JP2016100453A - ガスパージユニットおよびガスパージ装置 - Google Patents
ガスパージユニットおよびガスパージ装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2016100453A JP2016100453A JP2014236227A JP2014236227A JP2016100453A JP 2016100453 A JP2016100453 A JP 2016100453A JP 2014236227 A JP2014236227 A JP 2014236227A JP 2014236227 A JP2014236227 A JP 2014236227A JP 2016100453 A JP2016100453 A JP 2016100453A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- opening
- blowing member
- nozzle port
- gas
- container
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B08—CLEANING
- B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
- B08B5/00—Cleaning by methods involving the use of air flow or gas flow
- B08B5/02—Cleaning by the force of jets, e.g. blowing-out cavities
Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
Abstract
【解決手段】開口2bを有するパージ対象容器2の内部に開口2bを通して清浄化ガスを導入させるガスパージユニット20である。このガスパージユニット20は、パージ対象容器2の内部に向けて、開口2bの側辺部から清浄化ガスを吹き出す第1ノズル口26と、開口2bの開口面に沿って開口2bの側辺部から清浄化ガスを吹き出す第2ノズル口28とを有する。
【選択図】図4A
Description
開口を有するパージ対象容器の内部に前記開口を通して清浄化ガスを導入させるガスパージユニットであって、
前記パージ対象容器の内部に向けて、前記開口の側辺部から清浄化ガスを吹き出す第1ノズル口と、
前記開口の開口面に沿って前記開口の側辺部から清浄化ガスを吹き出す第2ノズル口とを有する。
前記パージ対象容器が、壁の内側が密封された壁に形成してある壁側開口に外側から着脱自在に取り付けられ、
前記パージ対象容器の前記開口と前記壁側開口とが気密に連通されるようになっており、
上記のいずれかに記載のガスパージユニットが、前記壁の内側で、前記壁側開口の少なくともいずれか一方の側辺部に取り付けてある。
図1Aに示すように、本発明の一実施形態に係るロードポート装置10は、イーフェム(EFEM)などの中間室60に連結してある。ロードポート装置10は、設置台12と、その設置台12に対して、X軸方向に移動可能な可動テーブル14とを有する。なお、図面において、X軸が可動テーブル14の移動方向を示し、Z軸が鉛直方向の上下方向を示し、Y軸がこれらのX軸およびZ軸に垂直な方向を示す。
図4Cは、本発明の他の実施形態に係るガスパージユニット20aの組み合わせを示す。この実施形態では、図4Cに示すように、第1ノズル口26は、第1専用吹き出し部材22αに形成してあり、第2ノズル口28が第2専用吹き出し部材22βに形成してある。第1専用吹き出し部材22αには、第1ノズル口26のみが形成してあり、第2ノズル口28は形成されていない。また、第2専用吹き出し部材22βには、第2ノズル口28のみが形成してあり、第1ノズル口26は形成されていない。
図4Dは、本発明の他の実施形態に係るガスパージユニット20bおよび20cの組み合わせを示す。この実施形態では、図4Dに示すように、第1ノズル口26は、第1専用吹き出し部材22αに形成してあり、第2ノズル口28が第2専用吹き出し部材22βに形成してある。
図4Fは、本発明の他の実施形態に係るガスパージユニット20aおよび20cの組み合わせを示す。この実施形態では、図4Fに示すように、第1ノズル口26は、第1専用吹き出し部材22αに形成してあり、第2ノズル口28が第2専用吹き出し部材22βに形成してある。
図4Gは、本発明の他の実施形態に係るガスパージユニット20aおよび20bの組み合わせを示す。この実施形態では、図4Gに示すように、第1ノズル口26は、第1専用吹き出し部材22αに形成してあり、第2ノズル口28が第2専用吹き出し部材22βに形成してある。
図4Hは、本発明の他の実施形態に係るガスパージユニット20および20bの組み合わせを示す。この実施形態では、図4Hに示すように、双方向吹き出し部材22を有するガスパージユニット20は、壁11の内面で開口13の一方の側辺部13aのZ軸方向に沿って固定してある。また、第1専用吹き出し部材22αを有して第2専用吹き出し部材22βを有さないガスパージユニット20bは、壁11の内面で開口13の他方の側辺部13aのZ軸方向に沿って固定してある。
図4Iは、本発明の他の実施形態に係るガスパージユニット20および20cの組み合わせを示す。この実施形態では、図4Iに示すように、双方向吹き出し部材22を有するガスパージユニット20は、壁11の内面で開口13の一方の側辺部13aのZ軸方向に沿って固定してある。また、第2専用吹き出し部材22βを有して第1専用吹き出し部材22αを有さないガスパージユニット20cは、壁11の内面で開口13の他方の側辺部13aのZ軸方向に沿って固定してある。
2… 密封搬送容器
2a… ケーシング
2b… 開口
2c… 開口縁
3… 位置決め部
4… 蓋
5… 給気ポート
6… 排気ポート
10… ロードポート装置
11… 壁
12… 設置台
13… 壁側開口
