JPH09123163A - ワイヤソーのワーク保持装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 砥粒が付着し高速走行するワイヤ１３に押し
当ててワークＷを薄板状に切断するワイヤソーにおい
て、切断後のウェーハの取り出しが短時間にでき、接着
剤がウェーハに残るおそれもなく、さらに、切断後のワ
ークＷにワイヤ１３を再び接触させずにウェーハを取り
出すことができるワーク保持装置を提供する。 【解決手段】 ワークＷのＸ方向両端面に保持板５１を
接合し、ワークＷと取付板５２との間に隙間を設けて保
持板５１を取付板５２に取り付け、取付板５２を移動ブ
ロック２３（ワークＷを保持してＺ方向に移動自在なも
の）に装着する。ワークＷと保持板５１との接合は接着
剤又は氷によって行う。また、ワイヤ１３を境にして移
動ブロック２３の反対側にワーク受け部４０を設け、切
断されて薄板状になった部分ＷａをＹ方向に固定しなが
らワークＷを切断する。 【効果】 切断が完了すると、ワークＷの両端部分Ｗｂ
を除いてウェーハとして１枚ずつ分離される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、砥粒が付着したワ
イヤを高速走行させ、そのワイヤにワークを押し当てて
ワークを薄板状に切断するワイヤソーの、ワーク保持装
置に関する。なお、本明細書では、互いに直交する３軸
方向を各々Ｘ方向、Ｙ方向、Ｚ方向という。

【０００２】

【従来の技術】半導体材料（シリコン等）やセラミック
ス等の被加工物（本明細書では「ワーク」という）を薄
板状に切断する切断装置の一つにワイヤソーがある。こ
のワイヤソーは砥粒が付着したワイヤを多数平行に並べ
て高速走行させ、そのワイヤにワークを押し当てること
によってワークを切断する。

【０００３】このようなワイヤソーの一例の加工部の構
成を図９・図１０に示す。この例ではワークは円柱形状
をしたシリコンのインゴットである。図９は正面図で、
図１０のＥ−Ｅ断面に相当する。図１０は図９のＤ−Ｄ
断面図（ただし、支持板１１は図示省略）である。いず
れもワーク切断途中の状態を表している。図９・図１０
に示すように、加工部は大きく分けてワイヤ駆動部１０
とワーク駆動部８０から構成されている。

【０００４】ワイヤ駆動部１０では、２個の支持板１１
の間に３個の溝付きローラ１２が回転自在に支持されて
いる。溝付きローラ１２には円周上に多数の溝が形成さ
れ、各溝にワイヤ１３が順次巻き掛けられて平行なワイ
ヤ列が構成されている。溝付きローラ１２は図示しない
モーターによって回転され、その結果ワイヤ１３は高速
走行する。さらに、ワイヤ１３には図示しない砥粒液供
給装置から砥粒液が吐出されて砥粒が付着する。

【０００５】ワーク駆動部８０ではコラム８１にリニア
ガイド８２が設けられ、リニアガイド８２にＺ方向移動
自在に移動ブロック８３が支持されている。また、移動
ブロック８３の先端２箇所には角溝部８４が形成され、
角溝部８４の上方に各々クランプシリンダー８５が設け
られている。

【０００６】加工部はこのように構成され、まず、ワイ
ヤ１３に対する影響の小さい特定の材料（カーボン等）
からなるスライスベース８６がワークＷの外周の一部に
接着され、さらにスライスベース８６に取付板８７が接
着される。そして、ワークＷが取り付けられた取付板８
７を角溝部８４に挿入すると、クランプシリンダー８５
によって取付板８７が固定される。

【０００７】こうしてワークＷが装着された後、起動操
作するとワイヤ１３がＹ方向に高速走行し、移動ブロッ
ク８３がＺ下方向に移動して、スライスベース８６が接
着されていない側からワークＷが切断されていく。ワー
クＷの部分が全て切断され、スライスベース８６の一部
が切り込まれた状態で切断は完了する。

【０００８】次に、ワークＷの切断が完了すると、移動
ブロック８３がＺ上方向に移動して薄板状になった部分
Ｗａがワイヤ１３から抜き出される。そして、ワークＷ
は取付板８７ごと外部に取り出され、別の装置でワーク
Ｗからスライスベース８６が剥離される。スライスベー
ス８６が剥離されると、薄板状になった部分Ｗａは１枚
ずつ分離される。１枚ずつ分離されたもの（以下、「ウ
ェーハ」という）は、半導体素子の基板となる。ただ
し、ワークＷの両端部分は一般的に使用しない。なお、
スライスベース８６の剥離は、一般的にワークＷごと熱
湯（１００゜程度）の中に入れ、ワークＷとスライスベ
ース８６との間の接着剤を軟化させて行う。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
方法では、スライスベース８６を剥離するために専用の
剥離装置が必要であるとともに、剥離に時間がかかる。
また、スライスベース８６が剥離されても接着剤がウェ
ーハに残ることがあり、スライスベース８６を剥離する
ときや残った接着剤を除去するときにウェーハを破損す
るおそれがある。さらに、ワークＷがワイヤ１３から抜
き出されるときに、薄板状になった部分Ｗａにワイヤ１
３が再び接触するため、その部分に傷が付きやすいとい
う問題がある。

【００１０】本発明はこのような事情を鑑みてなされた
もので、砥粒が付着し高速走行するワイヤ１３に押し当
ててワークＷを薄板状に切断するワイヤソーにおいて、
切断後のウェーハの取り出しが短時間にでき、接着剤が
ウェーハに残るおそれもなく、さらに、切断後のワーク
Ｗにワイヤ１３を再び接触させずにウェーハを取り出す
ことができるワーク保持装置を提供することを目的とす
る。

【００１１】

【課題を解決するための手段】本発明は、前記目的を達
成するために、ワークＷと取付板側との接合をワークＷ
のＸ方向両端部分で行うようにする。

【００１２】すなわち、ワイヤソーのワーク保持装置の
第一の方法を次のように構成する。 （イ）ワークＷのＸ方向両端面に保持板５１を接合し、
ワークＷと取付板５２との間に隙間を設けて保持板５１
を取付板５２に取り付け、取付板５２を移動ブロック２
３に装着する。 （ロ）ワイヤ１３を境にして移動ブロック２３の反対側
にワーク受け部４０を設ける。 これによって、ワークＷの切断が完了すると（ワイヤ１
３が取付板５２にかかる前）、ワークＷのＸ方向両端部
分は保持板５１及び取付板５２に保持されたままである
が、その他の部分は１枚ずつ分離されて（ウェーハとな
る）、ワーク受け部４０の受け皿４１に残る。

【００１３】この場合、ワーク受け部４０を次の２つの
いずれかの方法で構成することによって、切断中にワー
クＷの薄板状になった部分Ｗａが反る（互いに接触す
る）ことを防ぐことができる。一つの方法は、次のとお
り。 （イ）ワーク受け部４０をＺ方向移動自在で移動ブロッ
ク２３側に付勢されるようにする。 （ロ）ワーク受け部４０に、ワークＷをＹ方向に固定す
るワーク固定手段を設ける。 （ハ）ワークＷがワーク受け部４０の受け皿４１に当接
した段階で、ワーク固定手段によってワークの薄板状に
なった部分ＷａをＹ方向に固定しながら、移動ブロック
２３とワーク受け部４０を同期移動させてワークＷの切
断を継続する。

【００１４】他の方法は、次のとおり。 （イ）ワーク受け部６０をＺ方向移動自在で移動ブロッ
ク２３側に付勢されるようにする。 （ロ）ワーク受け部６０に、ワイヤ１３と同じ間隔で櫛
歯状突起６１ａが形成された受け皿６１を設ける。 （ハ）ワークＷがワーク受け部６０の受け皿６１に当接
すると、受け皿６１の櫛歯状突起６１ａがワークの薄板
状になった部分Ｗａの間に入り、その状態で、移動ブロ
ック２３とワーク受け部６０を同期移動させてワークＷ
の切断を継続する。

【００１５】また、ワイヤソーのワーク保持装置の第二
の方法を次のように構成する。すなわち、スライスベー
ス７１を筒状に形成して、ワークＷをスライスベース７
１に挿入してワークＷのＸ方向両端部分のみをスライス
ベース７１に接合し、スライスベース７１を取付板７３
に取り付けて移動ブロック２３に装着する。これによっ
て、ワークＷの切断が完了するとワークＷのＸ方向両端
部分は接合されたままであるが、その他の部分は１枚ず
つ分離されて（ウェーハとなる）スライスベース７１内
に残るので、両端部分のみの剥離を行えばよい。

