノール銅張積層板、紙'エポキシ銅張積層板、紙'ポリエステル銅張積層板などの紙基材銅張積層板、ガラス布'エポキシ銅張積層板、ガラス布'ポリイミド銅張積層板、ガラス布'テフロン (登録商標)銅張積層板などのガラス基材銅張積層板、紙'ガラス布'エポキシ銅張積層板、ガラス不織布 ·エポキシ銅張積層板などのコンポジット銅張積層板、ポリエーテルイミド基板、ポリエーテルケトン基板、ポリサルフォン系榭脂基板、ポリカーボネート基板、ポリイミド基板、ポリエステルなどの榭脂基板、ポリエステルフィルム、ポリエステル銅張フィルム基板、ポリイミドフィルム、ァラミドフィルム、ポリイミド銅張フィルム基板、各種液晶ポリマ

[0029] また、無機系基板の例としては、アルミナ基板、窒化アルミニウム基板、炭化ケィ素基板などのセラミック基板、アルミニウムベース基板、鉄ベース基板などの金属系基板、そのほか、ガラス基板、シリコン基板、石英基板などが挙げられる。

[0030] 回路の構成材料の例としては、銀、金、銅、クロム、ニッケル、チタンやこれらの合金などの金属や、インジウム錫酸ィ匕物 (ITO)、インジウム亜鉛酸ィ匕物、酸化錫、酸ィ匕インジウム、酸ィ匕亜鉛やこれらにその他元素のドープしたものなどを含有する導体、無機系酸化物などを含有する抵抗体、ガラス系材料および Zまたは榭脂などを含有する低誘電体、榭脂ゃ高誘電率無機粒子などを含有する高誘電体、ガラス系材料などを含有する絶縁体などが挙げられる。

[0031] 本発明の誘電体組成物は、（a)榭脂、（b)ベロブスカイト系結晶構造を有し、かつ（ b)高誘電率無機粒子の平均粒子径が 0. 002 m以上 0. 06 m以下である。本発明の誘電体組成物は、波長 400〜700nmの全域の光線透過率が 50%以上 100% 以下であることが好ましぐより好ましくは 70%以上 100%以下であり、さらに好ましくは、 90%以上 100%以下である。波長 400〜700nmの全域における誘電体組成物の光線透過率が 50%以上となると、誘電体組成物を透過した光で情報表示を行うと V、う透明性の機能を満足できるようになる。波長 400〜700nmの全域における誘電体組成物の光線透過率が 70%以上となると、誘電体組成物を透過した光でモノクロメーターでの情報表示が行、やすくなる。波長 400〜700nmの全域における誘電体組成物の光線透過率が 90%以上となると、誘電体組成物を透過した光でカラーでの情報表示が行、やすくなる。ここで波長 400〜700nmの全域における誘電体組成物の光線透過率が 50%以上 100%以下であるとは、光線透過率に波長依存性がある場合に、誘電体組成物の波長 400〜700nmの透過光スペクトルにお!/、て光線透過率の最小値が 50%以上であるということと同義である。これらの光線透過率は、榭脂中に存在する (b)ベロブスカイト系結晶構造を有する高誘電率無機粒子の良好な分散性に依り、これは前述した分散技術によって達成できる。

[0032] 波長 400〜700nmの全域における誘電体組成物の光線透過率は、可視分光光度計を用いて測定することができる。誘電体組成物が膜状である場合は、波長 400 〜700nmの全域にお!、て吸収を持たな、材料であるガラスや石英などの基板上に誘電体組成物膜を形成したものを光線透過率測定用試料として用いればょヽ。

[0033] 本発明の誘電体組成物は比誘電率が 10以上 300以下であることが良い。好ましくは比誘電率が 20以上である場合と、 80以下である場合である。より好ましくは比誘電率が 30以上である場合と、 50以下である場合である。誘電体組成物を層間絶縁膜として用いた場合に、比誘電率が 10以上では、大きな容量をもつキャパシタを形成することが容易となる。また、比誘電率が 20以上では、大きな容量をもつキャパシタを形成する場合に、層間絶縁膜を極端に薄くする必要がないため、層間絶縁膜にリーク電流発生の原因となるピンホールが発生しにくくなる。比誘電率が 30以上となると、容量の大きなキャパシタを形成する場合にも、層間絶縁膜を比較的厚く形成することができるため、絶縁耐圧を大きくしゃすくなる。多くのベロブスカイト系結晶構造を有する高誘電率無機粒子の比誘電率は、粒子径の大きさと正の相関関係がある。本誘電体組成物の比誘電率が 300以下の場合、ぺロブスカイト系結晶構造を有する高誘電率無機粒子に極端に比誘電率が大き、ものを用いる必要がな、ため、粒子径が比較的小さいべ口ブスカイト系結晶構造を有する高誘電率無機粒子を用いることができ、波長 400〜700nmにおける光線透過率を大きくしゃすい。本誘電体組成物の比誘電率を 80より大きくしょうとすると、粒子充填率を単一粒子径のものを用いた場合の最密充填以上とすることが必要となる場合が多い。したがって、本誘電体組成物の比誘電率が 80以下の場合は、単一粒子径のみ力なる場合に近い、粒子径分布が非常にシャープな高誘電率無機粒子を用いることが可能となる。本誘電体組成物の比誘電率が 50以下の場合は、 (b)ぺロブスカイト系結晶構造を有する高誘電率無機粒子の誘電率が極端に大きなものを用いる必要がないため、高誘電率無機粒子の材料選択の幅が広がる。

[0034] 本発明で用いる (b)ベロブスカイト系結晶構造を有する高誘電率無機粒子は、その平均粒子径カ 0. 002 μ m以上 0. 06 μ m以下であり、 0. 002 μ m以上 0. 04 μ m以下であることが好ま、。 (b)ベロブスカイト系結晶構造を有する高誘電率無機粒子の平均粒子径は、より好ましくは 0. 005 μ m以上である場合と、 0. 03 μ m以下である場合である。平均粒子径が 0. 002 m以上となると、（b)ぺロブスカイト系結晶構造を有する高誘電率無機粒子の比誘電率を大きくしゃすくなる。平均粒子径が 0. 0 05 μ m以上となると、 (b)ベロブスカイト系結晶構造を有する高誘電率無機粒子が凝集しにくくなり、榭脂に均一に分散させやすくなる。平均粒子径が 0. 以下となると、誘電体組成物に光を透過させる際に (b)ぺロブスカイト系結晶構造を有する高誘電率無機粒子により起こるレーリー散乱が抑制されるために、光線透過率を大きくしゃすくなる。平均粒子径が 0. 03 m以下となると、レーリー散乱抑制効果がより大きくなり誘電体組成物の光線透過率を大きくしゃすくなるだけでなぐ誘電体組成物製造時に発生しやすく (b)ベロブスカイト系結晶構造を有する高誘電率無機粒子の分布の偏りの原因となる沈降がおきに《なる。

[0035] 本発明の誘電体組成物の製造方法として、液状もしくは溶液状の未硬化樹脂に (b )ぺ口ブスカイト系結晶構造を有する高誘電率無機粒子が分散されたペーストなどの流動性がある状態のものを、加熱などにより固化させるというものがある。このような場合、一般に (b)ベロブスカイト系結晶構造を有する高誘電率無機粒子の比重が榭脂の比重より大きいために、流動性がある状態では重力で粒子が分散体の下部に沈むという沈降がおきやすい。し力しながら、粒子径が小さくなると、粒子 1つ 1つの重量が小さくなり、ブラウン運動による影響が大きくなり、粒子が沈降しに《なる。

[0036] 誘電体組成物内を進む光のレーリー散乱の大きさは (b)ぺロブスカイト系結晶構造を有する高誘電率無機粒子径の 3乗に正の相関関係があるため、高誘電率無機粒子の平均粒子径が等しいものの場合でも、粒子径分布の幅が狭いものや、大きな粒子の存在量が少な!、ものほど、誘電体組成物の光線透過率を大きくしゃすヽ。

[0037] なお、本発明の (b)ベロブスカイト系結晶構造を有する高誘電率無機粒子の平均粒子径の測定は、誘電体組成物の硬化薄膜の超薄切片に対する XMA測定、および透過型電子顕微鏡 (TEM)観察により行うことができる。この超薄切片には、誘電体組成物の硬化薄膜を、膜厚方向に断面を切り出したものを用いる。（b)ベロブス力イト系結晶構造を有する高誘電率無機粒子と (a)榭脂では電子線に対する透過率が異なるので、 TEM観察像中で (b)ぺロブスカイト系結晶構造を有する高誘電率無機粒子と (a)榭脂はコントラストの違いにより識別できる。複数種の (b)ベロブスカイト系結晶構造を有する高誘電率無機粒子が使用されている場合の各高誘電率無機粒子の同定は、 XMA測定に基づく元素分析および電子線回折像観察による結晶構造解析により行うことができる。 TEM観察像の画像解析から、（b)ぺロブスカイト系結晶構造を有する高誘電率無機粒子と (a)榭脂の面積の分布を求め、（b)ベロブスカイト系結晶構造を有する高誘電率無機粒子像の断面を円形と近似して面積から粒子径を算出できる。この粒子径の評価は倍率 5000倍と 40000倍の TEM画像につ!、て行えばよい。算出された粒子径の分布を倍率が 5000倍の TEM画像において 0. 1 μ m刻みのヒストグラム、倍率力 0000倍の TEM画像において 0. 01 μ m刻みのヒストグラムで表す。得られたヒストグラムの各カラムに対し、その中心値と度数の積を求める。次にそれらの積の和を度数の総和で除したものを平均粒子径とする。なお、粒子径分布の評価は、 TEMのかわりに走査型電子顕微鏡（SEM)を用いて、上記と同様の解析を行うことによつてもできる。

[0038] 一般に (b)ベロブスカイト系結晶構造を有する高誘電率無機粒子の粒成長や焼結などの一次粒子の形状変化が起きる温度は、（a)榭脂の硬化温度より遙かに高い場合が殆どであるので、そのような場合は、（b)ぺロブスカイト系結晶構造を有する高誘電率無機粒子を (a)榭脂に分散させる前の原料段階で (b)ベロブスカイト系結晶構造を有する高誘電率無機粒子の粒子径を評価してもよい。この場合、（b)ベロブス力イト系結晶構造を有する高誘電率無機粒子を直接、前記と同様の TEMや SEMを用いて観察し、それにより得られた観察像の画像解析により求めることができる。

[0039] また、上記以外にも、（b)ベロブスカイト系結晶構造を有する高誘電率無機粒子の液体中でのブラウン運動による散乱光の揺らぎを測定する動的光散乱法、（b)ベロブスカイト系結晶構造を有する高誘電率無機粒子を電気泳動させたときの散乱光のドップラー効果を測定する電気泳動光散乱法、照射した超音波の減衰状態求める超音波減衰分光法などによって平均粒子径を測定することができる。レーザー回折式、レーザー散乱式の粒度分布測定装置としては、（株)堀場製作所製 LA— 920、（株）島津製作所製 SALD— 1100、日機装（株）製 MICROTRAC— UPA150やシスメックス (株)製ゼータサイザ一ナノ ZS等がある。

[0040] 本発明の誘電体組成物の (b)ベロブスカイト系結晶構造を有する高誘電率無機粒子含有量は誘電体組成物全体に対し、 30重量％以上 99重量％以下であることが好ましい。（b)ベロブスカイト系結晶構造を有する高誘電率無機粒子の含有量が、誘電体組成物全体に対し 30重量％以上では、誘電体組成物の比誘電率を大きくしゃすくなり、キャパシタの層間絶縁材料として用いた場合に、大きな静電容量のキャパシタを実現しやすくなる。 (b)ベロブスカイト系結晶構造を有する高誘電率無機粒子の含有量が、誘電体組成物全体に対し 99重量％以下の場合、榭脂の含有量が十分に多いために、膜の強度を高くしゃすい。

[0041] 本発明で用いられる (a)榭脂は、熱可塑性、熱硬化性榭脂の、ずれも選択することができる力波長 400〜700nmの全域における誘電体組成物の光線透過率を 50% 以上とするために、（a)榭脂は光線透過率が 50%以上であるものを用いることが好ましい。誘電体組成物の光線透過率を大きくしゃすいため、（a)榭脂の光線透過率は大きい方が好ましい。

[0042] 本発明で用いられる熱可塑性榭脂としては、例えば、ポリフエ-レンエーテル、ポリフエ-レンスルフイド、ポリエーテルサルフォン、ポリエーテルイミド、液晶ポリマー、ポリスチレン、ポリエチレン、フッ素榭脂などを用いることができる。

[0043] また、本発明で用いられる熱硬化性榭脂としては、例えば、エポキシ榭脂、フエノール榭脂、シロキサン榭脂、ポリイミド、アクリル榭脂、シァネート榭脂、ベンゾシクロブテン榭脂などを用いることができる。耐熱性が高いことなどの点から、熱硬化性榭脂を用いることが好ましぐ（b)ベロブスカイト系結晶構造を有する高誘電率無機粒子分散性などの点力もエポキシ榭脂が好ましく使用される。

[0044] ここで、エポキシ榭脂とは、分子構造中にエポキシ基 (ォキシラン環）を 2個以上含むプレボリマーを有する榭脂である。また、本発明のペースト組成物は硬化剤を有していてもよぐ硬化剤には、例えば、一般にエポキシ榭脂に使用されている硬化剤を添加することができる。このような硬化剤としては、アミン系硬化剤、酸無水物系硬化剤、フエノール系硬化剤などが例示される。また、これらの硬化剤は相互に併用してもよい。さらに、硬化剤と共に硬化促進剤を用いることができる。硬化促進剤は、硬化剤を伴わないで単独で榭脂に添加してもよい。このような硬化促進剤としては、 2—メチルイミダゾール、 2—ェチルー 4ーメチルイミダゾール、 1ーシァノエチルー 2—フエ二ルイミダゾール、 1—シァノエチル一 2—フエ-ルイミダゾリゥムトリメリテート、トリフエ -ルホスフィン、トリス（2, 4—ペンタジォナト）コバルトなどの金属キレート化合物などが挙げられる。

[0045] 波長 400〜700nmの光に対する透過性が高いという点から、本発明では（a)榭脂としてアクリル榭脂も好ましく用いることができる。

[0046] (b)ぺロブスカイト系結晶構造を有する高誘電率無機粒子とは、ぺロブスカイト型結晶構造、あるいは複合ぺロブスカイト型結晶構造を有するもののことである。これらは、例えばチタン酸バリウム系、チタン酸ジルコン酸バリウム系、チタン酸ストロンチウム系、チタン酸カルシウム系、チタン酸ビスマス系、チタン酸マグネシウム系、チタン酸バリウムネオジム系、チタン酸バリウム錫系、マグネシウムニオブ酸バリウム系、マグネシゥムタンタル酸バリウム系、チタン酸鉛系、ジルコン酸鉛系、チタン酸ジルコン酸鉛系、ニオブ酸鉛系、マグネシウムニオブ酸鉛系、ニッケルニオブ酸鉛系、タンダステン酸鈴系、タングステン酸カノレシゥム系、マグネシウムタングステン酸鈴系、二酸化チタン系、などを挙げることができる。チタン酸バリウム系とは、チタン酸バリウム結晶内の一部の元素を他の元素で置換したり、結晶構造内に他の元素を侵入させたりしたチタン酸バリウムを母材とする固溶体を含めた総称である。その他のチタン酸ジルコン酸バリウム系、チタン酸ストロンチウム系、チタン酸カノレシゥム系、チタン酸ビスマス系、チタン酸マグネシウム系、チタン酸バリウムネオジム系、チタン酸バリウム錫系、マグネシゥムニオブ酸バリウム系、マグネシウムタンタル酸バリウム系、チタン酸鉛系、ジルコン酸鉛系、チタン酸ジルコン酸鉛系、ニオブ酸鉛系、マグネシウムニオブ酸鉛系、ニッケルニオブ酸鉛系、タングステン酸鉛系、タングステン酸カルシウム系、マグネシゥムタングステン酸鉛系も、ずれも同様で、それぞれを母材とする固溶体を含めた総称である。

[0047] なお、ぺロブスカイト型結晶構造、ある!/、は複合ぺロブスカイト型結晶構造を有する高誘電率無機粒子は、これらのうち 1種を単独で用いたり、 2種以上を混合して用いたりすることができる。大きい誘電率を有する誘電体組成物を得る場合には、商業的利便性との両立の点から、主としてチタン酸バリウム力なる化合物を用いることが好ましい。但し、誘電特性や温度安定性を向上させる目的で、シフター、デブレッサー剤などを少量添カ卩して用いてもょヽ。

[0048] (b)ぺロブスカイト系結晶構造を有する高誘電率無機粒子には、比誘電率が 50〜 30000の無機粒子を用いることが好ま、。比誘電率が 50以上である高誘電率無機粒子を用いると比誘電率が十分大きい誘電体組成物が得られやすい。また、高誘電率無機粒子の比誘電率が 30000以下であると、誘電体組成物の比誘電率の温度依存性を小さくしゃすくなる。ここでいう（b)ぺロブスカイト系結晶構造を有する高誘電率無機粒子の比誘電率とは、 (b)ベロブスカイト系結晶構造を有する高誘電率無機粒子を原料粉末として、加熱、焼成して得られる焼結体の比誘電率をさす。焼結体の比誘電率は、例えば以下の手順によって測定する。高誘電率無機粒子とポリビュルアルコールのようなバインダー榭脂、有機溶剤もしくは水を混合して、ペースト状組成物を作製したのち、ペレット成型器の中に充填して、乾燥させ、ペレット状固形物を得る。そのペレット状固形物を、例えば 900〜1200°C程度で焼成することにより、バインダー榭脂を分解、除去し、（b)ベロブスカイト系結晶構造を有する高誘電率無機粒子を焼結させ、無機成分のみ力もなる焼結体を得ることができる。このとき、焼結体の空隙は十分小さぐ理論密度と実測密度から計算した空隙率が 1%以下となっていることが必要である。この焼結体ペレットに上下電極を形成し、静電容量および寸法の測定結果から、比誘電率を計算する。

[0049] (b)ベロブスカイト系結晶構造を有する高誘電率無機粒子の作製方法としては、固相反応法、水熱合成法、超臨界水熱合成法、ゾルゲル法、しゅう酸塩法、アルコキシド法などの方法が挙げられる。粒子径が小さく大きさが揃った (b)ベロブスカイト系結晶構造を有する高誘電率無機粒子の作製が容易であるという理由から、水熱合成法、超臨界水熱合成法、ゾルゲル法、のいずれかを用いることが好ましい。

[0050] (b)ベロブスカイト系結晶構造を有する高誘電率無機粒子の形状は、球状、略球状、楕円球状、針状、板状、鱗片状、棒状、立方体 (サイコロ)状などが挙げられるが、特に、球形あるいは略球形であることが好ましい。球状あるいは略球状の（b)ぺロブスカイト系結晶構造を有する高誘電率無機粒子は、比表面積が小さ!、ために充填時に高誘電率無機粒子の凝集ゃ榭脂流動性低下などを生じにく、からである。これらのうち 1種を単独で用いたり、 2種以上を混合して用いることができる。 [0051] 本発明のペースト組成物の製造方法は特に限定されないが、以下のような方法により好ましく実施することができる。本発明で用いられる (b)ベロブスカイト系結晶構造を有する高誘電率無機粒子は平均粒子径が小さいため、粒子間の凝集を解して均一な分散を達成するためには、分散メディアに微小ビーズを用いる分散手法が有効である。 (b)ベロブスカイト系結晶構造を有する高誘電率無機粒子の平均粒子径は 0 . 002 m以上 0. 06 m以下であるため、分散メディアにはビーズの平均粒子径が 0. 02mm以上 0. 1mm以下のものを用いることが有効である。分散メディアのビーズの平均粒子径が 0. 03mm以上である場合と 0. 06mm以下である場合は、より有効である。ビーズの平均粒子径が 0. 1mm以下である場合、ビーズの間を分散液が通過する際に、高誘電率無機粒子がビーズと接触する頻度が高ぐ十分な分散効果が得られる。さらに高い分散効果を得るためには、ビーズの平均粒子径は 0. 06mm以下であることが好ましい。ビーズの平均粒子径が 0. 02mm以上である場合、個々のビーズの持つ運動量が十分大きぐ高誘電率無機粒子の凝集を解くのに十分なせん断応力が得られる。高誘電率無機粒子の凝集体にさらに強いせん断応力を与えるためには、ビーズの平均粒子径は 0. 03mm以上であることが好ましい。

