JP2016127106A - ガスパージユニット - Google Patents
ガスパージユニット Download PDFInfo
- Publication number
- JP2016127106A JP2016127106A JP2014265880A JP2014265880A JP2016127106A JP 2016127106 A JP2016127106 A JP 2016127106A JP 2014265880 A JP2014265880 A JP 2014265880A JP 2014265880 A JP2014265880 A JP 2014265880A JP 2016127106 A JP2016127106 A JP 2016127106A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- opening
- gas
- longitudinal direction
- gas purge
- purge unit
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
【解決手段】
収容物を出し入れするための主開口(2b)を有する容器(2)の内部に、前記主開口から清浄化ガスを導入させるガスパージユニットであって、長手方向に延在しており、供給部から前記清浄化ガスが供給される長空洞(23)と、前記長手方向に沿って配列されており、前記長空洞と外部とを連通させ前記長手方向に交差する方向へ前記清浄化ガスを流出させる複数の放出流路(26)と、が内部に形成されている筒状の吹き出し部材(22)を有しており、前記放出流路は、前記長空洞への開口(26a)の開口面積をA1とし、前記外部への開口(26b)の開口面積をA2とした場合、A2はA1より大きいガスパージユニット。
【選択図】図5
Description
収容物を出し入れするための主開口を有する容器の内部に、前記主開口から清浄化ガスを導入させるガスパージユニットであって、
長手方向に延在しており、供給部から前記清浄化ガスが供給される長空洞と、前記長空洞と外部とを連通させ前記長手方向に交差する方向へ前記清浄化ガスを流出させる複数の放出流路と、が内部に形成されている筒状の吹き出し部材を有しており、
前記複数の放出流路は、前記長手方向に沿って配列されており、
前記放出流路は、前記長空洞への開口の開口面積をA1とし、前記外部への開口の開口面積をA2とした場合、A2はA1より大きいことを特徴とする。
また、例えば、前記長手方向に直交する断面において、前記放出流路の流路長さをL1とし、前記吹き出し部材の前記外壁の平均厚さをL2とした場合、L1はL2より大きくてもよい。
2… 密封搬送容器
2a… ケーシング
2b… 主開口
2c… 開口縁
3… 位置決め部
4… 蓋
5… 給気ポート
6… 排気ポート
10… ロードポート装置
11… 壁
12… 設置台
13… 壁側開口
13a… 側辺部
13b… 上辺部
13c… 下辺部
14… 可動テーブル
16… 位置決めピン
18… ドア
20… ガスパージユニット
22、122、222、322、422… 吹き出し部材
22a…側面
22b…端面
22c…外壁
23、123… 長空洞
123a… 第1部分
123b… 第2部分
124… フィルタ
26、126… 放出流路
26a、126a、326a、426a… 内部開口
26b、126b、326b、426b… 外部開口
28… 供給管
28a… 供給流路
30… カーテンノズル
40… FFU
50… ロボットアーム
60… イーフェム本体
60a… 中間室
70… 処理室
124… フィルタ
Claims (8)
- 収容物を出し入れするための主開口を有する容器の内部に、前記主開口から清浄化ガスを導入させるガスパージユニットであって、
長手方向に延在しており、供給部から前記清浄化ガスが供給される長空洞と、前記長空洞と外部とを連通させ前記長手方向に交差する方向へ前記清浄化ガスを放出させる複数の放出流路と、が内部に形成されている筒状の吹き出し部材を有しており、
前記複数の放出流路は、前記長手方向に沿って配列されており、
前記放出流路において、前記長空洞への開口の開口面積をA1とし、前記外部への開口の開口面積をA2とした場合、A2はA1より大きいことを特徴とするガスパージユニット。 - 前記長空洞は、前記供給部に通じる第1部分と、前記第1部分に対してフィルタを介して接続されており前記放出流路に通じる第2部分と、を有することを特徴とする請求項1に記載のガスパージユニット。
- 前記放出流路の前記外部への開口の形状は、前記長手方向の開口幅と前記長手方向に直交する方向の開口幅とが異なることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載のガスパージユニット。
- 前記長手方向の開口幅が、前記長手方向に直交する方向の開口幅より大きいことを特徴とする請求項3に記載のガスパージユニット。
- 前記長手方向の開口幅が、前記長手方向に直交する方向の開口幅より小さいことを特徴とする請求項3に記載のガスパージユニット。
- 前記放出流路において、A2/A1は1.0より大きく、4.0より小さい請求項1から請求項5の何れかに記載のガスパージユニット。
- 前記放出流路の周壁と前記長空洞の周壁とは、前記吹き出し部材の外壁によって一体に構成されていることを特徴とする請求項1から請求項6までの何れかに記載のガスパージユニット。
- 前記長手方向に直交する断面において、前記放出流路の流路長さをL1とし、前記吹き出し部材の前記外壁の平均厚さをL2とした場合、L1はL2より大きいことを特徴とする請求項7に記載のガスパージユニット。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014265880A JP6390425B2 (ja) | 2014-12-26 | 2014-12-26 | ガスパージユニット |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014265880A JP6390425B2 (ja) | 2014-12-26 | 2014-12-26 | ガスパージユニット |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016127106A true JP2016127106A (ja) | 2016-07-11 |
JP6390425B2 JP6390425B2 (ja) | 2018-09-19 |
