WO2007010871A1 - 静電霧化器 - Google Patents

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WO2007010871A1
WO2007010871A1 PCT/JP2006/314098 JP2006314098W WO2007010871A1 WO 2007010871 A1 WO2007010871 A1 WO 2007010871A1 JP 2006314098 W JP2006314098 W JP 2006314098W WO 2007010871 A1 WO2007010871 A1 WO 2007010871A1
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voltage
current
transistor
discharge
detector
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PCT/JP2006/314098
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English (en)
French (fr)
Inventor
Shosuke Akisada
Sumio Wada
Tatsuhiko Matsumoto
Toshihisa Hirai
Original Assignee
Matsushita Electric Works, Ltd.
Hirai, Kishiko
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Publication date
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    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05B—SPRAYING APPARATUS; ATOMISING APPARATUS; NOZZLES
    • B05B5/00—Electrostatic spraying apparatus; Spraying apparatus with means for charging the spray electrically; Apparatus for spraying liquids or other fluent materials by other electric means
    • B05B5/08—Plant for applying liquids or other fluent materials to objects
    • B05B5/10—Arrangements for supplying power, e.g. charging power
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05B—SPRAYING APPARATUS; ATOMISING APPARATUS; NOZZLES
    • B05B5/00—Electrostatic spraying apparatus; Spraying apparatus with means for charging the spray electrically; Apparatus for spraying liquids or other fluent materials by other electric means
    • B05B5/025—Discharge apparatus, e.g. electrostatic spray guns
    • B05B5/057—Arrangements for discharging liquids or other fluent material without using a gun or nozzle
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05B—SPRAYING APPARATUS; ATOMISING APPARATUS; NOZZLES
    • B05B5/00—Electrostatic spraying apparatus; Spraying apparatus with means for charging the spray electrically; Apparatus for spraying liquids or other fluent materials by other electric means
    • B05B5/001—Electrostatic spraying apparatus; Spraying apparatus with means for charging the spray electrically; Apparatus for spraying liquids or other fluent materials by other electric means incorporating means for heating or cooling, e.g. the material to be sprayed

Definitions

  • the present invention relates generally to an electrostatic atomizer, and more particularly to an electrostatic atomizer that generates a mist of charged fine particles having a size of nanometer order.
  • An electrostatic atomizer of this kind can be found, for example, in the patent literature of Japanese Patent No. 3260150 (European Patent Publication No. 0 486 198 A1 or US Pat. No. 5,337,963).
  • the prior art device described in this document comprises a liquid storage cartridge suitable for electrostatic spraying and high voltage means for applying an electrostatic potential to the liquid.
  • the cartridge includes a capillary structure that extends into the cartridge to supply liquid from the cartridge to the spray output tube at the tip of the capillary structure by capillary action.
  • the cartridge also includes means for providing a conductive path that allows charging of the liquid.
  • the high voltage means applies the potential to the liquid at the mouth of the spray output tube, a potential gradient is developed between the innermost and outer peripheral surfaces of the mouth, and the liquid flows across the end surface of the spray output tube toward the outermost surface. Pump out. As a result, the liquid is electrostatically ejected into a plurality of ligaments arranged so as to form a halo around the round.
  • the atomizer includes a discharge electrode, a counter electrode disposed opposite to the discharge electrode, a cooling source that cools the discharge electrode to form dew as water thereon, and a discharge electrode between the electrodes.
  • a high-voltage power supply for applying a high voltage In this way, by cooling the discharge electrode to form dew, it is possible to save the trouble of supplying water.
  • the atomizer repeats Rayleigh splitting to realize electrostatic atomization. That is, when a high voltage is applied between the electrodes, negative charges are concentrated on the discharge electrode, and the water held at the tip of the discharge electrode rises like a cone to form a tiller cone. Negative charge is te When concentrated at the tip of the cone, the repulsive force of the high-density electric charge causes Rayleigh splitting, splitting and scattering the water of the tiller cone.
  • an object of the present invention is to stably generate a high voltage for forming a mist of charged fine particles having a nanometer order in size, in addition to omitting the trouble of supplying water.
  • the electrostatic atomizer of the present invention includes a discharge electrode, a counter electrode disposed to face the discharge electrode, a cooling source that cools the discharge electrode and forms dew as water thereon, A high voltage power source for applying a high voltage for discharge between the electrodes and a voltage detector for detecting the voltage between the electrodes are provided.
  • the power supply includes a control element and a constant voltage element that have opposite temperature characteristics.
  • the control element takes in the voltage detected by the detector via the constant voltage element, and feedback controls the high voltage applied between the electrodes so that the voltage corresponds to a specified discharge voltage. Configured to adjust. In this configuration, the discharge voltage between the electrodes is stabilized to the specified discharge voltage, so even under unstable temperature conditions, a high voltage is stably generated to form a mist of charged fine particles of nanometer order size. Can be made.
  • the atomizer includes a current detector that detects a current flowing between the electrodes, and a controller that adjusts a cooling rate of the cooling source based on a predetermined current value.
  • the controller increases the cooling rate when a current value detected by the current detector is smaller than the specified current value, and increases the cooling rate when the current value is larger than the specified current value. Lower. In this configuration, the amount of dew formed on the discharge electrode can be adjusted appropriately.
  • control element is a transistor
  • constant voltage element has a temperature characteristic opposite to a temperature characteristic between a base and an emitter of the transistor.
  • the atomizer further includes a resistor for adjusting a high voltage of the power source.
  • the resistor is connected in series with the constant voltage element. In this configuration, the high voltage can be adjusted by the resistance value.
  • FIG. 1 is a schematic diagram of an embodiment according to the present invention.
  • FIG. 2 is a circuit diagram of the current detector shown in FIG. 1 mainly.
  • FIG. 3 An example of input / output characteristics of the current detector of FIG.
  • FIG. 4 is a circuit diagram of the high-voltage power source of FIG.
  • FIG. 5 illustrates the input / output characteristics of the voltage detector of FIG.
  • FIG. 6 illustrates the input / output characteristics of the control element in FIG.
  • FIG. 7 is a circuit diagram of a constant voltage block in an alternative embodiment.
  • FIG. 8 illustrates input / output characteristics of the control element in the embodiment of FIG.
  • FIG. 9 is a circuit diagram of a constant voltage block in another alternative embodiment.
  • FIG. 10 is an explanatory diagram of discharge current control in the enhanced embodiment of FIG.
  • FIG. 1 illustrates one embodiment (ie, an electrostatic atomizer) according to the present invention.
  • the electrostatic atomizer includes a discharge electrode 1, a counter electrode 2, a cooling source 3, a detection unit 4, a DC power supply 5, a high voltage power supply 6, and a controller 7.
