JP3995020B2 - ペースト組成物、誘電体組成物、キャパシタおよびペースト組成物の製造方法 - Google Patents
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Description
顕微分光装置 MCPD−2000(大塚電子(株)製)を用いて、(A)ガラス基板の波長400〜700nmの光線透過率、(B)ガラス基板上に誘電体組成物を形成したサンプルの波長400〜700nmの光線透過率を測定した。本発明の誘電体組成物の光線透過率は(B)の光線透過率から(A)の光線透過率を差し引いた差スペクトルとした。ガラス基板には、ソーダライムガラスを用いた。本発明の誘電体組成物の透過光スペクトルにおいて、本発明の実施例における光線透過率は波長400nmの値を代表値として用いた。光線透過率が波長400nm以外で最小値を示すものについては、波長400〜700nmで最も小さい値を示した光線透過率と、その値が得られた波長を記載した。
誘電体組成物の静電容量は、インピーダンスアナライザ4294Aおよびサンプルホルダー16451B(共にアジレントテクノロジー(株)製)を用いて測定した。
塗膜の膜厚は、塗膜と基板の段差をサーフコム1400(東京精密(株)製)を用いて触針法により測定することで求めた。
高誘電率無機粒子の平均粒子径は以下の方法で求めた。高誘電率無機粒子を有機溶剤に分散し、凝集をほぐした状態にしたものをTEM観察用メッシュ上に滴下し、有機溶剤を蒸発させた後、透過型電子顕微鏡(TEM)観察を行った。透過型電子顕微鏡(TEM)観察は倍率100000倍および200000倍において行った。得られた高誘電率無機粒子の透過型電子顕微鏡観察写真を画像解析ソフト(Scion Corporation社製、 Scion Image)を用いて解析し、各高誘電率無機粒子の像の面積を求めた。このようにして得られた各無機フィラー像を円形と近似し、面積から粒子径を算出した。粒子径の算出は、100個以上の粒子が撮影されている透過型電子顕微鏡写真を用いて写真内の全ての高誘電率無機粒子に対して行い、その平均値を平均粒子径とした。
分散液の粒度分布は、粒度分布測定装置マイクロトラックUPA150(日機装(株)製)を用いて測定した。粒度分布は、50%径、90%径の値を用いた。50%径とは、粉体の集合の全体積を100%として累積カーブを求めたときに、その累積カーブが50%となる点の粒子径の累積中位点(Median径)である。90%径とは、その累積カーブが90%となる点の粒子径である。
誘電体組成物のリーク電流は以下のようにして測定した。透明電極付きガラス基板上に誘電体組成物を形成した。ガラス基板は面積6cm×6cm、厚さ0.7mm、透明電極はITO(Indium Tin Oxide)電極を用いた。ITO電極は、膜厚150±10nm、抵抗値8〜20Ω/□、透過率≧85%(測定波長550nm)を用いた。ITO電極の抵抗値は四端子テスターで測定した。ITO透明電極付きガラス基板上に誘電体組成物の塗膜を形成した。この塗膜上に蒸着法によりアルミニウム電極を形成した。アルミニウム電極は、厚さ300nmの直径2.5mmの円形パターンの電極である。透明電極とアルミニウム電極に挟まれた部分が測定対象となる。透明電極とアルミニウム電極の間に2Vの電圧を印加し、電圧印加20秒後に電流を測定した。この測定にはケースレーインスツルメンツ(株)製、エレクトロメータ/高抵抗システム6517A型を用いた。
上記(6)と同じようにして、透明電極付きガラス基板上に誘電体組成物の塗膜を形成した。透明電極付きガラス基板は上記(6)と同じものを用いた。
チタン酸バリウム(Cabot,Inc.社製、K−Plus16:平均粒子径0.06μm)429重量部、γ−ブチロラクトン1050重量部、分散剤(リン酸エステル骨格を有する酸基を持つコポリマー、ビックケミー・ジャパン(株)製、BYK−W9010)21.4重量部をウルトラアペックスミル(寿工業(株)製)を用いて混練し、分散液A−1を得た。エポキシ樹脂(ジャパンエポキシレジン(株)製、“エピコート”(商品名)YX8000)6.8重量部、硬化剤(新日本理化(株)製、“リカシッド”(商品名)MH700)4.7重量部、硬化促進剤(N,N−ジメチルベンジルアミン)0.2重量部、γ−ブチロラクトン1.2重量部を混合し、エポキシ樹脂溶液B−1を得た。エピコートYX8000はエポキシ当量205g/eqの液状エポキシ樹脂である。分散液A−1を150重量部と、エポキシ樹脂溶液B−1を3重量部とをボールミルを用いて混合し、ペースト組成物全量に対する含有有機溶剤量が69重量%であるペースト組成物C−1を作製した。C−1を硬化させて得られる誘電体組成物中の高誘電率無機粒子の含有量は誘電体組成物全量に対し、90重量%となる。
ペースト組成物C−1をガラス基板上にスピンコーターを用いて塗布し、オーブンを用いて80℃で15分間の熱処理を行い乾燥させた後、175℃で4時間の熱処理を行い硬化させ、膜厚0.8μmの誘電体組成物(硬化膜)を得た。膜厚調整はスピンコート時のスピン速度調整により行った。この誘電体組成物の光線透過率(波長400nm)は65%であった。
ペースト組成物C−1をガラス基板上にスピンコーターを用いて塗布し、オーブンを用いて80℃で15分間の熱処理を行い乾燥させた後、175℃で4時間の熱処理を行い硬化させ、膜厚0.4μmの誘電体組成物(硬化膜)を得た。膜厚調整はスピンコート時のスピン速度調整により行った。この誘電体組成物の光線透過率(波長400nm)は85%であった。
ペースト組成物C−1をガラス基板上にスピンコーターを用いて塗布し、オーブンを用いて80℃で15分間の熱処理を行い乾燥させた後、175℃で4時間の熱処理を行い硬化させ、膜厚0.1μmの誘電体組成物(硬化膜)を得た。膜厚調整はスピンコート時のスピン速度調整により行った。この誘電体組成物の光線透過率(波長400nm)は93%であった。
分散液A−1を150重量部と、エポキシ樹脂溶液B−1を5重量部とをボールミルを用いて混合し、ペースト組成物全量に対する含有有機溶剤量が68重量%であるペースト組成物C−2を作製した。C−2を硬化させて得られる誘電体組成物中の高誘電率無機粒子の含有量は誘電体組成物全量に対し、87重量%となる。このペースト組成物C−2をガラス基板上にスピンコーターを用いて塗布し、オーブンを用いて80℃で15分間の熱処理を行い乾燥させた後、175℃で4時間の熱処理を行い硬化させ、膜厚1.4μmの誘電体組成物(硬化膜)を得た。膜厚調整はスピンコート時のスピン速度調整により行った。この誘電体組成物の光線透過率(波長400nm)は55%であった。実施例1と同様にして、ペースト組成物C−2から誘電体組成物を作製し、誘電特性の評価を行ったところ、1MHzにおける比誘電率は36であった。
分散液A−1を150重量部と、エポキシ樹脂溶液B−1を12重量部とをボールミルを用いて混合し、ペースト組成物全量に対する含有有機溶剤量が65重量%であるペースト組成物C−3を作製した。C−3を硬化させて得られる誘電体組成物中の高誘電率無機粒子の含有量は誘電体組成物全量に対し、77重量%となる。このペースト組成物C−3をガラス基板上にスピンコーターを用いて塗布し、オーブンを用いて80℃で15分間の熱処理を行い乾燥させた後、175℃で4時間の熱処理を行い硬化させ、膜厚1.4μmの誘電体組成物(硬化膜)を得た。膜厚調整はスピンコート時のスピン速度調整により行った。この誘電体組成物の光線透過率(波長400nm)は70%であった。実施例1と同様にして、ペースト組成物C−3から誘電体組成物を作製し、誘電特性の評価を行ったところ、1MHzにおける比誘電率は18であった。
分散液A−1を150重量部と、エポキシ樹脂溶液B−1を20重量部とをボールミルを用いて混合し、ペースト組成物全量に対する含有有機溶剤量が63重量%であるペースト組成物C−4を作製した。C−4を硬化させて得られる誘電体組成物中の高誘電率無機粒子の含有量は誘電体組成物全量に対し、68重量%となる。このペースト組成物C−4をガラス基板上にスピンコーターを用いて塗布し、オーブンを用いて80℃で15分間の熱処理を行い乾燥させた後、175℃で4時間の熱処理を行い硬化させ、膜厚1.4μmの誘電体組成物(硬化膜)を得た。膜厚調整はスピンコート時のスピン速度調整により行った。この誘電体組成物の光線透過率(波長400nm)は80%であった。実施例1と同様にして、ペースト組成物C−4から誘電体組成物を作製し、誘電特性の評価を行ったところ、1MHzにおける比誘電率は12であった。
水熱合成法を用いて作製した平均粒子径0.03μmのチタン酸バリウムT−1を429重量部、γ−ブチロラクトン1050重量部、分散剤(リン酸エステル骨格を有する酸基を持つコポリマー、ビックケミー・ジャパン(株)製、BYK−W9010)21.4重量部をウルトラアペックスミル(寿工業(株)製)を用いて混練し、分散液A−2を得た。分散液A−2を150重量部と、エポキシ樹脂溶液B−1を3重量部とをボールミルを用いて混合し、ペースト組成物全量に対する含有有機溶剤量が69重量%であるペースト組成物C−5を作製した。C−5を硬化させて得られる誘電体組成物中の高誘電率無機粒子の含有量は誘電体組成物全量に対し、90重量%となる。このペースト組成物C−5をガラス基板上にスピンコーターを用いて塗布し、オーブンを用いて80℃で15分間の熱処理を行い乾燥させた後、175℃で4時間の熱処理を行い硬化させ、膜厚1.4μmの誘電体組成物(硬化膜)を得た。膜厚調整はスピンコート時のスピン速度調整により行った。この誘電体組成物の光線透過率(波長400nm)は75%であった。実施例1と同様にして、ペースト組成物C−5から誘電体組成物を作製し、誘電特性の評価を行ったところ、1MHzにおける比誘電率は35であった。
