JP6237818B2 - 保持装置とその保持方法、ワイヤ放電加工装置およびその加工方法 - Google Patents

Description

本発明は、保持装置とその保持方法、ワイヤ放電加工装置およびその加工方法の技術に関する。

従来よりシリコンインゴットを多数の薄片にスライスするための装置としてワイヤソーが知られているが、近年ワイヤ放電加工技術を用いてワークを薄板にスライスする技術がある。

例えば、特許文献１には、ワイヤソーにおいてインゴットの側面部分にスライスベースと呼ばれるインゴットの切り終わり部分の欠損を防ぐ保護材を接着剤で接着し、次いで、そのインゴットに接着したスライスベースをマウンティングプレートと呼ばれるワークフィードテーブルへの装着具に接着剤で接着し、そして、そのインゴットが接着されたマウンティングプレートをワークフィードテーブルのワーク保持部に取り付け、インゴットはワークフィードテーブルに装着され、スライスベースまで切断する技術が開示されている。

例えば、特許文献２には、複数本のワイヤでワークをスライスするワイヤ放電加工においてワークは、例えば低抵抗シリコンのように導電性を有する材料からなり、その周方向一部には、当該ワークの軸方向に延びるスライスベースが導電性を有する接着剤によって接着されている。スライスベースの材質は、ワークと同等のものにする技術や、切断ワイヤ部分がスライスベースに到達し、あるいは当該スライスベースを切断するまで切断送りを行うことにより、多数枚のウエハを同時に切り出す技術が開示されている。

インゴッドを放電マルチワイヤソーで加工する場合に加工するインゴッドの保持方法はいくつかあるが、加工するインゴッドに放電加工を行うための電気(通電)を安定的に供給し、加工終了までスライスしたウエハを保持する必要がある。

導電性のビームを使ったインゴットの保持方法を使用すると、インゴットを保持するためにインゴットとの界面には接着剤を必要とする。さらに接着剤は放電加工を行うための電気(通電)を安定的に供給するためには導電性の材料である必要がある。

特開平１０−３４０８６９号公報 特開２０００−１０７９４１号公報

その時に図９に示したように、インゴットの材料（シリコン等）とビームの素材（アルミ等）が混在し、インゴットとビームが同時に放電加工される領域においては、ビームの素材（アルミ等）とインゴットの材料（シリコン等）抵抗値はそれぞれ違うので、その抵抗値の差により、電気が流れる箇所が不安点になりワイヤの断線が発生してしまう可能性がある。つまりワイヤの断線を防止するためにはインゴットの材料（シリコン等）とビームの素材（アルミ等）とが混在しないようにして放電加工する必要がある。

そこで、本発明は、インゴットの保持部とインゴットの通電部の素材が異なった状態で放電加工が進行する領域を無くし、素材の異なるものに対する同時放電による放電加工の不安定性を低減させて、ワイヤの断線を防止することが可能な仕組みを提供とすることを目的とする。

本発明は、インゴットをワイヤが並設された間隔でスライスする放電加工において用いられる保持装置であって、前記並設されたワイヤによる放電加工が行われない第１の位置に配置された前記インゴットを保持する保持部と、前記インゴットの保持機能は備えずに、前記インゴットと前記ワイヤとの間に電流が流れるように前記インゴットに通電する通電部とを備え、前記通電部は、前記並設されたワイヤによる放電加工による前記インゴットのスライスが終了するまで、前記ワイヤと接触しない第２の位置に配置され、前記保持部は前記インゴットが落下しないように保持する爪部を有し、前記保持装置が前記インゴットに接触する何れの境界面に前記インゴットを前記保持装置に固定する接着剤を用いず、前記爪部により当該インゴットが落下しないように保持可能であることを特徴とする。

また、前記通電部の前記接触する部分が前記加工面の傾斜に合うように前記通電部と前記加工面との接触角を調整する角度調整部をさらに備えることを特徴とする。
また、前記保持装置が円筒型のＳｉＣインゴットを前記放電加工するために用いられることを特徴とする。
また、前記インゴットのスライス加工が完了した後に、前記ワイヤが並設された間隔でスライスされたウエハが前記保持装置から落下することを特徴とする。

また、前記保持部は前記落下しないように保持する爪部を有し、前記爪部により、前記保持装置が前記インゴットに接触する何れの境界面に、前記インゴットを前記保持装置に固定する接着剤を用いずに前記落下しないように保持可能であることを特徴とする。

本発明により、インゴットの保持部とインゴットの通電部の素材が異なった状態で放電加工が進行する領域を無くし、素材の異なるものに対する同時放電による放電加工の不安定性を低減させて、ワイヤの断線を防止することが可能となる。

本発明のマルチワイヤ放電加工システムを正面から見た図。 本発明のマルチワイヤ放電加工装置を正面から見た拡大図。 本発明における極間状態（電圧と電流）と、加工電圧のパルス（ＯＮ／ＯＦＦ）周期を示したもの。 本発明における電気回路と各種部品の配置を示した図。 本発明における電気回路と各種部品の配置を示した図。 本発明における保持装置（押さえユニット）の各種部品の配置を示した図。 本発明における保持装置（押さえユニット）とマルチワイヤ放電加工装置の相対的な配置位置の関係を正面図で示した図。 本発明における保持装置（押さえユニット）とマルチワイヤ放電加工装置の相対的な配置位置の加工時の変遷を正面図で示した図。 従来技術におけるインゴットを保持する方法を示した図。 本発明における保持装置を構成する部品（サイドステー爪有り）の形状と材質を示した図。 本発明における保持装置を構成する部品（サイドステー爪なし）の形状と材質を示した図。 本発明における保持装置を構成する部品（インゴット押さえローラ）の形状と材質を示した図。 本発明におけるインゴット押さえローラとインゴットの接触状態を説明した図。 本発明における加工槽を構成する部品（加工槽内ウエハ押さえ）の形状と材質を示した図。 本発明における保持装置を構成する部品（押さえ支持板と支持ブロック）の形状と材質を示した図。 本発明における保持装置を構成する部品（ベース）の形状と材質を示した図。 本発明における保持装置（押さえユニット）とマルチワイヤ放電加工装置の相対的な配置位置の加工時の変遷を側面図で示した図。 本発明における通電部の形状の変形例を各種インゴットの加工面形状に対応した例を示した図。 本発明における保持装置がインゴットの加工面形状（円錐台）の変形例に対応した例を示した図。 本発明における保持装置がインゴットの加工面形状（円錐台）の変形例に対応した例を示した図。 本発明における保持装置がインゴットの加工面形状（円錐台）の変形例に対応した例を示した図。 本発明における保持装置がインゴットの加工面形状（円錐台）の変形例に対応した例を示した図。 本発明における保持装置インゴットの加工面形状（ドーム型）の変形例に対応した例を示した図。 本発明における保持装置インゴットの加工面形状（ドーム型）の変形例に対応した例を示した図。 本発明における保持装置インゴットの加工面形状（ドーム型）の変形例に対応した例を示した図。

図１を説明する。

図１は、本発明の実施の形態に係るマルチワイヤ放電加工機１を前方から見た外観図である。尚、図１に示す各機構の構成は一例であり、目的や用途に応じて様々な構成例があることは言うまでもない。

