JP2014239096A - ロードポートユニット及びefemシステム - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (7)
- 収容物を収容したポッドより蓋を取外し、前記収容物の前記ポッドから微小空間への取出しを可能とするロードポートユニットであって、
前記微小空間を外部空間と隔置する壁を構成する閉鎖プレートと、
前記閉鎖プレートに設けられる開口部と、
前記開口部の開閉、及び前記ポッドに対する蓋の固定及び固定の解除を行って前記ポッドからの前記蓋の取り付け及び取り外し、を可能なドアと、
前記ドアを駆動するドア駆動機構と、
前記ポッドの内部に向けた不活性ガスの供給を行なう不活性ガスノズルと、
前記微小空間及び前記ポッドから余剰気体を吸引排気する排気ユニットと、を有し、
前記排気ユニットが構成する前記微小空間側に開口して前記余剰気体が通過する排気経路の排気開口部は、前記ドア駆動機構の上端と前記ポッドの開口の下辺との間であって、前記ポッドにおける開口幅以上の範囲において開口することを特徴とするロードポートユニット。 - 前記排気ユニットは、排気系に接続されて前記余剰気体を吸引可能であることを特徴とする請求項1に記載のロードポートユニット。
- 前記排気ユニットは、前記排気開口部を形成する排気開口拡大部と、前記排気開口拡大部と正対する位置に配置されて前記余剰気体が通過する排気口を介して前記排気開口部と連通し、前記余剰気体の排気時のバッファ空間として作用するタンク部と、を有することを特徴とする請求項2に記載のロードポートユニット。
- 前記排気ユニットは、前記余剰気体の排気時のバッファ空間として作用するタンク部と、前記タンク部を形成する前記微小空間側の一面に配されて前記排気開口部として作用する排気口を含むことを特徴とする請求項2に記載のロードポートユニット。
- 前記排気口が複数配置されることを特徴とする請求項3又は4に記載のロードポートユニット。
- 前記タンク部は複数配置されることを特徴とする請求項3乃至5の何れか一項に記載のロードポートユニット。
- 前記排気系は、前記気体の排気量或いは排気速度を調整可能な弁機構を有することを特徴とする請求項2乃至6の何れか一項に記載のロードポートユニット。
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