13a… 側辺部
13b… 上辺部
13b… 下辺部
14… 可動テーブル
16… 位置決めピン
18… ドア
20,20a〜20c… ガスパージユニット
21… フィルタ
22,22a〜22c… 双方向吹き出し部材
22α… 第1専用吹き出し部材
22β… 第2専用吹き出し部材
23… 吹き出し流路
24… 給気部材
25… 給気流路
26… 第1ノズル口
27… 連通孔
28… 第2ノズル口28
29… 連通孔
30… カーテンノズル
40… FFU
50… ロボットアーム
60… 中間室
70… 処理室
Claims (11)
- 開口を有するパージ対象容器の内部に前記開口を通して清浄化ガスを導入させるガスパージユニットであって、
前記パージ対象容器の内部に向けて、前記開口の側辺部から清浄化ガスを吹き出す第1ノズル口と、
前記開口の開口面に沿って前記開口の側辺部から清浄化ガスを吹き出す第2ノズル口とを有するガスパージユニット。 - 前記第1ノズル口と第2ノズル口とが単一の双方向吹き出し部材に形成してある請求項1に記載のガスパージユニット。
- 前記双方向吹き出し部材が、前記開口の少なくとも一方の側辺部に配置してある請求項2に記載のガスパージユニット。
- 前記双方向吹き出し部材が、前記開口の両側辺部にそれぞれ対向して配置してある請求項2に記載のガスパージユニット。
- 前記第1ノズル口が第1専用吹き出し部材に形成してあり、前記第1専用吹き出し部材が、前記開口の少なくとも一方の側辺部に配置してある請求項1〜4のいずれかに記載のガスパージユニット。
- 前記第2ノズル口が第2専用吹き出し部材に形成してあり、前記第2専用吹き出し部材が、前記開口の少なくとも一方の側辺部に配置してある請求項1〜5のいずれかに記載のガスパージユニット。
- 前記第1ノズル口が第1専用吹き出し部材に形成してあり、前記第2ノズル口が第2専用吹き出し部材に形成してあり、
一対の前記第1専用吹き出し部材が、前記開口の両側辺部にそれぞれ対向して配置してあり、
前記第2専用吹き出し部材が、前記開口の少なくとも一方の側辺部に配置してある請求項1に記載のガスパージユニット。 - 前記第1ノズル口が第1専用吹き出し部材に形成してあり、前記第2ノズル口が第2専用吹き出し部材に形成してあり、
一対の前記第2専用吹き出し部材が、前記開口の両側辺部にそれぞれ対向して配置してあり、
前記第1専用吹き出し部材が、前記開口の少なくとも一方の側辺部に配置してある請求項1に記載のガスパージユニット。 - 前記第1専用吹き出し部材が、前記第2専用吹き出し部材よりも前記開口に近い位置に配置してある請求項7または8に記載のガスパージユニット。
- 前記第1ノズル口および前記第2ノズル口は、前記開口の側辺部の長手方向に沿って連続的または断続的に形成してある請求項1〜9のいずれかに記載のガスパージユニット。
- 前記パージ対象容器は、壁の内側が密封された壁に形成してある壁側開口に外側から着脱自在に取り付けられ、
前記パージ対象容器の前記開口と前記壁側開口とが気密に連通されるようになっており、
請求項1〜10のいずれかに記載のガスパージユニットは、前記壁の内側で、前記壁側開口の少なくともいずれか一方の側辺部に取り付けてあるガスパージ装置。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014236227A JP6511783B2 (ja) | 2014-11-21 | 2014-11-21 | ガスパージユニットおよびガスパージ装置 |
US14/946,521 US10512948B2 (en) | 2014-11-21 | 2015-11-19 | Gas purge unit and gas purge apparatus |
US16/198,231 US11446713B2 (en) | 2014-11-21 | 2018-11-21 | Gas purge unit and load port apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014236227A JP6511783B2 (ja) | 2014-11-21 | 2014-11-21 | ガスパージユニットおよびガスパージ装置 |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018230203A Division JP6597875B2 (ja) | 2018-12-07 | 2018-12-07 | ガスパージユニットおよびガスパージ装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016100453A true JP2016100453A (ja) | 2016-05-30 |
JP6511783B2 JP6511783B2 (ja) | 2019-05-15 |
Family
ID=56076392
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014236227A Active JP6511783B2 (ja) | 2014-11-21 | 2014-11-21 | ガスパージユニットおよびガスパージ装置 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US10512948B2 (ja) |
JP (1) | JP6511783B2 (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2017228678A (ja) * | 2016-06-23 | 2017-12-28 | Tdk株式会社 | ガスパージユニット及びロードポート装置 |
KR20200056084A (ko) * | 2018-11-14 | 2020-05-22 | 주식회사 저스템 | 웨이퍼 용기로의 외기 유입을 차단하는 외기 차단 장치 및 이를 포함하는 반도체 장치 |
