TWI721855B - 線放電加工機 - Google Patents

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TWI721855B
TWI721855B TW109111933A TW109111933A TWI721855B TW I721855 B TWI721855 B TW I721855B TW 109111933 A TW109111933 A TW 109111933A TW 109111933 A TW109111933 A TW 109111933A TW I721855 B TWI721855 B TW I721855B
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湯澤隆
大友陽一
柴田淳一
瀬口正記
三宅英孝
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日商三菱電機股份有限公司
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    • B23H—WORKING OF METAL BY THE ACTION OF A HIGH CONCENTRATION OF ELECTRIC CURRENT ON A WORKPIECE USING AN ELECTRODE WHICH TAKES THE PLACE OF A TOOL; SUCH WORKING COMBINED WITH OTHER FORMS OF WORKING OF METAL
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Abstract

本發明的線放電加工機(100)係具有：線電極(1)，係使放電發生於與被加工物(4)之間而對被加工物(4)進行放電加工；加工液噴嘴(5a、5b)，係從與線電極(1)同軸的方向供給加工液至線電極(1)與被加工物(4)之間的間隙；及加工液導引部(10)，係具備治具板(10a、10b)，將被加工物(4)配置在治具板(10a、10b)之間的空間，以防止加工液從治具板(10a、10b)之間的空間脫離的方式導引加工液；治具板(10a、10b)的與被加工物(4)相對向之面係比被加工物(4)的與治具板(10a、10b)相對向之面大。

Description

線放電加工機
本發明係有關在加工液中對形成在線(wire)電極與被加工物之間的間隙施加電壓使放電發生，藉此而加工被加工物的線放電加工機。
線放電加工機係令線電極相對於被加工物相對移動，使放電發生於間隙，藉此而進行放電加工。在放電加工中的加工間隙，係恆常地產生因放電而致生的熱能量(energy)與加工屑。因放電而致生的熱能量及加工屑皆是造成放電加工不穩定的主要原因。因此，有以加工屑的排出與極間冷卻為目的，而從加工液供給裝置經由加工液噴嘴(nozzle)供給加工液至極間，將加工不穩定化要素予以排除的必要。為了使加工液適切地供給至極間，加工液噴嘴係必須以儘可能靠近被加工物使加工液適切地供給至極間的方式配置。
下述之專利文獻1係揭示一種收容被加工物即柱狀晶錠(ingot)的收容治具。該專利文獻1所揭示的收容治具係具有：一對側端面，係沿與由一對支持體張設的線正交的方向延伸；及狹縫(slit)，係構成與柱狀晶錠的軸方向正交的面。驅動部係沿著一對側端面變更一對支持體與晶錠的相對位置，線係隨著一對支持體與晶錠的相對位置的變更在狹縫內移動。 [先前技術文獻] [專利文獻]
專利文獻1：日本國特開2013-166218號公報
[發明所欲解決之課題]