  • the discharge electrode 1 has a tip 11 having a teardrop shape and receives a negative or positive high voltage (for example, ⁇ 4.6 kV) from the high-voltage power supply 6 during discharge.
  • the counter electrode 2 is formed in a ring shape whose inner peripheral edge functions as a substantial electrode, and is opposed to the tip 11 of the electrode 1 at a predetermined distance.
  • the electrode 2 is connected to the ground.
  • the cooling source 3 includes, for example, a Peltier module 30 and heat radiating fins 31, and cools the discharge electrode 1 to a temperature equal to or lower than the dew point temperature of the surrounding air to form dew as water thereon.
  • the base of electrode 1 is connected to the cold side of module 30 and fin 31 is connected to the hot side of module 30.
  • the detection unit 4 measures the temperature of the Peltier module 30 and outputs a measured temperature signal to the controller 7, and measures the ambient temperature and outputs the measured temperature signal to the controller 7. It consists of a temperature sensor that applies power and a humidity sensor that measures the ambient humidity and outputs a measured humidity signal to the controller 7.
  • the DC power supply 5 is constituted by, for example, a DCZDC converter 50 and applies a voltage adjusted according to a duty control signal from the controller 7 to the Peltier module 30.
  • the power supply 5 supplies a voltage (V +) to the high voltage power supply 6.
  • the high-voltage power supply 6 includes, for example, a current detector 61, a voltage detector 62, and a high-voltage generator 63, and further includes a constant voltage block 60.
  • the detector 61 detects a current (discharge current) flowing between the electrodes 1 and 2, and outputs a detection current signal (voltage Vi) to the controller 7 (AD input).
  • the detector 62 detects a voltage (discharge voltage) applied between the electrodes 1 and 2, and outputs a detection voltage signal (voltage Vv) to the controller 7 (AD input).
  • the generator 63 generates a high voltage for discharge according to the ON control signal from the controller 7 and applies it between the electrodes 1 and 2, and generates a high voltage according to the OFF control signal from the controller 7. Stop. Details of each part of the power supply 6 will be described later.
  • the controller 7 is composed of, for example, a microcomputer, a storage device, an AZD converter, and the like. Based on the voltage and current from the detectors 61 and 62, the controller 7 outputs the DC power source 5 and the high-voltage power source 6 Control the output of. Both power supplies are controlled in various modes such as a start-up mode and a discharge current control mode.
  • the controller 7 outputs the output power of the DC power source 5 (converter 50).
  • the initial duty control signal is output to the power source 5 for a predetermined time so that the pressure becomes a predetermined initial voltage, thereby adjusting the cooling rate of the Peltier module 30 to the initial cooling rate and Form dew.
  • a time when it is recognized that dew is formed on the electrode 1 may be calculated, and the predetermined time may be set as the calculation time. .
  • the controller 7 applies a high voltage between the electrodes 1 and 2 via the high-voltage power supply 6 while increasing the voltage of the module 30 step by step, and the dew is generated based on the current detected by the current detector 61. It may be controlled to check whether the force is formed on the electrode 1 or not.
  • the controller 7 causes the high voltage power source 6 to generate a high voltage and At the same time that the ON control signal is output to the power source 6 so as to be applied between the poles 1 and 2, the controller 7 detects the current detected by the current detector 61 and the voltage detected by the voltage detector 62. A duty control signal is output to the power supply 5 so as to adjust the cooling rate of the Peltier module 30 by adjusting the output voltage of the DC power supply 5 based on at least the current of the current.
  • the controller 7 causes the high voltage power source 6 to generate a high voltage and At the same time that the ON control signal is output to the power source 6 so as to be applied between the poles 1 and 2, the controller 7 detects the current detected by the current detector 61 and the voltage detected by the voltage detector 62. A duty control signal is output to the power supply 5 so as to adjust the cooling rate of the Peltier module 30 by adjusting the output voltage of the DC power supply 5 based on at least the current of the current.
  • the controller 7 increases the output voltage of the DC power source 5 to increase the cooling rate of the Peltier module 30 if the value of the current detected by the detector 61 is smaller than a predetermined reference current value. And output the duty control signal to power supply 5. Conversely, if the value of the current detected by the detector 61 is larger than the value of the reference current, the controller 7 will reduce the output voltage of the power source 5 to reduce the cooling rate. Is output to power supply 5.
  • the current detector 61 is, for example, an adding circuit composed of an operational amplifier 610, resistors 611-615, and a capacitor 616.
  • FIG. ⁇ Has eight input / output car characteristics. That is, the detector 61 takes in the current Idc flowing between the electrodes 1 and 2 through the resistor 611 inserted in the discharge circuit, adds the current Idc to the reference current Irefl, and corresponds to the sum of Idc and Irefl.
  • Output voltage ⁇ 10 ⁇ 11 1 ⁇ 615 (Irefl + Idc)) to controller 7.
  • Vrefl is the reference voltage and R615 is the resistance of resistor 615.
  • the voltage Vi is a force given by Vrefl—R615 X (Irefl—Idc).
  • the voltage Vi corresponding to the sum of Idc and Ire fl related to (or negative) can be output to the controller 7.
  • the slope of Idc—Vi in Figure 3 is set by resistor 615. Since the resistance of the discharge circuit is very high, resistor 611 is set to a value that does not affect the discharge current, which is 100 k ⁇ in Figure 3.
  • the offset voltage of detector 61 is set to decrease by measuring the error, and is 1.5 [V] in FIG. By measuring the offset voltage of the detector 61 while the discharge is stopped, the temperature drift due to the temperature change can be canceled even during the operation (for example, the discharge current control mode).
  • Vref2 is the reference voltage
  • R621 and R625 are Are the resistances of resistors 621 and 625. Since the direction of the current Idv corresponds to negative in Fig. 4, the voltage Vv is given by Vre! 2 -R625 X (Iref2-VdvZR621) Vdv-Vv The slope is set by resistors 621 and 625, which are 500 ⁇ and 250 kQ, respectively, in Figure 5.
  • the high voltage generator 63 can be divided into an ONZOFF circuit 64, a step-up transformer 65, a voltage doubler circuit 66, an oscillation circuit 67, and a control circuit 68.
  • the circuit 64 includes, for example, a transistor 640 serving as a switch and a resistor 641, and each of the generators 63 is turned on and off in accordance with an ON / NZOFF control signal from the controller 7. That is, the transistor 640 turns on the circuit 67 in accordance with the ON control signal (LOW signal), turns on the generator 63, and turns off the circuit 67 in accordance with the OFF control signal (HIGH or OPEN signal). Turn off. In short, the generator 63 is normally off and generates a high voltage only during operation.
  • the transformer 65 has a primary winding 651 and secondary windings 652 and 653, and induces a high voltage and an ON voltage to the windings 652 and 653 in accordance with the voltage applied to the winding 651, respectively. Also, the wires 651 and 653 are used as components of the circuit 67.
