JP3107721B2 - ウェーハスライスベース剥離装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【産業上の利用分野】本発明は半導体素子の素材となる
シリコン等のウェーハの基材部分に接着されたスライス
ベースを、洗浄後にその基材部分から剥離するウェーハ
スライスベース剥離装置の改良に関する。

【０００２】

【従来の技術】半導体素子の素材となるシリコン等のウ
ェーハは、インゴットの状態からスライシングマシン等
にて切断されて製造されるが、切断時に切り終わり部分
が欠けないようにインゴットにはスライスベースを接着
し、スライスベースも含めて切断する。したがって、切
断後のウェーハ１０は図１３に示す形状になっており、
スライスベース１０ｂは切断後にシリコン等の基材部分
１０ａから剥離される。

【０００３】図１４・図１５・図１６に従来のウェーハ
スライスベース剥離装置の１例の要部を示す。この例
は、本出願人が「特開平６−２０８９７８」として開示
しているものと同様である。

【０００４】図１４はウェーハ搬送方向の中央断面図
（立面図）、図１５は図１４のＩ−Ｉ断面図（平面
図）、図１６は図１４のＪ−Ｊ断面図（立面図）で、ウ
ェーハ１０は図１４の左側から搬入され右側へ搬出され
る。ただし、図１４はウェーハ１０が熱水槽７１内にあ
る状態を、図１６はウェーハ１０が剥離部８０でクラン
プ台８１に固定されている状態を表している。この例の
ウェーハスライスベース剥離装置は、大きく分けて熱水
槽７１、剥離部８０、リフター部９０、搬送部１００か
ら構成されている。

【０００５】熱水槽７１には熱水７２が貯えられ、熱水
７２は図示しないヒータによって所定の温度に保たれて
いる。７２ａは熱水７２の水面である。熱水槽７１はス
ライスベース１０ｂを接着した接着剤が剥がれやすいよ
うにウェーハ１０を温めるものである。

【０００６】剥離部８０は、熱水槽７１の搬出側にあ
り、ウェーハ１０の基材部分１０ａを受けるクランプ台
８１、ウェーハ１０の基材部分１０ａをクランプ台８１
に押圧して固定するクランパー８５、クランパー８５を
上下に案内するガイド８３（図１６でガイド８６の後方
にあるが、ガイド８６と同様の形状であるので図１６に
は表示されていない。）、クランパー８５を駆動するエ
アシリンダ８４、スライスベース１０ｂを押圧して剥離
するプッシャー８８、プッシャー８８を上下に案内する
ガイド８６、プッシャー８８を駆動するエアシリンダ８
７、ガイド８３・エアシリンダ８４・ガイド８６・エア
シリンダ８７を支持する台８２、剥離されたスライスベ
ース１０ｂを格納するバスケット８９等から構成されて
いる。

【０００７】クランプ台８１はスライスベース１０ｂ側
の形状が基材部分１０ａと同様の形状（円弧）になって
おり、熱水槽７１の上方で熱水７２の水面７２ａから離
れた位置に設けられているとともに、クランパー８５は
クランプ台８１の真上に位置し、プッシャー８８はクラ
ンプ台８１と干渉しない位置でスライスベース１０ｂの
みを押圧する形状になっている。

【０００８】リフタ部９０は、熱水槽７１の外側（図１
５で左側）に固着されたガイド９１、ガイド９１に沿っ
て上下自在に設けられたスライダ９２、スライダ９２を
上下に駆動するエアシリンダ９３、スライダ９２に固着
されたアーム９４、アーム９４の２箇所に固着されたリ
フタ９５等から構成されている。リフタ９５はウェーハ
１０の搬送方向に略コの字形をしていて２個でウェーハ
１０を抱き込む形になっている。これによって、リフタ
９５はウェーハ１０を熱水槽７１の上方から熱水７２内
に移動させるとともに、熱水槽７１の上方ではウェーハ
１０の搬送ガイドとなる。

【０００９】搬送部１００は、熱水槽７１の外側（図１
５で右側）に固着された水平ガイド１０１、水平ガイド
１０１に沿って水平自在に設けられた水平スライダ１０
２、水平スライダ１０２に内蔵された送りナットを駆動
する送りネジ１０３、モータ（図示省略）の回転を送り
ネジ１０３に伝達するプーリ１０４、水平スライダ１０
２に固着された上下ガイド１０５、上下ガイド１０５に
沿って上下自在に設けられた上下スライダ１０６、上下
スライダ１０６を上下に駆動するエアシリンダ１０７、
上下スライダ１０６に固着されたアーム１０８、アーム
１０８に固着された搬送ヘッド１０９等から構成されて
いる。