【００１６】第一及び第二のいずれの場合も、ワークＷ
と保持板５１やスライスベース７１との接合には次のい
ずれかの方法とすることができる。 （イ）一つの方法は、接着剤によって行う。 （ロ）他の方法は、氷によって行う。すなわち、ワイヤ
ソーの外部に外部冷凍器５５を設けるとともに、移動ブ
ロック２３に内部冷凍器２６を設け、外部冷凍器５５に
よってワークＷと保持板５１又はスライスベース７１と
を氷で接合し、ワークＷを移動ブロック２３に取り付け
た後は、内部冷凍器２６によってその氷を冷凍維持す
る。

【００１７】

【発明の実施の形態】

実施の形態１ 本発明に係るワイヤソーのワーク保持装置の実施の形態
１を図１から図３までに示す。実施の形態１は請求項４
に記載のうち、ワークＷと保持板５１の接合を氷で行う
方法である。図１は加工部の正面図で、図２のＢ−Ｂ断
面に相当し、図２は図１のＡ−Ａ断面図である。図１と
図２は切断前の状態を表している。図３は図２と同様に
図１のＡ−Ａ断面図に相当するが、図３はワークＷがワ
ーク受け部４０の受け皿４１に当接し、Ｙ方向に固定さ
れた状態を表している。

【００１８】実施の形態１の加工部は大きく分けてワイ
ヤ駆動部１０、ワーク駆動部２０、ワーク受け案内部３
０、ワーク受け部４０から構成されている。また、図４
に示すように、ワイヤソーの外部に外部冷凍器５５及び
支持具５６が設けられている。このうち、ワイヤ駆動部
１０は従来の技術で説明した内容と同様であるので、同
一機能部品に同一符号を付して説明は省略する。

【００１９】図１から図３までに示すように、ワーク駆
動部２０では、コラム２１にリニアガイド２２が設けら
れ、リニアガイド２２にＺ方向移動自在に移動ブロック
２３が支持されている。また、移動ブロック２３の先端
両側には角溝部２４が形成され、角溝部２４の上方に各
々クランプシリンダー２５が設けられている。ここまで
の構成は従来の技術で説明したものとほぼ同様であり、
次の内容が異なる。すなわち、角溝部２４の近傍に内部
冷凍器２６及びそれをＺ方向に駆動する支持シリンダー
２７が設けられているところである。

【００２０】図１から図３までに示すように、ワーク受
け案内部３０では、移動ブロック２３の両側にブラケッ
ト３１を介してリニアベアリング３２が設けられてい
る。各々のリニアベアリング３２にはＺ方向移動自在に
リニアガイド３４が支持され、各々のリニアガイド３４
には上下コラム３３が固着されている。また、移動ブロ
ック２３の両側には、上下コラム３３を移動ブロック２
３に固定する連結シリンダー３５が設けられている。さ
らに、上下コラム３３は、ワイヤ駆動部１０の支持板１
１に各々固着されたブロック３７との間に圧縮バネ３６
が設けられ、移動ブロック２３方向に付勢されていると
ともに、支持板１１に各々固着されたブロック３９にス
トッパー３８が設けられ、ストッパー３８は上下コラム
３３の下端の当て板３３ｂと係合して、上方の位置が規
制されている。

【００２１】図１から図３までに示すように、ワーク受
け部４０では、上下コラム３３の下側に形成された下板
３３ａに受け皿４１が取り付けられている。受け皿４１
は箱状に形成されているとともに、下板３３ａからＸ方
向に引き出し可能になっている。また、下板３３ａの先
端に設けられた軸４２にワーククランパー４３が揺動自
在に支持されている。下板３３ａの下面にはシリンダー
４４が設けられ、シリンダー４４のピストンヘッド４５
がワーククランパー４３の下端に係合して、ピストンヘ
ッド４５の動きによってワーククランパー４３がＹ方向
に揺動する。さらに、ワーククランパー４３の上側面及
び上下コラム３３の側面に緩衝板４６が取り付けられて
いる。

【００２２】なお、内部冷凍器２６及び外部冷凍器５５
には、熱電対素子（ペルチェ素子とも呼ばれている。）
が内蔵されている。熱電対素子は、直流電流を流すと片
側からカロリーを吸収し反対側に放出するもので、片側
（取付板５２）が０゜以下に冷却され反対側が発熱す
る。発熱する側には冷却水が循環されて（図示省略）冷
却される。

