WO2005124853A1

WO2005124853A1 - ロードポート

Info

Publication number: WO2005124853A1
Application number: PCT/JP2004/009041
Authority: WO
Inventors: Takehiko Yoshimura; Tatsuhiko Nagata; Masaru Seki; Yoshinori Cho
Original assignee: Right Mfg,Co.,Ltd.
Priority date: 2004-06-21
Filing date: 2004-06-21
Publication date: 2005-12-29
Also published as: EP1780785A4; JP4585514B2; EP1780785A1; JPWO2005124853A1; US20090169342A1; TW200601482A

Abstract

ロードポート（１００）は、ウエハキャリア（１０）を載置するための載置台（１０１）と、ウエハキャリア（１０）の雰囲気を置換するためのパージガスを、ウエハキャリア（１０）のウエハ（１）間の隙間（Ａ）に対して略平行に流出及び／又は流入させるノズル口（１１１）を有するノズル部（１１０）と、ノズル部（１１０）を、基板処理装置が内部にあるクリーンルームの壁面（２０１）付近に形成されたロードポート（１００）の扉開口部（２０２）に進出させるノズル駆動用モータ（１６６）等を含む駆動部と、容器開口部（１２）に気密に連結して、ウエハキャリア（１０）の内部空間と連続する密閉空間（Ｂ）を形成する密閉空間形成部（１２０）と、ウエハキャリア（１０）の雰囲気のパージ度合を示す酸素濃度に応じて、ノズル部（１１０）でのパージガスの流れを切換え制御する制御部（１６０）等とを備えている。

Description

技術分野

本発明は、シリコンウェハ等の各種基板（以下、ウェハという）が搬送される基板処理装置に設けられ、ウェハを所定間隔で収納する基板収納容器（以下、ウェハキャリアという）の蓋部材（以下、キャリアドアという）を着脱する口一ドポートに関するものである。

背景技術

従来、この種のロードポートは、キャリアドアと係合する口一ドポートドアと、ロードポートドアを開閉するためのロードボ一トドア開閉機構等とを備え、キヤリァドアを開けた状態で、ウェハキャリアの雰囲気を置換（以下、パージという）するものが知られている。 - 特許文献 1は、基板処理装置内の処理空間を、キャリアドアの開放面に隣接する所定の空間で仕切るための上部壁面と下部壁面と EFEM (Equ i pmen t F r on t End Modu l e) ドア等とを備え、この所定の空間内で、ウェハキャリアの雰囲気をパージするロードポートを開示している。

しかし、特許文献 1のロードポートは、ウェハキャリアの雰囲気をパージするための N ₂ガス等（以下、パージガスという）を、ウェハキャリアの開放面に対して斜め上方から供給している。

このため、ウェハ間の隙間にパージガスが十分に供 ¾5合されない可能性があり、たとえ、パージガスの流量を大きくしても、パージを十分に行うことが困難であり、パージに要するコス卜が高くなる可能性があった。また、特許文献 1のロードポートは、 E F EMドアを開閉するための E F EM機構を備えているので、基板処理装置内の処理空間に突出してしまい、突出部分は、基板処理装置の壁面から 1 0 0 mm以内とする、いわゆる S EM I規格を準拠していない構成となっていた。

(特許文献 1) 特開 2 0 0 3 - 4 5 9 3 3号公報（第 1一 3図）

発明の開示

本発明の目的は、パージを短時間で精度よく行うことができる口一ドポートを提供することである。

第 1の発明は、容器開口部に対向する位置に曲面状の内壁を有し、その内部に所定間隔で基板を収納する基板収納容器の前記容器開口部の蓋部材を、前記基板が搬送される部屋の扉開口部の扉部材に係合させて、前記蓋部材を着脱するロードポートであって、前記基板収納容器の雰囲気を置換するためのガスを、前記基板収納容器の前記基板間の隙間に対して略平行に流出及び Z又は流入させるノズルロを有するノズル部と、前記扉開口部に、前記ノズル部を進出させる駆動部と、を含むロードポートである。

第 2の発明は、前記ノズル部は、前記ガスを流出する第 1ノズル部と、前記ガスを流入する第 2ノズル部と、を含み、前記第 1ノズル部と前記第 2ノズル部とは、前記基板が前記部屋に搬送される搬送方向に沿った前記基板収納容器の中心線に対して略対称に配置されていることを特徴とする。

第 3の発明は、前記ノズル口は、前記基板間の隙間に位置するように形成されていることを特徴とする。

第 4の発明は、前記ノズル口は、前記基板収納容器に収納された前記基板の縦方向に沿つて、所定間隔で形成されていることを特徴とする。

第 5の発明は、前記ノズル口は、前記縦方向に対して、め方向に沿って複数形成されていることを特徴とする。第 6の発明は、前記ノズル部の厚みは、前記ノズル口の直径の 2倍以上であることを特徴とする。

第⁷の発明は、前記ノズル部は、前記基板が前記基板収納容器から前記部屋に搬送されるときの前記基板の軌跡の外側に収納され、前記扉開口部の側端付近を回転中心として回転する円弧状部材であることを特徴とする。

第 8の発明は、前記駆動部は、前記ノズル部を、前記扉開口部の側端付近を回転中心として回転させ、前記扉開口部の側面から前記扉開口部に進出させることを特徴とする。第 9の発明は、前記ノズル部は、前記蓋部材を収納する収納部に収納され、前記ノズル口が前記基板間の隙間に合わせて略全面に形成された薄い板状部材であることを特徴とする。

第 1 0の発明は、前記駆動部は、前記ノズル部を、前記扉開口部の下端付近から前記扉開口部に進出させることを特徴とする。

第 1 1の発明は、前記ノズル部は、前記蓋部材を収納する収納部に収納された管状部材であることを特徴とする。

第 1 2の発明は、前記駆動部は、前記ノズル部を、前記扉開口部の下端付近から前記扉開口部に進出させることを特徴とする。

第 1 3の発明は、前記ノズル部は、前記扉開口部の上端付近に収納され、前記扉開口部の上側端部を回転中心として回転し、前記ノズル口が前記基板間の隙間に合わせて略全面に形成された薄い板状部材であることを特徴とする。

第 1 4の発明は、前記駆動部は、前記ノズル部を、前記扉開口部の上側端部を回転中心として回転させ、前記扉開口部の上端付近から前記扉開口部に進出させることを特徴とする。

第 1 5の発明は、前記ノズル部は、前記扉開口部の上端付近に収納され、前記扉開口部の上側端部を回転中心として回転する管状部材であることを特徴とする。第 1 6の発明は、前記駆動部は、前記ノズル部を、前記扉開口部の上側端部を回転中心として回転させ、前記扉開口部の上端付近から前記扉開口部に進出させることを特徴とする。

第 1 7の発明は、前記扉開口部の上端部付近に設けられ、前記ガスを略下方に流出して、細長い面状の気流幕を形成する補助用ノズル部をさらに含むことを特徴とする。

第 1 8の発明は、前記容器開口部に気密に連結して、その内部空間と連続する密閉空間を形成する密閉空間形成部をさらに含むことを特徴とする。

第 1 9の発明は、前記密閉空間形成部は、前記収納部と、前記収納部の上面と対向する位置に設けられた上部カバー部材と、前記収納部に収納され、前記収納部の内縁に沿って形成され、前記収納部から進退可能な内縁カバー部材と、を含むことを特徴とする。