Family
ID=56359746
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014265880A Active JP6390425B2 (ja) | 2014-12-26 | 2014-12-26 | ガスパージユニット |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6390425B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN111681977A (zh) * | 2020-07-15 | 2020-09-18 | 北京北方华创微电子装备有限公司 | 储片盒吹扫组件和储片盒装置 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009267275A (ja) * | 2008-04-30 | 2009-11-12 | Sekisui Chem Co Ltd | 表面処理用ステージ装置 |
JP2013153036A (ja) * | 2012-01-25 | 2013-08-08 | Tdk Corp | ガスパージ装置及び該ガスパージ装置を有するロードポート装置 |
-
2014
- 2014-12-26 JP JP2014265880A patent/JP6390425B2/ja active Active
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009267275A (ja) * | 2008-04-30 | 2009-11-12 | Sekisui Chem Co Ltd | 表面処理用ステージ装置 |
JP2013153036A (ja) * | 2012-01-25 | 2013-08-08 | Tdk Corp | ガスパージ装置及び該ガスパージ装置を有するロードポート装置 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN111681977A (zh) * | 2020-07-15 | 2020-09-18 | 北京北方华创微电子装备有限公司 | 储片盒吹扫组件和储片盒装置 |
CN111681977B (zh) * | 2020-07-15 | 2024-01-05 | 北京北方华创微电子装备有限公司 | 储片盒吹扫组件和储片盒装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP6390425B2 (ja) | 2018-09-19 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR102604997B1 (ko) | 기판 처리 장치, 기판 처리 시스템 및 기판 처리 방법 | |
JP6492884B2 (ja) | ロードポート装置 | |
KR101139202B1 (ko) | 노즐 세정 장치, 노즐 세정 방법 및 노즐 세정 프로그램을기록한 컴퓨터 판독 가능한 기록 매체 | |
JP5472169B2 (ja) | 液処理装置、液処理方法および記憶媒体 | |
JP6740028B2 (ja) | 基板処理装置、基板処理方法および記憶媒体 | |
JP6217977B2 (ja) | ポッド、及び該ポッドを用いたパージシステム | |
KR20150009421A (ko) | Efem, 로드 포트 | |
JP6226190B2 (ja) | パージシステム、及び該パージシステムに供せられるポッド及びロードポート装置 | |
TW200917407A (en) | Lid opening/closing system for closed container and substrate processing method using same | |
US20160207082A1 (en) | Gas purge unit and gas purge apparatus | |
TW202040668A (zh) | 基板處理方法及基板處理裝置 | |
JP6679907B2 (ja) | ロードポート装置及びロードポート装置における容器内への清浄化ガス導入方法 | |
JP2015142008A (ja) | ロードポート装置 | |
CN108987319B (zh) | Efem及向efem导入置换气体的方法 | |
JP6390425B2 (ja) | ガスパージユニット | |
KR20140112299A (ko) | 기판처리장치 | |
JP6597875B2 (ja) | ガスパージユニットおよびガスパージ装置 | |
JP6380754B2 (ja) | ガスパージユニットおよびガスパージ装置 | |
JP6390424B2 (ja) | ガスパージユニット | |
KR102283302B1 (ko) | 웨이퍼 수납용기 | |
JP2015162532A (ja) | ポッド、及び該ポッドを用いたパージシステム | |
JP6969645B2 (ja) | ガスパージノズル及びフロントパージユニット | |
JP6769134B2 (ja) | ガスパージユニット及びロードポート装置 | |
JP6048770B2 (ja) | パージノズル | |
JP2017216429A (ja) | 基板処理装置および基板処理方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20170830 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20180420 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20180508 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20180703 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20180724 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20180806 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6390425 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |