JP4326295B2 - 基板洗浄乾燥装置 - Google Patents
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すなわち、請求項1に記載の発明は、基板に洗浄処理を施した後、乾燥処理を施す基板洗浄乾燥装置において、処理液を貯留し、処理液に基板を浸漬させて基板に洗浄処理を施す処理槽と、基板を搬入出するための開口を上部に有し、前記処理槽を収納する処理室と、前記処理室の開口に対して開閉自在である蓋部材と、吸引穴を有し、基板を保持した状態で、前記処理室の上方にあたる非処理位置と前記処理槽内との間で移動自在である保持手段と、前記処理槽内において前記保持手段に保持された基板に向けて気体を供給する供給口を有する第1供給手段と、前記処理槽の上方であって、前記処理槽の側面位置に設けられた第2供給手段と、前記処理槽から処理液を排出する排出手段と、を備え、前記蓋部材を閉止した状態で、前記処理槽の処理液による基板の洗浄処理を行わせ、前記排出手段により前記処理槽から処理液を排出させた後、前記保持手段の吸引穴は吸引を行うとともに、前記供給口から基板に向けて気体を供給させ、前記非処理位置と前記処理槽内との間で前記保持手段を移動させる際には、前記第2供給手段により形成されたエアカーテンを通過させることを特徴とするものである。
図1は、洗浄乾燥部を備えた基板処理装置の概略構成図を示す平面図である。
チャンバー37の開口37a下部の両側には、チャンバー37の内容積を小さくし、かつ乾燥用のエアの流れを整え、基板Wにできるだけ近い位置を気流が流下するように調整するための垂直整流板63が取り付けられている。また、図示省略しているが、基板保持部57の下方にあたる排出口45には、内槽39を流下してきたエアの流れを整えて排気するための水平整流板を取り付けるのが好ましい。
すなわち、ドライエア供給源75はクリーンルーム大気を吸気し、除湿してドライエアを生成するとともに、除湿剤再生エアを生成する。これらの割合は、ほぼ半分ずつである。そして、ドライエアを主配管73に供給しつつ、除湿剤再生用に利用したエアは水分を含むので、それを熱排気(例えば80℃)として排気している。ドライエアは、排気管79を通して排気されている。
ここで図18は、その他の実施例を示し、基板保持部の一部を正面から見た縦断面図である。
図19は実施例2に係る洗浄乾燥部の概略構成を示した縦断面図であり、図20は移載及び乾燥処理時の動作説明図である。なお、上記実施例1と同じ構成については同符号を付すことで詳細な説明については省略する。
すなわち、図21に示すように、基板Wを中間位置に移動するまでの間、あるいは移動した後、制御弁77を閉止したまま制御弁89を開放して供給口85と側方供給ノズル99からのみドライエアをチャンバー37内に供給する。これにより、処理液面から顔を出して中間処理に移動する基板Wまたは中間位置に移動した基板Wの側方からドライエアを供給することになり、側方から乾燥処理を施すことができる。
1 … カセット
3 … 載置部
11 … 第1搬送機構
13 … 第2搬送機構
19 … 第1処理部
21 … 洗浄乾燥部
23 … 薬液処理部
25 … 第1副搬送機構
35 … 処理槽
37 … チャンバー
39 … 内槽
41 … 注入管
47 … 処理液供給管
51 … 制御弁
55 … 背板
57 … 基板保持部
59 … 支持部材
65 … 蓋部材
71 … フィルタ
97 … 中間チャック機構
99 … 側方供給ノズル
101 … 側方排気口
103 … IPA供給ノズル
105 … 底部排気口
Claims (6)
- 基板に洗浄処理を施した後、乾燥処理を施す基板洗浄乾燥装置において、
処理液を貯留し、処理液に基板を浸漬させて基板に洗浄処理を施す処理槽と、
基板を搬入出するための開口を上部に有し、前記処理槽を収納する処理室と、
前記処理室の開口に対して開閉自在である蓋部材と、
吸引穴を有し、基板を保持した状態で、前記処理室の上方にあたる非処理位置と前記処理槽内との間で移動自在である保持手段と、
前記処理槽内において前記保持手段に保持された基板に向けて気体を供給する供給口を有する第1供給手段と、
前記処理槽の上方であって、前記処理槽の側面位置に設けられた第2供給手段と、
前記処理槽から処理液を排出する排出手段と、を備え、
前記蓋部材を閉止した状態で、前記処理槽の処理液による基板の洗浄処理を行わせ、前記排出手段により前記処理槽から処理液を排出させた後、前記保持手段の吸引穴は吸引を行うとともに、前記供給口から基板に向けて気体を供給させ、
前記非処理位置と前記処理槽内との間で前記保持手段を移動させる際には、前記第2供給手段により形成されたエアカーテンを通過させることを特徴とする基板洗浄乾燥装置。 - 請求項1に記載の基板洗浄乾燥装置において、
前記供給口から供給される気体の流れを整え、基板にできるだけ近い位置を気流が流下するように調整する垂直整流板をさらに備えることを特徴とする基板洗浄乾燥装置。 - 基板に洗浄処理を施した後、乾燥処理を施す基板洗浄乾燥装置において、
処理液を貯留し、処理液に基板を浸漬させて基板に洗浄処理を施す処理槽と、
基板を搬入出するための開口を上部に有し、前記処理槽を収納する処理室と、
前記処理室の開口に対して開閉自在である蓋部材と、
前記処理槽内で基板を保持する第1保持手段と、
前記第1保持手段との間で基板の受け渡しが可能であり、吸引穴を有するとともに前記処理室内の前記処理槽上方の位置で基板を保持する第2保持手段と、
前記第2保持手段に保持された基板に向けて気体を供給する供給口と、
前記処理室の底部に前記処理室を排気する底部排気口と、を備え、
前記蓋部材を閉止した状態で、前記処理槽の処理液による基板の洗浄処理を行わせ、前記第1保持手段から前記第2保持手段へ基板を受け渡した後、前記処理室内の前記処理槽上方の位置にある前記第2保持手段の吸引穴は吸引を行うとともに、前記供給口から基板に向けて気体を供給させつつ前記底部排気口から排気を行わせることを特徴とする基板洗浄乾燥装置。 - 請求項3に記載の基板洗浄乾燥装置において、
前記供給口は第1供給手段であり、
前記処理槽の上方であって、前記処理室の側面位置に設けられ、かつ前記処理室内に気体を供給する第2供給手段をさらに備え、
前記第1保持手段は、基板を保持した状態で、前記処理室の上方にあたる非処理位置と前記処理槽内との間で移動自在であり、
前記第2保持手段を前記処理槽内から前記処理室内の前記処理槽上方位置に移動させる際に、前記第2供給手段から基板に向けて気体を供給することを特徴とする基板洗浄乾燥装置。 - 請求項3または4に記載の基板洗浄乾燥装置において、
前記処理槽の上方であって前記処理室の側方位置に設けられ、かつ前記第2保持手段により保持された基板に有機溶剤を供給する有機溶剤供給手段をさらに備えることを特徴する基板洗浄乾燥装置。 - 請求項3から5のいずれかに記載の基板洗浄乾燥装置において、
前記供給口から供給される気体の流れを整え、基板にできるだけ近い位置を気流が流下するように調整する垂直整流板をさらに備えることを特徴とする基板洗浄乾燥装置。
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