WO2006077629A1 - 位置決め装置及び位置決め方法 - Google Patents

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Takashi Yuzawa
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Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha
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    • G05B2219/43—Speed, acceleration, deceleration control ADC
    • G05B2219/43115—Adaptive stopping

Definitions

  • the present invention relates to a positioning device, and particularly to realization of highly accurate non-contact measurement.
  • the first position detection sensor further includes a first position detection sensor for detecting a rough feed amount of a table on which a workpiece is placed, and a second position detection sensor for detecting a minute feed amount.
  • a positioning method has been established in which the table is positioned by driving the drive mechanism based on the coarse feed amount detection result in the above and the minute feed amount detection result in the second position detection sensor. (For example, see Patent Document 3).
  • Patent Document 1 Japanese Patent Application Laid-Open No. 2003-205439 (FIG. 2)
  • Patent Document 2 JP 2000-52198 A
  • Patent Document 3 Japanese Patent Laid-Open No. 63-109956
  • the probe for contact detection needs to be improved in rigidity in order to suppress deformation due to pressure at the time of contact, and accordingly, the spherical portion at the tip of the probe has a constant size. It was necessary to make it larger.
  • the spherical shape portion at the tip of the probe cannot be brought close to the minute shape portion, and there is a disadvantage that measurement of the same portion is impossible.
  • the shape of the minute pin is very fine, so that the object to be measured is deformed by the contact pressure due to the probe contact, and the measurement itself is impossible. Become.
  • the error can be suppressed to about 5 / zm, but the range force that can be measured with the high-precision laser measuring instrument is limited to, for example, about 10 mm ⁇ lmm.
  • the laser measuring instrument and the object to be measured must be placed in the range of about 10 mm ⁇ lmm, making practical use as they are difficult.
  • the present invention has been made in order to solve a problem that is difficult, and can perform a high-precision positioning operation at a high speed without having to worry about a collision at the time of measurement. There is no need to prepare a positioning program based on multiple shape data for each fixed shape in advance! For the purpose of obtaining a positioning device!
  • the distance between the positioning object and the positioning object is measured in a non-contact manner, and the positioning object is detected only in the length measurement area within a predetermined detection position force range.
  • a moving means for relatively moving a length measuring means for outputting a detection signal and when the positioning object and the length measuring means are relatively moved by the moving means, a detection signal from the length measuring means is received.
  • Positioning control means for storing coordinate values after automatic correction by the control means and determining a position based on the reference coordinate values.
  • a non-contact type length measuring means is provided, and a measuring object approaching at a high speed based on the position data from the length measuring means is moved to an axis at an arbitrary length measurement distance.
  • means for stopping means for automatically correcting the overshoot amount based on the position data, controlling the axis to an arbitrary position, and means for reading the spindle NC coordinate value after the automatic correction.
  • FIG. 1 is a configuration diagram of a positioning apparatus showing Embodiment 1 of the present invention.
  • FIG. 2 is a diagram showing a sensor output signal of the positioning device.
  • FIG. 3 is a system flow diagram of the positioning device.
  • FIG. 4 is a diagram showing high-speed and high-precision depth measurement of a minute part in a positioning device.
  • FIG. 5 is a diagram showing a relationship between a measurement distance and an error amount in a laser displacement meter.
  • FIG. 6 is a block diagram of a positioning device showing Embodiment 2 of the present invention.
  • FIG. 7 is a diagram showing a positioning process of the positioning device.
  • FIG. 8 is a diagram showing a positioning system when used in combination with the C-axis, showing Embodiment 3 of the present invention.
  • FIG. 9 is a diagram showing a misalignment correction value calculation method when the positioning device is used in combination with the C axis.
  • FIG. 10 is a configuration diagram of a positioning device showing Embodiment 4 of the present invention.
  • FIG. 11 is a diagram showing the relationship between the machine temperature of a machine tool and the amount of machine displacement.
  • FIG. 1 shows a configuration when the positioning device according to Embodiment 1 of the present invention is applied to an electric discharge machine.
  • the electric discharge machine is composed of an axis control means 1 such as an NC, an axis drive means 2, a spindle head part 3, a machining tank 4, a surface plate 5, etc.
  • an axis control means 1 such as an NC
  • an axis drive means 2 such as an NC
  • a spindle head part 3 such as a machining tank 4
  • a surface plate 5 etc.
  • a tool electrode 6 is provided on the spindle head part.
  • the machining workpiece 7 is installed on the surface plate side.
  • a non-contact sensor 8 typified by a laser displacement meter is attached to the detachable sensor unit 9 and is configured to be attached to the main shaft portion through the sensor attachment guide 10. Yes.
  • an output signal from the non-contact sensor 8 is transmitted to the axis control means 1, and an optimum axis feed command is issued to the axis drive means 2 by the positioning control means 11.
  • FIG. 2 shows an output signal from the non-contact sensor 8
  • FIG. 3 shows a system flow in which the drive means 2 performs an optimum measurement operation using the output signal and the positioning control means 11.
  • the high-precision non-contact sensor described in this embodiment has a limited measurement range and resolution. Use a general type such as about 30 mm ⁇ 2 mm at 0.5 ⁇ m and about 5 mm ⁇ 0.3 mm at a resolution of 0.1 ⁇ m.
  • the output signal from the non-contact sensor 8 has an output specification in which the output signal is switched between H and L at any position in the measurement range (generally the middle position of the measurement range).
  • the non-contact sensor 8 and the workpiece 7 side measured part are moved by a certain distance, and the coordinate value of the drive axis at that time is controlled. It can be read by means 1.
  • the non-contact sensor 8 attached to the detachable sensor unit 9 is driven by the shaft drive unit 2 by driving the spindle head unit 3 based on the command from the axis control means 1. Move relative to the non-measurement part (measurement 21).
  • the non-contact sensor 8 has a length measurement range.
  • the output signal is switched from L to H, and the length measurement range.
  • the H level is maintained, and when it is out of the measuring range, it becomes the L level.
  • the positioning operation utilizing the detection of the length measurement range is the present embodiment. Next, the positioning process shown in FIG. 3 will be described using the operation conceptual diagram shown in FIG.
  • the axis moves at high speed in the direction toward the measurement object (in this case, the + direction), and the sensor head moves to the measurement object.
  • the maximum speed that can be set by the NC controller 1 (for example, 50 m / min for linear drive) can be set.