ペースト組成物C−5をガラス基板上にスピンコーターを用いて塗布し、オーブンを用いて80℃で15分間の熱処理を行い乾燥させた後、175℃で4時間の熱処理を行い硬化させ、膜厚0.8μmの誘電体組成物(硬化膜)を得た。膜厚調整はスピンコート時のスピン速度調整により行った。この誘電体組成物の光線透過率(波長400nm)は80%であった。
ペースト組成物C−5をガラス基板上にスピンコーターを用いて塗布し、オーブンを用いて80℃で15分間の熱処理を行い乾燥させた後、175℃で4時間の熱処理を行い硬化させ、膜厚0.4μmの誘電体組成物(硬化膜)を得た。膜厚調整はスピンコート時のスピン速度調整により行った。この誘電体組成物の光線透過率(波長400nm)は92%であった。
ペースト組成物C−5をガラス基板上にスピンコーターを用いて塗布し、オーブンを用いて80℃で15分間の熱処理を行い乾燥させた後、175℃で4時間の熱処理を行い硬化させ、膜厚0.1μmの誘電体組成物(硬化膜)を得た。膜厚調整はスピンコート時のスピン速度調整により行った。この誘電体組成物の光線透過率(波長400nm)は96%であった。
分散液A−2を150重量部と、エポキシ樹脂溶液B−1を5重量部とをボールミルを用いて混合し、ペースト組成物全量に対する含有有機溶剤量が68重量%であるペースト組成物C−6を作製した。C−6を硬化させて得られる誘電体組成物中の高誘電率無機粒子の含有量は誘電体組成物全量に対し、87重量%となる。このペースト組成物C−6をガラス基板上にスピンコーターを用いて塗布し、オーブンを用いて80℃で15分間の熱処理を行い乾燥させた後、175℃で4時間の熱処理を行い硬化させ、膜厚1.4μmの誘電体組成物(硬化膜)を得た。膜厚調整はスピンコート時のスピン速度調整により行った。この誘電体組成物の光線透過率(波長400nm)は78%であった。実施例1と同様にして、ペースト組成物C−6から誘電体組成物を作製し、誘電特性の評価を行ったところ、1MHzにおける比誘電率は32であった。
分散液A−2を150重量部と、エポキシ樹脂溶液B−1を12重量部とをボールミルを用いて混合し、ペースト組成物全量に対する含有有機溶剤量が65重量%であるペースト組成物C−7を作製した。C−7を硬化させて得られる誘電体組成物中の高誘電率無機粒子の含有量は誘電体組成物全量に対し、77重量%となる。このペースト組成物C−7をガラス基板上にスピンコーターを用いて塗布し、オーブンを用いて80℃で15分間の熱処理を行い乾燥させた後、175℃で4時間の熱処理を行い硬化させ、膜厚1.4μmの誘電体組成物(硬化膜)を得た。膜厚調整はスピンコート時のスピン速度調整により行った。この誘電体組成物の光線透過率(波長400nm)は83%であった。実施例1と同様にして、ペースト組成物C−7から誘電体組成物を作製し、誘電特性の評価を行ったところ、1MHzにおける比誘電率は17であった。
分散液A−2を150重量部と、エポキシ樹脂溶液B−1を20重量部とをボールミルを用いて混合し、ペースト組成物全量に対する含有有機溶剤量が63重量%であるペースト組成物C−8を作製した。C−8を硬化させて得られる誘電体組成物中の高誘電率無機粒子の含有量は誘電体組成物全量に対し、68重量%となる。このペースト組成物C−8をガラス基板上にスピンコーターを用いて塗布し、オーブンを用いて80℃で15分間の熱処理を行い乾燥させた後、175℃で4時間の熱処理を行い硬化させ、膜厚1.4μmの誘電体組成物(硬化膜)を得た。膜厚調整はスピンコート時のスピン速度調整により行った。この誘電体組成物の光線透過率(波長400nm)は88%であった。実施例1と同様にして、ペースト組成物C−8から誘電体組成物を作製し、誘電特性の評価を行ったところ、1MHzにおける比誘電率は12であった。
チタン酸バリウム(Buhler PARTEC GmbH社製、Barium titanate:平均粒子径0.022μm(メーカー仕様平均粒子径0.018μm)429重量部、γ−ブチロラクトン1050重量部、分散剤(リン酸エステル骨格を有する酸基を持つコポリマー、ビックケミー・ジャパン(株)製、BYK−W9010)21.4重量部をウルトラアペックスミル(寿工業(株)製)を用いて混練し、分散液A−3を得た。分散液A−3を150重量部と、エポキシ樹脂溶液B−1を3重量部とをボールミルを用いて混合し、ペースト組成物全量に対する含有有機溶剤量が69重量%であるペースト組成物C−9を作製した。C−9を硬化させて得られる誘電体組成物中の高誘電率無機粒子の含有量は誘電体組成物全量に対し、90重量%となる。このペースト組成物C−9をガラス基板上にスピンコーターを用いて塗布し80℃で15分間の熱処理を行い乾燥させた後、175℃で4時間の熱処理を行い硬化させ、膜厚1.4μmの誘電体組成物(硬化膜)を得た。膜厚調整はスピンコート時のスピン速度調整により行った。この誘電体組成物の光線透過率(波長400nm)は80%であった。
ペースト組成物C−9をガラス基板上にスピンコーターを用いて塗布し、オーブンを用いて80℃で15分間の熱処理を行い乾燥させた後、175℃で4時間の熱処理を行い硬化させ、膜厚0.8μmの誘電体組成物(硬化膜)を得た。膜厚調整はスピンコート時のスピン速度調整により行った。この誘電体組成物の光線透過率(波長400nm)は83%であった。
ペースト組成物C−9をガラス基板上にスピンコーターを用いて塗布し、オーブンを用いて80℃で15分間の熱処理を行い乾燥させた後、175℃で4時間の熱処理を行い硬化させ、膜厚0.4μmの誘電体組成物(硬化膜)を得た。膜厚調整はスピンコート時のスピン速度調整により行った。この誘電体組成物の光線透過率(波長400nm)は94%であった。
ペースト組成物C−9をガラス基板上にスピンコーターを用いて塗布し、オーブンを用いて80℃で15分間の熱処理を行い乾燥させた後、175℃で4時間の熱処理を行い硬化させ、膜厚0.1μmの誘電体組成物(硬化膜)を得た。膜厚調整はスピンコート時のスピン速度調整により行った。この誘電体組成物の光線透過率(波長400nm)は97%であった。
分散液A−3を150重量部と、エポキシ樹脂溶液B−1を5重量部とをボールミルを用いて混合し、ペースト組成物全量に対する含有有機溶剤量が68重量%であるペースト組成物C−10を作製した。C−10を硬化させて得られる誘電体組成物中の高誘電率無機粒子の含有量は誘電体組成物全量に対し、87重量%となる。このペースト組成物C−10をガラス基板上にスピンコーターを用いて塗布し、オーブンを用いて80℃で15分間の熱処理を行い乾燥させた後、175℃で4時間の熱処理を行い硬化させ、膜厚1.4μmの誘電体組成物(硬化膜)を得た。膜厚調整はスピンコート時のスピン速度調整により行った。この誘電体組成物の光線透過率(波長400nm)は83%であった。実施例1と同様にして、ペースト組成物C−10から誘電体組成物を作製し、誘電特性の評価を行ったところ、1MHzにおける比誘電率は30であった。
分散液A−3を150重量部と、エポキシ樹脂溶液B−1を12重量部とをボールミルを用いて混合し、ペースト組成物C−11を作製した。C−11を硬化させて得られる誘電体組成物中の高誘電率無機粒子の含有量は誘電体組成物全量に対し、77重量%となる。このペースト組成物C−11をガラス基板上にスピンコーターを用いて塗布し、オーブンを用いて80℃で15分間の熱処理を行い乾燥させた後、175℃で4時間の熱処理を行い硬化させ、膜厚1.4μmの誘電体組成物(硬化膜)を得た。膜厚調整はスピンコート時のスピン速度調整により行った。この誘電体組成物の光線透過率(波長400nm)は85%であった。実施例1と同様にして、ペースト組成物C−11から誘電体組成物を作製し、誘電特性の評価を行ったところ、1MHzにおける比誘電率は16であった。
分散液A−3を150重量部と、エポキシ樹脂溶液B−1を20重量部とをボールミルを用いて混合し、ペースト組成物C−12を作製した。C−12を硬化させて得られる誘電体組成物中の高誘電率無機粒子の含有量は誘電体組成物全量に対し、68重量%となる。このペースト組成物C−12をガラス基板上にスピンコーターを用いて塗布し、オーブンを用いて80℃で15分間の熱処理を行い乾燥させた後、175℃で4時間の熱処理を行い硬化させ、膜厚1.4μmの誘電体組成物(硬化膜)を得た。膜厚調整はスピンコート時のスピン速度調整により行った。この誘電体組成物の光線透過率(波長400nm)は90%であった。実施例1と同様にして、ペースト組成物C−12から誘電体組成物を作製し、誘電特性の評価を行ったところ、1MHzにおける比誘電率は12であった。
チタン酸ストロンチウム(TPL,Inc.製、HPS−2000:平均粒子径0.045μm)429重量部、γ−ブチロラクトン1050重量部、分散剤(リン酸エステル骨格を有する酸基を持つコポリマー、ビックケミー・ジャパン(株)製、BYK−W9010)21.4重量部をウルトラアペックスミル(寿工業(株)製)を用いて混練し、分散液A−4を得た。分散液A−4を150重量部と、エポキシ樹脂溶液B−1を3重量部とをボールミルを用いて混合し、ペースト組成物全量に対する含有有機溶剤量が69重量%であるペースト組成物C−13を作製した。C−13を硬化させて得られる誘電体組成物中の高誘電率無機粒子の含有量は誘電体組成物全量に対し、90重量%となる。
