JP6390424B2 - ガスパージユニット - Google Patents
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収容物を出し入れするための主開口を有する容器の内部に、前記主開口から清浄化ガスを導入させるガスパージユニットであって、
長手方向に延在しており、供給部から前記清浄化ガスが供給される長空洞と、前記長空洞と外部とを連通させ前記長手方向に交差する方向へ前記清浄化ガスを流出させる複数の放出流路と、が内部に形成されている筒状の吹き出し部材を有しており、
前記複数の放出流路は、前記長手方向に沿って配列されており、
前記放出流路は、前記長空洞への開口の開口面積をA1とし、前記外部への開口の開口面積をA2とした場合、A2はA1より小さいことを特徴とする。
また、例えば、前記長手方向に直交する断面において、前記放出流路の流路長さをL1とし、前記吹き出し部材の前記外壁の平均厚さをL2とした場合、L1はL2より大きくてもよい。
2… 密封搬送容器
2a… ケーシング
2b… 主開口
2c… 開口縁
3… 位置決め部
4… 蓋
5… 給気ポート
6… 排気ポート
10… ロードポート装置
11… 壁
12… 設置台
13… 壁側開口
13a… 側辺部
13b… 上辺部
13c… 下辺部
14… 可動テーブル
16… 位置決めピン
18… ドア
20… ガスパージユニット
22、122、222… 吹き出し部材
22a…側面
22b…端面
22c…外壁
23、123… 長空洞
123a… 第1部分
123b… 第2部分
124… フィルタ
26、126… 放出流路
26a、126a… 内部開口
26b、126b… 外部開口
28… 供給管
28a… 供給流路
30… カーテンノズル
40… FFU
50… ロボットアーム
60… イーフェム本体
60a… 中間室
70… 処理室
124… フィルタ
Claims (5)
- ロードポート装置に備えられ、複数の収容物を互いに接触しないように重ねて収容するための複数の段を有する棚および収容物を出し入れするための主開口を有する容器の内部に、前記主開口から清浄化ガスを導入させるガスパージユニットであって、
長手方向に延在しており、供給部から前記清浄化ガスが供給される長空洞と、前記長空洞と外部とを連通させ前記長手方向に交差する方向へ前記清浄化ガスを放出させる複数の放出流路と、が内部に形成されている筒状の吹き出し部材を有しており、
前記複数の放出流路は、前記長手方向に沿って配列されており、
前記放出流路において、前記長空洞への開口の開口面積をA1とし、前記外部への開口の開口面積をA2とした場合、A2はA1より小さく、
前記放出流路の周壁と前記長空洞の周壁とは、前記吹き出し部材の外壁によって一体に構成されていることを特徴とするガスパージユニット。 - 前記長空洞は、前記供給部に通じる第1部分と、前記第1部分に対してフィルタを介して接続されており前記放出流路に通じる第2部分と、を有することを特徴とする請求項1に記載のガスパージユニット。
- 前記放出流路において、A2/A1は0.25より大きく、1.0より小さい請求項1又は請求項2に記載のガスパージユニット。
- 前記複数の放出流路は、前記収容物に対して前記長手方向の位置をずらして配列されていることを特徴とする請求項1から請求項3までの何れかに記載のガスパージユニット。
- 前記長手方向に直交する断面において、前記放出流路の流路長さをL1とし、前記吹き出し部材の前記外壁の平均厚さをL2とした場合、L1はL2より大きいことを特徴とする請求項1から請求項4までの何れかに記載のガスパージユニット。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014265871A JP6390424B2 (ja) | 2014-12-26 | 2014-12-26 | ガスパージユニット |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014265871A JP6390424B2 (ja) | 2014-12-26 | 2014-12-26 | ガスパージユニット |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016127105A JP2016127105A (ja) | 2016-07-11 |
JP6390424B2 true JP6390424B2 (ja) | 2018-09-19 |
Family
ID=56359643
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014265871A Active JP6390424B2 (ja) | 2014-12-26 | 2014-12-26 | ガスパージユニット |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6390424B2 (ja) |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0760164A (ja) * | 1993-08-27 | 1995-03-07 | Kubota Corp | 縮流ノズル |
JP4970337B2 (ja) * | 2008-04-30 | 2012-07-04 | 積水化学工業株式会社 | 表面処理用ステージ装置 |
JP5842628B2 (ja) * | 2012-01-25 | 2016-01-13 | Tdk株式会社 | ガスパージ装置及び該ガスパージ装置を有するロードポート装置 |
-
2014
- 2014-12-26 JP JP2014265871A patent/JP6390424B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2016127105A (ja) | 2016-07-11 |
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