JP2006086411A - 基板処理装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 洗浄ユニット23で洗浄処理を行った後、シリル化ユニット33でシリル化材料を基板Wに供給してシリル化処理を行うので、洗浄により清浄化されてダメージ部分が露出した被膜がシリル化され、その被膜の誘電率を元の状態に戻すことができる。したがって、ダメージ部分をエッチングして除去する等の余分な処理を行うことなく、低誘電率被膜の特性を回復させることができる。また、洗浄ユニット23による洗浄処理に続けてシリル化ユニット33によるシリル化処理に移ることにより、洗浄により露出した部分が酸化する等の悪影響を防止できる。
【選択図】 図1
Description
基板上に生成された反応生成物を洗浄ユニットで除去する過程と、
前記過程に続いて、低誘電率被膜の誘電率を回復させるシリル化材料を供給してシリル化ユニットでシリル化処理を行う過程と、
を同一装置内において実施することを特徴とする基板処理方法。
17 … 搬送ロボット
23 … 洗浄ユニット
33 … シリル化ユニット
63 … チャンバー
75 … 上方供給部
99 … 加熱ヒータ
101 … 第1排気口
103 … 第2排気口
117 … 冷却管
121 … 銅配線
123 … ストッパー膜
125,127 … 低誘電率被膜
129 … レジストマスク
131 … 反応生成物
133 … ダメージ
Claims (6)
- 低誘電率被膜が被着されている基板をドライプロセスにより処理し、低誘電率被膜にダメージを受けた基板を処理する基板処理装置において、
前記基板上に生成された反応生成物を除去する洗浄ユニットと、
前記洗浄ユニットで処理された基板に対して、前記低誘電率被膜の誘電率を回復させるシリル化材料を供給手段から供給してシリル化処理を行うシリル化ユニットと、
を備えていることを特徴とする基板処理装置。 - 請求項1に記載の基板処理装置において、
前記供給手段は、SiOCを含むの低誘電率材料を供給することを特徴とする基板処理装置。 - 請求項1に記載の基板処理装置において、
前記供給手段は、HMDS(ヘキサメチルジシラザン)を含む低誘電率材料を供給することを特徴とする基板処理装置。 - 請求項1から3のいずれかに記載の基板処理装置において、
前記シリル化ユニットは、基板を収容するためのチャンバー内を減圧する減圧手段と、基板を加熱する加熱手段とをさらに備え、
前記供給手段からシリル化材料を供給する際には、前記加熱手段で基板を加熱し、前記減圧手段で減圧を行うことを特徴とする基板処理装置。 - 請求項1から4のいずれかに記載の基板処理装置において、
前記シリル化ユニットは、チャンバー内に不活性ガスを供給するガス供給手段をさらに備えていることを特徴とする基板処理装置。 - 請求項4または5に記載の基板処理装置において、
前記シリル化ユニットは、基板を冷却する冷却手段をさらに備えていることを特徴とする基板処理装置。
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2004
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