  • this coordinate value (coordinate A) is one-way movement of the overshoot amount when moving from the target position (30 mm) that should originally be positioned in the direction of the minimum unit of the above-mentioned fixed period at a minute feed speed. It becomes a coordinate value.
  • this coordinate value is the coordinate value obtained by moving the overshoot amount in the + direction when moving in the + direction for the minimum unit of the above-mentioned fixed period from the target position that should be positioned. .
  • the point is set as the final positioning completion point (coordinate C), and the coordinates are read.
  • the moving speed can be increased because damage due to collision is not received.
  • the delay time is estimated to be 0.01 seconds, the overshoot amount is 8.3 mm, and there is no possibility of problems such as collision in the device of the example. .
  • NC coordinate 1 High-speed positioning and reading of drive coordinates (NC coordinate 1) at the same position on the surface (measurement reference point) for depth measurement using the process shown in Fig. 3 above, such as an NC drive Performed by the controller.
  • the depth measurement unit performs high-speed positioning as described above, and reads the drive coordinates (NC coordinate 2) at the same position using a drive control device such as NC.
  • the non-contact sensor 8 is positioned at a position that is a fixed distance (30 mm in this embodiment) at each of the measurement reference point and the depth measurement point, and the difference between the NC coordinate values of the two is determined.
  • Figure 5 shows the data that shows the error amount of a typical laser measuring instrument.
  • the X axis (horizontal axis) of the graph is the value obtained by reading the drive coordinates of the distance between the laser head and the measured object by a drive control means such as NC.
  • the measuring range specification of the laser measuring machine is 28mm-30mm!
  • Fig. 5 (a) shows the 28mm-30mm data from the driving coordinate values
  • Fig. 5 (b) shows the 29.9mm-30.1mm data
  • Fig. 5 (c) shows the 29.99-30.01mm data.
  • the error amount of the Y axis should always be zero. However, in the actual data, the amount of error increases or decreases according to the measurement distance, which indicates the limit of the HZW accuracy of the current laser measurement accuracy.
  • the maximum error amount is 51 ⁇ m.
  • the laser measuring instrument is adjusted to minimize the measurement error at the midpoint of the measurement range, so the repeatability at that point (30 mm in this case) is 1 ⁇ m. It can be seen that the following are suppressed (see Fig. 5 (c)).
  • the laser measuring instrument has a very small error when measuring a measured object at an arbitrary distance (30 mm in this case).
  • a non-contact type length measuring means and a measurement object approaching at high speed enters an arbitrary length measurement distance based on position data from the length measuring means.
  • the means for stopping the shaft at the time, the means for automatically correcting the overshoot amount based on the position data and controlling the axis to an arbitrary position, and the means for reading the spindle NC coordinate value after the automatic correction are provided.
  • FIG. 6 shows a positioning device according to the second embodiment.
  • a total of 5 axes Direction non-contact It consists of length measuring means.
  • FIG. 7 shows a positioning process for measuring a misalignment correction amount with respect to the main axis in a measurement object (tool electrode or the like).
  • the coordinate value is read by the axis control means 1 represented by the NC for the stop coordinate of the drive system.
  • This coordinate value shows the coordinate 30mm above the Z-axis sensor 35 accurately! /
  • the installation method may be performed manually by the operator operating the drive system easily, or by a program based on the electrode shape data and the + X-axis sensor 31 position coordinate value obtained by force. Automatic control may be performed.
  • the electrode is positioned at high speed in the direction of the + X-axis sensor in the same way as described above, and after completion, the drive coordinates are read by NC.
  • This coordinate value indicates a coordinate of ⁇ 30 mm more accurately than the + X-axis sensor 31.
  • This coordinate value indicates a coordinate of +30 mm more accurately than the X-axis sensor 32.
  • the amount of misalignment of the electrode in the X-axis direction can be calculated from the coordinate value acquired from the positioning operation by S21 and S22.
  • the amount of electrode misalignment is +
  • the position of the X-axis sensor and the X-axis sensor are known. Since the center coordinate A of the position of the X-axis sensor and the X-axis sensor is known, if the electrodes are symmetrical, the coordinate value acquired in S21) and the center coordinate B of the coordinate value acquired in S22) Should match the coordinate A above. However, if coordinates A and B do not match, the electrode is not symmetrical, and that value is the amount of electrode misalignment.
  • the electrode is moved on the axis of the Y-axis sensor.
  • the electrode moving means may be manually operated by an operator by simply operating the drive system, as in the case of installation on the X-axis sensor, or electrode shape data acquired in advance and the + Y-axis sensor. It may be automatically controlled by a program based on the 33 position coordinate values.
  • the electrode is positioned at high speed in the + Y-axis sensor direction as described above, and after completion, the drive coordinates are read by the NC.
  • This coordinate value shows the coordinate of -30mm more accurately than the + Y axis sensor 33! /.
  • This coordinate value indicates the coordinate of +30 mm more accurately than the Y-axis sensor 34.
  • the amount of misalignment of the electrode in the Y-axis direction can be calculated from the coordinate value obtained from the positioning operation by S24 and S25.
  • the center coordinate C of the position of the + Y-axis sensor and the Y sensor is known, so if the electrodes are symmetrical
  • the coordinate value acquired in S24 and the center coordinate D of the coordinate value acquired in S25 should match the above coordinate C. However, if coordinates C and D do not match, the electrode is not symmetric and the value is the amount of electrode misalignment.
  • the non-contact measuring means in a total of five axes directions of ⁇ X direction, Y direction, and Z axis direction are provided, the positioning is compared with the conventional contact type positioning. Approach speed can be greatly improved.
  • the second embodiment it is necessary to prepare a total of five non-contact sensors for correcting misalignment, but by using the C axis (rotating axis) in combination with the main axis, The same misalignment correction can be achieved with a non-contact sensor for 1 axis in 1 axis and 1 axis in the Z axis direction for a total of 2 axes.
  • FIG. 8 shows a positioning system when using the C axis together.
  • the misalignment amount y is calculated from Equation 2 (see below for the calculation equation).
  • n Ax— Cx (Cx is a known value)
  • this method is based on the premise that there is no misalignment in the C-axis main body when the force of the C-axis rotation is used when measuring the center deflection of the electrode.
  • the non-contact in each axial direction is provided by including the C-axis drive unit of the main shaft.
  • the tactile measurement means can be shared, and high-precision centering correction with respect to the main axis of the tool electrode can be realized at high speed.
  • FIG. 10 shows an application example of the positioning device according to the fourth embodiment to an electric discharge machine.