[0052] ビーズの平均粒子径の評価は、例えば以下のような方法で行うことができる。ビーズは光学顕微鏡を用いて観察を行うことができる。ガラスなどの透明板の上にビーズ (サンプル)を載せ、透明板の下側力ゝら光を当て透過光像を対物レンズを通して観察し、ビーズの粒子径を評価する。任意の 100個のビーズの観察を行い、それぞれのビーズに対して求めた粒子径の平均値をビーズの平均粒子径とすることができる。ビーズの粒子径は、ビーズの観察像に対し各種の画像処理ソフトを用いた球形近似を行うことで求めることができる。具体的には、顕微鏡の接眼レンズ部の代わりに取り付けた CCDカメラによるデジタル画像をコンピューター上で画像処理することにより行う。このような CCDカメラとしては（株）フローベル製の ADP— 240があり、このような画像処理ができるソフトとしては (株）フローベル製の FlvFsなどがある。

[0053] 分散メディアであるビーズとしては、金属製、セラミック製やガラス製のものを好ましく使用できる。これらの具体的な材質としては、ステンレス、鉄、銅、クロム、ニッケル、チタ-ァ、窒化ケィ素、炭化ケィ素、アルミナ、ジルコユア、ケィ酸ジルコニウム、チタン酸バリウム、珪酸ガラス、石英などが挙げられる。特に、硬度が高いジルコユア製ビーズが好適に使用できる。ジルコユアとしては強度が大きいことからイットリア安定ィ匕ジルコユアを用いることが好まし、。

[0054] 本発明におけるビーズを用いた分散方法は特に限定されないが、用いる装置としては、ボールミル、ホモジナイザー、ピンロータービーズミルなどが挙げられ、寿工業 (株)製の"ウルトラァペックスミル"（商品名）ゃァシザヮ ·ファインテック (株)製の"スタ一ミル"（商品名）などが微小粒子の分散に特に好適なものとして挙げられる。これらの 2種のビーズミルにお!、ては、高誘電率無機粒子の分散が行われるベッセルと呼ばれる部位力外壁を形成する円筒形のステーターと、ステーターの中心で回転するローターによって形成される。そして、高誘電率無機粒子と有機溶剤とを混合した分散液を、ステーターとローターとの間を送液する。ローターからは放射状に複数のブレードが突出している。ベッセル内に分散メディアであるビーズを充填し、ローターを回転させることにより、ブレードによりビーズが攪拌され、それに伴い、ビーズが分散液中の高誘電率無機粒子にせん断応力を与え、高誘電率無機粒子が微小粒子に分散される。一度ベッセル内を通過した分散液を循環させ、繰り返しベッセル内へと送液することで、分散液中の高誘電率無機粒子の凝集を徐々に解し、分散を進める。

[0055] 分散液に含まれる高誘電率無機粒子は 1次粒子あるいは凝集体として存在するものであるが、本発明にお、ては分散液中に存在するときの高誘電率無機粒子の大きさは、分散液中で幾つかの高誘電率無機粒子の 1次粒子が凝集した状態のものを体積基準で分布にしたときのメジアン径（50%粒子径)である。分散液中での高誘電率無機粒子の平均粒子径を測定する方法としては、レーザーによる静的光散乱方式や動的光散乱方式が挙げられるが、平均粒子径 20nm以下の粒子径を高精度で評価する場合は、動的光散乱方式を用いる方が好ましい。この方式による粒子径測定装置として、例えば、日機装 (株)製の"ナノトラッグ' UPA— EX150 (商品名）が挙げられる。

[0056] ビーズミルのベッセル内のビーズ充填量は、ベッセル容積の 20容積％以上の場合と 85容積％以下の場合が好ま、。ビーズの充填量が 20容積％以上である場合、近接するビーズの間隙が狭いため分散液中の高誘電率無機粒子がビーズに接触する頻度が高ぐ分散が短時間で効率よく進行する。さらにこの効果を高めるために、ビーズの充填量は 50容積％以上であることがより好ましい。一方、ビーズの充填量が 8

5容積％以下である場合、近接するビーズの間に十分な間隙が存在するため、分散液がベッセル内に詰まることなくスムーズに送液することができる。また、ビーズの充填量が 85容積⁰ /₀以下である場合、ビーズ同士、あるいはビーズとベッセルのステーターやローターとの摩擦により発生する熱量が少ないため、分散剤などの分散液を構成する材料が変質しにくい。また、遠心力によりビーズをフィルタリングする方式のビーズミルにおいて、ビーズの充填量が多くなると、フィルタリング機能が十分に働かず、ベッセルから回収した分散液中にビーズが混入する可能性が大きくなるが、ビーズの充填量が 85容積％以下である場合は、ビーズの混入がないか、あるいは非常に小さくて済む。さらにこの効果を大きく奏するために、ビーズの充填量は 75容積％以下であることがより好まし!/、。

[0057] ビーズミルのローターの回転周速は 8mZs以上 15mZs以下であることが好ましい。本発明における回転周速とは、ローター力も突出しているブレードの先端が回転するときの速度である。回転周速が 8mZs以上である場合、高誘電率無機粒子を平均粒子径 0. 02 m以下に分散するのに十分なせん断応力が得られる。また、回転周速が 8mZs以上である場合、ビーズを遠心力によりフィルタリングする方式のビーズミルにおいて、回収した分散液中にビーズが混入しない。一方、回転周速が 15mZs 以下である場合、ビーズ同士、あるいはビーズとベッセルのステーターやローターとの摩擦による発熱量は少ないため、分散液が変質しにくい。

[0058] 分散処理時の分散液の温度は 10°C以上 40°C以下であることが好ましい。ここで、分散処理時の分散液の温度は、ベッセル力送出された直後の分散液の温度とする。分散液温が 40°C以下である場合、分散液中の有機溶剤の揮発量は少なぐ分散液中の高誘電率無機粒子や分散剤などの組成の濃度変化は少な、。液温が 40°C よりも高いと、分散液組成の濃度変化が生じ、分散液の分散性が悪くなる場合がある。例えば、分散液の分散性は pHにより影響を受けることがある力分散液の pH値は分散液組成の濃度変化により変化する。したがって分散液の温度制御は分散液の p H値、また分散液中の高誘電率無機粒子の分散性を制御する重要な条件の 1つである。また、分散液中に温度により化学反応する材料や、温度により変質する材料を含有する場合は、温度変化により分散液が有する特性が変化するため、分散時の温度制御を行うことが好ましい。さらにこの効果を高めるために、分散液の温度は 35°C 以下であることが好ましい。一方、分散処理時の分散液の温度が 10°Cよりも低い場合、ベッセル力送出した分散液を回収する容器内に結露が生じ、分散液中に水分が混入し、分散液の特性を劣化させる可能性があるため、分散処理時の分散液の温度は 10°C以上であることが好ましい。また、分散液の温度が 10°C以上であると、分散液の粘度が低くなるため、ビーズの運動エネルギーの減損が避けられ、分散効率が高くなる。さらにこの効果を高めるためには、分散液の温度は 20°C以上であること力り好ましい。

[0059] 分散処理時の分散液の粘度は、 ImP' s以上 lOOmP' s以下であることが好ましい。

ここで、分散処理時の分散液の粘度は、ベッセル力送出された分散液をサンプリングし、サンプリングから 5分後に測定した際の粘度とする。測定温度は 25°Cとする。粘度測定は、例えば、東機産業 (株)製の粘度計 RE—115Lを用いて行うことができる。ビーズミルのベッセル内のビーズは回転するローターのブレードから運動エネルギ一を獲得し、分散液中の高誘電率無機粒子と接触することにより、せん断応力を発生する。しかし、分散液の粘度が高い場合は、ビーズが高誘電率無機粒子へ接触する前に、溶剤中で運動エネルギーが大きく減損し、高誘電率無機粒子に十分なせん断応力を与えることができない場合がある。分散処理時の分散液の粘度が ΙΟΟπιΡ· s以下である場合は、上記問題を回避することができる。さらにこの効果を高めるために、分散処理時の分散液の粘度は、 20mP' s以下であることがより好ましい。一方、分散液の粘度が ImP' s以上であれば、製造した分散液と樹脂とを混ぜて作製するペースト組成物の粘度が低くならず、ペースト組成物を基板上に塗布し膜状の榭脂組成物を製造する場合、連続膜を形成しやすくなる。

[0060] 本発明における無機粒子の分散液の製造方法についての例を以下に記す。

[0061] (b)ベロブスカイト系結晶構造を有する高誘電率無機粒子、分散剤、 (c)有機溶剤を所定の分量で混合し、攪拌する。混合直後は、高誘電率無機粒子の表面を空気の層が覆っているため、高誘電率無機粒子と有機溶剤との濡れが十分でなぐ粘度が増加する場合がある。この場合は、高誘電率無機粒子と有機溶剤が完全に濡れるまで、回転羽根などで時間をかけて攪拌するのが好まし、。

[0062] 高誘電率無機粒子、分散剤、有機溶剤を混合、攪拌した後、ビーズミルにて高誘電率無機粒子の分散処理を行う。まず、ビーズミルのベッセル内に所定粒子径のビーズを所定量投入し、ローターを回転させながら、分散液に用いるものと同じ有機溶剤をベッセル内へ送液 Z循環させビーズ洗浄を行う。洗浄時に有機溶剤の汚れが目立つ場合は、新しい有機溶剤と入れ替え、有機溶剤の汚れが目立たなくなるまで洗浄を続ける。ビーズ洗浄後、循環させた有機溶剤を回収し、次いで、上記高誘電率無機粒子、分散剤、有機溶剤の混合液をベッセル内へ送液 Z循環させ分散処理を行う。初めにベッセル内から送出される分散液は、ベッセル内に残留した有機溶剤により濃度が薄くなつているため、ベッセルの大きさに応じて、ベッセル内から送出される分散液の濃度が一定になるまで初流を除去する。分散処理は一度に小さ、ビーズで実施してもよぐ段階的にビーズの大きさを変えて行ってもよぐ特に限定されない。例えば、粒子径が 0. 5mmのビーズで高誘電率無機粒子の平均粒子径が 100η m程度になるまで分散を行ってから、次に、より微小なビーズでの分散を施してもよい。ここで、平均粒子径が 0. 1 m程度になるまでの分散処理を粗分散とよび、その後の 0. 06 m以下の微小粒子径への分散処理を本分散とよぶ。粗分散をホモジナイザ一で行い、本分散をビーズミルで行うなど、粗分散と本分散を異なる装置にて行うこともできる。ビーズミルにおいては、サンプルをミル本体へチューブを通して送液する方式のものが多ぐ粗分散をビーズミルで行うと、粒子径の大きな粒子が送液チューブ中で目詰まりする場合がある。粗分散をホモジナイザーなど別の装置で行うと、これを避けることができる。

[0063] 粗分散をホモジナイザーで行う場合は、例えば、回転刃の先端の周速を 1〜： LOm Zsにして、 1時間程度処理する。ホモジナイザー処理中は熱が発生するため、氷浴中で処理することが好ましい。用いることができるホモジナイザーとしては、 "エタセルオード' (商品名）（(株）日本精機製作所製)などが挙げられる。

[0064] 分散処理時の分散液の粘度は高誘電率無機粒子の分散性や分散処理の効率に影響するので、分散処理の経過に伴う分散液の粘度変化を把握することが好ま、。例えば、一定時間ごとに分散液をサンプリングし、粘度測定をすることにより、粘度の経時変化を把握することができる。分散処理時に分散液の粘度が上昇した場合は、循環させている分散液中に有機溶剤や分散剤、 pH調整剤などを適量加えて、粘度を低下させることちできる。

[0065] 分散処理時の分散液の温度は、ベッセル外部を冷却する冷却水の温度や流量、分散液の循環速度により制御できる。分散液の温度上昇は、分散処理時の分散液の粘度が高い場合に発生しやすい。分散液の温度上昇が大きすぎる場合には、分散液の変質が起きることがある。

[0066] 分散液の固形分濃度は 10重量％以上が好ましぐより好ましくは 20重量％以上である。また、分散液の固形分濃度は 60重量％以下であることが好ましぐより好ましくは 40重量％以下である。本発明の分散液の固形分濃度とは、分散液全量に対して分散液中に含まれる有機溶剤以外の成分の割合である。分散液の固形分濃度が 10 重量％以上であると、粘度の低い分散液を作製することが可能となり、分散処理時もビーズとの摩擦などにより発生する熱量が少な、ため、分散液を構成する材料が変質しに《なる。分散液の固形分濃度が 20重量％以上であると、分散液と榭脂液を混合したペースト組成物を用いて誘電体組成物の膜を形成した時に 1 μ m以上の厚膜を形成しやくなる。また、分散液の固形分濃度が 60重量％以下であると、遠心分離によるフィルタリング方式のビーズミルを用いた場合に、ビーズが分離されやす!/、。さらに、分散液の固形分濃度が 40重量％以下であると、分散液の粘度が低ぐ分散液中の高誘電率無機粒子とビーズが頻度よく接触するため、高誘電率無機粒子の凝集体を解きやすくなる。また、平均粒子径 0. 1 m以下の高誘電率無機粒子を用いた場合においても、分散液中の高誘電率無機粒子を効率良く分散することができ、粒度分布が 1次粒子径付近まで分散しやすぐ本分散液を用いて誘電体組成物の膜を形成した時に透過率の高、膜を得やす、。

[0067] ビーズミルのローターの回転周速は一定でもよぐ分散処理時に段階的に変更してもよい。ローターの回転周速は分散処理時の分散液の温度に影響を与える場合があるので、分散処理時に回転周速を変更する場合は、分散液の温度上昇が大きくなりすぎないようにするのが好ましい。また、ビーズを遠心分離によりフィルタリングする方式のビーズミルの場合は、ローターを回転する前に送液ポンプを作動し、分散液の循環を開始すると、ベッセル内から送出する分散液中にビーズが混入することがあるので、ローターを回転した後に送液ポンプを作動するようにする。

[0068] 分散処理時間は高誘電率無機粒子や有機溶剤、分散剤などの分散液を構成する材料の種類や組成比により適宜設定する。例えば、一定時間ごとに分散液をサンプリングし、分散液中での高誘電率無機粒子の平均粒子径を測定することは、分散状態の経時変化を把握でき、分散処理の終了時点を判断することができるので好ましい。分散性が良好な組成の場合は、 30分程度の分散処理時間で十分であるが、組成によっては、分散処理を 24時間以上行ってもよい。分散処理時間が長い場合は、有機溶剤などの分散液を構成する材料が揮発することにより、分散液の組成比が変化し、分散性が変化する場合があるので、そのような場合は、適宜必要な成分を添加し、組成を調整する。

[0069] 次に、上記の高誘電率無機粒子分散液の製造方法によって得られた分散液と、榭脂、もしくは榭脂と有機溶剤を有する榭脂溶液とを含有するペースト組成物の製造方法について説明する。

[0070] 分散液と榭脂、もしくは榭脂と有機溶剤を有する榭脂溶液の混合は、榭脂、もしくは榭脂と有機溶剤を有する榭脂溶液中に分散液を所定量となるまで注入してもよヽし、分散液中に榭脂、もしくは榭脂と有機溶剤を有する榭脂溶液を所定量となるまで注入してもよい。この際の樹脂の態様は、液状樹脂であっても、固形榭脂を溶剤に溶かした榭脂溶液であってもよい。また、この際の樹脂と有機溶剤を有する榭脂溶液の態様は、液状榭脂もしくは固形榭脂を溶剤に溶力した榭脂を有機溶剤で希釈した榭脂溶液であってもよい。

[0071] ペースト組成物の製造方法としては、上記の方法のように別々に作製した分散液と榭脂、もしくは榭脂と有機溶剤を有する榭脂溶液を混合する方法だけでなぐ高誘電率無機粒子を液状榭脂もしくは榭脂溶液に直接分散する方法も用いることができる。高誘電率無機粒子を液状榭脂もしくは榭脂溶液に直接分散する場合においても、ビーズミルを好ましく用いることができる。 [0072] 所定量の高誘電率無機粒子を有する分散液と榭脂材料を混合して得られたベースト組成物を、さらに均質になるようにするために、ボールミルやロールミルを用いることができる。また、混合処理によりペースト組成物中に気泡が混入した場合は、静置する、あるいは攪拌脱泡機を用いるなどして、気泡を除去すると、ペースト組成物を用いて製造する榭脂組成物中への気泡の混入を抑制することができる。

[0073] 本発明の誘電体組成物を得る方法として、例えば、上記のように、まず、高誘電率無機粒子を液状榭脂もしくは榭脂溶液に分散させたペースト組成物を作製し、そのペースト組成物を被着体 (例えば基板)などに塗布し、脱有機溶剤、固化を行うことにより、誘電体組成物を得る方法が挙げられる。このとき、固化の方法として、熱、光などによる固化が挙げられる。但し、加熱によって固化を行う場合は、本発明の誘電体糸且成物は焼結体ではないので、榭脂を分解したり、除去したりすることなぐペースト組成物と同時に加熱行う被着体や電子部品などの耐熱温度範囲内、例えば、 500 °C以下の温度で加熱することが好ましい。より好ましくは 250°C以下の温度で加熱することが好ましい。また、塗布する被着体は、ガラス基板やガラスエポキシ基板などのリジッドな基板に限定されず、榭脂フィルムや銅などの金属箔などのフレキシブル基板でもよい。

[0074] 本発明の誘電体組成物の空隙率は、 30体積％以下であることが好ましい。より好ましくは 20体積％以下であり、さらにより好ましくは 10体積％以下である。空隙率が 30 体積％以下であると、空隙によるレーリー散乱などを小さくすることができ透過率を大きくしやすい。空隙率が 20体積％以下となると絶縁抵抗を大きくしゃすい。空隙率が 10体積％以下であるとリーク電流を小さくしゃすい。

[0075] ここで、空隙率を 30体積％以下にする方法としては、例えば、榭脂、高誘電率無機粒子、有機溶剤を上記した中から適宜選択することで達成可能である。具体的には、例えばペースト組成物力沸点 160°C以上の有機溶剤を少なくとも 1種含むものとすることで達成することができる。

[0076] 誘電体組成物の空隙率の測定方法は、ガス吸着法、水銀圧入法、陽電子消滅法、小角 X線散乱法など、用途に合わせて適宜選択することができる。

[0077] 本発明のペースト組成物力得られる誘電体組成物の形態は特に限定されず、膜状、棒状、球状など、用途に合わせて選択することができるが、特に膜状であることが好ましい。ここでいう膜とは、フィルム、シート、板、ペレットなども含まれる。もちろん、導通のためのビアホール形成、インピーダンスや静電容量ある、は内部応力の調整、または、放熱機能付与など、用途にあわせたパターン形成を行うこともできる。

[0078] 本発明で用いる透明電極は、波長 400〜700nmの全域における光線透過率が 5 0%以上 100%以下であればよぐ材質は特に限定されないが、光透過性が高いことからインジウム錫酸ィ匕物 (ITO)、インジウム亜鉛酸ィ匕物、酸化錫、酸化インジゥムゃ酸ィ匕亜鉛これらにその他元素のドープしたものなどを用いることができる。透明電極の光線透過率が 50%未満であると、ディスプレイなどに用いるキャパシタとしては透明性が不十分となり、情報表示特性が不十分で良くない。

[0079] 本発明の誘電体組成物から得られる層間絶縁膜と、波長 400〜700nmの全域における光線透過率が 50%以上 100%以下である透明電極を有するキャパシタは、波長 400〜700nmで高、光線透過率を有するため、透明キャパシタとしてそれを通した光線による情報表示を行うことができる。

[0080] 本発明のキャパシタは、少なくとも層間絶縁膜と透明電極を有しており、層間絶縁膜は電極間に存在するものである力本発明では、 2つの電極のうち少なくとも 1つが透明であれば良ぐもう 1つは金属などの不透明な電極であってもよい。

[0081] 本発明の誘電体組成物を膜状にしたときの膜厚は、誘電体組成物を層間絶縁膜としたキャパシタの静電容量や光線透過率が所望の値を満たす範囲内で任意に設定することができるが、 0. 05 μ m以上である場合と、 20 μ m以下である場合が好ましく、さらに好ましくは、 0.： L m以上である場合と、 5 m以下である場合である。キャパシタとして大きな静電容量を確保するには膜厚が薄い方が好ましいが、 0. 05 m り厚い場合にはピンホールなどが発生しにくぐ電気的絶縁を得やすくなる。また、 0 . 以上では、耐久性加速試験である PCT (プレッシャータッカーテスト）後に誘電正接が増大しにくい。また、膜厚が 20 m以下であると、キャパシタとして十分大きな静電容量を得やすい。膜厚が 5 m以下であると、十分高い光線透過率を得やすい。