ペースト組成物C−5をガラス基板上にスピンコーターを用いて塗布し、オーブンを用いて80℃で15分間の熱処理を行い乾燥させた後、175℃で4時間の熱処理を行い硬化させ、膜厚2μmの誘電体組成物(硬化膜)を得た。膜厚調整はスピンコート時のスピン速度調整により行った。この誘電体組成物の光線透過率(波長400nm)は65%であった。
ペースト組成物C−9をガラス基板上にスピンコーターを用いて塗布し、オーブンを用いて80℃で15分間の熱処理を行い乾燥させた後、175℃で4時間の熱処理を行い硬化させ、膜厚2μmの誘電体組成物(硬化膜)を得た。膜厚調整はスピンコート時のスピン速度調整により行った。この誘電体組成物の光線透過率(波長400nm)は70%であった。
チタン酸バリウム(Buhler PARTEC GmbH社製、Barium titanate:平均粒子径0.022μm(メーカー仕様平均粒子径0.018μm)224重量部、γ−ブチロラクトン165重量部、分散剤(リン酸エステル骨格を有する酸基を持つコポリマー、ビックケミー・ジャパン(株)製、BYK−W9010)11重量部をホモジナイザーを用いて混練し、分散液A−5を得た。分散液A−5を150重量部と、エポキシ樹脂溶液B−1を5.9重量部とをボールミルを用いて混合し、ペースト組成物全量に対する含有有機溶剤量が40重量%であるペースト組成物C−14を作製した。C−14を硬化させて得られる誘電体組成物中の高誘電率無機粒子の含有量は誘電体組成物全量に対し、90重量%となる。このペースト組成物C−14をガラス基板上にスピンコーターを用いて塗布し、オーブンを用いて80℃で15分間の熱処理を行い乾燥させた後、175℃で4時間の熱処理を行い硬化させ、膜厚1.4μmの誘電体組成物(硬化膜)を得た。膜厚調整はスピンコート時のスピン速度調整により行った。この誘電体組成物の光線透過率(波長400nm)は68%であった。
分散液A−1を150重量部と、エポキシ樹脂溶液B−1を3重量部と、γ−ブチロラクトンを86重量部とをボールミルを用いて混合し、ペースト組成物全量に対する含有有機溶剤量が80重量%であるペースト組成物C−15を作製した。C−15を硬化させて得られる誘電体組成物中の高誘電率無機粒子の含有量は誘電体組成物全量に対し、90重量%となる。このペースト組成物C−15をガラス基板上にスピンコーターを用いて塗布し、オーブンを用いて80℃で15分間の熱処理を行い乾燥させた後、175℃で4時間の熱処理を行い硬化させ、膜厚0.8μmの誘電体組成物(硬化膜)を得た。膜厚調整はスピンコート時のスピン速度調整により行った。この誘電体組成物の光線透過率(波長400nm)は51%であった。
チタン酸バリウム(Cabot,Inc.社製、K−Plus16:平均粒子径0.06μm)429重量部、γ−ブチロラクトン315重量部、分散剤(リン酸エステル骨格を有する酸基を持つコポリマー、ビックケミー・ジャパン(株)製、BYK−W9010)21.4重量部をホモジナイザーを用いて混練し、分散液A−6を得た。分散液A−6を76.5重量部と、エポキシ樹脂溶液B−1を3重量部とをボールミルを用いて混合し、ペースト組成物全量に対する含有有機溶剤量が40重量%であるペースト組成物C−16を作製した。C−16を硬化させて得られる誘電体組成物中の高誘電率無機粒子の含有量は誘電体組成物全量に対し、90重量%となる。このペースト組成物C−16をガラス基板上にスピンコーターを用いて塗布し、オーブンを用いて80℃で15分間の熱処理を行い乾燥させた後、175℃で4時間の熱処理を行い硬化させ、膜厚1.4μmの誘電体組成物(硬化膜)を得た。膜厚調整はスピンコート時のスピン速度調整により行った。この誘電体組成物の光線透過率(波長400nm)は50%であった。ペースト組成物C−16を厚さ300μmのアルミ基板上にスピンコーターを用いて塗布し、オーブンを用いて、80℃で15分間の熱処理を行い乾燥させた後、175℃で4時間の熱処理を行い硬化させ、誘電体組成物(硬化膜)を得た。この誘電体組成物上にアルミ電極を形成し、誘電特性評価サンプルとした。1MHzにおける比誘電率は36であった。
水熱合成法を用いて作製した平均粒子径0.05μmのチタン酸バリウムT−2を429重量部、γ−ブチロラクトン1050重量部、分散剤(リン酸エステル骨格を有する酸基を持つコポリマー、ビックケミー・ジャパン(株)製、BYK−W9010)21.4重量部をウルトラアペックスミル(寿工業(株)製)を用いて混練し、分散液A−7を得た。分散液A−7を150重量部と、エポキシ樹脂溶液B−1を189重量部と、γ−ブチロラクトンを365重量部とをボールミルを用いて混合し、ペースト組成物全量に対する含有有機溶剤量が69重量%であるペースト組成物C−17を作製した。C−17を硬化させて得られる誘電体組成物中の高誘電率無機粒子の含有量は誘電体組成物全量に対し、20重量%となる。このペースト組成物C−17をガラス基板上にスピンコーターを用いて塗布し、オーブンを用いて80℃で15分間の熱処理を行い乾燥させた後、175℃で4時間の熱処理を行い硬化させ、膜厚1.4μmの誘電体組成物(硬化膜)を得た。膜厚調整はスピンコート時のスピン速度調整により行った。この誘電体組成物の光線透過率(波長400nm)は82%であった。
エポキシ樹脂(日本化薬(株)製、NC3000)15.3重量部、フェノールノボラック樹脂(日本化薬(株)製、“カヤハード”(商品名)KTG−105)5.3重量部、硬化促進剤(北興化学(株)製、トリフェニルホスフィン)0.2重量部、γ−ブチロラクトン24.7重量部を混合し、エポキシ樹脂溶液B−2を得た。分散液A−3を150重量部と、エポキシ樹脂溶液B−2を10.9重量部とをボールミルを用いて混合し、ペースト組成物全量に対する含有有機溶剤量が70重量%であるペースト組成物C−18を作製した。C−18を硬化させて得られる誘電体組成物中の高誘電率無機粒子の含有量は誘電体組成物全量に対し、90重量%となる。このペースト組成物C−18をガラス基板上にスピンコーターを用いて塗布し、オーブンを用いて80℃で15分間の熱処理を行い乾燥させた後、175℃で4時間の熱処理を行い硬化させ、膜厚1.4μmの誘電体組成物(硬化膜)を得た。膜厚調整はスピンコート時のスピン速度調整により行った。この誘電体組成物の光線透過率(波長400nm)は72%であった。
光重合性アクリル樹脂(ダイセル化学工業(株)製、“サイクロマー”(商品名))100重量%、光ラジカル発生剤(チバスペシャルティケミカルズ社製、“イルガキュア”(商品名)369)10重量部、PGMEA(プロピレングリコールメチルエーテルアセテート)90重量部を室温にて2時間攪拌し、アクリル樹脂溶液B−3を得た。分散液A−3を150重量部と、アクリル樹脂溶液B−3を4.9重量部とをボールミルを用いて混合し、ペースト組成物全量に対する含有有機溶剤量が69重量%であるペースト組成物C−19を作製した。C−19を硬化させて得られる誘電体組成物中の高誘電率無機粒子の含有量は誘電体組成物全量に対し、90重量%となる。このペースト組成物C−19をガラス基板上にスピンコーターを用いて塗布し、オーブンを用いて80℃で15分間の熱処理を行い乾燥させた後、全面に超高圧水銀灯を露光して硬化し、膜厚1.4μmの誘電体組成物(硬化膜)を得た。膜厚調整はスピンコート時のスピン速度調整により行った。この誘電体組成物の光線透過率(波長400nm)は75%であった。
チタン酸バリウム(堺化学工業(株)製、BT−05、平均粒子径:0.5μm)323重量部、γ−ブチロラクトン18重量部、分散剤(リン酸エステル骨格を有する酸基を持つコポリマー、ビックケミー・ジャパン(株)製、BYK−W9010)0.2重量部をホモジナイザーを用いて氷冷下で1時間混合分散し、分散液A−8を得た。エポキシ樹脂(日本化薬(株)製、EPPN502H)12.8重量部、フェノールノボラック樹脂(大日本インキ化学工業(株)製、TD−2131)7.8重量部、硬化促進剤(北興化学工業(株)製、トリフェニルホスフィン)0.2重量部、γ−ブチロラクトン24.8重量部を混合し、エポキシ樹脂溶液B−4を得た。分散液A−8を341.2重量部と、エポキシ樹脂溶液B−4を45.6重量部とをボールミルを用いて混合し、ペースト組成物全量に対する含有有機溶剤量が11重量%であるペースト組成物C−20を作製した。C−20を硬化させて得られる誘電体組成物中の高誘電率無機粒子の含有量は誘電体組成物全量に対し、94重量%となる。このペースト組成物C−20をガラス基板上にスピンコーターを用いて塗布し、オーブンを用いて80℃で15分間の熱処理を行い乾燥させた後、175℃で4時間の熱処理を行い硬化させ、膜厚10μmの誘電体組成物(硬化膜)を得た。膜厚調整はスピンコート時のスピン速度調整により行った。この誘電体組成物の光線透過率(波長400nm)は8%であった。
チタン酸バリウム(堺化学工業(株)製、BT−05:平均粒子径0.5μm)62.3重量部、チタン酸バリウム(TPL,Inc.社製、HPB−1000:平均粒子径0.059μm)21.9重量部、γ−ブチロラクトン15重量部、分散剤(リン酸エステル骨格を有する酸基を持つコポリマー、ビックケミー・ジャパン(株)製、BYK−W9010)0.8重量部をホモジナイザーを用いて混練し、分散液A−9を得た。エポキシ樹脂(日本化薬(株)製、EPPN502H)2.2重量部、フェノールノボラック樹脂(大日本インキ化学工業(株)製、TD−2131)1.4重量部、硬化促進剤(北興化学工業(株)製、トリフェニルホスフィン)0.04重量部、γ−ブチロラクトン7.1重量部を混合し、エポキシ樹脂溶液B−5を得た。分散液A−9を100重量部と、エポキシ樹脂溶液B−5を10.7重量部とをボールミルを用いて混合し、ペースト組成物全量に対する含有有機溶剤量が20重量%であるペースト組成物C−21を作製した。C−21を硬化させて得られる誘電体組成物中の高誘電率無機粒子の含有量は誘電体組成物全量に対し、95重量%となる。このペースト組成物C−21をガラス基板上にスピンコーターを用いて塗布し、オーブンを用いて80℃で15分間の熱処理を行い乾燥させた後、175℃で4時間の熱処理を行い硬化させ、膜厚10μmの誘電体組成物(硬化膜)を得た。膜厚調整はスピンコート時のスピン速度調整により行った。この誘電体組成物の光線透過率(波長400nm)は5%であった。
チタン酸バリウム(堺化学工業(株)製、BT−01:平均粒子径0.1μm)200重量部、トルエン400重量部をホモジナイザー用いて氷冷下で1時間混練分散し、分散液A−10を得た。エポキシ樹脂YD−8125(東都化成(株)製、YD8125)100重量部、硬化剤(日立化成工業(株)製、HN−5500)90重量部、硬化促進剤(ジャパンエポキシレジン(株)製、“エピキュア”(商品名)3010)1重量部を混合し、エポキシ樹脂溶液B−6を得た。分散液A−10を60重量部と、B−6を1.9重量部とを混合し、ペースト組成物全量に対する含有有機溶剤量が69重量%であるペースト組成物C−22を作製した。C−22を硬化させて得られる誘電体組成物中の高誘電率無機粒子の含有量は誘電体組成物全量に対し、90重量%となる。このペースト組成物C−22をガラス基板上にスピンコーターを用いて塗布し、オーブンを用いて120℃で15時間の熱処理を行い硬化させ、スピン速度を調整し、膜厚1.4μmの誘電体組成物(硬化膜)を得た。膜厚調整はスピンコート時のスピン速度調整により行った。この誘電体組成物の光線透過率(波長400nm)は28%であった。
チタン酸バリウム(Cabot,Inc.社製、K−Plus16:平均粒子径0.06μm)224重量部、γ−ブチロラクトン105重量部、分散剤(リン酸エステル骨格を有する酸基を持つコポリマー、ビックケミー・ジャパン(株)製、BYK−W9010)11重量部をホモジナイザーを用いて混練し、分散液A−11を得た。分散液A−11を150重量部と、エポキシ樹脂溶液B−1を5.9重量部とをボールミルを用いて混合し、ペースト組成物全量に対する含有有機溶剤量が30重量%であるペースト組成物C−23を作製した。C−23を硬化させて得られる誘電体組成物中の高誘電率無機粒子の含有量は誘電体組成物全量に対し、90重量%となる。このペースト組成物C−23をガラス基板上にスピンコーターを用いて塗布し、オーブンを用いて80℃で15分間の熱処理を行い乾燥させた後、175℃で4時間の熱処理を行い硬化させ、誘電体組成物(硬化膜)を得た。ペースト組成物C−22は粘度が高いため、スピンコーターでは平坦な塗膜が得られなかった。膜厚が2μm付近の部位において光線透過率を測定したところ、光線透過率(波長400nm)は35%であった。
分散液A−1を150重量部と、エポキシ樹脂溶液B−1を3重量部と、γ−ブチロラクトンを324重量部とをボールミルを用いて混合し、ペースト組成物全量に対する含有有機溶剤量が90重量%であるペースト組成物C−24を作製した。C−24を硬化させて得られる誘電体組成物中の高誘電率無機粒子の含有量は誘電体組成物全量に対し、90重量%となる。このペースト組成物C−24をガラス基板上にスピンコーターを用いて塗布し、オーブンを用いて80℃で15分間の熱処理を行い乾燥させた後、175℃で4時間の熱処理を行い硬化させ、誘電体組成物(硬化膜)を得た。しかしながら、粘度が低いため、完全な連続膜にはならなかった。そのため、この誘電体組成物の光線透過率は測定できなかった。
チタン酸バリウム(戸田工業(株)製、T−BTO−020RF:平均粒子径0.027μm)144.2重量部、γ−ブチロラクトン350重量部、分散剤(リン酸エステル骨格を有する酸基を持つコポリマー、ビックケミー・ジャパン(株)製、BYK−W9010)5.8重量部をホモジナイザーを用いて氷冷下で2時間混練分散し、分散液A−12を得た。分散液A−12における分散剤の含有量は高誘電率無機粒子重量の4重量%である。分散液A−12の粒度分布50%径は0.25μm、90%径は0.42μmであった。分散液A−12は、高誘電率無機粒子の凝集が十分に解けておらず、粒度分布測定で得られる高誘電率無機粒子の粒子径が原料高誘電率無機粒子の平均粒子径に比べ大きくなった。
チタン酸バリウム(戸田工業(株)製、T−BTO−020RF:平均粒子径0.027μm)416.7重量部、γ−ブチロラクトン1050重量部、分散剤(リン酸エステル骨格を有する酸基を持つコポリマー、ビックケミー・ジャパン(株)製、BYK−W9010)33.3重量部をウルトラアペックスミル(寿工業(株)製)を用いて混練し、分散液A−13を得た。分散液A−13における分散剤の含有量は高誘電率無機粒子重量の8重量%である。分散液A−13の粒度分布50%径は0.04μm、90%径は0.07μmであった。高誘電率無機粒子に対する分散剤の含有量が分散液A−12に比べ多く、高誘電率無機粒子の凝集をより解くことができ、粒度分布測定で得られる高誘電率無機粒子の粒子径が原料高誘電率無機粒子の平均粒子径に近づいた。
チタン酸バリウム(戸田工業(株)製、T−BTO−020RF:平均粒子径0.027μm)391.3重量部、γ−ブチロラクトン1050重量部、分散剤(リン酸エステル骨格を有する酸基を持つコポリマー、ビックケミー・ジャパン(株)製、BYK−W9010)58.7重量部をウルトラアペックスミル(寿工業(株)製)を用いて混練し、分散液A−14を得た。分散液A−14における分散剤の含有量は高誘電率無機粒子重量の15重量%である。分散液A−14の粒度分布50%径は0.025μm、90%径は0.06μmであった。高誘電率無機粒子に対する分散剤の含有量が分散液A−12、A−13に比べ十分に多く、高誘電率無機粒子の凝集を十分に解くことができ、粒度分布測定で得られる高誘電率無機粒子の粒子径が、原料高誘電率無機粒子の平均粒子径により近づいた。
チタン酸バリウム(戸田工業(株)製、T−BTO−010RF:平均粒子径0.012μm)391.3重量部、γ−ブチロラクトン1050重量部、分散剤(リン酸エステル骨格を有する酸基を持つコポリマー、ビックケミー・ジャパン(株)製、BYK−W9010)58.7重量部をウルトラアペックスミル(寿工業(株)製)を用いて混練し、分散液A−15を得た。分散液A−15における分散剤の含有量は高誘電率無機粒子重量の15重量%である。分散液A−15の粒度分布50%径は0.02μm、90%径は0.05μmであった。
チタン酸バリウム(戸田工業(株)製、T−BTO−010RF:平均粒子径0.012μm)391.3重量部、γ−ブチロラクトン1050重量部、分散剤(リン酸エステル骨格を有する酸基を持つコポリマー、ビックケミー・ジャパン(株)製、BYK−111)58.7重量部をウルトラアペックスミル(寿工業(株)製)を用いて混練し、分散液A−16を得た。分散液A−16における分散剤の含有量は高誘電率無機粒子重量の15重量%である。分散液A−16の粒度分布50%径は0.02μm、90%径は0.04μmであった。
チタン酸バリウム(戸田工業(株)製、T−BTO−020RF:平均粒子径0.027μm)652重量部、γ−ブチロラクトン750重量部、分散剤(リン酸エステル骨格を有する酸基を持つコポリマー、ビックケミー・ジャパン(株)製、BYK−W9010)97.8重量部をウルトラアペックスミル(寿工業(株)製)を用いて混練し、分散液A−17を得た。分散液A−17における分散剤の含有量は高誘電率無機粒子重量の15重量%である。分散液A−17の粒度分布50%径は0.025μm、90%径は0.06μmであった。分散液A−17を150重量部と、エポキシ樹脂溶液B−1を5.7重量部とをボールミルを用いて混合し、ペースト組成物全量に対する含有有機溶剤量が48重量%であるペースト組成物C−30を作製した。C−30を硬化させて得られる誘電体組成物中の高誘電率無機粒子の含有量は誘電体組成物全量に対し、81重量%となる。
チタン酸バリウム(戸田工業(株)製、T−BTO−010RF:平均粒子径0.012μm)432.6重量部、γ−ブチロラクトン1050重量部、分散剤(リン酸エステル骨格を有する酸基を持つコポリマー、ビックケミー・ジャパン(株)製、BYK−W9010)17.4重量部をウルトラアペックスミル(寿工業(株)製)を用いて混練し、分散液A−18を得た。分散液A−18における分散剤の含有量は高誘電率無機粒子重量の4重量%である。分散液A−18の粒度分布50%径は0.30μm、90%径は0.55μmであった。分散液A−12と同様に、高誘電率無機粒子に対する分散剤の含有量が少なく、高誘電率無機粒子の凝集が十分には解けておらず、粒度分布測定で得られる高誘電率無機粒子の粒子径が原料高誘電率無機粒子の平均粒子径に比べ大きくなった。
チタン酸バリウム(戸田工業(株)製、T−BTO−010RF:平均粒子径0.012μm)420.6重量部、γ−ブチロラクトン1050重量部、分散剤(リン酸エステル骨格を有する酸基を持つコポリマー、ビックケミー・ジャパン(株)製、BYK−W9010)29.4重量部をウルトラアペックスミル(寿工業(株)製)を用いて混練し、分散液A−19を得た。分散液A−19における分散剤の含有量は高誘電率無機粒子重量の7重量%である。分散液A−19の粒度分布50%径は0.04μm、90%径は0.08μmであった。高誘電率無機粒子に対する分散剤の含有量が分散液A−18に比べ多く、高誘電率無機粒子の凝集をより解くことができ、粒度分布測定で得られる高誘電率無機粒子の粒子径が原料高誘電率無機粒子の平均粒子径に近づいた。