  • the electric discharge machine includes an axis control means 1, an axis drive means 2, a spindle head portion 3, and the like.
  • a non-contact sensor 8 typified by a laser displacement meter capable of measuring in the XYZ axial directions shown in the first and second embodiments is attached as shown in FIG.
  • the thermal displacement correction reference block 52 is directly attached to the spindle 3 so that the mechanical thermal displacement can be measured with the reference block 52 as a representative point.
  • the value can be considered as the mechanical thermal displacement.
  • An output signal from the non-contact sensor 8 is transmitted to the axis control means 1, and an optimum axis feed command is issued to the axis drive means 2 by the positioning control means 11 so as to correct the mechanical thermal variation.
  • the thermal displacement correction reference block 52 made of a ceramic material attached to the main shaft 3 is set at regular intervals (for example, the acquisition interval can be arbitrarily set from about 1 second to about 1 minute). By performing such high-speed positioning, the positioning control means 11 acquires the NC coordinate value after positioning.
  • This NC coordinate displacement indicates the amount of mechanical thermal displacement of the structure centered on the object that is displaced according to changes in the temperature environment when the machine tool is installed. It must be acquired at regular intervals.
  • the obtained mechanical thermal displacement amount is obtained by adding a correction value to the original position command in SZW control for each NC command as a drive control device by the thermal displacement correction means 51.
  • the drive operation can be controlled to cancel the mechanical thermal displacement.
  • FIG. 11 shows the relationship between the mechanical thermal displacement and the mechanical temperature change. It is possible to calculate the mechanical thermal displacement from the mechanical temperature change shown in Fig. 11 by constructing an approximate expression, but since this is an approximate solution, there is a limit to the correction of the mechanical thermal displacement. That's true.
  • the correction for mechanical thermal displacement is limited to about 1Z2.
  • the mechanical thermal displacement at the electrode tip due to mechanical thermal displacement is 20 m, the correction is performed.
  • the error amount due to thermal displacement of about 10 m still remains
  • the error amount can be zero immediately after the measurement.
  • direct measurement of the mechanical thermal displacement is advantageous as shown in the present embodiment.
  • the high-precision positioning means adopting the non-contact measurement method and the thermal displacement correction means with acquired data force are provided, in a complex thermal change environment such as an actual factory. Even high-precision machining can be measured and corrected to achieve high-precision machining. Industrial applicability
  • the positioning device according to the present invention is suitable for use as positioning means in various numerically controlled machine tools.

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Abstract

位置決め対象物(21)と、該位置決め対象物(21)との距離を非接触で測定し、任意の検出位置から所定範囲の測長エリアでのみ、位置決め対象物(21)を検出すると検出信号を出力する測長手段(8)とを相対的に移動させる移動手段(2)と、 　この移動手段(2)により上記位置決め対象物(21)及び測長手段(8)を相対移動させる際に、上記測長手段(8)からの検出信号を検出することにより上記移動手段(2)を停止し、上記停止位置と任意検出位置とのオーバーシュート量を自動補正するための軸制御手段と、 上記制御手段による自動補正後の座標値を格納し、この基準座標値を元に位置決めを行う位置決め制御手段(11)と、を備えた。