【００１０】これによって、搬送ヘッド１０９は、ウェ
ーハ１０を熱水槽７１の位置から剥離部へ、さらに剥離
部から次工程へ搬送する。前述したように、搬送時はリ
フタ９５がウェーハ１０のガイドとなる。また、搬送ヘ
ッド１０９は、前工程からウェーハ１０が搬入されると
きにはウェーハ１０と干渉しないように上方に移動す
る。

【００１１】次に、このように構成されたウェーハスラ
イスベース剥離装置で基材部分１０ａからスライスベー
ス１０ｂを剥離する作用を説明する。

【００１２】ウェーハ１０は、リフタ９５及び搬送ヘッ
ド１０９が上昇端の状態のときに、前工程の搬送装置に
よって前工程から熱水槽７１の上方位置のリフタ９５内
に搬入される。ウェーハ１０が搬入されるとリフタ９５
が下降してウェーハ１０を熱水７２内に移動する。熱水
７２内に一定時間置かれウェーハ１０が所定の温度にな
るとリフタ９５が上昇してウェーハ１０を搬入時の位置
に戻す。次に、搬送ヘッド１０９が下降し、搬出側に移
動してウェーハ１０を剥離部８０へ搬送する。

【００１３】剥離部８０ではクランパー８５が基材部分
１０ａをクランプ台８１に押圧固定した後、プッシャー
８８がスライスベース１０ｂを押圧してスライスベース
１０ｂを剥離する。剥離が完了すると、クランパー８５
及びプッシャー８８が上昇した後、搬送ヘッド１０９は
再度搬出側へ移動してウェーハ１０を次工程（洗浄工程
等）へ搬出する。なお、剥離されたスライスベース１０
ｂはバスケット８９へ落下し格納される。

【００１４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
方法では、ウェーハ１０は熱水７２で所定の温度に温め
られ、スライスベース１０ｂを接着した接着剤が剥がれ
やすい状態になるが、剥離が熱水７２の温度より低い空
気中で行われるため、剥離時には空気やクランプ台８１
・クランパー８５との接触等によって温度が低下する。
このために、接着剤が再硬化し剥がれにくい状態になっ
て剥離時にウェーハ１０の基材部分１０ａが破損しやす
くなるという問題がある。

【００１５】また、熱水は洗浄が必要であるため熱水専
用の洗浄装置が必要になるとともに、熱水の温度は１０
０℃前後にする必要があるため安全対策を充分に行う必
要がある等、取扱が面倒で高価になるという問題があ
る。

【００１６】本発明はこのような事情に鑑みてなされた
もので、ウェーハ１０からスライスベース１０ｂを剥離
するときに、基材部分１０ａにスライスベース１０ｂを
接着している接着剤が剥がれやすい状態を保って基材部
分１０ａを破損するおそれがなく、また、取扱が面倒で
高価になる熱水が不要なウェーハスライスベース剥離装
置を提供することを目的とする。

【００１７】なお、本出願人が開示している「特開平６
−２０８９７８」では、さらに接着剤をヒータによって
軟化する方法についても示しているが、本発明はこれを
改良したものである。

【００１８】

【課題を解決するための手段】本発明は、前記目的を達
成するために、基材部分１０ａにスライスベース１０ｂ
を接着している接着剤が剥がれやすい状態にするための
接着剤加熱手段を、熱水を用いず、ヒータを内蔵したク
ランプ台で基材部分１０ａを加熱したり、熱風で接着部
分を直接加熱したり、またはヒータを内蔵したスライス
ベース受板でスライスベース１０ｂを加熱する。ウェー
ハ１０は切断後剥離前に洗浄しておく。

【００１９】本発明の第一の方法は、ウェーハスライス
ベース剥離装置を次のように構成する。 （イ）基材部分１０ａを受けるクランプ台を設ける。 （ロ）所定の温度の発熱をするヒータをクランプ台に内
蔵する。 （ハ）基材部分１０ａをクランプ台に押しつけて基材部
分１０ａを固定するクランパーを設ける。 （ニ）スライスベース１０ｂをウェーハ１０の厚さ方向
に押すプッシャーをスライスベース１０ｂ側に設ける。

【００２０】この場合、クランプ台の基材部分１０ａの
接触面を立てて構成しウェーハ１０の厚さ方向が水平方
向になる状態（以下「縦姿勢」という）で固定する方法
と、クランプ台の基材部分１０ａの接触面を水平にしウ
ェーハ１０を水平（厚さ方向が鉛直方向）になる状態
（以下「横姿勢」という）固定する方法がある。

【００２１】また、基材部分１０ａをクランプ台に固定
するときは、スライスベース１０ｂがクランプ台に係ら
ないようにすることが必要であり、そのために、ウェー
ハ搬送手段で正確に搬入しその状態を維持したままクラ
ンパーで固定する方法があるが、ウェーハ１０を縦姿勢
でクランプ台に固定する場合は、クランプ台の下方に基
材部分１０ａの半径方向位置を決める位置決めバーを設
けて位置決めしてもよい。

【００２２】また、第一の方法でクランプ台は、スライ
スベース１０ｂの近傍のみでもよいが、基材部分１０ａ
全体を包含する（ただし、スライスベース１０ｂがクラ
ンプ台に係らない）形状としてもよい。これはヒータの
発熱量やウェーハ１０の大きさ、乾燥条件等によって選
択する。

【００２３】本発明の第二の方法は、スライスベース剥
離装置を次のように構成する。 （イ）基材部分１０ａを受けるクランプ台を設ける。 （ロ）基材部分１０ａをクランプ台に押しつけて基材部
分１０ａを固定するクランパーを設ける。 （ハ）スライスベース１０ｂをウェーハ１０の厚さ方向
に押すプッシャーをスライスベース１０ｂ側に設ける。 （ニ）基材部分１０ａとスライベース１０ｂの境界形状
（円弧）に近似形状のノズルを基材部分１０ａとスライ
ベース１０ｂの境界近傍に設ける。 （ホ）所定の温度の熱風を発生する熱風発生手段をノズ
ルに接続する。

【００２４】また、本発明の第三の方法は、ウェーハス
ライスベース剥離装置を次のように構成する。 （イ）基材部分１０ａを受けるクランプ台を設ける。 （ロ）基材部分１０ａをクランプ台に押しつけて基材部
分１０ａを固定するクランパーを設ける。 （ハ）スライスベース１０ｂをウェーハ１０の厚さ方向
に押すプッシャーをスライスベース１０ｂ側に設ける。 （ニ）ウェーハ１０の厚さ方向揺動自在なスライスベー
ス受板を、スライスベース１０ｂ側でプッシャーと反対
側に設ける。 （ホ）所定の温度の発熱をするヒータをスライスベース
受板に内蔵する。 （ヘ）ウェーハ１０の加熱時にはスライスベース受板の
面をクランプ台の面と同一となるようにし、スライスベ
ース１０ｂの剥離時にはスライスベース受板がスライス
ベース１０ｂから離れるようにする。

【００２５】さらに、いずれの方法においても、クラン
パーは専用のものを用いてもよいが、ウェーハ搬送手段
のウェーハチャックで兼用することもできる。

【００２６】

【作用】本発明の第一の方法によれば、内蔵されたヒー
タによって所定の温度に加熱保持されたクランプ台に、
クランパーが基材部分１０ａを押圧して固定する。基材
部分１０ａが加熱保持されたクランプ台に所定の時間接
触すると、基材部分１０ａとスライスベース１０ｂを結
合している接着剤が柔らかくなるので、プッシャーがス
ライスベース１０ｂをウェーハ１０の厚さ方向に押圧し
てスライスベース１０ｂを基材部分１０ａから剥離す
る。

【００２７】この場合、ウェーハ１０は予め洗浄される
が、ウェーハ１０を縦姿勢にすると、洗浄による水滴等
がとれやすくなる。また、ウェーハ１０を縦姿勢にする
場合で、クランプ台の下方に基材部分１０ａの半径方向
位置を決める位置決めバーを設けると、ウェーハ搬送手
段で正確に搬入しなくてもクランプ台に正確に位置決め
することができる。さらに、クランプ台を基材部分１０
ａ全体を包含する形状とすると、ウェーハ１０の温度上
昇が速くなる。

【００２８】本発明の第二の方法によれば、クランパー
が基材部分１０ａをクランプ台に押圧して固定するとと
もに、熱風発生手段が接続されたノズルから所定の温度
の熱風を吐出して基材部分１０ａとスライスベース１０
ｂの境界部分を加熱する。所定の時間熱風で加熱される
と、基材部分１０ａとスライスベース１０ｂを結合して
いる接着剤が柔らかくなるので、プッシャーがスライス
ベース１０ｂを押圧してスライスベース１０ｂを基材部
分１０ａから剥離する。

【００２９】本発明の第三の方法によれば、スライスベ
ース受板の面とクランプ台の面が同一面を形成した状態
のときに、クランパーが基材部分１０ａをクランプ台に
押圧して固定し、次にプッシャーがスライスベース１０
ｂをスライスベース受板に押圧する。スライスベース受
板は内蔵されたヒータによって所定の温度に加熱保持さ
れており、スライスベース１０ｂが加熱保持されたスラ
イスベース受板に所定の時間接触すると、基材部分１０
ａとスライスベース１０ｂを結合している接着剤が柔ら
かくなる。スライスベース受板がスライスベース１０ｂ
に所定の時間接触した後、スライスベース受板がスライ
スベース１０ｂから離れると、プッシャーがスライスベ
ース１０ｂを押圧してスライスベース１０ｂを基材部分
１０ａから剥離する。