チタン酸バリウム(戸田工業(株)製、T−BTO−010RF:平均粒子径0.012μm)375重量部、γ−ブチロラクトン1050重量部、分散剤(リン酸エステル骨格を有する酸基を持つコポリマー、ビックケミー・ジャパン(株)製、BYK−W9010)75重量部をウルトラアペックスミル(寿工業(株)製)を用いて混練し、分散液A−20を得た。分散液A−20における分散剤の含有量は高誘電率無機粒子重量の20重量%である。分散液A−20の粒度分布50%径は0.016μm、90%径は0.04μmであった。平均粒子径0.027μmの無機粒子を用いた分散液A−14と平均粒子径0.012μmの無機粒子を用いた分散液A−20を比較すると、平均粒子径がより小さい場合、分散剤の含有量を多くするとその分散液は1次粒子に近い粒度分布を得ていることが分かる。
チタン酸バリウム(戸田工業(株)製、T−BTO−010RF:平均粒子径0.012μm)360重量部、γ−ブチロラクトン1050重量部、分散剤(リン酸エステル骨格を有する酸基を持つコポリマー、ビックケミー・ジャパン(株)製、BYK−W9010)90重量部をウルトラアペックスミル(寿工業(株)製)を用いて混練し、分散液A−21を得た。分散液A−21における分散剤の含有量は高誘電率無機粒子重量の25重量%である。分散液A−21の粒度分布50%径は0.016μm、90%径は0.04μmであった。
チタン酸バリウム(戸田工業(株)製、T−BTO−010RF:平均粒子径0.012μm)352重量部、γ−ブチロラクトン1050重量部、分散剤(リン酸エステル骨格を有する酸基を持つコポリマー、ビックケミー・ジャパン(株)製、BYK−W9010)98重量部をウルトラアペックスミル(寿工業(株)製)を用いて混練し、分散液A−22を得た。分散液A−22における分散剤の含有量は高誘電率無機粒子重量の28重量%である。分散液A−22の粒度分布50%径は0.016μm、90%径は0.04μmであった。分散液A−22を150重量部と、エポキシ樹脂溶液B−7を4重量部とをボールミルを用いて混合し、ペースト組成物全量に対する含有有機溶剤量が67重量%であるペースト組成物C−35を作製した。C−35を硬化させて得られる誘電体組成物中の高誘電率無機粒子の含有量は誘電体組成物全量に対し、70重量%となる。
チタン酸バリウム(Buhler PARTEC GmbH社製、Barium titanate:平均粒子径0.022μm(メーカー仕様平均粒子径0.018μm)391.3重量部、γ−ブチロラクトン1050重量部、分散剤(リン酸エステル骨格を有する酸基を持つコポリマー、ビックケミー・ジャパン(株)製、BYK−W9010)58.7重量部をウルトラアペックスミル(寿工業(株)製)を用いて混練し、分散液A−23を得た。分散液A−23における分散剤の含有量は高誘電率無機粒子重量の15重量%である。分散液A−23の粒度分布50%径は0.025μm、90%径は0.06μmであった。
γ−ブチロラクトン1960重量部、分散剤(リン酸エステル骨格を有するコポリマー、ビックケミー・ジャパン(株)製、BYK−W9010)109.6重量部、チタン酸バリウム(戸田工業(株)製、T−BTO−020RF:平均粒子径0.027μm)730.4重量部の順に混合し、分散液A−24Aを得た。ウルトラアペックスミルUAM−015(寿工業(株)製)のベッセル内にジルコニアボール((株)ニッカトー製、YTZボール、寸法φ0.5mm)を0.4kg充填し、ローターを回転させながら、分散液A−24Aをベッセル内に送液、循環させた。ジルコニアボール((株)ニッカトー製、YTZボール、寸法φ0.5mm)の粒子径に関する検査報告書にあるメーカー値は平均粒子径0.537mmである。ローターの周速8m/sで1時間分散後、分散液A−24Bを得た。分散液A−24Bの粒度分布50%径は0.06μm、90%径は0.22μmであった。ベッセル内のビーズを回収し、新たにジルコニアボール((株)ニッカトー製、YTZボール、寸法φ0.05mm)を0.4kg充填した。ジルコニアボール((株)ニッカトー製、YTZボール、寸法φ0.05mm)の粒子径に関する検査報告書にあるメーカー値は平均粒子径0.058mmである。ビーズ交換後、ローターを回転させながら、分散液A−24Bをベッセル内に送液、循環させた。ローターの周速12m/sで、粒度分布が0.02±0.01μmになるまで分散を行い、分散液A−24Cを得た。分散液A−24Cの粒度分布50%径0.022μm、90%径は0.051μmであった。エポキシ樹脂(ジャパンエポキシレジン(株)製、エピコート(商品名)YX8000)17.57重量部、硬化剤(新日本理化(株)製、リカシッド(商品名)MH700)12.13重量部、硬化促進剤(N,N−ジメチルベンジルアミン)0.3重量部、γ−ブチロラクトン12.13重量部を混合し、エポキシ樹脂溶液B−8を得た。分散液A−24Cを15重量部とエポキシ樹脂溶液B−8を0.94重量部と、界面活性剤としてビックケミー・ジャパン(株)製、BYK−333を0.012重量部とをボールミルを用いて混合し、ペースト組成物全量に対する含有有機溶剤量が67.7重量%であるペースト組成物C−37を作製した。C−37を硬化させて得られる誘電体組成物中の高誘電率無機粒子の含有量は、誘電体組成物全量に対し76重量%である。
エポキシ樹脂(日本化薬(株)製、NC3000)220.18重量部、硬化剤(日本化薬(株)製、“カヤハード”(商品名)TPM)76.82重量部、硬化促進剤(トリフェニルホスフィン)3重量部、γ−ブチロラクトン76.82重量部を混合し、エポキシ樹脂溶液B−9を得た。NC3000はエポキシ当量278g/eqのビフェニル骨格を有するエポキシ樹脂である。分散液A−24Cを15重量部とエポキシ樹脂溶液B−9を8.74重量部と、界面活性剤としてビックケミー・ジャパン(株)製、BYK−333を0.018重量部とをボールミルを用いて混合し、ペースト組成物全量に対する含有有機溶剤量が52.6重量%であるペースト組成物C−38を作製した。C−38を硬化させて得られる誘電体組成物中の高誘電率無機粒子の含有量は、誘電体組成物全量に対し35重量%である。実施例40と同様にして評価を行った。結果は表4に示した。
分散液A−24Cを15重量部とエポキシ樹脂溶液B−9を4.35重量部と、界面活性剤としてビックケミー・ジャパン(株)製、BYK−333を0.016重量部とをボールミルを用いて混合し、ペースト組成物全量に対する含有有機溶剤量が59.4重量%であるペースト組成物C−39を作製した。C−39を硬化させて得られる誘電体組成物中の高誘電率無機粒子の含有量は、誘電体組成物全量に対し50重量%である。実施例40と同様にして評価を行った。結果は表4に示した。
分散液A−24Cを15重量部とエポキシ樹脂溶液B−9を1.13重量部と、界面活性剤としてビックケミー・ジャパン(株)製、BYK−333を0.012重量部とをボールミルを用いて混合し、ペースト組成物全量に対する含有有機溶剤量が66.7重量%であるペースト組成物C−40を作製した。C−40を硬化させて得られる誘電体組成物中の高誘電率無機粒子の含有量は、誘電体組成物全量に対し73重量%である。実施例40と同様にして評価を行った。結果は表4に示した。
分散液A−24Cを15重量部とエポキシ樹脂溶液B−9を0.83重量部と、界面活性剤としてビックケミー・ジャパン(株)製、BYK−333を0.012重量部とをボールミルを用いて混合し、ペースト組成物全量に対する含有有機溶剤量が67.5重量%であるペースト組成物C−41を作製した。C−41を硬化させて得られる誘電体組成物中の高誘電率無機粒子の含有量は、誘電体組成物全量に対し76重量%である。実施例40と同様にして評価を行った。結果は表4に示した。
分散液A−24Cを15重量部とエポキシ樹脂溶液B−9を0.44重量部と、界面活性剤としてビックケミー・ジャパン(株)製、BYK−333を0.012重量部とをボールミルを用いて混合し、ペースト組成物全量に対する含有有機溶剤量が68.6重量%であるペースト組成物C−42を作製した。C−42を硬化させて得られる誘電体組成物中の高誘電率無機粒子の含有量は誘電体組成物全量に対し、81重量%である。実施例40と同様にして評価を行った。結果は表4に示した。
乾燥窒素気流下、2,2−ビス(3−アミノ−4−ヒドロキシフェニル)ヘキサフルオロプロパン(BAHF)30.03g(0.082モル)、1,3−ビス(3−アミノプロピル)テトラメチルジシロキサン1.24g(0.005モル)、末端封止剤として、3−ヒドロキシフタル酸無水物(東京化成工業(株)製)4.1g(0.025モル)をN−メチル−2−ピロリドン(NMP)100gに溶解させた。ここにビス(3,4−ジカルボキシフェニル)エーテル二無水物31.02g(0.1モル)をNMP30gとともに加えて、20℃で1時間攪拌し、次いで50℃で4時間攪拌した。その後、180℃で5時間攪拌した。攪拌終了後、溶液を水3Lに投入して白色沈殿を集めた。この沈殿をろ過で集めて、水で3回洗浄した後、200℃の真空乾燥機で5時間乾燥した。得られたポリマー粉体を、赤外吸収スペクトルで測定したところ、1780cm−1付近、1377cm−1付近にポリイミドに起因するイミド構造の吸収ピークが検出された。次に、このポリマー粉体10gに光重合開始剤の1,2−オクタンジオン−1−[4−(フェニルチオ)フェニル]−2−(o−ベンゾイルオキシム)0.4g、熱架橋性化合物のニカラック(NIKALAC)MW−100LM(商品名、(株)三和ケミカル製)1.5g、着色剤のA−DMA(商品名、保土谷化学工業(株)製)0.3g、PDBE−250(商品名、(株)日本油脂製。重合性不飽和二重結合を有する化合物)8g、ジメチロールトリシクロデカンジアクリレート(重合性不飽和二重結合を有する化合物)2gをジアセトンアルコール10g、乳酸エチル20.5gに溶解させ、光硬化型ポリイミド組成物溶液B−10を得た。