JP2020150283A (ja) * | 2020-06-17 | 2020-09-17 | Tdk株式会社 | ガスパージユニット及びロードポート装置 |
WO2021098209A1 (zh) * | 2019-11-21 | 2021-05-27 | 华为技术有限公司 | 一种除尘装置 |
Families Citing this family (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6226190B2 (ja) * | 2014-02-20 | 2017-11-08 | Tdk株式会社 | パージシステム、及び該パージシステムに供せられるポッド及びロードポート装置 |
JP6451453B2 (ja) * | 2015-03-31 | 2019-01-16 | Tdk株式会社 | ガスパージ装置、ロードポート装置、パージ対象容器の設置台およびガスパージ方法 |
CN106477860A (zh) * | 2016-12-21 | 2017-03-08 | 蚌埠玻璃工业设计研究院 | 一种平板玻璃水平出口锡槽的风力挡锡装置 |
CN108657136A (zh) * | 2017-03-31 | 2018-10-16 | 中铁华铁工程设计集团有限公司 | 动车列车车底吹扫设备 |
US11194259B2 (en) * | 2018-08-30 | 2021-12-07 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. | Equipment module with enhanced protection from airborne contaminants, and method of operation |
US11294292B2 (en) * | 2019-12-30 | 2022-04-05 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. | Particle removing assembly and method of cleaning mask for lithography |
US11810805B2 (en) * | 2020-07-09 | 2023-11-07 | Applied Materials, Inc. | Prevention of contamination of substrates during gas purging |
US20220301893A1 (en) * | 2021-03-19 | 2022-09-22 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company Limited | Wafer Transfer System and Method of Use |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008135791A (ja) * | 2005-11-30 | 2008-06-12 | Tdk Corp | 密閉容器の蓋開閉システムに用いられるパージ用パイプユニット |
JP2013161924A (ja) * | 2012-02-03 | 2013-08-19 | Tokyo Electron Ltd | 基板収容容器のパージ装置及びパージ方法 |
WO2016065200A1 (en) * | 2014-10-24 | 2016-04-28 | Applied Materials, Inc | Systems, apparatus, and methods for purging a substrate carrier at a factory interface |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20090169342A1 (en) * | 2004-06-21 | 2009-07-02 | Takehiko Yoshimura | Load port |
JP5494734B2 (ja) * | 2011-08-15 | 2014-05-21 | Tdk株式会社 | パージ装置及び該パージ装置を有するロードポート装置 |
JP6769134B2 (ja) | 2016-06-23 | 2020-10-14 | Tdk株式会社 | ガスパージユニット及びロードポート装置 |
-
2014
- 2014-11-21 JP JP2014236227A patent/JP6511783B2/ja active Active
-
2015
- 2015-11-19 US US14/946,521 patent/US10512948B2/en active Active
-
2018
- 2018-11-21 US US16/198,231 patent/US11446713B2/en active Active
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008135791A (ja) * | 2005-11-30 | 2008-06-12 | Tdk Corp | 密閉容器の蓋開閉システムに用いられるパージ用パイプユニット |
JP2013161924A (ja) * | 2012-02-03 | 2013-08-19 | Tokyo Electron Ltd | 基板収容容器のパージ装置及びパージ方法 |
WO2016065200A1 (en) * | 2014-10-24 | 2016-04-28 | Applied Materials, Inc | Systems, apparatus, and methods for purging a substrate carrier at a factory interface |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2017228678A (ja) * | 2016-06-23 | 2017-12-28 | Tdk株式会社 | ガスパージユニット及びロードポート装置 |