【００３０】いずれの方法においても、剥離がウェーハ
１０を加熱した状態で行われるため、剥離時にウェーハ
１０の温度は低下せず、基材部分１０ａとスライスベー
ス１０ｂを結合している接着剤が剥がれやすい状態を保
つ。

【００３１】

【実施例】

実施例１ 図１及び図２に本発明に係るウェーハスライスベース剥
離装置の実施例１の要部を示す。実施例１の基本構成は
請求項１に該当するものである。図１は正面図（クラン
プ台１２の一部は断面）、図２は図１のＡ−Ａ断面図
（平面図）で、ウェーハ１０はスライスベース１０ｂが
図１の右側になるように設定されており、図１の上方か
ら搬入され、上方へ搬出される。いずれもウェーハ１０
の基材部分１０ａが固定されスライスベース１０ｂが剥
離される前の状態を示しているが、ウェーハ１０は図１
では想像線で、図２では実線で表している。

【００３２】図１及び図２において、立設されたコラム
１１の２箇所に固着されたＬ字形のフランジ１１ａに断
熱板１１ｂを介し、クランプ台１２が基材部分１０ａの
接触面１２ａを立てた状態で取り付けられている。クラ
ンプ台１２には所定の温度の発熱をするヒータ１４とク
ランプ台１２の温度を検出する温度センサー１５が内蔵
され、所定の温度（１００℃前後）に加熱保持されてい
る。

【００３３】クランプ台１２の接触面１２ａの全体形状
は基材部分１０ａと同様の形状（円）で、直径は基材部
分１０ａの直径より僅かに小さくなっている。また、下
方には２本の位置決めバー１３が設けられ、基材部分１
０ａの外周を２本の位置決めバー１３に当接すると、基
材部分１０ａの中心が接触面１２ａ全体（円）の中心と
ほぼ一致するようになっている。さらに、クランプ台１
２の接触面１２ａには格子状の溝１２ｂが形成されてい
る。

【００３４】クランプ台１２の側方でほぼ中央にはクラ
ンパー１６が位置している。クランパー１６はウェーハ
搬送手段（図示省略）のウェーハチャックで、ウェーハ
１０を真空吸着等により保持し、ウェーハ搬送手段によ
って上下及びクランプ台１２方向に移動自在である。

【００３５】また、コラム１１にはスライドガイド内蔵
のエアシリンダ１７が固着され、エアシリンダ１７のス
ライダー１７ａにはプッシャー１８が取り付けられてい
る。さらに、クランプ台１２、エアシリンダ１７、プッ
シャー１８等の下方にはバスケット１９が設けられてい
る。

【００３６】次に、このように構成されたウェーハスラ
イスベース剥離装置で、基材部分１０ａからスライスベ
ース１０ｂを剥離する作用を説明する。

【００３７】切断後洗浄されたウェーハ１０は、ウェー
ハ搬送手段（図示省略）のウェーハチャックであるクラ
ンパー１６によって基材部分１０ａのほぼ中央を保持さ
れて図１の上方から、基材部分１０ａの中心がクランプ
台１２の接触面１２ａ全体（円）の中心より僅かに上方
の位置まで（基材部分１０ａの外周が位置決めバー１３
に当接する手前）クランプ台１２に沿うように搬入され
る。

【００３８】次に、クランパー１６の保持力が解放さ
れ、ウェーハ１０の基材部分１０ａの外周が位置決めバ
ー１３に当接する（基材部分１０ａの中心が接触面１２
ａ全体（円）の中心がほぼ一致する）。この状態からク
ランパー１６がクランプ台１２方向に移動して基材部分
１０ａがクランプ台１２に固定される。

【００３９】クランパー１６が基材部分１０ａをクラン
プ台１２に固定して所定の時間経過すると、基材部分１
０ａとスライスベース１０ｂを結合している接着剤が高
温になって柔らかくなるので、プッシャー１８がスライ
スベース１０ｂをウェーハ１０の厚さ方向に押圧して基
材部分１０ａから剥離する。剥離されたスライスベース
１０ｂは落下してバスケット１９に格納される。

【００４０】なお、この場合、クランプ台１２の加熱は
スライスベース１０ｂの近傍のみとすることもできる。
そのときはクランパー１６の位置を基材部分１０ａの中
央よりスライスベース１０ｂ側にした方がウェーハ１０
が加熱されやすくなる。また、ウェーハ搬送手段による
正確な位置決めが可能であれば、位置決めバー１３を用
いず、ウェーハ１０を搬入した状態でクランプ台１２に
固定してもよいし、その場合は、ウェーハ１０を図１の
左側から搬入してもよい。