  • the voltage doubler circuit 66 includes, for example, diodes 661 and 662 and capacitors 663 and 664. This circuit 66 covers the high voltage induced on the secondary power line 652 and the voltage of the capacitor 663 charged with the high voltage, and charges the capacitor 664 with twice the high voltage. The negative voltage is applied between electrodes 1 and 2. Therefore, a constant high voltage is applied between the electrodes 1 and 2 from the capacitor 664.
  • the terminal G in FIG. 4 is connected to the ground of the oscillation circuit 67 or the discharge current detection resistor.
  • the oscillation circuit 67 includes, for example, a transistor 670 as a switching element, resistors 671 and 672, and a capacitor 673 in addition to the wires 651 and 653.
  • the circuit 67 itself is an astable oscillator that oscillates in a free-running mode, but the circuit 67 under the control of the control circuit 68 generates an oscillation voltage while adjusting the off-timing of the transistor 670 according to the control. The voltage is applied to the winding 651.
  • Capacitor 673 is provided to speed up switching of transistor 670 and reduce its switching losses.
  • the transistor 640 when the transistor 640 is turned on in accordance with the OFF control signal and the transistor 670 is turned off from the state in which the transistor 640 is turned off in accordance with the ON control signal, the voltage V + is changed to the resistance 671, the wire 653, and Applied to the base of transistor 670 via resistor 672, base current flows between the base emitter of transistor 670. This reduces the collector voltage of transistor 670 by its collector-emitter voltage.
  • the corresponding voltage is applied to the feeder 651
  • the induced voltage is induced by the feeder 653 magnetically coupled to the feeder 651 by the positive feedback of the voltage increase from the feeder 651 to the feeder 653. Applied to the base of the 670.
  • the transistor 670 is rapidly turned on by positive feedback of voltage increase, and the voltage (oscillation voltage) is applied to the winding 651 and boosted by the transformer 65 and the circuit 66.
  • the base current of the transistor corresponding to the transistor 670 is the collector current force. The base current is multiplied by h of the transistor.
  • the off-timing of the transistor 670 is reduced as a result of the voltage at the inductor corresponding to the winding 651 being reduced, resulting in the transistor being turned off rapidly. Controlled by a control circuit 68.
  • the control circuit 68 includes, for example, a transistor 680 as a switch element, a transistor 681 as an amplifying element (control element) for adjusting the off timing of the transistor 670, a diode 68 2-684, and a resistor 685-687. .
  • the diode 682 is provided to prevent the voltage of the winding 653 from being applied as a reverse bias between the base emitters of the transistors 640, 670, 680 and 681 when the transistor 670 is turned off.
  • Transistor 680, diodes 683 and 684 and resistors 685 and 686 are provided to primarily turn off transistor 670. That is, when the transistor 670 is rapidly turned on with positive feedback of voltage increase, the collector current of the transistor 670 increases in proportion to time, so that the voltage of the resistor 685 is controlled under the control of the control element (681). The transistor 680 is turned on with the voltage of the resistor 685. As a result, the base current of transistor 670 is reduced because it is connected in series between the base and ground of transistor 670 via diode 683 and 684 force transistor 680.
  • the basic and latest on-timing of transistor 680 is determined by the relationship between V685 and the sum voltage of V680 and V680. Where V685 is resistor 685
  • V680 and V680 are the base emitters of transistor 680, respectively.
  • Resistor 685 therefore has its on-timing, and thus the basic and most of transistor 670. It is set in consideration of late off timing. In other words, the peak current of resistor 685 is reduced and limited.
  • the transistor 681 and the resistor 687 adjust the on-timing of the transistor 680 within a range limited by the diodes 683 and 684 in accordance with the voltage (Vv) detected by the voltage detector 62. Adjust the off timing. That is, since the transistor 681 is connected in parallel with the diodes 683 and 684, the above sum voltage is in accordance with the input / output (Vv—collector voltage corresponding to the discharge voltage) characteristics of the transistor 681 shown in “A” of FIG. Adjusted.
  • the current Idv corresponding to the discharge voltage Vdv between the electrodes 1 and 2 is larger than the reference current Iref2
  • the voltage Vv and the base voltage of the transistor 681 become higher, and the collector voltage of the transistor 681 becomes higher. Since it becomes lower according to the characteristic A in Fig. 6, the above sum voltage is lower.
  • the on-timing of the transistor 680 becomes earlier and the off-timing of the transistor 670 becomes earlier, so that the voltage Vdv can be lowered.
  • the current Idv is smaller than the current Ire! 2
  • the voltage Vv and the base voltage of the transistor 681 are lower, and the collector voltage of the transistor 681 is higher, so that the sum voltage is higher.
  • the high voltage generator 63 can stably generate a high voltage.
  • the high voltage generator 63 as described above can stably generate a high voltage according to the voltage detected by the voltage detector 62, but in the present embodiment, the constant voltage block 60 is a high voltage generator. It is provided to generate voltage more stably. That is, the high-voltage power supply 6 includes a transistor 681 and a constant voltage block 60 whose temperature characteristics are opposite to each other, and this block 60 is constituted by a Zener diode 600, for example. Therefore, the transistor 681 takes in the voltage detected by the detector 62 via the constant voltage block 60, and the electrode 1 1 so that the voltage corresponds to the specified discharge voltage (voltage corresponding to I ref2). And it operates to adjust the high voltage applied between 2 by feedback control.
  • V681 is the base emitter of transistor 681
  • the voltage is between approx. 0.7V. In this case, when the voltage between the base and the emitter of the transistor 681 decreases as the ambient temperature increases, the discharge voltage between the electrodes 1 and 2 decreases.
  • the transistor 681 has a negative temperature characteristic of about -3 mVZ ° C at the PN junction between its base and emitter, the transistor 681 has a temperature characteristic opposite to that of the transistor 681.
  • a constant voltage block 60 is provided and is preferably located in the vicinity of transistor 681. Further, from the same relationship as the above equation, the block 60 and the resistor 687 are set so that the output voltage of the voltage detector 62 corresponds to a desired discharge voltage.
  • block 60 consists of Zener diode 600
  • high voltage is generated by canceling the negative temperature coefficient of transistor 681 by using a Zener diode with a temperature coefficient of zero near 5V and positive at 5V and above.
  • the temperature coefficient of the vessel 63 can be made zero.
  • the block 60 it is possible to prevent fluctuations in the discharge voltage due to fluctuations in the ambient temperature, and it is possible to generate a high voltage even more stably.
  • the steep characteristic of “A” in FIG. 6 enables the discharge voltage level to be controlled with higher accuracy than in the case of resistors.
  • the constant voltage block 60 of the high voltage power supply 6 is composed of a Zener diode 600 and a resistor (fixed resistor or variable resistor) 601.
  • the resistor 601 is a variable resistor, the input / output characteristics of the transistor 681 can be changed as shown in FIG.
  • the constant voltage block 60 is composed of a transistor 602 and resistors 603 and 604.
  • the transistor 681 has input / output characteristics such as "C" in FIG.
  • the controller 7 adjusts the output voltage of the DC power source 5 based on the current detected by the current detector 61 and the voltage detected by the voltage detector 62.
  • a duty control signal is output to the power source 5 so that the cooling rate of the Peltier module 30 is adjusted.
  • the discharge voltage (V (m)) is selected in advance from a plurality of voltage ranges shown in Table 1 by the user. Therefore, if the voltage between electrodes 1 and 2 changes, the discharge electrode Since the value of the discharge current indicating the amount of dew formed on 1 also changes, the voltage (discharge voltage) detected by the detector 62 is further used, and as shown in Table 1, a predetermined center value is used.
  • the value Im id (n) (reference current value), the upper limit value Imax (n) (threshold value Imax) and the lower limit value Imin (n) are selected for each discharge voltage V (m). Therefore, the controller 7 outputs the duty control signal to the power source 5 so that the current detected by the detector 61 becomes a median value corresponding to the voltage detected by the detector 62.
  • the controller 7 sets the cooling rate of the Peltier module 30 to the cooling value corresponding to the center value based on the current detected by the current detector 61 and the voltage detected by the voltage detector 62.
  • a duty control signal is output to the DC power supply 5 so as to make the rate asymptotic to the rate without overshoot.
  • the controller 7 averages the current and voltage detected by the detectors 61 and 62 at a specified period At.
  • Tl and t2 duty (D (2), t2 and t3 duty (D (3) D (2) + AD (2).
  • Pa and Pb are parameters, D (2), D (3), etc. correspond to any of D1-D256 obtained by dividing 0—100% duty into 256.
  • the correction function F ⁇ D (m-1) ⁇ corresponding to the value of the previous increment ⁇ D (ml) is used, that is, (Pa XA ld (m)-Pb X ⁇ I (m) XF ⁇ D (m-1) ⁇ may be used to calculate the increment AD (m), and the function F ⁇ D (m) ⁇
  • m-1) is low, it has a small value, and when D (ml) is high, it has a large value, which makes it possible to weight the entire duty.
  • the voltage to the Peltier module 30 Since the cooling temperature ⁇ ⁇ of the discharge electrode 1 is also low, dew is likely to be formed on it, so by setting the value of the correction function to 0.5, for example, excessive dew is formed.
  • the value of the correction function is set to 2, for example, to increase the rate of change.
  • ⁇ ⁇ is 5 ° C when the room temperature is 25 ° C and dew point is 20 ° C
  • ⁇ is when the room temperature is 25 ° C and dew point is 10 ° C. Is 15 ° C.

Landscapes

  • Electrostatic Spraying Apparatus (AREA)

Abstract

　放電電極、対向電極、冷却源、高圧電源及び電圧検出器を備える静電霧化器。冷却源は、放電電極を冷却してその上に水としての露を形成する。電源は、電極間に放電用の高電圧を印加する。検出器は、電極間の電圧を検出する。電源は、温度特性が互いに逆である制御素子及び定電圧素子を含む。制御素子は、定電圧素子を介して、検出器で検出される電圧を取り込み、電圧が規定放電電圧に対応するように、電極間に印加される高電圧をフィードバック制御で調整するように動作する。

Description

明 細 書
静電霧化器
技術分野
[0001] 本発明は、一般に静電霧化器、より詳細には、サイズがナノメータオーダーの帯電 微粒子のミストを発生する静電霧化器に関するものである。
背景技術
[0002] このような種類の静電霧化器は、例えば日本国特許番号 3260150(欧州特許公開番 号 0 486 198 A1又は米国特許番号 5,337,963)の特許文献に見られる。該文献に記 載された従来技術装置は、静電噴霧に適した液体の貯蔵用カートリッジと、該液体に 静電電位を印加するための高電圧手段とを備える。カートリッジは毛細構造を含み、 これは、液体を毛細作用によってカートリッジから毛細構造の先端の噴霧出力管に 供給するように、カートリッジ内に伸びる。また、カートリッジは、該液体への帯電付与 を許容する導電経路を提供するための手段を含む。高電圧手段が噴霧出力管の口 の液体に該電位を印加すると、電位勾配が該口の最内外周面間に展開され、噴霧 出力管の端面を横切って該最外周面に向けて該液体を汲み出す。これにより、該液 体は、該ロ周りに輪 (halo)を成すように配列された複数の帯 (ligaments)状に静電射 出される。
[0003] し力しながら、該従来技術装置は、水を該カートリッジ内に補給することを要する。こ の点を解決することができる静電霧化器もまた、本出願人によって別途なされている（ 日本国特許出願公開番号 2006-122819参照)。この霧化器は、放電電極と、該放電 電極に対向配置される対向電極と、該放電電極を冷却してその上に水としての露を 形成する冷却源と、該電極間に放電用の高電圧を印加する高圧電源とを備える。こ のように、放電電極を冷却して露を形成することにより、水を補給する手間を省くこと ができる。
[0004] ところで、該霧化器は、レイリー分裂を繰り返して、静電霧化を実現する。即ち、高 電圧が電極間に印加されると、負電荷が放電電極に集中し、また放電電極の先端に 保持される水が円錐体のように盛り上がってティラーコーンを形成する。負電荷がテ イラ一コーンの先端に集中して高密度になると、高密度の電荷の反発力が、レイリー 分裂を起こして、ティラーコーン状の水を分裂及び飛散させる。このように、レイリー 分裂を繰り返して、静電霧化を実現する霧化器では、高電圧を安定に発生すること が重要である。
発明の開示
[0005] 従って、本発明の目的は、水を補給する手間を省くことに加えて、サイズがナノメー タオーダーの帯電微粒子のミストを形成するための高電圧を安定に発生させることに ある。
[0006] 本発明の静電霧化器は、放電電極と、該放電電極に対向配置される対向電極と、 該放電電極を冷却してその上に水としての露を形成する冷却源と、該電極間に放電 用の高電圧を印加する高圧電源と、該電極間の電圧を検出する電圧検出器とを備 える。該電源は、温度特性が互いに逆である制御素子及び定電圧素子を含む。該 制御素子は、該定電圧素子を介して、該検出器で検出される電圧を取り込み、該電 圧が規定放電電圧に対応するように、該電極間に印加される高電圧をフィードバック 制御で調整するように構成される。この構成では、該電極間の放電電圧が規定放電 電圧に安定ィヒされるので、不安定な温度状態下でも、サイズがナノメータオーダーの 帯電微粒子のミストを形成するための高電圧を安定に発生させることができる。
[0007] 好ましくは、該霧化器は、該電極間を流れる電流を検出する電流検出器と、予め決 められた規定電流の値に基づいて、該冷却源の冷却レイトを調整するコントローラと を更に備える。該コントローラは、該電流検出器で検出される電流の値が該規定電流 の値よりも小さいとき、該冷却レイトを高め、該電流の値が該規定電流の値よりも大き いとき、該レイトを低める。この構成では、放電電極上に形成される露の量を適切に 調整することができる。
[0008] 好ましくは、該制御素子は、トランジスタであり、該定電圧素子は、該トランジスタの ベース及びェミッタ間の温度特性と比較して逆の温度特性を持つ。
[0009] 該霧化器が該電源の高電圧を調整するための抵抗を更に備えることが望ましい。こ の場合、該抵抗は該定電圧素子と直列に接続される。この構成では、高電圧を抵抗 の値で調整することができる。 図面の簡単な説明
[0010] 本発明の好ましい実施形態をさらに詳細に記述する。本発明の他の特徴および利 点は、以下の詳細な記述および添付図面に関連して一層良く理解されるものである
[図 1]本発明による一実施形態の概要図である。
[図 2]主として図 1の電流検出器の回路図である。
[図 3]図 2の電流検出器の入出力特性を例示する。
[図 4]図 1の高圧電源の回路図である。
[図 5]図 4の電圧検出器の入出力特性を例示する。
[図 6]図 4の制御素子の入出力特性を例示する。
[図 7]—代替実施形態における定電圧ブロックの回路図である。
[図 8]図 7の実施形態における制御素子の入出力特性を例示する。
[図 9]別の代替実施形態における定電圧ブロックの回路図である。
[図 10]—の強化された実施形態における放電電流制御の説明図である。
発明を実施するための最良の形態
[0011] 図 1は本発明による一実施形態 (即ち、静電霧化器)を示す。この静電霧化器は、 放電電極 1、対向電極 2、冷却源 3、検知部 4、直流電源 5、高圧電源 6及びコント口 ーラ 7を備える。
[0012] 放電電極 1は、たれ玉 (teardrop)状の先端 11を持ち、放電時に高圧電源 6から負又 は正の高電圧 (例えば、—4. 6kV)を受ける。対向電極 2は、内周縁が実質的な電 極として機能するリング状に形成され、電極 1の先端 11に所定距離離れたところで対 向配置される。また、電極 2は、グランドと接続される。
[0013] 冷却源 3は、例えば、ペルチェモジュール 30及び放熱フィン 31で構成され、周囲 大気の露点温度以下の温度に放電電極 1を冷却してその上に水としての露を形成 する。電極 1の基部は、モジュール 30のコールド側と接続され、フィン 31は、モジユー ル 30のホット側と接続される。
[0014] 検知部 4は、ペルチェモジュール 30の温度を測定して測定温度信号をコントローラ 7に出力するサーミスタ 40、周囲温度を測定して測定温度信号をコントローラ 7に出 力する温度センサ、及び周囲湿度を測定して測定湿度信号をコントローラ 7に出力す る湿度センサ等で構成される。
[0015] 直流電源 5は、例えば、 DCZDCコンバータ 50等で構成され、コントローラ 7からの デューティ制御信号に従って調整される電圧をペルチェモジュール 30に印加する。 また、電源 5は、電圧 (V+)を高圧電源 6に供給する。
[0016] 高圧電源 6は、例えば、電流検出器 61、電圧検出器 62及び高圧発生器 63を備え 、更に定電圧ブロック 60を備える。検出器 61は、電極 1及び 2間に流れる電流 (放電 電流)を検出し、検出電流信号 (電圧 Vi)をコントローラ 7 (AD入力）に出力する。検 出器 62は、電極 1及び 2間に印加される電圧 (放電電圧）を検出し、検出電圧信号（ 電圧 Vv)をコントローラ 7 (AD入力）に出力する。発生器 63は、コントローラ 7からの O N制御信号に従って、放電用の高電圧を発生して電極 1及び 2間に印加し、またコン トローラ 7からの OFF制御信号に従って、高電圧を発生するのを停止する。電源 6の 各部の詳細は後述する。
[0017] コントローラ 7は、例えば、マイコン (マイクロコンピュータ）、記憶装置及び AZD変 換器等で構成され、検出器 61及び 62からの電圧及び電流に基づいて、直流電源 5 の出力及び高圧電源 6の出力を制御する。両電源は、例えば起動モード及び放電 電流制御モード等の各種モードで制御される。