分散液A−24Cを15重量部とアクリル樹脂(東亜合成(株)製、“アロニックス”(商品名)M305)を0.61重量部と光重合開始剤(チバガイキー(株)製、“イルガキュア”(商品名)184)を0.03重量部、γ−ブチロラクトン0.19重量部とをボールミルを用いて混合し、ペースト組成物全量に対する含有有機溶剤量が67.5重量%であるペースト組成物C−44を作製した。C−44を硬化させて得られる誘電体組成物中の高誘電率無機粒子の含有量は、誘電体組成物全量に対し76重量%である。
エポキシ樹脂(日本化薬(株)製、NC3000)208.5重量部、硬化剤(大日本インキ化学工業(株)製、“フェノライト”(商品名)VH4150)88.5重量部、硬化促進剤(トリフェニルホスフィン)3重量部、γ−ブチロラクトン88.50重量部を混合し、エポキシ樹脂溶液B−11を得た。“フェノライト”VH−4150はフェノール系のノボラック樹脂である。分散液A−24Cを15重量部とエポキシ樹脂溶液B−11を0.86重量部と、界面活性剤としてビックケミー・ジャパン(株)製、BYK−333を0.012重量部とをボールミルを用いて混合し、ペースト組成物全量に対する含有有機溶剤量が67.6重量%であるペースト組成物C−45を作製した。C−45を硬化させて得られる誘電体組成物中の高誘電率無機粒子の含有量は、誘電体組成物全量に対し76重量%である。実施例40と同様にして評価を行った。結果は表4に示した。
γ−ブチロラクトン840重量部、分散剤(リン酸エステル骨格を有するコポリマー、ビックケミー・ジャパン(株)製、BYK−W9010)255.65重量部、チタン酸バリウム(戸田工業(株)製、T−BTO−020RF:平均粒子径0.027μm)1704.35重量部の順に混合後、ホモジナイザーを用いて混合し、分散液A−25Aを得た。ホモジナイザーのカップ内にジルコニアボール((株)ニッカトー製、YTZボール、寸法φ0.5mm)を1.7kg充填した。ウルトラアペックスミルUAM−015(寿工業(株)製)のベッセル内にジルコニアボール((株)ニッカトー製、YTZボール、寸法φ0.05mm)を0.4kg充填し、ローターを回転させながら、分散液A−25Aをベッセル内に送液、循環させた。ローターの周速12m/sで2時間分散し、分散液A−25Bを得た。分散液A−25Bは、粘度が高く、ベッセル内でビーズと分散液の分離が不十分であったため、さらに孔径10μmのフィルターを用いて濾過し、分散液A−25Cを得た。分散液A−25Cの粒度分布50%径0.102μm、90%径は0.254μmであり、一次粒子径付近まで分散することは困難であった。分散液A−25Cを15重量部とエポキシ樹脂溶液B−9を2.62重量部と、界面活性剤としてビックケミー・ジャパン(株)製、BYK−333を0.008重量部とをボールミルを用いて混合し、ペースト組成物全量に対する含有有機溶剤量が28.9重量%であるペースト組成物C−46を作製した。C−46を硬化させて得られる誘電体組成物中の高誘電率無機粒子の含有量は、誘電体組成物全量に対し73重量%である。
γ−ブチロラクトン1120重量部、分散剤(リン酸エステル骨格を有するコポリマー、ビックケミー・ジャパン(株)製、BYK−W9010)219.13重量部、チタン酸バリウム(戸田工業(株)製、T−BTO−020RF:平均粒子径0.027μm)1460.87重量部の順に混合後、ホモジナイザーを用いて混合し、分散液A−26Aを得た。ホモジナイザーは、カップ内にジルコニアボール((株)ニッカトー製、YTZボール、寸法φ0.5mm)を1.46kg充填して、氷浴中で処理した。ウルトラアペックスミルUAM−015(寿工業(株)製)のベッセル内にジルコニアボール((株)ニッカトー製、YTZボール、寸法φ0.05mm)を0.4kg充填し、ローターを回転させながら、分散液A−26Aをベッセル内に送液、循環させた。ローターの周速12m/sで2時間分散し、分散液A−26Bを得た。分散液A−26Bの粒度分布50%径0.045μm、90%径は0.104μmであった。分散液A−26Bを15重量部とエポキシ樹脂溶液B−9を2.25重量部と、界面活性剤としてビックケミー・ジャパン(株)製、BYK−333を0.01重量部とをボールミルを用いて混合し、ペースト組成物全量に対する含有有機溶剤量が37.8重量%であるペースト組成物C−47を作製した。C−47を硬化させて得られる誘電体組成物中の高誘電率無機粒子の含有量は、誘電体組成物全量に対し73重量%である。実施例40と同様にして評価を行った。結果は表4に示した。
γ−ブチロラクトン1400重量部、分散剤(リン酸エステル骨格を有するコポリマー、ビックケミー・ジャパン(株)製、BYK−W9010)182.6重量部、チタン酸バリウム(戸田工業(株)製、T−BTO−020RF:平均粒子径0.027μm)1217.4重量部の順に混合後、ホモジナイザーを用いて混合し、分散液A−27Aを得た。ホモジナイザーは、カップ内にジルコニアボール((株)ニッカトー製、YTZボール、寸法φ0.5mm)を1.2kg充填して、氷浴中で処理した。ウルトラアペックスミルUAM−015(寿工業(株)製)のベッセル内にジルコニアボール((株)ニッカトー製、YTZボール、寸法φ0.05mm)を0.4kg充填し、ローターを回転させながら、分散液A−27Aをベッセル内に送液、循環させた。ローターの周速12m/sで2時間分散し、分散液A−27Bを得た。分散液A−27Bの粒度分布50%径0.038μm、90%径は0.08μmであった。分散液A−27Bを15重量部とエポキシ樹脂溶液B−9を1.88重量部と、界面活性剤としてビックケミー・ジャパン(株)製、BYK−333を0.01gとをボールミルを用いて混合し、ペースト組成物全量に対する含有有機溶剤量が47重量%であるペースト組成物C−48を作製した。C−48を硬化させて得られる誘電体組成物中の高誘電率無機粒子の含有量は、誘電体組成物全量に対し73重量%である。実施例40と同様にして評価を行った。結果は表4に示した。
γ−ブチロラクトン2240重量部、分散剤(リン酸エステル骨格を有するコポリマー、ビックケミー・ジャパン(株)製、BYK−W9010)73.04重量部、チタン酸バリウム(戸田工業(株)製、T−BTO−020RF:平均粒子径0.027μm)486.96重量部の順に混合後、ホモジナイザーを用いて混合し、分散液A−28Aを得た。ホモジナイザーは、カップ内にジルコニアボール((株)ニッカトー製、YTZボール、寸法φ0.5mm)を0.5kg充填して、氷浴中で処理した。ウルトラアペックスミルUAM−015(寿工業(株)製)のベッセル内にジルコニアボール((株)ニッカトー製、YTZボール、寸法φ0.05mm)を0.4kg充填し、ローターを回転させながら、分散液A−28Aをベッセル内に送液、循環させた。ローターの周速12m/sで2時間分散し、分散液A−28Bを得た。分散液A−28Bの粒度分布50%径0.021μm、90%径は0.05μmであった。分散液A−28Bを15重量部とエポキシ樹脂溶液B−9を0.75重量部と、界面活性剤としてビックケミー・ジャパン(株)製、BYK−333を0.014重量部とをボールミルを用いて混合し、ペースト組成物全量に対する含有有機溶剤量が77.3重量%であるペースト組成物C−49を作製した。C−49を硬化させて得られる誘電体組成物中の高誘電率無機粒子の含有量は、誘電体組成物全量に対し73重量%である。実施例40と同様にして評価を行った。結果は表4に示した。
γ−ブチロラクトン2520重量部、分散剤(リン酸エステル骨格を有するコポリマー、ビックケミー・ジャパン(株)製、BYK−W9010)36.52重量部、チタン酸バリウム(戸田工業(株)製、T−BTO−020RF:平均粒子径0.027μm)243.5重量部の順に混合後、ホモジナイザーを用いて混合し、分散液A−29Aを得た。ホモジナイザーは、カップ内にジルコニアボール((株)ニッカトー製、YTZボール、寸法φ0.5mm)を0.24kg充填して、氷浴中で処理した。ウルトラアペックスミルUAM−015(寿工業(株)製)のベッセル内にジルコニアボール((株)ニッカトー製、YTZボール、寸法φ0.05mm)を0.4kg充填し、ローターを回転させながら、分散液A−29Aをベッセル内に送液、循環させた。ローターの周速12m/sで2時間分散し、分散液A−29Bを得た。分散液A−29Bの粒度分布50%径0.021μm、90%径は0.051μmであった。分散液A−29Bを15重量部とエポキシ樹脂溶液B−9を0.38重量部と、界面活性剤としてビックケミー・ジャパン(株)製、BYK−333を0.014重量部とをボールミルを用いて混合し、ペースト組成物全量に対する含有有機溶剤量が88.4重量%であるペースト組成物C−50を作製した。C−50を硬化させて得られる誘電体組成物中の高誘電率無機粒子の含有量は、誘電体組成物全量に対し73重量%である。