[0082] 誘電体組成物を層間絶縁膜としたキャパシタの静電容量の温度変化、面内ばらつきは、小さい方が回路設計上好ましい。温度変化についても、できるだけ小さい方が好ましぐ例えば、 X7R特性（一 55〜125°Cにおいて静電容量の温度変化率が ± 1 5%以内）を満たすことが好ましい。静電容量の面内ばらつきは、平均値に対して 5% 以下 (静電容量の平均値 5%≤静電容量≤静電容量の平均値 + 5%)であることが好ましい。

[0083] 本発明の誘電体組成物は、電極で挟まれたキャパシタ用の層間絶縁材料以外にも用いることができる。例えば、エレクトロウエツティングタイプの電子ペーパーの電解液に接する材料として用いることができる。この場合は、本発明の誘電体組成物膜は、電解液に接する面と反対の面が電極に接するように形成される。透明な高誘電率層を電解液に接する面に形成することで、電圧印加による電解液の濡れ性変化が大きくなり、電解液の移動速度が大きくなり、表示速度が大きいエレクトロウッテイングタイブの電子ペーパーを実現することができる。

[0084] エレクトロウエツティングタイプの電子ペーパーに用いられる場合のように、本発明の誘電体組成物が電解液などの液状物質に接して用いられる用途においては、誘電体組成物へこのような液状物質が染み込むようなことが起きないようにすることが好ましい。染み込みを抑制するためには、（a)榭脂として吸湿、吸水の影響が少ないものを用いることが好ましい。低吸水性のエポキシ榭脂としては、キシリレンノボラック型、ビフエ-ルノボラック型、ジシクロペンタジェン型、ジシクロペンタジェンフエノールノボラック型、ジフエニルメタン型、ナフトールァラルキル型、ナフトールノボラック型、 4 官能ナフタレン型、ナフタレン骨格、ビフエニル骨格を有するエポキシ榭脂等がある。低吸水性の硬化剤としては、例えば、フエノール系のノボラック榭脂等がある。

[0085] 本発明のペースト組成物には、必要に応じて、安定化剤、分散剤、沈降分散剤、可塑剤、酸化防止剤、架橋剤、架橋促進剤、溶解抑制剤、溶解調整剤、界面活性剤、表面改質剤、消泡剤などの添加剤の添加を行っても良い。また、上記のような誘電体組成物への液状物質の染み込みを抑制する場合には、ペースト組成物中に可塑剤、架橋剤、界面活性剤、表面改質剤、消泡剤などの添加剤を含有することが好ましい。より好ましい添加剤の例としては、フッ素系の界面活性剤、フッ素系の表面改質剤が挙げられる。フッ素系の界面活性剤としては、大日本インキ化学工業 (株)製の"メガファッグ，（商品名） F— 493、 F— 494、 F— 470、 F— 475、 F— 477、 F— 478、 F —482、 F— 487、 F— 172D、 "ディフェンサ，，（商品名） MCF— 350SF、住友スリーェム (株)製の"ノベック"（商品名） FC—4430などが挙げられる。

[0086] また、誘電体組成物への液状物質の染み込みを抑制する方法として、ペースト組成物中に上記の添加剤を含有することの他に、誘電体組成物の膜表面上に、フッ素系の表面活性剤、フッ素系の表面改質剤、フッ素系のコーティング剤などを 1 μ m厚以下の極薄で塗布し、誘電体組成物の膜表面上に透明被膜を形成しても良い。透明被膜の膜厚は、好ましくは 0. 以下、より好ましくは 0. 以下である。透明被膜の比誘電率は、誘電体組成物の比誘電率と比べて低いため、キャパシタとして大きな静電容量を確保するには、透明被膜の膜厚は薄い方が好ましい。透明被膜の膜厚が 0. 以下であると、キャパシタとして十分大きな静電容量を得やすい。透明被膜の膜厚が 0. 5 μ m以下では十分高ヽ光線透過率を得やす!/、。

実施例

[0087] 以下、本発明の実施例について説明する力本発明はこれらによって限定されるものではない。光線透過率、誘電特性、膜厚、高誘電率無機粒子の平均粒子径、分散液の粒度分布、リーク電流、電圧保持率の評価は下記の方法に従って測定した。

[0088] (1)光線透過率

顕微分光装置 MCPD— 2000 (大塚電子 (株)製)を用いて、（A)ガラス基板の波長 400〜700nmの光線透過率、（B)ガラス基板上に誘電体組成物を形成したサンプルの波長 400〜700nmの光線透過率を測定した。本発明の誘電体組成物の光線透過率は（B)の光線透過率から (A)の光線透過率を差し引いた差スペクトルとした。ガラス基板には、ソーダライムガラスを用いた。本発明の誘電体組成物の透過光スペクトルにおいて、本発明の実施例における光線透過率は波長 400nmの値を代表値として用いた。光線透過率が波長 400nm以外で最小値を示すものにっヽては、波長 400〜700nmで最も小さい値を示した光線透過率と、その値が得られた波長を載した。

[0089] (2)誘電特性

誘電体組成物の静電容量は、インピーダンスアナライザ 4294Aおよびサンプルホルダー 16451B (共にアジレントテクノロジー (株)製)を用いて測定した。

[0090] 実施例 1〜42および比較例 1〜5については、以下のようにして静電容量測定サンプルを作製し、周波数 lkHおよび 1MHzにおける比誘電率を求めた。面積 6cm X 6 cm、厚さ 0. 3mmのアルミニウム基板上の全面に誘電体組成物の塗膜を形成した。この塗膜はスピンコートしたペースト組成物を適宜加熱し、有機溶剤蒸発、榭脂硬化させることにより形成した。続いてこの塗膜上に蒸着法によりアルミニウム電極を形成した。アルミニウム電極は、直径 10mmの円形パターンの測定用電極と内径 11. 5m mのリング状パターンのガード電極である。誘電体組成物の膜厚は 10 μ m〜20 μ m の範囲とした。測定用電極とアルミニウム基板に挟まれた部分が測定対象領域となる。比誘電率は静電容量と測定対象領域の寸法力算出した。

[0091] 実施例 43〜68および比較例 6〜8については、以下のようにして静電容量測定サンプルを作製し、周波数 lkHにおける比誘電率を求めた。透明電極付きガラス基板上に誘電体組成物の塗膜を形成した。この塗膜はスピンコートしたペースト組成物を適宜加熱し、有機溶剤蒸発、榭脂硬化させることにより形成した。続いてこの塗膜上に蒸着法によりアルミニウム電極を形成した。ガラス基板は面積 6cm X 6cm、厚さ 0. 7mm、透明電極は ITO (Indium Tin Oxide)電極を用いた。 ITO電極は、膜厚 1 50± 10nm、抵抗値 8〜20ΩΖ口、透過率≥85% (測定波長 550nm)を用いた。 I TO電極の抵抗値は四端子テスターで測定した。アルミニウム電極は、直径 10mmの円形パターンの測定用電極と内径 11. 5mmのリング状パターンのガード電極である。誘電体組成物の膜厚は実施例 68以外は 1 μ m、実施例 68は 1. 1 μ mとした。測定用電極と ITO電極に挟まれた部分が測定対象領域となる。

[0092] (3)膜厚

塗膜の膜厚は、塗膜と基板の段差をサーフコム 1400 (東京精密 (株)製)を用いて触針法により測定することで求めた。

[0093] (4)高誘電率無機粒子の平均粒子径

高誘電率無機粒子の平均粒子径は以下の方法で求めた。高誘電率無機粒子を有機溶剤に分散し、凝集をほぐした状態にしたものを TEM観察用メッシュ上に滴下し、有機溶剤を蒸発させた後、透過型電子顕微鏡 (TEM)観察を行った。透過型電子顕微鏡 (TEM)観察は倍率 100000倍および 200000倍において行った。得られた高誘電率無機粒子の透過型電子顕微鏡観察写真を画像解析ソフト (Scion Corpora tion社製、 Scion Image)を用いて解析し、各高誘電率無機粒子の像の面積を求めた。このようにして得られた各無機フィラー像を円形と近似し、面積力粒子径を算出した。粒子径の算出は、 100個以上の粒子が撮影されている透過型電子顕微鏡写真を用いて写真内の全ての高誘電率無機粒子に対して行い、その平均値を平均粒子径とした。

[0094] (5)高誘電率無機粒子の分散液中の粒度分布

分散液の粒度分布は、粒度分布測定装置マイクロトラック UPA150 (日機装 (株）製)を用いて測定した。粒度分布は、 50%径、 90%径の値を用いた。 50%径とは、粉体の集合の全体積を 100%として累積カーブを求めたときに、その累積カーブが 5 0%となる点の粒子径の累積中位点（Median径）である。 90%径とは、その累積力ーブが 90%となる点の粒子径である。

[0095] (6)リーク電流

誘電体組成物のリーク電流は以下のようにして測定した。透明電極付きガラス基板上に誘電体組成物を形成した。ガラス基板は面積 6cmX 6cm、厚さ 0. 7mm,透明電極は ITO (Indium Tin Oxide)電極を用いた。 ITO電極は、膜厚 150± 10nm 、抵抗値 8〜20ΩΖ口、透過率≥85% (測定波長 550nm)を用いた。 ITO電極の抵抗値は四端子テスターで測定した。 ITO透明電極付きガラス基板上に誘電体組成物の塗膜を形成した。この塗膜上に蒸着法によりアルミニウム電極を形成した。アルミ -ゥム電極は、厚さ 300nmの直径 2. 5mmの円形パターンの電極である。透明電極とアルミニウム電極に挟まれた部分が測定対象となる。透明電極とアルミニウム電極の間に 2Vの電圧を印加し、電圧印加 20秒後に電流を測定した。この測定にはケースレーインスツルメンッ (株)製、エレクト口メータ/高抵抗システム 6517A型を用 V、た

[0096] (7)電圧保持率

上記 (6)と同じようにして、透明電極付きガラス基板上に誘電体組成物の塗膜を形成した。透明電極付きガラス基板は上記 (6)と同じものを用いた。 [0097] 誘電体組成物の塗膜上に濃度 ImMの塩化カリウム水溶液を滴下し、塩ィ匕カリウム水溶液を介して、上部電極を配置し、上部電極 Z塩化カリウム水溶液 Z誘電体組成物 ZITO透明電極のサンドイッチ構造を形成した。塩化カリウム水溶液の液滴はサンドイツチ構造を形成した際に面積 3mm²、厚み 0. 7mmとなるように調整した。測定対象領域は、塩ィ匕カリウム水溶液と接した面積 3mm²部分の上下電極に挟まれた部分となる。上部電極と ITO透明電極間に電位差 5V、幅 60 sの矩形電圧パルスを加えた。電圧保持率 (VHR)は、式（1)から計算した。 Vは矩形電圧パルス印加時の上部電極と ITO透明電極間の電位差、 Vはパルス立ち下がり後 16. 6ms経過時の電

2

極間電位差を表す。図 1に各電位差と印加矩形電圧パルスの関係を示す。電圧保持率の測定は濃度 ImMの塩ィ匕カリウム水溶液を滴下し、 30秒後に行った。 3回の測定値の平均値を、その誘電体組成物の電圧保持率 (VHR)とした。

[0098] VHR=V /V (1) 。

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[0099] 実施例 1

チタン酸バリウム（Cabot, Inc.社製、 K— Plus 16 :平均粒子径 0. 06 /ζ πι) 429重量部、 γ—プチ口ラタトン 1050重量部、分散剤（リン酸エステル骨格を有する酸基を持つコポリマー、ビックケミ一'ジャパン (株）製、 BYK-W9010) 21. 4重量部をウルトラアベックスミル (寿工業 (株)製)を用いて混練し、分散液 A— 1を得た。エポキシ榭脂（ジャパンエポキシレジン (株)製、 "ェピコート"（商品名） YX8000) 6. 8重量部、硬化剤 (新日本理化 (株)製、 "リカシッド"（商品名） ΜΗ700) 4. 7重量部、硬化促進剤， Ν ジメチルベンジルァミン） 0. 2重量部、 γ—ブチロラタトン 1. 2重量部を混合し、エポキシ榭脂溶液 B—1を得た。ェピコート ΥΧ8000はエポキシ当量 205gZe qの液状エポキシ榭脂である。分散液 A—1を 150重量部と、エポキシ榭脂溶液 B— 1 を 3重量部とをボールミルを用いて混合し、ペースト組成物全量に対する含有有機溶剤量が 69重量％であるペースト組成物 C— 1を作製した。 C— 1を硬化させて得られる誘電体組成物中の高誘電率無機粒子の含有量は誘電体組成物全量に対し、 90 重量％となる。

[0100] ペースト組成物 C 1をガラス基板上にスピンコーターを用いて塗布し、オーブンを用いて 80°Cで 15分間の熱処理を行、乾燥させた後、 175°Cで 4時間の熱処理を行い硬化させ、膜厚 1. 4 mの誘電体組成物 (硬化膜)を得た。膜厚調整はスピンコート時のスピン速度調整により行った。この誘電体組成物の光線透過率 (波長 400nm) は 50%であった。

[0101] この試料の空隙率を測定したところ、 3%であった。空隙率の測定は以下の方法で行った。シリコンウェハ上の全面に誘電体組成物の塗膜を形成した。この塗膜はスピンコートしたペースト組成物を適宜加熱し、有機溶剤蒸発、榭脂硬化させることにより形成した。これを約 2cm X 2. 5cmの大きさにカットしたものを 5枚作製した。次に、より正確な大きさをノギスを用いて採寸し、膜面積をもとめた。この膜面積と上記（3)の膜厚の測定方法で求めた膜厚カゝら膜の嵩体積 Aを求めた。次にマイクロメリテックス社製のポアサイザ一 9320を用いて水銀圧入法（測定圧力範囲： 100kPa〜207MP a、セル容積 15cm²)により、細孔容積 Bを求めた。空隙率 C (%)は、 C= 100 X BZ Aから求めた。

[0102] ペースト組成物 C— 1を厚さ 300 μ mのアルミ基板上にスピンコーターを用いて塗布し、オーブンを用いて、 80°Cで 15分間の熱処理を行い乾燥させた後、 175°Cで 4 時間の熱処理を行い硬化させ、誘電体組成物 (硬化膜)を得た。この誘電体組成物上にアルミ電極を形成し、誘電特性評価サンプルとした。 1MHzにおける比誘電率は 38であった。

[0103] 実施例 2

ペースト組成物 C— 1をガラス基板上にスピンコーターを用いて塗布し、オーブンを用いて 80°Cで 15分間の熱処理を行、乾燥させた後、 175°Cで 4時間の熱処理を行 V、硬化させ、膜厚 0. 8 μ mの誘電体組成物 (硬化膜)を得た。膜厚調整はスピンコート時のスピン速度調整により行った。この誘電体組成物の光線透過率 (波長 400nm) は 65%であった。

[0104] 実施例 3

ペースト組成物 C— 1をガラス基板上にスピンコーターを用いて塗布し、オーブンを用いて 80°Cで 15分間の熱処理を行、乾燥させた後、 175°Cで 4時間の熱処理を行い硬化させ、膜厚 0. 4 mの誘電体組成物 (硬化膜)を得た。膜厚調整はスピンコート時のスピン速度調整により行った。この誘電体組成物の光線透過率 (波長 400nm) は 85%であった。

[0105] 実施例 4

ペースト組成物 C— 1をガラス基板上にスピンコーターを用いて塗布し、オーブンを用いて 80°Cで 15分間の熱処理を行、乾燥させた後、 175°Cで 4時間の熱処理を行 V、硬化させ、膜厚 0. 1 μ mの誘電体組成物 (硬化膜)を得た。膜厚調整はスピンコート時のスピン速度調整により行った。この誘電体組成物の光線透過率 (波長 400nm) は 93%であった。

[0106] 実施例 5

分散液 A— 1を 150重量部と、エポキシ榭脂溶液 B— 1を 5重量部とをボールミルを用いて混合し、ペースト組成物全量に対する含有有機溶剤量が 68重量％であるべ一スト組成物 C 2を作製した。 C 2を硬化させて得られる誘電体組成物中の高誘電率無機粒子の含有量は誘電体組成物全量に対し、 87重量％となる。このペースト組成物 C - 2をガラス基板上にスピンコーターを用いて塗布し、オーブンを用いて 80 °Cで 15分間の熱処理を行、乾燥させた後、 175°Cで 4時間の熱処理を行、硬化させ、膜厚 1. 4 mの誘電体組成物 (硬化膜)を得た。膜厚調整はスピンコート時のスピン速度調整により行った。この誘電体組成物の光線透過率 (波長 400nm)は 55% であった。実施例 1と同様にして、ペースト組成物 C— 2から誘電体組成物を作製し、誘電特性の評価を行ったところ、 1MHzにおける比誘電率は 36であった。

[0107] 実施例 6

分散液 A— 1を 150重量部と、エポキシ榭脂溶液 B— 1を 12重量部とをボールミルを用いて混合し、ペースト組成物全量に対する含有有機溶剤量が 65重量％であるペースト組成物 C 3を作製した。 C 3を硬化させて得られる誘電体組成物中の高誘電率無機粒子の含有量は誘電体組成物全量に対し、 77重量％となる。このぺースト組成物 C 3をガラス基板上にスピンコ一ターを用ヽて塗布し、オーブンを用ヽて 80°Cで 15分間の熱処理を行、乾燥させた後、 175°Cで 4時間の熱処理を行、硬化させ、膜厚 1. 4 /z mの誘電体組成物 (硬化膜)を得た。膜厚調整はスピンコート時のスピン速度調整により行った。この誘電体組成物の光線透過率 (波長 400nm)は 70 %であった。実施例 1と同様にして、ペースト組成物 C— 3から誘電体組成物を作製し、誘電特性の評価を行ったところ、 1MHzにおける比誘電率は 18であった。

[0108] 実施例 7

分散液 A— 1を 150重量部と、エポキシ榭脂溶液 B— 1を 20重量部とをボールミルを用いて混合し、ペースト組成物全量に対する含有有機溶剤量が 63重量％であるペースト組成物 C 4を作製した。 C 4を硬化させて得られる誘電体組成物中の高誘電率無機粒子の含有量は誘電体組成物全量に対し、 68重量％となる。このぺースト組成物 C 4をガラス基板上にスピンコ一ターを用ヽて塗布し、オーブンを用ヽて 80°Cで 15分間の熱処理を行、乾燥させた後、 175°Cで 4時間の熱処理を行、硬化させ、膜厚 1. 4 /z mの誘電体組成物 (硬化膜)を得た。膜厚調整はスピンコート時のスピン速度調整により行った。この誘電体組成物の光線透過率 (波長 400nm)は 80 %であった。実施例 1と同様にして、ペースト組成物 C— 4から誘電体組成物を作製し、誘電特性の評価を行ったところ、 1MHzにおける比誘電率は 12であった。

[0109] 実施例 8

水熱合成法を用いて作製した平均粒子径 0. 03 μ mのチタン酸バリウム Τ 1を 42 9重量部、 γ—プチ口ラタトン 1050重量部、分散剤（リン酸エステル骨格を有する酸基を持つコポリマー、ビックケミ一'ジャパン (株）製、 BYK-W9010) 21. 4重量部をウルトラアベックスミル (寿工業 (株)製)を用いて混練し、分散液 A— 2を得た。分散液 A— 2を 150重量部と、エポキシ榭脂溶液 B— 1を 3重量部とをボールミルを用いて混合し、ペースト組成物全量に対する含有有機溶剤量が 69重量％であるペースト組成物 C 5を作製した。 C 5を硬化させて得られる誘電体組成物中の高誘電率無機粒子の含有量は誘電体組成物全量に対し、 90重量％となる。このペースト組成物 C 5をガラス基板上にスピンコーターを用いて塗布し、オーブンを用いて 80°Cで 15 分間の熱処理を行い乾燥させた後、 175°Cで 4時間の熱処理を行い硬化させ、膜厚 1. 4 mの誘電体組成物 (硬化膜)を得た。膜厚調整はスピンコート時のスピン速度調整により行った。この誘電体組成物の光線透過率 (波長 400nm)は 75%であった。実施例 1と同様にして、ペースト組成物 C— 5から誘電体組成物を作製し、誘電特性の評価を行ったところ、 1MHzにおける比誘電率は 35であった。

[0110] 実施例 9 ペースト組成物 C— 5をガラス基板上にスピンコーターを用いて塗布し、オーブンを用いて 80°Cで 15分間の熱処理を行、乾燥させた後、 175°Cで 4時間の熱処理を行

V、硬化させ、膜厚 0. 8 μ mの誘電体組成物 (硬化膜)を得た。膜厚調整はスピンコート時のスピン速度調整により行った。この誘電体組成物の光線透過率 (波長 400nm) は 80%であった。

