WO2007023894A1 - 光照射装置及び光学部材 - Google Patents

光照射装置及び光学部材 Download PDF

Info

Publication number
WO2007023894A1
WO2007023894A1 PCT/JP2006/316608 JP2006316608W WO2007023894A1 WO 2007023894 A1 WO2007023894 A1 WO 2007023894A1 JP 2006316608 W JP2006316608 W JP 2006316608W WO 2007023894 A1 WO2007023894 A1 WO 2007023894A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
light
workpiece
angle
vertical
reflecting
Prior art date
Application number
PCT/JP2006/316608
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
Mitsuru Saito
Original Assignee
Ccs Inc.
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Ccs Inc. filed Critical Ccs Inc.
Priority to US12/064,702 priority Critical patent/US8049152B2/en
Priority to JP2007532166A priority patent/JP4584312B2/ja
Priority to EP06796721.6A priority patent/EP1930718B1/en
Priority to CN2006800311288A priority patent/CN101248348B/zh
Publication of WO2007023894A1 publication Critical patent/WO2007023894A1/ja

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/8806—Specially adapted optical and illumination features
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/0001—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings specially adapted for lighting devices or systems
    • G02B6/0011—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings specially adapted for lighting devices or systems the light guides being planar or of plate-like form
    • G02B6/0033—Means for improving the coupling-out of light from the light guide
    • G02B6/0035—Means for improving the coupling-out of light from the light guide provided on the surface of the light guide or in the bulk of it
    • G02B6/004—Scattering dots or dot-like elements, e.g. microbeads, scattering particles, nanoparticles
    • G02B6/0043—Scattering dots or dot-like elements, e.g. microbeads, scattering particles, nanoparticles provided on the surface of the light guide
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/0001—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings specially adapted for lighting devices or systems
    • G02B6/0011—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings specially adapted for lighting devices or systems the light guides being planar or of plate-like form
    • G02B6/0033—Means for improving the coupling-out of light from the light guide
    • G02B6/005—Means for improving the coupling-out of light from the light guide provided by one optical element, or plurality thereof, placed on the light output side of the light guide
    • G02B6/0055—Reflecting element, sheet or layer
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/0001—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings specially adapted for lighting devices or systems
    • G02B6/0011—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings specially adapted for lighting devices or systems the light guides being planar or of plate-like form
    • G02B6/0066—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings specially adapted for lighting devices or systems the light guides being planar or of plate-like form characterised by the light source being coupled to the light guide
    • G02B6/0068—Arrangements of plural sources, e.g. multi-colour light sources

