JP5825382B2 - ワイヤ放電加工装置、ワイヤ放電加工システム、電源装置、ワイヤ放電加工方法、半導体基板の製造方法。 - Google Patents

Description

本発明は、ワイヤ放電加工装置、ワイヤ放電加工システム、電源装置、ワイヤ放電加工方法、半導体基板の製造方法技術に関する。

従来よりシリコンインゴットを多数の薄片にスライスするための装置としてワイヤソーが知られているが、近年ワイヤ放電加工技術を用いてワークを薄板にスライスする技術がある。
例えば、特許文献１にはマルチワイヤ放電加工装置で複数のインゴットを加工する技術が開示されている。

特許文献１には、回転電極と２つのインゴットを交互に並ぶように配置させて、回転電極３つから２つ切断ワイヤの中心までの距離をそれぞれ等距離にしてそれぞれのインゴット毎に均等な放電加工電流を加えるために、２つの加工電圧をそれぞれのインゴット毎に個別に供給する技術が開示されている。

このような装置構成にすることで、各電極から最短距離にある２つのインゴットの方向に流れる加工電流を均一にすることは可能であるが、各電極からは加工電流がその反対方向である各電極間である距離が遠い方にも回り込んで流れてしまうことから、２つのインゴットの切断加工に何ら寄与しない加工電流がワイヤを流れてしまう。

特開２０１２−２００８０２号公報

さらに特許文献１には、２つのインゴットのワイヤ放電加工処理をバッチ処理する場合に、インゴット毎に加工電圧がそれぞれ個別に設けられているので、加工電圧やワークの送り量等をインゴット毎に分けて個別に制御することができるが、２つのインゴットに加工電圧を供給する制御機構も多くなるために、制御機構が複雑になり、結果的には装置のコスト高になってしまう。

本発明は、複数のメインローラを周回するワイヤ１周の中で、１つの給電子に対してそれぞれが逆方向に流れる２つの向き放電加工電流を有効活用して、複数個のワークのワイヤ放電加工処理を低コストでバッチ処理できる仕組みを提供することを目的とする。

本発明は、ワークを放電加工するワイヤ放電加工装置であって、並設するようにワイヤを周回させる複数のメインローラと、前記複数のメインローラを周回するワイヤに向かって前記ワークを送り出す複数のワーク送り部と、前記ワークに加工電圧を供給する加工電源部と、
前記複数のメインローラを周回するワイヤに前記加工電圧を給電する給電子と、を備え、前記複数のメインローラを並設して周回しているワイヤ部に向かってワークを送り出す第１の箇所と、前記ワイヤ部とは並設して周回しているワイヤ面が異なるワイヤ部に向かってワークを送り出す第２の箇所に、複数のワーク送り部がそれぞれ配置されており、前記第１の箇所と前記第２の箇所との間の、ワイヤが前記複数のメインローラを並設して周回している第３の箇所に、前記給電子が配置されており、前記複数の前記ワーク送り部においてそれぞれ放電加工されるワークに、１つの前記加工電源部から供給された加工電圧を供給し、前記放電加工するまえに予め測定されたワークの比抵抗値が同等であるワークを前記複数のワーク送り部においてそれぞれ放電加工する場合には、ワイヤが前記複数のメインローラを並設して周回している前記第１の箇所から前記第３の箇所までの第１の距離とワイヤが前記複数のメインローラを並設して周回している前記第２の箇所から前記第３の箇所までの第２の距離とが等距離になる前記第３の箇所に前記給電子を配置させて前記放電加工できるように、前記給電子が配置されている位置である前記第３の箇所が変更可能であることを特徴とする。

本発明は、ワークを放電加工するワイヤ放電加工装置であって、並設するようにワイヤを周回させる複数のメインローラと、前記複数のメインローラを周回するワイヤに向かって前記ワークを送り出す複数のワーク送り部と、前記ワークに加工電圧を供給する加工電源部と、前記複数のメインローラを周回するワイヤに前記加工電圧を給電する給電子と、を備え、前記複数のメインローラを並設して周回しているワイヤ部に向かってワークを送り出す第１の箇所と、前記ワイヤ部とは並設して周回しているワイヤ面が異なるワイヤ部に向かってワークを送り出す第２の箇所に、複数のワーク送り部がそれぞれ配置されており、前記第１の箇所と前記第２の箇所との間の、ワイヤが前記複数のメインローラを並設して周回している第３の箇所に、前記給電子が配置されており、前記複数の前記ワーク送り部においてそれぞれ放電加工されるワークに、１つの前記加工電源部から供給された加工電圧を供給し、前記放電加工するまえに予め測定されたワークの比抵抗値が異なるワークを前記複数のワーク送り部においてそれぞれ放電加工する場合には、ワイヤが前記複数のメインローラを並設して周回している前記第１の箇所から前記第３の箇所までの第１の距離と、ワイヤが前記複数のメインローラを並設して周回している前記第２の箇所から前記第３の箇所までの第２の距離との比率または差分が、前記予め測定された比抵抗値の比率または差分に基づいた距離になる前記第３の箇所に前記給電子を配置させて前記放電加工できるように、前記給電子が配置されている位置である前記第３の箇所が変更可能であることを特徴とする。

本発明は、ワークを放電加工するワイヤ放電加工システムであって、並設するようにワイヤを周回させる複数のメインローラと、前記複数のメインローラを周回するワイヤに向かって前記ワークを送り出す複数のワーク送り部と、前記複数のメインローラを周回するワイヤに加工電圧を給電する給電子と、を備えるワイヤ放電加工装置は、前記複数のメインローラを並設して周回しているワイヤ部に向かってワークを送り出す第１の箇所と、前記ワイヤ部とは並設して周回しているワイヤ面が異なるワイヤ部に向かってワークを送り出す第２の箇所に、複数のワーク送り部がそれぞれ配置されており、前記第１の箇所と前記第２の箇所との間の、ワイヤが前記複数のメインローラを並設して周回している第３の箇所に、前記給電子が配置されており、さらに、前記ワークに前記加工電圧を供給する電源装置が、前記複数の前記ワーク送り部においてそれぞれ放電加工されるワークに、１つの前記加工電源部から供給された加工電圧を供給し、前記放電加工するまえに予め測定されたワークの比抵抗値が同等であるワークを前記複数のワーク送り部においてそれぞれ放電加工する場合には、ワイヤが前記複数のメインローラを並設して周回している前記第１の箇所から前記第３の箇所までの第１の距離とワイヤが前記複数のメインローラを並設して周回している前記第２の箇所から前記第３の箇所までの第２の距離とが等距離になる前記第３の箇所に前記給電子を配置させて前記放電加工できるように、前記給電子が配置されている位置である前記第３の箇所が変更可能であることを特徴とする。

本発明は、ワークを放電加工するワイヤ放電加工システムであって、並設するようにワイヤを周回させる複数のメインローラと、前記複数のメインローラを周回するワイヤに向かって前記ワークを送り出す複数のワーク送り部と、前記複数のメインローラを周回するワイヤに加工電圧を給電する給電子と、を備えるワイヤ放電加工装置は、前記複数のメインローラを並設して周回しているワイヤ部に向かってワークを送り出す第１の箇所と、前記ワイヤ部とは並設して周回しているワイヤ面が異なるワイヤ部に向かってワークを送り出す第２の箇所に、複数のワーク送り部がそれぞれ配置されており、前記第１の箇所と前記第２の箇所との間の、ワイヤが前記複数のメインローラを並設して周回している第３の箇所に、前記給電子が配置されており、さらに、前記ワークに前記加工電圧を供給する電源装置が、前記複数の前記ワーク送り部においてそれぞれ放電加工されるワークに、１つの前記加工電源部から供給された加工電圧を供給し、前記放電加工するまえに予め測定されたワークの比抵抗値が異なるワークを前記複数のワーク送り部においてそれぞれ放電加工する場合には、ワイヤが前記複数のメインローラを並設して周回している前記第１の箇所から前記第３の箇所までの第１の距離と、ワイヤが前記複数のメインローラを並設して周回している前記第２の箇所から前記第３の箇所までの第２の距離との比率または差分が、前記予め測定された比抵抗値の比率または差分に基づいた距離になる前記第３の箇所に前記給電子を配置させて前記放電加工できるように、前記給電子が配置されている位置である前記第３の箇所が変更可能であることを特徴とする。

本発明は、ワークを放電加工するために用いられ、並設するようにワイヤを周回させる複数のメインローラと、前記複数のメインローラを周回するワイヤに向かって前記ワークを送り出す複数のワーク送り部と、前記複数のメインローラを周回するワイヤに加工電圧を給電する給電子と、を備え、前記複数のメインローラを並設して周回しているワイヤ部に向かってワークを送り出す第１の箇所と、前記ワイヤ部とは並設して周回しているワイヤ面が異なるワイヤ部に向かってワークを送り出す第２の箇所に、複数のワーク送り部がそれぞれ配置されており、前記第１の箇所と前記第２の箇所との間の、ワイヤが前記複数のメインローラを並設して周回している第３の箇所に、前記給電子が配置されている、ワイヤ放電加工装置において放電加工される前記ワークに前記加工電圧を供給する加工電源部を備える電源装置であって、前記複数の前記ワーク送り部においてそれぞれ放電加工されるワークに、１つの前記加工電源部から供給された加工電圧を供給し、前記放電加工するまえに予め測定されたワークの比抵抗値が同等であるワークを前記複数のワーク送り部においてそれぞれ放電加工する場合には、ワイヤが前記複数のメインローラを並設して周回している前記第１の箇所から前記第３の箇所までの第１の距離とワイヤが前記複数のメインローラを並設して周回している前記第２の箇所から前記第３の箇所までの第２の距離とが等距離になる前記第３の箇所に前記給電子を配置させて前記放電加工できるように、前記給電子が配置されている位置である前記第３の箇所が変更可能であることを特徴とする。

本発明は、ワークを放電加工するために用いられ、並設するようにワイヤを周回させる複数のメインローラと、前記複数のメインローラを周回するワイヤに向かって前記ワークを送り出す複数のワーク送り部と、前記複数のメインローラを周回するワイヤに加工電圧を給電する給電子と、を備え、前記複数のメインローラを並設して周回しているワイヤ部に向かってワークを送り出す第１の箇所と、前記ワイヤ部とは並設して周回しているワイヤ面が異なるワイヤ部に向かってワークを送り出す第２の箇所に、複数のワーク送り部がそれぞれ配置されており、前記第１の箇所と前記第２の箇所との間の、ワイヤが前記複数のメインローラを並設して周回している第３の箇所に、前記給電子が配置されている、ワイヤ放電加工装置において放電加工される前記ワークに前記加工電圧を供給する加工電源部を備える電源装置であって、前記複数の前記ワーク送り部においてそれぞれ放電加工されるワークに、１つの前記加工電源部から供給された加工電圧を供給し、前記放電加工するまえに予め測定されたワークの比抵抗値が異なるワークを前記複数のワーク送り部においてそれぞれ放電加工する場合には、ワイヤが前記複数のメインローラを並設して周回している前記第１の箇所から前記第３の箇所までの第１の距離と、ワイヤが前記複数のメインローラを並設して周回している前記第２の箇所から前記第３の箇所までの第２の距離との比率または差分が、前記予め測定された比抵抗値の比率または差分に基づいた距離になる前記第３の箇所に前記給電子を配置させて前記放電加工できるように、前記給電子が配置されている位置である前記第３の箇所が変更可能であることを特徴とする電源装置。

本発明により、複数のメインローラを周回するワイヤ１周の中で、１つの給電子に対してそれぞれが逆方向に流れる２つの向き放電加工電流を有効活用して、複数個のワークのワイヤ放電加工処理を低コストでバッチ処理できる仕組みを提供することが可能となる。

本発明のマルチワイヤ放電加工システムを正面から見た図。 本発明のマルチワイヤ放電加工装置を正面から見た拡大図。 本発明における給電子とワイヤとの配置関係を側面から見た図。 従来技術（シングルワイヤ放電加工システム）における電気回路と各種部品の配置を示した図。 従来技術（マルチワイヤ放電加工システム）における電気回路と各種部品の配置を示した図。 本発明における極間状態（電圧と電流）と、加工電圧のパルス（ＯＮ／ＯＦＦ）周期を示したもの。 本発明における電気回路と各種部品の配置を示した図。 本発明における電気回路と各種部品の配置を示した図。 従来技術（マルチワイヤ放電加工システム）における給電子とワイヤとの配置関係を斜め方向から見た図。 従来技術（マルチワイヤ放電加工システム）における電気回路と加工電流の流れ方を模した図。 従来技術（マルチワイヤ放電加工システム）における電気回路と均等放電時の加工電流の流れ方を模した図。 従来技術（マルチワイヤ放電加工システム）における電気回路と一部放電時の加工電流の流れ方を模した図。 本発明（マルチワイヤ放電加工システム）における給電子とワイヤとの配置関係を斜め方向から見た図。 本発明（マルチワイヤ放電加工システム）における電気回路と加工電流の流れ方を模した図。 本発明（マルチワイヤ放電加工システム）における電気回路と一部放電時の加工電流の流れ方を模した図。 本発明の複数ワークの同時加工用マルチワイヤ放電加工装置を正面から見た拡大図。 本発明の複数ワークの同時加工用マルチワイヤ放電加工システムにおける、複数のワークを同時にスライス処理する場合に給電子とワイヤとの配置関係を斜め方法から見た図。 本発明の複数ワークの同時加工用マルチワイヤ放電加工システムにおける、複数のワークを同時にスライス処理する場合の電気回路と加工電流の流れ方を模した図。 本発明のワイヤ放電加工装置で、比抵抗の異なる複数ワークを同時加工する場合に好適な給電子の配置例を示す図である。 本発明のワイヤ放電加工装置の駆動機構の動きを示した図である。 本発明のワイヤ放電加工装置で、比抵抗の異なる複数ワークを同時加工する場合に好適な給電子の配置例を示す図である。 本発明のワイヤ放電加工装置で、比抵抗の異なる複数ワークを同時加工する場合に好適な給電子の配置例を示す図である。 本発明のワイヤ放電加工装置で、比抵抗が等しいが、極間長が短い複数ワークを同時加工する場合に好適な給電子の配置例を示す図である。 本発明のワイヤ放電加工装置で、比抵抗が等しいが、極間長が短い複数ワークを同時加工する場合に好適な給電子の配置例を示す図である。 本願発明に係る動作を制御する制御コンピュータのハードウエア構成の１例を示す図。

図１を説明する。

図１は、本発明の実施の形態に係るマルチワイヤ放電加工機１を前方から見た外観図である。尚、図１に示す各機構の構成は一例であり、目的や用途に応じて様々な構成例があることは言うまでもない。

図１は本発明におけるマルチワイヤ放電加工システム（半導体基板または太陽電池基板の製造システム）の構成を示す図である。マルチワイヤ放電加工システムは、マルチワイヤ放電加工装置１、電源装置２、加工液供給装置５０から構成されている。
マルチワイヤ放電加工システムは、放電により並設された複数本のワイヤの間隔で被加工物を薄片にスライスすることができる。

１はマルチワイヤ放電加工装置であり、１には、サーボモータにより駆動されるワーク送り装置３がワイヤ１０３上部に設けられ上下方向にワーク１０５を移動できる。本発明ではワーク１０５が下（重力）方向に送られ、ワーク１０５とワイヤ１０３の間で放電加工がおこなわれる。

２は電源装置であり、２には、サーボモータを制御する放電サーボ制御回路が放電の状態に応じて効率よく放電を発生させるために放電ギャップを一定の隙間に保つように制御し、またワーク位置決めを行い、放電加工を進行させる。

加工電源回路（図７）は、放電加工のための放電パルスをワイヤ１０３へ供給するとともに、放電ギャップで発生する短絡などの状態に適応する制御を行いまた放電サーボ制御回路への放電ギャップ信号を供給する。

５０は加工液供給装置であり、５０は、放電加工部の冷却、加工チップ（屑）の除去に必要な加工液をポンプによりワーク１０５とワイヤ１０３へ送液する共に、加工液中の加工チップの除去、イオン交換による電導度（１μＳ〜２５０μＳ）の管理、液温（２０℃付近）の管理を行う。おもに水が使用されるが、放電加工油を用いることもできる。

８，９はメインローラであり、メインローラには、所望する厚さで加工出来るようにあらかじめ決められたピッチ、数で溝が形成されており、ワイヤ供給ボビンからの張力制御されたワイヤが２つのメインローラに必要数巻きつけられ、巻き取りボビンへ送られる。ワイヤ速度は１００ｍ／ｍｉｎから９００ｍ／ｍｉｎ程度が用いられる。
２つのメインローラが同じ方向でかつ同じ速度で連動して回転することにより、ワイ

ヤ繰出し部から送られた１本のワイヤ１０３がメインローラ（２つ）の外周を周回し、並設されている複数本のワイヤ１０３を同一方向に走行させる（走行手段）ことができる。

ワイヤ１０３は図８に示すように、１本の繋がったワイヤであり、図示しないボビンから繰り出され、メインローラの外周面のガイド溝（図示しない）に嵌め込まれながら、当該メインローラの外側に多数回（最大で２０００回程度）螺旋状に巻回された後、図示しないボビンに巻き取られる。
マルチワイヤ放電加工機１は、電源ユニット２と電線５１３を介して接続されており、電源ユニット２から供給される電力により作動する。

マルチワイヤ放電加工機１は、図１に示すように、マルチワイヤ放電加工機１の土台として機能するブロック１５と、ブロック１５の上部の中に設置されている、ブロック２０と、ワーク送り装置３と、接着部４と、シリコンインゴット１０５と、加工液漕６と、メインローラ８と、ワイヤ１０３と、メインローラ９と、給電ユニット１０と、給電子１０４と、を備えている。
図２を説明する。
図２は、図１に示す点線１６枠内の拡大図である。

８，９はメインローラであり、メインローラにワイヤ１０３が複数回巻きつけられており、メインローラに刻まれた溝に従い、所定ピッチでワイヤ１０３が整列している。
メインローラは中心に金属を使用し、外側は樹脂で覆う構造である。

２つのメインローラの間であって、メインローラ８，９の内部のほぼ中央部の上の部分には、給電ユニット１０に取り付けられた給電子１０４を配置し、給電子１０４は、上向きに露出する表面をワイヤに接触させることで走行する複数本のワイヤ１０３に加工電圧を一括して給電する。
図３に示したように、給電子１０４はワイヤ１０３の１０本と接触することで、加工電源部からの放電パルス（図６の５０４）を１０本のワイヤに供給している。
給電子１０４が配置される位置は、シリコンインゴット１０５の両端よりワイヤの長さがほぼ等しくなる位置（５１１Ｌ１＝５１１Ｌ２）に設けてある。
給電子１０４には、機械的摩耗に強く、導電性があることが要求され超硬合金が使用されている。

２つのメインローラの間であって、メインローラ８，９の内部のほぼ中央部の下の部分には、ワーク送り装置３に取付けたシリコンインゴット１０５を配置し、ワーク送り装置３がワークを１０５下方向に送り出すことでスライス加工が進行する。

メインローラの下部に加工槽６を設け、ワイヤ１０３およびシリコンインゴット１０５を浸漬し、放電加工部の冷却、加工チップの除去を行う。加工槽６は加工液を貯留し、送り出されたワークを浸漬するためのものである。

図３のように、ワイヤ１０４の本数を１０本に対して接触する給電子１０４を１個で示しているが、給電子あたりのワイヤ本数や給電子の総数は必要数に応じて増やすことは言うまでもない。

ブロック２０は、ワーク送り装置３と接合されている。また、ワーク送り部３は、シリコンインゴット１０５（ワーク）と接着部４により接着（接合）されている。
本実施例では、加工材料（ワーク）として、シリコンインゴット１０５を例に説明する。

接着部４は、ワーク送り装置３と、シリコンインゴット１０５（ワーク）とを接着（接合）するためのものであれば何でもよく、例えば、電導性の接着剤が用いられる。

ワーク送り部３は、接着部４により接着（接合）されているシリコンインゴット１０５を上下方向に移動する機構を備えた装置であり、ワーク１０５を保持した状態でワーク送り部３が下方向（重力方向）に移動することにより、シリコンインゴット１０５をワイヤ１０３の方向に近づけることが可能となる。
ワーク送り部３は給電子１０４よりも低い位置に配置されている。
保持するワーク１０５が加工液に浸漬されるように、ワーク送り部３はワーク１０５を周回するワイヤに接近する方向に送りしている。
加工液漕６は、加工液を貯留するための容器であり複数のメインローラ（８，９）を周回するワイヤの外側に配置されている。

加工液は、例えば、抵抗値が高い脱イオン水である。ワイヤ１０３と、シリコンインゴット１０５との間に、加工液を設けられることにより、ワイヤ１０３と、シリコンインゴット１０５との間で放電が起き、シリコンインゴット１０５を削ることが可能となる。

メインローラ８、９には、ワイヤ１０３を取り付けるための溝が複数列形成されており、その溝にワイヤ１０３が取り付けられている。そして、メインローラ８、９が右又は左回転することにより、ワイヤ１０３が走行する。
また、図２に示すように、ワイヤ１０３は、メインローラ８、９に取り付けられ、メインローラ８、９の上側、及び下側にワイヤ列を形成している。

また、ワイヤ１０３は、伝導体であり、電源ユニット２から電圧が供給された給電ユニット１０の給電子１０４と、ワイヤ１０３とが接触することにより、当該供給された電圧が給電子１０４からワイヤ１０３に印加される。（給電子１０４がワイヤ１０３に電圧を印加している。）

そして、ワイヤ１０３と、シリコンインゴット１０５との間で放電が起き、シリコンインゴット１０５を削り（放電加工を行い）、薄板状のシリコン（シリコンウエハ）を作成することが可能となる。
図３を説明する。
図３は、給電子１０４の拡大図を示す。
給電子１０４（１個）はワイヤ１０３（１０本）と接触している。
ワイヤ１０３同士の間隔（ワイヤのピッチ）は０．３ｍｍ程度である。
図４を説明する。
図４は従来方式であるワイヤ毎に個別に加工電流（放電電流）を給電する個別給電での電気回路４００を示す図である。

４０１は加工電源部（Ｖｍ）である。ここでＶｍは放電加工に必要な電流を供給するために設定される加工電圧である。Ｖｍは６０Ｖ〜１５０Ｖで任意の加工電圧に設定することができる。

４０２は加工電源部（Ｖｓ）である。ここでＶｓは放電を誘発するために設定される誘発電圧である。さらにワイヤとワークとの間にて極間電圧（極間電流）の状態をモニターする目的にも使用される。Ｖｓは６０Ｖ〜３００Ｖで任意の誘発電圧に設定することができる。
４０３はトランジスタ（Ｔｒ２）である。加工電圧ＶｍのＯＮ（導通）状態とＯＦＦ（非導通）状態をスイッチングで切り替える。
４０４はトランジスタ（Ｔｒ１）である。加工電圧ＶｓのＯＮ（導通）状態とＯＦＦ（非導通）状態をスイッチングで切り替える。

４０５は加工電流制限抵抗体の抵抗（Ｒｍ）である。固定の抵抗値を設定することで、１本毎のワイヤ電流（Ｉｗ）や極間放電電流（Ｉｇ）を制限する。Ｒｍは１Ω〜１００Ωで任意の抵抗値に設定することができる。つまりＶｍ＝６０Ｖ（ボルト）、Ｖｇ＝３０Ｖ、Ｒｍ＝１０Ωとした場合で、Ｉｗ（Ｉｇ）＝（６０Ｖ−３０Ｖ）／１０Ω＝３Ａ（アンペア）となる。

なお、上記の計算式では、加工電圧（Ｖｍ）から給電点（給電子）までの電圧降下を３０Ｖとしたが、ワイヤ抵抗（Ｒｗ）による給電点から放電点までの電圧降下は考慮していない。

つまり従来方式である個別給電方式の場合には加工電流Ｉｗの値は、加工電流制限抵抗体の抵抗Ｒｍにより決定されるので、１本毎に所望のワイヤ電流や放電電流（Ｉｇ）を得るためには、ワイヤ抵抗ＲｗがＲｍ＞Ｒｗの関係になるように設定される。

４０６は誘発電流制限抵抗（Ｒｓ）である。固定の抵抗値を設定することで放電を誘発する誘発電流を制限する。Ｒｓは１Ω〜１００Ωで任意の抵抗値に設定することができる。
４０７は極間電圧（Ｖｇ）である。放電中にワイヤ１０３とワーク１０５との間（極間）に印加される極間放電電圧である。
４０８は極間電流（Ｉｇ）である。放電中にワイヤ１０３とワーク１０５との間に流れる極間放電電流である。
４１０はワイヤ１本毎に個別に供給される加工電流（Ｉｗ）である。
図５を説明する。
図５は従来方式であるワイヤ毎に個別に加工電流を給電する個別給電での電気回路４００が複数本のワイヤに給電している図である。
４０９はワイヤ１本毎の抵抗を示すワイヤ抵抗（Ｒｗ）である。
２０４は個別の給電子である。シリコンインゴット１０５の両端の近傍に設けた、２ヶ所の個別給電子から加工電圧のパルスを印加し、放電加工を行う。
巻回するワイヤ１０３の本数と同数の電源回路４００に接続されている。

図６は、本発明の極間放電電圧（Ｖｇｎ）及び極間放電電流（Ｉｇｎ）の変化とＴｒ１、Ｔｒ２のＯＮ／ＯＦＦ動作（タイミングチャート）を示す。グラフの横軸は時間である。

まずトランジスタＴｒ１５０３をＯＮし、誘発電圧を印加する。このときワイヤ１０３とワーク１０５間（極間）は絶縁されているため、ほとんど極間放電電流は流れない。その後、極間放電電流が流れ始めて放電を開始するとＶｇｎが電圧降下することで、放電開始を検出しＴｒ２をＯＮすると、大きな極間放電電流を得る。所定時間経過後にＴｒ２をＯＦＦする。Ｔｒ２のＯＦＦを所定時間経過した後に再び一連の動作を繰り返す。
図７を説明する。

図７は本発明における複数本のワイヤ（１０本）に一括で加工電流を給電する一括給電での電気回路２とワイヤ放電加工装置１との関係を示す図である。加工電流とワイヤ電流と極間放電電流が流れている状態を示している。
図７は、図８に示す電気回路２との等価回路を示している。

仮に図４に示す従来方式の電気回路４００を、複数のワイヤ（１０本）に一括で加工電流を給電する一括給電での電気回路にそのまま導入したとすれば、加工電源部から給電点の間にて加工電流を制御するために、電流制限抵抗体Ｒｍ４０５の代わりに、複数のワイヤ（１０本）に供給されるワイヤ電流の合計（１０倍）の加工電流が供給されるように、Ｒｍを１０本（メインローラ８、９を巻回する周回数）で割った抵抗値の電流制限抵抗体を加工電源部から給電点との間に設置すればよい。
まず、このように固定された抵抗値を持つＲｍ／１０本を加工電源部から給電子との間に設置した場合を説明する。

１０本全てのワイヤとワークとの間で放電状態が均一にかつ同時に起こった場合には、１０本のワイヤで放電電流が均等に分散されるので、固定された抵抗値（Ｒｍ／１０本）に応じた放電電流が各ワイヤとワークとの間に供給されるので、過剰な放電電流の供給は問題とならない。

しかしながら、１０本全てのワイヤとワークとの間で放電状態が均一にかつ同時に起こらなかった場合には、固定された抵抗値（Ｒｍ／１０本）に応じたワイヤ電流が放電状態になったワイヤとワークとの間に集中して供給されるので、過剰なワイヤ電流の供給が問題となる。つまり、１０本の中で１本のみが放電状態になった場合には、本来１本のワイヤとワークに供給されるべきワイヤ電流の１０倍のワイヤ電流が、放電状態になっているワイヤとワークに供給され、ワイヤが断線してしまう。

５０５は配線５１３のインピーダンス（抵抗）である。加工電源部（Ｖｍｎ）マイナス側に接続する上り用のケーブルである。加工電源部（Ｖｍｎ）から給電子１０４に加工電圧を供給する。
５２０は配線５１４のインピーダンス（抵抗）である。加工電源部（Ｖｍｎ）プラス側に接続する下り用のケーブルである。

本発明の配線５１３の抵抗値Ｒｍｎ５０５は従来方式の加工電流制限抵抗体のように抵抗値を所定の値に固定するものではなく、１０本の中で１本のみが放電状態になった場合であっても、放電状態となった本数に応じて抵抗値が変動するように制御できる機構を備えている。

さらに、本発明の抵抗値Ｒｍｎ５０５をワイヤ抵抗Ｒｗｎ５０９と比べて十分に小さな抵抗値の範囲で変動させることで、加工電流を制限するにあたってＲｗｎ５０９の方が支配的になり、抵抗値Ｒｍｎ５０５の影響はほぼ無視することができる。

つまり、加工電源部５０１から給電子１０４までの間に流れ、極間ではワーク１０５に放電する極間放電電流になる加工電流の下限を制限する加工電流制限抵抗体を備えなくてもよいということである。
つまり、Ｒｍｎを１０本（メインローラ８、９を巻回する周回数）で単純に割った抵抗値よりも小さい抵抗値にすればよいということである。

つまり各ワイヤの抵抗Ｒｗｎ５０９であるインピーダンスを利用することで、各ワイヤのワイヤ電流Ｉｗｎが安定して供給されるので、ワイヤ電流の集中が起こらない。
５０９はワイヤ１本毎のワイヤによる抵抗（Ｒｗｎ）である。

ここで給電子１０４から放電部までのワイヤ抵抗値とは、給電子１０４と接触してから、かつ走行するワイヤ（１本）による、放電部までのワイヤの長さよる抵抗である。
例えば、ワイヤ１０本（メインローラ８、９を１０周巻回する）に一括で給電する場合の各ワイヤ抵抗をそれぞれＲｗ１、Ｒｗ２、〜Ｒｗ１０とする。

従来方式のように、ＲｍｎではなくＲｗｎを１本毎のワイヤ電流（Ｉｗ）や放電電流（Ｉｇ）を制限する抵抗とすることで、１本毎のワイヤ電流（Ｉｗｎ）や放電電流（Ｉｇｎ）を制限することができる。つまり給電点（給電子）と放電点（放電部）との距離（長さＬ）を変えることで任意の抵抗値に設定することができる。つまりＶｍｎ＝６０Ｖ、Ｖｇｎ＝３０Ｖ、Ｒｗｎ＝１０Ωとした場合には、Ｉｗｎ（Ｉｇｎ）＝（６０Ｖ−３０Ｖ）／１０Ω＝３Ａとなる。

なお、上記の計算式では、ワイヤ抵抗（Ｒｗｎ）による給電点から放電点までの電圧降下を３０Ｖとしたが、加工電源部から給電点までの電圧降下を起こす抵抗（Ｒｍｎ）による給電点から放電点までの電圧降下は考慮していない。

つまり本発明である一括給電方式の場合にはＩｗｎは、Ｒｍｎにより決定されるので、１本毎に所望のワイヤ電流（Ｉｗｎ）や放電電流（Ｉｇｎ）を得るためには、加工電源部から給電点までの電圧降下を起こす抵抗ＲｍｎがＲｍｎ＜Ｒｗｎの関係になるように設定される。

また各ワイヤ個別のワイヤ抵抗Ｒｗｎは（１）ワイヤの材質による電気抵抗値ρ、（２）ワイヤの断面積Ｂ、（３）ワイヤの長さＬ、の３つのパラメータからＲｗｎ＝（ρ×Ｂ）／Ｌの関係式によりで定めることができる。

５０１は加工電源部（Ｖｍｎ）である。ここでＶｍｎは放電加工に必要な加工電流を供給するために設定される加工電圧である。Ｖｍｎは任意の加工電圧に設定することができる。さらに従来方式よりも加工電流の供給量が大きくなるので、４０１と比べると大きな電力（加工電圧と加工電流の積）を供給する。
加工電源部５０１は給電子１０４に加工電圧（Ｖｍｎ）を供給する。

５０２は加工電源部（Ｖｓｎ）である。ここでＶｓｎは放電を誘発するために設定される誘発電圧である。さらにワイヤとワークとの間にて極間電圧（極間電流）の状態をモニターし、ワーク送り装置の制御に利用する目的にも使用される。Ｖｓｎは任意の誘発電圧に設定することができる。さらに従来方式よりも誘発電流の供給量が大きくなるので、４０２と比べると大きな電力を供給する。
加工電源部５０２は給電子１０４に加工電圧（Ｖｓｎ）を供給する。
５０３はトランジスタ（Ｔｒ２）である。加工電圧ＶｍｎのＯＮ（導通）状態とＯＦＦ（非導通）状態をスイッチングで切り替える。
５０４はトランジスタ（Ｔｒ１）である。加工電圧ＶｓｎのＯＮ（導通）状態とＯＦＦ（非導通）状態をスイッチングで切り替える。
５０７は放電極間電圧（Ｖｇｎ）である。放電中にワイヤ１０３とワーク１０５との間に印加される放電極間電圧である。
例えば、ワイヤ１０本に一括で給電する場合の各放電極間電圧をそれぞれＶｇ１、Ｖｇ２、〜Ｖｇ１０とする。

放電によりワイヤ１０３とワーク１０５との間に放電極間電圧が印加される部分が放電部である。放電部において、走行する複数のワイヤと給電子との接触により走行する複数のワイヤに一括で給電された加工電圧をワークに放電する。
５０８は放電極間電流（Ｉｇｎ）である。放電中にワイヤ１０３とワーク１０５との間に流れる放電極間電流である。
例えば、ワイヤ１０本に一括で給電する場合の各放電極間電流をそれぞれＩｇ１、Ｉｇ２、〜Ｉｇ１０とする。

放電によりワイヤ１０３とワーク１０５との間に放電極間電流が流れる部分が放電部である。放電部において、走行する複数のワイヤと給電子との接触により走行する複数のワイヤに一括で給電された加工電圧をワークに放電する。
５１０はワイヤ１本毎に個別に供給されるワイヤ電流（Ｉｗｎ）である。
例えば、ワイヤ１０本に一括で給電する場合の各ワイヤ電流をそれぞれＩｗ１、Ｉｗ２、〜Ｉｗ１０とする。
５１１は給電点から放電点までの距離Ｌであり、すなわち給電点（給電子）から放電点（ワーク）までのワイヤの長さである。
図８を説明する。
図８は本発明における複数本のワイヤ（１０本）に一括で加工電流を給電する一括給電の電気回路２により複数本のワイヤに一括給電している図である。

１０４は給電子である。給電子１０４は走行する複数本のワイヤに一括で接触する。シリコンインゴット１０５と対向する位置に設けた、１ヶ所の給電子１０４から放電パルスを印加し、放電加工を行う。
メインローラを巻回するワイヤ１０３の本数（１０本）に対して１つの電源回路２が接続されている。
以下、図８の配置を参照して、ワイヤに流れる加工電流（各ワイヤ電流の合計）を説明する。

図８に示すように、給電点（給電子１０４とワイヤ１０３が接触する位置）から放電点（ワイヤ１０３とワーク１０５との間）に流れるワイヤ電流は左右のメインローラの２方向に流れるので、各方向に対するワイヤ抵抗が存在している。
５１１Ｌ１は電流が左のメインローラ方向に流れた場合の給電点と放電点との長さ（距離）であり、Ｌ１の場合に定まるワイヤ抵抗をＲｗ１ａとする。
５１１Ｌ２は電流が右のメインローラ方向に流れた場合の、放電点と給電点との長さ（距離）であり、Ｌ２の場合に定まるワイヤ抵抗をＲｗ１ｂとする。
ワイヤ１０３がメインローラ８、９を１周巻回する長さを２ｍとする。
給電子１０４は、１周巻回する長さのほぼ半分の距離に配置されているので、放電点と給電点との距離（ワイヤの長さＬ）を１ｍである。
よって給電子から放電部までを走行するワイヤの距離は０．５ｍよりも長い。

ワイヤ１０３の材質の主成分は鉄であり、ワイヤの直径は０．１２ｍｍ（断面積０．０６×０．０６×πｍｍ^２）である。ワイヤの抵抗値Ｒｗ１ａ、Ｒｗ１ｂはそれぞれ、同じ長さ（Ｌ１＝Ｌ２＝１ｍ）であるので各々のワイヤ抵抗値は同一の２０Ω程度とすればＲｗ１ａとＲｗ１ｂによる１本（メインローラ８、９を１周巻回する）の合成のワイヤ抵抗値は１０Ω程度となる。

また、図８のようにＬ１及びＬ２の長さによるワイヤ抵抗値を同じ抵抗値にするために、Ｌ１とＬ２の長さが同じになるように給電子１０４を配置することが好ましいが、Ｌ１とＬ２の長さの違いが１０％程度（例えばＬ１が１ｍでＬ２が１．１ｍ）ことなるように給電子１０４を配置しても特に問題はない。
放電電圧Ｖｇ１〜Ｖｇ１０がほぼ等しい場合、ＶｍｎがそれぞれのＲｗ１〜Ｒｗ１０に印加されているので、Ｉｗ１〜Ｉｗ１０は全て同じワイヤ電流である。
ここでワイヤ抵抗による電圧降下値（Ｒｗ１×Ｉｗ１）と放電電圧（Ｖｇｎ）からＶｍｎを求める．
給電子１０４から放電部までの電圧降下は走行するワイヤの抵抗による電圧降下である。
Ｒｗ１＝１０Ω（給電子１０４から放電部までの抵抗値）。
Ｉｗ１＝３Ａ
Ｖｇｎ＝３０Ｖとすれば、Ｖｍｎは以下のようになる。
Ｖｍｎ＝１０（Ω）×３（Ａ）＋３０Ｖ＝６０Ｖ
よって給電子から放電部までの電圧降下は１０Ｖよりも大きい。
よって給電子から放電部までの抵抗値が１Ωよりも大きい。
尚、Ｒｗｎ＝（ρ×Ｂ）／Ｌの関係式により、ワイヤのパラメータによりワイヤ抵抗による電圧降下値を設定してもよい。

よって、１０本全てのワイヤとワークとの間で放電状態が均一にかつ同時に起こった場合のＲｍｎを計算すると、全てのワイヤで放電状態となり１０本のワイヤにＩｗ１＝３Ａが流れている場合は、加工電源部から給電点との間では全体で１０本×３Ａ＝３０Ａの加工電流が必要となり、この加工電源部から給電点との間の電圧降下をＶｍｎの１００分の１（０．６Ｖ）とすれば、この場合のＲｍｎは以下のようになる。
よって加工電源部から給電子１０４までの電圧降下は１Ｖよりも小さい。
よって加工電源部から給電子までの電圧降下は、給電子から放電部までの電圧降下よりも小さい。
Ｒｍｎ＝０．６Ｖ／３０Ａ＝０．０２Ω（加工電源部５０１から給電子１０４までの抵抗値）。
よって加工電源部から給電子までの抵抗値は０．１Ωより小さい。
よって加工電源部から給電子までの抵抗値が、給電子から放電部までの抵抗値よりも小さい。
よって加工電源部から給電子１０４までの電圧降下と給電子１０４から放電部までの電圧降下との比は１０倍以上である。
よって加工電源部から給電子１０４までの抵抗値と給電子から放電部までの抵抗値との比が１０倍以上である。
よってＲｍｎを考慮して１０本の加工電流をもとめると（６０Ｖ−３０Ｖ）／（（１０Ω／１０本）＋０．０２Ω）＝２９．４１Ａとなり
ワイヤ一本当たりに割ったあとの加工電流は２．９４１Ａとなる。

また、１０本全てのワイヤとワークとの間で放電状態が均一にかつ同時に起こらなかった場合に１本のワイヤ電流が流れたとしても、ワイヤ一本当たりに割ったあとの加工電流は（６０Ｖ−３０Ｖ）／（１０Ω＋０．０２Ω）＝２．９９４Ａとなり、１０本全てのワイヤとワークとの間で放電状態が均一にかつ同時に起こった場合と比べても大きな差は生じない。

また更なる効果として、複数本であるＮ本（メインローラ８、９をＮ周巻回する）のワイヤに１箇所（一括）で給電する場合には、１本のワイヤ毎に個別に給電したときの加工速度に比べて加工速度が１／Ｎとなるが，本発明によれば、Ｎ本のワイヤへ１箇所（一括）で給電した場合においても１本のワイヤへ個別に給電したときと同等の加工速度を維持することができる。
図９を説明する。
図９は図５と同じように個別給電方式の１例をしめす。

４本のメインローラに巻きつけられたワイヤに対して、加工するワーク１０５に近い位に一対の個別給電子を配置して給電を行う。巻回するワイヤ１周回毎に２個（一対）の個別給電子を設けている。また一対の個別給電子の上流には一対の個別給電子に流れる加工電流の下限を制限するための内部抵抗Ｒｍ４０５がある。

この内部抵抗は並設して走行するワイヤ１本毎の加工電流値の下限を制限するために、電気配線の中に設けられている。この内部抵抗の抵抗値は、ワイヤの長さによる抵抗値Ｒｗよりも十分大きい（Ｒｍ＞＞Ｒｗ）。この理由は内部抵抗Ｒｍ４０５がワイヤ１周回毎に流れる加工電流値をワイヤ１周回毎にそれぞれ個別に制御するためである。

ワークの放電点から個別給電子２０４ａまでの間のワイヤの長さを４１１Ｌ１とする。このワイヤの長さ４１１Ｌ１がワイヤによる抵抗値となりＲｗ１ａに相当する。

ワークの放電点から個別給電子２０４ｂまでの間のワイヤの長さを４１１Ｌ２とする。このワイヤの長さ４１１Ｌ２がワイヤによる抵抗値となりＲｗ１ｂに相当する。

ワークの放電点を通らない側の個別給電子２０４ｂから個別給電子２０４ｃまでの間のワイヤの長さを４１２Ｌとする。このワイヤの長さ４１２Ｌがワイヤによる抵抗値となりＲｗ１２に相当する。

図９のように、放電部側を経由せずにワイヤが一対の給電子の間を走行する４１２Ｌ（第２の距離）が、４１１Ｌ１（第１の距離）よりも長い。これは４１２Ｌの長さによる抵抗値を、４１１Ｌ１の長さによる抵抗値よりも大きくしないと、ワイヤの抵抗値Ｒｗ１２、Ｒｗ２３がある方向には加工電流が流れてしまうからである。一例を挙げると４１１Ｌ１または４１１Ｌ２（第１の距離）を１ｍにして４１２Ｌ（第２の距離）を４ｍにした場合に４１２Ｌの長さによる抵抗値（インピーダンス）が、４１１Ｌ１の長さによる抵抗値（インピーダンス）よりも大きくなる。
図１０を説明する。

図１０は、図９に示した巻回しているワイヤを直線に仮想的に展開して、ワイヤ１０３、給電子２０４、ワークの放電点の配置関係をそれぞれ説明するための図である。

４本のメインローラに巻きつけられたワイヤを仮想的に展開するとワイヤ１０３一本に、ワークの放電点Ｗ１〜Ｗ３に対して個別給電子２０４ａ〜給電子個別２０４ｆが配置されていることになる。

給電子２０４ａと２０４ｂまたは給電子２０４ｃと２０４ｄ、給電子２０４ｅと２０４ｆ、それぞれの間にワークの放電点（Ｗ１〜Ｗ３）がありそれぞれの位置で放電が発生する。

加工電源部Ｖｍ４０１と、ワークの放電点（Ｗ１〜Ｗ３）から流れる加工電流（Ｉｗ１〜Ｉｗ３）を個別に制限するために、設置されている内部抵抗ＲｍをそれぞれＲｍ１、Ｒｍ２、Ｒｍ３とする。
なお、図１０では図４に示した加工電流をパルス化するスイッチング素子４０３、極間電圧Ｖｇは省略している。
ワークの放電点Ｗ１から個別給電子２０４ａまでの間のワイヤの長さによる抵抗値をＲｗ１ａとする。
ワークの放電点Ｗ１から個別給電子２０４ｂまでの間のワイヤの長さによる抵抗値をＲｗ１ｂとする。
ワークの放電点Ｗ２から個別給電子２０４ｃまでの間のワイヤの長さによる抵抗値をＲｗ２ａとする。
ワークの放電点Ｗ２から個別給電子２０４ｄまでの間のワイヤの長さによる抵抗値をＲｗ２ｂとする。
ワークの放電点Ｗ３から個別給電子２０４ｅまでの間のワイヤの長さによる抵抗値をＲｗ３ａとする。
ワークの放電点Ｗ３から個別給電子２０４ｆまでの間のワイヤの長さによる抵抗値をＲｗ３ｂとする。

ここでワイヤの抵抗値Ｒｗ１ａとＲｗ１ｂはＷ１から両側の給電子までは、並列回路になるので、便宜上その並列回路による合成のワイヤの長さ（４１１Ｌ）によるワイヤの抵抗値Ｒｗ１とする
同様にＷ２とＷ３からの両側の給電子までの並列回路による合成のワイヤの抵抗値をそれぞれＲｗ２、Ｒｗ３とする。

さらに個別給電子２０４ｂから、放電点側ではない方を経由した個別給電子２０４ｃまでの間のワイヤの長さ（４１２Ｌ）によるワイヤの抵抗値をＲｗ１２とする。
個別給電子２０４ｄから、放電点側ではない方を経由した個別給電子２０４ｅまでのワイヤの長さ（４１２Ｌ）によるワイヤの抵抗値をＲｗ２３とする。
図１１を説明する。
図１１は放電点Ｗ１〜Ｗ３で放電が発生し、電流Ｉｗ１〜Ｉｗ３が流れている状態の個別給電方式である図１０との等価回路である。
この等価回路ではワイヤ１周回の各放電点から流れる加工電流Ｉｗ１、Ｉｗ２、Ｉｗ３は、それぞれ
・Ｉｗ１＝Ｖｍ／（Ｒｗ１＋Ｒｍ１）
・Ｉｗ２＝Ｖｍ／（Ｒｗ２＋Ｒｍ２）
・Ｉｗ３＝Ｖｍ／（Ｒｗ３＋Ｒｍ３）
と表すことができる。

さらに、放電点と近い位置に給電子２０４を配置した場合には、給電子２０４から放電点Ｗまでのワイヤの長さは短くなり、ワイヤによる抵抗値Ｒｗは、Ｒｍと比べて十分小さくなりＲｗ１、Ｒｗ２、Ｒｗ３は無視することができる。
ここで
給電子２０４ａまたは２０４ｂの電位をＶ１とする。
給電子２０４ｃまたは２０４ｄの電位をＶ２とする。
給電子２０４ｅまたは２０４ｆの電位をＶ３とする。
つまり各給電子の位置の電位Ｖ１、Ｖ２、Ｖ３およびＩｗ１、Ｉｗ２、Ｉｗ３は、
・Ｖ１＝Ｉｗ１＊Ｒｍ１ Ｉｗ１＝Ｖｍ／Ｒｍ１
・Ｖ２＝Ｉｗ２＊Ｒｍ２ Ｉｗ２＝Ｖｍ／Ｒｍ２
・Ｖ３＝Ｉｗ３＊Ｒｍ３ Ｉｗ３＝Ｖｍ／Ｒｍ３
と簡略化することができる。

Ｒｍ１、Ｒｍ２、Ｒｍ３がすべてほぼ同じ抵抗値であり、Ｉｗ１、Ｉｗ２、Ｉｗ３にはすべてほぼ同じ加工電流が流れているのでＶ１、Ｖ２、Ｖ３の電位はすべてほぼ等しい。
従って同じ電位であるＶ１、Ｖ２を結ぶＲｗ１２には加工電流は流れず、同じ電位であるＶ２、Ｖ３を結ぶＲｗ２３にも加工電流は流れない。
図１２を説明する。
図１２は放電点Ｗ２のみで放電が発生し、電流Ｉｗ２のみが流れている状態の個別給電方式である図１０との等価回路である。
この場合には加工電流Ｉｗ２は給電子２０４ｃから、３つの経路（方向）に流れる。
Ｉｗ２＝Ｖｍ／（Ｒｗ２＋Ｒａ）
ただし：Ｒａ＝１／（１／（Ｒｗ１２＋Ｒｍ１）＋１／Ｒｍ２＋１／（Ｒｗ２３＋Ｒｍ３））

図１１のように、放電点と近い位置に給電子２０４を配置した場合には、給電子２０４から放電点Ｗまでのワイヤの長さは短くなり、ワイヤによる抵抗値Ｒｗは、Ｒｍと比べて十分小さくなりＲｗ１、Ｒｗ２、Ｒｗ３は無視することができ、給電子２０４ｃまたは２０４ｄの電位をＶ２とすると、給電子の位置の電位Ｖ２は、
Ｉｗ２＝Ｖｍ／Ｒａ
ただし：Ｒａ＝１／（１／（Ｒｗ１２＋Ｒｍ１）＋１／Ｒｍ２＋１／（Ｒｗ２３＋Ｒｍ３））
となり、Ｒｗ１２の抵抗値の大きさに依存して、Ｉｗ２が流れる電流が決まる。

つまり放電点と近い位置に給電子２０４を配置した場合には、個別給電子２０４ｂから、放電点側ではない方を経由した個別給電子２０４ｃまでの間のワイヤの長さ（４１２Ｌ）によるワイヤの抵抗値Ｒｗ１２は、Ｒｍと比べても大きくなりＲｗ１２が大きな抵抗となることができず、Ｒｗ１２の方向には加工電流は小さくなる。同じように個別給電子２０４ｄから、放電点側ではない方を経由した個別給電子２０４ｅまでの間のワイヤの長さ（４１２Ｌ）によるワイヤの抵抗値Ｒｗ２３は、Ｒｍと比べても大きくなりＲｗ２３が大きな抵抗となることができず、Ｒｗ２３の方向にも加工電流は小さくなる。

しかしながら、もし放電点から遠い位置に給電子２０４を配置した場合には、個別給電子２０４ｂから、放電点側ではない方を経由した個別給電子２０４ｃまでの間のワイヤの長さ（４１２Ｌ）によるワイヤの抵抗値Ｒｗ１２は、Ｒｍと比べて十分小さくなりＲｗ１２は無視することができ、Ｉ１、Ｉ２、Ｉ３は
Ｉ１＝Ｖｍ／Ｒｍ１ Ｉ２＝Ｖｍ／Ｒｍ２ Ｉ３＝Ｖｍ／Ｒｍ３

となってしまうのでＲｗ１２の方向にも加工電流が流れてしまう。同じように個別給電子２０４ｄから、放電点側ではない方を経由した個別給電子２０４ｅまでの間のワイヤの長さ（４１２Ｌ）によるワイヤの抵抗値Ｒｗ２３は、Ｒｍと比べて十分小さくなりＲｗ２３は無視することができ、Ｒｗ２３の方向にも加工電流が流れてしまう。

つまり、Ｒｗ１２及びＲｗ２３の方向に加工電流を流さないようにするにはＲｗ１２，Ｒｗ２３の抵抗値を大きくする必要があり、図５のように放電点とできるだけ近い位置に個別給電子２０４を配置する必然性があり、放電点から離れた位置には個別給電子２０４を配置することはできない。
図１３を説明する。

図１３のようにメインローラ４本の構成とした場合の問題点がある。このメインローラ４本の構成において、図１と同じように給電子１０４を配置すると、給電子とワーク（放電点）までの距離、すなわちワイヤ長５１１Ｌが長くなってしまう。
ワイヤ長５１１Ｌが長くなりすぎると、ワイヤの抵抗値（インピーダンス）も増加しすぎるので、その電圧降下の影響により放電電流値が低下してしまう。
さらに加工速度（加工レート）は放電電流値に比例するので、加工速度も低下する。

この加工速度低下を防ぐには、印加電圧を増加させ電流を増加させる方法があるが、電圧を増加した分だけの電力が消費され、効率の低下といった問題が起きる。

マルチワイヤ放電加工システムは、ワイヤガイド、ワークサイズ、加工槽といった機械的サイズの制約受け、給電点から放電点までの距離つまりワイヤ長Ｌを任意に設定できない場合がある。

給電子とワークをワイヤのループの内側に配置するため、メインローラ４本の構成となっている。この構成では、一対の給電子をワークから等しい距離の左右の両側に配置している。
この給電子Ａ、Ｂはワークから距離が等しければ良く任意位置に変動して配置することが可能である。

このようにワイヤの長さで定まる抵抗値（インピーダンス）を任意に調整可能であり、図１と同様に、ワイヤ長で定まる抵抗値（インピーダンス）により、放電電流値を制限することができるので、複数のワイヤには同じ放電電流が流れ、各電流値を同じ印加電圧下で任意に調整可能となる。
言い換えれば、メインローラ４本の構成となってワイヤ全長が長くなった場合でも、図１と同じ電気特性を持たせることが可能となる。

１０４ａと１０４ｂ（一対の給電子）はＷ（放電部）からのワイヤが走行する５１１Ｌ１または５１１Ｌ２（第１の距離）がおおよそ等しい距離である位置にそれぞれ配置されている。図１３の例では両側に配置されている。
更に、一対の給電子及び給電ユニットを移動可能な駆動手段は、複数のメインローラを巻回するワイヤの内側に配置されている。

図１３のように、１か所の給電点を２か所（一対の給電子）に増やすことにより、給電点から放電点（放電部）までの距離に自由度を持たせ、インピーダンスを調整できるようにした。

図示しない駆動手段が給電ユニット１０全体をスライド駆動させるので、ワイヤが走行する５１１Ｌ１（第１の距離）が変動するように、一対の給電子をワイヤに接触させて、かつ該接触する位置を移動することができる。

更に一対の給電子及び駆動手段は、複数のメインローラを巻回するワイヤの内側に配置されているので、それぞれに分岐する電気配線の長さが短くなり、電源装置から一対の給電子までの抵抗値をより小さくすることができる。

図１３では、放電部側を経由せずにワイヤが一対の給電子の間を走行する５１２Ｌ（第２の距離）が、５１１Ｌ１（第１の距離）よりも短い。これは５１２Ｌの長さによる抵抗値を、５１１Ｌ１の長さによる抵抗値よりも小さくしても、ワイヤの抵抗値Ｒｗ１２、Ｒｗ２３がある方向には加工電流が流れないからである。一例を挙げると５１１Ｌ１または５１１Ｌ２（第１の距離）を２ｍにして５１２Ｌ（第２の距離）を１．９ｍにした場合に５１２Ｌの長さによる抵抗値（インピーダンス）が、５１１Ｌ１の長さによる抵抗値（インピーダンス）よりも小さくなる。

図１で述べたように図１３の走行手段も１本の連続するワイヤを複数（４本）のメインローラに複数回（例えば２０００回程度）巻回することで、ほぼ均等間隔にワイヤを並設させて同一方向に走行させている。このように５１１Ｌ１または５１１Ｌ２（第１の距離）をそれぞれ２ｍにして５１２Ｌ（第２の距離）を１．９ｍにした場合、複数のメインローラを１周回するワイヤの走行距離が５．９ｍになるので、５１２Ｌ（第２の距離）は、複数のメインローラを１周回するワイヤの走行距離の３分の１未満になっている。
図１４を説明する。

図１４は図１０と同様の表現で、一括給電でのワイヤと給電子の配置関係と放電回路を示した。ここで、図１０との大きな違いは、電気回路内部には加工電流の下限を制限する内部抵抗Ｒｍ１〜３がないことである。
図１５を説明する。
図１５は放電点Ｗ２のみで放電が発生し、電流Ｉｗ２のみが流れている状態の一括給電方式である図１４との等価回路である。

給電子１０４ａまたは１０４ｂから電源Ｖｍｎ５０１の陰極まで抵抗がないので 給電子の位置の電位Ｖ１、Ｖ２、Ｖ３は、Ｖ１＝Ｖ２＝Ｖ３と等しくなるので、ワイヤの抵抗値Ｒｗ１２、Ｒｗ２３がある方向には加工電流は流れない。

つまり、図１３のように電気配線内に内部抵抗を無くした給電方式（Ｒｍｎ＜＜Ｒｗｎ）ではＲｗ１２及びＲｗ２３の方向には加工電流が流れないので、図９に示したように電気配線内に内部抵抗がある給電方式（Ｒｍ＞＞Ｒｗ）のように放電点とできるだけ近い位置に個別給電子２０４を配置する必然性はなく、図１３の給電方式（Ｒｍｎ＜＜Ｒｗｎ）では自由な位置に一対の給電子１０４を配置することが可能となり、一対の給電子１０４の配置位置が移動されても何ら問題がない。

つまり電源装置から一対の給電子までの抵抗値が、一対の給電子の一方から放電部（放電点Ｗ）までのワイヤが走行する５１１Ｌ１（第１の距離）による抵抗値よりも十分に小さいので、ワイヤの抵抗値Ｒｗ１２、Ｒｗ２３がある方向には加工電流は流れない。

一対の給電子がそれぞれ、並設されて走行する複数本（例えば１０本）のワイヤに一括に跨って加工電圧を給電した場合には、Ｖ１とＶ２とＶ３の電位が等しくなる。
図１６を説明する。
８及び９は、同一方向に走行させるようにワイヤを周回させる４本のメインローラである。
図１６は複数（４本）のメインローラを周回するワイヤ１周分の走行距離を示している。

例えば、１本のワイヤが複数（４本）のメインローラを１００周分周回すると、１００本の並設されたワイヤ面が形成され、この１００本中の２本のワイヤの間隔でワークを多数の薄片（基板等）にスライスすることができる。
１０４ａ及び１０４ｂは給電子であり、４本のメインローラを周回するワイヤに、放電加工するための電源を複数本のワイヤに跨って一括給電している。
１０４ａは、複数（４本）のメインローラを周回するワイヤに、Ｖｍｎ５０１から供給された加工電圧を給電することができる。
１０４ｂは、複数（４本）のメインローラを周回するワイヤに、Ｖｍｎ５０１から供給された加工電圧を給電することができる。
３ａ及び３ｂはワーク１０５ａとワーク１０５ｂを周回するワイヤに接近する方向に個別に送り出す２個のワーク送り部である。

１つめのワーク送り部である３ｂは、複数（４本）のメインローラを並設して周回しているワイヤ部に向かってワークを送り出すことが可能な領域Ａの中でいずれかの位置に固定されて配置されている。この３ｂが固定されて配置されている箇所を第１の箇所とする。

２つめのワーク送り部である３ａは、複数（４本）のメインローラを並設して周回しているワイヤ部に向かってワークを送り出すことが可能な領域Ｂの中でいずれかの位置に固定されて配置されている。この３ａが固定されて配置されている箇所を第２の箇所とする。

ここで、３ａが配置されている第２の箇所とは、図１６に示したように３ｂが配置されているワイヤ部とは並設して周回しているワイヤ面が異なる別のワイヤ部に向かってワークを送り出すことが可能な箇所である。

給電子（１０４ｂ）は、図１６に示すように第１の箇所と第２の箇所との間の、ワイヤが複数のメインローラを並設して周回しているワイヤ部に給電可能な領域Ｃの中でいずれかの位置に固定されて配置されている。この１０４ｂが固定されて配置されている箇所を第３の箇所とする。

ここで、１０４ｂが配置されている第３の箇所とは、３ｂが配置されているワイヤ部とは並設して周回しているワイヤ面が異なる別のワイヤ部に給電可能な箇所であり、さらに３ａが配置されているワイヤ部とも並設して周回しているワイヤ面が異なる別ワイヤ部に給電可能な箇所であるので、第１の箇所および第２の箇所とは全く別のワイヤ部に給電可能な箇所であれば問題ない。

図１６に示すように、給電子が複数のメインローラを周回するワイヤの複数箇所（２か所）に配置されており、複数のワーク送り部が複数のメインローラを周回するワイヤの走行距離を均等配分する箇所にそれぞれ配置されている。
１０４ａ及び１０４ｂ、さらに３ａ及び３ｂは４本のメインローラを周回するワイヤに全て面している。
４本のメインローラを周回するワイヤに対しては、２つの給電子の中の１つの給電子と、２つのワーク送り部の中の１つとが交互に配置されている。

この２つの給電子の中の１つの給電子と、この１つのワーク送り部とが周回するワイヤと面する位置をワイヤが走行する最短距離（５１１Ｌ１〜５１１Ｌ４）が、交互に入れ替わるように配置されている１０４ａ及び１０４ｂ、さらに３ａ及び３ｂにおいてぼぼ等しくなるように配置されている。

２か所のワーク送り部が４本のメインローラを周回するワイヤの走行距離（１周の総距離）を略均等配分（２分の１）する位置にそれぞれ配置されていることが望ましい。

つまり、図１６に示すように、給電子が複数のメインローラを周回するワイヤの複数箇所に配置されている場合には、複数のワーク送り部が複数のメインローラを周回するワイヤの走行距離を均等配分する箇所にそれぞれ配置されていることで、複数（４本）のメインローラを周回するワイヤ１周分の走行距離をワーク送り部の数で割れば、ワーク送り部間のワイヤのインピーダンス成分を均等配分することができ、このようにワーク送り部間の均等配分した方がワーク送り部間のワイヤのインピーダンス成分を管理しやすくなるという効果がある。

さらに、図１６には周回するワイヤ１周分でワーク送り部を２か所に配置した例を記載したが、周回するワイヤ１周分でワーク送り部を仮に３か所以上に配置した場合であっても、複数（４本）のメインローラを周回するワイヤ１周分の走行距離をワーク送り部の数で割って、ワーク送り部間の均等配分した方がワーク送り部間のワイヤのインピーダンス成分を管理しやすくなるという効果は同じである。
２つの給電子が４本のメインローラを周回するワイヤの走行距離（１周の総距離）を略均等配分（２分の１）する位置にそれぞれ配置されている。
２つの給電子が２か所のワーク送り部の間にそれぞれ配置されている。

さらに２個のワーク送り部に対しては、２個のワーク送り部の個数と同数である２つの給電子が４本のメインローラを周回するワイヤ１本に面している。このように複数のワーク送り部があっても、給電子の数を最少にすることができる。

よって、もし仮に４個のワーク送り部があり、４本のワークを同時に加工する場合には、４個のワーク送り部の個数と同数である４つの給電子を４本のメインローラを周回するワイヤ１本に面して配置すればよい。
図１７及び図１８を説明する。

図１７のＶｍｎ５０１は加工電源部であり、複数のワーク（１０５ａと１０５ｂ）の両方と通電されているので、複数のワーク（１０５ａと１０５ｂ）の両方に共通である１つの加工電圧を一括供給することができる。

図１７のＲｍｎ５０５はＶｍｎ５０１のマイナス極から複数の給電子（１０４ａと１０４ｂ）までの電気配線の抵抗値であり、この間の電気配線の中には過剰な加工電流が流れてしまうことを制限するための抵抗体（内部抵抗）を設けないことで、この間の電気配線の抵抗値を０．１Ω以下（ほぼ電気配線による抵抗）にしている。

図１７のＲｍｎ５２０はＶｍｎ５０１のプラス極から複数のワーク（１０５ａと１０５ｂ）までの電気配線の抵抗値であり、この間の電気配線の中には過剰な加工電流が流れてしまうことを制限するための抵抗体（内部抵抗）を設けないことで、この間の電気配線の抵抗値を０．１Ω以下（ほぼ電気配線による抵抗）にしている。

このようにＲｍｎ５０５及びＲｍｎ５２０の抵抗値をいずれも０．１Ω以下にしている理由は、ワイヤのインピーダンス成分（抵抗値）の方を、Ｒｍｎ５０５及びＲｍｎ５２０よりも支配的にする（十分大きくする）ことで、電源装置の電気回路で加工電流の合計値を制限するのではなく、実際の放電した数のワイヤのインピーダンス成分（合成抵抗）に応じて、この電気配線に流れる加工電流の合計値を制御するためである。一括給電方式の場合には、加工電圧１つが複数本のワイヤ対して給電する並列回路方式であるので、実際の放電した数のワイヤのインピーダンス成分（合成抵抗）は放電した数が多くなるにともなって小さく（合成抵抗／放電する本数）なり、加工電流の合計値は増える。逆に、実際の放電した数のワイヤのインピーダンス成分（合成抵抗）は放電した数が少なくなるにともなって大きく（合成抵抗／放電する本数）なり、加工電流の合計値は減る。このようにワイヤのインピーダンス成分（抵抗値）の方を、Ｒｍｎ５０５及びＲｍｎ５２０よりも支配的にする（十分大きくする）ことで加工電流の合計値の制御を、ワイヤのインピーダンス成分（抵抗値）で制御することができる。
図１７は、図１３の配置を変更し、メインローラ（４本）を巻回するワイヤで２つのワークを同時にスライス加工する場合の配置を示した図である。
メインローラ４本の構成となっている。給電子１０４ａ、１０４ｂをワーク１０５ａ、１０５ｂから等しい距離の左右に配置している。

図１７に示すように、給電子が複数のメインローラを周回するワイヤの対向する２つのワイヤ面に配置されており、さらにワイヤが複数のメインローラを並設して周回している中で、給電子が配置された数（２か所）とワーク送り部の数（２か所）とが同数である。

さらに、複数（２か所）の給電子中の１つと、複数（２か所）のワーク送り部中の１つとが、ワイヤが複数のメインローラを並設して周回している中でそれぞれ交互に入れかわっれ配置されている。このように配置すれば、１つの給電子に対してそれぞれが逆方向に流れる２つの向き放電加工電流を有効活用できるだけではなく、さらに１箇所のワークに対してそれぞれが逆方向に流れる２つの向き放電加工電流さらに均等にすることができ、ワークの極間長での加工精度が向上する。
図１８を説明する。

図１８は、図１６に示した放電加工の場合の、2か所の異なるワークの各放電部分（極間）から給電子までのワイヤ長を1本のワイヤを仮想的に引き延ばした状態で便宜的に説明した図である。
また、メインローラ４本の構成である場合、この給電子１０４ａ、１０４ｂはそれぞれのワークからの上下の距離も等しくなるように配置してある。
・給電子１０４ａからワーク１０５ａの中心までワイヤが走行する距離（５１１Ｌ１）
・給電子１０４ｂからワーク１０５ａの中心までワイヤが走行する距離（５１１Ｌ２）
・給電子１０４ａからワーク１０５ｂの中心までワイヤが走行する距離（５１１Ｌ３）
・給電子１０４ｂからワーク１０５ｂの中心までワイヤが走行する距離（５１１Ｌ４）
とすると、

おおよそ５１１Ｌ１＝５１１Ｌ２＝５１１Ｌ３＝５１１Ｌ４となる位置に合わせて給電子１０４ａ、給電子１０４ｂ、ワーク１０５ａ、ワーク１０５ｂを、メインローラ（４本）を巻回するワイヤのそれぞれ均等間隔に交互に配置されることでそれぞれのワイヤ長Ｌが等しくなり、各ワイヤ長によるインピーダンス成分を等しくそろえることができる。
従って、
・給電子１０４ａからワーク１０５ａの中心まで加工電流が流れるワイヤの抵抗値（Ｒｗ１ａ）
・給電子１０４ｂからワーク１０５ａの中心まで加工電流が流れるワイヤの抵抗値（Ｒｗ１ｂ）
・給電子１０４ａからワーク１０５ｂの中心まで加工電流が流れるワイヤの抵抗値（Ｒｗ１ｃ）
・給電子１０４ｂからワーク１０５ｂの中心まで加工電流が流れるワイヤの抵抗値（Ｒｗ１ｄ）

も、おおよそＲｗ１ａ＝Ｒｗ１ｂ＝Ｒｗ１ｃ＝Ｒｗ１ｄであり、ワイヤの長さで決まる抵抗値（インピーダンス）により、加工電流値の上限が制限されるため、同じ加工電流値を流すことができる。
よって、ワーク１０５ａとワーク１０５ｂにはそれぞれ同じ加工電流値が流れる。

給電子１０４ａと給電子１０４ｂに対して上半周（ワーク１０５ｂ側）と、給電子１０４ａと給電子１０４ｂに対して下半周（ワーク１０５ａ側）が並列接続された形となる。

また、図１８に示すようにそれぞれが独立しており、ワーク１０５ａの放電点Ｗ１とワーク１０５ｂの放電点Ｗ１で起きる放電電流は、最も近い給電子の方向に流れるので、ワーク１０５ａの放電点Ｗ１とワーク１０５ｂの放電点Ｗ１で起きる放電電流がそれぞれ互いに干渉することはなく、さらに電気配線５１３には内部抵抗がなく電源装置から給電子までの配線の抵抗値Ｒｍｎが、給電子から放電部Ｗまでの最短の走行距離によるワイヤの抵抗値Ｒｗｎよりも小さいので、ワイヤの長さによる抵抗値（５ｌｌＬ）により加工電流の上限値が決定する。よって図１４に示したように１つのワークを単独で加工した場合とほぼ同等の加工電流を得ることができ、図１６では２つのワークを同時に放電加工しても１つワークを単独で加工した場合と同じ加工レートとなり、加工能率の向上を図れる。
おおよそ５１１Ｌ１＝５１１Ｌ２＝５１１Ｌ３＝５１１Ｌ４とした場合の各ワイヤの最少の長さを説明する。

図７は図１６の放電回路の等価回路である。電源Ｖｍｎ、トランジスタＴｒ１、ワイヤの抵抗Ｒｗｎ１、極間電圧（ワークとワイヤ間の放電電圧）Ｖｇｎとする。一括給電（群給電）では並列回路が構成されるのでＲｗｎ、Ｖｇｎとする。
放電電流Ｉｇは下記の式で求まる。
・Ｉｇｎ＝（Ｖｍｎ−Ｖｇｎ）／Ｒｗｎ１ （１）

Ｒｗｎ１とＶｇｎ、Ｖｍｎを決めればＩｇ１は決まる。ここでＲｗｎ１を５Ωとし、Ｖｇｎは通常３０Ｖ程度であるから、Ｉｇｎ１を２ＡとするとＶｍｎは４０Ｖとなる。
Ｖｍｎとしてはこの値が最小の必要値であり、これに適合する抵抗値は５Ωとなる。

５Ωに相当するワイヤ長は一括給電で、Ｒｗｎはワイヤの抵抗であるから、ワイヤの長さとなりワイヤ材質を鉄 ワイヤ径を０．１ｍｍとした場合、１ｍあたりの抵抗値は２０Ω程度である。５Ωに相当するワイヤ長は、０．２５ｍとなるが放電点へ左右から給電されるので、並列接続に相当するから片側で１０Ωとなる。この長さは０．５ｍである。
おおよそ５１１Ｌ１＝５１１Ｌ２＝５１１Ｌ３＝５１１Ｌ４とした場合の各ワイヤの長さは５０ｃｍ以上にすればよい。
図１９を説明する。

１９０１は駆動機構であり、本発明の実施形態では、例えは給電子ユニット１０ｂ全体をワイヤ面に沿って水平にスライドさせることで、ワイヤ面に接触する給電子１０４ｂの給電位置を移動させる機構である。１９０１により給電子１０４ｂが領域Ｃ中のいずれかの位置に配置されている固定位置を自在に変更することができる。なお、固定位置の自在変更の機構はスライドには限定されるものではなく、自在に変更できるように予め定められた多数の固定位置の中から選ばれた任意の位置に給電子ユニット１０ｂを、ユーザの手作業により再配置させてもよい。

このように、給電子ユニット１０ｂ全体をワイヤ面に沿って水平にスライドさせることで、図１７に示したように、第１の箇所から第３の箇所までのワイヤ長（第１の距離）と第２の箇所から第３の箇所までのワイヤ長（第２の距離）とを合わせて自在に調整することができる。

つまり、ワイヤ長（第１の距離）は第１の箇所から第３の箇所までのワイヤの長さによるインピーダンス成分Ａであり、ワイヤ長（第２の距離）は第２の箇所から第３の箇所までのワイヤの長さによるインピーダンス成分Ｂであるので、１９０１は複数のワークにそれぞれ影響を及ぼすＡＢの両インピーダンス成分を調整するための機構である。

まずここで、図１６に示したように、放電加工するまえに予め測定されたワークの比抵抗値がほぼ同等（誤差１％未満）である２つのワークを複数箇所のワーク送り部（３ａおよび３ｂ）においてそれぞれ同時に放電加工（バッチ処理）する場合を想定した場合には、５１１Ｌ４（第１の距離）と５１１Ｌ２（第２の距離）とがほぼ等距離（誤差１％未満）になるように、駆動手段１９０１が給電子１０４ｂを固定配置させることで、加工幅、加工速度等において２つのワークの均一性が高い放電加工のバッチ処理を実現することができる。

次にここで、図１９に示したように、放電加工するまえに予め測定されたワークの比抵抗値が異なる（誤差１０％以上）である２つのワークを複数箇所のワーク送り部（３ａおよび３ｂ）においてそれぞれ同時に放電加工（バッチ処理）する場合を想定した場合には、５１１Ｌ４（第１の距離）と５１１Ｌ２（第２の距離）との比率または差分が、予め測定されたワークの比抵抗値の比率（１．２倍等）または差分（誤差１０％等）に基づいて、ユーザが判断した最適な距離になるように駆動手段が給電子１０４ｂを固定配置させることで、加工幅、加工速度等において２つのワークの均一性が高い放電加工のバッチ処理を実現することができる。

なお、予め測定されたワークの比抵抗値の比率（１．２倍等）または差分（誤差１０％等）に基づいた最適な距離とは、ワークの比抵抗値の比率または差分との相関関係があればよく、５１１Ｌ４（第１の距離）と５１１Ｌ２（第２の距離）との比率または差分は、必ずしも予め測定されたワークの比抵抗値の比率または差分に連動した値でなくてもよい。

また別の実施形態では、予め最適化された比抵抗差と配置位置との相関関係のデータテーブルを本発明のワイヤ放電加工装置が保持することで、ユーザが入力した予め測定されたワークの比抵抗値の比率または差分に従って、本発明のワイヤ放電加工装置が配置位置を自動制御で決定してもよい。

さらに、図１９に示したように、予め測定された比抵抗値が高い方のワークに近い箇所に、駆動手段が給電子を移動させて、放電加工することで、ワークの比抵抗値の高いサンプルのワイヤの長さによるインピーダンス成分Ａの方が、ワークの比抵抗値の低いサンプルのワイヤの長さによるインピーダンス成分Ｂよりも低くなるので、第１の距離を短くすることで低下させた分のインピーダンス成分がワークの比抵抗値の高いサンプルによる電圧降下分を補うことができるという効果が発揮され、放電加工するまえに予め測定されたワークの比抵抗値が異なる２つのワークを複数箇所のワーク送り部（３ａおよび３ｂ）においてそれぞれ同時に放電加工（バッチ処理）する場合でも、加工幅、加工速度等において、２つのワークの均一性が高い放電加工のバッチ処理を実現することができる。

さらに、図１６に示したように、同じ製造ロットで製造された２つのＳｉＣインゴットのように、ワークの素材または立体形状による比抵抗値が見かけ上同等であっても、放電加工するまえに予め測定された比抵抗値が異なった比抵抗値が計測された場合には、図１９に示したように、第１の距離と第２の距離との比率または差分が、予め測定された比抵抗値の比率または差分に基づいた距離になるように、駆動手段１９０１が給電子１０４ｂを移動させて、放電加工してもよい。
図２０を説明する。

図２０の状態Ａは、駆動手段１９０１が給電子ユニットを上側（または右側）にスライドさせて、給電子１０４ｂを配置させた状態を示したものである。尚この場合は第１の距離＜第２の距離となる。

図２０の状態Ｂは、駆動手段１９０１が給電子ユニットを中央（または第１の距離と第２の距離が均等距離）にスライドさせて、給電子１０４ｂを配置させた状態を示したものである。

図２０の状態Ｃは、駆動手段１９０１が給電子ユニットを下側（または左側）にスライドさせて、給電子１０４ｂを配置させた状態を示したものである。尚この場合は第１の距離＞第２の距離となる。
図２１を説明する。
図２１は、図１９に示した放電加工の場合の斜視図である。

メインローラ４本の構成となっている。給電子１０４ａ、１０４ｂをワーク１０５ｃ(円柱状のインゴット)、１０５ａ（角状のインゴット）から異なる距離の左右に配置している。

図２１のＶｍｎ５０１は加工電源部であり、複数のワーク（１０５ａと１０５ｃ）の両方と通電されているので、複数のワーク（１０５ａと１０５ｃ）の両方に共通である１つの加工電圧を一括供給することができる。

図２１のＲｍｎ５０５はＶｍｎ５０１のマイナス極から複数の給電子（１０４ａと１０４ｂ）までの電気配線の抵抗値であり、この間の電気配線の中には過剰な加工電流が流れてしまうことを制限するための抵抗体（内部抵抗）を設けないことで、この間の電気配線の抵抗値を０．１Ω以下（ほぼ電気配線による抵抗）にしている。

図２１のＲｍｎ５２０はＶｍｎ５０１のプラス極から複数のワーク（１０５ａと１０５ｃ）までの電気配線の抵抗値であり、この間の電気配線の中には過剰な加工電流が流れてしまうことを制限するための抵抗体（内部抵抗）を設けないことで、この間の電気配線の抵抗値を０．１Ω以下（ほぼ電気配線による抵抗）にしている。

図２２を説明する。

図２２は、図１９に示した放電加工の場合の、2か所の異なるワークの各放電部分（極間）から給電子までのワイヤ長を1本のワイヤを仮想的に引き延ばした状態で便宜的に説明した図である。
また、メインローラ４本の構成である場合、この給電子１０４ａ、１０４ｂはそれぞれのワークからの上下の距離が異なるように配置してある。
・給電子１０４ａからワーク１０５ａの中心までワイヤが走行する距離（２０１１Ｌ１）
・給電子１０４ｂからワーク１０５ａの中心までワイヤが走行する距離（２０１１Ｌ２）
・給電子１０４ａからワーク１０５ｃの中心までワイヤが走行する距離（２０１１Ｌ３）
・給電子１０４ｂからワーク１０５ｃの中心までワイヤが走行する距離（２０１１Ｌ４）
とすると、

おおよそ２０１１Ｌ１＝２０１１Ｌ２、２０１１Ｌ３＝２０１１Ｌ４となる位置に合わせて給電子１０４ａ、給電子１０４ｂ、ワーク１０５ａ、ワーク１０５ｂを、メインローラ（４本）を巻回するワイヤのそれぞれ交互に配置されることで、

２０１１Ｌ１と２０１１Ｌ２ではそれぞれのワイヤ長Ｌが等しくなり、各ワイヤ長によるインピーダンス成分を等しくそろえることができる。さらに２０１１Ｌ３と２０１１Ｌ４でもそれぞれのワイヤ長Ｌが等しくなり、各ワイヤ長によるインピーダンス成分を等しくそろえることができる。
従って、
・給電子１０４ａからワーク１０５ａの中心まで加工電流が流れるワイヤの抵抗値（Ｒｗ１ａ）
・給電子１０４ｂからワーク１０５ａの中心まで加工電流が流れるワイヤの抵抗値（Ｒｗ１ｂ）
・給電子１０４ａからワーク１０５ｃの中心まで加工電流が流れるワイヤの抵抗値（Ｒｗ１ｃ）
・給電子１０４ｂからワーク１０５ｃの中心まで加工電流が流れるワイヤの抵抗値（Ｒｗ１ｄ）

も、おおよそＲｗ１ａ＝Ｒｗ１ｂ、Ｒｗ１ｃ＝Ｒｗ１ｄであり、ワイヤの長さで決まる抵抗値（インピーダンス）により、加工電流値の上限が制限されるため、ワークの両側においては均等な加工電流値を流すことができ、加工精度が向上する。
図２３を説明する。

図２３は、サンプルが小さく、例えば極間長（ワイヤによりワークの加工面に放電する最大の長さ）が３ｃｍのワークを放電加工する場合を示した図である。図１６に示した例ではワークが６インチのインゴットである場合は極間長は１５．６ｃｍである。この場合極間長は比較的長いので、極間長を均等に加工するためには、図１６に示すように給電子を左右に配置させた方がよい。しかし図２３に示すように極間長が短い場合には、極間長の中での放電の発生個所のバラつきも小さくなるので、図２３に示すように給電子を左右のいずれか１箇所に配置させても極間長を均等に加工することができる。

この時に給電子を左右のいずれか１箇所に配置させても良い条件として、極間長が第１の距離（５１１Ｌ４）の１０％以下であれば、給電子を左右のいずれか１箇所に配置させても良い。

例えば、極間長が３ｃｍで第１の距離（５１１Ｌ４）が５０ｃｍである場合には、給電子を左右のいずれか１箇所に配置させても、加工精度への影響が小さいということである。

例えば、極間長が１５．６ｃｍで第１の距離（５１１Ｌ４）が５０ｃｍである場合には、給電子を左右の両側の２箇所に配置させた方が、加工精度が良いということである。
図２４を説明する。

図２４は、図２３の配置をさらに変形させた図であり、同じ比抵抗のワークを同時にバッチ処理する場合には、第１の距離と第２の距離とが等しければ、図２３のように第１の箇所と第２の箇所においてはワイヤが並設して走行する方向は反対であっても何ら問題はなく、図２４のようにワイヤが並設して走行する方向は同じ方向であっても何ら問題はない。
図２５を説明する。
図２５を説明する。
ワイヤ放電加工装置が内蔵する制御コンピュータ１０００のハードウエア構成図を示す図である。

図２５において、１００１はＭＰＵ（ＣＰＵ）で、システムバス１００４に接続される各デバイスやコントローラを統括的に制御する。また、ＲＯＭ１００２あるいは外部メモリ１０１１には、ＣＰＵ１００１の制御プログラムであるＢＩＯＳ（Ｂａｓｉｃ Ｉｎｐｕｔ ／ Ｏｕｔｐｕｔ Ｓｙｓｔｅｍ）やオペレーティングシステムプログラム（以下、ＯＳ）や、各サーバ或いは各ＰＣの実行する機能を実現するために必要な後述する各種プログラム等が記憶されている。

１００３はＲＡＭで、ＣＰＵ２０１の主メモリ、ワークエリア等として機能する。ＣＰＵ２０１は、処理の実行に際して必要なプログラム等をＲＯＭ１００２あるいは外部メモリ１０１１からＲＡＭ１００３にロードして、該ロードしたプログラムを実行することで各種動作を実現するものである。

１００５は入力コントローラで、キーボード（ＫＢ）１００９や不図示のマウス等のポインティングデバイス等からの入力を制御する。２５０６はビデオコントローラで、表示部１０１０への表示を制御する。なお、表示部１０１０はＣＲＴだけでなく、液晶ディスプレイ等の他の表示器であってもよい。これらは必要に応じて管理者が使用するものである。また表示部は指やペン等にてユーザが表示画面内の対象位置を指定するタッチパネル機能を含むものであってもよい。

１００７はメモリコントローラで、ブートプログラム，各種のアプリケーション，フォントデータ，ユーザファイル，編集ファイル，各種データ等を記憶するハードディスク（ＨＤ）や、フレキシブルディスク（ＦＤ）、或いはＰＣＭＣＩＡカードスロットにアダプタを介して接続されるコンパクトフラッシュ（登録商標）メモリ等の外部メモリ１０１１へのアクセスを制御する。

１００８は通信Ｉ／Ｆコントローラで、ネットワーク（通信貝回線）を介して外部装置と接続・通信するものであり、ネットワークでの通信制御処理を実行する。例えば、ＴＣＰ／ＩＰを用いた通信等が可能である。
なお、ＣＰＵ２０１は、例えばＲＡＭ１００３内の表示情報用領域へアウトラインフ
ている。また、ＣＰＵ２０１は、ＣＲＴ上の不図示のマウスカーソル等でのユーザ指示を可能とする。

本発明を実現するための後述する各種プログラムは、外部メモリ１０１１に記録されており、必要に応じてＲＡＭ１００３にロードされることによりＣＰＵ１００１によって実行されるものである。さらに、上記プログラムの実行時に用いられるデータファイル及びデータテーブル等も、外部メモリ１０１１または記憶部に格納されている。

また、本発明におけるプログラムは、フローチャートの処理を制御コンピュータ１０００が実行可能なプログラムであり、本発明の記憶媒体はフローチャートの処理方法を実行可能なプログラムとして記憶している。
（本発明の他の実施形態）

以上のように、前述した実施形態の機能を実現するプログラムを記録した記録媒体を、ワイヤ放電加工装置に供給し、そのシステムあるいは装置内のコンピュータ（またはＣＰＵやＭＰＵ）が記録媒体に格納されたプログラムを読出し実行することによっても、本発明の目的が達成されることは言うまでもない。

この場合、記録媒体から読み出されたプログラム自体が本発明の新規な機能を実現することになり、そのプログラムを記憶した記録媒体は本発明を構成することになる。

プログラムを供給するための記録媒体としては、例えば、フレキシブルディスク，ハードディスク，光ディスク，光磁気ディスク，ＣＤ−ＲＯＭ，ＣＤ−Ｒ，ＤＶＤ−ＲＯＭ，磁気テープ，不揮発性のメモリカード，ＲＯＭ，ＥＥＰＲＯＭ，シリコンディスク等を用
いることができる。

また、読み出したプログラムを実行することにより、前述した実施形態の機能が実現されるだけでなく、そのプログラムの指示に基づき、コンピュータ上で稼働しているＯＳ（オペレーティングシステム）等が実際の処理の一部または全部を行い、その処理によって前述した実施形態の機能が実現される場合も含まれることは言うまでもない。

さらに、記録媒体から読み出されたプログラムが、コンピュータに挿入された機能拡張ボードやコンピュータに接続された機能拡張ユニットに備わるメモリに書き込まれた後、そのプログラムコードの指示に基づき、その機能拡張ボードや機能拡張ユニットに備わるＣＰＵ等が実際の処理の一部または全部を行い、その処理によって前述した実施形態の機能が実現される場合も含まれることは言うまでもない。

また、本発明は、複数の機器から構成されるシステムに適用しても、１つの機器からなる装置に適用してもよい。また、本発明は、システムあるいは装置にプログラムを供給することによって達成される場合にも適応できることは言うまでもない。この場合、本発明を達成するためのプログラムを格納した記録媒体を該システムあるいは装置に読み出すことによって、そのシステムあるいは装置が、本発明の効果を享受することが可能となる。

さらに、本発明を達成するためのプログラムをネットワーク上のサーバ，データベース等から通信プログラムによりダウンロードして読み出すことによって、そのシステムあるいは装置が、本発明の効果を享受することが可能となる。
なお、上述した各実施形態およびその変形例を組み合わせた構成も全て本発明に含まれるものである。

１ マルチワイヤ放電加工装置
２ 電源装置
３ａ 第１のワーク送り部
３ｂ 第２のワーク送り部
１０ 給電ユニット
１０３ ワイヤ電極
１０４ａ 給電子
１０４ｂ 給電子
１０５ａ ワーク（シリコンインゴット）
１０５ｂ ワーク（シリコンインゴット）
２０４ 給電子
５１１Ｌ１ ワイヤの長さ（最短のワイヤの走行距離）
５１１Ｌ２ ワイヤの長さ（最短のワイヤの走行距離）
５１１Ｌ３ ワイヤの長さ（最短のワイヤの走行距離）
５１１Ｌ４ ワイヤの長さ（最短のワイヤの走行距離）

Claims (16)

1. ワークを放電加工するワイヤ放電加工装置であって、
   並設するようにワイヤを周回させる複数のメインローラと、
   前記複数のメインローラを周回するワイヤに向かって前記ワークを送り出す複数のワーク送り部と、
   前記ワークに加工電圧を供給する加工電源部と、
   前記複数のメインローラを周回するワイヤに前記加工電圧を給電する給電子と、
   を備え、
   前記複数のメインローラを並設して周回しているワイヤ部に向かってワークを送り出す第１の箇所と、前記ワイヤ部とは並設して周回しているワイヤ面が異なるワイヤ部に向かってワークを送り出す第２の箇所に、複数のワーク送り部がそれぞれ配置されており、
   前記第１の箇所と前記第２の箇所との間の、ワイヤが前記複数のメインローラを並設して周回している第３の箇所に、前記給電子が配置されており、
   前記複数の前記ワーク送り部においてそれぞれ放電加工されるワークに、１つの前記加工電源部から供給された加工電圧を供給し、
   前記放電加工するまえに予め測定されたワークの比抵抗値が同等であるワークを前記複数のワーク送り部においてそれぞれ放電加工する場合には、ワイヤが前記複数のメインローラを並設して周回している前記第１の箇所から前記第３の箇所までの第１の距離とワイヤが前記複数のメインローラを並設して周回している前記第２の箇所から前記第３の箇所までの第２の距離とが等距離になる前記第３の箇所に前記給電子を配置させて前記放電加工できるように、前記給電子が配置されている位置である前記第３の箇所が変更可能であることを特徴とするワイヤ放電加工装置。
2. 前記給電子が配置されている位置である前記第３の箇所を変更する駆動手段をさらに備え、
   前記それぞれ放電加工する場合には、前記等距離になるように、前記駆動手段が前記給電子を移動させて、前記放電加工すること特徴とする請求項１に記載のワイヤ放電加工装置。
3. ワークを放電加工するワイヤ放電加工装置であって、
   並設するようにワイヤを周回させる複数のメインローラと、
   前記複数のメインローラを周回するワイヤに向かって前記ワークを送り出す複数のワーク送り部と、
   前記ワークに加工電圧を供給する加工電源部と、
   前記複数のメインローラを周回するワイヤに前記加工電圧を給電する給電子と、
   を備え、
   前記複数のメインローラを並設して周回しているワイヤ部に向かってワークを送り出す第１の箇所と、前記ワイヤ部とは並設して周回しているワイヤ面が異なるワイヤ部に向かってワークを送り出す第２の箇所に、複数のワーク送り部がそれぞれ配置されており、
   前記第１の箇所と前記第２の箇所との間の、ワイヤが前記複数のメインローラを並設して周回している第３の箇所に、前記給電子が配置されており、
   前記複数の前記ワーク送り部においてそれぞれ放電加工されるワークに、１つの前記加工電源部から供給された加工電圧を供給し、
   前記放電加工するまえに予め測定されたワークの比抵抗値が異なるワークを前記複数のワーク送り部においてそれぞれ放電加工する場合には、ワイヤが前記複数のメインローラを並設して周回している前記第１の箇所から前記第３の箇所までの第１の距離と、ワイヤが前記複数のメインローラを並設して周回している前記第２の箇所から前記第３の箇所までの第２の距離との比率または差分が、前記予め測定された比抵抗値の比率または差分に基づいた距離になる前記第３の箇所に前記給電子を配置させて前記放電加工できるように、前記給電子が配置されている位置である前記第３の箇所が変更可能であることを特徴とするワイヤ放電加工装置。
4. 前記給電子が配置されている位置である前記第３の箇所を変更する駆動手段をさらに備え、
   前記それぞれ放電加工する場合には、前記基づいた距離になるように、前記駆動手段が前記給電子を移動させて、前記放電加工すること特徴とする請求項３に記載のワイヤ放電加工装置。
5. 予め測定された比抵抗値が高い方のワークに近い箇所に、前記給電子を配置させて、前記放電加工すること特徴とする請求項３または請求項４に記載のワイヤ放電加工装置。
6. ワークの素材または立体形状による比抵抗値が見かけ上同等であっても、前記放電加工するまえに予め測定された比抵抗値が異なるワークを前記複数のワーク送り部においてそれぞれ放電加工する場合には、前記第１の距離と前記第２の距離との比率または差分が、前記予め測定された比抵抗値の比率または差分に基づいた距離になるように、前記給電子を配置させて、前記放電加工することを特徴とする請求項３乃至請求項５のいずれか１項に記載のワイヤ放電加工装置。
7. 前記給電子が前記複数のメインローラを周回するワイヤの複数箇所に配置されており、
   前記複数のワーク送り部が前記複数のメインローラを周回するワイヤの走行距離を均等配分する箇所にそれぞれ配置されていることを特徴とする請求項１乃至請求項６のいずれか１項に記載のワイヤ放電加工装置。
8. 前記給電子が前記複数のメインローラを周回するワイヤの複数箇所に配置されており、
   ワイヤが前記複数のメインローラを並設して周回している中で、前記給電子が配置された数と前記ワーク送り部の数とが同数であって、
   複数配置されている前記給電子中の１つと、複数箇所の前記ワーク送り部中の１つとが、ワイヤが前記複数のメインローラを並設して周回している中でそれぞれ交互に配置されていることを特徴とする請求項１乃至請求項７のいずれか１項に記載のワイヤ放電加工装置。
9. ワークを放電加工するワイヤ放電加工システムであって、
   並設するようにワイヤを周回させる複数のメインローラと、前記複数のメインローラを周回するワイヤに向かって前記ワークを送り出す複数のワーク送り部と、前記複数のメインローラを周回するワイヤに加工電圧を給電する給電子と、を備えるワイヤ放電加工装置は、
   前記複数のメインローラを並設して周回しているワイヤ部に向かってワークを送り出す第１の箇所と、前記ワイヤ部とは並設して周回しているワイヤ面が異なるワイヤ部に向かってワークを送り出す第２の箇所に、複数のワーク送り部がそれぞれ配置されており、
   前記第１の箇所と前記第２の箇所との間の、ワイヤが前記複数のメインローラを並設して周回している第３の箇所に、前記給電子が配置されており、
   さらに、
   前記ワークに前記加工電圧を供給する電源装置が、
   前記複数の前記ワーク送り部においてそれぞれ放電加工されるワークに、１つの前記加工電源部から供給された加工電圧を供給し、
   前記放電加工するまえに予め測定されたワークの比抵抗値が同等であるワークを前記複数のワーク送り部においてそれぞれ放電加工する場合には、ワイヤが前記複数のメインローラを並設して周回している前記第１の箇所から前記第３の箇所までの第１の距離とワイヤが前記複数のメインローラを並設して周回している前記第２の箇所から前記第３の箇所までの第２の距離とが等距離になる前記第３の箇所に前記給電子を配置させて前記放電加工できるように、前記給電子が配置されている位置である前記第３の箇所が変更可能であることを特徴とするワイヤ放電加工システム。
10. ワークを放電加工するワイヤ放電加工システムであって、
    並設するようにワイヤを周回させる複数のメインローラと、前記複数のメインローラを周回するワイヤに向かって前記ワークを送り出す複数のワーク送り部と、前記複数のメインローラを周回するワイヤに加工電圧を給電する給電子と、を備えるワイヤ放電加工装置は、
    前記複数のメインローラを並設して周回しているワイヤ部に向かってワークを送り出す第１の箇所と、前記ワイヤ部とは並設して周回しているワイヤ面が異なるワイヤ部に向かってワークを送り出す第２の箇所に、複数のワーク送り部がそれぞれ配置されており、
    前記第１の箇所と前記第２の箇所との間の、ワイヤが前記複数のメインローラを並設して周回している第３の箇所に、前記給電子が配置されており、
    さらに、
    前記ワークに前記加工電圧を供給する電源装置が、
    前記複数の前記ワーク送り部においてそれぞれ放電加工されるワークに、１つの前記加工電源部から供給された加工電圧を供給し、
    前記放電加工するまえに予め測定されたワークの比抵抗値が異なるワークを前記複数のワーク送り部においてそれぞれ放電加工する場合には、ワイヤが前記複数のメインローラを並設して周回している前記第１の箇所から前記第３の箇所までの第１の距離と、ワイヤが前記複数のメインローラを並設して周回している前記第２の箇所から前記第３の箇所までの第２の距離との比率または差分が、前記予め測定された比抵抗値の比率または差分に基づいた距離になる前記第３の箇所に前記給電子を配置させて前記放電加工できるように、前記給電子が配置されている位置である前記第３の箇所が変更可能であることを特徴とするワイヤ放電加工システム。
11. ワークを放電加工するために用いられ、並設するようにワイヤを周回させる複数のメインローラと、前記複数のメインローラを周回するワイヤに向かって前記ワークを送り出す
    複数のワーク送り部と、前記複数のメインローラを周回するワイヤに加工電圧を給電する給電子と、を備え、前記複数のメインローラを並設して周回しているワイヤ部に向かってワークを送り出す第１の箇所と、前記ワイヤ部とは並設して周回しているワイヤ面が異なるワイヤ部に向かってワークを送り出す第２の箇所に、複数のワーク送り部がそれぞれ配置されており、前記第１の箇所と前記第２の箇所との間の、ワイヤが前記複数のメインローラを並設して周回している第３の箇所に、前記給電子が配置されている、ワイヤ放電加工装置において放電加工される前記ワークに前記加工電圧を供給する加工電源部を備える電源装置であって、
    前記複数の前記ワーク送り部においてそれぞれ放電加工されるワークに、１つの前記加工電源部から供給された加工電圧を供給し、
    前記放電加工するまえに予め測定されたワークの比抵抗値が同等であるワークを前記複数のワーク送り部においてそれぞれ放電加工する場合には、ワイヤが前記複数のメインローラを並設して周回している前記第１の箇所から前記第３の箇所までの第１の距離とワイヤが前記複数のメインローラを並設して周回している前記第２の箇所から前記第３の箇所までの第２の距離とが等距離になる前記第３の箇所に前記給電子を配置させて前記放電加工できるように、前記給電子が配置されている位置である前記第３の箇所が変更可能であることを特徴とする電源装置。
12. ワークを放電加工するために用いられ、並設するようにワイヤを周回させる複数のメインローラと、前記複数のメインローラを周回するワイヤに向かって前記ワークを送り出す
    複数のワーク送り部と、前記複数のメインローラを周回するワイヤに加工電圧を給電する給電子と、を備え、前記複数のメインローラを並設して周回しているワイヤ部に向かってワークを送り出す第１の箇所と、前記ワイヤ部とは並設して周回しているワイヤ面が異なるワイヤ部に向かってワークを送り出す第２の箇所に、複数のワーク送り部がそれぞれ配置されており、前記第１の箇所と前記第２の箇所との間の、ワイヤが前記複数のメインローラを並設して周回している第３の箇所に、前記給電子が配置されている、ワイヤ放電加工装置において放電加工される前記ワークに前記加工電圧を供給する加工電源部を備える電源装置であって、
    前記複数の前記ワーク送り部においてそれぞれ放電加工されるワークに、１つの前記加工電源部から供給された加工電圧を供給し、
    前記放電加工するまえに予め測定されたワークの比抵抗値が異なるワークを前記複数のワーク送り部においてそれぞれ放電加工する場合には、ワイヤが前記複数のメインローラを並設して周回している前記第１の箇所から前記第３の箇所までの第１の距離と、ワイヤが前記複数のメインローラを並設して周回している前記第２の箇所から前記第３の箇所までの第２の距離との比率または差分が、前記予め測定された比抵抗値の比率または差分に基づいた距離になる前記第３の箇所に前記給電子を配置させて前記放電加工できるように、前記給電子が配置されている位置である前記第３の箇所が変更可能であることを特徴とする電源装置。
13. ワークを放電加工するために用いられ、並設するようにワイヤを周回させる複数のメインローラと、前記複数のメインローラを周回するワイヤに向かってワークを送り出す複数のワーク送り部と、前記ワークに加工電圧を供給する加工電源部と、前記複数のメインローラを周回するワイヤに加工電圧を給電する給電子と、を備えるワイヤ放電加工装置によるワイヤ放電加工方法であって、
    前記複数のメインローラを並設して周回しているワイヤ部に向かってワークを送り出す第１の箇所と、前記ワイヤ部とは並設して周回しているワイヤ面が異なるワイヤ部に向かってワークを送り出す第２の箇所に、複数のワーク送り部がそれぞれ配置されており、
    前記第１の箇所と前記第２の箇所との間の、ワイヤが前記複数のメインローラを並設して周回している第３の箇所に、前記給電子が配置されており、
    前記複数の前記ワーク送り部においてそれぞれ放電加工されるワークに、１つの前記加工電源部から供給された前記加工電圧を供給し、
    前記放電加工するまえに予め測定されたワークの比抵抗値が同等であるワークを前記複数のワーク送り部においてそれぞれ放電加工する場合には、ワイヤが前記複数のメインローラを並設して周回している前記第１の箇所から前記第３の箇所までの第１の距離とワイヤが前記複数のメインローラを並設して周回している前記第２の箇所から前記第３の箇所までの第２の距離とが等距離になる前記第３の箇所に前記給電子を配置させて前記放電加工できるように、前記給電子が配置されている位置である前記第３の箇所が変更可能であることを特徴とするワイヤ放電加工方法。
14. ワークを放電加工するために用いられ、並設するようにワイヤを周回させる複数のメインローラと、前記複数のメインローラを周回するワイヤに向かってワークを送り出す複数のワーク送り部と、前記ワークに加工電圧を供給する加工電源部と、前記複数のメインローラを周回するワイヤに加工電圧を給電する給電子と、を備えるワイヤ放電加工装置によるワイヤ放電加工方法であって、
    前記複数のメインローラを並設して周回しているワイヤ部に向かってワークを送り出す第１の箇所と、前記ワイヤ部とは並設して周回しているワイヤ面が異なるワイヤ部に向かってワークを送り出す第２の箇所に、複数のワーク送り部がそれぞれ配置されており、
    前記第１の箇所と前記第２の箇所との間の、ワイヤが前記複数のメインローラを並設して周回している第３の箇所に、前記給電子が配置されており、
    前記複数の前記ワーク送り部においてそれぞれ放電加工されるワークに、１つの前記加工電源部から供給された前記加工電圧を供給し、
    前記放電加工するまえに予め測定されたワークの比抵抗値が異なるワークを前記複数のワーク送り部においてそれぞれ放電加工する場合には、ワイヤが前記複数のメインローラを並設して周回している前記第１の箇所から前記第３の箇所までの第１の距離と、ワイヤが前記複数のメインローラを並設して周回している前記第２の箇所から前記第３の箇所までの第２の距離との比率または差分が、前記予め測定された比抵抗値の比率または差分に基づいた距離になる前記第３の箇所に前記給電子を配置させて前記放電加工できるように、前記給電子が配置されている位置である前記第３の箇所が変更可能であることを特徴とするワイヤ放電加工方法。
15. ワークを放電加工するために用いられ、並設するようにワイヤを周回させる複数のメインローラと、前記複数のメインローラを周回するワイヤに向かってワークを送り出す複数のワーク送り部と、前記ワークに加工電圧を供給する加工電源部と、前記複数のメインローラを周回するワイヤに加工電圧を給電する給電子と、を備えるワイヤ放電加工装置によって放電加工された半導体基板の製造方法であって、
    前記複数のメインローラを並設して周回しているワイヤ部に向かってワークを送り出す第１の箇所と、前記ワイヤ部とは並設して周回しているワイヤ面が異なるワイヤ部に向かってワークを送り出す第２の箇所に、複数のワーク送り部がそれぞれ配置されており、
    前記第１の箇所と前記第２の箇所との間の、ワイヤが前記複数のメインローラを並設して周回している第３の箇所に、前記給電子が配置されており、
    前記複数の前記ワーク送り部においてそれぞれ放電加工されるワークに、１つの前記加工電源部から供給された前記加工電圧を供給し、
    前記放電加工するまえに予め測定されたワークの比抵抗値が同等であるワークを前記複数のワーク送り部においてそれぞれ放電加工する場合には、ワイヤが前記複数のメインローラを並設して周回している前記第１の箇所から前記第３の箇所までの第１の距離とワイヤが前記複数のメインローラを並設して周回している前記第２の箇所から前記第３の箇所までの第２の距離とが等距離になる前記第３の箇所に前記給電子を配置させて前記放電加工できるように、前記給電子が配置されている位置である前記第３の箇所が変更可能であることを特徴とする半導体基板の製造方法。
16. ワークを放電加工するために用いられ、並設するようにワイヤを周回させる複数のメインローラと、前記複数のメインローラを周回するワイヤに向かってワークを送り出す複数のワーク送り部と、前記ワークに加工電圧を供給する加工電源部と、前記複数のメインローラを周回するワイヤに加工電圧を給電する給電子と、を備えるワイヤ放電加工装置によって放電加工された半導体基板の製造方法であって、
    前記複数のメインローラを並設して周回しているワイヤ部に向かってワークを送り出す第１の箇所と、前記ワイヤ部とは並設して周回しているワイヤ面が異なるワイヤ部に向かってワークを送り出す第２の箇所に、複数のワーク送り部がそれぞれ配置されており、
    前記第１の箇所と前記第２の箇所との間の、ワイヤが前記複数のメインローラを並設して周回している第３の箇所に、前記給電子が配置されており、
    前記複数の前記ワーク送り部においてそれぞれ放電加工されるワークに、１つの前記加工電源部から供給された前記加工電圧を供給し、
    前記放電加工するまえに予め測定されたワークの比抵抗値が異なるワークを前記複数のワーク送り部においてそれぞれ放電加工する場合には、ワイヤが前記複数のメインローラを並設して周回している前記第１の箇所から前記第３の箇所までの第１の距離と、ワイヤが前記複数のメインローラを並設して周回している前記第２の箇所から前記第３の箇所までの第２の距離との比率または差分が、前記予め測定された比抵抗値の比率または差分に基づいた距離になる前記第３の箇所に前記給電子を配置させて前記放電加工できるように、前記給電子が配置されている位置である前記第３の箇所が変更可能であることを特徴とする半導体基板の製造方法。
    

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