WO2006027946A1 - ワイヤ放電加工装置 - Google Patents

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Tatsushi Sato
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Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha
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    • B23H7/10—Supporting, winding or electrical connection of wire-electrode
    • B23H7/107—Current pickups

Definitions

  • the present invention relates to a wire electric discharge machining apparatus that removes a part of a workpiece by generating an electric discharge between an electrode wire and the workpiece.
  • Patent Document 1 Japanese Unexamined Patent Publication No. 2000-94221
  • each coil is formed by winding an electrode wire around a specific guide roller several times, so that a current flows through one coil. Much of the magnetic field generated by this passes inside the other coils.
  • all the coils having a very large mutual inductance formed by any two coil cables are in an electromagnetically coupled state.
  • high permeability materials such as iron are often used for the guide roller, and in order to use the electrode wire as long as possible so as to increase the DC impedance by utilizing the resistance of the electrode wire, Since the number of times tends to increase, the electromagnetic coupling state of each coil is strong. Therefore, when a discharge occurs in one cutting wire part and voltage fluctuation occurs, the effect appears very large in all the cutting wire parts, so in practice, individual power feeding to each cutting wire is not possible. There was a problem that it was very difficult.
  • An object of the present invention is to solve a problem that is intensive, and it is possible to independently apply a voltage to each of the cut wire portions, and to generate discharges in parallel at the same time.
  • An object of the present invention is to obtain a wire electric discharge machining apparatus.
  • the wire electric discharge machining apparatus is configured such that a plurality of guide roller rollers arranged at intervals and a plurality of the guide rollers are wound around each other, thereby winding the guide rollers between the pair of guide rollers.
  • a plurality of cutting wire portions spaced apart from each other, a processing power source that individually supplies power to each of the cutting wire portions via a power supply, and the electrodes between the adjacent cutting wire portions Each coil formed by winding a wire, and a high-frequency insulator having magnetic cores that close the magnetic circuit of each coil and each core magnetically insulated from each other.
  • Each cutting wire portion is installed between each coil and each coil, and each cutting wire portion is insulated from each other at high frequency by each coil.
  • the magnetic field generated by each coil stays inside each magnetic body and does not induce an electromotive force in other coils, so that a voltage is independently applied to each cutting wire portion. It can be applied and discharges can be generated simultaneously in parallel.
  • FIG. 1 is a perspective view showing a main part of a wire electric discharge machining apparatus according to Embodiment 1 of the present invention.
  • FIG. 2 is a perspective view showing the high frequency insulator of FIG. 1.
  • FIG. 3 is a perspective view showing the high frequency insulating element of FIG. 2.
  • FIG. 4 is a perspective view showing a high-frequency insulating element in a wire electric discharge machining apparatus according to Embodiment 2 of the present invention.
  • FIG. 5 is a perspective view showing a high-frequency insulator in a wire electric discharge machining apparatus according to Embodiment 2 of the present invention.
  • FIG. 6 is a perspective view showing a high-frequency insulating element in a wire electric discharge machining apparatus according to Embodiment 3 of the present invention.
  • FIG. 7 is a perspective view showing a high-frequency insulator in a wire electric discharge machining apparatus according to Embodiment 3 of the present invention.
  • FIG. 1 is a perspective view showing a main part of a wire electric discharge machining apparatus according to Embodiment 1 of the present invention
  • FIG. 2 is a perspective view showing a high-frequency insulator 4 in FIG. 1
  • FIG. 3 shows a high-frequency insulation element 41 in FIG. FIG.
  • a single electrode wire 2 fed out from a wire bobbin 1 is wound around sequentially, and the first guide roller 3a, the second guide roller 3b, The guide roller 3c, the fourth guide roller 3d, the fifth guide roller 3e, and the sixth guide roller 3f are provided.
  • a plurality of cutting wire portions 2a stretched in parallel with each other can be configured.
  • a work piece 8 having a rectangular parallelepiped shape, for example, conductive silicon force is held with a proper discharge gap length by a position control device (not shown).
  • the machining fluid is supplied between the workpiece 8 and the cutting wire portion 2a by spraying or dipping between the workpiece 8 and the cutting wire portion 2a in the same manner as in a normal wire discharge carriage device. It is supposed to be done.
  • each of the power supply units 71 is connected to a machining power supply unit 61 that applies a voltage to each cutting wire portion 2a via the wire portion 2b.
  • Each power supply unit 71 is insulated from each other. In close contact with the state, it constitutes a power supply 7.
  • Each machining power supply unit 61 is configured such that a voltage can be independently applied to each cutting wire portion 2a via each power supply unit 71.
  • the ground is shared and the machining power supply as a whole is configured. 6 is composed. Of course, since a voltage is applied between each cutting wire portion 2 a and the workpiece 8, the common ground of the machining power source 6 is connected to the workpiece 8.
  • a wire portion 2c between the fifth guide roller 3e and the sixth guide roller 3f is wound around the wheel 41b a plurality of times to constitute the coil 21.
  • the wheel 41b is rotatable with respect to the support 41c of the core 41a having a high magnetic permeability, such as ring-shaped soft iron or ferrite, and rotates as the electrode wire 2 travels. Yes.
  • the arrows in FIG. 3 indicate the traveling direction of the electrode wire 2 and the accompanying direction of rotation of the wheel 41b. By using the wheel 41b, the traveling of the electrode wire 2 becomes smooth and the disconnection of the electrode wire 2 is prevented.
