JP6127423B2 - 電源装置、ワイヤ放電加工装置、その制御方法およびプログラム - Google Patents

Description

本願発明は、電源装置、ワイヤ放電加工装置、その制御方法およびプログラムの技術に関する。

従来よりシリコンインゴットを多数の薄片にスライスするための装置としてワイヤソーが知られているが、ワイヤ放電加工により部材を薄板に加工する技術がある。

先行文献には、放電開始等の状態を判別するための副電源から電圧を印加した後に、実際に加工をおこなう主電源のエネルギーを投入するタイミングを検知するために、極間の電圧を検知する技術が開示されている（例えば特許文献１）。

特開２００５−１６１４４６号公報

しかしながら特許文献１には、電源の設定条件によっては、給電するワイヤの本数が多くなるとワーク送り制御に利用するための電圧が取得しづらくなってしまうという問題を解決する方法に関しては何ら開示されていない。
本発明は、ワーク送り制御に利用する情報をより確実に取得することができる仕組みを提供することを目的とする。

本願発明は、ワークを並設されているワイヤ列で放電加工するために、前記ワイヤ列とワークとの極間に前記ワイヤ列中の複数本のワイヤに対して、給電子１個により電圧を一括で印加し、前記給電子１個により前記ワイヤ列とワークとの極間に前記ワイヤ列中の複数本のワイヤに対して一括で電圧を印加する場合に、前記放電加工に必要な電流を供給する電源パルスと放電を誘発する副電源パルスとをそれぞれ異なるタイミングで印加する電源装置であって、前記給電子１個により、前記ワイヤ列中の複数本のワイヤに対して一括で電圧を印加した場合の、当該一括で電圧を印加した複数本のワイヤとワークとの前記極間における第１の電圧を一括取得する取得手段と、前記取得手段が一括取得した当該一括で電圧を印加した複数本のワイヤとワークとの前記極間における第１の電圧のうち、先に前記副電源パルスの印加が開始されてから、該副電源パルスに続いて前記電源パルスの印加が開始されるまでの時間だけ前記極間における電圧を測定し、前記時間だけ測定した前記極間における第２の電圧を利用して、ワークを並設されているワイヤ列で放電加工するための前記極間の距離を調整する調整手段と、を備えることを特徴とする。

また、前記時間だけ前記極間における第２の電圧を測定する測定パルスを生成する生成手段をさらに備え、前記生成した測定パルスの所定間隔に同期して、前記取得手段が取得した前記極間における第１の電圧のうち、先に前記副電源パルスの印加が開始されてから、該副電源パルスに続いて前記電源パルスの印加が開始されるまでの時間だけ前記極間における電圧を測定することを特徴とする。
また、先に前記副電源パルスの印加が開始されてから、該副電源パルスに続いて前記電源パルスの印加が０．３μ秒以上遅延させて開始されることを特徴とする。
また、前記副電源パルスを０．３μ秒以上印加することを特徴とする。

また、前記給電子１個から、前記ワイヤ列に一括で前記電源パルスを供給する加工電源をさらに備え、前記加工電源から供給される前記放電加工に必要な電流を制限する抵抗が、０．１Ω以下であることを特徴とする。
また、前記給電子１個から、前記ワイヤ列に一括で前記副電源パルスを供給する副電源をさらに備え、前記副電源から供給される電流を制限する抵抗は０．５Ω以上であることを特徴とする。

本発明により、ワーク送り制御に利用する情報をより確実に取得することができる仕組みを提供することが可能となる。

本発明におけるマルチワイヤ放電加工システムのハードウエア構成を示す図。 本発明におけるマルチワイヤ放電加工装置のハードウエア構成を示す図。 本発明における給電子のハードウエア構成を示す図。 従来技術におけるにおける電気回路図を示す図。 従来技術におけるマルチワイヤ放電加工装置における電気配線を示す図。 本発明における放電パルスを示す図。 本発明におけるにおける電気回路を示す図。 本発明におけるマルチワイヤ放電加工システムにおける電気配線を示す図。 従来技術における加工電源および副電源の印加パルスを示す図。 本発明における極間電圧の取得方法のハードウエア構成を示す図。 本発明における加工電源および副電源の印加パルスを示す図。

図１を説明する。

図１は、本発明の実施の形態に係るマルチワイヤ放電加工機１を前方から見た外観図である。尚、図１に示す各機構の構成は一例であり、目的や用途に応じて様々な構成例があることは言うまでもない。

図１は本発明におけるマルチワイヤ放電加工システムの構成を示す図である。マルチワイヤ放電加工システムは、マルチワイヤ放電加工装置１、電源装置２、加工液供給装置５０から構成されている。
マルチワイヤ放電加工システムは、放電により並設された複数本のワイヤの間隔で被加工物を薄片にスライスすることができる。

１はマルチワイヤ放電加工装置であり、１には、サーボモータにより駆動されるワーク送り装置３がワイヤ１０３上部に設けられ上下方向にワーク１０５を移動できる。本発明ではワーク１０５が下方向に送られ、ワーク１０５とワイヤ１０３の間で放電加工がおこなわれるが、ワーク送り装置３をワイヤ１０３の下部へ設けワーク１０５を上方向へ移動してもよい。

２は電源装置であり、電源装置は並設されている複数のワイヤ１０３とワークとの極間に、図１１に示すように、加工電源パルスと副電源パルスとがそれぞれ異なるタイミングで印加されることで、ワーク１０５を放電加工する。

電源装置２はさらに、サーボモータを制御する放電サーボ制御回路が放電の状態に応じて効率よく放電を発生させるために放電ギャップ（極間Ｇ）を一定の隙間に保つように制御し、またワーク位置決めを行い、放電加工を進行させる。

加工電源回路（図７）は、放電加工のための放電パルスをワイヤ１０３へ供給するとともに、放電ギャップで発生する短絡などの状態に適応する制御を行いまた放電サーボ制御回路への放電ギャップ信号を供給する。

５０は加工液供給装置であり、５０は、放電加工部の冷却、加工チップ（屑）の除去に必要な加工液をポンプによりワーク１０５とワイヤ１０３へ送液する共に、加工液中の加工チップの除去、イオン交換による電導度（１μＳ〜２５０μＳ）の管理、液温（２０℃付近）の管理を行う。おもに水が使用されるが、放電加工油を用いることもできる。

８，９はメインローラであり、メインローラには、所望する厚さで加工出来るようにあらかじめ決められたピッチ、数で溝が形成されており、ワイヤ供給ボビンからの張力制御されたワイヤが２つのメインローラに必要数巻きつけられ、巻き取りボビンへ送られる。ワイヤ速度は１００ｍ／ｍｉｎから９００ｍ／ｍｉｎ程度が用いられる。
２つのメインローラが同じ方向でかつ同じ速度で連動して回転することにより、ワイ

ヤ繰出し部から送られた１本のワイヤ１０３がメインローラ（２つ）の外周を周回し、並設されている複数本のワイヤ１０３を同一方向に走行させる（走行手段）ことができる。

ワイヤ１０３は図８に示すように、１本の繋がったワイヤであり、図示しないボビンから繰り出され、メインローラの外周面のガイド溝（図示しない）に嵌め込まれながら、当該メインローラの外側に多数回（最大で２０００回程度）螺旋状に巻回された後、図示しないボビンに巻き取られる。
マルチワイヤ放電加工機１は、電源ユニット２と電線５１３を介して接続されており、電源ユニット２から供給される電力により作動する。

マルチワイヤ放電加工機１は、図１に示すように、マルチワイヤ放電加工機１の土台として機能するブロック１５と、ブロック１５の上部の中に設置されている、ブロック２０と、ワーク送り装置３と、接着部４と、シリコンインゴット１０５と、加工液漕６と、メインローラ８と、ワイヤ１０３と、メインローラ９と、給電ユニット１０と、給電子１０４と、を備えている。
図２を説明する。
図２は、図１に示す点線１６枠内の拡大図である。

８，９はメインローラであり、メインローラにワイヤ１０３が複数回巻きつけられており、メインローラに刻まれた溝に従い、所定ピッチでワイヤ１０３が整列している。
メインローラは中心に金属を使用し、外側は樹脂で覆う構造である。
メインガイドローラの間中央部の下部に、加工電源からの放電パルスを供給するため
に給電子１０４が設けられていてワイヤ１０３の１０本と接触させている（図３）。
給電子１０４の配置は、シリコンインゴット１０５の両端よりワイヤの長さが等しくなる位置を中心に設けてある。
給電子１０４は、機械的摩耗に強く、導電性があることが要求され超硬合金が使用されている。
メインローラの間中央部の上部に、シリコンインゴット１０５を配置、ワーク送り装置３に取付け上下方向に移動し加工を行う。
メインローラの間中央部に加工液槽６を設け、ワイヤ１０３およびシリコンインゴット１０５を浸漬し、放電加工部の冷却、加工チップの除去を行う

図３のように、ワイヤ１０４の本数を１０本に対して接触する給電子１０４を１個で示しているが、給電子あたりのワイヤ本数や給電子の総数は必要数に応じて増やすことは言うまでもない。

ブロック２０は、ワーク送り装置３と接合されている。また、ワーク送り装置３は、シリコンインゴット１０５（ワーク）と接着部４により接着（接合）されている。
本実施例では、加工材料（ワーク）として、シリコンインゴット１０５を例に説明する。

接着部４は、ワーク送り装置３と、シリコンインゴット１０５（ワーク）とを接着（接合）するためのものであれば何でもよく、例えば、電導性の接着剤が用いられる。

ワーク送り装置３は、接着部４により接着（接合）されているシリコンインゴット１０５を上下方向に移動する機構を備えた装置であり、ワーク送り装置３が下方向に移動することにより、シリコンインゴット１０５をワイヤ１０３に近づけることが可能となる。

加工液漕６は、加工液を溜めるための容器である。加工液は、例えば、抵抗値が高い脱イオン水である。ワイヤ１０３と、シリコンインゴット１０５との間に、加工液を設けられることにより、ワイヤ１０３と、シリコンインゴット１０５との間で放電が起き、シリコンインゴット１０５を削ることが可能となる。

メインローラ８、９には、ワイヤ１０３を取り付けるための溝が複数列形成されており、その溝にワイヤ１０３が取り付けられている。そして、メインローラ８、９が右又は左回転することにより、ワイヤ１０３が走行する。
また、図２に示すように、ワイヤ１０３は、メインローラ８、９に取り付けられ、メインローラ８、９の上側、及び下側にワイヤ列を形成している。

また、ワイヤ１０３は、伝導体であり、電源ユニット２から電圧が供給された給電ユニット１０の給電子１０４と、ワイヤ１０３とが接触することにより、当該供給された電圧が給電子１０４からワイヤ１０３に印加される。（給電子１０４がワイヤ１０３に電圧を印加している。）

そして、ワイヤ１０３と、シリコンインゴット１０５との間で放電が起き、シリコンインゴット１０５を削り（放電加工を行い）、薄板状のシリコン（シリコンウエハ）を作成することが可能となる。
図３を説明する。
図３は、給電子１０４の拡大図を示す。
給電子１０４（１個）はワイヤ１０３（１０本）と接触している。
ワイヤ１０３同士の間隔（ワイヤのピッチ）は０．３ｍｍ程度である。
図４を説明する。
図４は従来方式であるワイヤ毎に個別に放電電流を給電する個別給電での電気回路４００を示す図である。

４０１は加工電源（Ｖｍ）である。放電加工に必要な電流を供給するために設定される電圧である。Ｖｍは６０Ｖ〜２００Ｖで任意の電圧に設定することができる。

４０２は加工電源（Ｖｓ）である。放電を誘発するために設定される電圧である。さらにワイヤとワークとの間にて極間電圧（極間電流）の状態をモニターする目的にも使用される。Ｖｓは６０Ｖ〜３００Ｖで任意の電圧に設定することができる。
４０３はトランジスタ（Ｔｒ２）である。加工電源ＶｍのＯＮ（導通）状態とＯＦＦ（非導通）状態をスイッチングで切り替える。
４０４はトランジスタ（Ｔｒ１）である。加工電源ＶｓのＯＮ（導通）状態とＯＦＦ（非導通）状態をスイッチングで切り替える。

４０５は電流制限抵抗体（Ｒｍ）である。固定の抵抗値を設定することで、１本毎のワイヤ電流（Ｉｗ）や放電電流（Ｉｇ）を制限する。Ｒｍは１Ω〜１００Ωで任意の抵抗値に設定することができる。つまりＶｍ＝６０Ｖ（ボルト）、Ｖｇ＝３０Ｖ、Ｒｍ＝１０Ωとした場合で、Ｉｗ（Ｉｇ）＝（６０Ｖ−３０Ｖ）／１０Ω＝３Ａ（アンペア）となる。

なお、上記の計算式では、加工電源から給電点までの電圧降下を３０Ｖとしたが、ワイヤ抵抗（Ｒｗ）による給電点から放電点までの電圧降下は考慮していない。

つまり従来方式である個別給電方式の場合にはＩｗは、Ｒｍにより決定されるので、１本毎に所望のワイヤ電流（Ｉｗ）や放電電流（Ｉｇ）を得るためには、ワイヤ抵抗ＲｗがＲｍ＞Ｒｗの関係になるように設定される。

４０６は電流制限抵抗（Ｒｓ）である。固定の抵抗値を設定することで放電を誘発する電流を制限する。Ｒｓは０．５Ω〜１００Ωで任意の抵抗値に設定することができる。
４０７は極間電圧（Ｖｇ）である。放電中にワイヤ１０３とワーク１０５との間に印加される放電電圧である。
４０８は極間電流（Ｉｇ）である。放電中にワイヤ１０３とワーク１０５との間に流れる放電電流である。
４１０はワイヤ１本毎に個別に供給されるワイヤ電流（Ｉｗ）である。
図５を説明する。
図５は従来方式であるワイヤ毎に個別に放電電流を給電する個別給電での電気回路４００が複数本のワイヤに給電している図である。
４０９はワイヤ１本毎の抵抗を示すワイヤ抵抗（Ｒｗ）である。
２０４は個別の給電子である。シリコンインゴット１０５の両端の近傍に設けた、２ヶ所の個別給電子から放電パルスを印加し、放電加工を行う。
巻回するワイヤ１０３の本数と同数の電源回路４００に接続されている。

図６は、本発明の極間電圧（Ｖｇｎ）及び極間電流（Ｉｇｎ）の変化とＴｒ１、Ｔｒ２のＯＮ／ＯＦＦ動作（タイミングチャート）を示す。グラフの横軸は時間である。

まずトランジスタＴｒ１５０３をＯＮし、電圧を印加する。このときワイヤ１０３とワーク１０５間は絶縁されているため、ほとんど極間電流は流れない。その後、放電を開始するとＶｇｎが電圧降下することで、放電を検出しＴｒ２をＯＮすると、大きな極間電流を得る。所定時間経過後にＴｒ２をＯＦＦする。Ｔｒ２のＯＦＦを所定時間経過した後に再び一連の動作を繰り返す。
図７を説明する。

図７は本発明における複数本のワイヤ（１０本）に一括で放電電流を給電する一括給電での電気回路２を示す図である。放電電流が流れている状態を示している。
図８に示す電気回路２との等価回路を示している。

仮に図４に示す従来方式の電気回路４００を、複数のワイヤ（１０本）に一括で放電電流を給電する一括給電での電気回路にそのまま導入したとすれば、加工電源から給電点の間にて放電電流を制御するために、電流制限抵抗体Ｒｍ４０５の代わりに、複数のワイヤ（１０本）に供給される放電電流の合計（１０倍）の放電電流が供給されるように、Ｒｍを１０本（メインローラ８、９を巻回する周回数）で割った抵抗値の電流制限抵抗体を加工電源から給電点との間に設置すればよい。
まず、このように固定された抵抗値を持つＲｍ／１０本を加工電源から給電子との間に設置した場合を説明する。

１０本全てのワイヤとワークとの間で放電状態が均一にかつ同時に起こった場合には、１０本のワイヤで放電電流が均等に分散されるので、固定された抵抗値（Ｒｍ／１０本）に応じた放電電流が各ワイヤとワークとの間に供給されるので、過剰な放電電流の供給は問題とならない。

しかしながら、１０本全てのワイヤとワークとの間で放電状態が均一にかつ同時に起こらなかった場合には、固定された抵抗値（Ｒｍ／１０本）に応じた放電電流が放電状態になったワイヤとワークとの間に集中して供給されるので、過剰な放電電流の供給が問題となる。つまり、１０本の中で１本のみが放電状態になった場合には、本来１本のワイヤとワークに供給されるべき放電電流の１０倍の放電電流が、放電状態になっているワイヤとワークに供給され、ワイヤが断線してしまう。

本発明の抵抗値Ｒｍｎ５０５は従来方式の電流制限抵抗体のように抵抗値を所定の値に固定するものではなく、１０本の中で１本のみが放電状態になった場合であっても、放電状態となった本数に応じて抵抗値が変動するように制御できる機構を備えている。

さらに、本発明の抵抗値Ｒｍｎ５０５をＲｗｎ５０９と比べて十分に小さな抵抗値の範囲で変動させることで、放電電流を制限するにあたってＲｗｎ５０９が支配的になり、Ｒｍｎ５０５の影響はほぼ無視することができる。

つまり、加工電源（主電源）５０１から給電子１０４までの間にワーク１０５に放電する電流の下限（最大値）を制限するための抵抗体を備えなくてもよいということである。
つまり、Ｒｍｎを１０本（メインローラ８、９を巻回する周回数）で割った抵抗値よりも小さくすればよいということである。

つまり各ワイヤの抵抗Ｒｗｎ５０９であるインピーダンスを利用することで、各ワイヤの放電電流Ｉｇｎが安定して供給されるので、放電電流の集中が起こらない。
５０９はワイヤ１本毎のワイヤによる抵抗（Ｒｗｎ）である。
ここで給電子１０４から放電部までの抵抗値とは、給電子１０４と接触し、かつ走行するワイヤ（１本）による抵抗である。
例えば、ワイヤ１０本（メインローラ８、９を１０周巻回する）に一括で給電する場合の各ワイヤ抵抗をそれぞれＲｗ１、Ｒｗ２、〜Ｒｗ１０とする。

従来方式のように、ＲｍｎではなくＲｗｎを１本毎のワイヤ電流（Ｉｗ）や放電電流（Ｉｇ）を制限する抵抗とすることで、１本毎のワイヤ電流（Ｉｗｎ）や放電電流（Ｉｇｎ）を制限することができる。つまり給電点（給電子）と放電点（放電部）との距離（長さＬ）を変えることで任意の抵抗値に設定することができる。つまりＶｍｎ＝６０Ｖ、Ｖｇｎ＝３０Ｖ、Ｒｗｎ＝１０Ωとした場合には、Ｉｗｎ（Ｉｇｎ）＝（６０Ｖ−３０Ｖ）／１０Ω＝３Ａとなる。

なお、上記の計算式では、ワイヤ抵抗（Ｒｗｎ）による給電点から放電点までの電圧降下を３０Ｖとしたが、加工電源から給電点までの電圧降下を起こす抵抗（Ｒｍｎ）による給電点から放電点までの電圧降下は考慮していない。

つまり本発明である一括給電方式の場合にはＩｗｎは、Ｒｍｎにより決定されるので、１本毎に所望のワイヤ電流（Ｉｗｎ）や放電電流（Ｉｇｎ）を得るためには、加工電源から給電点までの電圧降下を起こす抵抗ＲｍｎがＲｍｎ＜Ｒｗｎの関係になるように設定される。

また各ワイヤ個別のワイヤ抵抗Ｒｗｎは（１）ワイヤの材質による電気抵抗値ρ、（２）ワイヤの断面積Ｂ、（３）ワイヤの長さＬ、の３つのパラメータからＲｗｎ＝（ρ×Ｂ）／Ｌの関係式によりで定めることができる。

５０１は主電源である加工電源（Ｖｍｎ）である。放電加工に必要な電流を供給するために設定される電圧である。Ｖｍｎは任意の電圧に設定することができる。さらに従来方式よりも放電電流の供給量が大きくなるので、４０１と比べると大きな電力を供給する。
加工電源（主電源）５０１は給電子１０４に加工電源（Ｖｍｎ）を供給する。

５０２は副電源である加工電源（Ｖｓｎ）である。放電を誘発するために設定される電圧である。さらにワイヤとワークとの間にて極間電圧（極間電流）の状態をモニターする目的にも使用される。Ｖｓｎは任意の電圧に設定することができる。さらに従来方式よりも放電電流の供給量が大きくなるので、４０２と比べると大きな電力を供給する。
加工電源５０２は給電子１０４に加工電源（Ｖｓｎ）を供給する。
副電源も加工電源５０１と同じく複数（１０本）のワイヤに一括で副電源パルスを供給している。
電流の最大値を制限するために設置される副電源の内部の抵抗値（Ｒｓｎ）は０．５Ω以上である。
５０３はトランジスタ（Ｔｒ２）である。加工電源ＶｍｎのＯＮ（導通）状態とＯＦＦ（非導通）状態をスイッチングで切り替える。
５０４はトランジスタ（Ｔｒ１）である。加工電源ＶｓｎのＯＮ（導通）状態とＯＦＦ（非導通）状態をスイッチングで切り替える。
５０７は極間電圧（Ｖｇｎ）である。放電中にワイヤ１０３とワーク１０５との間に印加される放電電圧である。
例えば、ワイヤ１０本に一括で給電する場合の各放電電圧をそれぞれＶｇ１、Ｖｇ２、〜Ｖｇ１０とする。

放電によりワイヤ１０３とワーク１０５との間に極間電圧が印加される部分が放電部である。放電部において、走行する複数のワイヤと給電子との接触により走行する複数のワイヤに一括で給電された加工電源をワークに放電する。
５０８は極間電流（Ｉｇｎ）である。放電中にワイヤ１０３とワーク１０５との間に流れる放電電流である。
例えば、ワイヤ１０本に一括で給電する場合の各放電電流をそれぞれＩｇ１、Ｉｇ２、〜Ｉｇ１０とする。

放電によりワイヤ１０３とワーク１０５との間に極間電流が流れる部分が放電部である。放電部において、走行する複数のワイヤと給電子との接触により走行する複数のワイヤに一括で給電された加工電源をワークに放電する。

５１０はワイヤ１本毎に個別に供給されるワイヤ電流（Ｉｗｎ）である。
例えば、ワイヤ１０本に一括で給電する場合の各ワイヤ電流をそれぞれＩｗ１、Ｉｗ２、〜Ｉｗ１０とする。
５１１は給電点から放電点までの距離Ｌであり、すなわち給電点から放電点までのワイヤの長さである。
図８を説明する。
図８は本発明における複数本のワイヤ（１０本）に一括で放電電流を給電する一括給電での電気回路２が複数本のワイヤに一括給電している図である。

１０４は給電子である。給電子１０４は走行する複数のワイヤに一括で接触する。シリコンインゴット１０５と対向する位置に設けた、１ヶ所の給電子１０４から放電パルスを印加し、放電加工を行う。
メインローラを巻回するワイヤ１０３の本数（１０本）に対して１つの電源回路２が接続されている。
以下、図８の配置を参照して、説明する。

図８に示すように、給電点（給電子１０４とワイヤ１０３が接触する位置）から放電点（ワイヤ１０３とワーク１０５との間）に流れる電流は左右のメインローラの２方向に流れるので、各方向に対するワイヤ抵抗が存在している。
５１１Ｌ１は電流が左のメインローラ方向に流れた場合の給電点と放電点との長さ（距離）であり、Ｌ１の場合に定まるワイヤ抵抗をＲｗ１ａとする。
５１１Ｌ２は電流が右のメインローラ方向に流れた場合の、放電点と給電点との長さ（距離）であり、Ｌ２の場合に定まるワイヤ抵抗をＲｗ１ｂとする。
ワイヤ１０３がメインローラ８、９を１周巻回する長さを２ｍとする。
給電子１０４は、１周巻回する長さのほぼ半分の距離に配置されているので、放電点と給電点との距離（ワイヤの長さＬ）を１ｍである。
よって給電子から放電部までを走行するワイヤの距離は０．５ｍよりも長い。

ワイヤ１０３の材質の主成分は鉄であり、ワイヤの直径は０．１２ｍｍ（断面積０．０６×０．０６×πｍｍ^２）である。ワイヤの抵抗値Ｒｗ１ａ、Ｒｗ１ｂはそれぞれ、同じ長さ（Ｌ１＝Ｌ２＝１ｍ）であるので各々のワイヤ抵抗値は同一の２０Ω程度とすればＲｗ１ａとＲｗ１ｂによる１本（メインローラ８、９を１周巻回する）の合成のワイヤ抵抗値は１０Ω程度となる。

また、図８のようにＬ１及びＬ２の長さによるワイヤ抵抗値を同じ抵抗値にするために、Ｌ１とＬ２の長さが同じになるように給電子１０４を配置することが好ましいが、Ｌ１とＬ２の長さの違いが１０％程度（例えばＬ１が１ｍでＬ２が１．１ｍ）ことなるように給電子１０４を配置しても特に問題はない。
放電電圧Ｖｇ１〜Ｖｇ１０がほぼ等しい場合、ＶｍｎがそれぞれのＲｗ１〜Ｒｗ１０に印加されているので、Ｉｗ１〜Ｉｗ１０は全て同じワイヤ電流である。
ここでワイヤ抵抗による電圧降下値（Ｒｗ１×Ｉｗ１）と放電電圧（Ｖｇｎ）からＶｍｎを求める．
給電子１０４から放電部までの電圧降下は走行するワイヤの抵抗による電圧降下である。
Ｒｗ１＝１０Ω（給電子１０４から放電部までの抵抗値）。
Ｉｗ１＝３Ａ
Ｖｇｎ＝３０Ｖとすれば、Ｖｍｎは以下のようになる。
Ｖｍｎ＝１０（Ω）×３（Ａ）＋３０Ｖ＝６０Ｖ
よって給電子から放電部までの電圧降下は１０Ｖよりも大きい。
よって給電子から放電部までの抵抗値が１Ωよりも大きい。
尚、Ｒｗｎ＝（ρ×Ｂ）／Ｌの関係式により、ワイヤのパラメータによりワイヤ抵抗による電圧降下値を設定してもよい。

よって、１０本全てのワイヤとワークとの間で放電状態が均一にかつ同時に起こった場合のＲｍｎを計算すると、全てのワイヤで放電状態となり１０本のワイヤにＩｗ１＝３Ａが流れている場合は、加工電源から給電点との間では全体で１０本×３Ａ＝３０Ａの加工電流が必要となり、この加工電源から給電点との間の電圧降下をＶｍｎの１００分の１（０．６Ｖ）とすれば、この場合のＲｍｎは以下のようになる。
よって加工電源（主電源）から給電子１０４までの電圧降下は１Ｖよりも小さい。
よって加工電源（主電源）から給電子までの電圧降下は、給電子から放電部までの電圧降下よりも小さい。
Ｒｍｎ＝０．６Ｖ／３０Ａ＝０．０２Ω（加工電源５０１から給電子１０４までの抵抗値）。
よって加工電源（主電源）から給電子までの抵抗値は０．１Ωより小さい。
つまり、加工電流の最大値を制限するために設置される加工電源の内部の抵抗値（Ｒｍｎ）は０．１Ω以下である。
よって加工電源（主電源）から給電子までの抵抗値が、給電子から放電部までの抵抗値よりも小さい。
よって加工電源（主電源）から給電子１０４までの電圧降下と給電子１０４から放電部までの電圧降下との比は１０倍以上である。
よって加工電源（主電源）から給電子１０４までの抵抗値と給電子から放電部までの抵抗値との比が１０倍以上である。
よってＲｍｎを考慮して１０本の加工電流をもとめると（６０Ｖ−３０Ｖ）／（（１０Ω／１０本）＋０．０２Ω）＝２９．４１Ａとなり
ワイヤ一本当たりの加工電流は２．９４１Ａとなる。

また、１０本全てのワイヤとワークとの間で放電状態が均一にかつ同時に起こらなかった場合に１本のワイヤ電流が流れたとしても、ワイヤ一本当たりの加工電流は（６０Ｖ−３０Ｖ）／（１０Ω＋０．０２Ω）＝２．９９４Ａとなり、１０本全てのワイヤとワークとの間で放電状態が均一にかつ同時に起こった場合と比べても大きな差は生じない。

また更なる効果として、複数本であるＮ本（メインローラ８、９をＮ周巻回する）のワイヤに１箇所（一括）で給電する場合には、１本のワイヤ毎に個別に給電したときの加工速度に比べて加工速度が１／Ｎとなるが，本発明によれば、Ｎ本のワイヤへ１箇所（一括）で給電した場合においても１本のワイヤへ個別に給電したときと同等の加工速度を維持することができる。
図９を説明する。

９０１と９０２は、Ｔｒ１とＴｒ２を同時に印加（ＯＮ）し、Ｔｒ１とＴｒ２を同時に停止（ＯＦＦ）している状態を示す図である。放電の誘発と極間状態の監視のためのＶｓｎ５０２と加工エネルギーを供給するＶｍｎ５０１が同期している電源パルス図である。この場合には、図示しない極間電圧測定部により図１０のＡ点とＢ点との間で測定される極間において実測される電圧Ｖｇｎ５０７は以下の２つのパターンになる。

９０３は、極間Ｇの距離が離れている場合やワークに対向しているワイヤ表面の面積が小さい場合のＡ点とＢ点との間の極間電圧（Ｖｇｎ）の状態を示している。この時、放電加工に寄与しないリーク電流が発生しにくい。

一方、９０４は、極間Ｇの距離が狭い場合やワークに対向しているワイヤ表面の面積が大きい場合のＡ点とＢ点との間の極間電圧（Ｖｇｎ）の状態を示している。この時、放電加工に寄与しないリーク電流が発生しやすくなる。
その理由は、ワークとワイヤとの極間Ｇによる抵抗Ｒｇが低下してしまうためである。
Ｒｇは以下の式で表される。
Ｒｇ＝ρｗ×ｌ／ａ
ρｗはワークとワイヤの間にある加工液の比抵抗であり、ほぼ一定になるように制御されている。
ｌは極間Ｇの距離（ワークとワイヤとの距離）であるので、極間Ｇの距離が狭く距離が近くなるほど、極間Ｇによる抵抗Ｒｇは低下することになる。
ａはワークに対向しているワイヤ表面の面積であるので、ワイヤ表面の面積が大きくなるほど、抵抗値Ｒｇは低下することになる。

本発明のように、１０本以上のワイヤに給電子１０４から一括で給電するとワークに対向しているワイヤの本数が増加するので、ワークに対向しているワイヤ表面の面積は大きくなり、リーク電流が非常に発生しやすい状態になる。

ここで、Ｖｇｎ（ｓ）とは極間電圧Ｖｇｎ５０７の中のＶｓｎによる成分であるが、リーク電流が非常に発生しやすい状態においては、９０４に示すようにＶｇｎ（ｍ）よりも低い電圧になってしまい、もし極間電圧Ｖｇｎ５０７を測定しても、Ｖｇｎ（ｓ）の検出が困難となる。

これはＶｓｎの内部抵抗である電流制限抵抗Ｒｓｎ５０６は、Ｒｍｎ（約０．０２Ω）と比べると非常に大きい（約０．５Ω程度）ためであり、Ｖｇｎ（ｓ）にＶｇｎ（ｍ）よりも大きなリーク電流が発生した場合には、電流制限抵抗Ｒｓｎ５０６による分圧（電圧降下）が大きく、Ｖｍｎ５０１の設定値が小さい場合には、Ｖｇｎ（ｍ）よりも低い電圧になる（Ｖｇｎ（ｓ）は検出不能）こともある。
図１０を説明する。

１００３はがパルス発生部１００８が生成した取得パルスの間隔に同期してＡ点とＢ点との間の極間における電圧を計測する測定用電圧定量部である。測定用電圧定量部１００３は、先に副電源パルスの印加が開始され、加工電源パルスの印加が開始されるまでの時間に、極間における電圧を取得する（取得手段）。

１００４は取得したサーボ用電圧（Ｖｓｓ）に応じてのワーク送り装置３を制御するサーボ制御部（図１の放電サーボ制御）である。サーボ制御部１００４は、測定用電圧定量部１００３が取得したサーボ用電圧（Ｖｓｓ）に応じて、並設されている複数のワイヤとワークとの極間Ｇの距離（ギャップ）を調整する（調整手段）。

１００８はＶｓｓ測定用（取得用）のパルスを発生させるパルス発生部である。ここで発生するパルスは図１１の１１０３のようなパルスである。パルス発生部１００８は、副電源パルスの印加が開始され、加工電源パルスの印加が開始されるまでの間隔で極間における電圧を計測するための取得パルスを生成する（生成手段）。

Ｖｓｓ測定用のパルス信号に連動してアナログスイッチ制御部１００１によりアナログスイッチ１００２が開閉するので、サーボ用電圧（Ｖｓｓ）定量部１００３がＶｓｓ測定用パルスのＯＮ（測定指示）時間だけの極間電圧（Ｖｇｎ）を測定することで測定用電圧（Ｖｓｓ）を定量する。測定用電圧定量部１００３が取得したサーボ用電圧（Ｖｓｓ）はワークを送るための制御電圧としてサーボ制御部１００４にて利用される。

サーボ用電圧（Ｖｓｓ）はピークホールドするか、あるいは平均化され、ワーク送り装置３によるワークの前進（極間Ｇの距離が狭くなる方向）とリーク電流の発生を減らすための後退（極間Ｇの距離が離れる方向）に利用される。
１００５はアンプである。
１００６はＴｒ１のＯＮ／ＯＦＦを制御するＴｒ１制御部である。
１００７はＴｒ２のＯＮ／ＯＦＦを制御するＴｒ１制御部である。
図１１を説明する。

１１０１は副電源を極間に印加しているＯＮ時間／印加していないＯＦＦ時間との副電源パルスである。副電源パルスの役割は極間における放電を誘発するための電源である。

副電源パルスの印加時間は少なくとも０．３μ秒以上で継続させることが重要である。このように十分な印加時間を設けることでと正確なＶｓｓを取得することができる。
副電源パルスを印加し継続する時間は０．３μ秒以上であることが望ましい。

１１０２は加工電源を極間に印加しているＯＮ時間／印加していないＯＦＦ時間との加工電源パルスである。加工電源パルスは副電源パルスの印加が開始されてから、加工電源パルスの印加が開始されるまでの時間を少なくとも０．３μ秒以上遅延させることが重要である。このように十分な遅延時間を設けることでと正確なＶｓｓを取得することができる。
遅延時間は０．３μ秒以上であることが望ましい。

１１０３は極間の電圧を取得するＯＮ時間／取得しないＯＦＦ時間との取得パルスである。測定用パルス１１０３は以下のような時間に測定する取得パルスを発生すればよい。
（１）Ｔｒ１が先にＯＮ（印加）開始し、その後Ｔｒ２がＯＮ（印加）開始するまでの間（約０．３μ秒程度）
（２）Ｔｒ１がＯＮ（状態）継続中でかつＴｒ２がＯＦＦ（状態）継続中の時間。
１１０４は測定用電圧定量部１００３により取得されるサーボ用電圧（Ｖｓｓ）の電圧パルスである。
なお、電源装置２はマルチワイヤ放電加工装置１とは別の単独の装置でもよく、電源装置２がマルチワイヤ放電加工装置１の中に組み込まれていてもよい。

なお、加工電源５０１、副電源５０２、測定用電圧定量部１００３、サーボ制御部１００４、測定用パルス発生部１００８がマルチワイヤ放電加工装置１の中に組み込まれていてもよい。
尚、本発明のマルチワイヤ放電加工システムでスライスされた半導体インゴットは、半導体用の基板または太陽電池用の基板として使用することができる。

本発明におけるプログラムは、上記実施例にしめした制御方法をコンピュータが実行可能なプログラムであり、本発明の電源装置または放電加工装置の記憶媒体にはその制御方法をコンピュータが読み取り実行可能なプログラムとして記憶されている。

１ マルチワイヤ放電加工装置
２ 電源装置
３ ワーク送り装置
５０１ 加工電源（主電源）
５０２ 副電源
１０３ ワイヤ電極
１０４ 給電子
１０５ ワーク（シリコンインゴット）
１００３測定用電圧定量部
１００４サーボ制御部
１００８測定用パルス発生部

Claims (11)

1. ワークを並設されているワイヤ列で放電加工するために、前記ワイヤ列とワークとの極間に前記ワイヤ列中の複数本のワイヤに対して、給電子１個により電圧を一括で印加し、前記給電子１個により前記ワイヤ列とワークとの極間に前記ワイヤ列中の複数本のワイヤに対して一括で電圧を印加する場合に、前記放電加工に必要な電流を供給する電源パルスと放電を誘発する副電源パルスとをそれぞれ異なるタイミングで印加する電源装置であって、
   前記給電子１個により、前記ワイヤ列中の複数本のワイヤに対して一括で電圧を印加した場合の、当該一括で電圧を印加した複数本のワイヤとワークとの前記極間における第１の電圧を一括取得する取得手段と、
   前記取得手段が一括取得した当該一括で電圧を印加した複数本のワイヤとワークとの前記極間における第１の電圧のうち、先に前記副電源パルスの印加が開始されてから、該副電源パルスに続いて前記電源パルスの印加が開始されるまでの時間だけ前記極間における電圧を測定し、前記時間だけ測定した前記極間における第２の電圧を利用して、ワークを並設されているワイヤ列で放電加工するための前記極間の距離を調整する調整手段と、
   を備えることを特徴とする電源装置。
2. 前記時間だけ前記極間における第２の電圧を測定する測定パルスを生成する生成手段をさらに備え、
   前記生成した測定パルスの所定間隔に同期して、前記取得手段が取得した前記極間における第１の電圧のうち、先に前記副電源パルスの印加が開始されてから、該副電源パルスに続いて前記電源パルスの印加が開始されるまでの時間だけ前記極間における電圧を測定することを特徴とする請求項１に記載の電源装置。
3. 先に前記副電源パルスの印加が開始されてから、該副電源パルスに続いて前記電源パルスの印加が０．３μ秒以上遅延させて開始されることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の電源装置。
4. 前記副電源パルスを０．３μ秒以上継続して印加し、前記第２の電圧には０．３μ秒以上継続して印加した電圧をピークホールドして用いることを特徴とする請求項３に記載の電源装置。
5. 前記給電子１個から、前記ワイヤ列に一括で前記電源パルスを供給する加工電源をさらに備え、
   前記加工電源から供給される前記放電加工に必要な電流を制限する抵抗が、０．１Ω以下であることを特徴とする請求項１乃至請求項４のいずれか１項に記載の電源装置。
6. 前記給電子１個から、前記ワイヤ列に一括で前記副電源パルスを供給する副電源をさらに備え、
   前記副電源から供給される電流を制限する抵抗は０．５Ω以上であることを特徴とする請求項１乃至請求項５のいずれか１項に記載の電源装置。
7. ワークを並設されているワイヤ列で放電加工するために、前記ワイヤ列とワークとの極間に前記ワイヤ列中の複数本のワイヤに対して、給電子１個により電圧を一括で印加し、前記給電子１個により前記ワイヤ列とワークとの極間に前記ワイヤ列中の複数本のワイヤに対して一括で電圧を印加する場合に、前記放電加工に必要な電流を供給する電源パルスと放電を誘発する副電源パルスとをそれぞれ異なるタイミングで印加するワイヤ放電加工装置であって、
   前記給電子１個により、前記ワイヤ列中の複数本のワイヤに対して一括で電圧を印加した場合の、当該一括で電圧を印加した複数本のワイヤとワークとの前記極間における第１の電圧を一括取得する取得手段と、
   前記取得手段が一括取得した当該一括で電圧を印加した複数本のワイヤとワークとの前記極間における第１の電圧のうち、先に前記副電源パルスの印加が開始されてから、該副電源パルスに続いて前記電源パルスの印加が開始されるまでの時間だけ前記極間における電圧を測定し、前記時間だけ測定した前記極間における第２の電圧を利用して、ワークを並設されているワイヤ列で放電加工するための前記極間の距離を調整する調整手段と、
   を備えることを特徴とするワイヤ放電加工装置。
8. ワークを並設されているワイヤ列で放電加工するために、前記ワイヤ列とワークとの極間に前記ワイヤ列中の複数本のワイヤに対して、給電子１個により電圧を一括で印加し、前記給電子１個により前記ワイヤ列とワークとの極間に前記ワイヤ列中の複数本のワイヤに対して一括で電圧を印加する場合に、前記放電加工に必要な電流を供給する電源パルスと放電を誘発する副電源パルスとをそれぞれ異なるタイミングで印加する電源装置における制御方法であって、
   前記給電子１個により、前記ワイヤ列中の複数本のワイヤに対して一括で電圧を印加した場合の、当該一括で電圧を印加した複数本のワイヤとワークとの前記極間における第１の電圧を一括取得する取得工程と、
   前記取得工程で一括取得した当該一括で電圧を印加した複数本のワイヤとワークとの前記極間における第１の電圧のうち、先に前記副電源パルスの印加が開始されてから、該副電源パルスに続いて前記電源パルスの印加が開始されるまでの時間だけ前記極間における電圧を測定し、前記時間だけ測定した前記極間における第２の電圧を利用して、ワークを並設されているワイヤ列で放電加工するための前記極間の距離を調整する調整工程と、
   を含むことを特徴とする制御方法。
9. ワークを並設されているワイヤ列で放電加工するために、前記ワイヤ列とワークとの極間に前記ワイヤ列中の複数本のワイヤに対して、給電子１個により電圧を一括で印加し、前記給電子１個により前記ワイヤ列とワークとの極間に前記ワイヤ列中の複数本のワイヤに対して一括で電圧を印加する場合に、前記放電加工に必要な電流を供給する電源パルスと放電を誘発する副電源パルスとをそれぞれ異なるタイミングで印加するワイヤ放電加工装置における制御方法であって、
   前記給電子１個により、前記ワイヤ列中の複数本のワイヤに対して一括で電圧を印加した場合の、当該一括で電圧を印加した複数本のワイヤとワークとの前記極間における第１の電圧を一括取得する取得工程と、
   前記取得工程で一括取得した当該一括で電圧を印加した複数本のワイヤとワークとの前記極間における第１の電圧のうち、先に前記副電源パルスの印加が開始されてから、該副電源パルスに続いて前記電源パルスの印加が開始されるまでの時間だけ前記極間における電圧を測定し、前記時間だけ測定した前記極間における第２の電圧を利用して、ワークを並設されているワイヤ列で放電加工するための前記極間の距離を調整する調整工程と、
   を含むことを特徴とする制御方法。
10. ワークを並設されているワイヤ列で放電加工するために、前記ワイヤ列とワークとの極間に前記ワイヤ列中の複数本のワイヤに対して、給電子１個により電圧を一括で印加し、前記給電子１個により前記ワイヤ列とワークとの極間に前記ワイヤ列中の複数本のワイヤに対して一括で電圧を印加する場合に、前記放電加工に必要な電流を供給する電源パルスと放電を誘発する副電源パルスとをそれぞれ異なるタイミングで印加する電源装置において読み取り実行可能なプログラムであって、
    前記電源装置を、
    前記給電子１個により、前記ワイヤ列中の複数本のワイヤに対して一括で電圧を印加した場合の、当該一括で電圧を印加した複数本のワイヤとワークとの前記極間における第１の電圧を一括取得する取得手段と、
    前記取得手段が一括取得した当該一括で電圧を印加した複数本のワイヤとワークとの前記極間における第１の電圧のうち、先に前記副電源パルスの印加が開始されてから、該副電源パルスに続いて前記電源パルスの印加が開始されるまでの時間だけ前記極間における電圧を測定し、前記時間だけ測定した前記極間における第２の電圧を利用して、ワークを並設されているワイヤ列で放電加工するための前記極間の距離を調整する調整手段と、
    して機能させることを特徴とするプログラム。
11. ワークを並設されているワイヤ列で放電加工するために、前記ワイヤ列とワークとの極間に前記ワイヤ列中の複数本のワイヤに対して、給電子１個により電圧を一括で印加し、前記給電子１個により前記ワイヤ列とワークとの極間に前記ワイヤ列中の複数本のワイヤに対して一括で電圧を印加する場合に、前記放電加工に必要な電流を供給する電源パルスと放電を誘発する副電源パルスとをそれぞれ異なるタイミングで印加するワイヤ放電加工装置において読み取り実行可能なプログラムであって、
    前記ワイヤ放電加工装置を、
    前記給電子１個により、前記ワイヤ列中の複数本のワイヤに対して一括で電圧を印加した場合の、当該一括で電圧を印加した複数本のワイヤとワークとの前記極間における第１の電圧を一括取得する取得手段と、
    前記取得手段が一括取得した当該一括で電圧を印加した複数本のワイヤとワークとの前記極間における第１の電圧のうち、先に前記副電源パルスの印加が開始されてから、該副電源パルスに続いて前記電源パルスの印加が開始されるまでの時間だけ前記極間における電圧を測定し、前記時間だけ測定した前記極間における第２の電圧を利用して、ワークを並設されているワイヤ列で放電加工するための前記極間の距離を調整する調整手段と、
    して機能させることを特徴とするプログラム。
    

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