[0018] 例えば、起動モードの場合 (起動時）、放電電極 1が冷却されておらず、露が電極 1 上に形成されていないので、コントローラ 7は、直流電源 5 (コンバータ 50)の出力電 圧が予め決められた初期電圧になるように、所定時間の間、初期デューティ制御信 号を電源 5に出力し、それによりペルチェモジュール 30の冷却レイトを初期冷却レイト に調整して、電極 1上に露を形成する。検知部 4の各検出値及びモジュール 30に印 加される電圧に基づいて、露が電極 1上に形成されると認められる時間を算出し、該 所定時間をその算出時間に設定してもよい。また、コントローラ 7は、モジュール 30の 電圧を段階的に上げながら、高圧電源 6を介して高電圧を電極 1及び 2間に印加し、 電流検出器 61で検出される電流に基づいて、露が電極 1上に形成されている力否 かを確認するように制御してもよ ヽ。
[0019] 放電電流制御モードの場合、コントローラ 7は、高圧電源 6が高電圧を発生して電 極 1及び 2間に印加するように、 ON制御信号を電源 6に出力すると同時に、コント口 ーラ 7は、電流検出器 61で検出される電流及び電圧検出器 62で検出される電圧の うちの少なくとも電流に基づいて、直流電源 5の出力電圧を調整してペルチェモジュ ール 30の冷却レイトを調整するように、デューティ制御信号を電源 5に出力する。こ れにより、水としての露が放電電極 1上に形成されている状態で、放電が電極 1及び 2間に発生すると、電極 1上の水が対向電極 2側に引っ張られてテーラーコーンを形 作り、レイリー分裂がそのテーラーコーンの先端で生じて、サイズがナノメータオーダ 一の帯電微粒子のミストを発生する。
[0020] ミストを安定に発生させるためには、放電電極 1上の露の量を設計段階で決定され る適切な量 (規定範囲内の規定量）に調整する必要がある。もし電極 1上の露の量が 規定量を大きく下回れば、放電は、水と対向電極 2間ではなぐ電極 1及び 2間で起こ つてオゾンの発生等を招く。逆にもし電極 1上の露の量が規定量を大きく上回れば、 短絡電流がより短い、水と電極 2間に流れ、目的サイズの帯電微粒子のミストを発生 させることができなくなる。このため、放電電流制御モードでは、電流検出器 61で検 出される電流 (放電電流）とテーラーコーンの長さとの関係が利用される。即ち、電極 1上の露の量が少なければ、テーラーコーンの長さは短くなり、検出器 61で検出され る電流の値が小さくなる一方、電極 1上の露の量が多ければ、テーラーコーンの長さ は長くなり、検出器 61で検出される電流の値は大きくなる。このように、電極 1及び 2 間に流れる電流を検出器 61で検出することによって、テーラーコーンの長さ（露の量 )を知ることができる。そういう訳で、コントローラ 7は、検出器 61で検出される電流の 値が予め定められた基準電流の値よりも小さければ、直流電源 5の出力電圧を上げ てペルチェモジュール 30の冷却レイトを上げるように、デューティ制御信号を電源 5 に出力する。逆に、検出器 61で検出される電流の値が該基準電流の値よりも大きけ れば、コントローラ 7は、電源 5の出力電圧を下げて該冷却レイトを下げるようにデュ 一ティ制御信号を電源 5に出力する。
[0021] ここで、高圧電源 6の各部について詳細に説明する。図 2に示すように、電流検出 器 61は、例えば、演算増幅器 610、抵抗 611— 615及びキャパシタ 616で構成され る加算回路であり、図 3に示すように、 0.！^ 八の入出カ ー 特性を持っ。 即ち、検出器 61は、放電回路に挿入される抵抗 611を介して、電極 1及び 2間に流 れる電流 Idcを取り込み、電流 Idcを基準電流 Ireflに加えて、 Idc及び Ireflの和に対 応する電圧¥10^= 11 1^615 （Irefl +Idc) )をコントローラ 7に出力する。ここ で、 Vreflは基準電圧、 R615は抵抗 615のレジスタンスである。図 2では、電流 Idcの 向きが負に相当するので、電圧 Viは、 Vrefl— R615 X (Irefl— Idc)で与えられる力 該加算回路は、図 3に示すように、電流 Idcの向き（正又は負）に関係なぐ Idc及び Ire flの和に対応する電圧 Viをコントローラ 7に出力することができる。図 3の Idc— Viの 勾配は、抵抗 615で設定される。放電回路の抵抗が非常に高いので、抵抗 611は、 放電電流に影響を与えない範囲内の値に設定され、図 3では 100k Ωである。また、 検出器 61は、回路部品のばらつきに起因する検出結果 (Vi)の誤差を低減するため のオフセット電圧 (Idc =0の場合の Vi)を含むように構成される。即ち、該誤差は、演 算増幅器 610のオフセット電圧、オフセット電流及び基準電圧のばらつき等のために 、検出器 61の出力に現れる。検出器 61のオフセット電圧は、その誤差を測定して低 減するように設定され、図 3では 1. 5 [V]である。放電停止の間に検出器 61のオフセ ット電圧を測定することで、温度変化による温度ドリフトをキャンセルすることが、動作 (例えば、放電電流制御モード）中においても可能である。
図 4に示すように、電圧検出器 62も、例えば、演算増幅器 620、抵抗 621— 625及 びキャパシタ 626で構成される加算回路であり、図 5に示すように、 0. 5VZkVの入 出力 (Vdv— Vv)特性を持つ。即ち、検出器 62は、高圧発生器 63の出力と接続され る抵抗 621を介して、電極 1及び 2間に印加される電圧 Vdvとして電流 Idv(Idv=Vdv ZR621)を取り込み、電流 Idvを基準電流 Iref2に加えて、 Idv及び Ire!2の和に対応 する電圧Vv(Vv=Vreί —R625 X (Iref2+VdvZR621)をコントローラ 7に出力す る。ここで、 Vref2は基準電圧、 R621及び R625は、それぞれ抵抗 621及び 625のレ ジスタンスである。図 4では、電流 Idvの向きが負に相当するので、電圧 Vvは、 Vre!2 -R625 X (Iref2—VdvZR621)で与えられる。 Vdv— Vvの勾配は、抵抗 621及び 625で設定され、図 5ではそれぞれ 500Μ Ω及び 250k Qである。また、検出器 62は 、検出器 61と同様にオフセット電圧 (Vdv=0の場合の Vv)を含み、図 5では 1. 5 [V] である。放電停止の間に検出器 62のオフセット電圧を測定することで、温度変化によ る温度ドリフトをキャンセルすることが、動作中においても可能である。
[0023] 図 4に示すように、高圧発生器 63は、 ONZOFF回路 64、昇圧トランス 65、倍電圧 回路 66、発振回路 67及び制御回路 68に区分することができる。回路 64は、例えば 、スィッチとしてのトランジスタ 640、及び抵抗 641で構成され、コントローラ 7からの O NZOFF制御信号に従って、それぞれ発生器 63をオン Zオフする。即ち、トランジス タ 640は、 ON制御信号 (LOW信号）に従って回路 67をオンして、発生器 63をオン し、また OFF制御信号 (HIGH又は OPEN信号）に従って回路 67をオフして、発生 器 63をオフする。要するに、発生器 63は、通常オフで、動作時のみに高電圧を発生 する。トランス 65は、一次卷線 651及び二次卷線 652及び 653を有し、卷線 651に 印加された電圧に応じて高電圧及び ON電圧を卷線 652及び 653にそれぞれ誘導 する。また、卷線 651及び 653は、回路 67の構成素子として使用される。
[0024] 倍電圧回路 66は、例えば、ダイオード 661及び 662及びキャパシタ 663及び 664 で構成される。この回路 66は、二次卷線 652に誘導された高電圧とその高電圧で充 電されたキャパシタ 663の電圧とをカ卩えて、キャパシタ 664を 2倍の高電圧で充電し、 そのキャパシタ 664の電圧 (負電圧）を電極 1及び 2間に印加する。従って、一定の高 電圧がキャパシタ 664から電極 1及び 2間に印加されることになる。図 4の端子 Gは、 発振回路 67のグランド又は放電電流検出用の抵抗を介してグランドに接続される。
[0025] 発振回路 67は、例えば、上記卷線 651及び 653にカ卩えて、スイッチング素子として のトランジスタ 670、抵抗 671及び 672及びキャパシタ 673で構成される。この回路 6 7自体は、自走モードで発振する無安定発振器であるが、制御回路 68の制御下の 回路 67は、該制御に従ってトランジスタ 670のオフタイミングを調整しながら発振電 圧を発生させて、該電圧を卷線 651に印加する。キャパシタ 673は、トランジスタ 670 のスイッチングを高速にして、そのスイッチング損失を低減するのに設けられる。
[0026] 即ち、トランジスタ 640が OFF制御信号に従ってオンに保持されてトランジスタ 670 をオフに保持する状態から、トランジスタ 640が ON制御信号に従ってオフされると、 電圧 V+が、抵抗 671、卷線 653及び抵抗 672を介してトランジスタ 670のベースに 印加されて、ベース電流がトランジスタ 670のベースーェミッタ間に流れる。これによ り、トランジスタ 670のコレクタ電圧がそのコレクタ一ェミッタ間電圧だけ低減され、対 応する電圧が卷線 651に印加されると、誘導電圧が、卷線 651から卷線 653への電 圧増大の正帰還により、卷線 651に磁気結合される卷線 653に誘起されてトランジス タ 670のベースに印加される。その結果、トランジスタ 670が電圧増大の正帰還で急 速にオンされ、電圧 (発振電圧）が卷線 651に印加されてトランス 65及び回路 66で 昇圧される。一般の無安定発振器では、例えば、トランジスタ 670に対応するトランジ スタのベース電流は、そのコレクタ電流力 該ベース電流に該トランジスタの h を乗
FE
じて得られるレベルに達した後に減少されて、卷線 651に対応するインダクタの電圧 が低減される結果、該トランジスタが急速にオフされるのである力 本実施形態では、 トランジスタ 670のオフタイミングは、制御回路 68で制御される。
[0027] 制御回路 68は、例えば、スィッチ素子としてのトランジスタ 680、トランジスタ 670の オフタイミング調整用の増幅素子 (制御素子）としてのトランジスタ 681、ダイオード 68 2— 684及び抵抗 685— 687で構成される。ダイオード 682は、トランジスタ 670のォ フ時に、卷線 653の電圧が逆バイアスとしてトランジスタ 640、 670、 680及び 681の 各ベースーェミッタ間に印加するのを防止するために設けられる。
[0028] トランジスタ 680、ダイオード 683及び 684及び抵抗 685及び 686は、トランジスタ 6 70を主としてオフするのに設けられる。即ち、トランジスタ 670が電圧増大の正帰還 で急速にオンされると、トランジスタ 670のコレクタ電流が時間に比例して増大するの で、抵抗 685の電圧が上記制御素子（681)の制御下で時間に比例して増大して、ト ランジスタ 680が抵抗 685の電圧でオンされる。その結果、ダイオード 683及び 684 力 トランジスタ 680を介して、トランジスタ 670のベース及びグランド間に直列に接続 されるので、トランジスタ 670のベース電流が減少する。このように、ベース電流が一 且減少すると、トランジスタ 670のコレクタ電流が減少して卷線 651の電圧が低下さ れるので、トランジスタ 670力 卷線 651から卷線 653への電圧減少の正帰還で急速 にオフされる。トランジスタ 680の基本的及び最も遅いオンタイミングは、 V685と、 V6 80 及び V680 の和電圧との間の関係で決定される。ここで、 V685は抵抗 685の
BE EG
電圧であり、 V680 及び V680 は、それぞれトランジスタ 680のベースーェミッタ
BE BG
間電圧及びそのェミッタ—グランド間電圧 (ダイオード 683及び 684の電圧）である。 従って、抵抗 685は、該オンタイミング、引いてはトランジスタ 670の基本的及び最も 遅いオフタイミングを考慮して設定される。換言すると、抵抗 685のピーク電流が減少 及び制限される。
[0029] トランジスタ 681及び抵抗 687は、電圧検出器 62で検出される電圧 (Vv)に応じて 、トランジスタ 680のオンタイミングを、ダイオード 683及び 684で制限される範囲内で 調整して、トランジスタ 670のオフタイミングを調整する。即ち、トランジスタ 681がダイ オード 683及び 684と並列に接続されるので、上記和電圧は、図 6の" A"に示すトラ ンジスタ 681の入出力（放電電圧に対応する Vv—コレクタ電圧)特性に従って調整さ れる。具体的には、電極 1及び 2間の放電電圧 Vdvに対応する電流 Idvが、基準電流 Iref2よりも大きくなれば、電圧 Vv及びトランジスタ 681のベース電圧がより高くなり、ト ランジスタ 681のコレクタ電圧が図 6の特性 Aに従ってより低くなるので、上記和電圧 力 り低くなる。これにより、トランジスタ 680のオンタイミングがより早くなつて、トランジ スタ 670のオフタイミングがより早くなるので、電圧 Vdvを下げることができる。逆に、 電流 Idvが電流 Ire!2よりも小さければ、電圧 Vv及びトランジスタ 681のベース電圧が より低くなり、トランジスタ 681のコレクタ電圧がより高くなるので、上記和電圧がより高 くなる。これにより、トランジスタ 680のオンタイミングがより遅くなつてトランジスタ 670 のオフタイミングがより遅くなるので、電圧 Vdvを上げることができる。このように、トラン ジスタ 670を繰り返しオン及びオフして、発振電圧を卷線 651に印加することにより、 高圧発生器 63で高電圧を安定に発生させることができる。
[0030] 上記の如ぐ高圧発生器 63は、電圧検出器 62で検出された電圧に応じて、高電圧 を安定に発生させることができるが、本実施形態では、定電圧ブロック 60が、高電圧 をより一層安定に発生させるために設けられる。即ち、高圧電源 6は、温度特性が互 いに逆であるトランジスタ 681及び定電圧ブロック 60を含み、このブロック 60は、例え ばツエナーダイオード 600で構成される。それ故に、トランジスタ 681は、定電圧プロ ック 60を介して、検出器 62で検出される電圧を取り込み、該電圧が規定放電電圧 (I ref2に対応する電圧）に対応するように、電極 1及び 2間に印加される高電圧をフィー ドバック制御で調整するように動作する。
[0031] もし定電圧ブロック 60に代えてレジスタンス Rの抵抗が使用されるなら、トランジスタ 681の入出力特性は、図 6の" B"のような特性になる。この特性においては、トランジ スタ 681の動作時、 Vv= (1 +R/R687) XV681 の関係が成立する。ここで、 R6
BE
87は抵抗 687のレジスタンスであり、 V681 はトランジスタ 681のベース一ェミッタ
BE
間電圧（約 0. 7V)である。この場合、トランジスタ 681のベース—ェミッタ間電圧が周 囲温度の上昇に応じて低下すると、電極 1及び 2間の放電電圧が低下する。