【００４１】実施例２ 図３・図４・図５に本発明に係るウェーハスライスベー
ス剥離装置の実施例２の要部を示す。実施例２は実施例
１と同様に基本構成が請求項１に該当し基材部分１０ａ
を加熱する方法であるが、実施例１に対して、クランプ
台が水平、加熱部分がスライスベース１０ｂ側のみにな
っていること、クランパーがウェーハ搬送手段のウェー
ハチャックと兼用でないこと等が異なる。図３は平面図
（上部分は一部断面図）、図４は図３のＢ−Ｂ断面図、
図５は図３のＣ矢視図で、ウェーハ１０は図３の左側か
ら搬入され右側へ搬出される。いずれもウェーハ１０の
基材部分１０ａが固定されスライスベース１０ｂが剥離
される前の状態を表している。

【００４２】図３・図４・図５において、門形のベース
２１の下板２１ａの上面に断熱板２２を介してクランプ
台２３が固着され、クランプ台２３には所定の温度の発
熱をするヒータ２４及び図示しない温度センサーが内蔵
されている。クランプ台２３のスライスベース１０ｂ側
の形状は基材部分１０ａと同様の形状（円弧）で、半径
は基材部分１０ａの半径より僅かに小さく幅はスライス
ベース１０ｂの幅より多少大きくなっている。

【００４３】クランプ台２３の上方でベース２１の上板
２１ｂの下面には２個のエアシリンダ２５が固着され、
エアシリンダ２５の各々のピストン２５ａにはクランパ
ー２６が取り付けられている。また、上板２１ｂの下面
にはエアシリンダ２５の近傍のスライスベース１０ｂ側
に２個のエアシリンダ２７が固着され、エアシリンダ２
７の各々のピストン２７ａにはプッシャー２８が取り付
けられている。クランプ台２３の下方にはバスケット２
９が設けられている。

【００４４】次に、このように構成されたウェーハスラ
イスベース剥離装置で、基材部分１０ａからスライスベ
ース１０ｂを剥離する作用を説明する。

【００４５】切断後洗浄されたウェーハ１０は、ウェー
ハ搬送手段（図示省略）によってクランプ台２３の所定
の位置（基材部分１０ａの中心がクランプ台２３の円弧
の中心とほぼ一致する位置）にスライスベース１０ｂを
図１の右側にして搬入されると、クランパー２６が下降
し基材部分１０ａをクランプ台２３に押圧して固定す
る。

【００４６】クランパー２６が基材部分１０ａをクラン
プ台２３に固定して所定の時間経過すると、実施例１と
同様に基材部分１０ａとスライスベース１０ｂを結合し
ている接着剤が高温になって柔らかくなるので、プッシ
ャー２８がスライスベース１０ｂを押圧してスライスベ
ース１０ｂを基材部分１０ａから剥離する。剥離された
スライスベース１０ｂは落下してバスケット２９に格納
される。

【００４７】なお、この場合、クランプ台２３の加熱は
実施例１と同様に基材部分１０ａ全体にしてもよい。ま
た、ウェーハ１０をスライスベース１０ｂ方向に搬送し
たが ウェーハ１０をこれと直角方向に搬送してもよ
い。この場合はウェーハ１０が移動時に干渉しないよう
にベース２１の縦板２１ｃの形状を変更する。

【００４８】実施例３ 図６・図７・図８に本発明に係るウェーハスライスベー
ス剥離装置の実施例３の要部を示す。実施例３は請求項
６に該当するものである。図６は平面図（上部分は一部
断面図）、図７は図６のＤ−Ｄ断面図、図８は図６のＥ
−Ｅ断面図（部分詳細図）で、ウェーハ１０は図６の左
側から搬入され右側へ搬出される。いずれもウェーハ１
０の基材部分１０ａが固定されスライスベース１０ｂが
剥離される前の状態を表している。

【００４９】図６・図７・図８において、門形のベース
３１の下板３１ａの上面にクランプ台３２が固着されて
いる。クランプ台３２のスライスベース１０ｂ側の形状
は基材部分１０ａと同様の形状（円弧）で、半径は基材
部分１０ａの半径より僅かに小さく幅はスライスベース
１０ｂの幅より多少大きくなっている。クランプ台３２
の上方でベース３１の上板３１ｂの下面には２個のエア
シリンダ３３が固着され、エアシリンダ３３の各々のピ
ストン３３ａにはクランパー３４が取り付けられてい
る。

【００５０】また、上板３１ｂの下面にはエアシリンダ
３３の近傍のスライスベース１０ｂ側に２個のエアシリ
ンダ３５が固着され、エアシリンダ３５の各々のピスト
ン３５ａにはプッシャー３６が取り付けられている。さ
らに、クランパー３４とプッシャー３６との間には、基
材部分１０ａとスライベース１０ｂの境界形状（円弧）
に近似形状のノズル３８が設けられており、ノズル３８
には所定の温度の熱風（１００℃前後）を発生する熱風
発生手段３７が接続されている。クランプ台３２の下方
にはバスケット３９が設けられている。

【００５１】次に、このように構成されたウェーハスラ
イスベース剥離装置で、基材部分１０ａからスライスベ
ース１０ｂを剥離する作用を説明する。

【００５２】切断後洗浄されたウェーハ１０は、ウェー
ハ搬送手段（図示省略）によってクランプ台３２の所定
の位置（基材部分１０ａの中心がクランプ台３２の円弧
の中心とほぼ一致する位置）に搬入されると、クランパ
ー３４が下降し基材部分１０ａをクランプ台３２に押圧
して固定する。次に、熱風発生手段３７が接続されたノ
ズル３８から所定の温度の熱風が吐出され、基材部分１
０ａとスライスベース１０ｂの境界部分が加熱される。

【００５３】この状態で所定の時間経過すると、基材部
分１０ａとスライスベース１０ｂを結合している接着剤
が高温になって柔らかくなるので、プッシャー３６がス
ライスベース１０ｂを押圧してスライスベース１０ｂを
基材部分１０ａから剥離する。剥離されたスライスベー
ス１０ｂは落下してバスケット３９に格納される。

【００５４】なお、この場合、クランプ台３２は実施例
１と同様に基材部分１０ａ全体を包含する形状としても
よい。また、ウェーハ１０をスライスベース１０ｂ方向
に搬送したが ウェーハ１０をこれと直角方向に搬送し
てもよい。この場合はウェーハ１０が移動時に干渉しな
いようにベース３１の縦板３１ｃの形状を変更する。

【００５５】さらに、ウェーハ１０は横姿勢で水平方向
に搬送するようにしたが、実施例１のように、装置全体
を横にした状態に構成（バスケット３９を除き図６が正
面図、図７が平面図になる構成）し、ウェーハ１０を縦
姿勢で鉛直または水平方向に搬送してもよいし、鉛直ま
たは水平方向に搬送する場合にもウェーハ１０をスライ
スベース１０ｂ方向に搬送しても、これと直角方向に搬
送してもよい。

【００５６】実施例４ 図９・図１０・図１１・図１２に本発明に係るウェーハ
スライスベース剥離装置の実施例４の要部を示す。実施
例４は請求項７に該当するものである。図９は平面図
（上部分は一部断面図）、図１０は図９のＦ−Ｆ断面
図、図１１は図９のＧ矢視図、図１２は図９のＨ矢視図
で、ウェーハ１０は図９の左側から搬入され右側へ搬出
される。いずれもウェーハ１０の基材部分１０ａが固定
されスライスベース１０ｂが剥離される前の状態を表し
ている。

【００５７】図９・図１０・図１１・図１２において、
門形のベース４１の下板４１ａの上面にクランプ台４２
が固着されている。クランプ台４２のスライスベース１
０ｂ側の形状は基材部分１０ａと同様の形状（円弧）
で、半径は基材部分１０ａの半径より僅かに小さく幅は
スライスベース１０ｂの幅より多少大きくなっている。
クランプ台４２の上方でベース４１の上板４１ｂの下面
には２個のエアシリンダ４３が固着され、エアシリンダ
４３の各々のピストン４３ａにはクランパー４４が取り
付けられている。

【００５８】また、ベース４１の両側の縦板４１ｃには
各々ベアリング４６が取り付けられ、ベアリング４６に
ブラケット４７が揺動自在に支持されている。ブラケッ
ト４７の揺動軸にはアーム５２が固着され、アーム５２
はホルダ５３に支持されたエアシリンダ５４によって９
０度近く揺動する。ブラケット４７には断熱板４８を介
してスライスベース受板５０が固着されているが、スラ
イスベース受板５０の上面（スライスベース１０ｂ接触
面）はブラケット４７に設けられたストッパ４９によっ
てクランプ台４２の上面（基材部分１０ａ接触面）と同
一面までしか揺動できないようになっている。

【００５９】スライスベース受板５０には所定の温度の
発熱（１００℃前後）をするヒータ５１及び図示しない
温度センサーが内蔵されている。スライスベース受板５
０の基材部分１０ａ側の形状は基材部分１０ａと同様の
形状（円弧）で、幅は縦横ともスライスベース１０ｂの
より多少大きくなっている。

【００６０】さらに、上板４１ｂの下面にはエアシリン
ダ４３の近傍のスライスベース１０ｂ側に２個のガイド
５５が固着され、ガイド５５には各々プッシャー５６が
上下自在に支持されているとともに圧縮バネ５８によっ
て下方に付勢されている。プッシャー５６の上側には爪
５７が設けられている。クランプ台４２の下方にはバス
ケット５９が設けられている。