Description

明 細 書
位置決め装置及び位置決め方法
技術分野
[0001] この発明は、位置決め装置に係り、特に高精度な非接触計測実現に関するもので ある。
背景技術
[0002] 従来の放電加工や切削加工等の位置決め装置は、工作物及び工具電極に導電 性があることを利用し、工作物と電極または工具間の電気的接触感知手法を用いて 、高精度の位置決めを実現している。（例えば、特許文献 1参照)。
[0003] また、長距離測定レーザ式変位センサを用いて、材料に直接接触させずに、且つ 十分な距離を材料と工具の間に残して、材料の残切削量を正確に又、安全に計測 する手法も確立している。（例えば、特許文献 2参照)。
[0004] 更にまた、被加工物が載置されるテーブルの粗送り量を検出する第 1の位置検出 センサおよび微小送り量を検出する第 2の位置検出センサを備え、第 1の位置検出 センサにおける粗送り量検出結果および前記第 2の位置検出センサにおける微小送 り量検出結果に基づき前記駆動機構を駆動してテーブルの位置決めを行う位置決 め手法も確立している。（例えば、特許文献 3参照)。
[0005] 特許文献 1：特開 2003— 205439号公報（図 2)
特許文献 2 :特開 2000— 52198号公報
特許文献 3：特開昭 63- 109956号公報
発明の開示
発明が解決しょうとする課題
[0006] 従来の近接接触感知手段を用いる位置決め装置では、測定物と被測定物間の物 理的ダメージを抑制するために、アプローチ速度を落とすことで接触時の衝撃を抑制 しなければならず、計測時間が長期化するという問題点があった。
また、上記接触感知用のプローブは、接触時の圧力による変形を抑制するために、 剛性を向上させる必要があり、それに伴い、プローブ先端の球形状部分は一定サイ ズ以上の大きさにする必要があった。
そのため、プローブ先端の球形状部は、微小形状部へ近接させることが不可能となり 、同部分の測定が不可能という欠点もあった。
この様な場合、ピンゲージ等を備える専用の測定器を用いるため、測定物を一旦取り 出しオフラインで測定したり、また、ピンゲージが入らない微細形状においては、光学 的な手段を用いて測定する必要があり、測定物を一旦取り出し、 CCDカメラや等を 備える顕微鏡にて、測定断面を拡大 ·形状測定をオフラインで実施する必要があった なお、一度取り外した測定物は、計測結果力 再度追加工したいとしても、正確に元 の場所に設置し直すことが困難であるため、計測結果に基づく正確な追加工を行うこ とが不可能であった。
[0007] また、上記被測定物が例えば微細ピン形状のような場合、該微細ピン形状が非常 に微細であるため、プローブ接触による接触圧力によって被測定物が変形し、測定 自体が不可能となる。
この場合、上記で示した通り、 CCDカメラ等を備える顕微鏡にて測定断面を拡大 '形 状測定をオフラインで実施する必要があった。
[0008] 一方、長距離測定レーザ式変位センサを用いた場合、非接触にて測定できるため 、非常に微細な対象物に対しても測定可能であるが、一般的な長距離測定レーザは 分解能 10 ;ζ ΐη、誤差 0.2mm程度となるため、高精度位置決め手段としての使用が困 難であり、例えば組立ライン等での簡易形状判定の分野での使用に限られ、高精度 の加工 (分解能 0.1 μ mぐらい）が要求される例えば放電力卩ェの位置決め制御等に適 用することが困難である。
また、高精度レーザ測長器を選定した場合は、誤差 5 /z m程度まで抑制できるもの の、該高精度レーザ測定器で測長できる範囲力 例えば 10mm± lmm程度に制限 されてしまい、高精度レーザ測定器と測定対象物とを 10mm± lmm程度の範囲に載 置しなければならず、そのままでの実用的な使用が困難となる。
また、分解能 0.1 μ mの駆動単位で制御する加工機において、加工された高精度ヮ ークをサブミクロン単位で測定することが困難であるため、従来の接触位置決めから 代替することも困難である。
[0009] この発明は、力かる問題点を解決するためになされたもので、測定時の衝突を危惧 する必要が無ぐ高精度位置決め動作を高速に実施する事が可能であり、また、測 定形状毎に複数の形状データに基づく位置決めプログラムをあらかじめ用意する必 要が無!、位置決め装置を得ることを目的として!/、る。
課題を解決するための手段
[0010] この発明に係る位置決め装置においては、位置決め対象物と、該位置決め対象物と の距離を非接触で測定し、任意の検出位置力 所定範囲の測長エリアでのみ、位置 決め対象物を検出すると検出信号を出力する測長手段とを相対的に移動させる移 動手段と、この移動手段により上記位置決め対象物及び測長手段を相対移動させる 際に、上記測長手段からの検出信号を検出することにより上記移動手段を停止し、 上記停止位置と任意検出位置とのオーバーシュート量を自動補正するための軸制 御手段と、
上記制御手段による自動補正後の座標値を格納し、この基準座標値を元に位置決 めを行う位置決め制御手段と、を備えたものである。
発明の効果
[0011] この発明によれば、非接触式の測長手段を備え、前記測長手段からの位置データ に基づき、高速で接近する測定対象物を、任意の測長距離に入った段階で軸停止 させる手段と、前記位置データによりオーバーシュート量を自動補正し、任意の位置 に軸制御させる手段と、前記自動補正後の主軸 NC座標値を読込む手段を備えるの で、測定時の衝突を危惧する必要が無ぐ高精度位置決め動作を高速に実現可能 である効果がある。
図面の簡単な説明
[0012] [図 1]この発明の実施の形態 1を示す位置決め装置の構成図である。
[図 2]位置決め装置のセンサ出力信号を示す図である。
[図 3]位置決め装置のシステムフロー図である。
[図 4]位置決め装置において微小部分の高速，高精度深さ計測を示す図である。
[図 5]レーザ変位計における測定距離と誤差量の関係を示す図である。 [図 6]この発明の実施の形態 2を示す位置決め装置の構成図である。
[図 7]位置決め装置の位置決めプロセスを示す図である。
[図 8]この発明の実施の形態 3を示す C軸併用時の位置決めシステムを示す図である
[図 9]位置決め装置の C軸併用時の芯ズレ補正値算出方法を示す図である。
[図 10]この発明の実施の形態 4を示す位置決め装置の構成図である。
[図 11]工作機械の機械温度と機械変位量の関係を示す図である。
符号の説明
[0013] 1 軸制御装置、 2 軸駆動部、 3 主軸ヘッド部、 4 加工槽、 5 定盤、 6 ツール 電極、 7 加工ワーク、 8 非接触センサ、 9着脱センサユニット、 10 センサ取付ガイ ド、 11位置決め制御手段、 21 測定物、 31 +X軸センサ、 32 — X軸センサ、 33 +Y軸センサ、 34 — Y軸センサ、 35 Z軸センサ、 36 基準ブロック、 41 C軸、 42 XY軸方向センサ、 51 熱変位補正手段、 52 熱変位補正用基準ブロック。
発明を実施するための最良の形態
[0014] 実施の形態 1.
図 1は、この発明の実施の形態 1に係る位置決め装置を放電加工機に適用した場 合の構成を示すものである。
図 1において、放電加工機は NC等の軸制御手段 1、軸駆動手段 2、主軸ヘッド部 3、 加工槽 4、定盤 5等により構成されており、通常は、主軸ヘッド部にツール電極 6、定 盤側に加工ワーク 7が設置されている。
[0015] 本発明においては、さらにレーザ変位計を代表とする非接触センサ 8が、着脱セン サユニット 9に取り付けられており、センサ取り付けガイド 10を通じて、主軸部に取り付 くように構成されている。
ここで、非接触センサ 8からの出力信号は、軸制御手段 1に送信され、位置決め制御 手段 11によって、軸駆動手段 2へ最適な軸送り指令を行う。
