JP3020931B1 - ビデオカメラ - Google Patents

Abstract

【要約】 【課題】 ゴーストやモアレ縞の発生が防止され、高精
度な撮像が可能なビデオカメラを提供することである。 【解決手段】 ビデオカメラ１は、ハウジング３内に固
体撮像素子５、撮像素子基板９および複数の回路基板１
０を備える。固体撮像素子５は撮像素子基板９に保持さ
れている。固体撮像素子５は、フォトダイオードウエハ
６および凹部７ａが設けられたパッケージ７により構成
される。凹部７ａの底面にフォトダイオードウエハ６が
取り付けられ、凹部７ａを覆うように反射防止膜光学フ
ィルタ８が装着される。ハウジング３の開口部にはレン
ズマウント２が取り付けられ、レンズマウント２にはレ
ンズリング４が取り付けられる。これにより、レンズマ
ウント２の開口部２ｂおよびレンズリング４の開口部４
ａにより反射防止膜光学フィルタ８と外部との間に連続
空間１５が形成される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、被写体の検査また
は測定に用いられるビデオカメラに関する。

【０００２】

【従来の技術】産業用ビジョンシステムにおける撮像装
置として、ＣＣＤ（電荷結合素子）型またはＭＯＳ（金
属酸化物半導体）型の固体撮像素子を用いたビデオカメ
ラが使用されている。

【０００３】図１０に示すように、固体撮像素子５は、
パッケージ７の凹部７ａ内に感光部であるフォトダイオ
ードウエハ（固体撮像素子チップ）６が取り付けられて
なる。パッケージ７の凹部７ａを覆うようにフォトダイ
オードウエハ６を保護するためのウエハ保護ガラス３０
が装着されている。このウエハ保護ガラス３０は、通
常、接着剤によりパッケージ７に強固に固定されてい
る。

【０００４】このような固体撮像素子５がレンズ取り付
け用の開口部を有するハウジング内に収納される。ハウ
ジングの開口部には、固体撮像素子を保護するための固
体撮像素子保護ガラスが取り付けられてる。

【０００５】このような従来のビデオカメラにおいて、
撮像の際には、被写体からの光が固体撮像素子保護ガラ
スおよびウエハ保護ガラス３０を透過し、フォトダイオ
ードウエハ６の受光面に結像される。フォトダイオード
ウエハ６では、光電変換が行われ、被写体に対応する出
力信号が得られる。フォトダイオードウエハ６の出力信
号に種々の信号処理がなされ、被写体の画像を示す映像
信号が得られる。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】上記のようなビデオカ
メラは、種々の検査および測定を行うために用いること
ができる。例えば、レーザダイオードの検査では、レー
ザダイオードから出射されるレーザ光のビームスポット
の形状が真円となっているか否かを判定するとともにビ
ームスポットの直径を測定する必要がある。この場合に
は、レーザダイオードから出射されたレーザ光をビデオ
カメラの固体撮像素子に直接入射させることによりレー
ザ光のビームスポットを撮像し、ビームスポットの画像
に基づいてビームスポットの直径を算出するとともにビ
ームスポットの形状を観察する。

【０００７】また、例えば格子パターンの格子間隔を測
定する際には、レーザ光を格子パターンに照射し、その
透過光をビデオカメラの固体撮像素子に入射させること
により、格子パターンの影を撮像し、この影の画像に基
づいて格子パターンの格子間隔を算出することができ
る。

【０００８】しかしながら、上記の従来のビデオカメラ
では、得られた画像にゴーストやモアレ縞が発生し、画
質が低下することがあった。そのため、微小なスポット
や微細なパターンを高精度に検査または測定することが
困難となっていた。

【０００９】そこで、本発明の目的は、ゴーストやモア
レ縞の発生が防止され、高精度な撮像が可能なビデオカ
メラを提供することである。

【００１０】

【課題を解決するための手段および発明の効果】本発明
者は、固体撮像素子を用いたビデオカメラによる高精度
な撮像を可能とすべく種々の実験および検討を行った結
果、ゴーストやモアレ縞の発生がフォトダイオードウエ
ハ保護ガラスおよび固体撮像素子保護ガラスによる光の
多重反射に起因するという知見を得た。そして、その知
見に基づいて以下の発明を案出した。

【００１１】第１の発明に係るビデオカメラは、開口部
を有するレンズ取り付け部が設けられたハウジウング
と、凹部を有し、凹部がレンズ取り付け部の開口部に面
するようにハウジウング内に配置されたパッケージと、
パッケージの凹部内に設けられた固体撮像素子チップ
と、凹部を覆うようにパッケージに装着され、特定の波
長域の光を透過する反射防止膜光学フィルタとを備え、
レンズ取り付け部の開口部と反射防止膜光学フィルタと
の間に連続空間が形成されたものである。

【００１２】本発明に係るビデオカメラにおいては、レ
ンズ取り付け部の開口部から入射した光が連続空間を通
してパッケージに装着された反射防止膜光学フィルタに
到達し、特定の波長域の光が反射防止膜光学フィルタを
ほとんど減衰することなく透過して固体撮像素子チップ
の受光面に入射する。この場合、固体撮像素子チップの
受光面で一部の光が反射されても、その反射光は特定の
波長域の波長を有するので、反射防止膜光学フィルタを
透過する。レンズ取り付け部の開口部と反射防止膜光学
フィルタとの間には連続空間が形成されているので、反
射防止膜フィルタを透過した特定の波長域の反射光は再
び反射されることなく、外部へ出射される。

【００１３】それにより、反射防止膜光学フィルタと固
体撮像素子チップの受光面との間で光の多重反射が生じ
ない。したがって、ゴーストやモアレ縞を生じることな
く固体撮像素子チップの受光面に被写体に対応する像が
正確に形成される。

【００１４】また、レンズ取り付け部の開口部から入射
した光のうち特定の波長域以外の波長の光は反射防止膜
光学フィルタで反射される。この反射光は、再び反射さ
れることなく連続空間を通して外部へ出射される。

【００１５】したがって、特定の波長域の光自体を被写
体として撮像する場合または特定の波長域の光を用いて
被写体を撮像する場合には、外乱光の影響を受けること
なく、被写体を正確に撮像することができる。

【００１６】また、反射防止膜光学フィルタにより撮像
素子チップの受光面が保護されるので、撮像素子チップ
の受光面が物理的または化学的損傷を受けることもな
い。

【００１７】第２の発明に係るビデオカメラは、第１の
発明に係るビデオカメラの構成において、反射防止膜光
学フィルタは、波長６５０ｎｍから１０００ｎｍの範囲
内の光を透過するものである。

【００１８】この場合、波長６５０ｎｍから１０００ｎ
ｍの範囲内の光のみが反射防止膜フィルタを透過し、固
体撮像素子チップの受光面に入射する。したがって、波
長６５０ｎｍから１０００ｎｍの範囲内の光自体を撮像
する際または波長６５０ｎｍから１０００ｎｍの範囲内
の光を用いて被写体を撮像する際に、外乱光の影響を受
けることなく正確な像が得られる。

【００１９】第３の発明に係るビデオカメラは、第１の
発明に係るビデオカメラの構成において、反射防止膜光
学フィルタは、波長６５０ｎｍから１０００ｎｍの範囲
内で１％以下の光の反射率を有するものである。

【００２０】この場合、波長６５０ｎｍから１０００ｎ
ｍの範囲内の光のほとんどが反射防止膜フィルタを透過
し、固体撮像素子チップの受光面に入射する。したがっ
て、波長６５０ｎｍから１０００ｎｍの範囲内の光自体
を撮像する際または波長６５０ｎｍから１０００ｎｍの
範囲内の光を用いて被写体を撮像する際に、外乱光の影
響を受けることなく正確な像が得られる。

【００２１】第４の発明に係るビデオカメラは、開口部
を有するレンズ取り付け部が設けられたハウジングと、
凹部を有し、凹部がレンズ取り付け部の開口部に面する
ようにハウジング内に配置されたパッケージと、パッケ
ージの凹部内に設けられた固体撮像素子チップと、固体
撮像素子チップの受光面にコーティングされた透明絶縁
膜とを備え、レンズ取り付け部の開口部と透明絶縁膜と
の間に連続空間が形成されたものである。

【００２２】本発明に係るビデオカメラにおいては、レ
ンズ取り付け部の開口部から入射した光が連続空間を通
してほとんど減衰することなく透明絶縁膜に到達し、透
明絶縁膜を透過して固体撮像素子チップの受光面に入射
する。

【００２３】この場合、レンズ取り付け部の開口部と透
明絶縁膜との間には連続空間が形成されているので、固
体撮像素子チップの受光面で一部の光が反射しても、そ
の反射光は再び反射されることなく連続空間を通して外
部へ出射される。

【００２４】それにより、光の減衰および多重反射が生
じない。したがって、ゴーストやモアレ縞を生じること
なく撮像素子チップの受光面に被写体に対応する像が正
確に形成される。

【００２５】また、透明絶縁膜により撮像素子チップの
受光面が保護されるので、撮像素子チップの受光面が物
理的または化学的損傷を受けることもない。

【００２６】

【発明の実施の形態】図１（ａ）は本発明の第１の実施
例におけるビデオカメラの断面図、図１（ｂ）は図１
（ａ）のビデオカメラの正面図である。

【００２７】図１に示すように、ビデオカメラ１は、角
筒形状のハウジング３内に固体撮像素子５、撮像素子基
板９および複数の電子回路基板１０を備える。固体撮像
素子５は撮像素子基板９に保持されている。

【００２８】この固体撮像素子５は、感光部であるフォ
トダイオードウエハ（固体撮像素子チップ）６およびパ
ッケージ７により構成される。パッケージ７には矩形の
凹部７ａが設けられ、その凹部７ａの底面にフォトダイ
オードウエハ６が取り付けられている。パッケージ７の
凹部７ａを覆うように反射防止膜光学フィルタ８が装着
されている。固体撮像素子５は、反射防止膜光学フィル
タ８がハウジング３の開口部側を向くように配置されて
いる。

【００２９】ハウジング３の開口部にはレンズマウント
２が取り付けられている。レンズマウント２の前面には
円形の凹部２ａが形成され、円形の凹部２ａの底面の中
央部に矩形の開口部２ｂが形成されている。レンズマウ
ント２の円形の凹部２ａには円形の開口部４ａを有する
円筒状のレンズリング４が取り付けられている。レンズ
リング４の内周面にはレンズ取り付け用の雌ねじが形成
されている。

【００３０】レンズリング４の開口部４ａおよびレンズ
マウント２の開口部２ｂにより外部と反射防止膜光学フ
ィルタ８とをつなぐ連続空間１５が形成されている。

【００３１】フォトダイオードウエハ６は、光を受光す
ると電荷を発生するフォトダイオードからなる画素が数
μｍの等ピッチで数十万個〜数百万個２次元マトリクス
状に配列されたものである。反射防止膜光学フィルタ８
は、特定の波長域の光を透過し、特定の波長域以外の波
長の光を反射する性質を有する。図２は図１の反射防止
膜光学フィルタ８の反射率の波長依存性を示す図であ
る。

【００３２】図２に示すように、この反射防止膜光学フ
ィルタ８においては、波長６５０ｎｍから１０００ｎｍ
の範囲で反射率が１．０％よりも小さく、波長７００ｎ
ｍから９５０ｎｍの範囲で反射率が０．５％よりも小さ
くなっている。これにより、反射防止膜光学フィルタ８
は、波長６５０ｎｍから１０００ｎｍの範囲の光をほと
んど減衰させることなく透過し、波長６５０ｎｍ以下の
光を反射する。

【００３３】図３は図１のビデオカメラ信号処理系の構
成を示すブロック図である。図３において、同期信号発
生器２２は、同期信号を発生し、その同期信号をタイミ
ング発生器２１およびシャッタ制御部２３に与える。タ
イミング発生器２１は、同期信号に基づいてタイミング
信号を発生し、そのタイミング信号をドライバ回路部２
０およびシャッタ制御部２３に与える。

【００３４】ドライバ回路部２０は、垂直ドライバおよ
び水平ドライバを含み、タイミング信号に応答して固体
撮像素子５における電荷の転送動作および出力動作を制
御する。シャッタ制御部２３は、タイミング信号および
同期信号に応答して固体撮像素子５における画像の取り
込みの開始タイミングを制御する。ビデオ増幅回路部２
４は、固体撮像素子５の出力信号を増幅するとともにそ
の出力信号に信号処理を行い、所定の形式の映像信号を
出力する。

【００３５】なお、ドライバ回路部２０、タイミング発
生器２１、同期信号発生器２２、シャッタ制御部２３お
よびビデオ増幅回路部２４は、図１の電子回路基板１０
に形成される。

【００３６】図１のビデオカメラにおいては、レンズリ
ング４の開口部４ａから入射した光が連続空間１５を通
して固体撮像素子５のパッケージ７に装着された反射防
止膜光学フィルタ８に到達し、特定の波長域の光がほと
んど減衰することなく反射防止膜光学フィルタ８を透過
してフォトダイオードウエハ６の受光面に入射する。こ
の場合、フォトダイオードウエハ６の受光面で一部の光
が反射されても、その反射光は特定の波長域の波長を有
するので、反射防止膜光学フィルタ８を透過する。反射
防止膜光学フィルタ８とレンズリング４の開口部４ａと
の間には連続空間１５が形成されているので、反射防止
膜光学フィルタ８を透過した特定の波長域の反射光は再
び反射されることなく、外部へ出射される。

【００３７】このように、反射防止膜光学フィルタ８と
フォトダイオードウエハ６の受光面との間で光の多重反
射が生じないので、ゴーストやモアレ縞を生じることな
くフォトダイオードウエハ６の受光面に被写体に対応す
る像が正確に形成される。その結果、映像信号のノイズ
成分が少なく、Ｓ／Ｎ（信号対雑音）比の高い良質の映
像が得られる。

【００３８】また、レンズリング４の開口部４ａから入
射した光のうち特定の波長域以外の光は反射防止膜光学
フィルタ８で反射される。この反射光は、再び反射され
ることなく連続空間１５を通して外部に出射される。

【００３９】したがって、特定の波長域の光自体を被写
体として撮像する場合または特定の波長域の光を用いて
被写体を撮像する場合には、外乱光の影響を受けること
なくかつ光の減衰が生じることなく、被写体を正確に撮
像することができる。

【００４０】また、反射防止膜光学フィルタ８によりフ
ォトダイオードウエハ６の受光面が保護されるので、フ
ォトダイオードウエハ６の受光面が器物の接触等による
物理的損傷または薬品の付着等による化学的損傷を受け
ることがない。

【００４１】図４は図１のビデオカメラを用いたレーザ
光のビームスポットの撮像を示す図であり、（ａ）は固
体撮像素子の断面図、（ｂ）はフォトダイオードウエハ
の受光面を示す図である。また、図５は従来のビデオカ
メラを用いたレーザ光のビームスポットの撮像を示す図
であり、（ａ）は固体撮像素子の断面図、（ｂ）はフォ
トダイオードウエハの受光面を示す図である。

【００４２】図４（ａ）に示すように、図１のビデオカ
メラにおいては、６５０ｎｍから１０００ｎｍの範囲内
の波長を有するレーザ光１００が反射防止膜光学フィル
タ８に入射すると、そのレーザ光１００は反射防止膜光
学フィルタ８をほとんど減衰することなく透過し、フォ
トダイオードウエハ６の受光面に入射する。それによ
り、図４（ｂ）に示すように、フォトダイオードウエハ
６の受光面にビームスポット像３５が形成される。

