JPH07167623A - Ｉｃリード高さ測定装置 - Google Patents
Ｉｃリード高さ測定装置Info
- Publication number
- JPH07167623A JPH07167623A JP31707393A JP31707393A JPH07167623A JP H07167623 A JPH07167623 A JP H07167623A JP 31707393 A JP31707393 A JP 31707393A JP 31707393 A JP31707393 A JP 31707393A JP H07167623 A JPH07167623 A JP H07167623A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- height
- dimensional sensor
- laser light
- lead
- light
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Lead Frames For Integrated Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 ＩＣリード高さ検査装置の基準面の高さ方向
のキャリブレーションに基準ブロックを不要とする。 【構成】 レーザ光源１から射出されたレーザ光は、ミ
ラー２により一方向に走査され、投光レンズ３によりレ
ーザ光は収束され平行に走査される。そのレーザ光は、
組み合わされたシリンドリカルレンズ６、７によりＩＣ
４のリード１４からの散乱光を受光する位置に配置され
た第１の一次元センサ８と、第１の一次元センサ８と電
気的ゼロ点が集光位置測定方向に対して同じ位置になり
ガラス板５の表面からの反射光を受光する位置に配置さ
れた第２の一次元センサ９に集光される。一次元センサ
８と第２の一次元センサ９の出力信号から高さ演算回路
１１によりリードの高さが求められる。そのため、キャ
リブレーションを必要としない。
のキャリブレーションに基準ブロックを不要とする。 【構成】 レーザ光源１から射出されたレーザ光は、ミ
ラー２により一方向に走査され、投光レンズ３によりレ
ーザ光は収束され平行に走査される。そのレーザ光は、
組み合わされたシリンドリカルレンズ６、７によりＩＣ
４のリード１４からの散乱光を受光する位置に配置され
た第１の一次元センサ８と、第１の一次元センサ８と電
気的ゼロ点が集光位置測定方向に対して同じ位置になり
ガラス板５の表面からの反射光を受光する位置に配置さ
れた第２の一次元センサ９に集光される。一次元センサ
８と第２の一次元センサ９の出力信号から高さ演算回路
１１によりリードの高さが求められる。そのため、キャ
リブレーションを必要としない。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ＩＣリード高さ測定装
置に関し、特にＩＣを基準面上に置いた時の各リードの
その基準面からの高さを測定するＩＣリード高さ測定装
置に関する。
置に関し、特にＩＣを基準面上に置いた時の各リードの
その基準面からの高さを測定するＩＣリード高さ測定装
置に関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体素子のリードの平坦度を測定する
ための従来のＩＣリード高さ測定装置は、たとえば特願
平０２−２６９８２３号に示されているように半導体素
子の下方からリードにレーザ光を走査し、走査線内にお
ける反射ビームスポットの位置変化を検出して高さを測
定し、半導体素子の側または高さ測定光学系の側いずれ
か一方を機械的に移動させ全リードの高さを測定するよ
うに構成されている。
ための従来のＩＣリード高さ測定装置は、たとえば特願
平０２−２６９８２３号に示されているように半導体素
子の下方からリードにレーザ光を走査し、走査線内にお
ける反射ビームスポットの位置変化を検出して高さを測
定し、半導体素子の側または高さ測定光学系の側いずれ
か一方を機械的に移動させ全リードの高さを測定するよ
うに構成されている。
【０００３】図６は従来のＩＣリード高さ測定装置の構
成を示す斜視図である。図６に示すリード高さ測定装置
は、ＩＣ４を搭載し高さ測定の基準面となるガラス板５