前述專利文獻1之發明的收容治具乃係將晶錠側面部整圈包圍的構造，晶錠徑及狹縫寬度是固定的。因此，前述專利文獻1所揭示的收容治具係必須依晶錠尺寸(size)的不同或加工品的尺寸的不同，準備複數種不同的收容冶具。
本發明乃係鑒於上述情事而研創，目的在於獲得能夠無關於被加工物的尺寸及形狀地將加工液穩定供給至極間的線放電加工機。 [解決課題的手段]
為了解決上述課題並達成目的，本發明的線放電加工機係具有：線電極，係使放電發生於與被加工物之間而對被加工物進行放電加工；加工液噴嘴，係從與線電極同軸的方向供給加工液至線電極與被加工物之間的間隙；及加工液導引(guide)部，係具備一對板(plate)構件，將被加工物配置在一對板構件彼此之間的空間，以防止加工液從一對板構件彼此之間的空間脫離的方式導引加工液。板構件的與被加工物相對向之面係比被加工物的與板構件相對向之面大。 [發明的效果]
本發明的線放電加工機係達到能夠無關於被加工物的尺寸及形狀地將加工液穩定供給至極間的效果。
以下，根據圖式詳細說明本發明實施形態的線放電加工機。另外，本發明並不受下述實施形態所限定。
實施形態1. 第1圖係顯示本發明實施形態1的線放電加工機的構成之圖。實施形態1的線放電加工機100係具有：送線捲線軸(bobbin)13，係供給線電極1；收線捲線軸14，係捲收線電極1；及導引滾輪(guide roller)2a、2b，係用於使線電極1適切地走線。此外，線放電加工機100係具有：一對加工液噴嘴5a、5b，係將供給自加工液供給裝置3的加工液往被加工物4噴射；供電件6a、6b，係接觸於線電極1；平台9，係能夠沿水平方向移動；X軸驅動部7，係使平台9沿X軸方向移動；Y軸驅動部8，係使平台9沿Y軸方向移動；軸驅動控制部12，係控制X軸驅動部7及Y軸驅動部8；及加工液導引部10，係具備一對板構件即治具板10a、10b，以防止加工液從治具板10a、10b之間的空間脫離的方式導引加工液。另外，線放電加工機100係具有以鉛直方向為Z軸方向、以在水平面內互相正交的兩個方向為X軸方向及Y軸方向的直角座標系。
加工電源11係施加電壓至供電件6a、6b及平台9。因此，從加工電源11亦經由供電件6a、6b施加電壓至線電極1。
第2圖係實施形態1的線放電加工機的加工液導引部的立體圖。第3圖係實施形態1的線放電加工機的加工液導引部的前視圖。第4圖係實施形態1的線放電加工機的加工液導引部的側視圖。加工液導引部10乃係設想為對圓柱狀的被加工物4進行切割的治具。加工液導引部10的一對治具板10a、10b係以平行於切割對象即圓柱狀的被加工物4的圓柱剖面的方式配置於兩側。加工液噴嘴5a、5b與治具板10a、10b係在線電極1的軸方向上隔著間隔D配置。在實施形態1中，治具板10a、10b的線電極1的軸方向之側的周緣部為直線狀。因此，在以線放電加工機100進行的加工中，加工液噴嘴5a、5b與治具板10a、10b在線電極1的軸方向上的間隔D係保持一定。為了使加工性能提升，係構成為使間隔D在加工液噴嘴5a、5b與加工液導引部10不接觸的範圍內儘可能縮減來進行加工。另外，此處，雖然治具板10a、10b的線電極1的軸方向之側的周緣部採用直線狀，但亦可未必要為直線狀。
治具板10a、10b係比被加工物4的與治具板10a、10b相對向之面且為與切割面相同形狀的圓柱端面大，覆蓋被加工物4的圓柱端面整面，周緣部係自被加工物4的圓柱端面伸出。
加工液導引部10的一對治具板10a、10b係至少其中一者具有導電性。被加工物4係固定在一對治具板10a、10b當中擁有導電性的一方。將被加工物4固定在治具板10a、10b的方法係除了能夠適用使用熔點為300℃以下的低熔點金屬進行的焊接，還能夠適用使用導電性接著劑進行的接著。在將治具板10a、10b其中一者與被加工物4使用低熔點金屬進行焊接的情形中，雖然必須加熱治具板10a、10b與被加工物4來進行焊接作業，但只要對加工後的被加工物4及治具板10a、10b進行加熱就能夠從治具板10a、10b容易地取下被加工物4。此外，在使用導電性接著劑進行接著的情形中，雖然加工後的被加工物4從治具板10a、10b取下時必須以適切的方法令導電性接著劑溶解，但能夠容易地將被加工物4固定至治具板10a、10b。另外，被加工物4並非一定要藉由治具板10a、10b而固定，亦可另外設置將配置在治具板10a、10b之間的空間的被加工物4予以保持的構件。
一對治具板10a、10b當中擁有導電性的一方固定有被加工物4的加工液導引部10係固定於平台9。此外，治具板10a、10b當中擁有導電性的一方係與平台9電性連接。因此，從加工電源11亦經由平台9及治具板10a、10b施加電壓至被加工物4。
第5圖係顯示實施形態1的線放電加工機的加工中的加工液的流速分布之圖。在第5圖中亦一併顯示沒有加工液導引部10時的加工液的流速分布。流速值表示的是在配置有線電極1的加工間隙部的值。在沒有加工液導引部10的情形中，從加工液噴嘴5a、5b噴出的加工液係從碰撞到被加工物4之前流速為慢，在碰撞到被加工物4後流速稍微上升，之後，流速係向著被加工物4的中央部急劇降低。另一方面，在有加工液導引部10的情形中，從加工液噴嘴5a、5b噴出的加工液係從碰撞到被加工物4之前流速為快，在碰撞到被加工物4後流速大幅上升。這是因為供給至被加工物4的加工液受到加工液導引部10阻礙喪失脫離空間的緣故。之後，雖然流速係向著被加工物4的中央部緩慢地降低，但由於剛碰撞到被加工物4後的流速大，故在被加工物4的中央部的流速係比沒有加工液導引部10時增加。因此，實施形態1的線放電加工機100係能夠無關於被加工物4的形狀地將加工液穩定供給至極間。
為了使在配置有線電極1的加工間隙部的加工液的流速增加，治具板10a、10b的間隔係較佳為愈窄愈好。另外，第4圖所示的加工液噴嘴5a、5b的噴嘴寬度W1係配合治具板10a、10b的間隔W2進行變更。在治具板10a、10b的間隔W2加寬但加工液噴嘴5a、5b的噴嘴寬度W1卻沒有變化的情形中，治具板10a、10b與加工液噴嘴5a、5b的間隙增大，供給自加工液噴嘴5a、5b的加工液係經由治具板10a、10b與加工液噴嘴5a、5b的間隙而流出至治具板10a、10b之間的空間的外部。因此，構成為配合治具板10a、10b的間隔W2調整加工液噴嘴5a、5b的噴嘴寬度W1，而使加工液噴嘴5a、5b覆蓋以治具板10a、10b與被加工物4圍起的溝部41的開口部的寬度方向全體。亦即，加工液噴嘴5a、5b的噴嘴寬度W1係採用治具板10a、10b的間隔W2以上。
實施形態1的線放電加工機100並不需要以治具板10a、10b包覆整個被加工物4，故無需配合被加工物4的尺寸個別製作治具板10a、10b。此外，係將被加工物4配置在治具板10a、10b之間的空間，故即便被加工物4的寬度尺寸存在變異，仍能夠藉由調整治具板10a、10b的間隔W2而穩定地保持被加工物4。亦即，治具板10a、10b係能夠穩定地保持不同尺寸的被加工物4。此外，即使進行放電加工，治具板10a、10b也不會損傷，故能夠重複使用治具板10a、10b。
實施形態2. 第6圖係顯示本發明實施形態2的線放電加工機的構成之圖。第7圖係顯示實施形態2的線放電加工機的並列切割線部之立體圖。與實施形態1的線放電加工機100相同的部分係賦予相同的元件符號並省略說明。4支導引滾輪2a至2d係以彼此平行於軸線方向而分隔的方式配置。不斷從送線捲線軸13導出的線電極1係在導引滾輪2a至2d間以彼此隔著間隔的方式繞捲複數次後捲收至收線捲線軸14。線電極1中的平行張設在導引滾輪2b與導引滾輪2c之間的部分係形成並列切割線部15。並列切割線部15係對被加工物4的複數處同時進行放電加工。並列切割線部15係藉由定位導引滾輪2e、2f而將各線電極1限制在適切的位置。在加工槽26的內部係設置有能夠進行Z軸方向的位置調整的Z軸載台(stage)27。在Z軸載台27係設置有加工液導引部10。因此，藉由驅動Z軸載台27，使保持在加工液導引部10的被加工物4沿Z軸方向移動。
在線電極1係經由供電件6a、6b而獲得電壓的施加。為了適切地去除加工時從被加工物4排出的加工屑、以及極間部的冷卻，經由加工液噴嘴5a、5b將加工液25供給至極間。為了防止在加工中線電極1振動造成加工精度惡化，以定位導引滾輪2e、2f限制線位置。
並列切割線部15係配置在加工槽26內的加工液25中，放電加工係在加工液25中進行。
加工液噴嘴5a、5b係設置在加工液導引部10的左右，將加工液25供給至藉由並列切割線部15進行放電加工的加工部。加工電壓係經由供電件6a、6b施加至線電極1，使放電發生於與僅分隔微小距離的被加工物4之間。保持在加工液導引部10的被加工物4係藉由未圖示的位置控制裝置以恆常隔著微小間隙的方式控制位置，因此，隨著藉由放電形成加工溝，被加工物4係跟著緩緩送入並列切割線部15的方向使得加工溝愈來愈深，最終，被加工物4係切割加工成薄板狀。
此處，被加工物4需要的是切片(slice)成複數片薄板的切片加工。就被加工物4而言，係有作為濺鍍靶(sputtering target)的鎢(tungsten)或鉬(molybdenum)等金屬、作為各種構造構件使用的多晶碳化矽(silicon carbide)等陶瓷(ceramics)、作為半導體元件(device)晶圓(wafer)的單晶矽、單晶碳化矽、單晶氮化鎵、單晶氧化鎵等半導體材料、作為太陽能電池晶圓的單晶及多晶矽等。上述材料中，金屬的比電阻低，不會對放電加工的適用產生妨礙。能夠作為半導體材料及太陽電池材料進行放電加工的材料乃係比電阻大約100Ωcm以下的材料，較佳為比電阻大約10Ωcm以下的材料。
另外，在第7圖中係顯示將1條線電極1繞捲在4支導引滾輪2a至2d的例子，但並不限於第7圖的做法，只要為從1條線電極1形成並列切割線部15，其具體構成便無特別限定。
第8圖係實施形態2的線放電加工機的加工液導引部的基板的立體圖。第9圖係顯示實施形態2的線放電加工機的加工液導引部與切割被加工物時的樣子之圖。第10圖係實施形態2的線放電加工機的加工液導引部的前視圖。第11圖係實施形態2的線放電加工機的加工液導引部的側視圖。加工液導引部10係具有一對板構件即基板10c及對向板10d。基板10c係由下部的基(base)部101與比基部101薄的板部102構成。對向板10d係以螺栓(bolt)19鎖固在基部101。
基部101與板部102的交界係形成為段差103。在段差103係設置有切落端面固定塊(block)16。基部101的段差103的部分係具備沿左右方向隔著間隔往上方突出的突起部104、105。在突起部105係設有螺孔，鎖入螺栓18。在螺栓18的前端係配置有抵接板17。在抵接板17與突起部104之間係配置有切落端面固定塊16。藉由鎖緊螺栓18，使抵接板17頂推切落端面固定塊16，切落端面固定塊16係被突起部104與抵接板17夾住而固定。
切落端面固定塊16係將被加工物4的切落終端面沿垂直方向定位且進行固定。切落端面固定塊16的頂面係位在比突起部104、105任一者更上方。因此，就算並列切割線部15將被加工物4完全地切落，並列切割線部15也只會切到切落端面固定塊16而已，不會損傷基板10c。切落端面固定塊16乃係能夠從基板10c分離，能夠按每一次加工被加工物4做更換。
藉由以切落端面固定塊16固定被加工物4的切落終端面，能夠一直對被加工物4通電直到切落被加工物4的瞬間，故能夠穩定地進行加工。
被加工物4與基板10c係以使用導電性接著劑進行的接著、或使用熔點為300℃以下的低熔點金屬進行的焊接而固定。導電性接著劑及低熔點金屬皆為導電性材料，故能夠讓被加工物4與加工液導引部10之間具有電性導通。為了進行放電加工，必須從加工電源11施加電壓至線電極1與被加工物4之間。由於被加工物4與加工液導引部10之間具有電性導通，故如第9圖所示，在基板10c設置供電線連接部28而從加工電源11施加電壓，藉此，能夠經由加工液導引部10施加電壓至被加工物4。
另外，切落端面固定塊16係具有導電性。因此，亦可構成為將供電線連接部28設置在切落端面固定塊16而從加工電源11施加電壓至切落端面固定塊16。在將供電線連接部28設置在基板10c的情形中，一直到並列切割線部15即將切落被加工物4之前，在基板10c同樣是從加工電源11經由切落端面固定塊16獲得電壓的施加。因此，即使將供電線連接部28設置在切落端面固定塊16仍能夠以同等於將供電線連接部28設置在基板10c時的品質進行放電加工。
在基部101係設有用於量測被加工物4的傾斜的基準面20。當欲正確地調整被加工物4的切割面的角度時，必須使用角度調整機構等來調整被加工物4的位置及姿勢。當以被加工物4的表面作為基準來調整被加工物4的位置及姿勢時，若被加工物4的表面粗糙便難以正確地進行調整。然而，只是為了被加工物4的位置及姿勢的調整就研磨被加工物4的表面，從成本(cost)面來看並不理想。實施形態2的線放電加工機100係在基板10c上設有用以量測被加工物4的傾斜的基準面20。只要預先量測而掌握被加工物4與基準面20的相對位置，便能夠利用基準面20調整被加工物4的位置及姿勢。基準面20係在保持有被加工物4的狀態中仍露出在外，故能夠在被加工物4保持在加工液導引部10的狀態下直接進行被加工物4的位置及姿勢的調整。
實施形態2的線放電加工機100係將線電極1平行張設而形成並列切割線部15，故加工液噴嘴5a、5b的開口部變大，供給自加工液噴嘴5a、5b的加工液25的初速度係比實施形態1的線放電加工機100降低。實施形態2的線放電加工機100係將被加工物4保持在基板10c與對向板10d之間的空間。此外，基板10c及對向板10d係比被加工物4的與基板10c及對向板10d相對向之面且為與切割面相同形狀的圓柱端面大，且係覆蓋被加工物4的圓柱端面整面，周緣部係自被加工物4的圓柱端面伸出。因此，碰撞到被加工物4的加工液25係受到加工液導引部10阻礙喪失脫離空間，為流速快的狀態，故即便供給自加工液噴嘴5a、5b的加工液25的速度在被加工物4的中央部降低，相較於沒有加工液導引部10時，仍能夠良好地將加工液25供給至加工間隙。因此，實施形態2的線放電加工機100係既為具備並列切割線部15的多線(multi wire)式，亦能夠做到加工速度的提升、加工狀態的穩定化、線斷線防止、加工溝寬度的縮減、及加工面粗糙度的改善。
實施形態2的線放電加工機100係同實施形態1一樣，能夠抑制在加工間隙的加工液25的流速降低，能夠幫助加工的穩定化。
上述的實施形態揭示的構成僅係本發明內容的例示，本發明既能夠與別的公知技術組合，在不脫離本發明主旨的範圍內，亦能夠省略、變更構成的一部分。
1:線電極 2a至2d:導引滾輪 2e、2f:定位導引滾輪 3:加工液供給裝置 4:被加工物 5a、5b:加工液噴嘴 6a、6b:供電件 7:X軸驅動部 8:Y軸驅動部 9:平台 10:加工液導引部 10a、10b:治具板 10c:基板 10d:對向板 11:加工電源 12:軸驅動控制部 13:送線捲線軸 14:收線捲線軸 15:並列切割線部 16:切落端面固定塊 17:抵接板 18、19:螺栓 20:基準面 25:加工液 26:加工槽 27:Z軸載台 28:供電線連接部 41:溝部 100:線放電加工機 101:基部 102:板部 103:段差 104、105:突起部 D:間隔 W1:噴嘴寬度 W2:治具板的間隔
第1圖係顯示本發明實施形態1的線放電加工機的構成之圖。 第2圖係實施形態1的線放電加工機的加工液導引部的立體圖。 第3圖係實施形態1的線放電加工機的加工液導引部的前視圖。 第4圖係實施形態1的線放電加工機的加工液導引部的側視圖。 第5圖係顯示實施形態1的線放電加工機的加工中的加工液的流速分布之圖。 第6圖係顯示本發明實施形態2的線放電加工機的構成之圖。 第7圖係顯示實施形態2的線放電加工機的並列切割線部之立體圖。 第8圖係實施形態2的線放電加工機的加工液導引部的基板(base plate)的立體圖。 第9圖係顯示實施形態2的線放電加工機的加工液導引部與切割被加工物時的樣子之圖。 第10圖係實施形態2的線放電加工機的加工液導引部的前視圖。 第11圖係實施形態2的線放電加工機的加工液導引部的側視圖。
1:線電極
2a、2b:導引滾輪
3:加工液供給裝置
4:被加工物
5a、5b:加工液噴嘴
6a、6b:供電件
7:X軸驅動部
8:Y軸驅動部
9:平台
10:加工液導引部
10a、10b:治具板
11:加工電源
12:軸驅動控制部
13:送線捲線軸
14:收線捲線軸
100:線放電加工機

Claims (10)

  1. 一種線放電加工機，係具有： 線電極，係使放電發生於與被加工物之間而對前述被加工物進行放電加工； 加工液噴嘴，係從與前述線電極同軸的方向供給加工液至前述線電極與前述被加工物之間的間隙；及 加工液導引部，係具備一對板構件，將前述被加工物配置在一對前述板構件彼此之間的空間，以防止前述加工液從一對前述板構件彼此之間的空間脫離的方式導引前述加工液； 前述板構件的與前述被加工物相對向之面係比前述被加工物的與前述板構件相對向之面大。
  2. 如申請專利範圍第1項所述之線放電加工機，其中，前述加工液噴嘴與一對前述板構件係在前述線電極的軸方向上隔著間隔配置； 前述放電加工中，前述板構件的周緣部與前述加工液噴嘴之間隔為一定。
  3. 如申請專利範圍第1項所述之線放電加工機，其中，前述加工液噴嘴的噴嘴寬度係在一對前述板構件彼此的間隔以上。
  4. 如申請專利範圍第1項所述之線放電加工機，其中，前述線電極係由以彼此平行於軸線方向而分隔的方式平行張設的部分，形成為對前述被加工物的複數處同時進行前述放電加工的並列切割線部。
  5. 如申請專利範圍第1項所述之線放電加工機，其中，前述被加工物係固定在一對前述板構件的其中一方。
  6. 如申請專利範圍第5項所述之線放電加工機，其中，一對前述板構件之中至少固定前述被加工物的一方係具有導電性。
  7. 如申請專利範圍第6項所述之線放電加工機，其中，一對前述板構件中的固定前述被加工物的一方與前述被加工物係以使用熔點為300℃以下的金屬進行的焊接或使用導電性接著劑進行的接著而固定。
  8. 如申請專利範圍第1項所述之線放電加工機，其中，前述加工液導引部係具有將前述被加工物的切落終端面定位且進行固定的切落端面固定塊。
  9. 如申請專利範圍第8項所述之線放電加工機，其中，前述切落端面固定塊係能夠從一對前述板構件分離。
  10. 如申請專利範圍第1至9項中任一項所述之線放電加工機，其中，前述加工液導引部係具有用以量測前述被加工物的傾斜的基準面。
TW109111933A 2019-04-15 2020-04-09 線放電加工機 TWI721855B (zh)

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