Definitions

  • the present invention irradiates an object such as a product with light in a factory or the like, for example.
  • the light irradiation apparatus and the optical device are suitably used for appearance inspection and reading of symbols written on the surface. This relates to the member.
  • an object such as a product is irradiated with light to create a suitable illumination environment, and then the object is imaged with an imaging device such as a CCD camera, and automatic appearance inspection and automatic symbol reading are performed.
  • an imaging device such as a CCD camera
  • Patent Document 1 Therefore, as shown in Patent Document 1, the present inventor has developed a revolutionary light irradiation device that has a thin plate shape and can be inserted orthogonally on the observation axis, and is greatly reduced in size. And close-up photography for the first time.
  • this light irradiation device is provided with a large number of fine reflecting members arranged side by side on the surface of the transparent plate opposite to the object so that a gap is formed between them.
  • the surface force at the side edge is also designed to introduce LED light. The light travels while being totally reflected in the transparent plate, but a part of the light is reflected by the reflecting member and irradiated from the transparent plate toward the object. Since the imaging device has a gap between the reflecting members, it can capture an object that is almost unaffected by the reflecting members, such as going through a bright room from a screen door.
  • Patent Document 1 Japanese Patent Laid-Open No. 2003-98093
  • the present invention aims to reduce the above-described moire without sacrificing compactness, which is a feature of the light irradiation apparatus of this type, with a simple configuration and at low cost. .
  • the light irradiation device includes a light-transmitting plate having a predetermined thickness that is set toward a work such as a product to be irradiated with light, with one surface being a work-facing surface;
  • a large number of the light-transmitting plates arranged side by side on the other surface (hereinafter also referred to as an anti-workpiece-facing surface) so that the light-reflecting surface faces the side of the workpiece and fine gaps are formed between them.
  • a light source part provided at a position where the reflecting part, at least a part of the emitted light passes through the light transmitting plate and reaches the light reflecting surface, is reflected there, and is emitted from the workpiece facing surface force;
  • An antireflection film covering the workpiece facing surface.
  • the present invention also relates to an optical member that is separate from the light source, and has one surface as a workpiece-facing surface, and has a predetermined thickness that is set toward a workpiece such as a product to be irradiated with light.
  • a plurality of reflecting portions arranged side by side so that the light reflecting surface faces the workpiece side and a minute gap is formed between them on the surface opposite to the workpiece on the light transmitting plate.
  • an anti-reflection film covering the opposite surface of the cake.
  • reflection basically means irregular reflection (scattering), but in some cases also includes regular reflection.
  • the present inventor has found that a part of the light reflected to the work side by each reflecting portion is It was elucidated that moiré occurs when the light is reflected again on the opposite surface and directed toward the imaging device. More specifically, the present invention has been conceived based on the fact of the reflection portion and the elucidation of the present invention, and it has a simple and cost-effective construction in which an antireflection film is provided on the workpiece facing surface. The light that is reflected and directed toward the imaging device is suppressed, and moire can be reduced.
  • the light source unit includes a plurality of LEDs that are arranged facing the side peripheral end surface of the translucent plate and introduce light into the translucent plate. Can be listed.
  • the reflecting portions are arranged vertically and horizontally.
  • the imaging apparatus has a large number of image elements arranged at predetermined pitches in the vertical and horizontal directions as in a CCD camera, the arrangement direction of the image elements, Moire occurs at a certain imaging magnification when the arrangement direction of the reflecting portions substantially matches or when a predetermined angle is reached.
  • this moire is a force that can be suppressed by the antireflection film.
  • the vertical arrangement direction (or the horizontal arrangement direction) of the image elements in the normal arrangement posture with respect to the imaging device is preferably set to an angle that avoids the 0 force, 0 °, ⁇ , 90 ° -a, and 90 ° neighborhoods.
  • tan a the horizontal arrangement pitch of the reflection part Z, the vertical arrangement pitch of the reflection part, and the horizontal arrangement pitch ⁇ the vertical arrangement pitch.
  • the angle 0 force 5 ° to 10 ° ⁇ ⁇ ⁇ a-10 ° to a—5 °, a + 5 to ⁇ + 1 ⁇ 0 ⁇ 8 ⁇ ° — a to 85 ° — a Or 95 ° — ⁇ -100 ° to ⁇ 80 ° to 85 °.
  • the angle 0 force is about 22.5 ° or 67.5 °. More preferred.
  • the invention's effect [0018]
  • the light irradiation device according to the present invention configured as described above can be made compact, and the work-opposing surface is made of an anti-reflection film while activating the feature that an image can be taken close to the work.
  • the very simple and cost-effective construction of covering makes it possible to effectively suppress moiré that occurs during workpiece imaging.
  • FIG. 1 is a central vertical end view showing an internal structure of a light irradiation apparatus according to an embodiment of the present invention.
  • FIG. 2 is a plan view of the light irradiation apparatus according to the embodiment.
  • FIG. 3 is a partially enlarged vertical front end view mainly showing a reflecting portion of the light irradiation device in the same embodiment.
  • FIG. 4 is a detailed view of part A in FIG.
  • FIG. 5 is a partially enlarged plan view showing a case where the arrangement direction of the reflecting portions is changed.
  • FIG. 6 is a phenomenon explanatory diagram showing the arrangement direction of the reflection parts with respect to the arrangement direction of the image elements when moire occurs.
  • FIG. 7 is a phenomenon explanatory diagram showing the arrangement direction of the reflection portions with respect to the arrangement direction of the image elements when moire occurs.
  • FIG. 8 is a central longitudinal end view showing an internal structure of a light irradiation apparatus according to another embodiment of the present invention.
  • FIG. 9 is a detailed view of part A in FIG.
  • FIG. 10 is a central vertical end view showing a light irradiation apparatus in still another embodiment of the present invention.
  • FIG. 11 is a partially enlarged plan view of a reflecting portion in still another embodiment of the present invention.
  • Imaging device CCD camera
  • the light irradiation device 1 As shown in Figs. 1 and 2, the light irradiation device 1 according to the present embodiment has a thin plate shape as a whole, and is orthogonal to the imaging axis C between the workpiece W and the imaging device 6. Arranged and work
  • a part of the light from the work W is transmitted so that the imaging device 6 can pick up the workpiece W.
  • the light irradiation apparatus 1 includes an optical member 3 having a rectangular plate shape, a light source unit 5 that irradiates light on the side of the optical member 3, and the optical member 3 and the light source unit 5. And a frame 2 to be used.
  • the optical member 3 has a light-transmitting plate 31 installed toward a work W such as a product to be irradiated with light, with one surface being a work-facing surface 31a.
  • the light transmitting plate 31 includes a large number of reflecting portions 32 arranged on the other surface (anti-work-facing surface) 31b and an antireflection film 33 covering the work-facing surface 31a.
  • the translucent plate 31 is a colorless and transparent plate having a uniform thickness and a square plate shape in plan view, and is made of, for example, acrylic or glass.
  • the reflecting portion 32 has a two-layer structure of a reflecting layer 321 that diffusely reflects light and a light blocking layer 322 that hardly reflects light.
  • a reflecting layer 321 that diffusely reflects light
  • a light blocking layer 322 that hardly reflects light.
  • the reflecting portions 32 are arranged at an equal pitch (for example, over substantially the entire surface excluding the side peripheral edge portion of the anti-work facing surface 31b of the light transmitting plate 313 so that a minute gap S is formed between them.
  • a large number of vertical and horizontal lines are arranged at a pitch of about 0.4 mm.
  • Each reflector 32 is The reflective layer 321 is attached to the non-work-facing surface 31b of the translucent plate 31 so that the reflective layer 321 faces the workpiece W side.
  • FIG. 3 is a schematic diagram for understanding, in which the thickness of the reflecting portion 32 is exaggerated, and the thickness of the translucent plate 31 is expressed thinner than the actual thickness.
  • the reflective layer 321 is formed of, for example, a white pigment containing a particulate reflective filler (not shown) that is a light diffusing member, and mainly reflects light at the light reflective surface that is the surface thereof. At the same time, a part of the light entering the inside is diffused and reflected by the reflection filter.
  • the light blocking layer 322 is formed using a matte black material (for example, brown or gray) such as chromium oxide (Cr02).
  • a matte black material for example, brown or gray
  • Cr02 chromium oxide
  • a thin, chrome layer having a mirror shape is formed between the light blocking layer 322 and the reflective layer 321. Further, the configuration is provided.
  • the antireflection film 33 is formed of, for example, a multilayer film or the like, and has a function of suppressing reflection of incident light and improving transmittance.
  • the light source unit 5 includes four units corresponding to the four side peripheral end surfaces 31c of the translucent plate 31, respectively.
  • Each unit consists of a strip-shaped wiring board 52 and a plurality of LEDs 51 mounted on the wiring board 52 at a regular interval in a row, and these LEDs 51 are arranged so as to face the side peripheral end face 31c of the translucent plate 31. Then, light is emitted from the side peripheral end face 31c to the inside of the translucent plate 31 with a direction force.
  • the frame 2 has a rectangular (square) ring shape, and is made of a metal having, for example, a circumferential groove opened on the inner circumferential surface, and holds and accommodates the light source unit 5 in the circumferential groove. Further, at the opening edge of the groove, the side peripheral edge of the translucent plate 31 is sandwiched and held from the thickness direction.
  • the workpiece W and the imaging device 6 are installed facing each other, and the light irradiation device 1 is imaged with the workpiece facing surface 31a facing the workpiece W therebetween. Install on axis C.
  • the imaging device 6 captures the workpiece W as described above by capturing the light reflected by the workpiece W and passing through the light transmission plate 31 through the gap S between the reflecting portions 32. Then, surface inspection and symbol reading of the workpiece W are performed. Since the reflection part 32 is fine, it is basically not that the reflection part 32 interferes with imaging so that a bright room can be seen through a screen door. However, it is more preferable to observe the size or pitch of the gap S or the reflection part 32, using the separation distance between the imaging device 6 and the reflection part 32, the separation distance between the imaging device 6 and the workpiece W, etc. as parameters. What is necessary is just to set to the optimal thing which does not have trouble. For example, when the distance between the imaging device 6 and the reflecting portion 32 is small, the size of the gap S or the reflecting portion 32 or the pitch is increased correspondingly, and vice versa.
  • the reflected light from the reflecting section 32 can illuminate from the observation axis C of the imaging device 6 in the coaxial direction, and the workpiece W is imaged by the imaging device 6 through the gap S. Inspection can be performed.
  • moire may occur in the captured image.
  • the cause of moire is “light reflected by the reflecting portion 32 toward the workpiece W side, and then reflected again by the workpiece facing surface 31a and directed toward the imaging device 6”. is there. More specifically, moire can occur when each reflecting portion 32 reflected on the image element by the light substantially overlaps with each image element.
  • the vertical arrangement direction Y (or horizontal arrangement direction X) of the image elements and the vertical arrangement direction y (or horizontal arrangement direction X) of the reflecting section 32 are substantially matched.
  • the angle ⁇ between the vertical arrangement directions Y and y of each other is approximately 0 °.
  • 1S the apparent vertical arrangement pitch force reflected on the image element of the reflector 32 is almost the same as the vertical arrangement pitch of the image element.
  • each reflector 32 reflected on the image element almost overlaps with each image element when the imaging magnification is about 9Z400. In this case, moire occurs. [0037] Further, moire occurs even when the angle 0 is not limited to 0 ° but 90 °, and when the vertical and horizontal arrangement pitches of the reflecting portions 32 are substantially the same as in this embodiment, the angle ⁇ is It also occurs. This is because, as shown in FIG. 5, the reflection parts 32 are aligned in the same direction ⁇ ( ⁇ ) at a pitch of 283 m when viewed in the vertical (or horizontal) arrangement direction Y (X) of the image elements. Moire occurs when the imaging magnification is set to around 9 Z283.
  • the anti-reflection film 33 is provided on the workpiece facing surface 31a, and the above-described moire is caused by the “reflection portion 32 on the workpiece W side”. , And then reflected again by the workpiece facing surface 31a and directed toward the image pickup apparatus 6 ”, and as a result, moire can be greatly suppressed.
  • the angle ⁇ at which moiré is noticeably generated is around 0 °, 45 °, and 90 ° when the vertical and horizontal arrangement pitches of the reflecting portions 32 are substantially the same. Therefore, this moire can be further reduced if the arrangement direction of the reflecting portions 32 is determined while avoiding the vicinity of these angles.
  • 0 ° and 90 °, ⁇ and 90 ° — ⁇ indicates the angle of the diagonal line of the reflector 32 forming the lattice, and when ⁇ is set to that angle, FIG. As shown in FIG. 7, the diagonal line coincides with the image element arrangement direction ⁇ (or X), and the reflecting portion 32 is aligned in the same direction as the image element arrangement direction ⁇ (or X).
  • the moire can be further reduced if the arrangement direction of the reflecting portions 32 is determined by avoiding about 5 ° to 10 ° before and after these angles (0 °, ⁇ , 90 ⁇ , 90 °). .
  • the light irradiation device 1 is provided with a posture instruction unit indicating a normal arrangement posture, and the light irradiation device 1 is based on the posture instruction unit.
  • the angle ⁇ is configured to be within the above-described range.
  • this posture instruction unit is a side of the frame 2.
  • the light is also incident obliquely from the workpiece facing surface 31a not from the side peripheral end surface 31c of the translucent plate so as to reach the reflecting portion 32. Applicable.
  • the translucent plate is not limited to a flat plate, and may be a curved plate such as a spherical one.
  • each reflecting portion 32 is continuously provided so as to form a mesh and is formed into a sheet shape, and a gap S is provided therebetween.
  • the light irradiation apparatus according to the present invention having such a configuration can reduce moire without sacrificing compactness or the like with a simple configuration and at low cost.