と、レーザ光を出射するレーザ光源１と、このレーザ光
を一方向に走査するミラー２と、走査されたレーザ光を
平行光に集光しガラス板５に対し斜めの角度からＩＣリ
４のリード１４に走査させる投光レンズ３と、レーザ光
がリード１４で反射して得られたレーザ光の走査方向に
軸方向が平行なシリンドリカルレンズ６と、レーザ光が
シリドリカルレンズ６を通過して得られたレーザ光の走
査方向に軸方向が直角なシリンドリカルレンズ７と、レ
ーザ光がシリンドリカルレンズ７で集光して得られたビ
ームスポットを受光してその位置を検出する一次元セン
サ８と、ガラス板５の表面からの正反射光を一次元セン
サ８の前で遮光する遮光マスク１２とから構成される高
さ測定光学系と、一次元センサ８の出力信号から高さ信
号を演算する高さ演算回路１３と、高さ測定光学系を移
動させる副走査移動機構１０とで構成される。
成を示す斜視図である。図６に示すリード高さ測定装置
は、ＩＣ４を搭載し高さ測定の基準面となるガラス板５
と、レーザ光を出射するレーザ光源１と、このレーザ光
を一方向に走査するミラー２と、走査されたレーザ光を
平行光に集光しガラス板５に対し斜めの角度からＩＣリ
４のリード１４に走査させる投光レンズ３と、レーザ光
がリード１４で反射して得られたレーザ光の走査方向に
軸方向が平行なシリンドリカルレンズ６と、レーザ光が
シリドリカルレンズ６を通過して得られたレーザ光の走
査方向に軸方向が直角なシリンドリカルレンズ７と、レ
ーザ光がシリンドリカルレンズ７で集光して得られたビ
ームスポットを受光してその位置を検出する一次元セン
サ８と、ガラス板５の表面からの正反射光を一次元セン
サ８の前で遮光する遮光マスク１２とから構成される高
さ測定光学系と、一次元センサ８の出力信号から高さ信
号を演算する高さ演算回路１３と、高さ測定光学系を移
動させる副走査移動機構１０とで構成される。
【０００４】図６に示すリード高さ測定装置では、ガラ
ス板５の上にＩＣ４を載せ、レーザ光源１からのレーザ
ビームをＩＣ４のリード１４にガラス板５のななめ下方
から投光レンズ３を使って投光し、ＩＣ４のリード１４
からの反射光をレンズ６、７により一次元センサ８上に
集光し、その集光像位置を一次元センサ８で検出し、一
次元センサ８からの出力信号を高さ演算回路１３で処理
しＩＣ４のリード１４の高さを測定する。
ス板５の上にＩＣ４を載せ、レーザ光源１からのレーザ
ビームをＩＣ４のリード１４にガラス板５のななめ下方
から投光レンズ３を使って投光し、ＩＣ４のリード１４
からの反射光をレンズ６、７により一次元センサ８上に
集光し、その集光像位置を一次元センサ８で検出し、一
次元センサ８からの出力信号を高さ演算回路１３で処理
しＩＣ４のリード１４の高さを測定する。
【０００５】図７は図６のリード高さ測定装置で基準面
であるガラス板５の上面の高さを求めてキャリブレーシ
ョンする方法を示す図である。高さ方向のキャリブレー
ションは、ガラス板５の上に表面の平面度を高精度に出
した基準ブロック１５を載せ、基準ブロック１５の下面
の高さを測定することで行っていた。
であるガラス板５の上面の高さを求めてキャリブレーシ
ョンする方法を示す図である。高さ方向のキャリブレー
ションは、ガラス板５の上に表面の平面度を高精度に出
した基準ブロック１５を載せ、基準ブロック１５の下面
の高さを測定することで行っていた。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】上述した従来のリード
高さ測定装置は、ガラス板の汚れ等によりガラス板を交
換したときの高さ方向のキャリブレーションをガラス板
の上に表面の平面度を高精度にだした基準ブロックを載
せ、その高さを測定することで行っていたので、高精度
で高価な基準ブロックを必要とし、また、ガラス板と基
準ブロックの間にゴミが入った場合に誤った基準面にキ
ャリブレーションされるという欠点があった。
高さ測定装置は、ガラス板の汚れ等によりガラス板を交
換したときの高さ方向のキャリブレーションをガラス板
の上に表面の平面度を高精度にだした基準ブロックを載
せ、その高さを測定することで行っていたので、高精度
で高価な基準ブロックを必要とし、また、ガラス板と基
準ブロックの間にゴミが入った場合に誤った基準面にキ