【００２３】このように構成されたワーク保持装置を備
えたワイヤソーでは次のようにしてワークＷを切断す
る。まず、図４に示すように、外部冷凍器５５の外側に
設置された支持具５６にワークＷを載せる。そして、取
付板５２を外部冷凍器５５の上に載せ、その上面に２個
の保持板５１をワークＷの両端面に押し当てながら立て
る。このとき、取付板５２と保持板５１、保持板５１と
ワークＷの各々の接触部分にはあらかじめ水分を供給し
ておく。この後、各接触部分の水分を外部冷凍器５５に
よって冷凍し氷にして接合する。接合が完了したら、取
付板５２の部分を図４の紙面に直角方向に抜いて取り出
す。

【００２４】次に、ワークＷが取り付けられた取付板５
２を角溝部２４に挿入すると、２個のクランプシリンダ
ー２５によって取付板５２が固定されるとともに、内部
冷凍器２６が支持シリンダー２７によって取付板５２に
接触するまで下降する。そして、内部冷凍器２６によっ
て、取付板５２と保持板５１、保持板５１とワークＷと
の間に生成された氷を冷凍して維持する。

【００２５】こうしてワークＷが移動ブロック２３に装
着された後、起動操作するとワイヤ１３がＹ方向に高速
走行し、移動ブロック２３がＺ下方向に移動してワーク
Ｗの切断が開始される。ある程度切断が進みワークＷの
薄板状になった部分Ｗａが受け皿４１に当接すると、シ
リンダー４４によってワーククランパー４３が作動し、
ワークＷは上下コラム３３の側面との間で固定される。
また、ワークＷが受け皿４１に当接すると、圧縮バネ３
６に抗してワーク受け部４０もＺ下方向に移動しながら
切断が継続される。なお、ワークＷがワーククランパー
４３と上下コラム３３の側面との間で固定されたとき
に、ワークＷの姿勢とワーク受け部４０の姿勢が多少ず
れていても、緩衝板４６によって吸収される。

【００２６】ワークＷの切断が完了（ワイヤ１３が取付
板５２にかかる手前）すると、ワーククランパー４３が
開いてワークＷの固定が解除され、さらに連結シリンダ
ー３５が開放されて、移動ブロック２３が上昇し元の位
置に戻るとともにワーク受け部４０も元の位置に戻る。
このとき、保持板５１とワークＷとの接合はワークＷの
両端のみであるので、ワークＷの両端を除いた部分、す
なわち、ウェーハは受け皿４１に取り残される。

【００２７】次に、取付板５２を移動ブロック２３から
取り外してワークＷの両端を外部に取り出す。この後、
連結シリンダー３５によって上下コラム３３を移動ブロ
ック２３に固定してワーク受け部４０を下降させると、
受け皿４１に残ったウェーハがワイヤ１３の下側になる
ので、受け皿４１をＸ方向に引き出してウェーハを外部
に取り出す。

【００２８】実施の形態２ 本発明に係るワイヤソーのワーク保持装置の実施の形態
２は、実施の形態１に対して、取付板５２と保持板５
１、保持板５１とワークＷとの接合を接着剤で行うとこ
ろのみが異なる。すなわち、図１・図２・図３におい
て、ワーク駆動部２０で実施の形態１に設けられた内部
冷凍器２６及び支持シリンダー２７が無い（したがっ
て、従来の技術で説明した内容と同様）。また、図４に
示した外部冷凍器５５の代わりに、厚さの等しい台を用
いる。その他は、実施の形態１と同じであるので、図示
及び構成の説明は省略する。

【００２９】つまり、実施の形態２では、支持具５６に
ワークＷを載せ、取付板５２を台（図４で外部冷凍器５
５の厚さに相当するもの）の上に載せ、その上面に２個
の保持板５１をワークＷの両端面に押し当てながら立て
る。このとき、取付板５２と保持板５１、保持板５１と
ワークＷの各々の接触部分にはあらかじめ接着剤を塗布
しておく。接合が完了したら、取付板５２の部分を図４
の紙面に直角方向に抜いて取り出し、取付板５２を角溝
部２４に挿入する。この後は実施の形態１と同じであ
る。