図１は本発明におけるマルチワイヤ放電加工システム（半導体基板または太陽電池基板の製造システム）の構成を示す図である。マルチワイヤ放電加工システムは、マルチワイヤ放電加工装置１、電源装置２、加工液供給装置５０から構成されている。
マルチワイヤ放電加工システムは、放電により並設された複数本のワイヤ１０３の間隔で被加工物を薄片にスライスすることができる。

１はマルチワイヤ放電加工装置であり、１には、サーボモータにより駆動されるワーク送り装置３がワイヤ１０３上部に設けられ上下方向にワーク１０５を移動できる。本発明ではワーク１０５が下（重力）方向に送られ、ワーク１０５とワイヤ１０３の間で放電加工がおこなわれる。

２は電源装置であり、２には、サーボモータを制御する放電サーボ制御回路が放電の状態に応じて効率よく放電を発生させるために放電ギャップを一定の隙間に保つように制御し、またワーク位置決めを行い、放電加工を進行させる。

加工電源回路（図４）は、放電加工のための放電パルスをワイヤ１０３へ供給するとともに、放電ギャップで発生する短絡などの状態に適応する制御を行いまた放電サーボ制御回路への放電ギャップ信号を供給する。

５０は加工液供給装置であり、５０は、放電加工部の冷却、加工チップ（屑）の除去に必要な加工液をポンプによりワーク１０５とワイヤ１０３へ送液する共に、加工液中の加工チップの除去、イオン交換による電導度（１μＳ〜２５０μＳ）の管理、液温（２０℃付近）の管理を行う。おもに水が使用されるが、放電加工油を用いることもできる。

８，９はメインローラであり、メインローラには、所望する厚さで加工出来るようにあらかじめ決められたピッチ、数で溝が形成されており、ワイヤ供給ボビンからの張力制御されたワイヤ１０３が２つのメインローラに必要数巻きつけられ、巻き取りボビンへ送られる。ワイヤ１０３の走行速度は１００ｍ／ｍｉｎから９００ｍ／ｍｉｎ程度が用いられる。
２つのメインローラが同じ方向でかつ同じ速度で連動して回転することにより、ワイ

ヤ繰出し部から送られた１本のワイヤ１０３がメインローラ（２つ）の外周を周回し、並設されている複数本のワイヤ１０３を同一方向に走行させる（走行手段）ことができる。

ワイヤ１０３は図５に示すように、１本の繋がったワイヤであり、図示しないボビンから繰り出され、メインローラの外周面のガイド溝（図示しない）に嵌め込まれながら、当該メインローラの外側に多数回（最大で２０００回程度）螺旋状に巻回された後、図示しないボビンに巻き取られる。
マルチワイヤ放電加工機１は、電源装置２と電線５１３を介して接続されており、電源装置２から供給される電力により作動する。

マルチワイヤ放電加工機１は、図１に示すように、マルチワイヤ放電加工機１の土台として機能するブロック１５と、ブロック１５の上部の中に設置されている、ブロック２０と、ワーク送り装置３と、接着部４と、シリコンインゴット１０５と、加工液漕６と、メインローラ８と、ワイヤ１０３と、メインローラ９と、給電子ユニット１０と、一括給電子１０４と、を備えている。
図２を説明する。
図２は、図１に示す点線１６枠内の拡大図である。

８，９はメインローラであり、メインローラにワイヤ１０３が複数回巻きつけられており、メインローラに刻まれた溝に従い、所定ピッチでワイヤ１０３が整列している。
メインローラは中心に金属を使用し、外側は樹脂で覆う構造である。

２つのメインローラの間であって、メインローラ８，９の内部のほぼ中央部の上の部分には、給電子ユニット１０に取り付けられた一括給電子１０４を配置し、一括給電子１０４は、上向きに露出する表面をワイヤ１０３に接触させることで走行する複数本のワイヤ１０３に加工電圧を一括して給電する。
一括給電子１０４はワイヤ１０３の１０本と接触することで、加工電源部５０１からの放電パルス（図４の５０４）を１０本のワイヤ１０３に供給している。
一括給電子１０４が配置される位置は、シリコンインゴット１０５の両端よりワイヤの長さがほぼ等しくなる位置（５１１Ｌ１＝５１１Ｌ２）に設けてある。
一括給電子１０４には、機械的摩耗に強く、導電性があることが要求され超硬合金が使用されている。

２つのメインローラの間であって、メインローラ８，９の内部のほぼ中央部の下の部分には、ワーク送り装置３に取付けたシリコンインゴット１０５を配置し、ワーク送り装置３がワークを１０５下方向に送り出すことでスライス加工が進行する。

メインローラの下部に加工槽６を設け、ワイヤ１０３およびシリコンインゴット１０５を浸漬し、放電加工部の冷却、加工チップの除去を行う。加工槽６は加工液を貯留し、送り出されたワークを浸漬するためのものである。

ワイヤ１０３の本数を１０本に対して接触する一括給電子１０４を１個で示しているが、一括給電子１０４あたりに接触するワイヤの本数や、最大で２０００回程度螺旋状に巻回されたワイヤ１０３に接触する一括給電子１０４の総数は必要数に応じて増やすことは言うまでもない。

ブロック２０は、ワーク送り部３と接合されている。また、ワーク送り部３は、シリコンインゴット１０５（ワーク）をワーク保持部８００が保持したものを重力方向に下降するように駆動することでシリコンインゴット１０５を薄片にスライス加工する。
本実施例では、加工材料（ワーク）として、シリコンインゴット１０５を例に説明する。
ワーク保持部８００は、ワーク送り装置３と、シリコンインゴット１０５（ワーク）とを保持するためのもので、例えば、電導性の素材が用いられる。
なおワーク保持部８００は、シリコンインゴット１０５（ワーク）を適正にセットする時にはワーク保持具として取り外し可能である。

ワーク送り部３は、ワーク保持部８００により保持されているシリコンインゴット１０５を上下方向に移動する機構を備えた装置であり、ワーク１０５を保持した状態でワーク送り部３が下方向（重力方向）に移動することにより、シリコンインゴット１０５をワイヤ１０３の方向に近づけることが可能となる。

ワーク保持部８００を構成する通電部８１４は図５に示す電気回路内に構成されることで、放電加工によりインゴット１０５を通過する加工電流は、通電部８１４から加工電源部５０１および加工電源部５０２と導通して流れることはいうまでもない。
ワーク送り部３は一括給電子１０４よりも低い位置に配置されている。
保持するワーク１０５が加工液に浸漬されるように、ワーク送り部３はワーク１０５を周回するワイヤ１０３に接近する方向に送りしている。
加工液漕６は、加工液を貯留するための容器であり複数のメインローラ（８，９）を周回するワイヤ１０３の外側に配置されている。

加工液は、例えば、抵抗値が高い脱イオン水である。ワイヤ１０３と、シリコンインゴット１０５との間に、加工液を設けられることにより、ワイヤ１０３と、シリコンインゴット１０５との間で放電が起き、シリコンインゴット１０５を削ることが可能となる。

メインローラ８、９には、ワイヤ１０３を取り付けるための溝が複数列形成されており、その溝にワイヤ１０３が取り付けられている。そして、メインローラ８、９が右又は左回転することにより、ワイヤ１０３が走行する。
また、図２に示すように、ワイヤ１０３は、メインローラ８、９に取り付けられ、メインローラ８、９の上側、及び下側にワイヤ列を形成している。

また、ワイヤ１０３は、伝導体であり、電源装置２から加工電圧が供給された給電子ユニット１０の一括給電子１０４とワイヤ１０３とが接触することにより、当該供給された加工電圧が一括給電子１０４からワイヤ１０３に印加される。（一括給電子１０４がワイヤ１０３に加工電圧を印加している。）

そして、ワイヤ１０３と、シリコンインゴット１０５との間で放電が起き、シリコンインゴット１０５を削り（放電加工を行い）、薄板状のシリコン（シリコンウエハ）を作成することが可能となる。

図４は、本発明の極間放電電圧（Ｖｇｎ）及び極間放電電流（Ｉｇｎ）の変化とＴｒ１、Ｔｒ２のＯＮ／ＯＦＦ動作（タイミングチャート）を示す。グラフの横軸は時間である。

まずトランジスタＴｒ１５０３をＯＮし、誘発電圧を印加する。このときワイヤ１０３とワーク１０５間（極間）は絶縁されているため、ほとんど極間放電電流は流れない。その後、極間放電電流が流れ始めて放電を開始するとＶｇｎが電圧降下することで、放電開始を検出しＴｒ２をＯＮすると、大きな極間放電電流を得る。所定時間経過後にＴｒ２をＯＦＦする。Ｔｒ２のＯＦＦを所定時間経過した後に再び一連の動作を繰り返す。
図４を説明する。

図４は本発明における、一括給電子１０４から複数本のワイヤ（１０本）に一括で加工電圧を給電する一括給電での電気回路２とワイヤ放電加工装置１との関係を示す図である。Ｔｒ２がＯＮしている状態であるので、加工電流であるワイヤ電流や極間放電電流が流れている状態を示している。
図４は、図５に示す電気回路２との等価回路を示している。

一般的な個別給電方式の電気回路を、複数のワイヤ（１０本）に一括で加工電流を給電する一括給電での電気回路に導入したとすれば、加工電源部から給電点の間にて加工電流の上限を制限するためには、複数のワイヤ（１０本）に供給される各ワイヤ１０３に流れる電流の合計（１０倍）の加工電流が供給されるように抵抗値を固定した電流制限抵抗体（Ｒｍ）を加工電源部５０１から給電点との間に設置すればよい。
まず、このように固定された抵抗値を持つＲｍを加工電源部５０１から一括給電子１０４との間に設置した場合を説明する。

電流制限抵抗体（Ｒｍ）を設置した場合、１０本全てのワイヤ１０３とワークとの間で放電状態が均一にかつ同時に起こった場合には、固定された抵抗値Ｒｍに応じた加工電流が各ワイヤ１０３に供給され、１０本のワイヤ１０３で加工電流が均等分散されるので各ワイヤ１０３では過剰な加工電流の供給は問題とならない。

しかしながら電流制限抵抗体（Ｒｍ）を設置した場合、１０本全てのワイヤ１０３とワークとの間で放電状態が均一にかつ同時に起こらなかった場合には、固定された抵抗値Ｒｍに応じた加工電流が放電状態になったワイヤ１０３に集中して供給されるので、各ワイヤ１０３では過剰な加工電流の供給が問題となる。つまり、１０本の中でもしも１本のみが放電状態になった場合には、本来均一にかつ同時に起こった場合に１本のワイヤ１０３に供給されるべき加工電流の１０倍の加工電流が、放電状態になっているワイヤ１０３のみに流れるので、ワイヤ１０３が断線してしまうことがある。
５０５は配線５１３の内部抵抗によるインピーダンス（抵抗値）である。Ｖｍｎの
５１３はマイナス側に接続する上り用のケーブルである。加工電源部５０１から一括給電子１０４に加工電圧を供給する。
５２０は配線５１４の内部抵抗によるインピーダンス（抵抗値）である。Ｖｍｎの
５１４はプラス側に接続する下り用のケーブルである。

本発明の配線５１３の抵抗値Ｒｍｎ５０５を十分小さくすることは、従来方式の加工電流制限抵抗体（Ｒｍ）を用いて加工電流を所定の上限に制限するものではなく、１０本の中で１本のみが放電状態になった場合であっても、放電状態となったワイヤ１０３の本数に応じてワイヤの合成の抵抗値が変動するように制御できる機構を備えている。

このように、本発明では配線５１３の抵抗値Ｒｍｎ５０５をワイヤ１０３の抵抗値Ｒｗｎ５０９と比べても十分に小さな抵抗値の範囲にして、放電状態となったワイヤ１０３の本数に応じてワイヤの合成の抵抗値を変動させることで、加工電流の上限を制限するパラメータとしてＲｗｎ５０９の方が支配的になり、配線５１３の抵抗値Ｒｍｎ５０５の影響はほぼ無視することができる。

つまり、本発明では加工電源部５０１から一括給電子１０４までの間に流れ、極間ではワーク１０５に放電する極間放電電流になる加工電流の上限を制限する加工電流制限抵抗体（Ｒｍ）を備えなくてもよいということである。

つまり、本発明ではＲｗｎを１０本（メインローラ８、９を巻回する周回数）で単純に割った抵抗値よりも、Ｒｍｎをもっと小さい抵抗値にすればよいということである。

つまり、加工電流の上限を制限するパラメータとして、電流制限抵抗体（Ｒｍ）の代わりに、各ワイヤ１０３の抵抗Ｒｗｎ５０９であるインピーダンスを利用することで、各ワイヤ１０３にはワイヤ電流Ｉｗｎが安定して供給されるので、ワイヤ１０３に加工電流の集中が起こらない。
５０９はワイヤ１本毎のワイヤによる抵抗値である。

ここで一括給電子１０４から放電部までのワイヤ１０３による抵抗値とは、一括給電子１０４と接触してから、かつ走行するワイヤ（１本）による、放電部までのワイヤ１０３の長さよる抵抗値である。
例えば、ワイヤ１０本（メインローラ８、９を１０周巻回する）に一括で給電する場合の各ワイヤ１０３の抵抗値をそれぞれＲｗ１、Ｒｗ２、〜Ｒｗ１０とする。

一般的な個別給電方式のように、Ｒｍではなく、Ｒｗｎの方を１本毎のワイヤ電流（Ｉｗ）や放電電流（Ｉｇ）の合計値を制限する抵抗とすることで、１本毎に流れるワイヤ電流（Ｉｗｎ）や放電電流（Ｉｇｎ）を制限することができる。つまり給電点（一括給電子１０４）と放電点（放電部）との距離（長さＬ）を変えることでＲｗｎを任意の抵抗値に設定することができる。
例えばＶｍｎ＝６０Ｖ、Ｖｇｎ＝３０Ｖ、Ｒｗｎ＝１０Ωとした場合には、Ｉｗｎ（Ｉｇｎ）＝（６０Ｖ−３０Ｖ）／１０Ω＝３Ａとなる。

なお、上記の計算式では、ワイヤの抵抗値（Ｒｗｎ）による給電点から放電点までの電圧降下を３０Ｖとしたが、加工電源部５０１から給電点までの電圧降下を起こす抵抗（Ｒｍｎ）による給電点から放電点までの電圧降下は考慮していない。

つまり本発明である一括給電方式においてワイヤ１０３に加工電流の集中が起こらないようにするには、ＩｗｎをＲｍｎにより決定すればよくので、１本毎に所望のワイヤ電流（Ｉｗｎ）や放電電流（Ｉｇｎ）を得るためには、加工電源部５０１から給電点までの電圧降下を起こす抵抗ＲｍｎがＲｍｎ＜＜Ｒｗｎの関係になるように設定されればよい。

また各ワイヤ個別のワイヤの抵抗値Ｒｗｎは（１）ワイヤ１０３の材質による電気抵抗値ρ、（２）ワイヤ１０３の断面積Ｂ、（３）ワイヤ１０３の長さＬ、の３つのパラメータからＲｗｎ＝（ρ×Ｂ）／Ｌの関係式によりで定めることができる。

５０１は加工電源部である。Ｖｍｎは放電加工に必要な加工電流を供給するために設定される加工電圧である。加工電源部５０１はＶｍｎを任意の加工電圧に設定することができる。さらに一般的な個別給電方式よりも加工電流の供給量が大きくなるので、４０１と比べると大きな電力（加工電圧と加工電流の積）を供給する容量が必要となる。
加工電源部５０１は一括給電子１０４に加工電圧（Ｖｍｎ）を供給する。

５０２は加工電源部である。Ｖｓｎは放電を誘発するために設定される誘発電圧である。さらにワイヤ１０３とワークとの間にて極間電圧（極間電流）の状態をモニターし、ワーク送り装置の制御に利用する目的にも使用される。加工電源部５０２はＶｓｎを任意の誘発電圧に設定することができる。さらに一般的な個別給電方式よりも誘発電流の供給量が大きくなるので、４０２と比べると大きな電力を供給する容量が必要となる。
加工電源部５０２は一括給電子１０４に加工電圧（Ｖｓｎ）を供給する。
５０３はトランジスタ（Ｔｒ２）である。加工電圧ＶｍｎのＯＮ（導通）状態とＯＦＦ（非導通）状態をスイッチングで切り替える。
５０４はトランジスタ（Ｔｒ１）である。加工電圧ＶｓｎのＯＮ（導通）状態とＯＦＦ（非導通）状態をスイッチングで切り替える。
５０７は放電極間電圧（Ｖｇｎ）である。放電中にワイヤ１０３とワーク１０５との間に印加される放電極間電圧である。
例えば、ワイヤ１０本に一括で給電する場合の各放電極間電圧をそれぞれＶｇ１、Ｖｇ２、〜Ｖｇ１０とする。

放電によりワイヤ１０３とワーク１０５との間に放電極間電圧が印加される部分が放電部である。放電部において、走行する複数本のワイヤ１０３と一括給電子１０４との接触により走行する複数本のワイヤ１０３に一括で給電された加工電圧によりワークに放電する。
５０８は放電極間電流（Ｉｇｎ）である。放電中にワイヤ１０３とワーク１０５との間に流れる放電極間電流である。
例えば、ワイヤ１０本に一括で給電する場合の各放電極間電流をそれぞれＩｇ１、Ｉｇ２、〜Ｉｇ１０とする。

放電によりワイヤ１０３とワーク１０５との間に放電極間電流が流れる部分が放電部である。放電部において、走行する複数本のワイヤ１０３と一括給電子１０４との接触により走行する複数本のワイヤ１０３に一括で給電された加工電圧によりワークに放電する。
５１０はワイヤ１本毎に個別に供給されるワイヤ電流（Ｉｗｎ）である。
例えば、ワイヤ１０本に一括で給電する場合の各ワイヤ電流をそれぞれＩｗ１、Ｉｗ２、〜Ｉｗ１０とする。
５１１は給電点から放電点までの距離Ｌであり、すなわち給電点（一括給電子１０４）から放電点（ワーク）までのワイヤ１０３の長さである。
図５を説明する。
図５は本発明における複数本のワイヤ（１０本）に一括で加工電流を給電する一括給電の電気回路２により複数本のワイヤ１０３に一括給電している図である。

１０４は一括給電子である。一括給電子１０４は走行する複数本のワイヤ１０３に一括で接触する。シリコンインゴット１０５と対向する位置に設けた、１ヶ所の一括給電子１０４から放電パルスを印加し、放電加工を行う。
メインローラを巻回するワイヤ１０３の本数（１０本）に対して１つの電源回路２が接続されている。
以下、図５の配置を参照して、ワイヤ１０３に流れる加工電流（各ワイヤ電流の合計）を説明する。

図５に示すように、給電点（一括給電子１０４とワイヤ１０３が接触する位置）から放電点（ワイヤ１０３とワーク１０５との間）に流れるワイヤ電流は左右のメインローラの２方向に流れるので、各方向に対するワイヤによる抵抗が存在している。
５１１Ｌ１は電流が左のメインローラ方向に流れた場合の給電点と放電点との長さ（距離）であり、Ｌ１の場合に定まるワイヤの抵抗値をＲｗ１ａとする。
５１１Ｌ２は電流が右のメインローラ方向に流れた場合の、放電点と給電点との長さ（距離）であり、Ｌ２の場合に定まるワイヤの抵抗値をＲｗ１ｂとする。
ワイヤ１０３がメインローラ８、９を１周巻回する長さを２ｍとする。
一括給電子１０４は、１周巻回する長さのほぼ半分の距離に配置されているので、放電点と給電点との距離（ワイヤの長さＬ）を１ｍである。
よって一括給電子１０４から放電部までを走行するワイヤ１０３の距離は０．５ｍよりも長い。

ワイヤ１０３の材質の主成分は鉄であり、ワイヤ１０３の直径は０．１２ｍｍ（断面積０．０６×０．０６×πｍｍ^２）である。ワイヤ１０３の抵抗値Ｒｗ１ａ、Ｒｗ１ｂはそれぞれ、同じ長さ（Ｌ１＝Ｌ２＝１ｍ）であるので各々のワイヤの抵抗値は同一の２０Ω程度とすればＲｗ１ａとＲｗ１ｂによる１本（メインローラ８、９を１周巻回する）の合成のワイヤの抵抗値は１０Ω程度となる。

また、図５のようにＬ１及びＬ２の長さによるワイヤの抵抗値を同じ抵抗値にするために、Ｌ１とＬ２の長さが同じになるように一括給電子１０４を配置することが好ましいが、Ｌ１とＬ２の長さの違いが１０％程度（例えばＬ１が１ｍでＬ２が１．１ｍ）ことなるように一括給電子１０４を配置しても特に問題はない。
放電電圧Ｖｇ１〜Ｖｇ１０がほぼ等しい場合、ＶｍｎがそれぞれのＲｗ１〜Ｒｗ１０に印加されているので、Ｉｗ１〜Ｉｗ１０は全て同じワイヤ電流である。
ここでワイヤの抵抗値による電圧降下値（Ｒｗ１×Ｉｗ１）と放電電圧（Ｖｇｎ）からＶｍｎを求める．
一括給電子１０４から放電部までの電圧降下は走行するワイヤの抵抗値による電圧降下である。
Ｒｗ１＝１０Ω（一括給電子１０４から放電部までの抵抗値）。
Ｉｗ１＝３Ａ
Ｖｇｎ＝３０Ｖとすれば、Ｖｍｎは以下のようになる。
Ｖｍｎ＝１０（Ω）×３（Ａ）＋３０Ｖ＝６０Ｖ
よって一括給電子から放電部までの電圧降下は１０Ｖよりも大きい。
よって一括給電子から放電部までの抵抗値が１Ωよりも大きい。
尚、Ｒｗｎ＝（ρ×Ｂ）／Ｌの関係式により、ワイヤ１０３のパラメータによりワイヤの抵抗値による電圧降下値を設定してもよい。

よって、１０本全てのワイヤ１０３とワークとの間で放電状態が均一にかつ同時に起こった場合の抵抗値Ｒｍｎを計算すると、全てのワイヤ１０３で放電状態となり１０本のワイヤ１０３にＩｗ１＝３Ａが流れている場合は、加工電源部５０１から給電点との間では全体で１０本×３Ａ＝３０Ａの加工電流が必要となり、この加工電源部５０１から給電点との間の電圧降下をＶｍｎの１００分の１（０．６Ｖ）とすれば、この場合の抵抗値Ｒｍｎは以下のようになる。
よって加工電源部５０１から一括給電子１０４までの電圧降下は１Ｖよりも小さい。
よって加工電源部５０１から一括給電子までの電圧降下は、一括給電子から放電部までの電圧降下よりも小さい。
Ｒｍｎ＝０．６Ｖ／３０Ａ＝０．０２Ω（加工電源部５０１から一括給電子１０４までの抵抗値）。
よって加工電源部５０１から一括給電子までの抵抗値は０．１Ωより小さい。
よって加工電源部５０１から一括給電子までの抵抗値が、一括給電子から放電部までの抵抗値よりも小さい。
よって加工電源部５０１から一括給電子１０４までの電圧降下と一括給電子１０４から放電部までの電圧降下との比は１０倍以上である。
よって加工電源部５０１から一括給電子１０４までの抵抗値と一括給電子から放電部までの抵抗値との比が１０倍以上である。
よってＲｍｎを考慮して１０本の加工電流をもとめると（６０Ｖ−３０Ｖ）／（（１０Ω／１０本）＋０．０２Ω）＝２９．４１Ａとなり
ワイヤ一本当たりに割ったあとの加工電流は２．９４１Ａとなる。

また、１０本全てのワイヤ１０３とワークとの間で放電状態が均一にかつ同時に起こらなかった場合に１本のワイヤ電流が流れたとしても、ワイヤ一本当たりに割ったあとの加工電流は（６０Ｖ−３０Ｖ）／（１０Ω＋０．０２Ω）＝２．９９４Ａとなり、１０本全てのワイヤ１０３とワークとの間で放電状態が均一にかつ同時に起こった場合と比べても大きな差は生じない。

また更なる効果として、複数本であるＮ本（メインローラ８、９をＮ周巻回する）のワイヤ１０３に１箇所（一括）で給電する場合には、１本のワイヤ毎に個別に給電したときの加工速度に比べて加工速度が１／Ｎとなるが，本発明によれば、Ｎ本のワイヤ１０３へ１箇所（一括）で給電した場合においても１本のワイヤ１０３へ個別に給電したときと同等の加工速度を維持することができる。
＜保持装置８００の第１の実施形態＞
図６を説明する。

図６、図１０、図１１、図１２、図１５、図１６は本発明の保持装置８００の第１の実施形態を示す図である。第１の実施形態の保持装置８００は、円錐台型のインゴットを保持する場合に好適な保持装置８００である。
図６は本発明における保持装置（押さえユニット）８００の各種部品の配置を示した図である。
以下各種部品の機能をそれぞれ説明する。
８００は押さえユニットである。
８００は、インゴットをスライスするワイヤ放電加工装置において用いられ、鉛直方向に落下しないようにこのインゴット１０５を保持する保持装置である。

図６の例ではインゴットの形状は円筒型であって、保持部が円形状(平面)である非加工面と接することで保持し、通電部が円筒形状(曲面である円柱面)であるワイヤ１０３によってスライス加工される加工面と接することで通電させている。

また、押さえユニット８００は、略円筒であるインゴット（円筒型のインゴットにオリフラ面がある場合も含む）をインゴットの円筒となる面に対向する方向に放電スライス加工する装置１において用いられる保持装置である。
また、押さえユニット８００は、インゴットをインゴットにある表面に略垂直な方向に放電スライス加工する装置１において用いられる保持装置である。
以下は押さえユニット８００を構成するための各種部品である。

８１１はサイドステーＡである。このサイドステーＡとは通電部８１４が接触する箇所とは異なる箇所（ワーク１０５の円形となっている一方の面）でワーク１０５に密着することでワークが鉛直方向に落下しないように保持する保持部である。
８１１は、インゴットのスライスされない非加工面と接することで、インゴットが鉛直方向に落下しないように保持する。
８１２も、インゴットのスライスされない非加工面と接することで、インゴットが鉛直方向に落下しないように保持する。
保持部８１１は、インゴットの円となる面と接することで、インゴットが鉛直方向に落下しないように保持するために機能する。

保持部８１１は、通電部８１４が接している一つの表面とは異なるインゴットのいずれかの表面と接することで、インゴットが鉛直方向に落下しないように保持するために機能する。
また、押さえユニット８００には複数（２枚）の保持部があり、この複数の保持部が円となる面（図９の９０１）の両面でそれぞれ接している。

保持部８１１は、図１７のようにワーク１０５の加工が進むとワイヤ１０３に接触してしまうルート上にはないので、ワイヤ１０３により放電加工されない場所（位置）でワーク１０５に密着してワークが鉛直方向に落下しないように保持している。

通電部８１４の役割は、安定的に通電するのみであるので、通電部８１４単体であればインゴットを鉛直方向に落下しないように保持することではないので、通電部８１４以外の部分でワークが鉛直方向に落下しないように保持する必要がある。

８１４は、インゴットのスライスされる加工面の表面形状とは全面で接触しない表面形状で、加工面と接することで、加工面と放電加工による加工電流を通電させている。
８１４は、インゴットが放電加工される場合には、インゴットの加工面がスライスされたあとに通電部がスライスされる箇所に配置されている。
保持部８１１によって鉛直方向に落下しないようにインゴットを保持しない場合には、通電部８１４はインゴットを保持することはできない。
保持部８１１の役割はまず、ワーク１０５のスライスが完全に終了するまで、ワーク１０５が鉛直方向に落下しないように保持できればよい。

ワーク１０５のスライスが完全に終了するまでは、ワーク１０５が鉛直方向に落下しないように保持するためには、図１８のようにワーク１０５がワイヤ１０３により放電加工されて、ワーク１０５が移動していくルート（スライス面方向）以外の場所（位置）でワーク１０５を保持する必要がある。なぜなら、ワーク１０５が移動していくルート（スライス面方向）には複数本の並列したワイヤ１０３が走行しているので、ワーク１０５が移動していくルート（スライス面方向）以外の場所（位置）で保持しないと走行するワイヤ１０３と衝突してしまうからである。

よって保持部８１１を円筒状のインゴット１０５の円形となっている面（図９の９０２）で保持すれば、図１７に示したように走行するワイヤ１０３と保持部８１１とは衝突することはない。

さらに、保持部８１２を円筒状のインゴット１０５の円形となっている面（図９の９０２）の反対側からも両サイドから同時に保持することで、重量の重い円筒状のインゴット１０５であっても鉛直方向に落下することはなく安定的に保持することができる。
＜保持部８１１の第１の実施形態＞

保持部８１１と保持部８１２をつかって重量の重い円筒状のインゴット１０５を落下させないためには、図１０に示したように、保持部８１１と保持部８１２の間に重い円筒状インゴット１０５を挟んで、保持部８１１と保持部８１２の落下する方向の先端部分に設けた爪部で挟んだインゴット１０５の両端をひっかけてもいい。図１０に示したように、爪部はワーク１０５が移動していくルート（スライス面方向）以外の場所（位置）で保持しているので走行するワイヤ１０３と保持部８１１とは衝突することはない。

保持部８１１がインゴット１０５のスライスされない非加工面と接し、かつ加工面にも接触する爪部を保持部８１１が備えることで、鉛直方向に落下しないようにインゴットを保持することができる。

さらにこの場合、爪部によりインゴットを鉛直方向に落下しないように両側から持ち抱えることができるので、保持部８１１と保持部８１２がインゴット１０５と両側から接触する接触面には非導電性の接着剤を一切使用しなくてもインゴット１０５は鉛直方向に落下しないが、爪部で引っ掛ける必要がありので、爪部のでっぱり部分がワーク１０５が移動していくルート（スライス面方向）での加工当初にルート上の邪魔となってしまい、インゴット１０５の両側でスライス加工できない領域が一部発生するという短所がある。
つまり、爪部により、保持装置８００がインゴットに接触する何れの境界面に、インゴットを保持装置に固定する接着剤を用いずに、インゴットが落下しないように保持することも可能である。
＜保持部８１１の第２の実施形態＞

保持部８１１と保持部８１２をつかって重量の重い円筒状のインゴット１０５を落下させないためには、図１１に示したように、保持部８１１と保持部８１２の間に重い円筒状インゴット１０５を挟んで、保持部８１１（または保持部８１２）とインゴット１０５の接触面に非導電性の接着剤を使用して、円筒状インゴット１０５を接着してもいい。図１１に示したように、保持部８１１はワーク１０５が移動していくルート（スライス面方向）以外の場所（位置）で接着しているので走行するワイヤ１０３と保持部８１１とは衝突することはない。

保持部８１１と非加工面とが接触する界面に接着部材（非導電性の接着剤）が塗布されて保持部８１１と非加工面とが接することで、鉛直方向に落下しないようにインゴット１０５を保持している。

さらにこの場合、非導電性の接着剤の保持力でインゴットを鉛直方向に落下しないように両側から持ち抱えることができ、実施例１のような爪部で引っ掛けなくてもよいのでルート（スライス面方向）での加工当初にルート上の邪魔とならず、インゴット１０５の両側でスライス加工できない領域は発生しない。
なお、保持部８１１の素材としては、主に保持機能を目的とするので、ガラス、半導体、プラスチック、ゴミ等、導電性以外の素材あってもよい。

本発明では、導電性の素材であるアルミを使用しているのは、保持部８１１の少なくとも一部をワークに流れる電流を通電させるために導電性の素材としてワークの円形となる面（図９の９０２）と接触させることで、保持機能に合わせて通電性能も合わせて持たせることができるためである。

８１２はサイドステーＢである。このサイドステーＢとは通電部８１４が接触する箇所とは異なる箇所（ワーク１０５の円形となっている他方の面）でワーク１０５に密着することでワークが鉛直方向に落下しないように保持する保持部である。
複数の保持部８１１と８１２を備えており、複数の保持部が複数箇所の非加工面とそれぞれ接することでインゴットを保持している。

保持部８１２は、図１７のようにワーク１０５の加工が進むとワイヤ１０３に接触してしまうルート上にはないので、ワイヤ１０３により放電加工されない場所（位置）でワーク１０５に密着してワークが鉛直方向に落下しないように保持している。
保持部８１２は、インゴットの円となる面と接することで、インゴットが鉛直方向に落下しないように保持するために機能する。

保持部８１２は、通電部８１４が接している一つの表面とは異なるインゴットのいずれかの表面と接することで、インゴットが鉛直方向に落下しないように保持するために機能する。
８１３はインゴット押さえローラ支持板である。

８１４はインゴット押さえローラである。このインゴット押さえローラとは円筒形となる面の曲面形状とは相反する形状で円筒形となる面に接触して、接触によりワーク１０５に流れる電流を通電させる導電性の通電部である。
通電部８１４は、インゴットの円筒となる面の形状とは相反する表面の形状にて円筒となる面と接することで、インゴットと電流を通電させるために機能する。

通電部８１４は、インゴットにある表面の形状とは相反する表面の形状にてインゴットのいずれか一つの表面と接することで、インゴットと電流を通電させるために機能する。

通電部８１４は、図１７のようにワーク１０５の加工が進むとワイヤ１０３に接触してしまうルート上にあるので、ワイヤ１０３により放電加工される場所（位置）でワーク１０５と接触してワーク１０５に流れる電流を通電させている。

通電部８１４の役割はまず、ワーク１０５のスライスが完全に終了するまで、ワーク１０５に流れる電流の通電を維持しなければならない。つまり、ワーク１０５の円筒形となる面（図９の９０１）とは必ず直接接触していなければならない。しかし、図９のビームの形状のように、ワークと接触する面（図９の９０１）の形状に沿った形状で接触させた場合には、広い面積でワーク１０５に流れる電流の通電を維持することが可能であるが、円筒状のインゴットを完全にスライスしようとした場合には、放電加工が終了する直前の過程においては、ビームとインゴットの両方を放電加工する領域（図９の９０３）が発生してしまう。このビームとインゴットの両方を放電加工する領域においては、それぞれ素材の異なるビーム（例えばＡｌ等）とインゴット（例えばＳｉＣ等）の混在領域を一本のワイヤ１０３にて同時に放電加工しなくてはならず、その混在領域では一本のワイヤ１０３で起こる放電現象に局所的な違いがおこるため、放電現象が不安定となり、ワイヤ１０３が断線しやすくなる。

よって、図９の９０３のようなビームとインゴットの両方を放電加工する領域を無くすためには、通電部８１４の役割としては円筒状ワークと接触する面積は極力狭くして、かつ安定的に通電できればよい。つまり円筒状ワークと接触する最適な形状としては、通電するワークの表面（図９の９０１）に沿った形状の通電部の表面同士を互いに広い面積で接触させるのではなく、通電するワークの表面（図９の９０１）とは相反する形状になるように通電部の接触表面部分のみを加工し、図１８に示したような通電部８１４の接触面の形状で互いに狭い面積で接触させればよい。

このように図１８に示したような通電部８１４の形状で互いに狭い面積で接触させることで接触する面積が極力狭くしてかつ安定的に通電できるが、図９に示したビームと比べると接触する界面の面積が減少するので、たとえ導電性の接着剤を使用してもインゴットを鉛直方向に落下しないように保持することはできなくなる。よって通電部８１４の役割は、安定的に通電するのみで、インゴットを鉛直方向に落下しないように保持することではないので、通電部８１４がワーク１０５と接触する界面には導電性の接着剤を一切使用しなくてもよい。

このように通電部８１４単体ではインゴットを鉛直方向に落下しないように保持することではないので、図８および図１７にて示したように、スライス加工が完全に終了すると、スライスされたウエハ１０５を保持することはできないので、スライスされたウエハ１０５は鉛直方向に落下してしまう。
８１５はベースである。
図７を説明する。
図７は保持装置（押さえユニット）８００とマルチワイヤ放電加工装置の相対的な配置位置の関係を正面図で示した図。図８の加工終了時（２）の状態である。
８０８はスライスウエハ押さえである。
図８を説明する。
図８は保持装置（押さえユニット）８００とマルチワイヤ放電加工装置の相対的な配置位置の加工時の変遷を正面図で示した図である。
図９を説明する。
図９は従来技術におけるインゴットを保持する方法を示した図である。

従来技術では、加工面とビームを面接触させ、その界面に接着剤（導電性）を使用すすることで、インゴットとビームとの通電を保ち、さらにインゴットがビームから落下しないように保持している。この時に加工面が平面である角状のインゴットの場合には、放電加工が進行する領域においては、それぞれの素材が異なるビームとインゴットとが混在して放電加工が進行する領域が存在しないが、加工面が曲面である円筒型のインゴットの場合には、放電加工が進行する領域においては、それぞれの素材が異なるビームとインゴットとが混在して放電加工が進行する領域が存在してしまう。
図１０を説明する。
図１０は保持装置８００を構成する部品（サイドステー爪有り）の形状と材質を示した図である。
図１０は保持部の実施例１を示した図である。

図１０において保持部８１１にはインゴット１０５が円筒となる面（図９の９０２）に対向する方向（加工方向）にスライスされているときに放電加工されない場所においてインゴット１０５が鉛直方向に落下しないように保持可能な爪部がある。
また保持部８１１には、支持ブロック８１６にビスを使って取り付けるためのビス穴（２か所）が開けられている。
また保持部８１２にも、ベース８１５にビスを使って取り付けるためのビス穴（２か所）が開けられている。

図１０において保持部８１２にもインゴット１０５が円筒となる面（図９の９０２）に対向する方向（加工方向）にスライスされているときに放電加工されない場所においてインゴット１０５が鉛直方向に落下しないように保持可能な爪部がある。
図１１を説明する。
図１１は保持装置８００を構成する部品（サイドステー爪なし）の形状と材質を示した図である。
図１１は保持部の実施例２を示した図である。

図１１において保持部８１１は、円となる面（図９の９０２）との接触界面には非導電性の接着剤が塗布されて円となる面と接することで、インゴット１０５を保持している。

図１１において保持部８１２も、円となる面（図９の９０２）との接触界面には非導電性の接着剤が塗布されて円となる反対面と接することで、インゴット１０５を保持している。
図１２を説明する。
図１２は保持装置８００を構成する部品（インゴット押さえローラ）の形状と材質を示した図である。
図１３を説明する。
図１３はインゴット押さえローラとインゴットの接触状態を説明した図である。
図１４を説明する。
図１４は加工槽６を構成する部品（加工槽内ウエハ押さえ）の形状と材質を示した図である。
図１５を説明する。
図１５は保持装置８００を構成する部品（押さえ支持板と支持ブロック）の形状と材質を示した図である。

保持装置８００を構成する他の部品（通電部や保持部）とインゴットのサイズによる距離を微調整できる長穴があり、ネジ止めの位置を変えて他の部品（通電部や保持部）とインゴットとの距離を調整することができる。
図１６を説明する。
図１６は保持装置８００を構成する部品（ベース）の形状と材質を示した図である。
保持装置８００を構成する他の部品とはネジ止めで連結されている。
図１７を説明する。
図１７は保持装置８００とマルチワイヤ放電加工装置の相対的な配置位置の加工時の変遷を側面図で示した図である。

図１７に示したように通電部８１４は、インゴット１０５が円筒となる面に対向する方向（加工方向）にスライスされたあとに放電加工される場所（加工終了（２）の時の位置）において円筒となる面（図９の９０２）と接することで、インゴットと電流を通電させている。

つまりこの位置で接することで放電スライス完了するまで、インゴットとの通電を継続させることができる。よってインゴット１０５がウエハにスライスされたあとには通電部８１４も一部がスライスされる。

さらに通電部８１４は、円筒となる面（図９の９０２）との接触界面には導電性の接着剤が塗布されずに円筒となる面と接しているので、スライス加工されたあとのインゴット（ウエハ）を保持できず、Ｚステージ引き揚げ（３）に示したようにスライス加工されたウエハは重力方向に落下する。

図１７に示したように保持部８１１と保持部８１２は、インゴット１０５が円筒となる面に対向する方向にスライスされているときに放電加工されない場所において円となる面（図９の９０１）と接することで、インゴット１０５を保持している。つまりこの位置で保持することで放電スライスする間に、マルチワイヤ１０３の走行位置には一切干渉しない位置で、インゴットが上下に駆動する間にインゴット１０５の保持を継続することができる。
＜通電部８１４の変形例＞
図１８を説明する。
図１８は通電部８１４の形状の変形例を各種インゴット（円筒型、立方体型）の加工面形状に対応した例を示した図である。
なお、各種インゴットの形状は円筒（円柱）型、立方体型のものでなくても通電部８１４は使用できる。例えば三角柱や多角柱でもよい。
以下本発明の課題を解決するために好適な通電部の形状とインゴットの形状との関係を説明する。
（その１）円筒型のインゴットと通電部（図１８のＡ型）を用いて通電させる場合を説明する。

通電部と加工面とが接触して通電している関係を正面から見た場合には、通電部はワイヤ１０３に向かって凸型をしている。なおこの場合凸型であればよいので、ロール型ではなく蒲鉾型であってもよい。
通電部と加工面とが接触して通電している関係を側面から見た場合には、通電部は加工面とは、面接触ではなく線接触している。
（その２）円筒型のインゴットと通電部（図１８のＢ型）を用いて通電させる場合を説明する。
通電部と加工面とが接触して通電している関係を正面から見た場合には、通電部はワイヤ１０３に向かって凸型をしている。
通電部と加工面とが接触して通電している関係を側面から見た場合には、通電部は加工面とは、面接触ではなく線接触している。
（その３）円筒型のインゴットと通電部（図１８のＣ型）を用いて通電させる場合を説明する。
通電部と加工面とが接触して通電している関係を正面から見た場合には、通電部はワイヤ１０３とは平行な平坦型をしている。
通電部と加工面とが接触して通電している関係を側面から見た場合には、通電部は加工面とは、面接触ではなく線接触している。
（その４）角状のインゴットと通電部（図１８のＡ型）を用いて通電させる場合を説明する。

通電部と加工面とが接触して通電している関係を正面から見た場合には、通電部はワイヤ１０３に向かって凸型をしている。なおこの場合凸型であればよいので、ロール型ではなくてもロール型を半分にした蒲鉾型であってもよい。
通電部と加工面とが接触して通電している関係を側面から見た場合には、通電部は加工面とは、面接触ではなく線接触している。

このように通電部の形状をワイヤ１０３とは平行な平坦型あるいはワイヤ１０３に向かって凸型にすることで、放電加工が進行する領域においては、それぞれの素材が異なるインゴット保持部とインゴットとが混在して放電加工が進行する領域がなくなり、加工面と通電部の接触面積を最小限にすることができる。
＜保持装置８００の第２の実施形態＞
図１９を説明する。

図１９は本発明の保持装置８００の第２の実施形態を示す図である。第２の実施形態の保持装置８００は、円錐台型のインゴットを保持する場合に好適な保持装置８００である。
１０５は円錐台型のインゴットである。円錐台型のインゴットの加工面にはテーパ角がある。

８２０は角度調整機構（角度調整部）である。このようにおおよそ円錐台形状である加工面のテーパ角度に相応するように、通電部８１４が円筒形状または円錐台形状である加工面と接触する角度（接触角）を調整するためのものである。

図１９の例ではインゴットの形状は円錐台型であって、保持部が円形状である非加工面と接することで保持し、通電部が円錐台形状である加工面と接することで通電させている。
図２０を説明する。
保持部に、水流による抵抗を抑えるための傾斜部８２１を加えたものである。
なおこの場合には、１０５は円錐台型、円筒型、角型のインゴットであってもよい。
図２１を説明する。
水流の水流による抵抗による問題を示したものである。
図２２を説明する。
保持部に、水流による抵抗を抑えるための面積拡張部を加えたものである。
なおこの場合には、１０５は円錐台型、円筒型、角型のインゴットであってもよい。
＜保持装置８００の第３の実施形態＞
図２３を説明する。

図２３〜図２５は本発明の保持装置８００の第３の実施形態を示す図である。第３の実施形態の保持装置８００は、ドーム型のインゴットを保持する場合に好適な保持装置８００である。

ＳｉＣの結晶を坩堝（るつぼ）で作成する場合、坩堝（るつぼ）でＳｉＣインゴッドを成長させ、成長したＳｉＣインゴッドを坩堝から切り離す。そして、切り離した部分を研磨して平らな面(図２４の平面形状をした側)を出し、周辺は円筒型に切りおとすが、結晶の成長方向であるドーム部分(図２４のドーム形状をした側)は切り離さないインゴッドでスライス加工を行う場合がある。

その際には、ウエハの面内の結晶方向に合わせてオリフラが設けられるが、そのオリフラ部分に給電用の通電部８１４を利用して放電加工に必要な電気を給電する。
材質は、アルミ、ＳＵＳ、グラファイトなどである。
また、この通電部８１４は、インゴッドの加工終了時において、スライスされたウエハが水流によってバラつかないように、複数個で押さえる役目も担う。
また、インゴッド取り付け時には、保持部８１１とインゴッドを非導電性の接着剤を使用して取り付ける。
保持部８１１については、材質はアルミ、ＳＵＳなどが好ましい。
取り付ける際には、ステーに備えている爪部にインゴッドの部分をひっかけることにより取付位置再現性の精度を確保することが可能となる。
図２４を説明する。

保持部８１１は、片側で押さえており、この部分からも加工用の電気が供給されるがインゴッド前面を覆うように設置することで、電気的な供給のムラを避けている。

押さえ支持板８１３については、通電部８１４の高さを調整できるように長穴を設けており、微妙なインゴッドサイズの大きさのズレに合わせることが可能である。
図２５を説明する。

水流避けである傾斜部８２１は、加工開始時の部分と加工終了時の部分に備えており、水流を一方向に安定させて流れる役割をもっており、それによるワイヤ１０３の暴れを防ぐことが可能となった。

加工開始時には、水流の影響によるワイヤ１０３の暴れを防ぎ、切始めのワイヤ間隔のバラつきを抑え、加工終了時には、水流の影響による暴れを防ぎワイヤ１０３の暴れや、スライス終了時のウエハの暴れを抑えることが可能である。

１ マルチワイヤ放電加工装置（放電スライス加工する装置）
２ 電源装置
３ ワーク送り部
１０ 給電ユニット
１０３ ワイヤ電極（マルチワイヤ）
１０４ 一括給電子
１０５ スライス前のワーク（インゴット）
１０５ スライス後のワーク（ウエハ）
８００ ワーク保持部（保持装置）
８１４ 通電部（通電手段）
８１１ 保持部Ａ（保持手段）
８１２ 保持部Ｂ（保持手段）
８１５ ベース
８１６ 支持ブロック
８１３ 押さえ支持板

Claims (8)

1. インゴットをワイヤが並設された間隔でスライスする放電加工において用いられる保持装置であって、
   前記並設されたワイヤによる放電加工が行われない第１の位置に配置された前記インゴットを保持する保持部と、
   前記インゴットの保持機能は備えずに、前記インゴットと前記ワイヤとの間に電流が流れるように前記インゴットに通電する通電部とを備え、
   前記通電部は、前記並設されたワイヤによる放電加工による前記インゴットのスライスが終了するまで、前記ワイヤと接触しない第２の位置に配置され、
   前記保持部は前記インゴットが落下しないように保持する爪部を有し、
   前記保持装置が前記インゴットに接触する何れの境界面に前記インゴットを前記保持装置に固定する接着剤を用いず、前記爪部により当該インゴットが落下しないように保持可能であることを特徴とする保持装置。
2. 前記インゴットのスライスが終了することとは、前記第２の箇所に前記並設されたワイヤが到達することであることを特徴とする請求項１に記載の保持装置。
3. 前記通電部は、前記第２の位置で前記インゴットと線接触すること
   を特徴とする請求項１又は２に記載の保持装置。
4. 前記保持装置は、円筒型のＳｉＣインゴットを放電加工するために用いられることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載の保持装置。
5. 前記通電部は、前記インゴットが保持装置から落下しないよう保持する導電性の接着剤を用いずに、前記保持部が当該インゴットを保持すること
   を特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載の保持装置。
6. インゴットの保持機能は備えずに、前記インゴットと並設されたワイヤとの間に電流が流れるように前記インゴットに通電する通電部による通電工程を備え、前記通電部は、前記ワイヤによる放電加工による前記インゴットのスライスが終了するまで、前記ワイヤと接触しない第２の位置に配置される通電部であり、前記インゴットを前記ワイヤが並設された間隔でスライスする放電加工において用いられる保持装置を用いたインゴットの保持方法であって、
   前記インゴットが落下しないように保持する爪部を有する保持部により、前記保持装置が前記インゴットに接触する何れの境界面に前記インゴットを前記保持装置に固定する接着剤を用いず、前記爪部により当該インゴットが落下しないように、前記並設されたワイヤによる放電加工が行われない第１の位置で前記インゴットを保持する保持工程
   を備えることを特徴とするインゴットの保持方法。
7. インゴットをワイヤが並設された間隔でスライスするワイヤ放電加工装置であって、
   前記並設されたワイヤによる放電加工が行われない第１の位置に配置された前記インゴットを保持する保持部と、
   前記保持部のような前記インゴットの保持機能は備えずに、前記インゴットと前記ワイヤとの間に電流が流れるように前記インゴットに通電する通電部とを備え、
   前記通電部は、前記並設されたワイヤによる放電加工による前記インゴットのスライスが終了するまで、前記ワイヤと接触しない第２の位置に配置され、
   前記保持部は前記インゴットが落下しないように保持する爪部を有し、
   前記保持部が前記インゴットに接触する何れの境界面に前記インゴットを前記保持部に固定する接着剤を用いず、前記爪部により当該インゴットが落下しないように保持可能であることを特徴とするワイヤ放電加工装置。
8. インゴットをワイヤが並設された間隔でスライスするワイヤ放電加工装置を用いたインゴットの加工方法であって、
   前記インゴットが落下しないように保持する爪部を有する保持部により、前記保持部が前記インゴットに接触する何れの境界面に前記インゴットを前記保持部に固定する接着剤を用いず、前記爪部により当該インゴットが落下しないように、前記並設されたワイヤによる放電加工が行われない第１の位置に配置された前記インゴットを保持する保持工程と、
   前記保持工程のような前記インゴットの保持機能は備えずに、前記インゴットと前記ワイヤとの間に電流が流れるように前記インゴットに通電する通電工程とを備え、
   前記通電工程は、前記並設されたワイヤによる放電加工による前記インゴットのスライスが終了するまで、前記ワイヤと接触しない第２の位置に配置されることを特徴とするインゴットの加工方法。
   

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