第 2 0の発明は、前記ノズル部での前記ガスの流れを、所定のタイミングで切換える流れ制御部をさらに含むことを特徴とする。

第 2 1の発明は、前記流れ制御部は、前記基板収納容器の雰囲気の前記ガスの濃度を検知する検知部と、前記ノズル部での前記ガスの流れを切換える切換部と、前記検知部で検知された前記ガスの濃度が、雰囲気の置換具合を示す所定範囲になるように、前記切換部を切換える切換制御部と、を含むことを特徴とする。

第 2 2の発明は、前記密閉空間が形成され、前記ノズル部により前記基板収納容器の雰囲気が置換されている状態で、前記密閉空間内の圧力が外気圧よりも高くなるように、前記ガスの外部への排気量を調整する排気調整部をさらに含むことを特徴とする。

第 2 3の発明は、前記密閉空間で前記基板収納容器の雰囲気の置換が行われた後に、前記内縁カバー部材を前記収納部に収納し、前記ノズル部により前記基板収納容器の雰囲気を置換する置換制御部をさらに含むことを特徴とする。

第 2 4の発明は、前記ノズル部は、前記蓋部材を収納する収納部に収納され、前記基板が前記基板収納容器から前記部屋に搬送されるときの前記基板の軌跡の外側に配置された薄い板状部材であることを特徴とする。

第 2 5の発明は、前記駆動部は、前記収納部から進退可能な内縁カバ一部材が前記収納部から進出するときに、前記ノズル部を、前記扉開口部の下端付近から前記扉開口部に進出させることを特徴とする。

第 2 6の発明は、前記駆動部により前記扉開口部に進出した前記ノズル部を、その進出位置で保持可能な保持部材をさらに含むことを特徴とする。

第 2 7の発明は、前記ノズル部は、前記蓋部材を収納する収納部に収納され、前記ノズル口が前記基板間の隙間に合わせて略全面に形成され、前記基板が前記基板収納容器から前記部屋に搬送されるときの前記基板の軌跡の外側に配置された第 1薄板状部材と、前記扉開口部の中央付近に配置された第 2薄板状部材とを含むことを特徴とする。

第 2 8の発明は、前記駆動部は、前記第 1薄板状部材と前記第 2薄板状部材とを、それぞれ独立に前記扉開口部の下端付近から前記扉開口部に進出させることを特徴とする。第 2 9の発明は、前記馬区動部は、前記第 1薄板状部材と前記第 2薄板状部材とを前記扉開口部に進出させた後に、前記第 1薄板状部材をその進出位置で保持した状態で、前記第 2薄板状部材を前記扉開口部から退避させることを特徴とする。

本発明によれば、基板収納容器の雰囲気を置換するためのガスを、ノズル部のノズル口から基板間の隙間に対して略平行に流出及び/又は流入させ、このノズル部を扉開口部に進出させるようにしたので、ガスが基板間の隙間に効率的に流出し、基板収納容器の雰囲気を置換するために要する時間を短縮することができると共に、雰囲気の置換を精度よく行うことができる。

図面の簡単な説明

図 1は、本発明の実施例 1によるロードポートにウェハキャリアを載置し、パージを行つている状態を示す斜視図である。

図 2は、本発明の実施例 1によるロードポートにウェハキャリアを載置し、パージを行つている状態を示す側面図である。

図 3は、本発明の実施例 1によるロードポートにウェハキャリアを載置し、パージを停止した状態を示す側面図である。

図 4は、本発明の実施例 1によるロードポートにウェハキャリアを載置し、パージを行つている状態を示す断面図である。

図 5 Aは、第 1ノズル部が扉開口部に進出した状態を示す図である。

図 5 Bは、第 1ノズル部が扉開口部から退避した状態を示す図である。

図 6 Aは、第 1ノズル部が扉開口部に進出して、ウェハキャリアに収納されたウェハと向き合った状態を示す図である。

図 6 Bは、第 1ノズル部の断面図である。

図 7は、本発明の実施例 1によるロードポートを示すプロック図である。

図 8は、本発明の実施例 1によるロードポートの動作を示すフローチヤ一トである。図 9は、本発明の実施例 2によるロードポートにウェハキャリアを載置し、パージを行つている状態を示す斜視図である。

図 1 0は、本発明の実施例 3によるロードポー卜にウェハキャリアを載置し、パ一ジを行っている状態を示す斜視図である。

図 1 1は、本発明の実施例 4によるロードポートにウェハキャリアを載置し、パージを行っている状態を示す斜視図である。

図 1 2は、本発明の実施例 5によるロードポートにウェハキャリアを載置し、パージを行っている状態を示す側面図である。

図 1 3は、本発明の実施例 5によるロードポートのノズル部が進出位置で保持されている状態を示す側面図である。

図 1 4 Aは、本発明の実施例 6によるロードポートにウェハキャリアを載置し、パージを行っている状態を示す側面図である。図 14Bは、本発明の実施例 6による口一ドポートの第 1ノズル部と第 2ノズル部が進出位置で保持され、第 3ノズル部と第 4ノズル部が扉開口部から退避した状態を示す側面図である。

発明を実施するための最良の形態

以下、図面等を参照して、本発明の実施例をあげて、さらに詳しく説明する。

(実施例 1 )

ロードポート 100は、図 1に示すように、不図示の扉部材（以下、ロードポートドアという）が着脱される扉開口部 202が形成された壁面 201等を備え、ウェハ 1に所定の処理を行う不図示の基板処理装置の壁面に据え付けられている。

ウェハキャリア 10は、図 2に示すように、その内部に所定間隔（10mm程度）でゥェハ 1を収納する容器であって、キャリアシェル 11と、キャリアシェル 11の容器開口部 12に盖をするためのキャリアドア 16 (図 3参照）等とを備えている。なお、ウェハキャリアとしては、 F〇UP (F r on t Open i ng Un i f i e d Pod) と、 FOSB (F r on t O en i ng Sh i pp i ng Box) と力知られている。

キャリアシェル 11は、容器開口部 12に対向する位置に形成された曲面状の内壁 11 a (図 4参照）等を備えている。キャリアシェル 11は、図 2に示すように、その上部に、不図示の自動搬送装置により把持されるためのロポットフランジ 13が設けられている。キャリアシェル 11は、その下面 14に、 V字溝が形成された V字溝部 15が設けられている。

ロードポート 100は、ウェハキヤリア 10の容器開口部 12のキヤリァドア 16を、ロードポート 100の扉開口部 202のロードポ一トドアに係合させて、キャリアドア 1 6を着脱する装置であって、自動搬送装置により搬送されてきたウェハキャリア 10を載置する載置台 101と、載置台 101に移動可能に設けられた移動台 102と、後述する収納部 1 2 1内に設けられ、キャリアドア 1 6と係合するロードポートドアを開閉するためのロードポートドア開閉機構 1 7 0 (図 7参照）と、ノズル部 1 1 0 (図 1参照）と、密閉空間形成部 1 2 0と、排気調整部 1 3 0と、補助用ノズル部 1 4 0等とを備えている。移動台 1 0 2は、その上部に、ウェハキヤリア 1 0の位置決めを行うキネマティックピン 1 0 3等を備え、このキネマティックピン 1 0 3は、上述したキャリアシェル 1 1の下面 1 4に設けられた V字溝部 1 5と係合する。

ノズル部 1 1 0は、図 1に示すように、ウェハキヤリア 1 0の雰囲気をパ一ジするためのパージガスを流出（又は、流入）する第 1ノズル部 1 1 0— 1と、パージガスを流入 (又は、流出）する第 2ノズル部 1 1 0— 2等とを備えている。