【００３０】実施の形態３ 本発明に係るワイヤソーのワーク保持装置の実施の形態
３は、実施の形態１に対して、ワーク受け部のみが異な
る。すなわち、図５及び図６の詳細図に示すように、ワ
ーク受け部６０は、上下コラム３３の下側に形成された
下板３３ａに受け皿６１が取り付けられているだけであ
る。受け皿６１は、実施の形態１と同様に箱状に形成さ
れ、下板３３ａからＸ方向に引き出し可能になっている
が、実施の形態１と異なり、受け皿６１の上面には、ワ
イヤ１３と同じ間隔で櫛歯状突起６１ａが形成されてい
る。その他は、実施の形態１と同じであるので、全体の
図示及び構成の説明は省略する。

【００３１】つまり、実施の形態１と同様に、ワークＷ
を保持板５１に氷５３で接合して移動ブロック２３に取
り付けて切断し、ある程度切断が進みワークＷの薄板状
になった部分Ｗａが受け皿６１に当接すると、櫛歯状突
起６１ａがワークての薄板状になった部分Ｗａの間に入
る。そして、同時に、連結シリンダー３５によって上下
コラム３３が移動ブロック２３に固定され、ワーク受け
部６０もＺ下方向に移動しながら切断が継続される。

【００３２】ワークＷの切断が完了（ワイヤ１３が取付
板５２にかかる手前）すると、連結シリンダー３５が開
放され、移動ブロック２３が上昇して元の位置に戻ると
ともにワーク受け部６０も元の位置に戻る。このとき、
保持板５１とワークＷとの接合はワークＷの両端部分Ｗ
ｂのみであるので、ワークＷの両端部分Ｗｂを除いた部
分、すなわち、ウェーハは受け皿６１に取り残される。
この後は実施の形態１と同じであるので説明は省略す
る。

【００３３】実施の形態４ 本発明に係るワイヤソーのワーク保持装置の実施の形態
４は、実施の形態３に対して、取付板５２と保持板５
１、保持板５１とワークＷとの接合を接着剤で行うとこ
ろのみが異なる。すなわち、接合方法が実施の形態図２
と同じで、ワーク受け部６０が実施の形態３と同じであ
る。その他は、実施の形態１と同様であるので、図示及
び構成の説明は省略する。

【００３４】なお、図５及び図６では取付板５２と保持
板５１、保持板５１とワークＷの各々の接触部分が氷５
３によって接合されている様子を拡大表示している。こ
れは実施の形態１の場合でも同様である。

【００３５】実施の形態５ 本発明に係るワイヤソーのワーク保持装置の実施の形態
５を図７及び図８に示す。実施の形態５は請求項６に記
載のうち、ワークＷとスライスベース７１の接合を氷で
行う方法である。図７は加工部の側面図、図８は図７の
Ｃ−Ｃ断面図（ワークＷとスライスベース７１の関係を
示す詳細図）である。いずれも切断完了状態を表してい
る。

【００３６】実施の形態５は従来の技術で説明した例に
対して、スライスベースの形状が異なる。すなわち、カ
ーボン等の材料を筒状（この例ではワークＷは円柱形状
であるので、円筒形状）に形成してスライスベース７１
とし、その中にワークＷを挿入して、両端（Ｘ方向）部
分Ｗｂのみを接合する。そして、従来の技術で説明した
スライスベース８６と同様の形状をした凸部７２ａが形
成された取付板７２の凸部７２ａに取り付ける。したが
って、ワーク駆動部は、従来の技術で説明したものに実
施の形態１及び３で説明した内部冷凍器２６及びその支
持シリンダー２７が備えられた構造になっている。

【００３７】また、実施の形態５では接合は氷によるの
で、取付板７２とスライスベース７１、スライスベース
７１とワークＷの接合は、図４に示したように外部冷凍
器５５によって行うが、この場合は支持具５６は不要
で、外部冷凍器５５に凸部７２ａを上にして取付板７２
を載せ、取付板７２にスライスベース７１を載せてスラ
イスベース７１の中にワークＷを挿入する。このとき、
取付板７２とスライスベース７１、スライスベース７１
とワークＷの各々の接合部分にはあらかじめ水分を供給
しておく。この後、各接合部分の水分を外部冷凍器５５
によって冷凍し氷にして接合する。さらに、移動ブロッ
ク７３にワークＷを取り付けた後は、実施の形態１及び
３と同様に、内部冷凍器２６によって、各接触部分に生
成された氷を冷凍して維持する。