ャリブレーションされるという欠点があった。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明のＩＣリード高さ
測定装置は、ＩＣを搭載し高さ測定の基準面となるガラ
ス板と、レーザ光を出射するレーザ光源と、前記レーザ
光をある一点を中心とする放射状に走査するミラーと、
前記走査されたレーザ光を平行光に集光しかつ前記ガラ
ス板に対し斜めの角度から前記ＩＣのリードを走査させ
る投光レンズと、前記レーザ光が前記リードの裏面また
は前記ガラス板の表面で反射して得られたレーザ光の走
査方向と軸方向が平行な第１のシリンドリカルレンズ
と、レーザ光が前記第１のシリンドリカルレンズを通過
して得られたレーザ光の走査方向と軸方向が直交する第
２のシリンドリカルレンズと、前記第２のシリンドリカ
ルレンズを通ってきた前記ＩＣのリードからの散乱光を
受光する位置に配置された第１の一次元センサと、前記
第１の一次元センサと電気的ゼロ点が集光位置測定方向
に対して同じ位置になるように前記第１の一次元センサ
と並列し前記第２のシリンドリカルレンズを通ってきた
前記ガラス板の表面からの反射光を受光する位置に配置
された第２の一次元センサと、前記第１の一次元センサ
と前記第２の一次元センサの出力信号からリードの高さ
を演算する高さ演算回路とを含んで構成される。
測定装置は、ＩＣを搭載し高さ測定の基準面となるガラ
ス板と、レーザ光を出射するレーザ光源と、前記レーザ
光をある一点を中心とする放射状に走査するミラーと、
前記走査されたレーザ光を平行光に集光しかつ前記ガラ
ス板に対し斜めの角度から前記ＩＣのリードを走査させ
る投光レンズと、前記レーザ光が前記リードの裏面また
は前記ガラス板の表面で反射して得られたレーザ光の走
査方向と軸方向が平行な第１のシリンドリカルレンズ
と、レーザ光が前記第１のシリンドリカルレンズを通過
して得られたレーザ光の走査方向と軸方向が直交する第
２のシリンドリカルレンズと、前記第２のシリンドリカ
ルレンズを通ってきた前記ＩＣのリードからの散乱光を
受光する位置に配置された第１の一次元センサと、前記
第１の一次元センサと電気的ゼロ点が集光位置測定方向
に対して同じ位置になるように前記第１の一次元センサ
と並列し前記第２のシリンドリカルレンズを通ってきた
前記ガラス板の表面からの反射光を受光する位置に配置
された第２の一次元センサと、前記第１の一次元センサ
と前記第２の一次元センサの出力信号からリードの高さ
を演算する高さ演算回路とを含んで構成される。
【０００８】
【実施例】次に、本発明の実施例について、図面を参照
して詳細に説明する。
して詳細に説明する。
【０００９】図１は本発明の一実施例を示す斜視図であ
る。本実施例のＩＣリード高さ測定装置は、ＩＣ１４を
搭載し上面が高さ測定の基準面となるガラス板５と、レ
ーザ光を出射するレーザ光源１と、このレーザ光をある
一点を中心とする放射状に走査するミラー２と、走査さ
れたレーザ光を平行光に集光しかつガラス板５に対し斜
めの角度からＩＣ４のリード１４の裏面に走査させる投
光レンズ３と、レーザ光がリード１４の裏面またはガラ
ス板５の表面で反射して得られたレーザ光の走査方向と
軸方向が平行な第１のシリンドリカルレンズ６と、レー
ザ光がシリンドリカルレンズ６を通過して得られたレー
ザ光の走査方向と軸方向が直角な第２のシリンドリカル
レンズ７と、第２のシリンドリカルレンズ７を通ってき
たＩＣ４のリード１４からの散乱光を受光する位置に配
置された第１の一次元センサ８と、第１の一次元センサ
８と並列に設けられた第１の一次元センサ８と電気ゼロ
点が集光位置測定方向に対して同じ位置になりガラス板
５の表面からの正反射光を受抗する位置に配置された第
２の一次元センサ９とから構成される高さ測定光学系
と、第１の一次元センサ８と第２の一次元センサ９の出
力信号からリードの高さを演算する高さ演算回路１１
と、高さ測定光学系を移動させる副走査移動機構１０と
から構成される。
る。本実施例のＩＣリード高さ測定装置は、ＩＣ１４を
搭載し上面が高さ測定の基準面となるガラス板５と、レ
ーザ光を出射するレーザ光源１と、このレーザ光をある
一点を中心とする放射状に走査するミラー２と、走査さ
れたレーザ光を平行光に集光しかつガラス板５に対し斜
めの角度からＩＣ４のリード１４の裏面に走査させる投
光レンズ３と、レーザ光がリード１４の裏面またはガラ
ス板５の表面で反射して得られたレーザ光の走査方向と
軸方向が平行な第１のシリンドリカルレンズ６と、レー
ザ光がシリンドリカルレンズ６を通過して得られたレー
ザ光の走査方向と軸方向が直角な第２のシリンドリカル
レンズ７と、第２のシリンドリカルレンズ７を通ってき
たＩＣ４のリード１４からの散乱光を受光する位置に配
置された第１の一次元センサ８と、第１の一次元センサ
８と並列に設けられた第１の一次元センサ８と電気ゼロ
点が集光位置測定方向に対して同じ位置になりガラス板
５の表面からの正反射光を受抗する位置に配置された第
２の一次元センサ９とから構成される高さ測定光学系
と、第１の一次元センサ８と第２の一次元センサ９の出
力信号からリードの高さを演算する高さ演算回路１１
と、高さ測定光学系を移動させる副走査移動機構１０と
から構成される。
【００１０】図２は一次元センサ８，９上でのレーザ反
射光の集光像の関係を示す図である。シリンドリカルレ
ンズ６，７を適当に設計することによりセンサ８，９の
位置でガラス板５から正反射されるレーザビームを点状
の象２２に集光し、リード１４からの散乱する反射光を
集光位置測定方向の直交方向に長い楕円の象２２に集光
することができる。第１の一次元センサ８はＩＣ４のリ
ード１４からの反射光の集光像を２１の一部を受光する
が高さ測定時の基準面となるガラス板５からの反射光
（像２２）を受光しない位置に配置される。第２の一次
元センサ９の高さ測定時の基準面となるガラス板５から
の反射光が受光される位置で第１の一次元センサ８と電
気的ゼロ点が同一になるように配置される。すなわち、
リード１４からの反射光の像２１が一次元センサ８上の
電気的ゼロ点にある時は一次元センサ９も象２１を電気
的ゼロ点で受光している。ガラス板５からの正反射光が
第２の一次元センサ９上の一点に集光されるようにシリ
ンドリカルレンズ６、７の組合せを設計することによ
り、ＩＣ４のリード１４からの散乱光は集光位置測定方
向にのみフォーカスされそれと直交方向に長い楕円の像
となる。
射光の集光像の関係を示す図である。シリンドリカルレ
ンズ６，７を適当に設計することによりセンサ８，９の
位置でガラス板５から正反射されるレーザビームを点状
の象２２に集光し、リード１４からの散乱する反射光を
集光位置測定方向の直交方向に長い楕円の象２２に集光
することができる。第１の一次元センサ８はＩＣ４のリ
ード１４からの反射光の集光像を２１の一部を受光する
が高さ測定時の基準面となるガラス板５からの反射光
（像２２）を受光しない位置に配置される。第２の一次
元センサ９の高さ測定時の基準面となるガラス板５から
の反射光が受光される位置で第１の一次元センサ８と電
気的ゼロ点が同一になるように配置される。すなわち、
リード１４からの反射光の像２１が一次元センサ８上の
電気的ゼロ点にある時は一次元センサ９も象２１を電気
的ゼロ点で受光している。ガラス板５からの正反射光が
第２の一次元センサ９上の一点に集光されるようにシリ
ンドリカルレンズ６、７の組合せを設計することによ
り、ＩＣ４のリード１４からの散乱光は集光位置測定方
向にのみフォーカスされそれと直交方向に長い楕円の像
となる。
【００１１】図３は第１の一次元センサ８からの出力信
号による高さ信号ａと光量信号ｂ、図４は第２の一次元
センサ９からの出力信号による高さ信号ｃと光量信号
ｄ、図５は第１の一次元センサ８と第２の一次元センサ
９からの高さ信号ａ、ｃを合成した高さ演算回路１３の
出力信号ｅを示す。なお、図３、４、５で横軸はレーザ
光の走査方向の位置を示す。第１の一次元センサ８の出
力から得られる光量信号ｂにあるしきい値を設定し、そ
のしきい値以上の場合はその高さ信号ａを有効とし、し
きい値以下の場合は第２の一次元センサ９の出力から得
られる高さ信号ｃを有効とする。この有効な部分の高さ
信号ａ、ｃから得た高さ信号ｅは、ガラス表面とリード
の高さの情報を両方含んでいるので、この信号ｅから直
接リードの高さを求めることができる。
号による高さ信号ａと光量信号ｂ、図４は第２の一次元
センサ９からの出力信号による高さ信号ｃと光量信号
ｄ、図５は第１の一次元センサ８と第２の一次元センサ
９からの高さ信号ａ、ｃを合成した高さ演算回路１３の