分散液A−24Bを15重量部とエポキシ樹脂溶液B−9を1.13重量部と、界面活性剤としてビックケミー・ジャパン(株)製、BYK−333を0.012重量部とをボールミルを用いて混合し、ペースト組成物全量に対する含有有機溶剤量が66.7重量%であるペースト組成物C−51を作製した。C−51を硬化させて得られる誘電体組成物中の高誘電率無機粒子の含有量は、誘電体組成物全量に対し73重量%である。
γ−ブチロラクトン1960重量部、分散剤(リン酸エステル骨格を有するコポリマー、ビックケミー・ジャパン(株)製、BYK−W9010)140重量部、チタン酸バリウム(戸田工業(株)製、T−BTO−010RF:平均粒子径0.012μm)700重量部の順に混合後、ホモジナイザーを用いて混合し、分散液A−30Aを得た。ホモジナイザーは、カップ内にジルコニアボール((株)ニッカトー製、YTZボール、寸法φ0.5mm)を0.7kg充填して、氷浴中で処理した。ウルトラアペックスミルUAM−015(寿工業(株)製)のベッセル内にジルコニアボール((株)ニッカトー製、YTZボール、寸法φ0.05mm)を0.4kg充填し、ローターを回転させながら、分散液A−30Aをベッセル内に送液、循環させた。ローターの周速12m/sで2時間分散し、分散液A−30Bを得た。分散液A−30Bの粒度分布50%径0.013μm、90%径は0.037μmであった。分散液A−30Bを15重量部とエポキシ樹脂溶液B−9を0.84重量部と、界面活性剤としてビックケミー・ジャパン(株)製、BYK−333を0.012重量部とをボールミルを用いて混合し、ペースト組成物全量に対する含有有機溶剤量が67.5重量%であるペースト組成物C−52を作製した。C−52を硬化させて得られる誘電体組成物中の高誘電率無機粒子の含有量は、誘電体組成物全量に対し73重量%である。実施例40と同様にして評価を行った。結果は表5に示した。
γ−ブチロラクトン1960重量部、分散剤(リン酸エステル骨格を有するコポリマー、ビックケミー・ジャパン(株)製、BYK−W9010)109.6重量部、チタン酸バリウム(戸田工業(株)製、T−BTO−030R:平均粒子径0.03μm)730.4重量部の順に混合後、ホモジナイザーを用いて混合し、分散液A−31Aを得た。ホモジナイザーは、カップ内にジルコニアボール((株)ニッカトー製、YTZボール、寸法φ0.5mm)を0.73kg充填して、氷浴中で処理した。ウルトラアペックスミルUAM−015(寿工業(株)製)のベッセル内にジルコニアボール((株)ニッカトー製、YTZボール、寸法φ0.05mm)を0.4kg充填し、ローターを回転させながら、分散液A−31Aをベッセル内に送液、循環させた。ローターの周速12m/sで2時間分散し、分散液A−31Bを得た。分散液A−31Bの粒度分布50%径0.048μm、90%径は0.082μmであった。分散液A−31Bを15重量部とエポキシ樹脂溶液B−9を1.13重量部と、界面活性剤としてビックケミー・ジャパン(株)製、BYK−333を0.012重量部とをボールミルを用いて混合し、ペースト組成物全量に対する含有有機溶剤量が66.7重量%であるペースト組成物C−53を作製した。C−53を硬化させて得られる誘電体組成物中の高誘電率無機粒子の含有量は、誘電体組成物全量に対し73重量%である。実施例40と同様にして評価を行った。結果は表5に示した。
γ−ブチロラクトン1960重量部、分散剤(リン酸エステル骨格を有するコポリマー、ビックケミー・ジャパン(株)製、BYK−W9010)24.5重量部、チタン酸バリウム(Cabot,Inc.社製、K−Plus16:平均粒子径0.06μm)815.5重量部の順に混合後、ホモジナイザーを用いて混合し、分散液A−32Aを得た。ホモジナイザーは、カップ内にジルコニアボール((株)ニッカトー製、YTZボール、寸法φ0.5mm)を0.815kg充填して、氷浴中で処理した。ウルトラアペックスミルUAM−015(寿工業(株)製)のベッセル内にジルコニアボール((株)ニッカトー製、YTZボール、寸法φ0.05mm)を0.4kg充填し、ローターを回転させながら、分散液A−32Aをベッセル内に送液、循環させた。ローターの周速12m/sで2時間分散し、分散液A−32Bを得た。分散液A−32Bの粒度分布50%径0.15μm、90%径は0.27μmであった。分散液A−32Bを15重量部とエポキシ樹脂溶液B−9を1.14重量部と、界面活性剤としてビックケミー・ジャパン(株)製、BYK−333を0.012重量部とをボールミルを用いて混合し、ペースト組成物全量に対する含有有機溶剤量が66.5重量%であるペースト組成物C−54を作製した。C−54を硬化させて得られる誘電体組成物中の高誘電率無機粒子の含有量は、誘電体組成物全量に対し73重量%である。実施例40と同様にして評価を行った。結果は表5に示した。
分散液A−30Bを遠心分離にかけ上澄み部分のみを抽出し、分散液A−30Cを得た。遠心分離は、(株)日立ハイテクノロジーズ製の分離用小形超遠心機“himac、CS100GXL”(商品名)に同社製の“S55Aアングル形ローター(商品名)をセットし、50000rpmで、10分間処理を行った。さらにロータリーエバポレーターを用いて分散液A−30Cを濃縮し、分散液A−30Dを得た。分散液A−30Dの粒度分布50%径0.008μm、90%径は0.019μmであった。分散液A−30Dを15重量部とエポキシ樹脂溶液B−9を0.84重量部と、界面活性剤としてビックケミー・ジャパン(株)製、BYK−333を0.012重量部とをボールミルを用いて混合し、ペースト組成物全量に対する含有有機溶剤量が67.5重量%であるペースト組成物C−55を作製した。C−55を硬化させて得られる誘電体組成物中の高誘電率無機粒子の含有量は、誘電体組成物全量に対し73重量%である。実施例40と同様にして評価を行った。結果は表5に示した。
γ−ブチロラクトン1960重量部、分散剤(リン酸エステル骨格を有するコポリマー、ビックケミー・ジャパン(株)製、BYK−W9010)109.6重量部、チタン酸バリウム(戸田工業(株)製、T−BTO−040RF:平均粒子径0.04μm)730.4重量部の順に混合後、ホモジナイザーを用いて混合し、分散液A−33Aを得た。ホモジナイザーは、カップ内にジルコニアボール((株)ニッカトー製、YTZボール、寸法φ0.5mm)を0.73kg充填して、氷浴中で処理した。ウルトラアペックスミルUAM−015(寿工業(株)製)のベッセル内にジルコニアボール((株)ニッカトー製、YTZボール、寸法φ0.05mm)を0.4kg充填し、ローターを回転させながら、分散液A−33Aをベッセル内に送液、循環させた。ローターの周速12m/sで2時間分散し、分散液A−33Bを得た。分散液A−33Bの粒度分布50%径0.049μm、90%径は0.092μmであった。分散液A−33Bを15重量部とエポキシ樹脂溶液B−9を1.13重量部と、界面活性剤としてビックケミー・ジャパン(株)製、BYK−333を0.012重量部とをボールミルを用いて混合し、ペースト組成物全量に対する含有有機溶剤量が66.7重量%であるペースト組成物C−56を作製した。C−56を硬化させて得られる誘電体組成物中の高誘電率無機粒子の含有量は、誘電体組成物全量に対し73重量%である。実施例40と同様にして評価を行った。結果は表5に示した。
γ−ブチロラクトン1960重量部、分散剤(リン酸エステル骨格を有するコポリマー、ビックケミー・ジャパン(株)製、BYK−W9010)8.3重量部、チタン酸バリウム(戸田工業(株)製、T−BTO−020RF:平均粒子径0.027μm)831.7重量部の順に混合し、分散液A−34Aを得た。分散液A−34Aは粘度が高く、ビーズで分散できる状態ではなかったため、γ−ブチロラクトンで希釈した後、ホモジナイザーで分散し、分散液A−34Cを得た。分散液A−34Cの粒度分布50%径は0.56μm、90%径1.3μmであった。分散液A−34Cとエポキシ樹脂溶液B−9を混合し、硬化させて得られる誘電体組成物中の高誘電率無機粒子の含有量は誘電体組成物全量に対し、73重量%となるように調整したペースト組成物C−57を得た。ペースト組成物C−57はペースト全量に対する含有有機溶剤量が88%となった。
γ−ブチロラクトン1960重量部、分散剤(リン酸エステル骨格を有するコポリマー、ビックケミー・ジャパン(株)製、BYK−W9010)62.22重量部、チタン酸バリウム(戸田工業(株)製、T−BTO−020RF:平均粒子径0.027μm)777.78重量部の順に混合し、分散液A−35Aを得た。ウルトラアペックスミルUAM−015(寿工業(株)製)のベッセル内にジルコニアボール((株)ニッカトー製、YTZボール、寸法φ0.5mm)を0.4kg充填し、ローターを回転させながら、分散液A−35Aをベッセル内に送液、循環させた。ローターの周速8m/sで1時間分散後、分散液A−35Bを得た。ベッセル内のビーズを回収し、新たにジルコニアボール((株)ニッカトー製、YTZボール、寸法φ0.05mm)を0.4kg充填した。ビーズ交換後、ローターを回転させながら、分散液A−35Bをベッセル内に送液、循環させた。ローターの周速12m/sで、90分間分散し、分散液A−35Cを得た。また、120分間分散した分散液A−35Dを得た。分散液A−35Cの粒度分布50%径は0.027μm、90%径は0.061μmであった。分散液A−35Dの粒度分布50%径は0.035μm、90%径は0.074μmとなり、実施例46より分散剤が少ないため、長時間の分散では粒度分布の増加が確認された。分散液A−35Cを15重量部とエポキシ樹脂溶液B−9を1.56重量部と、界面活性剤としてビックケミー・ジャパン(株)製、BYK−333を0.012重量部とをボールミルを用いて混合し、ペースト組成物全量に対する含有有機溶剤量が65.5重量%であるペースト組成物C−58を作製した。C−58を硬化させて得られる誘電体組成物中の高誘電率無機粒子の含有量は、誘電体組成物全量に対し73重量%である。実施例40と同様にして評価を行った。結果は表5に示した。