  • a groove along the path of the electrode wire 2 to be wound may be formed on the outer peripheral surface of the wheel 41b. By forming this groove, a side slip of the wire portion 2c forming the coil 21 is prevented, so that it is possible to prevent a reduction in the function as the coil 21 by conducting with the adjacent wire portion 2c. it can.
  • the high-frequency insulating element 41 is configured by the coil 21, the core 41a, and the wheel 41b. With a simple configuration, high-frequency insulation between the cutting wire portions 2b is possible.
  • the high frequency insulating elements 41 are installed in parallel with air interposed between the adjacent high frequency insulating elements 41 to constitute the high frequency insulator 4.
  • a nonmagnetic material such as aluminum may be interposed.
  • the feeder 7 is connected to the high-frequency insulator 4 and each cutting wire portion 2a. It is installed between. Further, as a matter of course, the voltage application polarity can be appropriately reversed as necessary, as in the conventional wire discharge force.
  • One electrode wire 2 fed out from the wire bobbin 1 is connected to the first guide roller 3a and the second
  • the first guide roller 3b, the third guide roller 3c, the fourth guide roller 3d, and the fifth guide roller 3e are run in this order, and then the wheel 41b of the high-frequency insulating element 41 disposed on the leftmost side in FIG. While rotating, the first guide roller 3a passes again through the sixth guide roller 3f.
  • one electrode wire 2 fed out from the wire bobbin 1 has the first guide roller 3a, the second guide roller 3b, the third guide roller 3c, the fourth guide roller 3d, and the fifth guide roller 3a.
  • the guide roller 3e and the sixth guide roller 3f By repeatedly running the guide roller 3e and the sixth guide roller 3f, a plurality of cutting wire portions 2a and a plurality of coils 21 are formed on the way, and finally discharged from the discharge roller 5.
  • the workpiece 8 is lowered to approach the cutting wire portion 2a, and the cutting wire portion 2a is supplied with power from the machining power source 6 via the power supply 7, and the cutting wire portion 2a, the workpiece 8 and During this time, for example, a pulse voltage of 10 kHz or more is applied, and a large number of pieces are cut from the workpiece 8.
  • the electrode wire 2 has the self-inductance because the coil 21 is formed. Accordingly, the high-frequency voltage applied by the machining power source 6 is significantly attenuated in the portion farther from the coil 21. That is, the high-frequency voltage is significantly attenuated by the sixth guide roller 3f as compared with the fifth guide roller 3e.
  • the core 41a made of a magnetic body has a ring shape that connects both ends of the coil 21 through the inside of the coil 21, the magnetic circuit of the coil 21 is closed.
  • the core 41a of the other adjacent high-frequency insulating element 41 is interposed with air that is a nonmagnetic material, the magnetic circuit of each high-frequency insulating element 41 is separated. Accordingly, since the magnetic flux generated by the current flowing through each coil 21 is completely confined inside the core 41a of each high-frequency insulating element 41 and does not leak to the surroundings, the mutual inductance between any two coils 41a is very small. . That is, there is no mutual action such as the magnetic flux generated by the current flowing through each coil 21 affects the other coils 21 to generate an electromotive force.
  • each cutting wire portion 2a has a mutual inductance with a large self-inductance.
  • the connection is made through a small coil 21. Therefore, since each cutting wire portion 2a is insulated at high frequency, a high frequency voltage can be applied independently from different processing power supply units 61, and simultaneous parallel discharge can be generated.
  • the ring-shaped core 41a in the above embodiment may employ a core having a plurality of core forces that can be divided in order to improve the workability of winding the electrode wire 2 around the support post 41c. Good. In this case, it goes without saying that even if a minute gap exists between the core portions, the magnetic flux does not substantially leak to the outside.
  • the wheel 41b in the above embodiment has an action of confining the magnetic field generated in the coil 21! /,!, So that it is not an essential component in the high-frequency insulator 4! / There is an effect of preventing disconnection by running the wire 2 smoothly.
  • the example in which the workpiece 8 is installed on the guide rollers 3a to 3 is also shown above.
  • the workpiece 8 is installed on the lower side and the third guide roller 3c and the fourth guide roller 3c are installed.
  • the wire portion between the guide roller 3d and the cutting roller portion 2a may be used.
  • the workpiece 8 is placed on the side and the wire portion 2b between the second guide roller 3b and the third guide roller 3c is formed as a cutting wire portion 2a.
  • the high-frequency insulating element 41 is not limited to the shape shown in FIG. 3, but may be any shape as long as it is a magnetic body that closes the magnetic circuit of the coil 21.
  • FIG. 4 is a perspective view showing a high-frequency insulating element 41 incorporated in the wire electric discharge machining apparatus of the second embodiment.
  • the core 41a has a disk shape having a tunnel-shaped hole 41d formed along the edge at a part of the outer peripheral edge, and the coil 21 has the electrode wire 2 through the hole 41d and the outer peripheral edge. It is made up of parts. According to this high frequency insulating element 41, the coil 21 is disposed on the outer periphery of the core 41a. Therefore, when the high frequency insulating element 41 is installed in parallel as shown in FIG. The size of the vessel 4 can be made smaller than that of the first embodiment.
  • FIG. 6 is a perspective view showing a high-frequency insulating element 41 incorporated in the wire electric discharge machining apparatus of the third embodiment.
  • a through hole 41e penetrating in the axial direction is formed at the center of the core 41a.
  • a plurality of cores 41a are installed in parallel, and each core 41a is fixed through each through hole 41e through a nonmagnetic fixed shaft 80.
  • the core 41a is made of a hard and brittle material such as ferrite. It has the advantage of being difficult to destroy.