[0111] 実施例 10

ペースト組成物 C— 5をガラス基板上にスピンコーターを用いて塗布し、オーブンを用いて 80°Cで 15分間の熱処理を行、乾燥させた後、 175°Cで 4時間の熱処理を行い硬化させ、膜厚 0. 4 mの誘電体組成物 (硬化膜)を得た。膜厚調整はスピンコート時のスピン速度調整により行った。この誘電体組成物の光線透過率 (波長 400nm) は 92%であった。

[0112] 実施例 11

ペースト組成物 C— 5をガラス基板上にスピンコーターを用いて塗布し、オーブンを用いて 80°Cで 15分間の熱処理を行、乾燥させた後、 175°Cで 4時間の熱処理を行

V、硬化させ、膜厚 0. 1 μ mの誘電体組成物 (硬化膜)を得た。膜厚調整はスピンコート時のスピン速度調整により行った。この誘電体組成物の光線透過率 (波長 400nm) は 96%であった。

[0113] 実施例 12

分散液 A— 2を 150重量部と、エポキシ榭脂溶液 B— 1を 5重量部とをボールミルを用いて混合し、ペースト組成物全量に対する含有有機溶剤量が 68重量％であるべ一スト組成物 C 6を作製した。 C 6を硬化させて得られる誘電体組成物中の高誘電率無機粒子の含有量は誘電体組成物全量に対し、 87重量％となる。このペースト糸且成物 C— 6をガラス基板上にスピンコーターを用いて塗布し、オーブンを用いて 80 °Cで 15分間の熱処理を行、乾燥させた後、 175°Cで 4時間の熱処理を行、硬化させ、膜厚 1. 4 mの誘電体組成物 (硬化膜)を得た。膜厚調整はスピンコート時のスピン速度調整により行った。この誘電体組成物の光線透過率 (波長 400nm)は 78% であった。実施例 1と同様にして、ペースト組成物 C— 6から誘電体組成物を作製し、誘電特性の評価を行ったところ、 1MHzにおける比誘電率は 32であった。 [0114] 実施例 13

分散液 A— 2を 150重量部と、エポキシ榭脂溶液 B— 1を 12重量部とをボールミルを用いて混合し、ペースト組成物全量に対する含有有機溶剤量が 65重量％であるペースト組成物 C 7を作製した。 C 7を硬化させて得られる誘電体組成物中の高誘電率無機粒子の含有量は誘電体組成物全量に対し、 77重量％となる。このぺースト糸且成物 C 7をガラス基板上にスピンコーターを用いて塗布し、オーブンを用いて 80°Cで 15分間の熱処理を行、乾燥させた後、 175°Cで 4時間の熱処理を行、硬化させ、膜厚 1. 4 /z mの誘電体組成物 (硬化膜)を得た。膜厚調整はスピンコート時のスピン速度調整により行った。この誘電体組成物の光線透過率 (波長 400nm)は 83 %であった。実施例 1と同様にして、ペースト組成物 C— 7から誘電体組成物を作製し、誘電特性の評価を行ったところ、 1MHzにおける比誘電率は 17であった。

[0115] 実施例 14

分散液 A— 2を 150重量部と、エポキシ榭脂溶液 B— 1を 20重量部とをボールミルを用いて混合し、ペースト組成物全量に対する含有有機溶剤量が 63重量％であるペースト組成物 C 8を作製した。 C 8を硬化させて得られる誘電体組成物中の高誘電率無機粒子の含有量は誘電体組成物全量に対し、 68重量％となる。このぺースト組成物 C 8をガラス基板上にスピンコ一ターを用ヽて塗布し、オーブンを用ヽて 80°Cで 15分間の熱処理を行、乾燥させた後、 175°Cで 4時間の熱処理を行、硬化させ、膜厚 1. 4 /z mの誘電体組成物 (硬化膜)を得た。膜厚調整はスピンコート時のスピン速度調整により行った。この誘電体組成物の光線透過率 (波長 400nm)は 88 %であった。実施例 1と同様にして、ペースト組成物 C— 8から誘電体組成物を作製し、誘電特性の評価を行ったところ、 1MHzにおける比誘電率は 12であった。

[0116] 実施例 15

チタン酸バリウム（Buhler P ARTEC GmbH社製、 Barium titanate :平均粒子径 0. 022 m (メーカー仕様平均粒子径 0. 018 m) 429重量部、 γ—ブチロラタトン 1050重量部、分散剤（リン酸エステル骨格を有する酸基を持つコポリマー、ビックケミ一'ジャパン（株）製、 BYK-W9010) 21. 4重量部をウルトラァペックスミル（寿工業 (株)製)を用いて混練し、分散液 A— 3を得た。分散液 A— 3を 150重量部と、エポキシ榭脂溶液 B—lを 3重量部とをボールミルを用いて混合し、ペースト組成物全量に対する含有有機溶剤量が 69重量％であるペースト組成物 C 9を作製した。 C 9を硬化させて得られる誘電体組成物中の高誘電率無機粒子の含有量は誘電体組成物全量に対し、 90重量％となる。このペースト組成物 C— 9をガラス基板上にスピンコーターを用いて塗布し 80°Cで 15分間の熱処理を行い乾燥させた後、 175°C で 4時間の熱処理を行い硬化させ、膜厚 1. 4 mの誘電体組成物 (硬化膜)を得た。膜厚調整はスピンコート時のスピン速度調整により行った。この誘電体組成物の光線透過率（波長 400nm)は 80%であった。

[0117] ペースト組成物 C— 9を厚さ 300 μ mのアルミ基板上にスピンコーターを用いて塗布し、オーブンを用いて、 80°Cで 15分間の熱処理を行い乾燥させた後、 175°Cで 4 時間の熱処理を行い硬化させ、誘電体組成物 (硬化膜)を得た。この誘電体組成物上にアルミ電極を形成し、誘電特性評価サンプルとした。 1MHzにおける比誘電率は 32であった。

[0118] 実施例 16

ペースト組成物 C— 9をガラス基板上にスピンコーターを用いて塗布し、オーブンを用いて 80°Cで 15分間の熱処理を行、乾燥させた後、 175°Cで 4時間の熱処理を行 V、硬化させ、膜厚 0. 8 μ mの誘電体組成物 (硬化膜)を得た。膜厚調整はスピンコート時のスピン速度調整により行った。この誘電体組成物の光線透過率 (波長 400nm) は 83%であった。

[0119] 実施例 17

ペースト組成物 C— 9をガラス基板上にスピンコーターを用いて塗布し、オーブンを用いて 80°Cで 15分間の熱処理を行、乾燥させた後、 175°Cで 4時間の熱処理を行い硬化させ、膜厚 0. 4 mの誘電体組成物 (硬化膜)を得た。膜厚調整はスピンコート時のスピン速度調整により行った。この誘電体組成物の光線透過率 (波長 400nm) は 94%であった。

[0120] 実施例 18

ペースト組成物 C— 9をガラス基板上にスピンコーターを用いて塗布し、オーブンを用いて 80°Cで 15分間の熱処理を行、乾燥させた後、 175°Cで 4時間の熱処理を行 V、硬化させ、膜厚 0. 1 μ mの誘電体組成物 (硬化膜)を得た。膜厚調整はスピンコート時のスピン速度調整により行った。この誘電体組成物の光線透過率 (波長 400nm) は 97%であった。

[0121] 実施例 19

分散液 A— 3を 150重量部と、エポキシ榭脂溶液 B— 1を 5重量部とをボールミルを用いて混合し、ペースト組成物全量に対する含有有機溶剤量が 68重量％であるべ一スト組成物 C— 10を作製した。 C— 10を硬化させて得られる誘電体組成物中の高誘電率無機粒子の含有量は誘電体組成物全量に対し、 87重量％となる。このぺースト組成物 C— 10をガラス基板上にスピンコーターを用いて塗布し、オーブンを用いて 80°Cで 15分間の熱処理を行、乾燥させた後、 175°Cで 4時間の熱処理を行!ヽ硬化させ、膜厚 1. 4 mの誘電体組成物 (硬化膜)を得た。膜厚調整はスピンコート時のスピン速度調整により行った。この誘電体組成物の光線透過率 (波長 400nm)は 8 3%であった。実施例 1と同様にして、ペースト組成物 C— 10から誘電体組成物を作製し、誘電特性の評価を行ったところ、 1MHzにおける比誘電率は 30であった。

[0122] 実施例 20

分散液 A— 3を 150重量部と、エポキシ榭脂溶液 B— 1を 12重量部とをボールミルを用いて混合し、ペースト組成物 C— 11を作製した。 C— 11を硬化させて得られる誘電体組成物中の高誘電率無機粒子の含有量は誘電体組成物全量に対し、 77重量 %となる。このペースト組成物 C— 11をガラス基板上にスピンコーターを用いて塗布し、オーブンを用いて 80°Cで 15分間の熱処理を行い乾燥させた後、 175°Cで 4時間の熱処理を行い硬化させ、膜厚 1. 4 mの誘電体組成物 (硬化膜)を得た。膜厚調整はスピンコート時のスピン速度調整により行った。この誘電体組成物の光線透過率 (波長 400nm)は 85%であった。実施例 1と同様にして、ペースト組成物 C— 11から誘電体組成物を作製し、誘電特性の評価を行ったところ、 1MHzにおける比誘電率は 16であった。

[0123] 実施例 21

分散液 A— 3を 150重量部と、エポキシ榭脂溶液 B— 1を 20重量部とをボールミルを用いて混合し、ペースト組成物 C— 12を作製した。 C— 12を硬化させて得られる誘電体組成物中の高誘電率無機粒子の含有量は誘電体組成物全量に対し、 68重量 %となる。このペースト組成物 C— 12をガラス基板上にスピンコーターを用いて塗布し、オーブンを用いて 80°Cで 15分間の熱処理を行い乾燥させた後、 175°Cで 4時間の熱処理を行い硬化させ、膜厚 1. 4 mの誘電体組成物 (硬化膜)を得た。膜厚調整はスピンコート時のスピン速度調整により行った。この誘電体組成物の光線透過率 (波長 400nm)は 90%であった。実施例 1と同様にして、ペースト組成物 C— 12から誘電体組成物を作製し、誘電特性の評価を行ったところ、 1MHzにおける比誘電率は 12であった。

[0124] 実施例 22

チタン酸ストロンチウム（TPL, Inc.製、 HPS— 2000 :平均粒子径 0. 045 m) 4 29重量部、 γ—プチ口ラタトン 1050重量部、分散剤（リン酸エステル骨格を有する酸基を持つコポリマー、ビックケミ一'ジャパン (株）製、 BYK-W9010) 21. 4重量部をウルトラアベックスミル (寿工業 (株)製)を用いて混練し、分散液 A— 4を得た。分散液 A— 4を 150重量部と、エポキシ榭脂溶液 B— 1を 3重量部とをボールミルを用いて混合し、ペースト組成物全量に対する含有有機溶剤量が 69重量％であるペースト組成物 C 13を作製した。 C 13を硬化させて得られる誘電体組成物中の高誘電率無機粒子の含有量は誘電体組成物全量に対し、 90重量％となる。

[0125] このペースト組成物 C— 13をガラス基板上にスピンコーターを用いて塗布し、ォーブンを用いて 80°Cで 15分間の熱処理を行、乾燥させた後、 175°Cで 4時間の熱処理を行い硬化させ、膜厚 1. 4 mの誘電体組成物 (硬化膜)を得た。膜厚調整はスピンコート時のスピン速度調整により行った。この誘電体組成物の光線透過率 (波長

400nm)は 55%であった。ペースト組成物 C— 13を厚さ 300 μ mのアルミ基板上にスピンコーターを用いて塗布し、オーブンを用いて、 80°Cで 15分間の熱処理を行い乾燥させた後、 175°Cで 4時間の熱処理を行い硬化させ、誘電体組成物 (硬化膜)を得た。この誘電体組成物上にアルミ電極を形成し、誘電特性評価サンプルとした。 1 MHzにおける比誘電率は 27であった。

[0126] 実施例 23

ペースト組成物 C— 5をガラス基板上にスピンコーターを用いて塗布し、オーブンを用いて 80°Cで 15分間の熱処理を行、乾燥させた後、 175°Cで 4時間の熱処理を行 Vヽ硬化させ、膜厚 2 μ mの誘電体組成物 (硬化膜)を得た。膜厚調整はスピンコート時のスピン速度調整により行った。この誘電体組成物の光線透過率 (波長 400nm) は 65%であった。

[0127] 実施例 24

ペースト組成物 C— 9をガラス基板上にスピンコーターを用いて塗布し、オーブンを用いて 80°Cで 15分間の熱処理を行、乾燥させた後、 175°Cで 4時間の熱処理を行 Vヽ硬化させ、膜厚 2 μ mの誘電体組成物 (硬化膜)を得た。膜厚調整はスピンコート時のスピン速度調整により行った。この誘電体組成物の光線透過率 (波長 400nm) は 70%であった。

[0128] 実施例 25

チタン酸バリウム（Buhler P ARTEC GmbH社製、 Barium titanate :平均粒子径 0. 022 m (メーカー仕様平均粒子径 0. 018 m) 224重量部、 γ—ブチロラタトン 165重量部、分散剤（リン酸エステル骨格を有する酸基を持つコポリマー、ビックケミ一'ジャパン (株）製、 BYK— W9010) 11重量部をホモジナイザーを用いて混練し、分散液 Α- 5を得た。分散液 Α— 5を 150重量部と、エポキシ榭脂溶液 B—1を 5. 9重量部とをボールミルを用いて混合し、ペースト組成物全量に対する含有有機溶剤量力 0重量％であるペースト組成物 C— 14を作製した。 C— 14を硬化させて得られる誘電体組成物中の高誘電率無機粒子の含有量は誘電体組成物全量に対し、 90重量％となる。このペースト組成物 C— 14をガラス基板上にスピンコーターを用いて塗布し、オーブンを用いて 80°Cで 15分間の熱処理を行い乾燥させた後、 175°C で 4時間の熱処理を行い硬化させ、膜厚 1. 4 mの誘電体組成物 (硬化膜)を得た。膜厚調整はスピンコート時のスピン速度調整により行った。この誘電体組成物の光線透過率（波長 400nm)は 68%であった。

[0129] ペースト組成物 C— 14を厚さ 300 μ mのアルミ基板上にスピンコーターを用いて塗布し、オーブンを用いて、 80°Cで 15分間の熱処理を行い乾燥させた後、 175°Cで 4 時間の熱処理を行い硬化させ、誘電体組成物 (硬化膜)を得た。この誘電体組成物上にアルミ電極を形成し、誘電特性評価サンプルとした。 1MHzにおける比誘電率は 34であった。

[0130] 実施例 26

分散液 A— 1を 150重量部と、エポキシ榭脂溶液 B— 1を 3重量部と、 γ プチロラタトンを 86重量部とをボールミルを用いて混合し、ペースト組成物全量に対する含有有機溶剤量が 80重量％であるペースト組成物 C— 15を作製した。 C— 15を硬化させて得られる誘電体組成物中の高誘電率無機粒子の含有量は誘電体組成物全量に対し、 90重量⁰ /₀となる。このペースト組成物 C— 15をガラス基板上にスピンコータ一を用いて塗布し、オーブンを用いて 80°Cで 15分間の熱処理を行、乾燥させた後、 175°Cで 4時間の熱処理を行い硬化させ、膜厚 0. 8 mの誘電体組成物 (硬化膜 )を得た。膜厚調整はスピンコート時のスピン速度調整により行った。この誘電体組成物の光線透過率 (波長 400nm)は 51%であった。

[0131] ペースト組成物 C— 15を厚さ 300 mのアルミ基板上にスピンコ一ターを用!ヽて塗布し、オーブンを用いて、 80°Cで 15分間の熱処理を行い乾燥させた後、 175°Cで 4 時間の熱処理を行い硬化させ、誘電体組成物 (硬化膜)を得た。この誘電体組成物上にアルミ電極を形成し、誘電特性評価サンプルとした。 1MHzにおける比誘電率は 41であった。

[0132] 実施例 27

チタン酸バリウム（Cabot, Inc.社製、 K— Plus 16 :平均粒子径 0. 06 /ζ πι) 429重量部、 γ プチ口ラタトン 315重量部、分散剤（リン酸エステル骨格を有する酸基を持つコポリマー、ビックケミ一'ジャパン (株）製、 BYK-W9010) 21. 4重量部をホモジナイザーを用いて混練し、分散液 A— 6を得た。分散液 A— 6を 76. 5重量部と、ェポキシ榭脂溶液 B— 1を 3重量部とをボールミルを用いて混合し、ペースト組成物全量に対する含有有機溶剤量が 40重量％であるペースト組成物 C— 16を作製した。 C 16を硬化させて得られる誘電体組成物中の高誘電率無機粒子の含有量は誘電体組成物全量に対し、 90重量％となる。このペースト組成物 C— 16をガラス基板上にスピンコーターを用いて塗布し、オーブンを用いて 80°Cで 15分間の熱処理を行!ヽ乾燥させた後、 175°Cで 4時間の熱処理を行い硬化させ、膜厚 1. の誘電体組成物 (硬化膜)を得た。膜厚調整はスピンコート時のスピン速度調整により行った。この誘電体組成物の光線透過率（波長 400nm)は 50%であった。ペースト組成物 C 16を厚さ 300 μ mのアルミ基板上にスピンコーターを用いて塗布し、オーブンを用いて、 80°Cで 15分間の熱処理を行い乾燥させた後、 175°Cで 4時間の熱処理を行い硬化させ、誘電体組成物 (硬化膜)を得た。この誘電体組成物上にアルミ電極を形成し、誘電特性評価サンプルとした。 1MHzにおける比誘電率は 36であった。

[0133] 実施例 28

水熱合成法を用いて作製した平均粒子径 0. 05 μ mのチタン酸バリウム Τ 2を 42 9重量部、 γ—プチ口ラタトン 1050重量部、分散剤（リン酸エステル骨格を有する酸基を持つコポリマー、ビックケミ一'ジャパン (株）製、 BYK-W9010) 21. 4重量部をウルトラアベックスミル (寿工業 (株)製)を用いて混練し、分散液 A— 7を得た。分散液 A— 7を 150重量部と、エポキシ榭脂溶液 B—1を 189重量部と、 y—ブチ口ラタトンを 365重量部とをボールミルを用いて混合し、ペースト組成物全量に対する含有有機溶剤量が 69重量％であるペースト組成物 C— 17を作製した。 C— 17を硬化させて得られる誘電体組成物中の高誘電率無機粒子の含有量は誘電体組成物全量に対し、 20重量％となる。このペースト組成物 C— 17をガラス基板上にスピンコーターを用いて塗布し、オーブンを用いて 80°Cで 15分間の熱処理を行い乾燥させた後、 17 5°Cで 4時間の熱処理を行、硬化させ、膜厚 1. 4 mの誘電体組成物 (硬化膜)を得た。膜厚調整はスピンコート時のスピン速度調整により行った。この誘電体組成物の光線透過率 (波長 400nm)は 82%であった。

[0134] ペースト組成物 C— 17を厚さ 300 μ mのアルミ基板上にスピンコーターを用いて塗布し、オーブンを用いて、 80°Cで 15分間の熱処理を行い乾燥させた後、 175°Cで 4 時間の熱処理を行い硬化させ、誘電体組成物 (硬化膜)を得た。この誘電体組成物上にアルミ電極を形成し、誘電特性評価サンプルとした。 1MHzにおける比誘電率は 8であった。

[0135] 実施例 29

エポキシ榭脂（日本化薬 (株)製、 NC3000) 15. 3重量部、フエノールノボラック榭脂（日本化薬 (株)製、 "カャハード"（商品名） KTG— 105) 5. 3重量部、硬化促進剤 (北興ィ匕学 (株)製、トリフエ-ルホスフィン) 0. 2重量部、 γ—プチ口ラタトン 24. 7重量部を混合し、エポキシ榭脂溶液 B— 2を得た。分散液 A— 3を 150重量部と、ェポキシ榭脂溶液 B— 2を 10. 9重量部とをボールミルを用いて混合し、ペースト組成物全量に対する含有有機溶剤量が 70重量％であるペースト組成物 C— 18を作製した。 C 18を硬化させて得られる誘電体組成物中の高誘電率無機粒子の含有量は誘電体組成物全量に対し、 90重量％となる。このペースト組成物 C— 18をガラス基板

、て塗布し、オーブンを用いて 80°Cで 15分間の熱処理を行い乾燥させた後、 175°Cで 4時間の熱処理を行い硬化させ、膜厚 1. の誘電体組成物 (硬化膜)を得た。膜厚調整はスピンコート時のスピン速度調整により行った。この誘電体組成物の光線透過率 (波長 400nm)は 72%であった。

[0136] ペースト組成物 C— 18を厚さ 300 μ mのアルミ基板上にスピンコーターを用いて塗布し、オーブンを用いて、 80°Cで 15分間の熱処理を行い乾燥させた後、 175°Cで 4 時間の熱処理を行い硬化させ、誘電体組成物 (硬化膜)を得た。この誘電体組成物上にアルミ電極を形成し、誘電特性評価サンプルとした。 1MHzにおける比誘電率は 32であった。

[0137] 実施例 30

光重合性アクリル榭脂 (ダイセル化学工業 (株)製、 "サイクロマー"（商品名）） 100 重量⁰ /₀、光ラジカル発生剤（チバスペシャルティケミカルズ社製、 "ィルガキュア，，（商品名） 369) 10重量部、 PGMEA (プロピレングリコールメチルエーテルアセテート） 9 0重量部を室温にて 2時間攪拌し、アクリル榭脂溶液 B— 3を得た。分散液 A— 3を 15 0重量部と、アクリル榭脂溶液 B— 3を 4. 9重量部とをボールミルを用いて混合し、ぺ一スト組成物全量に対する含有有機溶剤量が 69重量％であるペースト組成物 C 1 9を作製した。 C 19を硬化させて得られる誘電体組成物中の高誘電率無機粒子の含有量は誘電体組成物全量に対し、 90重量％となる。このペースト組成物 C— 19をガラス基板上にスピンコーターを用いて塗布し、オーブンを用いて 80°Cで 15分間の熱処理を行い乾燥させた後、全面に超高圧水銀灯を露光して硬化し、膜厚 1.