γ−ブチロラクトン1960重量部、分散剤(リン酸エステル骨格を有するコポリマー、ビックケミー・ジャパン(株)製、BYK−W9010)140重量部、チタン酸バリウム(戸田工業(株)製、T−BTO−020RF:平均粒子径0.027μm)700重量部の順に混合し、分散液A−36Aを得た。ウルトラアペックスミルUAM−015(寿工業(株)製)のベッセル内にジルコニアボール((株)ニッカトー製、YTZボール、寸法φ0.5mm)を0.4kg充填し、ローターを回転させながら、分散液A−36Aをベッセル内に送液、循環させた。ローターの周速8m/sで1時間分散後、分散液A−36Bを得た。ベッセル内のビーズを回収し、新たにジルコニアボール((株)ニッカトー製、YTZボール、寸法φ0.05mm)を0.4kg充填した。ビーズ交換後、ローターを回転させながら、分散液A−36Bをベッセル内に送液、循環させた。ローターの周速12m/sで、120分間分散し、分散液A−36Cを得た。分散液A−36Cの粒度分布50%径は0.021μm、90%径は0.049μmであった。分散液A−36Cを15重量部とエポキシ樹脂溶液B−9を0.84重量部と、界面活性剤としてビックケミー・ジャパン(株)製、BYK−333を0.012重量部とをボールミルを用いて混合し、ペースト組成物全量に対する含有有機溶剤量が67.5重量%であるペースト組成物C−59を作製した。C−59を硬化させて得られる誘電体組成物中の高誘電率無機粒子の含有量は、誘電体組成物全量に対し73重量%である。実施例40と同様にして評価を行った。結果は表5に示した。
γ−ブチロラクトン1960重量部、分散剤(リン酸エステル骨格を有するコポリマー、ビックケミー・ジャパン(株)製、BYK−W9010)183.75重量部、チタン酸バリウム(戸田工業(株)製、T−BTO−020RF:平均粒子径0.027μm)656.25重量部の順に混合し、分散液A−37Aを得た。ウルトラアペックスミルUAM−015(寿工業(株)製)のベッセル内にジルコニアボール((株)ニッカトー製、YTZボール、寸法φ0.5mm)を0.4kg充填し、ローターを回転させながら、分散液A−37Aをベッセル内に送液、循環させた。ローターの周速8m/sで1時間分散後、分散液A−37Bを得た。ベッセル内のビーズを回収し、新たにジルコニアボール((株)ニッカトー製、YTZボール、寸法φ0.5mm)を0.4kg充填した。ビーズ交換後、ローターを回転させながら、分散液A−37Bをベッセル内に送液、循環させた。ローターの周速12m/sで、120分間分散し、分散液A−37Cを得た。分散液A−37Cの粒度分布50%径は0.02μm、90%径は0.047μmであった。分散液A−37Cを15重量部とエポキシ樹脂溶液B−9を0.42重量部と、界面活性剤としてビックケミー・ジャパン(株)製、BYK−333を0.012重量部とをボールミルを用いて混合し、ペースト組成物全量に対する含有有機溶剤量が68.7重量%であるペースト組成物C−60を作製した。C−60を硬化させて得られる誘電体組成物中の高誘電率無機粒子の含有量は、誘電体組成物全量に対し73重量%である。実施例40と同様にして評価を行った。結果は表5に示した。
分散液A−24Cを15重量部とアクリル樹脂(東亜合成(株)製、“アロニックス”(商品名)M305)を6.43重量部と光重合開始剤(チバガイキー(株)製、イルガキュア(商品名)184)を0.32重量部、γ−ブチロラクトン1.99重量部とをボールミルを用いて混合し、ペースト組成物全量に対する含有有機溶剤量が52.6重量%であるペースト組成物C−61を作製した。C−61を硬化させて得られる誘電体組成物中の高誘電率無機粒子の含有量は、誘電体組成物全量に対し35重量%である。実施例47と同様にして評価を行った。結果を表5に示した。
分散液A−24Cを15重量部とアクリル樹脂(東亜合成(株)製、“アロニックス”(商品名)M305)を3.2重量部と光重合開始剤(チバガイキー(株)製、“イルガキュア”(商品名)184)を0.16重量部、γ−ブチロラクトン0.99重量部とをボールミルを用いて混合し、ペースト組成物全量に対する含有有機溶剤量が59.4重量%であるペースト組成物C−62を作製した。C−62を硬化させて得られる誘電体組成物中の高誘電率無機粒子の含有量は、誘電体組成物全量に対し50重量%である。実施例47と同様にして評価を行った。結果を表5に示した。
分散液A−24Cを15重量部とアクリル樹脂(東亜合成(株)製、“アロニックス”(商品名)M305)を0.83重量部と光重合開始剤(チバガイキー(株)製、“イルガキュア”(商品名)184)を0.04重量部、γ−ブチロラクトン0.26重量部とをボールミルを用いて混合し、ペースト組成物全量に対する含有有機溶剤量が66.7重量%であるペースト組成物C−63を作製した。C−63を硬化させて得られる誘電体組成物中の高誘電率無機粒子の含有量は、誘電体組成物全量に対し73重量%である。実施例47と同様にして評価を行った。結果を表5に示した。
乳酸エチル1960重量部、分散剤(リン酸エステル骨格を有するコポリマー、ビックケミー・ジャパン(株)製、BYK−W9010)109.6重量部、チタン酸バリウム(戸田工業(株)製、T−BTO−020RF:平均粒子径0.027μm)730.4重量部の順に混合し、分散液A−38Aを得た。ウルトラアペックスミルUAM−015(寿工業(株)製)のベッセル内にジルコニアボール((株)ニッカトー製、YTZボール、寸法φ0.5mm)を0.4kg充填し、ローターを回転させながら、分散液A−38Aをベッセル内に送液、循環させた。ローターの周速8m/sで1時間分散後、分散液A−38Bを得た。ベッセル内のビーズを回収し、新たにジルコニアボール((株)ニッカトー製、YTZボール、寸法φ0.05mm)を0.4kg充填した。ビーズ交換後、ローターを回転させながら、分散液A−38Bをベッセル内に送液、循環させた。ローターの周速12m/sで、粒度分布が0.02±0.01μmになるまで分散を行い、分散液A−38Cを得た。分散液A−38Cの粒度分布50%径は0.022μm、90%径は0.049μmであった。
ペースト組成物C−64を孔径0.45μmのフィルターを用いて濾過した後、ITO付きガラス基板上にスピンコーターを用いて塗布し、オーブンを用いて80℃で15分間の熱処理を行い乾燥させた後、175℃で4時間の熱処理を行い硬化させ、膜厚1μmの誘電体組成物(硬化膜)を得た。膜厚調整はスピンコート時のスピン調整速度により行った。さらに、この誘電体組成物上にフッ素系界面活性剤(大日本インキ化学工業(株)製、“ディフェンサ”(商品名)MCF−350SF)を用いて0.1μm厚の透明被膜を形成した。実施例40と同様にして評価を行った。結果を表7に示した。
Claims (13)
- (a)樹脂、(b)ペロブスカイト系結晶構造を有する高誘電率無機粒子、(c)有機溶剤、および分散剤を含有するペースト組成物であって、(b)高誘電率無機粒子の平均粒子径が0.002μm以上0.06μm以下であり、全有機溶剤量がペースト組成物全量の35重量%以上85重量%以下であり、分散剤の含有量が(b)ペロブスカイト系結晶構造を有する高誘電率無機粒子に対し5重量%以上25重量%以下であるペースト組成物。
- (b)ペロブスカイト系結晶構造を有する高誘電率無機粒子の平均粒子径が0.002μm以上0.04μm以下である請求項1記載のペースト組成物。
- (a)樹脂が熱硬化性である請求項1記載のペースト組成物。
- (a)樹脂がアクリル樹脂もしくはエポキシ樹脂を有する請求項1記載のペースト組成物。
- 請求項1記載のペースト組成物を硬化させて得られる、(a)樹脂、(b)ペロブスカイト系結晶構造を有する高誘電率無機粒子を含有する誘電体組成物であって、(b)高誘電率無機粒子の平均粒子径が0.002μm以上0.06μm以下である誘電体組成物。
- (b)ペロブスカイト系結晶構造を有する高誘電率無機粒子の平均粒子径が0.002μm以上0.04μm以下である請求項5記載の誘電体組成物。
- (b)ペロブスカイト系結晶構造を有する高誘電率無機粒子の含有量が、誘電体組成物全体に対し30重量%以上99重量%以下である請求項5記載の誘電体組成物。
- 波長400〜700nmの全域における光線透過率が50%以上100%以下である請求項5記載の誘電体組成物。
- 周波数1kHzにおける比誘電率が10以上、300以下である請求項5記載の誘電体組成物。
- (a)樹脂が熱硬化性である請求項5記載の誘電体組成物。
- (a)樹脂がアクリル樹脂もしくはエポキシ樹脂を有する請求項5記載の誘電体組成物。
- 請求項5〜11のいずれか記載の誘電体組成物と、波長400〜700nmの全域における光線透過率が50%以上100%以下である透明電極を有するキャパシタ。
- 金属、セラミックス、ガラスのいずれかの平均粒子径が0.02mm以上0.1mm以下であるビーズを分散メディアとして用いて、(b)ペロブスカイト系結晶構造を有する高誘電率無機粒子を有機溶剤に分散して(d)分散液を作製し、次に樹脂、もしくは樹脂と有機溶剤を有する樹脂溶液と(d)分散液とを混合する請求項1記載のペースト組成物の製造方法。
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