KR20200056084A (ko) * | 2018-11-14 | 2020-05-22 | 주식회사 저스템 | 웨이퍼 용기로의 외기 유입을 차단하는 외기 차단 장치 및 이를 포함하는 반도체 장치 |
KR102146517B1 (ko) | 2018-11-14 | 2020-08-21 | 주식회사 저스템 | 웨이퍼 용기로의 외기 유입을 차단하는 외기 차단 장치 및 이를 포함하는 반도체 장치 |
WO2021098209A1 (zh) * | 2019-11-21 | 2021-05-27 | 华为技术有限公司 | 一种除尘装置 |
JP2020150283A (ja) * | 2020-06-17 | 2020-09-17 | Tdk株式会社 | ガスパージユニット及びロードポート装置 |
JP7070606B2 (ja) | 2020-06-17 | 2022-05-18 | Tdk株式会社 | ガスパージユニット及びロードポート装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20190168268A1 (en) | 2019-06-06 |
JP6511783B2 (ja) | 2019-05-15 |
US11446713B2 (en) | 2022-09-20 |
US10512948B2 (en) | 2019-12-24 |
US20160207082A1 (en) | 2016-07-21 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6511783B2 (ja) | ガスパージユニットおよびガスパージ装置 | |
JP6349750B2 (ja) | Efem | |
US8522836B2 (en) | Substrate storage pod with replacement function of clean gas | |
KR101030884B1 (ko) | 닫힘 용기용 덮개 개폐 시스템 및 이를 이용한 기재 처리방법 | |
JP6217977B2 (ja) | ポッド、及び該ポッドを用いたパージシステム | |
JP6287515B2 (ja) | Efemシステム及び蓋開閉方法 | |
JP6597875B2 (ja) | ガスパージユニットおよびガスパージ装置 | |
JP6226190B2 (ja) | パージシステム、及び該パージシステムに供せられるポッド及びロードポート装置 | |
JP2015142008A (ja) | ロードポート装置 | |
JP6583482B2 (ja) | Efem | |
JP7417023B2 (ja) | Efem | |
JP6380754B2 (ja) | ガスパージユニットおよびガスパージ装置 | |
JP2006242419A (ja) | クリーンブースおよびそのクリーンブースを用いた作業システム | |
JP6429015B2 (ja) | ガスパージユニットおよびガスパージ装置 | |
JP6769134B2 (ja) | ガスパージユニット及びロードポート装置 | |
TWI793680B (zh) | 基板處理裝置 | |
JP2015162532A (ja) | ポッド、及び該ポッドを用いたパージシステム | |
JP6853489B2 (ja) | Efem | |
JP7070606B2 (ja) | ガスパージユニット及びロードポート装置 | |
JP5880573B2 (ja) | 基板処理装置 | |
JP6969645B2 (ja) | ガスパージノズル及びフロントパージユニット | |
JP6390425B2 (ja) | ガスパージユニット | |
JP2017216383A (ja) | ガスパージノズル及びフロントパージユニット | |
TW202431515A (zh) | 基板處理裝置 | |
JP2018037543A (ja) | ロードポート装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20170830 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20180413 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20180424 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20180620 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20180704 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20180827 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20180911 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20181207 |
|
A911 | Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20181217 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20190312 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20190325 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6511783 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |