JP2014172096A - ワイヤ放電加工システム、電源装置、及びその制御方法とプログラム。 - Google Patents

Abstract

【課題】加工電源の電気回路中の抵抗成分が変動する場合でも加工電流を常時安定させて、複数本のワイヤ放電において精度良くスライス加工ができること。
【解決手段】並設された複数のワイヤの間隔でワークを薄片にスライスするワイヤ放電加工システムが、並設された複数のワイヤを同一方向に走行させ、走行するワイヤに接触する給電子を有するワイヤ放電加工装置と、給電子に加工電源を供給する加工電源部と、加工電源部から給電子までの電源回路に流れている放電時の加工電流値を取得し、取得した加工電流値の変動に応じて、変動した方向と反転する方向に取得した加工電流値が回復するようにワークから加工電源部までの電源回路の抵抗値を増減させて制御する電源装置と、を備える。

【選択図】 図１０

Description

本発明はワイヤ放電加工装置、電源装置、及びその制御方法とプログラムの技術に関する。

従来よりシリコンインゴットを多数の薄片にスライスするための装置としてワイヤソーが知られているが、近年ワイヤ放電加工技術を用いてワークを薄板にスライスする技術がある。

例えば、特許文献１には放電加工装置において放電加工が不安定な場合に二次放電の発生を抑えるために直流電圧源からの電気回路内に抵抗を可変にする可変抵抗器を固定抵抗器と並列に接続する技術が開示されている。

また特許文献２には電界加工装置においては、パルス電流値を制御する制御手段により放電回路からの各パルス電流の各ピーク値を測定し、設定値よりも大きい場合には加工を中断する技術が開示されている。

特開平５−３８６２７号公報 特開平５−６９２３１号公報

複数本のワイヤにて放電加工する装置においては、その加工電源が流れる電気回路経路上には様々な抵抗成分が存在する。例えば電気配線の抵抗ややインピーダンス、放電が送るワイヤ電極の抵抗やインピーダンス、被加工物であるワークの比抵抗、極間に存在する加工液の比抵抗、放電するエリアであるワークとワイヤ電極との間隔である極間距離等がその様々な抵抗成分に該当する。

しかしながら特許文献１および特許文献２には、電気回路経路上にある抵抗成分が何かの要因で変動すると加工電源部から給電子に送られる加工電流も常時安定はしないといった問題を解決する手段に関しては何ら開示されていない。

本発明は、加工電源の電気回路経路上の抵抗成分が何かの要因で変動してしまった場合であっても加工電流を常時安定させて、複数本のワイヤ放電において精度良くスライス加工ができる仕組みを提供することを目的とする。

本発明は、並設された複数のワイヤの間隔でワークを薄片にスライスするワイヤ放電加工システムであって、前記並設された複数のワイヤを同一方向に走行させる走行手段と、前記走行するワイヤに接触する給電子と、前記給電子に加工電源を供給する加工電源部と、前記加工電源部から前記給電子までの電源回路に流れている放電時の加工電流値を取得する取得手段と、前記取得した加工電流値の変動に応じて、前記変動した方向と反転する方向に前記取得した加工電流値が回復するように前記ワークから前記加工電源部までの電源回路の抵抗値を増減させて制御する抵抗制御手段と、を備えることを特徴とする。

また、前記取得した加工電流値が、所定の加工電流値よりも多いかいなかを判定する上限判定手段をさらに備え、前記上限判定手段により多いと判定されたあとに、前記抵抗制御手段は、前記取得手段による取得時よりも前記ワークから前記加工電源部までの電源回路の抵抗値が増加するように制御することを特徴とする。

また、前記取得した加工電流値が、所定の加工電流値よりも少ないかいなかを判定する下限判定手段をさらに備え、前記下限判定手段により少ないと判定されたあとに、前記抵抗制御手段は、前記取得手段による取得時よりも前記ワークから前記加工電源部までの電源回路の抵抗値が減少するよう制御することを特徴とする。

また、前記加工電源部が前記加工電源を供給する際に、前記加工電源の供給の開始または停止を交互に制御するパルス制御手段をさらに有し、前記取得手段は、前記パルス制御手段による前記加工電源の供給の開始または停止に同期した所定間隔で加工電流値を取得し、前記抵抗制御手段は、前記パルス制御手段による前記加工電源の供給の開始または停止に同期した所定間隔で前記抵抗値を増減させて制御することを特徴とする。
また、前記給電子は、前記走行する複数のワイヤに一括で接触して前記加工電源を供給することを特徴とする。

また、前記加工電源を前記走行するワイヤから前記ワークに放電する放電部をさらに有し、前記加工電源部から前記給電子までの電源回路の抵抗値が、前記給電子から前記放電部までのワイヤの抵抗値よりも小さいことを特徴とする。
また、前記給電子から前記放電部までのワイヤの抵抗値が１Ωよりも大きいことを特徴とする。
また、前記加工電源部から前記給電子までの電気回路の抵抗値が０．１Ωよりも小さいことを特徴とする。

本発明により、加工電源の電気回路経路上の抵抗成分が何かの要因で変動してしまった場合であっても加工電流を常時安定させて、複数本のワイヤ放電において精度良くスライス加工ができる仕組みを提供するが可能となる。

本発明のワイヤ放電加工システムを正面から見た図。 本発明のワイヤ放電加工装置を正面から見た図。 本発明における給電子とワイヤとの配置関係を側面から見た図。 従来のシングルワイヤ放電加工システムにおける電気回路と各種部品の配置を示した図。 従来のマルチワイヤ放電加工システム（個別給電方式）における電気回路と各種部品の配置を示した図。 本発明における極間状態（電圧と電流）と、加工電源のパルス（ＯＮ／ＯＦＦ）周期との関係を示したもの。 本発明における電気回路（抵抗制御部なし）と各種部品の配置を示した図。 本発明における電気回路（抵抗制御部なし）と各種部品の配置を示した図。 本発明におけるワイヤの本数の増加にともなって変化する合計の加工電流の理論計算値を、抵抗制御部の有り無しでそれぞれ比較した表である。 本発明における電気回路（抵抗制御部あり）と各種部品の配置を示した図。 本発明における電源装置が可変抵抗を制御するフローチャートを示す図である。 本発明における電源装置が可変抵抗を制御する時の加工電流値と抵抗値の変動を模した図である。

図１を説明する。

図１は、本発明の実施の形態に係るマルチワイヤ放電加工機１を前方から見た外観図である。尚、図１に示す各機構の構成は一例であり、目的や用途に応じて様々な構成例があることは言うまでもない。

図１は本発明におけるマルチワイヤ放電加工システム（半導体基板または太陽電池基板の製造システム）の構成を示す図である。マルチワイヤ放電加工システムは、マルチワイヤ放電加工装置１、電源装置２、加工液供給装置５０から構成されている。
マルチワイヤ放電加工システムは、放電により並設された複数本のワイヤの間隔で被加工物を薄片にスライスすることができる。

１はマルチワイヤ放電加工装置であり、１には、サーボモータにより駆動されるワーク送り部３が周回するワイヤ１０３の内部に設けられ、上下方向にワーク１０５を移動できる。本発明ではワーク１０５が下（重力）方向に送られ、ワーク１０５とワイヤ１０３の間で放電加工がおこなわれる。

２は電源装置であり、サーボモータを制御する放電サーボ制御回路が放電の状態に応じて効率よく放電を発生させるために放電ギャップを一定の隙間に保つように制御することでワークの位置決めを行い、放電加工を進行させる。

加工電源回路（図７）は、放電加工のための放電パルスをワイヤ１０３へ供給するとともに、放電ギャップで発生する短絡などの状態に適応する制御を行い、また放電サーボ制御回路への放電ギャップ信号を供給する。

５０は加工液供給装置であり、５０は放電加工部分の冷却、加工チップ（屑）の除去に必要な加工液をポンプによりワーク１０５とワイヤ１０３へ送液する共に、加工液中の加工チップの除去、イオン交換による電導度（１μＳ〜２５０μＳ）の管理、液温（２０℃付近）の管理を行う。おもに水が使用されるが放電加工油を用いることもできる。

８，９はメインローラであり、メインローラには、所望の厚さでスライス加工出来るようにあらかじめ決められたピッチ、数で溝が形成されており、ワイヤ供給ボビンからの張力制御されたワイヤが２つのメインローラに必要数巻きつけられ、巻き取りボビンへ送られる。ワイヤの走行速度は１００ｍ／ｍｉｎから９００ｍ／ｍｉｎ程度が用いられる。
２つのメインローラが同じ方向でかつ同じ速度で連動して回転することにより、ワイ

ヤ繰出し部から送られた１本のワイヤ１０３がメインローラ（２つ）の外周を周回し、並設されている複数本のワイヤ１０３を同一方向に走行させる（走行手段）ことができる。

ワイヤ１０３は図８に示すように、１本の繋がったワイヤであり、図示しないボビンから繰り出され、メインローラの外周面のガイド溝（図示しない）に嵌め込まれながら、当該メインローラの外側に多数回（最大で２０００回程度）螺旋状に巻回された後、図示しないボビンに巻き取られる。
マルチワイヤ放電加工機１は、電源ユニット２と電線５１３を介して接続されており、電源ユニット２から供給される電力により作動する。

マルチワイヤ放電加工機１は、図１に示すように、マルチワイヤ放電加工機１の土台として機能するブロック１５と、ワーク送り部３と、接着部４と、ワーク１０５と、加工槽６と、メインローラ８と、ワイヤ１０３と、メインローラ９と、給電ユニット１０と、給電子１０４と、を備えている。
図２を説明する。
図２は、図１で示した点線１６枠内の拡大図である。

８，９はメインローラであり、メインローラにワイヤ１０３が複数回巻きつけられており、メインローラに刻まれた溝に従い、所定のピッチ（間隔）でワイヤ１０３が整列している。
メインローラは中心に金属を使用し、外側は樹脂で覆われた構造である。

２つのメインローラの間にあって、メインローラ８，９の内部のほぼ中央部の上の部分には、給電ユニットに取り付けられた給電子１０４を配置し、給電子１０４は、上向きに露出する表面をワイヤに接触させることで走行する複数本のワイヤ１０３に加工電源を一括して給電する。

図３に示したように、給電子１０４はワイヤ１０３の１０本以上と一括接触することで、加工電源からの放電パルス（図６の５０３）を１０本以上のワイヤに供給している。

図８に示したように、給電子１０４が配置される位置は、シリコンインゴット１０５の両端よりワイヤの長さがほぼ等しくなる位置（５１１Ｌ１＝５１１Ｌ２）に設けてある。
給電子１０４には、機械的摩耗に強く、導電性があることが要求され超硬合金が使用されている。

２つのメインローラの間であって、メインローラ８，９の内部のほぼ中央部の下の部分には、ワーク送り部３に取付けたシリコンインゴット１０５を配置し、ワーク送り部３がワーク１０５を下方向に送り出すことでスライス加工が進行する。

メインローラの下部に加工槽６を設け、ワイヤ１０３およびシリコンインゴット１０５を浸漬し、放電加工部分の冷却、加工チップの除去を行う。加工槽６は加工液を貯留し、送り出されたワークを浸漬するためのものである。

図３のように、ワイヤ１０３の本数を１５本に対して接触する給電子１０４を１個で示しているが、給電子あたりに接触するワイヤ本数やその給電子の総数は必要数に応じて増やすことは言うまでもない。
ワーク送り部３は、シリコンインゴット１０５（ワーク）を接着部４により接着（接合）されている。
本実施例では、加工材料（ワーク）として、シリコンインゴット１０５を例に説明する。

接着部４は、ワーク送り部３と、シリコンインゴット１０５（ワーク）とを接着（接合）でき、さらに電気を通すものであれば何でもよく、例えば、電導性の接着剤が用いられる。

ワーク送り部３は、接着部４により接着（接合）されているシリコンインゴット１０５を上下方向に移動する機構を備えた装置であり、ワーク１０５を保持した状態でワーク送り部３が下方向（重力方向）に移動することにより、シリコンインゴット１０５をワイヤ１０３の方向に近づけることが可能となる。
ワーク送り部３は給電子１０４よりも低い位置に配置されている。
保持するワーク１０５が加工液に浸漬されるように、ワーク送り部３はワーク１０５を周回するワイヤに接近する方向に送り出している。

加工槽６は、加工液を貯留するための容器であり複数のメインローラ（８，９）を周回するワイヤの外側に配置されている。放電加工で使用する加工液は、抵抗値が高い脱イオン水を用いる。ワイヤ１０３とシリコンインゴット１０５との間に加工液が存在することにより、ワイヤ１０３とシリコンインゴット１０５との間で放電が発生するのでシリコンインゴット１０５を削ることが可能となる。

メインローラ８、９には、ワイヤ１０３を取り付けるための溝が複数列形成されており、その溝にワイヤ１０３が取り付けられている。そして、メインローラ８、９の両方が右回転又は左回転することにより、ワイヤ１０３が走行する。
図８に示すように、ワイヤ１０３は、メインローラ８、９に取り付けられ、メインローラ８、９の上側、及び下側に複数本のワイヤ列を形成している。

ワイヤ１０３は、電導体の素材であり、電源装置２から電源が供給された給電子１０４とワイヤ１０３とが接触することにより、当該供給された電源が給電子１０４からワイヤ１０３に印加される。（給電子１０４がワイヤ１０３に電圧を印加している。）

放電加工部分では、ワイヤ１０３とシリコンインゴット１０５との間で放電が起き、シリコンインゴット１０５を削り（放電加工を行い）、薄板状のシリコンウエハを作成することが可能となる。
図３を説明する。
図３は給電子ユニット１０の拡大図を示している。
給電子１０４（１個）はワイヤ１０３（１５本）と接触している。
各ワイヤ１０３同士の間隔（ワイヤのピッチ）は０．３ｍｍ（３００μｍ）程度である。
給電子１０４には配線５１３により加工電源が供給されている。
図４を説明する。
図４は従来の放電方式であるワイヤ１本毎に個別に加工電源を給電する個別給電方式で採用される電気回路４００を示す図である。

４０１は加工電源（Ｖｍ）である。主に放電加工に必要な加工電流を供給するために設定される加工電圧である。Ｖｍは６０Ｖ〜１５０Ｖで任意の加工電圧値に設定することができる。

４０２は加工電源（Ｖｓ）である。主に放電を誘発するために設定される加工電圧である。Ｖｓは６０Ｖ〜３００Ｖで任意の加工電圧値に設定することができる。
４０３はトランジスタ（Ｔｒ２）である。加工電源ＶｍのＯＮ（導通）状態とＯＦＦ（非導通）状態をスイッチングで切り替える。
４０４はトランジスタ（Ｔｒ１）である。加工電源ＶｓのＯＮ（導通）状態とＯＦＦ（非導通）状態をスイッチングで切り替える。

４０５は加工電流を制限するための抵抗体（Ｒｍ）である。抵抗体で任意の抵抗値を設定することで、ワイヤ１本毎に加工電流（Ｉｗ）、ワイヤ電流、極間放電電流（Ｉｇ）を制限する。

Ｒｍは１Ω〜１００Ωで任意の抵抗値に設定することができる。例えば加工電源Ｖｍ＝６０Ｖ（ボルト）、極間電位Ｖｇ＝３０Ｖ、電流制限抵抗Ｒｍ＝１０Ωとした場合では、加工電流Ｉｗ（Ｉｇ）＝（６０Ｖ−３０Ｖ）／１０Ω＝３Ａ（アンペア）流れる。

なお、上記の計算式では、加工電源（Ｖｍ）から給電点（給電子）までの電圧降下を３０Ｖとしたが、ワイヤによる抵抗（Ｒｗ）による給電点から放電点までの電圧降下は考慮していない。

つまり従来の個別給電方式の場合には加工電流Ｉｗの値を電流制限抵抗Ｒｍにより制御する、１本毎に所望のワイヤ電流や放電電流（Ｉｇ）を得るためには、ワイヤの抵抗Ｒｗの方が電流制限抵抗Ｒｍよりも小さいＲｍ＞Ｒｗの関係になるように設定される。

４０６は電流制限抵抗（Ｒｓ）である。固定の抵抗値を設定することで放電を誘発する誘発電流を制限する。Ｒｓは１Ω〜１００Ωで任意の抵抗値に設定することができる。
４０７は極間の電位（Ｖｇ）である。放電中にワイヤ１０３とワーク１０５との間（極間）に印加される放電電圧である。
４０８は極間に流れる電流（Ｉｇ）である。放電中にワイヤ１０３とワーク１０５との間に流れる放電電流である。
４１０はワイヤ１本毎に個別に供給される加工電流（Ｉｗ）である。
図５を説明する。

図５は従来方式であるワイヤ毎に個別に加工電流を給電する個別給電での電気回路４００を用いて、複数本のワイヤ（マルチワイヤ方式）にそれぞれ給電している図である。
４０９はワイヤ１本毎の抵抗を示すワイヤの抵抗（Ｒｗ）である。
２０４は個別の給電子である。シリコンインゴット１０５の両端の近傍に設けた、２ヶ所の個別給電子から加工電源のパルスを印加して、放電加工を行う。
巻回するワイヤ１０３の本数と同数の電源回路４００に接続されている。
図６を説明する。

図６は、本発明における、Ｔｒ１、Ｔｒ２のＯＮ／ＯＦＦ動作（タイミングチャート）に応答する放電電圧（Ｖｇｎ）及び放電電流（Ｉｇｎ）の変化イメージを示す。各グラフの横軸は時間である。

まずトランジスタＴｒ１をＯＮして誘発電圧を印加する。このときワイヤ１０３とワーク１０５間（極間）は絶縁されているため、ほとんど放電電流は流れない。その後放電電流が流れ始めて放電が開始する。Ｖｇｎが電圧降下することで放電の開始の検出をトリガーにしてＴｒ２をＯＮして大きな放電電流が流れる。所定時間（放電ＯＮ時間）が経過するとＴｒ２をＯＦＦする。さらに所定時間（放電ＯＦＦ時間）が経過した後に再び一連のパルス制御を繰り返す。
図７を説明する。

図７は本発明における複数本のワイヤ（Ｎ本）に一括で加工電流を給電する一括給電での電気回路２とワイヤ放電加工装置１との電気回路を示す図である。Ｔｒ２がＯＮし、加工電流とワイヤ電流と放電電流が流れている状態を示している。
図７は、図８に示す電気回路２との等価回路を示している。

図４に示す従来方式の電気回路４００を、複数のワイヤ（１０本）に一括で加工電流を給電する一括給電での電気回路にそのまま導入した場合には、加工電源から給電点の間にて加工電流を制御するために、電流制限抵抗Ｒｍ４０５の代わりに、複数のワイヤ（１０本）に供給されるワイヤ電流の合計（１０倍）の加工電流が供給されるように、Ｒｍを１０本（メインローラ８、９を巻回する周回数）で割った抵抗値の電流制限抵抗を加工電源から給電点との間に設置する。まず、このように固定の抵抗値を持つＲｍ／１０本を加工電源から給電子との間に設置した場合を説明する。

この場合、１０本全てのワイヤとワークとの間で放電状態が均一にかつ同時に起こった場合には、１０本のワイヤで放電電流が均等に分散されるので、固定された抵抗値（Ｒｍ／１０本）に応じた放電電流が各ワイヤとワークとの間に供給される、過剰な放電電流の供給は問題とならない。

しかしながら、一括で加工電流を給電して１０本全てのワイヤとワークとの間で放電状態が均一にかつ同時に起こらなかった場合には、固定された抵抗値（Ｒｍ／１０本）に応じたワイヤ電流が放電状態になった本数のワイヤに偏って供給されるので、１本当たりでは過剰なワイヤ電流が供給され、問題となる。

つまり、もし仮に１０本のワイヤ中で１本のみが放電状態になった場合には、本来１本のワイヤに供給されるべき１０倍のワイヤ電流が、放電状態になっているワイヤに供給されワイヤが断線してしまう。
５０５のＲｍｎ ＩＮは配線５１３によるインピーダンス（抵抗値）である。
５１３は加工電源（Ｖｍｎ）マイナス側に接続する上り用のケーブルである。加工電源部（Ｖｍｎ）から給電子１０４に加工電源を供給する。
５２０のＲｍｎ ＯＵＴは配線５１４によるインピーダンス（抵抗値）である。
５１４は加工電源（Ｖｍｎ）プラス側に接続する下り用のケーブルである。

本発明の配線５１３の抵抗値５０５は従来方式の電流制限抵抗体のように抵抗値を所定加工電流が流れるように所定値に固定するものではなく、１０本の中で１本のみが放電状態になった場合であっても、放電状態となったワイヤ本数に応じて加工電流が変動するように制御できる機構を備えている。

さらに、本発明の抵抗値５０５をワイヤの抵抗値Ｒｗｎ５０９と比べて十分に小さな抵抗値にすることで、加工電流を制限するにあたってＲｗｎ５０９の方が支配的になるので、抵抗値５０５の影響はほぼ無視することができる。

つまり、抵抗値５０５をワイヤの抵抗値Ｒｗｎ５０９と比べて十分に小さな抵抗値にするので、加工電源部５０１から給電子１０４までに加工電流の下限を制限するための電流制限抵抗体を備えなくてもよいということである。
よって、５０５の抵抗値は、Ｒｍを１０本（メインローラ８、９を巻回する周回数）で単純に割った抵抗値よりも小さい抵抗値にすればよいということである。

そうすることで、各ワイヤの抵抗値Ｒｗｎ５０９であるインピーダンスを利用することで、各ワイヤのワイヤ電流Ｉｗｎが安定して供給されるので、一括で加工電流を給電して１０本全てのワイヤとワークとの間で放電状態が均一にかつ同時に起こらなかった場合でもワイヤ電流の集中が起こらない。
５０９のＲｍｎ（Ｒｍ１、Ｒｍ２、Ｒｍ３、、、、）はワイヤ１本毎のワイヤによる抵抗値である。
給電子１０４から放電部までのワイヤ抵抗値（Ｒｍｎ）とは、給電子１０４とワイヤに接触してから放電部までのワイヤの長さよって決まる抵抗である。
例えば、ワイヤ１０本（メインローラ８、９を１０周巻回する）に一括で給電する場合の各ワイヤ抵抗をそれぞれＲｗ１、Ｒｗ２、〜Ｒｗ１０とする。

従来方式のようなＲｍではなく、Ｒｗｎ５０９を１本毎のワイヤ電流（Ｉｗ）や放電電流（Ｉｇ）を制限する抵抗とすることで、１本毎のワイヤ電流（Ｉｗｎ）や放電電流（Ｉｇｎ）を制限することができる。

つまり給電点（給電子）と放電点（放電部）との距離（長さＬ）を変えることで任意の抵抗値に設定することができ、例えばＶｍｎ＝６０Ｖ、Ｖｇｎ＝３０Ｖ、１本のワイヤの抵抗値であるＲｗｎ５０９＝１０Ωとした場合には、Ｉｗｎ（Ｉｇｎ）＝（６０Ｖ−３０Ｖ）／１０Ω＝３Ａとなる。

なお、上記の計算式では、ワイヤの抵抗値（Ｒｗｎ）による給電点から放電点までの電圧降下を３０Ｖとしたが、加工電源から給電点までの電圧降下を起こす抵抗（Ｒｍｎ）による給電点から放電点までの電圧降下は考慮していない。

よって本発明の一括給電方式ではＩｗｎをＲｍｎにより制御できるので、１本毎に安定したワイヤ電流（Ｉｗｎ）や放電電流（Ｉｇｎ）を得るためには、加工電源から給電点までの電圧降下を起こす抵抗値とワイヤの抵抗値との関係がＲｍｎ＜Ｒｗｎの関係になるように設定すればよい。

また各ワイヤ個別のワイヤの抵抗値Ｒｗｎ５０９は（１）ワイヤの材質による電気抵抗値ρ、（２）ワイヤの断面積Ｂ、（３）ワイヤの長さＬ、の３つのパラメータからＲｗｎ＝（ρ×Ｂ）／Ｌの関係式により定めることができるので（１）、（２）、（３）を最適な値にすることでＲｍｎ ＩＮ５０５＜Ｒｗｎ５０９の関係を作ってもよい。

５０１は加工電源部（Ｖｍｎ）である。放電加工に必要な加工電流を供給するために設定される加工電圧である。Ｖｍｎは任意の加工電圧に設定することができる。さらに従来方式よりも加工電流の供給量が大きくなるので、４０１と比べると大きな電力（加工電圧と加工電流の積）を供給する。
加工電源部５０１は給電子１０４に加工電源（Ｖｍｎ）を供給する。

５０２は加工電源部（Ｖｓｎ）である。放電を誘発するために設定される誘発電圧である。さらにワイヤとワークとの間での極間電圧（極間電流）の状態をモニターし、ワーク送り装置の制御に利用する目的にも使用される。Ｖｓｎは任意の誘発電圧に設定することができる。さらに従来方式よりも誘発電流の供給量が大きくなるので、４０２と比べると大きな電力を供給する。
加工電源部５０２は給電子１０４に加工電源（Ｖｓｎ）を供給する。
５０７は極間での放電電圧（Ｖｇｎ）である。放電中にワイヤ１０３とワーク１０５との間に印加される電圧（電位）である。
例えば、ワイヤ１０本に一括で給電する場合の各放電電圧をそれぞれＶｇ１、Ｖｇ２、〜Ｖｇ１０とする。

放電によりワイヤ１０３とワーク１０５との間に放電電圧が印加される部分が放電部である。放電部においては、走行する複数のワイヤと給電子との接触により走行する複数のワイヤに一括で給電された加工電源をワークに放電する。
５０８は極間での放電電流（Ｉｇｎ）である。放電中にワイヤ１０３とワーク１０５との間に流れる電流である。
例えば、ワイヤ１０本に一括で給電する場合の各放電電流をそれぞれＩｇ１、Ｉｇ２、〜Ｉｇ１０とする。
放電によりワイヤ１０３とワーク１０５との間に放電電流が流れる部分が放電部である。
５１０のＩｗｎとはワイヤ１本毎に個別に流れるワイヤ電流である。
例えば、ワイヤ１０本に一括で給電した場合に流れる各ワイヤ電流をそれぞれＩｗ１、Ｉｗ２、〜Ｉｗ１０とする。
５１１のＬとは給電点から放電点までの距離Ｌであり、すなわち給電点（給電子）から放電点（ワーク）までのワイヤの長さ（ｍ）である。
図８を説明する。
図８は本発明における複数本のワイヤ（１０本）に一括で加工電流を給電する一括給電の電気回路２により複数本のワイヤに一括給電している図である。
５０３はトランジスタ（Ｔｒ２）である。加工電源ＶｍｎのＯＮ（導通）状態とＯＦＦ（非導通）状態をスイッチングで切り替える。
５０４はトランジスタ（Ｔｒ１）である。加工電源ＶｓｎのＯＮ（導通）状態とＯＦＦ（非導通）状態をスイッチングで切り替える。

１０４は給電子である。給電子１０４は走行する複数本のワイヤに一括で接触する。シリコンインゴット１０５と対向する位置に設けられ、１ヶ所の給電子１０４から複数本のワイヤに放電パルスを印加して放電加工を行う。
ワイヤ１０３の複数本に対して１つの電源回路２が接続されている。
以下、図８の配置を参照して、ワイヤに流れる加工電流（各ワイヤ電流の合計）を説明する。

図８に示すように、給電点（給電子１０４とワイヤ１０３が接触する位置）から放電点（ワイヤ１０３とワーク１０５との間）に流れるワイヤ電流は左右のメインローラの２方向に流れるので、各方向に対して、それぞれワイヤ抵抗が存在している。
５１１Ｌ１は電流が左のメインローラ方向に流れた場合の給電点と放電点との長さ（距離）であり、Ｌ１の場合に定まるワイヤ抵抗値をＲｗ１ａとする。
５１１Ｌ２は電流が右のメインローラ方向に流れた場合の、放電点と給電点との長さ（距離）であり、Ｌ２の場合に定まるワイヤ抵抗値をＲｗ１ｂとする。

もしワイヤ１０３がメインローラ８、９を１周巻回する長さを２ｍとすると、給電子１０４は１周巻回する長さのほぼ半分の距離に配置されているので、放電点と給電点との距離（ワイヤの長さＬ）は１ｍである。
このように、給電子から放電部までを走行するワイヤの距離が０．５ｍよりも長い。

ワイヤ１０３の材質の主成分は鉄であり、ワイヤの直径は０．１２ｍｍ（断面積０．０６×０．０６×πｍｍ^２）である。ワイヤの抵抗値Ｒｗ１ａ、Ｒｗ１ｂはそれぞれ、同じ長さ（Ｌ１＝Ｌ２＝１ｍ）であるので各々のワイヤ抵抗値を同一の２０Ω程度とするとＲｗ１ａとＲｗ１ｂによる１本（メインローラ８、９を１周巻回する）の合成のワイヤ抵抗値は、給電子１０４と給電子１０４から放電部までの両側のワイヤ（５１１Ｌ１と５１１Ｌ２）とは図８のように並列回路であるので半分の１０Ω程度となる。

なお、図８のようにＬ１及びＬ２の長さによるワイヤ抵抗値を同じ抵抗値にするために、Ｌ１とＬ２の長さが同じになるように給電子１０４を配置することが好ましいが、Ｌ１とＬ２の長さの違いが１０％程度（例えばＬ１が１ｍでＬ２が１．１ｍ）ことなるように給電子１０４を配置しても特に問題はない。
放電電圧Ｖｇ１〜Ｖｇ１０がほぼ等しい場合、ＶｍｎがそれぞれのＲｗ１〜Ｒｗ１０に印加されているので、Ｉｗ１〜Ｉｗ１０は全て同じワイヤ電流である。
ここでワイヤ抵抗による電圧降下値（Ｒｗ１×Ｉｗ１）と放電電圧（Ｖｇｎ）からＶｍｎを求めてみる。
給電子１０４から放電部（極間）までの電圧降下はワイヤの抵抗値による電圧降下である。
Ｒｗ１＝１０Ω（給電子１０４から放電部までの抵抗値）。
このように、給電子から放電部までのワイヤの抵抗値が１Ωよりも大きい。
Ｉｗ１＝３Ａ
Ｖｇｎ＝３０Ｖとすれば、Ｖｍｎは以下のようになる。
Ｖｍｎ＝１０（Ω）×３（Ａ）＋３０Ｖ＝６０Ｖ
このように、給電子１０４から放電部（極間）までの電圧降下は１０Ｖよりも大きい。
尚、Ｒｗｎ＝（ρ×Ｂ）／Ｌの関係式により、ワイヤ自体のパラメータによりワイヤ抵抗による電圧降下値を設定してもよい。
ここでまず、１０本全てのワイヤとワークとの間で放電状態が均一にかつ同時に起こった場合のＲｍｎを計算する。

全てのワイヤで放電状態となり１０本のワイヤにＩｗ１＝３Ａが流れている場合は、加工電源から給電点との間では全体で１０本×３Ａ＝３０Ａの加工電流値が必要となり、この加工電源部から給電点との間の電圧降下をＶｍｎの１００分の１（０．６Ｖ）とすれば、この場合のＲｍｎ ＩＮは以下のようになる。
Ｒｍｎ ＩＮ＝０．６Ｖ／３０Ａ＝０．０２Ω（加工電源部５０１から給電子１０４までの抵抗値）。
このように、加工電源部５０１から給電子１０４までの電圧降下は１Ｖよりも小さい。
このように、加工電源部５０１から給電子１０４までの電圧降下は、給電子から放電部までの電圧降下よりも小さい。
このように、加工電源部５０１から給電子１０４までの抵抗値は０．１Ωより小さい。
このように、加工電源部５０１から給電子１０４までの抵抗値が、給電子から放電部までの抵抗値よりも小さい。
このように、加工電源部５０１から給電子１０４までの電圧降下と給電子１０４から放電部までの電圧降下との比は１０倍以上である。
このように、加工電源部５０１から給電子１０４までの抵抗値と給電子から放電部までの抵抗値との比が１０倍以上である。

計算したＲｍｎを考慮して１０本の加工電流値（ワイヤ電流の合計）をもとめると（６０Ｖ−３０Ｖ）／（（１０Ω／１０本）＋０．０２Ω）＝２９．４１Ａとなり
ワイヤ一本当たりに割ったワイヤ電流値は２．９４１Ａとなる。

次に、１０本全てのワイヤとワークとの間で放電状態が均一にかつ同時に起こらず、もし１本だけにワイヤ電流が流れた場合は、ワイヤ一本当たりのワイヤ電流値は（６０Ｖ−３０Ｖ）／（１０Ω＋０．０２Ω）＝２．９９４Ａとなる。

このように１０本全てのワイヤとワークとの間で放電状態が均一にかつ同時に起こった場合と、１０本全てのワイヤとワークとの間で放電状態が均一にかつ同時に起こらなかった場合を比べてもワイヤ電流に大きな差は生じず、ワイヤが断線することはない。

また更なる効果として、Ｒｍｎ ＩＮ５０５＞Ｒｗｎ５０９にしてしまうと複数本であるＮ本（メインローラ８、９をＮ周巻回する）のワイヤに１箇所（一括）で給電する場合には、１本のワイヤ毎に個別に給電したときの加工速度に比べて加工速度が１／Ｎとなるが、本発明によれば、Ｒｍｎ ＩＮ５０５＜Ｒｗｎ５０９なのでＮ本のワイヤへ１箇所（一括）で給電した場合においても１本のワイヤへ個別に給電したときと同等の加工速度を維持することもできる。
図９を説明する。

図９の上の表は、図８で説明した（Ｖｍｎ−Ｖｇｎ）／（（Ｒｗｎ５０９／放電しているワイヤの本数）＋Ｒｍｎ ＩＮ）＝加工電流の計算式を用いて、ワイヤの本数の増加にともなって変化する加工電流値（ワイヤ電流の合計）の理論計算値を表にしたものである。
１４０１は実際に放電部（極間）において放電が発生しているワイヤの本数である。

１４０２は放電しているワイヤの本数による合成のワイヤ抵抗値である。一括給電方式の場合には、並列なので『Ｒｗｎ５０９／実際に放電しているワイヤの本数』の関係から合成のワイヤ抵抗値は、放電しているワイヤの本数が増える程減っていく。
１４０３は、放電しているワイヤの本数毎に計算した加工電流値（ワイヤ電流の合計）である。

一括給電方式では、図７のように給電子１０４と給電子１０４に一括接触する複数本のワイヤとは並列回路なので『Ｒｗｎ５０９／実際に放電しているワイヤの本数』の関係から、複数本のワイヤの並列回路による合成のワイヤ抵抗値は、放電しているワイヤの本数が増える程減っていくので、理論上は放電しているワイヤの本数が増加する程に加工電流値（ワイヤ電流の合計）は増加していく。

このように放電しているワイヤの本数が増加する程に加工電流値（ワイヤ電流の合計）は増加していくと、仮に１００本に一括給電する場合には、放電しているワイヤの本数に応じて変動する加工電流値の最大値と最小値の幅は１本から１００本の間で広くなってしまい、過剰に加工電流がながれてしまう危険性が発生し、もし仮に放電しているワイヤの本数が１本から１００本に、あるいは１００本から１本に一瞬で変化した場合には電源装置は故障してしまう。

図９の下の表は、（Ｖｍｎ−Ｖｇｎ）／（（Ｒｗｎ５０９／実際に放電しているワイヤの本数）＋Ｒｍｎ ＩＮ＋Ｒｍｎ ＯＵＴ）＝加工電流値の計算式を用いて、ワイヤの本数の増加にともなって変動する加工電流値（ワイヤ電流の合計）が安定するように補正する理論計算値を表にしたものである。

１４０４は、本発明の抵抗制御部がワークから加工電源部５０１までの抵抗値を制御する前の放電しているワイヤの本数毎に計算した加工電流値（ワイヤ電流の合計）である。取得部が取得する加工電流値に該当する。
１４０５は、本発明の抵抗制御部が抵抗値（Ｒｍｎ ＯＵＴ）を補正した値である。

１４０６は、本発明の抵抗制御部がワークから加工電源部５０１までの抵抗値を制御した後の放電しているワイヤの本数毎に計算した加工電流値（ワイヤ電流の合計）である。抵抗制御部が抵抗値を補正した後の加工電流値に該当する。
（Ｖｍｎ−Ｖｇｎ）／（（Ｒｗｎ５０９／実際に放電しているワイヤの本数）＋Ｒｍｎ ＩＮ５０５＋Ｒｍｎ ＯＵＴ５２１）＝加工電流値の計算式である。

例えば、１０本から９本に放電しているワイヤの本数が急激に変化した場合には、『Ｒｗｎ５０９／実際に放電しているワイヤの本数』の関係から計算される抵抗値の増加分を、Ｒｍｎ ＯＵＴによる制御でマイナスに差し引く（減少）ことで全体の抵抗値（（Ｒｗｎ５０９／実際に放電しているワイヤの本数）＋Ｒｍｎ ＩＮ＋Ｒｍｎ ＯＵＴ）が１０本で放電が起こった場合と同じになるように補填するので、放電するワイヤの本数が１０本から９本に変動しても、加工電流はほぼ一定のままであり安定する。

逆に、１０本から１１本に放電しているワイヤの本数が急激に変化した場合には、『Ｒｗｎ／放電しているワイヤの本数』の関係から計算される抵抗値の減少分を、Ｒｍｎ ＯＵＴによる制御でプラス分を加える（増加）ことで全体の抵抗値（（Ｒｗｎ／放電しているワイヤの本数）＋Ｒｍｎ ＩＮ＋Ｒｍｎ ＯＵＴ）が１０本で放電が起こった場合と同じになるように補填するので、放電するワイヤの本数が１０本から１１本に変動しても、加工電流値はほぼ一定のままであり安定する。
図１０を説明する。

１０００はモニター電流測定部であり、加工電源部５０１から給電子１０４までの電源回路に流れている放電時の加工電流値を取得するものである（取得手段）。

つまり図１２に示すようにモニター電流測定部は、Ｔｒ２制御部１００７による加工電源の供給の開始または停止に同期した所定間隔で加工電流値を取得している。

１００７はＴｒ２制御部であり、加工電源部５０１が加工電源を供給する際に、トランジスタＴｒ２を切り替えることで加工電源の供給の開始（ＯＮ）または停止（ＯＦＦ）を交互に切替制御するものである。（パルス制御手段）。

１００９は可変抵抗決定部であり、モニター電流測定部が取得した加工電流値が閾値を超過した場合に、その時に加工電流が超過した変動量に応じて、予め定義されている計算式により補正する適正な抵抗値を決定するものである。決定された適正な抵抗値になるように可変抵抗制御部が抵抗値を制御する。

１０１０は可変抵抗制御部であり、モニター電流測定部が取得した加工電流値の変動に応じて、図１２に示すように加工電流値が変動した方向と反転する方向に取得した加工電流値を回復させて安定するようにワーク１０５から加工電源部５０１までの電源回路の抵抗値であるＲｍｎ Ｏｕｔを増減させて制御するものである（抵抗制御手段）。

つまり図１２に示すように可変抵抗制御部は、Ｔｒ２制御部１０７による加工電源の供給の開始または停止に同期した所定間隔で抵抗値を増減させて制御している。
図１１を説明する。

図１１は、ワイヤ放電加工システムによるワークの放電加工中に、電源装置２が抵抗値５２１を可変に制御して加工電流を安定させるための制御フローチャートを示したものである。
ステップＳ１０１で電源装置は、モニター電流測定部１０００に図１２に示すような間歇のタイミングで加工電流値をパルス毎に毎回取得させる。

ステップＳ１０２で電源装置は、ステップＳ１０１においてモニター電流測定部１０００が取得した最新の加工電流値が、予め設定済みの上限値である所定の加工電流値よりも多い（超過する）かいなかを判定する（上限判定手段）。

ステップＳ１０３で電源装置は、ステップＳ１０２において多い（あるいは閾値よりも高い）と判定されると、その後に可変抵抗制御部１０１０は、その次のパルスではモニター電流測定部１０００による取得時よりもワーク１０５から加工電源部５０１までの電源回路の抵抗値であるＲｍｎ Ｏｕｔが増加するように可変抵抗を制御する。

ステップＳ１０４で電源装置は、ステップＳ１０１においてモニター電流測定部１０００が取得した最新の加工電流値が、予め設定済みの下限値である所定の加工電流値よりも少ない（超過する）かいなかを判定する（下限判定手段）。

ステップＳ１０５で電源装置は、ステップＳ１０４において少ない（あるいは閾値よりも低い）と判定されると、その後に可変抵抗制御部１０１０は、その次のパルスではモニター電流測定部１０００による取得時よりもワーク１０５から加工電源部５０１までの電源回路の抵抗値であるＲｍｎ Ｏｕｔが減少するように可変抵抗を制御する。

ステップＳ１０６で電源装置は、ステップＳ１０１においてモニター電流測定部１０００が取得した最新の加工電流値は許容範囲を超過していないので、可変抵抗制御部１０１０は、その次のパルスではモニター電流測定部１０００による取得時よりもワーク１０５から加工電源部５０１までの電源回路の抵抗値であるＲｍｎ Ｏｕｔをそのまま保持するように可変抵抗を制御する。
図１２を説明する。
図１２は可変抵抗を制御する時の加工電流値と抵抗値が変動するタイミングを模した図である。
１２０１はＴｒ２制御部のＯＮ、ＯＦＦ動作の切り替えパルス周期を示した図である。ＯＮ時間中にほぼ連動（同期して）加工電流がながれることになる。

１２０２は図９の下の表に示した結果から実際に放電している複数本によるワイヤの合成の抵抗値（Ｒｗｎ５０９／実際に放電しているワイヤの本数）の変動と極間にて実際に放電しているワイヤの本数の関係を模した図である。

１２０３は、１２０２の複数本によるワイヤの合成の抵抗値の変動から加工電流値が連鎖して変動してモニター電流（加工電流値）が増減している動きを模した図である。

１２０４は加工電流値が連鎖して変動したことを受けて、加工電流値が変動した方向と反転する方向に回復させるために、抵抗値Ｒｍｎ ＯＵＴを変化させている動きを模した図である。
以下抵抗値５２１を可変に制御する流れの概要を説明する。
極間にて実際に放電しているワイヤの本数が瞬間的に増加することで、ワイヤの合成の抵抗値が減少する『１の場合』。
複数本によるワイヤの合成の抵抗値が減少することに連動して加工電源部から流れてくる加工電流値が増加する『２の場合』

加工電流値が増加したことをモニターしているので、その結果を受けてワークから加工電源部までの電気回路の抵抗値であるＲｍｎ ＯＵＴを増加させる『３の場合』

Ｒｍｎ ＯＵＴを増加させることで複数本によるワイヤの合成の抵抗値の減少分が補われ、複数本によるワイヤの合成の抵抗値とＲｍｎ ＯＵＴとを足した電気回路全体の抵抗値を見かけ上回復させることで、加工電源部５０１から流れてくる加工電流値が減少する『４の場合』。

加工電源部から流れてくる加工電流値が変動した方向と反転する方向に回復したことをモニターしているので、その結果を受けてワークから加工電源部までの電気回路の抵抗値であるＲｍｎ ＯＵＴをそのまま保持する『５の場合』。

尚、本発明のワイヤ放電加工システムでスライスされた半導体（シリコン、ＳｉＣ）および磁性体のワークは、主に基板として製造され、メモリ等の半導体デバイスや太陽電池、車載用パワーデバイス、各種センサとして使用することができる。

本発明におけるプログラムは、上記実施例にしめした制御方法をコンピュータが実行可能なプログラムであり、本発明の電源装置２またはワイヤ放電加工装置１の記憶媒体（記憶部）にその制御方法をコンピュータが読み取り実行可能なプログラムとして記憶されている。

１ ワイヤ放電加工装置
２ 電源装置
３ ワーク送り部
１０３ ワイヤ電極
１０４ 給電子
１０５ ワーク（シリコンインゴット）
５０１ 加工電源部
５０５ Ｒｍｎ ＩＮ（電気回路による抵抗値）
５０９ Ｒｗｎ（ワイヤによる抵抗値）
５２１ Ｒｍｎ ＯＵＴ（電気回路による抵抗値）
１０００ モニター電流測定部
１００７ Ｔｒ２制御部
１０１０ 可変抵抗制御部

Claims (13)

1. 並設された複数のワイヤの間隔でワークを薄片にスライスするワイヤ放電加工システムであって、
   前記並設された複数のワイヤを同一方向に走行させる走行手段と、
   前記走行するワイヤに接触する給電子と、
   前記給電子に加工電源を供給する加工電源部と、
   前記加工電源部から前記給電子までの電源回路に流れている放電時の加工電流値を取得する取得手段と、
   前記取得した加工電流値の変動に応じて、前記変動した方向と反転する方向に前記取得した加工電流値が回復するように前記ワークから前記加工電源部までの電源回路の抵抗値を増減させて制御する抵抗制御手段と、
   を備えることを特徴とするワイヤ放電加工システム。
2. 前記取得した加工電流値が、所定の加工電流値よりも多いかいなかを判定する上限判定手段をさらに備え、
   前記上限判定手段により多いと判定されたあとに、前記抵抗制御手段は、前記取得手段による取得時よりも前記ワークから前記加工電源部までの電源回路の抵抗値が増加するように制御することを特徴とする請求項１に記載のワイヤ放電加工システム。
3. 前記取得した加工電流値が、所定の加工電流値よりも少ないかいなかを判定する下限判定手段をさらに備え、
   前記下限判定手段により少ないと判定されたあとに、前記抵抗制御手段は、前記取得手段による取得時よりも前記ワークから前記加工電源部までの電源回路の抵抗値が減少するよう制御することを特徴とする請求項１または請求項２に記載のワイヤ放電加工システム。
4. 前記加工電源部が前記加工電源を供給する際に、前記加工電源の供給の開始または停止を交互に制御するパルス制御手段をさらに有し、
   前記取得手段は、前記パルス制御手段による前記加工電源の供給の開始または停止に同期した所定間隔で加工電流値を取得し、
   前記抵抗制御手段は、前記パルス制御手段による前記加工電源の供給の開始または停止に同期した所定間隔で前記抵抗値を増減させて制御することを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれか１項に記載のワイヤ放電加工システム。
5. 前記給電子は、前記走行する複数のワイヤに一括で接触して前記加工電源を供給することを特徴とする請求項１乃至請求項４のいずれか１項に記載のワイヤ放電加工システム。
6. 前記加工電源を前記走行するワイヤから前記ワークに放電する放電部をさらに有し、
   前記加工電源部から前記給電子までの電源回路の抵抗値が、前記給電子から前記放電部までのワイヤの抵抗値よりも小さいことを特徴とする請求項１乃至請求項５のいずれか１項に記載のワイヤ放電加工システム。
7. 前記給電子から前記放電部までのワイヤの抵抗値が１Ωよりも大きいことを特徴とする請求項６に記載のワイヤ放電加工システム。
8. 前記加工電源部から前記給電子までの電気回路の抵抗値が０．１Ωよりも小さいことを特徴とする請求項１乃至請求項７のいずれか１項に記載のワイヤ放電加工システム。
9. 並設された複数のワイヤの間隔でワークを薄片にスライスする、前記並設された複数のワイヤを同一方向に走行させる走行手段と、前記走行するワイヤに接触する給電子と、を有するワイヤ放電加工システムに接続される電源装置であって、
   前記給電子に加工電源を供給する加工電源部と、
   前記加工電源部から前記給電子までの電源回路に流れている放電時の加工電流値を取得する取得手段と、
   前記取得した加工電流値の変動に応じて、前記変動した方向と反転する方向に前記取得した加工電流値が回復するように前記ワークから前記加工電源部までの電源回路の抵抗値を増減させて制御する抵抗制御手段と、
   を有することを特徴とする電源装置。
10. 並設された複数のワイヤの間隔でワークを薄片にスライスし、
    前記並設された複数のワイヤを同一方向に走行させる走行手段と、
    前記走行するワイヤに接触する給電子と、
    前記給電子に加工電源を供給する加工電源部と、
    を備えるワイヤ放電加工システムの制御方法であって、
    前記ワイヤ放電加工システムの取得手段が、前記加工電源部から前記給電子までの電源回路に流れている放電時の加工電流値を取得する取得工程と、
    前記ワイヤ放電加工システムの抵抗制御手段が、前記取得した加工電流値の変動に応じて、前記変動した方向と反転する方向に前記取得した加工電流値が回復するように前記ワークから前記加工電源部までの電源回路の抵抗値を増減させて制御する抵抗制御工程と、
    を含むことを特徴とする制御方法。
11. 並設された複数のワイヤの間隔でワークを薄片にスライスし、
    前記並設された複数のワイヤを同一方向に走行させる走行手段と、
    前記走行するワイヤに接触する給電子と、
    前記給電子に加工電源を供給する加工電源部と、
    を備えるワイヤ放電加工システムが読み取り実行可能なプログラムであって、
    前記ワイヤ放電加工システムを
    前記加工電源部から前記給電子までの電源回路に流れている放電時の加工電流値を取得する取得手段と、
    前記取得した加工電流値の変動に応じて、前記変動した方向と反転する方向に前記取得した加工電流値が回復するように前記ワークから前記加工電源部までの電源回路の抵抗値を増減させて制御する抵抗制御手段と、
    して機能させることを特徴とするプログラム。
12. 並設された複数のワイヤの間隔でワークを薄片にスライスする、前記並設された複数のワイヤを同一方向に走行させる走行手段と、前記走行するワイヤに接触する給電子と、を有するワイヤ放電加工システムに接続され、前記給電子に加工電源を供給する加工電源部を有する電源装置の制御方法であって、
    前記電源装置の取得手段が、前記加工電源部から前記給電子までの電源回路に流れている放電時の加工電流値を取得する取得工程と、
    前記電源装置の抵抗制御手段が、前記取得した加工電流値の変動に応じて、前記変動した方向と反転する方向に前記取得した加工電流値が回復するように前記ワークから前記加工電源部までの電源回路の抵抗値を増減させて制御する抵抗制御工程と、
    を含むことを特徴とする制御方法。
13. 並設された複数のワイヤの間隔でワークを薄片にスライスする、前記並設された複数のワイヤを同一方向に走行させる走行手段と、前記走行するワイヤに接触する給電子と、を有するワイヤ放電加工システムに接続され、前記給電子に加工電源を供給する加工電源部を有する電源装置が読み取り実行可能なプログラムであって、
    前記電源装置を、
    前記加工電源部から前記給電子までの電源回路に流れている放電時の加工電流値を取得する取得手段と、
    前記取得した加工電流値の変動に応じて、前記変動した方向と反転する方向に前記取得した加工電流値が回復するように前記ワークから前記加工電源部までの電源回路の抵抗値を増減させて制御する抵抗制御手段と、
    して機能させることを特徴とするプログラム。
    
    
    
    

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