Abstract

　一方の面をワーク対向面３１ａとして、光の照射対象である製品等のワークＷに向けて設置される所定厚みを有した透光板３１と、前記透光板３１における他方の面に、光反射面がワークＷ側を向き、なおかつ互いの間に微細な隙間Ｓが形成されるように並べ設けた多数の反射部３２と、射出した光の少なくとも一部が前記透光板３１内を透過して前記光反射面に到達し、そこで反射して前記ワーク対向面３１ａから射出される位置に設けた光源部５と、前記ワーク対向面３１ａを被覆する反射防止膜３３と、を備えるようにすることで、コンパクト性等を犠牲にすることなく、モアレを簡単な構成で、なおかつ低コストで軽減できる光照射装置を提供するようにした。

Description

明 細 書
光照射装置及び光学部材
技術分野
[0001] 本発明は、例えば工場等において製品等の対象物に光を照射するものであって、 その外観検査や表面に記載された記号読取の際に好適に用いられる光照射装置及 び光学部材に関するものである。
背景技術
[0002] 従来、例えば製品等の対象物に光を照射して好適な照明環境を作り出した上で、 当該対象物を CCDカメラ等の撮像装置で撮像し、自動外観検査や自動記号読取を 行うようにしたシステムが知られている。
[0003] このようなシステムにおいて、撮像装置の観測軸と同軸方向からも光を照射する必 要がある場合、従来は、観測軸上に斜め 45度にハーフミラーを設置し、そのハーフミ ラーに観測軸と直交する方向から光を照射するようにしている。このような構成によれ ば、光源力 射出された光がハーフミラーで反射して前記観測軸と同軸方向に進行 し、前記対象物に照射される一方、対象物力ゝらの光はハーフミラーを透過して撮像装 置に届くため、対象物の撮像も可能である。ただ、このような構成では、 45度に傾斜 させたハーフミラーを配置する関係上、全体が特に観測軸方向に大型化するうえ、そ のハーフミラーが邪魔をして、撮像装置を対象物に接近させることができない。
[0004] そこで本発明者は、特許文献 1に示すように、薄い板状をなし、観測軸上に直交し て挿入することができる画期的な光照射装置を開発し、大幅なコンパクト化や接近撮 像等を初めて可能にした。
[0005] 具体的に、この光照射装置は、多数の微細な反射部材を、互いの間に隙間が形成 されるように、透明板の反対象物側の面に並べ設けるとともに、その透明板の側周端 面力も LED光を導入するようにしたものである。光は、透明板の中を全反射しながら 進行するが、そのうちの一部は、反射部材で反射して透明板から対象物に向かって 照射される。撮像装置は、反射部材の間に隙間があるため、網戸から明るい部屋の 中を覼くように、反射部材にほとんど影響されることなぐ対象物を撮像することができ る。
特許文献 1：特開 2003 - 98093号公報
発明の開示
発明が解決しょうとする課題
[0006] し力しながら、このような光照射装置を用いた場合、撮像装置側の倍率によっては、 撮像画面にモアレ (干渉縞）が生じ、検査等に影響を及ぼす場合がある。このモアレ を軽減するために、特許文献 1では、例えば反射部材を不均一なピッチで並べるとか
、その形状を異形状にするといつた手法が記載されているが、このような手法では、 製作コストが予想以上に大きくなる。
[0007] そこで本発明は、この種の光照射装置において、その特長であるコンパクト性等を 犠牲にすることなぐ上述したモアレを簡単な構成で、なおかつ低コストで軽減すべく 図ったものである。
課題を解決するための手段
[0008] すなわち本発明に力かる光照射装置は、一方の面をワーク対向面として、光の照 射対象である製品等のワークに向けて設置される所定厚みを有した透光板と、前記 透光板における他方の面（以下反ワーク対向面ということもある）に、光反射面がヮー ク側を向き、なおかつ互いの間に微細な隙間が形成されるように並べ設けた多数の 反射部と、射出した光の少なくとも一部が前記透光板内を透過して前記光反射面に 到達し、そこで反射して前記ワーク対向面力 射出される位置に設けた光源部と、前 記ワーク対向面を被覆する反射防止膜と、を備えている。
[0009] また本発明は、前記光源と別体をなす光学部材に係り、一方の面をワーク対向面と して、光の照射対象である製品等のワークに向けて設置される所定厚みを有した透 光板と、前記透光板における反ワーク対向面に、光反射面がワーク側を向き、なおか つ互いの間に微細な隙間が形成されるように並べ設けた多数の反射部と、前記ヮー ク対向面を被覆する反射防止膜と、を備えていることを特徴とする。
[0010] なお、ここで「反射」とは、基本的に乱反射 (散乱）のことであるが、場合によっては 正反射も含む意味である。
[0011] 本発明者は、鋭意検討の結果、各反射部でワーク側に反射した光の一部が、ヮー ク対向面で再度反射して撮像装置側に向力うことによって、モアレが発生することを 解明した。より具体的には、反射部のそしてこの解明事実に基づき本発明に想到し たものであって、ワーク対向面に反射防止膜を設けるという簡単でコストの力からない 構成で、ワーク対向面で反射し撮像装置側に向力う光を抑制し、モアレを低減するこ とができるようにしたものである。
[0012] 光源部の具体的な構成としては、前記光源部が、透光板の側周端面に臨んで配置 され、当該側周端面力 透光板内部に光を導入する複数の LEDを備えたものを挙 げることができる。
[0013] 前記反射部は、縦横に配列しておくことが製作コスト上好ましい。ところが、このよう な構成において、前述したように、撮像装置が、 CCDカメラのように縦横にそれぞれ 所定ピッチで配列された多数の画像素子を有するものであると、画像素子の配列方 向と、反射部の配列方向とがほぼ合致したとき、あるいは所定の角度になったときに 、ある撮像倍率でモアレが発生する。
[0014] もちろん、このモアレは前記反射防止膜で抑制できる力 さらにそのモアレ抑制効 果を高めるには、前記撮像装置に対する正規配置姿勢において、画像素子の縦配 列方向（又は横配列方向）と反射部の縦配列方向（又は横配列方向）とのなす角度 0力 0° 、 《、 90° —a及び 90° の近傍を避けた角度に設定されているものが好 ましい。ただし、 tan a =反射部の横配列ピッチ Z反射部の縦配列ピッチ、横配列ピ ツチ≤縦配列ピッチである。
[0015] より具体的には、前記角度 0力 5° 〜10° ≤ Θ≤ a - 10° 〜a— 5° 、 a + 5 〜α + 1Ο≤ 0≤8Ο° — a〜85° — a、又は 95° — α〜100° ~ α≤ θ≤80° 〜85° であることが好ましい。
[0016] この角度 Θに設定することによって、干渉縞がさらに薄くなるとともにそのピッチが非 常に小さくなり、ほとんど目立たなくなる。
[0017] 前記反射部が縦横にほぼ等ピッチで配列されている場合においては（a =45° の 場合においては）、前記角度 0力 約 22. 5° 又は 67. 5° であることが、より好まし い。
発明の効果 [0018] このように構成した本発明に係る光照射装置等であれば、コンパクト化が可能であ り、ワークに接近して撮像できるという特徴を活力しながら、ワーク対向面を反射防止 膜で被覆するという非常に簡単でコストの力からない構成によって、ワーク撮像時に 生じるモアレを効果的に抑制することが可能になる。
図面の簡単な説明
[0019] [図 1]本発明の一実施形態における光照射装置の内部構造を示す中央縦正端面図 [図 2]同実施形態における光照射装置の平面図。
[図 3]同実施形態における光照射装置の反射部を主として示す部分拡大縦正端面 図。
[図 4]図 2における A部詳細図。
[図 5]反射部の配列方向を変えた場合を示す部分拡大平面図。
[図 6]モアレが発生する場合の画像素子の配列方向に対する反射部の配列方向を 示す現象説明図。
[図 7]モアレが発生する場合の画像素子の配列方向に対する反射部の配列方向を 示す現象説明図。
[図 8]本発明の他の実施形態における光照射装置の内部構造を示す中央縦正端面 図。
[図 9]図 8における A部詳細図。
[図 10]本発明のさらに他の実施形態における光照射装置を示す中央縦正端面図。
[図 11]本発明のさらに他の実施形態における反射部の部分拡大平面図。
符号の説明
[0020] 1…光照射装置
3…光学部材
31 · ··透光板
31a…一方の面（ワーク対向面）
31b…他方の面 (反ワーク対向面）
31c…側周端面 32…反射部
33…反射防止膜
5…光源部
51 - --LED
6…撮像装置 (CCDカメラ）
S…隙間
W…ワーク
発明を実施するための最良の形態
[0021] 以下に本発明の一実施形態について図面を参照して説明する。
[0022] 本実施形態に係る光照射装置 1は、図 1、図 2に示すように、全体として薄い板状を なすもので、ワーク Wと撮像装置 6との間の撮像軸 C上に直交して配置され、ワーク
Wを照明するとともに、ワーク Wからの光の一部を透過させて、撮像装置 6によるヮー ク Wの撮像を可能ならしめるものである。
[0023] 具体的にこの光照射装置 1は、矩形板状をなす光学部材 3と、その光学部材 3の側 周囲力 光を照射する光源部 5と、前記光学部材 3及び光源部 5を保持する枠体 2と を備えている。
[0024] 光学部材 3は、特に図 3に示すように、一方の面をワーク対向面 31aとして、光の照 射対象である製品等のワーク Wに向けて設置される透光板 31と、前記透光板 31に おける他方の面 (反ワーク対向面） 31bに並べ設けた多数の反射部 32と、前記ワーク 対向面 31aを被覆する反射防止膜 33とからなる。
[0025] 透光板 31は、等厚で平面視正方形状の板状をなす無色透明のものであり、例えば アクリルやガラスなどを素材として 、る。
[0026] 反射部 32は、図 3、図 4に示すように、光を乱反射する反射層 321と光をほとんど反 射しない光遮断層 322との 2層構造をなし、その一つ一つは、例えば平面視円形状 をなし、径が数十〜数百 μ m、厚み力ミクロンオーダーの極めて小さく薄いものであ る。そして、この反射部 32を、互いの間に微細な隙間 Sが形成されるように、前記透 光板 313における反ワーク対向面 31bの、側周縁部を除く略全面に亘つて、等ピッチ (例えば約 0. 4mmピッチ)で縦横に多数並べ設けてある。また、各反射部 32は、前 記反射層 321がワーク W側を向くように、すなわち前記反射層 321を、透光板 31の 反ワーク対向面 31bに付着させてある。なお、図 3は理解のための模式図であり、反 射部 32の厚みを誇張し、また透光板 31の厚みを実際より薄く表現してある。前記反 射層 321は、光拡散部材である粒子状の反射フイラ（図示しない）を含有させた例え ば白色の顔料で形成したもので、その表面である光反射面において、主として光を 反射するとともに、内部に侵入した光の一部を、前記反射フイラで拡散させて反射す る。一方、光遮断層 322は、酸化クロム (Cr02)等のつや消し黒色系（例えば茶色や 灰色等）素材を用いて形成したものである。なお、この実施形態では、前記反射層 3 21を透過した光を反射する目的から、この光遮断層 322と反射層 321との間に鏡面 状をなす薄 、クロム層（図示しな 、）をさらに設けた構成にして 、る。
[0027] 反射防止膜 33は、例えば多層膜等で形成したもので、入射した光の反射を抑制し 、透過率を向上させる機能を有する。
[0028] 光源部 5は、前記透光板 31の 4つの側周端面 31cにそれぞれ対応する 4つのュ- ットからなる。各ユニットは、帯状をなす 1つの配線基板 52とその配線基板 52に等間 隔 1列で搭載した複数の LED51からなり、それら LED51が、透光板 31の側周端面 31cに臨むように配置され、当該側周端面 31cから透光板 31の内部に向力つて光を 照射する。
[0029] 枠体 2は、矩形 (正方形)環状をなし、例えば内周面に開口する周回溝を有した金 属製のもので、その周回溝の中に前記光源部 5を保持収容する。またその溝の開口 縁部で、前記透光板 31の側周縁部を厚み方向から挟み込んで保持する。
[0030] 次に、このように構成した光照射装置 1の作用を以下に説明する。
[0031] まず、図 1に示すように、ワーク Wと撮像装置 6とを対向させて設置し、その間に、光 照射装置 1を、そのワーク対向面 31aがワーク Wに向くようにして、撮像軸 C上に設置 する。
[0032] この状態で、光源部 5から光が照射されると、その光は、透光板 31の側周端面 31c 力も内部に進入し、図 3に示すように、中央部に向力つて、ワーク対向面 31aと反ヮー ク対向面 31bとの間で全反射しながら進行する。その過程で、ワーク対向面 31aに貼 り付けられた反射部 32に到達した光は、そこで乱反射し、均一化された拡散光として ワーク対向面 31aから出て、ワーク Wに向かって照射される。この光で、ワーク Wは一 様に照明される。
[0033] 一方、撮像装置 6は、前記ワーク Wで反射し、反射部 32の間の隙間 Sを通って透光 板 31を通過した光を捕捉することにより、上述のごとくワーク Wを撮像し、当該ワーク Wの表面検査や記号読取を行う。しかして、反射部 32は微細であるために、網戸を 介して明るい部屋の中を見ることができるように、この反射部 32が撮像の邪魔にはな ることは基本的にはない。ただし、より好ましくは、隙間 Sや反射部 32の大きさ、ある いはピッチを、撮像装置 6と反射部 32との離間距離、撮像装置 6とワーク Wとの離間 距離等をパラメータとして観測に支障がでない最適なものに定めればよい。例えば撮 像装置 6と反射部 32との離間距離が小さい場合には、隙間 Sや反射部 32の大きさ、 あるいはピッチを相応に大きくし、逆の場合は小さく設定すればよい。
[0034] このようにして、反射部 32での反射光により撮像装置 6の観測軸 Cと同軸方向から の照明が行えるとともに、前記ワーク Wを、隙間 Sを介して撮像装置 6で撮像し、検査 等を行うことができる。
[0035] ところで、この実施形態の撮像装置 6である CCDカメラのように、画像素子の縦 (又 は横)の配設ピッチが略均一である場合、撮像した画像にモアレが生じることがある。 本発明者が解明した限りにおいてのモアレの原因は、「反射部 32で反射してワーク W側に向かい、その後、ワーク対向面 31aで再度反射して撮像装置 6側に向力う光」 である。より詳細には、その光によって画像素子上に写る各反射部 32が、各画像素 子とほぼ重なり合うときに、モアレが生じ得る。
[0036] 具体的に説明する。例えば、この実施形態では、図 4に示すように、画像素子の縦 配列方向 Y (又は横配列方向 X)と反射部 32の縦配列方向 y (又は横配列方向 X)を ほぼ一致させている（互いの縦配列方向 Y、 yのなす角度 Θがほぼ 0° ) 1S このとき は、反射部 32の画像素子上に写る見かけの縦方向配列ピッチ力 当該画像素子の 縦方向配列ピッチとほぼ合致するような倍率で撮像すると、光が干渉してモアレが生 じる。すなわち、反射部 32のピッチが 400 μ mで画像素子のピッチが 9 μ mの場合、 撮像倍率を 9Z400前後にしたときに、画像素子上に写る各反射部 32が各画像素 子とほぼ重なり合 、モアレが生じる。 [0037] また、前記角度 0が 0° に限らず 90° でもモアレは生じるし、この実施形態のように 、反射部 32の縦横配列ピッチがほぼ同一である場合には、角度 Θ力 の前後で も生じる。これは、図 5に示すように、画像素子の縦 (又は横)の配列方向 Y (X)で見 て、反射部 32が同方向 Υ (Χ)に 283 mのピッチで整列することから、撮像倍率を 9 Z283前後にしたときにモアレが生じるのである。
[0038] し力して本実施形態によれば、ワーク対向面 31aに反射防止膜 33を設けるという簡 単かつ低コストの構成によって、上述したモアレの原因となる「反射部 32でワーク W 側に反射し、その後、ワーク対向面 31aで再度反射して撮像装置 6側に向力う光」を 低減することができ、結果としてモアレを大きく抑制することができる。
[0039] なお、本発明は前記実施形態に限られるものではない。
[0040] 前述したように、モアレが顕著に発生する角度 Θは、反射部 32の縦横配列ピッチ がほぼ同一である場合は、 0° 、45° 、90° の付近である。したがって、これらの角 度付近を避けて、反射部 32の配列方向を定めれば、このモアレをより低減できる。
[0041] 反射部 32の縦横方向のピッチが互いに異なっても適用できるように、さらにこれを 一般化して説明する。反射部 32の縦横方向のピッチをそれぞれ p、 qとしたとき、モア レの顕著に発生する角度は、 0° 、 α、 90— α、 90° である。ここで、 αは、 tan a = qZpで定まる角度である。ただし、 p≥q>0とする（pが qより大きいのは、ピッチの長 V、方を縦方向と定義づけると!、うことである）。
[0042] 0° 、90° はいうまでもないが、 α及び 90° — αは、格子をなす反射部 32の対角 線の角度を示し、 Θをその角度にしたときに、図 6、図 7に示すように、前記対角線が 画像素子の配列方向 Υ (又は X)と合致し、反射部 32が画像素子の配列方向 Υ (又は X)と同じ方向に整列する。
[0043] したがって、これらの角度（0° 、 α、90—α、90° )の前後 5° 〜10° ほどを避け て、反射部 32の配列方向を定めれば、このモアレをより低減できる。
[0044] すなわち、角度 0が、
(1) 5° 〜10° ≤ θ≤ α - 10° 〜α— 5°
(2) α + 5〜α + 10≤ 0≤80° — α〜85° - a
(3) 95° — α〜100° ~ α≤ θ≤80° 〜85° の！、ずれかの範囲であればよ！、。
[0045] しかして、この変形例では、図 8、図 9に示すように、この光照射装置 1に、正規配置 姿勢を示す姿勢指示部を設け、この姿勢指示部に基づいて光照射装置 1の撮像装 置 6に対する姿勢を正規配置姿勢に設定することにより、角度 Θが前述の範囲内に なるように構成している。
[0046] 具体的にこの姿勢指示部は枠体 2の辺である。反射部 32の縦横配列ピッチがほぼ 同一であるこの光照射装置 1においては、この辺に対し、反射部 32の縦配列方向 y を、斜め（ 0 = 22. 5° )に設定している。したがって、枠体 2の辺を前記撮像装置 6 に対して正しく配置すれば、画像素子と反射部 32との縦 (又は横)配列方向のなす 角度 0を正確に設定できる。
[0047] また、図 10に示すように、光を、透光板の側周端面 31cからではなぐワーク対向面 31aから斜めに入射させて反射部 32に到達させるようにした構成のものにも適用でき る。
[0048] 更に言えば、透光板は平板に限られず、球面状のものなど、湾曲板でも構わない。
[0049] また、図 11に示すように、各反射部 32を網目をなすように連続的に設けてシート状 にし、その間を隙間 Sとした構成でもよい。
[0050] その他、本発明は、前記図示例や説明例に限られず、各部を適宜組み合わせたり することはもちろんのこと、その主旨を逸脱しない範囲で種々変形が可能である。 産業上の利用可能性
[0051] このような構成を有する本発明に係る光照射装置は、コンパクト性等を犠牲にする ことなぐモアレを簡単な構成で、なおかつ低コストで軽減することができる。

Claims

請求の範囲
[1] 一方の面をワーク対向面として、光の照射対象である製品等のワークに向けて設置 される所定厚みを有した透光板と、
前記透光板における他方の面に、光反射面がワーク側を向き、なおかつ互いの間 に微細な隙間が形成されるように並べ設けた多数の反射部と、
射出した光の少なくとも一部が前記透光板内を透過して前記光反射面に到達し、 そこで反射して前記ワーク対向面力 射出される位置に設けた光源部と、
前記ワーク対向面を被覆する反射防止膜と、を備えている光照射装置。
[2] 前記光源部が、透光板の側周端面に臨んで配置され、当該側周端面から透光板 内部に光を導入する複数の LEDを備えたものである請求項 1記載の光照射装置。
[3] 縦横にそれぞれ所定ピッチで配列された多数の画像素子を有してなり、透光板の 反ワーク側に配置されて当該透光板を介し前記ワークを撮像する撮像装置とともに 用いられるものであって、
前記反射部が縦横に配列されているとともに、前記撮像装置に対する正規配置姿 勢を示す姿勢が定められており、その正規配置姿勢において画像素子の縦配列方 向と反射部の縦配列方向とのなす角度 Θ力 0° 、 《、 90° — α及び 90° の近傍 を避けた角度に設定されている請求項 1記載の光照射装置 (ここで αは、 tan a =反 射部の横配列ピッチ Z反射部の縦配列ピッチで表される角度であり、横配列ピッチ ≤縦配列ピッチとする。）。
[4] 前記角度 0が、
約 10° ≤ 0≤約 a— 10° 、約 a + 10≤ 0≤約 80° — a、又は約 100° - a≤ Θ≤約 80°
である請求項 3記載の光照射装置。
[5] 前記反射部が縦横にほぼ等ピッチで配列されて 、る場合にぉ 、て、前記角度 Θが
、約 22. 5° である請求項 3又は 4記載の光照射装置。
[6] 一方の面をワーク対向面として、光の照射対象である製品等のワークに向けて設置 される所定厚みを有した透光板と、
前記透光板における他方の面に、光反射面がワーク側を向き、なおかつ互いの間 に微細な隙間が形成されるように並べ設けた多数の反射部と、
前記ワーク対向面を被覆する反射防止膜と、を備えている光学部材。
[7] 縦横にそれぞれ所定ピッチで配列された多数の画像素子を有してなり、透光板の 反ワーク側に配置されて当該透光板を介し前記ワークを撮像する撮像装置とともに 用いられるものであって、
前記反射部が縦横に配列されているとともに、前記撮像装置に対する正規配置姿 勢を示す姿勢が定められており、その正規配置姿勢において画像素子の縦配列方 向と反射部の縦配列方向とのなす角度 Θ力 0° 、 《、 90° — α及び 90° の近傍 を避けた角度に設定されている請求項 6記載の光学部材 (ここで αは、 tan a =反射 部の横配列ピッチ Z反射部の縦配列ピッチで表される角度であり、横配列ピッチ≤ 縦配列ピッチとする。）。
[8] 前記角度 0が、
約 10° ≤ 0≤約 a— 10° 、約 a + 10≤ 0≤約 80° — a、又は約 100° - a≤ Θ≤約 80°
である請求項 7記載の光学部材。
[9] 前記反射部が縦横にほぼ等ピッチで配列されて 、る場合にぉ 、て、前記角度 Θが 、約 22. 5° である請求項 7又は 8記載の光学部材。
PCT/JP2006/316608 2005-08-26 2006-08-24 光照射装置及び光学部材 WO2007023894A1 (ja)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US12/064,702 US8049152B2 (en) 2005-08-26 2006-08-24 Light irradiation apparatus and optical member having multiple reflecting sections and an antireflection film
JP2007532166A JP4584312B2 (ja) 2005-08-26 2006-08-24 光照射装置及び光学部材
EP06796721.6A EP1930718B1 (en) 2005-08-26 2006-08-24 Inspection device with light irradiation device
CN2006800311288A CN101248348B (zh) 2005-08-26 2006-08-24 光照射装置和光学构件

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2005-245800 2005-08-26
JP2005245800 2005-08-26

Publications (1)

Publication Number Publication Date
WO2007023894A1 true WO2007023894A1 (ja) 2007-03-01

Family

ID=37771637

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/JP2006/316608 WO2007023894A1 (ja) 2005-08-26 2006-08-24 光照射装置及び光学部材

Country Status (6)

Country Link
US (1) US8049152B2 (ja)
EP (1) EP1930718B1 (ja)
JP (1) JP4584312B2 (ja)
KR (1) KR101033737B1 (ja)
CN (1) CN101248348B (ja)
WO (1) WO2007023894A1 (ja)

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP2003443A1 (de) * 2008-02-11 2008-12-17 Texmag GmbH Vertriebsgesellschaft Vorrichtung zum Erfassen eines Bildes
JP2014179316A (ja) * 2013-03-14 2014-09-25 Panasonic Corp 導波光ディフューザパネル及び導波光ディフューザパネルの製造方法
JP2016065839A (ja) * 2014-09-26 2016-04-28 シーシーエス株式会社 光照射装置及びワーク検査装置
JP2016100244A (ja) * 2014-11-25 2016-05-30 スタンレー電気株式会社 表示装置
JP2017227534A (ja) * 2016-06-22 2017-12-28 シーシーエス株式会社 光照射装置、及び、検査システム
WO2022149356A1 (ja) 2021-01-07 2022-07-14 シーシーエス株式会社 光照射装置

Families Citing this family (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE202014000264U1 (de) 2014-01-10 2015-04-13 Novomatic Ag Leuchtvorrichtung
TWM502499U (zh) * 2015-02-16 2015-06-11 Yi-He Lin 遊戲機之發光面板
DE102015006012B4 (de) * 2015-05-13 2017-02-02 Oligo Lichttechnik Gmbh Leuchte zur optischen Kontrolle von Oberflächen
DE102016103070A1 (de) * 2016-02-22 2017-08-24 Texmag Gmbh Vertriebsgesellschaft Inspektions- und/oder Bahnbeobachtungsvorrichtung, Verwendung einer Anordnung als Hintergrundblende oder Durchlichtsender in der Inspektions- und/oder der Bahnbeobachtungsvorrichtung und Verfahren zum Betreiben der Inspektions- und/oder Bahnbeobachtungsvorrichtung
EP3540411A4 (en) * 2016-10-31 2020-07-15 Leimac Ltd. INSPECTION DEVICE
EP3710813B1 (en) 2017-11-13 2023-09-20 Illumina, Inc. System and method for large sample analysis of thin film
JP7027926B2 (ja) * 2018-02-07 2022-03-02 オムロン株式会社 画像検査装置および照明装置
EP3524967B1 (en) 2018-02-07 2024-01-31 OMRON Corporation Image inspection device and lighting device
JP7143740B2 (ja) * 2018-02-07 2022-09-29 オムロン株式会社 画像検査装置および照明装置
SG11202101854YA (en) * 2018-08-31 2021-03-30 Ccs Inc Light projecting device
EP3702217A1 (en) * 2019-03-01 2020-09-02 Inalfa Roof Systems Group B.V. A transparent roof assembly for a vehicle roof
KR102078662B1 (ko) * 2019-07-19 2020-02-19 이석길 플랫 돔 조명 장치
EP4023932A4 (en) * 2019-08-27 2022-07-06 Mitsubishi Electric Corporation LIGHTING DEVICE

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH06273753A (ja) * 1993-03-19 1994-09-30 Sekisui Chem Co Ltd 液晶ディスプレイ用面光源装置
JP2000162595A (ja) * 1998-11-30 2000-06-16 Kyocera Corp 液晶表示装置
JP2001166149A (ja) * 1999-12-13 2001-06-22 Pioneer Electronic Corp 面状光源装置、及びそのための導光板
JP2002277642A (ja) * 2001-03-16 2002-09-25 Sanyo Electric Co Ltd 導光体の製造方法、その製造方法によって製造された導光体、面照明装置および表示装置
JP2003098093A (ja) * 2001-09-25 2003-04-03 Ccs Inc 検査用照明装置

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5428468A (en) * 1993-11-05 1995-06-27 Alliedsignal Inc. Illumination system employing an array of microprisms
EP0879991A3 (en) * 1997-05-13 1999-04-21 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Illuminating system
US5883684A (en) * 1997-06-19 1999-03-16 Three-Five Systems, Inc. Diffusively reflecting shield optically, coupled to backlit lightguide, containing LED's completely surrounded by the shield
EP0950851B1 (en) * 1998-04-17 2006-03-01 Nitto Denko Corporation Light conductive plate, surface light source device, and reflection type liquid-crystal display
JP3020931B1 (ja) 1998-11-19 2000-03-15 竹中システム機器株式会社 ビデオカメラ
JP2002311432A (ja) 2001-04-13 2002-10-23 Kyocera Corp 反射型液晶表示装置
JP3773865B2 (ja) * 2002-03-06 2006-05-10 三洋電機株式会社 導光板および表示装置
JP2003317519A (ja) * 2002-04-18 2003-11-07 Koninkl Philips Electronics Nv 面照明装置及びこれを用いた表示装置
JP4294992B2 (ja) 2003-03-31 2009-07-15 シャープ株式会社 反射型液晶表示装置

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH06273753A (ja) * 1993-03-19 1994-09-30 Sekisui Chem Co Ltd 液晶ディスプレイ用面光源装置
JP2000162595A (ja) * 1998-11-30 2000-06-16 Kyocera Corp 液晶表示装置
JP2001166149A (ja) * 1999-12-13 2001-06-22 Pioneer Electronic Corp 面状光源装置、及びそのための導光板
JP2002277642A (ja) * 2001-03-16 2002-09-25 Sanyo Electric Co Ltd 導光体の製造方法、その製造方法によって製造された導光体、面照明装置および表示装置
JP2003098093A (ja) * 2001-09-25 2003-04-03 Ccs Inc 検査用照明装置

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
See also references of EP1930718A4 *

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP2003443A1 (de) * 2008-02-11 2008-12-17 Texmag GmbH Vertriebsgesellschaft Vorrichtung zum Erfassen eines Bildes
JP2014179316A (ja) * 2013-03-14 2014-09-25 Panasonic Corp 導波光ディフューザパネル及び導波光ディフューザパネルの製造方法
JP2016065839A (ja) * 2014-09-26 2016-04-28 シーシーエス株式会社 光照射装置及びワーク検査装置
JP2016100244A (ja) * 2014-11-25 2016-05-30 スタンレー電気株式会社 表示装置
JP2017227534A (ja) * 2016-06-22 2017-12-28 シーシーエス株式会社 光照射装置、及び、検査システム
WO2022149356A1 (ja) 2021-01-07 2022-07-14 シーシーエス株式会社 光照射装置
KR20230129231A (ko) 2021-01-07 2023-09-07 씨씨에스 가부시키가이샤 광조사 장치

Also Published As

Publication number Publication date
CN101248348A (zh) 2008-08-20
KR101033737B1 (ko) 2011-05-09
CN101248348B (zh) 2012-05-30
EP1930718A4 (en) 2012-01-04
US20090302204A1 (en) 2009-12-10
KR20080047534A (ko) 2008-05-29
JPWO2007023894A1 (ja) 2009-02-26
US8049152B2 (en) 2011-11-01
EP1930718B1 (en) 2014-11-19
EP1930718A1 (en) 2008-06-11
JP4584312B2 (ja) 2010-11-17

Similar Documents

Publication Publication Date Title
WO2007023894A1 (ja) 光照射装置及び光学部材
CN100590427C (zh) 图像检查装置以及采用该图像检查装置的图像检查方法
JP5435996B2 (ja) 近接型撮像装置、及び撮像フィルタ
JP2009500632A (ja) 平面的に配列された光源により放出される収束光線の実現
JP2008102103A (ja) 光照射装置
WO2011052018A1 (ja) 撮像装置の照明光学系
CN111624724B (zh) 相机模块及电子装置
JP4068588B2 (ja) 光照射装置
US8022927B1 (en) Low-cost graphic input device with uniform sensitivity and no keystone distortion
JP2017102078A (ja) 外観検査装置及び外観検査方法
KR20110125906A (ko) 레티클 검사장치
CN1246801C (zh) 光学指纹采集仪
KR102185960B1 (ko) 반사도트들이 구비된 검사용 조명장치
JP2017227534A (ja) 光照射装置、及び、検査システム
JP6482223B2 (ja) 光照射装置及びワーク検査装置
JP2643550B2 (ja) 外観検査装置
JP5437016B2 (ja) 画像処理用照明装置
JP2005033589A (ja) 撮像装置
JP4090116B2 (ja) 照明装置
JP2007147547A (ja) 濃度ムラ検査装置
JP2004234178A (ja) 画像入力装置及び電子機器
JP2015091030A (ja) 画像入力装置
JP2011075534A (ja) 曲面外観検査装置
JP2022164665A (ja) 瞳モジュール及び検査装置
JP2003050208A (ja) 紙カップ内面検査方法および装置

Legal Events

Date Code Title Description
WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 200680031128.8

Country of ref document: CN

121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application
WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 2007532166

Country of ref document: JP

WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 1020087003275

Country of ref document: KR

NENP Non-entry into the national phase

Ref country code: DE

WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 2006796721

Country of ref document: EP

WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 12064702

Country of ref document: US