の誘電体組成物 (硬化膜)を得た。膜厚調整はスピンコート時のスピン速度調整により行った。この誘電体組成物の光線透過率 (波長 400nm)は 75%であった。

[0138] ペースト組成物 C— 19を厚さ 300 μ mのアルミ基板上にスピンコーターを用いて塗布し、オーブンを用いて、 80°Cで 15分間の熱処理を行い乾燥させた後、全面に超高圧水銀灯を露光して硬化させ、誘電体組成物 (硬化膜)を得た。この誘電体組成物上にアルミ電極を形成し、誘電特性評価サンプルとした。 1MHzにおける比誘電率は 28であった。

[0139] 比較例 1

チタン酸バリウム (堺ィ匕学工業 (株)製、 BT— 05、平均粒子径: 0. 5 /ζ πι) 323重量部、 Ί—プチ口ラタトン 18重量部、分散剤（リン酸エステル骨格を有する酸基を持つコポリマー、ビックケミ一'ジャパン (株）製、 BYK-W9010) 0. 2重量部をホモジナイザ一を用いて氷冷下で 1時間混合分散し、分散液 A— 8を得た。エポキシ榭脂（日本化薬 (株)製、 EPPN502H) 12. 8重量部、フエノールノボラック榭脂（大日本インキ化学工業 (株)製、 TD— 2131) 7. 8重量部、硬化促進剤 (北興化学工業 (株)製、トリフエ-ルホスフィン） 0. 2重量部、 γ —ブチロラタトン 24. 8重量部を混合し、ェポキシ榭脂溶液 Β— 4を得た。分散液 Α— 8を 341. 2重量部と、エポキシ榭脂溶液 Β— 4 を 45. 6重量部とをボールミルを用いて混合し、ペースト組成物全量に対する含有有機溶剤量が 11重量％であるペースト組成物 C— 20を作製した。 C— 20を硬化させて得られる誘電体組成物中の高誘電率無機粒子の含有量は誘電体組成物全量に対し、 94重量％となる。このペースト組成物 C— 20をガラス基板上にスピンコーターを用いて塗布し、オーブンを用いて 80°Cで 15分間の熱処理を行い乾燥させた後、 17 5°Cで 4時間の熱処理を行、硬化させ、膜厚 10 μ mの誘電体組成物 (硬化膜)を得た。膜厚調整はスピンコート時のスピン速度調整により行った。この誘電体組成物の光線透過率 (波長 400nm)は 8%であった。

[0140] ペースト組成物 C— 20を厚さ 300 μ mのアルミ基板上にスピンコーターを用いて塗布し、オーブンを用いて、 80°Cで 15分間の熱処理を行い乾燥させた後、 175°Cで 4 時間の熱処理を行い硬化させ、誘電体組成物 (硬化膜)を得た。この誘電体組成物上にアルミ電極を形成し、誘電特性評価サンプルとした。 1MHzにおける比誘電率は 95であった。

[0141] 比較例 2

チタン酸バリウム (堺ィ匕学工業 (株)製、 8丁ー05 :平均粒子径0. 5 ^ πι) 62. 3重量部、チタン酸バリウム（TPL, Inc.社製、 HPB— 1000 :平均粒子径 0. 059 m) 21 . 9重量部、 γ プチ口ラタトン 15重量部、分散剤（リン酸エステル骨格を有する酸基を持つコポリマー、ビックケミ一'ジャパン (株）製、 BYK-W9010) 0. 8重量部をホモジナイザーを用いて混練し、分散液 A— 9を得た。エポキシ榭脂（日本化薬 (株)製、 EPPN502H) 2. 2重量部、フエノールノボラック榭脂（大日本インキ化学工業 (株）製、 TD—2131) 1. 4重量部、硬化促進剤 (北興化学工業 (株)製、トリフエニルホスフィン) 0. 04重量部、 γ プチ口ラタトン 7. 1重量部を混合し、エポキシ榭脂溶液 Β 5を得た。分散液 Α— 9を 100重量部と、エポキシ榭脂溶液 Β— 5を 10. 7重量部とをボールミルを用いて混合し、ペースト組成物全量に対する含有有機溶剤量が 20重量％であるペースト組成物 C— 21を作製した。 C— 21を硬化させて得られる誘電体組成物中の高誘電率無機粒子の含有量は誘電体組成物全量に対し、 95重量％となる。このペースト組成物 C - 21をガラス基板上にスピンコ一ターを用ヽて塗布し、オーブンを用いて 80°Cで 15分間の熱処理を行、乾燥させた後、 175°Cで 4時間の熱処理を行!ヽ硬化させ、膜厚 10 μ mの誘電体組成物 (硬化膜)を得た。膜厚調整はスピンコート時のスピン速度調整により行った。この誘電体組成物の光線透過率 (波長 400nm)は 5%であった。

[0142] ペースト組成物 C— 21を厚さ 300 μ mのアルミ基板上にスピンコーターを用いて塗布し、オーブンを用いて、 80°Cで 15分間の熱処理を行い乾燥させた後、 175°Cで 4 時間の熱処理を行い硬化させ、誘電体組成物 (硬化膜)を得た。この誘電体組成物上にアルミ電極を形成し、誘電特性評価サンプルとした。 1MHzにおける比誘電率は 123であった。

[0143] 比較例 3

チタン酸バリウム (堺ィ匕学工業 (株)製、 BT— 01 :平均粒子径 0.： L m) 200重量部、トルエン 400重量部をホモジナイザー用いて氷冷下で 1時間混練分散し、分散液 A— 10を得た。エポキシ榭脂 YD— 8125 (東都化成 (株)製、 YD8125) 100重量部、硬化剤 (日立化成工業 (株)製、 HN— 5500) 90重量部、硬化促進剤 (ジャパンエポキシレジン (株)製、 "ェピキュア"（商品名） 3010) 1重量部を混合し、エポキシ榭脂溶液 B— 6を得た。分散液 A— 10を 60重量部と、 B— 6を 1. 9重量部とを混合し、ペースト組成物全量に対する含有有機溶剤量が 69重量％であるペースト組成物 C —22を作製した。 C— 22を硬化させて得られる誘電体組成物中の高誘電率無機粒子の含有量は誘電体組成物全量に対し、 90重量％となる。このペースト組成物 C— 22をガラス基板上にスピンコーターを用 V、て塗布し、オーブンを用いて 120°Cで 15 時間の熱処理を行い硬化させ、スピン速度を調整し、膜厚 1. 4 mの誘電体組成物 (硬化膜)を得た。膜厚調整はスピンコート時のスピン速度調整により行った。この誘電体組成物の光線透過率 (波長 400nm)は 28%であった。

[0144] ペースト組成物 C— 22を厚さ 300 μ mのアルミ基板上にスピンコーターを用いて塗布し、オーブンを用いて、 120°Cで 15時間の熱処理を行い硬化させ、誘電体組成物 (硬化膜)を得た。この誘電体組成物上にアルミ電極を形成し、誘電特性評価サンプルとした。 1MHzにおける比誘電率は 34であった。

[0145] 比較例 4

チタン酸バリウム（Cabot, Inc.社製、 K— Plus 16 :平均粒子径 0. 06 m) 224重量部、 γ プチ口ラタトン 105重量部、分散剤（リン酸エステル骨格を有する酸基を持つコポリマー、ビックケミ一'ジャパン (株）製、 BYK— W9010) 11重量部をホモジナイザーを用いて混練し、分散液 Α— 11を得た。分散液 Α— 11を 150重量部と、ェポキシ榭脂溶液 B—1を 5. 9重量部とをボールミルを用いて混合し、ペースト組成物全量に対する含有有機溶剤量が 30重量％であるペースト組成物 C— 23を作製した。 C 23を硬化させて得られる誘電体組成物中の高誘電率無機粒子の含有量は誘電体組成物全量に対し、 90重量％となる。このペースト組成物 C— 23をガラス基板

、て塗布し、オーブンを用いて 80°Cで 15分間の熱処理を行い乾燥させた後、 175°Cで 4時間の熱処理を行い硬化させ、誘電体組成物 (硬化膜）を得た。ペースト組成物 C— 22は粘度が高いため、スピンコーターでは平坦な塗膜が得られな力つた。膜厚が 2 m付近の部位において光線透過率を測定したところ、光線透過率 (波長 400nm)は 35%であった。

[0146] ペースト組成物 C— 23を厚さ 300 μ mのアルミ基板上にスピンコーターを用いて塗布し、オーブンを用いて、 80°Cで 15分間の熱処理を行い乾燥させた後、 175°Cで 4 時間の熱処理を行い硬化させ、誘電体組成物 (硬化膜)を得た。この誘電体組成物上にアルミ電極を形成し、誘電特性評価サンプルとした。 1MHzにおける比誘電率は 40であった。

[0147] 比較例 5

分散液 A— 1を 150重量部と、エポキシ榭脂溶液 B— 1を 3重量部と、 γ プチロラタトンを 324重量部とをボールミルを用いて混合し、ペースト組成物全量に対する含有有機溶剤量が 90重量％であるペースト組成物 C— 24を作製した。 C— 24を硬ィ匕させて得られる誘電体組成物中の高誘電率無機粒子の含有量は誘電体組成物全量に対し、 90重量％となる。このペースト組成物 C— 24をガラス基板上にスピンコーターを用いて塗布し、オーブンを用いて 80°Cで 15分間の熱処理を行、乾燥させた後、 175°Cで 4時間の熱処理を行い硬化させ、誘電体組成物 (硬化膜)を得た。しかしながら、粘度が低いため、完全な連続膜にはならなかった。そのため、この誘電体組成物の光線透過率は測定できな力つた。

[0148] ペースト組成物 C— 24を厚さ 300 μ mのアルミ基板上にスピンコーターを用いて塗布し、オーブンを用いて、 80°Cで 15分間の熱処理を行い乾燥させた後、 175°Cで 4 時間の熱処理を行い硬化させ、誘電体組成物 (硬化膜)を得た。この誘電体組成物上にアルミ電極を形成し、誘電特性評価サンプルとした。しかしながら、完全な連続膜にはならなかったため、上下の電極が短絡し、誘電率の測定ができな力つた。

[0149] 実施例 31

チタン酸バリウム（戸田工業 (株）製、 T— BTO -020RF：平均粒子径 0. 027 m ) 144. 2重量部、 γ—プチ口ラタトン 350重量部、分散剤（リン酸エステル骨格を有する酸基を持つコポリマー、ビックケミ一'ジャパン（株）製、 BYK-W9010) 5. 8重量部をホモジナイザーを用いて氷冷下で 2時間混練分散し、分散液 A— 12を得た。分散液 A— 12における分散剤の含有量は高誘電率無機粒子重量の 4重量％である。分散液 A— 12の粒度分布 50⁰/₀径 ίま 0. 25 ^ m, 90⁰/₀径 ίま 0. 42 /z mであった。分散液 A— 12は、高誘電率無機粒子の凝集が十分に解けておらず、粒度分布測定で得られる高誘電率無機粒子の粒子径が原料高誘電率無機粒子の平均粒子径に比ベ大きくなつた。

[0150] エポキシ榭脂（ジャパンエポキシレジン (株）製、 "ェピコード，（商品名） YX8000) 6 . 8重量部、硬化剤 (新日本理化 (株)製、"リカシッド"（商品名） MH700) 4. 7重量部、硬化促進剤 (N, N—ジメチルベンジルァミン) 0. 2重量部を混合し、エポキシ榭脂溶液 B— 7を得た。分散液 A— 12を 150重量部と、エポキシ榭脂溶液 B— 7を 8. 2 重量部とをボールミルを用いて混合し、ペースト組成物全量に対する含有有機溶剤量が 67重量％であるペースト組成物 C— 25を作製した。 C— 25を硬化させて得られる誘電体組成物中の高誘電率無機粒子の含有量は誘電体組成物全量に対し、 81 重量％となる。

[0151] ペースト組成物 C— 25を用い、実施例 1と同様にして膜厚 1. 4 mの誘電体組成物 (硬化膜)を得た。この誘電体組成物の光線透過率 (波長 400nm)は 79%であつた。ペースト組成物 C— 25を用い、実施例 1と同様にして誘電特性評価サンプルを得た。 1MHzにおける比誘電率は 22であった。

[0152] 実施例 32

チタン酸バリウム（戸田工業 (株）製、 T— BTO - 020RF：平均粒子径 0. 027 m ) 416. 7重量部、 γ—プチ口ラタトン 1050重量部、分散剤（リン酸エステル骨格を有する酸基を持つコポリマー、ビックケミ一'ジャパン（株）製、 BYK-W9010) 33. 3重量部をウルトラアベックスミル (寿工業 (株)製)を用いて混練し、分散液 A— 13を得た。分散液 A— 13における分散剤の含有量は高誘電率無機粒子重量の 8重量％である。分散液 A— 13の粒度分布 50⁰/₀径 ίま 0. 04 ^ m, 90⁰/₀径 ίま 0. 07 /z mであった。高誘電率無機粒子に対する分散剤の含有量が分散液 A— 12に比べ多ぐ高誘電率無機粒子の凝集をより解くことができ、粒度分布測定で得られる高誘電率無機粒子の粒子径が原料高誘電率無機粒子の平均粒子径に近づいた。

[0153] 分散液 A— 13を 150重量部と、エポキシ榭脂溶液 B— 7を 6重量部とをボールミルを用いて混合し、ペースト組成物全量に対する含有有機溶剤量が 67重量％であるペースト組成物 C - 26を作製した。 C - 26を硬化させて得られる誘電体組成物中の高誘電率無機粒子の含有量は誘電体組成物全量に対し、 81重量％となる。

[0154] ペースト組成物 C— 26を用い、実施例 1と同様にして膜厚 1. 4 mの誘電体組成物 (硬化膜)を得た。この誘電体組成物の光線透過率 (波長 400nm)は 87%であつた。ペースト組成物 C— 25を用い、実施例 1と同様にして誘電特性評価サンプルを得た。 1MHzにおける比誘電率は 27であった。

[0155] 実施例 33

チタン酸バリウム（戸田工業 (株）製、 T— BTO -020RF：平均粒子径 0. 027 m ) 391. 3重量部、 γ—プチ口ラタトン 1050重量部、分散剤（リン酸エステル骨格を有する酸基を持つコポリマー、ビックケミ一'ジャパン（株）製、 BYK-W9010) 58. 7重量部をウルトラアベックスミル (寿工業 (株)製)を用いて混練し、分散液 A— 14を得た。分散液 A— 14における分散剤の含有量は高誘電率無機粒子重量の 15重量％である。分散液 A— 14の粒度分布 50⁰/₀径 ίま 0. 025 μ m、 90⁰/₀径 ίま 0. 06 μ mであつた。高誘電率無機粒子に対する分散剤の含有量が分散液 A— 12、 A— 13に比べ十分に多ぐ高誘電率無機粒子の凝集を十分に解くことができ、粒度分布測定で得られる高誘電率無機粒子の粒子径が、原料高誘電率無機粒子の平均粒子径により近づいた。

[0156] 分散液 A— 14を 150重量部と、エポキシ榭脂溶液 B— 7を 2. 9重量部とをボールミルを用いて混合し、ペースト組成物全量に対する含有有機溶剤量が 69重量％であるペースト組成物 C - 27を作製した。 C - 27を硬化させて得られる誘電体組成物中の高誘電率無機粒子の含有量は誘電体組成物全量に対し、 81重量％となる。

[0157] ペースト組成物 C— 27を用い、実施例 1と同様にして膜厚 1. 4 mの誘電体組成物 (硬化膜)を得た。膜厚調整はスピンコート時のスピン速度調整により行った。この誘電体組成物の光線透過率（波長 400nm)は 97%であった。波長 400〜700nmにおける光線透過率の最小値は 88% (波長 530nm)であった。また、実施例 1と同様にして誘電特性評価サンプルを得た。 1MHzにおける比誘電率は 28であった。

[0158] ペースト組成物 C— 27を ITO付きガラス基板上にスピンコーターを用いて塗布し、オーブンを用いて、 80°Cで 15分間乾燥させた後、 175°Cで 4時間硬化させ、誘電体組成物 (硬化膜)を得た。 ITO付きガラス基板は、 1737ガラス上に ITOを 150nmの膜厚となるようスパッタリング法で形成されたものである。この誘電体組成物の光線透過率（波長 400nm)は 98%であった。

[0159] 誘電体組成物上に上部電極としてアルミ電極を形成し、ガラス ZITO電極 Z誘電体組成物/アルミ電極で構成されるキャパシタ D— 1を作製した。アルミ電極はマスクを介して真空蒸着することによって形成した。このキャパシタ D— 1の 1kHzにおける比誘電率は 29であった。

[0160] 上部電極をアルミに代え ITOを用い、ガラス ZITO電極 Z誘電体組成物 ZITO電極で構成されるキャパシタ D— 2を作製した。上部電極の ΙΤΟ層は、スパッタリング法を用いて形成した。さら〖こ、上部電極をアルミ電極に代え Ni—CrZ銅層を用い、ガラス ZITO電極 1Z誘電体組成物 ZNi— CrZ銅で構成されるキャパシタ D— 3を作製した。上部電極は、 Ni-Cr,銅の順にスパッタリングを行い、さらに電解銅めつきを行い導通層を形成し、エッチング法によってパターン力卩ェを行い、形成した。キャパシタ D 2、 D 3の 1kHzにおける比誘電率は 29であった。

[0161] 実施例 34

チタン酸バリウム（戸田工業 (株）製、 T— BTO - 010RF：平均粒子径 0. 012 m ) 391. 3重量部、 γ—プチ口ラタトン 1050重量部、分散剤（リン酸エステル骨格を有する酸基を持つコポリマー、ビックケミ一'ジャパン（株）製、 BYK-W9010) 58. 7重量部をウルトラアベックスミル (寿工業 (株)製)を用いて混練し、分散液 A— 15を得た。分散液 A— 15における分散剤の含有量は高誘電率無機粒子重量の 15重量％である。分散液 A— 15の粒度分布 50⁰/₀径 ίま 0. 02 ^ m, 90⁰/₀径 ίま 0. 05 /z mであった

[0162] 分散液 A— 15を 150重量部と、エポキシ榭脂溶液 B— 1を 3. 4重量部とをボールミルを用いて混合し、ペースト組成物全量に対する含有有機溶剤量が 68重量％であるペースト組成物 C - 28を作製した。 C - 28を硬化させて得られる誘電体組成物中の高誘電率無機粒子の含有量は誘電体組成物全量に対し、 81重量％となる。

[0163] ペースト組成物 C— 28を用い、実施例 1と同様にして膜厚 1. 4 mの誘電体組成物 (硬化膜)を得た。膜厚調整はスピンコート時のスピン速度調整により行った。この誘電体組成物の光線透過率（波長 400nm)は 99%であった。波長 400〜700nmにおける光線透過率の最小値は 90% (波長 570nm)であった。ペースト組成物 C 28 を用い、実施例 1と同様にして誘電特性評価サンプルを得た。 1MHzにおける比誘電率は 23であった。