出力信号ｅを示す。なお、図３、４、５で横軸はレーザ
光の走査方向の位置を示す。第１の一次元センサ８の出
力から得られる光量信号ｂにあるしきい値を設定し、そ
のしきい値以上の場合はその高さ信号ａを有効とし、し
きい値以下の場合は第２の一次元センサ９の出力から得
られる高さ信号ｃを有効とする。この有効な部分の高さ
信号ａ、ｃから得た高さ信号ｅは、ガラス表面とリード
の高さの情報を両方含んでいるので、この信号ｅから直
接リードの高さを求めることができる。
【００１２】
【発明の効果】本発明のリード高さ測定装置は、リード
の高さを測定するときにガラス板表面からの反射光によ
り直接基準面の測定を同時に行う構成にしたので、高精
度で高価な基準ブロックを必要とせず、作業者の手間を
大幅に省くことができ、またゴミ等により基準ブロック
の浮きが原因の不正確なキャリブレーションを防ぐこと
ができるという効果がある。
の高さを測定するときにガラス板表面からの反射光によ
り直接基準面の測定を同時に行う構成にしたので、高精
度で高価な基準ブロックを必要とせず、作業者の手間を
大幅に省くことができ、またゴミ等により基準ブロック
の浮きが原因の不正確なキャリブレーションを防ぐこと
ができるという効果がある。
【図１】本発明の一実施例の構成を示す斜視図である。
【図２】図１に示す一次元スンサ８、９上の集光像を示
す図である。
す図である。
【図３】図１に示す一次元センサ８の出力による光量と
高さを示す波形図である。
高さを示す波形図である。
【図４】図１に示す一次元センサ９の出力による光量と
高さを示す波形図である。
高さを示す波形図である。
【図５】図１に示す高さ演算回路１３の出力を示す波形
図である。
図である。
【図６】従来のＩＣリード高さ測定装置の斜視図であ
る。
る。
【図７】図６のＩＣリード高さ測定装置のキャリブレー
ション方法を説明するための図である。
ション方法を説明するための図である。
１ レーザ光源 ２ ミラー ３ 投光レンズ ４ ＩＣ ５ ガラス板 ６、７ シリンドリカルレンズ ８、９ 一次元センサ １０ 副走査移動機構 １１ 高さ演算回路 １２ 遮光マスク １３ 高さ演算回路 １４ リード １５ 基準ブロック
Claims (1)
- 【請求項１】 ＩＣを搭載し高さ測定の基準面となるガ
ラス板と、レーザ光を出射するレーザ光源と、前記レー
ザ光をある一点を中心とする放射状に走査するミラー
と、前記走査されたレーザ光を平行光に集光しかつ前記
ガラス板に対し斜めの角度から前記ＩＣのリードを走査
させる投光レンズと、前記レーザ光が前記リードの裏面
または前記ガラス板の表面で反射して得られたレーザ光
の走査方向と軸方向が平行な第１のシリンドリカルレン
ズと、レーザ光が前記第１のシリンドリカルレンズを通
過して得られたレーザ光の走査方向と軸方向が直交する
第２のシリンドリカルレンズと、前記第２のシリンドリ
カルレンズを通ってきた前記ＩＣのリードからの散乱光
を受光する位置に配置された第１の一次元センサと、前
記第１の一次元センサと電気的ゼロ点が集光位置測定方
向に対して同じ位置になるように前記第１の一次元セン
サと並列し前記第２のシリンドリカルレンズを通ってき
た前記ガラス板の表面からの反射光を受光する位置に配
置された第２の一次元センサと、前記第１の一次元セン
サと前記第２の一次元センサの出力信号からリードの高
さを演算する高さ演算回路とを含むことを特徴とするＩ
Ｃリード高さ測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5317073A JP2522191B2 (ja) | 1993-12-16 | 1993-12-16 | Ｉｃリ―ド高さ測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5317073A JP2522191B2 (ja) | 1993-12-16 | 1993-12-16 | Ｉｃリ―ド高さ測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07167623A true JPH07167623A (ja) | 1995-07-04 |
| JP2522191B2 JP2522191B2 (ja) | 1996-08-07 |
Family