【００３８】実施の形態５のワークＷの保持形態はこの
ようになっており、ワークＷの切断が完了（ワイヤ１３
によってスライスベース７１の上側一部が切り込まれた
状態）すると、ワークＷの両端部分Ｗｂはスライスベー
ス７１に接合されたままであるが、その他の部分（ウェ
ーハになっている）はスライスベース７１の中でフリー
な状態になる。このとき、ワイヤ１３の太さはウェーハ
の厚さより小さいので、ワイヤ１３が切り込んだ隙間か
らウェーハが抜け出ることはない。

【００３９】切断が完了すると、取付板７２ごと外部に
取り出し、接合部分の氷を解かして両端部分Ｗｂをスラ
イスベース７１から剥離し、中のウェーハを取り出す。

【００４０】実施の形態６ 本発明に係るワイヤソーのワーク保持装置の実施の形態
６は、実施の形態５に対して、取付板７２とスライスベ
ース７１、スライスベース７１とワークＷとの接合を接
着剤で行うところのみが異なる。したがって、実施の形
態図２及び４と同様に、ワーク駆動部に内部冷凍器２６
及び支持シリンダー２７は必要がない（つまり、従来の
技術で説明した内容と同様）。その他は、実施の形態５
と同様であるので、図示及び構成の説明は省略する。

【００４１】なお、以上説明した実施の形態では、ワー
クＷをＺ下方向に移動させて切断する構成のワイヤソー
に適用した例を示したが、ワイヤ駆動部１０とワーク駆
動部２０との上下関係を反対に構成してワークＷをＺ上
方向に移動させて切断するワイヤソーについても適用で
きる。

【００４２】また、移動ブロック２３（又は７３）の取
付板５２（又は取付板７２）の保持構造を角溝としＹ方
向から装着するようにしたが、角溝の代わりに蟻溝とし
てもよいし、Ｘ方向から装着する保持構造としてもよ
い。

【００４３】さらに、内部冷凍器２６や外部冷凍器３５
の冷凍手段としては、熱電対素子に限らず、冷凍サイク
ルを構成したものでもよい。

【００４４】また、実施の形態１から４まででは、保持
板５１の材質については特に触れなかったが、ワークＷ
と切断方向の関係でワイヤ１３が保持板５１の一部にか
かるような場合は、カーボン等の材料としてもよい。

【００４５】

【発明の効果】以上説明したように、本発明に係るワイ
ヤソーのワーク保持装置では、ワークＷと保持板５１や
スライスベース７１との接合をワークのＸ方向両端部分
で行うようにした。したがって、保持板５１やスライス
ベース７１からのウェーハの分離が短時間にでき、接着
剤がウェーハに残るおそれもなく、さらに、切断後のワ
ークＷにワイヤ１３を再び接触させなくてワークＷを取
り出すことができるワーク保持装置を提供することがで
きる。

【００４６】また、実施の形態１から４まででは保持板
５１にカーボン等の材料を用いなくてもよいので安価に
することができる。さらに、実施の形態１から４までで
は、ワークＷの薄板状になった部分ＷａをＹ方向に固定
しながら切断をするので、切断中にワークＷの薄板状に
なった部分Ｗａが反る（互いに接触する）ことによって
発生するウェーハの厚さのバラツキを防ぐことができ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係るワーク保持装置の実施の形態１の
加工部の構成図（正面図で、図２のＢ−Ｂ断面に相当）

【図２】図１のＡ−Ａ断面図

【図３】図１のＡ−Ａ断面図に相当するが、ワークＷが
ワーク受け部の受け皿に当接し、Ｙ方向に固定された状
態

【図４】本発明に係るワーク保持装置の実施の形態１及
び３の外部冷凍器による接合図

【図５】本発明に係るワーク保持装置の実施の形態３の
主要部詳細図（正面断面図）

【図６】本発明に係るワーク保持装置の実施の形態３の
主要部詳細図（側面断面図）

【図７】本発明に係るワーク保持装置の実施の形態５の
加工部の構成図（側面図）

【図８】図７のＣ−Ｃ断面図（ワークとスライスベース
の関係を示す詳細図）

【図９】一般的なワイヤソーの加工部の構成図（正面図
で、図１０のＥ−Ｅ断面に相当）

【図１０】図９のＤ−Ｄ断面図

【符号の説明】

１０……ワイヤ駆動部 １３……ワイヤ ２０……ワーク駆動部 ２３……移動ブロック ２４……角溝部 ２５……クランプシリンダー ２６……内部冷凍器 ２７……支持シリンダー ３０……ワーク受け案内部 ３３……上下コラム ３５……連結シリンダー ４０……ワーク受け部 ４１……受け皿 ４３……ワーククランパー ５１……保持板 ５２……取付板 Ｗ………ワーク Ｗａ……薄板状になった部分