[0164] 実施例 35 チタン酸バリウム（戸田工業 (株）製、 T— BTO - 010RF：平均粒子径 0. 012 m ) 391. 3重量部、 γ—プチ口ラタトン 1050重量部、分散剤（リン酸エステル骨格を有する酸基を持つコポリマー、ビックケミー'ジャパン (株)製、 ΒΥΚ— 111) 58. 7重量部をウルトラアベックスミル (寿工業 (株)製)を用いて混練し、分散液 Α— 16を得た。分散液 Α— 16における分散剤の含有量は高誘電率無機粒子重量の 15重量％である。分散液 A— 16の粒度分布 50⁰/₀径 ίま 0. 02 ^ m, 90⁰/₀径 ίま 0. 04 /z mであった。

[0165] 分散液 A— 16を 150重量部と、エポキシ榭脂溶液 B— 1を 3. 4重量部とをボールミルを用いて混合し、ペースト組成物全量に対する含有有機溶剤量が 68重量％であるペースト組成物 C— 28を作製した。 C— 29を硬化させて得られる誘電体組成物中の高誘電率無機粒子の含有量は誘電体組成物全量に対し、 81重量％となる。

[0166] ペースト組成物 C— 29を用い、実施例 1と同様にして膜厚 1. 4 mの誘電体組成物 (硬化膜)を得た。膜厚調整はスピンコート時のスピン速度調整により行った。この誘電体組成物の光線透過率（波長 400nm)は 99%であった。波長 400〜700nmにおける光線透過率の最小値は 90% (波長 530nm)であった。ペースト組成物 C 29 を用い、実施例 1と同様にして誘電特性評価サンプルを得た。 1MHzにおける比誘電率は 23であった。

[0167] 実施例 36

チタン酸バリウム（戸田工業 (株）製、 T— BTO -020RF：平均粒子径 0. 027 m ) 652重量部、 γ プチ口ラタトン 750重量部、分散剤（リン酸エステル骨格を有する酸基を持つコポリマー、ビックケミ一'ジャパン (株）製、 BYK-W9010) 97. 8重量部をウルトラアベックスミル (寿工業 (株)製)を用いて混練し、分散液 A— 17を得た。分散液 A— 17における分散剤の含有量は高誘電率無機粒子重量の 15重量％である。分散液 A— 17の粒度分布 50⁰/₀径 ίま 0. 025 μ m、 90⁰/₀径 ίま 0. 06 μ mであった。分散液 A— 17を 150重量部と、エポキシ榭脂溶液 B—1を 5. 7重量部とをボールミルを用いて混合し、ペースト組成物全量に対する含有有機溶剤量が 48重量％であるペースト組成物 C - 30を作製した。 C - 30を硬化させて得られる誘電体組成物中の高誘電率無機粒子の含有量は誘電体組成物全量に対し、 81重量％となる。

[0168] ペースト組成物 C— 30を用い、実施例 1と同様にして膜厚 4 mの誘電体組成物（硬化膜)を得た。膜厚調整はスピンコート時のスピン速度調整により行った。この誘電体組成物の光線透過率（波長 400nm)は 97%であった。波長 400〜700nmにおける光線透過率の最小値は 88% (波長 530nm)であった。ペースト組成物 C— 26を用い、実施例 1と同様にして誘電特性評価サンプルを得た。 1MHzにおける比誘電率は 29であった。

[0169] 実施例 37

チタン酸バリウム（戸田工業 (株）製、 T— BTO - 010RF：平均粒子径 0. 012 m ) 432. 6重量部、 γ—プチ口ラタトン 1050重量部、分散剤（リン酸エステル骨格を有する酸基を持つコポリマー、ビックケミ一'ジャパン（株）製、 BYK-W9010) 17. 4重量部をウルトラアベックスミル (寿工業 (株)製)を用いて混練し、分散液 A— 18を得た。分散液 A— 18における分散剤の含有量は高誘電率無機粒子重量の 4重量％である。分散液 A— 18の粒度分布 50⁰/₀径 ίま 0. 30 ^ m, 90⁰/₀径 ίま 0. 55 /z mであった。分散液 A— 12と同様に、高誘電率無機粒子に対する分散剤の含有量が少なぐ高誘電率無機粒子の凝集が十分には解けておらず、粒度分布測定で得られる高誘電率無機粒子の粒子径が原料高誘電率無機粒子の平均粒子径に比べ大きくなつた。

[0170] 分散液 A— 18を 150重量部と、エポキシ榭脂溶液 B— 7を 8. 2重量部とをボールミルを用いて混合し、ペースト組成物全量に対する含有有機溶剤量が 67重量％であるペースト組成物 C - 31を作製した。 C— 31を硬化させて得られる誘電体組成物中の高誘電率無機粒子の含有量は誘電体組成物全量に対し、 81重量％となる。

[0171] ペースト組成物 C— 31を用い、実施例 1と同様にして膜厚 1. 4 mの誘電体組成物 (硬化膜)を得た。膜厚調整はスピンコート時のスピン速度調整により行った。この誘電体組成物の光線透過率 (波長 400nm)は 78%であった。ペースト組成物 C— 3 1を用い、実施例 1と同様にして誘電特性評価サンプルを得た。 1MHzにおける比誘電率は 16であった。

[0172] 実施例 38

チタン酸バリウム（戸田工業 (株）製、 T— BTO - 010RF：平均粒子径 0. 012 m ) 420. 6重量部、 γ—プチ口ラタトン 1050重量部、分散剤（リン酸エステル骨格を有する酸基を持つコポリマー、ビックケミ一'ジャパン（株）製、 BYK-W9010) 29. 4重量部をウルトラアベックスミル (寿工業 (株)製)を用いて混練し、分散液 A— 19を得た。分散液 A— 19における分散剤の含有量は高誘電率無機粒子重量の 7重量％である。分散液 A— 19の粒度分布 50⁰/₀径 ίま 0. 04 ^ m, 90⁰/₀径 ίま 0. 08 /z mであった。高誘電率無機粒子に対する分散剤の含有量が分散液 A— 18に比べ多ぐ高誘電率無機粒子の凝集をより解くことができ、粒度分布測定で得られる高誘電率無機粒子の粒子径が原料高誘電率無機粒子の平均粒子径に近づいた。

[0173] 分散液 A— 19を 150重量部と、エポキシ榭脂溶液 B— 7を 6. 5重量部とをボールミルを用いて混合し、ペースト組成物全量に対する含有有機溶剤量が 67重量％であるペースト組成物 C - 32を作製した。 C - 32を硬化させて得られる誘電体組成物中の高誘電率無機粒子の含有量は誘電体組成物全量に対し、 81重量％となる。

[0174] ペースト組成物 C— 32を用い、実施例 1と同様にして膜厚 1. 4 mの誘電体組成物 (硬化膜)を得た。膜厚調整はスピンコート時のスピン速度調整により行った。この誘電体組成物の光線透過率 (波長 400nm)は 89%であった。ペースト組成物 C— 3 2を用い、実施例 1と同様にして誘電特性評価サンプルを得た。 1MHzにおける比誘電率は 22であった。

[0175] 実施例 39

チタン酸バリウム（戸田工業 (株）製、 T— BTO - 010RF：平均粒子径 0. 012 m ) 375重量部、 γ—プチ口ラタトン 1050重量部、分散剤（リン酸エステル骨格を有する酸基を持つコポリマー、ビックケミ一'ジャパン (株）製、 BYK— W9010) 75重量部をウルトラアベックスミル (寿工業 (株)製)を用いて混練し、分散液 A— 20を得た。分散液 A— 20における分散剤の含有量は高誘電率無機粒子重量の 20重量％である。分散液 A— 20の粒度分布 50⁰/₀径 ίま 0. 016 ^ m, 90⁰/₀径 ίま 0. 04 /z mであった。平均粒子径 0. 027 mの無機粒子を用いた分散液 A— 14と平均粒子径 0. 012 mの無機粒子を用いた分散液 A— 20を比較すると、平均粒子径がより小さい場合、分散剤の含有量を多くするとその分散液は 1次粒子に近い粒度分布を得ていることが分かる。

[0176] 分散液 A— 20を 150重量部と、エポキシ榭脂溶液 B— 7を 4. 2重量部とをボールミルを用いて混合し、ペースト組成物全量に対する含有有機溶剤量が 68重量％であるペースト組成物 C - 33を作製した。 C - 33を硬化させて得られる誘電体組成物中の高誘電率無機粒子の含有量は誘電体組成物全量に対し、 75重量％となる。

[0177] ペースト組成物 C— 33を用い、実施例 1と同様にして膜厚 1. 4 mの誘電体組成物 (硬化膜)を得た。膜厚調整はスピンコート時のスピン速度調整により行った。この誘電体組成物の光線透過率（波長 400nm)は 99%であった。波長 400〜700nmにおける光線透過率の最小値は 90% (波長 510nm)であった。ペースト組成物 C 33 を用い、実施例 1と同様にして誘電特性評価サンプルを得た。 1MHzにおける比誘電率は 22であった。

[0178] 実施例 40

チタン酸バリウム（戸田工業 (株）製、 T— BTO - 010RF：平均粒子径 0. 012 m ) 360重量部、 γ—プチ口ラタトン 1050重量部、分散剤（リン酸エステル骨格を有する酸基を持つコポリマー、ビックケミ一'ジャパン (株）製、 BYK—W9010) 90重量部をウルトラアベックスミル (寿工業 (株)製)を用いて混練し、分散液 A— 21を得た。分散液 A— 21における分散剤の含有量は高誘電率無機粒子重量の 25重量％である。分散液 A— 21の粒度分布 50⁰/₀径 ίま 0. 016 ^ m, 90⁰/₀径 ίま 0. 04 /z mであった。

[0179] 分散液 A— 21を 150重量部と、エポキシ榭脂溶液 B— 7を 4重量部とをボールミルを用いて混合し、ペースト組成物全量に対する含有有機溶剤量が 68重量％であるペースト組成物 C - 34を作製した。 C - 34を硬化させて得られる誘電体組成物中の高誘電率無機粒子の含有量は誘電体組成物全量に対し、 72重量％となる。

[0180] ペースト組成物 C— 34を用い、実施例 1と同様にして膜厚 1. 4 mの誘電体組成物 (硬化膜)を得た。膜厚調整はスピンコート時のスピン速度調整により行った。この誘電体組成物の光線透過率（波長 400nm)は 99%であった。波長 400〜700nmにおける光線透過率の最小値は 91% (波長 530nm)であった。ペースト組成物 C— 34 を用い、実施例 1と同様にして誘電特性評価サンプルを得た。 1MHzにおける比誘電率は 18であった。

[0181] 実施例 41

チタン酸バリウム（戸田工業 (株）製、 T— BTO - 010RF：平均粒子径 0. 012 m ) 352重量部、 γ—プチ口ラタトン 1050重量部、分散剤（リン酸エステル骨格を有する酸基を持つコポリマー、ビックケミ一'ジャパン (株）製、 BYK— W9010) 98重量部をウルトラアベックスミル (寿工業 (株)製)を用いて混練し、分散液 A— 22を得た。分散液 A— 22における分散剤の含有量は高誘電率無機粒子重量の 28重量％である。分散液 A— 22の粒度分布 50⁰/₀径 ίま 0. 016 ^ m, 90⁰/₀径 ίま 0. 04 /z mであった。分散液 A— 22を 150重量部と、エポキシ榭脂溶液 B— 7を 4重量部とをボールミルを用いて混合し、ペースト組成物全量に対する含有有機溶剤量が 67重量％であるべ一スト組成物 C - 35を作製した。 C - 35を硬化させて得られる誘電体組成物中の高誘電率無機粒子の含有量は誘電体組成物全量に対し、 70重量％となる。

[0182] ペースト組成物 C— 35を用い、実施例 1と同様にして膜厚 1. 4 mの誘電体組成物 (硬化膜)を得た。膜厚調整はスピンコート時のスピン速度調整により行った。この誘電体組成物の光線透過率（波長 400nm)は 99%であった。波長 400〜700nmにおける光線透過率の最小値は 92% (波長 510nm)であった。ペースト組成物 C 35 を用い、実施例 1と同様にして誘電特性評価サンプルを得た。 1MHzにおける比誘電率は 9であった。なお、分散液 A— 22は分散剤の量が高誘電率無機粒子に対して 28重量％であるが、高誘電率無機粒子を高充填化することができなくなり、比誘電率が低下した。

[0183] 実施例 42

チタン酸バリウム（Buhler P ARTEC GmbH社製、 Barium titanate :平均粒子径 0. 022 /z m (メーカー仕様平均粒子径 0. 018 391. 3重量部、 γ ブチ口ラタトン 1050重量部、分散剤（リン酸エステル骨格を有する酸基を持つコポリマー、ビックケミ一'ジャパン (株）製、 BYK-W9010) 58. 7重量部をウルトラァペックスミル (寿工業 (株)製)を用いて混練し、分散液 A— 23を得た。分散液 A— 23における分散剤の含有量は高誘電率無機粒子重量の 15重量％である。分散液 A— 23の粒度分布 50⁰/₀径 ίま 0. 025 μ m、 90⁰/₀径 ίま 0. 06 μ mであった。

[0184] 分散液 A— 23を 150重量部と、エポキシ榭脂溶液 B— 7を 2. 9重量部とをボールミルを用いて混合し、ペースト組成物全量に対する含有有機溶剤量が 69重量％であるペースト組成物 C— 36を作製した。 C— 36を硬化させて得られる誘電体組成物中の高誘電率無機粒子の含有量は誘電体組成物全量に対し、 81重量％となる。 [0185] ペースト組成物 C— 36を用い、実施例 1と同様にして膜厚 1. 4 mの誘電体組成物 (硬化膜)を得た。膜厚調整はスピンコート時のスピン速度調整により行った。この誘電体組成物の光線透過率（波長 400nm)は 96%であった。波長 400〜700nmにおける光線透過率の最小値は 94% (波長 580nm)であった。ペースト組成物 C 36 を用い、実施例 1と同様にして誘電特性評価サンプルを得た。 1MHzにおける比誘電率は 18であった。

[0186] [表 1]

表 1

 表 2

[ε挲] [8810] £Ll£/900Zd /lDd 89 S096Z0/.00Z OAV 表 3

[0189] 実施例 43

Ύ—プチ口ラタトン 1960重量部、分散剤（リン酸エステル骨格を有するコポリマー、ビックケミ一'ジャパン (株）製、 BYK-W9010) 109. 6重量部、チタン酸バリウム（戸田工業 (株）製、 T BTO— 020RF :平均粒子径 0. 027 ^ m) 730. 4重量部の順に混合し、分散液 A— 24Aを得た。ウルトラァペックスミル UAM— 015 (寿工業 (株）製）のベッセル内にジルコ-ァボール（（株）ニツカトー製、 YTZボール、寸法 φ 0. 5 mm)を 0. 4kg充填し、ローターを回転させながら、分散液 A— 24Aをベッセル内に送液、循環させた。ジルコユアボール（(株）ニツカトー製、 YTZボール、寸法 φ θ. 5 mm)の粒子径に関する検査報告書にあるメーカー値は平均粒子径 0. 537mmである。ローターの周速 8mZsで 1時間分散後、分散液 A— 24Bを得た。分散液 A— 24 Bの粒度分布 50%径は 0. 06 μ m、 90%径は 0. 22 μ mであった。ベッセル内のビーズを回収し、新たにジルコ-ァボール ( (株）ニツカトー製、 YTZボール、寸法 φ 0. 05mm)を 0. 4kg充填した。ジルコ-ァボール（（株）ニツカトー製、 YTZボール、寸法 φ θ. 05mm)の粒子径に関する検査報告書にあるメーカー値は平均粒子径 0. 0 58mmである。ビーズ交換後、ローターを回転させながら、分散液 A—24Bをべッセル内に送液、循環させた。ローターの周速 12mZsで、粒度分布が 0. 02±0. 01 mになるまで分散を行い、分散液 A— 24Cを得た。分散液 A— 24Cの粒度分布 50 %径 0. 022 m、 90%径は 0. 051 mであった。エポキシ榭脂（ジャパンエポキシレジン (株)製、ェピコート（商品名） YX8000 7. 57重量部、硬化剤 (新日本理化（株)製、リカシッド (商品名） MH700 2. 13重量部、硬化促進剤 (N, N ジメチルベンジルァミン） 0. 3重量部、 γ—ブチロラタトン 12. 13重量部を混合し、エポキシ榭脂溶液 Β— 8を得た。分散液 A— 24Cを 15重量部とエポキシ榭脂溶液 Β— 8を 0. 94 重量部と、界面活性剤としてビックケミー'ジャパン (株)製、 ΒΥΚ— 333を 0. 012重量部とをボールミルを用いて混合し、ペースト組成物全量に対する含有有機溶剤量力 S67. 7重量％であるペースト組成物 C— 37を作製した。 C— 37を硬化させて得られる誘電体組成物中の高誘電率無機粒子の含有量は、誘電体組成物全量に対し 7 6重量％である。

[0190] ペースト組成物 C 37を孔径 0. 45 μ mのフィルターを用いて濾過した後、 ITO付きガラス基板上にスピンコーターを用いて塗布し、オーブンを用いて 80°Cで 15分間の熱処理を行い乾燥させた後、 175°Cで 4時間の熱処理を行い硬化させ、膜厚 1 mの誘電体組成物 (硬化膜)を得た。膜厚調整はスピンコート時のスピン調整速度により行った。この誘電体組成物の光線透過率 (波長 400nm)は 99%であり、波長 40 0〜700nmにおける光線透過率の最小値は 91% (波長 520nm)であった。印加電圧 2Vにおけるリーク電流値は 15nAZcm²、電圧保持率は 4%であった。

[0191] 誘電体組成物上に上部電極としてアルミ電極を形成し、ガラス ZITO電極 Z誘電体組成物/アルミ電極で構成されるキャパシタを作製した。アルミ電極はマスクを介して真空蒸着することによって形成した。このキャパシタの 1kHzにおける比誘電率は 23であった。

[0192] 実施例 44

エポキシ榭脂 (日本ィ匕薬 (株)製、 NC3000) 220. 18重量部、硬化剤 (日本ィ匕薬（株)製、 "カャハード"（商品名） TPM) 76. 82重量部、硬化促進剤（トリフエ-ルホスフィン） 3重量部、 γ—プチ口ラタトン 76. 82重量部を混合し、エポキシ榭脂溶液 Β— 9を得た。 NC3000はエポキシ当量 278gZeqのビフエ-ル骨格を有するエポキシ榭脂である。分散液 A—24Cを 15重量部とエポキシ榭脂溶液 B— 9を 8. 74重量部と、界面活性剤としてビックケミー'ジャパン (株)製、 BYK— 333を 0. 018重量部とをボールミルを用いて混合し、ペースト組成物全量に対する含有有機溶剤量が 52. 6重量⁰ /₀であるペースト組成物 C— 38を作製した。 C— 38を硬化させて得られる誘電体組成物中の高誘電率無機粒子の含有量は、誘電体組成物全量に対し 35重量％である。実施例 43と同様にして評価を行った。結果は表 4に示した。

[0193] 実施例 45

分散液 A—24Cを 15重量部とエポキシ榭脂溶液 B— 9を 4. 35重量部と、界面活性剤としてビックケミー'ジャパン (株)製、 BYK— 333を 0. 016重量部とをボールミルを用いて混合し、ペースト組成物全量に対する含有有機溶剤量が 59. 4重量％であるペースト組成物 C— 39を作製した。 C— 39を硬化させて得られる誘電体組成物中の高誘電率無機粒子の含有量は、誘電体組成物全量に対し 50重量％である。実施例 43と同様にして評価を行つた。結果は表 4に示した。 [0194] 実施例 46

分散液 A— 24Cを 15重量部とエポキシ榭脂溶液 B— 9を 1. 13重量部と、界面活性剤としてビックケミー'ジャパン (株)製、 BYK— 333を 0. 012重量部とをボールミルを用いて混合し、ペースト組成物全量に対する含有有機溶剤量が 66. 7重量％であるペースト組成物 C - 40を作製した。 C - 40を硬化させて得られる誘電体組成物中の高誘電率無機粒子の含有量は、誘電体組成物全量に対し 73重量％である。実施例 43と同様にして評価を行つた。結果は表 4に示した。

[0195] 実施例 47

分散液 A— 24Cを 15重量部とエポキシ榭脂溶液 B— 9を 0. 83重量部と、界面活性剤としてビックケミー'ジャパン (株)製、 BYK— 333を 0. 012重量部とをボールミルを用いて混合し、ペースト組成物全量に対する含有有機溶剤量が 67. 5重量％であるペースト組成物 C - 41を作製した。 C— 41を硬化させて得られる誘電体組成物中の高誘電率無機粒子の含有量は、誘電体組成物全量に対し 76重量％である。実施例 43と同様にして評価を行つた。結果は表 4に示した。