【００６１】次に、このように構成されたウェーハスラ
イスベース剥離装置で、基材部分１０ａからスライスベ
ース１０ｂを剥離する作用を説明する。

【００６２】スライスベース受板５０の上面とクランプ
台４２の上面が同一面を形成した状態（ストッパ４９が
クランプ台４２の下面に当接した状態）のとき、図示し
ないウェーハ搬送手段によって、切断後洗浄されたウェ
ーハ１０がクランプ台４２の所定の位置（基材部分１０
ａの中心がクランプ台２３の円弧の中心とほぼ一致する
位置）に搬入されると、クランパー４４が下降し基材部
分１０ａをクランプ台４２に押圧して固定する。

【００６３】クランパー４４が上昇端にあるときは爪５
７によってプッシャー５６も上方に引き上げられている
が、クランパー４４が下降するとプッシャー５６は圧縮
バネ５８によって下方に付勢されスライスベース１０ｂ
をスライスベース受板５０に押圧する。

【００６４】クランパー４４が基材部分１０ａをクラン
プ台４２に固定し、プッシャー５６がスライスベース１
０ｂをスライスベース受板５０に押圧して所定の時間経
過すると、基材部分１０ａとスライスベース１０ｂを結
合している接着剤が高温になって柔らかくなるので、エ
アシリンダ５４によってスライスベース受板５０がスラ
イスベース１０ｂから離れる方向に動き、プッシャー５
６は圧縮バネ５８によってさらに下方に付勢され、スラ
イスベース１０ｂを押圧してスライスベース１０ｂを基
材部分１０ａから剥離する。剥離されたスライスベース
１０ｂは落下してバスケット５９に格納される。

【００６５】なお、この場合、クランプ台４２は実施例
１と同様に基材部分１０ａ全体を包含する形状としても
よい。また、ウェーハ１０をスライスベース１０ｂ方向
に搬送したが ウェーハ１０をこれと直角方向に搬送し
てもよい。この場合はウェーハ１０が移動時に干渉しな
いようにベース４１の縦板４１ｃの形状を変更する。

【００６６】さらに、ウェーハ１０は横姿勢で水平方向
に搬送するようにしたが、実施例１のように、装置全体
を横にした状態に構成（バスケット５９を除き図９が正
面図、図１０または図１１が平面図になる構成）し、ウ
ェーハ１０を縦姿勢で鉛直または水平方向に搬送しても
よいし、鉛直または水平方向に搬送する場合にもウェー
ハ１０をスライスベース１０ｂ方向に搬送しても、これ
と直角方向に搬送してもよい。

【００６７】なお、実施例２・実施例３・実施例４で
は、クランパー２６・３４・４４は２個で専用とした
が、実施例１のように１個としてもよいし、搬送手段の
ウェーハチャックと兼用としてもよい。反対に、実施例
１ではクランパー１６は１個で搬送手段のウェーハチャ
ックと兼用としたが、実施例２・実施例３・実施例４の
ように２個としてもよいし、専用としてもよい。

【００６８】同様に、実施例２・実施例３・実施例４で
は、プッシャー２８・３６・５６は２個としたが、実施
例１のようにスライスベース１０ｂ全体を包含する形状
１個としてもよい。反対に、実施例１ではプッシャー１
８はスライスベース１０ｂ全体を包含する形状１個とし
たが、実施例２・実施例３・実施例４のように２個とし
てもよい。

【００６９】また、クランパー２６・３４・４４及びプ
ッシャー１８・２８・３６・５６の駆動についてはエア
シリンダの場合について説明したが、他の駆動手段でも
よい。実施例４のスライスベース受板５０の駆動につい
ても同様である。

【００７０】なお、実施例１ではクランプ台１２の接触
面１２ａに格子状の溝１２ｂを形成したが、これは洗浄
によって水滴等が残っていてもとれやすくすることや、
クランプ台１２の平面度精度を向上させるため等による
もので、省略しても本発明は実施できるし、また、他の
実施例に適用してもよい。

【００７１】

【発明の効果】以上説明したように本発明に係るウェー
ハスライスベース剥離装置によれば、基材部分１０ａに
スライスベース１０ｂを接着した接着剤が剥がれやすい
状態にするための接着剤加熱手段を、熱水を用いず、ヒ
ータを内蔵したクランプ台やスライスベース受板からウ
ェーハ１０に伝熱して、または熱風発生手段で接着部分
を直接加熱して行う。これによって、剥離時にウェーハ
１０の温度は低下せず、基材部分１０ａとスライスベー
ス１０ｂを結合している接着剤が剥がれやすい状態を保
つ。