[0016] 非接触センサ 8からの出力信号を図 2に示し、また同出力信号と位置決め制御手段 11により、駆動手段 2が最適な計測動作を実施するシステムフローを図 3に示す。 本実施の形態で説明する高精度非接触センサは、測長範囲に制限があり、分解能 0.5 μ mで 30mm±2mm程度、分解能 0.1 μ mで 5mm± 0.3mm程度といった一般的 なものを使用する。
非接触センサ 8からの出力信号は、測長範囲の任意の位置 (一般的に測長範囲の中 間位置）にて、出力信号が H— L切替されるような出力仕様となっている。
本仕様は、あくまで任意位置で信号を発生させる手段の一例を示しており、他の方 法でも代替可能である。
また、図 3に示すシステムフォロー図にて軸駆動部 2を制御させることにより、非接触 センサ 8と加工ワーク 7側被測定部を一定距離に移動させ、その時の駆動軸の座標 値を軸制御手段 1により読み取ることが可能である。
[0017] まず、図 2を用いて、測長範囲の任意の位置にて、出力信号が H— L切替わる動作 について説明する。
位置決め指令が実行された場合、軸制御手段 1からの指令に基づき、軸駆動部 2が 主軸ヘッド部 3を駆動させることにより着脱センサユニット 9に装着された非接触セン サ 8が加工ワーク 7の非測定部 (測定物 21)に対し相対移動 (接近動作)する。
上述したように、非接触センサ 8には測長範囲が存在し、その任意の位置 (例えば測 長範囲の中間点)で測定物 21を検出すると出力信号が Lから Hに切替わり、測長範 囲内では、 Hレベルを維持し、測長範囲を外れると Lレベルとなる。
[0018] この測長範囲の検出を活用した位置決め動作が本実施の形態であり、次に、図 3 に示す位置決めプロセスについて、図 4に示される動作概念図を活用して説明する。
51) 位置決め指令を実行された場合、測定対象物への方向 (この場合は +方向） へ、高速の軸移動を実施し、センサヘッド部が測定物へ移動する。
なお、高速の軸移動は、 NC制御装置 1にて設定可能な最大速度 (例えば、リニア駆 動の場合は 50m/min)が設定可能である。
52) 移動時において一定周期毎 (例えば、 ΙΚΗζ程度から 10Hz程度の範囲）に、 非接触センサ 8からの出力信号を参照し、 L信号 (任意座標より手前の座標)の場合 には、移動を継続する。
53) 非接触センサ 8からの出力信号が H信号 (任意座標力も測定対象までの一定 距離)の場合、軸移動を停止させる。 なお、非接触センサ 8からの H信号を検出に伴うアプローチ停止指令後、実際に軸 移動が停止するまでの距離がオーバーシュート距離である。（第 1位置）
54) 軸移動停止後、出力信号を再度参照し、移動に伴うオーバーシュート影響度 に応じて、移動制御のシーケンス (軸方向及び軸移動速度）を変更する。
55) S3)で軸停止した際、センサからの出力信号が Lの場合、オーバーシュート量 が大（図 2の場合は、 2mm以上（=センサと測定物 21の距離が 28mm以内））のため 、高速軸移動速度より遅い標準速度 (従来の位置決めに使用する速度等）にて、任 意座標値まで軸戻し (この場合一方向)動作を実施する。
なお、 S5)に基づく軸戻し中、一定周期毎 (例えば、 IKHz程度から 10Hz程度の範囲） に非接触センサ 8からの出力信号の参照を行い、出力信号が Lから Hになった時点（ =センサと測定物 21の距離が 28mm程度)で軸移動を停止する。
56) 一方、 S3)で軸停止した際、上記出力信号が Hの場合、或いは、 S5)に基づく 動作により、オーバーシュート量力 、（図 2の場合は、 2mm以内）と認識できるため、 高速軸移動速度より遅!ヽ微小送り速度 (例えば、 30mm/min程度から lmm/min程 度の範囲において）にて、オーバーシュート量の補正を行う。
57) S6)に基づく任意座標値まで軸戻し中、一定周期毎に出力信号の参照を行い 、出力信号 Lの時点（=センサと測定物 21の距離が 30mm)で軸移動を停止する。 ( 第 2位置）
58) S7)の位置にて駆動軸の座標値 (座標 A)を NCなどの位置決め制御手段 11 にて読込みを行う。
なお、この座標値 (座標 A)は、本来位置決めすべき目標位置 (30mm)から、微小送 り速度で上記一定周期の最低単位分一方向への移動した際のオーバーシュート量を 一方向移動した座標値となる。
59) 座標値 (座標 A)読み込み後、引き続き S7)と反対方向（+方向）に微小送り速 度でアプローチを行う。
510) 反対方向（+方向）にアプローチ時、一定周期毎に出力信号の参照を行い、 出力信号 Hの時点で軸移動を停止する。（第 3位置）
511) S10)の位置にて軸移動の座標値 (座標 B)を NCなどの軸制御手段にて読込 みを行なう。
なお、この座標値 (座標 B)は、本来位置決めすべき目標位置から、微小送り速度で 上記一定周期の最低単位分 +方向への移動した際のオーバーシュート量を +方向 移動した座標値となる。
512) アプローチ方向の違いによる出力信号のヒステリシスの値 (アプローチ方向（ +方向と一方向）で検出値に違いが発生する場合の、検出値のズレ量)を確認し、ヒ ステリシスの影響を除去するため、座標 A及び座標 Bの中点に軸移動を実施する。
513) その地点を最終位置決め完了地点 (座標 C)とし、座標読込みを実施する。
[0019] 本測定方法は、非接触にて実施する特長を有することから、オーバーシュート量の 大小に関わらず測定精度に影響を及ぼさない利点がある。
また、オーバーシュート量が測定物と目標座標（アプローチ目標）の距離を越えな ヽ 限り、衝突によるダメージをうけないため、移動速度をあげることができる。
但し、オーバーシュート量が大きくなりすぎると、目標座標までの座標補正時間が増 大するため、測定時間を最短にするためには、軸戻し時の移動速度を適切に設定す る必要がある。
リニア駆動装置などにより最大 50mZminにて移動させた場合、遅延時間を 0.01秒と 見積もったとして、オーバーシュート量は、 8.3mmとなり、実施例の装置においては、 衝突などの問題が発生する恐れはない。
[0020] 本システムを使用することにより、図 4に示すような微小部分の高速，高精度深さ計 測が可能となる。
以下にそのプロセスを示す。
1) 深さ計測の基準となる面 (計測基準点）に対して、上述した図 3に示すプロセス にて高速の位置決め、及び同位置における駆動座標（NC座標 1)の読込みを NCな どの駆動制御装置により行う。
2) 続いて、深さ計測部 (深さ計測点）にて上記と同様の高速の位置決め、および 同位置における駆動座標 (NC座標 2)の読込みを NCなどの駆動制御装置により行う
3) 微小部分の深さは、上記座標 1と座標 2の相対座標より求めることができる。 つまり深さ計測値 =NC座標 1 NC座標 2より算出することができる。
[0021] つまり、計測基準点及び深さ計測点のそれぞれにおいて、一定距離 (本実施の形 態では 30mm)だけ離れた位置にて非接触センサ 8を位置決めし、両者の NC座標値 の差を算出することにより、高精度な深さデータを迅速に取得することが可能である。 なお、位置決めにはオペレータが介在する必要は無ぐプログラムやシステムにて自 動化を容易に図ることが可能である。
[0022] 従来は、ピンゲージ等を備える専用の測定器を用いるため、測定物をー且取り出し 、オフラインで測定する必要があったり、ピンゲージが入らない微細形状においては 、測定物を一旦取り出し、 CCDカメラや等を備える顕微鏡にて、測定断面を拡大'形 状測定をオフラインで実施する必要があった。
しかし、本方法を利用する事により、加工機上でダイレクトに深さ計測を実施すること が可能となる。
機上測定のメリットとして、加工後の測定物を移動させる必要がないため、測定物移 動にともなう誤差要因を排除できるため、計測結果に基づき、形状補正のための追 加工を容易に実現可能となる。
[0023] 次に、非接触センサ 8を用いて直接的に距離を計測するのではなぐ単に任意の距 離に位置決めするためだけに同非接触センサ 8を使用している理由について以下に 説明する。
図 5は、代表的なレーザ測長器の誤差量を示したデータである。
グラフの X軸 (横軸）は、レーザヘッドと測定物の距離の駆動座標を、 NCなどの駆動 制御手段によって読み込んだ値である。
一方、上記座標値を正とした時に、その時のレーザ測長機が認識する座標データと の差 (誤差量)を Y軸 (縦軸）に示して 、る。
レーザ測長機の測定レンジ仕様は、 28mm— 30mmとなって!/、る。
図 5 (a)は駆動座標値からの 28mm— 30mmのデータ、図 5 (b)は同 29.9mm— 30.1 mmのデータ、図 5 (c)は同 29.99— 30.01mmのデータを示している。
[0024] 駆動座標値とレーザ測長機からのデータが同一である場合、 Y軸の誤差量は常に ゼロとなるはずである。 しかし、実データでは、測定距離の応じて誤差量が増減しており、現状のレーザ測長 精度の HZW精度の限界を示して 、る。
± 2mmのフルレンジの測定範囲において、最大誤差量は 51 μ mとなる。
図 5 (a)においては、繰り返し精度 (Data(l)— (3))も取得しており、同一条件 3回計測 した計測結果も同時に示して 、る。
その結果、 3回中の計測結果間にお ヽてもばらつきが生じて 、る。
すなわち、 ±2mmのフルレンジにて、高精度の絶対位置測定を実施することは困難 であることがわかる。
[0025] 一方、レーザ測長器は測定レンジの中間地点にて、測定誤差が最小限になるよう に調整を実施しているため、同地点（この場合 30mm)での繰り返し精度は 1 μ m以下 に抑制されて 、ることがわかる（図 5 (c)参照)。
以上より、レーザ測長器は、任意距離 (この場合 30mm)離れた測定物を計測する場 合には誤差が非常に小さいこととなる。
よって、レーザ測長器を用いることで、測定物より任意距離離れた位置への非常に高 精度な位置決めすることが可能であり、本実施の形態の位置決めシステムはこの仕 組みを使用している。
なおこの場合、主軸とセンサ部を移動させる駆動手段である数値制御工作機械にお いて、一定以上の静的精度を確保することが、測定精度向上の必須条件となる。
[0026] 本実施の形態によれば、非接触式の測長手段を備え、前記測長手段からの位置 データに基づき、高速で接近する測定対象物を、任意の測長距離に入った段階で 軸停止させる手段と、前記位置データによりオーバーシュート量を自動補正し、任意 の位置に軸制御させる手段と、前記自動補正後の主軸 NC座標値を読込む手段を 備えるので、測定時の衝突を危惧する必要が無ぐ高精度位置決め動作を高速に実 現可能である効果がある。
[0027] 実施の形態 2.
図 6は、実施の形態 2に係る位置決め装置を示すものである。
実施の形態 1にて示される放電カ卩工機において、さらに +X軸センサ 31、一 X軸セン サ 32、 +Y軸センサ 33、 -Y軸センサ 34、 Z軸センサ 35による、計 5軸方向の非接触 測長手段により構成されている。
後述する位置決めプロセスを実現するため、センサ間の相対座標値はあら力じめ求 められている。
[0028] 図 7は、測定物（ツール電極など）における、主軸に対する芯ズレ補正量を計測する ための位置決めプロセスを示して 、る。
S21) あら力じめ電極を Z軸センサ 35上に設置（30mm以上離す）し、 Z軸位置決め 指令を実行すると電極は Z軸センサ方向の Z軸方向に高速位置決めを実施する。 実施するプロセスは実施の形態 1に示すプロセスと同様であるため、ここでは詳細を 省く。
そして、位置決め完了後、駆動系の停止座標を、 NCを代表とする軸制御手段 1にて 座標値の読込みを実施する。
この座標値は、 Z軸センサ 35より正確に 30mm上方の座標を示して!/、る。
引き続き、電極を +X軸センサ 31近傍に設置 (30mm以上離す)する。 設置方法は、手動にてオペレータが簡易的に駆動系を操作して実施しても良いし、 あら力じめ取得した電極形状データ及び、 +X軸センサ 31位置座標値に基づき、プ ログラムにより自動制御させても良い。
電極の設置完了後、 +X方向位置決め指令を実行する。
電極は、上述と同様に +X軸センサ方向に高速に位置決めを実施し、完了後駆動座 標を NCにて読込みを行う。
この座標値は、 +X軸センサ 31より正確に- 30mmの座標を示している。
[0029] S22) +X方向への高速位置決め完了後、同様に X軸センサ 32方向に高速移動 、高速位置決め、 NC座標読込みを実施する。
この座標値は、 X軸センサ 32より正確に + 30mmの座標を示している。
S23) 上記 S21、 S22の結果より X方向幅の、 +X軸センサ 31及び X軸センサ 32間 の電極幅中心座標が検出することができる。
すなわち、上記 S21、 S22による位置決め動作から取得した座標値より、電極の X軸方 向の芯ズレ量を算出することができる。
この電極芯ズレ量は、 +X軸センサ及び X軸センサの位置は既知であるため、 + X軸センサと X軸センサの位置の中心座標 Aがわかっていることから、仮に、電極が 対称であれば、 S21)で取得の座標値と、 S22)で取得の座標値の中心座標 Bが、上記 座標 Aに一致するはずである。し力しながら、座標 Aと座標 Bがー致しない場合、電 極は対称でな 、ことになり、その値が電極芯ズレ量となる。
[0030] 次に、 Y軸センサの軸線上に電極を移動させる。
電極の移動手段は、 X軸センサへの設置時と同様に、手動にてオペレータが簡易的 に駆動系を操作して実施しても良いし、あらかじめ取得した電極形状データ及び、 + Y軸センサ 33位置座標値に基づき、プログラムにより自動制御させても良い。
S24) 電極の設置完了後、 +Y方向位置決め指令を実行する。
電極は、上述と同様に +Y軸センサ方向に高速に位置決めを実施し、完了後駆動座 標を NCにて読込みを行う。
この座標値は、 +Y軸センサ 33より正確に— 30mmの座標を示して!/、る。
[0031] S25) +Y方向への高速位置決め完了後、同様に Y軸センサ 34方向に高速移動 、高速位置決め、 NC座標読込みを実施する。
この座標値は、 Y軸センサ 34より正確に + 30mmの座標を示している。
S26) 上記 S24、 S25の結果より、 Y方向幅の、 +Y軸センサ 33及び Y軸センサ 34 間の電極幅中心座標が検出することができる。
すなわち、 S24、 S25による位置決め動作から取得した座標値より、電極の Y軸方向の 芯ズレ量を算出することができる。
この電極芯ズレ量は、 +Y軸センサ及び Y軸センサの位置は既知であるため、 + Y軸センサと Yセンサの位置の中心座標 Cわかっていることから、仮に、電極が対称 であれば、 S24で取得の座標値と、 S25取得の座標値の中心座標 Dが、上記座標 C一 致するはずである。しかしながら、座標 Cと座標 Dがー致しない場合、電極は対称で ないことになり、その値が電極芯ズレ量となる。
なお、必要に応じて、 S25、 S26実施後、上記 S22、 S23の再実施により、 X方向の芯ズ レ量再測定を実施し、誤差量を最小限にすることが可能である。
[0032] S27) XY方向の芯ズレ量を確定後、 Z軸センサ方向に高速移動し、最初の位置決 め開始座標まで復帰させ、位置決め動作を終了させる。 上記までの一連の動作は、プログラムにても自動化させることも可能である。
[0033] 本実施の形態 2によれば、 ±X方向、士 Y方向、 Z軸方向の計 5軸方向の非接触測 長手段を備えるため、従来の接触式の位置決めと比較して、位置決めアプローチ速 度を、大幅に向上させることが可能である。
ツール電極の主軸に対する高精度な芯ズレ補正を、従来の接触位置決めでは 30m mZmin程度以下に抑制させる必要があった力 本実施例においては、 lOOOmmZ min以上の高速位置決め動作が可能となる。
また、リニア駆動系などを利用することにおり、さらなる高速化も実現可能である。
[0034] 実施の形態 3.
実施の形態 2においては、芯ズレ補正を実施するための、計 5軸方向の非接触セン サを用意する必要があるが、主軸にて C軸（回転軸）を併用する事により、 XY平面に 1軸、 Z軸方向に 1軸、計 2軸分の非接触センサにて、同様の芯ズレ補正を実現可能 である。
[0035] 図 8は、 C軸併用時の位置決めシステムを示している。
XY平面の 4方向力も計測する代わりに、 C軸回転により 1軸方向のセンサのみにより
、測定物を 4方向（±X、士 Y)力も測定することが可能である。
[0036] 測定結果より、実際の芯ズレ補正量を算出するには図 9に示すように、測定物を CO
° 、 C90° 、 C180° 、 C270° の 4方向に回転させ、以下のプロセスにより実施する。
531) C0° の位置にてレーザ測長器と測定物を任意の距離に制御し、その際の座 標値 Aを取得する (位置決めプロセスは実施の形態 1にて明記)。
532) C180° の位置にて、同様に制御し、座標値 Bを取得する。
533) 式 1より芯ズレ量 Xを算出する（算出式に関しては、下記を参照)。
534) C90° の位置にて、同様に制御し、座標値 Dを取得する。
535) C270° の位置にて、同様に制御し、座標値 Eを取得する。
536) 式 2より芯ズレ量 y算出する（算出式に関しては、下記を参照)。
[0037] [C0。 、 C180° にて計測]
m=Bx—し X
n=Ax— Cx (Cxは既知の値とする）
d/2= (m+n) /2 (dは X軸方向の電極の幅）
=Ax/2 + Bx/2-Cx
x=Ax-d/2
=Ax/2-Bx/2 + Cx …式 1
[0038] [C90° 、C270° にて計測]
m2 = Dx-Cx
n2=Ex-Cx
(Cxは既知の値とする）
e/2= (m2+n2) /2
= Dx/2+Ex/2-Cx
-y=Ex-e/2
= Ex/2-Dx/2 + Cx
y=-Ex/2 + Dx/2-Cx · · ·式 2
[0039] [芯ズレ算出値 (x、y) ]
x = Ax/ 2-Bx/ 2 + Cx
y=-Ex/2 + Dx/2-Cx
[0040] また、本方法は、電極の芯ブレを測定する際に、 C軸回転を利用している力 C軸 本体に芯ズレが存在しなレ、ことを前提として 、る。
主軸の C軸駆動部において、回転に対する芯ブレ量が存在する場合、 0° に対する 90° 、 180° 、 270° における C軸芯ズレ量を測定しておく必要がある。
例えば、 90° 、 180° 、 270° の場合の X方向芯ズレ量を X90、 X180、 X270とした場合 、上記の算出式は以下の通りとなる。
x=Ax/2-(Bx-X180) /2 + Cx · · ·式 1 '
y=-(Ex-X270) /2+ (Dx— X90) Z2— Cx · · ·式 2，
すなわち、あらかじめ本データを取得する事により、上記算出式に補正を実施し、高 精度な位置決めを実現可能である。
[0041] 本実施の形態 3によれば、主軸の C軸駆動部を備えることにより、各軸方向の非接 触測長手段を共用可能であり、ツール電極の主軸に対する高精度な芯ズレ補正を、 高速に実現可能である。
[0042] 実施の形態 4.