[0196] 実施例 48

分散液 A— 24Cを 15重量部とエポキシ榭脂溶液 B— 9を 0. 44重量部と、界面活性剤としてビックケミー'ジャパン (株)製、 BYK— 333を 0. 012重量部とをボールミルを用いて混合し、ペースト組成物全量に対する含有有機溶剤量が 68. 6重量％であるペースト組成物 C— 42を作製した。 C— 42を硬化させて得られる誘電体組成物中の高誘電率無機粒子の含有量は誘電体組成物全量に対し、 81重量％である。実施例 43と同様にして評価を行つた。結果は表 4に示した。

[0197] 実施例 49

乾燥窒素気流下、 2, 2—ビス（3—アミノー 4ーヒドロキシフエ-ル）へキサフルォロプロパン（BAHF) 30. 03g (0. 082モル）、 1, 3—ビス（3—ァミノプロピル）テトラメチルジシロキサン 1. 24g (0. 005モル）、末端封止剤として、 3—ヒドロキシフタル酸無水物 (東京化成工業 (株)製) 4. lg (0. 025モル)を N—メチル—2—ピロリドン (NM P) 100gに溶解させた。ここにビス（3, 4—ジカルボキシフエ-ル）エーテル二無水物 31. 02g (0. 1モル）を NMP30gとともに加えて、 20°Cで 1時間攪拌し、次いで 50°C で 4時間攪拌した。その後、 180°Cで 5時間攪拌した。攪拌終了後、溶液を水 3Lに投入して白色沈殿を集めた。この沈殿をろ過で集めて、水で 3回洗浄した後、 200°C の真空乾燥機で 5時間乾燥した。得られたポリマー粉体を、赤外吸収スペクトルで測定したところ、 1780cm^_1付近、 1377cm^_1付近にポリイミドに起因するイミド構造の吸収ピークが検出された。次に、このポリマー粉体 10gに光重合開始剤の 1, 2—ォクタンジオン一 1— [4— (フエ-ルチオ）フエ-ル]— 2— (o—ベンゾィルォキシム） 0. 4g、熱架橋性化合物の二力ラック（NIKALAC) MW— 100LM (商品名、（株）三和ケミカル製） 1. 5g、着色剤の A— DMA (商品名、保土谷ィ匕学工業 (株)製) 0. 3g、P DBE— 250 (商品名、（株）日本油脂製。重合性不飽和二重結合を有する化合物） 8 g、ジメチロールトリシクロデカンジアタリレート (重合性不飽和二重結合を有する化合物） 2gをジアセトンアルコール 10g、乳酸ェチル 20. 5gに溶解させ、光硬化型ポリイミド組成物溶液 B— 10を得た。

[0198] 分散液 A—24Cを 15重量部と光硬化型ポリイミド組成物溶液 B— 10を 1. 23重量部とをボールミルを用いて混合し、ペースト組成物全量に対する含有有機溶剤量が 6 8. 3重量％であるペースト組成物 C— 43を作製した。 C— 43を硬化させて得られる誘電体組成物中の高誘電率無機粒子の含有量は、誘電体組成物全量に対し 76重量％である。

[0199] ペースト組成物 C— 43を孔径 0. 45 μ mのフィルターを用いて濾過した後、 ITO付きガラス基板上にスピンコーターを用 V、て塗布し、ホットプレートを用いて 120°Cで 1 分間プリベータした。次に露光装置 (ユニオン光学 (株)製 PEM— 6M)を用いて、露光量 500miZcm² (365nmの強度）で露光を行った。露光後、 120°Cで 1分間べ一クした後、光洋サーモシステム (株)製イナートオーブン INL— 60を用いて N雰囲気

2 下で 200°Cで 60分間熱処理し、硬化させて膜厚 1 μ mの誘電体組成物 (硬化膜)を得た。膜厚調整はスピンコート時のスピン調整速度により行った。実施例 43と同様にして評価を行った。結果は表 4に示した。

[0200] 実施例 50

分散液 A— 24Cを 15重量部とアクリル榭脂 (東亜合成 (株)製、 "ァロニックス"（商品名） M305)を 0. 61重量部と光重合開始剤（チバガイキー (株)製、 "ィルガキュア" (商品名） 184)を 0. 03重量部、 γ —ブチロラタトン 0. 19重量部とをボールミルを用いて混合し、ペースト組成物全量に対する含有有機溶剤量が 67. 5重量％であるべ一スト組成物 C - 44を作製した。 C - 44を硬化させて得られる誘電体組成物中の高誘電率無機粒子の含有量は、誘電体組成物全量に対し 76重量％である。

[0201] ペースト組成物 C— 44を孔径 0. 45 μ mのフィルターを用いて濾過した後、 ITO付きガラス基板上にスピンコーターを用いて塗布し、ホットプレートを用いて 80°Cで 10 分間プリベータした。次に露光装置 (ユニオン光学 (株)製 PEM— 6M)を用いて、露光量 2000miZcm² (365nmの強度）で露光を行って硬化させて膜厚 1 μ mの誘電体組成物 (硬化膜)を得た。膜厚調整はスピンコート時のスピン調整速度により行った。実施例 43と同様にして評価を行った。結果は表 4に示した。

[0202] 実施例 51

エポキシ榭脂 (日本ィ匕薬 (株)製、 NC3000) 208. 5重量部、硬化剤（大日本インキ化学工業 (株)製、 "フノライト"（商品名） VH4150) 88. 5重量部、硬化促進剤（トリフエ-ルホスフィン） 3重量部、 γ—ブチロラタトン 88. 50重量部を混合し、エポキシ榭脂溶液 Β— 11を得た。 "フエノライド， VH— 4150はフエノール系のノボラック榭脂である。分散液 A—24Cを 15重量部とエポキシ榭脂溶液 Β— 11を 0. 86重量部と、界面活性剤としてビックケミー'ジャパン (株)製、 ΒΥΚ— 333を 0. 012重量部とをボールミルを用いて混合し、ペースト組成物全量に対する含有有機溶剤量が 67. 6重量％であるペースト組成物 C— 45を作製した。 C— 45を硬化させて得られる誘電体組成物中の高誘電率無機粒子の含有量は、誘電体組成物全量に対し 76重量％である。実施例 43と同様にして評価を行った。結果は表 4に示した。

[0203] 比較例 6

Ύ—プチ口ラタトン 840重量部、分散剤（リン酸エステル骨格を有するコポリマー、ビックケミ一'ジャパン（株）製、 BYK-W9010) 255. 65重量部、チタン酸バリウム（戸田工業 (株）製、 T— BTO— 020RF :平均粒子径 0. 027 ,u m) 1704. 35重量部の順に混合後、ホモジナイザーを用いて混合し、分散液 A— 25Aを得た。ホモジナイザ一のカップ内にジルコ-ァボール（（株）ニツカトー製、 YTZボール、寸法 φ θ. 5mm )を 1. 7kg充填した。ウルトラァペックスミル U AM— 015 (寿工業 (株)製）のベッセル内にジルコ-ァボール（（株）ニツカトー製、 YTZボール、寸法 φ θ. 05mm)を 0. 4k g充填し、ローターを回転させながら、分散液 A— 25Aをベッセル内に送液、循環させた。ローターの周速 12mZsで 2時間分散し、分散液 A— 25Bを得た。分散液 A— 25Bは、粘度が高ぐベッセル内でビーズと分散液の分離が不十分であったため、さらに孔径 10 mのフィルターを用いて濾過し、分散液 A— 25Cを得た。分散液 A— 2 5Cの粒度分布 50%径 0. 102 ^ m, 90%径は 0. 254 /z mであり、一次粒子径付近まで分散することは困難であった。分散液 A— 25Cを 15重量部とエポキシ榭脂溶液 B— 9を 2. 62重量部と、界面活性剤としてビックケミー'ジャパン (株)製、 BYK— 33 3を 0. 008重量部とをボールミルを用いて混合し、ペースト組成物全量に対する含有有機溶剤量が 28. 9重量⁰ /₀であるペースト組成物 C— 46を作製した。 C— 46を硬化させて得られる誘電体組成物中の高誘電率無機粒子の含有量は、誘電体組成物全量に対し 73重量％である。

[0204] ペースト組成物 C— 46を孔径 0. 45 mのフィルターで濾過することができなかつた。ペースト組成物 C— 46を孔径 0. 45 μ mのフィルターの代わりに孔径 2 μ mのフィルターを用いて濾過した後、 ITO付きガラス基板上にスピンコーターを用いて塗布し、オーブンを用いて 80°Cで 15分間の熱処理を行い乾燥させた後、 175°Cで 4時間の熱処理を行!、硬化させ、膜厚 1 μ mの誘電体組成物 (硬化膜)を得た。膜厚調整はスピンコート時のスピン調整速度により行った。実施例 43と同様にして評価を行つた。結果は表 4に示した。

[0205] 実施例 52

Ύ—プチ口ラタトン 1120重量部、分散剤（リン酸エステル骨格を有するコポリマー、ビックケミ一'ジャパン (株）製、 BYK-W9010) 219. 13重量部、チタン酸バリウム（戸田工業 (株）製、 T— BTO— 020RF :平均粒子径 0. 027 ,u m) 1460. 87重量部の順に混合後、ホモジナイザーを用いて混合し、分散液 A— 26Aを得た。ホモジナイザ一は、カップ内にジルコユアボール（（株）ニツカトー製、 YTZボール、寸法 φ θ. 5 mm)を 1. 46kg充填して、氷浴中で処理した。ウルトラァペックスミル U AM— 015 ( 寿工業 (株)製）のベッセル内にジルコニァボール（ (株）ニツカトー製、 YTZボール、寸法 φ θ. 05mm)を 0. 4kg充填し、ローターを回転させながら、分散液 A— 26Aをベッセル内に送液、循環させた。ローターの周速 12mZsで 2時間分散し、分散液 A — 26Bを得た。分散液 A— 26Bの粒度分布 50%径 0. 045 μ m, 90%径は 0. 104 mであった。分散液 A—26Bを 15重量部とエポキシ榭脂溶液 B— 9を 2. 25重量部と、界面活性剤としてビックケミー'ジャパン (株)製、 BYK— 333を 0. 01重量部とをボールミルを用いて混合し、ペースト組成物全量に対する含有有機溶剤量が 37. 8重量％であるペースト組成物 C— 47を作製した。 C— 47を硬化させて得られる誘電体組成物中の高誘電率無機粒子の含有量は、誘電体組成物全量に対し 73重量％である。実施例 43と同様にして評価を行った。結果は表 4に示した。

[0206] 実施例 53

Ύ—プチ口ラタトン 1400重量部、分散剤（リン酸エステル骨格を有するコポリマー、ビックケミ一'ジャパン (株）製、 BYK-W9010) 182. 6重量部、チタン酸バリウム（戸田工業 (株）製、 T BTO— 020RF :平均粒子径 0. 027 ,u m) 1217. 4重量部の順に混合後、ホモジナイザーを用いて混合し、分散液 A— 27Aを得た。ホモジナイザーは、カップ内にジルコユアボール（（株）ニツカトー製、 YTZボール、寸法 φ θ. 5mm) を 1. 2kg充填して、氷浴中で処理した。ウルトラァペックスミル UAM— 015 (寿工業（株）製）のベッセル内にジルコユアボール（（株）ニツカトー製、 YTZボール、寸法 φ 0 . 05mm)を 0. 4kg充填し、ローターを回転させながら、分散液 A— 27Aをベッセル内に送液、循環させた。ローターの周速 12mZsで 2時間分散し、分散液 A— 27Bを得た。分散液 A— 27Bの粒度分布 50%径 0. 038 m、 90%径は 0. 08 mであつた。分散液 A— 27Bを 15重量部とエポキシ榭脂溶液 B— 9を 1. 88重量部と、界面活性剤としてビックケミ一.ジャパン (株）製、 BYK—333を 0. Olgとをボールミルを用いて混合し、ペースト組成物全量に対する含有有機溶剤量が 47重量％であるペースト組成物 C— 48を作製した。 C— 48を硬化させて得られる誘電体組成物中の高誘電率無機粒子の含有量は、誘電体組成物全量に対し 73重量％である。実施例 43と同様にして評価を行った。結果は表 4に示した。

[0207] 実施例 54

Ύ—プチ口ラタトン 2240重量部、分散剤（リン酸エステル骨格を有するコポリマー、ビックケミ一'ジャパン (株）製、 BYK-W9010) 73. 04重量部、チタン酸バリウム（戸田工業 (株）製、 T BTO— 020RF :平均粒子径 0. 027 ^ πι) 486. 96重量部の順に混合後、ホモジナイザーを用いて混合し、分散液 A— 28Αを得た。ホモジナイザーは、カップ内にジルコユアボール（（株）ニツカトー製、 ΥΤΖボール、寸法 φ θ. 5mm) を 0. 5kg充填して、氷浴中で処理した。ウルトラァペックスミル UAM— 015 (寿工業（株）製）のベッセル内にジルコユアボール（（株）ニツカトー製、 YTZボール、寸法 φ 0 . 05mm)を 0. 4kg充填し、ローターを回転させながら、分散液 A— 28Aをベッセル内に送液、循環させた。ローターの周速 12mZsで 2時間分散し、分散液 A— 28Bを得た。分散液 A— 28Bの粒度分布 50%径 0. 021 μ m、 90%径は 0. 05 μ mであつた。分散液 A— 28Bを 15重量部とエポキシ榭脂溶液 B— 9を 0. 75重量部と、界面活性剤としてビックケミー'ジャパン (株)製、 BYK— 333を 0. 014重量部とをボールミルを用いて混合し、ペースト組成物全量に対する含有有機溶剤量が 77. 3重量％であるペースト組成物 C— 49を作製した。 C— 49を硬化させて得られる誘電体組成物中の高誘電率無機粒子の含有量は、誘電体組成物全量に対し 73重量％である。実施例 43と同様にして評価を行つた。結果は表 4に示した。

比較例 7

Ύ—プチ口ラタトン 2520重量部、分散剤（リン酸エステル骨格を有するコポリマー、ビックケミ一'ジャパン (株）製、 BYK-W9010) 36. 52重量部、チタン酸バリウム（戸田工業 (株）製、 T BTO— 020RF :平均粒子径 0. 027 μ ηι) 243. 5重量部の順に混合後、ホモジナイザーを用いて混合し、分散液 A— 29Αを得た。ホモジナイザーは、カップ内にジルコユアボール（（株）ニツカトー製、 ΥΤΖボール、寸法 φ θ. 5mm) を 0. 24kg充填して、氷浴中で処理した。ウルトラァペックスミル UAM— 015 (寿ェ業 (株）製）のベッセル内にジルコニァボール（（株）ニツカトー製、 YTZボール、寸法 θ. 05mm)を 0. 4kg充填し、ローターを回転させながら、分散液 A— 29Aをべッセル内に送液、循環させた。ローターの周速 12mZsで 2時間分散し、分散液 A—29B を得た。分散液 A— 29Bの粒度分布 50%径 0. 021 μ m、 90%径は 0. 051 μ mであった。分散液 A— 29Bを 15重量部とエポキシ榭脂溶液 B— 9を 0. 38重量部と、界面活性剤としてビックケミー'ジャパン (株)製、 BYK— 333を 0. 014重量部とをボールミルを用いて混合し、ペースト組成物全量に対する含有有機溶剤量が 88. 4重量 %であるペースト組成物 C - 50を作製した。 C - 50を硬化させて得られる誘電体組成物中の高誘電率無機粒子の含有量は、誘電体組成物全量に対し 73重量％である。

[0209] ペースト組成物 C— 50を用い、実施例 43と同様にして、誘電体組成物 (硬化膜)を得たが、粘度が低ぐ膜厚 1 μ m以上の硬化膜が得られず、膜厚は 0. 3 μ mであった。実施例 43と同様にして評価を行った。また、印加電圧 2Vにおけるリーク電流値力 20mA以上となり、評価装置の測定電流の上限値を超えたため、測定することができなかった。比誘電率は、リーク電流が大きく測定することができな力つた。この誘電体組成物の電圧保持率は 0%であった。結果は表 4に示した。

[0210] 実施例 55

分散液 A— 24Bを 15重量部とエポキシ榭脂溶液 B— 9を 1. 13重量部と、界面活性剤としてビックケミ一'ジャパン (株）製、 BYK— 333を 0. 012重量部とをボールミルを用いて混合し、ペースト組成物全量に対する含有有機溶剤量が 66. 7重量％であるペースト組成物 C - 51を作製した。 C— 51を硬化させて得られる誘電体組成物中の高誘電率無機粒子の含有量は、誘電体組成物全量に対し 73重量％である。

[0211] ペースト組成物 C— 51を孔径 0. 45 μ mのフィルターを用いて濾過した力すぐに目詰まりしてしまい、濾過することが困難であった。ペースト組成物 C— 51を孔径 0. 45 μ mの代わりに孔径 2 mのフィルターを用いて濾過した後、実施例 43と同様にして膜厚 1 μ mの誘電体組成物 (硬化膜)を得た。実施例 43と同様にして評価を行つた。結果は表 5に示した。

[0212] 実施例 56

Ύ—プチ口ラタトン 1960重量部、分散剤（リン酸エステル骨格を有するコポリマー、ビックケミ一'ジャパン (株）製、 BYK-W9010) 140重量部、チタン酸バリウム（戸田工業 (株)製、 T— BTO— 010RF :平均粒子径 0. 012 m) 700重量部の順に混合後、ホモジナイザーを用いて混合し、分散液 A— 30Aを得た。ホモジナイザーは、力ップ内にジルコ-ァボール（（株）ニツカトー製、 YTZボール、寸法 φ θ. 5mm)を 0. 7 kg充填して、氷浴中で処理した。ウルトラァペックスミル UAM— 015 (寿工業 (株)製 )のベッセル内にジルコ-ァボール（（株）ニツカトー製、 YTZボール、寸法 φ θ. 05m m)を 0. 4kg充填し、ローターを回転させながら、分散液 A— 30Aをベッセル内に送液、循環させた。ローターの周速 12mZsで 2時間分散し、分散液 A— 30Bを得た。分散液 A— 30Bの粒度分布 50%径 0. 013 ^ m, 90%径は 0. (津であった。分散液 A— 30Bを 15重量部とエポキシ榭脂溶液 B— 9を 0. 84重量部と、界面活性剤としてビックケミ一'ジャパン (株）製、 BYK— 333を 0. 012重量部とをボールミルを用いて混合し、ペースト組成物全量に対する含有有機溶剤量が 67. 5重量％であるペースト組成物 C - 52を作製した。 C - 52を硬化させて得られる誘電体組成物中の高誘電率無機粒子の含有量は、誘電体組成物全量に対し 73重量％である。実施例 43と同様にして評価を行った。結果は表 5に示した。

[0213] 実施例 57

Ύ—プチ口ラタトン 1960重量部、分散剤（リン酸エステル骨格を有するコポリマー、ビックケミ一'ジャパン (株）製、 BYK-W9010) 109. 6重量部、チタン酸バリウム（戸田ェ業(株)製、丁ー8丁0— 0301^:平均粒子径0. 03 ^ πι) 730. 4重量部の順に混合後、ホモジナイザーを用いて混合し、分散液 A— 31Aを得た。ホモジナイザーは、カップ内にジルコ-ァボール（（株）ニツカトー製、 ΥΤΖボール、寸法 φ θ. 5mm)を 0 . 73kg充填して、氷浴中で処理した。ウルトラァペックスミル U AM— 015 (寿工業（株）製）のベッセル内にジルコユアボール（（株）ニツカトー製、 YTZボール、寸法 φ 0 . 05mm)を 0. 4kg充填し、ローターを回転させながら、分散液 A— 31Aをベッセル内に送液、循環させた。ローターの周速 12mZsで 2時間分散し、分散液 A—31Bを得た。分散液 A— 31Bの粒度分布 50%径 0. 048 μ m, 90%径は 0. 08 mであつた。分散液 A— 31Bを 15重量部とエポキシ榭脂溶液 B— 9を 1. 13重量部と、界面活性剤としてビックケミー'ジャパン (株)製、 BYK— 333を 0. 012重量部とをボールミルを用いて混合し、ペースト組成物全量に対する含有有機溶剤量が 66. 7重量％であるペースト組成物 C— 53を作製した。 C— 53を硬化させて得られる誘電体組成物中の高誘電率無機粒子の含有量は、誘電体組成物全量に対し 73重量％である。実施例 43と同様にして評価を行った。結果は表 5に示した。