Claims (8)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】Ｘ方向に多数平行に設けられＹ方向に高速
   走行する砥粒が付着したワイヤと、ワークを保持すると
   ともにＺ方向に移動自在な移動ブロックと、から構成さ
   れ、ワークを前記ワイヤに押し当てることによってワー
   クを薄板状に切断するワイヤソーにおいて、 ワークのＸ方向両端面に保持板を接合し、 ワークと取付板との間に隙間を設けて前記保持板をその
   取付板に取り付けし、 前記取付板を前記移動ブロックに装着し、 前記ワイヤを境にして前記移動ブロックの反対側にワー
   ク受け部を設ける、ことを特徴とするワイヤソーのワー
   ク保持装置。
2. 【請求項２】ワークと前記保持板とを接着剤によって接
   合することを特徴とする請求項１に記載のワイヤソーの
   ワーク保持装置。
3. 【請求項３】ワイヤソーの外部に外部冷凍器を設けると
   ともに、前記移動ブロックに内部冷凍器を設け、 前記外部冷凍器によってワークと前記保持板とを氷で接
   合し、 ワークを前記移動ブロックに取り付けた後は、前記内部
   冷凍器によってワークと前記保持板との間の氷を冷凍維
   持する、ことを特徴とする請求項１に記載のワイヤソー
   のワーク保持装置。
4. 【請求項４】前記ワーク受け部が、Ｚ方向移動自在であ
   るとともに、前記ワーク受け部に、ワークをＹ方向に固
   定するワーク固定手段を設け、 ワークが前記ワーク受け部の受け皿に当接した段階で、
   ワークの薄板状になった部分を前記ワーク固定手段によ
   ってＹ方向に固定しながら、前記移動ブロックと前記ワ
   ーク受け部を同期移動させてワークの切断を継続する、
   ことを特徴とする請求項１、請求項２又は請求項３に記
   載のワイヤソーのワーク保持装置。
5. 【請求項５】前記ワーク受け部がＺ方向移動自在である
   とともに、前記ワーク受け部に、前記ワイヤと同じ間隔
   で櫛歯状突起が形成された受け皿を設け、 ワークが前記櫛歯状突起が形成された受け皿に当接する
   と、その櫛歯状突起がワークの薄板状になった部分の間
   に入り、その状態で、前記移動ブロックと前記ワーク受
   け部を同期移動させてワークの切断を継続する、ことを
   特徴とする請求項１、請求項２又は請求項３に記載のワ
   イヤソーのワーク保持装置。
6. 【請求項６】Ｘ方向に多数平行に設けられＹ方向に高速
   走行する砥粒が付着したワイヤと、ワークを保持すると
   ともにＺ方向に移動自在な移動ブロックと、から構成さ
   れ、ワークを前記ワイヤに押し当てることによってワー
   クを薄板状に切断するワイヤソーにおいて、 筒状のスライスベースにワークを挿入してワークのＸ方
   向両端部分のみをそのスライスベースに接合し、 そのスライスベースを取付板に取り付けて前記移動ブロ
   ックに装着する、 ことを特徴とするワイヤソーのワーク保持装置。
7. 【請求項７】ワークと前記スライスベースとを接着剤に
   よって接合することを特徴とする請求項６に記載のワイ
   ヤソーのワーク保持装置。
8. 【請求項８】ワイヤソーの外部に外部冷凍器を設けると
   ともに、前記移動ブロックに内部冷凍器を設け、 前記外部冷凍器によってワークと前記スライスベースと
   を氷で接合し、 ワークを前記移動ブロックに取り付けた後は、前記内部
   冷凍器によってワークと前記スライスベースとの間の氷
   を冷凍維持する、 ことを特徴とする請求項６に記載のワイヤソーのワーク
   保持装置。