図 10は、本実施の形態 4に係る位置決め装置の放電加工機への適用例を示すも のである。
放電加工機は、軸制御手段 1、軸駆動手段 2、主軸ヘッド部 3、等により構成されてい る。
本実施の形態においては、実施の形態 1、 2にて示した XYZ軸方向計測が可能であ るレーザ変位計を代表とする非接触センサ 8が図 6に示すように取り付けられている。 また、熱変位補正用基準ブロック 52は、主軸 3に直接取り付けられており、機械熱変 位量を、基準ブロック 52を代表点として計測可能として 、る。
非接触センサ 8により、基準ブロック 52を測定し、その位置計測結果が、時間を経過 して異なった値となれば、その値を機械熱変位量と考えることができる。
非接触センサ 8からの出力信号は、軸制御手段 1に送信され、機械熱変異量を補正 するように位置決め制御手段 11によって、軸駆動手段 2へ最適な軸送り指令を行うも のである。
[0043] 主軸 3に取付けられたセラミックス材で構成される熱変位補正用基準ブロック 52を、 一定周期間隔 (例えば、取得間隔 1秒から 1分程度まで任意に設定可能)で、実施の 形態 1の如き高速位置決めを行うことにより、位置決め制御手段 11が位置決め後の NC座標値を取得する。
この NC座標値の変位は、工作機械が設置されて!ヽる温度環境変化に応じて変位す る、铸物を中心とする構造体の機械熱変位量を示すことから、機械熱変位量を一定 周期毎に取得することにほかならない。
[0044] 取得された機械熱変位量は、熱変位補正手段 51にて駆動制御装置である NCの 各指令毎に SZW制御上、補正値を本来の位置指令に付加することにより、結果的 に駆動動作が、機械熱変位量をキャンセルするように駆動制御することが可能な構 成となっている。
[0045] また、図 11に、機械温度変化に対する機械熱変位量の関係を示す。 図 11に示される機械温度変化より機械熱変位量を算出することは、近似式を構築す ることで可能であるが、あくまで近似解であるため、機械熱変位量の補正に限界があ ることがゎカゝる。
なお、近似式による補正の場合、機械熱変位量に対する補正は、 1Z2程度が限界 となり、例えば、機械熱変位量による、電極先端での機械熱変位量が 20 mの場合 、補正を実施したとしても、依然 10 m程度の熱変位に起因する誤差量が残存する
[0046] 一方、ダイレクトに変位量を補正する本実施の形態の場合、計測直後においては、 原理上、誤差量をゼロにすることが可能であり、高精度加工を行うベぐ正確な機械 熱変位量補正を行うためには、本実施の形態に示すように、機械熱変位量の直接計 測が有利となる。
なお、本実施の形態のような直接計測を実施する場合、加工を中断し、熱変位補 正用基準ブロック 52の計測による無駄時間が発生するが、上述した実施の形態のよ うな非接触計測方式を採用することにより、軸移動速度を機械許容限界まで上げるこ とができるため、無駄時間の発生の抑制が可能である。
[0047] 本実施の形態 4によれば、非接触計測方式を採用した高精度位置決め手段及び 取得データ力もの熱変位補正手段を備えるため、実際の工場のような、複雑な熱変 化環境においても高精度に機械変位を測定'補正し、高精度加工を実現できる。 産業上の利用可能性
[0048] この発明に係る位置決め装置は、各種数値制御工作機械における位置決め手段 として用いられるのに適して!/ヽる。

Claims

請求の範囲
[1] 位置決め対象物と、該位置決め対象物との距離を非接触で測定し、任意の検出位 置力 所定範囲の測長エリアでのみ、位置決め対象物を検出すると検出信号を出力 する測長手段とを相対的に移動させる移動手段と、
この移動手段により上記位置決め対象物及び測長手段を相対移動させる際に、上 記測長手段からの検出信号を検出することにより上記移動手段を停止し、上記停止 位置と任意検出位置とのオーバーシュート量を自動補正するための軸制御手段と、 上記制御手段による自動補正後の座標値を格納し、この基準座標値を元に位置決 めを行う位置決め制御手段と、
を備えたことを特徴とする位置決め装置。
[2] 位置決め制御手段におけるオーバーシュート量補正は、上記測長エリアでの上記 位置決め対処物の検出位置力 実際に停止した第 1位置力 測長手段の検出位置 まで低速移動を行 ヽ、測長エリアを外れたことを検出し停止する第 2位置の座標値を 求め、該第 2位置力も再度測長手段の検出位置まで低速移動を行ない、測長エリア での検出位置に達し停止する第 3位置の座標値を求め、上記第 2位置の座標値及 び第 3位置の座標値の中間座標を基準座標値とすることを特徴とする請求項 1乃至 5 何れかに記載の位置決め装置。
[3] 第 1位置での停止位置が測長エリアを外れた場合、該測長エリアに入るように低速 移動より早い所定の速度で逆方向に移動し、測長エリアより低速移動により第 2位置 へ移動することを特徴とする請求項 2に記載の位置決め装置。
[4] 位置決め対象物は定盤に固定され、該定盤に対向し XYZ方向に移動可能な主軸 に測長手段を取り付け、主軸の移動に伴う各位置での座標値を求め、位置決めを行 うことを特徴とする請求項 1乃至 3何れかに記載の位置決め装置。
[5] 測長手段は定盤に対し ±X軸方向、 ±Y軸方向、 Ζ軸方向の計 5軸固定され、該定 盤に対向し ΧΥΖ方向に移動可能な主軸に位置決め対象物を取り付け、主軸の移動 に伴う各位置での座標値を求め、位置決めを行うことを特徴とする請求項 1乃至 3何 れかに記載の位置決め装置。
[6] 測長手段は定盤に対し ΧΥ軸方向、 Ζ軸方向の計 2軸固定され、該定盤に対向し任 意の角度に回転制御可能な回転駆動部を有した XYZ方向に移動可能な主軸に位 置決め対象物を取り付け、主軸の移動に伴う各位置での座標値を求め、位置決めを 行うことを特徴とする請求項 1乃至 3何れかに記載の位置決め装置。
[7] 主軸の回転駆動部は、位置決め動作時に、 90° 、 180° 、 270° 回転することを特 徴とする請求項 6に記載の位置決め装置。
[8] 位置決め制御手段からの主軸 NC座標値を一定時間単位毎に読込み、該取得デ ータの変化量を用いて、主軸移動の際に機械熱変位を主因とする補正係数を加える ことを特徴とする請求項 1乃至 7何れかに記載の位置決め装置。
[9] 測長手段により、位置決め対象物との距離を非接触で測定し、任意の検出位置か ら所定範囲の測長エリアでのみ、検出信号を出力する工程と、
この検出信号を検出することにより上記測長手段及び位置決め対象物の相対移動 を停止する工程と、
上記検出信号検出時力 相対移動を実際に停止した第 1位置までのオーバーシュ 一ト量を補正する工程と、
この補正された基準座標値を元に位置決めを行う工程と、
を備えたことを特徴とする位置決め方法。
[10] オーバーシュート量補正工程は、第 1位置力 測長手段の検出位置まで低速移動 を行い、測長エリアを外れたことを検出し停止する第 2位置の座標値を求める工程と この第 2位置力 再度測長手段の検出位置まで低速移動を行な 、、測長エリアで の検出位置に達し停止する第 3位置の座標値を求める工程と、
からなり、上記第 2位置の座標値及び第 3位置の座標値の中間座標を基準座標値と 決定することを特徴とする請求項 9に記載の位置決め方法。
[11] 第 1位置での停止位置が測長エリアを外れた場合、該測長エリアに入るように低速 移動より早い所定の速度で逆方向に移動し、測長エリアより低速移動により第 2位置 へ移動することを特徴とする請求項 10に記載の位置決め方法。
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