ID=18084125
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5317073A Expired - Lifetime JP2522191B2 (ja) | 1993-12-16 | 1993-12-16 | Ｉｃリ―ド高さ測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2522191B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002107116A (ja) * | 2000-10-03 | 2002-04-10 | Susumu Nakatani | 平坦度等測定装置 |
| CN107328373A (zh) * | 2017-08-18 | 2017-11-07 | 深圳市伙伴科技有限公司 | 引脚平整度检测系统及方法 |
-
1993
- 1993-12-16 JP JP5317073A patent/JP2522191B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002107116A (ja) * | 2000-10-03 | 2002-04-10 | Susumu Nakatani | 平坦度等測定装置 |
| CN107328373A (zh) * | 2017-08-18 | 2017-11-07 | 深圳市伙伴科技有限公司 | 引脚平整度检测系统及方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2522191B2 (ja) | 1996-08-07 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2510786B2 (ja) | 物体の形状検出方法及びその装置 | |
| US5105296A (en) | Method and apparatus for detecting beam spot shape | |
| JP2000121324A (ja) | 厚さ測定装置 | |
| JPH04319615A (ja) | 光学式高さ測定装置 | |
| JP4215220B2 (ja) | 表面検査方法及び表面検査装置 | |
| JP2522191B2 (ja) | Ｉｃリ―ド高さ測定装置 | |
| JPH05223533A (ja) | 高さ測定装置 | |
| JPH0511257B2 (ja) | ||
| JPH0943456A (ja) | 光モジュール光軸調整装置及び方法 | |
| JP3222214B2 (ja) | 対象面の位置検出装置 | |
| JP2565274B2 (ja) | 高さ測定装置 | |
| JP2901103B2 (ja) | 原稿検知センサ | |
| JP2571420B2 (ja) | 光学的検出装置 | |
| JPH0769271B2 (ja) | 欠陥検査装置 | |
| JP2705458B2 (ja) | 実装基板外観検査装置 | |
| JPH0783617A (ja) | リード高さ測定装置 | |
| JP3319666B2 (ja) | エッジ検出装置 | |
| JP2675051B2 (ja) | 光学式非接触位置測定装置 | |
| US4533828A (en) | Arrangement for increasing the dynamic range of optical inspection devices to accommodate varying surface reflectivity characteristics | |
| JPH0661115A (ja) | ギャップ検出設定装置 | |
| JP2588679Y2 (ja) | 表面粗さ検査装置 | |
| JPH02161302A (ja) | 形状測定装置 | |
| JPS62274248A (ja) | 表面状態測定装置 | |
| JPH0678889B2 (ja) | 高さ測定装置 | |
| JPH10173872A (ja) | 原稿検知装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 19960402 |