なお、この第 1ノズル部 1 1 0— 1と第 2ノズル部 1 1 0— 2は、いずれも略同一の構造及び機能を有しているので、以下では第 1ノズル部 1 1 0 - 1を中心に説明する。

第 1ノズル部 1 1 0— 1は、図 2に示すように、ウェハキャリア 1 0のウェハ 1間の隙間 Aに対して略平行に、パージガスを流出させるノズル口 1 1 1 (図 6参照）等を備えている。

第 1ノズル部 1 1 0— 1は、図 4、図 5に示すように、扉開口部 2 0 2の側端付近を回転中心として回転する断面円弧状部材であって、ノズル駆動用モータ 1 6 6 (図 7参照）等により、扉開口部 2 0 2に対して進退自在となっている。

第 1ノズル部 1 1 0—1は、扉開口部 2 0 2から退避している場合には、壁面 2 0 1と、壁面 2 0 1に連結された外壁面 2 0 3と力、らなり、後述する密閉空間 Bと連続するクリ一ンな空間に収納される。このため、第 1ノズル部 1 1 0— 1は、汚れることがない。

また、第 1ノズル部 1 1 0— 1は、扉開口部 2 0 2に進出している場合には、ウェハ 1 がウェハキヤリア 1 0カゝら基板処理装置に搬送されるときのウェハ 1の外周端の軌跡 Hの外側に位置している。

このため、口一ドポート 1 0 0は、第 1ノズル部 1 1 0— 1を扉開口部 2 0 2に進出させて、ウェハキャリア 1 0の雰囲気をパージしている状態であっても、後述する側面カバ —部材 1 2 2を収納部 1 2 1に収納することにより、ウェハ 1を基理装置内の処理空間に搬送して、所定の処理を行うことができ、作業効率を向上させることができる。また、第 1ノズル部 1 1 0— 1と第 2ノズル部 1 1 0— 2とは、ウェハ 1が基板処理装置内の処理空間に搬送される搬送方向に沿ったウェハキヤリア 1 0の中心線 Gに対して略対称に配置されている。このため、第 1ノズル部 1 1 0— 1のノズル口 1 1 1からウェハキャリア 1 0のウェハ 1間の隙間 Aに対して略平行に流出したパージガスは、キヤリァシエル 1 1に形成された曲面状の内壁 1 1 aに沿って容器開口部 1 2付近まで拡散した後、中心線 Gに対して略対称に配置された第 2ノズル部 1 1 0 - 2に流入する。

第 1ノズル部 1 1 0—1は、図 2、図 3、図 5に示すように、その下部に、第 1ノズル部 1 1 0—1を回転させるための回転軸を兼ねる配管 1 1 2と、この回転軸をベアリングを介して支持する支持部材 1 1 3と、配管 1 2がその内部を貫通し、クランク状に形成されたアーム部材 1 1 4等とを備えている。図 5 Aは、第 1ノズル部 1 1 0—1が扉開口部 2 0 2に進出した状態を示す図であり、図 5 Bは、第 1ノズル部 1 1 0 - 1が扉開口部 2 0 2から退避した状態を示す図である。また、図中、 2点鎖線は、ノズル口 1 1 1が形成され、扉開口部 2 0 2に進出するアーム部材 1 1 4の一部であって、同一平面上にない部分を示している。

配管 1 1 2は、その一方に、電磁弁等の流路切換部 1 6 3が接続されており、その内部をパージガスが通過する（図 7参照）。また、配管 1 1 2は、回転軸を兼ねており、ノズル駆動用モータ 1 6 6に不図示の連結部材等を介して連結されている。また、配管 1 1 2 は、アーム部材 1 1 4を貫通しており、その貫通した部分には、第 1ノズル部 1 1 0—1 の内部にパージガスを流出させるための不図示の孔部が形成されている。これにより、配管 1 1 2の内部を通過したパージガスは、孔部からアーム部材 1 1 4の内部を通過し、ノズルロ 1 1 1から流出する。密閉空間形成部 1 2 0は、図 2に示すように、容器開口部 1 2に気密に連結して、ゥェハキャリア 1 0の内部空間と連続する密閉空間 Bを形成するものであって、収納部 1 2 1 と、側面カバー部材 1 2 2と、上部カバー部材 1 2 3等とを備えている。側面カバ一部材 1 2 2は、収納部 1 2 1に収納されており、収納部 1 2 1の内縁に沿って形成されている。また、側面カバ一部材 1 2 2は、後述する側面カバー昇降用モータ 1 6 8 (図 7参照）により駆動される昇降機構 1 2 4によって、収納部 1 2 1から昇降可能となっている。

昇降機構 1 2 4は、壁面 2 0 1の近傍に配置されたシャフト 1 2 5と、このシャフト 1 2 5に移動可能に設けられた複数のポールスライド 1 2 6等とを備えている。このシャフト 1 2 5は、側面カバー部材 1 2 2の下部に形成された突出部を貫通している。ポールスライド 1 2 6は、この突出部内で側面カバ一部材 1 2 2を保持しており、側面カバー昇降用モータ 1 6 8により駆動する不図示のベルト機構等に連結されたアーム等を備えており、このベルト機構の動きによりシャフト 1 2 5に沿って昇降することができる。上部力パー部材 1 2 3は、扉開口部 2 0 2の上端部付近であって、収納部 1 1の上面と対向する位置に設けられたカバーである。

密閉空間形成部 1 2 0は、側面カバー部材 1 2 2が昇降機構 1 2 4により、収納部 1 2 1から上昇し、キャリアドア 1 6がロードポ一トドア開閉機構 1 7 0により容器開口部 1 2から取り外されたときに、収納部 1 2 1の上面と、側面カバー部材 1 2 2と、上部カバ一部材 1 2 3とにより、密閉空間 Bを形成することができる。

また、側面カバー部材 1 2 2と上部カバ一部材 1 2 3との間には、隙間（1 mm程度）が形成されている。また、キャリアシェル 1 1と壁面 2 0 1との間には、隙間（0. 5〜 l mm程度）が形成されている。これら隙間は、例えば、第 1ノズル部 1 1 0— 1から流出するパージガスの流量が、第 2ノズル部 1 1 0 - 2に流入するパージガスの流量よりも大きい場合には、パージガスを密閉空間 Bの外部（例えば、ウェハキャリア 1 0の外部や基板処理装置内の処理空間）に流出させることができる。排気調整部 1 3 0は、不図示のマイクロモータ等により、その開口面積が調整される排気口等を備えている。排気調整部 1 3 0は、密閉空間 Bが形成され、第 1ノズル部 1 1 0 一 1によりゥェ Λキヤリア 1 0の雰囲気がパージされている状態で、密閉空間 Bの圧力が密閉空間 Bの外部の圧力よりも高くなるように、排気口の開口面積を調整して、パージガスの排気量を調整する。

排気調整部 1 3 0は、例えば、パージガスが、第 1ノズル部 1 1 0 - 1のノズル口 1 1 1からウエノ、 1間の隙間 Aに対して略平行に 1 0 O L/m i nで流出し、第 2ノズル部 1 1 0— 2に 6 0 LZm i nで流入した場合には、側面カバ一部材 1 2 2と上部カバー部材 1 2 3との隙間と、キャリアシェル 1 1と壁面 2 0 1との隙間と、排気調整部 1 3 0の排気口とから、 4 0 LZm i n未満のパージガスが密閉空間 Bの外部に流出するように、排気口の開口面積を調整する。したがって、排気調整部 1 3 0は、密閉空間 Bの圧力を外部の圧力よりも大きくできるので、側面カバー部材 1 2 2と上部カバ一部材 1 2 3との隙間と、キャリアシェル 1 1と壁面 2 0 1との隙間とから、空気等が密閉空間 B内に浸入してしまうことを確実に防止できる。