[0214] 実施例 58

Ύ—プチ口ラタトン 1960重量部、分散剤（リン酸エステル骨格を有するコポリマー、ビックケミ一'ジャパン (株）製、 BYK-W9010) 24. 5重量部、チタン酸バリウム（Ca bot, Inc.社製、 K Plus 16 :平均粒子径 0. 06 ^ πι) 815. 5重量部の順に混合後、ホモジナイザーを用いて混合し、分散液 A— 32Αを得た。ホモジナイザーは、カツプ内にジルコ-ァボール（（株）ニツカトー製、 ΥΤΖボール、寸法 φ θ. 5mm)を 0. 81 5kg充填して、氷浴中で処理した。ウルトラァペックスミル U AM— 015 (寿工業 (株）製）のベッセル内にジルコ-ァボール（（株）ニツカトー製、 YTZボール、寸法 φ θ. 05 mm)を 0. 4kg充填し、ローターを回転させながら、分散液 A— 32Aをベッセル内に送液、循環させた。ローターの周速 12mZsで 2時間分散し、分散液 A— 32Bを得た。分散液 A— 32Bの粒度分布 50%径 0. 15 ^ m, 90%径は 0.津であった。分散液 A— 32Bを 15重量部とエポキシ榭脂溶液 B— 9を 1. 14重量部と、界面活性剤としてビックケミ一'ジャパン (株）製、 BYK— 333を 0. 012重量部とをボールミルを用いて混合し、ペースト組成物全量に対する含有有機溶剤量が 66. 5重量％であるペースト組成物 C - 54を作製した。 C - 54を硬化させて得られる誘電体組成物中の高誘電率無機粒子の含有量は、誘電体組成物全量に対し 73重量％である。実施例 43と同様にして評価を行った。結果は表 5に示した。

実施例 59

分散液 A—30Bを遠心分離にかけ上澄み部分のみを抽出し、分散液 A— 30Cを得た。遠心分離は、（株）日立ハイテクノロジーズ製の分離用小形超遠心機" himac、 CS100GXL" (商品名）に同社製の" S55Aアングル形ローター（商品名）をセットし、 50000rpmで、 10分間処理を行った。さらにロータリーエバポレーターを用いて分散液 A— 30Cを濃縮し、分散液 A— 30Dを得た。分散液 A— 30Dの粒度分布 50%径 0. 008 μ m, 90%径は 0. 019 /z mであった。分散液 A— 30Dを 15重量咅とェポキシ榭脂溶液 B— 9を 0. 84重量部と、界面活性剤としてビックケミー'ジャパン (株)製、 BYK— 333を 0. 012重量部とをボールミルを用いて混合し、ペースト組成物全量に対する含有有機溶剤量が 67. 5重量％であるペースト組成物 C— 55を作製した。 C 55を硬化させて得られる誘電体組成物中の高誘電率無機粒子の含有量は、誘電体組成物全量に対し 73重量％である。実施例 43と同様にして評価を行った。結果 ί¾表 5に示した。 [0216] 実施例 60

Ύ—プチ口ラタトン 1960重量部、分散剤（リン酸エステル骨格を有するコポリマー、ビックケミ一'ジャパン (株）製、 BYK-W9010) 109. 6重量部、チタン酸バリウム（戸田工業 (株）製、 T BTO— 040RF :平均粒子径 0. 04 ^ πι) 730. 4重量部の順に混合後、ホモジナイザーを用いて混合し、分散液 A— 33Αを得た。ホモジナイザーは、カップ内にジルコ-ァボール（（株）ニツカトー製、 ΥΤΖボール、寸法 φ 0. 5mm)を 0. 73kg充填して、氷浴中で処理した。ウルトラァペックスミル U AM— 015 (寿工業（株）製）のベッセル内にジルコユアボール（（株）ニツカトー製、 YTZボール、寸法 φ 0 . 05mm)を 0. 4kg充填し、ローターを回転させながら、分散液 A— 33Aをベッセル内に送液、循環させた。ローターの周速 12mZsで 2時間分散し、分散液 A— 33Bを得た。分散液 A— 33Bの粒度分布 50%径 0. 049 μ m, 90%径は 0. 09 mであつた。分散液 A— 33Bを 15重量部とエポキシ榭脂溶液 B— 9を 1. 13重量部と、界面活性剤としてビックケミー'ジャパン (株)製、 BYK— 333を 0. 012重量部とをボールミルを用いて混合し、ペースト組成物全量に対する含有有機溶剤量が 66. 7重量％であるペースト組成物 C - 56を作製した。 C - 56を硬化させて得られる誘電体組成物中の高誘電率無機粒子の含有量は、誘電体組成物全量に対し 73重量％である。実施例 43と同様にして評価を行った。結果は表 5に示した。

[0217] 比較例 8

Ύ—プチ口ラタトン 1960重量部、分散剤（リン酸エステル骨格を有するコポリマー、ビックケミ一'ジャパン (株）製、 BYK-W9010) 8. 3重量部、チタン酸バリウム（戸田工業 (株）製、 T BTO— 020RF :平均粒子径 0. 027 ^ πι) 831. 7重量部の順に混合し、分散液 A— 34Αを得た。分散液 A— 34Αは粘度が高ぐビーズで分散できる状態ではな力つたため、 γ—プチ口ラタトンで希釈した後、ホモジナイザーで分散し、分散液 A—34Cを得た。分散液 A—34Cの粒度分布 50%径は 0. 56 ^ m, 90% 径 1. 3 mであった。分散液 A— 34Cとエポキシ榭脂溶液 B— 9を混合し、硬化させて得られる誘電体組成物中の高誘電率無機粒子の含有量は誘電体組成物全量に対し、 73重量％となるように調整したペースト組成物 C— 57を得た。ペースト組成物 C— 57はペースト全量に対する含有有機溶剤量が 88%となった。 [0218] ペースト組成物 C 57は孔径 2 μ mのフィルターを用いて濾過することができなかつた。ペースト組成物 C— 57を ITO付きガラス基板上にスピンコーターを用いて塗布し、オーブンを用いて 80°Cで 15分間の熱処理を行い乾燥させた後、 175°Cで 4時間の熱処理を行い硬化させて、誘電体組成物の膜を得た。この誘電体組成物の波長 4 00〜700nmにおける光線透過率の最小値は測定部位によるばらつきが大きぐ 5〜 10%の範囲であった。また、印加電圧 2Vにおけるリーク電流値力 20mA以上となり、評価装置の測定電流の上限値を超えたため、測定することができな力つた。比誘電率は、リーク電流が大きく測定することができな力つた。この誘電体糸且成物の電圧保持率は 0%であった。

[0219] 実施例 61

Ύ—プチ口ラタトン 1960重量部、分散剤（リン酸エステル骨格を有するコポリマー、ビックケミ一'ジャパン (株）製、 BYK-W9010) 62. 22重量部、チタン酸バリウム（戸田工業 (株）製、 T BTO— 020RF :平均粒子径 0. 027 ^ m) 777. 78重量部の順に混合し、分散液 A— 35Aを得た。ウルトラァペックスミル UAM— 015 (寿工業 (株）製）のベッセル内にジルコ-ァボール（（株）ニツカトー製、 YTZボール、寸法 φ 0. 5 mm)を 0. 4kg充填し、ローターを回転させながら、分散液 A—35Aをベッセル内に送液、循環させた。ローターの周速 8mZsで 1時間分散後、分散液 A— 35Bを得た。ベッセル内のビーズを回収し、新たにジルコユアボール（（株）ニツカトー製、 YTZボール、寸法 φ θ. 05mm)を 0. 4kg充填した。ビーズ交換後、ローターを回転させながら、分散液 A— 35Bをベッセル内に送液、循環させた。ローターの周速 12mZsで、 90分間分散し、分散液 A— 35Cを得た。また、 120分間分散した分散液 A— 35D を得た。分散液 A— 35Cの粒度分布 50⁰/₀径 ίま 0. 027 ^ m, 90⁰/₀径 ίま 0. 061 であった。分散液 A— 35Dの粒度分布 50⁰/₀径 ίま 0. 035 ^ m, 90⁰/₀径 ίま 0. 074 μ mとなり、実施例 46より分散剤が少ないため、長時間の分散では粒度分布の増加が確認された。分散液 A— 35Cを 15重量部とエポキシ榭脂溶液 B— 9を 1. 56重量部と、界面活性剤としてビックケミー'ジャパン (株)製、 BYK— 333を 0. 012重量部とをボールミルを用いて混合し、ペースト組成物全量に対する含有有機溶剤量が 65. 5重量％であるペースト組成物 C— 58を作製した。 C— 58を硬化させて得られる誘電体組成物中の高誘電率無機粒子の含有量は、誘電体組成物全量に対し 73重量％である。実施例 43と同様にして評価を行った。結果は表 5に示した。

[0220] 実施例 62

Ύ—プチ口ラタトン 1960重量部、分散剤（リン酸エステル骨格を有するコポリマー、ビックケミ一'ジャパン (株）製、 BYK-W9010) 140重量部、チタン酸バリウム（戸田工業 (株)製、 T— BTO— 020RF :平均粒子径 0. 027 m) 700重量部の順に混合し、分散液 A— 36Aを得た。ウルトラァペックスミル UAM— 015 (寿工業 (株)製)のベッセル内にジルコ-ァボール（（株）ニツカトー製、 YTZボール、寸法 φ 0. 5mm) を 0. 4kg充填し、ローターを回転させながら、分散液 A—36Aをベッセル内に送液、循環させた。ローターの周速 8mZsで 1時間分散後、分散液 A— 36Bを得た。べッセル内のビーズを回収し、新たにジルコユアボール（（株）ニツカトー製、 YTZボール、寸法 φ θ. 05mm)を 0. 4kg充填した。ビーズ交換後、ローターを回転させながら、分散液 A— 36Bをベッセル内に送液、循環させた。ローターの周速 12mZsで、 120分間分散し、分散液 A— 36Cを得た。分散液 A— 36Cの粒度分布 50%径は 0. 021 m、 90%径は 0. 049 mであった。分散液 A—36Cを 15重量部とエポキシ榭脂溶液 B— 9を 0. 84重量部と、界面活性剤としてビックケミー'ジャパン (株)製、 BYK— 3 33を 0. 012重量部とをボールミルを用いて混合し、ペースト組成物全量に対する含有有機溶剤量が 67. 5重量⁰ /₀であるペースト組成物 C— 59を作製した。 C— 59を硬化させて得られる誘電体組成物中の高誘電率無機粒子の含有量は、誘電体組成物全量に対し 73重量％である。実施例 43と同様にして評価を行った。結果は表 5に示した。

[0221] 実施例 63

Ύ—プチ口ラタトン 1960重量部、分散剤（リン酸エステル骨格を有するコポリマー、ビックケミ一'ジャパン (株）製、 BYK-W9010) 183. 75重量部、チタン酸バリウム（戸田工業 (株）製、 T BTO— 020RF :平均粒子径 0. 027 ^ m) 656. 25重量部の順に混合し、分散液 A— 37Aを得た。ウルトラァペックスミル UAM— 015 (寿工業（株）製）のベッセル内にジルコユアボール（（株）ニツカトー製、 YTZボール、寸法 φ 0 . 5mm)を 0. 4kg充填し、ローターを回転させながら、分散液 A— 37Aをベッセル内に送液、循環させた。ローターの周速 8mZsで 1時間分散後、分散液 A— 37Bを得た。ベッセル内のビーズを回収し、新たにジルコユアボール（（株）ニツカトー製、 YTZ ボール、寸法 Φ 0. 5mm)を 0. 4kg充填した。ビーズ交換後、ローターを回転させながら、分散液 A— 37Bをベッセル内に送液、循環させた。ローターの周速 12mZsで、 120分間分散し、分散液 A— 37Cを得た。分散液 A— 37Cの粒度分布 50%径は 0 . 02 /ζ πι、 90%径は 0. 047 /z mであった。分散液 A— 37Cを 15重量咅とエポキシ榭脂溶液 B— 9を 0. 42重量部と、界面活性剤としてビックケミー'ジャパン (株)製、 B YK— 333を 0. 012重量部とをボールミルを用いて混合し、ペースト組成物全量に対する含有有機溶剤量が 68. 7重量％であるペースト組成物 C— 60を作製した。 C 60を硬化させて得られる誘電体組成物中の高誘電率無機粒子の含有量は、誘電体組成物全量に対し 73重量％である。実施例 43と同様にして評価を行った。結果 ί¾表 5に示した。

[0222] 実施例 64

分散液 A— 24Cを 15重量部とアクリル榭脂 (東亜合成 (株)製、 "ァロニックス"（商品名） Μ305)を 6. 43重量部と光重合開始剤（チバガイキー (株)製、ィルガキュア（商品名） 184)を 0. 32重量部、 γ ブチロラタトン 1. 99重量部とをボールミルを用いて混合し、ペースト組成物全量に対する含有有機溶剤量が 52. 6重量％であるべ一スト組成物 C - 61を作製した。 C— 61を硬化させて得られる誘電体組成物中の高誘電率無機粒子の含有量は、誘電体組成物全量に対し 35重量％である。実施例 50と同様にして評価を行った。結果を表 5に示した。

[0223] 実施例 65

分散液 A— 24Cを 15重量部とアクリル榭脂 (東亜合成 (株)製、 "ァロニックス"（商品名） Μ305)を 3. 2重量部と光重合開始剤（チバガイキー (株)製、 "ィルガキュア"（商品名） 184)を 0. 16重量部、 γ ブチロラタトン 0. 99重量部とをボールミルを用いて混合し、ペースト組成物全量に対する含有有機溶剤量が 59. 4重量％であるべ一スト組成物 C— 62を作製した。 C— 62を硬化させて得られる誘電体組成物中の高誘電率無機粒子の含有量は、誘電体組成物全量に対し 50重量％である。実施例 50と同様にして評価を行った。結果を表 5に示した。 [0224] 実施例 66

分散液 A— 24Cを 15重量部とアクリル榭脂 (東亜合成 (株)製、 "ァロニックス"（商品名） M305)を 0. 83重量部と光重合開始剤（チバガイキー (株)製、 "ィルガキュア" (商品名） 184)を 0. 04重量部、 γ ブチロラタトン 0. 26重量部とをボールミルを用いて混合し、ペースト組成物全量に対する含有有機溶剤量が 66. 7重量％であるべ一スト組成物 C— 63を作製した。 C— 63を硬化させて得られる誘電体組成物中の高誘電率無機粒子の含有量は、誘電体組成物全量に対し 73重量％である。実施例 5 0と同様にして評価を行った。結果を表 5に示した。

[0225] 実施例 67

乳酸ェチル I960重量部、分散剤（リン酸エステル骨格を有するコポリマー、ビックケミ一'ジャパン（株）製、 BYK-W9010) 109. 6重量部、チタン酸バリウム（戸田ェ業 (株）製、 T BTO— 020RF :平均粒子径 0. 027 ^ m) 730. 4重量部の順に混合し、分散液 A— 38Aを得た。ウルトラァペックスミル UAM— 015 (寿工業 (株)製）のベッセル内にジルコ-ァボール（（株）ニツカトー製、 YTZボール、寸法 φ 0. 5mm )を 0. 4kg充填し、ローターを回転させながら、分散液 A—38Aをベッセル内に送液、循環させた。ローターの周速 8mZsで 1時間分散後、分散液 A— 38Bを得た。べッセル内のビーズを回収し、新たにジルコユアボール（（株）ニツカトー製、 YTZボール、寸法 φ θ. 05mm)を 0. 4kg充填した。ビーズ交換後、ローターを回転させながら、分散液 A—38Bをベッセル内に送液、循環させた。ローターの周速 12mZsで、粒度分布が 0. 02±0. 01 /z mになるまで分散を行い、分散液 A— 38Cを得た。分散液 A — 38Cの粒度分布 50⁰/₀径 ίま 0. 022 ^ m, 90⁰/₀径 ίま 0. 049 /z mであった。

[0226] 分散液 A— 38Cを 15重量部とエポキシ榭脂溶液 B— 9を 1. 13重量部と、界面活性剤としてビックケミー'ジャパン (株)製、 BYK— 333を 0. 012重量部をボールミルを用いて混合し、ペースト組成物全量に対する含有有機溶剤量が 66. 7重量％であるペースト組成物 C - 64を作製した。 C - 64を硬化させて得られる誘電体組成物中の高誘電率無機粒子の含有量は、誘電体組成物全量に対し 73重量％である。実施例 50と同様にして評価を行った。結果を表 7に示した。

[0227] 実施例 68 ペースト組成物 C 64を孔径 0. 45 μ mのフィルターを用いて濾過した後、 ITO付きガラス基板上にスピンコーターを用いて塗布し、オーブンを用いて 80°Cで 15分間の熱処理を行い乾燥させた後、 175°Cで 4時間の熱処理を行い硬化させ、膜厚 1 mの誘電体組成物 (硬化膜)を得た。膜厚調整はスピンコート時のスピン調整速度により行った。さらに、この誘電体組成物上にフッ素系界面活性剤（大日本インキ化学工業 (株)製、 "ディフェンサ"（商品名） MCF— 350SF)を用いて 0.： L m厚の透明被膜を形成した。実施例 43と同様にして評価を行った。結果を表 7に示した。

[表 4]

〔表

分散装置/ビーズ粒子径のに記載。ホモジナイザー、ウルトラァペックスミル。

表 5

：分散装置/ビーズ粒子径の順に記 «。：ホモジナイザー、：ウルトラァペックスミル。

90ε20

表 6

※ ：分散装置だーズ粒子径の順に記載。 U .ウルトラアベックスミル。

n [τεεο] £Ll£/900Zd /lDd 12 S096Z0/.00Z OAV 表 7

産業上の利用可能性

本発明の、ペースト組成物および誘電体組成物は、ディスプレイの表示部に使用される透明キャパシタ用材料や、エレクトロウエツティングタイプの電子ペーパーの電解液に接する材料などとして好適に利用可能である。

Claims

請求の範囲

[I] (a)榭脂、 (b)ベロブスカイト系結晶構造を有する高誘電率無機粒子、および (c)有機溶剤を含有するペースト組成物であって、 (b)高誘電率無機粒子の平均粒子径が 0. 002 m以上 0. 06 m以下であり、全有機溶剤量がペースト組成物全量の 35 重量％以上 85重量％以下であるペースト組成物。

[2] (b)ベロブスカイト系結晶構造を有する高誘電率無機粒子の平均粒子径が 0. 002 μ m以上 0. 04 m以下である請求項 1記載のペースト組成物。

[3] (a)榭脂が熱硬化性である請求項 1記載のペースト組成物。

[4] (a)榭脂がアクリル榭脂もしくはエポキシ榭脂を有する請求項 1記載のペースト組成物。

[5] さらに分散剤を有し、その含有量が (b)結晶構造がベロブスカイト型を有する高誘電率無機粒子に対し 2重量％以上 25重量％以下である請求項 1記載のペースト組成物。

[6] (a)榭脂、（b)ベロブスカイト系結晶構造を有する高誘電率無機粒子を含有する誘電体組成物であって、（b)高誘電率無機粒子の平均粒子径が 0. 002 m以上 0. 06 μ m以下である誘電体組成物。

[7] (b)ベロブスカイト系結晶構造を有する高誘電率無機粒子の平均粒子径が 0. 002 μ m以上 0. 04 m以下である請求項 6記載の誘電体組成物。

[8] (b)ベロブスカイト系結晶構造を有する高誘電率無機粒子の含有量が、誘電体組成物全体に対し 30重量％以上 99重量％以下である請求項 6記載の誘電体組成物。

[9] 波長 400〜700nmの全域における光線透過率が 50%以上 100%以下である請求項 6記載の誘電体組成物。

[10] 周波数 1kHzにおける比誘電率が 10以上、 300以下である請求項 6記載の誘電体組成物。

[I I] (a)榭脂が熱硬化性である請求項 6記載の誘電体組成物。

[12] (a)榭脂がアクリル榭脂もしくはエポキシ榭脂を有する請求項 6記載の誘電体組成物

[13] さらに分散剤を有し、その含有量が (b)ベロブスカイト系結晶構造を有する高誘電率無機粒子に対し 2重量％以上 25重量％以下である請求項 6記載の誘電体組成物。

[14] 請求項 6〜 13のいずれか記載の誘電体組成物と、波長 400〜700nmの全域〖こおける光線透過率が 50%以上 100%以下である透明電極を有するキャパシタ。

[15] 金属、セラミックス、ガラスのいずれかの平均粒子径が 0. 02mm以上 0. 1mm以下であるビーズを分散メディアとして用いて、 (b)ぺロブスカイト系結晶構造を有する高誘電率無機粒子を有機溶剤に分散して (d)分散液を作製し、次に榭脂、もしくは榭脂と有機溶剤を有する榭脂溶液と (d)分散液とを混合する請求項 1記載のペースト組成物の製造方法。