【００７２】したがって、剥離時に基材部分１０ａを破
損するおそれがなく、また、取扱が面倒で高価になる熱
水が不要なウェーハスライスベース剥離装置を提供する
ことができる。また、ウェーハ１０をウェーハの厚さ方
向に搬送する必要がないので、ウェーハ搬送手段を安価
に製作することができる。さらに、ウェーハ１０を縦姿
勢にすると、洗浄による水滴等がとれやすくなる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係るウェーハスライスベース剥離装置
の実施例１の要部を示す正面図

【図２】図１のＡ−Ａ断面図（平面図）

【図３】本発明に係るウェーハスライスベース剥離装置
の実施例２の要部を示す平面図（上部分は一部断面図）

【図４】図３のＢ−Ｂ断面図

【図５】図３のＣ矢視図

【図６】本発明に係る実施例３の要部を示す平面図（上
部分は一部断面図）

【図７】図６のＤ−Ｄ断面図

【図８】図６のＥ−Ｅ断面図（部分詳細図）

【図９】本発明に係る実施例４の要部を示す平面図（上
部分は一部断面図）

【図１０】図９のＦ−Ｆ断面図

【図１１】図９のＧ矢視図

【図１２】図９のＨ矢視図

【図１３】ウェーハの外形を示す図

【図１４】従来のウェーハスライスベース剥離装置の要
部を示すウェーハ搬送方向の中央断面図（立面図）

【図１５】図１４のＩ−Ｉ断面図（平面図）

【図１６】図１４のＪ−Ｊ断面図（側面図）

【符号の説明】

１０……ウェーハ １１……コラム １１ｂ…断熱板 １２……クランプ台 １３……位置決めバー １４……ヒータ １５……温度センサー １６……クランパー １７……エアシリンダー １８……プッシャー １９……バスケット

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) H01L 21/304 611 B28D 5/04

Claims (7)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ウェーハの基材部分に接着されたスライ
   スベースを、洗浄後にその基材部分から剥離するウェー
   ハスライスベース剥離装置であって、 前記基材部分を受けるクランプ台と、 前記クランプ台に内蔵され、所定の温度の発熱をするヒ
   ータと、 前記基材部分を前記クランプ台に固定するクランパー
   と、 前記スライスベース側に設けられ、前記スライスベース
   をウェーハの厚さ方向に押すプッシャーと、 から構成されたことを特徴とするウェーハスライスベー
   ス剥離装置。
2. 【請求項２】 前記クランプ台の前記基材部分の接触面
   を立てて構成し、ウェーハの厚さ方向を水平方向にした
   状態で前記クランプ台に固定することを特徴とする請求
   項１に記載のウェーハスライスベース剥離装置。
3. 【請求項３】 前記クランプ台の下方に前記基材部分の
   半径方向位置を決める位置決めバーが設けられたことを
   特徴とする請求項２に記載のウェーハスライスベース剥
   離装置。
4. 【請求項４】 前記クランプ台が前記基材部分のほぼ全
   面を包含する形状であることを特徴とする請求項１、請
   求項２または請求項３に記載のウェーハスライスベース
   剥離装置。
5. 【請求項５】 前記クランパーがウェーハ搬送手段のウ
   ェーハチャックであることを特徴とする請求項１から請
   求項４までのいずれか１に記載のウェーハスライスベー
   ス剥離装置。
6. 【請求項６】 ウェーハの基材部分に接着されたスライ
   スベースを、洗浄後にその基材部分から剥離するウェー
   ハスライスベース剥離装置であって、 前記基材部分を受けるクランプ台と、 前記基材部分を前記クランプ台に固定するクランパー
   と、 前記スライスベース側に設けられ、前記スライスベース
   をウェーハの厚さ方向に押すプッシャーと、 前記基材部分と前記スライスベースの境界近傍に設けら
   れ、前記基材部分と前記スライスベースの境界形状に近
   似形状のノズルと、 前記ノズルに接続され、所定の温度の熱風を発生する熱
   風発生手段と、 から構成されたことを特徴とするウェーハスライスベー
   ス剥離装置。
7. 【請求項７】ウェーハの基材部分に接着されたスライス
   ベースを、洗浄後にその基材部分から剥離するウェーハ
   スライスベース剥離装置であって、 前記基材部分を受けるクランプ台と、 前記基材部分を前記クランプ台に固定するクランパー
   と、 前記スライスベース側に設けられ、前記スライスベース
   をウェーハの厚さ方向に押すプッシャーと、 前記スライスベース側で前記プッシャーと反対側に、ウ
   ェーハの厚さ方向揺動自在に設けられたスライスベース
   受板と、 前記スライスベース受板に内蔵され、所定の温度の発熱
   をするヒータと、 から構成され、 ウェーハ加熱時には前記スライスベース受板の面が前記
   クランプ台の面と同一となり、スライスベース剥離時に
   は前記スライスベース受板が前記スライスベースから離
   れることを特徴とするウェーハスライスベース剥離装
   置。 【０００１】