【００４３】フォトダイオードウエハ６の受光面で一部
の光が反射すると、その反射光３２は波長６５０ｎｍか
ら１０００ｎｍの範囲内の波長を有するので、反射防止
膜光学フィルタ８を透過し、外部へ出射される。反射光
３２のうち一部が反射防止膜光学フィルタ８の内側の面
で反射されると、その反射光によりフォトダイオードウ
エハ６の受光面のビームスポット像３５の周囲に環状の
像３６が形成される。

【００４４】しかし、この反射防止膜光学フィルタ８で
は、波長６５０ｎｍから１０００ｎｍの範囲内の光の反
射率が１．０％以下と小さいので、環状の像３６の光量
は極めて小さくなる。したがって、フォトダイオードウ
エハ６の受光面には、実質的にレーザ光１００のビーム
スポット像３５のみが形成される。

【００４５】また、波長６５０ｎｍから１０００ｎｍの
範囲外の光は、反射防止膜光学フィルタ８で反射され、
フォトダイオードウエハ６の受光面には到達しない。そ
のため、フォトダイオードウエハ６の受光面のビームス
ポット像３５が外乱光の影響を受けない。

【００４６】このように、図１のビデオカメラによれ
ば、光の多重反射によるゴーストおよびモアレ縞が生じ
ないので、ビームスポット３５の形状および直径を正確
に測定することができる。

【００４７】一方、従来のビデオカメラにおいては、図
５（ａ）に示すように、レーザ光１００がフォトダイオ
ードウエハ保護ガラス３０に入射すると、一部の光がフ
ォトダイオードウエハ保護ガラス３０で反射され、残り
の光がフォトダイオードウエハ保護ガラス３０を透過す
る。それにより、図５（ｂ）に示すように、フォトダイ
オードウエハ６の受光面にレーザ光１００のビームスポ
ット像３５が形成される。

【００４８】フォトダイオードウエハ６の受光面で一部
の光が反射され、その反射光３２の一部がフォトダイオ
ードウエハ保護ガラス３０を透過し、残りの光がフォト
ダイオードウエハ保護ガラス３０の内側の面で再び反射
され、その反射光３２ｂがフォトダイオードウエハ６の
受光面に入射する。それにより、ビームスポット像３５
の周囲に環状の像３６が形成される。

【００４９】さらに、反射光３２ｂの一部がフォトダイ
オードウエハ６の受光面で反射され、その反射光３３の
一部がフォトダイオードウエハ保護ガラス３０を透過
し、残りの光がフォトダイオードウエハ保護ガラス３０
の内側の面で反射され、その反射光３３ｂがフォトダイ
オードウエハ６の受光面に入射する。それにより、フォ
トダイオードウエハ６の受光面の環状の像３６の周囲に
さらに環状の像３７が形成される。

【００５０】フォトダイオードウエハ保護ガラス３０に
よる反射光３１および透過光３２ａ，３３ａは固体撮像
素子保護ガラス（図示せず）により反射される。

【００５１】このように、従来のビデオカメラによれ
ば、光の多重反射によりレーザ光１００のビームスポッ
ト像３５の周囲に環状の像３６，３７が多重に形成され
るとともに、固体撮像素子保護ガラスおよびフォトダイ
オードウエハ保護ガラス３０をレーザ光１００が透過す
る際に光量が減衰するため、ビームスポット３５の形状
および直径を正確に測定することが困難となる。

【００５２】図６は図１のビデオカメラを用いた格子状
部材の撮像を示す斜視図、図７は格子状部材を撮像した
際のフォトダイオードウエハの受光面を示す図である。

【００５３】図６において、格子状部材４０の格子間隔
を測定する際には、レーザ光１００を格子状部材４０に
照射し、その透過光を固体撮像素子５のフォトダイオー
ドウエハ６の受光面に入射させる。それにより、フォト
ダイオードウエハ６の受光面に格子状部材４０の影に相
当する像４１が形成される。