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Abstract

　この発明に係るワイヤ放電加工装置は、複数本のガイドローラ３ａ～３ｆと、ガイドローラ３ａ～３ｆのそれぞれを巻き掛けすることにより、一対のガイドローラ３ａ、３ｂ間で互いに離間した切断ワイヤ部２ａを形成する１本の電極ワイヤ２と、切断ワイヤ部２ａのそれぞれに個別に給電子７を介して給電する加工電源６と、各隣接した切断ワイヤ部２ａ間の電極ワイヤ２を巻回することで形成された各コイル２１、及びこの各コイル２１の磁気回路を閉じるとともに互いに磁気的に絶縁された各コア４１ａを有する高周波絶縁器４を備え、給電子７は、各切断ワイヤ部２ａと各コイル２１との間に設置されており、各切断ワイヤ部２ａは互いに各コイル２１により高周波的に絶縁されている。 　その結果、それぞれの切断ワイヤ部に独立に電圧を印加可能となり、同時並列的に放電を発生させることができる。

Description

明 細 書
ワイヤ放電加工装置
技術分野
[0001] この発明は、電極ワイヤと工作物との間で放電を発生させることにより、工作物の一 部を除去するワイヤ放電加工装置に関するものである。
背景技術
[0002] ワイヤ放電カ卩ェにより柱状の部材力 薄板をスライスカ卩ェする場合、 1本の電極ワイ ャを複数個の互いに離間したガイドローラ間に巻き掛けして互いに離間した多数の 切断ワイヤ部を形成し、それぞれの切断ワイヤ部に個別に給電することで、同時に放 電を生ぜしめて生産性を向上させる試みが提案されている（例えば特許文献 1)。 このものの場合、全ての切断ワイヤ部は互いに導通している力 特定のガイドローラ について電極ワイヤを複数回卷回することで隣接した切断ワイヤ部間にそれぞれコィ ルが形成されており、この各コイルのインピーダンスによりそれぞれの切断ワイヤ部間 の絶縁性を向上させ、特定の切断ワイヤ部に印加された電圧がこれに隣接した切断 ワイヤ部に分散するのを抑制している。
特許文献 1：特開 2000— 94221号公報
発明の開示
発明が解決しょうとする課題
[0003] し力しながら、このワイヤ放電カ卩ェ装置では、特定のガイドローラに電極ワイヤを複 数回卷回することにより各コイルが形成されて 、るので、一つのコイルに電流が流れ ることにより生じる磁界の多くが、他のコイルの内部を通過する。つまり、このような構 成では任意の二つのコイルカゝら形成される相互インダクタンスが非常に大きぐすべ てのコイルは電磁気的には密接に結合された状態になっている。また、ガイドローラ には鉄などの高透磁率材料が使われることが多ぐまた電極ワイヤの抵抗分を利用し て直流インピーダンスが大きくなるように電極ワイヤをできるだけ長く使用するために 電極ワイヤの卷回数が多くなりがちなことから、各コイルの電磁気的な結合状態が強 力である。 従って、一つの切断ワイヤ部で放電が発生して電圧変動が生じた場合には、すべ ての切断ワイヤ部にその影響が非常に大きく現れるから、実際にはそれぞれの切断 ワイヤへの個別給電は非常に困難であるという問題点があった。
[0004] この発明は、力かる問題点を解決することを課題とするものであって、それぞれの切 断ワイヤ部に独立に電圧を印加可能となり、同時並列的に放電を発生させることがで きるワイヤ放電加工装置を得ることを目的とするものである。
課題を解決するための手段
[0005] この発明に係るワイヤ放電加工装置は、間隔をおいて配設された複数本のガイド口 ーラと、複数の前記ガイドローラのそれぞれを巻き掛けすることにより、一対の前記ガ イドローラ間で互いに離間した複数の切断ワイヤ部を形成する 1本の電極ワイヤと、 前記切断ワイヤ部のそれぞれに個別に給電子を介して給電する加工電源と、各隣接 した前記切断ワイヤ部間の前記電極ワイヤを卷回することで形成された各コイル、及 びこの各コイルの磁気回路を閉じる磁性体力 なるとともに互いに磁気的に絶縁され た各コアを有する高周波絶縁器とを備え、前記給電子は、各前記切断ワイヤ部と各 前記コイルとの間に設置されており、各切断ワイヤ部は互いに各前記コイルにより高 周波的に絶縁されている。
発明の効果
[0006] この発明のワイヤ放電加工装置によれば、各コイルにより発生する磁界がそれぞれ の磁性体内部にとどまって他のコイルに起電力を誘起しないので、それぞれの切断 ワイヤ部に独立に電圧を印加可能となり、放電を同時並列的に発生させることができ る。
図面の簡単な説明
[0007] [図 1]この発明の実施の形態 1によるワイヤ放電加工装置の要部を示す斜視図である
[図 2]図 1の高周波絶縁器を示す斜視図である。
[図 3]図 2の高周波絶縁要素を示す斜視図である。
[図 4]この発明の実施の形態 2によるワイヤ放電加工装置における高周波絶縁要素を 示す斜視図である。 [図 5]この発明の実施の形態 2によるワイヤ放電加工装置における高周波絶縁器を示 す斜視図である。
[図 6]この発明の実施の形態 3によるワイヤ放電加工装置における高周波絶縁要素を 示す斜視図である。
[図 7]この発明の実施の形態 3によるワイヤ放電加工装置における高周波絶縁器を示 す斜視図である。
発明を実施するための最良の形態
[0008] 以下、この発明の各実施の形態について図に基づいて説明するが、各図において 、同一または相当部材、部位については、同一符号を付して説明する。
実施の形態 1.
図 1はこの発明の実施の形態 1のワイヤ放電加工装置の要部を示す斜視図、図 2 は図 1の高周波絶縁器 4を示す斜視図、図 3は図 2の高周波絶縁要素 41を示す斜視 図である。
このワイヤ放電カ卩ェ装置では、ワイヤボビン 1から繰り出される一本の電極ワイヤ 2 が順次巻き掛けされ、互いに軸線方向に平行に離間した第 1のガイドローラ 3a、第 2 のガイドローラ 3b、第 3のガイドローラ 3c、第 4のガイドローラ 3d、第 5のガイドローラ 3 e及び第 6のガイドローラ 3fが備えられて 、る。
電極ワイヤ 2のうち、第 1のガイドローラ 3aと第 2のガイドローラ 3bとの間では、互い に平行に張設された複数の切断ワイヤ部 2aを構成して ヽる。この切断ワイヤ部 2aの 上方では、直方体形状をした例えば導電性を有するシリコン力 なる工作物 8が位置 制御装置（図示せず）により適正な放電ギャップ長で保持されている。この工作物 8と 切断ワイヤ部 2aとの間には、通常のワイヤ放電カ卩ェ装置と同様に、吹きかけ、もしく は浸漬により工作物 8と切断ワイヤ部 2aとの間に加工液が供給されるようになってい る。
[0009] 電極ワイヤ 2のうち、第 2のガイドローラ 3bと第 3のガイドローラ 3cとの間で互いに平 行に張設された複数のワイヤ部 2bには、個別に給電子ユニット 71が接触している。 この各給電子ユニット 71は、ワイヤ部 2bを介して各切断ワイヤ部 2aに電圧を印加す る加工電源ユニット 61と接続されて!、る。各給電子ユニット 71は互 、に絶縁された状 態で密接されて給電子 7を構成している。各加工電源ユニット 61は、各給電子ュ-ッ ト 71を介して各切断ワイヤ部 2aにそれぞれ独立に電圧を印加可能な構成になって おり、そのグランドは共通化されていて全体として加工電源 6を構成している。勿論、 電圧は、各切断ワイヤ部 2aと工作物 8との間に印加するのであるから、加工電源 6の 共通グランドは工作物 8に接続されている。
[0010] 電極ワイヤ 2のうち、第 5のガイドローラ 3eと第 6のガイドローラ 3fとの間のワイヤ部 2 cは、ホイール 41bに複数回卷回されてコイル 21を構成している。このホイール 41b は、リング形状をした軟鉄やフェライト等の高透磁率の磁性体力 なるコア 41aの支 柱 41cに対して回転自在であって、電極ワイヤ 2の走行に伴って回転するようになつ ている。図 3中の矢印は電極ワイヤ 2の走行とそれに伴うホイール 41bの回転の方向 を示している。このホイール 41bを用いることで、電極ワイヤ 2の走行が円滑となり、電 極ワイヤ 2の断線が防止される。
なお、ホイール 41bの外周面に、巻きつける電極ワイヤ 2の経路に沿った溝を形成 するようにしてもよい。この溝を形成することで、コイル 21を形成しているワイヤ部 2c の横滑りが防止されるため、隣のワイヤ部 2cと導通してコイル 21としての作用が減ず るのを防止することができる。
[0011] ここで、コイル 21、コア 41a及びホイール 41bで高周波絶縁要素 41を構成しており 、簡単な構成で、各切断ワイヤ部 2b間での高周波的な絶縁が可能となる。この高周 波絶縁要素 41は、それぞれ隣接した高周波絶縁要素 41間に空気を介在させて並 列に設置されて、高周波絶縁器 4を構成している。なお、隣接した高周波絶縁要素 4 1間を互いに磁気的に絶縁するために、アルミニウム等の非磁性材料を介在させるよ うにしてもよい。
なお、当然ながら、各々の切断ワイヤ部 2aには各々の加工電源ユニット 61から独 立して高周波電圧を印加する必要があるから、給電子 7は、高周波絶縁器 4と各切断 ワイヤ部 2aとの間に設置されている。さらにまた当然ながら、電圧印加極性は従来の ワイヤ放電力卩ェと同様に、必要に応じて適宜反転可能となって 、る。
[0012] 次に、上記構成のワイヤ放電加工装置の動作について説明する。
ワイヤボビン 1から繰り出された一本の電極ワイヤ 2は、第 1のガイドローラ 3a、第 2 のガイドローラ 3b、第 3のガイドローラ 3c、第 4のガイドローラ 3d及び第 5のガイドロー ラ 3eの順で走行された後、図 1において最も左側に配置された高周波絶縁要素 41 のホイール 41bを回転させながら、第 6のガイドローラ 3fを通って、再び第 1のガイド口 ーラ 3aを通過している。
このようにして、ワイヤボビン 1から繰り出された一本の電極ワイヤ 2は、第 1のガイド ローラ 3a、第 2のガイドローラ 3b、第 3のガイドローラ 3c、第 4のガイドローラ 3d、第 5 のガイドローラ 3e及び第 6のガイドローラ 3fを繰り返し、走行することで、途中、複数 の切断ワイヤ部 2a及び複数のコイル 21が形成されており、最後には排出ローラ 5か ら排出されている。
この状態で、工作物 8を降下させて切断ワイヤ部 2aに接近させるとともに、切断ワイ ャ部 2aには、加工電源 6から給電子 7を介して給電され、切断ワイヤ部 2aと工作物 8 との間に例えば 10kHz以上のパルス電圧が印加され、工作物 8からは多数枚の小 片が切断される。
[0013] 以上説明したように、上記構成のワイヤ放電カ卩ェ装置によれば、電極ワイヤ 2は、コ ィル 21が形成しているので自己インダクタンスが大きい。従って、加工電源 6により印 カロされた高周波電圧は、コイル 21より遠方の部分では著しく減衰される。即ち、高周 波電圧は、第 5のガイドローラ 3eと比較して第 6のガイドローラ 3fでは著しく減衰され る。
また、磁性体カゝらなるコア 41aはコイル 21の内部を経由してその両端を外部で接続 するリング形状であるから、コイル 21の磁気回路は閉じられている。
さらに、隣接する他の高周波絶縁要素 41のコア 41aとは非磁性材料である空気を 介しているので、各々の高周波絶縁要素 41の磁気回路は分離されている。従って、 各コイル 21に流れる電流により発生する磁束は、それぞれの高周波絶縁要素 41の コア 41a内部にすべて閉じ込められて周囲に漏れないから、任意の二つのコイル 41 a間の相互インダクタンスは非常に小さい。即ち、それぞれのコイル 21に流れる電流 により生じる磁束が他のコイル 21に影響を与えて起電力を生ぜしめるなどの相互作 用は発生しない。
[0014] このように、電極ワイヤ 2が複数のガイドローラ 3a〜3f間を巻き掛けされる毎に、途 中コイル 21を有する高周波絶縁要素 41が設けられており、かつそのコイル 21の磁 気回路をリング状のコア 41aで閉じることにより、各切断ワイヤ部 2aは、自己インダク タンスが大きぐ相互インダクタンスの小さなコイル 21を介した接続状態となる。従つ て、それぞれの切断ワイヤ部 2aは高周波的に絶縁されるから、それぞれ異なる加工 電源ユニット 61から独立に高周波電圧を印加でき、同時並列的な放電の発生が可 能となる。
[0015] なお、上記実施の形態におけるリング状のコア 41aは、電極ワイヤ 2を支柱 41cに卷 回する作業性を向上させるために、分割可能な複数のコア部力もなるコアを採用して もよい。この場合、コア部間で微小なギャップが存在していても、実質的に磁束が外 部へほとんど漏れなければ使用に差し支えな 、ことは言うまでもな!/、。
また、上記実施の形態におけるホイール 41bは、コイル 21に生じる磁界を閉じ込め る作用を有して!/、な!、ので、高周波絶縁器 4にお 、て必須の構成要素ではな!/、が、 ワイヤ 2を円滑に走行させることにより断線を防止する効果がある。
さらにまた、上記実施の形態では、工作物 8がガイドローラ 3a〜3はりも上方に設置 された例を示したが、工作物 8を下方に設置して第 3のガイドローラ 3cと第 4のガイド ローラ 3dとの間のワイヤ部を切断ワイヤ部 2aとしてもよい。また、工作物 8を側方に設 置して第 2のガイドローラ 3bと第 3のガイドローラ 3cとの間のワイヤ部 2bを切断ワイヤ 部 2aとなす等、電極ワイヤ 2に対する工作物 8の設置関係はさまざまな形態が考えら れるが、工作物 8が多数平行に架設された電極ワイヤ 2と対向可能な形態であれば、 どのような形態であってもよ ヽのは言うまでもな 、。
[0016] 実施の形態 2.
高周波絶縁要素 41は図 3に示すような形状に限られるわけではなぐコイル 21の 磁気回路を閉じる形状の磁性体であればどのような形状であってもよい。
図 4は、実施の形態 2のワイヤ放電加工装置に組み込まれた高周波絶縁要素 41を 示す斜視図である。
このものの場合、コア 41aは、外周縁部の一部に縁部に沿って形成されたトンネル 状の孔 41dを有する円盤形状であり、コイル 21は、電極ワイヤ 2が孔 41dを通って外 周縁部を卷回して構成されて ヽる。 この高周波絶縁要素 41によれば、コイル 21はコア 41aの外周に配設されて 、るの で、図 5に示すように高周波絶縁要素 41を並列設置した場合に、その設置方向の高 周波絶縁器 4の寸法を実施の形態 1のものと比較して小さくすることができる。
なお、他の構成は、実施の形態 1のワイヤ放電加工装置と同じである。
また、このものの場合にも、実施の形態 1と同様にコア 41aとコイル 21との間にコア 4 laに対して回転自在なホイールを設けるようにすれば、電極ワイヤ 2の走行が円滑に なり、断線を防止することができる。
また、ホイール外周面に電極ワイヤ 2の経路に沿って溝を設けるようにすれば、コィ ル 21を形成しているワイヤ部 2cの横滑りが防止されるため、隣のワイヤ部 2cと導通し てコイル 21としての作用が減ずるのを防止することができる。
実施の形態 3.
図 6は、実施の形態 3のワイヤ放電加工装置に組み込まれた高周波絶縁要素 41を 示す斜視図である。
このものの場合、コア 41aの中心に軸線方向に貫通した貫通孔 41eが形成されて いる。高周波絶縁器 4は、図 7に示すように、複数のコア 41aが並列に設置され、各貫 通孔 41eに非磁性の固定軸 80を貫通して、各コア 41aが固定されている。
この高周波絶縁器 4によれば、電極ワイヤ 2の弓 I張りに対する釣り合、の力がコア 4 laを圧縮する方向に作用させることができるので、フェライトなどの硬脆材料によりコ ァ 41aを製作しても破壊しにく 、と 、う利点を有する。

Claims

請求の範囲
[1] 間隔をお ヽて配設された複数本のガイドローラと、
複数の前記ガイドローラのそれぞれを巻き掛けすることにより、一対の前記ガイド口 ーラ間で互いに離間した複数の切断ワイヤ部を形成する 1本の電極ワイヤと、 前記切断ワイヤ部のそれぞれに個別に給電子を介して給電する加工電源と、 各隣接した前記切断ワイヤ部間の前記電極ワイヤを卷回することで形成された各コ ィル、及びこの各コイルの磁気回路を閉じる磁性体力もなるとともに互いに磁気的に 絶縁された各コアを有する高周波絶縁器とを備え、
前記給電子は、各前記切断ワイヤ部と各前記コイルとの間に設置されており、各切 断ワイヤ部は互いに各前記コイルにより高周波的に絶縁されているワイヤ放電加工 装置。
[2] 前記コアは、支柱を有するリング形状であり、前記コイルは、前記支柱に前記電極 ワイヤを卷回して構成されて ヽる請求項 1に記載のワイヤ放電加工装置。
[3] 前記コアは、外周縁部の一部に縁部に沿って形成されたトンネル状の孔を有する 円盤形状であり、前記コイルは、前記電極ワイヤが前記孔を通って前記外周縁部を 卷回して構成されて!ヽる請求項 1に記載のワイヤ放電加工装置。
[4] 前記コアには、軸線方向に貫通した貫通孔が形成されており、この貫通孔に固定 軸が貫通、固定されてコアが固定されている請求項 3に記載のワイヤ放電カ卩ェ装置。
[5] 前記コアと前記コイルとの間には、コアに対して回転自在のホイールが設けられて V、る請求項 1な 、し請求項 4の何れか 1項に記載のワイヤ放電カ卩ェ装置。
[6] 前記ホイールの外周面には、前記電極ワイヤの経路に沿った溝が形成されている 請求項 5に記載のワイヤ放電加工装置。
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20110092053A1 (en) * 2008-06-16 2011-04-21 Mitsubishi Electric Corporation Wire discharge-machining apparatus and wire discharge-machining method, semiconductor wafer manufacturing apparatus and semiconductor wafer manufacturing method, and solar-cell wafer manufacturing apparatus and solar-cell wafer manufacturing method
WO2011138189A1 (en) 2010-05-04 2011-11-10 Nv Bekaert Sa Sawing wire and a sawing wire coil with adhesive and a method to prevent clamped windings

Families Citing this family (21)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009166190A (ja) * 2008-01-17 2009-07-30 Mitsubishi Electric Corp ワイヤ放電加工装置
JP4912330B2 (ja) * 2008-01-18 2012-04-11 三菱電機株式会社 ワイヤ放電加工装置
JP5172019B2 (ja) * 2009-09-24 2013-03-27 三菱電機株式会社 ワイヤ放電加工装置、ワイヤ放電加工方法、薄板製造方法および半導体ウエハ製造方法
TWI377102B (en) * 2009-11-18 2012-11-21 Ind Tech Res Inst Wire cut electrical discharge machine
JP5393501B2 (ja) * 2010-01-20 2014-01-22 三菱電機株式会社 ワイヤ放電加工装置
JP5495957B2 (ja) * 2010-06-03 2014-05-21 三菱電機株式会社 ワイヤ放電加工装置
CN103596718B (zh) * 2011-04-19 2016-03-16 有限会社仓敷系统设计 放电加工装置
US20130043218A1 (en) * 2011-08-19 2013-02-21 Apple Inc. Multi-wire cutting for efficient magnet machining
ES2560631T3 (es) * 2011-12-30 2016-02-22 Agie Charmilles Sa Procedimiento de corte con alambre
DE112012005697B4 (de) * 2012-01-18 2020-06-10 Mitsubishi Electric Corporation Drahterodiervorrichtung und Drahterodierverfahren
AU2013214801B2 (en) * 2012-02-02 2018-06-21 Visa International Service Association Multi-source, multi-dimensional, cross-entity, multimedia database platform apparatuses, methods and systems
JP5578223B2 (ja) * 2012-03-01 2014-08-27 キヤノンマーケティングジャパン株式会社 マルチワイヤ放電加工システム、マルチワイヤ放電加工装置、電源装置、半導体基板または太陽電池基板の製造方法、放電加工方法
JP5847298B2 (ja) * 2012-04-12 2016-01-20 三菱電機株式会社 ワイヤ放電加工装置およびこれを用いた半導体ウエハの製造方法
CN102672291B (zh) * 2012-06-01 2014-09-24 浙江约特工具有限公司 高效齿尖线切割装置
CN103962664B (zh) * 2013-01-29 2016-12-07 佳能市场营销日本株式会社 线放电加工装置以及线放电加工方法
JP5705907B2 (ja) 2013-04-15 2015-04-22 ファナック株式会社 テーパ加工を行うワイヤ放電加工機
WO2014188754A1 (ja) * 2013-05-20 2014-11-27 三菱電機株式会社 ワイヤ放電加工装置、これを用いた薄板の製造方法及び半導体ウエハの製造方法
JP5825382B2 (ja) * 2013-06-28 2015-12-02 キヤノンマーケティングジャパン株式会社 ワイヤ放電加工装置、ワイヤ放電加工システム、電源装置、ワイヤ放電加工方法、半導体基板の製造方法。
JP5983791B2 (ja) * 2014-04-30 2016-09-06 キヤノンマーケティングジャパン株式会社 給電ユニット、マルチワイヤ放電加工装置
CN107570820A (zh) * 2016-07-05 2018-01-12 浙江融创磁业有限公司 一种关于磁性材料多线切割加工工艺的方法
CN114273740A (zh) * 2021-11-17 2022-04-05 青岛高测科技股份有限公司 一种三辊金刚线多线切割机

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000094221A (ja) * 1998-09-24 2000-04-04 Toyo Advanced Technologies Co Ltd 放電式ワイヤソー

Family Cites Families (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
SE447061B (sv) * 1985-06-10 1986-10-27 Medinvent Sa Inforingsanordning, spec for implantering i en levande organism
CA1309752C (en) * 1987-05-14 1992-11-03 Kimiaki Yamaguchi Stationary induction apparatus
DE3931828A1 (de) * 1989-09-23 1991-04-04 Krieg Gunther Streifencode sowie verfahren und vorrichtung zum lesen eines solchen
JPH1055508A (ja) 1996-08-08 1998-02-24 Yamaha Corp 薄膜磁気ヘッド用ウェハの切断方法およびその装置
JP3731279B2 (ja) * 1997-03-12 2006-01-05 三菱電機株式会社 放電加工機
US6049650A (en) * 1998-04-17 2000-04-11 Seagate Technology, Inc. Structure for micro-machine optical tooling and method for making and using
JP2000109397A (ja) 1998-10-01 2000-04-18 Toyo Advanced Technologies Co Ltd 導電性を有するインゴット及びその切断方法
JP2002011619A (ja) * 2000-06-28 2002-01-15 Amada Co Ltd ワイヤカット放電加工機及び同加工機を利用したダイ加工方法
JP5057259B2 (ja) * 2001-06-06 2012-10-24 小宮 邦文 コイルフィルタ及びその製造方法
KR20030023832A (ko) * 2001-09-14 2003-03-20 한강섭 휠(Wheel)의 회전력을 이용한 전원공급장치
JP2004140006A (ja) * 2002-10-15 2004-05-13 Minebea Co Ltd コモンモードチョークコイル及びラインフィルタ
US7034263B2 (en) * 2003-07-02 2006-04-25 Itherm Technologies, Lp Apparatus and method for inductive heating
US6998573B2 (en) * 2003-07-11 2006-02-14 Lincoln Global, Inc. Transformer module for a welder

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000094221A (ja) * 1998-09-24 2000-04-04 Toyo Advanced Technologies Co Ltd 放電式ワイヤソー

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20110092053A1 (en) * 2008-06-16 2011-04-21 Mitsubishi Electric Corporation Wire discharge-machining apparatus and wire discharge-machining method, semiconductor wafer manufacturing apparatus and semiconductor wafer manufacturing method, and solar-cell wafer manufacturing apparatus and solar-cell wafer manufacturing method
US9050672B2 (en) * 2008-06-16 2015-06-09 Mitsubishi Electric Corporation Wire discharge-machining apparatus with parallel cutting wires
US9643270B2 (en) 2008-06-16 2017-05-09 Mitsubishi Electric Corporation Wire discharge-machining apparatus with parallel cutting wires
DE112009001483B4 (de) 2008-06-16 2020-01-09 Mitsubishi Electric Corp. Drahtelektroerosionsbearbeitungsvorrichtung, drahtelektroerosionsbearbeitungsverfahren, dünnplattenherstellungsverfahren und halbleiterwaferherstellungsverfahren
WO2011138189A1 (en) 2010-05-04 2011-11-10 Nv Bekaert Sa Sawing wire and a sawing wire coil with adhesive and a method to prevent clamped windings

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