JP2013153036A - ガスパージ装置及び該ガスパージ装置を有するロードポート装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 ロードポート装置にポッドを載置した状態においてポッド開口の両側部であって、パージガス噴出し用の各々スリットがポッド中心に対して左右対称となるように一対のパージノズルを配し、更に該スリットの延在方向においてポッド内の最下段に配置されるウエハの位置とポッド開口の下辺の位置との間に該スリットの下端を配置する。
【選択図】 図5
Description
Claims (5)
- 微小空間を外部空間から分離する壁の一部を構成するサイドプレートと前記サイドプレートが有する開口部を閉鎖可能なドアとを有し、被収容物が収容される密閉容器の開口を前記開口部と対向させるとともに、前記開口に取付けられる蓋を前記ドアが保持して前記密閉容器を開閉することにより前記開口を介して前記密閉容器内部へのガスの供給を行うガスパージ装置であって、
前記開口部を囲んで前記微小空間内に配置され、前記微小空間の一部を第二の微小空間として区切るカバー部材と、
前記第二の微小空間の内部で前記開口部の上部に配置されて前記第二の微小空間の内部へパージガスを供給するカーテンノズルと、
前記第二の微小空間の内部で前記開口部の両側部に配置され、前記開口部を介して前記密閉容器の内部へ前記パージガスを供給する一対のパージノズルと、を有し、
前記一対のパージノズルの各々は前記密閉容器の前記開口を開放した際に前記密閉容器の前記開口の両側辺に沿って延在して前記パージガスを吹き出すスリットを有し、
前記スリットは前記密閉容器の前記開口の中心を通り前記密閉容器の前記開口に垂直な面を中心に対称に配置され、
前記スリットの下端は、前記スリットの延在する方向に関して、前記密閉容器内の最下段に収容された前記被収容物の下面が存在する位置と前記密閉容器の前記開口の下辺が存在する位置との間に配置されることを特徴とするガスパージ装置。 - 前記スリットの下端は、前記スリットの延在する方向に関して、前記被収容物を前記密閉容器内で収容する収容空間の底面が存在する位置と、前記密閉容器の前記開口の下辺が存在する位置との間に配置されることを特徴とする請求項1に記載のガスパージ装置。
- 前記スリットの上端は、前記スリットの延在する方向に関して、前記密閉容器の前記開口の上辺が存在する位置よりも上方に配置されることを特徴とする請求項1或いは2に記載のガスパージ装置。
- 前記スリットは、前記スリットの上端から下端に至るにつれて幅が狭くなることを特徴とする請求項1乃至3の何れか一項に記載のガスパージ装置。
- 被収容物が収容される密閉容器を開閉することにより前記密閉容器に対する前記被収容物の挿脱を可能とするロードポート装置であって、
微小空間を外部空間から分離するための壁の一部を構成し、開口部を有するサイドプレートと、
前記開口部を閉鎖可能であって、前記密閉容器の開口に取付けられる蓋を保持して前記密閉容器を開閉するドアと、
前記ドアを支持し、前記ドアに対して前記開口部への開閉動作を行わせるドア駆動機構と、
前記外部空間に配置されて前記密閉容器を載置可能であって、前記開口と前記開口部とを対向させるように前記密閉容器と前記開口部とを整列させる載置台と、
更に請求項1乃至4の何れか一項に記載されたガスパージ装置と、を有することを特徴とするロードポート装置。
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