【００５４】図７に示すように、フォトダイオードウエ
ハ６の受光面には、フォトダイオードからなる複数の画
素６ａが２次元マトリクス状に配列されている。フォト
ダイオードウエハ６の受光面に形成される像４１の画素
位置を検出することにより格子状部材４０の格子間隔を
算出することができる。

【００５５】本実施例のビデオカメラによると、ゴース
トおよびモアレ縞を生じることなく格子状部材４０を正
確に撮像することができるので、格子状部材４０の格子
間隔を正確に測定することが可能となる。

【００５６】図７の例では、例えばフォトダイオード６
ａが７μｍ×７μｍのピッチで等間隔に配列されている
場合には、格子状部材４０の格子間隔は２８μｍと測定
される。

【００５７】なお、本実施例のビデオカメラは、上記の
例に限らず、その他の種々の被写体の検査または測定に
用いることができる。例えば、レーザ光をレンズを通し
てビデオカメラのフォトダイオードウエハ６に入射さ
せ、レーザ光のビームスポットを撮像し、ビームスポッ
トの形状を観察することにより、レンズの特性を検査す
ることもできる。

【００５８】また、被写体にレーザ光を照射し、その反
射光をフォトダイオードウエハ６で受光することにより
被写体の検査または測定を行うことができる。たとえ
ば、ＣＣＤにレーザ光を照射し、その反射光をフォトダ
イオードウエハ６で受光することにより、ＣＣＤの画素
の並びを検査することができる。

【００５９】図８（ａ）は本発明の第２の実施例におけ
るビデオカメラの断面図、図８（ｂ）は図８（ａ）のビ
デオカメラの正面図である。

【００６０】本実施例のビデオカメラ１ａと図１の第１
の実施例のビデオカメラ１との違いは、本実施例のビデ
オカメラ１ａのフォトダイオードウエハ６の受光面には
透明絶縁膜１２がコーティングされていること、およ
び、本実施例のビデオカメラ１ａでは、図１の反射防止
膜光学フィルタ８が設けられず、パッケージ７の凹部７
ａ、レンズマウント２の開口部２ｂおよびレンズリング
４の開口部４ａにより透明絶縁膜１２と外部とをつなぐ
連続空間１５ａが形成されていることである。

【００６１】透明絶縁膜１２の材料としては、光を透過
する公知の絶縁膜、例えばＳｉＯ₂，Ａｌ₂ Ｏ₃ 、その
他の種々の絶縁膜を用いることができる。また、透明絶
縁膜１２として、第１の実施例の反射防止膜光学フィル
タ８と同様に、特定の波長域、例えば波長６５０ｎｍ〜
１０００ｎｍの範囲の光を透過する反射防止膜を用いて
もよい。

【００６２】図８のビデオカメラ１ａにおいては、レン
ズリング４の開口部４ａから入射した光が連続空間１５
ａを通して減衰することなく透明絶縁膜１２に到達し、
透明絶縁膜１２を透過してフォトダイオードウエハ６の
受光面に入射する。

【００６３】この場合、レンズリング４の開口部４ａか
ら透明絶縁膜１２との間に連続空間１５ａが形成されて
いるので、フォトダイオードウエハ６の受光面で反射し
た反射光は連続空間１５ａを通して外部へ出射される。

【００６４】このように、光の減衰または多重反射が生
じないため、ゴーストやモアレ縞を生じることなくフォ
トダイオードウエハ６の受光面に被写体に対応する像が
正確に形成される。その結果、映像信号のノイズ成分が
少なく、Ｓ／Ｎ比の高い良質の映像が得られる。

【００６５】また、透明絶縁膜１２によりフォトダイオ
ードウエハ６の受光面が保護されるので、気体による腐
食などの化学変化がフォトダイオードウエハ６の受光面
に生じない。

【００６６】図９は図８のビデオカメラを用いたレーザ
光のビームスポットの撮像を示す図であり、（ａ）は固
体撮像素子の断面図、（ｂ）はフォトダイオードウエハ
の受光面を示す図である。

