JP2016192492A - ガスパージユニット - Google Patents
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Abstract
【解決手段】
収容物を出し入れするための主開口を有する容器内に、前記主開口から清浄化ガスを導入させるガスパージユニットであって、長手方向に延在する長空洞と、前記長空洞と外部とを連通させ前記清浄化ガスを放出する多孔質体からなる放出部と、を有する筒状の吹き出し部材と、前記吹き出し部材の一方の端部に形成された連通孔を介して前記長空洞に接続し、前記長空洞に前記清浄化ガスを供給する供給部と、を有することを特徴とするガスパージユニット。
【選択図】図5
Description
収容物を出し入れするための主開口を有する容器内に、前記主開口から清浄化ガスを導入させるガスパージユニットであって、
長手方向に延在する長空洞と、前記長空洞と外部とを連通させ前記清浄化ガスを放出する多孔質体からなる放出部と、を有する筒状の吹き出し部材と、
前記吹き出し部材の一方の端部に形成された連通孔を介して前記長空洞に接続し、前記長空洞に前記清浄化ガスを供給する供給部と、
を有することを特徴とする。
2… 密封搬送容器
2a… ケーシング
2b… 主開口
2c… 開口縁
3… 位置決め部
4… 蓋
5… 給気ポート
6… 排気ポート
10… ロードポート装置
11… 壁
12… 設置台
13… 壁側開口
13a… 側辺部
13b… 上辺部
13c… 下辺部
14… 可動テーブル
16… 位置決めピン
18… ドア
20、120、220、320… ガスパージユニット
22… 吹き出し部材
22a…先端部
22b…基端部
22ba…連通孔
23… 長空洞
24… 放出部
27a、27b、27c、27d、27e… 遮蔽部
28…供給部
30… カーテンノズル
40… FFU
50… ロボットアーム
60… イーフェム本体
60a… 中間室
70… 処理室
Claims (4)
- 収容物を出し入れするための主開口を有する容器内に、前記主開口から清浄化ガスを導入させるガスパージユニットであって、
長手方向に延在する長空洞と、前記長空洞と外部とを連通させ前記清浄化ガスを放出する多孔質体からなる放出部と、を有する筒状の吹き出し部材と、
前記吹き出し部材の一方の端部に形成された連通孔を介して前記長空洞に接続し、前記長空洞に前記清浄化ガスを供給する供給部と、
を有することを特徴とするガスパージユニット。 - 前記吹き出し部材から前記長手方向に直交する放射方向の一部に、前記長手方向に延在するように設けられ、前記吹き出し部材から前記放射方向の一部に向かう前記清浄化ガスの流れを遮蔽する遮蔽部を有することを特徴とする請求項1に記載のガスパージユニット。
- 前記放出部を構成する多孔質体が筒状の外形状を有しており、筒状の前記放出部の内部に前記長空洞が形成されていることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載のガスパージユニット。
- 前記放出部は、無機材料の多孔質体で構成されることを特徴とする請求項1から請求項3までのいずれかに記載のガスパージユニット。
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