補助用ノズル部 1 4 0は、上部カバー部材 1 2 3の内部に設けられ、パージガスを略下方に流出して、細長い面状のエアーカーテンを形成する。このエアーカーテンは、第 1ノズル部 1 1 0— 1のノズル口 1 1 1から流出するパージガスが第 1ノズル部 1 1 0— 1の後方（基板処理装置内の処理空間側）に流れてしまうことを遮ることができるので、パージの効率が低下しないようにできる。

また、ロードポート 1 0 0は、パージを停止した場合には、図 3に示すように、側面力バー部材 1 2 2が昇降機構 1 2 4により収納部 1 2 1に収納され、キャリアドア 1 6が口ードポートドア開閉機構 1 7 0によりキャリアシェル 1 1の容器開口部 1 2に取付けられる。そして、口一ドポート 1 0 0は、移動台 1 0 3を、壁面 2 0 1から離れる方向に移動させ、ウェハキャリア 1 0をいわゆるホーム位置に移動させる。つぎに、ノズル口 1 1 1について説明する。なお、図 6 Aは、第 1ノズル部 1 1 0 - 1 が扉開口部 2 0 2に進出して、ウェハキャリア 1 0に収納されたウェハ 1と向き合った状態を示す図であり、図 6 Bは、第 1ノズル部 1 1 0—1の断面図である。

ノズル口 1 1 1は、図 6 Aに示すように、ウェハキヤリア 1 0に収納されたウェハ 1間の隙間 Aに位置するように、所定間隔で形成されており、ウェハ 1間の隙間 Aに向けてパージガスを略平行に均一に流出させることができる。また、ノズル口 1 1 1は、複数のゥェハ 1がウェハキャリア 1 0に収納されている方向（縦方向）に対して、略斜め方向に沿つて所定間隔で複数形成されている。このため、ノズル口 1 1 1は、パ一ジガスの拡散範囲を異なるようにでき、たとえ、ノズル口 1 1 1が狭い範囲に形成された場合であっても、パージガスを広い範囲に拡散させることができる。

また、ノズル口 1 1 1は、パ一ジガスの方向性を安定させるための実験に基づいて、図 6 Bに示すように、第 1ノズル部 1 1 0 - 1の厚さ Yが、ノズル口 1 1 1の直径 Xの 2倍以上（例えば、 3倍) になるように形成されている。

したがって、ノズル口 1 1 1によれば、パ一ジガスをウェハ 1間の隙間 Aに対して効率的に流出させることができるので、パージガスの消費量を減少させ、パージに要するコストを低下させることができる。

口一ドポート 1 0 0は、図 7に示すように、流路切換部 1 6 3と、酸素濃度センサ 1 6 4と、記憶部 1 6 5と、第 1ノズル部 1 1 0— 1と第 2ノズル部 1 1 0— 2とからなるノズル部 1 1 0と、ノズル駆動用モータ 1 6 6と、ドライバ回路 1 6 7と、側面カバー部材 1 2 2と、側面カバ一昇降用モ一タ 1 6 8と、ドライバ回路 1 6 9と、ロードポートドア開閉機構 1 7 0等とを備えており、これら各部材は、制御部 1 6 0を介して電気的に接続されている。また、流路切換部 1 6 3は、パージガスの流路を切換える電磁弁等であって、配管 1 1 2等を介して、パージガスの不図示のタンクからパージガスを供給する供給用ポンプ 1 6 1と、パージガスを吸込み、不図示のタンクにパージガスを輸送する吸込用ボンプ 1 6 2と、ノズル部 1 1 0とに接続されている。

以下、口一ドボ一ト 1 0 0がパージを行うときの動作を、図 7、図 8を用いて、制御部 1 6 0を中心にして説明する。

まず、制御部 1 6 0は、側面カバー昇降用モータ 1 6 8に信号 D 3を出力する（S 1 0 1 ) 。側面カバー昇降用モータ 1 6 8は、ドライバ回路 1 6 9を介して制御部 1 6 0に接続されており、制御部 1 6 0から信号 D 3が出力されると、昇降機構 1 2 4を駆動して、収納部 1 2 1に収納されている側面カバ一部材 1 2 2を上昇させる。

つぎに、制御部 1 6 0は、ロードボ一トドア開閉機構 1 7 0に信号 E 1を出力する（S 1 0 2 ) 。ロードポートドア開閉機構 1 7 0は、制御部 1 6 0から信号 E 1が出力されると、扉開口部 2 0 2のロードポートドアとキャリアドア 1 6とを係合させて、キャリアドァ 1 6を容器開口部 1 2から取り外す。このために、ウェハキャリア 1 0の内部空間と連続する密閉空間 Bが形成される。

制御部 1 6 0は、ノズル駆動用モー夕 1 6 6に信号 D 1を出力する（S 1 0 3 ) 。ノズル駆動用モータ 1 6 6は、ドライパ回路 1 6 7を介して制御部 1 6 0に接続されており、制御部 1 6 0から信号 D 1が出力されると、第 1ノズル部 1 1 0— 1の下部に設けられた回転軸を兼ねる配管 1 1 2を回転駆動して、第 1ノズル部 1 1 0— 1を、扉開口部 2 0 2 の側面から扉開口部 2 0 2に進出させる。

制御部 1 6 0は、流路切換部 1 6 3に信号 F 1を出力する（S 1 0 4) 。流路切換部 1 6 3は、制御部 1 6 0から信号 F 1が出力されると、供給用ポンプ 1 6 1と第 1ノズル部 1 1 0— 1とを連通し、吸込用ポンプ 1 6 2と第 2ノズル部 1 1 0— 2とを連通する。このため、パージガスは、第 1ノズル部 1 1 0— 1から流出し、第 2ノズル部 1 1 0— 2に流入する。

つぎに、制御部 1 6 0は、酸素濃度センサ 1 6 4で検出された検出信号 Cを読込む（S 1 0 5 ) 。酸素濃度センサ 1 6 4は、ウェハキャリア 1 0の雰囲気の酸素濃度を検知するセンサであり、検出した酸素濃度に応じた信号を AZD変換した検出信号 Cを出力する。酸素濃度は、ウェハキャリア 10の雰囲気のパージ度合を示す指標となる。なお、酸素濃度は、 0. ：!〜 1. 0%であることが好ましく、このとき、パージ度合は最適な状態となる。また、酸素濃度センサ 164は、例えば、素子材料としてチタニア（T i 0₂) を用い、このチタニアの酸化還元による電気抵抗の変化を利用したチタニア酸素センサ等である。また、ステップ S 105で、窒素濃度ではなく、酸素濃度を検出する理由は、酸素濃度センサが窒素濃度センサに比べて安価であること等が挙げられる。

つぎに、制御部 160は、記憶部 165に予め記憶されたパージガスの流れを切換えるための閾値信号 C 1を読込み、ステップ S 105で得られた検出信号 Cが閾値信号 C 1以下か否かを判定する（S 106) 。記憶部 165は、不揮発性メモリであって、パ一ジ度合の最適な状態を示す酸素濃度の所定範囲（例えば、 0. 1〜； L. 0%) を予め記憶している。また、記憶部 165は、パージガスの流れを切換える閾値となる酸素濃度（例えば、 1. 0%) を閾値信号 C1として記憶している。

制御部 160は、検出信号 Cが閾値信号 C1以下である場合には、パージが十分であると判定し、ノズル駆動用モー夕 166に信号 D 2を出力する（S 110) 。ノズル駆動用モータ 166は、制御部 160から信号 D 2が出力されると、回転軸を兼ねる配管 112 を、信号 D1が出力されたときと逆方向に回転駆動して、第 1ノズル部 110— 1を扉開口部 202の側面に退避させる。

一方、制御部 160は、検出信号 Cが閾値信号 C1より大きい場合には、パージが不十分であると判定し、流路切換部 163に信号 F 2を出力する（S 107) 。流路切換部 1 63は、制御部 160から信号 F 2が出力されると、 P及込用ポンプ 162と第 1ノズル部 110— 1とを連通し、供給用ポンプ 161と第 2ノズル部 110— 2とを連通する。このため、パージガスは、第 2ノズル部 110— 2から流出し、第 1ノズル部 110— 1に流入する。再度、制御部 1 6 0は、酸素濃度センサ 1 6 4で検出された検出信号 Cを読込んだ後に (S 1 0 8 ) 、記憶部 1 6 5から上述した閾値信号 C 1を読込み、ステップ S 1 0 8で得られた検出信号 Cが閾値信号 C 1以下か否かを判定する（S 1 0 9 ) 。

制御部 1 6 0は、検出信号 Cが閾値信号 C 1以下である場合には、パージが十分であると判定し、上述したステップ S 1 1 0に進み、ノズル駆動用モータ 1 6 6に信号 D 2を出力する。一方、制御部 1 6 0は、検出信号 Cが閾値信号 C 1より大きい場合には、パージが不十分であると判定し、再び、ステップ S 1 0 4に戻り、流路切換部 1 6 3に信号 F 1 を出力する。すなわち、制御部 1 6 0は、検出信号 Cが閾値信号 C 1以下となり、パージが十分に行われるまで、パージガスの流れを切換えるように制御する。

つぎに、制御部 1 6 0は、ステップ S 1 1 0で第 1ノズル部 1 1 0— 1が扉開口部 2 0 2から退避した後に、側面カバー昇降用モータ 1 6 8に信号 D 4を出力する（S 1 1 1 ) 。側面カノ一昇降用モ一夕 1 6 8は、制御部 1 6 0から信号 D 4が出力されると、信号 D 3 が出力されたときと逆方向に回転し、昇降機構 1 2 4を駆動して、側面カバー部材 1 2 2 を収納部 1 2 1に収納する。これにより、密閉空間 Bが開放され、ウェハキャリア 1 0の内部空間と、基板処理装置内の処理空間とが連続した状態になる。

その後、ウェハ 1は、基板処理装置のウェハ搬送口ポットにより、その処理空間に搬送され、所定の処理が行われると、再び、ウェハキャリア 1 0に収納される。また、ウェハキャリア 1 0は、所定のウェハ 1の処理が終了すると、口一ドポートドア開閉機構 1 7 0 によってキャリアドア 1 6が閉じられる。

ロードポート 1 0 0は、パージガスがウェハ 1間の隙間 Aに効率的に流出するので、ゥェハキヤリア 1 0の雰囲気をパージするために要する時間を短縮することができると共に、パージガスの流量を少なくしても、所定のパージを行うことができる。

ロードポート 1 0 0は、ノズル部 1 1 0が扉開口部 2 0 2に進退自在であるので、例えば、壁面 2 0 1と収納部 1 2 1の処理空間側の端面との距離を小さくでき、いわゆる S E M I規格を準拠することができる。

ロードポート 1 0 0は、ウェハキヤリア 1 0の雰囲気のパージ度合が最適な状態になるまで、酸素濃度に応じて、パ一ジガスの流れを切換えるので、例えば、ウェハキャリア 1 0の曲面状の内壁 1 1 a付近に滞留していた雰囲気ガスを、ノズル部 1 1 0付近にまで流出させ、この雰囲気ガスをノズル部 1 1 0に流入させることができ、パージを精度よく行うことができる。

以下に、口一ドポートの他の実施例について説明する。なお、以下に示す各実施例では、上述した口一ドポート 1 0 0と同一部材については同一符号を付し、機能等の説明を適宜省略する。

(実施例 2 )

ロードポート 1 0 O Aは、図 9に示すように、ロードポート 1 0 0と比べると、ノズル部 1 1 0の代わりに、ノズル部 1 1 0 Aを設けた点が異なる。

ノズル部 1 1 O Aは、収納部 1 2 1 Aに収納された薄い板状部材である。このノズル部 1 1 O Aは、ウェハ 1間の隙間に合わせて略全面に形成されたノズル口を有する。ノズル部 1 1 O Aのノズル口は、ノズル部 1 1 O Aに所定間隔で格子状に形成されており、その直径は、ノズル部 1 1 O Aの厚さの 1 / 2以下（例えば、 1 / 3 ) である。

このノズル部 1 1 O Aは、薄い板状部材であるので、収納部 1 2 1 Aに設けられたロードポートドア開閉機構 1 7 0と干渉することなく、ベルトゃポールネジ等を用いた適宜のノズル部昇降機構により収納部 1 2 1 Aから上昇させることができる。

このため、ロードポート 1 0 0 Aは、ノズル駆動用モータ 1 6 6によりノズル部昇降機構を駆動して、ノズル部 1 1 O Aを、扉開口部 2 0 2の下端付近である収納部 1 2 1 Aから上昇させて、扉開口部 2 0 2に進出させることができる。

また、ノズル部 1 1 O Aのノズル口は、ウェハ 1間の隙間 Aに合わせて略全面に格子状に形成されているので、パージガスは、第 1ノズル部 1 1 O A— 1の略全面から流出すると共に、第 2ノズル部 11 OA— 2の略全面に流入する。

このため、ロードポート 100 Aは、パージをより効率的に行うことができ、パージに要する時間を短縮することができる。

(実施例 3)

ロードポート 100Bは、図 10に示すように、ロードポート 100と比べると、ノズル部 110の代わりに、ノズル部 110 Bを設けた点が異なる。

ノズル部 110Bは、収納部 121Bに収納された管状部材である。このノズル部 11 0 Bは、ウェハ 1間の隙間 Aに位置するように形成されたノズル口を有する。このノズル部 1 10 Bのノズル口は、所定間隔で長手方向に形成されており、その直径は、ノズル部 110Bの厚さの 1Z2以下（例えば、 1/3) である（図 6参照）。

このノズル部 1 10Bは、収納部 121 Bに収納されているので、ノズル部 110Bの下部には、パージガスが通過する配管を接続すればよぐ例えば、図 2に示すようなノズル部 110を回転させるための機構が不要となる。

このため、口一ドポート 100 Bは、ノズル部 110 Bの下部に設ける機構を簡斷匕することができ、さらに、ノズル駆動用モータ 166によりロードポート 100 Aと略同様のノズル部昇降機構を駆動して、ノズル部 1 10Bを、扉開口部 202の下端付近である収納部 121Bから上昇させて、扉開口部 202に進出させることができる。

(実施例 4)

ロードポート 100Cは、図 1 1に示すように、ロードポート 100と比べると、ノズル部 110の代わりに、ノズル部 110Cを設けた点が異なる。

ノズル部 1 10 Cは、管状部材である第 1ノズル部 1 10 C— 1と、第 2ノズル部 1 1 0C— 2等とを備え、それぞれ扉開口部 202の上端付近に設けられた上部カバ一部材 1 23 Aに互い違いに収納されている。このノズル部 110 Cは、ウェハ 1間の隙間 Aに位置するように形成されたノズル口を有する。このノズル部 110Cのノズル口は、所定間隔で長手方向に形成されており、その直径は、ノズル部 110 Cの厚さの 1ノ2以下（例えば、 1X3) である（図 6参照）。

また、口一ドポート 100Cは、扉開口部 202の上端付近に、ノズル部 110Cを、扉開口部 202の上側端部を回転中心として回転させるための適宜のノズル部回転機構を備えている。

このため、ロードポート 100Cは、収納部 121にノズル部昇降機構を設ける必要がないので、収納部 121の機構を簡略化でき、例えば、ノズル駆動用モータ 166によりノズル部回転機構を駆動して、ノズル部 110 Cを、扉開口部 202の上側端部を回転中心として回転させ、扉開口部 202の上端付近から扉開口部 202に進出させることがでさる。

(実施例 5)

ロードポート 100Dは、図 12、図 13に示すように、ロードポート 100と比べると、ノズル部 110の代わりに、ノズル部 110 Dを設けた点が異なる。

ノズル部 110Dは、収納部 121 Cに収納された薄い板状部材である。このノズル部 110Dは、ウェハ 1がウェハキャリア 10から基板処理装置に搬送されるときのウェハ 1の外周端の軌跡 H (図 4参照）の外側に配置されている。このノズル部 110 Dは、ゥェハ 1間の隙間 Aに位置するように形成されたノズル口を有する。このノズル部 110D のノズル口は、所定間隔で長手方向に形成されており、その直径は、ノズル部 110Dの厚さの 1/2以下（例えば、 1/3) である（図 6参照）。

ロードポート 1◦ 0Dは、ノズル部 110Dを、収納部 121 Cから扉開口部 202に進出させると共に、その進出位置で保持するためのノズル部昇降保持機構 127を備えている。このノズル部昇降保持機構 127は、ノズル部 110Dの下部に形成されたスライド部材 128と、ノズル部 110 Dが扉開口部 202に進出したときに、その進出位置でノズル部 110Dを保持可能な保持部材 129等を備えている。スライド部材 128は、側面カバー部材 122の下部に形成された突出部の上に載置され、その内部にポールスライド等が設けられいる。スライド部材 128は、保持部材 129に対向する側面に、凹部 128 aが形成されている。保持部材 129は、凹部 128 aと係合するための保持ピン 129 aを備え、この保持ピン 129 aは、凹部 128 aに向かって進退可能である。このため、ノズル部 110Dは、図 12に示すように、スライド部材 128により昇降機構 124の動きに連動して、収納部 121 Cから扉開口部 202に進出する。その後、ノズル部 110 Dは、図 13に示すように、保持部材 129の保持ピン 129 aがスライド部 128の凹部 128 aに向かって進出し、保持ピン 129 aと凹部 128 aとが係合することにより、その進出位置で保持される。また、ノズル部 110Dは、保持ピン 12 9 a力 S凹部 128 aから退避することにより、上述した昇降機構 124の昇降動作により、扉開口部 202から退避して、収納部 121 Cに収納される。

これにより、ノズル部 110Dは、側面カバ一部材 122が昇降機構 124により収納部 121に収納された場合に、扉開口部 202に進出した状態となり、さらに、ウェハ 1 の外周端の軌跡 Hの外側に配置されているので、ウェハ 1は、基板処理装置のウェハ搬送口ポットにより処理空間に搬送され、所定の処理が行われると共に、ウェハキャリア 10 ではパージを行うことができるので、作業効率を向上させることができる。

また、ロードポート 100 Dは、ロードポート 100のように収納部 121にノズル部 110を回転させるための回転機構を設ける必要がなく、さらに、昇降機構 124を利用したノズル部昇降保持機構 127を設けるために、収納部 121の機構をより簡略化できる。

(実施例 6)

ロードポート 100Eは、図 9のロードポート 10 OAと比べると、図 14A、図 14 Bに示すように、ノズル部 11 OAの代わりに、ノズル部 110Eを設けた点が異なる。ノズル部 110 Eは、第 1ノズル部 110E— 1と、第 2ノズル部 110E— 2と、第 3ノズル部 110E— 3と、第 4ノズル部 110E— 4等とを備えており、それぞれ収納部 121 Dに収納可能な薄い板状部材である。第 1ノズル部 110E-1と第 2ノズル部 110E— 2は、扉開口部 202の側端側付近に配置され、その幅は、第 3ノズル部 11 0E— 3と第 4ノズル部 110E— 4よりも小さい（例えば、幅の比率は、 3 ： 7程度）。第 1ノズル部 110E— 1と第 2ノズル部 110E— 2は、扉開口部 202に進出している場合には、ゥェ八 1がウェハキャリア 10から基板処理装置に搬送されるときのゥェハ 1の外周端の軌跡 H (図 4参照）の外側に位置している。また、第 3ノズル部 110E 一 3と第 4ノズル部 110E— 4は、扉開口部 202の中央付近に配置されている。

ロードポート 100Eは、第 1ノズル部 110E— 1と、第 2ノズル部 110E— 2と、第 3ノズル部 110E— 3と、第 4ノズル部 110E— 4とを、収納部 121Dから上昇させるための不図示のノズル部昇降機構（後述）を備えている。これらのノズル部昇降機構は、ノズル部 110Eがそれぞれ薄い板状部材であるので、ロードポートドア開閉機構 170と干渉することなく、ノズル部 110Eを、それぞれ独立して、扉開口部 202の下端付近である収納部 121Dから上昇させて、扉開口部 202に進出させることができる。

このノズル部 110Eは、ウェハ 1間の隙間 Aに合わせて略全面に形成されたノズル口を有する。ノズル部 110Eのノズル口は、ノズル部 110Eに所定間隔で格子状に形成されており、その直径は、ノズル部 110Eの厚さの 1ノ 2以下（例えば、 1/3) である。

また、ノズル部 110Eのノズル口は、ウェハ 1間の隙間 Aに合わせて略全面に格子状に形成されているので、パージガスは、第 1ノズル部 110E— 1と第 3ノズル部 110 E— 3の略全面から流出すると共に、第 2ノズル部 110 E— 2と第 4ノズル部 110E 一 4の略全面に流入する。このため、口一ドポート 100Eは、パージをより効率的に行うことができ、パージに要する時間を短縮することができる。つぎに、ロードポート 100 Eのノズル部昇降機構について説明する。

ノズル部昇降機構は、第 3ノズル部 110 E— 3及び第 4ノズル部 110 E— 4を直接駆動する 1つのモータと、第 3ノズル部 110E— 3及び第 4ノズル部 110E— 4と第 1ノズル部 110E—1及び第 2ノズル部 110E— 2とを係合するための不図示のノズル部係合ピンと、第 3ノズル部 110E— 3及び'第 4ノズル部 110E— 4と側面カバ一部材 122とを係合するための不図示の側面カバー部材係合ピン等とを備えている。

ノズル部昇降機構は、パージの初期では、ノズル部係合ピンと側面カバー部材係合ピンとを進出させて、第 3ノズル部 110E— 3及び第 4ノズル部 110E— 4と第 1ノズル部 110E— 1及び第 2ノズル部 110E— 2とを係合させ、第 3ノズル部 110E— 3 及び第 4ノスレ部 110E— 4と側面カバ一部材 122とを係合させる。

つぎに、ノズル部昇降機構は、モータが駆動すると、第 3ノズル部 110E— 3及び第 4ノズル部 110E— 4と共に、第 1ノズル部 110E—1及び第 2ノズル部 110E— 2を扉開口部 202に上昇させ、側面カバ一部材 122を収納部 1 1 Dから上昇させる。ロードポート 100Eは、図 14Aに示すように、第 1〜第 4ノズル部 110E— 1〜 4が扉開口部 202に上昇し、.側面カバー部材 122が収納部 121Dから上昇して密閉空間 Bを形成した状態で、ウェハキヤリア 10の雰囲気をパージする。

その後に、ウェハ 1を基板処理装置内の処理空間に搬送して、所定の処理を行う場合には、ロードポート 100Eは、図 14Bに示すように、ノズル部昇降機構により、第 3ノズル部 110 E— 3及び第ノズル部 110 E— 4と共に、側面カバ一部材 122を収納部 121Dに収納させる。このとき、ロードポート 100Eは、ノズル部昇降機構のノズル部係合ピンを退避させると共に、上述したノズル部昇降保持機構 127 (図 12、図 1 3参照）の保持ピン 129 aと凹部 128 aと同様な機構により、第 1ノズル部 110E 一 1及び第 2ノズル部 110 E— 2を、その進出位置に保持する。このため、口一ドポート 100 Eは、ウェハ 1の搬送中に、第 1ノズル部 110E- 1及び第 2ノズル部 110 E— 2によりパージを行うことができる。

さらに、ロードボ一ト 100 Eは、ウェハ 1に所定の処理が行われている間に、ノズル部昇降機構の側面カバー部材係合ピンを退避させ、第 3ノズル部 1 10E— 3及び第 4ノズル部 110 E— 4を、扉開口部 202に上昇させて、再び、図 14Aに示すように、第 1〜第 4ノズル部 1 10E— 1〜4によりパージを行う。

また、口一ドポート 100Eは、所定の処理力 S行われたウェハ 1が、再び、ウェハキヤリア 10に収納されるときには、ノズル部昇降機構により、第 3ノズル部 110E— 3及び第 4ノズル部 110 E— 4を、収納部 121Dに収納する。したがつて、ロードボ一ト 100 Eによれば、ウェハ 1が搬送中であっても、第 1ノズル部 110 E— 1及び第 2 ノズル部 110E—2により、パージを行うことができるので、上述したロードポート 1 00 Aに比べて、作業効率を向上させることができる。

また、ロードポート 100 Eでは、ウェハ 1の一枚毎の出し入れに応じて、第 3ノズル部 110 E— 3及び第 4ノズル部 110 E— 4を昇降させることができるので、上述したロードポ一ト 100、 100B、 100C、 100 Dに比べて、作業中のパージ状態の低下を防止することができる。

そして、ウェハキャリア 10に収納された全てのウェハ 1に、所定の処理が行われた後に、ロードポート 100Eは、ノズル部昇降機構のノズル部係合ピンを進出させ、第 3ノズル部 110E— 3及び第 4ノズル部 110E— 4と第 1ノズル部 110E—1及び第 2 ノズル部 1 10E— 2とを係合させ、さらに、ノズル部昇降保持機構 127と同様な機構により、第 1ノズル部 110 E— 1及び第 2ノズル部 1 10 E— 2をその進出位置から退避させ、第 3ノズル部 110 E— 3及び第 4ノズル部 1 10 E— 4と共に、第 1ノズル部 110E- 1及び第 2ノズル部 110 E— 2を、収納部 121 Dに収納する。その後、ゥェハキヤリア 10は、口一ドボ一トドア開閉機構 170によってキヤリァドア 16が閉じられる。 (変形例）

以上説明した実施例に限定されることなく、種々の変形や変更が可能であって、それらも本発明の均等の範囲内である。

(1) ノズル部 11 OAは、図 9に示すように、収納部 121 Aに収納するようにしたが、これに限られず、扉開口部 202の上端付近に設けられた上部カバ一部材 123に互い違いに収納し、扉開口部 202の上側端部を回転中心として回転できるようにしてもよい。このようにすれば、収納部 121 Aにノズル部昇降機構を設ける必要がないので、収納部 121 Aの機構を簡略化することができる。

(2) ロードポ一ト 100では、側面カバ一昇降用モータ 168で側面カバ一部材 122 を上昇させ、ノズル駆動用モータ 166で第 1ノズル部 110-1を扉開口部 202に進出させるようにしたが、これに限られず、側面カバー部材 122が収納部 121から上昇する動作に連動して変位するカムを設け、このカムの動きにより、第 1ノズル部 110— 1を扉開口部 202に進出させるような機構を設けてもよい。

このようにすれば、 1つのモ一タ（例えば、側面カバー昇降用モ一タ 168) で、側面カバー部材 122を上昇させると共に、第 1ノズル部 110— 1を扉開口部 202に進出させることができる。，

(3) 制御部 160は、密閉空間 Bが形成された状態で、ウェハキャリア 10の雰囲気のパージを行った後に、ノズル部 110を扉開口部 202から退避させていたが（S 11

0) 、例えば、ノズル部 110、 110B、 110C、 110Dは、扉開口部 202に進出した状態であっても、ウェハ 1が基板処理装置内の処理空間に搬送されるときのウェハ

1の外周端の軌跡 Hの外側に位置するので、ステップ S 110の動作を行わないようにしてもよい。

このようにすれば、口一ドポ一ト： L 00、 100B、 100C、 100Dでは、ノズル部 110、 110 B、 110 C、 110 Dを扉開口部 202に進出させた状態で、側面力バ一部材 1 2 を収納部 1 1に収納することにより、ウェハ 1は、基板処理装置のゥェハ搬送口ポットにより処理空間に搬送され、所定の処理が行われると共に、ウェハキヤリァ 1 0ではパージを行うことができるので、作業効率を向上させることができる。

(4) 口一ドポート 1 0 0では、酸素濃度センサ 1 6 4を用いたが、ウェハキャリア 1 0 の雰囲気のパージ度合を示す指標になるのであれば、パージガスの比率、濃度等を検知する窒素センサ等、適宜のセンサを用いてもよい。

( 5 ) 制御部 1 6 0は、酸素濃度センサ 1 6 4で検知された検出信号 Cに応じて流路切換部 1 6 3を切換えていたが、これに限られず、タイマ一等により所定のタイミングで、流路切換部 1 6 3を切換えるようにしてもよい。

Claims

請求の範囲

1 . 容器開口部に対向する位置に曲面状の内壁を有し、その内部に所定間隔で基板を収納する基板収納容器の前記容器開口部の蓋部材を、前記基板が搬送される部屋の扉開口部の扉部材に係合させて、前記蓋部材を着脱するロードボ一トであって、

前記基板収納容器の雰囲気を置換するためのガスを、前記基板収納容器の前記基板間の隙間に対して略平行に流出及び/又は流入させるノズルロを有するノズル部と、

前記扉開口部に、前記ノズル部を進出させる駆動部と、

を含むロードポー卜。

2. 請求の範囲 1に記載のロードポートにおいて、

前記ノズル部は、ヽ前記ガスを流出する第 1ノズル部と、

前記ガスを流入する第 2ノズル部と、

を含み、

前記第 1ノズル部と前記第 2ノズル部とは、前記基板が前記部屋に搬送される搬送方向に沿った前記基板収納容器の中心線に対して略対称に配置されていること、

を特徴とするロードポート。

3. 請求の範囲 1に記載のロードポートにおいて、

前記ノズル口は、前記基板間の隙間に位置するように形成されていること、

を特徴とするロードポート。

4. 請求の範囲 3に記載のロードポートにおいて、

前記ノズル口は、前記基板収納容器に収納された前記基板の縦方向に沿って、所定間隔で形成されていること、

を特徴とするロードポート。

5. 請求の範囲 4に記載のロードポートにおいて、前記ノズル口は、前記縦方向に対して、め方向に沿って複数形成されていること、を特徴とするロードポート。

6 . 請求の範囲 5に記載の口一ドポートにおいて、

前記ノズル部の厚みは、前記ノズル口の直径の 2倍以上であること、

を特徴とするロードポー卜。

7 . 請求の範囲 1に記載のロードポートにおいて、

前記ノズル部は、前記基板が前記基板収納容器から前記部屋に搬送されるときの前記基板の軌跡の外側に収納され、前記扉開口部の側端付近を回転中心として回転する円弧状部材であること、

を特徴とするロードポー卜。

8. 請求の範囲 7に記載のロードポートにおいて、

前記駆動部は、前記ノズル部を、前記扉開口部の側端付近を回転中心として回転させ、前記扉開口部の側面から前記扉開口部に進出させること、

を特徴とするロードポート。

9. 請求の範囲 1に記載の口一ドポートにおいて、

前記ノズル部は、前記蓋部材を収納する収納部に収納され、前記ノズル口が前記基板間の隙間に合わせて略全面に形成された薄い板状部材であること、

を特徴とするロードポー卜。

1 0. 請求の範囲 9に記載のロードポ一トにおいて、

前記駆動部は、前記ノズル部を、前記扉開口部の下端付近から前記扉開口部に進出させること、

を特徴とするロードポー卜。

1 1 . 請求の範囲 1に記載の口一ドポートにおいて、

前記ノズル部は、前記盖部材を収納する収納部に収納された管状部材であること、を特徴とするロードポート。

1 2. 請求の範囲 1 1に記載のロードポートにおいて、

を特徴とするロードポート。

1 3. 請求の範囲 1に記載のロードポートにおいて、

前記ノズル部は、前記扉開口部の上端付近に収納され、前記扉開口部の上側端部を回転中心として回転し、前記ノズル口が前記基板間の隙間に合わせて略全面に形成された薄い板状部材であること、

を特徴とするロードポート。

1 4. 請求の範囲 1 3に記載のロードポートにおいて、

前記駆動部は、前記ノズル部を、前記扉開口部の上側端部を回転中心として回転させ、前記扉開口部の上端付近から前記扉開口部に進出させること、

を特徴とするロードポート。

1 5 . 請求の範囲 1に記載のロードポートにおいて、

前記ノズル部は、前記扉開口部の上端付近に収納され、前記扉開口部の上側端部を回転中心として回転する管状部材であること、

を特徴とするロードポート。

1 6 . 請求の範囲 1 5に記載の口一ドポートにおいて、

を特徴とするロードポー卜。

1 7 . 請求の範囲 1に記載の口一ドポートにおいて、

前記扉開口部の上端部付近に設けられ、前記ガスを略下方に流出して、細長い面状の気流幕を形成する補助用ノズル部をさらに含むこと、

を特徴とするロードポート。

1 8 . 請求の範囲 1に記載のロードポートにおいて、

前記容器開口部に気密に連結して、その内部空間と連続する密閉空間を形成する密閉空間形成部をさらに含むこと、

を特徴とするロードポート。

1 9. 請求の範囲 1 8に記載のロードポートにおいて、

前記密閉空間形成部は、

前記収納部と、

前記収納部の上面と対向する位置に設けられた上部カバ一部材と、

前記収納部に収納され、前記収納部の内縁に沿って形成され前記収納部から進退可能な内縁カバー部材と、

を含むことを特徴とするロードポート。

2 0 . 請求の範囲 1に記載のロードポー卜において、

前記ノズル部での前記ガスの流れを、所定のタイミングで切換える流れ制御部をさらに含むこと、

を特徴とするロードポート。

2 1 . 請求の範囲 2 0に記載のロードポートにおいて、

前記流れ制御部は、

前記基板収納容器の雰囲気の前記ガスの濃度を検知する検知部と、

前記ノズル部での前記ガスの流れを切換える切換部と、

前記検知部で検知された前記ガスの濃度が、雰囲気の置換具合を示す所定範囲になるように、前記切換部を切換える切換制御部と、

を含むことを特徴とする口一ドポート。

2 2. 請求の範囲 1 8に記載のロードポートにおいて、

前記密閉空間が形成され、前記ノズル部により前記基板収納容器の雰囲気が置換されている状態で、前記密閉空間内の圧力が外気圧よりも高くなるように、前記ガスの外部への排気量を調^ る排気調整部をさらに含むこと、

を特徴とするロードポート。

2 3 . 請求の範囲 1 9に記載の口一ドポートにおいて、

前記密閉空間で前記基板収納容器の雰囲気の置換が行われた後に、前記内縁カバー部材を前記収納部に収納し、前記ノズル部により前記基板収納容器の雰囲気を置換する置換制御部をさらに含むこと、

を特徴とするロードポート。

2 4. 請求の範囲 1に記載のロードポー卜において、

前記ノズル部は、前記蓋部材を収納する収納部に収納され、前記基板が前記基板収納容器から前記部屋に搬送されるときの前記基板の軌跡の外側に配置された薄い板状部材であること、

を特徴とするロードポート。

2 5 . 請求の範囲 2 4に記載のロードポー卜において、

前記駆動部は、前記収納部から進退可能な内縁カバー部材が前記収納部から進出するときに、前記ノズル部を、前記扉開口部の下端付近から前記扉開口部に進出させること、を特徵とするロードポート。

2 6 . 請求の範囲 2 5に記載の口一ドボ一トにおいて、

前記駆動部により前記扉開口部に進出した前記ノズル部を、その進出位置で保持可能な保持部材をさらに含むこと、

を特徴とする口一ドポート。

2 7. 請求の範囲 1に記載の口一ドポートにおいて、前記ノズル部は、前記蓥部材を収納する収納部に収納され、前記ノズル口が前記基板間の隙間に合わせて略全面に形成され、前記基板が前記基板収納容器から前記部屋に搬送されるときの前記基板の軌跡の外側に配置された第 1薄板状部材と、前記扉開口部の中央付近に配置された第 2薄板状部材とを含むこと、

を特徴とする口一ドポート。

2 8 . 請求の範囲 2 7に記載のロードポートにおいて、

前記駆動部は、前記第 1薄板状部材と前記第 2薄板状部材とを、それぞれ独立に前記扉開口部の下端付近から前記扉開口部に進出させること、

を特徴とするロードポート。

2 9. 請求の範囲 2 8に記載のロードポートにおいて、

前記駆動部は、前記第 1薄板状部材と前記第 2薄板状部材とを前記扉開口部に進出させた後に、前記第 1薄板状部材をその進出位置で保持した状態で、前記第 2薄板状部材を前記扉開口部から退避させること、

を特徴とするロードポート。