【００６７】図９（ａ）に示すように、図８のビデオカ
メラ１ａの透明絶縁膜１２にレーザ光１００が入射する
と、そのレーザ光１００は透明絶縁膜１２を透過してフ
ォトダイオードウエハ６の受光面に入射する。それによ
り、図９（ｂ）に示すように、フォトダイオードウエハ
６の受光面にビームスポット像３５が形成される。

【００６８】フォトダイオードウエハ６の受光面で光が
反射すると、その反射光３２は連続空間１５を通して外
部へ出射される。

【００６９】このように、図８のビデオカメラ１ａで
は、透明絶縁膜１２から外部までの間に連続空間１５が
形成されているので、レーザ光が減衰することなくフォ
トダイオードウエハ６の受光面に入射する。さらに、光
の多重反射によるゴーストおよびモアレ縞が生じること
もない。そのため、ビームスポット３５の形状および直
径を正確に測定することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施例におけるビデオカメラの
断面図および正面図である。

【図２】図１の反射防止膜光学フィルタの反射率の波長
依存性を示す図である。

【図３】図１のビデオカメラ信号処理系の構成を示すブ
ロック図である。

【図４】図１のビデオカメラを用いたレーザ光のビーム
スポットの撮像を示す図である。

【図５】従来のビデオカメラを用いたレーザ光のビーム
スポットの撮像を示す図である。

【図６】図１のビデオカメラを用いた格子状部材の撮像
を示す斜視図である。

【図７】格子状部材を撮像した際のフォトダイオードウ
エハの受光面を示す図である。

【図８】本発明の第２の実施例におけるビデオカメラの
断面図および正面図である。

【図９】図８のビデオカメラを用いたレーザ光のビーム
スポットの撮像を示す図である。

【図１０】従来の固体撮像素子の断面図である。

【符号の説明】

１，１ａ ビデオカメラ ２ レンズマウント ２ｂ 開口部 ３ ハウジウング ４ レンズリング ４ａ 開口部 ６ フォトダイオードウエハ ７ パッケージ ７ａ 凹部 ８ 反射防止膜光学フィルタ １２ 透明絶縁膜 １５，１５ａ 連続空間

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平２−5687（ＪＰ，Ａ) 特開 平１−262661（ＪＰ，Ａ) 特開 平１−194465（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−131550（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−10963（ＪＰ，Ａ) 実開 昭62−55358（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) H04N 5/225 H04N 5/335

Claims (4)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 開口部を有するレンズ取り付け部が設け
   られたハウジングと、 凹部を有し、前記凹部が前記レンズ取り付け部の前記開
   口部に面するように前記ハウジング内に配置されたパッ
   ケージと、 前記パッケージの前記凹部内に設けられた固体撮像素子
   チップと、 前記凹部を覆うように前記パッケージに装着され、特定
   の波長域の光を透過する反射防止膜光学フィルタとを備
   え、 前記レンズ取り付け部の前記開口部と前記反射防止膜光
   学フィルタとの間に連続空間が形成されたことを特徴と
   するビデオカメラ。
2. 【請求項２】 前記反射防止膜光学フィルタは、波長６
   ５０ｎｍから１０００ｎｍの範囲内の光を透過すること
   を特徴とする請求項１記載のビデオカメラ。
3. 【請求項３】 前記反射防止膜光学フィルタは、波長６
   ５０ｎｍから１０００ｎｍの範囲内で１％以下の光の反
   射率を有することを特徴とする請求項１記載のビデオカ
   メラ。
4. 【請求項４】 開口部を有するレンズ取り付け部が設け
   られたハウジングと、 凹部を有し、前記凹部が前記レンズ取り付け部の前記開
   口部に面するように前記ハウジング内に配置されたパッ
   ケージと、 前記パッケージの前記凹部内に設けられた固体撮像素子
   チップと、 前記固体撮像素子チップの受光面にコーティングされた
   透明絶縁膜とを備え、 前記レンズ取り付け部の前記開口部と前記透明絶縁膜と
   の間に連続空間が形成されたことを特徴とするビデオカ
   メラ。