[0032] 本実施形態では、トランジスタ 681が、そのベースーェミッタ間の PN接合に約ー3 mVZ°Cの負の温度特性を有することを考慮して、トランジスタ 681の温度特性と逆 の温度特性を持つ定電圧ブロック 60が設けられ、好ましくはトランジスタ 681の近傍 に配置される。また、上記の式と同様の関係から、ブロック 60及び抵抗 687は、電圧 検出器 62の出力電圧が所望の放電電圧に対応するように設定される。ブロック 60が ツエナーダイオード 600で構成される場合、 5V付近でゼロであって 5V以上で正にな る温度係数を持つツエナーダイオードを使用することで、トランジスタ 681の負の温度 係数を打ち消して高圧発生器 63の温度係数をゼロにすることができる。このように、 ブロック 60を設けることで、周囲温度の変動に起因する放電電圧の変動を防止する ことができ、高電圧をより一層安定に発生させることができる。また、図 6の" A"の急峻 な特性により、放電電圧のレベルを抵抗の場合よりも高精度で制御することができる
[0033] 一代替実施形態において、図 7に示すように、高圧電源 6の定電圧ブロック 60は、 ツエナーダイオード 600及び抵抗（固定抵抗又は可変抵抗) 601で構成される。抵抗 601が可変抵抗である場合、図 8に示すように、トランジスタ 681の入出力特性を変 更することができる。
[0034] 別の代替実施形態において、図 9に示すように、定電圧ブロック 60は、トランジスタ 602及び抵抗 603及び 604で構成される。この場合、トランジスタ 681は、図 6の" C" のような入出力特性を持つ。
[0035] 一の強化された実施形態において、コントローラ 7は、電流検出器 61で検出される 電流及び電圧検出器 62で検出される電圧に基づいて、直流電源 5の出力電圧を調 整してペルチヱモジュール 30の冷却レイトを調整するように、デューティ制御信号を 電源 5に出力する。ここで、放電電圧 (V(m))は、利用者により表 1に示す複数の電圧 範囲から予め選択される。このため、電極 1及び 2間の電圧が変化すれば、放電電極 1上に形成される露の量を示す放電電流の値も変化するので、検出器 62で検出され る電圧 (放電電圧）が更に利用され、また表 1に示すように、予め決められた中央値 Im id(n) (基準電流の値)、上限値 Imax(n)(しきい値 Imax)及び下限値 Imin(n)が放電電圧 V(m)毎に選択される。従って、コントローラ 7は、検出器 61で検出される電流が、検出 器 62で検出される電圧に対応する中央値になるように、デューティ制御信号を電源 5 に出力する。
[表 1]
Figure imgf000013_0001
また図 10に示すように、コントローラ 7は、電流検出器 61で検出される電流及び電 圧検出器 62で検出される電圧に基づいて、ペルチェモジュール 30の冷却レイトを中 央値に対応する冷却レイトにオーバーシュートなく漸近させるように、デューティ制御 信号を直流電源 5に出力する。具体的には、静電霧化器の各ブロックの安定後、コン トローラ 7は、検出器 61及び 62で検出される電流及び電圧を、規定周期 At毎に平 均する。例えば、各ブロックの安定時に (t0)、コントローラ 7は、検出器 61及び 62から 電流及び電圧の取込みを開始し、周期 At後の時点 tlで、該電流値の平均値及び該 電圧値の平均値を、それぞれ放電電流 1(1)及び放電電圧 V(l)として計算する。同様 に、コントローラ 7は、時点 t2で放電電流 1(2)及び放電電圧 V(2)を計算する。この時点 で、コントローラ 7は、 tl及び t2間の放電電流の差 ( Δ Ι(2)=Ι(2)-Ι(1》を計算し、表 1から V(l)に対応する中央値 (Imid(n),t=tl)を読み出して、 1(2)との差 ( A ld(2)=Imid(n) -1(2 》を計算する。続いて、コントローラ 7は、 t2及び t3間の電源 5に対するデューティ (D(3 ；))用の増分 ( A D(2)=PaX A ld(2)-Pb X Δ 1(2》を計算して、 tl及び t2間のデューティ (D( 2》から、 t2及び t3間のデューティ (D(3)=D(2)+ A D(2》を算出する。ここで、 Pa及び Pb はパラメータであり、 D(2)又は D(3)等は 0— 100%のデューティを 256に分割して得ら れる D1-D256の何れかに対応する。 t3後もまた、コントローラ 7は、デューティの増分（ A D(m)=PaX A ld(m)-Pb X A l(m))を求めて、デューティ制御信号を電源 5に出力す る。
[0038] なお、デューティの増分 Δ D(m)を計算する場合、前の増分 Δ D(m-l)の値に応じ た補正関数 F{D(m- 1)}を利用し、つまり (Pa X A ld(m)- Pb X Δ I(m》 X F{D(m- 1)}で増 分 A D(m)を計算してもよい。関数 F{D(m)}は、前のデューティ D(m- 1)が低い場合に 小さい値を持ち、 D(m-l)が高い場合に大きい値を持つ。これにより、デューティ全体 の重付けが可能となる。デューティが低い時には、ペルチェモジュール 30への電圧 も低ぐ放電電極 1の冷却温度 ΔΤも小さい領域にあり、露がその上に形成されやす い。それ故に、補正関数の値を例えば 0. 5に設定することにより、露が余分に形成さ れるのを防止することができる。逆にデューティが高い時は、冷却温度 ΔΤも大きく露 が形成されにくいので、補正関数の値は、変化率を大きくするために、例えば 2に設 定される。例えば、室温が 25°C、露点が 20°Cである高湿の場合、 ΔΤは 5°Cである。 また、室温が 25°C、露点が 10°Cである低湿の場合、 ΔΤは 15°Cである。
[0039] 本発明を幾つかの好ましい実施形態について記述した力 この発明の本来の精神 および範囲を逸脱することなぐ当業者によって様々な修正および変形が可能である

Claims

請求の範囲
[1] 放電電極と、
該放電電極に対向配置される対向電極と、
該放電電極を冷却してその上に水としての露を形成する冷却源と、
該電極間に放電用の高電圧を印加する高圧電源と、
該電極間の電圧を検出する電圧検出器と
を備え、
該電源は、温度特性が互いに逆である制御素子及び定電圧素子を含み、 該制御素子は、該定電圧素子を介して、該検出器で検出される電圧を取り込み、 該電圧が規定放電電圧に対応するように、該電極間に印加される高電圧をフィード バック制御で調整するように動作する
静電霧化器。
[2] 該電極間を流れる電流を検出する電流検出器と、
予め決められた規定電流の値に基づいて、該冷却源の冷却レイトを調整するコント ローラと
を更に備え、
該コントローラは、該電流検出器で検出される電流の値が該規定電流の値よりも小 さいとき、該冷却レイトを高め、該電流の値が該規定電流の値よりも大きいとき、該レ イトを低める
請求項 1記載の静電霧化器。
[3] 該制御素子は、トランジスタであり、
該定電圧素子は、該トランジスタのベース及びェミッタ間の温度特性と比較して逆 の温度特性を持つ
請求項 2記載の静電霧化器。
[4] 該電源の高電圧を調整するための抵抗を更に備え、該抵抗は該定電圧素子と直 列に接続される請求項 2記載の静電霧化器。
[5] 該電源の高電圧を調整するための抵抗を更に備え、該抵抗は該定電圧素子と直 列に接続される請求項 3記載の静電霧化器。
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